KR102361430B1 - Apparatus for cleaning coupler - Google Patents

Apparatus for cleaning coupler Download PDF

Info

Publication number
KR102361430B1
KR102361430B1 KR1020210050676A KR20210050676A KR102361430B1 KR 102361430 B1 KR102361430 B1 KR 102361430B1 KR 1020210050676 A KR1020210050676 A KR 1020210050676A KR 20210050676 A KR20210050676 A KR 20210050676A KR 102361430 B1 KR102361430 B1 KR 102361430B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cleaning
coupler
wing member
housing
gas
Prior art date
Application number
KR1020210050676A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
원종호
Original Assignee
원종호
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 원종호 filed Critical 원종호
Priority to KR1020210050676A priority Critical patent/KR102361430B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102361430B1 publication Critical patent/KR102361430B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02Cleaning by the force of jets or sprays
    • B08B3/024Cleaning by means of spray elements moving over the surface to be cleaned
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67DDISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0288Container connection means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67DDISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/06Details or accessories
    • B67D7/32Arrangements of safety or warning devices; Means for preventing unauthorised delivery of liquid
    • B67D7/3209Arrangements of safety or warning devices; Means for preventing unauthorised delivery of liquid relating to spillage or leakage, e.g. spill containments, leak detection

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

The present invention relates to a cleaning device of a coupler. The cleaning device of a coupler according to an embodiment of the present invention is the cleaning device of a coupler for cleaning a coupler in which a discharge tube that is a passage through which a chemical or gas is discharged is provided through the center, comprising: a housing to which the coupler is coupled through an upper surface; a rotating shaft installed on a bottom surface of the housing; a wing member rotatably installed on the rotating shaft and extending in a plurality of radially; and a plurality of nozzles that are installed eccentrically with respect to the center of the rotating shaft on the wing member, and spray a cleaning solution or gas toward the chemical or foreign substances remaining in a lower part of the discharge tube.

Description

커플러의 세정 장치{APPARATUS FOR CLEANING COUPLER}Coupler cleaning device {APPARATUS FOR CLEANING COUPLER}

본 발명은 커플러의 세정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약품 배출용 커플러의 하부에 잔존하는 약품 또는 이물질을 세정하기 위한 커플러의 세정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaning device for a coupler, and more particularly, to a cleaning device for a coupler for cleaning chemicals or foreign substances remaining in a lower portion of a coupler for discharging chemicals.

일반적으로 반도체 및 의약품 관련 순수 약품, 전자공업용 약품, 시약용 약품, 식품용 약품 및 화장용 약품 등은 드럼과 같은 약품저장용기에 저장되며 필요시에 적당량을 약품저장용기의 외부로 배출하여 사용하고 있다.In general, semiconductor and pharmaceutical-related pure drugs, electronic industry drugs, reagent drugs, food drugs, and cosmetic drugs are stored in drug storage containers such as drums, and when necessary, an appropriate amount is discharged to the outside of the drug storage container and used. have.

이때, 통상의 약품저장용기에는 약품배출구와 공기흡입구가 형성되어 있으며, 상기 약품배출구에 약품 배출용 또는 가스 주입용 커플러를 체결하고 이 커플러에 펌핑수단을 연결한 후 펌핑수단의 동작을 통해 약품저장용기로부터 약품을 배출하게 된다.At this time, a drug outlet and an air inlet are formed in a typical drug storage container, and a coupler for drug discharge or gas injection is fastened to the drug outlet, and a pumping means is connected to this coupler, and then the drug is stored through the operation of the pumping means The drug is discharged from the container.

반도체 및 의약품 관련 약품 등은 외부로 배출되는 약품이나 약품저장용기 내부에 저장되어 있는 약품 모두 높은 순도 및 청정도를 유지시킬 수 있어야 하므로 공기와의 접촉차단을 통하여 오염 가능성을 충분히 배제시키는 등 각별한 주의가 요구되고 있다.For semiconductor and pharmaceutical-related drugs, both the drugs discharged to the outside and the drugs stored inside the drug storage container must be able to maintain high purity and cleanliness. is being demanded

여기에서, 커플러는 상술한 바와 같이, 약품저장용기의 약품배출구와 약품배출을 위한 펌핑수단을 연결하는 중간 매개체의 체결구로서 기능하게 되며, 일반적으로 내부가 중공으로 형성되어 유체흐름통로를 형성하게 되는 배출튜브가 구비된다. Here, as described above, the coupler functions as a fastener of an intermediate medium connecting the pumping means for discharging the drug and the drug outlet of the drug storage container, and is generally hollow inside to form a fluid flow passage. A discharge tube is provided.

그러나, 약품 배출용 커플러의 하부에는 약품의 배출과정에서 약품이 잔존하여 오염이 발생하거나 가스 주입 후 이물질이 남게 되고, 이와 같이 오염된 커플러는 다른 약품저장용기에 결합하여 사용할 때 문제가 될 수 있다. However, in the lower part of the coupler for discharging the drug, contamination occurs because the drug remains in the process of discharging the drug, or foreign substances remain after gas injection. .

대한민국 등록특허공보 제10-1537252호(2015.07.10)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1537252 (2015.07.10)

본 발명은 약품 배출용 커플러의 하부에 잔존하는 약품 또는 이물질을 깨끗하게 세정할 수 있는 구조를 가진 커플러의 세정 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a cleaning device for a coupler having a structure that can cleanly clean chemicals or foreign substances remaining in the lower portion of the coupler for discharging chemicals.

