KR102342370B1 - Performance Test Apparatus for Liquid Ring Vacuum Pump - Google Patents

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KR102342370B1
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fluid
vacuum pump
storage tank
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temperature control
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KR1020210109625A
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김선화
노영진
성지훈
김병곤
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(주)한국에너지기술단
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Abstract

The present invention relates to a performance test apparatus for a liquid-filled vacuum pump, which can perform a performance test on the liquid-filled vacuum pump with low-viscosity and low-vapor pressure characteristics. To this end, the performance test apparatus for a liquid-filled vacuum pump comprises: a liquid-filled vacuum pump (100) for testing; a vacuum chamber (200) connected to an intake port (110) of the vacuum pump (100); a fluid storage tank (300) connected to a discharge port (120) of the vacuum pump (100) and for storing a fluid (f) filled in the vacuum pump (100); a temperature control device (500) provided between a fluid inlet port (130) of the vacuum pump (100) and the fluid storage tank (300); and a control and measurement unit (600). The fluid (f) stored in the fluid storage tank (300) can be introduced into the vacuum pump (100) through the temperature control device (500). The temperature control device (500) is configured so that the temperature of the fluid (f) introduced from the fluid storage tank (300) is converted to that set by the control and measurement unit (600).

Description

유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치{Performance Test Apparatus for Liquid Ring Vacuum Pump}Performance Test Apparatus for Liquid Ring Vacuum Pump

본 발명은 유체봉입타입 진공펌프(Liquid Ring Vacuum Pump) 성능시험장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고진공 시스템에도 활용할 수 있는 유채봉입타입 진공펌프를 개발하기 위하여 저점도 저증기압 특성을 갖는 유체가 봉입된 진공펌프의 성능시험을 수행할 수 있는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치에 관한 것이다.The present invention relates to a performance testing apparatus for a liquid ring vacuum pump, and more particularly, to develop an oil-filled vacuum pump that can be utilized in a high vacuum system, a fluid having low viscosity and low vapor pressure is enclosed. It relates to a performance test apparatus of a fluid-filled type vacuum pump capable of performing a performance test of a vacuum pump.

유체봉입타입 진공펌프는 내부 윤활 및 기밀 기능을 하는 유체가 펌프의 내부에 봉입되어 있고, 봉입 유체의 증기압에 의하여 최대 진공도(또는 최저 흡입 압력)가 결정되며, 통상적으로 유체봉입타입 진공펌프는 봉입 유체로 물(water)을 이용하는 것이 일반적이어서 수봉식 진공펌프라고 칭하기도 한다. In the fluid sealed type vacuum pump, the fluid for internal lubrication and airtight function is sealed inside the pump, and the maximum degree of vacuum (or the lowest suction pressure) is determined by the vapor pressure of the sealed fluid. Since it is common to use water as a fluid, it is also called a water-ring type vacuum pump.

이와 같은 유체봉입타입 진공펌프는 도 1에 도시된 바와 같이 유체봉입타입 진공펌프는 로터(104)가 구동됨에 따라 봉입 유체가 원심력에 의하여 유체 링(100)을 형성하고, 상기 유체 링(100)의 내부에 압축공간(114)이 형성되어 흡입포트(112)를 통하여 공기를 유입하고 압축한 후 토출포트(116)를 통하여 압축된 공기를 배출하도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, in the fluid-encapsulated vacuum pump, the sealed fluid forms a fluid ring 100 by centrifugal force as the rotor 104 is driven, and the fluid ring 100 A compression space 114 is formed in the inside of the inlet port 112 to introduce air, and after compression, the compressed air is discharged through the discharge port 116 .

유체봉입타입 진공펌프는 토출포트를 통하여 봉입 유체가 공기와 함께 배출될 수 있으므로, 통상적으로 도 1에 도시된 바와 같이 정상적으로 손실되는 봉입 유체를 보충해 주기 위하여 펌프의 내부로 유체(110)를 보충 공급하도록 구성되어 있다. In the fluid encapsulation type vacuum pump, since the encapsulated fluid can be discharged together with the air through the discharge port, the fluid 110 is replenished into the inside of the pump to replenish the encapsulated fluid normally lost as shown in FIG. 1 . designed to supply.

이처럼 상기 유체봉입타입 진공펌프는 유체 링(100)을 형성하는 봉입 유체를 순환시킬 수 있고, 이를 냉각 순환시킬 경우 기체 압축과정 시 이론적으로는 준-등온압축(quasi-isothermal) 운전이 가능하여 고효율의 운전이 가능한 물리적 구조를 갖고 있다. As such, the fluid sealed type vacuum pump can circulate the sealed fluid forming the fluid ring 100 , and when it is cooled and circulated, quasi-isothermal operation is theoretically possible during the gas compression process, and thus high efficiency It has a physical structure that allows the operation of

하지만, 물을 봉입 유체로 이용하는 기존 진공펌프의 경우, 물의 증기압에 따른 진공도 한계 특성을 갖게 되므로 진공도가 높아질수록(흡입 압력이 낮아질수록) 진공펌프 효율이 급격히 감소하는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 더 낮은 흡입 압력을 갖기 어려워 고진공 시스템에 상기 유체봉입타입 진공펌프를 활용하는데 한계가 있는 문제점이 있다.However, in the case of a conventional vacuum pump using water as a sealing fluid, since it has a limiting characteristic of the degree of vacuum according to the vapor pressure of water, there is a problem that the vacuum pump efficiency rapidly decreases as the degree of vacuum increases (as the suction pressure decreases), and the vacuum pump efficiency is lowered. Since it is difficult to have a suction pressure, there is a problem in that there is a limit to using the fluid-enclosed type vacuum pump in a high vacuum system.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 활용 가능 진공도 영역을 확장하고 에너지 효율을 향상시킬 수 있도록 낮은 증기압과 저점도 특성을 갖는 새로운 유체를 봉입 유체로 활용하는 진공펌프를 개발하는 것이 필요하고, 이를 위해서는 다양한 조건에서 상기 진공펌프에서 요구되는 성능, 예를 들면, 배기속도(또는 배기량), 최고 진공도(최저 흡입 압력), 최저 흡입 압력에 도달하는 시간을 나타내는 배기시간 등을 평가할 수 있는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치를 개발하는 것이 필요하다. In order to solve this problem, it is necessary to develop a vacuum pump that uses a new fluid with low vapor pressure and low viscosity as a sealing fluid to expand the available vacuum range and improve energy efficiency. Performance test of a fluid-filled vacuum pump that can evaluate the performance required for the vacuum pump, for example, exhaust speed (or displacement), maximum vacuum (minimum suction pressure), exhaust time indicating the time to reach the minimum suction pressure, etc. It is necessary to develop the device.

미국공개특허 제2019/00277287호(2019.09.12. 공개)US Patent Publication No. 2019/00277287 (published on September 12, 2019)

본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제는 진공펌프의 봉입 유체, 상기 봉입 유체의 온도, 농도 변화 및 진공펌프에 구비된 로터의 회전속도 변화에 따른 상기 진공펌프의 성능 등을 파악할 수 있는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치를 제공하는 것이다.The technical problem to be solved in the present invention is a fluid encapsulation type vacuum capable of grasping the performance of the vacuum pump according to the change in the sealing fluid of the vacuum pump, the temperature and concentration change of the sealed fluid, and the rotational speed change of the rotor provided in the vacuum pump. It is to provide a pump performance test device.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned can be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치(1)는, 시험용 유체봉입타입 진공펌프(100); 상기 진공펌프(100)의 흡기 포트(110)와 연결되어 있는 진공 챔버(200); 상기 진공펌프(100)의 토출 포트(120)와 연결되어 있고, 상기 진공펌프(100)에 봉입되는 유체(f)가 저장된 유체 저장조(300); 상기 진공펌프(100)의 유체 유입 포트(130)와 상기 유체 저장조(300) 사이에 구비되어 있는 온도조절장치(500); 및 제어계측부(600)를 포함하되, 상기 유체 저장조(300)에 저장된 상기 유체(f)는 상기 온도조절장치(500)를 거쳐 상기 진공펌프(100)로 유입될 수 있고, 상기 온도조절장치(500)는 상기 유체 저장조(300)에서 유입되는 상기 유체(f)를 상기 제어계측부(600)에서 설정된 온도로 변환할 수 있도록 구성되어 있을 수 있다. In order to achieve the above technical object, the performance testing apparatus 1 for a fluid sealed type vacuum pump of the present invention includes: a fluid sealed type vacuum pump 100 for testing; a vacuum chamber 200 connected to the intake port 110 of the vacuum pump 100; a fluid storage tank 300 connected to the discharge port 120 of the vacuum pump 100 and storing the fluid f sealed in the vacuum pump 100; a temperature control device 500 provided between the fluid inlet port 130 of the vacuum pump 100 and the fluid storage tank 300 ; and a control measuring unit 600, wherein the fluid f stored in the fluid storage tank 300 may be introduced into the vacuum pump 100 through the temperature control device 500, and the temperature control device ( 500 may be configured to convert the fluid f flowing in from the fluid storage tank 300 to a temperature set by the control measuring unit 600 .

또한, 상기 유체 저장조(300)에는 저장된 상기 유체(f)의 농도를 측정하기 위한 제1 농도계(831)가 추가로 구비되어 있고, 저장된 상기 유체(f)의 농도를 제어하기 위한 농도 조절부(350)가 추가로 구비되어 있을 수 있다. In addition, the fluid storage tank 300 is further provided with a first densitometer 831 for measuring the concentration of the stored fluid f, and a concentration adjusting unit for controlling the stored concentration of the fluid f ( 350) may be additionally provided.

또한, 상기 진공펌프(100)와 상기 유체 저장조(300) 사이에는 상기 진공펌프(100)에서 토출되는 상기 유체(f)의 농도를 측정하기 위한 제2 농도계(832)가 추가로 구비되어 있을 수 있다.In addition, a second densitometer 832 for measuring the concentration of the fluid f discharged from the vacuum pump 100 may be additionally provided between the vacuum pump 100 and the fluid storage tank 300 . have.

또한, 상기 진공펌프(100)에는 상기 제어계측부(600)에 의해 제어되며 상기 진공펌프(100)에 구비된 로터(140)의 회전속도를 제어하기 위한 인버터(150)가 추가로 연결되어 있을 수 있다.In addition, the vacuum pump 100 is controlled by the control measuring unit 600 and an inverter 150 for controlling the rotation speed of the rotor 140 provided in the vacuum pump 100 may be additionally connected. have.

또한, 상기 유체 저장조(300)와 상기 온도조절장치(500) 사이에 순환펌프(400)가 추가로 구비되어 있을 수 있다.In addition, a circulation pump 400 may be additionally provided between the fluid storage tank 300 and the temperature control device 500 .

또한, 상기 온도조절장치(500)는, 상기 온도제어챔버(510); 및 상기 온도제어챔버(510)에 구비된 제1 열교환기(510)를 포함하고, 상기 온도제어챔버(510)는 상기 순환펌프(400)와 유체 이송 배관(714)를 매개로 연결되어 있고, 상기 진공펌프(100)의 유체 유입 포트(130)와 유체 공급 배관(715)을 매개로 연결되어 있을 수 있다. In addition, the temperature control device 500, the temperature control chamber 510; and a first heat exchanger 510 provided in the temperature control chamber 510, wherein the temperature control chamber 510 is connected to the circulation pump 400 and a fluid transfer pipe 714 as a medium, The fluid inlet port 130 of the vacuum pump 100 and the fluid supply pipe 715 may be connected as a medium.

또한, 상기 제어계측부(600)는, 상기 온도제어챔버(510)에 상기 유체(f)가 설정된 높이까지 유입될 때까지 상기 순환펌프(400)를 구동한 후 정지시키고, 상기 온도제어챔버(510)에 유입된 상기 유체(f)의 온도가 상기 제1 열교환기( 520)의 작동에 의하여 설정된 온도가 되었을 때, 상기 순환펌프(400)를 재구동하여 상기 진공펌프(100)의 내부에 봉입되는 상기 유체(f)의 온도를 제어하는 구성을 포함하고 있을 수 있다.In addition, the control measuring unit 600 drives and stops the circulation pump 400 until the fluid f flows into the temperature control chamber 510 to a set height, and then stops the temperature control chamber 510 . ), when the temperature of the fluid (f) introduced into the first heat exchanger (520) reaches a set temperature, the circulation pump (400) is re-driven and sealed in the vacuum pump (100) It may include a configuration for controlling the temperature of the fluid (f) to be.

본 발명에 나타난 유체봉입타입 진공펌프의 성능시험장치는, 새로운 유체가 봉입된 진공펌프의 다양한 성능시험을 수행할 수 있는 장점이 있다.The performance testing apparatus for a fluid-enclosed vacuum pump according to the present invention has the advantage of being able to perform various performance tests of a vacuum pump in which a new fluid is sealed.

본 발명의 성능시험장치는, 봉입 유체의 농도 및 온도를 제어하면서 성능시험을 수행할 수 있어, 봉입 유체의 농도 및 온도 변화에 따른 진공펌프의 성능시험을 수행할 수 있는 장점이 있다. The performance test apparatus of the present invention has the advantage of being able to perform a performance test while controlling the concentration and temperature of the sealing fluid, and thus performing a performance test of the vacuum pump according to the change in the concentration and temperature of the sealing fluid.

본 발명의 성능시험장치는, 펌프에 구비된 로터의 회전 속도를 제어하면서 성능시험을 수행할 수 있어, 로터의 회전 속도 변화에 따른 진공펌프의 성능시험을 수행할 수 있는 장점이 있다. The performance test apparatus of the present invention has the advantage of being able to perform a performance test while controlling the rotational speed of a rotor provided in the pump, thereby performing a performance test of a vacuum pump according to a change in the rotational speed of the rotor.

본 발명의 성능시험장치는, 온도조절장치(500)에 온도조절챔버(510)가 구비되어 있어, 상기 온도조절챔버(510)에서 유체(f)의 온도를 제어한 후 이를 상기 진공펌프(100)로 유입되도록 구성함으로써, 상기 진공펌프(100)의 내부에 구비되는 유체(f)의 온도를 보다 쉽게 설정된 온도로 제어하며 진공펌프의 성능시험을 수행할 수 있는 장점이 있다. In the performance test apparatus of the present invention, a temperature control chamber 510 is provided in the temperature control device 500 , and after controlling the temperature of the fluid f in the temperature control chamber 510 , the temperature control chamber 510 controls the temperature of the vacuum pump 100 . .

또한, 본 발명의 성능시험장치는 성능시험을 통하여 보다 효과적으로 활용 가능 진공도 영역을 확장하고, 에너지 효율을 향상시킬 수 있는 새로운 봉입 유체가 구비된 진공펌프를 개발할 수 있는 장점이 있다. In addition, the performance test apparatus of the present invention has the advantage of being able to develop a vacuum pump equipped with a new sealing fluid that can more effectively expand the usable vacuum range and improve energy efficiency through the performance test.

도 1. 종래기술에 나타난 유체 링 펌프의 단면도.
도 2. 본 발명에 따른 유체봉입타입 진공펌프의 성능시험장치의 블록도.
도 3. 본 발명에 나타난 온도계 및 농도계가 설치된 토출 배관 부분도.
도 4. 본 발명에 나타난 온도제어장치의 다른 실시예.
도 5. 본 발명에 나타난 제어계측부 구성의 블록도.Figure 1. A cross-sectional view of a fluid ring pump shown in the prior art.
Figure 2. A block diagram of a performance testing apparatus for a fluid-filled vacuum pump according to the present invention.
Figure 3. A partial view of the discharge pipe in which the thermometer and the densitometer shown in the present invention are installed.
Figure 4. Another embodiment of the temperature control device shown in the present invention.
5. A block diagram of the configuration of the control instrumentation unit shown in the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be embodied in several different forms, and thus is not limited to the embodiments described herein.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part is said to be “connected (connected, contacted, coupled)” with another part, it is not only “directly connected” but also “indirectly connected” with another member interposed therebetween. "Including cases where In addition, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further provided without excluding other components unless otherwise stated.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. The terminology used herein is used only to describe specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present specification, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야에 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art can easily implement them.

도 2는 본 발명에 따른 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치의 블록도이다.2 is a block diagram of a performance testing apparatus for a fluid sealed type vacuum pump according to the present invention.

도 2를 참조하여 살펴보면, 본 발명의 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치는, 시험용 유체봉입타입 진공펌프(100); 유체 저장조(300); 온도조절장치(500); 및 제어계측부(600)를 포함하고 있다.Referring to FIG. 2 , the performance testing apparatus for a fluid sealed type vacuum pump of the present invention includes: a fluid sealed type vacuum pump 100 for testing; fluid reservoir 300; temperature control device 500; and a control measurement unit 600 .

상기 시험용 유체봉입타입 진공펌프(100)는, 종래기술인 도 1에도 도시되어 있듯이, 편심 설치된 로터, 흡기 포트(110), 토출 포트(120) 및 유체 유입 포트(130)를 포함하고 있을 수 있다. The test fluid-enclosed vacuum pump 100 may include an eccentrically installed rotor, an intake port 110 , a discharge port 120 , and a fluid inlet port 130 , as shown in FIG. 1 , which is a prior art.

상기 진공펌프(100)에는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 로터의 회전속도를 변경하면서 성능시험을 수행할 수 있도록 상기 로터의 속도를 제어할 수 있는 인버터(150)가 추가로 결합되어 있을 수 있다. As shown in FIG. 2 , an inverter 150 capable of controlling the speed of the rotor may be additionally coupled to the vacuum pump 100 so as to perform a performance test while changing the rotation speed of the rotor. .

한편, 상기 시험용 유체봉입타입 진공펌프(100)의 내부에는 상기 로터의 회전에 따라 유체 링을 형성하는 유체(f)가 구비되어 있다. On the other hand, a fluid f that forms a fluid ring according to the rotation of the rotor is provided inside the test fluid-enclosed type vacuum pump 100 .

상기 유체(f)는 통상적으로 물(water)이 사용되어 왔으나, 진공도가 높은 조건에서도 효율이 높은 진공펌프(100)를 개발하는데 활용할 수 있도록 위하여 본 발명의 상기 진공펌프(100)에는 저점도 저증기압 특성을 갖는 유체(f)를 비롯한 다양한 유체를 교체하여 봉입할 수 있도록 구성되어 있고, 다양한 진공도, 다양한 유체의 온도 및 농도 조건에서 진공펌프(100)의 성능시험을 수행할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.Although water has been used as the fluid f, the vacuum pump 100 of the present invention has a low viscosity and low viscosity so that it can be utilized to develop a high-efficiency vacuum pump 100 even under a high vacuum condition. It is configured to replace and encapsulate various fluids including the fluid f having vapor pressure characteristics, and is configured to perform performance tests of the vacuum pump 100 in various vacuum degrees, temperature and concentration conditions of various fluids. it is preferable

상기 흡기 포트(110)는 상기 진공펌프(100)로 공기를 흡입하는 구성요소이다. The intake port 110 is a component that sucks air into the vacuum pump 100 .

상기 흡기 포트(110)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 진공챔버(200)와 연결되어 있다. The intake port 110 is connected to the vacuum chamber 200 as shown in FIG. 2 .

상기 진공챔버(200)는 진공도를 확인할 수 있도록 압력계(810)가 구비되어 있고, 일측에는 공기 공급 배관(711)이 추가로 연결되어 있을 수 있다. 이 때, 상기 공기 공급 배관(711)에는 공기 공급을 제어할 수 있도록 제1 개폐 밸브(721)가 추가로 구비되어 있을 수 있다.The vacuum chamber 200 is provided with a pressure gauge 810 to check the degree of vacuum, and an air supply pipe 711 may be additionally connected to one side. In this case, a first opening/closing valve 721 may be additionally provided in the air supply pipe 711 to control the air supply.

상기 진공챔버(200)와 상기 흡기 포트(110)는 도 2에 도시된 바와 같이 흡기 배관(712)을 매개로 연결되어 있어, 상기 진공펌프(100)가 작동함에 따라 진공챔버(200)의 내부에 존재하는 공기가 진공펌프(100)의 내부로 흡입될 수 있다. The vacuum chamber 200 and the intake port 110 are connected via an intake pipe 712 as shown in FIG. 2 , and as the vacuum pump 100 operates, the inside of the vacuum chamber 200 is Air present in the vacuum pump 100 may be sucked into the interior.

이러한 구성을 통하여 본 발명의 진공펌프 성능시험장치(1)는 진공챔버(200) 내부의 공기가 상기 진공펌프(100)로 배기되는 속도, 진공챔버(200)의 진공도 등을 측정하면서 진공펌프(100)의 성능시험을 수행할 수 있다. Through this configuration, the vacuum pump performance testing apparatus 1 of the present invention measures the speed at which the air inside the vacuum chamber 200 is exhausted to the vacuum pump 100, the degree of vacuum of the vacuum chamber 200, and the like. 100) performance test can be performed.

이 때, 상기 흡기 배관(712)에는 도 2에 도시된 바와 같이 공기의 흐름을 제어하기 위한 제1 체크 밸브(731)와 제2 개폐 밸브(722)가 추가로 구비되어 있을 수 있고, 진공펌프(100)로 흡입되는 공기의 온도를 측정하기 위한 제1 온도계(821)가 추가로 구비되어 있을 수 있다. At this time, as shown in FIG. 2 , a first check valve 731 and a second on/off valve 722 for controlling the air flow may be additionally provided in the intake pipe 712 , and a vacuum pump A first thermometer 821 for measuring the temperature of air sucked into 100 may be additionally provided.

상기 토출 포트(120)로는 상기 진공펌프(100)에서 압축된 공기가 배출된다. The air compressed in the vacuum pump 100 is discharged to the discharge port 120 .

유체봉입타입 진공펌프(100)는 일반적으로 토출 포트(120)를 통하여 압축된 공기와 함께 봉입된 유체(f) 일부가 함께 배출된다.In the fluid encapsulation type vacuum pump 100 , a portion of the fluid f sealed together with the compressed air is generally discharged through the discharge port 120 .

본 발명의 성능시험장치(1)는 상기 유체(f)가 순환할 수 있도록 구성하기 위하여 도 2에 도시된 바와 같이 상기 토출 포트(120)가 진공펌프(100)에 봉입된 유체(f)와 동일한 유체(f)가 저장된 유체 저장조(300)와 연결되어 있고, 상기 유체 저장조(300)의 유체(f)는 상기 진공펌프(100)로 유입되도록 구성되어 있다. In the performance testing apparatus 1 of the present invention, as shown in FIG. 2 to configure the fluid f to circulate, the discharge port 120 is sealed in the vacuum pump 100 with the fluid f and The same fluid f is connected to the stored fluid storage tank 300 , and the fluid f of the fluid storage tank 300 is configured to flow into the vacuum pump 100 .

상기 토출 포트(120)와 상기 유체 저장조(300)는 토출 배관(713)을 매개로 연결되어 있는데, 상기 토출 배관(713)으로는 도 3에 도시된 바와 같이 공기(a)와 상기 진공펌프(100)에서 토출된 유체(f)가 함께 상기 유체 저장조(300)로 이송되도록 구성되어 있다. The discharge port 120 and the fluid storage tank 300 are connected via a discharge pipe 713, and as shown in FIG. 3, the discharge pipe 713 includes air (a) and the vacuum pump ( The fluid f discharged from 100) is configured to be transferred to the fluid storage tank 300 together.

상기 토출 배관(713)에는 역류를 방지하기 위한 제2 체크 밸브(732)가 추가로 구비되어 있을 수 있으며, 상기 진공펌프(100) 내부에 형성된 유체(f)의 온도 및/또는 농도 변화를 측정할 수 있도록 제2 온도계(822) 및/또는 제2 농도계(832)가 추가로 구비되어 있을 수 있다. 이 때, 상기 제2 온도계(822)와 제2 농도계(832)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 진공펌프(100)로부터 토출된 유체(f)의 온도 및 농도를 측정할 수 있도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.A second check valve 732 for preventing backflow may be additionally provided in the discharge pipe 713 , and the temperature and/or concentration change of the fluid f formed inside the vacuum pump 100 is measured. To do this, a second thermometer 822 and/or a second densitometer 832 may be additionally provided. At this time, the second thermometer 822 and the second densitometer 832 are installed to measure the temperature and concentration of the fluid f discharged from the vacuum pump 100 as shown in FIG. it is preferable

상기 유체 저장조(300)는 상기 진공펌프(100)의 내부에 봉입되는 유체(f)가 저장되어 있고, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 유체(f)는 진공펌프(100)를 거쳐 순환하도록 구성되어 있다. The fluid storage tank 300 stores the fluid f sealed in the vacuum pump 100 , and as shown in FIG. 2 , the fluid f is configured to circulate through the vacuum pump 100 . has been

상기 토출 배관(713)을 통하여 상기 진공펌프(100)로부터 상기 유체 저장조(300)에 유입되는 유체(f)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 진공펌프(100)에서 압축된 공기(a)와 함께 유입된다. The fluid (f) flowing into the fluid storage tank 300 from the vacuum pump 100 through the discharge pipe 713 is combined with the air (a) compressed in the vacuum pump 100 as shown in FIG. 3 . are brought in together

따라서, 상기 유체 저장조(300)에는 유입된 공기(a)를 배출시킬 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 도 2에는 상기 유체 저장조(300)에 공기 배출관(716)이 형성되어 있으나 이에 한정되지는 않고 유입된 공기를 유입된 유체(f)와 분리하여 배출시킬 수 있는 구성이면 충분할 것이다. Therefore, it is preferable that the fluid storage tank 300 is configured to discharge the introduced air (a). In FIG. 2 , an air discharge pipe 716 is formed in the fluid storage tank 300 , but the present invention is not limited thereto, and a configuration capable of separating and discharging the introduced air from the introduced fluid f will be sufficient.

상기 유체 저장조(300)에는 도 2에 도시된 바와 같이 저장된 유체(f)의 농도를 측정할 수 있는 제1 농도계(831)가 추가로 구비되어 있을 수 있다.As shown in FIG. 2 , the fluid storage tank 300 may further include a first densitometer 831 capable of measuring the concentration of the stored fluid f.

상기 토출 배관(713)을 통하여 이송된 공기(a) 및 유체(f)는 상기 유체 저장조(300)로 유입되므로, 상기 진공펌프(100)의 작동 및 유체(f)의 온도에 따라 상기 유체(f)에서 수분이 증발될 수 있으므로 상기 유체 저장조(300)의 내부에 저장된 유체(f)의 농도가 변할 수 있다. Since the air (a) and the fluid (f) transferred through the discharge pipe 713 are introduced into the fluid storage tank 300, depending on the operation of the vacuum pump 100 and the temperature of the fluid f, the fluid ( Since moisture may be evaporated in f), the concentration of the fluid f stored in the fluid storage tank 300 may change.

또한, 본 발명의 진공펌프 성능시험장치(1)는 진공펌프(100)에 봉입되는 유체(f)의 농도를 변화시키며 성능시험을 수행할 수 있도록, 상기 제어계측부(600)에서 진공펌프(100)에 봉입되는 유체(f)의 농도를 설정하고, 상기 유체 저장조(300)에 저장된 유체(f)의 농도를 상기 설정된 농도가 되도록 변화시킬 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the vacuum pump performance testing apparatus 1 of the present invention changes the concentration of the fluid f enclosed in the vacuum pump 100 and performs the performance test in the control measuring unit 600 in the vacuum pump 100 ) is preferably configured to set the concentration of the fluid f enclosed in the fluid storage tank 300 and to change the concentration of the fluid f stored in the fluid storage tank 300 to the set concentration.

이를 위하여 도 2에 도시된 바와 같이 상기 유체 저장조(300)에 농도 조절부(350)가 연결되어 있을 수 있다. To this end, as shown in FIG. 2 , a concentration control unit 350 may be connected to the fluid storage tank 300 .

상기 농도 조절부(350)는 상기 유체 저장조(300)에 고농도의 유체(f)를 공급하여 상기 유체 저장조(300)의 내부에 저장된 유체(f)의 농도를 높일 수도 있고, 상기 농도 조절부(350)에서 저농도의 유체(f) 또는 물 등을 공급하여 상기 유체 저장조(300)의 내부에 저장된 유체(f)의 농도를 낮출 수도 있을 것이다.The concentration control unit 350 may supply a high-concentration fluid f to the fluid storage tank 300 to increase the concentration of the fluid f stored in the fluid storage tank 300, and the concentration control unit ( 350), it may be possible to lower the concentration of the fluid (f) stored in the fluid storage tank 300 by supplying a low-concentration fluid (f) or water.

이 때, 상기 농도 조절부(350)와 상기 유체 저장조(300) 사이에는 농도 제어용 유체의 공급을 제어할 수 있도록 제5 개폐 밸브(725)가 추가로 구비되어 있을 수 있다. In this case, a fifth on/off valve 725 may be additionally provided between the concentration control unit 350 and the fluid storage tank 300 to control the supply of the concentration control fluid.

이처럼 설정된 농도를 갖는 상기 유체 저장조(300)의 내부에 저장된 유체(f)는 상기 온도 조절장치(500)를 경유하여 상기 진공펌프(100)의 내부로 공급될 수 있다. The fluid f stored in the fluid storage tank 300 having the concentration set as described above may be supplied to the inside of the vacuum pump 100 via the temperature control device 500 .

도 2에 도시된 바와 같이 상기 유체 저장조(300)와 상기 온도조절장치(500)는 유체 이송 배관(714)을 매개로 연결되어 있고, 상기 온도조절장치(500)와 상기 진공펌프(100)의 유체 유입 포트(130)는 유체 공급 배관(715)을 매개로 연결되어 있다.As shown in FIG. 2 , the fluid storage tank 300 and the temperature control device 500 are connected through a fluid transfer pipe 714 , and the temperature control device 500 and the vacuum pump 100 are connected to each other. The fluid inlet port 130 is connected via a fluid supply pipe 715 .

상기 유체 이송 배관(714)에는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 유체 저장조(300)의 유체(f)를 보다 원활하게 상기 온도조절장치(500)로 이송시킬 수 있도록 순환펌프(400)가 추가로 구비되어 있을 수 있다. As shown in FIG. 2 , the fluid transfer pipe 714 includes a circulation pump 400 to more smoothly transfer the fluid f of the fluid storage tank 300 to the temperature control device 500 . may be available.

또한, 상기 유체 이송 배관(714)에는 유체(f)의 이송을 제어할 수 있도록 도 2에 도시된 바와 같이 제3 개폐 밸브(723)와 제3 체크 밸브(733)가 추가로 구비되어 있을 수 있다.In addition, a third on-off valve 723 and a third check valve 733 may be additionally provided in the fluid transfer pipe 714 as shown in FIG. 2 to control the transfer of the fluid f. have.

상기 유체 공급 배관(715)에도 유체(f)가 상기 진공펌프(100)의 내부로 공급되는 것을 제어할 수 있도록 도 2에 도시된 바와 같이 제4 개폐 밸브(724)와 제4 체크 밸브(734)가 추가로 구비되어 있을 수 있다.As shown in FIG. 2 , a fourth on/off valve 724 and a fourth check valve 734 can be controlled to control that the fluid f is also supplied to the fluid supply pipe 715 into the vacuum pump 100 . ) may be additionally provided.

또한, 상기 유체 공급 배관(715)에는 상기 진공펌프(100)로 공급되는 유체(f)의 온도를 측정할 수 있도록 제3 온도계(823)가 추가로 구비되어 있을 수 있다. In addition, a third thermometer 823 may be additionally provided in the fluid supply pipe 715 to measure the temperature of the fluid f supplied to the vacuum pump 100 .

한편, 상기 유체 이송 배관(714)에는 도 2에 도시된 바와 같이 유체 배출관(717)이 추가로 구비되어 있을 수 있다. Meanwhile, as shown in FIG. 2 , a fluid discharge pipe 717 may be additionally provided in the fluid transfer pipe 714 .

상기 유체 배출관(717)에는 제6 개폐 밸브(726)가 추가로 구비되어 있을 수 있고, 상기 제6 개폐 밸브(726)를 제어하면서 상기 유체 저장조(300)의 내부에 저장된 유체(f)를 외부로 배출시킬 수 있다. A sixth on-off valve 726 may be additionally provided in the fluid discharge pipe 717 , and the fluid f stored in the fluid storage tank 300 is transferred to the outside while controlling the sixth on-off valve 726 . can be discharged with

이와 같은 상기 유체 배출관(717)은 상기 유체 저장조(300)의 내부에 저장된 유체(f)를 교체하거나, 진공펌프(100), 토출 배관(713), 유체 이송 배관(714) 및 유체 공급 배관(715)을 세정한 후, 이를 배출시키는 공정을 보다 원활하게 할 수 있을 것이다. Such a fluid discharge pipe 717 replaces the fluid f stored in the fluid storage tank 300, or a vacuum pump 100, a discharge pipe 713, a fluid transfer pipe 714, and a fluid supply pipe ( 715) after washing, it will be possible to make the process of discharging it more smoothly.

상기 온도조절장치(500)는 상기 진공펌프(100)의 내부로 공급하는 유체(f)의 온도를 제어하기 위한 구성요소이다. The temperature controller 500 is a component for controlling the temperature of the fluid f supplied to the inside of the vacuum pump 100 .

진공펌프(100)의 내부에 봉입되는 유체(f)의 온도에 따라서 성능이 변할 수 있으므로, 유체(f)의 다양한 온도에서 성능시험을 수행하는 것이 요구될 수 있다. Since the performance may vary depending on the temperature of the fluid f enclosed in the vacuum pump 100 , it may be required to perform a performance test at various temperatures of the fluid f.

이를 구현하기 위하여 상기 온도조절장치(500)는 유체 저장조(300)에서 이송되는 유체(f)의 온도를 상기 제어계측부(600)에서 설정한 온도의 유체(f)가 되도록 온도를 조절할 수 있는 구성을 포함하고 있는 것이 바람직하다. In order to implement this, the temperature control device 500 is configured to adjust the temperature so that the temperature of the fluid f transferred from the fluid storage tank 300 becomes the fluid f of the temperature set by the control measuring unit 600 . It is preferable to include

상기 온도조절장치(500)는 통상적인 열교환기 등으로 구성할 수도 있다. The temperature control device 500 may be configured as a conventional heat exchanger or the like.

하지만, 상기 유체 저장조(300)로부터 이송되는 유체(f)의 온도와 제어계측부(600)에서 설정한 온도의 차이가 큰 경우에는 상기 진공펌프(100)로 공급되는 유체(f)의 온도를 설정된 온도가 되도록 제어하기 어려울 수도 있다. However, when the difference between the temperature of the fluid f transferred from the fluid storage tank 300 and the temperature set by the control measuring unit 600 is large, the temperature of the fluid f supplied to the vacuum pump 100 is set The temperature can be difficult to control.

특히 도 2에 도시된 바와 같이 순환펌프(400)를 작동하여 유체(f)를 상기 진공펌프(100)로 공급하는 경우에는 공급되는 유체(f)의 온도 제어가 더 어려울 수도 있다. In particular, as shown in FIG. 2 , when the fluid f is supplied to the vacuum pump 100 by operating the circulation pump 400 , it may be more difficult to control the temperature of the supplied fluid f.

본 발명자는 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 도 4에 도시된 바와 같이 온도제어챔버(510) 및 상기 온도제어챔버(510)에 구비된 제1 열교환기(520)을 포함하는 온도조절장치(500)를 구성하였다.In order to solve this problem, the present inventors have a temperature control apparatus 500 including a temperature control chamber 510 and a first heat exchanger 520 provided in the temperature control chamber 510 as shown in FIG. 4 . was configured.

상기 온도제어챔버(510)는 상기 유체 이송 배관(714) 및 유체 공급 배관(715)과 연결되어 있으며, 상기 유체 이송 배관(714)을 통하여 상기 유체 저장조(300)의 유체(f)를 온도제어챔버(510)로 유입하고, 상기 유체 공급 배관(715)을 통하여 상기 온도제어챔버(510) 내부의 온도제어된 유체(f)를 상기 진공펌프(100)로 공급한다.The temperature control chamber 510 is connected to the fluid transfer pipe 714 and the fluid supply pipe 715 , and temperature-controls the fluid f of the fluid storage tank 300 through the fluid transfer pipe 714 . It flows into the chamber 510 and supplies the temperature-controlled fluid f inside the temperature control chamber 510 to the vacuum pump 100 through the fluid supply pipe 715 .

상기 온도제어챔버(510)의 외측에는 상기 온도제어챔버(510)로 유입된 유체(f)를 상기 제어계측부(600)에서 설정한 온도까지 변화시킬 수 있도록 상기 제1 열교환기(520)가 결합되어 있을 수 있다.The first heat exchanger 520 is coupled to the outside of the temperature control chamber 510 so as to change the fluid f introduced into the temperature control chamber 510 to the temperature set by the control measuring unit 600 . may have been

상기 온도제어챔버(510)의 내부로 유입된 상기 유체(f)의 온도를 상기 유체(f)가 순환하는 상태에서 설정 온도까지 변환시킬 수 없을 수도 있는데, 이러한 경우에는 상기 온도제어챔버(510) 내부에 일정한 높이까지 유체(f)가 유입되면 상기 순환펌프(400)의 구동을 정지시킨 다음, 상기 제1 열교환기(520)를 이용하여 상기 온도제어챔버(510)에 저장된 유체(f)의 온도를 설정 온도까지 변환시킨 후 다시 순환펌프(400)를 재구동하여 상기 온도제어챔버(510) 내부의 설정된 온도를 갖는 유체(f)가 상기 진공펌프(100)로 이송되도록 함으로서, 보다 다양한 온도를 갖는 유체(f)에 대하여 성능시험을 수행하는 것이 가능할 수 있다.It may not be possible to convert the temperature of the fluid f introduced into the temperature control chamber 510 to a set temperature while the fluid f circulates. In this case, the temperature control chamber 510 When the fluid (f) flows into the inside to a certain height, the operation of the circulation pump 400 is stopped, and then, the fluid f stored in the temperature control chamber 510 is removed using the first heat exchanger 520 . After the temperature is converted to a set temperature, the circulation pump 400 is again driven so that the fluid f having a set temperature inside the temperature control chamber 510 is transferred to the vacuum pump 100, so that a more diverse temperature It may be possible to perform a performance test on the fluid f with

상기 온도제어챔버(510)의 내부에 유입된 유체(f)의 높이 및 온도를 측정하기 위하여 도 4에 도시된 바와 같이 레벨 게이지(840) 및 제4 온도계(824)가 추가로 구비되어 있을 수 있다. In order to measure the height and temperature of the fluid f introduced into the temperature control chamber 510, as shown in FIG. 4, a level gauge 840 and a fourth thermometer 824 may be additionally provided. have.

한편, 온도제어챔버(510) 내부의 유체(f)에 대하여 설정한 온도는 진공펌프(100) 내부의 유체(f)의 설정 온도와 동일하게 설정할 수도 있는데, 이에 한정되지는 않고 필요한 경우 서로 다른 온도로 설정할 수도 있다. 예를 들어, 진공펌프(100) 내부에 있는 기존 유체(f)의 온도가 성능시험하고자 하는 설정 온도보다 높은 경우에는, 진공펌프(100) 내부의 유체(f) 온도가 설정 온도까지 보다 빠르게 도달할 수 있도록 초기에는 온도제어챔버(510) 내부의 유체 설정 온도를 상기 진공펌프(100) 내부의 유체(f)에 대한 설정 온도보다 낮게 설정하는 것도 가능할 것이다.On the other hand, the temperature set for the fluid f inside the temperature control chamber 510 may be set to be the same as the set temperature of the fluid f inside the vacuum pump 100, but it is not limited thereto. You can also set the temperature. For example, when the temperature of the existing fluid f in the vacuum pump 100 is higher than the set temperature for the performance test, the temperature of the fluid f inside the vacuum pump 100 reaches the set temperature more quickly It may be possible to initially set the set temperature of the fluid inside the temperature control chamber 510 to be lower than the set temperature for the fluid f inside the vacuum pump 100 .

상기 온도제어장치(500)에는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 유체 이송 배관(714)에 결합된 제2 열교환기(530)가 추가로 구비되어 있을 수 있고, 상기 제2 열교환기(530)의 작동에 따라 상기 온도제어챔버(510)의 내부로 유입되는 유체(f)에서 일차적으로 열교환이 이루어지도록 하여 온도제어챔버(510)의 내부로 유입된 유체(f)가 상기 제어계측부(600)에서 설정된 온도까지 보다 원활하게 온도 변화될 수 있도록 구성할 수 있다.As shown in FIG. 4 , the temperature control device 500 may further include a second heat exchanger 530 coupled to the fluid transfer pipe 714 , and According to the operation, heat exchange is primarily performed with the fluid f flowing into the temperature control chamber 510 so that the fluid f flowing into the temperature control chamber 510 is transferred from the control measuring unit 600 It can be configured so that the temperature can be changed more smoothly up to the set temperature.

상기 제어계측부(600)는 도 5에 도시된 바와 같이 입력부(610), 데이터 수신부(620), 제어부(630), 데이터저장부(640) 및 출력부(650)를 포함하고 있을 수 있다. As shown in FIG. 5 , the control measuring unit 600 may include an input unit 610 , a data receiving unit 620 , a control unit 630 , a data storage unit 640 , and an output unit 650 .

상기 입력부(610)는 위에서 살펴본 바와 같이 진공펌프(100)에 봉입되는 유체(f)의 온도와 농도, 온도제어챔버(510) 내부의 유체(f)의 온도 및 진공펌프(100) 로터의 회전속도 등을 설정할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. As described above, the input unit 610 includes the temperature and concentration of the fluid f enclosed in the vacuum pump 100 , the temperature of the fluid f inside the temperature control chamber 510 , and the rotation of the vacuum pump 100 rotor. It is preferable that it is comprised so that a speed etc. can be set.

상기 데이터 수신부(620)는 진공펌프 성능시험장치(1)에 구비된 압력계(810), 각 온도계(821, 822, 823, 824), 각 농도계(831, 832) 및 레벨 게이지(840)로부터 신호를 수신하도록 구성되어 있다. The data receiving unit 620 is a pressure gauge 810, each of the thermometers 821, 822, 823, 824, each of the densitometers 831, 832 and the level gauge 840 provided in the vacuum pump performance testing apparatus 1, a signal from is configured to receive

상기 제어부(630)는 진공펌프 성능시험장치(1)의 진공펌프(100), 진공챔버(200), 유체 저장조(300), 순환펌프(400) 및 온도조절장치(500)를 제어할 수 있도록 구성되어 있고, 이와 함께 각 개폐 밸브들의 작동을 제어할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.The control unit 630 is to control the vacuum pump 100, the vacuum chamber 200, the fluid storage tank 300, the circulation pump 400 and the temperature control device 500 of the vacuum pump performance testing device (1) It is preferably configured to be able to control the operation of each on-off valve with this configuration.

상기 제어부(630)는 상기 입력부(610)에서 설정한 데이터 및 상기 데이터 수신부(620)에서 수신한 데이터를 이용하여 각 구성요소들을 제어하여 상기 입력부(610)에서 설정된 조건으로 상기 성능시험장치(1)를 작동시킬 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.The control unit 630 controls each component using the data set by the input unit 610 and the data received by the data receiving unit 620 to set the conditions set by the input unit 610 in the performance testing apparatus 1 ) is preferably configured to be able to operate.

상기 데이터 저장부(640)에서는 상기 진공펌프 성능시험장치(1)에서 성능시험 중에 입력하거나 측정한 다양한 데이터를 저장하는 구성요소로써, 적어도 상기 입력부(610)에서 설정한 데이터 및 상기 성능시험장치(1)가 상기 설정한 조건에서 작동할 때 각 계측기에서 측정한 데이터를 저장할 수 있도록 하여 해당 설정 조건에서의 진공펌프(100)의 성능을 파악할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.The data storage unit 640 is a component for storing various data input or measured during the performance test in the vacuum pump performance testing device 1, and includes at least the data set in the input unit 610 and the performance testing device ( When 1) operates under the set conditions, it is preferable to store the data measured by each measuring instrument so that the performance of the vacuum pump 100 under the set conditions can be grasped.

상기 출력부(650)는 디스플레이부를 포함하고 있을 수 있고, 성능시험 결과를 비롯한 상기 다양한 데이터를 나타낼 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직할 것이다.The output unit 650 may include a display unit, and is preferably configured to display the various data including performance test results.

이와 같이 구성된 본 발명의 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치의 성능시험방법을 살펴보면 다음과 같다.The performance test method of the fluid-enclosed type vacuum pump performance testing apparatus of the present invention configured as described above is as follows.

먼저, 진공펌프(100), 진공챔버(200), 유체 저장조(300), 순환펌프(400) 및 온도조절장치(500), 제어계측부(600) 및 다양한 밸브와 계측기를 도 2에 도시된 바와 같이 구성한다. First, a vacuum pump 100 , a vacuum chamber 200 , a fluid storage tank 300 , a circulation pump 400 and a temperature control device 500 , a control measuring unit 600 , and various valves and instruments as shown in FIG. 2 . make up together

상기 입력부(610)에서 상기 진공펌프(100)에 봉입할 유체(f), 상기 유체(f)의 온도 및 농도를 설정하고, 진공펌프(100) 로터의 회전속도를 설정한다. The input unit 610 sets the fluid f to be sealed in the vacuum pump 100 and the temperature and concentration of the fluid f, and sets the rotation speed of the vacuum pump 100 rotor.

상기 진공챔버(200)의 내부 압력은 제1 개폐 밸브(721)를 설정된 조건이 될 때까지 개방하여 대기압 상태가 되도록 할 수도 있고, 필요에 따라 미리 설정된 압력으로 설정할 수도 있을 것이다.The internal pressure of the vacuum chamber 200 may be set to atmospheric pressure by opening the first on/off valve 721 until a preset condition is reached, or may be set to a preset pressure if necessary.

다음으로, 상기 유체 저장조(300)에 설정한 농도를 갖는 설정 유체(f)를 채운다. 상기 유체(f)의 농도는 상기 유체 저장조(300)에 구비된 제1 농도계(831)를 통하여 측정할 수 있다.Next, the fluid storage tank 300 is filled with a set fluid f having a set concentration. The concentration of the fluid f may be measured through a first densitometer 831 provided in the fluid storage tank 300 .

다음으로 진공펌프(100)에 설정된 온도의 유체(f)를 공급한다. Next, a fluid f of a set temperature is supplied to the vacuum pump 100 .

본 단계에서는 상기 순환펌프(400)를 구동하여 상기 유체 저장조(300)에 저장된 상기 유체(f)를 상기 온도조절장치(500)를 거쳐 상기 진공펌프(100)로 공급한다. In this step, the circulation pump 400 is driven to supply the fluid f stored in the fluid storage tank 300 to the vacuum pump 100 through the temperature control device 500 .

이 때, 상기 유체 저장조(300)의 유체(f)는 상기 순환펌프(400)를 작동하여 상기 온도조절장치(500)로 유입되도록 하며, 상기 온도조절장치(500)에서 상기 유체(f)의 온도를 상기 설정된 온도가 되도록 유체(f)의 온도를 변환시킨다. At this time, the fluid f of the fluid storage tank 300 operates the circulation pump 400 to flow into the temperature control device 500 , and in the temperature control device 500 , the fluid f The temperature of the fluid f is changed so that the temperature becomes the set temperature.

상기 온도조절장치(500)에서 설정 온도가 된 상기 유체(f)는 상기 진공펌프(100)로 공급된다. The fluid (f) having a set temperature in the temperature control device 500 is supplied to the vacuum pump 100 .

상기 온도조절장치(500)가 통상적인 열교환기로 구성되어 있는 경우에는 단순히 유체(f)의 유량을 조절하면서 유체가 설정 온도가 되도록 한 후 상기 진공펌프(100)로 공급할 수 있을 것이다. When the temperature control device 500 is configured as a conventional heat exchanger, it may be supplied to the vacuum pump 100 after the fluid reaches a set temperature while simply controlling the flow rate of the fluid f.

한편, 상기 온도조절장치(500)가 도 4에 도시된 바와 같이 온도조절챔버(510)를 포함하고 있는 경우에는, 상기 순환펌프(400)를 구동하여 제어계측부(500)에서 설정된 높이까지 상기 온도조절챔버(510)에 유체(f)를 유입시킨 후, 순환펌프(400)의 구동을 정지시킨다. 다음으로 상기 온도조절챔버(510)에 구비된 제1 열교환기(520)를 이용하여 상기 온도조절챔버(510) 내부의 유체 온도를 설정된 온도까지 변환시킨다. 다음으로 상기 순환펌프(400)를 재구동하여 상기 온도조절챔버(510) 내부의 온도 변환된 유체(f)를 먼저 진공펌프(100)로 공급하면서, 보다 원활하게 설정된 온도의 유체(f)를 진공펌프(100)에 공급할 수도 있다. On the other hand, when the temperature control device 500 includes a temperature control chamber 510 as shown in FIG. 4 , the circulation pump 400 is driven to increase the temperature to a height set in the control measurement unit 500 . After introducing the fluid f into the control chamber 510 , the driving of the circulation pump 400 is stopped. Next, the temperature of the fluid inside the temperature control chamber 510 is converted to a set temperature by using the first heat exchanger 520 provided in the temperature control chamber 510 . Next, by re-driving the circulation pump 400 to supply the temperature-converted fluid f inside the temperature control chamber 510 to the vacuum pump 100 first, the fluid f at a more smoothly set temperature It may be supplied to the vacuum pump 100 .

이 때, 상기 제1 열교환기(520)는 상기 온도조절챔버(510) 내부의 유체 온도가 설정된 온도를 유지할 수 있도록 연속적 또는 단속적으로 작동할 수 있다. At this time, the first heat exchanger 520 may operate continuously or intermittently so that the temperature of the fluid inside the temperature control chamber 510 may maintain a set temperature.

한편, 상기 순환펌프(400)와 상기 온도조절챔버(510)를 연결하는 유체 이송 배관(714)에 제2 열교환기(530)를 추가로 형성함으로써, 상기 온도조절챔버(510)의 내부로 유입되는 유체(f)가 보다 더 원활하게 설정된 온도로 변환될 수 있도록 하는 것도 가능할 것이다. On the other hand, by additionally forming a second heat exchanger 530 in the fluid transfer pipe 714 connecting the circulation pump 400 and the temperature control chamber 510, the flow into the inside of the temperature control chamber 510 It will also be possible to allow the fluid f to be converted to the set temperature more smoothly.

이와 같은 단계를 거쳐 상기 진공펌프(100)에 설정된 온도를 갖는 유체(f)를 공급할 수 있다.Through these steps, the fluid f having a set temperature may be supplied to the vacuum pump 100 .

다음으로, 진공펌프(100)를 설정된 속도로 작동하여 진공펌프(100)의 성능시험 예를 들면, 공기 배기속도(또는 배기량), 진공챔버(200)의 최저압력, 또는 진공챔버(200) 내부의 압력이 최저압력에 도달하는 시간을 의미하는 배기시간 등을 계측할 수 있을 것이다. Next, the vacuum pump 100 is operated at a set speed to perform a performance test of the vacuum pump 100 , for example, air exhaust speed (or displacement), the minimum pressure of the vacuum chamber 200 , or the inside of the vacuum chamber 200 . It will be possible to measure the exhaust time, which means the time for the pressure to reach the minimum pressure.

이 때, 상기 진공펌프(100)가 설정된 시험 조건에 도달했을 때에는 상기 진공챔버(200)로 공기를 공급하는 제1 개폐 밸브(721)는 닫고, 상기 진공챔버(200)에 구비된 압력계(810)를 통하여 압력을 측정하면서 상기 성능시험을 수행할 수 있다. 배기 속도 또는 배기량은 압력 측정을 통하여 도출해 낼 수도 있지만, 상기 흡기 배관(712)에 유량계(미도시)를 추가로 설치하여 직접적으로 배기 속도 또는 배기량을 측정하는 것도 가능할 것이다. At this time, when the vacuum pump 100 reaches the set test condition, the first on/off valve 721 for supplying air to the vacuum chamber 200 is closed, and the pressure gauge 810 provided in the vacuum chamber 200 is closed. ), the above performance test can be performed while measuring the pressure. The exhaust speed or exhaust amount may be derived through pressure measurement, but it may also be possible to directly measure the exhaust speed or exhaust amount by additionally installing a flow meter (not shown) in the intake pipe 712 .

또한, 도 2에 나타난 각 온도계와 농도계로부터 온도와 농도를 측정하면서, 설정된 시험 조건을 유지하면서 성능시험을 수행하고 있는지 모니터링하면서 시험을 수행하는 것도 가능할 것이다.In addition, it will be possible to perform the test while maintaining the set test conditions while monitoring whether the performance test is being performed while measuring the temperature and concentration from each thermometer and densitometer shown in FIG. 2 .

이 때, 상기 진공펌프(100) 내부의 유체 온도가 변하는 경우에는 상기 순환펌프(400)와 상기 온도조절장치(500)를 이용하여 상기 진공펌프(100) 내부의 유체 온도를 유지할 수 있도록 하고, 진공펌프(100) 내부 유체의 농도 변화가 발생하는 경우에는 상기 농도조절장치(350)를 작동하여 유체 저장조(300) 내부의 유체(f) 농도를 조절하면서 상기 유체(f)를 순환시킴으로써 상기 진공펌프(100) 내부의 유체 온도를 유지한 상태에서 성능시험을 수행할 수 있을 것이다. At this time, when the temperature of the fluid inside the vacuum pump 100 changes, the temperature of the fluid inside the vacuum pump 100 can be maintained by using the circulation pump 400 and the temperature control device 500, When a change in the concentration of the fluid inside the vacuum pump 100 occurs, the concentration adjusting device 350 is operated to control the concentration of the fluid f in the fluid storage tank 300 and circulate the fluid f by circulating the vacuum. The performance test may be performed while maintaining the fluid temperature inside the pump 100 .

다른 시험 조건, 예를 들면, 봉입 유체의 온도, 농도 또는 진공펌프(100) 로터의 회전속도 등을 새롭게 설정하고, 새로 설정된 조건에서 진공펌프의 성능시험을 수행할 수 있을 것이다. Other test conditions, for example, the temperature, concentration, or rotation speed of the vacuum pump 100 rotor of the sealing fluid may be newly set, and the performance test of the vacuum pump may be performed under the newly set conditions.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention.

1: 진공펌프 성능시험장치 100: 시험용 유체봉입타입 진공펌프
110: 흡기 포트 120: 토출 포트 130: 유체 유입 포트
150: 인버터 200: 진공 챔버 300: 유체 저장조
350: 농도 조절부 400: 순환펌프 500: 온도조절장치
510: 온도제어챔버 520: 제1 열교환기 530: 제2 열교환기
600: 제어계측부 711: 공기 공급 배관 712: 흡기 배관
713: 토출 배관 714: 유체 이송 배관 715: 유체 공급 배관
716: 공기 배출관 717: 유체 배출관 721: 제1 개폐 밸브
722: 제2 개폐 밸브 723: 제3 개폐 밸브 724: 제4 개폐 밸브
725: 제5 개폐 밸브 726: 제6 개폐 밸브 731: 제1 체크 밸브
732: 제2 체크 밸브 733: 제3 체크 밸브 734: 제4 체크 밸브
810: 압력계 821: 제1 온도계 822: 제2 온도계
823: 제3 온도계 824: 제4 온도계 831: 제1 농도계
832: 제2 농도계 840: 레벨 게이지 a: 공기 f: 봉입 유체1: vacuum pump performance test device 100: test fluid sealed type vacuum pump
110: intake port 120: discharge port 130: fluid inlet port
150: inverter 200: vacuum chamber 300: fluid reservoir
350: concentration control unit 400: circulation pump 500: temperature control device
510: temperature control chamber 520: first heat exchanger 530: second heat exchanger
600: control measuring unit 711: air supply pipe 712: intake pipe
713: discharge pipe 714: fluid transfer pipe 715: fluid supply pipe
716: air discharge pipe 717: fluid discharge pipe 721: first on-off valve
722: second on-off valve 723: third on-off valve 724: fourth on-off valve
725: fifth on-off valve 726: sixth on-off valve 731: first check valve
732: second check valve 733: third check valve 734: fourth check valve
810: pressure gauge 821: first thermometer 822: second thermometer
823: third thermometer 824: fourth thermometer 831: first densitometer
832: second densitometer 840: level gauge a: air f: sealed fluid

Claims (5)

시험용 유체봉입타입 진공펌프(100);
상기 진공펌프(100)의 흡기 포트(110)와 연결되어 있는 진공 챔버(200);
상기 진공펌프(100)의 토출 포트(120)와 연결되어 있고, 상기 진공펌프(100)에 봉입되는 유체(f)가 저장된 유체 저장조(300);
상기 진공펌프(100)의 유체 유입 포트(130)와 상기 유체 저장조(300) 사이에 구비되어 있는 온도조절장치(500); 및 제어계측부(600)를 포함하되,
상기 유체 저장조(300)에 저장된 상기 유체(f)는 상기 온도조절장치(500)를 거쳐 상기 진공펌프(100)로 유입될 수 있고,
상기 온도조절장치(500)는 상기 유체 저장조(300)에서 유입되는 상기 유체(f)를 상기 제어계측부(600)에서 설정된 온도로 변환할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치에 있어서,
상기 유체 저장조(300)에는 저장된 상기 유체(f)의 농도를 측정하기 위한 제1 농도계(831)가 추가로 구비되어 있고,
상기 유체 저장조(300)에는 저장된 상기 유체(f)의 농도를 제어하기 위한 농도 조절부(350)가 추가로 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치.
Fluid-enclosed type vacuum pump 100 for testing;
a vacuum chamber 200 connected to the intake port 110 of the vacuum pump 100;
a fluid storage tank 300 connected to the discharge port 120 of the vacuum pump 100 and storing the fluid f sealed in the vacuum pump 100;
a temperature control device 500 provided between the fluid inlet port 130 of the vacuum pump 100 and the fluid storage tank 300 ; and a control instrumentation unit 600,
The fluid f stored in the fluid storage tank 300 may be introduced into the vacuum pump 100 through the temperature control device 500 ,
The temperature control device 500 is a fluid encapsulation type vacuum pump performance, characterized in that it is configured to convert the fluid (f) flowing in from the fluid storage tank (300) to a temperature set by the control measuring unit (600). In the test apparatus,
The fluid storage tank 300 is further provided with a first densitometer 831 for measuring the concentration of the stored fluid f,
The fluid storage tank 300 has a concentration control unit 350 for controlling the concentration of the stored fluid (f).
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 진공펌프(100)와 상기 유체 저장조(300) 사이에는 상기 진공펌프(100)에서 토출되는 상기 유체(f)의 농도를 측정하기 위한 제2 농도계(832)가 추가로 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치.
According to claim 1,
A second densitometer 832 for measuring the concentration of the fluid f discharged from the vacuum pump 100 is additionally provided between the vacuum pump 100 and the fluid storage tank 300 Fluid sealed type vacuum pump performance tester.
 제1항에 있어서,
상기 진공펌프(100)에는 상기 제어계측부(600)에 의해 제어되며 상기 진공펌프(100)에 구비된 로터(140)의 회전속도를 제어하기 위한 인버터(150)가 추가로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치.
According to claim 1,
The vacuum pump 100 is controlled by the control measuring unit 600 and an inverter 150 for controlling the rotation speed of the rotor 140 provided in the vacuum pump 100 is additionally connected. Fluid sealed type vacuum pump performance tester.
 제1항에 있어서,
상기 유체 저장조(300)와 상기 온도조절장치(500) 사이에 순환펌프(400)가 추가로 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 유체봉입타입 진공펌프 성능시험장치.According to claim 1,
A fluid encapsulation type vacuum pump performance testing apparatus, characterized in that a circulation pump (400) is additionally provided between the fluid storage tank (300) and the temperature control device (500).
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100866654B1 (en) * 2006-03-30 2008-11-03 동아대학교 산학협력단 The performance test device and performance test method for oil pump using a car
KR20120037519A (en) * 2010-10-08 2012-04-20 디에이치엠(주) Function tester apparatus for vacuum pump

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100866654B1 (en) * 2006-03-30 2008-11-03 동아대학교 산학협력단 The performance test device and performance test method for oil pump using a car
KR20120037519A (en) * 2010-10-08 2012-04-20 디에이치엠(주) Function tester apparatus for vacuum pump

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