KR102265206B1 - Mask for chemical vapour deposition - Google Patents

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Abstract

본 발명은 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 유기전계발광 표시장치에 있어, 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 관한 것이다.
본 발명의 화학기상 증착용 마스크는 TFT 패드부를 가리는 바(bar)를 구비한다. 본 발명의 화학기상 증착용 마스크는 바의 일측에 웜 기어(worm gear)를 구비하여 고온과 플라즈마에 의해 늘어진 바를 주기적으로 당겨 팽팽한 상태를 유지하도록 함으로써 바의 들뜸을 개선하여 불량을 감소시키는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a chemical vapor deposition mask used for depositing an encapsulation protective film in an organic light emitting display device to which a face seal encapsulation structure is applied.
The chemical vapor deposition mask of the present invention includes a bar covering the TFT pad part. The chemical vapor deposition mask of the present invention includes a worm gear on one side of the bar to periodically pull the bar stretched by high temperature and plasma to maintain a taut state, thereby improving the lifting of the bar and reducing defects do it with

Description

화학기상 증착용 마스크{MASK FOR CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION}Mask for chemical vapor deposition

본 발명은 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 유기전계발광 표시장치에 있어, 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical vapor deposition mask used for depositing an encapsulation protective film in an organic light emitting display device to which a face seal encapsulation structure is applied.

최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하는 경량 박형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다.Recently, as interest in information display is rising and the demand to use portable information media increases, it has been applied to a lightweight, thin flat panel display (FPD) replacing the conventional display device, a cathode ray tube (CRT). Research and commercialization are focused on.

이러한 평판표시장치 분야에서, 지금까지는 가볍고 전력소모가 적은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device; LCD)가 가장 주목받는 디스플레이 장치였지만, 액정표시장치는 발광소자가 아니라 수광소자이며 밝기, 명암비(contrast ratio) 및 시야각 등에 단점이 있기 때문에 이러한 단점을 극복할 수 있는 새로운 디스플레이 장치에 대한 개발이 활발하게 전개되고 있다.In such a flat panel display field, a liquid crystal display device (LCD), which is light and low power consumption, has been the most attractive display device until now, but the liquid crystal display device is a light receiving device, not a light emitting device, and has brightness and contrast ratio (contrast ratio). ) and viewing angle, the development of a new display device capable of overcoming these disadvantages is being actively developed.

새로운 디스플레이 장치 중 하나인 유기전계발광 표시장치는 자체발광형이기 때문에 액정표시장치에 비해 시야각과 명암비 등이 우수하다. 또한, 백라이트(backlight)가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하다. 그리고, 직류 저전압 구동이 가능하고 응답속도가 빠르다는 장점이 있다.Since the organic light emitting display device, which is one of the new display devices, is a self-emission type display device, the viewing angle and contrast ratio are superior to that of the liquid crystal display device. In addition, since a backlight is not required, it is possible to be lightweight and thin, and it is advantageous in terms of power consumption. In addition, it has the advantage of being able to drive at a low DC voltage and having a fast response speed.

이하, 유기전계발광 표시장치의 기본적인 구조 및 동작 특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the basic structure and operation characteristics of the organic light emitting display device will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 일반적인 유기발광다이오드의 발광원리를 설명하는 다이어그램이다.1 is a diagram illustrating a light emitting principle of a general organic light emitting diode.

일반적으로 유기전계발광 표시장치는 도 1과 같이, 유기발광다이오드를 구비한다.In general, an organic light emitting display device includes an organic light emitting diode as shown in FIG. 1 .

이때, 유기발광다이오드는 화소전극인 양극(anode)(18)과 공통전극인 음극(cathode)(28) 및 이들 사이에 형성된 유기층(30a, 30b, 30c, 30d, 30e)을 구비한다.In this case, the organic light emitting diode includes an anode 18 as a pixel electrode, a cathode 28 as a common electrode, and organic layers 30a, 30b, 30c, 30d, and 30e formed therebetween.

그리고, 유기층(30a, 30b, 30c, 30d, 30e)은 정공주입층(Hole Injection Layer; HIL)(30a), 정공수송층(Hole Transport Layer; HTL)(30b), 발광층(Emission Layer; EML)(30c), 전자수송층(Electron Transport Layer; ETL)(30d) 및 전자주입층(Electron Injection Layer; EIL)(30e)을 포함한다.And, the organic layers 30a, 30b, 30c, 30d, 30e are a hole injection layer (HIL) 30a, a hole transport layer (HTL) 30b, an emission layer (EML) ( 30c), an Electron Transport Layer (ETL) 30d, and an Electron Injection Layer (EIL) 30e.

양극(18)과 음극(28)에 구동전압이 인가되면 정공수송층(30b)을 통과한 정공과 전자수송층(30d)을 통과한 전자가 발광층(30c)으로 이동되어 엑시톤(exciton)을 형성하고, 그 엑시톤이 안정한 상태로 되면서 에너지가 빛으로 전환되며 빛을 발산하게 된다.When a driving voltage is applied to the anode 18 and the cathode 28, holes passing through the hole transport layer 30b and electrons passing through the electron transport layer 30d are moved to the light emitting layer 30c to form excitons, As the exciton becomes stable, energy is converted into light and light is emitted.

유기전계발광 표시장치는 전술한 구조의 유기발광다이오드를 가지는 서브-픽셀을 매트릭스 형태로 배열하고 그 서브-픽셀들을 데이터전압과 스캔전압으로 선택적으로 제어함으로써 화상을 표시한다.The organic light emitting display device displays an image by arranging sub-pixels having the organic light emitting diodes having the above-described structure in a matrix form and selectively controlling the sub-pixels with a data voltage and a scan voltage.

이때, 유기전계발광 표시장치는 수동 매트릭스(passive matrix) 방식 또는 스위칭소자로써 TFT를 이용하는 능동 매트릭스(active matrix) 방식으로 나뉘어진다. 이 중 능동 매트릭스 방식은 능동소자인 박막 트랜지스터를 선택적으로 턴-온(turn on)시켜 서브-픽셀을 선택하고 스토리지 커패시터에 유지되는 전압으로 서브-픽셀의 발광을 유지한다.In this case, the organic light emitting display device is divided into a passive matrix method or an active matrix method using a TFT as a switching device. Among them, the active matrix method selects a sub-pixel by selectively turning on a thin film transistor, which is an active element, and maintains light emission of the sub-pixel with a voltage maintained in the storage capacitor.

이와 같이 구동되는 일반적인 유기전계발광 표시장치는 다수의 TFT와 유기발광다이오드가 형성된 기판과 기판 위에 형성되는 봉지층(encapsulation layer)으로 이루어진다.A typical organic light emitting display device driven as described above includes a substrate on which a plurality of TFTs and organic light emitting diodes are formed, and an encapsulation layer formed on the substrate.

유기전계발광 표시장치의 특성상 봉지구조는 투과율이 좋고 투명한 물질들을 이용한 적층 구조를 가져야 한다. 이때, 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 경우의 봉지층을 구체적으로 설명하면, 음극이 형성된 기판 위에는 봉지수단으로 1차 보호막과 유기막 및 2차 보호막이 차례대로 형성되어 있다.Due to the characteristics of the organic light emitting display device, the encapsulation structure should have a laminated structure using transparent materials with good transmittance. At this time, when the encapsulation layer in the case of applying the face seal encapsulation structure is specifically described, a primary protective film, an organic film, and a secondary protective film are sequentially formed as a sealing means on the substrate on which the cathode is formed.

이와 같이 일반적인 유기전계발광 표시장치는 외부에서 유입되는 공기나 수분을 차단하여 TFT와 유기발광다이오드를 보호하기 위해 봉지층을 구비하는데, 현재의 페이스 실 봉지구조에서는 1차, 2차 보호막으로 플라즈마화학기상증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; PECVD)을 이용한 실리콘질화막(SiNx)을 이용한다.As described above, a typical organic light emitting display device has an encapsulation layer to protect the TFT and the organic light emitting diode by blocking air or moisture flowing in from the outside. A silicon nitride film (SiNx) using plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is used.

도 2는 보호막을 증착하는데 사용되는 플라즈마 장비를 예를 들어 보여주는 도면으로서, PECVD 장비를 예를 들어 보여주고 있다.2 is a view showing, for example, a plasma equipment used for depositing a protective film, and shows a PECVD equipment as an example.

도 2를 참조하면, 플라즈마 장비(40)는 가스 주입부(46) 및 배기부(43)를 가지는 진공 챔버(41)내에 가스를 확산시키는 디퓨저(diffuser)(42)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 2 , the plasma apparatus 40 includes a diffuser 42 for diffusing gas into a vacuum chamber 41 having a gas injection unit 46 and an exhaust unit 43 .

상부전극(44)과 피증착 기판(1)을 홀딩하는 하부전극(45)이 일정간격 이격되어 대향하고 있다.The upper electrode 44 and the lower electrode 45 holding the deposition target substrate 1 are spaced apart from each other and face each other.

상부전극(44)은 RF(Radio Frequency) 파워를 공급하는 매칭박스(미도시)와 연결된다. 하부전극(45)은 RF 파워를 접지시키는 그라운드(ground) 전압이 연결된다.The upper electrode 44 is connected to a matching box (not shown) that supplies RF (Radio Frequency) power. The lower electrode 45 is connected to a ground voltage for grounding the RF power.

상부전극(44)의 내측에 포함된 디퓨저(42)는 가스 주입부(46)를 통해 공급되는 반응 가스의 플로우(flow)를 조절한다.The diffuser 42 included in the upper electrode 44 controls the flow of the reaction gas supplied through the gas injection unit 46 .

하부전극(45)은 피증착 기판(1)에 열에너지를 공급하는 히터를 포함한다.The lower electrode 45 includes a heater that supplies thermal energy to the deposition target substrate 1 .

상부전극(44)에 RF 전압을 인가하면 상부전극(44)과 하부전극(45)의 사이에 RF에 의해 발생된 플라즈마의 고에너지 전자가 가스와 충돌하면서 화학 반응을 일으켜 기판(1)에 실리콘 질화막이 증착된다.When an RF voltage is applied to the upper electrode 44 , high-energy electrons of plasma generated by RF between the upper electrode 44 and the lower electrode 45 collide with the gas to cause a chemical reaction to form silicon on the substrate 1 . A nitride film is deposited.

