KR102254636B1 - Heating clamp - Google Patents

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KR102254636B1
KR102254636B1 KR1020200008569A KR20200008569A KR102254636B1 KR 102254636 B1 KR102254636 B1 KR 102254636B1 KR 1020200008569 A KR1020200008569 A KR 1020200008569A KR 20200008569 A KR20200008569 A KR 20200008569A KR 102254636 B1 KR102254636 B1 KR 102254636B1
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heating body
heating
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terminal block
groove
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KR1020200008569A
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박문수
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동주에이피 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a heating clamp that can be easily replaced or repaired with a detachably built-in cartridge heater, can be safely protected without exposing a wiring cable, and has improved work efficiency. The heating clamp includes a first heating body provided with a first fastening part for coupling with a terminal block and a first seating part for coupling with a fixing member, and into which a first cartridge heater is detachably inserted; a second heating body provided with a second fastening part for coupling with the terminal block and a second seating part for coupling with the fixing member, and into which a second cartridge heater is detachably inserted; the fixing member that includes the terminal block that is hinged to one sides of the first heating body and the second heating body, provided with a space for electrical connection to an outside, and has a width capable of limiting an opening angle of the first heating body and the second heating body; and a fixing bolt rotatably hinged to either the first seating part or the second seating part, and a fixing bar screwed to the fixing bolt and disposed on a remaining one of the first seating part or the second seating part.

Description

히팅 클램프{Heating clamp}Heating clamp

본 발명은 히팅 클램프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 내장된 카트리지 히터의 유지 보수가 편리하고 안전성 및 내구성이 향상된 히팅 클램프에 관한 것이다.The present invention relates to a heating clamp, and more particularly, to a heating clamp with improved safety and durability and convenient maintenance of the built-in cartridge heater.

반도체 제조 공정에서는 웨이퍼 상에 특정 패턴의 회로를 형성하기 위해 화학증착법(CVD)이나 에칭(etching) 등의 공정이 수행되며 여기에는 다양한 반응 가스가 사용된다.In a semiconductor manufacturing process, a process such as chemical vapor deposition (CVD) or etching is performed to form a circuit of a specific pattern on a wafer, and various reaction gases are used therein.

이러한 반응 가스는 활성화를 위해 고온인 상태로 사용되는데 저온 상태에서는 쉽게 응결되는 특성이 있다. 이로 인해 열손실이 용이한 이송 중에 쉽게 응결되고, 응결된 고형분이 밸브나 펌프에 고착되어 고장을 유발하거나, 배관 내벽에 적층되어 반응 가스의 흐름을 방해하거나 압력 상승을 유발하여 적정 공급이나 배출을 방해하는 일이 종종 발생한다.Such a reaction gas is used in a high temperature state for activation, but has a characteristic of being easily condensed in a low temperature state. Due to this, heat loss is easily condensed during easy transfer, and condensed solids adhere to valves or pumps and cause failure, or they are stacked on the inner wall of the pipe and interfere with the flow of reaction gas or cause pressure to rise to ensure proper supply or discharge. Interference often happens.

이에 따라 배관이나 밸브의 경우 자체적으로 히팅하여 이런 문제점을 해결하고 있고, 배관 대 배관이나 배관 대 밸브의 연결부위에 사용되는 클램프에 대해서도 아래와 같이 클램프에 가열 수단을 구비하여 이를 해결하고자 하는 종래기술이 개시되어 있다.Accordingly, in the case of pipes or valves, this problem is solved by heating the pipes or valves by themselves, and the conventional technology to solve this problem by providing a heating means in the clamp as follows is also provided for the clamps used at the pipe-to-pipe or pipe to valve connection part. It is disclosed.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 배관 연결용 클램프는 배관 연결부를 감싸는 몸체(10), 상기 몸체의 일부분을 연결하며 연결 부분의 길이를 조절하여 상기 배관 연결부와 상기 몸체 사이를 밀착시키는 조임 수단(20), 및 상기 몸체와 접촉하여 상기 배관 연결부를 가열하는 가열 수단(30)을 포함한다.As shown in Fig. 1, a conventional pipe connection clamp includes a body 10 surrounding a pipe connection, a tightening means for connecting a part of the body and adjusting the length of the connection part to make close contact between the pipe connection part and the body. (20), and a heating means (30) for heating the pipe connection by contacting the body.

또는 도 2에 도시된 바와 같이, 조임 수단(21)은 스패너 등의 도구를 이용하여 몸체(11)를 배관 연결부에 밀착시키고, 몸체(11)의 내부에 발열체(31)을 장착할 수 있는 통로를 형성하며, 상기 통로는 몸체(11)의 내부에서 몸체(11)와 함께 배관 연결부를 감싸서 배관 연결부의 모든 부분을 가열하도록 한다.Or, as shown in Figure 2, the tightening means 21 is a passage through which the body 11 is in close contact with the pipe connection part using a tool such as a spanner, and the heating element 31 is mounted inside the body 11 And the passage surrounds the pipe connection part together with the body 11 inside the body 11 to heat all parts of the pipe connection part.

그러나 종래 기술의 배관 연결용 클램프는 도 1과 같이 발열체가 외부로 노출되어 있는 경우 손상이나 부식의 위험이 있고, 도 2와 같이 발열체가 몸체 내부의 통로에 형성되는 경우 발열체의 유지 보수가 어렵다는 문제가 있다.However, in the case of the conventional pipe connection clamp, there is a risk of damage or corrosion when the heating element is exposed to the outside as shown in FIG. 1, and maintenance of the heating element is difficult when the heating element is formed in the passage inside the body as shown in FIG. There is.

또한, 연결하려고 하는 배관에 플랜지가 형성된 경우 상기 종래 기술의 클램프로는 연결이 곤란하다는 문제가 있다.In addition, when a flange is formed on a pipe to be connected, there is a problem that it is difficult to connect with the clamp of the prior art.

또한, 제어부(41)는 몸체(11)의 일부에 형성된 구멍을 통하여 발열체(31)에 연결되어 있어 전선이 외부 환경에 노출될 수밖에 없는데, 전체 반도체 설비에는 매우 많은 클램프가 설치되는바, 결과적으로 수많은 전선이 노출되어 단선 등 안전상 문제를 유발하게 되고 전기적 연결을 위한 작업에 적지 않은 시간이 소요된다.In addition, the control unit 41 is connected to the heating element 31 through a hole formed in a part of the body 11, so that the wire is inevitably exposed to the external environment. Numerous wires are exposed, causing safety problems such as disconnection, and it takes a considerable amount of time to work for electrical connection.

공개특허공보 제10-2007-0043455호(2007. 4. 25. 공개)Unexamined Patent Publication No. 10-2007-0043455 (published on April 25, 2007)

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 카트리지 히터를 착탈 가능하게 내장하고 그 교체나 수리가 용이하며 배선 케이블의 단선을 방지하고 작업 효율성이 향상된 히팅 클램프를 제공하는 것이다.The problem to be solved in the present invention is to provide a heating clamp with a cartridge heater installed in a detachable manner, easy to replace or repair, prevent disconnection of a wiring cable, and improve work efficiency.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 히팅 클램프는, 단자블록과의 결합을 위한 제1 체결부와, 고정구와의 결합을 위한 제1 안착부가 구비되고, 제1 카트리지 히터가 착탈 가능하게 삽입되는 제1 히팅바디; 단자블록과의 결합을 위한 제2 체결부와, 고정구와의 결합을 위한 제2 안착부가 구비되고, 제2 카트리지 히터가 착탈 가능하게 삽입되는 제2 히팅바디; 상기 제1 히팅바디와 제2 히팅바디의 일측에 힌지 결합되고 외부와의 전기적 연결을 위한 공간이 제공되며 상기 제1 히팅바디와 제2 히팅바디의 개방 각도를 제한할 수 있는 폭으로 구비되는 단자블록; 및 상기 제1 안착부 또는 제2 안착부의 어느 하나에 회동 가능하게 힌지 결합되는 고정볼트와, 상기 고정볼트에 나사결합되되 상기 제1 안착부 또는 제2 안착부의 다른 하나에 배치되는 고정바로 이루어지는 고정구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the heating clamp of the present invention includes a first fastening part for coupling with a terminal block and a first seating part for coupling with a fixture, and the first cartridge heater is detachably inserted. 1 heating body; A second heating body having a second fastening portion for coupling with the terminal block and a second mounting portion for coupling with the fixture, and into which a second cartridge heater is detachably inserted; A terminal hinged to one side of the first heating body and the second heating body, providing a space for electrical connection with the outside, and having a width that can limit the opening angle of the first heating body and the second heating body block; And a fixing bolt that is hingedly coupled to either of the first or second seating portions, and a fixing bar that is screwed to the fixing bolt and is disposed on the other of the first seating portion or the second seating portion. It characterized in that it includes;

또한, 상기 제1 히팅바디는, 상기 단자블록의 일부가 삽입되는 공간인 제1 체결홈과, 상기 제2 히팅바디 및 단자블록과의 상호 결합을 위한 핀이 삽입되는 제1 체결공이 구비되는 제1 체결부; 및 상기 고정구의 일부가 삽입될 수 있도록 소정 공간의 홈으로 형성되는 제1 안착부;를 포함하고, 상기 제2 히팅바디는, 상기 단자블록의 다른 일부가 삽입되는 공간인 제2 체결홈과, 상기 제1 히팅바디 및 단자블록과의 상호 결합을 위한 핀이 삽입되는 제2 체결공이 구비되는 제2 체결부; 및 상기 고정구의 다른 일부가 삽입될 수 있도록 소정 공간의 홈으로 형성되는 제2 안착부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first heating body is provided with a first fastening groove, which is a space into which a part of the terminal block is inserted, and a first fastening hole into which a pin for mutual coupling between the second heating body and the terminal block is inserted. 1 fastening part; And a first mounting portion formed as a groove in a predetermined space so that a part of the fixture may be inserted, wherein the second heating body includes a second fastening groove that is a space into which another part of the terminal block is inserted, A second fastening part provided with a second fastening hole into which a pin for mutual coupling with the first heating body and the terminal block is inserted; And a second seating portion formed into a groove in a predetermined space so that another part of the fixture can be inserted.

또한, 상기 제1 히팅바디는, 제1 카트리지 히터가 삽입되는 공간인 제1 히터 삽입홈과, 상기 제1 히터 삽입홈에 인접하여 제1 카트리지 히터의 케이블이 통과하되 상기 제1 체결홈과 연통하는 공간인 제1 연결로를 더 포함하고, 상기 제2 히팅바디는, 제2 카트리지 히터가 삽입되는 공간인 제2 히터 삽입홈과, 상기 제2 히터 삽입홈에 인접하여 제2 카트리지 히터의 케이블이 통과하되 상기 제2 체결홈과 연통하는 공간인 제2 연결로를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first heating body has a first heater insertion groove, which is a space into which the first cartridge heater is inserted, and a cable of the first cartridge heater passes adjacent to the first heater insertion groove, but communicates with the first fastening groove. The second heating body further includes a first connection path as a space to be inserted, wherein the second heating body includes a second heater insertion groove as a space into which the second cartridge heater is inserted, and a cable of the second cartridge heater adjacent to the second heater insertion groove. It is characterized in that it further comprises a second connection path, which is a space that passes through but communicates with the second fastening groove.

또한, 상기 제1 히터 삽입홈과 제1 연결로가 연결되는 부분은 외부로 노출되어 제1 개방부를 형성하고, 상기 제2 히터 삽입홈과 제2 연결로가 연결되는 부분은 외부로 노출되어 제2 개방부를 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, a portion connected to the first heater insertion groove and the first connection path is exposed to the outside to form a first opening, and a portion connected to the second heater insertion groove and the second connection path is exposed to the outside to open the second. It is characterized by forming wealth.

또한, 상기 제1 히팅바디 또는 제2 히팅바디에는 외주면 일부가 깎여진 단차부가 구비되고, 상기 단차부에 서모커플이 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first heating body or the second heating body is provided with a stepped portion of which a portion of the outer circumferential surface is cut off, and a thermocouple is installed in the stepped portion.

아울러, 상기 단자블록에는 외부와의 전기적 연결을 위한 커넥터가 내장되는 것을 특징으로 한다.In addition, the terminal block is characterized in that the built-in connector for electrical connection with the outside.

본 발명의 히팅 클램프에 의하면, 제1, 2 카트리지 히터가 제1, 2 히터 삽입홈에 착탈 가능하게 삽입되는 구조를 통해, 수명이 다하거나 고장난 카트리지 히터를 신속하고 손쉽게 교체할 수 있다.According to the heating clamp of the present invention, through a structure in which the first and second cartridge heaters are detachably inserted into the first and second heater insertion grooves, it is possible to quickly and easily replace the cartridge heater that has reached the end of its life or has failed.

또한, 제1, 2 카트리지 히터와 서모커플의 케이블들이 클램프 내부에 모두 내장되므로 안전성이 향상되고, 배선의 정리 작업 시간이 줄어들거나 필요없어져 현장에서의 작업의 효율성이 증대된다.In addition, since the cables of the first and second cartridge heaters and the thermocouple are all built into the clamp, safety is improved, and the work time for arranging wiring is reduced or eliminated, thereby increasing the efficiency of work in the field.

또한, 제1 히팅바디 또는 제2 히팅바디에는 외주면 일부가 깎여진 단차부가 구비됨으로써 단차부에 설치된 서모커플의 교체나 수리가 훨씬 용이해진다.In addition, since the first heating body or the second heating body is provided with a step portion with a portion of the outer circumferential surface cut off, replacement or repair of the thermocouple installed in the step portion becomes much easier.

또한, 단자블록에 의하여 제1, 2 히팅바디의 회동 각도가 제한되므로 케이블의 과도한 꺾임으로 인해 발생할 수 있는 케이블의 단선 문제를 사전에 방지할 수 있다.In addition, since the rotation angle of the first and second heating bodies is limited by the terminal block, a disconnection problem of the cable that may occur due to excessive bending of the cable can be prevented in advance.

도 1은 종래 기술의 배관 연결용 클램프이다.
도 2는 종래 기술의 배관 연결용 클램프의 다른 실시예이다.
도 3은 본 발명에 따른 히팅 클램프의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 히팅 클램프의 구성요소인 제1 히팅바디와 제2 히팅바디의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 히팅 클램프의 수직 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 히팅 클램프의 다른 실시예이다.
도 7은 본 발명에 따른 히팅 클램프의 개방된 상태를 보여주는 개략도이다.
도 8은 본 발명에 따른 히팅 클램프의 사용 상태도이다.
도 9는 본 발명에 따른 히팅 클램프의 배선도이다.
도 10은 본 발명에 따른 히팅 클램프의 또 다른 실시예이다.1 is a conventional pipe connection clamp.
2 is another embodiment of a conventional pipe connection clamp.
3 is a perspective view of a heating clamp according to the present invention.
4 is an exploded perspective view of a first heating body and a second heating body, which are components of a heating clamp according to the present invention.
5 is a vertical cross-sectional view of a heating clamp according to the present invention.
6 is another embodiment of a heating clamp according to the present invention.
7 is a schematic diagram showing an open state of the heating clamp according to the present invention.
8 is a state diagram of a heating clamp according to the present invention in use.
9 is a wiring diagram of a heating clamp according to the present invention.
10 is another embodiment of a heating clamp according to the present invention.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3을 참조하면, 본 발명은 제1 히팅바디(100), 제2 히팅바디(200), 단자블록(300) 및 고정구(400)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 3, the present invention includes a first heating body 100, a second heating body 200, a terminal block 300, and a fixture 400.

이하, 상기의 구성 요소들을 중심으로 본 발명을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail based on the above constituent elements.

상기 제1 히팅바디(100)는 단면상 대략 반원형으로 형성되되, 본 발명의 히팅 클램프에 의해 상호 연결되는 각 배관의 일단이 삽입되는 공간인 제1 바디홈(110)이 내주면에 구비되어 있다.The first heating body 100 is formed in a substantially semicircular shape in cross section, and a first body groove 110, which is a space into which one end of each pipe interconnected by the heating clamp of the present invention is inserted, is provided on an inner circumferential surface.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1 히팅바디(100)에는 단자블록(300)의 일부와의 결합을 위한 제1 체결부(120)가 구비되고, 고정구(400)와의 일부와의 결합을 위한 제1 안착부(130)가 구비된다.In addition, as shown in FIG. 4, the first heating body 100 is provided with a first fastening part 120 for coupling with a part of the terminal block 300, and coupling with a part of the fixture 400 A first seating portion 130 is provided for.

상기 제1 체결부(120)에는 단자블록(300)의 일부가 삽입되는 공간인 제1 체결홈(121)이 구비되고, 제1 히팅바디(100), 제2 히팅바디(200) 및 단자블록(300)의 상호 결합을 위한 핀이 삽입되는 한 쌍의 제1 체결공(123)이 구비된다.The first fastening part 120 is provided with a first fastening groove 121 that is a space into which a part of the terminal block 300 is inserted, and the first heating body 100, the second heating body 200, and the terminal block A pair of first fastening holes 123 into which pins for mutual coupling of 300 are inserted are provided.

상기 제1 안착부(130)는 고정구 일부가 삽입될 수 있도록 소정 공간의 홈으로 형성되고, 하향 경사진 돌출 경사면(135)이 더 형성된다.The first mounting portion 130 is formed as a groove in a predetermined space so that a part of the fastener can be inserted, and a protruding inclined surface 135 inclined downward is further formed.

도 5를 참조하면, 상기 제1 히팅바디(100)에는 제1 카트리지 히터(140)가 착탈 가능하게 삽입되는 공간인 제1 히터 삽입홈(145)이 구비되고, 상기 제1 히터 삽입홈(145)에 인접하여 제1 카트리지 히터(140)의 케이블이 통과하되 제1 체결홈(121)과 연통하는 공간인 제1 연결로(150)가 구비되며, 상기 제1 히터 삽입홈(145)에 이격되어 서모커플(thermocouple, 160)의 케이블이 설치되는 통로인 배선홀(165)이 구비된다.5, the first heating body 100 is provided with a first heater insertion groove 145, which is a space into which the first cartridge heater 140 is detachably inserted, and the first heater insertion groove 145 ) Adjacent to the cable of the first cartridge heater 140 passes, but is provided with a first connection path 150, which is a space communicating with the first fastening groove 121, and spaced apart from the first heater insertion groove 145 Thus, a wiring hole 165, which is a passage through which a cable of a thermocouple 160 is installed, is provided.

상기 제1 히터 삽입홈(145), 제1 연결로(150) 및 배선홀(165)의 일단이 연결되는 부분은 외부로 노출되어 제1 개방부(170)를 형성하는데, 이는 카트리지 히터, 서모커플 및 케이블의 유지 보수시 작업의 편의성을 제공하기 위한 것이다.The first heater insertion groove 145, the first connection path 150, and a portion connected to one end of the wiring hole 165 are exposed to the outside to form a first opening 170, which is a cartridge heater, a thermostat. This is to provide convenience of work during maintenance of couples and cables.

상기 제1 카트리지 히터(140)는 제1 히터 삽입홈(145)에 삽입시 밀착면을 통해 열이 전도되도록 제1 히터 삽입홈(145)의 내경과 동일한 외경을 갖도록 제작되며, 일단에는 외부로부터 전력을 인가 받고 제2 카트리지 히터(240)와의 전기적 연결을 위한 한 쌍의 케이블이 구비된다.The first cartridge heater 140 is manufactured to have the same outer diameter as the inner diameter of the first heater insertion groove 145 so that heat is conducted through the contact surface when inserted into the first heater insertion groove 145, and at one end A pair of cables is provided for electrical connection with the second cartridge heater 240 to receive power.

또한, 상기 제1 히팅바디(100)에는 외주면 일부가 깎여진 단차부(180)가 구비되고, 상기 단차부(180)에 서모커플(160)이 체결 나사에 의해 설치된다.In addition, the first heating body 100 is provided with a step portion 180 of which a portion of the outer circumferential surface is cut off, and a thermocouple 160 is installed in the step portion 180 by a fastening screw.

상기 서모커플(160)은 히팅 클램프의 온도를 실시간으로 모니터링 함으로써 본 발명의 히팅 클램프가 정상적으로 작동되고 있는지를 실시간으로 확인할 수 있다.The thermocouple 160 can check in real time whether the heating clamp of the present invention is operating normally by monitoring the temperature of the heating clamp in real time.

한편, 본 발명의 다른 실시예로서 도 6에 도시된 바와 같이, 단차부(180')를 제1 개방부(170)에 인접한 위치에 형성하고 여기에 서모커플(160')을 설치할 수도 있다.Meanwhile, as another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 6, a stepped portion 180 ′ may be formed in a position adjacent to the first opening 170 and a thermocouple 160 ′ may be installed therein.

이 경우, 배선홀(165)의 가공이 요구되지 않으므로 제1 히팅바디(100)의 제조 측면에서 보다 유리하다.In this case, since processing of the wiring hole 165 is not required, it is more advantageous in terms of manufacturing the first heating body 100.

물론, 상기 단차부(180')는 제1 히팅바디(100)가 아닌 제2 히팅바디(200)에 구비될 수 있다.Of course, the stepped portion 180 ′ may be provided in the second heating body 200 instead of the first heating body 100.

본 발명은 상기와 같은 단차부(180, 180')의 구성으로 인하여 서모커플(160, 160')의 교체나 수리가 훨씬 용이해진다.In the present invention, replacement or repair of the thermocouples 160 and 160 ′ becomes much easier due to the configuration of the stepped portions 180 and 180 ′ as described above.

상기 제2 히팅바디(200)는 제1 히팅바디(100)와 마찬가지로 단면상 대략 반원 형으로 형성되되 제1 히팅바디(100)와 대칭되게 배치되고, 본 발명의 히팅 클램프에 의해 상호 연결되는 각 배관의 플랜지가 삽입되는 공간인 제2 바디홈(210)이 내주면에 구비되어 있다.Like the first heating body 100, the second heating body 200 is formed in an approximately semicircular shape in cross-section, but is disposed symmetrically with the first heating body 100, and is interconnected by the heating clamp of the present invention. A second body groove 210, which is a space into which the flange of is inserted, is provided on the inner circumferential surface.

또한, 상기 제2 히팅바디(200)에는 단자블록(300)의 일부와의 결합을 위한 제2 체결부(220)가 구비되고, 고정구(400)의 일부와의 결합을 위한 제2 안착부(230)가 구비된다.In addition, the second heating body 200 is provided with a second fastening portion 220 for coupling with a portion of the terminal block 300, and a second mounting portion for coupling with a portion of the fixture 400 ( 230) is provided.

상기 제2 체결부(220)에는 단자블록(300)의 다른 일부가 삽입되는 공간인 제2 체결홈(221)이 구비되고, 제1 히팅바디(100), 제2 히팅바디(200) 및 단자블록(300)의 상호 결합을 위한 핀이 삽입되는 한 쌍의 제2 체결공(223)이 구비된다.The second fastening part 220 is provided with a second fastening groove 221 that is a space into which another part of the terminal block 300 is inserted, and the first heating body 100, the second heating body 200, and the terminal A pair of second fastening holes 223 into which pins for mutual coupling of the block 300 are inserted are provided.

상기 제2 안착부(230)는 고정구의 다른 일부가 삽입될 수 있도록 소정 공간의 홈으로 형성되되, 제3 체결공(225)이 구비되어 이를 통해 고정구(400)의 다른 일부가 회동할 수 있는 구조로 형성된다.The second seating part 230 is formed as a groove in a predetermined space so that another part of the fixture can be inserted, and a third fastening hole 225 is provided through which the other part of the fixture 400 can be rotated. Is formed into a structure.

또한, 상기 제2 히팅바디(200)에는 제2 카트리지 히터(240)가 착탈 가능하게 삽입되는 공간인 제2 히터 삽입홈(245)이 구비되고, 상기 제2 히터 삽입홈(245)에 인접하여 제2 카트리지 히터(240)의 케이블이 통과하되 제2 체결홈(221)과 연통하는 공간인 제2 연결로(250)가 구비된다.In addition, the second heating body 200 is provided with a second heater insertion groove 245, which is a space into which the second cartridge heater 240 is detachably inserted, and adjacent to the second heater insertion groove 245 A second connection path 250 that is a space through which the cable of the second cartridge heater 240 passes but communicates with the second fastening groove 221 is provided.

상기 제2 히터 삽입홈(245)과 제2 연결로(250)가 연결되는 부분은 외부로 노출되어 제2 개방부(270)를 형성하는데, 이는 카트리지 히터 및 케이블의 유지 보수시 작업의 편의성을 제공하기 위한 것이다.The portion where the second heater insertion groove 245 and the second connection path 250 are connected is exposed to the outside to form a second opening part 270, which provides convenience of work during maintenance of the cartridge heater and cable. To provide.

상기 제2 카트리지 히터(240)는 제2 히터 삽입홈(245)에 삽입시 밀착면을 통해 열이 전도되도록 제2 히터 삽입홈(245)의 내경과 동일한 외경을 갖도록 제작되며, 일단에는 외부로부터 전력을 인가 받고 제1 카트리지 히터(140)와의 전기적 연결을 위한 한 쌍의 케이블이 구비된다.The second cartridge heater 240 is manufactured to have the same outer diameter as the inner diameter of the second heater insertion groove 245 so that heat is conducted through the contact surface when inserted into the second heater insertion groove 245, and at one end A pair of cables is provided for electrical connection with the first cartridge heater 140 to receive power.

상기 단자블록(300)은 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)를 결합시켜 상호 회동 가능하게 하고, 외부와 제1 카트리지 히터(140), 제2 카트리지 히터(240) 및 서모커플(160)과의 전기적 연결을 위한 공간을 제공하는 구성이다.The terminal block 300 combines the first heating body 100 and the second heating body 200 to enable mutual rotation, and the external and the first cartridge heater 140, the second cartridge heater 240 and the thermostat This configuration provides a space for electrical connection with the couple 160.

이러한 단자블록(300)은 소정의 폭(W)을 갖는 몸체(320)와 상기 몸체(320)의 일측에 연장 형성되되 제1 히팅바디(100)의 제1 체결홈(121)과 제2 히팅바디(200)의 제2 체결홈(221)에 삽입되어 힌지 결합되는 한 쌍의 삽입부(325)로 이루어진다.Such a terminal block 300 is formed extending on one side of the body 320 and the body 320 having a predetermined width (W), the first fastening groove 121 and the second heating of the first heating body (100). It consists of a pair of insertion portions 325 that are hinged and inserted into the second fastening groove 221 of the body 200.

상기 삽입부(325)에는 제1 체결공(123)에 삽입되는 핀과 제2 체결공(223)에 삽입되는 핀이 통과하는 핀홀이 각각 구비되어 있다.The insertion part 325 is provided with a pin inserted into the first fastening hole 123 and a pin hole through which the pin inserted into the second fastening hole 223 passes.

또한, 상기 몸체(320)에는 외부와의 전기적 연결을 위한 커넥터(310)가 내장될 수 있다.In addition, a connector 310 for electrical connection with the outside may be built into the body 320.

이 경우, 본 발명의 히팅 클램프를 배관 연결부에 장착 고정하고 히팅 클램프에 내장된 커넥터에 외부의 커넥터만 연결하면 되므로 작업의 효율성이 크게 증대된다.In this case, since the heating clamp of the present invention is mounted and fixed to the pipe connection part and only an external connector is connected to the connector built in the heating clamp, the efficiency of work is greatly increased.

한편, 본 발명의 단자블록(300)은 몸체(320)를 소정의 폭(W)으로 제작함으로써 도 7에 도시된 바와 같이 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)의 개방 각도(θ)를 제한하는 역할을 함께 한다.On the other hand, the terminal block 300 of the present invention is the opening angle of the first heating body 100 and the second heating body 200 as shown in FIG. 7 by manufacturing the body 320 with a predetermined width (W). It plays the role of limiting (θ ).

이와 같이 개방 각도(θ)를 제한하는 이유는 상기 개방 각도(θ)가 과도하게 되면 케이블의 과도한 꺾임이 반복되어 케이블의 단선 문제가 발생할 수 있기 때문이다.The reason for limiting the opening angle (θ) in this way is because when the said opening angle (θ) is excessive, excessive bending of the cable is repeated can cause breakage problems in the cable.

상기 고정구(400)는 제2 안착부(230)에 회동 가능하게 힌지 결합되는 고정볼트(410)와, 상기 고정볼트(410)에 나사결합되되 고정볼트(410)의 길이방향으로 길게 형성되는 원통형의 고정바(420)로 이루어진다.The fixture 400 has a fixing bolt 410 that is hingedly coupled to the second seating portion 230 and is screwed to the fixing bolt 410, but is formed to be long in the longitudinal direction of the fixing bolt 410. It consists of a fixed bar (420).

또한, 상기 고정볼트(410)에는 간격유지체(415)가 일체로 구비되어 있어, 제1 히팅바디(100)의 일단과 제2 히팅바디(200)의 일단 사이에 소정 간격이 형성되도록 한다.In addition, since the fixing bolt 410 is integrally provided with a gap maintaining member 415, a predetermined gap is formed between one end of the first heating body 100 and one end of the second heating body 200.

상기 간격유지체(415)는 과도한 조임력을 방지하고 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)의 단부가 안정적으로 밀착되도록 하기 위한 것이다.The spacing holding member 415 is for preventing excessive tightening force and ensuring that the ends of the first heating body 100 and the second heating body 200 are in close contact with each other in a stable manner.

상기 고정바(420)의 하단부에는 하향 경사진 가압면(425)이 형성되어 전술한 제1 안착부(130)의 돌출 경사면(135)과의 쐐기 작용으로 조임력을 극대화할 수 있다.A downwardly inclined pressing surface 425 is formed at the lower end of the fixing bar 420 to maximize a tightening force by a wedge action with the protruding inclined surface 135 of the first seating portion 130 described above.

위에서 고정볼트(410)는 제2 안착부(230)에 회동 가능하게 힌지 결합되고 고정바(420)가 제1 안착부(130)에 배치되는 구조이나, 이와 반대로 고정볼트(410)가 제1 안착부(130)에 회동 가능하게 힌지 결합되고 고정바(420)는 제2 안착부(230)에 배치되는 구조로 변경할 수 있음은 물론이다.From above, the fixing bolt 410 is hingedly coupled to the second seating portion 230 so as to be rotatable, and the fixing bar 420 is disposed on the first seating portion 130, but on the contrary, the fixing bolt 410 is the first It goes without saying that the hinge-coupled to the seating portion 130 so as to be rotatable, and the fixing bar 420 can be changed to a structure disposed on the second seating portion 230.

도 7 및 도 8을 참조하여 고정구(400)의 작동 과정을 살펴보면, 먼저 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)를 개방시켜 제1 바디홈(110)과 제2 바디홈(210) 내부로 연결하려는 각 배관의 일단이 삽입되도록 한 후, 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)를 결합하고 고정구(400)를 회전시켜 고정바(420)가 제1 안착부(130)에 위치되도록 한다.Looking at the operation process of the fixture 400 with reference to FIGS. 7 and 8, first, the first heating body 100 and the second heating body 200 are opened to open the first body groove 110 and the second body groove. 210) After one end of each pipe to be connected to the inside is inserted, the first heating body 100 and the second heating body 200 are combined, and the fixture 400 is rotated so that the fixing bar 420 is first seated. It is to be located on the part 130.

그 후, 고정바(420)를 돌려 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)가 서로 조여지도록 한다.After that, the fixing bar 420 is rotated so that the first heating body 100 and the second heating body 200 are tightened with each other.

한편, 도 9에 도시된 바와 같이 본 발명의 히팅 클램프의 배선도를 살펴보면, 두 개의 카트리지 히터(140, 240), 한 개의 바이메탈(190) 및 한 개의 서모커플(160)이 커넥터(310)에 전기적으로 연결되고, 상기 커넥터(310)는 외부의 전원과 연결되는 커넥터(310')에 전기적으로 연결된다.On the other hand, looking at the wiring diagram of the heating clamp of the present invention as shown in Figure 9, two cartridge heaters (140, 240), one bimetal 190, and one thermocouple 160 is electrically connected to the connector 310. And the connector 310 is electrically connected to a connector 310' that is connected to an external power source.

상기 제1 카트리지 히터(140)와 제2 카트리지 히터(240)는 직렬로 연결되되 제1 카트리지 히터(140)와 제2 카트리지 히터(240)의 어느 한 쪽에 바이메탈(190)이 구비되어 커넥터(310)로 연결되고, 상기 서모커플(160)은 커넥터(310)에 직접 연결된다.The first cartridge heater 140 and the second cartridge heater 240 are connected in series, but a bimetal 190 is provided on either side of the first cartridge heater 140 and the second cartridge heater 240, and the connector 310 ), and the thermocouple 160 is directly connected to the connector 310.

상기 바이메탈(190)은 제1 카트리지 히터(140)와 제2 카트리지 히터(240)가 비정상적으로 가열될 때 전기적 연결을 차단하여 과열에 의한 제품 손상을 방지하기 위한 구성이다.When the first cartridge heater 140 and the second cartridge heater 240 are abnormally heated, the bimetal 190 is configured to prevent product damage due to overheating by blocking electrical connection.

한편, 본 발명의 히팅 클램프의 작동을 제어하기 위한 제어부(미도시)가 더 구성될 수 있다.On the other hand, a control unit (not shown) for controlling the operation of the heating clamp of the present invention may be further configured.

제어부는 응결 개시 온도 등의 기초 정보가 기 입력된 상태에서 서모커플(160)로부터 입수된 온도값과의 비교를 통해, 배관 연결부 내의 반응 가스가 응결되지 않도록 히팅 클램프의 온도를 응결 개시 온도 이상으로 유지하도록 제1, 2 카트리지 히터(140, 240)의 온도를 제어한다.The control unit sets the temperature of the heating clamp above the condensation start temperature so that the reaction gas in the pipe connection does not condense through comparison with the temperature value obtained from the thermocouple 160 while basic information such as the condensation start temperature has been previously input The temperature of the first and second cartridge heaters 140 and 240 is controlled to maintain.

또한, 설치 환경에 따라 여러 곳에 설치된 각 히팅 클램프의 주변 온도는 상이할 수 있는데, 본 발명은 개별 히팅 클램프 별로 온도를 모니터링 함으로써 고장 발생 지점을 신속히 파악할 수 있고, 또한, 주변 온도에 맞추어 각 히팅 클램프의 카트리지 히터 온도를 독립적으로 제어함으로써 소모 전력의 절약을 기할 수 있으므로, 관리 효율의 향상을 도모할 수 있다.In addition, the ambient temperature of each heating clamp installed in several places may be different depending on the installation environment.In the present invention, by monitoring the temperature for each heating clamp, it is possible to quickly identify the point of failure, and also, according to the ambient temperature, each heating clamp By independently controlling the temperature of the cartridge heater of the unit, power consumption can be saved, and thus management efficiency can be improved.

또한, 서모커플(160)과 제어부를 통해 제1, 2 카트리지 히터(140, 240)를 제어하게 되므로, 히팅 클램프의 히팅을 정밀하게 제어할 수 있는 동시에 열전도가 안정적으로 유지될 수 있다.In addition, since the first and second cartridge heaters 140 and 240 are controlled through the thermocouple 160 and the controller, the heating of the heating clamp can be precisely controlled and heat conduction can be stably maintained.

한편, 반도체 제작의 각 공정이 수행되는 챔버는 통상 외기와 차단되고 항온 항습이 이루어지므로, 히팅 클램프가 챔버 내부에 설치되는 경우에는 노출된 상태로 설치되나, 챔버의 외부에 설치되어 외부 환경(바람)에 노출되는 경우에는 이러한 외부 영향을 차단하기 위해 도 10에 도시된 바와 같이 히팅 클램프의 외부를 감싸는 단열재킷(500)이 더 구비될 수 있다.On the other hand, the chamber in which each process of semiconductor manufacturing is performed is usually blocked from outside air and constant temperature and humidity is achieved, so if a heating clamp is installed inside the chamber, it is installed in an exposed state, but it is installed outside the chamber to provide an external environment (wind ), in order to block such external influences, an insulation jacket 500 surrounding the outside of the heating clamp may be further provided as shown in FIG. 10.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리범위가 미치는 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the scope of the present invention is not limited thereto, and it should be understood that the scope of the present invention extends to the scope substantially equal to the embodiment of the present invention. Various modifications may be made by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains within the scope not departing from the spirit of the invention.

100: 제1 히팅바디 110:제1 바디홈 120: 제1 체결부
130: 제1 안착부 121: 제1 체결홈 123: 제1 체결공
140: 제1 카트리지 히터 145: 제1 히터 삽입홈 150: 제1 연결로
160, 160': 서모커플 165: 배선홀 170: 제1 개방부 180, 180': 단차부
200: 제2 히팅바디 210: 제2 바디홈 220: 제2 체결부
230: 제2 안착부 221: 제2 체결홈 223: 제2 체결공
225: 제3 체결공 240: 제2 카트리지 히터 300: 단자블록
310: 커넥터 320: 몸체 325: 삽입부
400: 고정구 410: 고정볼트 420: 고정바 415: 간격유지체100: first heating body 110: first body groove 120: first fastening portion
130: first mounting portion 121: first fastening groove 123: first fastening hole
140: first cartridge heater 145: first heater insertion groove 150: first connection path
160, 160': thermocouple 165: wiring hole 170: first opening 180, 180': stepped portion
200: second heating body 210: second body groove 220: second fastening portion
230: second mounting portion 221: second fastening groove 223: second fastening hole
225: third fastening hole 240: second cartridge heater 300: terminal block
310: connector 320: body 325: insert
400: fixing tool 410: fixing bolt 420: fixing bar 415: spacing retainer

Claims (6)

단자블록(300)과의 결합을 위한 제1 체결부(120)와, 고정구(400)와의 결합을 위한 제1 안착부(130)가 구비되고, 제1 카트리지 히터(140)가 착탈 가능하게 삽입되는 제1 히팅바디(100);
단자블록(300)과의 결합을 위한 제2 체결부(220)와, 고정구(400)와의 결합을 위한 제2 안착부(230)가 구비되고, 제2 카트리지 히터(240)가 착탈 가능하게 삽입되는 제2 히팅바디(200);
상기 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)의 일측에 힌지 결합되고 외부와의 전기적 연결을 위한 공간이 제공되며 상기 제1 히팅바디(100)와 제2 히팅바디(200)의 개방 각도(θ)를 제한할 수 있는 폭(W)으로 구비되는 단자블록(300); 및
상기 제1 안착부(130) 또는 제2 안착부(230)의 어느 하나에 회동 가능하게 힌지 결합되는 고정볼트(410)와, 상기 고정볼트(410)에 나사결합되되 상기 제1 안착부(130) 또는 제2 안착부(230)의 다른 하나에 배치되는 고정바(420)로 이루어지는 고정구(400);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 클램프.A first fastening portion 120 for coupling with the terminal block 300 and a first mounting portion 130 for coupling with the fixture 400 are provided, and the first cartridge heater 140 is detachably inserted A first heating body 100;
A second fastening part 220 for coupling with the terminal block 300 and a second mounting part 230 for coupling with the fixture 400 are provided, and the second cartridge heater 240 is detachably inserted A second heating body 200;
It is hinged to one side of the first heating body 100 and the second heating body 200 and provides a space for electrical connection with the outside. A terminal block 300 provided with a width W that can limit the opening angle θ; And
A fixing bolt 410 that is hingedly coupled to either of the first seating portion 130 or the second seating portion 230, and screwed to the fixing bolt 410, but the first seating portion 130 ) Or a fixture 400 made of a fixing bar 420 disposed on the other of the second seating portion 230;
Heating clamp comprising a. 제1항에 있어서,
상기 제1 히팅바디(100)는,
상기 단자블록(300)의 일부가 삽입되는 공간인 제1 체결홈(121)과, 상기 제2 히팅바디(200) 및 단자블록(300)과의 상호 결합을 위한 핀이 삽입되는 제1 체결공(123)이 구비되는 제1 체결부(120); 및
상기 고정구(400)의 일부가 삽입될 수 있도록 소정 공간의 홈으로 형성되는 제1 안착부(130);를 포함하고,
상기 제2 히팅바디(200)는,
상기 단자블록(300)의 다른 일부가 삽입되는 공간인 제2 체결홈(221)과, 상기 제1 히팅바디(100) 및 단자블록(300)과의 상호 결합을 위한 핀이 삽입되는 제2 체결공(223)이 구비되는 제2 체결부(220); 및
상기 고정구(400)의 다른 일부가 삽입될 수 있도록 소정 공간의 홈으로 형성되는 제2 안착부(230);를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 클램프.The method of claim 1,
The first heating body 100,
A first fastening hole into which a first fastening groove 121, which is a space into which a part of the terminal block 300 is inserted, and a pin for mutual coupling with the second heating body 200 and the terminal block 300, are inserted A first fastening part 120 provided with 123; And
Including; a first seating portion 130 formed as a groove in a predetermined space so that a part of the fixture 400 can be inserted,
The second heating body 200,
A second fastening groove 221 that is a space into which another part of the terminal block 300 is inserted, and a second fastening in which a pin for mutual coupling with the first heating body 100 and the terminal block 300 is inserted A second fastening part 220 provided with a ball 223; And
And a second seating portion 230 formed into a groove in a predetermined space so that another part of the fixture 400 can be inserted. 제2항에 있어서,
상기 제1 히팅바디(100)는,
제1 카트리지 히터(140)가 삽입되는 공간인 제1 히터 삽입홈(145)과, 상기 제1 히터 삽입홈(145)에 인접하여 제1 카트리지 히터(140)의 케이블이 통과하되 상기 제1 체결홈(121)과 연통하는 공간인 제1 연결로(150)를 더 포함하고,
상기 제2 히팅바디(200)는,
제2 카트리지 히터(240)가 삽입되는 공간인 제2 히터 삽입홈(245)과, 상기 제2 히터 삽입홈(245)에 인접하여 제2 카트리지 히터(240)의 케이블이 통과하되 상기 제2 체결홈(221)과 연통하는 공간인 제2 연결로(250)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 클램프.The method of claim 2,
The first heating body 100,
The first heater insertion groove 145, which is a space into which the first cartridge heater 140 is inserted, and the cable of the first cartridge heater 140 pass adjacent to the first heater insertion groove 145, but the first fastening Further comprising a first connection path 150, which is a space communicating with the groove 121,
The second heating body 200,
The second heater insertion groove 245, which is a space into which the second cartridge heater 240 is inserted, and the cable of the second cartridge heater 240 pass adjacent to the second heater insertion groove 245, but the second fastening Heating clamp, characterized in that it further comprises a second connection path 250, which is a space communicating with the groove 221. 제3항에 있어서,
상기 제1 히터 삽입홈(145)과 제1 연결로(150)가 연결되는 부분은 외부로 노출되어 제1 개방부(170)를 형성하고,
상기 제2 히터 삽입홈(245)과 제2 연결로(250)가 연결되는 부분은 외부로 노출되어 제2 개방부(270)를 형성하는 것을 특징으로 하는 히팅 클램프.The method of claim 3,
The portion where the first heater insertion groove 145 and the first connection path 150 are connected is exposed to the outside to form a first opening portion 170,
Heating clamp, characterized in that the second heater insertion groove (245) and the second connection path (250) is connected to each other is exposed to the outside to form a second opening (270). 제4항에 있어서,
상기 제1 히팅바디(100) 또는 제2 히팅바디(200)에는 외주면 일부가 깎여진 단차부(180, 180')가 구비되고, 상기 단차부(180, 180')에 서모커플(160, 160')이 설치되는 것을 특징으로 하는 히팅 클램프.The method of claim 4,
The first heating body 100 or the second heating body 200 is provided with stepped portions 180 and 180 ′ whose outer circumferential surface is partially cut off, and thermocouples 160 and 160 ') is a heating clamp characterized in that it is installed. 제5항에 있어서,
상기 단자블록(300)에는 외부와의 전기적 연결을 위한 커넥터(310)가 내장되되는 것을 특징으로 하는 히팅 클램프.The method of claim 5,
Heating clamp, characterized in that the connector 310 for electrical connection with the outside is embedded in the terminal block 300.
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