KR102205683B1 - An optical positioning sensor - Google Patents

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KR102205683B1
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프레이저 엠. 스미스
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리멤디아 엘씨
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Abstract

제1 광선을 안내하도록 구성된 제1 광 소스 및 제2 광선을 안내하도록 구성된 제2 광 소스를 지원하는 광 부품을 포함할 수 있는 센서가 개시된다. 또한, 센서는 광 부품과 인접하여 위치되고, 제1 광선과 제2 광선을 직접 수신하고, 상기 제1 광선과 제2 광선을 전기 신호로 전환할 수 있는 이미징 장치도 포함할 수 있다. 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 서로에 대해 상대적으로 이동가능하다. 센서는 상기 전기 신호를 수신하여, 이미징 장치 상의 제1 광선 및 제2 광선의 로케이션을 결정하도록 구성된 광 로케이션 모듈을 더 포함할 수 있다. 또한, 센서는 상기 이미징 장치 상의 제1 광선과 제2 광선의 위치에 기초하여, 이미징 장치와 광 부품의 상대 포지션을 결정하도록 구성된 포지션 모듈을 포함할 수 있다.A sensor is disclosed that may include an optical component supporting a first light source configured to guide a first light ray and a second light source configured to guide a second light ray. In addition, the sensor may include an imaging device that is positioned adjacent to the optical component, directly receives the first light beam and the second light beam, and converts the first light beam and the second light beam into an electrical signal. The imaging device and the optical component are movable relative to each other. The sensor may further include an optical location module configured to receive the electrical signal and determine a location of the first light beam and the second light beam on the imaging device. Further, the sensor may include a position module configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component based on the positions of the first light beam and the second light beam on the imaging device.

Description

광학 포지셔닝 센서{AN OPTICAL POSITIONING SENSOR}Optical positioning sensor {AN OPTICAL POSITIONING SENSOR}

센서는 광범위한 분야에서 사용되고, 다양한 양을 측정하도록 각색된다. 많은 센서는 위치 센서와 같은 변위 측정, 스트레인 게이지, 로드셀, 가속도계, 관성 측정 유닛, 압력 게이지등을 사용하여 원하는 양을 결정할 수 있다. Sensors are used in a wide range of applications and are adapted to measure various quantities. Many sensors can use displacement measurements such as position sensors, strain gauges, load cells, accelerometers, inertial measurement units, pressure gauges, etc. to determine the desired amount.

본 발명의 특징과 이점은, 첨부된 도면과 함께, 본 발명의 예시, 특징에 의해 함께 도시된, 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 센서의 측면 계략도이다.
도 2는 도 1의 센서의 광 부품의 상면 개략도이다.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 센서의 광 소스의 측면 개략도를 나타낸다.
도 3b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 센서의 광 소스의 측면 개략도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라, 두 개의 병진 자유도에서 광 부품과 이미징 부품의 상대 운동을 하는, 도 1의 센서의 상면 개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라, 회전 자유도에서 광 부품과 이미징 부품의 상대 운동을 하는, 도 1의 센서의 상면 개략도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라, 두 개의 병진 자유도에서 광 부품과 이미징 부품의 상대 운동을 하는, 도 1의 센서의 상면 개략도이다.
도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라, 회전 자유도에서 광 부품과 이미징 부품의 상대 운동을 하는, 도 1의 센서의 상면 개략도이다.
도 7b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라, 회전 자유도에서 광 부품과 이미징 부품의 상대 운동을 하는, 도 1의 센서의 상면 개략도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 센서의 광 부품의 상면 개략도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 센서의 사시 개략도이다.
도 10a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 센서의 광 부품의 측면 개략도이다.
도 10b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 센서의 광 부품의 측면 개략도이다.
예시적인 도시된 실시예를 참조하고, 본원에서 사용된 특정 언어는 동일한 것을 기술한다. 본 발명의 범위를 제한하려는 의도는 아니라는 것을 이해할 것이다.
Features and advantages of the present invention will become apparent from the detailed description, shown together by examples and features of the present invention, together with the accompanying drawings.
1 is a schematic side view of a sensor according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a schematic top view of the optical component of the sensor of Fig. 1;
3A shows a schematic side view of a light source of a sensor according to an embodiment of the present invention.
3B is a schematic side view of a light source of a sensor according to another embodiment of the present invention.
4 is a schematic top view of the sensor of FIG. 1 with relative motion of an optical component and an imaging component in two translational degrees of freedom, according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic top view of the sensor of FIG. 1 with relative motion of an optical component and an imaging component in rotational degrees of freedom, according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic top view of the sensor of FIG. 1 with relative motion of an optical component and an imaging component in two translational degrees of freedom, according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7A is a schematic top view of the sensor of FIG. 1 with relative movement of an optical component and an imaging component in rotational degrees of freedom, according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7B is a schematic top view of the sensor of FIG. 1 with relative motion of an optical component and an imaging component in rotational degrees of freedom, according to another embodiment of the present invention.
8 is a schematic top view of an optical component of a sensor according to another embodiment of the present invention.
9 is a perspective schematic diagram of a sensor according to another embodiment of the present invention.
10A is a schematic side view of an optical component of a sensor according to another embodiment of the present invention.
10B is a schematic side view of an optical component of a sensor according to another embodiment of the present invention.
Reference is made to the illustrative depicted embodiments, and the specific language used herein describes the same. It will be understood that it is not intended to limit the scope of the invention.

본원에서 사용된, 용어 "실질적으로(substantially)"는 양 또는 액션, 특징, 특성, 상태, 구조, 아이템 또는 결과의 정도가 완성 또는 거의 완성된 것을 말한다. 예를 들어, "실질적으로" 감싸진 물체는 그 물체가 완전히 감싸지거나, 거의 감싸진 것을 의미한다. 어떤 경우에서, 절대 완전성에서의 정확히 허용가능한 편차의 정도는 특정 맥락에 의존할 수 있다. 그러나, 일반적으로, 완성의 근접성은, 절대 완성과 전체 완성이 얻은 것과 같은 동일한 전반적인 결과를 가질 수 있게 할 것이다. "실질적으로"의 사용은 부정적인 의미에서 사용될 때도 동일하게 적용되는데, 이는 행동, 특징, 특성, 상태, 구조, 아이템 또는 결과의 완성 또는 거의 완성의 부족을 말한다.As used herein, the term "substantially" refers to the degree of completion or near completion of an amount or action, feature, characteristic, state, structure, item, or result. For example, an object that is "substantially" enclosed means that the object is completely or nearly enclosed. In some cases, the degree of exactly acceptable deviation from absolute completeness may depend on the particular context. However, in general, the proximity of perfection will make it possible to have the same overall result as absolute perfection and full perfection get. The use of "substantially" applies equally when used in a negative sense, which refers to the lack of completion or near completion of an action, characteristic, characteristic, state, structure, item or result.

본원에서 사용된, "인접한(adjacent)"은 두 개의 구조 또는 요소의 인접성을 말한다. 특히, "인접한" 것으로 확인된 요소들은 붙어있거나 연결된다. 이러한 요소들은 서로 접촉할 필요 없이, 서로 근접 또는 가까이 있을 수 있다. 어떤 경우에서, 인접성의 정확한 정도는 특정 맥락에 의존할 수 있다.As used herein, "adjacent" refers to the adjacency of two structures or elements. In particular, elements identified as "adjacent" are attached or connected. These elements can be in close proximity or close to each other, without having to touch each other. In some cases, the exact degree of adjacency may depend on the particular context.

기술 실시예의 초기 개요가 아래에 제공되고, 특정 기술 실시예가 이후에 더욱 자세히 기술된다. 이러한 초기 요약은 독자들이 좀 더 빠르게 이해할 수 있도록 도우려는 의도이지, 기술의 중요 특징이나 본질적인 특징을 확인하려거나, 청구된 주제의 범위를 제한하려는 의도가 아니다.An initial overview of technology embodiments is provided below, and specific technology embodiments are described in more detail later. This initial summary is intended to help readers understand more quickly, not to identify key or essential features of the technology, or to limit the scope of the claimed subject matter.

전형적인 센서가 주어진 목적을 위해 일반적으로 유효함에도 불구하고, 종종 이들은 각 자유도에서 동일한 레벨의 레졸루션을 생성하지 못한다. 또한, 중복 측정 및/또는 복수의 자유도에서의 측정을 얻는 것은 크기, 복잡성 및 비용을 현저히 증가시킬 수 있고, 이는 일부 활용에서, 중복되거나 복수의 자유도 센서를 사용하지 못하게 할 수 있다. 따라서, 중복 센서 또는 복수의 자유도 센서는, 하나의 자유도 센서를 근사화하는 것과 같이, 크기, 복잡성 및 실제적 한계 내의 비용을 유지함에 의해 더욱 용이하게 사용될 수 있다.Although typical sensors are generally valid for a given purpose, often they do not produce the same level of resolution in each degree of freedom. Further, obtaining redundant measurements and/or measurements at multiple degrees of freedom can significantly increase size, complexity and cost, which, in some applications, can be redundant or prevent the use of multiple degrees of freedom sensors. Thus, redundant sensors or multiple degree of freedom sensors can be more easily used by keeping the size, complexity and cost within practical limits, such as approximating one degree of freedom sensor.

따라서, 크기, 복잡성 또는 비용을 현저히 증가시키지 않으면서, 중복 및/또는 복수의 자유도에서의 측정을 제공할 수 있는 센서가 개시된다. 일 태양에서, 센서는 변위 측정을 사용하여 결정될 수 있는 임의의 주어진 양을 측정하도록 구성될 수 있다. 센서는, 제1 광선을 안내할 수 있는 제1 광 소스 및 제2 광선을 안내할 수 있는 제2 광 소스를 지원하는 광 부품을 포함할 수 있다. 또한, 센서는 광 부품과 인접하여 위치되고, 제1 광선과 제2 광선을 직접 수신하고, 상기 제1 광선과 제2 광선을 전기 신호로 전환할 수 있는 이미징 장치도 포함할 수 있다. 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 서로에 대해 상대적으로 이동가능하다. 센서는 상기 전기 신호를 수신하여, 이미징 장치 상의 제1 광선 및 제2 광선의 로케이션을 결정하도록 구성된 광 로케이션 모듈을 더 포함할 수 있다. 또한, 센서는 상기 이미징 장치 상의 제1 광선과 제2 광선의 위치에 기초하여, 이미징 장치와 광 부품의 상대 포지션을 결정하도록 구성된 포지션 모듈을 포함할 수 있다.Thus, a sensor is disclosed that is capable of providing measurements in redundancy and/or multiple degrees of freedom without significantly increasing size, complexity or cost. In one aspect, the sensor can be configured to measure any given amount that can be determined using displacement measurements. The sensor may include an optical component that supports a first light source capable of guiding a first light ray and a second light source capable of guiding a second light ray. In addition, the sensor may include an imaging device that is positioned adjacent to the optical component, directly receives the first light beam and the second light beam, and converts the first light beam and the second light beam into an electrical signal. The imaging device and the optical component are movable relative to each other. The sensor may further include an optical location module configured to receive the electrical signal and determine a location of the first light beam and the second light beam on the imaging device. Further, the sensor may include a position module configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component based on the positions of the first light beam and the second light beam on the imaging device.

일 태양에서, 복수 자유도 센서가 개시된다. 복수 자유도 센서는 제1 광선을 안내하도록 구성된 제1 광 소스 및 상기 제1 광선과 평행하지 않은 제2 광선을 안내하도록 구성된 제2 광 소스를 지원하는 광 부품을 포함할 수 있다. 또한, 복수 자유도 센서는 상기 광 부품과 인접하여 위치되고, 제1 광선과 제2 광선을 직접 수신하고, 상기 제1 광선과 제2 광선을 전기 신호로 전환하도록 구성되는 이미징 장치를 포함할 수 있다. 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 적어도 두 개의 병진 자유도와 적어도 두 개의 회전 자유도에서 서로에 대해 상대적으로 이동가능하다. 복수 자유도 센서는 상기 전기 신호를 수신하여, 이미징 장치 상의 제1 광선 및 제2 광선의 로케이션을 결정하도록 구성된 광 로케이션 모듈을 더 포함할 수 있다. 또한, 복수 자유도 센서는 상기 이미징 장치 상의 제1 광선과 제2 광선의 위치에 기초하여, 이미징 장치와 광 부품의 상대 포지션을 결정하도록 구성된 포지션 모듈을 포함할 수 있다.In one aspect, a multiple degree of freedom sensor is disclosed. The multiple degrees of freedom sensor may include an optical component that supports a first light source configured to guide a first light ray and a second light source configured to guide a second light ray that is not parallel to the first light ray. In addition, the plurality of degrees of freedom sensor may include an imaging device positioned adjacent to the optical component, configured to directly receive a first light beam and a second light beam, and convert the first light beam and the second light beam into an electrical signal. have. The imaging device and the optical component are movable relative to each other in at least two translational degrees of freedom and at least two rotational degrees of freedom. The plurality of degrees of freedom sensor may further include an optical location module configured to receive the electrical signal and determine the locations of the first and second light rays on the imaging device. Further, the multiple degree of freedom sensor may include a position module configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component based on the positions of the first light beam and the second light beam on the imaging device.

또 다른 실시예에서, 복수 자유도 센서가 개시된다. 복수 자유도 센서는 광선을 안내하도록 구성된 복수의 광 소스를 지원하는 광 부품을 포함할 수 있다. 복수 자유도 센서는 상기 광 부품과 인접하여 위치되고, 제1 광선과 제2 광선을 직접 수신하고, 상기 제1 광선과 제2 광선을 전기 신호로 전환하도록 구성되는 이미징 장치도 포함할 수 있다. 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 복수의 병진 자유도와 복수의 회전 자유도에서 서로에 대해 상대적으로 이동가능하다. 복수 자유도 센서는 상기 전기 신호를 수신하여, 이미징 장치 상의 광선들의 로케이션을 결정하도록 구성된 광 로케이션 모듈을 더 포함할 수 있다. 또한, 복수 자유도 센서는 상기 이미징 장치 상의 광선들의 위치에 기초하여, 이미징 장치와 광 부품의 상대 포지션을 결정하도록 구성된 포지션 모듈을 포함할 수 있다.In yet another embodiment, a multiple degree of freedom sensor is disclosed. The multiple degrees of freedom sensor may include an optical component that supports a plurality of light sources configured to guide light rays. The multiple degree of freedom sensor may also include an imaging device positioned adjacent to the optical component, configured to directly receive a first light beam and a second light beam, and convert the first light beam and the second light beam into an electrical signal. The imaging device and the optical component are movable relative to each other in a plurality of translational degrees of freedom and a plurality of rotational degrees of freedom. The multiple degrees of freedom sensor may further include an optical location module configured to receive the electrical signal and determine the location of the rays on the imaging device. Further, the multiple degree of freedom sensor may include a position module configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component based on the position of the light rays on the imaging device.

센서(100)의 일실시예는 도 1 및 도 2에서 개략적으로 도시된다. 센서(100)는 이미징 장치(110)를 포함할 수 있다. 이미징 장치(110)는, 픽셀 센서, 포토 센서 또는 광을 전기 신호로 전환할 수 있는 그 밖의 적절한 타입의 이미저와 같은 이미지 센서(111)를 포함할 수 있다. 일 태양에서, 이미징 장치(110)는 픽셀 센서의 어레이를 포함하는 집적 회로를 가진 능동 픽셀 센서를 포함할 수 있는데, 여기서, 각각의 픽셀은 포토디텍터와 능동 증폭기를 포함한다. 각 포토디텍터 옆에 있는 회로는 빛 에너지를 전압으로 전환할 수 있다. 추가 회로가 전압을 디지털 데이터로 전환하기 위해 포함될 수 있다. 능동 픽셀 센서의 일 예로서, 상보성 금속 산화막 반도체(CMOS) 이미지 센서이 있다. 또 다른 태양에서, 이미지 장치(110)는 전하-결합 장치(CCD) 이미지 센서를 포함할 수 있다. CCD 이미지 센서에서, 픽셀은 p-도핑된 MOS 커패시터에 의해 나타날 수 있다. 이들 커패시터는, 광 획득이 시작할 때, 인버전을 위해 스레숄드 이상에서 바이어스되어서, 반도체-산화막 인터페이스에서, 입사 포톤을 전자 전하로 전환할 수 있다. 그리고 나서, CCD는 이들 전하를 리드하는데 사용된다. 추가 회로는 전압을 디지털 정보로 전환할 수 있다. 그러므로, 이미징 장치(11)는 광을 캡쳐하고, 이를 전기 신호로 전환하도록 구성된, 디지털 카메라, 셀폰, 웹 캡등에서 전형적으로 찾을 수 있는 이미징 센서와 같은, 임의의 적절한 장치나 센서를 포함할 수 있다.One embodiment of the sensor 100 is schematically shown in FIGS. 1 and 2. The sensor 100 may include an imaging device 110. The imaging device 110 may include an image sensor 111 such as a pixel sensor, a photosensor, or other suitable type of imager capable of converting light into an electrical signal. In one aspect, the imaging device 110 may comprise an active pixel sensor having an integrated circuit comprising an array of pixel sensors, where each pixel comprises a photodetector and an active amplifier. The circuit next to each photodetector can convert light energy into voltage. Additional circuitry can be included to convert the voltage into digital data. As an example of an active pixel sensor, there is a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) image sensor. In yet another aspect, the imaging device 110 may include a charge-coupled device (CCD) image sensor. In a CCD image sensor, pixels can be represented by p-doped MOS capacitors. These capacitors can be biased above a threshold for inversion when light acquisition begins, thus converting incident photons into electronic charge at the semiconductor-oxide interface. Then, the CCD is used to read these charges. Additional circuitry can convert the voltage into digital information. Therefore, the imaging device 11 may include any suitable device or sensor, such as an imaging sensor typically found in digital cameras, cell phones, web caps, etc., configured to capture light and convert it into an electrical signal. .

또한, 센서(100)는 광선들(123, 124)을 각각 안내하도록 구성된 하나 이상의 광 소스(121, 122)를 지원된 광 부품(120)을 포함할 수 있다. 광 소스(121, 122)는 LED, 레이저, 유기 LED, 전계 방출 디스플레이 소자, 면-전도 전자-방출 디스플레이 유닛, 양자점, 전기적으로 충전된 이온 가스를 포함하는 셀, 형광등, 광 방출의 평면의 외부에 위치된 대용량 광 소스로부터의 광이 통과할 수 있는 홀 및/또는 그 박의 적절한 광 소스를 포함할 수 있다. 도 3a는 광 소스(221)로부터의 광을 초점 맞추거나 안내하기 위해, 광 소스(221)와 작동하는 렌즈(227)를 나타낸다. 도 3b는 광 소스(321)로부터의 광을 적절한 광선으로 "좁히기(narrow)" 위하여, 광 소스(321)와 작동하는 콜리메이터(328)를 나타낸다. 렌즈와 콜리메이터는 적절한 광선을 달성하기 위해, 홀로 사용되거나 광 소스와 함께 사용될 수 있다는 것을 인식해야 한다.In addition, the sensor 100 may include an optical component 120 supporting one or more light sources 121 and 122 configured to guide light rays 123 and 124, respectively. The light sources 121 and 122 are LEDs, lasers, organic LEDs, field emission display elements, surface-conducting electron-emitting display units, quantum dots, cells containing electrically charged ion gas, fluorescent lamps, outside of the plane of light emission. And/or a suitable light source of the foil through which light from a high-capacity light source located at may pass. 3A shows a lens 227 that works with a light source 221 to focus or guide light from the light source 221. 3B shows a collimator 328 working with a light source 321 to "narrow" the light from the light source 321 to an appropriate ray of light. It should be appreciated that the lens and collimator can be used alone or in combination with a light source to achieve the appropriate light beam.

