KR102270688B1

KR102270688B1 - Vacuum gate valve

Info

Publication number: KR102270688B1
Application number: KR1020200053748A
Authority: KR
Inventors: 안무아
Original assignee: 안무아
Priority date: 2020-05-06
Filing date: 2020-05-06
Publication date: 2021-06-28

Abstract

The present invention relates to a vacuum gate valve having an effect that can fundamentally solve problems such as damage to parts due to infiltration of powder into a driving unit and other parts. According to the present invention, the vacuum gate valve comprises a protection cylinder which includes: a body unit having an upper portion and a lower portion, which are opened, and forming a flow path for the powder; a gate disk unit for shielding an inlet at the upper end of the body unit to discharge or block the powder accommodated in a vacuum chamber; a slide gate unit for transversely opening and closing the body unit from the upper side of the body unit to shield a lower portion of the gate disk unit; and a protrusion unit for inserting a sealing agent into a central outer circumferential surface by ascending and descending the inside of the lower end of the body unit to block the inflow of powder when the upper end is opened or shielded according to the operation of the gate disk unit.

Description

vacuum gate valve

본 발명은 디스플레이공정, 반도체 기판 제조공정, 2차전지 제조공정 기반의 핵심소재를 제조할 때 적용되는 진공 게이트밸브에 관한 것으로, 음극화물질 또는 나노 파우더를 생산하기 위해 고진공 조건에서 견딜 수 있으며 생산된 나노 파우더를 이동하기 위해 밸브 Open 또는 밸브 Close를 반복 수행하는 과정에서 게이트밸브 내부로 파우더가 침투되는 것을 방지하기 위한 진공 게이트밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum gate valve applied when manufacturing a core material based on a display process, a semiconductor substrate manufacturing process, and a secondary battery manufacturing process. It relates to a vacuum gate valve for preventing powder from penetrating into the gate valve in the process of repeatedly opening or closing the valve to move the nano-powder.

진공 게이트밸브는 반도체 제조용 공정챔버와 진공펌프 사이의 진공배관에 설치되는 것으로 진공배관이나 진공펌프 등 부대설비의 보수, 유지를 위해 진공배관 내의 유로(유체통로)를 차단하기 위해 사용되는 밸브를 말한다.A vacuum gate valve is installed in the vacuum pipe between the process chamber for semiconductor manufacturing and the vacuum pump. It is a valve used to block the flow path (fluid path) in the vacuum pipe for repair and maintenance of auxiliary equipment such as vacuum pipes and vacuum pumps. .

반도체 제조공정은 크게 노광공정, 현상공정, 증착공정 및 에칭공정으로 분류되는데, 이 중 증착공정은 많은 유해가스가 사용되므로 '가루형태의 부산물'(이하 '파우더'라 함)이 발생하게 된다. The semiconductor manufacturing process is largely classified into an exposure process, a developing process, a deposition process, and an etching process. Among them, the deposition process uses many harmful gases, so 'powdered by-products' (hereinafter referred to as 'powder') are generated.

이러한 파우더는 진공배관이나 진공게이트 내부에 축적되는데 특히, 게이트 밸브 개폐시 그 진동으로 인하여 디스크 상면에 쌓여 밸브 개방시 디스크와 함께 밸브 몸체 내부로 인입되어 진공 게이트밸브의 수명을 단축시키는 문제점을 발생시킨다.Such powder accumulates inside the vacuum pipe or vacuum gate. In particular, when the gate valve opens and closes, it accumulates on the upper surface of the disk due to its vibration, and when the valve is opened, it is drawn into the valve body together with the disk, thereby shortening the life of the vacuum gate valve. .

아울러, 기존의 진공 게이트밸브의 디스크는 그대로 노출되는 상태를 유지하고 있어 파우더 형태의 소재를 제조한 후, 가공된 소재 유입 및 배출을 위한 디스크 제거시 디스크와 함께 투입된 파우더가 게이트밸브 내부로 유입되어 진공도가 현저하게 저하되고, 구동부까지 손상되는 문제점이 있다. In addition, since the disk of the existing vacuum gate valve remains exposed as it is, after manufacturing the powder-type material, when the disk is removed for inflow and discharge of the processed material, the powder injected with the disk flows into the gate valve. There is a problem in that the degree of vacuum is significantly lowered, and even the driving unit is damaged.

이러한 문제점을 해결하기 위한 종래기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0539691호에 개시된 진공 게이트밸브가 있다.As a prior art for solving this problem, there is a vacuum gate valve disclosed in Korean Patent Publication No. 10-0539691.

상기한 종래기술에 따른 진공 게이트밸브는 밸브내에 형성된 유로의 내측벽에 링을 설치함으로써 밸브가 개방된 상태에 있는 경우 유로를 통한 유체흐름은 그대로 유지한 채 진공배관 내의 파우더가 밸브 몸체 내부로 인입되는 것을 차단하는 이점이 있다.In the vacuum gate valve according to the prior art, when a ring is installed on the inner wall of the flow path formed in the valve, when the valve is in an open state, the powder in the vacuum pipe is introduced into the valve body while maintaining the fluid flow through the flow path. It has the advantage of blocking it from happening.

그러나, 상기 종래기술은 밸브 개방시 디스크 상면에 쌓인 파우더가 디스크와 함께 밸브 몸체 내부로 인입되는 문제점이 있어, 종래의 문제점을 개선하는데에는 한계가 있다.However, the prior art has a problem in that the powder accumulated on the disk upper surface is drawn into the valve body together with the disk when the valve is opened, so there is a limit to improving the conventional problems.

대한민국 등록특허공보 제10-0539691호Republic of Korea Patent Publication No. 10-0539691

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로, 게이트 밸브의 개폐 과정에서 그 진동 등으로 인하여 디스크 상면에 쌍여 밸브 개방시 디스크와 함께 밸브 몸체 내부로 상기 파우더가 인입되어 진공 게이트밸브의 수명을 단축시키는 것을 방지하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve the above problems, and due to the vibration, etc. during the opening and closing process of the gate valve, the powder is introduced into the valve body together with the disk when the valve is opened in pairs on the upper surface of the disk, so that the life of the vacuum gate valve The purpose is to prevent shortening.

또한 본 발명은 파우더가 게이트밸브 내부로 유입되는 것을 완전히 차단함으로서, 파우더가 게이트밸브로 유입되는 경우 현저하게 저하되는 진공도의 문제점과 구동부의 손상 문제를 방지하는데 다른 목적이 있다.In addition, another object of the present invention is to completely block the powder from flowing into the gate valve, thereby preventing the problem of the vacuum degree significantly lowered when the powder flows into the gate valve and the problem of damage to the driving unit.

또한 본 발명은 진공챔버의 파우더가 호퍼측으로의 공급 차단 또는 개방을 위해 채택되는 게이트디스크에서, 고정게이트디스크와 회동게이트디스크를 구성하되 상기 회동게이트디스크에 의해 고정게이트디스크를 차단하게 되면, 파우더가 회동게이트디스크의 표면에 쌓이지 않도록 산 모양을 이루며 경사지도록 하여 게이트디스크의 표면에는 잔존하는 파우더가 발생되지 않도록 하는 데 다른 목적이 있다.In addition, the present invention comprises a fixed gate disk and a rotating gate disk in the gate disk in which the powder of the vacuum chamber is adopted for blocking or opening the supply to the hopper side, but when the fixed gate disk is blocked by the rotating gate disk, the powder is Another object is to prevent the powder remaining on the surface of the gate disk from being generated by making it inclined in a mountain shape so as not to accumulate on the surface of the rotating gate disk.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
상하부가 개구되어 파우더의 유로를 형성하는 몸체부와 진공챔버 내부에 수용되는 파우더를 배출 또는 차단하기 위하여 상기 몸체부 상단의 유입구를 차폐하는 게이트디스크부와 상기 게이트디스크부 하단부를 차폐하기 위해 상기 몸체부 상단 측면에서 상기 몸체부를 횡단 개폐하는 슬라이드게이트부와 상기 게이트디스크부의 작동에 따라 상단이 개방 또는 차폐되어질 때 파우더의 유입을 차단하기 위해 상기 몸체부의 하단 내부를 상하 승강하는 것으로 중앙 외주면으로 실링을 내입하는 돌출부가 형성되는 프로텍션실린더를 포함하고,
상기 게이트디스크부의 중앙 개구부에 고정되는 것으로 개구영역이 등간격 구성되는 고정게이트디스크;
상기 고정게이트디스크 상면에 접하는 상태에서 회전되는 것으로 개구영역이 등간격 구성되는 회동게이트디스크;
상기 게이트디스크부 측면에 구성되어 상기 회동게이트디스크를 회동시키는 스테핑모터;The present invention for achieving the above object,
The upper and lower portions of the body are opened to form a flow path of the powder, and the gate disk portion for shielding the inlet at the upper end of the body portion in order to discharge or block the powder accommodated in the vacuum chamber, and the body to shield the lower portion of the gate disk portion In order to block the inflow of powder when the upper end is opened or shielded according to the operation of the slide gate section and the gate disk section that transversely opens and closes the body section from the upper side of the section, the inner side of the lower end of the body section rises and goes up and down, thereby sealing the central outer circumferential surface. It includes a protection cylinder in which a protrusion to enter is formed,
a fixed gate disk fixed to the central opening of the gate disk portion and having an opening area at equal intervals;
a rotating gate disk having an opening area at equal intervals to be rotated in a state in contact with the upper surface of the fixed gate disk;
a stepping motor configured on a side surface of the gate disk to rotate the rotating gate disk;

로 이루어져, 상기 스테핑모터의 정역 구동에 따라 회동게이트디스크가 회동되어 상기 회동게이트디스크에 구성되는 개구영역과 상기 고정게이트디스크에 구성되는 개구영역이 일치 또는 불일치에 따라 게이트디스크부의 개폐가 가능하도록 하는 것을 포함하는 진공 게이트밸브를 제공한다.The rotating gate disk is rotated according to the forward and reverse driving of the stepping motor so that opening and closing of the gate disk part is possible according to the coincidence or mismatch between the opening region of the rotating gate disc and the opening region of the fixed gate disc It provides a vacuum gate valve comprising a.

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본 발명에 의하면 음극화물질 또는 나노 파우더를 생산하기 위해 고진공 조건에서 견딜 수 있으며 생산된 나노 파우더를 이동하기 위해 밸브 Open 또는 밸브 Close를 반복 수행하는 과정에서 게이트밸브 내부로 파우더가 침투되는 것을 용이하게 방지할 수 있는 효과를 갖는다.According to the present invention, it can withstand high vacuum conditions to produce anode material or nanopowder, and in the process of repeatedly performing valve open or valve close to move the produced nanopowder, it is easy to penetrate the powder into the gate valve. have a preventable effect.

또한 본 발명은, 진공챔버에 수용되는 파우더를 게이트밸브를 통하여 호퍼측으로 공급할 때 게이트밸브 내부로의 비산을 방지하도록 하고, 진공챔버의 파우더가 호퍼측으로의 공급 차단 또는 개방을 위해 채택되는 게이트디스크에서, 파우더의 공급 후 게이트디스크를 차단된 후에는 파우더가 게이트디스크 표면에 잔존하지 않도록 하여, 게이트밸브의 구성을 이루는 구동부 및 기타 부품 내부로 파우더가 스며들어 부품이 손상되는 등의 문제점을 근본적으로 해소할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention prevents scattering into the gate valve when the powder accommodated in the vacuum chamber is supplied to the hopper side through the gate valve, and the powder in the vacuum chamber is adopted for blocking or opening the supply to the hopper side. After supplying the powder and blocking the gate disk, the powder does not remain on the surface of the gate disk, thereby fundamentally solving problems such as damage to the parts due to the powder seeping into the driving part and other parts constituting the gate valve. have the effect that

도 1은 본 발명의 게이트밸브를 도시한 사시도
도 2는 도 1의 게이트밸브를 분리 도시한 분리사시도
도 3은 본 발명에 적용되는 게이트디스크부의 개괄적인 단면도
도 4는 본 발명에 적용되는 슬라이드게이트부의 분해 사시도
도 5는 도 4에서, 플레이트부를 분리하여 도시한 분해 사시도
도 6은 본 발명의 게이트밸브가 개방된 상태를 도시한 것으로, 파우더가 진공챔버로부터 개방된 게이트밸브를 통하여 낙하되며 호퍼측으로 유동되는 상태를 개괄적으로 도시한 단면도
도 7은 게이트디스크부의 작동에 의해 게이트밸브가 차단된 상태를 도시한 개괄적 도면
도 8은 도 7의 상태에서 몸체부의 내부에서 상단부로 상승한 프로텍션 실린더가 하방으로 이동하는 상태를 도시한 도면
도 9는 슬라이드게이트부의 작동 상태를 개괄적으로 도시한 것으로, 실린더의 작동에 의해 다중절첩링크가 펼쳐질 때 이와 연동하여 미들플레이트와 어퍼 및 로우플레이트가 연동하여 하우징으로 접하며 이동되는 상태를 개괄적으로 도시한 도면
도 10은 도 9의 상태에서, 다중절첩링크에 의해 미들플레이트가 더욱 이동하며 볼의 위치가 대원호홈에서 소원호홈으로 이동되며 어퍼플레이트와 로우플레이트가 상하로 각각 위치이동하여 하우징의 상하 저면과 긴밀하게 밀접하는 상태를 도시한 도면1 is a perspective view showing a gate valve of the present invention;
Figure 2 is an exploded perspective view showing the gate valve of Figure 1 separated
3 is a schematic cross-sectional view of a gate disk unit applied to the present invention;
4 is an exploded perspective view of a slide gate part applied to the present invention;
5 is an exploded perspective view showing the plate part in FIG. 4 ;
6 is a cross-sectional view schematically illustrating a state in which the gate valve of the present invention is opened, in which the powder falls from the vacuum chamber through the open gate valve and flows toward the hopper.
7 is a schematic view showing a state in which the gate valve is blocked by the operation of the gate disk unit;
8 is a view showing a state in which the protection cylinder, which rises from the inside of the body part to the upper end, moves downward in the state of FIG.
9 is a general view of the operating state of the slide gate part, and when the multi-folding link is unfolded by the operation of the cylinder, the middle plate, the upper and the low plate are linked to each other to move in contact with the housing. drawing
In Figure 10, in the state of Figure 9, the middle plate is further moved by the multi-folding link, the position of the ball is moved from the large arc groove to the small arc groove, and the upper plate and the low plate are moved up and down, respectively, so that they are closely aligned with the upper and lower surfaces of the housing. A drawing showing a state of close proximity

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함하며, 명세서 및 청구범위에 사용되는 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않음은 물론, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 점에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다. 따라서, 본 발명의 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아닌바, 본 발명의 출원 시점에 있어서 이를 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 가능하거나 존재할 수 있음을 이해하여야 할 것이다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in this specification are only exemplified for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention are Since various changes can be made and can have various forms, it includes all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention, and the terms or words used in the specification and claims are conventional or dictionary It is not limited to the meaning, and, of course, on the basis of the fact that the inventor can appropriately define the concept of a term to describe his invention in the best way, the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention should be interpreted as Accordingly, the embodiments described in the specification of the present invention and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical spirit of the present invention. It should be understood that various possible equivalents and modifications are possible or existent.

또한, 본 발명의 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. In addition, unless otherwise defined in the specification of the present invention, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. have Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present specification. does not

이하 본 발명의 바람직한 일실시 형태를 첨부하는 도면을 참조하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 첨부하는 도 1 내지 도 10에서 보듯이 상하부가 개구되어 파우더의 유로를 형성하는 몸체부(100)와, 상기 몸체부(100) 상단의 유입구를 차폐하는 게이트디스크부(200)와, 상기 몸체부(100)의 하단 내부를 상하 승강하는 프로텍션실린더(400)와, 상기 몸체부(100) 상단 측면에서 상기 몸체부(100)를 횡단 개폐하는 슬라이드게이트부(300)로 이루어진다.As shown in the accompanying FIGS. 1 to 10, the body part 100 having the upper and lower parts opened to form a flow path of the powder, and the gate disk part 200 for shielding the inlet of the upper end of the body part 100, It consists of a protection cylinder 400 for moving up and down the inside of the lower end of the body part 100, and a slide gate part 300 for transversely opening and closing the body part 100 from the upper side of the body part 100.

상기 몸체부(100)는 게이트밸브(10)의 전체적 형태를 지칭하는 것으로 상하부가 각각 개구되어, 도시하지 않은 파우더를 호퍼(도면상 미도시)측으로 이송하기 위한 유로를 형성하는 구조로 이해할 수 있다.The body part 100 refers to the overall shape of the gate valve 10, and the upper and lower parts are opened, respectively, and it can be understood as a structure to form a flow path for transferring powder (not shown) to the hopper (not shown) side. .

진공챔버(도면상 미도시)와 연결되는 부분인 몸체부(100)의 상단측 개구부위를 유입구(110)라 칭하고, 진공챔버로부터 낙하되며 호퍼측으로 파우더를 유동시키기 위한 몸체부(100)의 하단측 개구부위를 유출구(120)라 칭하기로 한다.The upper part of the opening on the upper end of the body part 100, which is a part connected to the vacuum chamber (not shown in the drawing), is called the inlet 110, and the lower end of the body part 100 for falling from the vacuum chamber and flowing the powder to the hopper side. The side opening is referred to as an outlet 120 .

상기 몸체부(100)의 상단부측으로는 게이트디스크부(200)가 구성되고, 게이트디스크부(200)에 의해 몸체부(100)의 상단측을 개방하거나 또는 차단할 때 이와 연동하여 몸체부(100)의 내부에서 하단으로부터 게이트디스크부(200) 하단부까지 행정거리를 갖으며 상하 승강하는 프로텍션실린더(400)가 구비된다.The upper end side of the body portion 100 is configured with a gate disk portion 200, and when the upper end of the body portion 100 is opened or blocked by the gate disk portion 200, the body portion 100 is interlocked with this. A protection cylinder 400 that ascends and descends with a stroke distance from the lower end to the lower end of the gate disk unit 200 is provided in the interior.

아울러 상기 몸체부(100)의 상단 측면으로는 게이트디스크부(200)에 의해 몸체부(100) 상단을 차단하는 경우 몸체부(100) 상단을 횡단하며 게이트디스크부(200) 하단측을 차폐하기 위하여 유입구(110)를 차단하는 슬라이드게이트부(300)를 구성하게 된다.In addition, when blocking the upper end of the body portion 100 by the gate disk portion 200 on the upper side of the body portion 100, it crosses the upper end of the body portion 100 and shields the lower side of the gate disk portion 200. To this end, a slide gate unit 300 for blocking the inlet 110 is configured.

이를 좀 더 자세히 설명하면, 게이트밸브(10)의 몸체부(100)는 진공챔버와 호퍼 사이에 연결되어 반도체 공정에 사용되기 위하여 생성되는 파우더를 호퍼측으로 유동시키며 후공정으로 이송되는 일련의 과정을 거치게 된다.To explain this in more detail, the body portion 100 of the gate valve 10 is connected between the vacuum chamber and the hopper to flow the powder generated to be used in the semiconductor process to the hopper side, and a series of processes that are transferred to the post-process. will go through

이 경우, 게이트밸브(10)는 일정량의 파우더를 호퍼측으로 유동시킨 후 차단하여 진공챔버로부터 파우더가 호퍼측으로 낙하되는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.In this case, the gate valve 10 serves to prevent the powder from falling from the vacuum chamber to the hopper side by blocking the flow of a certain amount of powder toward the hopper.

이때, 전술한 것과 같이 파우더는 미세한 입자분말로 형성되는 특성과, 파우더를 게이트밸브(10)를 통하여 호퍼측으로 유동시키거나 또는 차단시킬 때 진공 상태가 해제되는 것을 방지하여야 함은 물론, 게이트밸브(10)에서 게이트디스크부(200)의 차폐 작동 등이 이루어질 때 미세한 파우더가 게이트밸브(10)의 부속품 등으로 유입되는 현상이 방지될 필요가 있다. At this time, as described above, it is necessary to prevent the release of the vacuum state when the powder flows or blocks the powder to the hopper side through the gate valve 10 and the characteristic of being formed of fine particle powder, as well as the gate valve ( In 10), when the shielding operation of the gate disk unit 200 is performed, it is necessary to prevent a phenomenon in which fine powder is introduced into the accessories of the gate valve 10 .

본 발명에서는 이러한 점에 착안하여, 전술한 바와 같이 몸체부(100)의 상단측에 구비되는 게이트디스크부(200)의 작동 과정에서 프로텍션실린더(400)의 상하 행정 운동에 따라 파우더가 몸체부(100)의 내부에서 주변 부속품 등으로 유입되는 것을 방지하도록 구성한다.In the present invention, paying attention to this point, as described above, in the operation process of the gate disk part 200 provided on the upper side of the body part 100, the powder is transferred to the body part ( 100) is configured to prevent inflow into peripheral accessories.

예컨데, 진공챔버에 채워진 파우더를 게이트밸브(10)를 구성하는 몸체부(100)를 통과하여 호퍼측으로 유동시키기 위해 게이트디스크부(200)를 개방하기 전에 먼저 몸체부(100) 상단 측면에 구비되는 슬라이드게이트부(300)가 작동되어 게이트디스크부(200)의 저면을 개방하게 되고, 상기 몸체부(100) 내부에 구성되어 있는 프로텍션실린더(400)가 상승하여 게이트디스크부(200)의 저면과 밀접하게 기밀을 유지한 후, 게이트디스크부(200)가 개방되어 파우더를 호퍼측으로 내려보내게 된다.For example, before opening the gate disk part 200 to flow the powder filled in the vacuum chamber to the hopper side through the body part 100 constituting the gate valve 10, it is provided on the upper side of the body part 100 first. The slide gate part 300 is operated to open the bottom surface of the gate disk part 200, and the protection cylinder 400 configured in the body part 100 rises and the bottom surface of the gate disk part 200 and After closely maintaining the airtightness, the gate disk unit 200 is opened to send the powder down to the hopper side.

이어서 진공챔버와 게이트밸브(10)간을 차폐하기 위해서는 전술한 작동의 수순과 반대로 게이트디스크부(200)가 차폐된 후 프로텍션실린더(400)가 하강하게 되고 몸체부(100)의 측면에 구비된 슬라이드게이트부(300)의 작동에 따라 상기 게이트디스크부(200)의 저면을 차폐하여 진공챔버의 진공상태가 유지될 수 있도록 함과 동시에 파우더 잔여분이 게이트밸브(10) 내부로 유입되는 것을 완전히 차단할 수 있게 된다.Then, in order to shield between the vacuum chamber and the gate valve 10, the protection cylinder 400 descends after the gate disk 200 is shielded opposite to the procedure of the above-described operation, and is provided on the side of the body 100. According to the operation of the slide gate part 300, the lower surface of the gate disk part 200 is shielded so that the vacuum state of the vacuum chamber can be maintained, and at the same time, the powder residue is completely blocked from flowing into the gate valve 10. be able to

이러한 작동을 위한 것으로, 전술한 바와 같이 몸체부(100)의 유입구(110)측 차단 또는 개방하는 구성으로 게이트디스크부(200)와 슬라이드게이트부(300)를 구성하게 된다.For this operation, the gate disk part 200 and the slide gate part 300 are configured to block or open the inlet 110 side of the body part 100 as described above.

상기 게이트디스크부(200)는 도면에서 보는 것과 같이 몸체부(100)의 상단 유입구(110)에 결합된다.The gate disk part 200 is coupled to the upper inlet 110 of the body part 100 as shown in the drawing.

상기 게이트디스크부(200)의 중앙 개구부에는 개구영역이 등간격 구성되는 고정게이트디스크(210)가 고정되어 있고, 상기 고정게이트디스크(210) 상면에 접하는 상태에서 회전되는 것으로 개구영역이 등간격 구성되는 회동게이트디스크(220)로 이루어진다.A fixed gate disk 210 having an opening area at equal intervals is fixed to the central opening of the gate disk unit 200, and the fixed gate disk 210 rotates in contact with the upper surface of the fixed gate disk 210, so that the opening area is equally spaced. It consists of a rotating gate disk 220 that becomes

상기 회동게이트디스크(220)는 게이트디스크부(200)의 측면에 구성되는 스테핑모터(230)에 의해 회동된다.The rotating gate disc 220 is rotated by a stepping motor 230 configured on a side surface of the gate disc unit 200 .

도 3 및, 도 6내지 도 7에서 보듯이, 상기 게이트디스크부(200)를 구성하는 상기 고정게이트디스크(210)는 게이트디스크부(200)의 중앙 개구부를 등간격 구획하며 전술한 바와 같은 개구영역(A)과 비개구영역(B)이 교호 형성된다.As shown in FIGS. 3 and 6 to 7 , the fixed gate disk 210 constituting the gate disk part 200 divides the central opening of the gate disk part 200 at equal intervals and divides the opening as described above. Regions A and non-opening regions B are alternately formed.

아울러 상기 회동게이트디스크(220)에도 동일하게 중앙 개구부를 등간격 구획하며 개구영역(A)과 비개구영역(B)이 교호 형성된다.In addition, in the rotating gate disk 220, the central openings are equally spaced apart, and open areas A and non-opening areas B are alternately formed.

상기한 고정게이트디스크(210)와 회동게이트디스크(220)의 각 개구영역(A)과 비개구영역(B)의 크기는 동일하게 구성하게 된다.The size of each of the opening areas A and the non-opening areas B of the fixed gate disk 210 and the rotating gate disk 220 is the same.

따라서, 상기 스테핑모터(230)의 정역 구동에 따라 회동게이트디스크(220)가 회동되어 상기 회동게이트디스크(220)에 구성되는 개구영역(A)과 상기 고정게이트디스크(210)에 구성되는 개구영역(A)이 일치 또는 불일치에 됨에 따라 게이트디스크부(200)의 개폐가 가능하도록 한다.Accordingly, the rotating gate disk 220 is rotated according to the forward and reverse driving of the stepping motor 230 , so that the opening area A of the rotating gate disk 220 and the opening area of the fixed gate disk 210 are rotated. As (A) coincides with or does not match, opening and closing of the gate disk unit 200 is possible.

한편, 상기 회동게이트디스크(220)의 비개구영역(B)은 산모양으로 형성되도록 하여 파우더가 회동게이트디스크(220)에서 외곽측으로 흘러 내릴 수 있도록 경사면을 형성한다.On the other hand, the non-opening area B of the rotating gate disk 220 is formed in a mountain shape to form an inclined surface so that the powder can flow down from the rotating gate disk 220 to the outer side.

아울러, 상기 몸체부(100)의 상하에 각각 상에어포트(130)와 하에어포트(140)를 구성하여 에어 유로를 형성하게 된다.In addition, the upper and lower air ports 130 and 140 are respectively configured on the upper and lower sides of the body portion 100 to form an air flow path.

상기 슬라이드게이트부(300)는 상기 게이트디스크부(200) 하단부를 차폐하기 위해 상기 몸체부(100) 상단 측면에서 상기 몸체부(100)를 횡단 개폐하기 위한 수단이다.The slide gate part 300 is a means for transversely opening and closing the body part 100 from the upper side of the body part 100 in order to shield the lower part of the gate disk part 200 .

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 슬라이드게이트부(300)는 상기 게이트디스크부(200) 하단부에 결합되는 것으로 상하가 개구되는 하우징(310)과, 상기 하우징(310)과 연결되며 측방향으로 이어지는 수용하우징(320)으로 일체로 이루어지고 상기 수용하우징(320) 후방측에 구비되는 실린더(330)에 의해 인입출되는 플레이트부(340)로 이루어진다.1 to 4 , the slide gate part 300 is coupled to the lower end of the gate disk part 200 and includes a housing 310 having upper and lower openings, and is connected to the housing 310 in the lateral direction. It consists of a plate part 340 which is integrally formed with the subsequent accommodation housing 320 and is drawn in and out by the cylinder 330 provided on the rear side of the accommodation housing 320 .

상기 플레이트부(340)는 전술한 바와 같이 실린더(330)의 작동에 따라 상기 수용하우징(320) 내부에 수용되거나 또는 수용하우징(320) 내부로부터 인출되어 하우징(310)의 개구된 부위를 차단하거나 또는 개방하는 역할을 하게 된다.As described above, the plate part 340 is accommodated in the accommodating housing 320 according to the operation of the cylinder 330 or is drawn out from the accommodating housing 320 to block the opened portion of the housing 310 or Or play an open role.

이와 같은 역할을 하는 플레이트부(340)는 어퍼플레이트(upper plate)(341)와 미들플레이트(middle plate)(342), 로우플레이트(low plate)(343)로 이루어진다.The plate unit 340 serving as such is composed of an upper plate 341 , a middle plate 342 , and a low plate 343 .

상기 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)가 상하에 각각 구비된 후 그 사이에 미들플레이트(342)가 게재되는 형태를 갖되, 미들플레이트(342)는 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343) 사이에서 슬라이딩 유동 가능하도록 구성하게 된다.After the upper plate 341 and the low plate 343 are provided on the upper and lower sides, respectively, the middle plate 342 is placed therebetween, and the middle plate 342 is the upper plate 341 and the low plate 343 . ) is configured to allow sliding flow between them.

한편, 상기 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)간을 상호 탄성적으로 연결하는 스프링(344)을 원호 형태의 영역을 따라 다수 구비하여 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)가 탄성적으로 상하 유동 가능하도록 구성한다.On the other hand, a plurality of springs 344 connecting the upper plate 341 and the lower plate 343 to each other elastically are provided along the arc-shaped region so that the upper plate 341 and the lower plate 343 are elastic. It is configured to be able to flow up and down.

이와 같이, 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)의 상하 탄성적 유동 상태를 갖도록 하는 것은, 상기 미들플레이트(342)에 구비되는 볼(346)에 의해 미들플레이트(342)를 중심으로 상기 볼(346)의 들어올려지는 현상에 의해 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)가 각각 상하방향으로 밀려나도록 함으로써, 하우징(310) 내부의 상하면에 어퍼플레이트(341)의 상면과 로우플레이트(343)의 하면이 긴밀하게 접촉 된 후, 다시 후진이송함에 따라 상기 미들플레이트(342)에 구비되는 볼(346)이 후술하게 되는 볼유동가이드홈(345)의 대원호홈(345a)측에 다다르게 되면 상기 스프링(344)의 복원력에 의해 미들플레이트(342)를 중심으로 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)의 위치가 원상복귀 될 수 있도록 하기 위함이다.In this way, to have the upper and lower elastic flow states of the upper plate 341 and the lower plate 343, the balls centered on the middle plate 342 by the balls 346 provided in the middle plate 342. By causing the upper plate 341 and the lower plate 343 to be pushed up and down, respectively, by the lifting phenomenon of the 346, the upper and lower surfaces of the upper plate 341 and the lower plate 343 inside the housing 310. ), when the ball 346 provided in the middle plate 342 reaches the side of the large circular arc groove 345a of the ball flow guide groove 345 to be described later as it is transported back again after the lower surface of the ) is in close contact. This is to allow the positions of the upper plate 341 and the lower plate 343 to be returned to their original state around the middle plate 342 by the restoring force of the spring 344 .

이를 위하여, 상기 어퍼플레이트(341)의 저면과 로우플레이트(343)의 상면에 각각 내경이 큰 대원호홈으로부터 내경이 작은 소원호홈으로 연하여 이루어지는 볼유동가이드홈(345)을 상기 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343) 중심을 기준으로 방사상 형태로 등간격 이격되는 위치에 다수개 형성하게 된다.To this end, a ball flow guide groove 345 formed by connecting a large arc groove having a large inner diameter to a small arc groove having a small inner diameter is formed on the bottom surface of the upper plate 341 and the upper surface of the low plate 343, respectively, in the upper plate 341 ). A plurality of positions are formed at equal intervals in a radial form with respect to the center of the and low plate 343 .

아울러, 이와 대응되는 미들플레이트(342)의 등간격 이격되는 방사상 형태의 위치를 따라 볼(346)을 수용하는 볼포켓(347)이 관통 형성된다.In addition, the ball pockets 347 for accommodating the balls 346 are formed through the corresponding radial positions of the middle plate 342 that are spaced apart from each other at equal intervals.

한편, 상기 실린더(330)에 의해 수용하우징(320) 내부에서 상기 플레이트부(340)가 전후 슬라이딩 인입출되도록 하여야 하는데, 이를 위해 실린더(330)의 로드(331)와 상기 플레이트부(340)의 일단측을 다중절첩링크(332)에 의해 연결되며 구동되도록 구성한다.On the other hand, the plate part 340 has to be slid back and forth inside the receiving housing 320 by the cylinder 330. For this purpose, the rod 331 of the cylinder 330 and the plate part 340 are One end is connected by a multi-folding link 332 and configured to be driven.

한편, 상기한 플레이트부(340)가 실린더(330)에 의해 수용하우징(320) 내부에서 하우징(310)의 개구된 부위를 커버하기 위해 하우징(310)측으로 인출되어질 때, 플레이트부(340)는 하우징(310) 내부 상하면에 긴밀하게 접촉되며 기밀성을 유지하여야 한다.On the other hand, when the plate part 340 is drawn out toward the housing 310 to cover the opened portion of the housing 310 inside the housing 320 by the cylinder 330, the plate part 340 is The housing 310 is in close contact with the inner upper and lower surfaces to maintain airtightness.

이와 같은 기밀성을 요구하는 것은, 게이트디스크부(200)의 회동게이트디스크(220)가 닫혀진 후 진공챔버의 진공 상태가 긴밀하게 유지되도록 하기 위함이며, 잔존하는 파우더가 타 부품으로 인입되는 현상을 방지하기 위함이다.Such airtightness is required so that the vacuum state of the vacuum chamber is closely maintained after the rotating gate disk 220 of the gate disk part 200 is closed, and the remaining powder is prevented from entering into other parts. to do

이러한 점등을 감안하여, 플레이트부(340)가 실린더(330)의 작동에 의해 다중절첩링크(332)에 의해 전방향 즉 하우징(310)측으로 인출되며 하우징(310)의 개구된 영역을 차단할 때 플레이트부(340)를 밀어 넣게 되는 작용을 하게 된다.In consideration of this lighting, when the plate part 340 is drawn out toward the housing 310 side in the forward direction by the multi-folding link 332 by the operation of the cylinder 330 and blocks the open area of the housing 310, the plate It acts to push in the part 340 .

이를 좀 더 자세하게 설명하면, 도 4 에서 보는 것과 같이 상기한 다중절첩링크(332)는 미들플레이트(342)와 연결되고, 상기 미들플레이트(342)의 전단(도면상 보았을 때 다중절첩링크와 연결되는 부분을 전단이라 칭한다)의 양측에 각각 장공(348)이 천공되고, 미들플레이트(342)의 후단측으로는 후단부가 개구되는 개구공(349)이 형성된다.To explain this in more detail, as shown in FIG. 4 , the multi-folding link 332 is connected to the middle plate 342, and the front end of the middle plate 342 (when viewed in the drawing, it is connected to the multi-folded link) A long hole 348 is perforated on both sides of the front end, respectively, and an open hole 349 in which the rear end is opened is formed on the rear end side of the middle plate 342 .

아울러 상기 장공(348)을 통하여 스프링(344)이 관통되며 상기 스프링 상하단이 각각 어퍼레이트(341)의 저면과 로우플레이트(343)의 상면측에 각각 고정되고, 상기 개구공(349)의 경우에도 동일하게 스프링(344)이 관통되며 상하단이 각각 어퍼플레이트(341)의 저면과 로우플레이트(343)의 상면측에 각각 고정되는 구조를 갖게 된다.In addition, the spring 344 passes through the long hole 348, and the upper and lower ends of the spring are respectively fixed to the bottom surface of the upper surface 341 and the upper surface side of the low plate 343, respectively, in the case of the opening hole 349. In the same way, the spring 344 is passed through, and the upper and lower ends have a structure in which the lower surface of the upper plate 341 and the upper surface of the lower plate 343 are respectively fixed.

상기 플레이트부(340)는 전술한 바와 같이 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)가 스프링(344)에 의해 연동 가능하도록 구성된 상태에서 그 내부 즉 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343) 사이에 게재되는 미들플레이트(342)가 실린더(330)의 작동에 의해 하우징(310)측으로 전진 이송되면, 미들플레이트(342)의 장공(348)과 개구공(349)으로 관통되어 있는 스프링(344)에 의해 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)도 동시에 하우징(310)측으로 이동하게 된다.The plate portion 340 is, as described above, between the upper plate 341 and the lower plate 343 inside, that is, between the upper plate 341 and the lower plate 343 in a state in which the upper plate 341 and the lower plate 343 are configured to be interlocked by the spring 344 . When the middle plate 342 placed in the cylinder 330 is moved forward toward the housing 310 by the operation of the cylinder 330, the spring 344 is penetrated through the long hole 348 and the opening hole 349 of the middle plate 342. By this, the upper plate 341 and the lower plate 343 also move toward the housing 310 at the same time.

여기서, 상기 미들플레이트(342)의 전단측은 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343) 전단측보다는 돌출되어 있는 상태에서 다중절첩링크(332)와 연결되도록 구성되고, 상기 미들플레이트(342)의 후단측은 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)의 후단측보다는 내입되는 상태로 이루어지도록 구성한다.Here, the front end of the middle plate 342 is configured to be connected to the multi-folding link 332 in a state in which it protrudes rather than the front end of the upper plate 341 and the low plate 342 , and the rear end of the middle plate 342 . The side is configured to be in a state of being inserted rather than the rear end side of the upper plate 341 and the low plate 343 .

이와 같은 구성을 갖는 플레이트부(340)는 실린더의 작동에 따라 다중절첩링크(332)가 펼쳐지게 되면, 상기 미들플레이트(342)의 일단측이 하우징(310)의 타단 내측단에 다다르게 되는데, 이러한 상태에서 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)는 정지된 상태에 있게 된다.When the multi-folding link 332 of the plate part 340 having such a configuration is unfolded according to the operation of the cylinder, one end of the middle plate 342 reaches the inner end of the other end of the housing 310, in this state In the upper plate 341 and the lower plate 343 is in a stationary state.

아울러 다중절첩링크(332)에 의해 상기 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)가 하우징(310)의 타단에 접하여 고정된 상태에서, 미들플레이트(342)만 전진하게 되는데 이 과정에서 미들플레이트(342)의 볼포켓(347)에 수용되어 있는 볼(346)의 위치는 상기한 어퍼플레이트(341) 및 로우플레이트(343)의 볼유동가이드홈(345)의 내경이 큰 대원호홈(345a)으로부터 내경이 작은 소원호홈(345b)으로 이동하는 현상이 이루어진다.In addition, in a state in which the upper plate 341 and the lower plate 343 are fixed in contact with the other end of the housing 310 by the multi-folding link 332, only the middle plate 342 is advanced. In this process, the middle plate ( The position of the ball 346 accommodated in the ball pocket 347 of the 342 is from the large circular arc groove 345a of the ball flow guide groove 345 of the upper plate 341 and the lower plate 343. The phenomenon of moving to the small inner diameter small arc groove (345b) is made.

이와 같이 대원호홈(345a)의 위치에서 소원호홈(345b)으로 볼(346)의 위치 변이에 따라 미들플레이트(342)를 중심으로 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)가 상하방으로 각각 이격 지지되는 현상이 발생되면서, 어퍼플레이트(341)의 상면과 로우플레이트(343)의 하면이 각각 하우징(310)의 상측 및 하측 내면과 긴밀하게 접촉하며 플레이트부(340)가 하우징(310) 내부에서 견고한 결착력을 발휘하며 고정될 수 있다.As described above, the upper plate 341 and the lower plate 343 are spaced up and down, respectively, centering on the middle plate 342 according to the position change of the ball 346 from the position of the large arc groove 345a to the small arc groove 345b. As the supported phenomenon occurs, the upper surface of the upper plate 341 and the lower surface of the lower plate 343 are in close contact with the upper and lower inner surfaces of the housing 310, respectively, and the plate portion 340 is formed inside the housing 310. It exhibits a strong binding force and can be fixed.

한편, 상기 프로텍션실린더(400)는 상기 게이트디스크부(200)의 작동에 따라 상단이 개방 또는 차폐되어질 때 파우더의 유입을 차단하기 위해 상기 몸체부(100)의 하단 내부를 상하 승강하는 구성이다.On the other hand, the protection cylinder 400 is configured to move up and down inside the lower end of the body portion 100 to block the inflow of powder when the upper end is opened or shielded according to the operation of the gate disk portion 200 .

이와 같은 프로텍션실린더(400) 도 8 에서 보는 것과 같이 원통형상의 부재로 이루어지는 것으로, 중앙 외주면으로 돌출부(410)가 돌출 형성되는 형태를 갖고 돌출부(410)에 실링(420)이 내입되는 형태를 갖게 된다.Such a protection cylinder 400 is made of a cylindrical member as shown in FIG. 8, has a shape in which the protrusion 410 protrudes from the central outer circumferential surface, and the seal 420 is inserted into the protrusion 410. .

상기 실링(420)은 몸체부(100)의 내주면과 긴밀하게 접촉하며 기밀성을 확보하게 된다.The sealing 420 is in close contact with the inner circumferential surface of the body portion 100 to ensure airtightness.

아울러 상기 프로텍션실린더(400)의 상하 승강 행정거리의 운동은 공압의 제공에 의해 이루어지도록 한다.In addition, the movement of the up-and-down stroke distance of the protection cylinder 400 is made by the provision of pneumatic pressure.

즉, 전술한 바와 같이 몸체부(100) 상측에 구비되는 상에어포트(130)와 하측으로 하에어포트(140)가 구비된 상태에서 그 몸체부(100)의 내부에 수용되는 프로텍션실린더(400)는 하에어포트(140)측으로 고압의 공압이 제공되면 프로텍션실린더(400)의 중앙 외주면으로 돌출되어 있는 돌출부(410) 하단측으로 공압이 제공되면서 프로텍션실린더(400)는 상방향으로 이동된다.That is, as described above, in a state in which the upper air port 130 provided on the upper side of the body portion 100 and the lower air port 140 are provided on the lower side, the protection cylinder 400 accommodated in the body portion 100 . ) is when high-pressure pneumatic pressure is provided to the lower air port 140 side, the protection cylinder 400 is moved upward while pneumatic pressure is provided to the lower end of the protrusion 410 protruding from the central outer circumferential surface of the protection cylinder 400 .

아울러, 상방향 상승 이동된 프로텍션실린더(400)의 상단부는 도 7 에서 보는 것과 같이 게이트디스크부(200)의 하단으로 형성되는 끼움홈(211)에 끼워지도록 구성한다.In addition, the upper end of the upwardly moved protection cylinder 400 is configured to fit into the fitting groove 211 formed at the lower end of the gate disk unit 200 as shown in FIG. 7 .

즉, 프로텍션실린더(400)가 몸체부(100)의 하에어포트(140)를 통하여 상방향으로 상승 이동하면서 상기 끼움홈(211)에 삽입된다.That is, the protection cylinder 400 is inserted into the fitting groove 211 while moving upward through the lower air port 140 of the body portion 100 .

이와 같은 작용에 의한 프로텍션실린더(400)에 의해 파우더가 몸체부(100)를 통하여 다른 구성부품측으로 유동, 유입되는 것을 완전히 차단할 수 있게 된다.By the protection cylinder 400 by this action, it is possible to completely block the flow and inflow of the powder to other components through the body portion 100 .

상기한 구성을 갖는 본 발명에 의한 작동관계를 설명하면, 진공챔버에 수용되는 파우더를 직하방의 게이트밸브(10)를 개방하여 호퍼측으로 유동시키고자 하는 경우의 상태는, 게이트디스크부(200)의 고정게이트디스크(210)의 개구영역(A)이 회동게이트디스크(220)의 비개구영역(B)에 의해 막혀져 있는 상태이고, 슬라이드게이트부(300)의 플레이트부(340)는 후진 이송된 상태에 있으며, 프로텍션실린더(400)는 상방향으로 올라가져 있는 상태이다.When explaining the operation relationship according to the present invention having the above configuration, the state in the case where the powder accommodated in the vacuum chamber is opened to the hopper side by opening the gate valve 10 directly below is, the gate disk portion 200 The open area (A) of the fixed gate disk 210 is blocked by the non-opening area (B) of the rotating gate disk 220, and the plate portion 340 of the slide gate portion 300 is moved backward. In the state, the protection cylinder 400 is in a state that is raised in the upward direction.

이러한 상태에서, 파우더를 호퍼측으로 유동할 때에는 먼저 몸체부(100)의 상에어포트(130)측으로 고압의 공압을 제공하여 상기 프로텍션실린더(400)를 하방향 이동시키게 된다.In this state, when the powder flows to the hopper side, the protection cylinder 400 is moved downward by first providing high-pressure pneumatic pressure to the upper air port 130 side of the body part 100 .

아울러, 슬라이드게이트부(300)의 실린더(330)를 작동시켜 플레이트부(340)를 후진 이송하게 된다.In addition, the cylinder 330 of the slide gate part 300 is operated to move the plate part 340 backward.

상기 플레이트부(340)는 전술한 바와 같이 어퍼플레이트(341), 미들플레이트(342), 로우플레이트(343)가 동시에 하우징(310)측으로 진입한 후 미들플레이트(342)가 더욱 후진하여 상기 미들플레이트(342)의 볼포켓(347)에 수용되어 있는 볼(346)의 위치가 상기 볼유동가이드홈(345)의 소원호홈(345b)에서 대원호홈(345a)으로 이동됨과 동시에 미들플레이트(342)를 중심으로 상하로 어퍼플레이트(341)와 로우플레이트(343)가 각각 상하방향으로 이동되며 하우징(310)의 상하면에 밀접하게 접하여져 있던 상태에서 미들플레이트(342)측으로 접하는 상태를 이루게 된다.As described above, in the plate part 340, the upper plate 341, the middle plate 342, and the low plate 343 simultaneously enter the housing 310 side, and then the middle plate 342 is further moved backward, so that the middle plate The position of the ball 346 accommodated in the ball pocket 347 of the 342 is moved from the small arc groove 345b of the ball flow guide groove 345 to the large arc groove 345a, and the middle plate 342 is moved at the same time. The upper plate 341 and the lower plate 343 are respectively moved in the vertical direction in the center up and down, and in a state in which they are in close contact with the upper and lower surfaces of the housing 310, they are in contact with the middle plate 342 side.

이러한 상태에서 실린더(330)의 작동에 의해 다중절접링크(332)의 절첩에 따라 어퍼플레이트(341)와 미들플레이트(342) 및 로우플레이트(343)에 의한 플레이트부(340)가 후진 이송하게 된다.In this state, the plate portion 340 by the upper plate 341, the middle plate 342, and the low plate 343 is transported backward according to the folding of the multi-folding link 332 by the operation of the cylinder 330. .

상기와 같이 슬라이드게이트부(300)의 플레이트부(340)가 후진 이송하게 된 상태에서, 게이트디스크부(200)의 회동게이트디스크(220)가 스테핑모터(230)의 작동에 의해 회동하게 되면, 고정게이트디스크(210)의 비개구영역(B)의 위치에 있던 회동게이트디스크(220)의 개구영역(A)이 상기 고정게이트디스크(210)의 개구영역(A) 위치와 동일하게 되어, 진공챔버의 파우더가 게이트밸브(10)를 통하여 호퍼측으로 유입되는 과정을 거치게 된다.When the plate portion 340 of the slide gate portion 300 is moved backward as described above, the rotation gate disk 220 of the gate disk portion 200 is rotated by the operation of the stepping motor 230, The opening area A of the rotating gate disk 220, which was at the non-opening area B of the fixed gate disk 210, becomes the same as the opening area A of the fixed gate disk 210, so that the vacuum The powder in the chamber is introduced into the hopper side through the gate valve 10 .

상기와 같이 호퍼측으로 파우더의 유입 과정이 모두 완료되면, 전술한 역순으로 게이트밸브(10)가 작동하게 되는바 먼저 게이트디스크부(200)의 회동게이트디스크(220)를 스테핑모터(230)에 의해 회전시켜 고정게이트디스크(210)의 개구영역(A)을 회동게이트디스크(220)의 비개구영역(B)에 의해 차단되도록 한다.When all of the powder inflow process into the hopper is completed as described above, the gate valve 10 is operated in the reverse order as described above. First, the rotating gate disk 220 of the gate disk unit 200 is moved by the stepping motor 230 . It is rotated so that the opening area A of the fixed gate disk 210 is blocked by the non-opening area B of the rotating gate disk 220 .

아울러 몸체부(100)의 상에어포트(130)측을 통하여 고압의 에어를 공급하여 상기 몸체부(100)의 내측 상부측에 위치하고 있는 상기 프로텍션실린더(400)를 하방향으로 이동시키게 된다.In addition, by supplying high-pressure air through the upper air port 130 side of the body part 100, the protection cylinder 400 located on the inner upper side of the body part 100 is moved downward.

이와 동시에, 슬라이드게이트부(300)의 실린더(330) 작동에 의해 후진되어 수용하우징(320) 내부에 수용되어 있던 플레이트부(340)가 다중절첩링크(332)의 작동에 의해 하우징(310)측으로 전진 이송되어 상기 몸체부(100)의 유입구(110)를 차폐하는 일련의 과정을 거치게 되는 것이다.At the same time, the plate part 340, which has been moved backward by the operation of the cylinder 330 of the slide gate part 300 and accommodated in the accommodation housing 320, is moved toward the housing 310 by the operation of the multi-folding link 332. It is transferred forward and undergoes a series of processes for shielding the inlet 110 of the body portion 100 .

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않음은 물론이며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 기술적 지식을 가진 자에 의해 상기 기재된 내용으로부터 다양한 수정 및 변형이 가능할 수 있음은 물론이다.As described above, although the present invention has been described with reference to the limited embodiments and drawings, the present invention is not limited to the above embodiments, and from the above description by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations may be possible.

따라서 본 발명에서의 기술적 사상은 아래에 기재되는 청구범위에 의해 파악되어야 하되 이의 균등 또는 등가적 변형 모두 본 발명의 기술적 사상의 범주에 속함은 자명하다 할 것이다.Therefore, the technical spirit in the present invention should be understood by the claims described below, but it will be obvious that all equivalents or equivalent modifications thereof fall within the scope of the technical spirit of the present invention.

10; 게이트밸브 100; 몸체부
110; 유입구 120; 유출구
130; 상에어포트 140; 하에어포트
200; 게이트디스크부 210; 고정게이트디스크
211; 끼움홈 220; 회동게이트디스크
230; 스테핑모터
A; 개구영역 B; 비개구영역
300; 슬라이드게이트부 310; 하우징
320; 수용하우징 330; 실린더
331; 로드 332; 다중절첩링크
340; 플레이트부 341; 어퍼플레이트
342; 미들플레이트 343; 로우플레이트
344; 스프링 345; 볼유동가이드홈
345a; 대원호홈 345b; 소원호홈
346; 볼 347; 볼포켓
348; 장공 349; 개구공
400; 프로텍션실린더 410; 돌출부
420; 실링 10; gate valve 100; body part
110; inlet 120; outlet
130; Sang Airport 140; airport port
200; gate disk unit 210; fixed gate disk
211; Fitting groove 220; rotating gate disk
230; stepping motor
A; opening area B; non-open area
300; slide gate unit 310; housing
320; accommodating housing 330; cylinder
331; load 332; Multi-fold link
340; plate part 341; upper plate
342; middle plate 343; low plate
344; spring 345; Ball flow guide home
345a; Daewonho Home 345b; Sowonho Home
346; ball 347; ball pocket
348; long hole 349; opening
400; protection cylinder 410; projection part
420; shilling

Claims

The upper and lower portions of the body are opened to form a flow path of the powder, and the gate disk portion for shielding the inlet at the upper end of the body portion in order to discharge or block the powder accommodated in the vacuum chamber, and the body to shield the lower portion of the gate disk portion In order to block the inflow of powder when the upper end is opened or shielded according to the operation of the slide gate section and the gate disk section that transversely opens and closes the body section from the upper side of the section, the inner side of the lower end of the body section rises and goes up and down, thereby sealing the central outer circumferential surface. It includes a protection cylinder in which a protrusion to enter is formed,
a fixed gate disk fixed to the central opening of the gate disk portion and having an opening area at equal intervals;
a rotating gate disk having an opening area at equal intervals to be rotated in a state in contact with the upper surface of the fixed gate disk;
a stepping motor configured on a side surface of the gate disk to rotate the rotating gate disk;
The rotating gate disk is rotated according to the forward and reverse driving of the stepping motor so that opening and closing of the gate disk part is possible according to the coincidence or mismatch between the opening region of the rotating gate disc and the opening region of the fixed gate disc A vacuum gate valve comprising a.

delete

The method of claim 1,
and forming an inclined surface such that the non-opening area of the rotating gate disk is formed in a mountain shape so that powder can flow down from the rotating gate disk to the outer side.

The method of claim 1,
A vacuum gate valve comprising forming an air flow path by configuring an upper air port and a lower air port respectively on the upper and lower sides of the body part.

The method of claim 1,
The slide gate unit may include a housing coupled to a lower end of the gate disc unit;
a receiving housing connected to the housing and extending in a lateral direction;
a plate portion 340 drawn in and out by a cylinder provided on the rear side of the accommodation housing;
A vacuum gate valve comprising a.

6. The method of claim 5,
A vacuum gate valve comprising the rod of the cylinder and one end side of the plate part being connected by a multiple fold link, and the plate part being drawn in and out from the inside of the accommodation housing by the multiple fold link according to the operation of the cylinder .

6. The method of claim 5,
The plate part has a form in which the upper plate and the lower plate are respectively provided on the upper and lower sides and then the middle plate is placed therebetween, wherein the middle plate is configured to be slidably flowable between the upper plate and the lower plate Vacuum gate comprising valve.

8. The method of claim 7,
A plurality of springs connecting the upper plate and the lower plate elastically with each other are provided along the arc-shaped region so that the upper plate and the lower plate can elastically flow up and down,
On the bottom surface of the upper plate and the upper surface of the low plate, a ball flow guide groove formed by connecting a large arc groove with a large inner diameter to a small arc groove with a small inner diameter, respectively, is located at equal intervals in a radial form based on the center of the upper plate and the low plate. to form a plurality in
A vacuum gate valve comprising a ball pocket for accommodating a ball along a radially spaced position of the middle plate corresponding thereto and formed therethrough.

The method of claim 1,
A vacuum gate valve comprising: forming a fitting groove on the bottom surface of the gate disk part so that the upper end of the protection cylinder, which is lifted up and down inside the body part, is fitted or separated.

6. The method of claim 5,
The rod of the cylinder and the upper plate of the plate part and the middle plate protruding from the front end of the low plate are connected to the multi-folding link,
In the rear end side of the middle plate, long holes are respectively perforated on both sides of the front end of the middle plate which is in a state of being inserted rather than the rear end side of the upper plate and the low plate, and an opening hole is formed in which the rear end is opened to the rear end of the middle plate,
The vacuum gate valve comprising the upper and lower ends of the spring passing through the long hole and the opening hole and fixed to the lower surface of the upper plate and the upper surface of the lower plate, respectively.