KR102279208B1 - Screw rotor for vacuum pump and vacuum pump including the same - Google Patents

Screw rotor for vacuum pump and vacuum pump including the same Download PDF

Info

Publication number
KR102279208B1
KR102279208B1 KR1020210006139A KR20210006139A KR102279208B1 KR 102279208 B1 KR102279208 B1 KR 102279208B1 KR 1020210006139 A KR1020210006139 A KR 1020210006139A KR 20210006139 A KR20210006139 A KR 20210006139A KR 102279208 B1 KR102279208 B1 KR 102279208B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
screw rotor
screw
thread
crest
vacuum pump
Prior art date
Application number
KR1020210006139A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
서현권
정문호
Original Assignee
삼신글로벌베큠 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼신글로벌베큠 주식회사 filed Critical 삼신글로벌베큠 주식회사
Priority to KR1020210006139A priority Critical patent/KR102279208B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102279208B1 publication Critical patent/KR102279208B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/20—Rotors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/30—Casings or housings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2210/00—Working fluid
    • F05B2210/10—Kind or type
    • F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2240/00—Components
    • F05B2240/20—Rotors

Abstract

The present invention relates to a screw rotor for a vacuum pump having a screw thread formed on an outer circumferential surface and a vacuum pump including the same. In particular, the present invention relates to a screw rotor for a vacuum pump in which a compression capacity of a high-capacity gas on an upstream side is improved, and heat generation on a downstream side is minimized, and a vacuum pump including the same. In the screw rotor for a vacuum pump according to one aspect of the present invention, first and second screw rotors are rotatably installed inside a housing.

Description

진공펌프용 스크류 로터 및 이를 포함하는 진공펌프{SCREW ROTOR FOR VACUUM PUMP AND VACUUM PUMP INCLUDING THE SAME}A screw rotor for a vacuum pump and a vacuum pump including the same

본 발명은 외주면에 나사산이 형성된 진공펌프용 스크류 로터 및 이를 포함하는 진공펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a screw rotor for a vacuum pump having a screw thread formed on an outer circumferential surface and a vacuum pump including the same.

진공펌프는 기밀 용기 내의 기체 분자를 제거하는 장치로서, 대기압 이하의 저압에서 기체를 흡입하고, 이를 배출시켜 용기 속의 진공도를 높일 수 있다. 이러한 진공펌프는 기체를 흡입하여 배출시키기 위한 한 쌍의 스크류 로터를 포함하여 구성될 수 있다.A vacuum pump is a device for removing gas molecules in an airtight container, and can increase the degree of vacuum in the container by sucking in the gas at a low pressure below atmospheric pressure and discharging it. Such a vacuum pump may be configured to include a pair of screw rotors for sucking and discharging gas.

종래의 스크류 로터의 외주면에는 일정한 피치 간격으로 나사산이 구비될 수 있다. 이러한 종래의 스크류 로터는 나사산이 치합된 상태로 하우징 내부에 설치되고, 스크류 로터의 회전에 의해 기체를 압축시키면서 이송하여 배출시킬 수 있다. Threads may be provided at regular pitch intervals on the outer peripheral surface of the conventional screw rotor. Such a conventional screw rotor is installed inside the housing in a state in which the screw threads are engaged, and may be transported and discharged while compressing the gas by the rotation of the screw rotor.

진공펌프는, 기체를 흡인하는 흡인구측과 가까이 위치하는 스크류 로터의 상류측에서 기체를 토출하는 토출구측과 가까이 위치하는 스크류 로터의 하류측으로 기체를 이송할 때, 기체를 압축시키면서 열이 발생할 수 있다. When the vacuum pump transfers gas from the upstream side of the screw rotor located close to the suction port for sucking the gas to the downstream side of the screw rotor located close to the discharge port side for discharging the gas, heat can be generated while compressing the gas. have.

진공펌프는 기체를 압축 및 이송하는 과정에 의해 스크류 로터의 상류측 및 하류측에서 계속적으로 열이 발생할 수 있다. 이로 인해 하우징 내부의 온도가 높아지고, 토출되는 기체의 온도가 높아질 수 있다. 이는 하우징의 하부에 구비되는 냉각수단을 가동하는데에 많은 동력을 소모해야 한다는 문제를 야기할 수 있다. The vacuum pump may continuously generate heat at the upstream side and downstream side of the screw rotor by the process of compressing and transferring the gas. As a result, the temperature inside the housing may increase, and the temperature of the discharged gas may increase. This may cause a problem that a lot of power must be consumed to operate the cooling means provided in the lower part of the housing.

따라서, 진공펌프는, 토출구로 기체를 전달하기 전에, 토출구와 가까이 위치하는 하류측에서 열을 감소시키기 위한 기술이 필요하다.Therefore, the vacuum pump requires a technique for reducing heat on the downstream side located close to the discharge port before delivering the gas to the discharge port.

일본공개특허 JP2000-45976AJapanese Laid-Open Patent JP2000-45976A

본 발명은 상류측에서의 기체의 압축 용량이 향상되어 다량의 기체의 압축 및 이송이 가능하고, 하류측에서의 발열이 최소화된 진공펌프용 스크류 로터 및 이를 포함하는 진공펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a screw rotor for a vacuum pump in which the compression capacity of the gas at the upstream side is improved, so that a large amount of gas can be compressed and transferred, and heat generation at the downstream side is minimized, and a vacuum pump including the same.

본 발명의 일 특징에 따른 진공펌프용 스크류 로터는, 하우징 내부에 회전 가능하게 설치되는 제1, 2스크류 로터에 있어서, 상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면과 상기 제2스크류로터의 나사산의 후단면이 서로 근접하여 제1정합부를 형성하되, 상류측의 제1정합부는, 각 나사산의 표면이 경사선 대향을 이루면서 근접하고, 하류측의 제1정합부는, 각 나사산의 표면이 대향을 이루면서 근접하는 것을 특징으로 한다.The screw rotor for a vacuum pump according to one aspect of the present invention is a first and second screw rotor rotatably installed inside a housing, wherein a front end surface of a screw thread of the first screw rotor and a screw thread of the second screw rotor The rear end faces are close to each other to form a first mating portion, and the first mating portion on the upstream side is close to each other while the surfaces of each thread are opposite to each other in an inclined line, and the first mating portion on the downstream side, the surfaces of the threads are opposite to each other. characterized by close proximity.

또한, 상기 상류측의 제1정합부는, 상기 제1스크류 로터의 나사산은 크레스트에서 기저부측에 이르는 제1경사형 표면을 가지고, 상기 제2스크류 로터의 나사산은 기저부측에서 크레스트에 이르는 제2경사형 표면을 가지되, 상기 제1, 2경사형 표면이 서로 선 대향하는 것을 특징으로 한다.Further, in the upstream first mating portion, the thread of the first screw rotor has a first inclined surface extending from the crest to the base side, and the thread of the second screw rotor is a second inclined surface extending from the base side to the crest. It has a molded surface, characterized in that the first and second inclined surfaces are opposite to each other in line.

또한, 상기 하류측의 제1정합부는, 상기 제1스크류 로터의 나사산의 크레스트측과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 기저부측에서 서로 대향하고, 상기 제1스크류 로터의 나사산의 기저부측과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 크레스측에서 서로 대향하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first matching portion on the downstream side is opposite to each other on the crest side of the thread of the first screw rotor and on the side of the base of the thread of the second screw rotor, and the bottom side of the thread of the first screw rotor and the first matching portion are opposite to each other. It is characterized in that they face each other on the cress side of the thread of the two-screw rotor.

또한, 상기 경사선 대향에서 상기 경사선은 상류측에서 하류측으로 갈수록 그 각도가 커지는 것을 특징으로 한다.In addition, in the opposite side of the inclined line, the angle of the inclined line increases from an upstream side to a downstream side.

또한, 상기 제1스크류 로터의 나사산의 후단면과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 선단면이 서로 근접하여 제2정합부를 형성하되, 상기 제2정합부는, 각 나사산의 표면이 대향을 이루면서 근접하는 것을 특징으로 한다.In addition, the rear end surface of the screw thread of the first screw rotor and the front end surface of the screw thread of the second screw rotor are close to each other to form a second matching portion, wherein the second matching portion, the surface of each screw thread is opposite characterized in that

또한, 상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면은, 상류측에서는 크레스트에서 기저부측에 이르는 면이 경사면을 포함하고, 하류측에서는 크레스트에서 기저부측에 이르는 면이 오목면을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the tip surface of the thread of the first screw rotor includes an inclined surface on the upstream side from the crest to the base, and a concave surface on the downstream side from the crest to the base.

또한, 상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면은, 상류측에서는, 크레스트에서 기저부측에 이르는 면이 경사면을 구성하되, 상기 상류측에서 하류측으로 갈수록 상기 경사면의 각도는 점진적으로 커지도록 형성하고, 상기 하류측에서는, 크레스트에서 기저부측에 이르는 가상 선분이 회전축 대비 직각을 이루되, 상기 가상 선분 내에서 오목면을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the front end surface of the screw thread of the first screw rotor, on the upstream side, the surface from the crest to the base side constitutes an inclined surface, and the angle of the inclined surface gradually increases from the upstream side to the downstream side. On the downstream side, an imaginary line segment from the crest to the base is at right angles to the rotation axis, and a concave surface is included in the imaginary segment.

또한, 상기 제1, 2스크류 로터의 각각의 나사산은, 상류측에 위치하며 나사산의 크레스트의 폭이 일정한 제1구간; 나사산의 크레스트의 폭이 상기 제1구간의 크레스트의 폭과 연속적이면서 상기 제1구간의 크레스트의 폭보다 작은 제2구간; 및 나사산의 크레스트의 폭이 상기 제2구간의 크레스트의 폭과 연속적이면서 상기 제2구간의 크레스트의 폭보다 큰 제3구간;을 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, each screw thread of the first and second screw rotors is located on the upstream side, the first section having a constant width of the crest of the screw thread; a second section in which the width of the crest of the thread is continuous with the width of the crest of the first section and smaller than the width of the crest of the first section; and a third section in which the width of the crest of the screw thread is continuous with the width of the crest of the second section and is larger than the width of the crest of the second section.