일반적으로 유기전계발광 표시장치는 액정표시장치와는 달리 수분과 산소에 취약하기 때문에 액정표시장치의 제조공정에서 사용되는 에칭(etching)을 사용하지 못해 증착 시 마스크(50)가 필요하다.In general, the organic light emitting display device is vulnerable to moisture and oxygen unlike the liquid crystal display device, so the etching used in the manufacturing process of the liquid crystal display device cannot be used, so a mask 50 is required for deposition.

이러한 화학기상 증착용 마스크(50)는 기판(10)에 고정되는 틀 형태의 프레임(frame)(52)과 TFT 패드부에는 실리콘 질화막이 증착되지 않도록 TFT 패드부를 가리는 바(bar)(51)로 이루어진다.The chemical vapor deposition mask 50 is a frame 52 fixed to the substrate 10 and a bar 51 covering the TFT pad part so that a silicon nitride film is not deposited on the TFT pad part. is done

이때, PECVD 공정 중에 고온과 플라즈마에 의해 마스크(50)가 손상을 받아 변형이 발생하게 된다. 또한, 플라즈마와 세정 시 주입된 NF3 가스에 의해 마스크(50)가 부식되고 강도가 약해져서 들뜨게 된다.At this time, the mask 50 is damaged by high temperature and plasma during the PECVD process, and thus deformation occurs. In addition, the mask 50 is corroded by the plasma and the NF 3 gas injected during cleaning, and the strength is weakened, so that it is lifted.

이와 같이 마스크(50), 특히 바(51)의 손상이나 들뜸으로 인해 TFT 패드부에 실리콘 질화막이 증착되는 증착 불량이 발생한다.As described above, a deposition defect in which a silicon nitride film is deposited on the TFT pad part occurs due to damage or lifting of the mask 50 , particularly the bar 51 .

이를 해결하기 위해 주기적으로 마스크(50)를 교체하여야 하며, 그 결과 비용이 증가한다.In order to solve this problem, it is necessary to periodically replace the mask 50, and as a result, the cost increases.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 바의 들뜸을 개선하도록 한 화학기상 증착용 마스크를 제공하는데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a mask for chemical vapor deposition to improve the lifting of the bar.

기타, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.In addition, other objects and features of the present invention will be described in the following description of the invention and claims.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크는 유기전계발광 표시장치의 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 있어, 기판에 고정되는 틀 형태의 프레임, 프레임의 일측에서 다른 일측을 가로지르는 다수의 바(bar) 및 바의 일측에 구비되어 바를 당겨 팽팽한 상태를 유지하는 웜 기어(worm gear)를 포함하여 구성될 수 있다.In order to achieve the above object, the chemical vapor deposition mask according to an embodiment of the present invention is a chemical vapor deposition mask used to deposit a protective film for encapsulation of an organic light emitting display device, in the form of a frame fixed to a substrate of a frame, a plurality of bars crossing the other side from one side of the frame, and a worm gear provided on one side of the bar to pull the bar to maintain a taut state.

바는 기판의 TFT 패드부를 가릴 수 있다.The bar may cover the TFT pad portion of the substrate.

웜 기어는 프레임의 개방된 영역에 구비되며, 서로 직교하는 웜과 웜 휠(worm wheel)로 구성될 수 있다.The worm gear is provided in an open area of the frame, and may include a worm and a worm wheel that are orthogonal to each other.

웜과 웜 휠은 각각 제 1 축과 제 2 축에 연결될 수 있다.The worm and the worm wheel may be connected to the first shaft and the second shaft, respectively.

제 1 축과 제 2 축은 프레임에 서로 직교하도록 장착될 수 있다.The first axis and the second axis may be mounted to the frame to be perpendicular to each other.

제 2 축의 양측은 회전할 수 있도록 프레임에 장착될 수 있다.Both sides of the second shaft may be mounted to the frame so as to be rotatable.

바의 일측은 제 2 축에 고정되며, 제 2 축의 회전에 따라 바의 일측이 제 2 축의 외주면을 따라 감겨 팽팽한 상태를 유지할 수 있다.One side of the bar is fixed to the second shaft, and as the second shaft rotates, one side of the bar is wound along the outer circumferential surface of the second shaft to maintain a taut state.

바의 다른 일측은 프레임에 고정될 수 있다.The other side of the bar may be fixed to the frame.

제 1 축의 일측은 회전할 수 있도록 프레임에 장착될 수 있다.One side of the first shaft may be mounted to the frame to be able to rotate.

제 1 축의 다른 일측은 수직으로 꺾여 제 1 축을 회전시키는 손잡이를 구성할 수 있다.The other side of the first shaft may be bent vertically to constitute a handle for rotating the first shaft.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크는 바의 일측에 웜 기어를 구비하여 고온과 플라즈마에 의해 늘어진 바를 주기적으로 당겨 팽팽한 상태를 유지하도록 함으로써 바의 들뜸을 개선하는 것을 특징으로 한다.As described above, the chemical vapor deposition mask according to an embodiment of the present invention is provided with a worm gear on one side of the bar to periodically pull the bar stretched by high temperature and plasma to maintain a taut state, thereby improving the lifting of the bar. characterized in that

이와 같은 바의 들뜸의 개선으로 불량이 30%이상 감소되고, 마스크 교체에 필요한 비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.By improving the lifting of the bar, defects are reduced by 30% or more, and the cost required for mask replacement can be reduced.

도 1은 유기발광다이오드의 발광원리를 설명하는 다이어그램.
도 2는 보호막을 증착하는데 사용되는 플라즈마 장비를 예를 들어 보여주는 도면.
도 3은 유기전계발광 표시장치의 구조를 예시적으로 보여주는 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 구조를 개략적으로 보여주는 평면도.
도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 확대하여 보여주는 도면.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크를 확대하여 보여주는 도면.
도 7은 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 개략적으로 보여주는 사시도.1 is a diagram illustrating a light emitting principle of an organic light emitting diode.
2 is a view showing, for example, plasma equipment used for depositing a protective film.
3 is a cross-sectional view illustrating a structure of an organic light emitting display device.
4 is a plan view schematically showing the structure of a chemical vapor deposition mask according to an embodiment of the present invention.
5A and 5B are enlarged views showing a portion A of the chemical vapor deposition mask according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4;
6A and 6B are enlarged views showing a chemical vapor deposition mask according to another embodiment of the present invention.
7 is a perspective view schematically showing a portion A of the chemical vapor deposition mask according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4;

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 화학기상 증착용 마스크의 바람직한 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of the mask for chemical vapor deposition according to the present invention will be described in detail so that a person skilled in the art can easily implement it.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장될 수 있다.Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout. The sizes and relative sizes of layers and regions in the drawings may be exaggerated for clarity of description.

소자(element) 또는 층이 다른 소자 또는 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않는 것을 나타낸다.Reference to an element or layer to another element or “on” or “on” includes not only directly on the other element or layer, but also with other layers or other elements interposed therebetween. do. On the other hand, reference to an element "directly on" or "directly on" indicates that there are no intervening elements or layers.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below, beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다.The spatially relative terms "below, beneath", "lower", "above", "upper", etc. are one element or component as shown in the drawings. and can be used to easily describe the correlation with other devices or components. Spatially relative terms should be understood as terms including different orientations of the device during use or operation in addition to the orientation shown in the drawings. For example, if an element shown in the figures is turned over, an element described as "beneath" or "beneath" another element may be placed "above" the other element. Accordingly, the exemplary term “below” may include both directions below and above.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 따라서 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments, and thus is not intended to limit the present invention. As used herein, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, “comprise” and/or “comprising” refers to the presence of one or more other components, steps, operations and/or elements mentioned. or addition is not excluded.

본 발명은 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 유기전계발광 표시장치에 있어, 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 관한 것으로 우선, 유기전계발광 표시장치에 대해 상세히 설명한다.The present invention relates to a chemical vapor deposition mask used for depositing an encapsulation protective film in an organic light emitting display device to which a face seal encapsulation structure is applied. First, the organic light emitting display device will be described in detail.

도 3은 유기전계발광 표시장치의 구조를 예시적으로 보여주는 단면도이다.3 is a cross-sectional view exemplarily illustrating a structure of an organic light emitting display device.

도 3을 참조하면, 유기전계발광 표시장치는 화소부와 TFT 패드부가 정의되는 기판(101)과 화소부를 덮으면서 기판(101) 위에 형성되는 봉지층(110)을 포함한다.Referring to FIG. 3 , the organic light emitting display device includes a substrate 101 in which a pixel portion and a TFT pad portion are defined, and an encapsulation layer 110 formed on the substrate 101 while covering the pixel portion.

기판(101)으로 폴리이미드(polyimide; PI) 기판을 적용할 수 있으며, 이 경우 그 배면에는 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET)로 이루어진 백 필름이 부착될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.A polyimide (PI) substrate may be applied as the substrate 101, and in this case, a back film made of polyethylene terephthalate (PET) may be attached to the rear surface thereof. However, the present invention is not limited thereto.

봉지층(110) 위에는 외부로부터 입사된 광의 반사를 막기 위한 편광판(미도시)이 점착층을 통해 부착될 수 있다.A polarizing plate (not shown) for preventing reflection of light incident from the outside may be attached on the encapsulation layer 110 through an adhesive layer.

도시하지 않았지만, 기판(101)의 화소부에는 화소들이 매트릭스 형태로 배치되며, 화소부의 외측에는 화소들을 구동시키기 위한 스캔 드라이버와 데이터 드라이버 등의 구동소자 및 기타 부품들이 위치한다.Although not shown, pixels are arranged in a matrix in the pixel portion of the substrate 101 , and driving devices such as a scan driver and a data driver for driving the pixels and other components are located outside the pixel portion.

기판(101)의 TFT 패드부에는 전술한 스캔 드라이버와 데이터 드라이버로 전기 신호를 전달하기 위한 패드전극들이 위치한다.Pad electrodes for transmitting electrical signals to the scan driver and data driver are positioned on the TFT pad portion of the substrate 101 .

봉지층(110)은 기판(101)에 형성된 유기발광다이오드(130)들과 구동회로들 위에 형성되어 유기발광다이오드(130)들과 구동회로들을 외부로부터 밀봉하여 보호한다.The encapsulation layer 110 is formed on the organic light emitting diodes 130 and the driving circuits formed on the substrate 101 to seal and protect the organic light emitting diodes 130 and the driving circuits from the outside.

이러한 봉지층(110)을 구체적으로 설명하면, 일 예로 음극(128)이 형성된 기판(101) 위에 봉지수단으로 1차 보호막(113a)과 유기막(113b) 및 2차 보호막(113c)이 차례대로 형성될 수 있다.When the encapsulation layer 110 is described in detail, as an example, the first passivation layer 113a, the organic layer 113b, and the second passivation layer 113c are sequentially formed as an encapsulation means on the substrate 101 on which the cathode 128 is formed. can be formed.

1차 보호막(113a)의 경우 무기절연막으로 이루어져 있어 하부 TFT 단차에 의해 단차를 가지게 되나, 그 상부에 위치하는 유기막(113b)이 평탄화 역할을 하기 때문에 2차 보호막(113c)은 하부 막에 의한 단차에 영향을 받지 않게 된다. 또한, 폴리머로 이루어진 유기막(113b)의 두께가 충분히 두껍기 때문에 이물에 의한 크랙(crack)도 보완해 줄 수 있다.In the case of the primary protective film 113a, it is made of an inorganic insulating film and thus has a step difference due to the lower TFT step. However, since the organic film 113b located on the upper part plays a planarization role, the secondary protective film 113c is formed by the lower TFT. It is not affected by the step difference. In addition, since the thickness of the organic layer 113b made of a polymer is sufficiently thick, cracks caused by foreign substances can be compensated for.

2차 보호막(113c)이 형성된 기판(101) 전면에는 봉지를 위해 다층으로 이루어진 보호필름(115)이 대향하여 위치하게 되며, 기판(101)과 보호필름(115) 사이에는 투명하며 접착 특성을 갖는 점착제(114)가 개재되어 있다.On the front surface of the substrate 101 on which the secondary protective film 113c is formed, a multi-layered protective film 115 is positioned to face each other for encapsulation, and is transparent between the substrate 101 and the protective film 115 and has adhesive properties. An adhesive 114 is interposed.

이때, 본 발명의 실시예의 경우에는 봉지층(110)의 1차, 2차 보호막(113a, 113c)의 증착, 일 예로 실리콘질화막(SiNx)의 증착에 PECVD의 화학기상증착 장비를 이용할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 대기압화학기상증착(Atmosphere Pressure Chemical Vapor Deposition; APCVD) 장비나 저압화학기상증착(Low Pressure Chemical Vapor Deposition; LPCVD) 장비, 또는 Thermal CVD 장비나 PCVD 장비 등도 사용 가능하다.At this time, in the case of the embodiment of the present invention, chemical vapor deposition equipment of PECVD may be used to deposit the primary and secondary protective films 113a and 113c of the encapsulation layer 110 , for example, a silicon nitride film (SiNx). However, the present invention is not limited thereto, and atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) equipment, low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) equipment, or thermal CVD equipment or PCVD equipment may also be used. It is possible.

이 경우 전술한 바와 같이 필요한 영역, 즉 TFT 패드부를 제외한 화소부에만 실리콘질화막을 증착하기 위해 마스크를 사용하게 되며, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.In this case, as described above, a mask is used to deposit the silicon nitride film only on the pixel portion except for the necessary region, that is, the TFT pad portion, which will be described in detail with reference to the drawings.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 구조를 개략적으로 보여주는 평면도이다.4 is a plan view schematically showing the structure of a chemical vapor deposition mask according to an embodiment of the present invention.

도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 확대하여 보여주는 도면이다.5A and 5B are enlarged views showing a portion A of the chemical vapor deposition mask according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4 .

그리고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크를 확대하여 보여주는 도면이다.6A and 6B are enlarged views showing a chemical vapor deposition mask according to another embodiment of the present invention.

도 7은 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 개략적으로 보여주는 사시도이다.7 is a perspective view schematically showing a portion A of the chemical vapor deposition mask according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4 .

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크(150)는 기판에 고정되는 틀 형태의 프레임(152)과 TFT 패드부를 가리는 바(151)로 이루어진다.Referring to FIG. 4 , the chemical vapor deposition mask 150 according to the embodiment of the present invention includes a frame 152 fixed to a substrate and a bar 151 covering the TFT pad portion.

일 예로, 마스크(150)는 0.05T의 인바(invar) 재질로 구성될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the mask 150 may be made of an invar material of 0.05T. However, the present invention is not limited thereto.

인바는 철 63.5%에 니켈 36.5%를 첨가하여 열팽창계수가 작은 합금을 말하며, 온도 변화에 거의 치수가 변하지 않는 특성을 가지고 있다.Invar refers to an alloy with a small coefficient of thermal expansion by adding 36.5% of nickel to 63.5% of iron, and has a characteristic that the dimensions do not change with temperature changes.

다만, 이러한 특성에도 불구하고 화학기상증착 장비의 고온과 플라즈마, 그리고 세정 시 사용되는 NF3 가스에 의해 마스크(150) 강도가 약해지고 바(151)가 늘어나게 된다.However, despite these characteristics, the strength of the mask 150 is weakened and the bar 151 is increased due to the high temperature and plasma of the chemical vapor deposition equipment, and the NF 3 gas used for cleaning.

