KR102293295B1 - System and method for simulating substrate processing facility - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템은, 기판을 처리하기 위해 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 장비 에뮬레이션부; 상기 장비와 상기 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 상기 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현하는 통신 장치 에뮬레이션부; 및 상기 장비 에뮬레이션부 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부와 데이터를 주고 받아, 상기 장비를 제어하기 위해 상기 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램에 의한 상기 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 시뮬레이션 실시부를 포함할 수 있다.The present invention relates to a substrate processing facility simulation system and method. A substrate processing facility simulation system according to an embodiment of the present invention includes: an equipment emulation unit that virtually implements an operation of equipment provided in a substrate processing facility in order to process a substrate according to a preset operation scenario; a communication device emulation unit that virtually implements an operation of a communication device that transmits a signal related to control of the device between the device and a control device that controls the device; and a simulation implementation unit that transmits and receives data to and from the equipment emulation unit and the communication device emulation unit, and simulates the operation of the substrate processing facility by a control program executed in the control device to control the equipment.

Description

기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR SIMULATING SUBSTRATE PROCESSING FACILITY}SYSTEM AND METHOD FOR SIMULATING SUBSTRATE PROCESSING FACILITY

본 발명은 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing facility simulation system and method.

웨이퍼와 같은 기판의 식각, 증착, 세정 등 기판 처리를 실시하는 기판 처리 설비는 설비에 구비된 각종 모듈들을 공정 순서에 따라 구동시키기 위해 통신 회선을 통해 제어기에 연결되어 모듈의 동작에 관한 각종 신호들을 주고 받는다. 기판 처리 설비를 제어하기 위해 제어기는 설비 및 그 설비가 실시하는 기판 처리에 적합하게 제작된 제어 프로그램을 실행하고, 제어 프로그램의 실행 결과에 따라 설비 내 모듈들의 동작을 제어한다.A substrate processing facility that performs substrate processing such as etching, deposition, and cleaning of a substrate such as a wafer is connected to a controller through a communication line to drive various modules provided in the facility in accordance with the process sequence and transmits various signals related to the operation of the module. give and receive In order to control the substrate processing equipment, the controller executes a control program prepared for the equipment and substrate processing performed by the equipment, and controls the operation of modules in the equipment according to the execution result of the control program.

이러한 제어 프로그램은 소프트웨어로서 모듈과 같은 하드웨어를 구동시키기 위해 개발자에 의해 사전에 제작되고, 제어 프로그램이 완성되면 제어기로 사용되는 컴퓨터에 설치되어 설비 가동 시 컴퓨터에서 실행된다.Such a control program is prepared in advance by a developer to drive hardware such as a module as software, and when the control program is completed, it is installed in a computer used as a controller and executed on the computer when the equipment is operated.

이와 같이 기판 처리 설비에 사용되는 제어 프로그램은 하드웨어와 밀접하게 관련되어 있으므로, 개발자는 제어 프로그램의 개발, 테스트 또는 오류 수정을 통한 버전 업 과정에서 하드웨어인 설비나 모듈을 필요로 하는 경우가 빈번하게 발생한다. 그러나, 기판 처리 설비나 그에 구비되는 모듈들은 크기가 클 뿐만 아니라 고가의 장비여서 개발자들이 제어 프로그램의 개발에 이러한 하드웨어를 자유롭게 이용하는 것이 쉽지는 않다.As such, the control program used in the substrate processing facility is closely related to the hardware, so the developer frequently needs a hardware facility or module in the process of developing, testing, or updating the control program through error correction. do. However, it is not easy for developers to freely use such hardware to develop a control program because the substrate processing equipment or modules provided therefor are large in size and expensive equipment.

본 발명의 실시예는 기판 처리 설비에 사용되는 제어 프로그램의 개발에 있어서 설비나 모듈과 같은 하드웨어를 이용해야 하는 제약을 경감시킬 수 있는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate processing facility simulation system and method capable of reducing restrictions on using hardware such as equipment or modules in the development of a control program used in a substrate processing facility.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템은, 기판을 처리하기 위해 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 장비 에뮬레이션부; 상기 장비와 상기 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 상기 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현하는 통신 장치 에뮬레이션부; 및 상기 장비 에뮬레이션부 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부와 데이터를 주고 받아, 상기 장비를 제어하기 위해 상기 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램에 의한 상기 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 시뮬레이션 실시부를 포함할 수 있다.A substrate processing facility simulation system according to an embodiment of the present invention includes: an equipment emulation unit that virtually implements an operation of equipment provided in a substrate processing facility in order to process a substrate according to a preset operation scenario; a communication device emulation unit that virtually implements an operation of a communication device that transmits a signal related to control of the device between the device and a control device that controls the device; and a simulation implementation unit that transmits and receives data to and from the equipment emulation unit and the communication device emulation unit, and simulates the operation of the substrate processing facility by a control program executed in the control device to control the equipment.

상기 장비 에뮬레이션부는: 상기 기판을 처리하는 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 장비의 동작을 상기 공정 장비의 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 공정 장비 에뮬레이션부; 및 상기 공정 장비로 상기 기판을 반입하고 상기 공정 장비로부터 상기 기판을 반출하는 반송 장비의 동작을 상기 반송 장비의 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 반송 장비 에뮬레이션부를 포함할 수 있다.The equipment emulation unit may include: a process equipment emulation unit that virtually implements an operation of at least one process equipment performing a process for processing the substrate according to an operation scenario of the process equipment; and a transfer equipment emulation unit that virtually implements operations of transfer equipment for loading the substrate into the process equipment and unloading the substrate from the process equipment according to an operation scenario of the transfer equipment.

상기 통신 장치 에뮬레이션부는: 상기 장비의 동작을 위해 상기 제어 프로그램이 실행되어 생성된 명령 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부로부터 수신하여 상기 장비 에뮬레이션부로 전송하고, 상기 명령 메시지에 따른 상기 장비의 동작 결과를 보고하는 보고 메시지를 상기 장비 에뮬레이션부로부터 수신하여 상기 시뮬레이션 실시부로 전송할 수 있다.The communication device emulation unit: receives a command message generated by executing the control program for the operation of the equipment from the simulation execution unit, transmits it to the equipment emulation unit, and reports the operation result of the equipment according to the command message A report message may be received from the equipment emulation unit and transmitted to the simulation execution unit.

상기 장비 에뮬레이션부는: 상기 명령 메시지에 응답하여 상기 동작 시나리오에 따라 상기 장비가 갖는 상태를 변경하고, 상기 장비가 갖는 상태를 기반으로 상기 보고 메시지를 생성할 수 있다.The device emulation unit may: change the state of the equipment according to the operation scenario in response to the command message, and generate the report message based on the state of the equipment.

상기 장비 에뮬레이션부는: 상기 명령 메시지에 응답하여 상기 동작 시나리오에 따라 변경된 상기 장비의 상태를 나타내는 값이 기 설정된 허용 범위에 속하는 경우, 상기 명령 메시지에 따른 상기 장비의 동작이 정상적으로 수행됨을 알리는 제 1 보고 메시지를 생성하고, 상기 장비의 상태를 나타내는 값이 상기 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 명령 메시지에 따른 상기 장비의 동작이 비정상적으로 수행됨을 알리는 제 2 보고 메시지를 생성할 수 있다.The device emulation unit: In response to the command message, when a value indicating the state of the device changed according to the operation scenario falls within a preset allowable range, a first report indicating that the operation of the device according to the command message is normally performed A message may be generated, and when the value indicating the state of the device is out of the allowable range, a second report message informing that the operation of the device is abnormally performed according to the command message may be generated.

상기 통신 장치 에뮬레이션부는: 상기 제 2 보고 메시지에 따라 상기 장비의 상태를 조절하기 위해 상기 제어 프로그램이 실행되어 생성된 조절 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부로부터 수신하여 상기 장비 에뮬레이션부로 전송할 수 있다.The communication device emulation unit may receive an adjustment message generated by executing the control program to adjust the state of the equipment according to the second report message from the simulation execution unit and transmit it to the equipment emulation unit.

상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템은 상기 제어 프로그램을 저장하는 저장부를 더 포함하고, 상기 시뮬레이션 실시부는: 상기 저장부로부터 상기 제어 프로그램을 불러와 실행하여 메시지를 생성하고, 상기 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부에 전달하고, 상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부로부터 보고 메시지를 전달받고, 상기 보고 메시지를 표시 장치에 출력하여 사용자에게 제공할 수 있다.The substrate processing facility simulation system further includes a storage unit for storing the control program, and the simulation execution unit: fetches and executes the control program from the storage unit to generate a message, and transmits the message through the communication device emulation unit It can be transmitted to the equipment emulation unit, receive a report message from the equipment emulation unit through the communication device emulation unit, and output the report message to a display device to provide it to the user.

상기 시뮬레이션 실시부는: 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템과 네트워크를 통해 연결된 사용자의 단말기로부터, 상기 단말기에서 실행된 상기 제어 프로그램이 생성한 메시지를 수신하고, 상기 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부에 전달하고, 상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부로부터 보고 메시지를 전달받고, 상기 보고 메시지를 상기 단말기로 송신하여 상기 사용자에게 제공할 수 있다.The simulation execution unit: receives a message generated by the control program executed in the terminal from a user's terminal connected to the substrate processing facility simulation system through a network, and transmits the message to the equipment emulation unit through the communication device emulation unit , and receives a report message from the equipment emulation unit through the communication device emulation unit, and transmits the report message to the terminal to provide it to the user.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법은 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템이 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 방법으로서, 시뮬레이션 실시부가 상기 기판 처리 설비에 구비되는 장비를 제어하는 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계; 상기 시뮬레이션 실시부가 상기 메시지를 통신 장치 에뮬레이션부로 전송하는 단계; 상기 통신 장치 에뮬레이션부가 상기 메시지를 장비 에뮬레이션부로 전송하는 단계; 상기 장비 에뮬레이션부가 상기 메시지에 응답하여 기 설정된 동작 시나리오에 따라 보고 메시지를 생성하는 단계; 상기 장비 에뮬레이션부가 상기 보고 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부로 전송하는 단계; 상기 통신 장치 에뮬레이션부가 상기 보고 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부로 전송하는 단계; 및 상기 시뮬레이션 실시부가 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계를 포함할 수 있다.A substrate processing facility simulation method according to an embodiment of the present invention is a method in which a substrate processing facility simulation system simulates operation of a substrate processing facility, wherein the simulation execution unit is executed in a control device for controlling equipment provided in the substrate processing facility. obtaining a message from the control program; transmitting the message by the simulation execution unit to a communication device emulation unit; transmitting the message to the device emulation unit by the communication device emulation unit; generating, by the device emulation unit, a report message according to a preset operation scenario in response to the message; transmitting, by the equipment emulation unit, the report message to the communication device emulation unit; transmitting the report message by the communication device emulation unit to the simulation implementation unit; and providing the report message to the user by the simulation implementing unit.

상기 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계는: 상기 시뮬레이션 실시부가 상기 제어 프로그램을 불러와 실행하여 상기 메시지를 생성하는 단계를 포함하고, 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계는: 상기 시뮬레이션 실시부가 상기 보고 메시지를 표시 장치에 출력하는 단계를 포함할 수 있다.The step of obtaining the message from the control program includes: the simulation executing unit calling and executing the control program to generate the message, and providing the report message to the user includes: the simulation executing unit generating the report It may include outputting the message to the display device.

상기 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계는: 상기 시뮬레이션 실시부가, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템과 네트워크를 통해 연결된 상기 사용자의 단말기로부터, 상기 단말기에서 실행된 상기 제어 프로그램이 생성한 상기 메시지를 수신하는 단계를 포함하고, 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계는: 상기 시뮬레이션 실시부가 상기 보고 메시지를 상기 단말기로 송신하는 단계를 포함할 수 있다.The obtaining of the message from the control program may include: receiving, by the simulation execution unit, the message generated by the control program executed in the terminal from the user's terminal connected to the substrate processing facility simulation system through a network and, providing the report message to the user may include: the simulation executing unit transmitting the report message to the terminal.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법은 컴퓨터로 실행될 수 있는 프로그램으로 구현되어, 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 기록될 수 있다.The method for simulating a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention may be implemented as a computer-executable program and recorded in a computer-readable recording medium.

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법은 컴퓨터와 결합되어 실행하기 위하여 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램으로 구현될 수 있다.The method for simulating a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention may be implemented as a computer program stored in a medium to be executed in combination with a computer.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판 처리 설비에 사용되는 제어 프로그램을 개발하는 개발자가 제어 프로그램의 개발 시 설비나 모듈과 같은 하드웨어를 이용해야 하는 제약으로부터 자유로워져 개발의 생산성을 향상시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a developer who develops a control program used in a substrate processing facility is freed from the restriction of using hardware such as a facility or module when developing the control program, thereby improving the productivity of development.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템의 예시적인 블록도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템의 예시적인 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비와 통신 장치와 제어 장치 간의 연결 관계를 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템이 제어 프로그램에 의한 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 과정을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법의 예시적인 흐름도이다.1 is an exemplary block diagram of a substrate processing facility simulation system in accordance with an embodiment of the present invention.
2 is an exemplary block diagram of a substrate processing facility simulation system according to another embodiment of the present invention.
3 is an exemplary diagram for explaining a connection relationship between a substrate processing facility, a communication device, and a control device according to an embodiment of the present invention.
4 is an exemplary view for explaining a process in which the substrate processing equipment simulation system simulates the operation of the substrate processing equipment by a control program according to an embodiment of the present invention.
5 is an exemplary flowchart of a method for simulating a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Other advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only this embodiment serves to complete the disclosure of the present invention, and to obtain common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.Even if not defined, all terms (including technical or scientific terms) used herein have the same meaning as commonly accepted by common technology in the prior art to which this invention belongs. Terms defined by general dictionaries may be interpreted as having the same meaning as in the related description and/or in the text of the present application, and shall not be interpreted conceptually or overly formally, even if not expressly defined herein. won't

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본 명세서에서 '및/또는' 이라는 용어는 나열된 구성들 각각 또는 이들의 다양한 조합을 가리킨다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. As used herein, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, 'comprise' and/or various conjugations of this verb, eg, 'comprise', 'comprising', 'comprising', 'comprising', etc., refer to the referenced composition, ingredient, component, A step, operation and/or element does not exclude the presence or addition of one or more other compositions, components, components, steps, operations and/or elements. As used herein, the term 'and/or' refers to each of the listed components or various combinations thereof.

한편, 본 명세서 전체에서 사용되는 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미할 수 있다. 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그렇지만 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등이 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다.Meanwhile, terms such as '~ unit', '~ group', '~ block', and '~ module' used throughout this specification may mean a unit that processes at least one function or operation. For example, it can mean software, hardware components such as FPGAs or ASICs. However, '~ part', '~ group', '~ block', and '~ module' are not meant to be limited to software or hardware. '~ unit', '~ group', '~ block', and '~ module' may be configured to reside in an addressable storage medium or to regenerate one or more processors.

따라서, 일 예로서 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 더 분리될 수 있다.Accordingly, as an example, '~ part', '~ group', '~ block', and '~ module' are components such as software components, object-oriented software components, class components, and task components. fields, processes, functions, properties, procedures, subroutines, segments of program code, drivers, firmware, microcode, circuitry, data, databases, data structures, tables, arrays and include variables. The functions provided within the components and '~bu', '~gi', '~block', and '~module' are smaller than the number of components and '~bu', '~gi', '~block' ', '~modules' or may be further separated into additional components and '~parts', '~groups', '~blocks', and '~modules'.

이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)의 예시적인 블록도이다.1 is an exemplary block diagram of a substrate processing facility simulation system 100 in accordance with an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 장비 에뮬레이션부(111), 통신 장치 에뮬레이션부(112) 및 시뮬레이션 실시부(113)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1 , the substrate processing facility simulation system 100 may include an equipment emulation unit 111 , a communication device emulation unit 112 , and a simulation execution unit 113 .

상기 장비 에뮬레이션부(111), 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112) 및 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 데이터를 처리하는 처리부(110), 즉 프로세서를 구성하며, 일 예로 CPU에 해당할 수 있다.The equipment emulation unit 111 , the communication device emulation unit 112 , and the simulation execution unit 113 constitute the processing unit 110 for processing data, that is, a processor, and may correspond to, for example, a CPU.

상기 장비 에뮬레이션부(111)는 기판을 처리하기 위해 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현할 수 있다. 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 상기 장비와 상기 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 상기 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현할 수 있다. 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 상기 장비 에뮬레이션부(111) 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)와 데이터를 주고 받아, 상기 장비를 제어하기 위해 상기 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램에 의한 상기 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션할 수 있다.The equipment emulation unit 111 may virtually implement an operation of equipment provided in a substrate processing facility to process a substrate according to a preset operation scenario. The communication device emulation unit 112 may virtually implement an operation of a communication device that transmits a signal related to the control of the device between the device and a control device that controls the device. The simulation execution unit 113 exchanges data with the equipment emulation unit 111 and the communication device emulation unit 112, and the substrate processing facility by a control program executed in the control device to control the equipment. operation can be simulated.

상기 장비 에뮬레이션부(111), 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112) 및 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 각각의 동작, 즉 장비 및 통신 장치의 에뮬레이션 및 동작 가상화와 그를 이용한 시뮬레이션을 수행하기 위해 사전에 마련된 프로그램을 저장부(120)로부터 불러와 실행할 수 있다. 또한, 각각의 동작을 수행하기 위해 필요한 데이터는 상기 저장부(120)에 미리 저장되어 상기 장비 에뮬레이션부(111), 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112) 및 상기 시뮬레이션 실시부(113)에 의해 독출되어 사용될 수 있다.The equipment emulation unit 111, the communication device emulation unit 112 and the simulation implementation unit 113 are each operation, that is, emulation and operation virtualization of the equipment and communication device, and a simulation using the same. A program may be loaded from the storage unit 120 and executed. In addition, the data required to perform each operation is stored in advance in the storage unit 120 and read out by the equipment emulation unit 111 , the communication device emulation unit 112 and the simulation execution unit 113 . can be used

본 발명의 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 시뮬레이션 수행 시 기판 처리 설비를 가동하기 위해 사용되는 제어 프로그램이 실행되는 장치에 따라 크게 두 가지 실시예로 구분될 수 있다.The substrate processing facility simulation system 100 of the present invention may be roughly divided into two embodiments according to an apparatus in which a control program used to operate the substrate processing facility during simulation is executed.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 시스템에 구비된 저장부(120)에 제어 프로그램이 저장되고, 시뮬레이션 수행 시 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 상기 저장부(120)로부터 제어 프로그램을 불러와 실행하여 상기 장비 에뮬레이션부(111) 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)와 데이터를 주고 받을 수 있다. 즉, 이 실시예에서 제어 프로그램은 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)에서 실행되어 시뮬레이션이 이루어진다.First, in the substrate processing facility simulation system 100 according to an embodiment of the present invention, a control program is stored in the storage unit 120 provided in the system, and when the simulation is performed, the simulation executing unit 113 is stored in the storage unit ( 120) by calling and executing a control program, it is possible to send and receive data with the equipment emulation unit 111 and the communication device emulation unit 112. That is, in this embodiment, the control program is executed in the substrate processing facility simulation system 100 to perform the simulation.

이 경우, 도 1을 참조하면, 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 상기 저장부(120)로부터 제어 프로그램을 불러와 실행하여 장비의 제어와 관련된 메시지를 생성하고, 상기 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)를 통해 상기 장비 에뮬레이션부(111)에 전달할 수 있다. 그 뒤, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 메시지에 응답하여 기 설정된 동작 시나리오에 따라 보고 메시지를 생성할 수 있다. 그러고 나서, 상기 장비 에뮬레이션부(111)가 상기 보고 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)를 통해 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전송할 수 있다.In this case, referring to FIG. 1 , the simulation executing unit 113 calls and executes a control program from the storage unit 120 to generate a message related to equipment control, and transmits the message to the communication device emulation unit ( 112) through the device emulation unit 111 may be transmitted. Thereafter, the device emulation unit 111 may generate a report message according to a preset operation scenario in response to the message. Then, the equipment emulation unit 111 may transmit the report message to the simulation implementation unit 113 through the communication device emulation unit 112 .

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 시스템 내에서 자체적으로 제어 프로그램을 실행하여 상기 장비 에뮬레이션부(111)에 의한 가상 장비 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)에 의한 가상 통신 장치와 장비의 제어에 관한 메시지를 주고 받아 시뮬레이션을 수행할 수 있다.As described above, according to an embodiment of the present invention, the substrate processing facility simulation system 100 executes a control program by itself in the system, and the virtual equipment and the communication device emulation unit ( 112), a simulation may be performed by exchanging a message regarding the control of the virtual communication device and equipment.

반면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 시뮬레이션 수행 시 제어 프로그램이 다른 컴퓨팅 장치에서 실행되고, 상기 시스템은 제어 프로그램이 실행되는 컴퓨팅 장치로부터 장비의 제어와 관련된 메시지를 수신하여 상기 장비 에뮬레이션부(111) 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)로 메시지를 전달할 수 있다. 즉, 이 실시예에서 제어 프로그램은 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)과 구분된 별개의 컴퓨팅 장치에서 실행되어 시뮬레이션이 이루어진다.On the other hand, in the substrate processing facility simulation system 100 according to another embodiment of the present invention, a control program is executed in another computing device when the simulation is performed, and the system receives a message related to equipment control from the computing device in which the control program is executed. Upon receiving, the message may be transmitted to the equipment emulation unit 111 and the communication device emulation unit 112 . That is, in this embodiment, the control program is executed in a separate computing device separated from the substrate processing facility simulation system 100 to perform the simulation.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)의 예시적인 블록도이다.2 is an exemplary block diagram of a substrate processing facility simulation system 100 according to another embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 사용자의 단말기(200)와 네트워크를 통해 데이터를 송수신할 수 있도록 연결되어 있다. 상기 단말기(200)는 단말기에 구비된 저장 장치로부터 제어 프로그램을 불러와 실행하여 장비의 제어와 관련된 메시지를 생성할 수 있으며, 상기 메시지는 네트워크를 통해 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)으로 송신될 수 있다.As shown in FIG. 2 , the substrate processing facility simulation system 100 according to another embodiment of the present invention is connected to the user's terminal 200 to transmit and receive data through a network. The terminal 200 may generate a message related to equipment control by calling and executing a control program from a storage device provided in the terminal, and the message may be transmitted to the substrate processing facility simulation system 100 through a network. can

상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 통신부(150)에 의해 상기 메시지가 수신되어 처리부(110)로 전달되며, 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 수신된 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)를 통해 상기 장비 에뮬레이션부(111)에 전달할 수 있다. 그 뒤, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 메시지에 응답하여 기 설정된 동작 시나리오에 따라 보고 메시지를 생성하고, 상기 보고 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)를 통해 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전송할 수 있다.In the substrate processing facility simulation system 100 , the message is received by the communication unit 150 and transmitted to the processing unit 110 , and the simulation executing unit 113 transmits the received message to the communication device emulation unit 112 . through the device emulation unit 111 . Thereafter, the equipment emulation unit 111 generates a report message according to a preset operation scenario in response to the message, and transmits the report message to the simulation execution unit 113 through the communication device emulation unit 112 . can be transmitted

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 시스템 내에서 자체적으로 제어 프로그램을 실행하지 않고도 네트워크를 통해 사용자의 단말기(200)로부터 제어 관련 메시지를 수신하여 시뮬레이션을 수행할 수도 있다. 이 경우, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)이 시뮬레이션을 통해 얻은 시뮬레이션 결과는 네트워크를 통해 다시 사용자의 단말기(200)로 송신되어 사용자에게 제공될 수 있다.As described above, according to another embodiment of the present invention, the substrate processing facility simulation system 100 receives a control-related message from the user's terminal 200 through the network without executing a control program by itself in the system and performs simulation. can also be performed. In this case, the simulation result obtained through the simulation of the substrate processing facility simulation system 100 may be transmitted back to the user's terminal 200 through the network and provided to the user.

그 결과, 사용자는 기판 처리 설비의 시뮬레이션 수행 시 반드시 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)에 구비된 입력부(130) 및 표시부(140)를 이용하여 시뮬레이션을 실시하고 결과를 확인할 필요 없이, 네트워크만 연결되어 있다면 단말기(200)를 이용하여 원격으로 시뮬레이션을 수행할 수 있다. 이와 같은 원격 시뮬레이션에 의한 제어 프로그램 테스트 환경은 제어 프로그램의 개발에 있어서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.As a result, when the user performs the simulation of the substrate processing facility, the user does not necessarily need to perform the simulation using the input unit 130 and the display unit 140 provided in the substrate processing facility simulation system 100 and check the result, but only connect the network. If so, the simulation can be performed remotely using the terminal 200 . Such a control program test environment by remote simulation can greatly improve productivity in the development of a control program.

상기 장비 에뮬레이션부(111)는 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현한다.The equipment emulation unit 111 virtually implements the operation of equipment provided in the substrate processing facility according to a preset operation scenario.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 기판을 처리하는 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 장비의 동작을 상기 공정 장비의 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 공정 장비 에뮬레이션부를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the equipment emulation unit 111 may include a process equipment emulation unit that virtually implements the operation of at least one process equipment performing a process for processing a substrate according to an operation scenario of the process equipment. can

또한, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 공정 장비로 기판을 반입하고 상기 공정 장비로부터 기판을 반출하는 반송 장비의 동작을 상기 반송 장비의 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 반송 장비 에뮬레이션부를 포함할 수 있다.In addition, the equipment emulation unit 111 may include a transfer equipment emulation unit that virtually implements the operation of the transfer equipment for bringing in the substrate into the process equipment and taking out the substrate from the process equipment according to the operation scenario of the transfer equipment. have.

즉, 상기 공정 장비 에뮬레이션부와 상기 반송 장비 에뮬레이션부는 각각 기판 처리 설비에 구비되는 공정 장비와 반송 장비의 동작을 에뮬레이션을 통해 가상화한다.That is, the process equipment emulation unit and the transfer equipment emulation unit virtualize operations of the process equipment and transfer equipment provided in the substrate processing equipment through emulation, respectively.

그리고, 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 장비와 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현한다. 즉, 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 기판 처리 설비와 제어 장치 간에 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 에뮬레이션을 통해 가상화한다.In addition, the communication device emulation unit 112 virtually implements an operation of a communication device that transmits a signal related to the control of the device between the device and the control device that controls the device. That is, the communication device emulation unit 112 virtualizes the operation of the communication device that transmits a signal between the substrate processing facility and the control device through emulation.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비(10)와 통신 장치(20)와 제어 장치(30) 간의 연결 관계를 설명하기 위한 예시적인 도면이다.FIG. 3 is an exemplary diagram for explaining a connection relationship between the substrate processing facility 10 , the communication device 20 , and the control device 30 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따라 제어 프로그램에 의한 동작이 시뮬레이션되는 기판 처리 설비(10)는 기판을 처리하는 적어도 하나의 공정 장비와, 기판을 보관하는 로드락 챔버와, 상기 로드락 챔버와 상기 공정 장비 간에 기판을 이송하는 반송 장비를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3 , a substrate processing facility 10 in which an operation by a control program is simulated according to an embodiment of the present invention includes at least one process equipment for processing a substrate, a load lock chamber for storing the substrate, and the load. It may include a transfer equipment for transferring the substrate between the lock chamber and the process equipment.

그리고, 상기 기판 처리 설비(10)를 가동시켜 기판을 처리하기 위해 컴퓨팅 장치로 구현되는 제어 장치(30)가 제어 프로그램을 실행하여 상기 기판 처리 설비(10)에 포함되는 각종 장비의 제어와 관련된 메시지를 생성하고, 그 메시지를 상기 기판 처리 설비(10)와 상기 제어 장치(10) 간에 구비된 통신 장치(20)를 통해 상기 기판 처리 설비(10)로 전달할 수 있다.In addition, the control device 30 implemented as a computing device to operate the substrate processing facility 10 to process the substrate executes a control program, and a message related to control of various equipment included in the substrate processing facility 10 . , and transmits the message to the substrate processing facility 10 through the communication device 20 provided between the substrate processing facility 10 and the control device 10 .

또한, 상기 기판 처리 설비(10)에 포함된 각종 장비의 상태를 나타내는 메시지가 상기 통신 장치(20)를 통해 상기 제어 장치(30)로 전달될 수 있으며, 상기 제어 장치(30)는 그 메시지를 기반으로 장비의 상태에 따라 제어를 실시할 수 있다.In addition, a message indicating the state of various equipment included in the substrate processing facility 10 may be transmitted to the control device 30 through the communication device 20 , and the control device 30 transmits the message. Based on this, control can be performed according to the state of the equipment.

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)은 상기 기판 처리 설비(10)에 포함된 장비(예컨대, 공정 장비, 반송 장비 등)와 상기 통신 장치(20)를 에뮬레이션을 통해 가상으로 동작시켜, 상기 제어 프로그램을 실행하는 제어 장치(30)가 실제 하드웨어와 메시지를 주고 받아 제어를 실시하는 것처럼 환경을 구성하여 제어 프로그램에 의한 설비의 가동을 시뮬레이션할 수 있다.The substrate processing facility simulation system 100 according to an embodiment of the present invention simulates equipment (eg, process equipment, transport equipment, etc.) included in the substrate processing facility 10 and the communication device 20 through emulation. By operating it, it is possible to simulate the operation of the facility by the control program by configuring an environment as if the control device 30 executing the control program exchanges messages with actual hardware to perform control.

상기 공정 장비의 동작을 가상으로 구현하는 상기 공정 장비 에뮬레이션부와 상기 반송 장비의 동작을 가상으로 구현하는 상기 반송 장비 에뮬레이션부는 각각 사전에 설정된 공정 장비의 동작 시나리오와 반송 장비의 동작 시나리오에 따라 공정 장비 및 반송 장비의 동작을 가상화시킨다.The process equipment emulation unit that virtually implements the operation of the process equipment and the transfer equipment emulation unit that virtually implements the operation of the transfer equipment process equipment according to the preset operation scenario of the process equipment and the operation scenario of the transfer equipment, respectively and virtualizing the operation of the conveying equipment.

상기 동작 시나리오는 상기 공정 장비 에뮬레이션부 및 상기 반송 장비 에뮬레이션부가 상기 시뮬레이션 실시부로부터 제어 관련 메시지를 전달받은 경우, 그 메시지에 대한 응답을 정의할 수 있다. 상기 동작 시나리오에 관한 데이터는 상기 저장부(120)에 저장되어 상기 공정 장비 에뮬레이션부 및 상기 반송 장비 에뮬레이션부에 의해 불러와 사용될 수 있다.The operation scenario may define a response to the message when the process equipment emulation unit and the transport equipment emulation unit receive a control-related message from the simulation executing unit. The data related to the operation scenario may be stored in the storage unit 120 to be retrieved and used by the process equipment emulation unit and the transport equipment emulation unit.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)이 제어 프로그램에 의한 기판 처리 설비(10)의 가동을 시뮬레이션하는 과정을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.4 is an exemplary view for explaining a process in which the substrate processing equipment simulation system 100 simulates the operation of the substrate processing equipment 10 by a control program according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 시뮬레이션 과정을 설명하면, 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 기판 처리 설비의 가동을 위해 사용되는 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하여 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)로 전송할 수 있다. 그러고 나서, 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 상기 메시지를 상기 장비 에뮬레이션부(111)로 전송할 수 있다.A simulation process according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4 , wherein the simulation execution unit 113 obtains a message from a control program used for operation of a substrate processing facility and the communication device emulation unit 112 . can be sent to Then, the communication device emulation unit 112 may transmit the message to the equipment emulation unit 111 .

상기 장비 에뮬레이션부(111)가 상기 메시지를 수신하면, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 메시지에 응답하여 기 설정된 동작 시나리오에 따라 보고 메시지를 생성하고, 상기 보고 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)로 전송할 수 있다. 그러고 나서, 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 상기 보고 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전송할 수 있다.When the device emulation unit 111 receives the message, the device emulation unit 111 generates a report message according to a preset operation scenario in response to the message, and transmits the report message to the communication device emulation unit 112 ) can be transmitted. Then, the communication device emulation unit 112 may transmit the report message to the simulation implementation unit 113 .

상기 시뮬레이션 실시부(113)는 장비의 제어를 통해 얻은 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하여 사용자는 시뮬레이션 결과를 모니터링할 수 있다.The simulation implementing unit 113 provides the user with the report message obtained through the control of the equipment so that the user can monitor the simulation result.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 장비의 동작을 위해 제어 프로그램이 실행되어 생성된 명령 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부(113)로부터 수신하여 상기 장비 에뮬레이션부로 전송하고, 상기 명령 메시지에 따른 장비의 동작 결과를 보고하는 보고 메시지를 상기 장비 에뮬레이션부(111)로부터 수신하여 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the communication device emulation unit 112 receives a command message generated by executing a control program for the operation of the equipment from the simulation implementation unit 113 and transmits it to the equipment emulation unit, A report message reporting an operation result of the equipment according to the command message may be received from the equipment emulation unit 111 and transmitted to the simulation execution unit 113 .

즉, 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 설비(10)와 제어 장치(30) 사이에서 그들 간에 데이터를 전달하는 통신 장치(20)의 동작을 에뮬레이션을 통해 동일하게 구현할 수 있다.That is, the communication device emulation unit 112 may implement the same operation of the communication device 20 for transferring data between the facility 10 and the control device 30 through emulation.

나아가, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)로부터 상기 명령 메시지를 수신하면, 상기 명령 메시지에 응답하여 장비의 동작 시나리오에 따라 장비가 갖는 상태를 변경할 수 있으며, 상기 장비가 갖는 상태를 기반으로 보고 메시지를 생성할 수 있다.Furthermore, when the device emulation unit 111 receives the command message from the communication device emulation unit 112, in response to the command message, the device emulation unit 111 may change the state of the device according to the operation scenario of the device, and the device A report message can be generated based on the state it has.

이 경우, 상기 보고 메시지에는 장비의 상태를 나타내는 데이터가 포함되어 있을 수 있다. 예를 들어, 상기 장비가 플라즈마를 이용하여 기판의 표면을 식각하는 식각 공정 모듈인 경우, 상기 명령 메시지에 응답하여 생성되는 상기 보고 메시지에는 상기 식각 공정 모듈의 챔버 내 압력, 플라즈마를 생성하기 위해 플라즈마 소스에 공급되는 RF 신호의 전력, 기판을 지지하는 척의 온도 등 상기 식각 공정 모듈에 관한 각종 파라미터를 나타내는 데이터가 포함될 수 있다.In this case, the report message may include data indicating the state of the equipment. For example, when the equipment is an etching process module that etches the surface of the substrate using plasma, the report message generated in response to the command message includes the pressure in the chamber of the etching process module and plasma to generate plasma. Data representing various parameters related to the etching process module, such as power of an RF signal supplied to a source and a temperature of a chuck supporting a substrate, may be included.

더 나아가, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)로부터 수신된 명령 메시지에 응답하여, 상기 장비의 동작 시나리오에 따라 변경된 장비의 상태를 나타내는 값이 기 설정된 허용 범위에 속하는 경우, 상기 명령 메시지에 따른 장비의 동작이 정상적으로 수행됨을 알리는 제 1 보고 메시지를 생성할 수 있다.Furthermore, in response to the command message received from the communication device emulation unit 112, the equipment emulation unit 111, when the value indicating the state of the equipment changed according to the operation scenario of the equipment falls within a preset allowable range , it is possible to generate a first report message informing that the operation of the equipment is normally performed according to the command message.

반대로, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 장비의 동작 시나리오에 따라 변경된 장비의 상태를 나타내는 값이 상기 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 명령 메시지에 따른 장비의 동작이 비정상적으로 수행됨을 알리는 제 2 보고 메시지를 생성할 수 있다.On the contrary, when the value indicating the state of the equipment changed according to the operation scenario of the equipment is out of the allowable range, the equipment emulation unit 111 is a second report message notifying that the operation of the equipment according to the command message is abnormally performed can create

이와 같이, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 제어 프로그램이 생성하여 전달한 명령 메시지에 따른 장비의 동작이 정상 또는 비정상인지 여부에 따라 각각 제 1 및 제 2 보고 메시지를 생성하여 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)를 통해 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전달할 수 있다.In this way, the device emulation unit 111 generates first and second report messages, respectively, depending on whether the operation of the equipment according to the command message generated and transmitted by the control program is normal or abnormal, and the communication device emulation unit 112 ) through the simulation implementation unit 113 .

더 나아가, 상기 제 2 보고 메시지가 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전달되면, 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 상기 제 2 보고 메시지에 따라 장비의 상태를 조절하기 위해 제어 프로그램이 실행되어 생성된 조절 메시지를 획득할 수 있다. 그리고, 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 상기 조절 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)로 전송하고, 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)는 상기 조절 메시지를 상기 장비 에뮬레이션부(111)로 전송할 수 있다.Furthermore, when the second report message is transmitted to the simulation executing unit 113, the simulation executing unit 113 executes a control program to adjust the state of the equipment according to the second report message. message can be obtained. The simulation implementing unit 113 may transmit the control message to the communication device emulation unit 112 , and the communication device emulation unit 112 may transmit the control message to the equipment emulation unit 111 . .

상기 조절 메시지에 응답하여, 상기 장비 에뮬레이션부(111)는 상기 조절 메시지에 따라 상기 장비의 상태를 조절하여 조절된 상태를 나타내는 보고 메시지를 생성하여 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)를 통해 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전달할 수 있다.In response to the control message, the equipment emulation unit 111 adjusts the state of the equipment according to the adjustment message, generates a report message indicating the adjusted state, and performs the simulation through the communication device emulation unit 112 . It can be transmitted to the unit 113 .

전술한 바와 같은 상기 시뮬레이션 실시부(113), 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112) 및 상기 장비 에뮬레이션부(111) 간의 메시지 송수신을 통해 제어 프로그램에 의한 기판 처리 설비(10)의 가동이 시뮬레이션되며, 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 시뮬레이션 결과, 예컨대 상기 장비 에뮬레이션부(111)가 생성한 보고 메시지를 표시부(140)에 표시하거나(도 1 참조) 네트워크를 통해 사용자의 단말기(200)로 송신함으로써(도 2 참조), 사용자로 하여금 시뮬레이션 결과를 모니터링할 수 있도록 한다.The operation of the substrate processing facility 10 by the control program is simulated through message transmission and reception between the simulation execution unit 113, the communication device emulation unit 112, and the equipment emulation unit 111 as described above, and the The simulation execution unit 113 displays the simulation result, for example, a report message generated by the equipment emulation unit 111 on the display unit 140 (see FIG. 1) or transmits it to the user's terminal 200 through the network (FIG. 2), allowing users to monitor simulation results.

그 결과, 사용자(예컨대, 제어 프로그램의 개발자)는 기판 처리 설비(10) 및 통신 장치(20)를 대상으로 제어 프로그램을 테스트할 필요 없이, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)에서 가상 장비 및 가상 통신 장치를 이용한 시뮬레이션을 통해 제어 프로그램을 테스트하거나, 단말기(200)에서 제어 프로그램을 실행하여 네트워크를 통해 시뮬레이션을 수행하고 결과를 모니터링할 수 있다.As a result, a user (eg, a developer of a control program) can use virtual equipment and virtual machines in the substrate processing facility simulation system 100 without having to test the control program against the substrate processing facility 10 and the communication device 20 . The control program may be tested through simulation using a communication device, or the control program may be executed in the terminal 200 to perform simulation through a network and monitor the result.

이와 같은 본 발명의 실시예는 개발자로 하여금 제어 프로그램의 개발 시 기판 처리 설비와 같은 하드웨어의 필요를 제거하여 개발의 생산성을 향상시킬 수 있다.Such an embodiment of the present invention enables a developer to improve the productivity of development by eliminating the need for hardware such as a substrate processing facility when developing a control program.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법(300)의 예시적인 흐름도이다.5 is an exemplary flow diagram of a method 300 for simulating a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention.

상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법(300)은 전술한 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)에 의해 실행되어 기판 처리 설비(10)의 가동을 시뮬레이션할 수 있다.The substrate processing facility simulation method 300 may be executed by the substrate processing facility simulation system 100 according to the above-described embodiment of the present invention to simulate the operation of the substrate processing facility 10 .

도 5를 참조하면, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법(300)은, 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 기판 처리 설비(10)에 구비되는 장비를 제어하는 제어 장치(30)에서 실행되는 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계(S310), 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 상기 메시지를 통신 장치 에뮬레이션부(112)로 전송하는 단계(S320), 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)가 상기 메시지를 상기 장비 에뮬레이션부(111)로 전송하는 단계(S330), 상기 장비 에뮬레이션부(111)가 상기 메시지에 응답하여 기 설정된 동작 시나리오에 따라 보고 메시지를 생성하는 단계(S340), 상기 장비 에뮬레이션부(111)가 상기 보고 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)로 전송하는 단계(S350), 상기 통신 장치 에뮬레이션부(112)가 상기 보고 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부(113)로 전송하는 단계(S360), 및 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계(S370)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5 , in the substrate processing facility simulation method 300 , the simulation execution unit 113 receives a message from a control program executed in the control device 30 for controlling equipment provided in the substrate processing facility 10 . obtaining (S310), the simulation executing unit 113 transmitting the message to the communication device emulation unit 112 (S320), the communication device emulation unit 112 sending the message to the equipment emulation unit Step (S330) of transmitting to (111), the equipment emulation unit 111 generating a report message according to a preset operation scenario in response to the message (S340), the equipment emulation unit 111 is the report Transmitting a message to the communication device emulation unit 112 (S350), the communication device emulation unit 112 transmitting the report message to the simulation executing unit 113 (S360), and performing the simulation It may include the step (S370) of the unit 113 providing the report message to the user.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계(S310)는, 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 제어 프로그램을 불러와 실행하여 상기 메시지를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step of obtaining the message from the control program (S310) may include the step of generating the message by the simulation executing unit 113 calling and executing the control program.

그리고, 이 실시예에 따르면, 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계(S370)는, 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 상기 보고 메시지를 표시 장치(140)에 출력하는 단계를 포함할 수 있다.And, according to this embodiment, the step of providing the report message to the user ( S370 ) may include the step of outputting the report message to the display device 140 by the simulation implementing unit 113 .

즉, 도 1을 참조하여 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)이 제어 프로그램을 직접 실행하여 메시지를 생성하고 그 메시지를 통신 장치 에뮬레이션부(112)을 통해 장비 에뮬레이션부(111)로 전달함으로써 시뮬레이션이 수행되므로, 이 실시예에서는 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 상기 메시지를 직접 생성하여 시뮬레이션을 진행하고, 상기 보고 메시지를 표시 장치(140)에 출력하여 사용자에게 시뮬레이션 결과를 제공한다.That is, as described with reference to FIG. 1 , according to an embodiment of the present invention, the substrate processing facility simulation system 100 directly executes a control program to generate a message and transmits the message to the communication device emulation unit 112 . Since the simulation is performed by transmitting it to the equipment emulation unit 111 through the Provides simulation results to users.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계(S310)는, 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)과 네트워크를 통해 연결된 사용자의 단말기(200)로부터, 상기 단말기(200)에서 실행된 제어 프로그램이 생성한 메시지를 수신하는 단계를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the step of obtaining a message from the control program (S310) includes the user's terminal 200, in which the simulation implementing unit 113 is connected to the substrate processing facility simulation system 100 and the network through a network. It may include receiving a message generated by the control program executed in the terminal 200 from the terminal.

그리고, 이 실시예에 따르면, 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계(S370)는, 상기 시뮬레이션 실시부(113)가 상기 보고 메시지를 상기 단말기(200)로 송신하는 단계를 포함할 수 있다.And, according to this embodiment, the step of providing the report message to the user ( S370 ) may include the step of the simulation implementing unit 113 transmitting the report message to the terminal 200 .

즉, 도 2를 참조하여 설명한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)이 제어 프로그램을 직접 실행하여 메시지를 생성하는 대신, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템(100)과 네트워크를 통해 연결된 사용자의 단말기(200)에서 제어 프로그램이 실행되어 메시지가 생성되므로, 이 실시예에서 상기 시뮬레이션 실시부(113)는 상기 메시지를 네트워크를 통해 사용자의 단말기(200)로부터 수신하여 시뮬레이션을 진행하고, 상기 보고 메시지를 네트워크를 통해 상기 단말기(200)로 송신하여 사용자로 하여금 단말기(200)를 통해 시뮬레이션 결과를 모니터링할 수 있도록 한다.That is, as described with reference to FIG. 2 , according to another embodiment of the present invention, the substrate processing equipment simulation system 100 does not directly execute a control program to generate a message, but rather the substrate processing equipment simulation system 100 . Since a message is generated by executing the control program in the user's terminal 200 connected to the user's terminal 200 through the network, in this embodiment, the simulation executing unit 113 receives the message from the user's terminal 200 through the network to simulate and transmits the report message to the terminal 200 through the network so that the user can monitor the simulation result through the terminal 200 .

상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법(300)은 컴퓨터에서 실행되기 위한 프로그램으로 제작되어 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체에 저장될 수 있다. 상기 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 저장장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피디스크, 광 데이터 저장장치 등이 있다. 또한, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법(300)은 컴퓨터와 결합되어 실행시키기 위하여 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램으로 구현될 수 있다.The substrate processing facility simulation method 300 may be produced as a program to be executed by a computer and stored in a computer-readable recording medium. The computer-readable recording medium includes all types of storage devices in which data readable by a computer system is stored. Examples of the computer-readable recording medium include ROM, RAM, CD-ROM, magnetic tape, floppy disk, and optical data storage device. In addition, the substrate processing facility simulation method 300 may be implemented as a computer program stored in a medium to be executed in combination with a computer.

이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.Although the present invention has been described by way of examples above, the above examples are merely for explaining the spirit of the present invention and are not limited thereto. Those skilled in the art will understand that various modifications may be made to the above-described embodiments. The scope of the present invention is determined only through interpretation of the appended claims.

10: 기판 처리 설비
20: 통신 장치
30: 제어 장치
100: 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템
110: 처리부
111: 장비 에뮬레이션부
112: 통신 장치 에뮬레이션부
113: 시뮬레이션 실시부
120: 저장부
130: 입력부
140: 표시부
150: 통신부
200: 단말기
300: 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법10: substrate processing equipment
20: communication device
30: control device
100: substrate processing facility simulation system
110: processing unit
111: equipment emulation unit
112: communication device emulation unit
113: simulation implementation unit
120: storage
130: input unit
140: display unit
150: communication department
200: terminal
300: Substrate processing facility simulation method

Claims (13)

기판을 처리하기 위해 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 장비 에뮬레이션부;
상기 장비와 상기 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 상기 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현하는 통신 장치 에뮬레이션부; 및
상기 장비 에뮬레이션부 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부와 데이터를 주고 받아, 상기 장비를 제어하기 위해 상기 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램에 의한 상기 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 시뮬레이션 실시부를 포함하며,
상기 장비 에뮬레이션부는:
상기 기판을 처리하는 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 장비의 동작을 상기 공정 장비의 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 공정 장비 에뮬레이션부; 및
상기 공정 장비로 상기 기판을 반입하고 상기 공정 장비로부터 상기 기판을 반출하는 반송 장비의 동작을 상기 반송 장비의 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 반송 장비 에뮬레이션부를 포함하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템.an equipment emulation unit that virtually implements an operation of equipment provided in a substrate processing facility to process a substrate according to a preset operation scenario;
a communication device emulation unit that virtually implements an operation of a communication device that transmits a signal related to control of the device between the device and a control device that controls the device; and
and a simulation implementation unit that transmits and receives data to and from the equipment emulation unit and the communication device emulation unit, and simulates the operation of the substrate processing facility by a control program executed in the control device to control the equipment,
The equipment emulation unit:
a process equipment emulation unit that virtually implements an operation of at least one process equipment performing a process for processing the substrate according to an operation scenario of the process equipment; and
and a transfer equipment emulation unit that virtually implements an operation of transfer equipment for loading the substrate into the process equipment and unloading the substrate from the process equipment according to an operation scenario of the transfer equipment. 삭제delete 기판을 처리하기 위해 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 장비 에뮬레이션부;
상기 장비와 상기 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 상기 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현하는 통신 장치 에뮬레이션부; 및
상기 장비 에뮬레이션부 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부와 데이터를 주고 받아, 상기 장비를 제어하기 위해 상기 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램에 의한 상기 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 시뮬레이션 실시부를 포함하며,
상기 통신 장치 에뮬레이션부는:
상기 장비의 동작을 위해 상기 제어 프로그램이 실행되어 생성된 명령 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부로부터 수신하여 상기 장비 에뮬레이션부로 전송하고,
상기 명령 메시지에 따른 상기 장비의 동작 결과를 보고하는 보고 메시지를 상기 장비 에뮬레이션부로부터 수신하여 상기 시뮬레이션 실시부로 전송하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템.an equipment emulation unit that virtually implements an operation of equipment provided in a substrate processing facility to process a substrate according to a preset operation scenario;
a communication device emulation unit that virtually implements an operation of a communication device that transmits a signal related to control of the device between the device and a control device that controls the device; and
and a simulation implementation unit that transmits and receives data to and from the equipment emulation unit and the communication device emulation unit, and simulates the operation of the substrate processing facility by a control program executed in the control device to control the equipment,
The communication device emulation unit:
Receives a command message generated by executing the control program for the operation of the equipment from the simulation execution unit and transmits it to the equipment emulation unit,
A substrate processing facility simulation system for receiving a report message reporting an operation result of the equipment according to the command message from the equipment emulation unit and transmitting it to the simulation execution unit. 제 3 항에 있어서,
상기 장비 에뮬레이션부는:
상기 명령 메시지에 응답하여 상기 동작 시나리오에 따라 상기 장비가 갖는 상태를 변경하고, 상기 장비가 갖는 상태를 기반으로 상기 보고 메시지를 생성하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템.4. The method of claim 3,
The equipment emulation unit:
The substrate processing facility simulation system changes the state of the equipment according to the operation scenario in response to the command message, and generates the report message based on the state of the equipment. 제 4 항에 있어서,
상기 장비 에뮬레이션부는:
상기 명령 메시지에 응답하여 상기 동작 시나리오에 따라 변경된 상기 장비의 상태를 나타내는 값이 기 설정된 허용 범위에 속하는 경우, 상기 명령 메시지에 따른 상기 장비의 동작이 정상적으로 수행됨을 알리는 제 1 보고 메시지를 생성하고,
상기 장비의 상태를 나타내는 값이 상기 허용 범위를 벗어나는 경우, 상기 명령 메시지에 따른 상기 장비의 동작이 비정상적으로 수행됨을 알리는 제 2 보고 메시지를 생성하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템.5. The method of claim 4,
The equipment emulation unit:
When the value indicating the state of the equipment changed according to the operation scenario in response to the command message falls within a preset allowable range, a first report message indicating that the operation of the equipment according to the command message is normally performed,
When the value indicating the state of the equipment is out of the allowable range, the substrate processing equipment simulation system generates a second report message informing that the operation of the equipment is abnormally performed according to the command message. 제 5 항에 있어서,
상기 통신 장치 에뮬레이션부는:
상기 제 2 보고 메시지에 따라 상기 장비의 상태를 조절하기 위해 상기 제어 프로그램이 실행되어 생성된 조절 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부로부터 수신하여 상기 장비 에뮬레이션부로 전송하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템.6. The method of claim 5,
The communication device emulation unit:
A substrate processing facility simulation system for receiving an adjustment message generated by executing the control program to adjust the state of the equipment according to the second report message from the simulation execution unit and transmitting the adjustment message to the equipment emulation unit. 제 1 항 또는 제3항에 있어서,
상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템은 상기 제어 프로그램을 저장하는 저장부를 더 포함하고,
상기 시뮬레이션 실시부는:
상기 저장부로부터 상기 제어 프로그램을 불러와 실행하여 메시지를 생성하고,
상기 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부에 전달하고,
상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부로부터 보고 메시지를 전달받고,
상기 보고 메시지를 표시 장치에 출력하여 사용자에게 제공하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템.4. The method of claim 1 or 3,
The substrate processing facility simulation system further comprises a storage unit for storing the control program,
The simulation implementation section is:
Generates a message by calling and executing the control program from the storage unit,
forwarding the message to the equipment emulation unit through the communication device emulation unit;
Receiving a report message from the equipment emulation unit through the communication device emulation unit,
A substrate processing facility simulation system for outputting the report message to a display device and providing it to a user. 제 1 항 또는 제3항에 있어서,
상기 시뮬레이션 실시부는:
상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템과 네트워크를 통해 연결된 사용자의 단말기로부터, 상기 단말기에서 실행된 상기 제어 프로그램이 생성한 메시지를 수신하고,
상기 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부에 전달하고,
상기 통신 장치 에뮬레이션부를 통해 상기 장비 에뮬레이션부로부터 보고 메시지를 전달받고,
상기 보고 메시지를 상기 단말기로 송신하여 상기 사용자에게 제공하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템.4. The method of claim 1 or 3,
The simulation implementation section is:
receiving a message generated by the control program executed in the terminal from a user's terminal connected to the substrate processing facility simulation system through a network;
forwarding the message to the equipment emulation unit through the communication device emulation unit;
Receiving a report message from the equipment emulation unit through the communication device emulation unit,
A substrate processing facility simulation system for transmitting the report message to the terminal and providing it to the user. 기판을 처리하기 위해 기판 처리 설비에 구비되는 장비의 동작을 기 설정된 동작 시나리오에 따라 가상으로 구현하는 장비 에뮬레이션부;
상기 장비와 상기 장비를 제어하는 제어 장치 사이에서 상기 장비의 제어와 관련된 신호를 전달하는 통신 장치의 동작을 가상으로 구현하는 통신 장치 에뮬레이션부; 및
상기 장비 에뮬레이션부 및 상기 통신 장치 에뮬레이션부와 데이터를 주고 받아, 상기 장비를 제어하기 위해 상기 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램에 의한 상기 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 시뮬레이션 실시부를 포함하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템이 기판 처리 설비의 가동을 시뮬레이션하는 방법에 있어서,
시뮬레이션 실시부가 상기 기판 처리 설비에 구비되는 장비를 제어하는 제어 장치에서 실행되는 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계;
상기 시뮬레이션 실시부가 상기 메시지를 통신 장치 에뮬레이션부로 전송하는 단계;
상기 통신 장치 에뮬레이션부가 상기 메시지를 장비 에뮬레이션부로 전송하는 단계;
상기 장비 에뮬레이션부가 상기 메시지에 응답하여 기 설정된 동작 시나리오에 따라 보고 메시지를 생성하는 단계;
상기 장비 에뮬레이션부가 상기 보고 메시지를 상기 통신 장치 에뮬레이션부로 전송하는 단계;
상기 통신 장치 에뮬레이션부가 상기 보고 메시지를 상기 시뮬레이션 실시부로 전송하는 단계; 및
상기 시뮬레이션 실시부가 상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계를 포함하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법.an equipment emulation unit that virtually implements an operation of equipment provided in a substrate processing facility to process a substrate according to a preset operation scenario;
a communication device emulation unit that virtually implements an operation of a communication device that transmits a signal related to control of the device between the device and a control device that controls the device; and
Substrate processing facility simulation comprising a simulation execution unit that transmits and receives data to and from the equipment emulation unit and the communication device emulation unit, and simulates the operation of the substrate processing facility by a control program executed in the control device to control the equipment A method for a system to simulate operation of a substrate processing facility, comprising:
obtaining, by a simulation execution unit, a message from a control program executed in a control device for controlling equipment provided in the substrate processing facility;
transmitting the message by the simulation execution unit to a communication device emulation unit;
transmitting the message to the device emulation unit by the communication device emulation unit;
generating, by the device emulation unit, a report message according to a preset operation scenario in response to the message;
transmitting, by the equipment emulation unit, the report message to the communication device emulation unit;
transmitting the report message by the communication device emulation unit to the simulation implementation unit; and
and providing, by the simulation execution unit, the report message to a user. 제 9 항에 있어서,
상기 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계는:
상기 시뮬레이션 실시부가 상기 제어 프로그램을 불러와 실행하여 상기 메시지를 생성하는 단계를 포함하고,
상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계는:
상기 시뮬레이션 실시부가 상기 보고 메시지를 표시 장치에 출력하는 단계를 포함하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법.10. The method of claim 9,
Obtaining a message from the control program includes:
Including the step of generating the message by the simulation executing unit calling and executing the control program,
Providing the report message to the user includes:
and outputting, by the simulation execution unit, the report message to a display device. 제 9 항에 있어서,
상기 제어 프로그램으로부터 메시지를 획득하는 단계는:
상기 시뮬레이션 실시부가, 상기 기판 처리 설비 시뮬레이션 시스템과 네트워크를 통해 연결된 상기 사용자의 단말기로부터, 상기 단말기에서 실행된 상기 제어 프로그램이 생성한 상기 메시지를 수신하는 단계를 포함하고,
상기 보고 메시지를 사용자에게 제공하는 단계는:
상기 시뮬레이션 실시부가 상기 보고 메시지를 상기 단말기로 송신하는 단계를 포함하는 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법.10. The method of claim 9,
Obtaining a message from the control program includes:
Receiving, by the simulation execution unit, the message generated by the control program executed in the terminal from the user's terminal connected to the substrate processing facility simulation system through a network,
Providing the report message to the user includes:
Substrate processing facility simulation method comprising the step of the simulation implementing unit transmitting the report message to the terminal. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법을 컴퓨터로 실행하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능 기록 매체.12. A computer-readable recording medium in which a program for executing the method for simulating a substrate processing facility according to any one of claims 9 to 11 by a computer is recorded. 컴퓨터와 결합되어 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 기판 처리 설비 시뮬레이션 방법을 실행시키기 위하여 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램.12. A computer program stored on a medium for being coupled to a computer to execute the method for simulating a substrate processing facility according to any one of claims 9 to 11.
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