KR102198391B1 - Fix jig of transfer-arm for robot - Google Patents

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KR102198391B1
KR102198391B1 KR1020200153671A KR20200153671A KR102198391B1 KR 102198391 B1 KR102198391 B1 KR 102198391B1 KR 1020200153671 A KR1020200153671 A KR 1020200153671A KR 20200153671 A KR20200153671 A KR 20200153671A KR 102198391 B1 KR102198391 B1 KR 102198391B1
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transfer arm
jig
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robot
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KR1020200153671A
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아키히로 후루타니
장조셉
오영일
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(주)볼타오토메이션
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Abstract

The present invention relates to a fix jig of a carrying robot. The fix jig of a carrying robot includes: a lower jig preventing a carrying robot, which carries and guides a substrate by having a multistep carrying arm linked to a body, from naturally moving on an X-Y plane by fixing the position of the folded carrying arm to the body in an operation suspension state; and an upper jig separable coupled with the lower jig to protect the carrying arm when the carrying robot is lifted. According to the present invention, unlike existing technology, when a vacuum robot in an initial state of operation suspension is moving to a place, a lower jig is separably coupled with the body of the vacuum robot to fix a carrying arm such that the carrying arm is not moved in an unfolding direction, an upper jig is separably mounted on the lower jig to protect an end effector connected with the carrying arm by covering the same, a lifting bracket is mounted on an upper side of the upper jig to connect a wire, thereby preventing the deformation or damage of the end effector and the carrying arm caused by the wire when the vacuum robot is lifted.

Description

반송로봇의 픽스지그{FIX JIG OF TRANSFER-ARM FOR ROBOT}FIX JIG OF TRANSFER-ARM FOR ROBOT}

본 발명은 반송로봇의 픽스지그에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 작동정지의 초기 상태인 진공로봇이 장소 이동 중에 반송암이 전개[unfolding] 방향으로 움직이지 않도록 고정하도록 로어지그를 진공로봇의 바디에 분리 가능하게 결합하고, 로어지그에 어퍼지그를 분리 가능하게 구비하여 반송암에 연결되는 엔드이펙터를 덮어 보호하며, 어퍼지그의 상측면에 리프팅브라켓을 구비하여 와이어를 연결함에 따라 진공로봇의 리프팅 이동시 와이어에 의한 반송암과 엔드이펙터의 변형이나 파손을 방지하고자 하는 반송로봇의 픽스지그에 관한 것이다.The present invention relates to a fixing jig of a transfer robot, and more particularly, a lower jig is fixed to the body of the vacuum robot so that the transfer arm does not move in the unfolding direction while the vacuum robot, which is the initial state of stoppage, moves to place. The upper jig is detachably coupled to the lower jig to cover and protect the end effector connected to the transfer arm, and a lifting bracket is provided on the upper side of the upper jig to connect the wires when the vacuum robot is lifted and moved. It relates to a fix jig of a transfer robot to prevent deformation or damage of a transfer arm and an end effector by a wire.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정은 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 제조공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 공정챔버는 복수개가 중앙에 위치한 진공로봇을 중심으로 정렬될 수 있다. 진공로봇은 복수개의 공정챔버로 기판을 이송하기 위한 것이다. 공정챔버들과 진공로봇의 일부는 기판이 이물질로 오염되는 것을 방지하도록 진공영역에 설치된다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as'electronic components') are manufactured through various processes. This manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing an electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film such as a conductor, a semiconductor, or a dielectric on a substrate, and an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the process. A plurality of process chambers may be aligned around a vacuum robot located at the center. The vacuum robot is for transferring a substrate to a plurality of process chambers. The process chambers and part of the vacuum robot are installed in the vacuum area to prevent the substrate from being contaminated with foreign substances.

한편, 진공영역에서 기판을 이송하는 진공로봇은 슬라이더와 모터로 이루어져 기판을 지지하는 핸드를 이동시키는 슬라이더형, 다관절과 모터로 이루어져 핸드를 이동시키는 링크형, 및 케이블와 모터로 이루어져 핸드를 이동시키는 케이블형이 있다. On the other hand, the vacuum robot that transfers the substrate in the vacuum region consists of a slider and a motor to move the hand that supports the substrate, a link type that moves the hand made up of multi-joints and motors, and a link type that moves the hand made up of cables and motors. There is a cable type.

그러나, 링크형 진공로봇은 관절로 이루어져 있기 때문에 운반이나 유통 과정 중에 또는 상하차 중에 흔들림으로 인해 이송이 불안정하거나 링크형 반송암이 파손되는 문제점이 있다.However, since the link-type vacuum robot is made up of joints, there is a problem in that the transfer is unstable or the link-type transfer arm is damaged due to shaking during the transportation or distribution process or during the loading/unloading process.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve this.

관련기술로는 대한민국 공개특허 제10-2013-0083857호(공개일: 2013.07.23. 발명의 명칭: 듀얼 암 진공 로봇) 등이 제안된 바 있다.As a related technology, Korean Patent Application Publication No. 10-2013-0083857 (published date: 2013.07.23. Title of invention: dual arm vacuum robot) has been proposed.

상기한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 종래기술을 의미하는 것은 아니다.The above-described technical configuration is a background technique to aid understanding of the present invention, and does not mean a conventional technique widely known in the art to which the present invention belongs.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 작동정지의 초기 상태인 진공로봇이 장소 이동 중에 반송암이 전개[unfolding] 방향으로 움직이지 않도록 반송암을 측방향(X-Y방향)에서 접하여 고정하도록 로어지그를 진공로봇의 바디에 분리 가능하게 결합하여 정교한 움직임이 필요한 반송암을 보호하고자 하는 반송로봇의 픽스지그를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was conceived to improve the above problems, and the vacuum robot, which is the initial state of shutdown, contacts the carrier arm in the lateral direction (XY direction) so that the carrier arm does not move in the unfolding direction while moving to the place. The purpose of this is to provide a fixing jig for a transfer robot to protect a transfer arm that requires precise movement by detachably coupling a lower jig to the body of a vacuum robot to fix it.

본 발명은 로어지그에 어퍼지그를 분리 가능하게 구비하여 반송암에 연결되는 엔드이펙터를 덮어 보호하며, 반송암이 상하방향(Z방향)으로 움직이는 것을 방지함으로써 반송암을 보호하고자 하는 반송로봇의 픽스지그를 제공하는데 그 목적이 있다.In the present invention, the upper jig is detachably provided on the lower jig to cover and protect the end effector connected to the transfer arm, and the fix of the transfer robot to protect the transfer arm by preventing the transfer arm from moving in the vertical direction (Z direction). Its purpose is to provide a jig.