또한, 상기 제1, 2스크류 로터의 나사산은, 상류측에서 제1체적공간을 형성하는 제1피치 구간; 상기 제1체적공간보다 큰 제2체적공간을 형성하는 제2피치 구간; 상기 제1, 2체적공간보다 작은 제3체적공간을 형성하는 제3피치 구간; 상기 제3체적공간보다 작은 제4, 5체적공간을 형성하는 제4, 5피치 구간; 및 상기 제4, 5체적공간보다 큰 제6체적 공간을 형성하는 제6피치 구간;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the threads of the first and second screw rotors may include: a first pitch section forming a first volume space on an upstream side; a second pitch section forming a second volume space larger than the first volume space; a third pitch section forming a third volume space smaller than the first and second volume spaces; fourth and fifth pitch sections forming fourth and fifth volume spaces smaller than the third volume space; and a sixth pitch section forming a sixth volume space larger than the fourth and fifth volume spaces.

본 발명의 다른 특징에 따른 진공펌프는, 일측에 구비되는 흡인구와 타측에 구비되는 토출구를 구비하는 하우징; 및 상기 하우징 내부에서 회전가능하게 설치되며, 서로 평행하게 구비되는 제1, 2스크류 로터;를 포함하되, 상기 제1, 2스크류 로터는, 상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 후단면이 서로 근접하여 제1정합부를 형성하되, 상류측의 제1정합부는, 각 나사산의 표면이 근접하여 경사선 대향을 이루고, 하류측의 제1정합부는, 각 나사산의 표면이 근접하여 대향을 이루는 것을 특징으로 한다.A vacuum pump according to another aspect of the present invention includes: a housing having a suction port provided on one side and a discharge port provided on the other side; and first and second screw rotors rotatably installed inside the housing and provided in parallel with each other, wherein the first and second screw rotors include a front end surface of a screw thread of the first screw rotor and the second The rear end surfaces of the screw threads of the screw rotor are adjacent to each other to form a first matching portion, wherein the first matching portion on the upstream side has the surfaces of the respective threads close to form an inclined line opposite, and the first matching portion on the downstream side includes: It is characterized in that the surfaces are close and opposing.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 진공펌프용 스크류 로터 및 이를 포함하는 진공펌프는, 제1, 2스크류 로터의 상류측에서 경사선 대향을 이루면서 회전하는 형태에 의해 고용량의 기체의 압축 용량을 향상시킬 수 있고, 하류측에서는, 대향을 이루면서 회전하는 형태에 의해 하류측에서의 발열을 최소화할 수 있는 효과가 있다.As described above, the screw rotor for a vacuum pump according to the present invention and a vacuum pump including the same according to the present invention increase the compression capacity of a high-capacity gas by rotating while forming oblique lines on the upstream side of the first and second screw rotors. On the downstream side, there is an effect that can minimize the heat generation on the downstream side by the form of rotating while opposing.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공 펌프의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A'를 따라 절단한 면을 도시한 도.
도 3은 하우징이 제거된 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공 펌프를 위에서 바라보고 도시한 도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터의 사시도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터를 개략적으로 도시한 단면도.
도 6은 도 4의 제1스크류 로터의 사시도.
도 7은 도 6의 제1스크류 로터를 개략적으로 도시한 단면도.
도 8은 도 4의 제2스크류 로터의 사시도.
도 9는 도 8의 제2스크류 로터를 개략적으로 도시한 단면도.
도 10은 상류측 제1정합부를 확대하여 도시한 도.
도 11은 하류측 제1정합부를 확대하여 도시한 도.
도 12는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터의 피치 구간별 체적공간의 크기를 그래프로 도시한 도.1 is a perspective view of a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a plane taken along line A-A' of FIG. 1;
FIG. 3 is a view showing the vacuum pump according to the preferred embodiment of the present invention from which the housing is removed, as viewed from above;
4 is a perspective view of a screw rotor for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view schematically showing a screw rotor for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of the first screw rotor of FIG. 4 ;
7 is a cross-sectional view schematically illustrating the first screw rotor of FIG. 6 ;
8 is a perspective view of the second screw rotor of FIG. 4;
9 is a cross-sectional view schematically illustrating the second screw rotor of FIG. 8;
10 is an enlarged view of an upstream first matching part;
11 is an enlarged view of a downstream first matching part;
12 is a graph showing the size of the volume space for each pitch section of the screw rotor for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention.

이하의 내용은 단지 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시 예들은 원칙적으로, 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로 명백히 의도되고, 이와 같이 특별히 열거된 실시 예들 및 상태들에 제한되지 않는 것으로 이해되어야 한다.The following is merely illustrative of the principles of the invention. Therefore, those skilled in the art can devise various devices that, although not explicitly described or shown herein, embody the principles of the invention and are included in the spirit and scope of the invention. In addition, all conditional terms and examples listed herein are, in principle, expressly intended for the purpose of understanding the inventive concept, and should be understood as not limited to the specifically enumerated embodiments and states.

상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이며, 그에 따라 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.The above-described objects, features and advantages will become more apparent through the following detailed description in relation to the accompanying drawings, and accordingly, a person of ordinary skill in the art to which the invention pertains will be able to easily practice the technical idea of the invention. .

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 사시도들을 참고하여 설명될 것이다. 이러한 도면들에 도시된 폭 및 영역들의 두께 등은 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다.Embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional and/or perspective views, which are ideal illustrative drawings of the present invention. Widths and thicknesses of regions shown in these drawings are exaggerated for effective description of technical content. Accordingly, embodiments of the present invention are not limited to the specific form shown, but also include changes in the form generated according to the manufacturing process.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A'를 따라 절단한 면을 도시한 도이고, 도 3은 하우징(H)이 제거된 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)를 위에서 바라보고 도시한 도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 6은 제1스크류 로터(SR1)의 사시도이고, 도 7은 도 6의 제1스크류 로터(SR1)를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 8은 제2스크류 로터(SR2)의 사시도이고, 도 9는 제2스크류 로터(SR2)를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 10은 상류측(UC) 제1정합부(101)를 확대하여 도시한 도이고, 도 11은 하류측(LC) 제1정합부(101)를 확대하여 도시한 도이고, 도 12는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 피치 구간별 체적공간의 크기를 그래프로 도시한 도이다.Figure 1 is a perspective view of a vacuum pump (VP) according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing a plane cut along A-A' of Figure 1, Figure 3 is a housing (H) is removed It is a view showing the vacuum pump (VP) according to a preferred embodiment of the present invention from above, Fig. 4 is a perspective view of a screw rotor (SR) for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention, and Fig. 5 is this view A cross-sectional view schematically showing a screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 6 is a perspective view of the first screw rotor SR1, and FIG. 7 is the first screw rotor SR1 of FIG. is a cross-sectional view schematically showing the , FIG. 8 is a perspective view of the second screw rotor SR2, FIG. 9 is a cross-sectional view schematically illustrating the second screw rotor SR2, and FIG. 10 is an upstream side (UC) first It is an enlarged view of the matching part 101, FIG. 11 is an enlarged view of the downstream side (LC) first matching part 101, and FIG. 12 is a diagram for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention. It is a diagram showing the size of the volume space for each pitch section of the screw rotor (SR) as a graph.

도 1 내지 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)는, 일측에 구비되는 흡인구(ET)와 타측에 구비되는 토출구(EX)를 구비하는 하우징(H), 하우징(H) 내부에 회전가능하게 설치되며, 서로 평행하게 구비되는 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2), 하우징(H)의 일측에서 하우징(H)을 밀폐하는 커버부(C) 및 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2) 중 적어도 하나와 연결되는 구동 모터(M)를 포함하여 구성될 수 있다. 이하에서, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)는, 일 예로서, 제1스크류 로터(SR1)와 구동 모터(M)가 연결될 수 있다.1 to 3 , the vacuum pump VP according to a preferred embodiment of the present invention includes a housing H having a suction port ET provided on one side and a discharge port EX provided on the other side. , first and second screw rotors SR1 and SR2 that are rotatably installed inside the housing (H) and provided in parallel to each other, a cover part (C) that seals the housing (H) from one side of the housing (H), and It may be configured to include a driving motor M connected to at least one of the first and second screw rotors SR1 and SR2. Hereinafter, in the vacuum pump VP according to a preferred embodiment of the present invention, as an example, the first screw rotor SR1 and the driving motor M may be connected.

이하에서는, 도 1을 기준으로 커버부(C)가 위치하는 방향을 전방측이라고 하고, 모터(M)가 위치하는 방향을 후방측이라고 한다. Hereinafter, with reference to FIG. 1 , a direction in which the cover part C is positioned is referred to as a front side, and a direction in which the motor M is positioned is referred to as a rear side.

또한, 이하에서는, 도 2를 기준으로 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 상류측(UC)은, 흡인구(ET)측과 가까운 위치일 수 있고, 하류측(LC)은, 토출구(EX)측과 가까운 위치일 수 있다.In addition, hereinafter, with reference to FIG. 2 , the upstream side UC of the first and second screw rotors SR1 and SR2 may be a position close to the suction port ET side, and the downstream side LC is the discharge port It may be a position close to the (EX) side.

또한, 이하에서는, 도 3의 제1스류 크로터(SR1)의 나사산(SC1)을 기준으로, 하류측(LC)에 위치하는 면을 선단면(FS)이라고 하고, 상류측(UC)에 위치하는 면을 후단면(TS)이라 한다.In addition, hereinafter, the surface located on the downstream side LC with respect to the thread SC1 of the first screw croter SR1 of FIG. 3 is referred to as the front end surface FS, and is located on the upstream side UC. This surface is called the rear end surface (TS).

하우징(H)의 일측에는 커버부(C)가 구비될 수 있다. 커버부(C)는 하우징(H)의 일측에 결합되어 하우징(H)을 밀폐할 수 있다. 일 예로서, 커버부(C)는 하우징(H)의 전방에 구비될 수 있다.A cover portion (C) may be provided on one side of the housing (H). The cover part (C) may be coupled to one side of the housing (H) to seal the housing (H). As an example, the cover part (C) may be provided in front of the housing (H).