이미징 장치(110)는 광 부품(120)과 인접하여 위치되고, 광선들(123, 124)을 직접 수신하고, 이들을 전기 신호로 전환하도록 구성될 수 있다. 광 로케이션 모듈(130)은 상기 전기 신호를 수신하여, 이미징 장치(110) 상의 광선들(123,124)의 로케이션을 결정하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 이미징 장치(110)의 픽셀은 개별적으로 어드레스(address)될 수 있어서, 각 개별 픽셀 상의 광 강도는 광 로케이션 모듈(130)에 의해 알려지거나, 결정될 수 있다.The imaging device 110 is positioned adjacent to the optical component 120 and may be configured to directly receive the rays 123 and 124 and convert them into electrical signals. The optical location module 130 may be configured to receive the electrical signal and determine the location of the light rays 123 and 124 on the imaging device 110. For example, the pixels of the imaging device 110 may be individually addressed, so that the light intensity on each individual pixel may be known or determined by the optical location module 130.

이미징 장치(110)와 광 부품(120)은 하나 이상의 자유도에서 서로 상대적으로 이동가능할 수 있다. 따라서, 포지션 모듈(140)은 상기 이미징 장치(110) 상의 광선들(123, 124)의 위치에 기초하여, 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 포지션을 결정하도록 구성될 수 있다. 일 태양에서, 이미징 장치(110)와 광 부품(120)은 상대 운동을 가능하게 하는 방식으로 서로 결합(112)될 수 있다. 예를 들어, 광 부품(120)은 "고정(fixed)"되고, 이미징 장치(110)는, 광 부품(120)에 대해 이미징 장치(110)의 움직임을 가능하게 할 수있는 구조물, 장치 또는 메카니즘에 의해 광 부품(120)에 대해 지지될 수 있다. 일부 실시예에서, 이미징 장치(110)가 "고정"되는 것도 인식해야 한다. 이미징 장치(110)와 광 부품(120)은, X축에서 병진 또는 Z 축에 대해 회전과 같은, 하나 이상의 선택된 자유도에서만 상대 운동이 제한될 수 있다. 하나 이상의 원하는 자유도에서 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 가능하게 하는, 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 임의의 적절한 배열이 고려된다.The imaging device 110 and the optical component 120 may be movable relative to each other in one or more degrees of freedom. Accordingly, the position module 140 may be configured to determine a relative position of the imaging device 110 and the optical component 120 based on the positions of the rays 123 and 124 on the imaging device 110. In one aspect, the imaging device 110 and the optical component 120 may be coupled 112 to each other in a manner that enables relative motion. For example, the optical component 120 is "fixed" and the imaging device 110 is a structure, device, or mechanism capable of enabling movement of the imaging device 110 relative to the optical component 120. It can be supported against the optical component 120 by. It should also be appreciated that in some embodiments, the imaging device 110 is “fixed”. The imaging device 110 and the optical component 120 may be limited in relative motion only to one or more selected degrees of freedom, such as translation on the X axis or rotation about the Z axis. Any suitable arrangement of imaging device 110 and optical component 120 is contemplated to allow relative movement of imaging device 110 and optical component 120 in one or more desired degrees of freedom.

이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 이러한 상대 운동은, 상대 변위 및/또는 회전과 같은 상대 운동의 측정을 가능하게 할 수 있다. 따라서, 본 개시물에 따른 센서는 변위, 회전, 속도, 가속도등과 같은 상대 운동에 기초할 수 있거나, 이로부터 파생될 수 있는 임의의 양을 측정 또는 센싱하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 본원에서 기술된 센서는 포지션 센서, 스트레인 게이지, 가속도계, 로드 센서 또는 원하는 타입의 측정을 기계적으로 및/또는 연산적으로 제공하기 위해 상대 운동을 사용할 수 있는 그 밖의 다른 타입의 센서로서의 기능을 할 수 있다. 그러므로, 일 태양에서, 센서(100)는 시계(150)를 포함하여, 상대 운동과 관련된 경과 시간을 측정할 수 있고, 속도, 가속도 또는 그 밖의 동적 측정량을 결정하는데 유용할 수 있다.This relative motion of the imaging device 110 and the optical component 120 may enable measurement of relative motion, such as relative displacement and/or rotation. Accordingly, a sensor according to the present disclosure may be configured to measure or sense any quantity that may be based on or may be derived from relative motion such as displacement, rotation, velocity, acceleration, and the like. For example, the sensors described herein function as position sensors, strain gauges, accelerometers, load sensors, or any other type of sensor that can use relative motion to mechanically and/or computationally provide a desired type of measurement. can do. Thus, in one aspect, the sensor 100 may include the watch 150 to measure elapsed time associated with relative motion, and may be useful for determining velocity, acceleration, or other dynamic measure.

또한, 픽셀의 개별 어드레스가 알려지기 때문에, 센서(100)는 "절대(absolute)" 센서로 간주될 수 있다. 이러한 속성에 의해, 센서(100)는 필요하지 않을 때, 파워 오프될 수 있고(즉, 에너지 절약을 위해), 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 위치를 결정하기 위해, 개시되거나 보정될 필요 없이, 측정 또는 리딩을 할 수 있다.Also, since the individual addresses of the pixels are known, the sensor 100 can be considered an "absolute" sensor. By this property, the sensor 100 can be powered off when not needed (i.e., to save energy), initiated or initiated to determine the relative position of the imaging device 110 and the optical component 120 You can measure or read without needing to be calibrated.

이미징 장치(110)는 임의의 적절한 크기, 치수, 종횡비 및/또는 픽셀 카운트의 피셀 어레이를 포함할 수 있다. 예를 들어, 픽셀 어레이는 행과 열로 배열된 픽셀의 어레이와 같이 일차원 어레이나 이차원 어레이일 수 있다. 일 태양에서, 센서의 움직임의 범위는, 복수의 이미징 장치들이 서로 인접하여 위치되어 센서에 대해 더 넓은 움직임 범위를 제공함에도 불구하고, 이미징 장치의 크기에 의해 제한될 수 있다. 또 다른 태양에서, 센서의 움직임의 범위는 광 소스의 로케이션 및/또는 크기에 의해 영향받을 수 있다. 그러므로, 광 소스는 광 부품과 이미징 장치간의 원하는 상대 위치를 수용할 수 있도록 위치되고, 및/또는 크기를 가질 수 있다. 또한, 본 개시물에 따른 센서는 각 자유도에서 실질적으로 동일한 레벨의 자유도를 생성할 수 있어야 한다는 것도 인식해야 한다.Imaging device 110 may comprise an array of pixels of any suitable size, dimension, aspect ratio and/or pixel count. For example, the pixel array may be a one-dimensional array or a two-dimensional array, such as an array of pixels arranged in rows and columns. In one aspect, the range of motion of the sensor may be limited by the size of the imaging device, although a plurality of imaging devices are positioned adjacent to each other to provide a wider range of motion for the sensor. In yet another aspect, the range of motion of the sensor may be affected by the location and/or size of the light source. Therefore, the light source may be positioned and/or sized to accommodate a desired relative position between the optical component and the imaging device. It should also be appreciated that the sensor according to the present disclosure should be capable of generating substantially the same level of freedom in each degree of freedom.

일 태양에서, 이미징 장치(110)상의 광선들(123, 124)의 중심 로케이션은 이미징 장치(110)상의 광선들(123, 124)의 로케이션에 적용되는 통계적 방법을 사용하여 결정될 수 있다. 이러한 연산은 포지션 모듈(140)에 의해 수행될 수 있다. 예를 들어, 각 광선들(123, 124)은 이미징 장치(110) 상의 많은 픽셀에 걸쳐 분포될 수 있고, 광선의 중심을 결정하기 위한 통계적 방법을 사용하열 분석될 수 있는 강도 그래디언트를 나타낼 수 있다.In one aspect, the central location of the rays 123, 124 on the imaging device 110 may be determined using a statistical method applied to the location of the rays 123, 124 on the imaging device 110. This operation may be performed by the position module 140. For example, each of the rays 123, 124 may be distributed over many pixels on the imaging device 110, and may represent an intensity gradient that may be thermally analyzed using a statistical method to determine the center of the rays. .

또 다른 태양에서, 이미징 장치(110)는 단색(monochromatic) 또는 유채색(chromatic)일 수 있고, 광 소스(121, 122)는 흰색, 빨강색, 초록색 또는 파랑색과 같은 임의의 적절한 광 색깔을 생성할 수 있다. 특정 광선 파장에 대한 유채색 픽셀의 색 선택은 픽셀 파퓰레이션(pixel population)을 효과적으로 증가시키는데 사용될 수 있고, 이는 이미징 장치상의 이웃 광선으로부터의 퇴화(degradation)없이 광선의 중심의 로케이션을 결정하는데 사용될 수 있다. 예를 들어, 단색의 이미징 장치를 가진 하나의 광 소스 대신에, 3개의 광 소스(빨강, 초록 및 파랑)는 유채색 이미징 장치와 서로 인접하여 사용되어, 서로의 간섭없이, 광 부품(120)과 이미징 장치(110)의 상대 운동을 결정할 수 있다. 유채색 이미징 장치는, 광선이 이미징 장치 상에서 오버랩되어도, 서로 다른 색광선을 분리하여 추적 또는 센싱할 수 있다. 서로 다른 색에 대응되는 이미징 장치의 서로 다른 부분은, 광 소스와 이미징 장치의 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있는 분리된 신호를 중복 및/또는 연산을 위한 추가 데이터 점을 제공하여 생성할 수 있다.In yet another aspect, the imaging device 110 may be monochromatic or chromatic, and the light sources 121 and 122 generate any suitable light color such as white, red, green or blue. can do. The color selection of chromatic pixels for a particular ray wavelength can be used to effectively increase the pixel population, which can be used to determine the location of the center of the ray without degradation from neighboring rays on the imaging device. For example, instead of one light source with a monochromatic imaging device, three light sources (red, green and blue) are used adjacent to each other with the chromatic imaging device, without interference with each other, and the optical component 120 The relative motion of the imaging device 110 may be determined. The chromatic color imaging device may separate and track or sense different colored light rays even if the light rays overlap on the imaging device. Different parts of the imaging device corresponding to different colors may be generated by overlapping and/or providing additional data points for calculation of separate signals that may be used to determine the relative motion of the light source and the imaging device.

따라서, 일 태양에서, 이미징 장치는 색 분해 메카니즘(160)을 포함할 수 있다. 임의의 적절한 색 분해 메카니즘은, Bayer 센서(색 필터 어레이가 빨강, 초록 또는 파랑 광을 선택된 픽셀 센서에 통과시킴), Foveon X3 센서(레이어드 픽셀 센서의 어레이가 실리콘의 고유 파장-의존 흡수를 통해 광을 분리시켜서 모든 로케이션이 3개의 모든 채널을 센싱함) 또는 3CCD 센서(3개의 별개 이미지 센서를 가지고, 다이크로익 프리즘(dichroic prism)에 의해 색 분리가 행해짐)와 같은 것이 사용될 수 있다.Thus, in one aspect, the imaging device may include a color separation mechanism 160. Any suitable color separation mechanism is a Bayer sensor (an array of color filters passes red, green, or blue light through a selected pixel sensor), a Foveon X3 sensor (an array of layered pixel sensors is used to absorb light through silicon's inherent wavelength-dependent absorption) Separately, all locations sense all three channels) or a 3CCD sensor (with three separate image sensors, color separation done by a dichroic prism) can be used.

도 1 및 2를 계속 참조하면서, 도 4-7B은 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 겪는 센서(100)를 도시한다. 광선(123)이 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 정격 상대 배향에서 이미징 장치(110)에 수직 또는 실질적으로 수직이라는 점에서, 광 소스(121)는 일반적으로 "수직" 광선으로 언급될 수 있는 광선 (123)을 생성한다. 광선(124)이 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 정격 상대 배향에서 이미징 장치(110)에 수직이지도 않고, 평행하지도 않는다는 점에서, 광 소스(1212)는 일반적으로 "각이 진" 광선으로 언급될 수 있는 광선 (124)을 생성한다. 그러므로, 광 소스(121, 122)는 각각 수직 광 소스와 각이 진 광 소스로 불릴 수 있다.With continued reference to FIGS. 1 and 2, FIGS. 4-7B show sensor 100 undergoing relative motion of imaging device 110 and optical component 120. Light source 121 is generally referred to as a "vertical" ray in that light ray 123 is perpendicular or substantially perpendicular to imaging device 110 at the rated relative orientation of imaging device 110 and optical component 120 Creates a possible ray (123). In that light rays 124 are neither perpendicular nor parallel to imaging device 110 at the rated relative orientation of imaging device 110 and optical component 120, light source 1212 is generally "angular. "Creates a ray 124, which can be referred to as a ray. Therefore, the light sources 121 and 122 may be referred to as a vertical light source and an angled light source, respectively.

일반적으로, 하나의 광 소스는 두 개의 병진 자유도에서 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있다. 가령, 도 4에 도시된 바와 같이, X 및 Y 병진 자유도에서 실질적으로 수직으로 광선(123)을 안내하는 광 소스(121)는 이들 두 개의 병진 자유도에서 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있다. 또한, 광선(123)과 평행하지 않은 광선(124)을 안내하는 광 소스(122)는 X 및 Y 병진 자유도에서 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있다. 광선(123, 124)에 의한 움직임은, 이미징 장치(110`)가 이미징 장치(의) 초기 포지션에서 최종 포지션으로 움직이면서, 이미징 장치(110)를 따라 각각 경로(125a, 126a)를 추적할 수 있다. 각각의 경로(125a, 126a)에 따른 픽셀은, 가령, 연산을 위한 중복 및/또는 추가 데이터 점을 제공함에 의해, 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있다.In general, one light source can be used to determine the relative motion in two translation degrees of freedom. For example, as shown in Figure 4, the light source 121 guiding the light beam 123 substantially vertically in X and Y translation degrees of freedom, the imaging device 110 and the optical component 120 in these two translation degrees of freedom. Can be used to determine the relative motion of Further, a light source 122 that guides light rays 124 that are not parallel to light rays 123 may be used to determine the relative motion of imaging device 110 and optical component 120 in X and Y translation degrees of freedom. Movement by the rays 123 and 124 may trace paths 125a and 126a along the imaging device 110, respectively, while the imaging device 110 ′ moves from the initial position of the imaging device to the final position. . The pixels along each path 125a, 126a can be used to determine the relative motion of the imaging device 110 and the optical component 120, for example by providing redundant and/or additional data points for computation. .

도 1 및 2를 더욱 참조하면서, 도 5에 도시된 바와 같이, 이미징 장치(110)와 광 부품(120)은 회전 자유도(이 경우에는 Z 축에 대해)에서, 서로에 대해 상대적으로 이동가능하다. 광선(123, 124)에 의한 움직임은, 이미징 장치(110`)가 이미징 장치(의) 초기 포지션에서 최종 포지션으로 움직이면서, 이미징 장치(110)를 따라 각각 경로(125a, 126a)를 추적할 수 있다. 두 광선(123, 124)의 경로(125a, 126a)에 따른 픽셀은, 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있는데, 이 경우에는 회전의 중심(101)을 가진다. 도시된 바와 같이, 광선(123)은 회전 자유도의 축에 실질적으로 평행하게 안내되고, 광선(124)는 광선(123)과 평행하지 않다. 다시 말해, 수직 광선과 각이 진 광선이 사용된다. 그러나, 도 5 및 6에 도시된 병진 자유도와 회전 자유도에서의 상대 운동은 두 개의 수직 광선과 두 개의 각이 진 광선으로 결정될 수 있다는 것을 인식해야한다.With further reference to FIGS. 1 and 2, as shown in FIG. 5, the imaging device 110 and the optical component 120 are movable relative to each other in degrees of freedom of rotation (in this case about the Z axis). Do. Movement by the rays 123 and 124 may trace paths 125a and 126a along the imaging device 110, respectively, while the imaging device 110 ′ moves from the initial position of the imaging device to the final position. . The pixels along the paths 125a and 126a of the two rays 123 and 124 can be used to determine the relative motion of the imaging device 110 and the optical component 120, in this case, the center of rotation 101 Have. As shown, ray 123 is guided substantially parallel to the axis of rotational freedom, and ray 124 is not parallel to ray 123. In other words, vertical and angled rays are used. However, it should be appreciated that the relative motion in the translation and rotational degrees of freedom shown in Figs. 5 and 6 can be determined by two vertical rays and two angled rays.

도 6은 이미징 장치와 광 부품은 병진 자유도(이 경우에는 Z 축에 대해)에서, 서로에 대해 상대적으로 이동가능하다. 다시 말해, 수직 광선(123)은 병진 자유도의 축에 실질적으로 평행하게 안내되고, 각이 진 광선(124)은 광선(123)에 평행하지 않아서, 병진 자유도에서 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동에 의해 광선(123) 및/또는 광선(124)이 이미징 장치(110)의 서로 다른 로케이션으로 안내되도록 한다. 예를 들어, 이미징 장치(110)가 광 부품(120)을 향해 Z 축을 따른 방향(102)으로 움직이기 때문에, 각이 진 광선(124)은 이미징 장치(110)에 따른 방향(103)으로 움직인다. 각이 진 광선(124)의 이러한 움직임은 Z축을 따라 상대적인 병진 운동을 결정한다. 또한, 수직 광선(123)의 움직임의 결여(lack)는 Z 축을 따라 상대 병진 운동의 결정도 요인으로 포함할 수 있다. 그러므로, 광선의 하나의 각이 진 광선은 세 개의 직교 병진 자유도에서 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있다.6 shows that the imaging device and the optical component are movable relative to each other, in translation degrees of freedom (in this case about the Z axis). In other words, the vertical ray 123 is guided substantially parallel to the axis of the translational degrees of freedom, and the angled ray 124 is not parallel to the ray 123, so that the imaging device 110 and the optical component ( The relative motion of 120 causes light rays 123 and/or light rays 124 to be guided to different locations of imaging device 110. For example, since the imaging device 110 moves in the direction 102 along the Z axis towards the optical component 120, the angled rays 124 move in the direction 103 along the imaging device 110. . This motion of the angled ray 124 determines the relative translational motion along the Z axis. In addition, the lack of motion of the vertical ray 123 may include a determination of the relative translational motion along the Z axis as a factor. Therefore, one angled ray of light can be used to determine the relative motion in three orthogonal translational degrees of freedom.

도 7a 및 7b는 회전 자유도(이 경우에는 Z 축에 대해)에서, 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 결정하는데 있어서, 각이 진 광선(124)의 추가 사용을 도시한다. 그러므로, 수직 광선(123)은 회전 자유도의 축에 대해 실질적으로 수직으로 안내된다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 각이 진 광선(124)은 이미징 장치(110)에 따른 방향(104)으로 움직이고, 수직 광선(123)은 이미징 장치(110)에 따라 반대 방향(105)으로 움직인다. 이미징 장치(110)상의 광선(123, 124)의 상대 로케이션은 물론 방향에서의 차이점, 그리고 각이 진 광선(124)의 각도(127)는 회전 중심(107a)에 대하여, 방향(106a)으로 광 부품(120)에 대해 상대적으로 회전된 이미징 장치(110)를 결정하는데 사용될 수 있다. 이러한 경우, 두 광선(123, 124)은 회전 중심(107a)의 "동일 측면(same side)"상에 있다.7A and 7B illustrate the additional use of angled rays 124 in determining the relative motion of the imaging device 110 and the optical component 120, in degrees of rotation (about the Z axis in this case). do. Therefore, the vertical ray 123 is guided substantially perpendicular to the axis of rotational freedom. As shown in FIG. 7A, the angled ray 124 moves in a direction 104 along the imaging device 110, and the vertical ray 123 moves in the opposite direction 105 along the imaging device 110. . The relative location of the light rays 123 and 124 on the imaging device 110, as well as the difference in direction, and the angle 127 of the angled light rays 124 are light in the direction 106a with respect to the rotation center 107a. It may be used to determine the imaging device 110 rotated relative to the component 120. In this case, the two rays 123 and 124 are on the "same side" of the center of rotation 107a.

한 편, 도 7b에 도시된 바와 같이, 각이 진 광선(124)은 이미징 장치(110)에 따른 방향(108)으로 움직이고, 수직 광선(123)은 이미징 장치(110)에 따른 동일한 방향(109)으로 움직인다. 이미징 장치(110)상의 광선(123, 124)의 상대 로케이션은 물론 방향에서의 유사성과 각이 진 광선(124)의 각도(127)는 회전 중심(107a)에 대하여, 방향(106a)으로 광 부품(120)에 대해 상대적으로 회전된 이미징 장치(110)를 결정하는데 사용될 수 있다. 이러한 경우, 두 광선(123, 124)은 회전 중심(107a)의 "반대편 측면(opposite side)"상에 있다. 그러므로, 이미징 장치(110)에 따른 각이 진 광선(124)과 수직 광선(123)의 움직임과 방향은 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 일부를 움직이는 경향을 가진 회전 자유도(가령, X 축에 대한 회전)에서 이미징 장치(110)와 광 부품(120)의 상대 운동을 결정하는데 사용될 수 있다.On the other hand, as shown in FIG. 7B, the angled rays 124 move in the direction 108 along the imaging device 110, and the vertical rays 123 are the same direction 109 along the imaging device 110. ) To move. The relative location of the light rays 123 and 124 on the imaging device 110 as well as the similarity in the direction and the angle 127 of the angled light rays 124 are relative to the rotation center 107a, and the optical component in the direction 106a. It may be used to determine the imaging device 110 rotated relative to 120. In this case, the two rays 123 and 124 are on the "opposite side" of the center of rotation 107a. Therefore, the movement and direction of the angled light rays 124 and the vertical light rays 123 according to the imaging device 110 is the degree of freedom of rotation (e.g., , Rotation about the X axis) can be used to determine the relative motion of the imaging device 110 and the optical component 120.

본 개시물에 따른 센서가 복수 병진 자유도 및/또는 복수 회전 자유도를 가질 수 있다는 것을 인식해야 한다. 센서(100)의 두 개의 광 소스(121, 122) 위에, 추가적인 광 소스는, 특히, 복잡한 움직임이 복수의 병진 자유도와 회전 자유도에서 혼합될 때, 센서가 상대 운동을 부정확하게 결정하도록 "속일(trick)"수 있는 상황을 감소 또는 제거시킬 수 있다. 일반적으로, 추가적인 광 소스의 또 다른 이점은, 이미징 장치에 걸쳐 더 많은 광 움직임이 있어서, 데이터를 얻기 위한 더 많은 픽셀이 사용되어 이미징 장치와 광 부품의 상대 운동을 결정하는데 사용된다는 점에서, 센서의 레졸루션이 개선된다. 두 개의 광 소스 위에, 광 소스의 추가 이점은 간략화된 연산 알고리즘이다.It should be appreciated that a sensor according to the present disclosure may have multiple degrees of translation and/or multiple degrees of freedom of rotation. On top of the two light sources 121 and 122 of the sensor 100, an additional light source is "tricked" to cause the sensor to incorrectly determine the relative motion, especially when complex motions are mixed in a plurality of translation and rotation degrees of freedom. It can reduce or eliminate situations that can trick)". In general, another advantage of an additional light source is that there is more light movement across the imaging device, so more pixels are used to obtain the data, which is used to determine the relative motion of the imaging device and the optical component. The resolution of is improved. On top of the two light sources, an additional advantage of the light source is the simplified computational algorithm.

따라서, 도 8은, 특히 복수 자유도에서 상대 운동을 겪을 때, 광 소스의 갯수, 위치 및 배향에 의해 레졸루션을 개선은 물론, 잠재적인 연산 모호성을 제거할 수 있는 센서(400)의 실시예를 도시한다. 예를 들어, 센서(400)는 4개의 수직 광 소스(421a-d)와 4개의 각이 진 광 소스(422a-d)를 포함할 수 있다. 일 태양에서, 각이 진 광 소스(422a-d)는 광선(424a-d)이 자유도 축에 평행한 평면으로 안내하도록 배향될 수 있다. 예를 들어, 광선(424a, 424b)은 Y축에 평행한 평면에 있고, 광선(424c, 424d)은 X 축에 평행한 평면에 있다. 그러나, 어떤 임의의 방향으로 배향된 광선(424a`)에 의해 도시된 바와 같이, 각이 진 광선은 임의의 방향으로 배향될 수 있다.Thus, FIG. 8 shows an embodiment of a sensor 400 capable of improving resolution by the number, location and orientation of light sources, as well as removing potential computational ambiguities, especially when undergoing relative motion in multiple degrees of freedom. do. For example, the sensor 400 may include four vertical light sources 421a-d and four angled light sources 422a-d. In one aspect, the angled light sources 422a-d may be oriented such that rays 424a-d guide in a plane parallel to the axis of freedom. For example, rays 424a and 424b are in a plane parallel to the Y axis, and rays 424c and 424d are in a plane parallel to the X axis. However, as shown by light rays 424a′ oriented in any arbitrary direction, the angled rays may be oriented in any direction.

도면에서의 특정 배열은 광 부품(420)의 중심 부분에 위치된 수직 광 소스(421a-d) 및 수직 광 소스(421a-d)의 주변부에 일반적으로 위치된 각이 진 광 소스(422a-d)를 가진다. 이미징 장치(410)에 대한 이들의 정격 수직 배향 때문에, 수직 광 소스(421a-d)에 의해 생성된 광선은, 가령, Z 축 병진과 같은 Z 축 또는 X축과 Y축에 대한 회전에서, 이미징 장치(410)와 광 부품의 상대 위치를 바꾸는 움직임 동안 각이 진 광 소스(422a-d)의 광선(424a-d) 만큼, "휩쓸(sweep across)"지는 않을 것이다. 그러므로, 각이 진 광 소스(422a-d)와 같은 광 소스는 어떤 자유도에서 이미징 장치(410)와 광 부품(420)의 상대 운동에 대해 이미징 장치(410)에 걸쳐 더 많은 움직임을 제공하기 위해 배치 및/또는 배향될 수 있고, 이는 센서 데이터의 레졸루션을 향상시킬 수 있다. 그러므로, 중심 부분에서의 수직 광 소스(421a-d)를 그룹 짓는 것과 수직 광 소스(421a-d)의 주변부에 대해 각이 진 광 소스(422a-d)를 배치시키는 것은, 광 소스(421a-d, 422a-d)의 증가된 갯수로 가능한 이미징 장치 영역의 최대 효율적인 사용을 위한, 효과적인 배치 컨피규레이션일 수 있다. 일 태양에서, 색깔 있는 광 소스와 색 분해 메카니즘도 센서의 성능 저하 없이, 광 소스의 증가된 갯수를 작은 영역으로 맞추기 위해 사용될 수 있다.The specific arrangement in the figure is a vertical light source 421a-d located in the central portion of the optical component 420 and an angled light source 422a-d generally located in the periphery of the vertical light source 421a-d. ). Because of their rated vertical orientation relative to the imaging device 410, the rays generated by the vertical light sources 421a-d are imaged, for example in rotation about the Z axis or X and Y axes, such as a Z axis translation. It will not "sweep across" as much as rays 424a-d of angular light sources 422a-d during the movement of changing the relative position of the device 410 and the optical component. Therefore, a light source, such as the angled light sources 422a-d, is used to provide more motion across the imaging device 410 for the relative motion of the imaging device 410 and the optical component 420 at any degree of freedom. Can be placed and/or oriented, which can improve the resolution of sensor data. Therefore, grouping the vertical light sources 421a-d in the center portion and disposing the angled light sources 422a-d with respect to the periphery of the vertical light sources 421a-d are the light sources 421a- d, 422a-d) may be an effective batch configuration for the most efficient use of the imaging device area possible. In one aspect, colored light sources and color separation mechanisms can also be used to fit an increased number of light sources into a small area without sacrificing sensor performance.

본 도면에 도시된 광 소스의 갯수와 배치 및 배향은, 이미징 장치와 광 부품의 상대 운동이 센서를 오류 또는 부정확한 리딩으로 "속일"수 없도록 보장하는데 사용될 수 있는 컨피규레이션의 단지 예시일 뿐이다. 그러므로, 임의의 수의 수직 광 소스나 각이 진 광 소스가 임의의 상대 위치나 배향으로 사용되어서, 중복이나 레졸루션의 레벨과 같이 원하는 결과를 달성할 수 있다는 것을 인식해야 한다.The number and placement and orientation of light sources shown in this figure are merely examples of configurations that can be used to ensure that the relative motion of the imaging device and the optical component cannot "trick" the sensor into an error or incorrect reading. Therefore, it should be appreciated that any number of vertical or angled light sources can be used in any relative position or orientation to achieve the desired result, such as the level of redundancy or resolution.

도 9는 하나의 이미징 장치만을 사용하여, 넓은 범위의 움직임에 걸쳐 연속적인 측정을 제공하기 위해, 서로 인접하게 배치된 복수의 이미징 장치(510a-f)는 물론, 복수의 광 소스(510a-c)를 포함할 수 있는 또 다른 센서(500)를 도시한다. 예를 들어, 센서(500)는, 주어진 시간에 하나 이상의 이미징 장치(510a-f)로 광선(523a-c)을 각각 안내하는 광 소스(512a-c)(이는 수직 및/또는 각이 질 수 있음)를 지원하는 광 부품(520)과 같이, 본원에서 기술되는 임의의 특징 및 요소를 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이, 이미징 장치(510a-f)는, 센서가 없는 곳, 가령, 인접한 이미징 장치의 인터페이스에, 이미징 장치들 사이의 영역(514)과 비틀어진 컨피규레이션으로 배열된다. 광선(523a)은 인접한 이미지 장치(510a, 510b) 사이의 영역(514)에서 종결(529a)될 수 있는데, 이 경우, 광선(523a)은 센서(500)의 포지션 결정 기능에 기여하지 않을 것이다. 그러나, 이 경우에, 광선(523b, 523c)은 각각 이미징 장치(510b, 510e)상에서 종결(529b, 529c)되어서, 광선(523a)이 할 수 없어도, 센서(500)의 포지션 결정 기능에 기여할 수 있다. 다시 말해, 여전히 광선(523b, 523c)을 각각 수신하는 다른 이미징 장치(510b, 510e)는, 가령 521a와 같은 주어진 광소스로부터 신호의 손실을 보상할 수 있다. 일 태양에서, 이미징 장치 및/또는 광 소스의 갯수 및/또는 배열은 적어도 하나의 광 소스가 센서의 원하는 움직임 범위에 걸쳐서, 그리고, 센서의 임의의 자유도에서 이미징 장치 상에서 종결될 것이다. 따라서, 이러한 방식으로, 광 소스가 광선을 이미지 센서 없는 영역으로 안내할 때에도, 복수의 광 소스는 센서(500)가 광 부품(520)과 이미징 장치(510a-f)의 상대 위치를 결정할 수 있도록 보장하는데 사용될 수 있다.9 illustrates a plurality of imaging devices 510a-f disposed adjacent to each other, as well as a plurality of light sources 510a-c, to provide continuous measurements over a wide range of motion, using only one imaging device. ) Shows another sensor 500 that may include. For example, sensor 500 may be a light source 512a-c (which can be vertical and/or angular), each guiding light rays 523a-c to one or more imaging devices 510a-f at a given time. And any of the features and elements described herein, such as the optical component 520 to support the present invention. As shown, the imaging devices 510a-f are arranged in a twisted configuration with regions 514 between the imaging devices, where there is no sensor, for example at the interface of an adjacent imaging device. Ray 523a may terminate 529a in the region 514 between adjacent imaging devices 510a and 510b, in which case ray 523a will not contribute to the positioning function of sensor 500. However, in this case, the rays 523b and 523c are terminated 529b and 529c on the imaging devices 510b and 510e, respectively, so that even if the rays 523a cannot, they cannot contribute to the positioning function of the sensor 500. have. In other words, other imaging devices 510b and 510e, which still receive light rays 523b and 523c, respectively, can compensate for the loss of a signal from a given light source, such as 521a. In one aspect, the number and/or arrangement of the imaging device and/or light sources will be terminated on the imaging device in which at least one light source spans the desired range of motion of the sensor and at any degree of freedom of the sensor. Thus, in this way, even when the light source directs the light beam to the image sensor-free area, the plurality of light sources allow the sensor 500 to determine the relative position of the optical component 520 and the imaging device 510a-f. Can be used to guarantee.

도 10a와 10b를 참조하면, 도시된 것은, 본 개시물에 따른 두 개의 추가 센서이다. 예를 들어, 도 10a는 이미징 장치(610)와 광 부품(620)의 상대 운동을 가능하게 하기 위해, 이미징 장치(610)와 광 부품(620)과 결합된 탄성 부재(670, 671)를 가진 센서(600)를 도시한다. 탄성 부재(670, 671)는 이미징 장치(610)와 광 부품(620)에 대한 정격 상대 위치를 설립할 수 있고, 임의의 적절한 자유도에서 이미징 장치(610)와 광 부품(620)의 상대 운동을 가능하게 할 수 있다. 탄성 부재(670, 671)는 스프링을 포함할 수 있는데, 이는 임의의 적절한 금속 스프링 또는 탄성중합체 스프링으로 구성될 수 있다. 따라서, 일 태양에서, 탄성 부재(670, 671)는 이미징 장치(610)와 광 부품(620)을 위한 폴리머 서스펜션 시스템으로서의 역할을 할 수 있다.10A and 10B, what is shown are two additional sensors according to the present disclosure. For example, FIG. 10A shows the imaging device 610 and the optical component 620 with elastic members 670 and 671 coupled to the imaging device 610 and the optical component 620 in order to enable the relative movement of the imaging device 610 and the optical component 620. The sensor 600 is shown. The elastic members 670 and 671 can establish a rated relative position for the imaging device 610 and the optical component 620, and allow relative motion of the imaging device 610 and the optical component 620 to any suitable degree of freedom. You can make it possible. The elastic members 670, 671 may include springs, which may be constructed from any suitable metal spring or elastomeric spring. Thus, in one aspect, the elastic members 670 and 671 can serve as a polymer suspension system for the imaging device 610 and the optical component 620.

일 태양에서, 탄성 부재(670, 671)는 광 소스(621, 622)의 외부에 배치될 수 있다. 또 다른 태양에서, 탄성 부재는 이미징 장치(610)와 광 부품(620) 사이에 배치된 투명 레이어를 포함할 수 있다. 일 태양에서, 탄성 부재는 이미징 장치(610)와 광 부품(620)사이의 분리기의 역할을 하는 실리콘 레이어를 포함할 수 있고, 이는 낮은 변위와 높은 레졸루션 센서를 제공한다. 일 태양에서, 센서(600)의 움직임 범위는 이미징 장치(610)의 크기, 서스펜션이나 분리 구조물의 타입에 의해 제한될 수 있는데, 이는 원하는 움직임 범위의 크기 및/또는 특정 센서의 활용 분야에 의존할 수 있다. In one aspect, the elastic members 670 and 671 may be disposed outside the light sources 621 and 622. In another aspect, the elastic member may include a transparent layer disposed between the imaging device 610 and the optical component 620. In one aspect, the elastic member may comprise a silicon layer that acts as a separator between the imaging device 610 and the optical component 620, which provides a low displacement and high resolution sensor. In one aspect, the range of motion of the sensor 600 may be limited by the size of the imaging device 610 and the type of suspension or separation structure, which may depend on the size of the desired motion range and/or the field of application of the specific sensor. I can.

예를 들어, 센서(600)를 위한 하나의 활용 분야는 스트레인 게이지일 수 있다. 이러한 경우, 이미징 장치(610)는 로케이션(614)에서의 표면(613)에 고정될 수 있고, 광 부품은 로케이션(615)에서의 표면(613)에 고정될 수 있다. 표면(613)이 스트레인을 겪음에 따라, 이미징 장치(610)와 광 부품(620)은 서로에 대해 상대적으로 움직일 것이고, 이러한 움직임은 하나 이상의 자유도에서 스트레인의 측정을 가능하게 하는 역할을 할 수 있다.For example, one field of application for sensor 600 may be a strain gauge. In this case, the imaging device 610 may be fixed to the surface 613 at the location 614 and the optical component may be fixed to the surface 613 at the location 615. As the surface 613 undergoes strain, the imaging device 610 and the optical component 620 will move relative to each other, and this movement may serve to enable measurement of the strain in one or more degrees of freedom. .

도 10b는 광 부품(720)과 연결된 덩어리(780)를 가진 센서(700)의 또 다른 예시를 나타내는데, 이는 센서(700)가 가속도 및/또는 네비게이션 도움으로서의 기능을 측정할 수 있게 한다. 덩어리(780)와 광 부품(720)은 스프링과 같은 탄성 부재(770)에 의해 지지되어, 하나 이상의 자유도에서 이미징 장치(710)와 광 부품(720)의 상대 운동을 가능하게 할 수 있다. 일 태양에서, 탄성 부재(770)는 지지 구조물(790)에 결합될 수 있고, 상기 지지 구조물은 이미징 장치(710)에 결합될 수 있다. 광 부품(720)이 덩어리(780)와 연결되고, 탄성 부재(770)에 매달리게 도시되었지만, 이미징 장치(710)는 덩어리(780)와 연결될 수 있고, 탄성 부재(770)에 의해 매달릴 수 있다는 것을 인식해야 한다.10B shows another example of a sensor 700 having a mass 780 connected to an optical component 720, which allows the sensor 700 to measure acceleration and/or function as a navigation aid. The mass 780 and the optical component 720 may be supported by an elastic member 770 such as a spring to enable relative motion of the imaging device 710 and the optical component 720 in one or more degrees of freedom. In one aspect, the elastic member 770 may be coupled to the support structure 790, and the support structure may be coupled to the imaging device 710. Although the optical component 720 is shown to be connected to the mass 780 and to be suspended from the elastic member 770, the imaging device 710 can be connected to the mass 780 and to be suspended by the elastic member 770. Be aware.

센서(미도시)의 또 다른 예시에서, 위스커(whisker)가 이미징 장치나 광 부품에 결합될 수 있고, 경계 레이어 두께를 결정하기 위해 흐름 범위(flow field)에 놓일 수 있다. 센서(미도시)의 또 다른 예시에서, 이미징 센서와 광 부품은 회전 포지션을 측정하기 위해 연속 상대 회전을 위해 구성될 수 있다.In another example of a sensor (not shown), a whisker can be coupled to an imaging device or optical component and placed in a flow field to determine the boundary layer thickness. In another example of a sensor (not shown), the imaging sensor and optical component can be configured for continuous relative rotation to measure the rotational position.

본 발명의 실시예에 따르면, 변위 측정을 가능하게 하는 방법이 개시된다. 본 방법은 제1 광선을 안내하도록 구성된 제1 광 소스 및 제2 광선을 안내하도록 구성된 제2 광 소스를 지원하는 광 부품을 제공하는 단계를 포함할 수 있다. 또한, 본 방법은 상기 광 부품과 인접하여 위치되고, 제1 광선과 제2 광선을 직접 수신하고, 상기 제1 광선과 제2 광선을 전기 신호로 전환하도록 구성되는 이미징 장치를 제공하는 단계를 포함할 수 있다. 본 방법은 상기 전기 신호를 수신하여, 이미징 장치 상의 제1 광선 및 제2 광선의 로케이션을 결정하도록 구성된 광 로케이션 모듈을 제공하는 단계를 더 포함할 수 있다. 여전히, 본 방법은 상기 이미징 장치 의 제1 광선과 제2 광선의 위치에 기초하여, 이미징 장치와 광 부품의 상대 포지션을 결정하도록 구성된 포지션 모듈을 제공하는 단계를 더 포함할 수 있다. 추가적으로, 본 방법은 상기 이미징 장치와 상기 광 부품의 상대 운동을 가능하게 하는 단계를 포함할 수 있다. 일반적으로, 일 실시예에서 이들 방법이 순차적으로 수행될 수 있어도, 본 방법에서 특정 순서가 요구되지 않는다는 것을 주목한다.In accordance with an embodiment of the present invention, a method is disclosed that enables displacement measurement. The method may include providing an optical component supporting a first light source configured to guide a first light ray and a second light source configured to guide a second light ray. In addition, the method includes providing an imaging device positioned adjacent the optical component and configured to directly receive a first and second light rays, and to convert the first and second light rays into electrical signals. can do. The method may further comprise providing an optical location module configured to receive the electrical signal and determine a location of the first light ray and the second light ray on the imaging device. Still, the method may further comprise providing a position module configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component based on the positions of the first and second light rays of the imaging device. Additionally, the method may include enabling relative motion of the imaging device and the optical component. In general, it is noted that although these methods may be performed sequentially in one embodiment, no specific order is required in the present method.

방법의 일 태양에서, 상기 제2 광선은 상기 제1 광선과 평행하지 않는다. 본 방법의 또 다른 태양에서, 상기 이미징 장치와 상기 광 부품의 상대 운동을 가능하게 하는 단계는, 병진 자유도와 회전 자유도 중 적어도 하나에서 상대 운동을 가능하게 하는 것을 포함한다.In one aspect of the method, the second ray is not parallel to the first ray. In yet another aspect of the method, enabling the relative motion of the imaging device and the optical component includes enabling relative motion in at least one of translational and rotational degrees of freedom.

본 발명의 실시예는 본원에서 개시된 특정 구조, 절차 단계 또는 물질에 제한하려는 것이 아니라, 당업자에 의해 인식되는 바와 같이 이러한 것의 등가적인 것으로 확장된다는 것을 이해해야 한다. 또한, 본원에서 사용된 용어는 특정 실시예를 기술하는데에만 목적이 있는 것이지, 이를 제한하려는 의도는 없다는 것도 이해해야 한다.It is to be understood that the embodiments of the present invention are not intended to be limited to the specific structures, procedural steps or materials disclosed herein, but are extended to equivalents of such as will be appreciated by those skilled in the art. In addition, it should be understood that the terms used herein are for the purpose of describing specific embodiments only, and are not intended to limit them.

명세서 전반에 걸친 "일 실시예" 또는 "실시예"에 대한 참조는 실시예와 함께 기술된 특정한, 특징, 구조물 또는 특성이 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함된다. 따라서, 본 명세서 전반에서의 다양한 곳에서 출현하는 "일 실시예에서" 또는 "실시예에서"의 어구는 모두 동일한 실시예를 말할 필요는 없다.References to “one embodiment” or “an embodiment” throughout the specification include in at least one embodiment of the present invention a particular, feature, structure, or characteristic described with the embodiment. Accordingly, the phrases "in one embodiment" or "in an embodiment" appearing in various places throughout this specification need not all refer to the same embodiment.

본원에서 사용되는 바와 같이, 복수의 아이템, 구조적 요소, 합성 요소 및/또는 물질은 편의상 공통 리스트에 존재할 수 있다. 그러나, 이들 리스트는, 각각의 리스트 부재들이 개별적으로 분리되고 고유의 부재로서 식별되는 것으로 해석되어야 한다. 따라서, 이러한 리스트의 개별 부재는, 반대의 표시가 없는 한, 공통 그룹에서의 이들의 제시에 근거하여, 동일한 리스트의 또 다른 부재와 사실상 등가로서 해석되어야 한다. 또한, 본 발명의 다양한 실시예와 예시는 이들의 다양한 구성을 위해 대안예와 함께 본원에서 언급될 수 있다. 이러한 실시예, 예시 및 대안예는 서로 사실상 등가인 것으로 해석되지는 않으나, 본 발명의 분리되고 자율적인 표현으로 해석되어야한다는 것을 이해해야 한다.As used herein, a plurality of items, structural elements, synthetic elements and/or materials may be present in a common list for convenience. However, these lists should be construed as each of the list members being individually separated and identified as a unique member. Accordingly, individual members of such a list should, unless indicated to the contrary, be interpreted as substantially equivalent to another member of the same list, based on their presentation in a common group. Further, various embodiments and examples of the present invention may be referred to herein along with alternative examples for their various configurations. It should be understood that these examples, examples and alternatives are not to be construed as being substantially equivalent to each other, but should be construed as separate and autonomous expressions of the invention.

게다가, 기술된 특징, 구조 또는 특성은 하나 이상의 실시예에서 임의로 적절히 결합될 수 있다. 본 설명에서, 본 발명의 실시예의 완전한 이해를 제공하기 위해, 길이, 너비, 모양등의 예와 같이 많은 특정 세부 사항이 제공된다. 그러나, 당업자는 본 발명이 하나 이상의 특정 세부 사항 없이도 실행될 수 있고, 또한 그 밖의 방법, 구성, 물질 등으로 실행될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 다른 예시에서, 잘 알려진 구조, 무질 또는 동작이 도시되지 않거나, 기술되지 않은 것은 본 발명의 태양을 애매하게 하는 것을 피하기 위함이다.In addition, the described features, structures or characteristics may be arbitrarily appropriately combined in one or more embodiments. In this description, many specific details are provided, such as examples of length, width, shape, etc., to provide a thorough understanding of embodiments of the present invention. However, those skilled in the art will recognize that the present invention may be practiced without one or more specific details, and may also be practiced with other methods, constructions, materials, and the like. In other instances, well-known structures, intrinsics, or operations are not shown or described to avoid obscuring aspects of the invention.

상기 예시가 하나 이상의 특정 적용에서 본 발명의 원리를 설명하는 동안, 형태, 사용 및 실행의 세부 사항에서 다양한 변형이 창의적인 시설의 사용 없이도, 본 발명의 원리와 개념에서 벗어나지 않으면서도 이루어질 수 있다는 것은 당업자에게 명백할 것이다. 따라서, 본 발명은 아래 제시된 청구항에 의해 제한된다고 의도된다.While the above examples illustrate the principles of the invention in one or more specific applications, it will be appreciated by those skilled in the art that various modifications in the details of form, use and implementation can be made without the use of creative facilities and without departing from the principles and concepts of the invention. Will be clear to you. Accordingly, it is intended that the invention be limited by the claims set forth below.

Claims (20)

센서로서,
제1 광 빔을 지향시키도록 동작 가능한 제1 유채색 광 소스(chromatic light source),
제2 광 빔을 지향시키도록 동작 가능한 제2 유채색 광 소스,
이미징 장치 - 상기 이미징 장치는
제1 광 빔과 제2 광 빔을 제1 색상의 광 빔과 제2 색상의 광 빔으로 분해하는 색 분해 수단,
제1 색상의 광 빔을 수신하고 상기 제1 색상의 광 빔을 제1 전기 신호로 변환하도록 구성된 제1 단색 검출기(monochromatic detector), 및
제2 색상의 광 빔을 수신하고 상기 제2 색상의 광 빔을 제2 전기 신호로 변환하도록 구성된 제2 단색 검출기를 포함함 - ,
이미징 장치에 근접하게 위치하며, 제1 유채색 광 소스 및 제2 유채색 광 소스를 지원하는 광 부품 - 이미징 장치 및 광 부품은 서로에 대해 이동 가능함 - ,
광 부품을 이미징 장치로 연결하는 하나 이상의 탄성 부재 - 하나 이상의 탄성 부재는 이미징 장치와 광 부품의 상대적 이동을 촉진시키도록 동작 가능함 - ,
제1 신호와 제2 전기 신호를 수신하고 이미징 장치 상에서의 제1 광 빔 및 제2 광 빔의 위치를 결정하도록 구성된 광 로케이션 모듈, 및
이미징 장치 상의 제1 광 빔 및 제2 광 빔의 위치를 기초로 이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 결정하도록 구성된 포지션 모듈
을 포함하는, 센서.
As a sensor,
A first chromatic light source operable to direct a first light beam,
A second chromatic light source operable to direct a second light beam,
Imaging device-the imaging device
Color separation means for dividing the first light beam and the second light beam into a light beam of a first color and a light beam of a second color,
A first monochromatic detector configured to receive the light beam of a first color and convert the light beam of the first color into a first electrical signal, and
-Comprising a second monochromatic detector configured to receive the light beam of a second color and convert the light beam of the second color into a second electrical signal,
An optical component located close to the imaging device and supporting a first chromatic light source and a second chromatic light source-the imaging device and the optical component are movable relative to each other-,
One or more elastic members connecting the optical component to the imaging device, the one or more elastic members operable to facilitate relative movement of the imaging device and the optical component;
An optical location module configured to receive the first and second electrical signals and to determine positions of the first and second optical beams on the imaging device, and
Position module configured to determine the relative position of the imaging device and the optical component based on the positions of the first and second light beams on the imaging device
Containing, sensor.
제1항에 있어서, 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 제1 병진 자유도로 서로에 대해 상대적으로 이동 가능하며 포지션 모듈은 제1 병진 자유도에 대한 이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 결정하도록 더 구성되며,
제1 광 빔은 제1 병진 자유도의 축에 실질적으로 수직으로 지향되는, 센서.
The method of claim 1, wherein the imaging device and the optical component are movable relative to each other with a first translation degree of freedom and the position module is further configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component with respect to the first translation degree of freedom. ,
The sensor, wherein the first light beam is directed substantially perpendicular to the axis of the first translation degree of freedom.
제2항에 있어서, 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 제2 병진 자유도로 서로에 대해 상대적으로 이동 가능하며 포지션 모듈은 제2 병진 자유도에 대한 이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 결정하도록 더 구성되며,
제1 광 빔은 제2 병진 자유도의 축에 실질적으로 수직으로 지향되는, 센서.
The method of claim 2, wherein the imaging device and the optical component are movable relative to each other with a second translation degree of freedom and the position module is further configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component with respect to the second translation degree of freedom. ,
The sensor, wherein the first light beam is directed substantially perpendicular to the axis of the second translation degree of freedom.
제1항에 있어서, 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 제1 회전 자유도로 서로에 대해 상대적으로 이동 가능하며 포지션 모듈은 제1 회전 자유도에 대한 이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 결정하도록 더 구성되고,
제1 광 빔은 회전 자유도의 축에 실질적으로 수직으로 지향되는, 센서.
The method of claim 1, wherein the imaging device and the optical component are movable relative to each other with a first degree of rotational freedom and the position module is further configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component with respect to the first rotational degree of freedom. ,
The sensor, wherein the first light beam is directed substantially perpendicular to an axis of rotational freedom.
제4항에 있어서, 상기 이미징 장치와 상기 광 부품은 제2 회전 자유도로 서로에 대해 상대적으로 이동 가능하며 포지션 모듈은 제2 회전 자유도에 대한 이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 결정하도록 더 구성되고,
제1 광 빔은 제2 회전 자유도의 축에 실질적으로 평행하게 지향되는, 센서.
The method of claim 4, wherein the imaging device and the optical component are movable relative to each other with a second degree of rotational freedom and the position module is further configured to determine a relative position of the imaging device and the optical component with respect to the second rotational degree of freedom. ,
The sensor, wherein the first light beam is directed substantially parallel to the axis of the second degree of rotational freedom.
제1항에 있어서, 이미징 장치 상의 제1 광 빔 및 제2 광 빔의 중앙 위치가 이미징 장치 상의 제1 광 빔 및 제2 광 빔의 위치에 적용되는 통계적 방법을 이용해 결정되는, 센서. The sensor according to claim 1, wherein a central position of the first and second light beams on the imaging device is determined using a statistical method applied to the positions of the first and second light beams on the imaging device. 제1항에 있어서, 상기 이미징 장치는 전하-결합 장치(CCD) 또는 상보성 금속 산화막 반도체(CMOS)를 포함하는, 센서.The sensor of claim 1, wherein the imaging device comprises a charge-coupled device (CCD) or a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). 제1항에 있어서, 색 분해 수단은 베이어 센서(Bayer sensor) 또는 3CCD 센서인, 센서. The sensor according to claim 1, wherein the color separation means is a Bayer sensor or a 3CCD sensor. 제1항에 있어서, 이미징 장치는 복수의 이미징 장치를 포함하는, 센서. The sensor of claim 1, wherein the imaging device comprises a plurality of imaging devices. 제1항에 있어서, 제1 광 소스는 LED, 레이저, 유기 LED, 전계 방출 디스플레이 소자, 면-전도 전자-방출 디스플레이 유닛, 양자점, 전기적으로 충전된 이온 가스를 포함하는 셀, 형광등, 광 방출의 평면의 외부에 위치된 대용량 광 소스로부터의 광이 통과할 수 있는 홀(hole), 또는 이들의 조합을 포함하는, 센서.The method of claim 1, wherein the first light source is an LED, a laser, an organic LED, a field emission display device, a surface-conducting electron-emitting display unit, a quantum dot, a cell containing an electrically charged ion gas, a fluorescent lamp, and a light emitting device. A sensor comprising a hole through which light from a high-capacity light source located outside the plane can pass, or a combination thereof. 제1항에 있어서, 제1 유채색 광 소스와 함께 작동하는 콜리메이터 및 렌즈 중 적어도 하나를 더 포함하는, 센서.The sensor of claim 1, further comprising at least one of a collimator and a lens operative with the first chromatic light source. 제1항에 있어서, 이미징 장치 및 광 부품 중 적어도 하나와 연관된 덩어리(mass)를 더 포함하는, 센서. The sensor of claim 1, further comprising a mass associated with at least one of an imaging device and an optical component. 제1항에 있어서, 이미징 장치는 표면에 고정되고,
포지션 모듈은 이미징 장치와 광 부품의 상대 위치를 기초로 하나 이상의 자유도에서 표면 상의 변형(strain)을 결정하도록 더 구성되는, 센서.
The method of claim 1, wherein the imaging device is fixed to the surface,
The position module is further configured to determine a strain on the surface in one or more degrees of freedom based on a relative position of the imaging device and the optical component.
복수 자유도 센서로서,
제1 광 빔을 지향시키도록 동작 가능한 제1 유채색 광 소스,
제2 광 빔을 지향시키도록 동작 가능한 제2 유채색 광 소스,
이미징 장치 - 상기 이미징 장치는
제1 광 빔 및 제2 광 빔을 제1 색 및 제2 색으로 분해하는 색 분해 수단,
제1 색의 광을 수신하고 광을 제1 전기 신호로 변환하도록 구성된 제1 단색 검출기, 및
제2 색의 광을 수신하고 광을 제2 전기 신호로 변환하도록 구성된 제2 단색 검출기를 포함함 - ,
제1 유채색 광 소스 및 제2 유채색 광 소스를 지지하는 광 부품 - 이미징 장치 및 광 부품은 복수의 병진 자유도 및 복수의 회전 자유도에서 서로에 대해 이동 가능함 - ,
광 부품을 이미징 장치로 연결하는 하나 이상의 탄성 부재 - 하나 이상의 탄성 부재는 이미징 장치와 광 부품의 상대적 이동을 촉진시키도록 동작 가능함 - ,
제1 신호 및 제2 전기 신호를 수신하고 이미징 장치 상의 제1 광 빔 및 제2 광 빔의 위치를 결정하도록 구성된 광 로케이션 모듈, 및
이미징 장치 상의 제1 광 빔과 제2 광 빔의 위치를 기초로 이미징 장치와 광 부품의 상대 위치를 결정하도록 구성된 포지션 모듈
을 포함하는, 복수 자유도 센서.
As a multiple degree of freedom sensor,
A first chromatic light source operable to direct a first light beam,
A second chromatic light source operable to direct a second light beam,
Imaging device-the imaging device
Color separation means for dividing the first light beam and the second light beam into a first color and a second color,
A first monochromatic detector configured to receive light of a first color and convert the light into a first electrical signal, and
-Comprising a second monochromatic detector configured to receive light of a second color and convert the light into a second electrical signal,
The optical component supporting the first chromatic light source and the second chromatic light source, the imaging device and the optical component are movable relative to each other in a plurality of degrees of freedom of translation and of a plurality of rotations,
One or more elastic members connecting the optical component to the imaging device, the one or more elastic members operable to facilitate relative movement of the imaging device and the optical component;
An optical location module configured to receive a first signal and a second electrical signal and to determine a position of the first and second optical beams on the imaging device, and
Position module configured to determine the relative position of the imaging device and the optical component based on the positions of the first and second light beams on the imaging device
Including, a plurality of degrees of freedom sensor.
제14항에 있어서, 색 분해 수단은 베이어 센서(Bayer sensor) 또는 3CCD 센서인, 복수 자유도 센서. The multi-degree of freedom sensor according to claim 14, wherein the color separation means is a Bayer sensor or a 3CCD sensor. 제14항에 있어서, 이미징 장치는 표면에 고정되고,
포지션 모듈은 이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 기초로 표면 상의 변형(strain)을 결정하도록 더 구성되는, 복수 자유도 센서.
The method of claim 14, wherein the imaging device is fixed to the surface,
The position module is further configured to determine a strain on the surface based on the relative position of the imaging device and the optical component.
변위 측정을 가능하게 하는 방법으로서, 상기 방법은
제1 유채색 광 소스에 의해 제1 유채색 광 빔을 지향시키는 단계,
제2 유채색 광 소스에 의해 제2 유채색 광 빔을 지향시키는 단계,
광 부품에 근접한 이미징 장치에 의해, 제1 유채색 광 빔 및 제2 유채색 광 빔을 직접 수신하는 단계 - 제1 광 소스 및 제2 광 소스는 광 부품에 의해 지원됨 - ,
이미징 장치의 색 분해 수단에 의해, 제1 유채색 광 빔 및 제2 유채색 광 빔을 제1 색의 광 빔과 제2 색의 광 빔으로 분해하는 단계,
이미징 장치에 의해, 제1 색의 광 빔 및 제2 색의 광 빔을 전기 신호로 변환하는 단계,
하나 이상의 탄성 부재에 의해, 광 부품을 이미징 장치로 연결하는 단계,
광 로케이션 모듈에 의해, 전기 신호를 수신하는 단계,
광 로케이션 모듈에 의해, 이미징 장치 상의 제1 유채색 광 빔의 위치 및 제2 유채색 광 빔의 위치를 결정하는 단계,
포지션 모듈에 의해, 이미징 장치 상의 제1 유채색 광 빔 및 제2 유채색 광 빔의 위치를 기초로, 이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 결정하는 단계, 및
하나 이상의 탄성 부재에 의해, 이미징 장치와 광 부품의 상대적 이동을 가능하게 하는 단계
를 포함하는, 변위 측정을 가능하게 하는 방법.
As a method of enabling displacement measurement, the method
Directing a first chromatic light beam by a first chromatic light source,
Directing a second chromatic light beam by a second chromatic light source,
Directly receiving a first chromatic light beam and a second chromatic light beam by an imaging device proximate the optical component, the first light source and the second light source supported by the optical component,
Dividing the first chromatic light beam and the second chromatic light beam into a light beam of a first color and a light beam of a second color by a color separation means of the imaging device,
Converting, by an imaging device, a light beam of a first color and a light beam of a second color into an electric signal,
Connecting the optical component to the imaging device by one or more elastic members,
Receiving an electrical signal by an optical location module,
Determining, by an optical location module, a location of the first chromatic light beam and a location of the second chromatic light beam on the imaging device,
Determining, by a position module, a relative position of the imaging device and the optical component, based on the positions of the first chromatic light beam and the second chromatic light beam on the imaging device, and
Enabling relative movement of the imaging device and the optical component by means of one or more elastic members
A method for enabling displacement measurement comprising a.
제17항에 있어서, 이미징 장치와 광 부품의 상대적 이동을 가능하게 하는 단계는 병진 자유도와 회전 자유도 중 적어도 하나에서의 상대적 이동을 가능하게 하는 단계를 포함하는, 변위 측정을 가능하게 하는 방법. 18. The method of claim 17, wherein enabling the relative movement of the imaging device and the optical component comprises enabling relative movement in at least one of translational and rotational degrees of freedom. 제17항에 있어서, 이미징 장치는 표면에 고정되고, 상기 방법은
이미징 장치와 광 부품의 상대적 위치를 기초로 하나 이상의 자유도에서의 표면 상의 변형(strain)을 결정하는 단계를 더 포함하는, 변위 측정을 가능하게 하는 방법.
The method of claim 17, wherein the imaging device is fixed to the surface, and the method
Determining a strain on the surface in one or more degrees of freedom based on the relative position of the imaging device and the optical component.
제17항에 있어서, 상기 색 분해 수단은 베이어 센서(Bayer sensor) 또는 3CCD 센서인, 변위 측정을 가능하게 하는 방법. The method of claim 17, wherein the color separation means is a Bayer sensor or a 3CCD sensor.
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