이에 따라 기존에는 TFT 패드부에도 실리콘질화막이 증착되고, 이는 유기전계발광 표시장치의 신뢰성에 큰 영향을 끼친다. 또한, 이러한 문제를 해결하기 위해 주기적으로 마스크를 교체해야 하기 때문에 제작비용이 증가한다.Accordingly, conventionally, a silicon nitride film is also deposited on the TFT pad portion, which greatly affects the reliability of the organic light emitting display device. In addition, in order to solve this problem, the manufacturing cost increases because the mask must be replaced periodically.

그래서, 이러한 문제점을 해결하고자 본 발명의 마스크(150)는 바(151)의 일측(일 예로, 도 4의 우측)에 웜 기어(worm gear)를 구비하여 고온과 플라즈마에 의해 늘어진 바(151)를 주기적으로 당겨 팽팽한 상태를 유지하도록 함으로써 바(151)의 들뜸을 개선하는 것을 특징으로 한다.So, in order to solve this problem, the mask 150 of the present invention is provided with a worm gear on one side (eg, the right side of FIG. 4 ) of the bar 151 , and the bar 151 is stretched by high temperature and plasma. It is characterized in that the lifting of the bar 151 is improved by periodically pulling the to maintain a taut state.

이때, 바(151)의 다른 일측(일 예로, 도 4의 좌측)은 마스크(150)의 프레임(152)에 용접(welding)되어 고정된다.At this time, the other side (eg, the left side of FIG. 4 ) of the bar 151 is welded to and fixed to the frame 152 of the mask 150 .

웜 기어는 서로 다른 평면에서 수직으로 만나는 두 축 사이에 회전운동을 전달하는 톱니바퀴이다. 한 줄 또는 여러 줄로 된 나사 모양의 이(tooth)를 가진 웜과 평평한 톱니바퀴 모양의 웜 휠로 구성된다.A worm gear is a cog wheel that transmits rotational motion between two axes that meet perpendicularly in different planes. It consists of a worm with a single or multiple rows of threaded teeth and a flat toothed worm wheel.

도 5a와 도 5b 및 도 7을 참조하면, 프레임(152)의 개방된 영역에 웜(153a)과 웜 휠(154a)이 서로 직교하고 있으며, 웜(153a)과 웜 휠(154a)은 각각 제 1 축(153)과 제 2 축(154)에 연결되어 있다.5A, 5B, and 7, the worm 153a and the worm wheel 154a are orthogonal to each other in the open area of the frame 152, and the worm 153a and the worm wheel 154a are each It is connected to the first shaft 153 and the second shaft 154 .

즉, 웜(153a)과 웜 휠(154a)은 프레임(152)에 홈을 파서 서로 직교하도록 장착된다.That is, the worm 153a and the worm wheel 154a are mounted to be perpendicular to each other by digging a groove in the frame 152 .

이때, 제 1 축(153)과 제 2 축(154)은 서로 직교하며, 제 1 축(153) 위에 제 2 축(154)이 놓여질 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제 2 축(154) 위에 제 1 축(153)이 놓여질 수도 있다.In this case, the first axis 153 and the second axis 154 are orthogonal to each other, and the second axis 154 may be placed on the first axis 153 . However, the present invention is not limited thereto, and the first shaft 153 may be placed on the second shaft 154 .

제 2 축(154)의 양측은 회전할 수 있도록 프레임(152)에 장착된다.Both sides of the second shaft 154 are mounted on the frame 152 to be able to rotate.

제 2 축(154)에는 바(151)의 일측이 용접되어 고정되며, 제 2 축(154)의 회전에 따라 바(151)의 일측이 제 2 축(154)의 외주면을 따라 감기게 된다. 즉, 바(151)의 일측은 프레임(152)에 용접되지 않고 길게 제작되어 제 2 축(154)에 용접된다.One side of the bar 151 is fixed to the second shaft 154 by welding, and as the second shaft 154 rotates, one side of the bar 151 is wound along the outer circumferential surface of the second shaft 154 . That is, one side of the bar 151 is not welded to the frame 152 , but is manufactured to be elongated and welded to the second shaft 154 .

제 1 축(153)의 일측은 회전할 수 있도록 프레임(152)에 장착되며, 다른 일측은 수직으로 꺾여 제 1 축(153)을 회전시킬 수 있는 손잡이(155)를 구성할 수 있다.One side of the first shaft 153 may be mounted on the frame 152 to be rotated, and the other side may be vertically bent to constitute a handle 155 capable of rotating the first shaft 153 .

즉, 작업자는 손잡이(155)를 통해 제 1 축(153)을 회전시킬 수 있으며, 제 1 축(153)은 웜(153a)이 결합되어 있어 웜(153a)과 치합하는 웜 휠(154a)에 회전력을 전달한다. 그리고, 웜 휠(154a)의 회전에 따라 바(151)의 일측이 제 2 축(154)의 외주면을 따라 감기게 된다.That is, the operator can rotate the first shaft 153 through the handle 155, and the first shaft 153 has a worm (153a) coupled to the worm wheel (154a) that meshes with the worm (153a). transmit rotational force. And, as the worm wheel 154a rotates, one side of the bar 151 is wound along the outer circumferential surface of the second shaft 154 .

이와 같이 손잡이(155)를 돌리면, 제 1 축(153)뿐만 아니라 바(151)가 용접된 제 2 축(154)이 자동으로 회전한다. 따라서, 바(151)가 어떤 외부의 힘에 의해 강도가 약해져 늘어나거나 늘어지게 되면, 작업자는 손잡이(155)를 돌려 바(151)가 항상 팽팽해지도록 할 수 있다.When the handle 155 is turned in this way, the second shaft 154 to which the bar 151 is welded as well as the first shaft 153 automatically rotates. Accordingly, when the bar 151 is stretched or stretched due to a weakened strength by some external force, the operator can turn the handle 155 so that the bar 151 is always taut.

제 1 축(153)과 제 2 축(154) 중 적어도 하나의 축은 일 방향으로만 회전할 수 있도록 제 1 축(153) 및/또는 제 2 축(154)에 추가적인 고정수단(미도시)이 구비될 수 있다. 즉, 작업자가 손잡이(155)를 돌려 바(151)를 당기는 경우 바(151)에 텐션(tension)이 작용하며, 이러한 텐션에 의해 바(151)가 원래대로 회복하려고 제 1 축(153) 및/또는 제 2 축(154)이 역회전을 할 수 있다. 고정수단은 이러한 제 1 축(153) 및/또는 제 2 축(154)의 역회전을 방지하는 역할을 한다.At least one of the first shaft 153 and the second shaft 154 has an additional fixing means (not shown) on the first shaft 153 and/or the second shaft 154 so that it can rotate in only one direction. can be provided. That is, when the operator turns the handle 155 and pulls the bar 151, tension acts on the bar 151, and by this tension, the first shaft 153 and / or the second shaft 154 may be rotated in reverse. The fixing means serves to prevent reverse rotation of the first shaft 153 and/or the second shaft 154 .

웜 휠(154a)은 제 2 축(154)과 별도의 장치로 구성되어 제 2 축(154)과 결합될 수도 있고, 제 2 축(154)의 외주면을 따라 웜 휠(154a)을 형성하여 제 2 축(154)과 일체로 하는 것도 가능하다.The worm wheel 154a is configured as a device separate from the second shaft 154 and may be combined with the second shaft 154, and the worm wheel 154a is formed along the outer circumferential surface of the second shaft 154 to form the second shaft 154. It is also possible to integrate with the two shafts 154 .

참고로, 도 5b는 웜(153a)과 웜 휠(154a)이 치합된 상태를 보여주고 있다. 웜(153a)은 단일 톱니(one tooth) 및 소정의 리드각(lead angle)을 갖는다.For reference, FIG. 5B shows a state in which the worm 153a and the worm wheel 154a are engaged. The worm 153a has one tooth and a predetermined lead angle.

다른 예로, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 프레임(252)의 개방된 영역에 웜(253a)과 웜 휠(254a)이 서로 직교하고 있으며, 웜(253a)과 웜 휠(254a)은 각각 제 2 축(254)과 제 1 축(253)에 연결되어 있다.As another example, referring to FIGS. 6A and 6B , the worm 253a and the worm wheel 254a are orthogonal to each other in the open area of the frame 252 , and the worm 253a and the worm wheel 254a are respectively second It is connected to the second shaft 254 and the first shaft 253 .

이때, 제 1 축(253)과 제 2 축(254)은 서로 직교하며, 제 2 축(254) 위에 제 1 축(253)이 놓여질 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1 축(253) 위에 제 2 축(254)이 놓여질 수도 있다.In this case, the first axis 253 and the second axis 254 are orthogonal to each other, and the first axis 253 may be placed on the second axis 254 . However, the present invention is not limited thereto, and the second shaft 254 may be placed on the first shaft 253 .

제 2 축(254)의 양측은 회전할 수 있도록 프레임(252)에 장착된다.Both sides of the second shaft 254 are mounted on the frame 252 to be able to rotate.

제 2 축(254)에는 바(251)의 일측이 용접되어 고정되며, 제 2 축(254)의 회전에 따라 바(251)의 일측이 제 2 축(254)의 외주면을 따라 감기게 된다.One side of the bar 251 is fixed to the second shaft 254 by welding, and as the second shaft 254 rotates, one side of the bar 251 is wound along the outer circumferential surface of the second shaft 254 .

제 1 축(253)의 일측은 회전할 수 있도록 프레임(252)에 장착되며, 다른 일측은 수직으로 꺾여 제 1 축(253)을 회전시킬 수 있는 손잡이(255)를 구성할 수 있다.One side of the first shaft 253 may be mounted on the frame 252 to be rotated, and the other side may be vertically bent to constitute a handle 255 capable of rotating the first shaft 253 .

즉, 작업자는 손잡이(255)를 통해 제 1 축(253)을 회전시킬 수 있으며, 제 1 축(253)은 웜 휠(254a)이 결합되어 있어 웜 휠(254a)과 치합하는 웜(253a)에 회전력을 전달한다. 그리고, 웜(253a)의 회전에 따라 바(251)의 일측이 제 2 축(254)의 외주면을 따라 감기게 된다.That is, the operator can rotate the first shaft 253 through the handle 255, the first shaft 253 is a worm wheel (254a) is coupled to the worm (253a) meshing with the worm wheel (254a) transmits rotational force to And, as the worm 253a rotates, one side of the bar 251 is wound along the outer circumferential surface of the second shaft 254 .

