KR102233472B1 - Gas supply apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
이하의 설명은 가스공급장치에 관한 것이다.The following description relates to a gas supply device.
일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력으로 공급된다.In general, when gas is supplied to an apparatus using gas, in particular, a gas source where precise work is performed, such as semiconductor equipment, a gas of a kind suitable for each purpose is supplied at a constant concentration and pressure.
상기와 같이 공급되는 가스는 종류별로 분리되어 고압 상태로 보관되며, 가스 누출 방지를 위한 관리가 필수적이다. 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.The gas supplied as described above is separated by type and stored under high pressure, and management to prevent gas leakage is essential. In particular, gases having harmful properties such as flammability, toxicity, and corrosiveness are strictly managed in a separate space where people are blocked.
가스를 보관하는 가스저장용기(이하, '용기'라 약칭함)는 가스공급장치를 통해 가스소요처에 연결된다. The gas storage container (hereinafter, abbreviated as'container') for storing gas is connected to the gas consumer through a gas supply device.
종래 기술에 의한 가스공급장치는, 일측이 용기의 밸브 커넥터에 연결되고 타측이 연결배관에 연결된 연결배관 커넥터를 포함하는 커넥터 체결부와, 일측이 상기 연결배관에 연결되고 타측이 가스소요처에 연결된 공급배관과, 상기 커넥터 체결부를 이송하는 이송수단과, 상기 연결배관 커넥터를 회전시키는 회전수단을 포함한다.A gas supply device according to the prior art includes a connector fastening part including a connection pipe connector connected to a valve connector on one side and a connection pipe on the other side, and a connector connection on one side to the connection pipe and on the other side to a gas source. It includes a supply pipe, a transfer means for transferring the connector fastening part, and a rotation means for rotating the connection pipe connector.
상기 가스공급장치는, 상기 용기에 보관된 가스가 모두 소모된 경우, 상기 이송수단 및 상기 회전수단을 구동하여 해당 용기의 밸브 커넥터와 상기 연결배관 커넥터를 분리하고 용기를 교체한 후, 다시 상기 이송수단 및 상기 회전수단을 구동하여 교체된 용기의 밸브 커넥터에 상기 연결배관 커넥터를 결합시킴으로써 상기 가스소요처에 가스를 다시 공급한다.When the gas stored in the container is exhausted, the gas supply device separates the valve connector and the connection pipe connector of the container by driving the transfer means and the rotation means, replaces the container, and then transfers the gas again. By driving the means and the rotating means to couple the connection pipe connector to the valve connector of the replaced container, gas is supplied back to the gas source.
그런데, 상기 이송수단의 구동에 의해 상기 커넥터 체결부가 이송되는 경우, 상기 연결배관은 상기 커넥터 체결부와 함께 이송되고, 상기 가스소요처의 위치는 이와 관계없이 형성되므로, 상기 공급배관의 적어도 일부의 위치가 변경되며 흔들림이 발생하여 상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결 상태에 이상이 발생할 수 있었다. However, when the connector fastening part is transferred by the driving of the transfer means, the connection pipe is transferred together with the connector fastening part, and the position of the gas source is formed irrespective of this, so that at least a part of the supply pipe As the location is changed, vibration may occur, and an abnormality may occur in the connection state of the connection pipe and the supply pipe.
또한, 상기 회전수단의 구동에 의해 연결배관 커넥터가 회전하는 경우, 상기 연결배관에 충격이 전달되어 흔들림이 발생하여 상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결 상태에 이상이 발생할 수 있었다. In addition, when the connection pipe connector is rotated by the driving of the rotation means, shock is transmitted to the connection pipe, causing vibration, which may cause an abnormality in the connection state of the connection pipe and the supply pipe.
특히, 상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결부가 나사 체결 방식으로 이루어진 경우, 상기 이송수단 또는 상기 회전수단의 구동에 의한 흔들림으로 인해 상기 연결부의 적어도 일부가 회전하며 나사 체결이 풀어질 수 있었다.Particularly, when the connection part between the connection pipe and the supply pipe is made in a screw-fastening method, at least a part of the connection part rotates due to shaking caused by driving of the transfer means or the rotation means, and the screw connection may be released.
이에 따라, 상기 이송수단 및 상기 회전수단의 구동에도 불구하고 상기 연결부의 흔들림을 최소화하여 상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결 상태를 안정적으로 유지함으로써 가스 누출을 방지하기 위한 방안을 모색하게 되었다. Accordingly, despite the driving of the conveying means and the rotating means, a method for preventing gas leakage by minimizing the shaking of the connecting portion and stably maintaining the connection state between the connecting pipe and the supply pipe has been sought.
반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-2112763호가 공개되어 있다.As a prior art for a gas supply device for semiconductor equipment, Korean Patent Registration No. 10-2112763 has been disclosed.
실시예는 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 연결배관과 공급배관의 연결부의 흔들림을 최소화하여 연결배관과 공급배관의 연결 상태를 안정적으로 유지함으로써 가스 누출을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.The embodiment was devised to solve the above-described problems, and a gas supply device capable of preventing gas leakage by stably maintaining the connection state of the connection pipe and the supply pipe by minimizing the shaking of the connection part between the connection pipe and the supply pipe. Its purpose is to provide.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 가스공급장치는, 이송수단의 구동에 의해 이송되며, 상기 이송수단의 구동에 의해 일측이 용기의 밸브 커넥터와 접하거나 이격되는 연결배관 커넥터를 포함하는 커넥터 체결부;와, 상기 연결배관 커넥터의 타측에 연결된 연결배관;과, 상기 연결배관과 가스 소요처를 연결하는 공급배관; 및, 상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결부를 지지하여 상기 커넥터 체결부에 대한 상기 연결부의 상대적 위치를 고정함으로써 상기 이송수단의 구동시 상기 연결부의 흔들림을 방지하고 상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결 상태를 유지하기 위한 적어도 하나의 지지부재;를 포함한다. A gas supply device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a connection pipe connector that is transferred by driving of a transfer means, and one side is in contact with or spaced apart from the valve connector of the container by the drive of the transfer means. A connector fastening part comprising a; And, a connection pipe connected to the other side of the connection pipe connector; And, a supply pipe connecting the connection pipe and a gas consumption destination; And, by supporting the connection part between the connection pipe and the supply pipe to fix the relative position of the connection part with respect to the connector fastening part, thereby preventing shaking of the connection part when the transfer means is driven, and connecting the connection pipe and the supply pipe. It includes; at least one support member for maintaining the state.
또한, 상기 연결부는, 상기 연결배관과 상기 공급배관 사이를 연결하는 연결부재를 포함하고, 상기 지지부재는, 상기 연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 지지하여 상기 연결부재의 회전을 차단하도록 이루어질 수 있다.In addition, the connection part may include a connection member connecting the connection pipe and the supply pipe, and the support member may be configured to block rotation of the connection member by supporting at least a portion of the outer circumference of the connection member. have.
또한, 상기 지지부재는, 상기 연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부에 형합된 형상으로 이루어질 수 있다.In addition, the support member may have a shape fitted to at least a portion of the outer circumference of the connection member.
또한, 상기 연결부재는 상기 연결배관에 연결된 제1연결부재와 상기 공급배관에 연결된 제2연결부재를 포함하며, 상기 제1연결부재와 상기 제2연결부재는 상호 맞물려 나사결합되는 구성으로 이루어질 수 있다.In addition, the connection member may include a first connection member connected to the connection pipe and a second connection member connected to the supply pipe, and the first connection member and the second connection member may be screwed together by engaging with each other. have.
또한, 상기 지지부재는 상기 제1연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제1고정브라켓을 포함할 수 있다.In addition, the support member may include a first fixing bracket provided to surround at least a portion of an outer circumference of the first connection member.
또한, 상기 지지부재는 상기 제2연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제2고정브라켓을 포함할 수 있다. In addition, the support member may include a second fixing bracket provided to surround at least a portion of the outer circumference of the second connection member.
또한, 상기 지지부재는, 상기 제1연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제1고정브라켓과, 상기 제2연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제2고정브라켓을 포함하되, 상기 제1고정브라켓과 상기 제2고정브라켓이 상호 결합되도록 이루어질 수 있다.In addition, the support member includes a first fixing bracket provided to surround at least a portion of an outer circumference of the first connection member, and a second fixing bracket provided to surround at least a portion of an outer circumference of the second connection member. Including, but the first fixing bracket and the second fixing bracket may be made to be coupled to each other.
또한, 상기 지지부재에는 호형 장공이 구비되어, 나사가 상기 호형 장공을 통해 타 부재와 결합하여 상기 타 부재와 상기 지지부재의 결합이 이루어지되, 상기 연결배관과 상기 공급배관이 상호 연결된 상태에서 상기 연결부재의 위상에 따라 상기 지지부재의 결합 각도를 조절 가능하도록 이루어질 수 있다.In addition, the support member is provided with an arc-shaped long hole, a screw is coupled to the other member through the arc-shaped long hole, the coupling of the other member and the support member is made, the connection pipe and the supply pipe in a state in which the It may be made to be able to adjust the coupling angle of the support member according to the phase of the connection member.
또한, 상기 제1고정브라켓의 위치가 고정되고, 상기 제2고정브라켓이 상기 제1고정브라켓에 결합되며, 상기 제2고정브라켓에는 호형 장공이 구비되어, 나사가 상기 호형 장공을 통해 상기 제1고정브라켓과 결합하여 상기 제1고정브라켓과 상기 제2고정브라켓의 결합이 이루어지되, 상기 연결배관과 상기 공급배관이 상호 연결된 상태에서 상기 제2연결부재의 위상에 따라 상기 제2고정브라켓의 결합 각도를 조절 가능하도록 이루어질 수 있다.In addition, the position of the first fixing bracket is fixed, the second fixing bracket is coupled to the first fixing bracket, and an arc-shaped long hole is provided in the second fixing bracket, so that a screw is inserted into the first fixing bracket through the arc-shaped long hole. In a state in which the first fixing bracket and the second fixing bracket are combined by combining with the fixing bracket, the connection pipe and the supply pipe are connected to each other, and the second fixing bracket is combined according to the phase of the second connection member. It can be made to be able to adjust the angle.
또한, 상기 연결부는, 상기 공급배관의 일부로서 상기 연결배관과 연결된 측의 끝단으로부터 일정 간격 이격된 범위의 공급배관 연결단부를 포함하고, 상기 지지부재는, 상기 공급배관 연결단부의 적어도 일부를 지지하여 상기 공급배관의 흔들림을 차단하도록 이루어질 수 있다.In addition, the connection part, as a part of the supply pipe, includes a supply pipe connection end of a range spaced apart from an end of a side connected to the connection pipe by a predetermined distance, and the support member supports at least a part of the supply pipe connection end. Thus, it can be made to block the shaking of the supply pipe.
또한, 상기 지지부재는, 상기 커넥터 체결부 또는 상기 이송수단의 구동에 의해 상기 커넥터 체결부와 함께 이송되는 상기 가스공급장치의 일부 구성에 결합되어, 상기 이송수단의 구동시 상기 커넥터 체결부와 함께 이송되도록 이루어질 수 있다.In addition, the support member is coupled to a part of the gas supply device conveyed together with the connector fastening part by driving the connector fastening part or the conveying means, and together with the connector fastening part when the conveying means is driven. It can be made to be transferred.
또한, 상기 커넥터 체결부는 상기 연결배관 커넥터 및 상기 연결배관을 지지하는 하우징을 포함하고, 상기 지지부재는 상기 하우징에 결합되어 상기 이송수단의 구동시 상기 커넥터 체결부와 함께 이송되도록 이루어질 수 있다.In addition, the connector fastening part may include the connection pipe connector and a housing for supporting the connection pipe, and the support member may be coupled to the housing to be transferred together with the connector fastening part when the transfer means is driven.
또한, 상기 공급배관은 피그테일 배관일 수 있다.In addition, the supply pipe may be a pigtail pipe.
또한, 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 외부 둘레가 다각형 너트 형상으로 이루어질 수 있다. In addition, the first connection member and the second connection member may have a polygonal nut shape having an outer circumference.
실시예에 따른 가스공급장치에 의하면, 연결배관과 공급배관의 연결부의 흔들림을 최소화하여 연결배관과 공급배관의 연결 상태를 안정적으로 유지함으로써 가스 누출을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공할 수 있다.According to the gas supply device according to the embodiment, it is possible to provide a gas supply device capable of preventing gas leakage by stably maintaining the connection state between the connection pipe and the supply pipe by minimizing the shaking of the connection portion between the connection pipe and the supply pipe. .
또한, 연결배관과 공급배관의 연결부를 지지하여 커넥터 체결부에 대한 연결부의 상대적 위치를 고정함으로써 연결배관과 공급배관의 연결 상태를 안정적으로 유지하고 가스 누출을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공할 수 있다.In addition, by supporting the connection part between the connection pipe and the supply pipe and fixing the relative position of the connection part with respect to the connector connection part, we provide a gas supply device that can stably maintain the connection state of the connection pipe and the supply pipe and prevent gas leakage. I can.
또한, 연결배관과 공급배관 사이를 연결하는 연결부재의 외부 둘레를 지지하여 연결부재의 회전을 차단함으로써 연결배관과 공급배관의 연결 상태를 안정적으로 유지하고 가스 누출을 방지할 수 있는 가스공급장치를 제공할 수 있다.In addition, by supporting the outer periphery of the connecting member that connects the connecting pipe and the supply pipe to block the rotation of the connecting member, a gas supply device capable of stably maintaining the connection state between the connecting pipe and the supply pipe and preventing gas leakage is provided. Can provide.
도 1은 일 실시예에 따른 가스공급장치를 보여주는 사시도
도 2는 일 실시예에 따른 커넥터 체결부를 포함하는 체결모듈의 전방 사시도
도 3은 일 실시예에 따른 커넥터 체결부를 포함하는 체결모듈의 후방 사시도
도 4는 일 실시예에 따른 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터 및 공급배관의 연결 관계를 나타낸 수직 단면도가 도시되어 있으며,
도 5는 일 실시예에 따른 연결배관과 공급배관의 결합 사시도
도 6은 일 실시예에 따른 연결배관과 공급배관의 분해 사시도1 is a perspective view showing a gas supply device according to an embodiment
2 is a front perspective view of a fastening module including a connector fastening part according to an embodiment
3 is a rear perspective view of a fastening module including a connector fastening part according to an embodiment
4 is a vertical cross-sectional view showing a connection relationship between a valve connector, a connection pipe connector, and a supply pipe according to an embodiment,
5 is a perspective view of a connection of a connection pipe and a supply pipe according to an embodiment
6 is an exploded perspective view of a connection pipe and a supply pipe according to an embodiment
이하 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
여기서 방향을 지칭함에 있어서, 도 1에 도시된 X축은 전후 방향, Y축은 좌우 방향, Z축은 수직방향이라 한다. 또한, 수평 방향이라 함은 XY평면에 의해 이루어지는 상기 좌우 방향과 전후 방향이 포함된다. 또한, 전후 방향을 구별함에 있어서는 용기(10)가 위치한 측을 전방, 하부모듈(3)이 위치한 측을 후방이라 한다. 또한, 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 기준으로 좌우 방향을 구별함에 있어서는 커버 분리부(320)가 위치한 측을 우측, 커넥터 체결부(330)가 위치한 측을 좌측으로 정의한다.Herein, referring to the direction, the X-axis illustrated in FIG. 1 is referred to as a front-rear direction, the Y-axis is referred to as a left-right direction, and a Z-axis is referred to as a vertical direction. In addition, the horizontal direction includes the left and right directions and the front and rear directions formed by the XY plane. In addition, in distinguishing the front and rear directions, the side where the
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 가스공급장치(1)는, 일측이 용기(10)의 밸브 커넥터(30)에 연결되고 타측이 연결배관(370)에 연결된 연결배관 커넥터(331)를 포함하며 이송수단의 구동에 의해 이송되는 커넥터 체결부(330)와, 상기 연결배관(370)과 가스 소요처를 연결하는 공급배관(500)과, 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결부(610,620,510)를 지지하여 상기 커넥터 체결부(330)에 대한 상기 연결부(610,620,510)의 상대적 위치를 고정하고 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결 상태를 유지하기 위한 적어도 하나의 지지부재(710,720,730)를 포함한다.1 to 3, the
도 1에는 실시예에 의한 상기 가스공급장치(1)의 전체 사시도가 도시되어 있으며, 도 2에는 상기 커넥터 체결부(330)를 포함하는 체결모듈(300)의 전방 사시도가 도시되어 있고, 도 3에는 상기 체결모듈(300)의 후방 사시도가 도시되어 있다. 1 is an overall perspective view of the
상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 밸브부(11)가 구비된다. The
상기 밸브부(11)는, 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(미도시)와, 상기 밸브의 일측에 구비되어 상기 커넥터 체결부(330)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 상기 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(미도시)와, 상기 밸브를 개폐하는 밸브 셔터(미도시)와, 상기 밸브 셔터의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브 셔터를 승강시켜 밸브가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.The
상기 가스공급장치(1)는 상부모듈(2)과 하부모듈(3)을 포함하여 구성될 수 있다.The
상기 상부모듈(2)과 상기 하부모듈(3)은, 상기 상부모듈(2)이 상기 하부모듈(3)의 상측을 지지하도록 구성되되, 적어도 하나의 이송수단(미도시)이 구비되어 상기 하부모듈(3)이 상기 상부모듈(2)에 대하여 수평방향 및 수직방향으로 이송 가능하도록 이루어질 수 있다. The
상기 상부모듈(2)에는 상기 핸들(50)을 회전시켜 상기 가스저장용기(10)의 밸브를 개폐하기 위한 밸브개폐부(4)가 구비될 수 있다. The
상기 하부모듈(3)에는 상기 커넥터 체결부(330)와, 상기 커버(31)를 분리하기 위한 커버 분리부(320)와, 상기 커넥터 체결부(330)와 상기 커버 분리부(320)를 이송 및 회전시키기 위한 이송수단(340) 및 회전수단(미도시)이 구비될 수 있다.To the
상기 커넥터 체결부(330)와 상기 커버 분리부(320)는, 상기 체결모듈(300)을 구성할 수 있다. The
상기 체결모듈(300)에는 상기 커넥터 체결부(330)와 상기 커버 분리부(320)를 지지하는 적어도 하나의 하우징(H1,H2)이 포함될 수 있다 있다. The
상기 하우징(H1,H2)은 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 수용하여 지지하는 내부 하우징(H1)과, 상기 내부 하우징(H1)을 지지하는 외부 하우징(H2)을 포함하여 이루어질 수 있다. The housing (H1, H2) includes an inner housing (H1) receiving and supporting the
상기 커넥터 체결부(330)는 내측에 상기 연결배관 커넥터(331)를 지지하여 회전시키도록 구비된 것으로, 상기 연결배관 커넥터(331)에는 상기 밸브 커넥터(30)의 나사산 및 나사골에 맞물려 체결되는 나사산 및 나사골이 형성될 수 있다. The
이에 따라, 상기 연결배관 커넥터(331)는 상기 커넥터 체결부(330)가 상기 액추에이터(600)의 구동에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함에 따라 함께 회전하여 상기 밸브 커넥터(30)와 체결 또는 분리된다.Accordingly, the
상기 커버 분리부(320)는 내측에 상기 커버(31)가 수용되도록 구성된 것으로, 상기 커버 분리부(320)의 내측면이 상기 커버(31)의 외측면과 형합하는 다각형 형상으로 이루어질 수 있으며, 내측에 수용된 상기 커버(31)를 지지하여 함께 회전하도록 구비된다. The
이에 따라, 상기 커버 분리부(320)에 수용된 상기 커버(31)는 상기 커버 분리부(320)가 상기 액추에이터(600)의 구동에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함에 따라 함께 회전하여 상기 밸브 커넥터(30)와 체결 또는 분리된다.Accordingly, the cover 31 accommodated in the
상기 이송수단은, 상기 커버 분리부(320)와 상기 커넥터 체결부(330)를 이송하기 위한 것으로, 전후 방향(X축 방향) 이송을 위한 제1이송수단(340a)과, 좌우 방향(Y축 방향) 이송을 위한 제2이송수단(340b)이 구비될 수 있다. The transfer means is for transferring the
상기 제1이송수단(340a)은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단(340b)은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.The first transfer means 340a may include a transfer guide for transferring along the front-rear direction and an air cylinder for applying a transfer force by supply of air. In addition, the second transfer means 340b may include a transfer guide for transferring along the left-right direction and an air cylinder for applying a transfer force by supply of air.
상기 이송수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 동시에 이송하는 구성으로 이루어질 수 있으며, 일례로, 상기 하우징(H1,H2)을 이송하는 방식으로 구비될 수 있다.The transfer means may be configured to transfer the
이때, 상기 이송수단은, 상기 제1이송수단(340a)과 상기 제2이송수단(340b)이 상기 제1하우징(H1) 또는 상기 제2하우징(H2)을 이송하도록 구비될 수도 있고, 상기 제1이송수단(340a)과 상기 제2이송수단(340b) 중 어느 하나가 상기 제1하우징(H1)을 이송하고 다른 하나가 상기 제2하우징(H2)을 이송하도록 구비될 수도 있다. At this time, the transfer means, the first transfer means (340a) and the second transfer means (340b) may be provided to transfer the first housing (H1) or the second housing (H2), the second One of the first transfer means 340a and the second transfer means 340b may be provided to transfer the first housing H1 and the other transfer the second housing H2.
또한, 상기 이송수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 각각 독립적으로 이송하는 구성으로 이루어질 수도 있다.In addition, the transfer means may be configured to independently transfer the
상기 회전수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 회전시키기 위한 것으로, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기 및, 상기 회전력을 상기 커버 분리부(320)와 상기 커넥터 체결부(330)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함한다. The rotating means is for rotating the
상기 회전수단은, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 동시에 회전시키는 구성으로 이루어질 수도 있고, 상기 커버 분리부(320)와 커넥터 체결부(330)를 각각 독립적으로 회전시키는 구성으로 이루어질 수도 있다.The rotation means may be configured to simultaneously rotate the
이에 따라, 상기 용기(10) 교체시, 상기 이송수단을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 이송함으로써 상기 커버(31)를 상기 커버 분리부(320)의 홈에 삽입시키고, 상기 회전수단을 구동시켜 상기 커버 분리부(320)를 회전시킴으로써 상기 밸브 커넥터(30)로부터 상기 커버(31)를 분리하게 된다.Accordingly, when the
이후, 상기 이송수단을 구동시켜 상기 커넥터 체결부(330)를 이송함으로써 상기 연결배관 커넥터(331)가 상기 밸브 커넥터(30)와 전후방향으로 마주보며 접하도록 하고, 상기 회전수단을 구동시켜 상기 연결배관 커넥터(331)를 회전시킴으로써 상기 연결배관 커넥터(331)와 밸브 커넥터(30)를 결합시키게 된다.Then, by driving the transfer means to transfer the
이후, 상기 과정을 반대로 수행하여 상기 연결배관 커넥터(331)를 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리하고, 분리되어 상기 커버 분리부(320)에 수용된 상기 커버(31)를 상기 밸브 커넥터(30)에 다시 결합시킬 수 있다. Thereafter, the process is reversed to separate the
도 4에는 상기 연결배관 커넥터(331)가 상기 밸브 커넥터(30)에 연결된 상태의 상기 커넥터 체결부(330)의 전후방향 수직 단면도가 도시되어 있으며, 도 5와 도 6에는 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 결합 사시도(도 4(a))와 분해 사시도(도 4(b))가 각각 도시되어 있다.4 is a vertical cross-sectional view of the
상기 연결배관 커넥터(331)와 상기 밸브 커넥터(30)가 연결된 상태에서 상기 밸브개폐부(4)를 이용하여 상기 핸들(50)을 회전시켜 밸브를 개방시키면, 용기(10) 내부의 가스가 상기 밸브 커넥터(30)와 상기 연결배관 커넥터(331)를 통해 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)으로 순차 유동하여 상기 가스 소요처에 공급된다. When the valve is opened by rotating the
상기 연결배관(370)은 CGA(Compressed Gas Association) 배관일 수 있다.The
상기 공급배관(500)은 상기 연결배관(370)을 통해 유입되는 가스를 상기 가스소요처로 공급하기 위한 것으로, 유연성이 좋아 공간 활용도가 높은 금속 재질의 배관으로 구비될 수 있다. 일례로, 피그테일 가스배관으로 구비될 수 있다.The
실시예에 의한 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결부(610,620,510)는, 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500) 사이를 연결하는 연결부재(610,620)와, 상기 공급배관(500)의 일부로서 상기 연결배관(370)과 연결된 측의 끝단으로부터 일정 간격 이격된 범위의 공급배관 연결단부(510)를 포함한다.The connection portions 610,620,510 of the
상기 지지부재(710,720,730)는, 상기 커넥터 체결부(330) 또는 상기 이송수단의 구동에 의해 상기 커넥터 체결부(330)와 함께 이송되는 상기 가스공급장치(1)의 일부 구성에 결합되어, 상기 이송수단의 구동 시 상기 커넥터 체결부(330)와 함께 이송되도록 구비된다.The
이에 따라, 상기 커넥터 체결부(330)의 이동과 관계없이 상기 지지부재(710,720,730)에 의해 지지되는 상기 연결부(610,620,510)의 상기 커넥터 체결부(330)에 대한 상대적 위치가 고정되게 되며, 상기 연결부(610,620,510)의 흔들림을 최소화함으로써 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결 상태를 안정적으로 유지하고 가스 누출을 방지할 수 있다. Accordingly, the relative position of the
상기 연결부재(610,620)는 상기 연결배관(370)에 연결된 제1연결부재(610)와 상기 공급배관(500)에 연결되어 상호 결합되는 제2연결부재(620)를 포함하여 구성될 수 있다.The
상기 제1연결부재(610)와 상기 제2연결부재(620)는 상호 맞물려 나사결합되는 구성일 수 있으며, 일례로, VCR 피팅 구성일 수 있다.The
상기 지지부재(710,720,730)는, 상기 연결부재(610,620)의 외부 둘레의 적어도 일부를 지지하여 상기 연결부재(610,620)의 회전을 차단하는 연결 지지부재(710,720)를 포함하여 이루어질 수 있다. The
상기 연결 지지부재(710,720)는 상기 연결부재(610,620)의 외부 둘레의 적어도 일부에 형합된 형상으로 이루어질 수 있으며, 해당 부위에 끼워진 상태로 고정됨으로써 상기 연결부재(610,620)의 회전을 차단할 수 있다.The
상기 연결 지지부재(710,720)는, 상기 제1연결부재(610)와 상기 제2연결부재(620)의 외부 둘레의 적어도 일부를 각각 감싸도록 구비된 제1고정브라켓(710)과 제2고정브라켓(720)을 포함하여 구성될 수 있다.The
상기 제1고정브라켓(710)과 상기 제2고정브라켓(720)은 각각 하나의 부재로 구성될 수도 있고, 복수 개의 부재가 쌍을 이루어 상기 제1연결부재(610)와 상기 제2연결부재(620)를 각각 감싸는 구성으로 이루어질 수도 있다.Each of the first fixing bracket 710 and the
본 실시예의 도면에는, 상기 제1고정브라켓(710)이 상기 제1연결부재(610)의 외부 둘레를 완전히 감싸는 한 쌍의 제1고정브라켓(710-1.720-2)으로 구성되고, 상기 제2고정브라켓(720)이 상기 제2연결부재(620)의 외부 둘레의 하부를 감싸는 하나의 부재로 구성된 실시예가 도시되어 있다. In the drawing of this embodiment, the first fixing bracket 710 is composed of a pair of first fixing brackets 710-1.720-2 that completely surround the outer circumference of the
상기 제1고정브라켓(710)과 상기 제2고정브라켓(720)은 상기 하우징(H1,H2)에 결합되어 상기 이송수단의 구동시 상기 커넥터 체결부(330)와 함께 이송되도록 구비될 수 있으며, 특히 상기 내부 하우징(H1)에 결합될 수 있다. The first fixing bracket 710 and the
이때, 상기 제1고정브라켓(710)이 상기 내부 하우징(H1)에 결합되어 위치가 고정되고, 상기 제2고정브라켓(720)이 상기 제1고정브라켓(710)에 결합될 수 있다.In this case, the first fixing bracket 710 may be coupled to the inner housing H1 to fix the position, and the
상기 제1고정브라켓(710)에는 상기 내부하우징(H1)과 결합하기 위한 내부하우징 결합용 나사홀(711)이 형성되어, 상기 내부하우징 결합용 나사홀(711)에 나사를 끼워넣어 상기 내부하우징(H1)의 제1고정브라켓 결합용 나사홀(미도시)에 결합시킴으로써 상기 제1고정브라켓(710)을 상기 내부 하우징(H1)에 결합시킬 수 있다.The first fixing bracket 710 has an inner housing
또한, 제1고정브라켓(710)에는 상기 제2고정브라켓(720)과 결합하기 위한 제2고정브라켓 결합용 나사홀(712)이 형성되고, 상기 제2고정브라켓(720)에는 상기 제1고정브라켓(710)과 결합하기 위한 제1고정브라켓 결합용 나사홀(721)이 형성되어, 상기 제1고정브라켓 결합용 나사홀(721)과 상기 제2고정브라켓 결합용 나사홀(712)에 나사를 끼워넣어 상기 제2고정브라켓(720)을 상기 제1고정브라켓(710)에 결합시킬 수 있다.In addition, a second fixing bracket
이 경우, 상기 내부하우징(H1)에 제2고정브라켓 결합용 나사홀(미도시)이 더 마련되고, 상기 제1고정브라켓 결합용 나사홀(721)과 상기 제2고정브라켓 결합용 나사홀(712) 및 상기 내부하우징(H1)의 제2고정브라켓 결합용 나사홀에 순차로 나사를 끼워넣어 상기 제2고정브라켓(720)을 상기 제1고정브라켓(710) 및 상기 내부하우징(H1)에 동시에 결합시킬 수도 있다.In this case, a second fixing bracket coupling screw hole (not shown) is further provided in the inner housing H1, and the first fixing bracket
상기 제1고정브라켓 결합용 나사홀(721)은, 도면에 도시된 바와 같이, 호형 장공 형태로 구비될 수 있으며, 상기 제2고정브라켓 결합용 나사홀(721)은 상기 호형 장공 형태에 대응되는 위치에 구비된 복수의 나사홀(721-1,721-2,721-3)로 구비될 수 있다.The first fixing bracket
상기 호형 장공 형태는 상기 제2고정브라켓(720)의 위상, 즉, 상기 제1고정브라켓(710)에 대한 결합 각도를 조절하기 위한 것으로, 상기 호형 장공의 중심각 범위 내에서 상기 제2고정브라켓(720)을 회전시켜 결합 각도를 조절할 수 있다.The arc-shaped long hole shape is for adjusting the phase of the
이때, 상기 호형 장공을 통과한 나사는 상기 복수의 나사홀(721-1,721-2,721-3) 중 상기 제2고정브라켓(720)의 결합 각도가 조절된 상태에서 상기 호형 장공을 통해 결합 가능한 나사홀에 선택적으로 결합되게 된다.At this time, the screw passing through the arc-shaped long hole is a screw hole that can be coupled through the arc-shaped long hole while the coupling angle of the
일례로, 상기 제1연결부재(610)와 상기 제2연결부재(620)의 외부 둘레가 육각 너트 형태로 이루어진 경우, 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)이 상호 연결되어 상기 제1연결부재(610)와 상기 제2연결부재(620)가 완전히 결합된 상태에서 상기 제2연결부재(620)의 외부 육각 형상은 상기 제1연결부재(610)의 외부 육각 형상과 0' 내지 60' 범위의 위상차가 발생할 수 있다.For example, when the outer circumferences of the
이때, 본 실시예에 의하면, 상기 제1고정브라켓 결합용 나사홀(721)을 통해 상기 제2고정브라켓(720)을 해당 위상차만큼 회전시킨 형태로 상기 제1고정브라켓(710)에 결합시킴으로써, 상기 제2고정브라켓(720)이 상기 제1연결부재(610)에 완전히 결합된 상태의 제2연결부재(620)의 외부 둘레를 밀착 지지하는 상태로 위치를 고정할 수 있어, 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결을 공고히 하고 안정성을 높일 수 있다. At this time, according to the present embodiment, by coupling the
또한, 도면에는 도시되어 있지 않으나, 상기 내부하우징 결합용 나사홀(711) 또한 호형 장공 형태로 형성될 수 있으며, 해당 호형 장공의 중심각 범위 내에서 상기 제1고정브라켓(710)을 회전시켜 결합 각도를 조절할 수 있으며, 상기 내부하우징(H1)의 제1고정브라켓 결합용 나사홀은 해당 호형 장공 형태에 대응되는 위치에 구비된 복수의 나사홀로 구비될 수 있다.In addition, although not shown in the drawing, the
이에 따라, 상기 제1고정브라켓(710)이 상기 내부하우징(H1)에 완전히 결합된 상태의 제1연결부재(610)의 외부 둘레를 밀착 지지하는 상태로 위치가 고정됨으로써, 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결을 공고히 하고 안정성을 높일 수 있다.Accordingly, the position is fixed in a state in which the first fixing bracket 710 closely supports the outer circumference of the
또한, 상기 지지부재(710,720,730)는, 상기 공급배관 연결단부(510)의 적어도 일부를 지지하여 상기 커넥터 체결부(330)에 대한 상기 연결부(610,620,510)의 상대적 위치를 고정함으로써 상기 공급배관(500)의 흔들림을 차단하도록 이루어진 라인 지지부재(730)를 포함하여 이루어질 수 있다. In addition, the
상기 라인 지지부재(730)는 상기 하우징(H1,H2)에 결합되어 상기 이송수단의 구동시 상기 커넥터 체결부(330)와 함께 이송되도록 구비될 수 있으며, 특히 상기 내부 하우징(H1)에 결합될 수 있다. The line support member 730 may be provided to be coupled to the housings H1 and H2 to be transported together with the
상기 라인 지지부재(730)에는 상기 내부하우징(H1)과 결합하기 위한 내부하우징 결합용 나사홀(731)이 형성되어, 상기 내부하우징 결합용 나사홀(731)에 나사(830)를 끼워넣어 상기 내부하우징(H1)의 라인 지지부재 결합용 나사홀(미도시)에 결합시킴으로써 상기 라인 지지부재(730)를 상기 내부 하우징(H1)에 결합시킬 수 있다.The line support member 730 has an inner housing
또한, 상기 라인 지지부재(730)는 상기 공급배관 연결단부(510)의 둘레방향의 일측과 타측을 감싸는 한 쌍의 라인 지지부재(730-1,730-2)의 결합으로 구성될 수 있다.In addition, the line support member 730 may be configured by a combination of a pair of line support members 730-1 and 730-2 surrounding one side of the supply
상기 한 쌍의 라인 지지부재(730-1,730-2)에는 상호 결합을 위한 한 쌍 결합용 나사홀(732)이 형성되어, 상기 한 쌍 결합용 나사홀(732)에 나사(840)를 끼워넣어 결합시킴으로써 상기 한 쌍의 라인 지지부재(730-1,730-2)를 상호 결합시킬 수 있다.The pair of line support members (730-1, 730-2) is formed with a pair of screw holes 732 for mutual coupling, and insert a screw 840 into the pair of screw holes 732 for coupling By combining, the pair of line support members 730-1 and 730-2 may be coupled to each other.
상기 한 쌍의 라인 지지부재(730-1,730-2)에 의하면, 상기 공급배관(500)에 대한 지지 강도를 높여 상기 공급배관(500)의 흔들림을 효과적으로 차단할 수 있으며, 이에 따라 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결 안정성을 보다 높일 수 있다.According to the pair of line support members 730-1 and 730-2, it is possible to effectively block the shaking of the
상기한 바와 같이, 실시예에 따른 가스공급장치(1)에 의하면, 연결배관(370)과 공급배관(500)의 연결부(610,620,510)의 흔들림을 최소화하여 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결 상태를 안정적으로 유지함으로써 가스 누출을 방지할 수 있다.As described above, according to the
또한, 상기 연결부(610,620,510)를 지지하여 커넥터 체결부(330)에 대한 상기 연결부(610,620,510)의 상대적 위치를 고정함으로써 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결 상태를 안정적으로 유지하고 가스 누출을 방지할 수 있다.In addition, by supporting the connection parts 610,620,510 to fix the relative position of the connection parts 610,620,510 with respect to the
또한, 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 사이를 연결하는 연결부(610,620)의 외부 둘레를 지지하여 상기 연결부(610,620)의 회전을 차단함으로써 상기 연결배관(370)과 상기 공급배관(500)의 연결 상태를 안정적으로 유지하고 가스 누출을 방지할 수 있다.In addition, the
전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.As described above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the accompanying drawings. It is possible to do so, and this also belongs to the present invention.
1 : 가스공급장치
2 : 상부모듈
3 : 하부모듈
4 : 밸브개폐부
10 : 용기
30 : 밸브 커넥터
31 : 커버
50 : 핸들
300 : 체결모듈
320 : 커버 분리부
330 : 커넥터 체결부
331 : 연결배관 커넥터
370 : 연결배관
500 : 공급배관
510 : 공급배관 연결단부, 연결부
610 : 제1연결부재, 연결부
620 : 제2연결부재, 연결부
710, 710-1, 710-2 : 제1고정브라켓, 연결부재
720 : 제2고정브라켓, 연결부재
730, 730-1,730-2: 라인 지지부재
H1 : 내부 하우징
H2 : 외부 하우징 1: gas supply device
2: upper module
3: lower module
4: valve opening and closing
10: container
30: valve connector
31: cover
50: handle
300: fastening module
320: cover separation unit
330: connector joint
331: connection piping connector
370: connection pipe
500: supply pipe
510: supply pipe connection end, connection
610: first connecting member, connecting part
620: second connecting member, connecting part
710, 710-1, 710-2: first fixing bracket, connecting member
720: second fixing bracket, connecting member
730, 730-1, 730-2: line support member
H1: inner housing
H2: outer housing
Claims (14)
상기 연결배관 커넥터의 타측에 연결된 연결배관;
상기 연결배관과 가스 소요처를 연결하는 공급배관; 및
상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결부를 지지하여 상기 커넥터 체결부에 대한 상기 연결부의 상대적 위치를 고정함으로써 상기 이송수단의 구동시 상기 연결부의 흔들림을 방지하고 상기 연결배관과 상기 공급배관의 연결 상태를 유지하기 위한 적어도 하나의 지지부재;
를 포함하는 가스공급장치.A connector fastening part which is conveyed by the driving of the conveying means and includes a connection pipe connector whose one side is in contact with or spaced apart from the valve connector of the container by the driving of the conveying means;
A connection pipe connected to the other side of the connection pipe connector;
A supply pipe connecting the connection pipe and a gas demand destination; And
By supporting the connection part between the connection pipe and the supply pipe and fixing the relative position of the connection part with respect to the connector fastening part, it prevents shaking of the connection part when the transfer means is driven, and the connection state of the connection pipe and the supply pipe At least one support member for holding;
Gas supply device comprising a.
상기 연결부는, 상기 연결배관과 상기 공급배관 사이를 연결하는 연결부재를 포함하고,
상기 지지부재는, 상기 연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 지지하여 상기 연결부재의 회전을 차단하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 1,
The connection part includes a connection member connecting between the connection pipe and the supply pipe,
And the support member is configured to block rotation of the connection member by supporting at least a portion of the outer circumference of the connection member.
상기 지지부재는, 상기 연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부에 형합된 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 2,
The gas supply device, wherein the support member has a shape fitted to at least a part of an outer circumference of the connecting member.
상기 연결부재는 상기 연결배관에 연결된 제1연결부재와 상기 공급배관에 연결된 제2연결부재를 포함하며, 상기 제1연결부재와 상기 제2연결부재는 상호 맞물려 나사결합되는 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 2,
The connection member comprises a first connection member connected to the connection pipe and a second connection member connected to the supply pipe, wherein the first connection member and the second connection member are screwed into engagement with each other. Gas supply device.
상기 지지부재는 상기 제1연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제1고정브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치. The method of claim 4,
Wherein the support member includes a first fixing bracket provided to surround at least a portion of an outer circumference of the first connection member.
상기 지지부재는 상기 제2연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제2고정브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치. The method of claim 4,
Wherein the support member includes a second fixing bracket provided to surround at least a portion of an outer circumference of the second connection member.
상기 지지부재는,
상기 제1연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제1고정브라켓과,
상기 제2연결부재의 외부 둘레의 적어도 일부를 감싸도록 구비된 제2고정브라켓을 포함하되,
상기 제1고정브라켓과 상기 제2고정브라켓이 상호 결합되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 4,
The support member,
A first fixing bracket provided to surround at least a portion of an outer circumference of the first connecting member,
Including a second fixing bracket provided to surround at least a portion of the outer circumference of the second connecting member,
A gas supply apparatus, characterized in that the first fixing bracket and the second fixing bracket are coupled to each other.
상기 지지부재에는 호형 장공이 구비되어, 나사가 상기 호형 장공을 통해 타 부재와 결합하여 상기 타 부재와 상기 지지부재의 결합이 이루어지되,
상기 연결배관과 상기 공급배관이 상호 연결된 상태에서 상기 연결부재의 위상에 따라 상기 지지부재의 결합 각도를 조절 가능하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 3,
The support member is provided with an arc-shaped long hole, and a screw is coupled to the other member through the arc-shaped long hole, so that the other member and the supporting member are coupled,
The gas supply apparatus, characterized in that, in a state in which the connection pipe and the supply pipe are interconnected, the coupling angle of the support member can be adjusted according to the phase of the connection member.
상기 제1고정브라켓의 위치가 고정되고, 상기 제2고정브라켓이 상기 제1고정브라켓에 결합되며,
상기 제2고정브라켓에는 호형 장공이 구비되어, 나사가 상기 호형 장공을 통해 상기 제1고정브라켓과 결합하여 상기 제1고정브라켓과 상기 제2고정브라켓의 결합이 이루어지되,
상기 연결배관과 상기 공급배관이 상호 연결된 상태에서 상기 제2연결부재의 위상에 따라 상기 제2고정브라켓의 결합 각도를 조절 가능하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치. The method of claim 7,
The position of the first fixing bracket is fixed, the second fixing bracket is coupled to the first fixing bracket,
The second fixing bracket is provided with an arc-shaped long hole, and a screw is coupled to the first fixing bracket through the arc-shaped long hole, so that the first fixing bracket and the second fixing bracket are coupled,
The gas supply device, characterized in that, in a state in which the connection pipe and the supply pipe are connected to each other, the coupling angle of the second fixing bracket can be adjusted according to the phase of the second connection member.
상기 연결부는, 상기 공급배관의 일부로서 상기 연결배관과 연결된 측의 끝단으로부터 일정 간격 이격된 범위의 공급배관 연결단부를 포함하고;
상기 지지부재는, 상기 공급배관 연결단부의 적어도 일부를 지지하여 상기 공급배관의 흔들림을 차단하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 1,
The connection part includes a supply pipe connection end of a range spaced apart from an end of a side connected to the connection pipe as a part of the supply pipe;
The gas supply device, wherein the support member is configured to support at least a portion of the supply pipe connection end to block shaking of the supply pipe.
상기 지지부재는, 상기 커넥터 체결부 또는 상기 이송수단의 구동에 의해 상기 커넥터 체결부와 함께 이송되는 상기 가스공급장치의 일부 구성에 결합되어, 상기 이송수단의 구동시 상기 커넥터 체결부와 함께 이송되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method according to any one of claims 1 to 10,
The support member is coupled to a part of the gas supply device conveyed together with the connector fastening part by driving the connector fastening part or the conveying means, so that it is conveyed together with the connector fastening part when the conveying means is driven. Gas supply device, characterized in that made.
상기 커넥터 체결부는 상기 연결배관 커넥터 및 상기 연결배관을 지지하는 하우징을 포함하고,
상기 지지부재는 상기 하우징에 결합되어 상기 이송수단의 구동시 상기 커넥터 체결부와 함께 이송되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치. The method of claim 11,
The connector fastening part includes a housing for supporting the connection pipe connector and the connection pipe,
The gas supply device, characterized in that the support member is coupled to the housing to be transported together with the connector fastening portion when the transport means is driven.
상기 공급배관은 피그테일 배관인 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 1,
The gas supply device, characterized in that the supply pipe is a pigtail pipe.
상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재는 외부 둘레가 다각형 너트 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.The method of claim 4,
The gas supply device, wherein the first connection member and the second connection member have an outer circumference in a polygonal nut shape.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200124608A KR102233472B1 (en) | 2020-09-25 | 2020-09-25 | Gas supply apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020200124608A KR102233472B1 (en) | 2020-09-25 | 2020-09-25 | Gas supply apparatus |
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Publication Number | Publication Date |
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KR102233472B1 true KR102233472B1 (en) | 2021-03-29 |
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ID=75249845
Family Applications (1)
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KR1020200124608A KR102233472B1 (en) | 2020-09-25 | 2020-09-25 | Gas supply apparatus |
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Country | Link |
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KR (1) | KR102233472B1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060117265A (en) * | 2005-05-13 | 2006-11-16 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 | Enhanced purge effect in gas conduit |
KR20170141338A (en) * | 2016-06-15 | 2017-12-26 | 주식회사 케이씨 | Gas cylinder connector |
KR20180003123U (en) * | 2018-10-23 | 2018-10-31 | 정인성 | Locking Device for Preventing Connected Part from Being Loose |
KR102112763B1 (en) * | 2019-02-01 | 2020-06-04 | 주식회사 케이씨 | Automated Gas Supplying Device |
-
2020
- 2020-09-25 KR KR1020200124608A patent/KR102233472B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060117265A (en) * | 2005-05-13 | 2006-11-16 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 | Enhanced purge effect in gas conduit |
KR20170141338A (en) * | 2016-06-15 | 2017-12-26 | 주식회사 케이씨 | Gas cylinder connector |
KR20180003123U (en) * | 2018-10-23 | 2018-10-31 | 정인성 | Locking Device for Preventing Connected Part from Being Loose |
KR102112763B1 (en) * | 2019-02-01 | 2020-06-04 | 주식회사 케이씨 | Automated Gas Supplying Device |
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