본 발명의 일 실시예에 따른 커플러의 세정 장치는 약품 또는 가스가 배출되는 통로인 배출튜브가 중앙을 관통하여 구비되는 커플러를 세정하기 위한 커플러의 세정 장치에 있어서, 상기 커플러가 상면을 관통하여 결합되는 하우징; 상기 하우징의 바닥면에 설치되는 회전축; 상기 회전축에 회전가능하게 설치되고, 방사상으로 복수개가 연장되는 날개부재; 및 상기 날개부재에 상기 회전축의 중심에 대하여 편심되게 설치되고, 상기 배출튜브의 하부에 잔존하는 약품 또는 이물질을 향해 세정액 또는 가스를 분사하는 복수개의 노즐을 포함할 수 있다.In the coupler cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, in the coupler cleaning apparatus for cleaning the coupler, the discharge tube, which is a passage through which a drug or gas is discharged, is provided through the center, the coupler is coupled through the upper surface being a housing; a rotating shaft installed on the bottom surface of the housing; a wing member rotatably installed on the rotating shaft and extending in a plurality of radially; and a plurality of nozzles that are installed eccentrically with respect to the center of the rotation shaft on the wing member and spray a cleaning solution or gas toward the chemicals or foreign substances remaining in the lower portion of the discharge tube.

상기 날개부재의 상면에는, 상기 날개부재의 연장방향을 따라 적어도 하나 이상이 이격되고 상부에는 상기 노즐이 회전가능하게 결합되는, 조절부재가 설치될 수 있다. On the upper surface of the wing member, at least one or more is spaced apart along the extending direction of the wing member and the nozzle is rotatably coupled to the upper portion, an adjustment member may be installed.

상기 조절부재는 상기 날개부재의 상면에 승강되게 설치될 수 있다.The adjusting member may be installed to be raised and lowered on the upper surface of the wing member.

상기 조절부재는, 상기 날개부재의 상면에 직립하게 설치되어 회전되는 직립부; 및 상기 직립부의 상부에서 일측면을 향하여 수평방향으로 연장되고, 상기 노즐이 회전가능하게 결합되는 연장부를 포함할 수 있다. The adjusting member may include: an upright portion which is installed and rotated upright on the upper surface of the wing member; and an extension portion extending in a horizontal direction from an upper portion of the upright portion toward one side and to which the nozzle is rotatably coupled.

상기 연장부는 바깥쪽으로 갈수록 상기 날개부재의 연장방향에 대하여 큰 각도로 회전되게 설정될 수 있다.The extension portion may be set to rotate at a greater angle with respect to the extension direction of the wing member toward the outside.

상기 회전축, 날개부재 및 조절부재의 내부에는 세정을 위한 세정액 또는 가스가 통과하기 위한 세정유로가 형성될 수 있다.A cleaning flow path for passing a cleaning liquid or gas for cleaning may be formed in the rotating shaft, the wing member, and the adjusting member.

세정액 또는 가스가 상기 세정유로로 선택적으로 유입되도록 제어하는 밸브를 더 포함할 수 있다. It may further include a valve for controlling the cleaning liquid or gas to be selectively introduced into the cleaning passage.

상기 하우징은 복수개의 상기 커플링을 세정하기 위하여 복수개의 세정공간으로 구획될 수 있다.The housing may be divided into a plurality of cleaning spaces to clean the plurality of couplings.

상기 하우징의 바닥면에는 세정된 약품 또는 이물질이 배출되는 배출홀이 형성될 수 있다.A discharge hole through which the cleaned chemicals or foreign substances are discharged may be formed in the bottom surface of the housing.

상기 하우징의 바닥면은 양측에서 중앙으로 갈수록 하향 경사진 배출 경사면이 형성되고, 중앙부에 상기 배출홀이 형성될 수 있다. A bottom surface of the housing may have a discharge inclined surface inclined downward toward the center from both sides, and the discharge hole may be formed in the center portion.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 약품 배출용 커플러의 하부에 잔존하는 약품 또는 이물질을 깨끗하게 세정할 수 있는 구조를 가진 커플러의 세정 장치를 제공하는 것이다.According to an embodiment of the present invention, it is to provide a cleaning apparatus for a coupler having a structure that can cleanly clean the chemicals or foreign substances remaining in the lower portion of the coupler for discharging the chemicals.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커플러의 세정 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 커플러의 일 예를 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 커플러의 세정 장치의 날개부재 및 노즐의 구성을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 날개부재 및 노즐의 구성을 도시한 측면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 날개부재 및 노즐의 구성을 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 커플러를 세정하는 것을 도시한 도면이다.
1 is a perspective view illustrating an apparatus for cleaning a coupler according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating an example of a coupler.
3 is a perspective view illustrating a configuration of a wing member and a nozzle of a cleaning apparatus for a coupler according to an embodiment of the present invention.
4 is a side view showing the configuration of the wing member and the nozzle shown in FIG.
5 is a plan view showing the configuration of the wing member and the nozzle shown in FIG.
6 is a view illustrating cleaning a coupler according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

또한, 명세서 전체에서, "연결된다"라고 할 때, 이는 둘 이상의 구성요소가 직접적으로 연결되는 것만을 의미하는 것이 아니고, 둘 이상의 구성요소가 다른 구성요소를 통하여 간접적으로 연결되는 것, 물리적으로 연결되는 것뿐만 아니라 전기적으로 연결되는 것, 또는 위치나 기능에 따라 상이한 명칭들로 지칭되었으나 일체인 것을 의미할 수 있다.In addition, throughout the specification, when "connected", this does not mean that two or more components are directly connected, but two or more components are indirectly connected through other components, physically connected As well as being electrically connected, or being referred to by different names depending on location or function, it may mean one thing.

이하, 본 발명에 의한 커플러의 세정 장치의 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a cleaning apparatus for a coupler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals, A duplicate description will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 커플러의 세정 장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 커플러의 일 예를 도시한 단면도이다.1 is a perspective view illustrating an apparatus for cleaning a coupler according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an example of the coupler.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커플러의 세정 장치는 약품 또는 가스가 배출되는 통로인 배출튜브(22)가 중앙을 관통하여 구비되는 커플러(20)를 세정하기 위한 커플러의 세정 장치에 있어서, 커플러(20)가 상면을 관통하여 결합되는 하우징(10), 상기 하우징(10)의 바닥면에 설치되는 회전축(30), 상기 회전축(30)에 회전가능하게 설치되고, 방사상으로 복수개가 연장되는 날개부재(34), 및 상기 날개부재(34)에 상기 회전축(30)의 중심에 대하여 편심되게 설치되고, 상기 배출튜브(22)의 하부에 잔존하는 약품 또는 이물질을 향해 세정액 또는 가스(공기 등)를 분사하는 복수개의 노즐(40)을 포함할 수 있다. Referring to Figure 1, the coupler cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention is a coupler cleaning for cleaning the coupler 20, which is provided through the center of the discharge tube 22, which is a passage through which a drug or gas is discharged In the device, the coupler 20 is rotatably installed on the housing 10 coupled through the upper surface, the rotation shaft 30 installed on the bottom surface of the housing 10, the rotation shaft 30, radially A plurality of extended wing members 34, and the wing members 34 are installed eccentrically with respect to the center of the rotation shaft 30, and the cleaning solution or foreign substances remaining in the lower portion of the discharge tube 22. A plurality of nozzles 40 for spraying gas (air, etc.) may be included.

하우징(10)은 사각 박스 형태로 제작되는 것으로서, 내부에는 세정을 위한 커플러(20)가 결합된다. 하우징(10)은 내부에 커플러(20)를 세정하기 위한 세정공간(12)이 형성된다. 세정공간(12)은 세정을 위한 커플러(20)의 개수에 따라 복수개로 형성될 수도 있는데, 복수개의 세정공간(12)을 형성하기 위해서 하우징(10)의 내부에는 구획벽(14)이 구비될 수 있다. 본 도면에서는 2개의 커플러(20)를 2개의 세정공간(12)으로 나누어 세정하는 것을 도시하였지만 3개 이상의 세정공간(12)으로 구획하고 세정작업을 하는 것도 가능하다. The housing 10 is manufactured in the form of a square box, and a coupler 20 for cleaning is coupled therein. The housing 10 is provided with a cleaning space 12 for cleaning the coupler 20 therein. A plurality of cleaning spaces 12 may be formed depending on the number of couplers 20 for cleaning. In order to form a plurality of cleaning spaces 12 , a partition wall 14 may be provided inside the housing 10 to form a plurality of cleaning spaces 12 . can Although it is shown in this figure that the two couplers 20 are divided into two cleaning spaces 12 for cleaning, it is also possible to divide into three or more cleaning spaces 12 and perform cleaning operations.

하우징(10)의 바닥면에는 약품 또는 이물질이 배출되는 배출홀(16)이 형성된다. 배출홀(16)은 도 1에 도시된 바와 같이 구획된 세정공간(12) 마다 하나씩 형성될 수 있다. 그리고, 하우징(10)의 바닥면은 양측에서 중앙으로 갈수록 하향 경사진 배출 경사면(18)이 형성될 수 있다. 배출 경사면(18)은 약품의 종류에 따라 다양한 각도로 경사지게 형성될 수 있으며 세정액 또는 가스에 의해 떨어진 약품 또는 이물질이 세정액과 함께 배출홀(16) 쪽으로 잘 배출될 수 있도록 한다. 이때, 배출홀(16)은 배출 경사면(18)의 사이에 평평한 면에 형성될 수 있다. A discharge hole 16 through which chemicals or foreign substances are discharged is formed in the bottom surface of the housing 10 . As shown in FIG. 1 , the discharge hole 16 may be formed one by one for each partitioned cleaning space 12 . In addition, the bottom surface of the housing 10 may be formed with a discharge inclined surface 18 inclined downward toward the center from both sides. The discharge inclined surface 18 may be formed to be inclined at various angles depending on the type of chemical, so that the chemical or foreign material dropped by the cleaning liquid or gas can be well discharged toward the discharge hole 16 together with the cleaning liquid. In this case, the discharge hole 16 may be formed on a flat surface between the discharge inclined surfaces 18 .

도 2를 참조하면, 커플러(20)는 하우징(10)의 상면에 결합된다. 커플러(20)는 드럼과 같은 약품저장용기의 상면에 체결되고 커플러(20)에 펌핑수단을 연결한 후 펌핑수단의 동작을 통해 약품저장용기로부터 약품을 배출하게 된다. 이러한 커플러(20)는 통과하는 유체 또는 기체에 따라 다양한 형태로 설계될 수 있으며, 본 도면에 도시된 커플러(20)는 화학약품과 같은 유체가 통과하는 것을 도시한 것이다. Referring to FIG. 2 , the coupler 20 is coupled to the upper surface of the housing 10 . The coupler 20 is fastened to the upper surface of the drug storage container, such as a drum, and after connecting the pumping means to the coupler 20, the drug is discharged from the drug storage container through the operation of the pumping means. The coupler 20 may be designed in various forms depending on the passing fluid or gas, and the coupler 20 shown in this figure shows that a fluid, such as a chemical, passes.

커플러(20)에는 배출튜브(22)가 중앙을 관통하여 구비된다. 배출튜브(22)는 유체가 통과할 수 있도록 수직방향으로 길게 형성된다. 그리고, 배출튜브(22)의 외주면에는 상부 너트(24) 및 하부 너트(26)가 각각 체결된다. 상부 너트(24) 및 하부 너트(26)는 약품저장용기에의 체결을 위해 구비되는 것인데 본 실시예에서는 하우징(10)에 체결되는 수단으로도 사용된다. 상부 너트(24)는 및 하부 너트(26)는 상하로 서로 밀착되게 체결되며 그 사이에는 오링(28)이 개재된다. 또한, 하부 너트(26)의 외주면에는 오링(28)이 개재되어 하우징(10)에 체결될 때 밀봉 기능을 수행하게 된다. The coupler 20 is provided with a discharge tube 22 passing through the center. The discharge tube 22 is formed to be elongated in the vertical direction so that the fluid can pass therethrough. Then, the upper nut 24 and the lower nut 26 are respectively fastened to the outer circumferential surface of the discharge tube 22 . The upper nut 24 and the lower nut 26 are provided for fastening to the drug storage container, and in this embodiment are also used as means for fastening to the housing 10 . The upper nut 24 and the lower nut 26 are vertically fastened to be in close contact with each other, and an O-ring 28 is interposed therebetween. In addition, an O-ring 28 is interposed on the outer circumferential surface of the lower nut 26 to perform a sealing function when fastened to the housing 10 .

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 커플러의 세정 장치의 날개부재 및 노즐의 구성을 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 날개부재 및 노즐의 구성을 도시한 측면도이며, 도 5는 도 3에 도시된 날개부재 및 노즐의 구성을 도시한 평면도이다.3 is a perspective view showing the configuration of the wing member and the nozzle of the cleaning apparatus of the coupler according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a side view showing the configuration of the wing member and the nozzle shown in FIG. 3, FIG. is a plan view showing the configuration of the wing member and the nozzle shown in FIG.

도 3을 참조하면, 하우징(10)의 바닥면에 회전축(30)이 고정되게 설치된다. 본 도면에서는 회전축(30) 전체가 축으로서의 역할을 수행하는 것은 아니고 회전축(30)의 상부를 축으로 가공하고 이 부분에 날개부재(34)가 회전가능하게 설치하였으나, 이에 제한되는 것은 아니고 회전축(30) 전체가 하나의 축으로서 만들어질 수도 있다. 회전축(30)의 상단에는 날개부재(34)가 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 축캡(32)이 결합된다.Referring to FIG. 3 , the rotation shaft 30 is fixedly installed on the bottom surface of the housing 10 . In this figure, the entire rotary shaft 30 does not serve as a shaft, but the upper portion of the rotary shaft 30 is processed as an axis, and the wing member 34 is rotatably installed in this portion, but is not limited thereto. 30) The whole may be made as one axis. A shaft cap 32 for preventing the wing member 34 from being separated upward is coupled to the upper end of the rotation shaft 30 .

날개부재(34)는 커플러(10)의 세정 시 실질적으로 회전이 되는 부분이다. 본 실시예에서 날개부재(34)는 대략 십자 모양으로 만들어지며 회전축(30)을 중심으로 4개가 각각 90°의 중심각을 가지도록 방사상으로 연장되는 형태를 가진다. 물론, 날개부재(34)는 상술한 형태에 제한되는 것은 아니고 3개 또는 5개 이상이 방사상으로 연장되는 형태를 가질 수도 있다. The wing member 34 is a portion that is substantially rotated when the coupler 10 is cleaned. In this embodiment, the wing member 34 is made in a substantially cross shape and has a shape extending radially so that four of them each have a central angle of 90° around the rotation shaft 30 . Of course, the wing member 34 is not limited to the above-described form, and may have a form in which three or five or more radially extend.

한편, 도 4를 참조하면, 상술한 회전축(30), 날개부재(34) 및 조절부재(50)의 내부에는 세정을 위한 세정액 또는 가스가 통과하기 위한 세정유로(36)가 형성된다. 세정유로(36)는 회전축(30), 날개부재(34) 및 조절부재(50)의 내부 중앙을 관통하도록 형성되는 것으로서, 회전축(30)을 따라 상방으로 형성되다가 수직방향으로 절곡되어 날개부재(34)를 따라 형성되고 다시 조절부재(50)를 따라 수직방향으로 절곡되어 형성될 수 있다. 이와 같이 형성된 세정유로(36)는 결국 노즐(50)과 연통되어 노즐(50)에서 세정액 또는 가스가 분사될 수 있도록 한다. Meanwhile, referring to FIG. 4 , a cleaning flow path 36 for passing a cleaning liquid or gas for cleaning is formed inside the above-described rotation shaft 30 , the wing member 34 , and the adjustment member 50 . The cleaning flow path 36 is formed to pass through the inner center of the rotation shaft 30, the wing member 34 and the adjustment member 50, is formed upward along the rotation shaft 30, and is bent in the vertical direction to form the wing member ( 34) and may be formed by bending in the vertical direction along the adjusting member 50 again. The cleaning flow path 36 thus formed is eventually communicated with the nozzle 50 so that the cleaning liquid or gas can be sprayed from the nozzle 50 .

또한, 세정액 또는 가스가 세정유로(36)로 선택적으로 유입되도록 제어하는 밸브(70)가 더 포함될 수 있다. 예를 들어, 세정유로(36)의 직하방 라인으로는 세정액이 유입되고 측방 라인으로는 가스가 유입되도록 라인을 설정한 후에 밸브(70)는 라인을 선택적으로 제어하여 세정액 또는 가스가 유입되도록 제어할 수 있다. 세정액은 주로 잔존하는 약품을 세정하는 작업을 하고, 공기 등의 가스는 이물질을 제거하는 작업을 할 수 있다. In addition, a valve 70 for controlling the cleaning liquid or gas to selectively flow into the cleaning passage 36 may be further included. For example, after setting the line so that the cleaning liquid flows into the line directly below the cleaning flow path 36 and gas flows into the lateral line, the valve 70 selectively controls the line to control the cleaning liquid or gas to flow in. can do. The cleaning liquid mainly works to clean the remaining chemicals, and the gas such as air can work to remove foreign substances.

다시 도 3을 참조하면, 날개부재(34)의 상면에는 조절부재(40)가 회전가능하게 설치된다. 조절부재(40)는 노즐(50)의 분사방향 조절을 위해 설치되는 부분이다. 조절부재(40)는 날개부재(34)의 연장방향을 따라 적어도 하나 이상이 이격되게 설치되는데, 본 실시예에서는 1개의 날개부재(34)마다 2개의 조절부재(40)가 설치된다. 물론, 이에 한정되는 것은 아니고 조절부재(40)는 커플러(10)의 크기, 세정 정도 등에 따라 1개의 날개부재(34)마다 3개 이상이 설치될 수도 있다. Referring back to FIG. 3 , the adjusting member 40 is rotatably installed on the upper surface of the wing member 34 . The adjusting member 40 is a part installed to control the spraying direction of the nozzle 50 . At least one adjusting member 40 is installed to be spaced apart from each other in the extending direction of the wing member 34 , and in this embodiment, two adjusting members 40 are installed for each one wing member 34 . Of course, the present invention is not limited thereto, and three or more adjustment members 40 may be installed for each one wing member 34 depending on the size of the coupler 10 and the degree of cleaning.

그리고, 본 도면에는 구체적으로 도시하지 않았으나, 조절부재(40)는 날개부재(34)의 상면에 승강되게 설치될 수 있다. 이와 같이 되면 조절부재(40)가 상승된 상태에서 배출튜브(22)의 하부를 측방에서 직접 세정액 또는 가스가 분사되도록 설정할 수 있다. And, although not specifically shown in this drawing, the adjusting member 40 may be installed to be raised and lowered on the upper surface of the wing member 34 . In this case, it is possible to set the cleaning liquid or gas to be directly sprayed from the side of the lower portion of the discharge tube 22 in the state in which the adjusting member 40 is raised.

조절부재(40)는 날개부재(34)의 상면에 직립하게 설치되어 회전되는 직립부(42), 및 상기 직립부(42)의 상부에서 일측면을 향하여 수평방향으로 연장되고, 상기 노즐(50)이 회전가능하게 결합되는 연장부(44)를 포함할 수 있다. The adjusting member 40 is installed and rotated upright on the upper surface of the wing member 34 in the upright portion 42, and extends from the upper portion of the upright portion 42 toward one side in the horizontal direction, and the nozzle 50 ) may include an extension 44 that is rotatably coupled.

직립부(42)는 날개부재(34)의 상면에 회전가능하게 설치되고, 연장부(44)는 직립부(42)의 상부에서 직각으로 절곡되어 연장된다. 그리고, 연장부(44)의 선단에는 노즐(50)이 회전가능하게 결합된다. 이상에서 설명한 조절부재(40) 및 노즐(50)은 각각 회전가능하게 설치되기 때문에 커플러(10)를 향하여 원하는 방향으로 적절하게 세정액 또는 가스가 분사될 수 있도록 한다. The upright part 42 is rotatably installed on the upper surface of the wing member 34 , and the extension part 44 is bent and extended at a right angle from the top of the upright part 42 . In addition, the nozzle 50 is rotatably coupled to the tip of the extension part 44 . Since the adjusting member 40 and the nozzle 50 described above are respectively rotatably installed, the cleaning liquid or gas can be properly sprayed in a desired direction toward the coupler 10 .

도 5는 도 3에 도시된 날개부재 및 노즐의 구성을 도시한 평면도이다.5 is a plan view showing the configuration of the wing member and the nozzle shown in FIG.

도 5를 참조하면, 본 실시예에서 노즐(50)은 회전축(30)의 중심을 향해 세정액 또는 가스를 분사하지 않고 회전축(30)의 중심에 대하여 편심된 방향으로 세정액또는 가스를 분사하도록 설정된다. 이는 날개부재(34)가 별도의 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전되지 않고 편심되게 설치된 노즐(50)의 분사력의 조합에 의해서만 날개부재(34)가 회전되도록 하였기 때문이다. Referring to FIG. 5 , in this embodiment, the nozzle 50 is set to spray the cleaning liquid or gas in an eccentric direction with respect to the center of the rotation shaft 30 without spraying the cleaning liquid or gas toward the center of the rotation shaft 30 . . This is because the wing member 34 is rotated only by the combination of the jetting force of the eccentrically installed nozzle 50 rather than being rotated by receiving power from a separate driving source.

본 실시예에서 날개부재(34)는 회전축(30)에 아이들 상태로 설치가 된다. 따라서, 날개부재(34)에 별도의 동력이 전달되지 않으면 날개부재(34)는 회전되지 않는데, 본 실시예에서는 노즐(50)이 회전축(30)의 중심에 대하여 편심된 방향으로 세정액 또는 가스를 분사하기 때문에 크게 4방향으로 배치된 노즐(50)에서 세정액 또는 가스가 분사되면 편심된 방향 쪽으로 날개부재(34)가 회전될 수 있는 것이다. 예를 들어, 도 5와 같이 배치된 상태에서 노즐(50)에서 세정액 또는 가스가 분사되면 날개부재(34)는 반시계방향으로 회전될 수 있다. In this embodiment, the wing member 34 is installed on the rotating shaft 30 in an idle state. Therefore, if a separate power is not transmitted to the wing member 34 , the wing member 34 does not rotate. In this embodiment, the nozzle 50 sprays the cleaning liquid or gas in an eccentric direction with respect to the center of the rotation shaft 30 . When the cleaning liquid or gas is sprayed from the nozzles 50 arranged in four directions because of the injection, the wing member 34 can be rotated in the eccentric direction. For example, when the cleaning liquid or gas is sprayed from the nozzle 50 in the state arranged as shown in FIG. 5 , the wing member 34 may be rotated counterclockwise.

이때, 노즐(50)에서 분사되는 세정액 또는 가스가 배출튜브(22)의 하부를 향하여 집중되도록 하기 위하여 날개부재(34)를 따라 이격되게 배치된 조절부재(40)의 각도를 설정하였다. 즉, 조절부재(40)의 연장부(44)는 날개부재(34)의 바깥쪽으로 갈수록 날개부재(34)의 연장방향에 대하여 큰 각도를 가지도록 회전되게 설정될 수 있다. 도 5에서 날개부재(34)의 안쪽에 배치된 연장부(44)의 회전각도(θ1)은 날개부재(34)의 바깥쪽에 배치된 연장부(44)의 회전각도(θ2)보다 크게 설정된다. 이와 같이 되면 연장부(44)의 선단에 설치된 노즐(50)이 같은 방향을 가리킴으로써 세정 작업이 효과적으로 진행될 수 있다. At this time, the angle of the adjusting member 40 spaced apart along the wing member 34 was set so that the cleaning liquid or gas sprayed from the nozzle 50 is concentrated toward the lower portion of the discharge tube 22 . That is, the extension portion 44 of the adjustment member 40 may be set to rotate toward the outside of the wing member 34 to have a larger angle with respect to the extension direction of the wing member 34 . 5, the rotation angle θ 1 of the extension part 44 disposed on the inside of the wing member 34 is greater than the rotation angle θ 2 of the extension part 44 disposed on the outside of the wing member 34. is set In this way, the nozzle 50 installed at the tip of the extension part 44 points in the same direction, so that the cleaning operation can be effectively performed.

이하에서는 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 커플러의 세정 장치의 동작 과정을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation process of the cleaning apparatus of the coupler according to an embodiment of the present invention having the configuration as described above will be described in detail.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 커플러를 세정하는 것을 도시한 도면이다.6 is a view illustrating cleaning a coupler according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 약품저장용기에 약품 또는 가스를 공급하는 역할을 마친 커플러(20)의 배출튜브(22) 하부에는 약품 또는 이물질이 잔존할 수 있다. Referring to FIG. 6 , drugs or foreign substances may remain in the lower portion of the discharge tube 22 of the coupler 20, which has served to supply the drug or gas to the drug storage container.

본 도면에서 좌측에 배치된 커플러(20)는 약품저장용기에 가스를 공급하는 용도로 사용되고, 우측에 배치된 커플러(20)는 약품저장용기에 약품을 공급 또는 배출시키는 용도로 사용된다. 본 실시예에서는 이와 같이 다른 용도로 사용된 커플러(20) 2개가 각각의 세정공간(12)에 배치될 수 있기 때문에 동시에 2개의 커플러(20)의 세정작업이 가능한 장점이 있다. 물론, 세정공간(12)은 2개가 3개 이상이 배치될 수도 있고 이때에는 보다 많은 커플러(20)의 세정작업도 가능할 것이다. In this drawing, the coupler 20 disposed on the left is used for supplying gas to the drug storage container, and the coupler 20 disposed on the right side is used for supplying or discharging the drug to the drug storage container. In this embodiment, since the two couplers 20 used for different purposes as described above can be disposed in each cleaning space 12, there is an advantage that the cleaning operation of the two couplers 20 is possible at the same time. Of course, two or more of the cleaning space 12 may be arranged, and in this case, more cleaning operations of the coupler 20 will be possible.

커플러(20)는 상부 너트(24) 및 하부 너트(26)가 하우징(10)의 상면에 개구된 부분에 체결됨으로써 고정된다. 이 상태에서 조절부재(40) 및 노즐(50)을 배출튜브(22)의 하부를 향하여 집중될 수 있도록 분사각도를 조절한다. 상술한 바와 같이 노즐(50)에서 분사되는 세정액 또는 가스는 배출튜브(22)의 하부 중심을 직접 타게팅하지 않고 중심에서 편심된 방향으로 분사되도록 설정된다. The coupler 20 is fixed by fastening the upper nut 24 and the lower nut 26 to the portion opened on the upper surface of the housing 10 . In this state, the injection angle is adjusted so that the adjusting member 40 and the nozzle 50 can be concentrated toward the lower part of the discharge tube 22 . As described above, the cleaning liquid or gas injected from the nozzle 50 is set to be injected in an eccentric direction from the center without directly targeting the lower center of the discharge tube 22 .

다음으로, 세정유로(36)를 따라 세정액 또는 가스가 공급되면 노즐(50)에서 세정액 또는 가스가 분사되고 배출튜브(22)의 하부에 잔존하는 약품 또는 이물질의 세정작업이 진행된다. 이때, 날개부재(34)는 노즐(50)이 편심된 방향으로 세정액 또는 가스를 분사하기 때문에 회전력이 자연적으로 발생하면서 일방향으로 회전될 수 있다. 결과적으로 노즐(50)은 일방향으로 회전되면서 배출튜브(22)의 하부를 다양한 방향에서 효과적으로 세정할 수 있게 된다. Next, when the cleaning liquid or gas is supplied along the cleaning passage 36 , the cleaning liquid or gas is sprayed from the nozzle 50 , and the cleaning operation of the chemical or foreign substances remaining in the lower portion of the discharge tube 22 is performed. At this time, the wing member 34 can be rotated in one direction while the rotational force is naturally generated because the nozzle 50 sprays the cleaning liquid or gas in an eccentric direction. As a result, the nozzle 50 is rotated in one direction to effectively clean the lower portion of the discharge tube 22 in various directions.

끝으로, 세정을 마친 세정액 및 약품, 이물질 등은 배출홀(16)을 통해 외부로 배출된다. 참고로, 도면부호 60은 배출홀(16)에 연결된 배출관이다. Finally, the cleaning liquid, chemicals, foreign substances, etc. that have been cleaned are discharged to the outside through the discharge hole 16 . For reference, reference numeral 60 denotes a discharge pipe connected to the discharge hole 16 .

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to specific embodiments of the present invention, those of ordinary skill in the art may vary the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be understood that modifications and changes can be made to

10: 하우징 12: 세정공간
14: 구획벽 16: 배출홀
18: 배출 경사면 20: 커플러
22: 배출튜브 24: 상부 너트
26: 하부 너트 28: 오링
30: 회전축 32: 축캡
34: 날개부재 36: 세정유로
40: 조절부재 42: 직립부
44: 연장부 50: 노즐
60: 배출관 70: 밸브
10: housing 12: cleaning space
14: partition wall 16: exhaust hole
18: discharge slope 20: coupler
22: discharge tube 24: upper nut
26: lower nut 28: O-ring
30: rotation shaft 32: shaft cap
34: wing member 36: cleaning flow path
40: adjustment member 42: upright part
44: extension 50: nozzle
60: discharge pipe 70: valve

Claims (10)

약품 또는 가스가 배출되는 통로인 배출튜브가 중앙을 관통하여 구비되는 커플러를 세정하기 위한 커플러의 세정 장치에 있어서,
상기 커플러가 상면을 관통하여 결합되는 하우징;
상기 하우징의 바닥면에 설치되는 회전축;
상기 회전축에 회전가능하게 설치되고, 방사상으로 복수개가 연장되는 날개부재;
상기 날개부재에 상기 회전축의 중심에 대하여 편심되게 설치되고, 상기 배출튜브의 하부에 잔존하는 약품 또는 이물질을 향해 세정액 또는 가스를 분사하는 복수개의 노즐; 및
상기 날개부재의 상면에 설치되고, 상기 날개부재의 연장방향을 따라 적어도 하나 이상이 이격되며, 상부에 상기 노즐이 회전가능하게 결합되는 조절부재;를 포함하고,
상기 조절부재는,
상기 날개부재의 상면에 직립하게 설치되어 회전되는 직립부; 및
상기 직립부의 상부에서 일측면을 향하여 수평방향으로 연장되고, 상기 노즐이 회전 가능하게 결합되는 연장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 커플러의 세정 장치.
In the cleaning apparatus of a coupler for cleaning a coupler, the discharge tube, which is a passage through which a chemical or gas is discharged, is provided through the center,
a housing to which the coupler is coupled through the upper surface;
a rotating shaft installed on the bottom surface of the housing;
a wing member rotatably installed on the rotating shaft and extending in a plurality of radially;
a plurality of nozzles installed eccentrically with respect to the center of the rotation shaft on the wing member and spraying a cleaning solution or gas toward the chemicals or foreign substances remaining in the lower portion of the discharge tube; and
It includes; a control member installed on the upper surface of the wing member, at least one or more spaced apart along the extending direction of the wing member, the nozzle is rotatably coupled to the upper portion;
The adjusting member is
an upright portion installed and rotated upright on the upper surface of the wing member; and
The coupler cleaning apparatus, characterized in that it comprises a; extending in the horizontal direction from the upper portion of the upright portion toward one side, the nozzle is rotatably coupled.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 조절부재는 상기 날개부재의 상면에 승강되게 설치되는 커플러의 세정 장치.
According to claim 1,
The adjusting member is a cleaning device of a coupler that is installed to be raised and lowered on the upper surface of the wing member.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 연장부는 바깥쪽으로 갈수록 상기 날개부재의 연장방향에 대하여 큰 각도로 회전되게 설정되는 커플러의 세정 장치.
The method of claim 1,
The cleaning device of the coupler is set to rotate at a large angle with respect to the extending direction of the wing member as the extension portion goes outward.
제1항에 있어서,
상기 회전축, 날개부재 및 조절부재의 내부에는 세정을 위한 세정액 또는 가스가 통과하기 위한 세정유로가 형성되는 커플러의 세정 장치.
According to claim 1,
A cleaning device for a coupler in which a cleaning flow path for passing a cleaning liquid or gas for cleaning is formed inside the rotating shaft, the wing member, and the adjusting member.
제6항에 있어서,
세정액 또는 가스가 상기 세정유로로 선택적으로 유입되도록 제어하는 밸브를 더 포함하는 커플러의 세정 장치
7. The method of claim 6,
The cleaning apparatus of a coupler further comprising a valve for controlling the cleaning liquid or gas to selectively flow into the cleaning passage
제1항에 있어서,
상기 하우징은 복수개의 상기 커플러를 세정하기 위하여 복수개의 세정공간으로 구획되는 커플러의 세정 장치.
According to claim 1,
The coupler cleaning apparatus in which the housing is partitioned into a plurality of cleaning spaces to clean the plurality of couplers.
제1항에 있어서,
상기 하우징의 바닥면에는 세정된 약품 또는 이물질이 배출되는 배출홀이 형성되는 커플러의 세정 장치.
According to claim 1,
A cleaning device for a coupler in which a discharge hole through which cleaned chemicals or foreign substances are discharged is formed on the bottom surface of the housing.
제9항에 있어서,
상기 하우징의 바닥면은 양측에서 중앙으로 갈수록 하향 경사진 배출 경사면이 형성되고, 중앙부에 상기 배출홀이 형성되는 커플러의 세정 장치.
10. The method of claim 9,
The bottom surface of the housing has a discharge inclined surface inclined downward toward the center from both sides, and the discharge hole is formed in the center portion.
KR1020210050676A 2021-04-19 2021-04-19 Apparatus for cleaning coupler KR102361430B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210050676A KR102361430B1 (en) 2021-04-19 2021-04-19 Apparatus for cleaning coupler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210050676A KR102361430B1 (en) 2021-04-19 2021-04-19 Apparatus for cleaning coupler

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102361430B1 true KR102361430B1 (en) 2022-02-14

Family

ID=80254033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210050676A KR102361430B1 (en) 2021-04-19 2021-04-19 Apparatus for cleaning coupler

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102361430B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08274052A (en) * 1995-03-30 1996-10-18 Hitachi Ltd Cleaning of tabular material and device
KR20010092088A (en) * 2000-03-20 2001-10-24 윤종용 Quick coupler storage apparatus having cleaning function.
JP2007111669A (en) * 2005-10-24 2007-05-10 Izumi Tekko Kk Rotary nozzle device
KR101537252B1 (en) 2014-04-10 2015-07-16 아이세로미림화학주식회사 Coupler of drum

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08274052A (en) * 1995-03-30 1996-10-18 Hitachi Ltd Cleaning of tabular material and device
KR20010092088A (en) * 2000-03-20 2001-10-24 윤종용 Quick coupler storage apparatus having cleaning function.
JP2007111669A (en) * 2005-10-24 2007-05-10 Izumi Tekko Kk Rotary nozzle device
KR101537252B1 (en) 2014-04-10 2015-07-16 아이세로미림화학주식회사 Coupler of drum

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101244903B1 (en) Fluid discharging device
RU2387493C1 (en) Method to clean bottles and similar vessels in cleaning machine and cleaning machine
CN101802975B (en) Rinsing methodologies for barrier plate and venturi containment systems in tools used to process microelectronic workpieces with one or more treatment fluids, and related apparatuses
CN102412134B (en) Substrate processing device
CN101409211B (en) Substrate processing apparatus and method of cleaning the same
CN102842522B (en) Two-fluid spray nozzle, substrate liquid processing device and substrate liquid processing method
US4913185A (en) Valve device usable for feeding sterile fluids
CN106999964B (en) Rotatable tank cleaning nozzle head including self-cleaning spray nozzle
TWI395261B (en) Method of and apparatus for cleaning substrate
JP2012033961A (en) Substrate processing device
US8343287B2 (en) Apparatus for ejecting fluid onto a substrate and system and method incorporating the same
KR101060686B1 (en) Substrate cleaning device with improved cleaning efficiency
KR20190019600A (en) Two-fluid nozzle and substrate processing apparatus having the same
KR20170123467A (en) Chemical nozzle and apparatus for treating substrate
JP7312854B2 (en) Cleaning chamber and cleaning device
KR102361430B1 (en) Apparatus for cleaning coupler
KR100742678B1 (en) Apparatus for treating substrates
KR101426267B1 (en) Device for injecting multi phase fluid
KR100897547B1 (en) Substrate processing apparatus and method of the same
KR102005416B1 (en) cleaning nozzle assembly for wafer storage container
KR101884852B1 (en) Chemical nozzle and apparatus for treating substrate
CN113769906B (en) Paint surface cleaning device based on high-efficient heliciform washing sweeps nozzle
US20240238849A1 (en) Wafer cleaning apparatus
KR102223760B1 (en) Unit for suppying fluid and substrate processing apparatus using the same
US20240203756A1 (en) Integrated exhaust duct and substrate processing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant