KR102303039B1 - 펄스 레이저 장치 - Google Patents

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Abstract

본 출원은 펄스 레이저 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 내부를 밀폐시키는 하우징; 레이저 다이오드가 출력하는 펌핑 광을 수신하여 상기 하우징 내부로 전달하는 광섬유; 및 레이저 결정 및 포화흡수체를 포함하며, 상기 광섬유로부터 수신한 펌핑 광을 공진시켜 기 설정된 파장의 펄스 레이저를 생성하는 레이저 변환부를 포함할 수 있다.

Description

펄스 레이저 장치 {Apparatus for pulsed laser}
본 출원은 펄스 레이저 장치에 관한 것으로서, 렌즈 등 광학계의 구성을 생략할 수 있는 펄스 레이저 장치에 관한 것이다.
일반적으로 수 나노(ns)의 펄스 폭을 가지는 펄스 레이저를 만들기 위해서는 비교적 긴 펄스 폭을 가지는 고출력의 광 소스를 SBS(Stimulated Brillouin Scattering) 셀에 주입하여 SBS에 의해 발생한 Stokes 광 펄스의 압축을 유도하는 방법을 사용하여 왔다. 이러한 SBS 셀을 이용하는 방법은 고출력의 긴 펄스 폭의 광원이 필요하기 때문에 광학계 구성이 복잡하고 크기 때문에 그에 따른 안정성에 대한 신뢰와 가격이 비싸다는 문제점이 있다.
본 출원은, 렌즈 등 광학계의 구성을 생략할 수 있는 펄스 레이저 장치를 제공하고자 한다.
본 출원은, 기계적으로 외부 충격 또는 진동 등에 강건한 펄스 레이저 장치를 제공하고자 한다.
본 출원은, 밀폐가능한 구조를 제공하여, 온도, 습도 등 외부환경에 영향을 받지 않는 펄스 레이저 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 내부를 밀폐시키는 하우징; 레이저 다이오드가 출력하는 펌핑 광을 수신하여 상기 하우징 내부로 전달하는 광섬유; 및 레이저 결정 및 포화흡수체를 포함하며, 상기 광섬유로부터 수신한 펌핑 광을 공진시켜 기 설정된 파장의 펄스 레이저를 생성하는 레이저 변환부를 포함할 수 있다.
여기서 상기 광섬유는, 상기 하우징 내부로 상기 펌핑 광을 출력하는 단부에 렌즈가 삽입된 렌즈일체형 광섬유일 수 있다.
여기서 상기 광섬유는, 상기 하우징 내부로 상기 펌핑 광을 출력하는 출력단부는 상기 광섬유를 수직으로 절단한 절단면이고, 상기 절단면의 NA(Numeric Aperture)가 0.22 이하일 수 있다.
여기서 상기 광섬유는, 상기 하우징 내부로 상기 펌핑 광을 출력하는 출력단부는 상기 광섬유를 절단한 절단면이고, 상기 절단면은 기 설정된 경사각을 가질 수 있다. 이때 상기 경사각은 수직방향을 기준으로 7~8도일 수 있다.
여기서 상기 레이저 변환부는, 상기 레이저 결정이 Nd:Yag(Neodymium-doped yttrium aluminum garnet)이고, 상기 포화흡수체는 Cr:Yag(Chromium-doped yttrium aluminum garnet)일 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 상기 하우징에 구비되어, 상기 광섬유가 출력하는 상기 펌핑 광을 상기 하우징 내부로 인입시키는 인입 글라스를 더 포함할 수 있으며, 상기 인입 글라스는 표면에 상기 펌프 광에 대한 무반사코팅이 도포될 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 상기 레이저 변환부로부터 출력되는 광을 수신하며, 상기 수신되는 광 중에서 상기 펄스 레이저는 투과하여 외부로 출력하고, 상기 펌핑 광은 기 설정된 각도로 반사시키는 다이크로닉 미러(dichroic mirror)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 상기 다이크로닉 미러로부터 반사된 상기 펌핑광을 흡수하는 흡수체를 더 포함할 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 상기 레이저 변환부와 접촉하여, 상기 레이저 변환부의 열을 외부로 방출하는 방열부를 더 포함할 수 있다.
덧붙여 상기한 과제의 해결수단은, 본 발명의 특징을 모두 열거한 것이 아니다. 본 발명의 다양한 특징과 그에 따른 장점과 효과는 아래의 구체적인 실시형태를 참조하여 보다 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치에 의하면, 펌핑 광의 포커싱(focusing)을 위한 렌즈 등 광학계의 구성을 생략하는 것이 가능하다. 따라서, 렌즈 등의 광학계의 구성을 포함하는 펄스 레이저 장치에 비하여, 충격이나 진동에 강한 펄스 레이저 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 렌즈 등의 광학계의 구성이 생략되므로, 간단한 구조로 펄스 레이저 장치를 구현할 수 있으며, 그에 따라 밀폐 구조를 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 외부 환경의 온도나 습도 변화에 강건한 펄스 레이저 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치에 의하면, 펌핑 광의 포커싱(focusing)을 위한 렌즈 등 광학계의 구성을 생략할 수 있으므로, 펄스 레이저 장치의 제조비용 등을 절감할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는 펠티에 소자를 적용하고 있으므로, 외부 온도에 대하여 안정적으로 구동하는 것이 가능하다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치를 나타내는 개략도이다.
도2 내지 도4는 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치의 광섬유를 나타내는 개략도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치를 나타내는 개략도이다.
도1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 하우징(10), 광섬유(20), 레이저 변환부(30), 인입 글라스(40), 다이크로닉 미러(50), 흡수체(60) 및 방열부(70)를 포함할 수 있다.
이하, 도1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치를 설명한다.
하우징(10, housing)은 펄스 레이저 장치의 외형을 형성하며, 내부에 위치하는 레이저 변환부(30) 등의 구성을 보호할 수 있다. 하우징(10)은 내부를 밀폐(hermatic cealing)할 수 있으며, 이를 통하여 레이저 변환부(30) 등의 구성이 외부환경의 온도나 습도 변화에 의해 받을 수 있는 영향을 최소화할 수 있다. 도1에 도시한 바와 같이, 하우징(10) 내에는 레이저 변환부(30) 등의 구성이 포함될 수 있으며, 인입 글라스(40), 다이크로닉 미러(50), 방열부(70) 등은 하우징(10)과 함께 밀폐 구조를 형성할 수 있다.
광섬유(20)는 레이저 다이오드(1)가 출력하는 펌핑 광을 수신하여 하우징(10) 내부로 전달할 수 있다. 광섬유(20)는 입력단부와 출력단부를 포함할 수 있으며, 입력단부는 레이저 다이오드(1)로부터 펌핑 광을 수신하고, 수신된 펌핑 광은 광섬유(20)의 내부를 따라 전파되어 출력단부를 통하여 출력될 수 있다. 여기서, 광섬유(20)의 출력단부는 하우징(10)과 연결되어, 하우징(10) 내부로 펌핑 광을 출력할 수 있다. 광섬유(20)는 중심부에 굴절율이 높은 코어(core)가 위치하고, 코어의 주변에 굴절율이 낮은 클래드(clad)가 감싸는 형태로 구성될 수 있다. 이를 통하여, 펌핑 광은 코어와 클래드의 경계면에서 전반사를 반복하면서 손실없이 전송될 수 있다.
여기서, 광섬유(20)가 전송하는 펌핑 광은 레이저 다이오드(1)가 생성하는 레이저 빔일 수 있으며, 이때 펌핑 광의 파장은 808nm일 수 있다. 레이저 다이오드(1)는 PN 접합에 큰 순방향 전류를 인가하여 펌핑 광을 발생시킬 수 있으며, 이때 PN 접합은 갈륨비소(GaAs) 등을 이용하여 구현한 것일 수 있다.
레이저 변환부(30)는 광섬유(20)로부터 수신한 펌핑 광을 공진시켜 기 설정된 파장의 펄스 레이저를 생성할 수 있다. 여기서, 레이저 변환부(30)는 레이저 결정(31, laser crystal) 및 포화흡수체(32, saturable absorber)가 접합된 형태일 수 있으며, 레이저 결정(31)은 Nd:Yag(Neodymium-doped yttrium aluminum garnet), 포화흡수체(32)는 Cr:Yag(Chromium-doped yttrium aluminum garnet)일 수 있다. 즉, 레이저 결정(31)은 YAG를 호스트 물질(host material)로 하고 Nd를 도핑하여 형성할 수 있으며, 포화흡수체(32)는 YAG에 Cr을 도핑하여 형성할 수 있다. 레이저 변환부(30)로 인가된 펌핑 광은 레이저 변환부(30) 내에서 라운드 트립(round trip)하면서 증폭될 수 있으며, 증폭된 에너지가 임계값을 초과하게 되면 펄스 레이저를 출력할 수 있다. 여기서, 레이저 변환부(30)가 출력하는 펄스 레이저의 파장은 1064 nm일 수 있다. 즉, 레이저 변환부(30)는 수신되는 808nm의 펌핑 광을 이용하여 1064nm 파장의 펄스 레이저를 생성할 수 있다. 레이저 변환부(30)는 1064nm 파장의 펄스 레이저를 생성하도록 설계될 수 있다.
한편, 종래에는 펌핑 광을 조사할 때, 렌즈 등의 광학계를 이용하여, 레이저 변환부(30)의 특정영역에 펌핑 광을 집중하여 인가시켰다. 즉, 레이저 변환부(30) 내에 충분한 에너지를 축적하기 위하여 기본적으로 하나 또는 2개의 렌즈를 이용하여 펌핑 광을 집중시켜 사용하였다. 그러나, 광학렌즈 등의 구성은 충격이나 진동에 취약한 단점이 있으며, 광학렌즈 등을 설치하는 경우 전체적인 부피가 증가하는 등의 문제가 있었다. 또한, 부피가 증가하는 경우에는 밀폐구조를 구비하기 어려우므로, 레이저 결정, 포화흡수체 등이 외부환경에 노출될 수 있으며, 이에 따라 펄스 레이저 구동의 장, 단기 신뢰성을 획득하기 어려웠다. 특히, 펄스 폭이 1ns 이하의 펄스 레이저의 경우 외부환경에 민감하기 때문에, 기존의 광학계를 포함하는 구성의 경우 이러한 문제를 해결하기 어려웠다.
반면에, 도1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는 내부에 광학계를 포함하지 않으면서도, 펄스 레이저를 생성할 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 의한 펄스 레이저 장치는, 도2 내지 도4의 구조를 가지는 광섬유(20)를 구비하므로, 광학구조의 생략에 불구하고 펄스 레이저를 생성할 수 있다.
먼저, 도2에 도시한 바와 같이, 광섬유(20)는 출력단부(B)에 렌즈가 삽입된 렌즈일체형 광섬유(lensed fiber)일 수 있다. 즉, 광섬유(20) 내의 코어(22)를 통하여 전송되는 펌핑 광은 출력단부(B)에 구비된 렌즈부(23)에 의하여 빛이 집광된 형태로 레이저변환부(30)로 인가될 수 있다. 이때, 렌즈일체형 광섬유는 레이저변환부(30) 내에서 열 렌즈 효과(thermal lensing effect)를 유도할 수 있으며, 이를 통하여 레이저 변환부(30) 내에 펌핑 광을 집중시킬 수 있다. 따라서, 렌즈일체형 광섬유는 렌즈 등의 광학계의 구성없이도, 레이저 변환부(30)에 충분한 에너지가 축적되도록 펌핑 광을 레이저 변환부(30)에 집중시키는 것이 가능하다. 한편, 렌즈일체형 광섬유(20)의 렌즈부(23)의 형상은, 레이저 변환부(30)의 종류나 크기 등에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
또한, 실시예에 따라서는, 도3(a)에 도시한 바와 같이, 렌즈일체형 광섬유 대신에 출력단부(B)에 렌즈부를 포함하지 않는 일반 광섬유(20)를 이용하는 것도 가능하다. 여기서, 광섬유(20)의 출력단부(B)는 광섬유를 수직으로 절단한 절단면일 수 있으며, 이때 출력단부(B)의 NA(Numerical Aperture)는 기 설정값 이하일 수 있다. 즉, NA가 기 설정값 이하인 경우에는, 렌즈일체형 광섬유 대신에 일반 광섬유를 사용하는 것이 가능하다. 도3(b)을 참조하면, NA = nsinθ이고, 여기서 n은 매질의 굴절율에 해당한다. 펌핑 광은 공기 중으로 조사되므로 n은 공기의 굴절율인 1에 해당한다. sinθtanθ이므로, NA는 출력단부(B)에서 방출되는 펌핑 광이 공간 상에서 얼마나 넓게 벌어지는지를 나타내는 값으로 활용할 수 있다.
도2 및 도3을 참조하면, 광섬유(20)가 렌즈일체형 광섬유인 경우에 비하여 펌핑 광이 레이저 변환부(30)에 집중되지 않을 수 있으나, NA가 0.22 이하인 경우에는 레이저 변환부(30)에 열 렌즈 효과가 발생할 수 있으며, 이에 따라 충분한 에너지가 축적되도록 펌핑 광을 레이저 변환부(30)에 집중시키는 것이 가능하다. 다만, NA는 레이저 다이오드(1)의 출력에 따라 달라질 수 있으므로, 실시예에 따라서는, 광섬유 절단면의 NA가 적어도 0.22 이하를 유지하도록 레이저 다이오드(1)의 출력을 조절할 수 있다.
추가적으로, 실시예에 따라서는 도4에 도시한 바와 같이, 광섬유(20)의 절단면이 경사각 α를 가지도록 출력단부(B)을 형성하는 것도 가능하다. 여기서, 경사각 α 는 수직방향을 기준으로 7~8도 정도일 수 있다. 광섬유(20)가 레이저 변환부(30)로 펌핑 광을 조사하는 경우, 레이저 변환부(30)와의 경계면에서 반사되는 펌핑 광이 존재할 수 있으며, 반사된 펌핑 광은 다시 광섬유(20)로 입사될 수 있다. 이 경우, 반사된 펌핑 광에 의하여, 레이저 다이오드(1) 등의 구성에 무리가 갈 수 있으며, 펌핑 광의 출력에도 손해가 발생할 수 있다. 따라서, 도4(b)에 도시한 바와 같이, 출력단부(B)의 절단면이 경사각을 가지도록 구성하여, 반사된 펌핑 광이 광섬유(20)으로 다시 입사되는 것을 방지할 수 있다. 이를 통하여 레이저 다이오드(1)의 신뢰성을 높이는 것이 가능하다.
도시하지는 않았으나, 실시예에 따라서는 렌즈 등이 광학계뿐만아니라, 광섬유(20)의 구성도 생략할 수 있다. 즉, 레이저 변환부(30)는 레이저 다이오드(1)로부터 펌핑 광을 직접 수광할 수 있으며, 이를 통하여 펌핑 광을 펄스 레이저로 변환할 수 있다.
한편, 도1에 도시한 바와 같이, 인입 글라스(40)는 하우징(10)에 구비될 수 있으며, 광섬유(20)가 출력하는 펌핑 광을 하우징(10)의 내부로 인입시킬 수 있다. 광섬유(20)의 출력단부는 인입 글라스(40)와 연결될 수 있으며, 광섬유(20)에서 출력되는 펌핑 광은 인입 글라스(40)를 투과하여 하우징(10) 내로 공급될 수 있다. 하우징(10)은 내부가 밀폐되도록 형성될 수 있으므로, 펌핑 광을 입사하기 위하여 인입 글라스(10)를 구비할 수 있다. 즉, 광섬유(20)가 출력하는 펌핑 광을 인입글라스(10)를 통하여 밀폐된 하우징(10) 내부로 들어오도록 할 수 있다. 광섬유(20)는 하우징(10)의 외부에 고정될 수 있으나 밀폐된 하우징(10)의 내부에는 삽입되지 않고, 단지 인입글라스(40)를 통하여 내부로 펌핑 광만을 조사하도록 할 수 있다.
여기서, 인입 글라스(40)는 표면에 도포된 무반사코팅을 더 포함할 수 있다. 광섬유(20)에서 출력되는 펌핑 부는 인입글라스(10)를 통하여 내부로 조사되므로, 인입글라스(10)와의 경계면에서 반사 등이 발생할 수 있다. 따라서, 인입글라스(40)는 무반사코팅을 더 포함하여 경계면에서 발생할 수 있는 반사를 방지할 수 있다. 실시예에 따라서는 펌핑 광이 808nm의 파장을 가질 수 있으며, 이 경우, 인입글라스(40)에는 808nm의 파장을 반사하지 않는 물질로 코팅할 수 있다.
다이크로닉 미러(dichronic mirror, 50)는 레이저 변환부(30)로부터 출력되는 광을 수신할 수 있으며, 수신된 광을 선택적으로 외부로 출력할 수 있다. 도1에 도시한 바와 같이, 레이저 변환부(30)는 펌핑 광을 이용하여 펄스 레이저를 생성할 수 있으나, 이때 펌핑 광도 함께 레이저 변환부(30)에서 방출될 수 있다. 펄스 레이저 장치는 펄스 레이저를 생성하는 것으로, 펌핑 광은 외부로 출력되지 않도록 할 필요가 있다. 이를 위하여, 다이크로닉 미러(50)를 구비할 수 있으며, 다이크로닉 미러(200)는 수신된 광 중에서 펄스 레이저는 투과하여 외부로 출력하고, 펌핑 광은 반사시켜 외부로의 출력을 방지할 수 있다. 여기서, 다이크로닉 미러(50)는 도1에 도시한 바와 같이, 일정한 각도로 기울어 설치될 수 있으며, 이에 따라 다이크로닉 미러(50)에서 반사된 펌핑 광은 외부로 방출되지 않고 흡수체(60)로 입력될 수 있다.
여기서, 흡수체(60)는 다이크로닉 미러(50)로부터 반사된 펌핑 광을 흡수하는 것으로, 펌핑 광이 외부로 방출되는 것을 방지할 수 있다. 실시예에 따라서는 펌핑 광이 808nm의 파장을 가질 수 있으며, 이 경우 흡수체(60)는 808nm의 파장을 가지는 광을 흡수하는 물질로 구성될 수 있다.
방열부(70)는 레이저변환부(30)와 접촉하여, 레이저 변환부(30)의 열을 외부로 방출시킬 수 있다. 여기서, 방열부(70)는 열확산부(71, heat spreader), 펠티에 소자부(72, peltier device) 및 히트싱크부(73, heat sink)를 포함할 수 있다.
열확산부(71)는 펌핑 광에 의하여 레이저 변환부(30)에서 발생하는 열을 분산하는 것으로, 금속판 등으로 구성될 수 있다. 도1에 도시한 바와 같이, 열확산부(71)는 레이저 변환부(30)를 감싸는 형태로 형성되어, 레이저 변환부(30)에서 발생한 열이 집중되지 않고, 열확산부(71) 전체로 분산되도록 할 수 있다.
펠티에 소자부(72)는 펠티에 효과를 이용하여 냉각시키는 것으로, 펠티에 소자부(72)에 전류를 인가하면 일 측면에서는 흡열하고 타 측면에서는 발열하는 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 펠티에 소자부(72)에서 발생하는 흡열효과를 이용하여 열확산부(71)의 열을 흡수하는 방식으로 레이저변환부(30)를 냉각시킬 수 있다. 실시예에 따라서는, 펠티에 소자부(72)를 이용하여 외부환경의 온도에 대응하여 하우징(10) 내부의 온도를 일정하게 유지하는 것도 가능하다. 이 경우 펠티에 소자부(72)를 이용하여 하우징(10)의 내부를 가열하는 것도 가능하다.
히트싱크부(73)는 레이저변환부(30), 열확산부(71), 펠티에 소자부(72)로부터 받은 열을 외부로 발산시킬 수 있다. 여기서 히트싱크부(73)는 공냉식 또는 수냉식으로 열을 발산할 수 있으며, 이외에도 열을 외부로 발산시킬 수 있는 것이면 어떠한 것도 적용될 수 있다.
본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명에 따른 구성요소를 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것이 명백할 것이다.
1: 레이저 다이오드 10: 하우징
20: 광섬유 21: 크래딩
22: 코어 23: 렌즈부
30: 레이저 변환부 31: 레이저 결정
32: 포화흡수체 40: 인입글라스
50: 다이크로닉 미러 60: 흡수체
70: 방열부 71: 열확산기
72: 열전소자부 73: 열방출부
A: 입력단부 B: 출력단부

Claims (11)

  1. 내부를 밀폐시키는 하우징;
    레이저 다이오드가 출력하는 펌핑 광을 수신하여 상기 하우징 내부로 전달하는 광섬유; 및
    레이저 결정 및 포화흡수체를 포함하며, 상기 광섬유로부터 수신한 펌핑 광을 공진시켜 기 설정된 파장의 펄스 레이저를 생성하는 레이저 변환부를 포함하는 것으로,
    상기 광섬유는
    상기 레이저 변환부 내에 열 렌즈 효과(thermal lensing effect)를 유도하여 상기 레이저 변환부 내에 상기 펌핑 광을 집중시키는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광섬유는
    상기 하우징 내부로 상기 펌핑 광을 출력하는 출력단부에 렌즈가 삽입된 렌즈일체형 광섬유인 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광섬유는
    상기 하우징 내부로 상기 펌핑 광을 출력하는 출력단부는 상기 광섬유를 수직으로 절단한 절단면이고, 상기 절단면의 NA(Numeric Aperture)가 0.22 이하인 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 광섬유는
    상기 하우징 내부로 상기 펌핑 광을 출력하는 출력단부는 상기 광섬유를 절단한 절단면이고, 상기 절단면은 기 설정된 경사각을 가지는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 광섬유는
    상기 경사각이 수직방향을 기준으로 7~8도인 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 레이저 변환부는
    상기 레이저 결정은 Nd:Yag(Neodymium-doped yttrium aluminum garnet)이고, 상기 포화흡수체는 Cr:Yag(Chromium-doped yttrium aluminum garnet)인 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 하우징에 구비되며, 상기 광섬유가 출력하는 상기 펌핑 광을 상기 하우징 내부로 인입시키는 인입 글라스를 더 포함하며,
    상기 인입 글라스는 표면에 상기 펌핑 광에 대한 무반사코팅이 도포된 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  8. 내부를 밀폐시키는 하우징;
    레이저 다이오드가 출력하는 펌핑 광을 수신하여 상기 하우징 내부로 전달하는 광섬유;
    레이저 결정 및 포화흡수체를 포함하며, 상기 광섬유로부터 수신한 펌핑 광을 공진시켜 기 설정된 파장의 펄스 레이저를 생성하는 레이저 변환부; 및
    상기 레이저 변환부로부터 출력되는 광을 수신하며, 상기 수신되는 광 중에서 상기 펄스 레이저는 투과하여 외부로 출력하고, 상기 펌핑 광은 기 설정된 각도로 반사시키는 다이크로닉 미러(dichroic mirror)를 포함하는 펄스 레이저 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 다이크로닉 미러로부터 반사된 상기 펌핑광을 흡수하는 흡수체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 변환부와 접촉하여, 상기 레이저 변환부의 열을 외부로 방출하는 방열부를 더 포함하는 펄스 레이저 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 펌핑 광은 808nm의 파장을 가지고, 상기 펄스 레이저는 1064nm의 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 장치.
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