KR102344664B1 - 세라믹 웨이브가이드 필터 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 단일 세라믹 블록에서 미리 지정된 패턴에 따라 세라믹 블록의 구획을 구분하도록 세라믹 블록을 관통하여 형성된 다수의 관통 격벽에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티 및 다수의 공진 캐비티 중 적어도 2개의 서로 인접한 공진 캐비티 사이에서 세라믹 블록을 관통하여 형성되고, 내측면에 금속층이 형성되되 기지정된 영역에는 금속층이 형성되지 않은 적어도 하나의 슬롯이 형성되는 적어도 하나의 커플링 홀을 포함하여, 적어도 하나의 슬롯이 형성되는 위치와 두께를 조절함으로써, 스퓨리어스 모드를 억제할 수 있을 뿐만 아니라 캐패시티브 커플링의 커플링 레벨을 조절할 수 있는 세라믹 웨이브가이드 필터 및 이의 제조 방법을 제공할 수 있다.

Description

세라믹 웨이브가이드 필터 및 이의 제조 방법{Ceramic Waveguide Filter and Manufacturing Method Thereof}

본 발명은 세라믹 웨이브가이드 필터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 저손실, 고억압 세라믹 웨이브가이드 필터에 관한 것이다.

통신서비스가 진화함에 따라 데이터 전송속도가 늘어나게 되고 이를 위해서는 시스템 대역폭 또한 늘어나야 하고 수신감도 향상 및 타 통신시스템의 캐리어(Carrier)에 의한 장애(Interference)를 최소화할 필요가 있다.

이를 위해서 저손실(Low insertion loss), 고억압(High rejection), 필터에 대한 요구가 나날이 늘어가고 있는 상황에 직면해 있다. 금속 재질을 이용하여 제작하는 동축(Coaxial) 공진 캐비티는 유전체 공진 캐비티와 같은 타 공진 캐비티 대비 손실, 사이즈, 가격 측면에서 장점이 있으므로 이동통신 시스템의 필터 구현을 위해 주로 사용된다.

그러나 매시브(Massive) MIMO 안테나와 같은 기지국 시스템의 저출력, 소형화로 인해 기존 동축 공진 캐비티를 사용하여도 사이즈 측면에서 제약이 있으며, 초소형 필터 구현에 대한 필요성이 대두되고 있다.

기존의 동축 공진 캐비티를 이용한 필터를 대체하기 위한 필터로 세라믹 웨이브가이드 필터에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 세라믹 웨이브가이드 필터는 저손실 및 고유전율을 가지는 세라믹 재질로 캐비티를 채우는 필터로서 기존의 동축 공진 캐비티 필터에 비해 사이즈를 현저하게 줄일 수 있으며 우수한 손실 특성 역시 제공할 수 있다.

종래의 일반적인 세라믹 웨이브가이드 필터는 각각의 세라믹 캐비티를 독립적으로 제작하고 격벽을 형성한 후, 각각의 캐비티를 결합하는 공정을 필요로 한다. 캐비티의 결합은 솔더링 등을 통해 이루어진다.

그러나 캐비티 결합 공정은 결합 과정에서 비정렬 공차가 빈번하게 발생하고, 이로 인해 특성 변화가 발생하여 제품의 수율이 현저히 낮아지는 문제점이 있다. 또한 가공 오차로 인해 특성이 변화될 경우, 세라믹의 일면을 그라인딩하여 튜닝하는 과정을 필요로 하지만, 세라믹은 매우 단단한 재질이기에 고도의 기술을 요구하고 미세한 튜닝이 어려운 문제점이 있다. 뿐만 아니라 세라믹 웨이브가이드 필터의 감쇄(attenuation) 특성을 향상시키기 위한 전송 영점(Transmission-Zero)을 제공하고자 하는 경우, 주로 크로스 커플링(cross coupling)을 이용하지만, 서로 인접하지 않은 캐비티 사이의 크로스 커플링을 구현하기 위해서는 별도의 부가적 작업이 요구되는 문제가 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 단일 세라믹 블록의 일면과 타면 사이를 관통하고 미리 지정된 패턴에 따라 세라믹 블록의 구획을 구분하도록 형성된 다수의 관통 격벽에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티를 포함하는 일체형 세라믹 웨이브가이드 필터가 제안되었다. 여기서 다수의 관통 격벽은 다수의 공진 캐비티를 구분하는 캐비티 월(Cavity wall)로 기능하며, 다수의 관통 격벽 중 서로 이격되어 형성된 다수의 관통 격벽의 사이 공간은 다수의 공진 캐비티 간의 결합면을 형성하는 커플링 윈도우(coupling window)로 기능할 수 있다.

그리고 다수의 공진 캐비티 각각에는 세라믹 블록의 일면 또는 타면에 공진 홈이 형성될 수 있다. 다수의 공진 홈 각각은 대응하는 공진 캐비티 영역에서 전계가 집중되는 중앙에 형성되어 다수의 공진 캐비티 각각의 캐패시티브 성분을 증가시켜 공진 주파수를 하향시키는 효과를 유발한다. 따라서 공진 캐비티 각각의 크기를 줄일 수 있도록 하여 세라믹 웨이브가이드 필터를 소형화할 수 있도록 한다.

이때 서로 인접하여 형성된 공진 캐비티 사이에는 자계(H-field)가 우세하게 작용하는 인덕티브 커플링(inductive coupling)이 이루어질 수 있다. 그에 반해 전계(E-field)는 이격되어 형성된 다수의 관통 격벽의 사이의 커플링 윈도우 면에서 횡단(transverse)하기 때문에 캐패시티브 커플링(capacitive coupling)은 용이하게 이루어지지 않는다.

이에 서로 인접하여 형성된 공진 캐비티 사이에 전계(E-field)가 우세하게 작용하는 캐패시티브 커플링(capacitive coupling)이 이루어 지도록 세라믹 블록의 일면 또는 타면에 공진 홈보다 더 깊게 형성되는 커플링 홈이 더 형성될 수 있다.

그러나 캐패시티브 커플링을 유발하는 커플링 홈은 공진 홈보다 깊게 형성되므로, 세라믹 블록에서 커플링 홈이 형성되는 영역의 두께는 매우 얇게 형성되고 이로 인해, 소성 시 또는 취급시에 해당 영역이 파손될 수 있는 위험이 있다. 또한 커플링 홈의 공진에 의한 스퓨리어스 모드(spurious mode)가 통과 대역보다 낮은 주파수 대역에 형성되어, 저대역에서의 억압 레벨(rejection level)을 요구되는 규격에 만족시키기 어렵다는 한계가 있다.

한국 등록 특허 제10-1754278호 (2017.06.29 등록)

본 발명의 목적은 커플링 홀을 형성하여 캐패시티브 커플링을 유도함으로써 세라믹 블록의 파손 위험이 적은 세라믹 웨이브가이드 필터 및 이의 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 저대역 스퓨리어스 모드를 억압 가능한 캐패시티브 커플링을 구현할 수 있는 세라믹 웨이브가이드 필터 및 이의 제조 방법을 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 단일 세라믹 블록에서 미리 지정된 패턴에 따라 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하도록 상기 세라믹 블록을 관통하여 형성된 다수의 관통 격벽에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티; 및 상기 다수의 공진 캐비티 중 적어도 2개의 서로 인접한 공진 캐비티 사이에서 상기 세라믹 블록을 관통하여 형성되고, 내측면에 금속층이 형성되되 기지정된 영역에는 금속층이 형성되지 않은 적어도 하나의 슬롯이 형성되는 적어도 하나의 커플링 홀을 포함한다.

상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각은 상기 세라믹 블록의 일면에서 타면 방향으로 직경이 점차로 증가하는 원뿔 형태로 형성될 수 있다.

상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각은 중심으로부터 상기 세라믹 블록의 일면 및 타면 방향 각각으로 직경이 점차로 증가하는 상부 및 하부 구조로 형성될 수 있다.

상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각은 중심에서 균일한 홀 직경을 갖는 원통형태로 형성되고, 상기 세라믹 블록의 일면 또는 타면 방향 중 적어도 하나의 방향에서 중심보다 큰 균일한 홀 직경을 갖고 원통 형태로 형성되는 상부 또는 하부 구조를 가질 수 있다.

상기 적어도 하나의 슬롯은 상기 중심에 형성되거나, 상기 상부 및 하부 구조 각각 또는 상기 중심과 상기 상부 및 상기 하부 구조의 경계면 상에 형성될 수 있다.

상기 적어도 하나의 슬롯은 서로 인접한 공진 캐비티 사이에 요구되는 캐패시티브 커플링의 커플링 레벨에 따라 두께가 결정되고, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터에 요구되는 스퓨리어스 모드 주파수 대역에 따라 상기 커플링 홀 내에서 형성될 수 있다.

상기 세라믹 웨이브가이드 필터는 상기 관통 격벽에 의해 구분된 상기 다수의 공진 캐비티의 구획 내에 형성되는 다수의 공진 홈; 및 상기 다수의 공진 캐비티 중 신호를 입력 및 출력하는 2개의 공진 캐비티에 형성되는 입출력 인터페이스를 더 포함하고, 상기 금속층은 상기 세라믹 블록의 외곽, 상기 다수의 관통 격벽 각각의 내측면 및 상기 다수의 공진 홈 각각의 내측면에도 형성될 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법은 다수의 공진 캐비티를 정의하기 위해 미리 지정된 패턴에 따라 구획을 구분하도는 다수의 관통 격벽과 상기 다수의 공진 캐비티 중 적어도 2개의 서로 인접한 공진 캐비티 사이에서 적어도 하나의 커플링 홀이 관통하여 형성되는 세라믹 블록을 제조하는 단계; 및 상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각의 내측면에 기지정된 영역을 제외하여 금속층이 형성하여 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 단계를 포함한다.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터 및 이의 제조 방법은 단일 세라믹 블록에 형성된 다수의 관통 격벽과 다수의 공진 홈에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티 사이에 커플링 홈이 아닌 커플링 홀을 형성하고, 커플링 홀의 내측에 형성되는 금속층에 슬롯을 형성하여, 캐패시티브 커플링이 수행되도록 한다. 그러므로 세라믹 블록의 파손 위험이 적으며, 저대역 스퓨리어스 모드가 억압 가능하여 자유로운 캐피시티브 커플링 값을 구현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 커플링 홀의 확대도를 나타낸다.
도 3은 도 1의 세라믹 웨이브가이드 필터의 단면도를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 단면도를 나타낸다.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 단면도를 나타낸다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법을 나타낸다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 설명하는 실시예에 한정되는 것이 아니다. 그리고, 본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 생략되며, 도면의 동일한 참조부호는 동일한 부재임을 나타낸다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부", "...기", "모듈", "블록" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 구조를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 커플링 홀의 확대도를 나타내며, 도 3은 도 1의 세라믹 웨이브가이드 필터의 단면도를 나타낸다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 단일 세라믹 블록(100)의 일면과 타면 사이를 관통하여 기지정된 패턴으로 형성된 다수의 관통 격벽에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티를 포함하는 일체형으로 구현된다. 또한 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터는 단일 세라믹 블록(100)의 일면 또는 타면에서 다수의 공진 캐비티 중 대응하는 공진 캐비티의 기지정된 위치에 공진 홈이 형성될 수 있다.

도 1에서는 일예로 단일 세라믹 블록(100)에 형성된 2개의 관통 격벽(121, 122)과 6개의 공진 홈(131 ~ 136)에 의해 6개의 공진 캐비티(111 ~ 116)가 형성된 경우를 도시하였다.

2개의 관통 격벽(121, 122)은 미리 지정된 패턴에 따라 세라믹 블록(100)의 일면과 타면 사이를 관통하도록 형성되어 세라믹 블록(100)의 구획을 구분함으로써 다수개의 공진 캐비티(111 ~ 116)를 정의한다. 도 1에서는 일예로 2개의 관통 격벽(121, 122)이 형성된 경우를 도시하였다. 2개의 관통 격벽(121, 122) 중 제1 관통 격벽(121)은 T자 패턴으로 형성되어 세라믹 블록(100)에서 제1 및 제 6 공진 캐비티(111, 116) 구획과 제2 및 제5 공진 캐비티(112, 115) 구획을 구분할 뿐만 아니라, 제1 및 제 6 공진 캐비티(111, 116) 구획을 서로 구분한다.

그리고 제2 관통 격벽(122)은 직선 패턴으로 형성되어 세라믹 블록(100)에서 제2 및 제5 공진 캐비티(112, 115) 구획과 제3 및 제4 공진 캐비티(113, 114) 구획을 구분한다.

여기서는 일예로 2개의 관통 격벽(121, 122)이 각각 T자 패턴과 직선 패턴으로 형성되는 것으로 도시하였으나, 본 실시예는 이에 한정되지 않는다. 본 실시예에서 다수의 관통 격벽은 세라믹 블록(100)에 형성되어야 하는 다수의 공진 캐비티의 개수와 배치 구조에 따라, 다수의 공진 캐비티의 구획을 용이하게 구분할 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 관통 격벽은 Y자 형태 또는 +자 같은 분기 패턴 형태로 형성될 수 있으며, 다수의 서로 이격된 직선 형태로 형성될 수도 있다. 도 1에서 제1 관통 격벽(121)은 T자 패턴이 아닌 +자 패턴으로 형성될 수도 있으며, T자 패턴 또는 + 자 패턴은 2개 또는 3개의 서로 이격된 직선 패턴으로 구분하여 형성될 수도 있다. 그리고 제2 관통 격벽(122) 또한 서로 이격된 2개의 직선 패턴으로 구분되어 형성되거나 커플링 홀(140) 방향으로 추가 연장되는 T자 패턴으로 형성될 수도 있다. 추가적으로 다수의 관통 격벽(121, 122) 중 적어도 하나는 세라믹 블록(100)의 측면 경계까지 형성될 수도 있다.

여기서 관통 격벽이 서로 이격되어 형성되거나 관통 격벽이 세라믹 블록(100)의 측면 경계까지 형성되지 않아, 관통 격벽에 의해 완전하게 구분되지 않은 서로 인접한 공진 캐비티 사이에는 커플링이 이루어질 수 있다.

도 1에서는 제3 공진 캐비티(113)와 제4 공진 캐비티(113, 114) 사이의 커플링 및 제2 공진 캐비티(112)와 제5 공진 캐비티(115) 사이의 크로스 커플링 이 용이하게 이루어 지도록 관통 격벽이 형성되지 않은 경우를 도시하였으나, 관통 격벽이 형성될 수도 있다.

한편, 본 실시예에 따른 세라믹 웨이브 가이드 필터는 도 1에 도시된 바와 같이, 세라믹 블록(100)의 일면 또는 타면의 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 각각의 영역에 대응하는 공진 홈(131 ~ 136)이 형성된다. 도 1에서는 일예로 공진 홈(131 ~ 136)이 원형의 홈으로 형성되는 것으로 도시하였으나, 공진 홈(131 ~ 136)의 형태는 한정되지 않는다. 그리고 공진 홈(131 ~ 136)의 내측면에도 금속층이 형성된다.

공진 홈(131 ~ 136)은 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 각각의 영역에서 전계(E-field)가 집중되는 중앙에 형성되어, 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 각각의 캐패시티브 성분을 증가시킨다. 캐패시티브 성분의 증가는 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116)의 공진 주파수를 하향시키는 효과를 유발하여, 공진 홈(131 ~ 136)이 형성되지 않는 경우에 비해, 세라믹 웨이브 가이드 필터의 크기를 소형화 할 수 있다.

한편, 세라믹 웨이브가이드 필터의 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 중 지정된 커플링 순서에 따라 초기단 및 최후단의 2개의 공진 캐비티(111, 116)에는 입출력 인터페이스(151, 152)가 형성된다. 그리고 형성된 입출력 인터페이스(151, 152)에 세라믹 웨이브가이드 필터로 신호를 입력 및 출력하기 위한 입출력 인터페이스 포트가 삽입될 수 있다.

입출력 인터페이스(151, 152)는 도 1에 도시된 바와 같이, 홈 형상으로 형성될 수 있으며, 여기서는 일예로 입출력 인터페이스(151, 152)가 각각 세라믹 블록(100)의 일면에 형성된 2개의 공진 캐비티(111, 116)에 대응하는 위치의 타면에 공진 홈(131 ~ 136)에 형성되는 것으로 도시하였다. 이 경우 공진 홈(131 ~ 136)은 입출력 인터페이스(151, 152)에 삽입되는 입출력 인터페이스 포트와 용이하게 커플링이 이루어질 수 있다.

그러나 입출력 인터페이스(151, 152)는 공진 홈(131 ~ 136)과 별도의 위치에서 세라믹 블록(100)의 일면과 타면을 관통하는 홀 형태로 형성될 수도 있다.

도1 에서는 일예로 입출력 인터페이스(151, 152)가 제1 공진 캐비티(111) 및 제6 공진 캐비티(116)에 형성된 것으로 도시하였으며, 이에 제1 공진 캐비티(111)는 입출력 인터페이스(151)에 삽입된 입력 인터페이스 포트로부터 신호를 인가받고, 제1 공진 캐비티(111)와 제2 공진 캐비티(112) 사이에 커플링이 이루어진다. 그리고 제3 내지 제6 공진 캐비티(113 ~ 116)의 순서로 커플링이 이루어지며, 제6 공진 캐비티(116)는 입출력 인터페이스(152)에 삽입된 출력 인터페이스 포트로 신호를 출력한다.

다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 각각은 다수의 관통 격벽(121, 122)에 의해 정의된 크기 및 형태 및 공진 홈(131 ~ 136)에 따라 지정된 주파수 대역에서 공진될 수 있다. 따라서 도 1의 세라믹 웨이브가이드 필터는 다수의 관통 격벽(121, 122)에 의해 정의된 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116)가 입력 인터페이스 포트를 통해 전송된 신호를 다단 필터링하여 출력 인터페이스 포트로 출력할 수 있다.

이때 도 1의 세라믹 웨이브가이드 필터에서는 제1 공진 캐비티(111)가 제2 공진 캐비티(112) 및 제6 공진 캐비티(213)와 인접하고 제1 관통 격벽(121)이 제1 공진 캐비티(111), 제2 공진 캐비티(112) 및 제6 공진 캐비티(213)를 완전히 구분하지 않으므로, 제1 공진 캐비티(111)는 제2 공진 캐비티(112)와 커플링이 이루어지고, 이와 함께 제6 공진 캐비티(116)와 크로스 커플링이 이루어진다.

또한 제1 및 제2 관통 격벽(121, 122)이 제2 공진 캐비티(112)와 제5 공진 캐비티(115)를 구분하지 않으므로, 제2 공진 캐비티(112)는 제3 공진 캐비티(113)와 커플링이 이루어지면서, 제5 공진 캐비티(115)와 크로스 커플링이 이루어진다. 그리고 제3 공진 캐비티(113)와 제4 공진 캐비티(114)에서도 커플링이 이루어진다.

한편 도 1에서는 제3 공진 캐비티(113)와 제4 공진 캐비티(114) 사이에 세라믹 블록(100)의 일면에서 타면을 관통하는 커플링 홀(140)이 형성된다. 커플링 홀(140)은 3 공진 캐비티(113)와 제4 공진 캐비티(114) 사이에 전계(E-field)가 우세하게 작용하는 캐패시티브 커플링이 이루어지도록 형성된다. 상기한 바와 같이 기존에는 공진 캐비티 사이에 캐패시티브 커플링이 이루어지도록 하기 위해서는 공진 홈(131 ~ 136)보다 깊은 커플링 홈이 형성되었으나, 커플링 홈이 형성되면, 세라믹 웨이브가이드 필터가 파손될 위험이 높아지는 문제가 있었다. 이에 본 실시예에서는 커플링 홈 대신 세라믹 블록(100)의 일면에서 타면을 관통하는 커플링 홀(140)을 형성함에 따라 세라믹 웨이브가이드 필터의 파손 위험을 방지할 수 있도록 한다.

다만 세라믹 블록(100)을 관통하는 홀을 형성하는 것만으로는 캐패시티브 커플링이 이루어지지 않는다. 이에 도 3에 도시된 바와 같이 커플링 홀(140)의 내측면에 금속층(160)이 형성되지만, 커플링 홀(140)의 내측면에 형성되는 금속층(160)은 기지정된 슬롯 영역을 제외하여 형성됨으로써, 캐패시티브 커플링이 이루어지도록 한다.

도시하지 않았으나 세라믹 웨이브가이드 필터는 세라믹 블록(100)의 외부면과 그리고 다수의 관통 격벽(121, 122) 및 다수의 공진 홈(131 ~ 136) 각각의 내측면에 금속층(160)이 형성된다. 금속층(160)은 도금, 증착, 스퍼터링 등의 금속화 공정을 적용하여 형성될 수 있다. 통상적으로 필터, 웨이브가이드 같은 RF 장비에는 손실을 최소화하기 위해, 도전 소재 중에서 전기 전도도가 뛰어난 은(Ag)을 사용되지만, 내식성과 같은 특성 향상을 위해 은 이외의 도전 소재를 이용할 수도 있다.

그리고 세라믹 웨이브가이드 필터의 튜닝 작업이 요구되는 경우, 다수의 관통 격벽(121, 122)의 내측면에 형성된 금속층(160)의 두께를 그라인딩 등의 방식으로 조절하여 튜닝을 수행할 수 있다.

이와 유사하게 본 실시예에서는 커플링 홀(140)의 내측면에도 금속층을 형성한다. 다만 도 3에서와 같이 커플링 홀(140)의 내측면의 기지정된 링(ring) 형태의 슬롯(143)에 대응하는 일부 영역에는 금속층이 형성되지 않는다. 여기서 금속층이 형성되지 않은 슬롯(143)은 제3 및 제4 공진 캐비티 사이에 전계(E-field)가 우세하게 작용하는 캐패시티브 커플링이 이루지도록 한다.

커플링 홀(140)은 균일한 폭으로 세라믹 블록(100)을 관통하도록 형성될 수도 있다. 그러나 커플링 홀(140)은 슬롯(143)을 형성하기 용이하도록, 세라믹 블록(100)의 일면으로부터 타면 방향으로 직경이 점차로 감소(또는 증가)하는 원뿔 형태의 홀로 형성될 수 있다. 커플링 홀(140)은 도 3에 도시된 바와 같이, 세라믹 블록(100)의 일면으로부터 타면 방향으로 기지정된 깊이까지의 제1 영역(141)에서는 직경이 점차로 감소하는 원뿔 형태로 형성되고, 이후 타면까지의 제2 영역(142)에서는 균일한 직경을 갖는 원 기둥 형태로 형성될 수도 있으나, 세라믹 블록(100)의 일면으로부터 타면까지 직경이 점차로 감소하는 원뿔 형태로 형성될 수도 있다.

슬롯(143)은 커플링 홀(140)의 내측면에 금속층(160)이 형성할 때, 슬롯(143)에 해당하는 영역이 제외되도록 하여 형성될 수도 있다. 그러나 제조 공정의 측면에서는 커플링 홀(140)의 내측면 전체에 금속층(160)을 우선 형성하고, 이후 링 형태의 슬롯(143)에 해당하는 영역에 형성된 금속층을 제거하는 것이 더욱 효율적이다.

그러나 커플링 홀(140)이 균일한 폭으로 형성되면, 슬롯(143)에 대응하는 영역에 형성된 금속층을 제거하기 어렵다. 이에 본 실시예에서는 커플링 홀(140)을 원뿔 형태로 형성함으로써, 직경이 큰 방향에서 용이하게 금속층을 제거하는 가공을 수행할 수 있도록 한다.

또한 커플링 홀(140)에서 형성되는 슬롯(143)의 위치는 스퓨리어스 모드를 조절하기 위해 조절될 수 있다. 상기한 바와 같이 커플링 홀(140)의 내측면에 슬롯(143)이 형성되는 경우, 슬롯(143)이 형성되는 위치, 즉 슬롯(143)의 폭과 세라믹 블록(100)의 일면 또는 타면으로부터 슬롯(143)이 형성되는 높이에 따라 스퓨리어스 모드를 조절할 수 있게 된다. 따라서 슬롯(143)의 위치를 조절하여 스퓨리어스 모드를 기존 커플링 홈 구조보다 더 저대역으로 이동시킬 수 있고, BPF 의 감쇄량이 증가되어 저대역 스퓨리어스 모드를 더 억압시키는 것이 가능하다. 그러므로 기존에 커플링 홈의 공진에 의한 스퓨리어스 모드 보다 레벨이 감소되어, 저대역 저지대역 특성 개선이 가능하다.

뿐만 아니라 슬롯(143)의 두께를 조절하여 커플링 값을 조절할 수 있다. 즉 제3 및 제4 공진 캐비티(113, 114) 사이에 이루어지는 캐패시티브 커플링의 커플링 레벨을 조절할 수 있다.

상기한 바와 같이 커플링 홀(140)의 형상이 원뿔 형태로 형성되는 경우, 슬롯(143)이 형성되는 위치와 슬롯(143)의 두께를 용이하게 조절할 수 있다.

슬롯(143)은 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 커플링 홀(140)의 내측면에 형성된 금속층(160)의 일부만 제거하여 형성될 수 있다. 그러나 비록 슬롯(143)을 형성하기 용이하도록 커플링 홀(140)이 원뿔 형태로 형성될지라도, 커플링 홀(140)에서 금속층(160)만을 제거하는 가공을 수행하는 것은 정밀한 가공을 필요로 한다. 이에 도 3의 (b)에서는 엔드밀(End-mil) 등의 장비를 이용하여 원통형으로 커플링 홀(140)의 내측면을 절삭함으로써, 슬롯(143)을 용이하게 형성한 결과를 나타낸다. 즉 커플링 홀(140)의 내측면에 형성된 금속층(160) 뿐만 아니라 세라믹 블록(100)의 일부까지 함께 절삭하여 요구되는 두께와 위치에 슬롯(143)을 매우 용이하게 형성할 수 있다.

상기에서는 일예로 커플링 홀(140)이 제3 및 제4 공진 캐비티(113, 114) 사이에 형성되는 경우를 도시하였으나, 커플링 홀(140)은 다른 공진 캐비티 사이에 형성될 수 있다. 다른 예로 커플링 홀(140)은 제2 및 제5 공진 캐비티(112, 115) 사이에 형성되어 제2 공진 캐비티(112)와 제5 공진 캐비티(115)에서 캐패시티브 크로스 커플링이 이루어지도록 할 수도 있다.

만일 전송 영점(Transmission-Zero)을 제공하기 위해 크로스 커플링을 이용하는 경우, 인덕티브 크로스 커플링은 세라믹 웨이브가이드 필터의 통과 대역보다 높은 주파수에서 전송 영점을 발생시키는 반면, 캐패시티브 크로스 커플링은 통과 대역보다 낮은 주파수에서 전송 영점을 발생시켜 세라믹 웨이브가이드 필터의 감쇄 특성을 향상시킬 수 있다.

또한 상기에서는 커플링 홀(140)이 원뿔 형태로 형성되는 것으로 설명하였으나, 커플링 홀(140)의 형상은 원뿔 형태에 한정되지 않고 다양하게 형성될 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 단면도를 나타낸다.

도 4에서도 도 3에서와 마찬가지로 (a)는 커플링 홀(240)의 내측면에 형성된 금속층(260)만을 제거하여 슬롯(243)을 형성한 경우를 도시하였으며, (b)는 가공의 편의를 위해, 엔드밀 등의 장비를 이용하여 원 기둥형태로 금속층(260)과 세라믹 블록(200)의 일부 영역을 절삭하여 슬롯(243)을 형성한 경우를 도시하였다.

도 4에서는 커플링 홀(240)이 세라믹 블록(200)의 중심을 기준으로 하부(241)와 상부(242)가 세라믹 블록(200)의 일면 및 타면 양면 방향으로 점차 직경이 증가되는 형태로서, 2개의 원뿔의 첨부가 서로 마주하는 형태로 형성된 경우를 도시하였다. 즉 커플링 홀(240)이 중심에서 상부(242) 및 하부(241) 방향으로 진행하면서 홀의 직경이 점차로 증가되는 구조로 형성되었다.

도 4에서와 같이, 커플링 홀(240)이 2개의 원뿔의 첨부가 서로 마주하는 형태로 형성되는 경우, 커플링 홀(240)의 상부(242)와 하부(241)에 2개의 슬롯(243)이 형성될 수 있다. 커플링 홀(240)의 내측면에 2개의 슬롯(243)이 형성되므로, 스퓨리어스 모드가 형성되는 주파수 대역과 캐패시티브 커플링 레벨을 더욱 정밀하게 조절할 수 있다.

도 5 내지 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 단면도를 나타낸다.

도 5는 도 4에서와 마찬가지로 커플링 홀(340)이 중심에서 외측 방향으로 갈수록 직경이 점차로 증가되는 형태로 형성될 수 있다. 다만 도 4에서는 커플링 홀(340)의 상부(342) 및 하부(341)에 각각 슬롯(343)이 형성된 반면, 도 5에서는 커플링 홀(340)의 중심에 하나의 슬롯(343)이 형성된다. 커플링 홀(340)이 도 5에서와 같이 중심에서 상대적으로 작은 직경을 갖고 외측 방향으로 갈수록 직경이 점차 증가되는 형태로 형성되며, 커플링 홀(340)의 중심에 하나의 슬롯(343)을 형성하고자 하는 경우, 커플링 홀(340)의 중심을 관통하여 절삭하는 한번의 가공으로 용이하게 슬롯(343)을 형성할 수 있다. 그리고 절삭하는 직경에 따라 슬롯의 두께가 용이하게 조절될 수 있다.

도 6에서는 커플링 홀(440)이 세라믹 블록(400)의 일면 및 타면 방향, 즉 커플링 홀(440)의 외측이 중심에서보다 큰 직경을 갖는 원통형으로 형성되고, 도 5에서와 유사하게 커플링 홀(440)의 중심에 하나의 슬롯(443)이 형성되는 경우를 도시하였다. 즉 균일 직경의 원통형으로 형성된 커플링 홀(440)의 중심이 돌출된 형태로 형성될 수 있다.

커플링 홀(440)의 외측이 원통형으로 형성되므로, 커플링 홀(440)을 용이하게 형성할 수 있다. 그리고 도 5에서와 마찬가지로 커플링 홀(440)의 중심을 관통하여 절삭하는 한번의 가공으로 용이하게 슬롯(443)을 형성할 수 있다.

도 7은 도 6과 동일하게 커플링 홀(540)의 외측이 중심보다 큰 직경을 갖는 원통형으로 형성되지만, 도 4와 유사하게 커플링 홀(540)의 중심과 상부(542) 및 하부(541)의 경계 각각에 슬롯(543)이 형성된다. 즉 커플링 홀(540)에는 2개의 슬롯(543)이 형성된다. 즉 슬롯(543)은 커플링 홀(540)에서 상부(542) 및 하부(541) 내측면에 형성될 수도 있으나 도 7과 같이 중심과 상부(542) 및 하부(541)의 경계에 형성될 수도 있다.

도 8의 (a)에서도 도 7에서와 마찬가지로 커플링 홀(640)의 외측이 중심보다 큰 직경을 갖는 원통형으로 형성되고, 2개의 슬롯(643, 644)이 중심과 상부(642) 및 하부(641)의 경계에 형성되지만, 도 7에서는 2개의 슬롯(543)이 중심과 상부(542) 및 하부(541)의 경계면의 사이 내측에 형성되는 반면, 도 8의 (a)에서는 2개의 슬롯(643, 644)이 중심과 상부(642) 및 하부(641)의 경계면에서 중심에 인접한 영역에 형성된다. 이는 도 7과 같이 2개의 슬롯(543)이 중심과 상부(542) 및 하부(541)의 경계면의 사이 내측에 형성되어야 하는 경우, 가공이 용이하지 않을 수 있기 때문이다.

그러나 도 8의 (a)와 같이 슬롯(643, 644)이 중심과 상부(642) 및 하부(641)의 경계면에서 중심에 인접한 모서리에 형성되어야 하는 경우, 도 8의 (b)와 같이 중심에 인접한 모서리를 함께 절삭 가공하는 방식으로 용이하게 슬롯(643)을 형성할 수 있다. 그리고 2개의 슬롯(643, 644)은 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이 서로 다른 두께로 형성될 수 있다.

도 9는 커플링 홀(740)에서 상부(742)와 중심은 균일한 직경을 갖는 반면, 하부(741)는 중심보다 큰 직경을 갖는 원통형으로 형성되는 경우를 도시하였다. 이와 같이 커플링 홀(740)은 상부(742) 또는 하부(741) 중 하나만 큰 직경을 갖는 구조로 형성될 수 있으며, 이 경우에도 슬롯(743)은 직경이 증가되는 경계에서 모서리를 함께 절삭 가공하는 방식으로 용이하게 형성될 수 있다.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법을 나타낸다.

도 1 내지 도 9를 참조하여, 도 10의 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법을 설명하면, 우선 미리 지정된 필터링해야 하는 주파수 대역과 필터링 특성에 따라 세라믹 블록(100)을 제조한다(S10). 여기서 세라믹 블록(100)은 결정된 주파수 대역에 따라 크기 및 형태가 결정되어 제조될 수 있다.

그리고 필터링해야 하는 주파수 대역과 공진 홈의 형성 여부에 따라 미리 지정된 패턴으로 세라믹 블록의 일면과 타면을 관통하는 다수의 관통 격벽(121, 122)을 형성하여 세라믹 블록(100)의 구획을 다수개로 구분함으로써 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116)를 구현한다(S20). 여기서 관통 격벽(121, 122)을 형성할 때 공진 홈(131 ~ 136)의 형성 여부를 함께 고려하는 것은 공진 홈이 형성되는 경우, 공진 캐비티(111 ~ 116)의 크기가 더 작게 구현되도록 다수의 관통 격벽(121, 122)이 형성되어야 하기 때문이다.

다수의 관통 격벽(121, 122)이 형성되어 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116)가 구현되면, 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 각각의 영역 내에 공진 홈(131 ~ 136)을 형성할 수 있다(S30). 여기서 공진 홈(131 ~ 136)은 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 각각 영역의 중앙 위치에 형성될 수 있다. 그러나 경우에 따라서 공진 홈(131 ~ 136)은 형성되지 않을 수도 있다.

이후, 다수의 공진 캐비티(111 ~ 116) 중 기지정된 서로 인접한 공진 캐비티 사이에 캐패시티브 커플링이 이루어지도록 커플링 홀(140)을 형성한다(S40). 여기서 커플링 홀(140)은 세라믹 블록의 일면에서 타면을 균일한 직경을 갖고 관통하는 원통형으로 형성될 수 있으나, 세라믹 블록의 일면으로부터 타면 방향으로 점차 직경이 증가하는 원뿔 형태 또는 세라믹 블록의 일면 방향 비해 타면 방향에서의 직경이 급격하게 증가하는 형태로 형성될 수 있다. 또한 커플링 홀(140)의 중심에서 외측 방향으로 점차로 직경이 증가하는 형태 또는 중심에 비해 외측 직경이 급격하게 증가하는 형태로 형성될 수도 있다.

상기에서는 세라믹 블록(100)이 우선 제조된 이후, 제조된 세라믹 블록(100)에 다수의 관통 격벽(121, 122)과 공진 홈(131 ~ 136) 및 적어도 하나의 커플링 홀(140)이 형성되는 것으로 설명하였으나, 이는 이해의 편의를 위해 세라믹 블록에 대한 절삭 가공 방식을 적용하여 세라믹 웨이브가이드 필터를 제조하는 경우를 가정한 경우를 나타낸 것이다. 그러나 금형을 이용하여 세라믹 웨이브가이드 필터를 제조하는 경우에는 세라믹 블록(100)을 제조하기 위한 금형에 다수의 관통 격벽(121, 122)과 공진 홈(131 ~ 136) 및 적어도 하나의 커플링 홀(140)이 함께 형성되어 일체로 동시에 제조될 수도 있다.

한편 커플링 홀(140)이 형성되면, 세라믹 블록(100)의 외부면과 그리고 다수의 관통 격벽(121, 122)과 다수의 공진 홈(131 ~ 136) 및 커플링 홀(140)의 내측면에 금속층(160)을 형성한다(S50).

그리고 커플링 홀(140)의 내측면에 기지정된 위치 및 두께의 링 형태로 형성된 금속층(160)을 제거하여 적어도 하나의 슬롯(143)을 형성한다(S60). 여기서 슬롯(143)이 형성되는 위치에 따라 스퓨리어스 모드가 형성되는 주파수 대역이 가변되며, 슬롯(143)이 형성되는 두께에 따라 커플링 홀(140)의 양측의 서로 인접한 공진 캐비티 사이에 이루어지는 캐패시티브 커플링의 커플링 레벨을 조절할 수 있다.

슬롯(143)이 형성되면, 다수의 공진 캐비티 중 2개의 공진 캐비티에 입출력 인터페이스(151, 152)를 형성한다(S70). 여기서 입출력 인터페이스(151, 152)는 세라믹 웨이브가이드 필터의 다수의 공진 캐비티가 입력 인터페이스 포트로부터 신호를 입력받고 순차적 커플링되어, 필터링된 신호를 출력 인터페이스 포트로 출력할 수 있도록 다수의 공진 캐비티가 커플링되는 순차에서 양단의 공진 캐비티에 형성될 수 있다.

도시하지 않았으나, 본 발명에 따른 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법은 다수의 공진 홈 내의 형성된 금속층을 그라인딩과 같은 두께를 조절하는 방식으로 다수의 공진 캐비티의 공진 주파수를 조절함으로써, 세라믹 웨이브가이드 필터의 특성을 튜닝하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 방법은 컴퓨터에서 실행시키기 위한 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램으로 구현될 수 있다. 여기서 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스 될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 또한 컴퓨터 저장 매체를 모두 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함하며, ROM(판독 전용 메모리), RAM(랜덤 액세스 메모리), CD(컴팩트 디스크)-ROM, DVD(디지털 비디오 디스크)-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광데이터 저장장치 등을 포함할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

100: 세라믹 블록 111 ~ 116: 공진 캐비티
121, 122: 관통 격벽 131 ~ 136: 공진 홈
140: 커플링 홀 151, 152: 입출력 인터페이스
160: 금속층

Claims (20)

1. 단일 세라믹 블록에서 미리 지정된 패턴에 따라 상기 세라믹 블록의 구획을 구분하도록 상기 세라믹 블록을 관통하여 형성된 다수의 관통 격벽에 의해 정의되는 다수의 공진 캐비티; 및
   상기 다수의 공진 캐비티 중 적어도 2개의 서로 인접한 공진 캐비티 사이에서 상기 세라믹 블록을 관통하여 형성되고, 내측면에 금속층이 형성되되 기지정된 영역에는 금속층이 형성되지 않은 적어도 하나의 슬롯이 형성되는 적어도 하나의 커플링 홀을 포함하되,
   상기 적어도 하나의 슬롯은
   서로 인접한 공진 캐비티 사이에 요구되는 캐패시티브 커플링의 커플링 레벨에 따라 두께가 결정되고, 요구되는 스퓨리어스 모드 주파수 대역에 따라 상기 커플링 홀 내에서 형성되는 위치가 결정되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
   
2. 제1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각은
   상기 세라믹 블록의 일면에서 타면 방향으로 직경이 점차로 증가하는 원뿔 형태로 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
3. 제1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각은
   중심으로부터 상기 세라믹 블록의 일면 및 타면 방향 각각으로 직경이 점차로 증가하는 상부 및 하부 구조로 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
4. 제3 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯은
   상기 상부 및 하부 구조가 마주하는 중심에 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
5. 제3 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯은
   상기 상부 및 하부 구조 각각에 적어도 하나씩 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
6. 제1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각은
   중심에서 균일한 홀 직경을 갖는 원통형태로 형성되고, 상기 세라믹 블록의 일면 또는 타면 방향 중 적어도 하나의 방향에서 중심보다 큰 균일한 홀 직경을 갖고 원통 형태로 형성되는 상부 또는 하부 구조를 갖는 세라믹 웨이브가이드 필터.
7. 제6 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯은
   상기 중심에 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
8. 제6 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯은
   상기 중심과 상기 상부 및 상기 하부 구조의 경계면 상에 각각 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
9. 제8 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯은
   상기 중심과 상기 상부 및 상기 하부 구조의 경계면 상에서 상기 중심에 인접한 모서리에 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
10. 삭제
11. 제1 항에 있어서, 상기 세라믹 웨이브가이드 필터는
    상기 관통 격벽에 의해 구분된 상기 다수의 공진 캐비티의 구획 내에 형성되는 다수의 공진 홈; 및
    상기 다수의 공진 캐비티 중 신호를 입력 및 출력하는 2개의 공진 캐비티에 형성되는 입출력 인터페이스를 더 포함하고,
    상기 금속층은
    상기 세라믹 블록의 외곽, 상기 다수의 관통 격벽 각각의 내측면 및 상기 다수의 공진 홈 각각의 내측면에도 형성되는 세라믹 웨이브가이드 필터.
12. 다수의 공진 캐비티를 정의하기 위해 미리 지정된 패턴에 따라 구획을 구분하도는 다수의 관통 격벽과 상기 다수의 공진 캐비티 중 적어도 2개의 서로 인접한 공진 캐비티 사이에서 적어도 하나의 커플링 홀이 관통하여 형성되는 세라믹 블록을 제조하는 단계; 및
    상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각의 내측면에 기지정된 영역을 제외하여 금속층이 형성하여 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 단계를 포함하되,
    상기 적어도 하나의 슬롯은
    서로 인접한 공진 캐비티 사이에 요구되는 캐패시티브 커플링의 커플링 레벨에 따라 두께가 결정되고, 요구되는 스퓨리어스 모드 주파수 대역에 따라 상기 커플링 홀 내에서 형성되는 위치가 결정되는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
    
13. 제12 항에 있어서, 상기 세라믹 블록을 제조하는 단계는
    상기 적어도 하나의 커플링 홀을 상기 세라믹 블록의 일면에서 타면 방향으로 직경이 점차로 증가하는 원뿔 형태로 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
14. 제12 항에 있어서, 상기 세라믹 블록을 제조하는 단계는
    상기 적어도 하나의 커플링 홀을 중심으로부터 상기 세라믹 블록의 일면 및 타면 방향 각각으로 직경이 점차로 증가하는 상부 및 하부 구조로 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
15. 제14 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 단계는
    상기 상부 및 하부 구조가 마주하는 중심에 상기 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
16. 제14 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 단계는
    상기 상부 및 하부 구조 각각에 적어도 하나의 슬롯을 각각 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
17. 제12 항에 있어서, 상기 세라믹 블록을 제조하는 단계는
    상기 적어도 하나의 커플링 홀 각각의 중심에서 균일한 홀 직경의 원통형태로 형성하고, 상기 세라믹 블록의 일면 또는 타면 방향 중 적어도 하나의 방향에서 중심보다 큰 균일한 홀 직경을 갖는 원통 형태로 상부 또는 하부 구조를 형성하는 갖는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
18. 제17 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 단계는
    상기 적어도 하나의 커플링 홀의 중심에 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
19. 제17 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 단계는
    상기 적어도 하나의 커플링 홀의 중심과 상기 상부 및 상기 하부 구조의 경계면 상에 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.
20. 제19 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 단계는
    상기 적어도 하나의 커플링 홀의 중심과 상기 상부 및 상기 하부 구조의 경계면 상에서 상기 중심에 인접한 모서리에 적어도 하나의 슬롯을 형성하는 세라믹 웨이브가이드 필터의 제조 방법.

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