전술한 바와 같이 제 1 축(253)과 제 2 축(254) 중 적어도 하나의 축은 일 방향으로만 회전할 수 있도록 제 1 축(253) 및/또는 제 2 축(254)에 추가적인 고정수단(미도시)이 구비될 수 있다.As described above, at least one of the first shaft 253 and the second shaft 254 rotates in only one direction, so that the first shaft 253 and/or the second shaft 254 additionally fixing means ( not shown) may be provided.

웜 휠(254a)은 제 1 축(253)과 별도의 장치로 구성되어 제 1 축(253)과 결합될 수도 있고, 제 1 축(253)의 외주면을 따라 웜 휠(254a)을 형성하여 제 1 축(253)과 일체로 하는 것도 가능하다.The worm wheel 254a is configured as a separate device from the first shaft 253 and may be combined with the first shaft 253, and formed by forming the worm wheel 254a along the outer circumferential surface of the first shaft 253 It is also possible to integrate with the single shaft 253 .

참고로, 도 6b는 웜(253a)과 웜 휠(254a)이 치합된 상태를 보여주고 있다. 웜(253a)은 단일 톱니 및 소정의 리드각을 갖는다.For reference, FIG. 6B shows a state in which the worm 253a and the worm wheel 254a are engaged. The worm 253a has a single tooth and a predetermined lead angle.

상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.Although many matters are specifically described in the above description, these should be construed as examples of preferred embodiments rather than limiting the scope of the invention. Therefore, the invention should not be defined by the described embodiments, but should be defined by the claims and equivalents to the claims.

101 : 기판 110 : 봉지층
113a : 1차 보호막 113b : 유기막
113c : 2차 보호막 130 : 유기발광다이오드
150 : 마스크 151,251 : 바
152,252 : 프레임 153,253 : 제 1 축
153a,253a : 웜 154,254 : 제 2 축
154a,254a : 웜 휠 155,255 : 손잡이101: substrate 110: encapsulation layer
113a: primary protective film 113b: organic film
113c: secondary protective layer 130: organic light emitting diode
150: mask 151,251: bar
152,252: frame 153,253: first axis
153a,253a: worm 154,254: second axis
154a,254a: worm wheel 155,255: handle

Claims (10)

유기전계발광 표시장치의 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 있어,
기판에 고정되는 틀 형태의 프레임;
상기 프레임의 일측에서 다른 일측을 가로지르는 다수의 바(bar);
상기 바의 일측이 고정되는 제1축; 및
상기 제1축과 연결되어 상기 제1축을 회전시켜 상기 바를 상기 제1축의 외주면에 감아 상기 바를 당겨 팽팽한 상태를 유지하는 웜 기어(worm gear)를 포함하는 화학기상 증착용 마스크.In a chemical vapor deposition mask used to deposit a protective film for encapsulation of an organic light emitting display device,
a frame-shaped frame fixed to the substrate;
a plurality of bars crossing the other side from one side of the frame;
a first shaft to which one side of the bar is fixed; and
and a worm gear connected to the first shaft to rotate the first shaft to wind the bar around the outer circumferential surface of the first shaft and to pull the bar to maintain a taut state. 제 1 항에 있어서, 상기 바는 상기 기판의 TFT 패드부를 가리는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.The chemical vapor deposition mask of claim 1, wherein the bar covers the TFT pad portion of the substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 웜 기어는 상기 프레임의 개방된 영역에 구비되며, 서로 직교하는 웜과 웜 휠(worm wheel)로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.The chemical vapor deposition mask according to claim 1, wherein the worm gear is provided in an open area of the frame, and comprises a worm and a worm wheel orthogonal to each other. 제 3 항에 있어서, 상기 웜 휠과 웜은 각각 상기 제 1 축과 제 2 축에 연결되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.The chemical vapor deposition mask according to claim 3, wherein the worm wheel and the worm are respectively connected to the first shaft and the second shaft. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 축과 상기 제 2 축은 상기 프레임에 서로 직교하도록 장착되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.5. The chemical vapor deposition mask of claim 4, wherein the first axis and the second axis are mounted to the frame so as to be perpendicular to each other. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 축의 양측은 회전할 수 있도록 상기 프레임에 장착되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.[Claim 5] The chemical vapor deposition mask of claim 4, wherein both sides of the first axis are mounted to the frame so as to be rotatable. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 바의 다른 일측은 상기 프레임에 고정되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.The chemical vapor deposition mask of claim 1, wherein the other side of the bar is fixed to the frame. 제 4 항에 있어서, 상기 제 2 축의 일측은 회전할 수 있도록 상기 프레임에 장착되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.[Claim 5] The chemical vapor deposition mask of claim 4, wherein one side of the second shaft is mounted to the frame so as to be rotatable. 제 9 항에 있어서, 상기 제 2 축의 다른 일측은 수직으로 꺾여 상기 제 1 축을 회전시키는 손잡이를 구성하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.10. The chemical vapor deposition mask of claim 9, wherein the other side of the second shaft is bent vertically to constitute a handle for rotating the first shaft.
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