KR102357266B1 - Ultrasonic therapy apparatus including micro-machined ultrasonic transducer array - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피부에 접촉하는 하부커버 및 상기 하부커버 상에 배치되며, 피부 내부의 적용 깊이에 따라 저주파 또는 고주파를 인가하는 제1 모듈 및 제2 모듈을 포함하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이로 형성된 초음파 테라피 장치에 관한 것이다. The present invention is a micro-machined ultrasound transducer (Micro-) comprising a lower cover in contact with the skin and a first module and a second module that are disposed on the lower cover and apply a low frequency or a high frequency depending on the depth of application inside the skin. Machined Ultrasonic Transducer) relates to an ultrasonic therapy device formed of an array.

Description

마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이를 포함하는 초음파 테라피 장치{ULTRASONIC THERAPY APPARATUS INCLUDING MICRO-MACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER ARRAY}ULTRASONIC THERAPY APPARATUS INCLUDING MICRO-MACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER ARRAY

본 발명은 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이를 포함하는 초음파 테라피 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피부 내부의 적용 깊이에 따라 저주파 또는 고주파를 인가하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이로 형성된 초음파 테라피 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an ultrasound therapy apparatus including a micro-machined ultrasound transducer array, and more particularly, to a micro-machined ultrasound transducer that applies a low frequency or high frequency depending on the depth of application inside the skin (Micro-machined Ultrasonic Transducer) It relates to an ultrasound therapy device formed in an array.

최근에는 고주파 또는 저주파를 이용하여 피부 미용이나 마사지 효과를 기대하는 장치들이 많이 제안 및 출시되고 있다. 이와 같이, 산업발전에 따라 생활이 향상되면서 피부 미용이나 건강 또는 바디 관리에 관련된 관심이 증대되고 있는 추세이며, 이러한 요구를 반영한 다양한 테라피(therapy) 기기들이 출시되고 있다.In recent years, many devices have been proposed and released using high frequency or low frequency to expect skin beauty or massage effects. As such, as life is improved along with industrial development, interest in skin beauty, health, or body care is increasing, and various therapy devices reflecting these needs are being released.

기존의 초음파 테라피 기기는 크게 가정용과 병원용으로 구분할 수 있다.Existing ultrasound therapy devices can be largely divided into household and hospital use.

가정용은 주로 1MHz 또는 3MHz 두가지 종류의 저주파 초음파를 사용하며, 단일 채널의 초음파 빔을 이용하는 것이므로, 가정에서 사용자들이 사용하기에 효과가 제한적이다. For home use, two types of low-frequency ultrasound are mainly 1MHz or 3MHz, and since a single-channel ultrasound beam is used, the effect is limited for users at home.

반면에, 병원용은 주로 저주파(1MHz 또는 3MHz) 및 고주파(10MHz) 초음파를 사용하며, 다수 채널의 초음파 빔을 사용하므로, 각 사용자의 피부 깊이에 맞춤형으로 빔의 초점을 제어하는 장점이 존재한다. 다만, 병원용으로 주로 사용되는 일명 하이푸(High Intensity Focused Ultrasonic, HIFU)는 비용이 비싸며, 사용자는 치료를 위해 필수적으로 병원을 방문해야 한다는 번거로움이 존재한다. On the other hand, hospital use mainly uses low-frequency (1 MHz or 3 MHz) and high-frequency (10 MHz) ultrasound, and uses multiple channels of ultrasound beams, so there is an advantage of controlling the focus of the beam customized to the skin depth of each user. However, a so-called HIFU (High Intensity Focused Ultrasonic, HIFU), which is mainly used for hospitals, is expensive and the user has the inconvenience of having to visit a hospital for treatment.

한국출원특허 제10-2017-0133177호(2017.10.13 출원)Korean Patent Application No. 10-2017-0133177 (Applied on October 13, 2017)

본 발명의 목적은 다채널의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이로 형성된 복수의 모듈을 이용하여 피부 내부의 적용 깊이로 고주파 또는 저주파의 초음파 빔을 집속시키는 초음파 테라피 장치를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an ultrasound therapy device for focusing a high-frequency or low-frequency ultrasound beam to an application depth inside the skin using a plurality of modules formed as a multi-channel micro-machined ultrasound transducer array want to

또한, 본 발명의 목적은 저가격의 단일칩 상에 형성된 복수 개의 모듈을 이용하여 사용자 맞춤형으로 고주파 또는 저주파를 집속시킴으로써, 가정용으로 개인 맞춤형 치료가 가능한 초음파 테라피 장치를 제공하고자 한다. In addition, an object of the present invention is to provide an ultrasound therapy apparatus capable of personalized treatment for home use by focusing high or low frequencies in a user-customized manner using a plurality of modules formed on a single chip at a low price.

본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치는 피부에 접촉하는 하부커버 및 상기 하부커버 상에 배치되며, 피부 내부의 적용 깊이에 따라 저주파 또는 고주파를 인가하는 제1 모듈 및 제2 모듈을 포함하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이로 형성된다.Ultrasonic therapy apparatus according to an embodiment of the present invention is disposed on the lower cover and the lower cover in contact with the skin, the micro-microphone including a first module and a second module for applying a low frequency or a high frequency depending on the depth of application inside the skin It is formed from an array of micro-machined ultrasonic transducers.

상기 초음파 테라피 장치는 복수의 독립 채널로 형성되고, 독립 채널 각각이 원형 또는 직선형의 형태로 배치된 상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이를 포함할 수 있다.The ultrasound therapy apparatus may include the micromachined ultrasound transducer array formed of a plurality of independent channels, each of which is arranged in a circular or linear shape.

상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이는 상기 독립 채널 각각에 공진 주파수가 서로 다르며, 저주파 또는 고주파가 각기 대응된 서로 다른 이종의 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈이 배치될 수 있다.In the micromachined ultrasound transducer array, the first module and the second module having different resonant frequencies are different from each other in each of the independent channels, and different types of the first module and the second module corresponding to the low frequency or the high frequency, respectively.

상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈은 서로 다른 공진 주파수의 저주파 또는 고주파를 인가하는 것으로, 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭을 가질 수 있다.The first module and the second module apply low or high frequencies of different resonant frequencies, and may have different thin film sizes, diameters, and widths.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치는 피부 내부로 저주파 또는 고주파가 인가되도록 상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이로 형성된 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.In addition, the ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a control unit for controlling the first module and the second module formed of the micro-machined ultrasound transducer array so that a low frequency or high frequency is applied to the inside of the skin. have.

상기 제어부는 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈로부터 인가되는 초음파 빔의 송신시간을 제어하여 피부 내부의 상기 적용 깊이로 초음파 빔을 집속시킬 수 있다.The controller may control the transmission time of the ultrasound beam applied from the first module and the second module to focus the ultrasound beam to the application depth inside the skin.

상기 제어부는 상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이를 형성하는 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈 중 적어도 하나 이상을 통해 피부 내부로 미세전류 및 LED 중 하나 이상을 초음파 빔과 동시에 인가할 수 있다.The controller may simultaneously apply one or more of a microcurrent and an LED into the skin through at least one of the first module and the second module forming the micromachined ultrasound transducer array, together with the ultrasound beam.

상기 제어부는 상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이로 형성된 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈 중 적어도 하나의 모듈로 5MHz 이하의 저주파를 인가하고, 다른 하나의 모듈로 5MHz 이상의 고주파를 인가할 수 있다.The control unit may apply a low frequency of 5 MHz or less to at least one of the first module and the second module formed of the micromachined ultrasonic transducer array, and apply a high frequency of 5 MHz or more to the other module.

상기 초음파 테라피 장치는 상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이의 능동소자로 PZT, ALN 압전소자 또는 정전형(Capacitance)를 사용할 수 있다.The ultrasound therapy apparatus may use a PZT, an ALN piezoelectric element, or a capacitance as an active element of the micromachined ultrasonic transducer array.

상기 하부커버는 피부 접촉을 위해 RTV(Room Temperature Vulcanizing), 페릴렌(Parylene) 및 PDMS(Poly(dimethylsiloxane), 폴리디메틸실록산) 중 적어도 어느 하나로 코팅된 것일 수 있다. The lower cover may be coated with at least one of Room Temperature Vulcanizing (RTV), Parylene, and Poly (dimethylsiloxane) (PDMS) for skin contact.

상기 초음파 테라피 장치는 탈모, 팔자 주름 또는 V자 주름을 완화시킬 수 있다.The ultrasonic therapy device may alleviate hair loss, nasolabial folds or V-shaped wrinkles.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치는 외부의 모바일 디바이스와 유/무선으로 통신하는 통신부를 더 포함할 수 있다.In addition, the ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a communication unit that communicates with an external mobile device by wire/wireless.

본 발명의 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이는 피부에 접촉하는 하부커버 상에서, 복수의 독립 채널로 형성되고, 독립 채널 각각이 원형 또는 직선형의 형태로 배치되며, 피부 내부의 적용 깊이에 따라 저주파 또는 고주파를 인가하는 제1 모듈 및 제2 모듈을 포함한다.The micro-machined ultrasound transducer array according to an embodiment of the present invention is formed of a plurality of independent channels on the lower cover in contact with the skin, and each of the independent channels is arranged in a circular or straight shape, and is applied to the depth of application inside the skin. It includes a first module and a second module for applying a low frequency or a high frequency according to the.

서로 다른 공진 주파수의 저주파 또는 고주파를 인가하는 것으로, 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭을 가질 수 있다. By applying low or high frequencies of different resonant frequencies, the thin films may have different sizes, diameters, and widths.

본 발명의 실시예에 따르면, 다채널의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이로 형성된 복수의 모듈을 이용하여 피부 내부의 적용 깊이로 고주파 또는 저주파의 초음파 빔을 집속시킬 수 있다. According to an embodiment of the present invention, a high-frequency or low-frequency ultrasound beam can be focused to an application depth inside the skin using a plurality of modules formed as a multi-channel micro-machined ultrasound transducer array. .

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 저가격의 단일칩 상에 형성된 복수 개의 모듈을 이용하여 사용자 맞춤형으로 고주파 또는 저주파를 집속시킴으로써, 가정용으로 개인 맞춤형 치료가 가능할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, by focusing a high frequency or low frequency in a user-customized manner using a plurality of modules formed on a single chip at a low price, personalized treatment may be possible for home use.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 초음파 테라피 장치와 모바일 디바이스를 연계하여 개인 피부정보에 따른 개인 맞춤형 치료가 가능하며, 병원 방문 없이도 가정에서 장시간 사용할 수 있다. In addition, according to an embodiment of the present invention, personalized treatment according to personal skin information is possible by linking the ultrasound therapy apparatus and a mobile device, and it can be used for a long time at home without visiting a hospital.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치의 사시도를 도시한 것이다.
도 2 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이의 예를 도시한 것이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치를 이용한 초음파 빔의 집속 예를 설명하기 위해 도시한 것이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치와 연동되는 모바일 디바이스의 예를 설명하기 위해 도시한 것이다.
1 is a perspective view of an ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 to 6 show examples of micromachined ultrasound transducer arrays according to an embodiment of the present invention.
7 and 8 are diagrams illustrating an example of focusing an ultrasound beam using an ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 is a diagram for explaining an example of a mobile device interworking with an ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited or limited by the examples. Also, like reference numerals in each figure denote like members.

또한, 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 시청자, 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. In addition, terms used in this specification are terms used to properly express preferred embodiments of the present invention, which may vary depending on the intention of a viewer or operator or customs in the field to which the present invention belongs. Accordingly, definitions of these terms should be made based on the content throughout this specification.

본 발명의 실시예들은, 박막 크기가 서로 다른 2개의 모듈을 다채널 즉, 멀티채널의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이로 형성함으로써, 피부 내부의 적용 깊이로 고주파 또는 저주파의 초음파 빔을 집속시키는 가정용의 초음파 테라피 장치를 특징으로 한다. Embodiments of the present invention, by forming two modules with different thin film sizes as a multi-channel, that is, a multi-channel micro-machined ultrasonic transducer array, high frequency or low frequency to the depth of application inside the skin It features an ultrasonic therapy device for home use that focuses an ultrasonic beam of

본 발명에 따른 초음파 테라피 장치는 단일칩에 원형 또는 직선형으로 배치된 복수의 독립 채널을 포함하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이를 이용하여 전자적 시간 지연에 따른 깊이별 초점 제어가 가능하며, 피부 내부의 적용 깊이로 고주파 또는 저주파의 초음파 빔을 집속시키므로, 탈모, 팔자 주름 또는 V자 주름을 완화시키는 효과를 제공한다. The ultrasound therapy apparatus according to the present invention enables focus control by depth according to electronic time delay using a micro-machined ultrasound transducer array including a plurality of independent channels arranged in a circle or a straight line on a single chip, and By focusing a high-frequency or low-frequency ultrasound beam to an application depth, it provides an effect of alleviating hair loss, nasolabial folds, or V-shaped wrinkles.

이하에서는 도 1 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 9 .

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치의 사시도를 도시한 것이다.1 is a perspective view of an ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치는 피부 내부의 적용 깊이에 따라 저주파 또는 고주파를 인가하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이로 형성된다. Referring to Figure 1, the ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention is formed of a micro-machined ultrasound transducer (Micro-machined Ultrasonic Transducer) array that applies a low frequency or high frequency depending on the depth of application inside the skin.

이를 위해, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 하부커버(120) 및 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함한다.To this end, the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a lower cover 120 and a micromachined ultrasound transducer array 200 .

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 사용자가 휴대 및 손으로 취부하기 용이한 상부커버(110) 및 상부커버(110)에 조립되어 피부에 접촉하며, 중앙에 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)가 형성되는 하부커버(120)로 이루어진 본체를 포함한다. 이 때, 하부커버(120)는 피부 접촉을 위해 RTV(Room Temperature Vulcanizing), 페릴렌(Parylene) 및 PDMS(Poly(dimethylsiloxane), 폴리디메틸실록산) 중 적어도 어느 하나로 코팅될 수 있다. Referring to Figure 1, the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is assembled to the upper cover 110 and the upper cover 110, which are easy for the user to carry and attach by hand, and contact the skin, and the center It includes a main body made of a lower cover 120 in which the micro-machined ultrasonic transducer array 200 is formed. In this case, the lower cover 120 may be coated with at least one of Room Temperature Vulcanizing (RTV), Parylene, and Poly (dimethylsiloxane) (PDMS) for skin contact.

실시예에 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)의 본체에는 초음파 테라피 장치(100)의 동작을 온(On)/오프(Off)하는 전원부, 사용자의 선택 입력에 따라 저주파 또는 고주파를 변경하거나, 테라피 시간을 조정하는 수신부, 피부로 인가되는 저주파 또는 고주파에 대응하는 LED 색상을 출력하는 출력부 및 테라피 잔여 시간을 디스플레이하는 디스플레이부 중 적어도 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. According to an embodiment, in the main body of the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, a power supply unit that turns on/off the operation of the ultrasound therapy apparatus 100, a low-frequency or It may include at least any one or more of a receiving unit for changing a high frequency or adjusting a therapy time, an output unit for outputting an LED color corresponding to a low frequency or high frequency applied to the skin, and a display unit for displaying the remaining time for therapy.