도 2에 도시된 바와 같이, 커버부(C)는 후방측에 위치하는 내측면에 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)를 각각 구성하는 회전축((SF), 예를 들어, 구동축(DL) 및 종동축(VL) 포함)들을 지지하는 지지부(SP)가 구비될 수 있다. 일 예로서, 지지부(SP)는 일 예의 홀으로 형성되고, 홀에는 일 예로서 베어링부가 구비될 수 있다. 이러한 지지부(SP)에는 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 회전축(SF)들의 일단이 회전 가능하게 삽입될 수 있다. 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)는 지지부(SP)에 구비된 일 예의 베어링부와 연결되어 회전 가능할 수 있다. 커버부(C)는 지지부(SP)의 일 예의 베어링부를 통해 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 회전축들을 회전 및 지지하는 기능을 제공할 수 있다. As shown in Figure 2, the cover portion (C) is a rotation shaft (SF), for example, the drive shaft (DL) constituting the first and second screw rotors SR1 and SR2, respectively, on the inner surface located on the rear side. ) and a support (SP) for supporting the driven shafts (VL) may be provided. As an example, the support part SP may be formed as an example hole, and a bearing part may be provided in the hole as an example. One end of the rotation shafts SF of the first and second screw rotors SR1 and SR2 may be rotatably inserted into the support part SP. The first and second screw rotors SR1 and SR2 may be rotatable in connection with an example bearing part provided on the support part SP. The cover part C may provide a function of rotating and supporting the rotation axes of the first and second screw rotors SR1 and SR2 through a bearing part of an example of the support part SP.

도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(H)에는, 일측에 구비되는 흡인구(ET)와, 타측에 구비되는 토출구(EX)가 구비될 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)는, 흡인구(ET)를 통해서 기체를 흡입하고, 하우징(H) 내부의 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)를 통해 기체를 압축시켜 이송하여 토출구(EX)를 통해서 진공펌프(VP) 외부로 토출할 수 있다.1 , the housing H may include a suction port ET provided on one side and an outlet port EX provided on the other side. The vacuum pump VP according to a preferred embodiment of the present invention sucks gas through the suction port ET, and compresses the gas through the first and second screw rotors SR1 and SR2 inside the housing H. It can be transferred and discharged to the outside of the vacuum pump VP through the discharge port EX.

도 2에 도시된 바와 같이, 하우징(H)의 내부에는 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)가 회전 가능하게 설치될 수 있다. 이 때, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)에 구비되는 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)는, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)일 수 있다. 도 2 내지 도 4를 참조하면, 제1스크류 로터(SR1)는 구동축(DL) 및 구동축(DL)의 외주면에 형성된 나사산(SC1)을 포함하여 구성될 수 있다. 제1스크류 로터(SR1)는 구동축(DL)을 통해서 구동 모터(M)와 연결될 수 있다. 일 예로서, 구동축(DL)의 일단은 커버부(C)의 지지부(SP)에 삽입되고, 타단은 구동 모터(M)와 연결될 수 있다.As shown in FIG. 2 , the first and second screw rotors SR1 and SR2 may be rotatably installed inside the housing H. At this time, the first and second screw rotors SR1 and SR2 provided in the vacuum pump VP according to a preferred embodiment of the present invention may be a screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention. have. 2 to 4 , the first screw rotor SR1 may include a driving shaft DL and a screw thread SC1 formed on an outer circumferential surface of the driving shaft DL. The first screw rotor SR1 may be connected to the driving motor M through the driving shaft DL. As an example, one end of the driving shaft DL may be inserted into the support part SP of the cover part C, and the other end may be connected to the driving motor M.

제2스크류 로터(SR2)는 종동축(VL) 및 종동축(VL)의 외주면에 형성된 나사산(SC2)을 포함하여 구성될 수 있다. 제2스크류 로터(SR2)는, 종동축(VL)을 통해 제1스크류 로터(SR1)의 구동축(DL)과 연결된 구동 모터(M)의 작동에 따라 회전 가능할 수 있다.The second screw rotor SR2 may include a driven shaft VL and a thread SC2 formed on an outer circumferential surface of the driven shaft VL. The second screw rotor SR2 may be rotatable according to the operation of the drive motor M connected to the drive shaft DL of the first screw rotor SR1 through the driven shaft VL.

도 3에 도시된 바와 같이, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)는, 각각의 외주면에 형성된 나사산(SC1, SC2)이 서로 치합된 상태로 하우징(H) 내부에 설치되어 구동 모터(M)의 작동에 의해 회전할 수 있다. 이에 따라, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 선단면(FS)과 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 후단면(TS')이 서로 근접하여 제1정합부(101)를 형성할 수 있다. 이 때, 상류측(UC) 제1정합부(101)는, 각 나사산(SC1, SC2)의 표면이 경사선 대향을 이루면서 근접하고, 하류측(LC) 제1정합부(101)는 각 나사산(SC1, SC2)의 표면이 대향을 이루면서 근접할 수 있다.As shown in FIG. 3 , the first and second screw rotors SR1 and SR2 are installed inside the housing H in a state where the threads SC1 and SC2 formed on the respective outer peripheral surfaces are engaged with each other, and the driving motor M ) can be rotated. Accordingly, as shown in FIGS. 3 to 5 , the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention is a front end surface FS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1. and the rear end surface TS' of the screw thread SC2 of the second screw rotor SR2 may be close to each other to form the first matching portion 101 . At this time, the upstream side (UC) first matching portion 101 is adjacent to each other while the surfaces of the respective threads SC1 and SC2 are opposite to each other in an inclined line, and the downstream (LC) first matching portion 101 is adjacent to each screw thread. The surfaces of (SC1, SC2) can be close to each other while facing each other.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 상류측(UC) 및 하류측(LC)에서의 제1정합부(101)는, 나사산(SC1, SC2)을 구비하는 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)가 각각의 나사산(SC1, SC2)이 치합되는 연결 관계를 갖고 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)에 구비됨으로써 형성될 수 있다. The first matching part 101 on the upstream side (UC) and the downstream side (LC) of the screw rotor (SR) for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention is a first having a screw thread (SC1, SC2). , the two-screw rotors SR1 and SR2 have a connection relationship in which the respective threads SC1 and SC2 are engaged, and may be formed by being provided in the vacuum pump VP according to a preferred embodiment of the present invention.

먼저, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 제1스크류 로터(SR1)의 형상에 대해 상세히 설명한다.First, the shape of the first screw rotor SR1 of the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7 .

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1스크류 로터(SR1)는, 구동축(DL)의 외주면에 나사산(SC1)이 형성될 수 있다. 나사산(SC1)은, 제1스크류 로터(SR1)의 선단면(FS)과 제1스크류 로터(SR1)의 후단면(TS) 사이에 형성되어, 상기 선단면(FS)과 후단면(TS)을 연결하는 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)를 포함할 수 있다. 나사산(SC1)은 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 피치 간격에 의해 나사산(SC1)의 피치 간격이 형성될 수 있다.6 and 7 , in the first screw rotor SR1 , a thread SC1 may be formed on an outer circumferential surface of the driving shaft DL. The thread SC1 is formed between the front end surface FS of the first screw rotor SR1 and the rear end surface TS of the first screw rotor SR1, and the front end surface FS and the rear end surface TS It may include a crest CR of the first screw rotor SR1 connecting the . The pitch interval of the screw thread SC1 may be formed by the pitch interval of the crest CR of the first screw rotor SR1 .

도 6에 도시된 바와 같이, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)는, 띠 형태로 구동축(DL)의 외측에 구비되되, 구동축(DL)의 일단측에서 타단측으로 가면서 구동축(DL)을 연속적으로 감는 형태로 구비될 수 있다. 이 때, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)는 상류측(UC)에서는, 후방측으로 비틀리는 형태로 구비될 수 있고, 하류측(LC)에서는, 상류측(UC)에서보다 반듯한 형태로 구비될 수 있다. 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)는 상류측(UC) 및 하류측(LC)에서 서로 다른 폭을 가질 수 있다.As shown in FIG. 6 , the crest CR of the first screw rotor SR1 is provided on the outside of the driving shaft DL in the form of a belt, and the driving shaft DL from one end of the driving shaft DL to the other end. It may be provided in the form of continuously winding. At this time, the crest CR of the first screw rotor SR1 may be provided in a form twisted to the rear side on the upstream side UC, and on the downstream side LC, it has a more straight shape than on the upstream side UC. can be provided with The crest CR of the first screw rotor SR1 may have different widths at the upstream side UC and the downstream side LC.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 후방측으로 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 구동축(DL)의 외측면에 이르는 면은, 상류측(UC)에서는, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 후방측으로 비틀리는 형태를 따라 후방측으로 경사지는 면으로 구성될 수 있다. 6 and 7, the surface from the crest CR of the first screw rotor SR1 to the outer surface of the drive shaft DL toward the rear side of the crest CR of the first screw rotor SR1 is , in the upstream side UC, it may be composed of a surface inclined to the rear side according to the shape twisted to the rear side of the crest CR of the first screw rotor SR1.

제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 후방측으로 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 구동축(DL)의 외측면에 이르는 면은, 하류측(LC)에서는, 상류측(UC)에서보다 반듯한 형태로 구비되는 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 형태를 따라 경사지지 않는 형태의 면으로 구성될 수 있다. 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 후방측으로 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 구동축(DL)의 외측면에 이르는 면은 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 선단면(TS)으로 제공될 수 있다.On the rear side of the crest CR of the first screw rotor SR1, the surface from the crest CR of the first screw rotor SR1 to the outer surface of the drive shaft DL is on the downstream side LC, on the upstream side ( UC) may be configured as a non-sloping surface along the shape of the crest CR of the first screw rotor SR1 provided in a more straight shape than in the UC). The surface from the crest CR of the first screw rotor SR1 to the outer surface of the drive shaft DL to the rear side of the crest CR of the first screw rotor SR1 is the thread SC1 of the first screw rotor SR1 ) may be provided as a front end surface (TS).

구체적으로, 상류측(UC)에서, 제1스크류 로터(SR1)의 선단면(TS)은, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)측에 이르는 면이 경사면(I)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상류측(UC)에서의 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 선단면(FS)은, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)측에 이르는 제1경사형 표면(SL1)으로 제공될 수 있다. 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상류측(UC)에서, 제1스크류 로터(SR1)의 선단면(FS)은, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 후방측으로 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)측에 이르는 면이 경사지게 형성되어 경사면(I)이 구성될 수 있다. 상류측(UC)의 경사면(I)은, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)측으로 갈수록 나사산(SC1)의 축 방향 단면 폭이 커지도록 후방측으로 치우치게 하향 경사질 수 있다.Specifically, on the upstream side UC, the front end surface TS of the first screw rotor SR1 is at the crest CR of the first screw rotor SR1 to the base FD of the first screw rotor SR1. A surface reaching the side may include an inclined surface (I). Accordingly, the front end surface FS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 on the upstream side UC is at the crest CR of the first screw rotor SR1 to the first screw rotor SR1. It may be provided as the first inclined surface SL1 reaching the base FD side of the . 6 and 7 , in the upstream side UC, the front end surface FS of the first screw rotor SR1 is the first to the rear side of the crest CR of the first screw rotor SR1. A surface extending from the crest CR of the screw rotor SR1 to the base FD side of the first screw rotor SR1 may be formed to be inclined to form the inclined surface I. As for the inclined surface I of the upstream side UC, the axial cross-sectional width of the thread SC1 increases from the crest CR of the first screw rotor SR1 toward the base FD side of the first screw rotor SR1. It can be inclined downwardly biased toward the rear.

제1스크류 로터(SR1)의 경사면(I)은 상류측(UC)에서 하류측(LC)으로 갈수록 경사면(I)의 각도가 점진적으로 커지도록 형성될 수 있다. 경사면(I)의 각도는, 도 7에 도시된 바와 같이, 구동축(DL)과 경사면(I)사이의 내부 각도일 수 있다. 보다 구체적으로, 구동축(DL)과 경사면(I) 사이의 내부 각도는, 구동축(DL)과 경사면(I) 사이에 형성된 각도이면서, 상류측으로 형성된 각도일 수 있다.The inclined surface I of the first screw rotor SR1 may be formed such that the angle of the inclined surface I gradually increases from the upstream side UC to the downstream side LC. The angle of the inclined surface I may be an internal angle between the driving shaft DL and the inclined surface I, as shown in FIG. 7 . More specifically, the internal angle between the driving shaft DL and the inclined surface I may be an angle formed between the driving shaft DL and the inclined surface I and an upstream angle.

한편, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 선단면(FS)은, 하류측(LC)에서는, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)측에 이르는 가상 선분이 제1스크류 로터(SR1)의 회전축(SF)인 일 예의 구동축(DL) 대비 직각을 이루되, 가상 선분 내에서 오목면(HL)을 포함할 수 있다.On the other hand, the front end surface FS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 is, on the downstream side LC, as shown in FIGS. 6 and 7, the crest of the first screw rotor SR1 ( CR) to the imaginary line segment reaching the base FD side of the first screw rotor SR1 is at a right angle to the driving shaft DL of an example that is the rotation axis SF of the first screw rotor SR1, but within the imaginary line segment It may include a concave surface (HL).

제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 전방으로 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 구동축(DL)의 외측면에 이르는 면은, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 후단면(TS)으로 제공될 수 있다. The surface from the crest CR of the first screw rotor SR1 to the outer surface of the drive shaft DL in front of the crest CR of the first screw rotor SR1 is the thread of the first screw rotor SR1 ( It may be provided as a rear end surface TS of SC1).

제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 후단면(TS)은, 상류측(UC)에서는, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 후방측으로 비틀리는 형태를 따라 후방측으로 오목하게 굴곡지는 면으로 구성될 수 있다. The rear end face TS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 is concave to the rear side along the shape twisted to the rear side of the crest CR of the first screw rotor SR1 on the upstream side UC It may be composed of a curved surface.

제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 후단면(TS)은, 하류측(LC)에서는, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 형태를 따라 오목하게 굴곡지는 면이 상류측(UC)에서보다 반듯한 형태로 구비될 수 있다. 이로 인해, 하류측(LC)에서의 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 후단면(TS)은, 상류측에서보다 구동축(DL) 대비 직각을 이루는 가상 선분에 가까워지도록 일정만큼 오목지게 형성될 수 있다. 가상 선분은, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)측에 이르면서 구동축(DL) 대비 직각을 이루며 형성될 수 있다. 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)는, 구동축(DL)의 외측면과 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 선단면(FS) 또는 후단면(TS)이 만나는 부분일 수 있다. On the downstream side LC, the rear end face TS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 has a concave curved surface along the shape of the crest CR of the first screw rotor SR1 upstream. It may be provided in a more straight shape than the side UC. For this reason, the rear end face TS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 on the downstream side LC is concave by a certain amount so as to be closer to the virtual line segment at right angles to the drive shaft DL than from the upstream side. may be formed. The virtual line segment may be formed at a right angle to the driving shaft DL from the crest CR of the first screw rotor SR1 to the base FD side of the first screw rotor SR1. The base FD of the first screw rotor SR1 is a portion where the outer surface of the drive shaft DL and the front end surface FS or the rear end surface TS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 meet can

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1스크류 로터(SR1)의 선단면(FS) 및 후단면(TS)은, 상류측(UC) 및 하류측(LC)에서 다른 형태를 가질 수 있다. 이는, 제1스크류 로터(SR1)의 선단면(FS) 및 후단면(TS)이 상류측(UC) 및 하류측(LC)에서의 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 구성에 기초하여 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)에서 제1스크류 로터(SR1)의 기저부(FD)측에 이르는 면에 의해 형성되기 때문일 수 있다.6 and 7 , the front end surface FS and the rear end surface TS of the first screw rotor SR1 may have different shapes in the upstream side UC and the downstream side LC. . This means that the front end face FS and the rear end face TS of the first screw rotor SR1 are on the upstream side UC and the downstream side LC in the configuration of the thread SC1 of the first screw rotor SR1. This may be because it is formed by a surface extending from the crest CR of the first screw rotor SR1 to the base FD side of the first screw rotor SR1 based on the first screw rotor SR1.

도 8 및 도 9을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 제2스크류 로터(SR2)의 형상에 대해 상세히 설명한다.The shape of the second screw rotor SR2 of the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 8 and 9 .

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제2스크류 로터(SR2)는, 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')가 상류측(UC)에서는, 전방측으로 비틀리는 형태로 구비되고, 하류측(LC)에서는, 상류측(UC)에서보다 반듯한 형태로 구비될 수 있다. 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')가 비틀리는 방향은, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)가 비틀리는 방향과 반대일 수 있다. 이에 따라 상류측(UC)에 존재하는 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 경사면(I')이 경사지는 방향은, 상류측(UC)에서의 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC2)의 경사면(I')이 경사지는 방향과 반대일 수 있다. 구체적으로, 상류측(UC)에서의 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 경사면(I')은, 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')에서 제2스크류 로터(SR2)의 기저부(FD')측으로 갈수록 나사산(SC2)의 폭이 커지되, 전방측으로 치우치게 하향 경사질 수 있다. 8 and 9, the second screw rotor SR2 is provided in a form in which the crest CR' of the second screw rotor SR2 is twisted to the front side on the upstream side UC, On the downstream side LC, it may be provided in a more straight shape than on the upstream side UC. A direction in which the crest CR′ of the second screw rotor SR2 is twisted may be opposite to a direction in which the crest CR of the first screw rotor SR1 is twisted. Accordingly, the direction in which the inclined surface I' of the thread SC2 of the second screw rotor SR2 present on the upstream side UC is inclined is the thread of the first screw rotor SR1 on the upstream side UC. A direction in which the inclined surface I' of SC2 is inclined may be opposite to that of the inclined surface I'. Specifically, the inclined surface I' of the thread SC2 of the second screw rotor SR2 on the upstream side UC is from the crest CR' of the second screw rotor SR2 to the second screw rotor SR2. ) toward the base (FD') side, the width of the screw thread (SC2) increases, and may be inclined downwardly biased toward the front side.

상류측(UC)에서의 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 후단면(TS')은, 하류측(LC)에서는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')에서 제2스크류 로터(SR2)의 기저부(FD')측에 이르는 가상 선분이 제2스크류 로터(SR2)의 회전축(SF)인 종동축(VL) 대비 직각을 이루되, 가상 선분 내에서 오목면(HL')을 포함할 수 있다. 상기 오목면(HL')은, 상류측(UC)에서보다 하류측(LC)에서 반듯한 형태로 구비되는 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR') 형태를 따라 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')에서 제2스크류 로터(SR2)의 기저부(FD')측에 이르는 면이 오목지게 형성됨으써 구성될 수 있다.The rear end face TS' of the thread SC2 of the second screw rotor SR2 on the upstream side UC is, on the downstream side LC, as shown in FIGS. 8 and 9, the second screw rotor An imaginary line segment from the crest CR' of SR2 to the base FD' side of the second screw rotor SR2 is perpendicular to the driven axis VL, which is the rotation axis SF of the second screw rotor SR2. However, the concave surface HL' may be included in the virtual line segment. The concave surface HL' follows the shape of the crest CR' of the second screw rotor SR2 provided in a straight shape on the downstream side LC rather than on the upstream side UC. The surface extending from the crest CR' of the second screw rotor SR2 to the base portion FD' side may be formed to be concave.

한편, 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 선단면(FS')은, 상류측(UC)에서는, 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')의 전방측으로 비틀리는 형태를 따라 전방측으로 오목하게 굴곡지는 면으로 구성될 수 있다. 하류측(LC)에서는, 상류측(UC)에서보다 반듯한 형태로 구비되는 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')의 형태를 따라 오목하게 굴곡지는 면이, 상류측(UC)에서보다 하류측(LC)에서, 상기 종동축(VL) 대비 직각을 이루는 가상 선분에 가까워지도록 일정만큼 오목지게 형성될 수 있다.On the other hand, the tip surface FS' of the thread SC2 of the second screw rotor SR2 is twisted toward the front side of the crest CR' of the second screw rotor SR2 on the upstream side UC. Accordingly, it may be configured as a surface concavely curved toward the front side. On the downstream side LC, the surface curved concavely along the shape of the crest CR' of the second screw rotor SR2, which is provided in a more straight shape than on the upstream side UC, is higher than on the upstream side UC. On the downstream side LC, it may be formed to be concave by a predetermined amount so as to approach a virtual line segment at right angles to the driven axis VL.

다시, 도 3 내지 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)는, 각각의 나사산(SC1, SC2)이 치합된 상태로 연결되어 하우징(H) 내부에서 회전할 수 있다. 이 때, 상류측(UC)에서는, 제1정합부(101)가 경사선 대향을 이루면서 근접하고, 하류측(LC)에서는, 제1정합부(101)가 대향을 이루면서 근접하는 형태일 수 있다.Again, referring to FIGS. 3 to 5 , in the first and second screw rotors SR1 and SR2 of the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention, the respective threads SC1 and SC2 mesh with each other. It can be rotated inside the housing (H) by being connected to it. At this time, on the upstream side UC, the first matching part 101 approaches while forming an oblique line, and on the downstream side LC, the first matching part 101 approaches while being opposite to each other. .

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상류측(UC)의 제1정합부(101)에서, 상류측(UC)에서의 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 제1경사형 표면(SL1)을 갖는 선단면(FS) 및 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 제2경사형 표면(SL2)을 갖는 후단면(TS')은 경사선 대향을 이루면서 근접할 수 있다. 이러한 경사선 대향에서, 경사선은 상류측(UC)에서 하류측(LC)으로 갈수록 그 각도가 커지는 형태일 수 있다. 4 and 5, in the first matching portion 101 of the upstream side UC, the first inclined type of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 on the upstream side UC The rear end face TS′ having the front end face FS having the surface SL1 and the second inclined surface SL2 of the thread SC2 of the second screw rotor SR2 can be approached while being opposite to the inclined line. have. In the opposite direction of the inclined line, the angle of the inclined line increases from the upstream side UC to the downstream side LC.

경사선의 각도는, 도 5의 제1스크류 로터(SR1)를 기준으로, 구동축(DL)과 경사면(I) 사이의 내부 각도일 수 있다. 구동축(DL)과 경사면(I) 사이의 내부 각도는, 구동축(DL)과 경사면(I) 사이에 형성된 각도이면서, 상류측에 위치하도록 형성된 각도일 수 있다. The angle of the inclined line may be an internal angle between the driving shaft DL and the inclined surface I with respect to the first screw rotor SR1 of FIG. 5 . The internal angle between the driving shaft DL and the inclined surface I may be an angle formed between the driving shaft DL and the inclined surface I and positioned at an upstream side.

또한, 경사선의 각도는, 도 5의 제2스크류 로터(SR2)를 기준으로, 종동축(VL)과 경사면(I') 사이의 내부 각도일 수 있다. 종동축(VL)과 경사면(I') 사이의 내부 각도는, 종동축(VL)과 경사면(I') 사이에 형성된 각도이면서, 하류측에 위치하도록 형성된 각도일 수 있다.Also, the angle of the inclination line may be an internal angle between the driven shaft VL and the inclined surface I′ with respect to the second screw rotor SR2 of FIG. 5 . The internal angle between the driven shaft VL and the inclined surface I' may be an angle formed between the driven shaft VL and the inclined surface I' and positioned at a downstream side.

도 10의 'A'를 참조하면, 상류측(UC)에서의 제1정합부(101)에서, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)의 제1경사형 표면(SL1)과, 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')의 제2경사형 표면(SL2)은, 서로 선 대향을 이루면서 근접할 수 있다. 제1경사형 표면(SL1)은, 후방측으로 치우치게 하향 경사지고, 제2경사형 표면(SL2)는 전방측으로 치우치게 하향 경사질 수 있다. 제1, 2경사형 표면(SL1, SL2)은, 하향 경사지는 방향이 전방측 및 후방측으로 반대 방향일 수 있다. 제1, 2경사형 표면(SL1, SL2)이 근접될 경우, 각각의 하향 경사지는 면과 면이 접촉에 가까워지도록 근접할 수 있다. 이 때, 면을 구성하는 선이 대향하는 형태가 형성될 수 있다. 제1경사형 표면(SL1)과, 제2경사형 표면(SL2)이 서로 대향될 때 형성되는 이격 거리는, 선 방향으로 실질적으로 동일하여 선 대향의 형태를 가진다. 따라서, 상류측(UC)에서 제1, 2경사형 표면(SL1, SL2)이 근접하는 제1정합부(101)는, 제1경사형 표면(SL1)과 제2경사형 표면(SL2)이 서로 선 대향할 수 있게 된다. Referring to 'A' of FIG. 10 , in the first matching portion 101 on the upstream side UC, the first inclined surface SL1 of the crest CR of the first screw rotor SR1 and the second The second inclined surface SL2 of the crest CR′ of the two-screw rotor SR2 may be adjacent to each other while forming a line opposite to each other. The first inclined surface SL1 may be inclined downwardly biased toward the rear side, and the second inclined surface SL2 may be inclined downwardly biased toward the front side. The first and second inclined surfaces SL1 , SL2 may have opposite downward sloping directions to the anterior and posterior sides. When the first and second inclined surfaces SL1 and SL2 come close to each other, the respective downwardly inclined surfaces and surfaces may come close to each other so as to come into contact with each other. In this case, a shape in which lines constituting the surface face each other may be formed. The separation distance formed when the first inclined surface SL1 and the second inclined surface SL2 face each other is substantially the same in the line direction to have a line-facing shape. Accordingly, in the first mating portion 101 to which the first and second inclined surfaces SL1 and SL2 adjoin on the upstream side UC, the first inclined surface SL1 and the second inclined surface SL2 are be able to face each other.

상류측(UC)에서와 같이 제1정합부(101)가 경사선 대향할 경우, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는 고용량의 기체를 이송시킬 수 있고, 압축 용량을 향상시킬 수 있게 된다.As in the upstream side (UC), when the first matching part 101 faces the inclined line, the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention can transport a high capacity gas, and has a compression capacity. can be improved.

구체적으로, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 나사산(SC1, SC2)은, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 크레스트(CR, CR')에 의해 상류측(UC) 및 하류측(LC)의 피치 간격이 서로 다르게 형성될 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는, 각 나사산(SC1, SC2)의 피치 간격만큼 기체 수용부(CM)가 형성될 수 있다. 따라서, 상류측(UC)에서와 같이 각 나사산(SC1, SC2)의 피치 간격이 크면, 기체 수용부(CM)가 크게 형성될 수 있다. 상류측(UC)에서의 기체 수용부(CM)는 상대적으로 크게 형성되어 흡인구(ET)를 통해서 흡인된 기체의 많은 양을 수용하여 압축시킬 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 회전에 따라 기체는 상류측(UC)에서 하류측(LC)으로 압축되면서 이송될 수 있다.Specifically, as shown in FIGS. 4 and 5 , the threads SC1 and SC2 of the first and second screw rotors SR1 and SR2 are the crests CR of the first and second screw rotors SR1 and SR2. CR′), the upstream side UC and the downstream side LC may have different pitch intervals. In the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention, the gas accommodating part CM may be formed by the pitch interval of each screw thread SC1 and SC2. Therefore, as in the upstream side (UC), if the pitch interval of each screw thread (SC1, SC2) is large, the gas accommodating part (CM) can be formed large. The gas accommodating part CM on the upstream side UC is formed to be relatively large, so that it can receive and compress a large amount of gas sucked through the suction port ET. According to the rotation of the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention, the gas may be transferred while being compressed from the upstream side UC to the downstream side LC.

상대적으로 크게 형성되는 상류측(UC)의 기체 수용부(CM)에는 경사선 대향하는 제1정합부(101)가 존재할 수 있다. 도 10의 'A'에 도시된 바와 같이, 상류측(UC)에서의 제1정합부(101)의 경사선 대향의 형태는, 선과 선이 매우 가까이 위치하여 근접된 상태일 수 있다.The first matching part 101 opposite to the inclined line may be present in the gas receiving part CM of the upstream side UC, which is formed to be relatively large. As shown in 'A' of FIG. 10 , in the upstream side UC, in the opposite side of the inclined line, the line and the line may be located very close to each other.

제1경사형 표면(SL1) 및 제2경사형 표면(SL2)의 선 대향에 의해 형성된 상류측(UC)의 제1정합부(101)는, 흡인구(ET)를 통해서 흡인된 기체를 압축시키기 위해 근접 대향 면적이 크게 형성될 수 있다. 구체적으로, 상류측(UC)의 제1정합부(101)는, 제1경사형 표면(SL1) 및 제2경사형 표면(SL2)을 구성하는 각각의 경사면(I, I')이 회전력에 의해 회전하면서 경사면(I, I')들이 근접하는 부위일 수 있다. 다시 말해, 상류측(UC)의 제1정합부(101)는, 제1, 2경사형 표면(SL1, SL2)이 근접하여 경사선 대향을 이루면서 회전하는 부위일 수 있다. The first matching portion 101 on the upstream side UC formed by the line opposing of the first inclined surface SL1 and the second inclined surface SL2 compresses the gas sucked through the suction port ET. In order to do this, the proximity facing area may be formed large. Specifically, in the first mating portion 101 of the upstream side UC, each of the inclined surfaces I and I' constituting the first inclined surface SL1 and the second inclined surface SL2 is subjected to rotational force. It may be a region where the inclined surfaces I and I' are adjacent to each other while rotating by the In other words, the first matching portion 101 on the upstream side UC may be a portion in which the first and second inclined surfaces SL1 and SL2 are adjacent to each other and rotate while forming an inclined line opposite to each other.

상류측(UC)의 제1정합부(101)에서, 기체는, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 경사면(I, I')들이 근접하는 부위에서 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 경사면(I, I')에 의해 이송되면서 압축될 수 있다. 따라서, 상류측(UC)의 제1정합부(101)는, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 경사면(I, I')사이에 존재하는 기체와, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 경사면(I, I')과의 근접 대향 면적이 크게 형성될 수 있다. 이로 인해 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는, 상류측(UC)의 제1정합부(101)를 통해 상류측(UC) 기체 수용부(CM)에 수용된 고용량의 기체들의 압축 용량이 향상될 수 있다.In the first matching unit 101 of the upstream side UC, the gas is formed in the first and second screw rotors SR1 at the portion where the inclined surfaces I and I' of the first and second screw rotors SR1 and SR2 are adjacent to each other. , can be compressed while being transported by the inclined surfaces (I, I') of SR2. Accordingly, the first matching portion 101 on the upstream side UC includes the gas existing between the inclined surfaces I and I' of the first and second screw rotors SR1 and SR2, and the first and second screw rotors ( A large area opposite to the inclined surfaces I and I' of the SR1 and SR2 may be formed. For this reason, the screw rotor (SR) for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention has a high capacity accommodated in the upstream side (UC) gas receiving unit (CM) through the first matching unit 101 of the upstream side (UC). The compression capacity of gases can be improved.

하류측(LC)의 제1정합부(101)는, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 크레스트(CR)측과 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 기저부(FD')측에서 서로 대향하고, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 기저부(FD)측과 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 크레스트(CR')측에서 서로 대향할 수 있다. 즉, 하류측(LC)의 제1정합부(101)는 2개의 위치에서 대향되는 구성을 가진다.The first mating portion 101 of the downstream side LC includes the crest CR side of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 and the base FD of the thread SC2 of the second screw rotor SR2. ') side opposite to each other, and on the side of the base FD of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 and the crest CR' side of the thread SC2 of the second screw rotor SR2. can That is, the first matching portion 101 on the downstream side LC has a configuration that is opposed at two positions.

도 11에 도시된 바와 같이, 하류측(LC)의 제1정합부(101)는, 하류측(LC)의 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 선단면(FS)의 오목면(HL)과, 하류측(LC)의 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 후단면(TS')의 오목면(HL')이 서로 근접함으로써 형성될 수 있다. 도 11의 확대 부분을 참조하면, 하류측(LC)의 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 선단면(FS)의 오목면(HL)과, 하류측(LC)의 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 후단면(TS')의 오목면(HL')은, 각각의 중간부가 오목하게 형성됨으로써, 오목한 형상의 중간부보다 돌출되는 각각의 상단부 및 하단부가 서로 근접할 수 있다. 이로 인해 하류측(LC)의 제1정합부(101)는 도 11의 확대 부분을 기준으로, 상부 및 하부에 대향의 형태가 형성될 수 있다. As shown in FIG. 11 , the first matching portion 101 on the downstream side LC is a concave surface of the front end surface FS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 on the downstream side LC. HL and the concave surface HL' of the rear end surface TS' of the thread SC2 of the second screw rotor SR2 on the downstream side LC may be formed in proximity to each other. 11, the concave surface HL of the tip surface FS of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 on the downstream side LC, and the second screw on the downstream side LC As for the concave surface HL' of the rear end surface TS' of the thread SC2 of the rotor SR2, each intermediate portion is formed to be concave, so that the upper end and the lower end protruding from the concave-shaped middle portion are closer to each other. can do. Due to this, the first matching part 101 of the downstream side LC may be formed to have opposing shapes in the upper and lower portions with respect to the enlarged portion of FIG. 11 .

하류측(LC)의 제1정합부(101)의 상부는, 제1스크류 로터(SR1)의 구동축(DL)의 외측면과 오목한 선단면(FS)이 만나는 부위와, 제2스크류 로터(SR2)의 크레스트(CR')와 오목한 후단면(TS')이 만나는 부위가 근접하면서 대향이 이루어지는 위치일 수 있다.The upper portion of the first matching portion 101 on the downstream side LC includes a portion where the outer surface of the drive shaft DL of the first screw rotor SR1 and the concave front end surface FS meet, and the second screw rotor SR2 ) where the crest CR′ and the concave rear end face TS′ meet are close to each other and face each other.

하류측(LC)의 제1정합부(101)의 하부는, 제2스크류 로터(SR2)의 종동축(VL)의 외측면과 오목한 후단면(TS')이 만나는 부위와, 제1스크류 로터(SR1)의 크레스트(CR)와 오목한 선단면(FS)이 만나는 부위가 근접하면서 대향이 이루어지는 위치일 수 있다.The lower portion of the first matching portion 101 on the downstream side LC includes a portion where the outer surface of the driven shaft VL of the second screw rotor SR2 and the concave rear end surface TS′ meet, and the first screw rotor The portion where the crest CR of SR1 and the concave front end surface FS meet may be a position where they are close to each other and face each other.

하류측(LC)의 제1정합부(101)의 중간부는, 제1스크류 로터(SR1)의 선단면(FS)의 오목면(HL)의 중간부와, 제2스크류 로터(SR2)의 후단면(TS')의 오목면(HL')의 중간부가 대향되어 대향 위치의 간격보다 더 큰 간격이 존재하는 위치일 수 있다. 제1스크류 로터(SR1)의 선단면(FS)의 오목면(HL)과, 제2스크류 로터(SR2)의 후단면(TS')의 오목면(HL')은, 오목지는 방향이 서로 반대 방향일 수 있다. 따라서, 하류측(LC)의 제1정합부(101)의 중간부는, 여유 공간부를 형성한다.The middle portion of the first matching portion 101 on the downstream side LC is an intermediate portion of the concave surface HL of the front end surface FS of the first screw rotor SR1 and the rear portion of the second screw rotor SR2 The middle portion of the concave surface HL' of the cross-section TS' may be a position in which an interval greater than the interval at the opposing position exists. The concave surface HL of the front end surface FS of the first screw rotor SR1 and the concave surface HL' of the rear end surface TS' of the second screw rotor SR2 are opposite to each other in the concave direction. can be direction. Accordingly, the intermediate portion of the first matching portion 101 on the downstream side LC forms a free space portion.

하류측(LC)의 제1정합부(101)는, 상, 하부에 각 나사산(SC1, SC2)의 선, 후단면(FS, TS')에 포함된 각각의 오목면(HL, HL')이 대향을 이루면서 근접하고, 중간부에는, 여유 공간부가 형성된다.The first matching portion 101 of the downstream side LC has the upper and lower concave surfaces HL and HL' included in the line and rear end surfaces FS and TS' of the respective threads SC1 and SC2 on the upper and lower sides. They are close to each other while facing each other, and a free space portion is formed in the middle portion.

도 11의 확대 부분을 참조하면, 하류측(LC)의 제1정합부(101)는, 상, 하부에 존재하는 2개의 대향 부분을 통해 기체의 압축을 구현할 수 있다. 중간부에는 여유 공간부를 구성함으로써, 2개의 대향 부분 대비 더 큰 이격 간격이 형성될 수 있다. 이로 인해 하류측(LC)의 제1정합부(101)는, 기체를 압축시키면서 이송하되, 상대적으로 발열은 최소화될 수 있다. Referring to the enlarged part of FIG. 11 , the first matching part 101 on the downstream side LC may implement compression of gas through two opposing parts existing at the upper and lower sides. By configuring the free space portion in the middle portion, a larger spacing compared to the two opposing portions can be formed. Due to this, the first matching part 101 of the downstream side LC transports the gas while compressing it, but relatively heat generation can be minimized.

보다 상세하게 설명하면, 하류측(LC)의 제1정합부(101)의 상부에서, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 기저부(FD)측과 가까운 오목면(HL)의 일단과, 제2스크류 로터(SC2)의 나사산(SC2)의 크레스트(CR')측과 가까운 오목면(HL')의 일단이 대향을 이루면서 근접할 수 있다. 기체는 하류측(LC)의 제1정합부(101)의 상부에서 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 오목면(HL, HL')들의 일단에 의해 이송될 수 있다. In more detail, one end of the concave surface HL close to the base FD side of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 in the upper portion of the first matching portion 101 on the downstream side LC And, one end of the concave surface HL' close to the crest CR' side of the thread SC2 of the second screw rotor SC2 may be opposed while being close to each other. The gas may be transferred by one end of the concave surfaces HL and HL′ of the first and second screw rotors SR1 and SR2 at the upper portion of the first matching unit 101 on the downstream side LC.

하류측(LC)의 제1정합부(101)의 하부에서는, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 크레스트(CR)측과 가까운 오목면(HL)의 타단과, 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 기저부(FD')측과 가까운 오목면(HL')의 타단이 대향을 이루면서 근접할 수 있다. 기체는 하류측(LC)의 제1정합부(101)의 상부에서 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 오목면(HL, HL')들의 일단에 의해 이송될 수 있다. In the lower part of the first matching portion 101 on the downstream side LC, the other end of the concave surface HL close to the crest CR side of the thread SC1 of the first screw rotor SR1 and the second screw rotor The other end of the concave surface HL' close to the base FD' side of the thread SC2 of the SR2 can be approached while being opposed to each other. The gas may be transferred by one end of the concave surfaces HL and HL′ of the first and second screw rotors SR1 and SR2 at the upper portion of the first matching unit 101 on the downstream side LC.

이처럼, 하류측(LC)의 제1정합부(101)는, 대향 형태가 이루어지는 상, 하부측에서 기체와, 제1스크류 로터(SR1)의 오목면(HL) 및 제2스크류 로터(SR2)의 오목면(HL')과의 접촉에 의한 이송이 이루어질 수 있다. 하류측(LC)의 제1정합부(101)의 중간부의 여유 공간부는, 하류측(LC)의 제1정합부(101)의 기체의 이송 부하를 감소시킬 수 있다. 이로 인해, 하류측(LC)의 제1정합부(101)에서는, 기체의 압축 및 이송시 상대적으로 발열이 최소화될 수 있게 된다.As such, the first matching portion 101 of the downstream side LC is formed with the gas at the upper and lower sides having opposite shapes, and the concave surface HL and the second screw rotor SR2 of the first screw rotor SR1. The transfer may be made by contact with the concave surface HL' of the . The free space in the middle of the first matching part 101 on the downstream side LC may reduce the gas transfer load of the first matching part 101 on the downstream side LC. For this reason, in the first matching part 101 of the downstream side LC, heat generation can be relatively minimized during compression and transport of the gas.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는, 제1스크류 로터(SR1)의 나사산(SC1)의 후단면(TS)과, 제2스크류 로터(SR2)의 나사산(SC2)의 선단면(FS')이 서로 근접하여 제2정합부(102)를 형성할 수 있다. 제2정합부(102)는 각 나사산(SC1, SC2)의 표면이 대향을 이루면서 근접할 수 있다.4 and 5, the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention includes a rear end face TS of a thread SC1 of a first screw rotor SR1, and a second The front end surfaces FS' of the threads SC2 of the two-screw rotor SR2 may be close to each other to form the second matching portion 102 . The second matching portion 102 may be adjacent to each other while the surfaces of the respective threads SC1 and SC2 face each other.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1스크류 로터(SR1)의 후단면(TS)과, 제2스크류 로터(SR2)의 선단면(FS')은 서로 반대 방향으로 오목지는 면으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 제2정합부(102)는, 제1스크류 로터(SR1)의 후단면(TS)의 오목지는 면의 일단과, 제2스크류 로터(SR2)의 선단면(FS')의 오목지는 면의 일단이 대향을 이루면서 근접할 수 있다. 또한, 제1스크류 로터(SR1)의 후단면(TS)의 오목지는 면의 타단과, 제2스크류 로터(SR2)의 선단면(FS')의 오목지는 면의 타단이 대향을 이루면서 근접할 수 있다.4 and 5 , the rear end surface TS of the first screw rotor SR1 and the front end surface FS′ of the second screw rotor SR2 are concave in opposite directions to each other. can be Accordingly, the second matching portion 102 of the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention includes one end of the concave surface of the rear end surface TS of the first screw rotor SR1, The concave edge of the front end surface FS' of the second screw rotor SR2 may be adjacent to each other while one end of the surface faces each other. In addition, the concave end of the rear end surface TS of the first screw rotor SR1 is the other end of the surface, and the concave end of the front end surface FS' of the second screw rotor SR2 is opposite to the other end of the surface. have.