본 발명은 어퍼지그의 상측면에 리프팅브라켓을 구비하여 와이어를 연결함에 따라 진공로봇의 리프팅 이동시 와이어의 기울어짐에 의한 반송암과 엔드이펙터의 변형이나 파손을 방지하고자 하는 반송로봇의 픽스지그를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention provides a fixing jig for a transfer robot to prevent deformation or damage of the transfer arm and end effector due to inclination of the wire during the lifting movement of the vacuum robot by connecting the wire with a lifting bracket on the upper side of the upper jig. It has its purpose.

본 발명은 어퍼지그와 로어지그를 구성하는 일부 부재들을 여분으로 준비하여 어퍼지그에 거치하고, 상호 조립하기 위한 볼트를 동일한 크기로 규격화한 채 여분의 볼트를 어퍼지그에 체결하여 구비함에 따라, 어퍼지그와 로어지그의 유지 보수에 따른 작업성을 향상하고자 하는 반송로봇의 픽스지그를 제공하는데 그 목적이 있다.In the present invention, some members constituting the upper jig and the lower jig are prepared and mounted on the upper jig, and the extra bolts are fastened to the upper jig while standardizing the bolts for mutual assembly to the same size. Its purpose is to provide a fixing jig for a transfer robot that wants to improve workability according to the maintenance of jig and lower jig.

본 발명에 따른 반송로봇의 픽스지그는: 바디에 다단의 반송암이 링크 연결되어 기판을 반송 안내하는 반송로봇이 작동 작동 정지 상태에서, 상기 바디에 대해 상기 반송암이 폴딩된 상태로 위치 고정되어 자연적으로 X-Y 평면상에서 움직이는 것을 방지하는 로어지그; 및 상기 로어지그에 분리 가능하게 결합되어, 상기 반송로봇이 리프팅 이동시 상기 반송암을 보호하는 어퍼지그를 포함한다.The fixing jig of the transport robot according to the present invention is: In a state in which a transport robot for transporting and guiding a substrate by linking a multi-stage transport arm to a body is in a state in which the transport arm is folded with respect to the body, the position is fixed. Lower jig that naturally prevents movement on the XY plane; And an upper jig detachably coupled to the lower jig to protect the transfer arm when the transfer robot moves by lifting.

상기 로어지그는, 상기 반송암이 Y-Y 평면상에서 작동하는 방향에 대해 상기 바디의 일측에 분리 가능하게 연결된 채 상기 바디에 초기 상태로 구비된 상기 반송암의 일측을 지지하는 일측지지부; 및 상기 반송암이 Y-Y 평면상에서 작동하는 방향에 대해 상기 바디의 타측에 분리 가능하게 연결된 채 상기 바디에 초기 상태로 구비된 상기 반송암의 타측을 지지하며, 상기 일측지지부에 연결되는 타측지지부를 포함한다.The lower jig may include: one side support portion supporting one side of the transfer arm provided in an initial state on the body while being detachably connected to one side of the body with respect to a direction in which the transfer arm operates on a Y-Y plane; And the other side of the transfer arm provided in an initial state on the body while being detachably connected to the other side of the body with respect to the direction in which the transfer arm operates on the YY plane, and the other side support part connected to the one side support. Include.

상기 일측지지부는, 상기 바디의 일측에 분리 가능하게 결합되는 일측베이스부재; 상기 일측베이스부재에서 상기 반송암의 높이 방향으로 연장되는 일측지지부재; 상기 반송암의 일측에 접하여 지지하는 일측서포트부재; 상기 일측지지부재에 대해 상기 일측서포트부재의 위치를 설정함으로써, 상기 반송암에 대한 상기 일측서포트부재의 가압력을 조정하는 일측조정부재; 및 상기 일측서포트부재에서 상기 타측지지부에 연결되도록 연장되는 커넥팅빔을 포함한다.The one side support portion may include a base member detachably coupled to one side of the body; One side support member extending from the one side base member in the height direction of the transfer arm; One support member for supporting in contact with one side of the transfer arm; A one-side adjustment member for adjusting the pressing force of the one-side support member with respect to the transfer arm by setting the position of the one-side support member with respect to the one-side support member; And a connecting beam extending from the one support member to be connected to the other support.

상기 일측서포트부재는 상기 반송암과 접하는 표면에 일측완충패드를 구비하는 것을 특징으로 한다.The one side support member is characterized in that it has one side cushioning pad on the surface in contact with the transfer arm.

상기 타측지지부는, 상기 바디의 타측에 분리 가능하게 결합되는 타측베이스부재; 상기 타측베이스부재에서 상기 반송암의 높이 방향으로 연장되는 타측지지부재; 상기 반송암의 타측 일부에 접하여 지지하고, 상기 일측지지부에 직접적으로 연결되는 제 1타측서포트부재; 상기 제 1타측서포트부재를 상기 반송암 방향으로 지지하고, 상기 반송암의 타측 나머지에 접하여 지지하는 제 2타측서포트부재; 상기 타측지지부재에 대해 상기 제 2타측서포트부재의 위치를 설정함으로써, 상기 반송암에 대한 상기 제 2타측서포트부재와 상기 제 1타측서포트부재의 가압력을 조정하는 타측조정부재를 포함한다.The other side support portion, the other side base member detachably coupled to the other side of the body; The other side support member extending in the height direction of the transfer arm from the other side base member; A first other side support member that is in contact with and supports a portion of the other side of the transfer arm and is directly connected to the one side support; A second other side support member supporting the first other side support member in the direction of the transfer arm and contacting and supporting the other side of the transfer arm; And a second adjustment member for adjusting the pressing force of the second other support member and the first other support member with respect to the transfer arm by setting the position of the second other support member with respect to the other support member.

상기 제 1타측측서포트부재와 상기 제 2타측서포트부재는 상기 반송암과 접하는 표면에 타측완충패드를 구비하는 것을 특징으로 한다.The first other side support member and the second second side support member are characterized in that the other side buffer pad is provided on a surface in contact with the transfer arm.

상기 어퍼지그는, 상기 바디의 양측에 구비되는 상기 로어지그에서 상기 반송암의 높이 방향으로 연장되도록 구비되는 복수 개의 조인트빔; 상기 조인트빔에 동시에 연결 고정되어, 상기 반송암의 상부를 보호하는 어퍼프레임; 및 상기 어퍼프레임의 상측면에 구비되는 리프팅브라켓을 포함한다.The upper jig may include a plurality of joint beams provided to extend in a height direction of the transfer arm from the lower jig provided on both sides of the body; An upper frame that is simultaneously connected and fixed to the joint beam to protect an upper portion of the transfer arm; And a lifting bracket provided on the upper side of the upper frame.

상기 어퍼프레임은 상기 반송암에서 연장되어 상기 로어지그의 외측으로 노출된 엔드이펙터를 수용하여 보호하기 위해 포켓을 구비하는 것을 특징으로 한다.The upper frame is characterized in that it has a pocket to receive and protect the end effector extended from the transfer arm and exposed to the outside of the lower jig.

상기 어퍼프레임은 상기 조인트빔의 파손이나 변형을 대비하여 여분의 추가조인트빔을 거치 고정하기 위한 거치대를 구비하는 것을 특징으로 한다.The upper frame is characterized in that it is provided with a cradle for mounting and fixing an extra joint beam in preparation for damage or deformation of the joint beam.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반송로봇의 픽스지그는 종래 기술과 달리 작동정지의 초기 상태인 진공로봇이 장소 이동 중에 반송암이 전개 방향으로 움직이지 않도록 반송암을 측방향(X-Y방향)에서 접하여 고정하도록 로어지그를 진공로봇의 바디에 분리 가능하게 결합하여 정교한 움직임이 필요한 반송암을 보호할 수 있다.As described above, unlike the prior art, the fix jig of the transfer robot according to the present invention moves the transfer arm in the lateral direction (XY direction) so that the transfer arm does not move in the deployment direction while the vacuum robot, which is the initial state of stoppage, moves to place. The lower jig can be detachably coupled to the body of the vacuum robot so as to be in contact with and fixed to protect the transfer arm that requires precise movement.

본 발명은 로어지그에 어퍼지그를 분리 가능하게 구비하여 반송암에 연결되는 엔드이펙터를 덮어 보호하며, 반송암이 상하방향(Z방향)으로 움직이는 것을 방지함으로써 반송암을 보호할 수 있다.In the present invention, the upper jig is detachably provided on the lower jig to cover and protect the end effector connected to the transfer arm, and the transfer arm can be protected by preventing the transfer arm from moving in the vertical direction (Z direction).

본 발명은 어퍼지그의 상측면에 리프팅브라켓을 구비하여 와이어를 연결함에 따라 진공로봇의 리프팅 이동시 와이어의 기울어짐에 의한 반송암과 엔드이펙터의 변형이나 파손을 방지할 수 있다.The present invention is provided with a lifting bracket on the upper side of the upper jig to connect the wire, thereby preventing the deformation or damage of the transfer arm and the end effector due to inclination of the wire during the lifting movement of the vacuum robot.

본 발명은 어퍼지그와 로어지그를 구성하는 일부 부재들을 여분으로 준비하여 어퍼지그에 거치하고, 상호 조립하기 위한 볼트를 동일한 크기로 규격화한 채 여분의 볼트를 어퍼지그에 체결하여 구비함에 따라, 어퍼지그와 로어지그의 유지 보수에 따른 작업성을 향상할 수 있다.In the present invention, some members constituting the upper jig and the lower jig are prepared and mounted on the upper jig, and the extra bolts are fastened to the upper jig while standardizing the bolts for mutual assembly to the same size. It is possible to improve workability according to the maintenance of the jig and lower jig.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇에 조립된 픽스지그의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇에서 분리된 상태의 픽스지그의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇의 픽스지그의 저면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 픽스지그를 로어지그와 어퍼지그로 분리한 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로어지그의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 어퍼지그의 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 로어지그를 반송로봇에 설치한 상태의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽스지그를 반송로봇에 설치한 상태의 정면도이다.1 is a perspective view of a fix jig assembled in a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a fix jig separated from a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
3 is a bottom perspective view of a fix jig of a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
4 is an exploded perspective view of a fix jig according to an embodiment of the present invention divided into a lower jig and an upper jig.
5 is an exploded perspective view of a lower jig according to an embodiment of the present invention.
6 is an exploded perspective view of an upper jig according to an embodiment of the present invention.
7 is a plan view of a state in which a lower jig according to an embodiment of the present invention is installed in a transport robot.
8 is a front view of a state in which a fix jig according to an embodiment of the present invention is installed on a transport robot.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 반송로봇의 픽스지그의 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, an embodiment of a fix jig of a transport robot according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description. In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention and may vary according to the intention or custom of users or operators. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇에 조립된 픽스지그의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇에서 분리된 상태의 픽스지그의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇의 픽스지그의 저면 사시도이다.1 is a perspective view of a fix jig assembled in a transfer robot according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a fix jig separated from a transfer robot according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a bottom perspective view of a fix jig of a transfer robot according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 픽스지그를 로어지그와 어퍼지그로 분리한 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로어지그의 분해 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 어퍼지그의 분해 사시도이다.Figure 4 is an exploded perspective view of a fix jig according to an embodiment of the present invention divided into a lower jig and an upper jig, Figure 5 is an exploded perspective view of the lower jig according to an embodiment of the present invention, and Figure 6 is a view of the present invention An exploded perspective view of an upper jig according to an embodiment.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 로어지그를 반송로봇에 설치한 상태의 평면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽스지그를 반송로봇에 설치한 상태의 정면도이다.7 is a plan view of a state in which a lower jig according to an embodiment of the present invention is installed on a transport robot, and FIG. 8 is a front view of a state in which a fix jig according to an embodiment of the present invention is installed on the transport robot.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반송로봇(10)의 픽스지그(100)는 로어지그(200) 및 어퍼지그(300)를 포함한다.1 to 8, the fix jig 100 of the transfer robot 10 according to an embodiment of the present invention includes a lower jig 200 and an upper jig 300.

이때, 본 발명에 따른 픽스지그(100)는 반송로봇(10)의 바디(12)에 링크 연결된 다단의 반송암(14)과 최외측의 반송암(14)에 연결되어 기판(도시하지 않음)을 직접적으로 반송 안내하는 엔드이펙터(16)를 보호하는 역할을 한다.At this time, the fix jig 100 according to the present invention is connected to the multi-stage transfer arm 14 linked to the body 12 of the transfer robot 10 and the outermost transfer arm 14 to the substrate (not shown). It serves to protect the end effector 16 that guides directly conveying.

특히, 반송로봇(10)의 초기 상태에서 작동 정지된 반송암(14)과 엔드이펙터(16)는 픽스지그(100)의 로어지그(200)에 의해 X-Y 평면상에서 위치 고정되고, 픽스지그(100)의 어퍼지그(300)에 의해 Y 방향으로 위치 고정된다.In particular, the transfer arm 14 and the end effector 16 stopped in operation in the initial state of the transfer robot 10 are fixed in position on the XY plane by the lower jig 200 of the fix jig 100, and the fix jig 100 ) Is fixed in the Y direction by the upper jig 300.

상세히, 로어지그(200)는 바디(12)에 대해 반송암(14)이 초기 위치에서 폴딩(folding)된 상태로 위치 고정되어 자연적으로 X-Y 평면상에서 움직이는 것을 방지하는 역할을 한다.In detail, the lower jig 200 serves to prevent the body 12 from moving in the X-Y plane by being fixed in position with the carrying arm 14 folded at the initial position.

그리고, 어퍼지그(300)는 로어지그(200)에 분리 가능하게 결합되어, 반송로봇(10)이 리프팅(lifting) 이동시 반송암(14)을 상하방향(Z방향)으로 움직이지 않도록 보호하는 역할을 한다.And, the upper jig 300 is detachably coupled to the lower jig 200, and serves to protect the transfer arm 14 from moving in the vertical direction (Z direction) when the transfer robot 10 moves by lifting. Do it.

더욱 상세히, 로어지그(200)는 일측지지부(210) 및 타측지지부(220)를 포함한다.In more detail, the lower jig 200 includes one side support part 210 and the other side support part 220.

일측지지부(210)는 반송암(14)이 Y-Y 평면상에서 작동하는 방향에 대해 바디(12)의 일측에 분리 가능하게 연결된 채 바디(12)에 초기 상태로 구비된 반송암(14)의 일측을 지지한다.One side support part 210 supports one side of the transfer arm 14 provided in an initial state on the body 12 while being detachably connected to one side of the body 12 with respect to the direction in which the transfer arm 14 operates on the YY plane. Support.

아울러, 타측지지부(220)는 반송암(14)이 Y-Y 평면상에서 작동하는 방향에 대해 바디(12)의 타측에 분리 가능하게 연결된 채 바디(12)에 초기 상태로 구비된 반송암(14)의 타측을 지지한다. 이때, 타측지지부(220)는 일측지지부(210)에 연결됨에 따라, 일측지지부(210)가 반송암(14)의 일측을 지지함과 동시에 타측지지부(220)가 반송암(14)의 타측을 지지한다.In addition, the other side support part 220 is a transfer arm 14 provided in an initial state on the body 12 while being detachably connected to the other side of the body 12 with respect to the direction in which the transfer arm 14 operates on the YY plane. Support the other side of At this time, as the other side support part 220 is connected to the one side support part 210, the one side support part 210 supports one side of the transfer arm 14 and the other side support part 220 Support the other side.

특히, '일측'은 반송암(14)이 전개[unfolding]되는 일방향을 의미하고, '타측'은 반송암(14)이 전개되는 타방향을 의미한다.In particular,'one side' means one direction in which the transfer arm 14 is unfolded, and'the other side' means the other direction in which the transfer arm 14 is deployed.

즉, 반송암(14)은 일측이 일측지지부(210)에 의해 지지 고정되고, 타측이 타측지지부(220)에 의해 지지 고정된다. 아울러, 일측지지부(210)와 타측지지부(220)는 서로 분리 가능하게 연결됨에 따라, 반송암(14)은 견고하게 초기 상태를 유지할 수 있게 된다.That is, one side of the carrying arm 14 is supported and fixed by one side support part 210, and the other side is supported and fixed by the other side support part 220. In addition, as the one side support part 210 and the other side support part 220 are detachably connected to each other, the transfer arm 14 can be firmly maintained in its initial state.

이를 위해, 일측지지부(210)는 일측베이스부재(211), 일측지지부재(212), 일측서포트부재(213), 일측조정부재(214) 및 커넥팅빔(215)을 포함한다.To this end, the one side support part 210 includes one side base member 211, one side support member 212, one side support member 213, one side adjustment member 214 and connecting beam 215.

일측베이스부재(211)는 바디(12)의 일측에 분리 가능하게 결합된다. 즉, 일측베이스부재(211)는 체결볼트(110)에 의해 바디(12)의 일측에 분리 가능하게 결합된다. 이때, 바디(12)는 일측베이스부재(211)를 안정적으로 지지하도록 상측 둘레면에 플랜지(18)를 형성할 수 있다.One base member 211 is detachably coupled to one side of the body 12. That is, the one side base member 211 is detachably coupled to one side of the body 12 by the fastening bolt 110. At this time, the body 12 may form a flange 18 on the upper circumferential surface to stably support the one side base member 211.

아울러, 일측베이스부재(211)는 다양한 형상으로 적용 가능하지만, 편의상 막대 형상인 것으로 도시한다.In addition, the one-side base member 211 can be applied in various shapes, but is illustrated as having a rod shape for convenience.

그리고, 일측지지부재(212)는 일측베이스부재(211)에서 반송암(14)의 높이 방향(Z방향)으로 연장된다. 이때, 일측지지부재(212)는 체결볼트(110)에 의해 일측베이스부재(211)에 분리 가능하게 결합될 수도 있고, 일측베이스부재(211)에 일체로 제작될 수도 있다.In addition, the one side support member 212 extends from the one side base member 211 in the height direction (Z direction) of the transfer arm 14. In this case, the one side support member 212 may be detachably coupled to the one side base member 211 by the fastening bolt 110, or may be integrally manufactured with the one side base member 211.

일측지지부재(212)는 다양한 형상으로 적용 가능하지만, 편의상 막대 형상인 것으로 도시한다. 물론, 일측지지부재(212)가 막대 형상일 경우 하나 이상 구비될 수 있다.One side support member 212 can be applied in various shapes, but for convenience, it is illustrated as having a rod shape. Of course, one or more support members 212 may be provided in a rod shape.

일측서포트부재(213)는 반송암(14)의 일측에 접하여 지지하는 것으로서, 폴딩된 초기 상태인 다단의 반송암(14)을 Z방향으로 전체 또는 대부분에 걸쳐 접하는 높이로 이루어진다.The one side support member 213 is in contact with and supports one side of the transfer arm 14, and has a height in which the multi-stage transfer arm 14, which is the initial state of being folded, is in contact with all or most of the Z direction.

그리고, 일측서포트부재(213)는 폴딩된 다단의 반송암(14)의 축 방향을 따라 반송암(14)의 일측 전체에 걸쳐 접하는 길이로 이루어진다. 물론, 일측서포트부재(213)는 다양한 형상으로 변형 가능하다.In addition, one side support member 213 is made of a length in contact with the entire one side of the transport arm 14 along the axial direction of the folded multi-stage transport arm 14. Of course, one side support member 213 can be deformed into various shapes.

특히, 반송암(14)은 싱글암 또는 듀얼암 등 다양하게 적용 가능하다.In particular, the carrying arm 14 can be applied in various ways, such as a single arm or a dual arm.

또한, 일측조정부재(214)는 일측지지부재(212)에 대해 일측서포트부재(213)의 위치를 설정함으로써, 반송암(14)에 대한 일측서포트부재(213)의 가압력을 조정하는 역할을 한다.In addition, the one side adjustment member 214 serves to adjust the pressing force of the one side support member 213 with respect to the transfer arm 14 by setting the position of the one side support member 213 with respect to the one side support member 212 .

즉, 일측베이스부재(211)가 바디(12) 또는 플랜지(18)에 고정 결합된 상태에서, 일측조정부재(214)가 일측지지부재(212)에 삽입된 후 일측서포트부재(213)를 당기거나 밀도록 작동됨에 따라, 일측서포트부재(213)는 반송암(14)의 일측에 접한 채 가압력이 조절된다.That is, in a state in which one side base member 211 is fixedly coupled to the body 12 or the flange 18, the one side adjustment member 214 is inserted into the one side support member 212 and then pulls the one side support member 213 As it is operated to push or push, one side support member 213 is in contact with one side of the transfer arm 14 and the pressing force is adjusted.

이때, 일측조정부재(214)는 스크류 등 다양하게 적용 가능하다.At this time, one side adjustment member 214 can be applied in various ways such as screws.

그리고, 커넥팅빔(215)은 일측서포트부재(213)에서 타측지지부(220)의, 후술할, 제 1타측서포트부재(226)에 분리 가능하게 연결된다. 그래서, 일측지지부(210)와 타측지지부(220)는 대응되는 반송암(14)의 측부위에 각각 접하여 지지한 채 상호 연결되어 구속된다.In addition, the connecting beam 215 is detachably connected from the one support member 213 to the first other support member 226 of the other support part 220, which will be described later. So, the one side support part 210 and the other side support part 220 are mutually connected and restrained while supporting each other in contact with the side part of the corresponding conveyance arm 14.

물론, 커넥팅빔(215)은 일측서포트부재(213)에 일체로 구비될 수도 있다. 특히, 일측서포트부재(213)는 커넥팅빔(215)과 조립을 위해 복수 개로 나뉘어질 수 있다.Of course, the connecting beam 215 may be provided integrally with the one side support member 213. In particular, the one side support member 213 may be divided into a plurality of connecting beams 215 for assembly.

아울러, 일측서포트부재(213)는 강성을 갖도록 스틸 재질 등 강성 재질로 이루어진다. 이로 인해, 일측서포트부재(213)가 반송암(14)과 직접적으로 접하여 가압할 경우, 또는 반송암(14)과 반복적으로 부딪힐 경우, 반송암(14)이 변형되거나 파손될 우려가 있다.In addition, one side support member 213 is made of a rigid material such as steel material to have rigidity. For this reason, when the one side support member 213 directly contacts and presses the conveyance arm 14, or when repeatedly collides with the conveyance arm 14, the conveyance arm 14 may be deformed or damaged.

이를 방지하기 위해, 일측서포트부재(213)는 반송암(14)과 접하는 표면에 일측완충패드(216)를 구비한다. 일측완충패드(216)는 반송암(14)에 부착되고, 고무 등 완충 가능한 재질로 이루어진다. 물론, 일측완충패드(216)의 개수, 크기 및 형상은 한정하지 않는다.In order to prevent this, one side support member 213 is provided with one side buffer pad 216 on the surface in contact with the transfer arm 14. One side buffer pad 216 is attached to the transfer arm 14, and is made of a material capable of buffering such as rubber. Of course, the number, size, and shape of one side buffer pad 216 are not limited.

또한, 타측지지부(220)는 타측베이스부재(222), 타측지지부재(224), 제 1타측서포트부재(226), 제 2타측서포트부재(227) 및 타측조정부재(228)를 포함한다.In addition, the other side support part 220 includes the other side base member 222, the other side support member 224, the first other side support member 226, the second second side support member 227, and the other side adjustment member 228. .

타측베이스부재(222)는 바디(12)의 타측에 분리 가능하게 결합된다. 즉, 타측베이스부재(222)는 체결볼트(110)에 의해 바디(12)의 타측에 분리 가능하게 결합된다. 이때, 바디(12)의 상측 둘레면에 형성된 플랜지(18)는 타측베이스부재(222)를 안정적으로 지지한다.The other base member 222 is detachably coupled to the other side of the body 12. That is, the other side base member 222 is detachably coupled to the other side of the body 12 by the fastening bolt 110. At this time, the flange 18 formed on the upper circumferential surface of the body 12 stably supports the other base member 222.

아울러, 타측베이스부재(222)는 다양한 형상으로 적용 가능하지만, 편의상 막대 형상인 것으로 도시한다.In addition, the other base member 222 can be applied in various shapes, but for convenience, it is shown as having a rod shape.

타측지지부재(224)는 타측베이스부재(222)에서 반송암(14)의 높이 방향(Z방향)으로 연장된다. 이때, 타측지지부재(224)는 체결볼트(110)에 의해 타측베이스부재(222)에 분리 가능하게 결합될 수도 있고, 타측베이스부재(222)에 일체로 제작될 수도 있다.The other side support member 224 extends from the other side base member 222 in the height direction (Z direction) of the transfer arm 14. At this time, the other side support member 224 may be detachably coupled to the other side base member 222 by a fastening bolt 110 or may be integrally manufactured with the other side base member 222.

타측지지부재(224)는 다양한 형상으로 적용 가능하지만, 편의상 막대 형상인 것으로 도시한다. 물론, 타측지지부재(224)가 막대 형상일 경우 하나 이상 구비될 수 있다.The other support member 224 can be applied in various shapes, but for convenience, it is shown as having a rod shape. Of course, when the other supporting member 224 has a rod shape, one or more may be provided.

제 1타측서포트부재(226)는 반송암(14)의 축 방향을 따라 타측 일부에 접하여 지지하고, 일측지지부(210)의 커넥팅빔(215)에 직접적으로 연결된다. 이때, 제 1타측서포트부재(226)는 커넥팅빔(215)에 분리 가능하게 결합된다.The first other side support member 226 is supported by contacting a part of the other side along the axial direction of the transfer arm 14, and is directly connected to the connecting beam 215 of the one side support part 210. At this time, the first other side support member 226 is detachably coupled to the connecting beam 215.

아울러, 제 2타측서포트부재(227)는 제 1타측서포트부재(226)를 반송암(14) 방향으로 지지하고, 반송암(14)의 축 방향을 따라 타측 나머지에 접하여 지지한다.In addition, the second other side support member 227 supports the first other side support member 226 in the direction of the transfer arm 14, and supports the other side in contact with the other side along the axial direction of the transfer arm 14.

특히, 제 1타측서포트부재(226)는 커넥팅빔(215)과의 연결 부위의 외측에 제 1경사면(226a)을 형성하고, 제 2타측서포트부재(227)는 제 1경사면(226a)과 면접되도록 대칭되게 경사진 제 2경사면(227a)을 형성한다. In particular, the first other side support member 226 forms a first inclined surface 226a on the outside of the connection portion with the connecting beam 215, and the second other side support member 227 has an interview with the first inclined surface 226a. A second inclined surface 227a inclined symmetrically to be formed is formed.

이때, 제 1타측서포트부재(226)는 커넥팅빔(215)과 분리 가능하게 결합되도록 절곡된 앵글 형상으로 이루어지고, 제 2타측서포트부재(227)는 타측지지부재(224)와 연결되도록 절곡된 앵글 형상으로 이루어진다. 그리고, 제 1타측서포트부재(226)와 제 2타측서포트부재(227)는 다양한 형상으로 변형 가능하지만, 막대 형상인 것으로 도시한다. 아울러, 제 1경사면(226a)과 제 2경사면(227a)은 커넥팅빔(215)의 축 방향으로 일직선상에 배치된다.At this time, the first other side support member 226 is made of an angle shape bent to be detachably coupled with the connecting beam 215, and the second other side support member 227 is bent to be connected to the other side support member 224 It is made of an angle shape. Further, the first other side support member 226 and the second second side support member 227 can be deformed into various shapes, but are shown to be in a rod shape. In addition, the first inclined surface 226a and the second inclined surface 227a are disposed in a straight line in the axial direction of the connecting beam 215.

그래서, 제 2타측서포트부재(227)의 절곡된 일측을 일측지지부(210) 방향으로 밀 경우, 제 2타측서포트부재(227)는 반송암(14)의 축 방향을 따라 나머지 부분을 일측지지부(210) 방향으로 밀면서 제 1타측서포트부재(226)이 반송암(14)의 축 방향을 따라 일부분을 가압하도록 한다.So, when pushing the bent one side of the second support member 227 in the direction of the one support part 210, the second support member 227 supports the other part along the axial direction of the transfer arm 14 at one side support ( While pushing in the direction 210), the first other support member 226 presses a portion along the axial direction of the transfer arm 14.

물론, 제 1타측서포트부재(226)와 제 2타측서포트부재(227)는 일체로 제작될 수도 있다.Of course, the first other side support member 226 and the second second side support member 227 may be integrally manufactured.

또한, 제 1타측서포트부재(226)와 제 2타측서포트부재(227)는 반송암(14)의 타측에 접하여 지지하는 것으로서, 폴딩된 초기 상태인 다단의 반송암(14)을 Z방향으로 전체 또는 대부분에 걸쳐 접하는 높이로 이루어진다.In addition, the first other side support member 226 and the second second side support member 227 are in contact with and support the other side of the transfer arm 14, and the multi-stage transfer arm 14, which is in its initial state, is fully folded in the Z direction. Or it is made of a height that touches over most.

타측조정부재(228)는 타측지지부재(224)에 대해 제 2타측서포트부재(227)의 위치를 설정함으로써, 반송암(14)에 대한 제 2타측서포트부재(227)와 제 1타측서포트부재(226)의 가압력을 조정하는 역할을 한다.The other side adjusting member 228 sets the position of the second other side support member 227 with respect to the other side support member 224, so that the second other side support member 227 and the first other side support member with respect to the transfer arm 14 are set. It serves to adjust the pressing force of (226).

즉, 타측베이스부재(222)가 바디(12) 또는 플랜지(18)에 고정 결합된 상태에서, 타측조정부재(228)가 타측지지부재(224)에 삽입된 후 제 2타측서포트부재(227)를 당기거나 밀도록 작동됨에 따라, 제 1타측서포트부재(226)와 제 2타측서포트부재(227)는 반송암(14)의 타측에 접한 채 가압력이 조절된다.That is, in a state in which the other base member 222 is fixedly coupled to the body 12 or the flange 18, the other adjusting member 228 is inserted into the other supporting member 224 and then the second supporting member 227 As the first other side support member 226 and the second second side support member 227 are operated to pull or push, the pressing force is adjusted while being in contact with the other side of the transfer arm 14.

이때, 타측조정부재(228)는 스크류 등 다양하게 적용 가능하다.At this time, the other side adjustment member 228 can be applied in various ways such as screws.

특히, 작업자는 일측조정부재(214)와 타측조정부재(228)를 동시에 또는 번갈아 회전시킴으로써, 반송암(14)은 커넥팅빔(215)에 의해 서로 연결된 일측서포트부재(213)와 제 1타측서포트부재(226) 및 제 2타측서포트부재(227)에 의해 양측이 지지되며 견고하게 위치 고정된다.In particular, the operator rotates one side adjusting member 214 and the other side adjusting member 228 at the same time or alternately, so that the carrying arm 14 is connected to each other by a connecting beam 215, and the first support member 213 and the first other support Both sides are supported by the member 226 and the second support member 227 and are firmly fixed in position.

아울러, 제 1타측서포트부재(226)와 제 2타측서포트부재(227)는 강성 재질로 이루어져, 반송암(14)과 접하는 표면에 타측완충패드(229)를 구비한다. 그래서, 반송암(14)은 타측완충패드(229)에 의해 보호된다. 타측완충패드(229)는 반송암(14)에 부착되고, 고무 등 완충 가능한 재질로 이루어진다. 물론, 타측완충패드(229)의 개수, 크기 및 형상은 한정하지 않는다.In addition, the first other side support member 226 and the second second side support member 227 are made of a rigid material, and have the other side buffer pad 229 on the surface in contact with the transfer arm 14. Thus, the conveyance arm 14 is protected by the other buffer pad 229. The other buffer pad 229 is attached to the transfer arm 14 and is made of a material capable of buffering such as rubber. Of course, the number, size, and shape of the other buffer pad 229 are not limited.

한편, 어퍼지그(300)는 조인트빔(310), 어퍼프레임(320) 및 리프팅브라켓(330)을 포함한다.On the other hand, the upper jig 300 includes a joint beam 310, an upper frame 320 and a lifting bracket 330.

조인트빔(310)은 바디(12)의 양측에 구비되는 로어지그(200)의 일측베이스부재(211)와 타측베이스부재(222)에서 반송암(14)의 높이 방향으로 연장되도록 구비된다.The joint beam 310 is provided to extend in the height direction of the transfer arm 14 from one base member 211 and the other base member 222 of the lower jig 200 provided on both sides of the body 12.

이때, 조인트빔(310)은 복수 개 구비되는 것으로 하고, 대응되는 일측베이스부재(211) 및 타측베이스부재(222)에서 분리 가능하게 구비되는 것으로 한다. 물론, 조인트빔(310)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.In this case, a plurality of joint beams 310 is provided, and it is assumed to be detachably provided from the corresponding one side base member 211 and the other side base member 222. Of course, the joint beam 310 can be applied in a variety of shapes and materials.

어퍼프레임(320)은 일측베이스부재(211)와 타측베이스부재(222)에 세워지게 고정 설치된 조인트빔(310)의 상측에 동시에 연결 고정되어, 반송암(14)의 상부를 보호한다. 아울러, 어퍼프레임(320)은 반송암(14)이 상부방향(Z방향)으로 임의적으로 움직이는 것을 방지하는 역할을 한다. 물론, 어퍼프레임(320)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.The upper frame 320 is simultaneously connected and fixed to the upper side of the joint beam 310 fixedly installed on one base member 211 and the other base member 222 to protect the upper portion of the carrying arm 14. In addition, the upper frame 320 serves to prevent the transfer arm 14 from moving arbitrarily in the upper direction (Z direction). Of course, the upper frame 320 can be applied in a variety of shapes and materials.

그리고, 리프팅브라켓(330)은 어퍼프레임(320)의 상측면에 구비된다.In addition, the lifting bracket 330 is provided on the upper side of the upper frame 320.

특히, 리프팅브라켓(330)은 결합된 픽스지그(100) 및 반송로봇(10)을 리프팅(lifting) 이동시 와이어를 걸 수 있도록 하는 역할을 한다. 이때, 리프팅브라켓(330)은 어퍼프레임(320)의 상측면에 형성되는데, 결합된 픽스지그(100)와 반송로봇(10)의 무게중심 위치에 구비된다.In particular, the lifting bracket 330 serves to hang a wire when moving the combined fixing jig 100 and the transport robot 10. At this time, the lifting bracket 330 is formed on the upper side of the upper frame 320, and is provided at the center of gravity of the combined fix jig 100 and the transfer robot 10.

리프팅브라켓(330)이 어퍼프레임(320)의 상측면에 구비됨에 따라, 와이어가 장력에 의해 당겨질 경우에도 반송암(14)에 접하지 않게 된다. 리프팅브라켓(330)은 다양한 형상으로 변형 가능하다.As the lifting bracket 330 is provided on the upper side of the upper frame 320, it does not come into contact with the transfer arm 14 even when the wire is pulled by tension. The lifting bracket 330 can be deformed into various shapes.

그리고, 어퍼프레임(320)은 일측 하부에 포켓(322)을 형성한다. 포켓(322)은 반송암(14)에서 연장되어 로어지그(200)의 외측으로 노출된 엔드이펙터(16)를 수용하여 보호하는 역할을 한다. 포켓(322)은 다양한 형상으로 적용 가능하다.In addition, the upper frame 320 forms a pocket 322 on one lower side. The pocket 322 serves to accommodate and protect the end effector 16 that is extended from the transfer arm 14 and exposed to the outside of the lower jig 200. The pocket 322 can be applied in various shapes.

아울러, 어퍼프레임(320)은 조인트빔(310)의 파손이나 변형을 대비하여 여분의 추가조인트빔(312)을 거치 고정하기 위한 거치대(324)를 구비한다. 추가조인트빔(312)이 어퍼프레임(320)의 거치대(324)에 항상 보관되어 있기 때문에, 조인트빔(310)의 교체 작업성이 향상된다. 물론, 거치대(324)는 다양한 형상으로 변형 가능하다.In addition, the upper frame 320 is provided with a cradle 324 for mounting and fixing the extra joint beam 312 in preparation for damage or deformation of the joint beam 310. Since the additional joint beam 312 is always stored in the holder 324 of the upper frame 320, the replacement workability of the joint beam 310 is improved. Of course, the cradle 324 can be transformed into various shapes.

또한, 일측지지부(210)의 구성요소 각각은 체결볼트(110)에 의해 분리 가능하게 결합되고, 타측지지부(220)의 구성요소 각각은 체결볼트(110)에 의해 분리 가능하게 결합된다.In addition, each of the components of the one side support part 210 is detachably coupled by the fastening bolt 110, and each of the components of the other side support part 220 is detachably coupled by the fastening bolt 110.

이때, 체결볼트(110)는 동일한 크기로 이루어지는 것으로 하고, 픽스지그(100)는 복수 개의 추가볼트(112)를 나사 결합하여 보관한다. 그래서, 체결볼트(110)가 교체되어야 할 경우, 추가볼트(112)가 사용된다. 이로써, 픽스지그(100)의 유지 보수 작업성이 향상된다.At this time, the fastening bolt 110 is made of the same size, and the fix jig 100 is stored by screwing a plurality of additional bolts 112. So, when the fastening bolt 110 is to be replaced, the additional bolt 112 is used. Thereby, the maintenance workability of the fix jig 100 is improved.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is only illustrative, and those of ordinary skill in the field to which the technology pertains, various modifications and other equivalent embodiments are possible. I will understand. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the following claims.

10: 반송로봇 12: 바디
14: 반송암 16: 엔드이펙터
18: 플랜지 100: 픽스지그
110: 체결볼트 112: 추가볼트
200: 로어지그 210: 일측지지부
211: 일측베이스부재 212: 일측지지부재
213: 일측서포트부재 214: 일측조정부재
215: 커넥팅빔 216: 일측완충패드
220: 타측지지부 222: 타측베이스부재
224: 타측지지부재 226: 제 1타측서포트부재
227: 제 2타측서포트부재 228: 타측조정부재
229: 타측완충패드 300: 어퍼지그
310: 조인트빔 312: 추가조인트빔
320: 어퍼프레임 322: 포켓
324: 거치대 330: 리프팅브라켓10: transfer robot 12: body
14: carrier arm 16: end effector
18: flange 100: fix jig
110: fastening bolt 112: additional bolt
200: lower jig 210: one side support
211: one side base member 212: one side support member
213: one side support member 214: one side adjustment member
215: connecting beam 216: one side buffer pad
220: the other side support 222: the other side base member
224: the other side support member 226: the first other side support member
227: second other side support member 228: other side adjustment member
229: other buffer pad 300: upper jig
310: joint beam 312: additional joint beam
320: upper frame 322: pocket
324: cradle 330: lifting bracket

Claims (10)

바디에 다단의 반송암이 링크 연결되어 기판을 반송 안내하는 반송로봇이 작동 작동 정지 상태에서, 상기 바디에 대해 상기 반송암이 폴딩된 상태로 위치 고정되어 자연적으로 X-Y 평면상에서 움직이는 것을 방지하는 로어지그; 및 상기 로어지그에 분리 가능하게 결합되어, 상기 반송로봇이 리프팅 이동시 상기 반송암을 보호하는 어퍼지그를 포함하고,
상기 어퍼지그는, 상기 바디의 양측에 구비되는 상기 로어지그에서 상기 반송암의 높이 방향으로 연장되도록 구비되는 복수 개의 조인트빔;
상기 조인트빔에 동시에 연결 고정되어, 상기 반송암의 상부를 보호하는 어퍼프레임; 및
상기 어퍼프레임의 상측면에 구비되는 리프팅브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그.
A lower jig that prevents natural movement in the XY plane by being fixed in position with the transfer arm folded relative to the body when the transfer robot that guides the transfer of the substrate by linking it to the body is operated ; And an upper jig that is detachably coupled to the lower jig to protect the transfer arm when the transfer robot moves by lifting,
The upper jig may include a plurality of joint beams provided to extend in a height direction of the transfer arm from the lower jig provided on both sides of the body;
An upper frame that is simultaneously connected and fixed to the joint beam to protect an upper portion of the transfer arm; And
Fixing jig of a transport robot, characterized in that it comprises a lifting bracket provided on the upper side of the upper frame.
 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 로어지그는,
상기 반송암이 Y-Y 평면상에서 작동하는 방향에 대해 상기 바디의 일측에 분리 가능하게 연결된 채 상기 바디에 초기 상태로 구비된 상기 반송암의 일측을 지지하는 일측지지부; 및
상기 반송암이 Y-Y 평면상에서 작동하는 방향에 대해 상기 바디의 타측에 분리 가능하게 연결된 채 상기 바디에 초기 상태로 구비된 상기 반송암의 타측을 지지하며, 상기 일측지지부에 연결되는 타측지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그.
The method of claim 1, wherein the lower jig,
One side support for supporting one side of the transfer arm provided in an initial state on the body while detachably connected to one side of the body with respect to the direction in which the transfer arm operates on the YY plane; And
Supports the other side of the transfer arm provided in an initial state on the body while being detachably connected to the other side of the body with respect to the direction in which the transfer arm operates on the YY plane, and includes the other side support part connected to the one side support Fixing jig of a transfer robot, characterized in that.
 제 3항에 있어서, 상기 일측지지부는,
상기 바디의 일측에 분리 가능하게 결합되는 일측베이스부재;
상기 일측베이스부재에서 상기 반송암의 높이 방향으로 연장되는 일측지지부재;
상기 반송암의 일측에 접하여 지지하는 일측서포트부재;
상기 일측지지부재에 대해 상기 일측서포트부재의 위치를 설정함으로써, 상기 반송암에 대한 상기 일측서포트부재의 가압력을 조정하는 일측조정부재; 및
상기 일측서포트부재에서 상기 타측지지부에 연결되도록 연장되는 커넥팅빔을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그.
The method of claim 3, wherein the one side support,
One side base member detachably coupled to one side of the body;
One side support member extending from the one side base member in the height direction of the transfer arm;
One support member for supporting in contact with one side of the transfer arm;
A one-side adjustment member for adjusting the pressing force of the one-side support member with respect to the transfer arm by setting the position of the one-side support member with respect to the one-side support member; And
A fixing jig for a transport robot, comprising a connecting beam extending from the one support member to be connected to the other support.
 제 4항에 있어서,
상기 일측서포트부재는 상기 반송암과 접하는 표면에 일측완충패드를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그.
The method of claim 4,
The one side support member is a fixing jig of a transport robot, characterized in that provided with one side buffer pad on the surface in contact with the transport arm.
 제 3항에 있어서, 상기 타측지지부는,
상기 바디의 타측에 분리 가능하게 결합되는 타측베이스부재;
상기 타측베이스부재에서 상기 반송암의 높이 방향으로 연장되는 타측지지부재;
상기 반송암의 타측 일부에 접하여 지지하고, 상기 일측지지부에 직접적으로 연결되는 제 1타측서포트부재;
상기 제 1타측서포트부재를 상기 반송암 방향으로 지지하고, 상기 반송암의 타측 나머지에 접하여 지지하는 제 2타측서포트부재;
상기 타측지지부재에 대해 상기 제 2타측서포트부재의 위치를 설정함으로써, 상기 반송암에 대한 상기 제 2타측서포트부재와 상기 제 1타측서포트부재의 가압력을 조정하는 타측조정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그.
The method of claim 3, wherein the other side support,
The other side base member detachably coupled to the other side of the body;
The other side support member extending in the height direction of the transfer arm from the other side base member;
A first other side support member that is in contact with and supports a portion of the other side of the transfer arm and is directly connected to the one side support;
A second other side support member supporting the first other side support member in the direction of the transfer arm and contacting and supporting the other side of the transfer arm;
And a second adjustment member for adjusting the pressing force of the second other support member and the first other support member with respect to the transfer arm by setting the position of the second support member with respect to the other support member. The fix jig of the transfer robot.
 제 6항에 있어서,
상기 제 1타측서포트부재와 상기 제 2타측서포트부재는 상기 반송암과 접하는 표면에 타측완충패드를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그.
The method of claim 6,
The fixing jig for a transfer robot, wherein the first other side support member and the second second side support member have other side buffer pads on surfaces in contact with the transfer arm.
 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 어퍼프레임은 상기 반송암에서 연장되어 상기 로어지그의 외측으로 노출된 엔드이펙터를 수용하여 보호하기 위해 포켓을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그.
The method of claim 1,
The upper frame is a fixing jig of a transfer robot, characterized in that it has a pocket to receive and protect the end effector extended from the transfer arm and exposed to the outside of the lower jig.
 제 1항에 있어서,
상기 어퍼프레임은 상기 조인트빔의 파손이나 변형을 대비하여 여분의 추가조인트빔을 거치 고정하기 위한 거치대를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송로봇의 픽스지그. The method of claim 1,
The upper frame is a fixing jig for a transfer robot, characterized in that it has a cradle for mounting and fixing an extra joint beam in preparation for damage or deformation of the joint beam.
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