본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(Micro-machined Ultrasonic Transducer Array, 200)는 피부에 접촉하는 하부커버(120) 상에 배치되며, 피부 내부의 적용 깊이에 따라 저주파 또는 고주파를 인가하는 제1 모듈 및 제2 모듈을 포함한다.Micro-machined Ultrasonic Transducer Array (200) of the ultrasonic therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is disposed on the lower cover 120 in contact with the skin, application inside the skin It includes a first module and a second module for applying a low frequency or a high frequency according to the depth.

본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)의 능동소자로 PZT, ALN 압전소자 또는 정전형(Capacitance)를 사용할 수 있다. 예를 들어, 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 어레이의 복수의 제1 모듈 및 제2 모듈을 포함하는 압전 MUT(pMUT)일 수 있다. The ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may use a PZT, an ALN piezoelectric element, or a capacitance as an active element of the micromachined ultrasonic transducer array 200 . For example, the micromachined ultrasound transducer array 200 may be a piezoelectric MUT (pMUT) including a plurality of first and second modules of the array.

본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 복수의 독립 채널로 형성된 멀티채널을 포함하며, 독립 채널 각각이 원형 또는 직선형의 형태로 배치된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 독립 채널 각각에 공진 주파수가 서로 다르며, 저주파 또는 고주파가 각기 대응된 서로 다른 이종의 제1 모듈 및 제2 모듈이 배치된 형태일 수 있다. 이 때, 제1 모듈 및 제2 모듈은 서로 다른 공진 주파수의 저주파 또는 고주파를 인가하는 것으로, 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭을 가진다. The ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a multi-channel formed of a plurality of independent channels, and each of the independent channels includes a micromachined ultrasound transducer array 200 arranged in a circular or straight shape. can do. The micromachined ultrasound transducer array 200 may have different resonant frequencies in each independent channel, and may be in a form in which different types of first and second modules corresponding to low or high frequencies are disposed. In this case, the first module and the second module apply low or high frequencies of different resonant frequencies, and have different thin film sizes, diameters, and widths.

보다 구체적으로, 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수 개의 제1 모듈 및 제2 모듈이 원형 또는 직선형으로 배치되는 복수 개의 독립 채널로 형성된 형태일 수 있다. 예를 들어, 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 서로 다른 3개의 독립 채널로 형성될 수 있으며, 3개의 독립 채널 각각은 복수 개의 제1 모듈 및 제2 모듈이 동시에 배치되거나, 번갈아가며 순차적으로 배열된 형태일 수 있다. More specifically, the micromachined ultrasound transducer array 200 may be formed in a plurality of independent channels in which a plurality of first modules and a plurality of second modules are arranged in a circular or linear shape. For example, the micromachined ultrasound transducer array 200 may be formed of three different independent channels, and each of the three independent channels includes a plurality of first and second modules disposed at the same time or alternately sequentially. It may be in an arranged form.

본 발명의 실시예에서, 제1 모듈 및 제2 모듈은 원형, 삼각형, 사각형 또는 다각형의 형상일 수 있으며, 저주파 또는 고주파 인가에 따라 서로 다른 박막의 크기, 직경 및 폭을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 모듈이 3MHz의 저주파를 인가하고, 제2 모듈이 10MHz의 고주파를 인가한다고 가정하는 경우, 제1 모듈의 박막 직경이 제2 모듈의 박막 직경보다 크거나, 제1 모듈의 크기 및 폭이 제2 모듈의 크기 및 폭보다 클 수 있다. 즉, 제1 모듈의 송신원의 직경이 제2 모듈의 송신원의 직경보다 클 수 있다.
In an embodiment of the present invention, the first module and the second module may have a circular, triangular, quadrangular or polygonal shape, and may have different sizes, diameters and widths of thin films according to low or high frequency applications. For example, if it is assumed that the first module applies a low frequency of 3 MHz and the second module applies a high frequency of 10 MHz, the diameter of the thin film of the first module is greater than the diameter of the thin film of the second module, or the The size and width may be greater than the size and width of the second module. That is, the diameter of the transmission source of the first module may be larger than the diameter of the transmission source of the second module.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 피부 내부로 저주파 또는 고주파가 인가되도록 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)로 형성된 제1 모듈 및 제2 모듈을 제어하는 제어부(130)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , an ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention controls a first module and a second module formed of a micro-machined ultrasound transducer array 200 so that a low frequency or high frequency is applied to the inside of the skin. It may include a control unit 130 that

제어부(130)는 초음파 테라피 장치(100) 내부에 위치하며, 수신부(미도시)를 통해 사용자의 선택 입력에 따라 수신되는 저주파 또는 고주파의 변경 또는 사용자 맞춤형 테라피 모드에 따라서 제1 모듈 및 제2 모듈의 동작을 제어할 수 있다. 예를 들면, 제어부(130)는 서로 다른 배치 형태의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)로 형성된 제1 모듈 및 제2 모듈 중 적어도 하나의 모듈로 5MHz 이하의 저주파를 인가하고, 다른 하나의 모듈로 5MHz 이상의 고주파를 인가하며, 제1 모듈 및 제2 모듈로부터 인가되는 초음파 빔의 송신시간을 제어하여 피부 내부의 적용 깊이로 초음파 빔을 집속시킬 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 복수 개의 제1 모듈 및 제2 모듈을 포함하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 이용하며, 저주파 또는 고주파의 초음파 빔과 초음파 빔의 송신시간을 제어하여 피부 내부의 진피 또는 지방층으로 초음파 빔을 집속시키는 것을 특징으로 한다. The control unit 130 is located inside the ultrasound therapy apparatus 100, and the first module and the second module according to the change of the low frequency or high frequency received according to the user's selection input through the receiving unit (not shown) or the user-customized therapy mode. operation can be controlled. For example, the control unit 130 applies a low frequency of 5 MHz or less to at least one of the first module and the second module formed of the micro-machined ultrasonic transducer array 200 of different arrangement types, and the other By applying a high frequency of 5 MHz or more modulo, and controlling the transmission time of the ultrasound beam applied from the first module and the second module, it is possible to focus the ultrasound beam to an application depth inside the skin. The ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention uses a micro-machined ultrasound transducer array 200 including a plurality of first and second modules, and includes a low-frequency or high-frequency ultrasound beam and an ultrasound beam. It is characterized in that the ultrasound beam is focused on the dermis or fat layer inside the skin by controlling the transmission time.

또한, 제어부(130)는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 형성하는 제1 모듈 및 제2 모듈 중 적어도 하나 이상을 통해 피부 내부로 미세전류 및 LED 중 하나 이상을 초음파 빔과 동시에 인가할 수 있다. 예를 들면, 제어부(130)는 제1 모듈 및 제2 모듈을 통해 저주파 또는 고주파의 초음파 빔을 인가할 뿐 아니라, 미세전류 및 LED 중 적어도 하나 이상을 초음파 빔과 동시에 인가하여 보다 효과적인 테라피 성능을 제공할 수 있다.In addition, the control unit 130 may simultaneously apply one or more of a microcurrent and an LED into the skin through at least one of the first module and the second module forming the micromachined ultrasound transducer array 200 with the ultrasound beam. can For example, the controller 130 not only applies a low-frequency or high-frequency ultrasound beam through the first module and the second module, but also applies at least one or more of microcurrent and LED simultaneously with the ultrasound beam to provide more effective therapy performance. can provide

또한, 제어부(130)는 테라피 모드 예를 들어, 기본 모드, 탈모 모드, 팔자 주름 모드 또는 V자 주름 모드에 따라 다채널로 형성된 복수 개의 제1 모듈 및 제2 모듈을 통해 저주파 또는 고주파를 서로 다르게 인가하며, 저주파 또는 고주파와 함께 미세전류 및 LED를 동시에 인가함으로써, 모드에 적합하고, 효율적인 테라피 성능을 제공할 수 있다. 나아가, 제어부(130)는 모드에 따라 피부 내부의 진피 또는 지방층으로 집속되는 초음파 빔을 조절할 수 있으며, 진피 또는 지방층으로의 깊이별 집속을 조절할 수 있다. In addition, the control unit 130 is a therapy mode, for example, a basic mode, a hair loss mode, a nasolabial wrinkle mode or a V-shaped wrinkle mode through a plurality of first and second modules formed in a multi-channel, low-frequency or high-frequency differently from each other By applying a microcurrent and an LED at the same time with a low frequency or a high frequency, it is suitable for the mode, and it is possible to provide efficient therapy performance. Furthermore, the controller 130 may control the ultrasound beam focused to the dermis or fat layer inside the skin according to the mode, and may control the focus to the dermis or fat layer by depth.

예를 들면, 제1 모듈은 저주파를 인가하고, 제2 모듈은 고주파를 인가하는 경우, 다채널로 형성된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)에서, 제어부(130)는 제1 모듈들만 저주파를 인가하도록 제어하거나, 제2 모듈들만 고주파를 인가하도록 제어할 수 있으며, 제1 모듈 및 제2 모듈을 동시에 작동시켜 저주파 및 고주파가 동시에 인가되도록 제어할 수도 있다. 이에 따라, 제어부(130)는 멀티채널로 형성된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 제어하여 피부 내부로의 초음파 빔을 집속시킬 수 있다. For example, when the first module applies a low frequency and the second module applies a high frequency, in the micro-machined ultrasound transducer array 200 formed in multi-channels, the controller 130 controls only the first modules to apply a low frequency. It is also possible to control to apply, or only the second modules to apply the high frequency, and to operate the first module and the second module at the same time to control so that the low frequency and the high frequency are applied at the same time. Accordingly, the controller 130 may focus the ultrasound beam into the skin by controlling the micromachined ultrasound transducer array 200 formed as a multi-channel.

도 2 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이의 예를 도시한 것이다.2 to 6 show examples of micromachined ultrasound transducer arrays according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 하부커버(120) 상에 복수 개의 제1 모듈 및 제2 모듈을 포함하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함한다.The ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a micromachined ultrasound transducer array 200 including a plurality of first and second modules on the lower cover 120 .

이하의 도 2 내지 도 6에서는 복수 개의 제1 모듈 및 제2 모듈이 서로 다른 형태로, 서로 다르게 배치되어 형성되는 다양한 실시예의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)에 대해 설명하고자 한다.Hereinafter, in FIGS. 2 to 6 , a plurality of first modules and a plurality of second modules in different shapes will be described with respect to the micromachined ultrasound transducer array 200 of various embodiments in which they are disposed and formed differently.

도 2를 참조하면, 제1 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되며, 도 2에 도시된 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각은 원형의 독립된 채널인 것을 특징으로 한다. 독립 채널 각각은 원형 형태로 배치되고, 채널 1, 채널 2 및 채널 3의 순서로 원형의 직경이 줄어들며, 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 서로 다른 직경을 가지는 복수의 독립 채널을 포함할 수 있다. 이에, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 서로 다른 독립 채널로 형성된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 사용함으로써, 각 채널에서 서로 다른 주파수 대를 사용할 수 있다. Referring to FIG. 2 , the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the first embodiment is formed of a plurality of independent channels, and each of the channels 1, 2 and 3 shown in FIG. 2 is a circular independent channel. characterized by being. Each of the independent channels is arranged in a circular shape, and the diameter of the circle is reduced in the order of Channel 1, Channel 2, and Channel 3, and the micromachined ultrasound transducer array 200 may include a plurality of independent channels having different diameters. can Accordingly, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the embodiment of the present invention may use a different frequency band in each channel by using the micromachined ultrasound transducer array 200 formed of different independent channels.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 원형의 형태인 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 각 독립 채널에 동시에 배치된 형태일 수 있다. 제1 실시예에서는 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각에 한 개의 제1 모듈(210)과 두 개의 제2 모듈이 번갈아가며 동시에 배치된 형태일 수 있다. 이로 인하여, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 같은 채널에 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210) 및 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)이 동시에 배치된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2 , the micromachined ultrasonic transducer array 200 according to the first embodiment is formed of a plurality of independent channels, and has a circular shape of a first module 210 and a second module 220 . It may be of a form simultaneously disposed on each independent channel. In the first embodiment, one first module 210 and two second modules may be alternately disposed on each of channel 1, channel 2, and channel 3 at the same time. For this reason, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the embodiment of the present invention is a micro first module 210 for applying a low frequency of 3 MHz and a second module 220 for applying a high frequency of 10 MHz to the same channel are disposed at the same time. It may include a machined ultrasound transducer array 200 .

제1 실시예에서, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 원형의 형태이며, 일정 거리의 간격을 사이로 형성될 수 있다. 이 때, 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210)은 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)에 비해 보다 큰 박막 크기, 직경 및 폭을 가지는 것을 특징으로 하며, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭으로 인해 서로 다른 주파수를 인가할 수 있다. In the first embodiment, the first module 210 and the second module 220 may have a circular shape, and may be formed with a predetermined distance therebetween. At this time, the first module 210 that applies a low frequency of 3 MHz is characterized in that it has a larger thin film size, diameter and width than the second module 220 that applies a high frequency of 10 MHz, and the first module 210 ) and the second module 220 may apply different frequencies due to different thin film sizes, diameters, and widths.

즉, 본 발명의 제1 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 각 채널별로 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 동시에 배치된 이종주파수 셀의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. That is, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention is formed of a plurality of independent channels, and the first module 210 and the second module 220 for each channel of the heterogeneous frequency cells are arranged at the same time. It may include a micromachined ultrasound transducer array 200 .

도 3을 참조하면, 제2 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 도 2에 도시된 제1 실시예와 동일하게 복수의 독립 채널로 형성되며, 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각은 원형의 독립된 채널인 것을 특징으로 한다. Referring to FIG. 3 , the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the second embodiment is formed of a plurality of independent channels, as in the first embodiment shown in FIG. 2 , and includes a channel 1, a channel 2 and a channel. 3 Each is characterized as a circular independent channel.

도 3에 도시된 바와 같이, 제2 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 원형의 형태인 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 서로 다른 독립 채널에 번갈아 배치된 형태일 수 있다. 제2 실시예에서 채널 1에는 복수 개의 제1 모듈(210)만 배치되고, 채널 2에는 복수 개의 제2 모듈(220)만 배치되며, 채널 3에는 복수 개의 제1 모듈(210)만 배치된 형태일 수 있다. 이로 인하여, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210)로만 형성된 독립 채널 및 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)로만 형성된 독립 채널의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. 다만, 제2 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 실시예에 따라서, 채널 1 및 채널 3에는 제2 모듈(220)만 배치되고, 채널 2에는 제1 모듈(210)만 배치된 형태일 수도 있다. As shown in FIG. 3 , the micromachined ultrasonic transducer array 200 according to the second embodiment is formed of a plurality of independent channels, and has a circular shape of a first module 210 and a second module 220 . These may be alternately arranged in different independent channels. In the second embodiment, only a plurality of first modules 210 are disposed in channel 1, only a plurality of second modules 220 are disposed in channel 2, and only a plurality of first modules 210 are disposed in channel 3 can be For this reason, the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention has an independent channel formed only with the first module 210 that applies a low frequency of 3 MHz and an independent channel formed only with the second module 220 that applies a high frequency of 10 MHz. may include a micromachined ultrasound transducer array 200 of However, in the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the second embodiment, only the second module 220 is disposed in the channels 1 and 3, and only the first module 210 is disposed in the channel 2 according to the embodiment. It may be in an arranged form.

제2 실시예에서, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 원형의 형태이며, 일정 거리의 간격을 사이로 형성될 수 있다. 이 때, 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210)은 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)에 비해 보다 큰 박막 크기, 직경 및 폭을 가지는 것을 특징으로 하며, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭으로 인해 서로 다른 주파수를 인가할 수 있다. In the second embodiment, the first module 210 and the second module 220 have a circular shape, and may be formed with an interval of a predetermined distance therebetween. At this time, the first module 210 that applies a low frequency of 3 MHz is characterized in that it has a larger thin film size, diameter and width than the second module 220 that applies a high frequency of 10 MHz, and the first module 210 ) and the second module 220 may apply different frequencies due to different thin film sizes, diameters, and widths.

즉, 본 발명의 제2 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 서로 다른 채널에 제1 모듈(210) 또는 제2 모듈(220)이 번갈아 배치된 이종주파수 셀의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. That is, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the second embodiment of the present invention is formed of a plurality of independent channels, and heterogeneous frequency cells in which the first module 210 or the second module 220 are alternately arranged in different channels. may include a micromachined ultrasound transducer array 200 of

도 4를 참조하면, 제3 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 도 2 및 도 3에 도시된 제1 실시예 및 제2 실시예와 동일하게 복수의 독립 채널로 형성되며, 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각은 원형의 독립된 채널인 것을 특징으로 한다. Referring to FIG. 4 , the micromachined ultrasonic transducer array 200 according to the third embodiment is formed of a plurality of independent channels in the same manner as in the first and second embodiments shown in FIGS. 2 and 3 , , each of channel 1, channel 2 and channel 3 is a circular independent channel.

도 4에 도시된 바와 같이, 제3 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 환형의 형태인 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 서로 다른 독립 채널에 번갈아 배치된 형태일 수 있다. 이 때, 제3 실시예에서의 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 제2 실시예에서의 원형이 아닌 환형의 셀로 배치되는 것을 특징으로 한다. 예를 들면, 제3 실시예에서 채널 1에는 제1 모듈(210)이 환형으로 배치되고, 채널 2에는 제2 모듈(220)이 환형으로 배치되며, 채널 3에는 제1 모듈(210)이 환형으로 배치된 형태일 수 있다. 이로 인하여, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210) 및 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220) 각각이 환형의 형태로 서로 다른 채널에 번갈아 배치된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. 다만, 제3 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 실시예에 따라서, 채널 1 및 채널 3에는 제2 모듈(220)이 배치되고, 채널 2에는 제1 모듈(210)이 배치된 형태일 수도 있다. As shown in FIG. 4 , the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the third embodiment is formed of a plurality of independent channels, and has an annular first module 210 and a second module 220 . These may be alternately arranged in different independent channels. In this case, the first module 210 and the second module 220 in the third embodiment are characterized in that they are arranged in a non-circular, non-circular cell in the second embodiment. For example, in the third embodiment, the first module 210 is annularly arranged in the channel 1, the second module 220 is arranged in an annular shape in the channel 2, and the first module 210 is annularly arranged in the channel 3 It may be in a form arranged as For this reason, the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention has a first module 210 for applying a low frequency of 3 MHz and a second module 220 for applying a high frequency of 10 MHz, respectively, in an annular shape. It may include micromachined ultrasound transducer arrays 200 alternately disposed in the channel. However, in the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the third embodiment, the second module 220 is disposed in channels 1 and 3, and the first module 210 is disposed in the channel 2 according to the embodiment. It may be in an arranged form.

제3 실시예에서, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 환형의 형태이다. 이 때, 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210)은 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)에 비해 보다 큰 박막 크기, 직경 및 폭을 가지는 것을 특징으로 하며, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭으로 인해 서로 다른 주파수를 인가할 수 있다. In the third embodiment, the first module 210 and the second module 220 are in the form of an annular shape. At this time, the first module 210 that applies a low frequency of 3 MHz is characterized in that it has a larger thin film size, diameter and width than the second module 220 that applies a high frequency of 10 MHz, and the first module 210 ) and the second module 220 may apply different frequencies due to different thin film sizes, diameters, and widths.

즉, 본 발명의 제3 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 서로 다른 채널에 환형 형태의 제1 모듈(210) 또는 제2 모듈(220)이 번갈아 배치된 이종주파수 셀의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. That is, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the third embodiment of the present invention is formed of a plurality of independent channels, and the annular first module 210 or the second module 220 is alternately arranged in different channels. It may include a micromachined ultrasound transducer array 200 of heterogeneous frequency cells.

도 5를 참조하면, 제4 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되며, 도 5에 도시된 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각은 직선형의 독립된 채널인 것을 특징으로 한다. 독립 채널 각각은 직선형 형태로 배치되며, 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 오른쪽부터 채널 1, 채널 2 및 채널 3의 순서로 순차적으로 배치된 복수의 독립 채널을 포함할 수 있다. 이에, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 서로 다른 독립 채널로 형성된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 사용함으로써, 각 채널에서 서로 다른 주파수 대를 사용할 수 있다.Referring to FIG. 5 , the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the fourth embodiment is formed of a plurality of independent channels, and each of the channels 1, 2, and 3 shown in FIG. 5 is a linear independent channel. characterized by being. Each of the independent channels is arranged in a linear shape, and the micromachined ultrasound transducer array 200 may include a plurality of independent channels sequentially arranged in the order of Channel 1, Channel 2, and Channel 3 from the right. Accordingly, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the embodiment of the present invention may use a different frequency band in each channel by using the micromachined ultrasound transducer array 200 formed of different independent channels.

도 5에 도시된 바와 같이, 제4 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 원형의 형태인 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 각 독립 채널에 직렬로 번갈아가며 배치된 형태일 수 있다. 제4 실시예에서는 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각에 복수 개의 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 직렬로 번갈아가며 배치된 형태일 수 있다. 이로 인하여 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210) 및 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)이 직렬로 번갈아 배치된 독립 채널의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. 다만, 제4 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 실시예에 따라서, 직렬 배치된 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)의 좌/우 위치가 바뀔 수도 있다. As shown in FIG. 5 , the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the fourth embodiment is formed of a plurality of independent channels, and a first module 210 and a second module 220 in a circular shape. It may be arranged alternately in series on each of the independent channels. In the fourth embodiment, a plurality of first modules 210 and second modules 220 may be alternately arranged in series on each of channel 1, channel 2, and channel 3, respectively. For this reason, the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is an independent channel in which the first module 210 for applying a low frequency of 3 MHz and the second module 220 for applying a high frequency of 10 MHz are alternately arranged in series. It may include a micromachined ultrasound transducer array 200 . However, in the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the fourth embodiment, the left/right positions of the first module 210 and the second module 220 arranged in series may be changed depending on the embodiment.

제4 실시예에서, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 원형의 형태이며, 일직선 상에서 일정 거리의 간격을 사이로 형성될 수 있다. 이 때, 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210)은 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)에 비해 보다 큰 박막 크기, 직경 및 폭을 가지는 것을 특징으로 하며, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭으로 인해 서로 다른 주파수를 인가할 수 있다. In the fourth embodiment, the first module 210 and the second module 220 may have a circular shape, and may be formed with a predetermined distance between them on a straight line. At this time, the first module 210 that applies a low frequency of 3 MHz is characterized in that it has a larger thin film size, diameter and width than the second module 220 that applies a high frequency of 10 MHz, and the first module 210 ) and the second module 220 may apply different frequencies due to different thin film sizes, diameters, and widths.

즉, 본 발명의 제4 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 각 채널별로 제1 모듈(210) 또는 제2 모듈(220)이 직렬로 번갈아가며 배치된 이종주파수 셀의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. 제4 실시예에서는 가로 방향만 1차원(1D) 빔포커싱이 가능할 수 있다. That is, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the fourth embodiment of the present invention is formed of a plurality of independent channels, and the first module 210 or the second module 220 for each channel is alternately arranged in series. It may include a micromachined ultrasound transducer array 200 of frequency cells. In the fourth embodiment, one-dimensional (1D) beam focusing may be possible only in the horizontal direction.

도 6을 참조하면, 제5 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되며, 도 6에 도시된 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각은 직선형의 독립된 채널인 것을 특징으로 한다. 독립 채널 각각은 직선형 형태로 배치되며, 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 오른쪽부터 채널 1, 채널 2 및 채널 3의 순서로 순차적으로 배치된 복수의 독립 채널을 포함할 수 있다. 이에, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 서로 다른 독립 채널로 형성된 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 사용함으로써, 각 채널에서 서로 다른 주파수 대를 사용할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the fifth embodiment is formed of a plurality of independent channels, and each of the channels 1, 2, and 3 shown in FIG. 6 is a linear independent channel. characterized by being. Each of the independent channels is arranged in a linear shape, and the micromachined ultrasound transducer array 200 may include a plurality of independent channels sequentially arranged in the order of Channel 1, Channel 2, and Channel 3 from the right. Accordingly, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the embodiment of the present invention may use a different frequency band in each channel by using the micromachined ultrasound transducer array 200 formed of different independent channels.

도 6에 도시된 바와 같이, 제5 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 사각형의 형태인 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 각 독립 채널에 직렬로 번갈아가며 배치된 형태일 수 있다. 제5 실시예에서는 채널 1, 채널 2 및 채널 3 각각에 사각 형상의 직선형인 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 직렬로 번갈아가며 배치된 형태일 수 있다. 이로 인하여 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210) 및 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)이 직렬로 번갈아 배치된 독립 채널의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. 다만, 제5 실시예에 따른 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)는 실시예에 따라서, 직렬 배치된 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)의 좌/우 위치가 바뀔 수도 있다. 나아가, 제5 실시예는 제3 실시예와 유사하게 독립된 사각형 형태의 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)이 아닌, 이어진 직선형 형상을 나타내는 것을 특징으로 한다. As shown in FIG. 6 , the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the fifth embodiment is formed of a plurality of independent channels, and a first module 210 and a second module 220 in the form of a rectangle. It may be arranged alternately in series on each of the independent channels. In the fifth embodiment, the first module 210 and the second module 220 having a rectangular shape may be alternately arranged in series on each of the channels 1, 2, and 3, respectively. For this reason, the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is an independent channel in which the first module 210 for applying a low frequency of 3 MHz and the second module 220 for applying a high frequency of 10 MHz are alternately arranged in series. It may include a micromachined ultrasound transducer array 200 . However, in the micromachined ultrasound transducer array 200 according to the fifth embodiment, the left/right positions of the first module 210 and the second module 220 arranged in series may be changed depending on the embodiment. Furthermore, the fifth embodiment is characterized in that it exhibits a continuous linear shape, rather than the first module 210 and the second module 220 in the form of an independent square similar to the third embodiment.

제5 실시예에서, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 사각 형상의 직선형 형태이며, 일직선 상으로 형성될 수 있다. 이 때, 3MHz의 저주파를 인가하는 제1 모듈(210)은 10MHz의 고주파를 인가하는 제2 모듈(220)에 비해 보다 큰 박막 크기, 직경 및 폭을 가지는 것을 특징으로 하며, 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 서로 다른 박막 크기, 직경 및 폭으로 인해 서로 다른 주파수를 인가할 수 있다. 제5 실시예에서의 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)은 정사각 및 직사각형의 형태일 수 있다. In the fifth embodiment, the first module 210 and the second module 220 may have a rectangular linear shape, and may be formed in a straight line. At this time, the first module 210 that applies a low frequency of 3 MHz is characterized in that it has a larger thin film size, diameter and width than the second module 220 that applies a high frequency of 10 MHz, and the first module 210 ) and the second module 220 may apply different frequencies due to different thin film sizes, diameters, and widths. The first module 210 and the second module 220 in the fifth embodiment may be in the form of a square or a rectangle.

즉, 본 발명의 제5 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 복수의 독립 채널로 형성되고, 각 채널별로 제1 모듈(210) 또는 제2 모듈(220)이 직렬로 번갈아 배치된 이종주파수 셀의 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이(200)를 포함할 수 있다. 제5 실시예에서는 가로 방향만 1차원(1D) 빔포커싱이 가능할 수 있다.That is, the ultrasound therapy apparatus 100 according to the fifth embodiment of the present invention is formed of a plurality of independent channels, and heterogeneous frequencies in which the first module 210 or the second module 220 are alternately arranged in series for each channel. It may include a micromachined ultrasound transducer array 200 of cells. In the fifth embodiment, one-dimensional (1D) beam focusing may be possible only in the horizontal direction.

도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치를 이용한 초음파 빔의 집속 예를 설명하기 위해 도시한 것이다.7 and 8 are diagrams illustrating an example of focusing an ultrasound beam using an ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention.

보다 상세하게는, 도 7은 기존의 벌크 PZT를 이용하여 피부 내부에 집속되는 초음파 빔의 예를 도시한 것이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치를 이용하여 피부 내부에 집속되는 초음파 빔의 예를 도시한 것이다. More specifically, FIG. 7 shows an example of an ultrasound beam focused inside the skin using a conventional bulk PZT, and FIG. 8 is an ultrasound beam focused inside the skin using an ultrasound therapy device according to an embodiment of the present invention. An example of an ultrasound beam is shown.

도 7을 참조하면, 기존의 벌크 PZT(Lead zirconate titanate)는 어코스틱 임피던스 매칭층이 필요하여 주파수가 다르면 별도의 두께가 필요하고, 이종주파수를 집적하기 어렵다. 이로 인하여 기존의 벌크 PZT는 두께 가공 정밀도가 낮아 고주파를 인가하기 어렵다는 한계가 존재한다. 이에, 도 7(a)에 도시된 바와 같이, 단일 채널의 벌크 PZT는 초점이 없으며, 초점을 형성하기 위해서는 도 7(b)에 도시된 바와 같이, 렌즈가 필요하다. 다만, 기존의 벌크 PZT에 렌즈를 포함하는 경우, 고정된 단일 초점만 가능하다는 한계가 존재한다.Referring to FIG. 7 , the conventional bulk lead zirconate titanate (PZT) requires an acoustic impedance matching layer, so a separate thickness is required when the frequencies are different, and it is difficult to integrate different frequencies. Due to this, the existing bulk PZT has a limitation in that it is difficult to apply a high frequency due to low thickness processing precision. Accordingly, as shown in FIG. 7( a ), a single-channel bulk PZT has no focus, and a lens is required to form a focus, as shown in FIG. 7( b ). However, when a lens is included in the existing bulk PZT, there is a limitation that only a fixed single focus is possible.

도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 pMUT(Piezo Micro-machined Ultrasonic Transducer)를 이용하여 송신인가 전압 위상차 제어를 통해 피부 내부로의 깊이별 가변초점이 가능하다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 제1 모듈(210) 및 제2 모듈(220)을 포함하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이의 멀티채널을 이용하여 저주파 또는 고주파의 전압 위상차 인가가 가능함으로써, 피부 내부의 적용 깊이에 따라 진피 또는 지방층으로 초음파 빔의 단거리 초점 또는 장거리 초점의 집속이 가능하다. Referring to FIG. 8 , the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention uses a piezo micro-machined ultrasonic transducer (pMUT) to control the phase difference of the applied voltage to the inside of the skin. . That is, the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention uses a multi-channel micro-machined ultrasound transducer array including a first module 210 and a second module 220 to a low-frequency or high-frequency voltage. By enabling the phase difference application, it is possible to focus the ultrasound beam into a short-range focus or a long-range focus into the dermis or fat layer depending on the depth of application inside the skin.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치와 연동되는 모바일 디바이스의 예를 설명하기 위해 도시한 것이다.9 is a diagram for explaining an example of a mobile device interworking with an ultrasound therapy apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 테라피 장치(100)는 네트워크를 통해서 사용자가 소지하는 모바일 디바이스(300)와 데이터 또는 제어 커맨드를 송수신할 수 있다.Referring to FIG. 9 , the ultrasound therapy apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may transmit/receive data or control commands to and from a mobile device 300 possessed by a user through a network.

사용자는 모바일 디바이스(300)를 통해 개인의 피부정보를 입력할 수 있다. 예를 들어, 건성, 지성 또는 복합성의 피부 타입 정보, 나이 정보, 피부과 관리 이력 정보 및 화장품 사용 이력 정보 중 적어도 어느 하나 이상의 피부정보를 입력할 수 있다. 이에, 모바일 디바이스(300)는 개인의 피부정보와 모바일 디바이스(300)를 통해 측정되는 건조 단계 정보 및 주름 깊이 정보 중 적어도 어느 하나 이상의 측정 정보를 기본 토대로 하여 사용자 맞춤형 테라피 모드를 제안할 수 있다. 이에, 초음파 테라피 장치(100)는 모바일 디바이스(300)로부터 수신되는 사용자 맞춤형 테라피 모드에 따라 테라피 성능을 제공할 수 있다. The user may input personal skin information through the mobile device 300 . For example, skin information of at least any one of dry, oily, or combination skin type information, age information, dermatology management history information, and cosmetic use history information may be input. Accordingly, the mobile device 300 may suggest a user-customized therapy mode based on personal skin information and at least one or more measurement information of drying stage information and wrinkle depth information measured through the mobile device 300 . Accordingly, the ultrasound therapy apparatus 100 may provide therapy performance according to a user-customized therapy mode received from the mobile device 300 .

또한, 모바일 디바이스(300)는 초음파 테라피 장치(100)를 통해 피부를 테라피하는 과정 및 결과를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 사용자의 피부정보를 기초로, 제공되는 테라피 성능에 따른 사용자 맞춤형 테라피 모드와 테라피 결과를 축적하여 데이터베이스를 구축할 수 있다. 나아가, 모바일 디바이스(300)는 초음파 테라피 장치(100)를 생산 및 관리하는 외부 서버로 데이터베이스에 구축되는 데이터를 공유할 수도 있다.In addition, the mobile device 300 can monitor the process and results of skin therapy in real time through the ultrasound therapy apparatus 100, and based on the user's skin information, a user-customized therapy mode according to the provided therapy performance and You can build a database by accumulating the results of therapy. Furthermore, the mobile device 300 may share data built in the database with an external server that produces and manages the ultrasound therapy apparatus 100 .

또한, 모바일 디바이스(300)는 사용자 맞춤형 테라피 모드에 따라, 주기별로 사용자에게 테라피 관리를 위한 알림을 푸시(push)할 수 있으며, 주기별로 사용자의 피부 개선에 따른 결과를 비교하여 수치, 값, 퍼센트, 영상, 그림, 그래프, 메시지 및 음성 중 적어도 어느 하나 이상을 디스플레이할 수 있다. In addition, the mobile device 300 may push a notification for therapy management to the user for each cycle according to the user-customized therapy mode, and compare the results according to the user's skin improvement for each cycle to obtain numerical values, values, and percentages. , at least one of an image, a picture, a graph, a message, and an audio may be displayed.

또한, 모바일 디바이스(300)는 사용자로부터 입력된 제어 커맨드(command)에 기초하여 초음파 테라피 장치(100)를 제어할 수 있다. 예를 들면, 모바일 디바이스(300)는 초음파 테라피 장치(100)의 전원(On/Off), 모드 변경, 시간 조절, 주기 조절 및 세기 조절 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 제어 커맨드를 생성하여 초음파 테라피 장치(100)로 전송할 수 있다. Also, the mobile device 300 may control the ultrasound therapy apparatus 100 based on a control command input from the user. For example, the mobile device 300 generates a control command including at least any one or more of power (On/Off), mode change, time control, cycle control, and intensity control of the ultrasound therapy apparatus 100 to perform ultrasound therapy. may be transmitted to the device 100 .

본 발명의 실시예에 따른 모바일 디바이스(300)는 사용자 또는 관리자가 소지하는 것으로, 초음파 테라피 장치(100)와 연동되어 사용이 허가된 단말기, 스마트폰, 태블릿 PC 및 PC 중 적어도 어느 하나일 수 있으며, 기기의 종류는 한정하지 않는다. 더욱이, 모바일 디바이스(300)는 초음파 테라피(100)와의 데이터 송수신, 제어 커맨드 생성 및 제공을 위한 어플리케이션(Application) 프로세서를 포함할 수 있으며, 초음파 테라피 장치(100)에 관련된 어플리케이션을 통해 직접적인 초음파 테라피 장치(100)의 제어가 가능할 수 있다. The mobile device 300 according to an embodiment of the present invention is possessed by a user or an administrator, and may be at least any one of a terminal, a smartphone, a tablet PC, and a PC licensed for use in conjunction with the ultrasound therapy apparatus 100 , , the type of device is not limited. Furthermore, the mobile device 300 may include an application processor for transmitting and receiving data to and from the ultrasound therapy 100 , and generating and providing a control command, and the ultrasound therapy apparatus directly through an application related to the ultrasound therapy apparatus 100 . Control of (100) may be possible.

이상에서 설명된 장치는 하드웨어 구성요소, 소프트웨어 구성요소, 및/또는 하드웨어 구성요소 및 소프트웨어 구성요소의 조합으로 구현될 수 있다. 예를 들어, 실시예들에서 설명된 장치 및 구성요소는, 예를 들어, 프로세서, 콘트롤러, ALU(arithmetic logic unit), 디지털 신호 프로세서(digital signal processor), 마이크로컴퓨터, FPA(field programmable array), PLU(programmable logic unit), 마이크로프로세서, 또는 명령(instruction)을 실행하고 응답할 수 있는 다른 어떠한 장치와 같이, 하나 이상의 범용 컴퓨터 또는 특수 목적 컴퓨터를 이용하여 구현될 수 있다. 처리 장치는 운영 체제(OS) 및 상기 운영 체제 상에서 수행되는 하나 이상의 소프트웨어 어플리케이션을 수행할 수 있다. 또한, 처리 장치는 소프트웨어의 실행에 응답하여, 데이터를 접근, 저장, 조작, 처리 및 생성할 수도 있다. 이해의 편의를 위하여, 처리 장치는 하나가 사용되는 것으로 설명된 경우도 있지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는, 처리 장치가 복수 개의 처리 요소(processing element) 및/또는 복수 유형의 처리 요소를 포함할 수 있음을 알 수 있다. 예를 들어, 처리 장치는 복수 개의 프로세서 또는 하나의 프로세서 및 하나의 콘트롤러를 포함할 수 있다. 또한, 병렬 프로세서(parallel processor)와 같은, 다른 처리 구성(processing configuration)도 가능하다.The device described above may be implemented as a hardware component, a software component, and/or a combination of the hardware component and the software component. For example, devices and components described in the embodiments may include, for example, a processor, a controller, an arithmetic logic unit (ALU), a digital signal processor, a microcomputer, a field programmable array (FPA), It may be implemented using one or more general purpose or special purpose computers, such as a programmable logic unit (PLU), microprocessor, or any other device capable of executing and responding to instructions. The processing device may execute an operating system (OS) and one or more software applications executed on the operating system. A processing device may also access, store, manipulate, process, and generate data in response to execution of the software. For convenience of understanding, although one processing device is sometimes described as being used, one of ordinary skill in the art will recognize that the processing device includes a plurality of processing elements and/or a plurality of types of processing elements. It can be seen that can include For example, the processing device may include a plurality of processors or one processor and one controller. Other processing configurations are also possible, such as parallel processors.

소프트웨어는 컴퓨터 프로그램(computer program), 코드(code), 명령(instruction), 또는 이들 중 하나 이상의 조합을 포함할 수 있으며, 원하는 대로 동작하도록 처리 장치를 구성하거나 독립적으로 또는 결합적으로(collectively) 처리 장치를 명령할 수 있다. 소프트웨어 및/또는 데이터는, 처리 장치에 의하여 해석되거나 처리 장치에 명령 또는 데이터를 제공하기 위하여, 어떤 유형의 기계, 구성요소(component), 물리적 장치, 가상 장치(virtual equipment), 컴퓨터 저장 매체 또는 장치, 또는 전송되는 신호 파(signal wave)에 영구적으로, 또는 일시적으로 구체화(embody)될 수 있다. 소프트웨어는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템 상에 분산되어서, 분산된 방법으로 저장되거나 실행될 수도 있다. 소프트웨어 및 데이터는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 저장될 수 있다.Software may comprise a computer program, code, instructions, or a combination of one or more thereof, which configures a processing device to operate as desired or is independently or collectively processed You can command the device. The software and/or data may be any kind of machine, component, physical device, virtual equipment, computer storage medium or apparatus, to be interpreted by or to provide instructions or data to the processing device. , or may be permanently or temporarily embody in a transmitted signal wave. The software may be distributed over networked computer systems and stored or executed in a distributed manner. Software and data may be stored in one or more computer-readable recording media.

실시예에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.The method according to the embodiment may be implemented in the form of program instructions that can be executed through various computer means and recorded in a computer-readable medium. The computer-readable medium may include program instructions, data files, data structures, etc. alone or in combination. The program instructions recorded on the medium may be specially designed and configured for the embodiment, or may be known and available to those skilled in the art of computer software. Examples of the computer-readable recording medium include magnetic media such as hard disks, floppy disks and magnetic tapes, optical media such as CD-ROMs and DVDs, and magnetic such as floppy disks. - includes magneto-optical media, and hardware devices specially configured to store and execute program instructions, such as ROM, RAM, flash memory, and the like. Examples of program instructions include not only machine language codes such as those generated by a compiler, but also high-level language codes that can be executed by a computer using an interpreter or the like. The hardware devices described above may be configured to operate as one or more software modules to perform the operations of the embodiments, and vice versa.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.As described above, although the embodiments have been described with reference to the limited embodiments and drawings, various modifications and variations are possible from the above description by those skilled in the art. For example, the described techniques are performed in an order different from the described method, and/or the described components of the system, structure, apparatus, circuit, etc. are combined or combined in a different form than the described method, or other components Or substituted or substituted by equivalents may achieve an appropriate result.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents to the claims are also within the scope of the following claims.

100: 초음파 테라피 장치
110: 상부커버
120: 하부커버
200: 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이
210: 제1 모듈
220: 제2 모듈
300: 모바일 디바이스
100: ultrasound therapy device
110: upper cover
120: lower cover
200: micromachined ultrasonic transducer array
210: first module
220: second module
300: mobile device

Claims (14)

초음파 테라피 장치에 있어서,
피부에 접촉하는 하부커버; 및
상기 하부커버 상에 배치되며, 피부 내부의 적용 깊이에 따라 5MHz 이하의 저주파를 인가하는 제1 모듈 및 5MHz 이상의 고주파를 인가하는 제2 모듈을 포함하는 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서(Micro-machined Ultrasonic Transducer) 어레이
를 포함하고,
상기 초음파 테라피 장치는
복수의 독립 채널로 형성되고, 독립 채널 각각이 원형의 형태로 배치된 상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이를 포함하고,
상기 제1 모듈의 송신원의 직경이 상기 제2 모듈의 송신원의 직경보다 크며,
피부 내부로 저주파 또는 고주파가 인가되도록 상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이로 형성된 상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈을 제어하는 제어부
를 더 포함하고,
상기 제어부는
상기 제1 모듈 및 상기 제2 모듈로부터 인가되는 초음파 빔의 송신시간을 제어하여 피부 내부의 상기 적용 깊이로 초음파 빔을 집속시키는 것을 특징으로 하는, 초음파 테라피 장치.
In the ultrasonic therapy apparatus,
a lower cover in contact with the skin; and
It is disposed on the lower cover, the micro-machined ultrasound transducer including a first module for applying a low frequency of 5 MHz or less and a second module for applying a high frequency of 5 MHz or more according to the depth of application inside the skin (Micro-machined Ultrasonic Transducer) ) array
including,
The ultrasound therapy device is
It is formed of a plurality of independent channels, and each of the independent channels comprises the micromachined ultrasound transducer array arranged in a circular shape,
The diameter of the transmission source of the first module is greater than the diameter of the transmission source of the second module,
A control unit for controlling the first module and the second module formed of the micro-machined ultrasonic transducer array so that a low frequency or a high frequency is applied to the inside of the skin
further comprising,
the control unit
Controlling the transmission time of the ultrasound beam applied from the first module and the second module, characterized in that focusing the ultrasound beam to the application depth inside the skin, ultrasound therapy apparatus.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 초음파 테라피 장치는
상기 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이의 능동소자로 PZT, ALN 압전소자 또는 정전형(Capacitance)를 사용하는, 초음파 테라피 장치.
According to claim 1,
The ultrasound therapy device is
Using a PZT, ALN piezoelectric element or an electrostatic type (Capacitance) as an active element of the micromachined ultrasonic transducer array, ultrasonic therapy apparatus.
제1항에 있어서,
상기 하부커버는
피부 접촉을 위해 RTV(Room Temperature Vulcanizing), 페릴렌(Parylene) 및 PDMS(Poly(dimethylsiloxane), 폴리디메틸실록산) 중 적어도 어느 하나로 코팅된 것을 특징으로 하는, 초음파 테라피 장치.

According to claim 1,
the lower cover
An ultrasonic therapy device, characterized in that it is coated with at least one of RTV (Room Temperature Vulcanizing), Parylene, and PDMS (Poly (dimethylsiloxane), polydimethylsiloxane) for skin contact.

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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