한편, 제1스크류 로터(SR1)의 후단면(TS)의 오목지는 면의 일단과, 제2스크류 로터(SR2)의 선단면(FS')의 오목지는 면의 일단에 의해 대향이 이루어지는 부위와, 제1스크류 로터(SR1)의 후단면(TS)의 오목지는 면의 타단과, 제2스크류 로터(SR2)의 선단면(FS')의 오목지는 면의 타단에 의해 대향이 이루어지는 부위 사이에는, 여유 공간부가 형성될 수 있다. 이는, 제1스크류 로터(SR1)의 후단면(TS)과, 제2스크류 로터(SR2)의 선단면(FS')이 서로 반대 방향으로 오목지는 면을 가지는 형태에 의해 형성될 수 있다. 제2정합부(102)의 대향을 이루는 형태는, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 상류측(UC) 및 하류측(LC)에서의 발열을 감소시키는데 유리할 수 있다.On the other hand, the concave end of the rear end surface TS of the first screw rotor SR1 is opposed by one end of the surface, and the concave end of the front end surface FS′ of the second screw rotor SR2 is opposed by one end of the surface. , The concave end of the rear end surface TS of the first screw rotor SR1 is opposite to the other end of the surface, and the concave end of the front end surface FS' of the second screw rotor SR2 is opposed by the other end of the surface. , a free space portion may be formed. This may be formed in such a way that the rear end surface TS of the first screw rotor SR1 and the front end surface FS′ of the second screw rotor SR2 have surfaces concave in opposite directions to each other. The opposing shape of the second matching part 102 may be advantageous in reducing heat generation in the upstream side (UC) and the downstream side (LC) of the screw rotor (SR) for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention. have.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)의 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)는, 상류측(UC)에서 하류측(LC)의 방향으로 크레스트(CR, CR')의 폭이 다르게 형성될 수 있다. 3 to 5, the first and second screw rotors (SR1, SR2) of the screw rotor (SR) for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention are, from the upstream side (UC) to the downstream side ( The widths of the crests CR and CR' may be different in the direction of the LC.

구체적으로, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 각각의 나사산(SC1, SC2)은, 상류측(UC)에 위치하여 나사산(SC1, SC2)의 크레스트(CR, CR')의 폭이 일정한 제1구간(IV1), 나사산(SC1, SC2)의 크레스트(CR, CR')의 폭이 제1구간(IV1)의 크레스트(CR, CR')의 폭과 연속적이면서 제1구간(IV1)의 폭보다 작은 제2구간(IV2) 및 나사산(SC1, SC2)의 크레스트(CR, CR')의 폭이 제2구간(IV2)의 크레스트(CR, CR')의 폭과 연속적이면서 제2구간(IV2)의 크레스트(CR, CR')의 폭보다 큰 제3구간(IV3)을 구비할 수 있다.Specifically, each of the threads SC1 and SC2 of the first and second screw rotors SR1 and SR2 is located on the upstream side UC so that the widths of the crests CR and CR' of the threads SC1 and SC2 are In the first section IV1, the width of the crests CR, CR' of the threads SC1, SC2 is continuous with the width of the crests CR, CR' of the first section IV1, and the first section IV1 The width of the crest (CR, CR') of the second section (IV2) and the screw threads (SC1, SC2) that is smaller than the width of the second section (IV2) is continuous with the width of the crest (CR, CR′) of the second section (IV2) and the second section A third section IV3 greater than the width of the crests CR and CR' of (IV2) may be provided.

제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)는, 제1 내지 3구간(IV1, IV2, IV3)내에서의 서로 다른 폭을 갖는 크레스트(CR, CR')의 피치 간격에 의해 서로 다른 체적공간이 형성될 수 있다. 구체적으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)는, 상류측(UC)에서 제1체적공간을 형성하는 제1피치 구간(P1), 제1체적공간보다 큰 제2체적공간을 형성하는 제2피치 구간(P2), 제1, 2체적공간보다 작은 제3체적공간을 형성하는 제3피치 구간(P3), 제3체적공간보다 작은 제4, 5체적공간을 형성하는 제4, 5피치 구간(P4) 및 제4,5체적공간보다 큰 제6체적공간을 형성하는 제6피치 구간(P6)을 포함할 수 있다.The first and second screw rotors SR1 and SR2 have different volume spaces due to the pitch intervals of the crests CR and CR' having different widths in the first to third sections IV1, IV2, IV3. can be formed. Specifically, as shown in FIG. 5 , the first and second screw rotors SR1 and SR2 have a first pitch section P1 forming the first volume space on the upstream side UC, than the first volume space. A second pitch section P2 forming a larger second volume space, a third pitch section P3 forming a third volume space smaller than the first and second volume spaces, and fourth and fifth volumes smaller than the third volume space It may include fourth and fifth pitch sections P4 forming a space and a sixth pitch section P6 forming a sixth volume space larger than the fourth and fourth volume spaces.

도 12는 각각의 제1 내지 제6피치 구간(P1, P2, P3, P4, P5, P6)의 체적공간의 크기를 그래프로 도시한 도이다. 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는, 흡인구(ET)측과 가까운 제1피치 구간(P1)에서의 체적을 상대적으로 크게 형성할 수 있다. 12 is a graph illustrating the size of the volume space of each of the first to sixth pitch sections P1, P2, P3, P4, P5, and P6. 12, the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention has a relatively large volume in the first pitch section P1 close to the suction port ET side. can

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는, 상류측(UC)에서 하류측(LC)으로 갈수록, 체적의 크기가 감소될 수 있다. 도 12에 도시된 바와 같이, 제1피치 공간(P1)에서 제6피치 공간(P6)으로 갈수록 체적의 크기가 감소될 수 있다. In the screw rotor SR for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention, the volume may be reduced from the upstream side UC to the downstream side LC. As shown in FIG. 12 , the volume may decrease from the first pitch space P1 to the sixth pitch space P6 .

다만, 도 12의 제6피치 구간(P6)에서는, 상대적으로 감소되었던 체적의 크기가 소폭 크게 형성될 수 있다. 제6피치 구간(P6)은 하류측(LC)에 위치하며 토출구(EX)와 가깝게 위치할 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)는, 하류측(LC)에 위치하며 토출구(EX)측에 위치하는 제6피치 구간(P6)에서의 체적의 크기를 하류측(LC)에 상대적으로 소폭 크게 형성함으로써 기체 배출이 보다 효율적으로 이루어지도록 할 수 있다.However, in the sixth pitch section P6 of FIG. 12 , the size of the relatively reduced volume may be slightly larger. The sixth pitch section P6 is located on the downstream side LC and may be located close to the discharge port EX. The screw rotor (SR) for a vacuum pump according to a preferred embodiment of the present invention is located on the downstream side (LC) and the size of the volume in the sixth pitch section (P6) located on the discharge port (EX) side is measured on the downstream side ( LC) can be formed to be relatively small and large, so that gas discharge can be performed more efficiently.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프용 스크류 로터(SR)를 포함하는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공펌프(VP)는, 제1, 2스크류 로터(SR1, SR2)의 제1정합부(101)의 형태가 상류측에서는, 경사선 대향 형태로 형성되고, 하류측에서는 대향 형태로 형성될 수 있다. 이로 인해, 흡인구(ET)측에 위치하는 상류측에서는 고용량의 기체를 압축시켜 압축 용량을 향상시키는 것이 가능하고, 토출구(EX)측에 위치하는 하류측에서는 기체 압축에 의한 발열을 최소화할 수 있게 된다.The vacuum pump (VP) according to the preferred embodiment of the present invention, including the screw rotor (SR) for the vacuum pump according to the preferred embodiment of the present invention, is a first matching portion of the first and second screw rotors (SR1, SR2) The shape of (101) may be formed in an upstream side in a shape opposite to the inclined line, and may be formed in an opposite shape in the downstream side. For this reason, it is possible to improve the compression capacity by compressing a high-capacity gas on the upstream side located at the suction port ET side, and it is possible to minimize heat generation due to gas compression at the downstream side located at the discharge port EX side. .

전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.As described above, although described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. Or it can be carried out by modification.

VP: 진공펌프
SR: 진공펌프용 스크류 로터
SR1: 제1스크류 로터 SR2: 제2스크류 로터
M: 구동 모터 H: 하우징VP: vacuum pump
SR: screw rotor for vacuum pump
SR1: first screw rotor SR2: second screw rotor
M: drive motor H: housing

Claims (10)

하우징 내부에서 회전 가능하게 설치되는 제1, 2스크류 로터에 있어서,
상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 후단면이 서로 근접하여 제1정합부를 형성하되,
상류측의 제1정합부는, 상기 제1스크류 로터의 크레스트에서 기저부측에 이르는 제1경사형 표면과 상기 제2스크류 로터의 기저부측에서 크레스트에 이르는 제2경사형 표면이 근접하여 대향을 이루는 부위이고, 상기 제1, 2경사형 표면이 근접할 경우, 각각의 하향 경사지는 면과 면이 접촉에 가까워지도록 근접하여 상기 면을 구성하는 선이 대향하는 형태를 형성하고, 상기 제1경사형 표면과 상기 제2경사형 표면이 서로 대향될 때 형성되는 이격 거리는 선 방향으로 동일하고,
하류측의 제1정합부는, 각 나사산의 표면이 대향을 이루면서 근접하되, 상기 하류측의 상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면의 오목면과, 상기 하류측의 상기 제2스크류 로터의 나사산의 후단면의 오목면은 각각의 중간부에 오목한 형상을 갖고, 상기 오목한 형상의 중간부보다 돌출되는 각각의 상단부 및 하단부가 서로 근접하여 대향을 이루는, 진공펌프용 스크류 로터.

In the first and second screw rotors rotatably installed inside the housing,
The front end surface of the screw thread of the first screw rotor and the rear end surface of the screw thread of the second screw rotor are close to each other to form a first matching portion,
The upstream first mating portion is a portion where the first inclined surface extending from the crest to the base of the first screw rotor and the second inclined surface extending from the base to the crest of the second screw rotor are close to each other and face each other and, when the first and second inclined surfaces are close to each other, the respective downwardly inclined surfaces and the surfaces are close to close to contact to form a shape in which the lines constituting the surfaces oppose, and the first inclined surface and the separation distance formed when the second inclined surface faces each other is the same in the line direction,
The first matching portion on the downstream side is adjacent to each other with the surfaces of the respective threads facing each other, the concave surface of the tip surface of the thread of the first screw rotor on the downstream side, and the thread of the second screw rotor on the downstream side. The concave surface of the rear end face has a concave shape in each middle portion, and each of the upper and lower ends protruding from the middle portion of the concave shape are close to each other and oppose each other, a screw rotor for a vacuum pump.

 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 하류측의 제1정합부는,
상기 제1스크류 로터의 나사산의 크레스트측과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 기저부측에서 서로 대향하고,
상기 제1스크류 로터의 나사산의 기저부측과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 크레스트 측에서 서로 대향하는, 진공펌프용 스크류 로터.
According to claim 1,
The first matching part on the downstream side,
The crest side of the thread of the first screw rotor and the bottom side of the thread of the second screw rotor face each other,
A screw rotor for a vacuum pump, which faces each other at a base side of a thread of the first screw rotor and a crest side of a thread of the second screw rotor.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1스크류 로터의 나사산의 후단면과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 선단면이 서로 근접하여 제2정합부를 형성하되,
상기 제2정합부는, 각 나사산의 표면이 대향을 이루면서 근접하는, 진공펌프용 스크류 로터.
According to claim 1,
The rear end face of the thread of the first screw rotor and the front end face of the thread of the second screw rotor are close to each other to form a second matching portion,
The second matching portion, the screw rotor for a vacuum pump, the surfaces of the respective screw threads are close to each other while being opposed to each other.
 제1항에 있어서,
상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면은,
상류측에서는 크레스트에서 기저부측에 이르는 면이 경사면을 포함하고,
하류측에서는 크레스트에서 기저부측에 이르는 면이 오목면을 포함하는, 진공펌프용 스크류 로터.
According to claim 1,
The front end surface of the thread of the first screw rotor,
On the upstream side, the surface from the crest to the base side includes an inclined surface,
A screw rotor for a vacuum pump, wherein, on the downstream side, a surface from the crest to the base side includes a concave surface.
 제1항에 있어서,
상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면은,
상류측에서는, 크레스트에서 기저부측에 이르는 면이 경사면을 구성하되,
상기 상류측에서 하류측으로 갈수록 상기 경사면의 각도는 점진적으로 커지도록 형성하고,
상기 하류측에서는, 크레스트에서 기저부측에 이르는 가상 선분이 회전축 대비 직각을 이루되, 상기 가상 선분 내에서 오목면을 포함하는, 진공펌프용 스크류 로터.
According to claim 1,
The front end surface of the thread of the first screw rotor,
On the upstream side, the face from the crest to the base side constitutes an inclined plane,
Formed so that the angle of the inclined surface gradually increases from the upstream side to the downstream side,
On the downstream side, an imaginary line segment from the crest to the base is at right angles to the axis of rotation, the screw rotor for a vacuum pump comprising a concave surface within the imaginary segment.
 제1항에 있어서,
상기 제1, 2스크류 로터의 각각의 나사산은,
상류측에 위치하며 나사산의 크레스트의 폭이 일정한 제1구간;
나사산의 크레스트의 폭이 상기 제1구간의 크레스트의 폭과 연속적이면서 상기 제1구간의 크레스트의 폭보다 작은 제2구간; 및
나사산의 크레스트의 폭이 상기 제2구간의 크레스트의 폭과 연속적이면서 상기 제2구간의 크레스트의 폭보다 큰 제3구간;을 구비하는, 진공펌프용 스크류 로터.
According to claim 1,
Each thread of the first and second screw rotors,
A first section located upstream and having a constant width of the crest of the screw thread;
a second section in which the width of the crest of the thread is continuous with the width of the crest of the first section and smaller than the width of the crest of the first section; and
A screw rotor for a vacuum pump comprising a; a third section in which the width of the crest of the screw thread is continuous with the width of the crest of the second section and is larger than the width of the crest of the second section.
 제1항에 있어서,
상기 제1, 2스크류 로터의 나사산은,
상류측에서 제1체적공간을 형성하는 제1피치 구간;
상기 제1체적공간보다 큰 제2체적공간을 형성하는 제2피치 구간;
상기 제1, 2체적공간보다 작은 제3체적공간을 형성하는 제3피치 구간;
상기 제3체적공간보다 작은 제4, 5체적공간을 형성하는 제4, 5피치 구간; 및
상기 제4, 5체적공간보다 큰 제6체적공간을 형성하는 제6피치 구간;을 포함하는, 진공펌프용 스크류 로터.
According to claim 1,
The threads of the first and second screw rotors are,
a first pitch section forming a first volumetric space on an upstream side;
a second pitch section forming a second volume space larger than the first volume space;
a third pitch section forming a third volume space smaller than the first and second volume spaces;
fourth and fifth pitch sections forming fourth and fifth volume spaces smaller than the third volume space; and
A screw rotor for a vacuum pump including; a sixth pitch section forming a sixth volume space larger than the fourth and fifth volume spaces.
 일측에 구비되는 흡인구와 타측에 구비되는 토출구를 구비하는 하우징; 및
상기 하우징 내부에서 회전가능하게 설치되며, 서로 평행하게 구비되는 제1, 2스크류 로터;를 포함하되,
상기 제1, 2스크류 로터는,
상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면과 상기 제2스크류 로터의 나사산의 후단면이 서로 근접하여 제1정합부를 형성하되,
상류측의 제1정합부는, 상기 제1스크류 로터의 크레스트에서 기저부측에 이르는 제1경사형 표면과 상기 제2스크류 로터의 기저부측에서 크레스트에 이르는 제2경사형 표면이 근접하여 대향을 이루는 부위이고, 상기 제1, 2경사형 표면이 근접할 경우, 각각의 하향 경사지는 면과 면이 접촉에 가까워지도록 근접하여 상기 면을 구성하는 선이 대향하는 형태를 형성하고, 상기 제1경사형 표면과 상기 제2경사형 표면이 서로 대향될 때 형성되는 이격 거리는 선 방향으로 동일하고,
하류측의 제1정합부는, 각 나사산의 표면이 대향을 이루면서 근접하되, 상기 하류측의 상기 제1스크류 로터의 나사산의 선단면의 오목면과, 상기 하류측의 상기 제2스크류 로터의 나사산의 후단면의 오목면은 각각의 중간부에 오목한 형상을 갖고, 상기 오목한 형상의 중간부보다 돌출되는 각각의 상단부 및 하단부가 서로 근접하여 대향을 이루는, 진공펌프.
a housing having a suction port provided on one side and a discharge port provided on the other side; and
First and second screw rotors rotatably installed inside the housing and provided in parallel to each other; including,
The first and second screw rotors,
The front end surface of the screw thread of the first screw rotor and the rear end surface of the screw thread of the second screw rotor are close to each other to form a first matching portion,
The upstream first mating portion is a portion where the first inclined surface extending from the crest to the base of the first screw rotor and the second inclined surface extending from the base to the crest of the second screw rotor are close to each other and face each other and, when the first and second inclined surfaces are close to each other, the respective downwardly inclined surfaces and the surfaces are close to close to contact to form a shape in which the lines constituting the surfaces oppose, and the first inclined surface and the separation distance formed when the second inclined surface faces each other is the same in the line direction,
The first matching portion on the downstream side is adjacent to each other with the surfaces of the respective threads facing each other, the concave surface of the tip surface of the thread of the first screw rotor on the downstream side, and the thread of the second screw rotor on the downstream side. The concave surface of the rear end face has a concave shape in each middle portion, and each of the upper end and lower end protruding from the middle portion of the concave shape is close to and opposed to each other.
KR1020210006139A 2021-01-15 2021-01-15 Screw rotor for vacuum pump and vacuum pump including the same KR102279208B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210006139A KR102279208B1 (en) 2021-01-15 2021-01-15 Screw rotor for vacuum pump and vacuum pump including the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210006139A KR102279208B1 (en) 2021-01-15 2021-01-15 Screw rotor for vacuum pump and vacuum pump including the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102279208B1 true KR102279208B1 (en) 2021-07-19

Family

ID=77125772

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210006139A KR102279208B1 (en) 2021-01-15 2021-01-15 Screw rotor for vacuum pump and vacuum pump including the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102279208B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102634783B1 (en) * 2023-07-11 2024-02-08 (주)지아이베큠 A vacuum pump having screw rotor

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0152174B1 (en) * 1995-10-13 1998-11-02 이종대 A continuous compressing type screw pump
JP2000045976A (en) 1998-07-29 2000-02-15 Kashiyama Kogyo Kk Screw type vacuum pump
JP2006501401A (en) * 2002-10-04 2006-01-12 株式会社荏原電産 Screw pump and operating method thereof
JP2009062868A (en) * 2007-09-06 2009-03-26 Ito Engineer:Kk Inline pump
JP2017082620A (en) * 2015-10-26 2017-05-18 株式会社アルバック Screw pump

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0152174B1 (en) * 1995-10-13 1998-11-02 이종대 A continuous compressing type screw pump
JP2000045976A (en) 1998-07-29 2000-02-15 Kashiyama Kogyo Kk Screw type vacuum pump
JP2006501401A (en) * 2002-10-04 2006-01-12 株式会社荏原電産 Screw pump and operating method thereof
JP2009062868A (en) * 2007-09-06 2009-03-26 Ito Engineer:Kk Inline pump
JP2017082620A (en) * 2015-10-26 2017-05-18 株式会社アルバック Screw pump

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102634783B1 (en) * 2023-07-11 2024-02-08 (주)지아이베큠 A vacuum pump having screw rotor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102279208B1 (en) Screw rotor for vacuum pump and vacuum pump including the same
EP2236830B1 (en) Roots type fluid machine
CN104776027B (en) Strict seal type dry screw vacuum pump screw rotor
KR100923039B1 (en) Screw pump
GB2292589A (en) Screw pump
US20080193301A1 (en) Composite fluid machine
KR102522991B1 (en) Hermetic compressor
EP1187990B1 (en) Gas rotary screw compressor
EP0456352B1 (en) Rotary, positive displacement machine
CN1283424C (en) Electric tool with exhausting window
US5213479A (en) Liquid ring pumps with improved housing shapes
JP2016142188A (en) Uniaxial eccentric screw pump
JPH0239633B2 (en)
US6705849B2 (en) Discharge porting design for screw compressor
EP0591979B2 (en) Screw rotor tooth profile
US7074026B2 (en) Multi-stage helical screw rotor
KR101050997B1 (en) Dust Seal Fixture of Scroll Compressor
CN116591954B (en) Rotor assembly and pump body structure
EP1546561B1 (en) Compressor
KR101315842B1 (en) vacuum pump pitch with screw rotor
KR102520628B1 (en) Sludge transfer pump with inducer
KR101605073B1 (en) Two stage small dry vacuum pump
CN217632945U (en) Element and device for compressing gas
CN211009068U (en) Single-blade impeller and rotor pump thereof
CN116517833B (en) Vacuum pump

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant