KR102232785B1 - Apparatus for measuring fine particles - Google Patents

Apparatus for measuring fine particles Download PDF

Info

Publication number
KR102232785B1
KR102232785B1 KR1020190146187A KR20190146187A KR102232785B1 KR 102232785 B1 KR102232785 B1 KR 102232785B1 KR 1020190146187 A KR1020190146187 A KR 1020190146187A KR 20190146187 A KR20190146187 A KR 20190146187A KR 102232785 B1 KR102232785 B1 KR 102232785B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
scattered
fine dust
optical fiber
unit
Prior art date
Application number
KR1020190146187A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
백성훈
최인영
Original Assignee
한국원자력연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국원자력연구원 filed Critical 한국원자력연구원
Priority to KR1020190146187A priority Critical patent/KR102232785B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102232785B1 publication Critical patent/KR102232785B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging
    • G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection

Abstract

The present invention relates to an apparatus for measuring fine dust to increase particle size distribution measurement performance. According to an exemplary embodiment of the present invention, the apparatus comprises: a light source unit including a plurality of light sources outputting laser beams of different wavelengths; a light emission unit emitting each of the laser beams output from the plurality of light sources into a measurement space in which air containing fine dust particles flows; a light receiving unit receiving scattered light beams in which the laser beam emitted by the light emission unit is scattered by the fine dust particles passing through the measurement space to transmit the scattered laser beams along the same optical path; and a photodetector including a plurality of photosensors respectively detecting the scattered laser beams transmitted through the light receiving unit for each wavelength of each laser beam. The light emission unit is configured to combine the laser beams respectively output from the plurality of light sources into one laser beam to be emitted along the same optical path to be placed on the same optical axis and the light receiving unit is configured to transmit the scattered laser beams to each of the plurality of optical sensors.

Description

미세먼지 측정장치{APPARATUS FOR MEASURING FINE PARTICLES}Fine dust measuring device{APPARATUS FOR MEASURING FINE PARTICLES}

본 발명은 미세먼지 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for measuring fine dust.

미세먼지 측정기는 중량측정법, 베타선측정법, 광산란법등을 이용하는 장치가 있으나, 최근에는 장치가 간단하고 실시간 측정이 가능한 광산란 측정법을 이용한 장치가 많이 개발되고 있다. There are devices using a gravimetric method, a beta ray measurement method, a light scattering method, etc. for fine dust measuring devices, but recently, many devices using a light scattering method that are simple and capable of real-time measurement have been developed.

보통 광산란 방식의 미세먼지 측정장치는 파티클 카운터의 원리를 이용한다. 즉, 외부공기를 흡입하여 내부관을 통하여 레이저(또는 LED)빔의 앞을 통과하게 한 후, 산란된 빛을 측정하여 입자(먼지)의 크기와 갯수를 측정한다. 레이저빔의 산란 횟수로부터 입자의 갯수를 계산하고, 산란광량으로 입자의 크기를 추정하는 방식이다. Usually, the light scattering method of fine dust measuring device uses the principle of particle counter. That is, after inhaling external air and passing the laser (or LED) beam through the inner tube, the scattered light is measured to measure the size and number of particles (dust). This is a method of calculating the number of particles from the number of scattering of the laser beam and estimating the size of the particles by the amount of scattered light.

이러한 광산란 방식의 미세먼지 측정기는 필터흡착식에 비해 장치가 소형 경량이며, 실시간 측정이 가능하고, 입자의 사이즈별로 측정이 가능하다는 장점이 있다. 하지만, 레이저광원에 대한 오차가 발생하고, 정확하게 입자의 크기 분리(입자크기 분포측정)가 어렵다는 문제가 있다. Compared to the filter adsorption type, the light-scattering fine dust meter has the advantage that the device is small and light, can be measured in real time, and can be measured for each particle size. However, there is a problem in that an error occurs with respect to the laser light source, and it is difficult to accurately separate the size of the particles (particle size distribution measurement).

KR 10-2012-0121045KR 10-2012-0121045

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 광산란 방식의 미세먼지 측정장치에서 레이저광원에 대한 오차를 줄이고, 입자의 크기 분포에 대한 측정 성능을 향상시킬 수 있는 미세먼지 측정장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above-described problem, to provide a fine dust measuring device capable of reducing an error with respect to a laser light source in a fine dust measuring device of a light scattering method and improving the measurement performance for the size distribution of particles.

다만, 본 발명의 목적은 이에만 제한되는 것은 아니며, 명시적으로 언급하지 않더라도 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 이에 포함된다고 할 것이다.However, the object of the present invention is not limited thereto, and even if not explicitly mentioned, the object or effect that can be grasped from the solutions or embodiments of the problems described below will be included therein.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치는, 상이한 파장의 레이저광을 각각 출력하는 복수의 광원을 포함하는 광원부; 상기 복수의 광원으로부터 각각 출력된 레이저광을 미세먼지 입자가 포함된 공기가 흐르는 측정 공간으로 조사하는 광조사부; 상기 광조사부에 의해 조사된 레이저광이 상기 측정 공간을 지나는 미세먼지 입자에 의해 산란되는 산란광을 수신하여 동일 광경로를 따라서 이송시키는 광수신부; 및 상기 광수신부를 통해 이송되는 상기 산란광을 각 레이저광의 파장별로 각각 감지하는 복수의 광센서를 포함하는 광검출부;를 포함하고, 상기 광조사부는 상기 복수의 광원에서 각각 출력되는 레이저광이 동일 광축선상에 놓이도록 하나의 레이저광으로 합쳐서 동일 광경로를 따라서 조사되도록 구성되며, 상기 광수신부는 상기 산란광을 상기 복수의 광센서 각각으로 이송하도록 구성될 수 있다.An apparatus for measuring fine dust according to an exemplary embodiment of the present invention includes: a light source unit including a plurality of light sources each outputting laser light having a different wavelength; A light irradiation unit that irradiates the laser light output from each of the plurality of light sources into a measurement space through which air containing fine dust particles flows; A light receiving unit for receiving the scattered light scattered by fine dust particles passing through the measurement space by the laser light irradiated by the light irradiation unit and transferring it along the same optical path; And a light detection unit including a plurality of optical sensors respectively detecting the scattered light transmitted through the light receiving unit according to wavelengths of each laser light; wherein the light irradiation unit includes a laser light output from the plurality of light sources at the same optical axis It is configured to be combined into one laser light to be placed on a line and irradiated along the same optical path, and the light receiving unit may be configured to transfer the scattered light to each of the plurality of optical sensors.

상기 광조사부는 상기 복수의 광원에서 각각 출력되는 레이저광을 하나의 레이저광으로 합쳐서 동일 광경로를 따라 안내하는 제1광섬유 및 상기 제1광섬유에서 조사되는 상기 레이저광을 집속하는 제1집속렌즈를 포함하며, 상기 제1광섬유는 광섬유 커플러를 포함하여 상기 복수의 광원에 각각 대응하여 복수로 분기되는 구조를 가질 수 있다.The light irradiation unit includes a first optical fiber guiding along the same optical path by combining laser light output from the plurality of light sources into one laser light, and a first focusing lens for focusing the laser light irradiated from the first optical fiber. The first optical fiber may include an optical fiber coupler and may have a structure in which a plurality of branches are respectively corresponding to the plurality of light sources.

상기 광수신부는 상기 산란광을 집속하는 제2집속렌즈 및 상기 제2집속렌즈에 의해 집속된 상기 산란광을 수신하여 동일 광경로를 따라서 상기 복수의 광센서 각각으로 안내하는 제2광섬유를 포함하며, 상기 제2광섬유는 광섬유 서큘레이터를 포함하여 상기 복수의 광센서에 각각 대응하여 복수로 분기되는 구조를 가질 수 있다.The light receiving unit includes a second focusing lens for focusing the scattered light and a second optical fiber for receiving the scattered light focused by the second focusing lens and guiding each of the plurality of optical sensors along the same optical path, and the The second optical fiber may include an optical fiber circulator and have a structure in which a plurality of branches are respectively corresponding to the plurality of optical sensors.

상기 미세먼지 입자에 의해 산란되지 않은 레이저광을 제거하는 광제거부를 더 포함할 수 있다.It may further include a light removal unit for removing the laser light not scattered by the fine dust particles.

상기 광원부, 상기 광조사부, 상기 광수신부, 상기 광검출부가 장착되며, 내부에 상기 측정 공간을 제공하는 하우징을 더 포함할 수 있다.The light source unit, the light irradiation unit, the light receiving unit, and the light detection unit may further include a housing that provides the measurement space therein.

본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 광산란 방식의 미세먼지 측정장치에서 레이저광원에 대한 오차를 줄이고, 입자의 크기 분포에 대한 측정 성능을 향상시킬 수 있는 미세먼지 측정장치가 제공될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, a fine dust measuring device capable of reducing an error for a laser light source and improving a measurement performance for a particle size distribution in a light scattering fine dust measuring device may be provided.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.Various and beneficial advantages and effects of the present invention are not limited to the above-described contents, and may be more easily understood in the course of describing specific embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치를 개략적으로 나타내는 구성도.
도 2는 도 1의 미세먼지 측정장치에서 광원과 광조사부를 나타내는 개략도.
도 3은 도 1의 미세먼지 측정장치에서 광수신부와 광검출부를 나타내는 개략도.
도 4는 도 3의 광수신부에서 입사되는 산란광이 각 광검출부로 분기되는 것을 설명하는 개략도. 1 is a block diagram schematically showing an apparatus for measuring fine dust according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a schematic diagram showing a light source and a light irradiation unit in the fine dust measuring device of FIG. 1.
3 is a schematic diagram showing a light receiving unit and a light detecting unit in the fine dust measuring apparatus of Fig. 1;
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating that scattered light incident from the light receiving unit of FIG. 3 is diverged to each light detection unit.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, preferred embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. However, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.In addition, throughout the specification, when a part is said to be'connected' with another part, it is not only'directly connected', but also'indirectly connected' with another element in the middle. Includes. In addition, "including" a certain component means that other components may be further included rather than excluding other components unless otherwise stated.

도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치를 설명한다. An apparatus for measuring fine dust according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4.

도 1은 본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치를 개략적으로 나타내는 구성도이고, 도 2는 도 1의 미세먼지 측정장치에서 광원과 광조사부를 나타내는 개략도이며, 도 3은 도 1의 미세먼지 측정장치에서 광수신부와 광검출부를 나타내는 개략도이고, 도 4는 도 3의 광수신부에서 입사되는 산란광이 각 광검출부로 분기되는 것을 설명하는 개략도이다. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a fine dust measuring apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing a light source and a light irradiation unit in the fine dust measuring apparatus of FIG. 1, and FIG. It is a schematic diagram showing a light receiving unit and a light detecting unit in the fine dust measuring apparatus, and Fig. 4 is a schematic diagram explaining that the scattered light incident from the light receiving unit of Fig. 3 is diverged to each light detecting unit.

도면을 참조하면, 본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 복수의 광원(11, 12, 13)을 포함하는 광원부(10)를 포함할 수 있다. Referring to the drawings, the fine dust measuring apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a light source unit 10 including a plurality of light sources 11, 12, and 13.

광원(11, 12, 13)은 각각 레이저광(L)을 출력하는 레이저 다이오드(laser diode)일 수 있으며, 복수의 광원(11, 12, 13)은 각각 상이한 파장의 레이저광(L1 ,L2, L3)을 출력할 수 있다. 예를 들어, 제1 광원(11)은 대략 파장이 2.5㎛ 미만의 레이저광(L1)을 출력하고, 제2 광원(12)은 파장이 2.5㎛ 이상 10㎛ 미만인 레이저광(L2)을 출력하며, 제3 광원(13)은 파장이 10㎛ 이상의 레이저광(L3)을 출력할 수 있다. 이 외에 각 광원(11, 12, 13)의 파장은 측정 대상인 미세먼지 입자의 크기(입경)에 따라서 다양하게 조절될 수 있다.Each of the light sources 11, 12, 13 may be a laser diode that outputs laser light L, and the plurality of light sources 11, 12, 13 are respectively different wavelengths of laser light L1, L2, L3) can be output. For example, the first light source 11 outputs a laser light L1 having a wavelength of less than 2.5 μm, and the second light source 12 outputs a laser light L2 having a wavelength of 2.5 μm or more and less than 10 μm. , The third light source 13 may output a laser light L3 having a wavelength of 10 μm or more. In addition, the wavelength of each light source 11, 12, 13 may be variously adjusted according to the size (particle diameter) of the fine dust particles to be measured.

본 실시예에서는 광원부(10)가 세 개의 광원(11, 12, 13)으로 구성되는 것으로 예시하고 있으나 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 광원부(10)는 두 개 또는 세 개 이상의 광원으로 구성되는 것도 가능하다.In the present embodiment, the light source unit 10 is illustrated as being composed of three light sources 11, 12, and 13, but is not limited thereto. For example, the light source unit 10 may be composed of two or three or more light sources.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 광조사부(20)를 포함할 수 있다. The fine dust measuring apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a light irradiation unit 20.

광조사부(20)는 광원부(10)의 복수의 광원(11, 12, 13)으로부터 각각 출력된 레이저광(L1, L2, L3)을 미세먼지 입자(P)가 포함된 공기가 흐르는 측정 공간(S)으로 조사할 수 있다.The light irradiation unit 20 includes the laser beams L1, L2, and L3 output from the plurality of light sources 11, 12, and 13 of the light source unit 10, respectively, in a measurement space through which air containing fine dust particles P flows ( It can be investigated with S).

광조사부(20)는 복수의 광원(11, 12, 13)에서 각각 출력되는 레이저광(L1, L2, L3)이 동일 광축(OA)선상에 놓이도록 하나의 레이저광(L)으로 합쳐서 동일 광경로를 따라서 조사되도록 구성될 수 있다. The light irradiation unit 20 combines the laser light L1, L2, and L3 respectively output from the plurality of light sources 11, 12, 13 into one laser light L so that the laser light L1, L2, L3, respectively, is placed on the same optical axis OA It can be configured to be irradiated along the furnace.

일 실시예에서, 광조사부(20)는 복수의 광원(11, 12, 13)에서 각각 출력되는 레이저광(L1, L2, L3)을 하나의 레이저광(L)으로 합쳐서 동일 광경로를 따라 안내하는 제1광섬유(21) 및 제1광섬유(21)에서 조사되는 레이저광(L)을 집속하는 제1집속렌즈(22)를 포함할 수 있다.In one embodiment, the light irradiation unit 20 combines the laser light L1, L2, L3 respectively output from the plurality of light sources 11, 12, 13 into one laser light L and guides it along the same optical path. It may include a first optical fiber 21 and a first focusing lens 22 that focuses the laser light (L) irradiated from the first optical fiber (21).

제1광섬유(21)는 광섬유 커플러(23)를 포함하여 복수의 광원(11, 12, 13)에 각각 대응하여 복수로 분기되는 구조를 가질 수 있다. 도면에서와 같이, 제1광섬유(21)는 세 개의 광원(11, 12, 13)에 대응하여 세 개로 분기될 수 있으며, 제1광섬유(21)의 분기된 각 일측 끝단에는 광원(11, 12, 13)이 연계될 수 있다. The first optical fiber 21 may include an optical fiber coupler 23 and may have a structure in which a plurality of branches are respectively corresponding to the plurality of light sources 11, 12, and 13. As shown in the drawing, the first optical fiber 21 may be branched into three corresponding to the three light sources 11, 12, 13, and light sources 11 and 12 at each end of each branched end of the first optical fiber 21 , 13) can be linked.

복수의 광원(11, 12, 13)에서 각각 출력되는 레이저광(L1, L2, L3)은 제1광섬유(21)의 끝단을 통해 제1광섬유(21) 내부로 입사되고, 최종적으로 제1광섬유(21) 내에서 하나의 레이저광(L)으로 합쳐진 상태로 동일 광경로를 따라서 조사될 수 있다.The laser light (L1, L2, L3) output from the plurality of light sources 11, 12, 13, respectively, is incident into the first optical fiber 21 through the end of the first optical fiber 21, and finally, the first optical fiber It can be irradiated along the same optical path in a state of being combined into one laser light (L) within (21).

제1집속렌즈(22)는 제1광섬유(21)의 타측 끝단에서 조사되는 레이저광(L)을 집속하여 동일 광경로를 따라서 진행하는 하나의 평행한 레이저광(L)으로 조사되도록 할 수 있다.The first focusing lens 22 may focus the laser light L irradiated from the other end of the first optical fiber 21 to be irradiated with one parallel laser light L traveling along the same optical path. .

이에 따라, 복수의 레이저광(L1, L2, L3)은 제1광섬유(21)에서 하나의 레이저광(L)으로 합쳐진 후 동일 광경로와 제1집속렌즈(22)를 지나면서 동일한 미세먼지 입자(P)와 부딪히게 된다. 즉, 복수의 광원(11, 12, 13)에서 출력된 레이저광(L1, L2, L3)이 각각 분산되어 개별적으로 측정 공간(S)을 흐르는 다양한 미세먼지 입자(P)와 부딪히는 것이 아니라 세 개의 레이저광(L1, L2, L3)을 하나의 레이저광(L)으로 집속하여 모두 동일한 미세먼지 입자(P)에 동시에 부딪히도록 구성되는 것이다. 그리고, 연속하는 미세먼지 입자(P) 각각에 대해 집속된 하나의 레이저광(L)을 조사할 수 있다. 이러한 효과를 거두기 위해 제1집속렌즈(24)는 색수차가 보정된 광학계를 사용할 수 있다.Accordingly, the plurality of laser beams (L1, L2, L3) are combined into one laser beam (L) in the first optical fiber (21) and pass through the same optical path and the first focusing lens (22), and the same fine dust particles You bump into (P). In other words, the laser light (L1, L2, L3) output from the plurality of light sources (11, 12, 13) is dispersed and individually does not collide with various fine dust particles (P) flowing through the measurement space (S), but three The laser light (L1, L2, L3) is configured to collide with the same fine dust particles (P) at the same time by focusing the laser light (L). And, it is possible to irradiate one laser light (L) focused on each of the continuous fine dust particles (P). To achieve this effect, the first focusing lens 24 may use an optical system in which chromatic aberration is corrected.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 광수신부(30)를 포함할 수 있다. The fine dust measuring apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a light receiving unit 30.

광수신부(30)는 광조사부(20)에 의해 조사된 레이저광(L)이 측정 공간(S)을 지나는 미세먼지 입자(P)에 의해 산란되는 산란광(La, Lb, Lc)을 수신하고, 수신된 산란광(La, Lb, Lc)을 동일 광경로를 따라서 이송시킬 수 있다.The light receiving unit 30 receives the scattered light (La, Lb, Lc) scattered by the fine dust particles (P) passing through the measurement space (S) by the laser light (L) irradiated by the light irradiation unit (20), The received scattered light (La, Lb, Lc) can be transferred along the same optical path.

광수신부(30)는 산란광(La, Lb, Lc)을 추후 설명하는 광검출부(40)의 복수의 광센서(41, 42, 43) 각각으로 이송하도록 구성될 수 있다.The light receiving unit 30 may be configured to transfer the scattered light (La, Lb, Lc) to each of the plurality of optical sensors 41, 42, and 43 of the light detection unit 40 to be described later.

일 실시예에서, 광수신부(30)는 산란광(La, Lb, Lc)을 집속하는 제2집속렌즈(32) 및 제2집속렌즈(32)에 의해 집속된 산란광(La, Lb, Lc)을 수신하여 동일 광경로를 따라서 복수의 광센서(41, 42, 43) 각각으로 안내하는 제2광섬유(31)를 포함할 수 있다.In one embodiment, the light receiving unit 30 receives the second focusing lens 32 focusing the scattered light (La, Lb, Lc) and the scattered light (La, Lb, Lc) focused by the second focusing lens 32 It may include a second optical fiber 31 that receives and guides each of the plurality of optical sensors 41, 42, and 43 along the same optical path.

제2집속렌즈(32)는 산란광(La, Lb, Lc)을 집속하여 제2광섬유(31)의 일측 끝단으로 입사되도록 한다.The second focusing lens 32 focuses the scattered light (La, Lb, Lc) to be incident to one end of the second optical fiber 31.

제2광섬유(31)는 광섬유 서큘레이터(33)를 포함하여 복수의 광센서(41, 42, 43)에 각각 대응하여 복수로 분기되는 구조를 가질 수 있다. 도면에서와 같이, 제2광섬유(31)는 세 개의 광센서(41,42, 43)에 대응하여 세 개로 분기될 수 있으며, 제2광섬유(31)의 분기된 각 끝단에는 광센서(41, 42, 43)가 연계될 수 있다. The second optical fiber 31 may include an optical fiber circulator 33 and may have a structure in which a plurality of branches are respectively corresponding to the plurality of optical sensors 41, 42, and 43. As shown in the drawing, the second optical fiber 31 may be divided into three corresponding to the three optical sensors 41, 42, 43, and an optical sensor 41, at each branched end of the second optical fiber 31, 42, 43) can be linked.

이에 따라, 제2집속렌즈(32)에서 집속된 산란광(La, Lb, Lc)은 제2광섬유(31)의 일측 끝단을 통해 제2광섬유(31) 내부로 입사되고, 제2광섬유(31) 내에서 동일 광경로를 따라서 이송될 수 있다.Accordingly, the scattered light (La, Lb, Lc) focused by the second focusing lens 32 is incident into the second optical fiber 31 through one end of the second optical fiber 31, and the second optical fiber 31 It can be transported along the same light path within.

한편, 제2광섬유(31)의 각 분기점에는 광섬유 서큘레이터(33)가 구비되어 각 광센서(41, 42, 43)에 입사되는 산란광(La, Lb, Lc)의 신호가 손실되는 것을 방지할 수 있다. 이에 대해서는 추후 구체적으로 설명한다.On the other hand, an optical fiber circulator 33 is provided at each branch point of the second optical fiber 31 to prevent loss of the signal of the scattered light (La, Lb, Lc) incident on each optical sensor (41, 42, 43). I can. This will be described in detail later.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 광검출부(40)를 포함할 수 있다.The fine dust measuring apparatus 1 according to the exemplary embodiment of the present invention may include a photodetector 40.

광검출부(40)는 복수의 광원(11, 12, 13)에 대응하는 복수의 광센서(41, 42, 43)를 포함하며, 광수신부(30)를 통해 이송되는 산란광(La, Lb, Lc)을 감지할 수 있다. 광센서(41, 42, 43)로는 포토 다이오드(photo diode)가 채용될 수 있다.The light detection unit 40 includes a plurality of optical sensors 41, 42, and 43 corresponding to the plurality of light sources 11, 12, 13, and scattered light (La, Lb, Lc) transferred through the light receiving unit 30. ) Can be detected. As the photosensors 41, 42, and 43, a photo diode may be employed.

각 광센서(41, 42, 43)는 각 레이저광(L1, L2, L3)의 파장별로 해당 레이저광(L1, L2, L3)의 산란광(La, Lb, Lc)을 감지할 수 있다. 예를 들어, 제1 광센서(41)는 제1 광원(11)의 레이저광(L1)의 산란광(La)을 감지하고, 제2 광센서(42)는 제2 광원(12)의 레이저광(L2)의 산란광(Lb)을 감지하며, 제3 광센서(43)는 제3 광원(13)의 레이저광(L3)의 산란광(Lc)을 감지할 수 있다.Each optical sensor 41, 42, 43 may detect the scattered light La, Lb, and Lc of the corresponding laser light L1, L2, L3 according to the wavelength of each laser light L1, L2, L3. For example, the first optical sensor 41 detects the scattered light La of the laser light L1 of the first light source 11, and the second optical sensor 42 detects the laser light of the second light source 12. The scattered light Lb of L2 is sensed, and the third optical sensor 43 may detect the scattered light Lc of the laser light L3 of the third light source 13.

복수의 광센서(41, 42, 43)는 광수신부(30)의 제2광섬유(31)의 분기된 각 끝단에 연계될 수 있다. 그리고, 복수의 광센서(41, 42, 43)에는 각각 특정 파장의 광만을 투과시키는 밴드패스 필터(44, 45, 46)가 구비될 수 있다. The plurality of optical sensors 41, 42, 43 may be connected to each branched end of the second optical fiber 31 of the light receiving unit 30. Further, the plurality of optical sensors 41, 42, and 43 may be provided with bandpass filters 44, 45, and 46 that transmit only light of a specific wavelength, respectively.

한편, 제2광섬유(31)의 각 분기점에 광섬유 서큘레이터(33)가 구비됨에 따라 각 광센서(41, 42, 43)에 입사되는 산란광(La, Lb, Lc)의 신호가 손실되는 것을 방지할 수 있다. On the other hand, as the optical fiber circulator 33 is provided at each branch point of the second optical fiber 31, the signal of the scattered light (La, Lb, Lc) incident on each optical sensor (41, 42, 43) is prevented from being lost. can do.

예를 들어, 산란광(La, Lb, Lc)이 제2광섬유(31)로 입사되면, 첫 번째 광섬유 서큘레이터(33a)에서 산란광(La)의 신호를 제1 광센서(41) 방향으로 반사하여 통과시키지 않고, 나머지 산란광(Lb, Lc)의 신호를 제2광섬유(31)를 따라서 제2 광센서(42)와 제3 광센서(43) 방향으로 통과시킨다. 따라서, 제1 광센서(41)에는 산란광(La) 신호가 손실없이 입사될 수 있다. For example, when the scattered light (La, Lb, Lc) is incident on the second optical fiber 31, the signal of the scattered light La is reflected from the first optical fiber circulator 33a toward the first optical sensor 41 Without passing through, the signals of the remaining scattered light Lb and Lc are passed along the second optical fiber 31 in the direction of the second optical sensor 42 and the third optical sensor 43. Accordingly, the scattered light (La) signal may be incident on the first photosensor 41 without loss.

첫 번째 광섬유 서큘레이터(33a)에서 분기된 제2광섬유(31)를 따라 이송되는 산란광(Lb, Lc)은 두 번째 광섬유 서큘레이터(33b)에서 분리되어 산란광(Lb) 신호는 제2 광센서(42)로 입사되고, 산란광(Lc) 신호는 제3 광센서(43)로 입사될 수 있다. 따라서 제2 광센서(42)에는 산란광(Lb) 신호가 손실없이 입사될 수 있고, 제3 광센서(43)에는 산란광(Lc) 신호가 손실없이 입사될 수 있다.The scattered light Lb and Lc transferred along the second optical fiber 31 branched from the first optical fiber circulator 33a is separated from the second optical fiber circulator 33b, so that the scattered light Lb signal is a second optical sensor ( 42), and the scattered light Lc signal may be incident on the third optical sensor 43. Accordingly, the scattered light Lb signal may be incident on the second optical sensor 42 without loss, and the scattered light Lc signal may be incident on the third optical sensor 43 without loss.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 광제거부(50)를 포함할 수 있다. The fine dust measuring apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a light removing unit 50.

광제거부(50)는 미세먼지 입자(P)에 의해 산란되지 않은 레이저광(L)을 제거할 수 있다. 일 실시예에서, 광제거부(50)는 집광된 하나의 레이저광(L)의 광축(OA)에 배치될 수 있다. The light removal unit 50 may remove the laser light L that is not scattered by the fine dust particles P. In one embodiment, the light removal unit 50 may be disposed on the optical axis OA of one condensed laser light L.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 측정부(60)를 포함할 수 있다. The fine dust measuring apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention may include a measuring unit 60.

측정부(60)는 광검출부(40)의 복수의 광센서(41, 42, 43)와 연결될 수 있으며, 복수의 광센서(41, 42, 43)에서 감지된 신호를 수신하여 미세먼지 입자(P)의 크기와 개수 및 크기 분포를 측정할 수 있다.The measurement unit 60 may be connected to a plurality of optical sensors 41, 42, and 43 of the photodetector 40, and receive signals detected by the plurality of optical sensors 41, 42, and 43 to obtain fine dust particles ( The size, number, and size distribution of P) can be measured.

예를 들어, 측정부(60)는 복수의 광센서(41, 42, 43)에서 감지된 신호를 전기적 신호로 변환하여 레이저광(L)이 부딪힌 미세먼지 입자(P)의 크기와 개수를 측정할 수 있다. 또한, 미세먼지 입자의 크기 분포를 측정할 수 있다.For example, the measurement unit 60 measures the size and number of fine dust particles (P) hit by the laser light (L) by converting signals detected by the plurality of optical sensors (41, 42, 43) into electrical signals. can do. In addition, it is possible to measure the size distribution of fine dust particles.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 하우징(70)을 포함할 수 있다.The fine dust measuring apparatus 1 according to the exemplary embodiment of the present invention may include a housing 70.

하우징(70)은 내부에 측정 공간(S)을 제공할 수 있다. 하우징(70)은 미세먼지 입자(P)가 포함된 공기가 내부의 측정 공간(S)으로 흐르도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 하우징(70)의 일면에는 공기가 내부의 측정 공간(S)으로 유입되도록 하는 유입구(71)가 구비될 수 있고, 타면에는 공기가 외부로 배출되는 배출구(72)가 구비될 수 있다.The housing 70 may provide a measurement space S therein. The housing 70 may be configured such that air containing fine dust particles P flows into the measuring space S inside. For example, one side of the housing 70 may be provided with an inlet 71 through which air is introduced into the measuring space S, and the other side may be provided with an outlet 72 through which air is discharged to the outside. have.

하우징(70)에는 광원부(10), 광조사부(20), 광수신부(30), 광검출부(40) 및 광제거부(50)가 장착되어 지지될 수 있다. A light source unit 10, a light irradiation unit 20, a light receiving unit 30, a light detecting unit 40, and a light removing unit 50 may be mounted and supported in the housing 70.

이와 같이, 본 발명에 따른 미세먼지 측정장치(1)는 상이한 파장을 갖는 세 개의 레이저광(L1, L2, L3)을 단일 광경로를 구현하는 광섬유 광학계를 사용하여 단일 레이저광(L)으로 집속하여 동일 미세먼지 입자(P)를 조사하도록 하고, 미세먼지 입자(P)에 의해 산란된 세 개의 산란광(La, Lb, Lc)을 단일 광경로를 구현하는 광섬유 광학계를 통해 수신하여 해당 미세먼지 입자(P)의 크기를 보다 정확하게 측정할 수 있다. 또한, 크기별 미세먼지 입자(P)의 개수도 정확하게 측정할 수 있다.As described above, the fine dust measuring apparatus 1 according to the present invention focuses three laser lights (L1, L2, L3) having different wavelengths into a single laser light (L) using an optical fiber system that implements a single optical path. The same fine dust particles (P) are irradiated, and the three scattered lights (La, Lb, Lc) scattered by the fine dust particles (P) are received through an optical fiber system that implements a single optical path, and the corresponding fine dust particles The size of (P) can be measured more accurately. In addition, the number of fine dust particles (P) for each size can be accurately measured.

특히, 종래의 미세먼지 측정장치에 사용되는 빔분할기, 이색성 필터 등 정렬이 필요한 벌크광학부품(bulk optics)이 생략되고, 전광섬유(all-fiber)를 사용함으로써 광정렬이 틀어짐에 따른 오차나 성능저하의 문제가 발생하지 않는 장점이 있다.In particular, bulk optics that need alignment, such as beam splitters and dichroic filters used in conventional fine dust measuring devices, are omitted, and errors due to misalignment due to the use of all-fibers There is an advantage that the problem of performance degradation does not occur.

또한, 광수신부(30)의 광섬유 광학계, 즉 제2광섬유(31)는 파장에 적절하게 설계된 광섬유 서큘레이터(33)를 사용함으로써 신호의 손실 없이 수신 효율을 향상시키는 장점이 있다.In addition, the optical fiber system of the light receiving unit 30, that is, the second optical fiber 31 has an advantage of improving reception efficiency without loss of a signal by using an optical fiber circulator 33 designed appropriately for a wavelength.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.The embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains have learned that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. You can understand. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting.

1... 미세먼지 측정장치
10... 광원부
20... 광조사부
30... 광수신부
40... 광검출부
50... 광제거부
60... 측정부
70... 하우징1... Fine dust measuring device
10... light source
20... light irradiation unit
30... light receiver
40... photodetector
50... light removal unit
60... measuring section
70... housing

Claims (5)

상이한 파장의 레이저광을 각각 출력하는 복수의 광원을 포함하는 광원부;
상기 복수의 광원으로부터 각각 출력된 레이저광을 미세먼지 입자가 포함된 공기가 흐르는 측정 공간으로 조사하는 광조사부;
상기 광조사부에 의해 조사된 레이저광이 상기 측정 공간을 지나는 미세먼지 입자에 의해 산란되는 산란광을 수신하여 동일 광경로를 따라서 이송시키는 광수신부; 및
상기 광수신부를 통해 이송되는 상기 산란광을 각 레이저광의 파장별로 각각 감지하는 복수의 광센서를 포함하는 광검출부;
를 포함하고,
상기 광조사부는 상기 복수의 광원에서 각각 출력되는 레이저광이 동일 광축선상에 놓이도록 하나의 레이저광으로 합쳐서 동일 광경로를 따라서 조사되도록 구성되며,
상기 광수신부는 상기 산란광을 상기 복수의 광센서 각각으로 이송하도록 구성되며,
상기 광수신부는 상기 산란광을 집속하는 제2집속렌즈 및 상기 제2집속렌즈에 의해 집속된 상기 산란광을 수신하여 동일 광경로를 따라서 상기 복수의 광센서 각각으로 안내하는 제2광섬유를 포함하며,
상기 제2광섬유는 광섬유 서큘레이터를 포함하여 상기 복수의 광센서에 각각 대응하여 복수로 분기되는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 미세먼지 측정장치.
A light source unit including a plurality of light sources each outputting laser light of a different wavelength;
A light irradiation unit that irradiates the laser light output from each of the plurality of light sources into a measurement space through which air containing fine dust particles flows;
A light receiving unit configured to receive the scattered light scattered by fine dust particles passing through the measurement space by the laser light irradiated by the light irradiation unit and transfer it along the same optical path; And
A light detection unit including a plurality of optical sensors respectively sensing the scattered light transmitted through the light receiving unit for each wavelength of each laser light;
Including,
The light irradiation unit is configured to be combined into one laser light so that each of the laser light output from the plurality of light sources is placed on the same optical axis and irradiated along the same optical path,
The light receiving unit is configured to transfer the scattered light to each of the plurality of optical sensors,
The light receiving unit includes a second focusing lens for focusing the scattered light and a second optical fiber for receiving the scattered light focused by the second focusing lens and guiding each of the plurality of optical sensors along the same optical path,
The second optical fiber is a fine dust measuring device, characterized in that the structure is divided into a plurality of each corresponding to the plurality of optical sensors including an optical fiber circulator.
 제1항에 있어서,
상기 광조사부는 상기 복수의 광원에서 각각 출력되는 레이저광을 하나의 레이저광으로 합쳐서 동일 광경로를 따라 안내하는 제1광섬유 및 상기 제1광섬유에서 조사되는 상기 레이저광을 집속하는 제1집속렌즈를 포함하며,
상기 제1광섬유는 광섬유 커플러를 포함하여 상기 복수의 광원에 각각 대응하여 복수로 분기되는 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 미세먼지 측정장치.
The method of claim 1,
The light irradiation unit includes a first optical fiber guiding along the same optical path by combining laser light output from the plurality of light sources into one laser light, and a first focusing lens for focusing the laser light irradiated from the first optical fiber. Includes,
The first optical fiber is a fine dust measuring device, characterized in that the structure is divided into a plurality of each corresponding to the plurality of light sources including an optical fiber coupler.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 미세먼지 입자에 의해 산란되지 않은 레이저광을 제거하는 광제거부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 측정장치.
The method of claim 1,
Fine dust measuring device, characterized in that it further comprises a light removal unit for removing the laser light not scattered by the fine dust particles.
 제1항에 있어서,
상기 광원부, 상기 광조사부, 상기 광수신부, 상기 광검출부가 장착되며, 내부에 상기 측정 공간을 제공하는 하우징을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 측정장치.
The method of claim 1,
And a housing for mounting the light source unit, the light irradiation unit, the light receiving unit, and the light detection unit, and providing the measurement space therein.
KR1020190146187A 2019-11-14 2019-11-14 Apparatus for measuring fine particles KR102232785B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190146187A KR102232785B1 (en) 2019-11-14 2019-11-14 Apparatus for measuring fine particles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190146187A KR102232785B1 (en) 2019-11-14 2019-11-14 Apparatus for measuring fine particles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102232785B1 true KR102232785B1 (en) 2021-03-26

Family

ID=75259626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190146187A KR102232785B1 (en) 2019-11-14 2019-11-14 Apparatus for measuring fine particles

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102232785B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102525421B1 (en) * 2022-08-29 2023-04-24 유한회사 지큐티코리아 Quantum High-Precision Gas Sensing Apparatus Based on Single Photon Detector

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2813358B2 (en) * 1987-03-12 1998-10-22 イギリス国 Dynamic light scattering device
JP2000500867A (en) * 1995-11-20 2000-01-25 ヴェンチュアダイン リミテッド Particle sensor with fiber optic cable
JP2004177257A (en) * 2002-11-27 2004-06-24 Olympus Corp Determining method and determining device
JP2007525648A (en) * 2003-04-29 2007-09-06 エス３アイ， エル エル シィ Multispectral optical method and system for detecting and classifying biological and non-biological microparticles
JP4304120B2 (en) * 2004-04-30 2009-07-29 ベイバイオサイエンス株式会社 Apparatus and method for sorting biological particles
JP4517145B2 (en) * 2004-09-02 2010-08-04 国立大学法人北海道大学 Light scattering device, light scattering measurement method, light scattering analysis device, and light scattering measurement analysis method
JP4690789B2 (en) * 2005-06-15 2011-06-01 興和株式会社 Atmospheric particulate measuring device
KR20120121045A (en) 2011-04-26 2012-11-05 김제원 Optical Apparatus for Measuring Particles
JP2013545613A (en) * 2010-09-25 2013-12-26 クィーンズ ユニバーシティー アット キングストン Method and system for coherent imaging and feedback control for material modification
KR20150043751A (en) * 2013-10-15 2015-04-23 한국광기술원 Analyzer using multi-channel light source
KR20150048971A (en) * 2013-10-28 2015-05-11 한국표준과학연구원 Measuring Apparatus For Linewidth And Depth Of Fine Pattern By Using Optical Fiber And Measuring Method Of The Same
KR101907966B1 (en) * 2012-12-14 2018-10-16 한국전자통신연구원 Terahertz wave generating module and terahertz wave detection device using the same
KR101923705B1 (en) * 2016-06-14 2018-11-29 광주과학기술원 a optic-fiber current sensor system
JP2019148504A (en) * 2018-02-27 2019-09-05 シスメックス株式会社 Particle measuring apparatus and particle measuring method

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2813358B2 (en) * 1987-03-12 1998-10-22 イギリス国 Dynamic light scattering device
JP2000500867A (en) * 1995-11-20 2000-01-25 ヴェンチュアダイン リミテッド Particle sensor with fiber optic cable
JP2004177257A (en) * 2002-11-27 2004-06-24 Olympus Corp Determining method and determining device
JP2007525648A (en) * 2003-04-29 2007-09-06 エス３アイ， エル エル シィ Multispectral optical method and system for detecting and classifying biological and non-biological microparticles
JP4304120B2 (en) * 2004-04-30 2009-07-29 ベイバイオサイエンス株式会社 Apparatus and method for sorting biological particles
JP4517145B2 (en) * 2004-09-02 2010-08-04 国立大学法人北海道大学 Light scattering device, light scattering measurement method, light scattering analysis device, and light scattering measurement analysis method
JP4690789B2 (en) * 2005-06-15 2011-06-01 興和株式会社 Atmospheric particulate measuring device
JP2013545613A (en) * 2010-09-25 2013-12-26 クィーンズ ユニバーシティー アット キングストン Method and system for coherent imaging and feedback control for material modification
KR20120121045A (en) 2011-04-26 2012-11-05 김제원 Optical Apparatus for Measuring Particles
KR101907966B1 (en) * 2012-12-14 2018-10-16 한국전자통신연구원 Terahertz wave generating module and terahertz wave detection device using the same
KR20150043751A (en) * 2013-10-15 2015-04-23 한국광기술원 Analyzer using multi-channel light source
KR20150048971A (en) * 2013-10-28 2015-05-11 한국표준과학연구원 Measuring Apparatus For Linewidth And Depth Of Fine Pattern By Using Optical Fiber And Measuring Method Of The Same
KR101923705B1 (en) * 2016-06-14 2018-11-29 광주과학기술원 a optic-fiber current sensor system
JP2019148504A (en) * 2018-02-27 2019-09-05 シスメックス株式会社 Particle measuring apparatus and particle measuring method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102525421B1 (en) * 2022-08-29 2023-04-24 유한회사 지큐티코리아 Quantum High-Precision Gas Sensing Apparatus Based on Single Photon Detector
WO2024049001A1 (en) * 2022-08-29 2024-03-07 유한회사 지큐티코리아 Quantum high-precision gas-sensing device based on single photon detector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10585029B2 (en) Analysis device for determining particulate matter
JP4817442B2 (en) Optical system for particle analyzer and particle analyzer using the same
US9766174B2 (en) Optical measuring device and optical measuring method
US7889331B2 (en) Bidirectional optical module and optical time domain reflectometer equipped with the bidirectional optical module
CN104067105B (en) For the apparatus and method by light scattering measurement particle size distribution
TWI405958B (en) Optical system for measurement
US9551617B2 (en) Raman spectroscopic analyzer
CN101103275A (en) Optical transit time velocimeter
CN102183359B (en) Method and device for detecting collimation of light beams
CN105891074A (en) Dust concentration image collecting device and collecting method
JP2016033484A (en) Optical system for branching reference light
KR102232785B1 (en) Apparatus for measuring fine particles
JP6364305B2 (en) Hydrogen gas concentration measuring apparatus and method
WO2021097910A1 (en) Detection device and method for tiny particles in liquid
JP6253761B2 (en) Measuring apparatus and measuring method
CN209215210U (en) A kind of Tail gas measuring light path system
FI127243B (en) Method and measuring device for continuous measurement of Abbe number
WO2019167499A1 (en) Particle measuring device and particle measuring method
JP7200936B2 (en) Measuring optics, luminance and colorimeters
KR101331239B1 (en) Method and system for measuring sensitivity of optical signal
CN219178727U (en) Diamond NV color center fluorescence collection system
JP2020071414A (en) Measuring device for collimation adjustment and method for adjusting collimation optical system
KR20120054932A (en) Multi-function optical measurement device
CN211086082U (en) Turbidity measuring device
US20230049915A1 (en) Device for the scattered light measurement of particles in a gas

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant