KR102263400B1 - Clean room/smock room air conditioning system and method of operating the same - Google Patents

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KR102263400B1 KR1020200126379A KR20200126379A KR102263400B1 KR 102263400 B1 KR102263400 B1 KR 102263400B1 KR 1020200126379 A KR1020200126379 A KR 1020200126379A KR 20200126379 A KR20200126379 A KR 20200126379A KR 102263400 B1 KR102263400 B1 KR 102263400B1
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박원신
이건상
임유승
강종석
유병옥
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삼성엔지니어링 주식회사
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Abstract

Disclosed are a clean room/smock room air conditioning system and an operating method thereof. According to the present disclosure, the clean room/smock room air conditioning system comprises: a clean room and smock room installed adjacent to each other in a building; an outdoor air handling unit configured to supply fresh air into the clean room/smock room; a dust/fire-prevention cabinet installed in the black room; an air circulation fan communicating with the dust/fire-prevention cabinet and configured to suck air in the dust/fire-prevention cabinet and then re-supply it to the clean room/smock room; and a deodorizing filter installed at the rear end of the air circulation fan and configured to remove odor components from the air discharged from the air circulation fan.

Description

클린룸과 스막룸 공기 조화 시스템 및 그의 운전방법{Clean room/smock room air conditioning system and method of operating the same}Clean room/smock room air conditioning system and operating method thereof

클린룸/스막룸 공기 조화 시스템 및 그의 운전방법이 개시된다. 보다 상세하게는, 방진화장을 구비하는 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템 및 그의 운전방법이 개시된다.Disclosed are a cleanroom/smokroom air conditioning system and an operating method thereof. More particularly, a clean room/smok room air conditioning system having a dustproof makeup and an operating method thereof are disclosed.

클린룸을 보유한 플랜트에는 클린룸 출입을 위한 스막룸이 필수적으로 설치되고 특히, IT 기기 부품 플랜트는 다수의 조립공정을 구비하는 특성상 공정 내에 많은 수의 작업자가 근무하고 있으며, 작업자를 위한 방진화를 보관하기 위하여 스막룸에 다수의 방진화장(clean room shoe rack)이 설치되어 있다.In a plant with a clean room, a black room for access to the clean room is essential. In particular, a large number of workers are working in the process due to the nature of IT equipment parts plants having multiple assembly processes, and dust protection for workers is required. A number of clean room shoe racks are installed in the smok room for storage.

방진화장은 방진화의 냄새 확산 방지를 위하여 상시 별도 배기를 하고 있으며, 상시 별도 배기를 하고 있음에도 불구하고 작업자가 몰리는 출퇴근 및 식사시간 등 피크 타임에는 냄새 확산으로 인하여 냄새에 대한 VOC(Voice of Client)를 해결하지는 못하고 있는 실정이다.In order to prevent the spread of odors, dust-proof makeup is always vented separately to prevent the spread of odors, and, despite the regular exhaust, VOC (Voice of Client) for odors due to the spread of odors during peak times such as commuting and meal times when workers are crowded. has not been able to solve it.

기존에는 방진화장에서 상시 별도 배기하고, 공기 밸런스(air balance)를 위해, 배기된 풍량 만큼 외기를 외조기에서 냉각, 가열 및 제습을 하여 다시 해당 룸으로 공급해야 하므로 외기 부하 증가로 인한 막대한 에너지 손실이 발생하고 있다.In the past, the dust-proof makeup was always exhausted separately, and for air balance, the external air was cooled, heated, and dehumidified by the external air conditioner as much as the amount of exhausted air, and then supplied to the room again, resulting in huge energy loss due to the increase in the external air load. This is happening.

따라서, 냄새에 대한 VOC를 해결하고 에너지 절감이 가능한 스막룸에 대한 공기 조화 시스템의 개발이 시급히 요구되는 실정이다.Therefore, there is an urgent need to develop an air conditioning system for a smok room that can solve VOC for odor and can save energy.

본 발명의 일 구현예는 방진화장을 구비하는 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템을 제공한다.One embodiment of the present invention provides a clean room/smak room air conditioning system having a dustproof makeup.

본 발명의 다른 구현예는 상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법을 제공한다.Another embodiment of the present invention provides a method of operating the cleanroom/smacroom air conditioning system.

본 발명의 일 측면은,One aspect of the present invention is

건축물내에 서로 인접하여 설치된 클린룸과 스막룸;Clean room and black room installed adjacent to each other in the building;

상기 클린룸/스막룸내에 신선한 공기를 공급하도록 구성된 외조기;an external device configured to supply fresh air into the clean room/smok room;

상기 스막룸내에 설치된 방진화장;Anti-vibration makeup installed in the black room;

상기 방진화장과 연통되어 상기 방진화장내의 공기를 흡입한 후 상기 클린룸/스막룸으로 재공급하도록 구성된 공기 순환팬; 및an air circulation fan communicating with the anti-vibration makeup and configured to suck air in the dust-proof makeup and then re-supply it to the clean room/smak room; and

상기 공기 순환팬의 후단에 설치된 것으로, 상기 공기 순환팬으로부터 배출된 공기로부터 냄새 성분을 제거하도록 구성된 탈취필터를 포함하는 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템을 제공한다.It provides a clean room/smak room air conditioning system including a deodorizing filter installed at the rear end of the air circulation fan and configured to remove odor components from the air discharged from the air circulation fan.

상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템은 상기 클린룸/스막룸과 상기 외조기 사이에 이들과 연통되게 설치된 팬필터유닛을 더 포함할 수 있다.The clean room/smak room air conditioning system may further include a fan filter unit installed between the clean room/smak room and the external air conditioner to communicate with them.

상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템은, 상기 건축물의 내벽 및 상기 클린룸/스막룸의 외벽 사이에 설치된 것으로, 상기 클린룸/스막룸내의 순환공기의 통로 및 상기 클린룸내의 생산설비 및 상기 스막룸으로부터 배출되는 배기의 통로로 작용하는 환기 플리넘을 더 포함할 수 있다.The cleanroom/smokroom air conditioning system is installed between the inner wall of the building and the outer wall of the cleanroom/smokroom, and includes a passage of circulating air in the cleanroom/smokroom, a production facility in the cleanroom, and the It may further include a ventilation plenum serving as a passage for the exhaust discharged from the makroom.

상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템은 상기 환기 플리넘 중 상기 클린룸/스막룸의 하부에 위치하는 부분과 연결된 배관과 연통되어 상기 클린룸내의 생산설비 및 상기 스막룸으로부터 배출된 배기 중의 불순물을 제거하도록 구성된 흡착탑을 더 포함할 수 있다.The cleanroom/smokroom air conditioning system communicates with a pipe connected to a portion located below the cleanroom/smokroom of the ventilation plenum to remove impurities in the production equipment in the cleanroom and exhaust exhaust from the smokroom It may further include an adsorption tower configured to remove.

상기 공기 순환팬 및 상기 탈취필터는 상기 환기 플리넘에 설치된 것일 수 있다.The air circulation fan and the deodorization filter may be installed in the ventilation plenum.

상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템은 상기 스막룸의 바닥과 상기 환기 플리넘 사이에 설치된 맨발구간 탈취유닛을 더 포함할 수 있다.The clean room/smak room air conditioning system may further include a barefoot section deodorization unit installed between the floor of the smok room and the ventilation plenum.

본 발명의 다른 측면은,Another aspect of the present invention is

상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법으로서, As a method of operating the clean room / smok room air conditioning system,

상기 외조기에서 신선한 공기를 생성하여 상기 클린룸/스막룸내에 공급하는 단계(S10);generating fresh air in the external tank and supplying it to the clean room/smok room (S10);

상기 방진화장내의 공기를 흡입하여 냄새 성분을 제거한 후 차례로 환기 플리넘 및 팬필터유닛을 통해 상기 클린룸/스막룸으로 재공급하는 단계(S20); 및removing the odor component by sucking air in the dustproof makeup and then re-supplying it to the clean room/smak room through a ventilation plenum and a fan filter unit in turn (S20); and

상기 클린룸내의 생산설비 및 상기 스막룸으로부터 배출된 배기를 상기 환기 플리넘 중 상기 스막룸의 하부에 위치하는 부분과 연결된 배관을 통해 흡착탑으로 공급하는 단계(S30)를 포함하는 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법을 제공한다.A clean room/smok room comprising the step (S30) of supplying the production equipment in the clean room and the exhaust discharged from the smok room to the adsorption tower through a pipe connected to a portion of the ventilation plenum located below the smok room A method of operating an air conditioning system is provided.

상기 단계(S10)는 상기 외조기에서 신선한 공기를 생성하여 팬필터유닛에 공급하는 단계(S10-1) 및 상기 팬필터유닛을 통과한 공기를 상기 클린룸/스막룸내에 공급하는 단계(S10-2)를 포함할 수 있다.The step (S10) includes the steps of supplying fresh air to the fan filter unit by generating fresh air from the external tank (S10-1) and supplying the air that has passed through the fan filter unit into the clean room/smak room (S10-) 2) may be included.

상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법은 상기 스막룸의 내부로서 상기 방진화장의 외부 공기를 흡입하여 냄새 성분을 제거한 후 차례로 환기 플리넘 및 팬필터유닛을 통해 상기 클린룸/스막룸으로 재공급하는 단계(S25)를 더 포함할 수 있다.The operation method of the cleanroom/smakroom air conditioning system is to remove odor components by sucking in the outside air of the dustproof makeup as the inside of the smokroom, and then to the cleanroom/smakroom through the ventilation plenum and fan filter unit in turn. It may further include the step of resupplying (S25).

본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템은 냄새에 대한 VOC를 해결하고 외기량을 줄여 에너지 절감 효과를 달성할 수 있다.The clean room/smok room air conditioning system according to an embodiment of the present invention can achieve an energy saving effect by solving VOCs for odors and reducing the amount of outside air.

도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a cleanroom/smokroom air conditioning system according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템을 상세히 설명한다.Hereinafter, a cleanroom/smokroom air conditioning system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 명세서에서, "클린룸(clean room)"이란 IT 기기 부품 플랜트 등에서 제품을 생산하는 청정공간을 의미한다.In this specification, the term "clean room" refers to a clean space in which products are produced in an IT equipment parts plant or the like.

또한 본 명세서에서, "스막룸(smock room)"이란 IT 기기 부품 플랜트의 등의 클린룸을 출입하기 위한 방진복 및 방진화를 보관할 수 있도록 장을 설치해 놓은 청정공간을 의미한다.In addition, in this specification, "smock room" means a clean space in which a cabinet is installed to store dust-proof clothes and anti-vibration shoes for entering and exiting a clean room of an IT device component plant.

또한 본 명세서에서, "방진화장(clean room shoe rack)"이란 방진화 수납장을 의미한다.Also, in this specification, the term "clean room shoe rack" refers to a dustproof storage closet.

또한 본 명세서에서, "외부"란 공기 조화 시스템의 외부를 의미한다.Also, in this specification, "outside" means the outside of the air conditioning system.

또한 본 명세서에서, "건축물의 내벽"이란 건축물의 내측벽으로서 바닥부, 천정부 및 측벽부를 통칭하는 개념이다.Also, in this specification, the term "inner wall of a building" is a concept that collectively refers to a floor, a ceiling, and a side wall as an inner wall of a building.

또한 본 명세서에서, "클린룸/스막룸의 외벽"이란 클린룸과 스막룸 전체의 외측벽으로서 바닥부, 천정부 및 측벽부를 통칭하는 개념이다.Also, in this specification, the term "outer wall of a clean room/smok room" is a concept that collectively refers to a floor, a ceiling, and a side wall as an outer wall of the entire clean room and the smok room.

또한 본 명세서에서, "클린룸/스막룸"이란 클린룸과 스막룸을 함께 지칭하는 용어이다. Also, in this specification, "clean room/smok room" is a term that refers to both a clean room and a smok room.

도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템(100)을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating a cleanroom/smokroom air conditioning system 100 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템(100)은 팬필터유닛(120), 클린룸(130), 스막룸(140), 방진화장(150), 순환공기 챔버(160), 맨발구간 탈취유닛(165), 공기 순환팬(170), 탈취필터(180), 외조기(190) 및 흡착탑(195)을 포함한다.A clean room/smok room air conditioning system 100 according to an embodiment of the present invention includes a fan filter unit 120 , a clean room 130 , a smok room 140 , a dustproof makeup 150 , and a circulating air chamber 160 . ), a barefoot section deodorization unit 165, an air circulation fan 170, a deodorization filter 180, an outer tank 190 and an adsorption tower 195.

팬필터유닛(120)은 외조기(190)로부터 공급된 신선한 공기(FA) 및 클린룸(130)/스막룸(140)에서 순환된 공기 중의 불순물을 제거하여 청정공기를 생성하는 역할을 수행한다. 이러한 팬필터유닛(120)은 클린룸(130)/스막룸(140)과 외조기(190) 사이에 이들과 연통되게 설치될 수 있다. 예를 들어, 팬필터유닛(120)은 클린룸(130)/스막룸(140)의 천장에 설치될 수 있다.The fan filter unit 120 serves to generate clean air by removing impurities in the fresh air (FA) supplied from the outer tank 190 and the air circulated in the clean room 130/smok room 140 . . The fan filter unit 120 may be installed between the clean room 130/smok room 140 and the outdoor unit 190 to communicate with them. For example, the fan filter unit 120 may be installed on the ceiling of the clean room 130/smak room 140 .

또한, 팬필터유닛(120)은 팬이 장착된 고성능(HEPA) 필터 유닛일 수 있다.In addition, the fan filter unit 120 may be a high-performance (HEPA) filter unit equipped with a fan.

클린룸(130)과 스막룸(140)은 건축물(110)내에 서로 인접하여 설치될 수 있다.The clean room 130 and the smok room 140 may be installed adjacent to each other in the building 110 .

방진화장(150)은 스막룸(140)내에 설치될 수 있다.The anti-vibration makeup 150 may be installed in the black room 140 .

순환공기 챔버(160)는 방진화장(150)으로부터 배출된 공기를 모아서 일시적으로 저장했다가 배출하는 역할을 수행한다.The circulating air chamber 160 serves to collect and temporarily store the air discharged from the dustproof makeup 150 and then discharge it.

맨발구간 탈취유닛(165)은 작업자가 맨발로 딛는 구간의 하부에 설치되어 발에서 발생하는 냄새 성분을 제거하는 역할을 수행한다.The barefoot section deodorization unit 165 is installed in the lower part of the section where the worker walks barefoot and serves to remove odor components generated from the feet.

또한, 맨발구간 탈취유닛(165)은 하나 이상의 탈취필터를 포함할 수 있다.In addition, the barefoot section deodorization unit 165 may include one or more deodorizing filters.

공기 순환팬(170)은 방진화장(150)과 연통된 것으로, 방진화장(150)내의 공기를 순환공기 챔버(160) 및 배관(P2)를 통해 흡입한 후 후술하는 환기 플리넘(RP) 및 팬필터유닛(120)을 차례로 경유하여 클린룸(130)/스막룸(140)으로 재공급하도록 구성될 수 있다.The air circulation fan 170 communicates with the anti-vibration makeup 150, and after sucking the air in the dust-proof makeup 150 through the circulating air chamber 160 and the pipe P2, a ventilation plenum (RP) and It may be configured to re-supply to the clean room 130/smak room 140 via the fan filter unit 120 in turn.

탈취필터(180)는 공기 순환팬(170)의 후단에 설치된 것으로, 공기 순환팬(170)으로부터 배출된 공기로부터 냄새 성분(즉, 악취 성분)을 제거하도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 탈취필터(180)는 공기 순환팬(170)의 작용에 의해 방진화장(150)으로부터 배출된 공기 중의 냄새 성분을 제거하는 역할을 수행한다.The deodorization filter 180 is installed at the rear end of the air circulation fan 170 , and may be configured to remove odor components (ie, malodor components) from the air discharged from the air circulation fan 170 . Specifically, the deodorizing filter 180 serves to remove odor components in the air discharged from the dustproof makeup 150 by the action of the air circulation fan 170 .

또한, 탈취필터(180)는 프리필터(pre filter) 및 미디움필터(medium filter)를 포함할 수 있다.In addition, the deodorizing filter 180 may include a pre-filter and a medium filter (medium filter).

외조기(190)는 외기(OA)를 공급받아 신선한 공기(FA)를 생성하는 역할을 수행한다.The external air unit 190 serves to generate fresh air FA by receiving the external air OA.

또한, 외조기(190)는 상기 생성된 신선한 공기(FA)를 차례로 배관(P1) 및 팬필터유닛(120)을 통해 클린룸(130)/스막룸(140)으로 공급할 수 있다.In addition, the outer tank 190 may supply the generated fresh air FA to the clean room 130/smok room 140 through the pipe P1 and the fan filter unit 120 in turn.

또한, 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템(100)은 환기 플리넘(return air plenum)(RP)을 더 포함할 수 있다.In addition, the cleanroom/smokroom air conditioning system 100 may further include a return air plenum (RP).

환기 플리넘(RP)은 건축물(110)의 내벽 및 클린룸(130)/스막룸(140)의 외벽 사이에 설치된 것으로, 클린룸(130)/스막룸(140)내의 순환공기의 통로 및 클린룸(130)내의 생산설비(미도시)로부터 외부로 배출되는 배기(EA)를 흡착탑(195)까지 보내는 배관(P3)의 연결로로 작용하는 것일 수 있다.The ventilation plenum (RP) is installed between the inner wall of the building 110 and the outer wall of the clean room 130 / black room 140, and the passage of circulating air in the clean room 130 / black room 140 and clean It may act as a connection path of the pipe P3 for sending the exhaust EA discharged to the outside from the production facility (not shown) in the room 130 to the adsorption tower 195 .

흡착탑(195)은 차례로 가지배관(미도시) 및 환기 플리넘(RP) 중 클린룸(130)/스막룸(140)의 하부에 위치하는 부분과 연결된 배관(P3)을 통해 클린룸(130)내에 위치하는 생산설비와 연결되어 클린룸(130)내 생산설비로부터 배출된 배기(EA) 중의 불순물(유기성분 등)을 제거하도록 구성될 수 있다. 여기서, 배관(P3)은 상기 가지배관을 통해 클린룸(130)내에 위치하는 생산설비와 연결될 수 있다.The adsorption tower 195 is in turn connected to the branch pipe (not shown) and the part located in the lower part of the clean room 130/smak room 140 among the ventilation plenum (RP) through the pipe P3 connected to the clean room 130. It may be configured to be connected to a production facility located in the clean room 130 to remove impurities (organic components, etc.) in the exhaust EA discharged from the production facility in the clean room 130 . Here, the pipe P3 may be connected to a production facility located in the clean room 130 through the branch pipe.

상술한 공기 순환팬(170) 및 탈취필터(180)는 환기 플리넘(RP)(구체적으로, 클린룸(130)/스막룸(140)의 하부에 위치하는 부분)에 설치될 수 있다.The air circulation fan 170 and the deodorization filter 180 described above may be installed in the ventilation plenum RP (specifically, a portion located below the clean room 130/smak room 140 ).

이하에서는 도 1을 참조하여 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of operating a cleanroom/smokroom air conditioning system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1 .

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법은 외조기(190)에서 신선한 공기(FA)를 생성하여 클린룸(130)/스막룸(140)내에 공급하는 단계(S10), 방진화장(150)내의 공기를 흡입하여 냄새 성분을 제거한 후 차례로 환기 플리넘(RP) 및 팬필터유닛(120)을 통해 클린룸(130)/스막룸(140)으로 재공급하는 단계(S20), 및 클린룸내의 생산설비로부터 배출된 배기(EA)를 가지배관을 통해 환기 플리넘(RP) 중 클린룸(130)의 하부에 위치하는 부분과 연결된 배관(P3)으로 보내고, 이 배관(P3)을 통해 흡착탑(195)으로 공급하는 단계(S30)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , in the operating method of the cleanroom/smokroom air conditioning system according to an embodiment of the present invention, fresh air (FA) is generated in an external air conditioner 190 to create a cleanroom 130/smakroom 140 ) in the step of supplying (S10), the clean room 130/smak room 140 through the ventilation plenum (RP) and the fan filter unit 120 in turn after removing the odor component by sucking the air in the dustproof makeup 150 ) of the re-supply step (S20), and the exhaust (EA) discharged from the production facilities in the clean room through the branch pipe and connected to the part located in the lower part of the clean room (130) of the ventilation plenum (RP) ( and sending to P3), and supplying it to the adsorption tower 195 through this pipe (P3) (S30).

상기 단계(S10)는 외조기(190)에서 신선한 공기(FA)를 생성하여 팬필터유닛(120)에 공급하는 단계(S10-1) 및 팬필터유닛(120)을 통과한 공기를 클린룸(130)/스막룸(140)내에 공급하는 단계(S10-2)를 포함할 수 있다.The step (S10) is a step (S10-1) of generating fresh air (FA) in the external air conditioner 190 and supplying it to the fan filter unit 120, and the air passing through the fan filter unit 120 in a clean room ( 130)/supplying into the smokroom 140 (S10-2).

또한, 상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법은 스막룸(140)의 내부로서 방진화장(150)의 외부 공기를 흡입하여 냄새 성분을 제거한 후 차례로 환기 플리넘(RP) 및 팬필터유닛(120)을 통해 클린룸(130)/스막룸(140)으로 재공급하는 단계(S25)를 더 포함할 수 있다. In addition, the operation method of the clean room / smok room air conditioning system is the inside of the smok room 140 by sucking the outside air of the dust-proof makeup 150 to remove the odor components, and then the ventilation plenum (RP) and the fan filter unit in turn. The step of re-supplying to the clean room 130/smak room 140 through 120 ( S25 ) may be further included.

상기 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법은 스막룸(140) 및 그 내부의 방진화장(150)에서 발생하는 냄새를 효과적으로 제거할 수 있을 뿐만 아니라 외부로부터 외조기(190)로 공급되는 외기(OA)의 양(즉, 외기량)을 85% 감소시킬 수 있다. 구체적으로, 내부 공기 순환을 통해 배기량(EA 양)을 최소화함으로써 공조기(170)를 통해 보충되는 외기량(OA 양)을 최소화할 수 있다. 참고로, 상기 외기량, 상기 배기량 및 양압량은 하기 수학식 1의 관계를 가질 수 있다.The operation method of the cleanroom/smokroom air conditioning system can effectively remove odors generated in the smokroom 140 and the dustproof makeup 150 therein, as well as the outdoor air supplied from the outside to the outdoor air conditioner 190. The amount of (OA) (ie, the amount of outside air) can be reduced by 85%. Specifically, by minimizing the exhaust amount (EA amount) through internal air circulation, it is possible to minimize the outdoor air amount (OA amount) supplemented through the air conditioner 170 . For reference, the external air amount, the exhaust amount, and the positive pressure amount may have a relationship of Equation 1 below.

[수학식 1][Equation 1]

외기량 = 배기량 + 양압량External air volume = Displacement volume + Positive pressure volume

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일 구현예에 따른 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템(100) 및 그의 운전방법은 외조기(190)의 외기 부하 저감을 통해 에너지를 절감하고, 냄새에 대한 VOC 해결을 통해 고객 고착화(Lock in client)에 이바지할 수 있다. The cleanroom/smokroom air conditioning system 100 and its operating method according to an embodiment of the present invention having the above configuration save energy by reducing the external air load of the external air conditioner 190, and VOC for odor The solution can contribute to lock in client.

본 발명은 도면을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 구현예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다. Although the present invention has been described with reference to the drawings, which are exemplary only, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100: 클린룸/스막룸 공기 조화 시스템 110: 건축물
120: 팬필터유닛 130: 클린룸
140: 스막룸 150: 방진화장
160: 순환공기 챔버 165: 맨발구간 탈취유닛
170: 공기 순환팬 180: 탈취필터
190: 외조기 195: 흡착탑
P1~P3: 배관 FA: 신선한 공기
EA: 배기 OA: 외기100: clean room / small room air conditioning system 110: building
120: fan filter unit 130: clean room
140: black room 150: dustproof makeup
160: circulating air chamber 165: barefoot section deodorization unit
170: air circulation fan 180: deodorization filter
190: eozogi 195: adsorption tower
P1~P3: Pipe FA: Fresh Air
EA: Exhaust OA: Outside Air

Claims (9)

건축물내에 서로 인접하여 설치된 클린룸과 스막룸;
상기 클린룸과 상기 스막룸내에 신선한 공기를 공급하도록 구성된 외조기;
상기 스막룸내에 설치된 방진화장;
상기 방진화장과 연통되어 상기 방진화장내의 공기를 흡입한 후 상기 클린룸과 상기 스막룸내로 재공급하도록 구성된 공기 순환팬; 및
상기 공기 순환팬의 후단에 설치된 것으로, 상기 공기 순환팬으로부터 배출된 공기로부터 냄새 성분을 제거하도록 구성된 탈취필터를 포함하고,
상기 클린룸과 상기 외조기 사이 및 상기 스막룸과 상기 외조기 사이 각각에 이들과 연통되게 설치된 팬필터유닛을 더 포함하고,
상기 건축물의 내벽 및 상기 클린룸과 상기 스막룸 전체의 외측벽 사이에 설치된 것으로, 상기 클린룸과 상기 스막룸내의 순환공기의 통로 및 상기 클린룸내의 생산설비와 상기 스막룸으로부터 배출되는 배기의 통로로 작용하는 환기 플리넘을 더 포함하고,
상기 환기 플리넘은 상기 스막룸의 내부로서 상기 방진화장의 외부 공기와 상기 클린룸의 내부 공기가 상기 팬필터유닛을 통해 상기 클린룸과 상기 스막룸으로 재공급되는 순환공기의 통로로 작용하고,
상기 환기 플리넘 중 상기 클린룸과 상기 스막룸의 하부에 위치하는 부분과 연결된 배관과 연통되어 상기 클린룸내의 생산설비 및 상기 스막룸으로부터 배출된 배기 중의 불순물을 제거하도록 구성된 흡착탑을 더 포함하고,
상기 공기 순환팬 및 상기 탈취필터는 상기 환기 플리넘에 설치된 클린룸과 스막룸 공기 조화 시스템.Clean room and black room installed adjacent to each other in the building;
an external device configured to supply fresh air into the clean room and the black room;
Anti-vibration makeup installed in the black room;
an air circulation fan communicating with the anti-vibration makeup and configured to suck air in the dust-proof makeup and then re-supply it into the clean room and the black room; and
It is installed at the rear end of the air circulation fan, comprising a deodorizing filter configured to remove odor components from the air discharged from the air circulation fan,
Further comprising a fan filter unit installed in communication with the clean room and the outer tank and between the smok room and the outer tank, respectively,
It is installed between the inner wall of the building and the outer wall of the clean room and the entire black room, and is a passage for circulating air in the clean room and the black room, and a passage for exhaust discharged from the production equipment and the black room in the clean room. Further comprising a ventilation plenum acting,
The ventilation plenum is the inside of the smok room, and acts as a passage for circulation air through which the outside air of the dustproof makeup room and the inside air of the clean room are re-supplied to the clean room and the smok room through the fan filter unit,
The ventilation plenum further comprises an adsorption tower configured to communicate with a pipe connected to the clean room and a portion located below the smok room to remove impurities in the exhaust exhaust discharged from the production equipment in the clean room and the smok room,
The air circulation fan and the deodorizing filter are installed in the ventilation plenum in a clean room and a smok room air conditioning system. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 스막룸의 바닥과 상기 환기 플리넘 사이에 설치된 맨발구간 탈취유닛을 더 포함하는 클린룸과 스막룸 공기 조화 시스템.According to claim 1,
The clean room and smok room air conditioning system further comprising a barefoot section deodorization unit installed between the floor of the smok room and the ventilation plenum. 제1항 또는 제6항에 따른 클린룸과 스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법으로서,
상기 외조기에서 신선한 공기를 생성하여 상기 클린룸과 상기 스막룸내에 공급하는 단계(S10);
상기 방진화장내의 공기를 흡입하여 냄새 성분을 제거한 후 차례로 환기 플리넘 및 팬필터유닛을 통해 상기 클린룸과 상기 스막룸으로 재공급하는 단계(S20);
상기 스막룸의 내부로서 상기 방진화장의 외부 공기를 흡입하여 냄새 성분을 제거한 후 차례로 환기 플리넘 및 팬필터유닛을 통해 상기 클린룸과 상기 스막룸으로 재공급하는 단계(S25); 및
상기 클린룸내의 생산설비 및 상기 스막룸으로부터 배출된 배기를 상기 환기 플리넘 중 상기 스막룸의 하부에 위치하는 부분과 연결된 배관을 통해 흡착탑으로 공급하는 단계(S30)를 포함하고,
상기 단계(S10)는 상기 외조기에서 신선한 공기를 생성하여 팬필터유닛에 공급하는 단계(S10-1) 및 상기 팬필터유닛을 통과한 공기를 상기 클린룸과 상기 스막룸내에 공급하는 단계(S10-2)를 포함하는 클린룸과 스막룸 공기 조화 시스템의 운전방법.A method of operating the clean room and smok room air conditioning system according to claim 1 or 6, comprising:
generating fresh air in the outer tank and supplying it to the clean room and the smok room (S10);
removing the odor component by sucking the air in the dustproof makeup and then re-supplying it to the clean room and the smok room through the ventilation plenum and fan filter unit in turn (S20);
removing odor components by sucking in the outside air of the dust-proof makeup into the inside of the smok room, and then supplying it back to the clean room and the smok room through a ventilation plenum and a fan filter unit in turn (S25); and
supplying the production equipment in the clean room and the exhaust discharged from the smok room to the adsorption tower through a pipe connected to a portion of the ventilation plenum positioned below the smok room (S30),
The step (S10) includes the steps of supplying fresh air to the fan filter unit by generating fresh air from the external tank (S10-1) and supplying the air that has passed through the fan filter unit into the clean room and the black room (S10). Operation method of clean room and smok room air conditioning system including -2). 삭제delete 삭제delete
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