KR102178251B1 - Vapor phase decomposition method, analysis method, quality control method, production method, and container - Google Patents

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Abstract

본 발명은 분해한 유기물 재료 중에 분해액에 유래하는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이 혼입되는 것을 방지하기 위한 기상(氣相) 분해 방법에 관한 것이다. 기상 분해 방법은 유기물 재료와 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록, 상기 유기물 재료와 상기 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과, 상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 상기 유기물 재료를 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 분해하는 분해 공정을 포함한다.The present invention relates to a gas phase decomposition method for preventing mixing of metal impurities and/or non-metal impurities derived from a decomposition liquid into a decomposed organic material. The gas phase decomposition method includes a preparation step of accommodating the organic material and the decomposition liquid in a sealed container so that the organic material and the decomposition liquid for decomposing the organic material do not come into contact, and pressurization by heating the inside of the sealed container to obtain the organic material. And a decomposition step in which the decomposition liquid is decomposed by the decomposition liquid gas vaporized.

Description

기상 분해 방법, 분석 방법, 품질 관리 방법, 제조 방법 및 용기{VAPOR PHASE DECOMPOSITION METHOD, ANALYSIS METHOD, QUALITY CONTROL METHOD, PRODUCTION METHOD, AND CONTAINER}Vapor phase decomposition method, analysis method, quality control method, manufacturing method and container {VAPOR PHASE DECOMPOSITION METHOD, ANALYSIS METHOD, QUALITY CONTROL METHOD, PRODUCTION METHOD, AND CONTAINER}

본 발명은 유기물 재료를 분해하기 위한 기상(氣相) 분해 방법, 분해된 유기물 재료의 분석 방법, 분석된 유기물 재료의 품질 관리 방법, 분석된 유기물 재료를 이용한 제조 방법 및 유기물 재료를 분해하기 위한 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a gas phase decomposition method for decomposing an organic material, a method for analyzing the decomposed organic material, a method for quality control of the analyzed organic material, a manufacturing method using the analyzed organic material, and a container for decomposing organic material It is about.

유기물 중에 함유된 불순물을 분석하는 방법으로는 비특허 문헌 1에 기재된 가압 분해법이 알려져 있다. 비특허 문헌 1에 기재된 방법에 의하면, 질산 등의 산용액 중에 고분자 재료를 침지하고 가열 및 가압하여, 산용액 중에 유기물을 용해시켜 측정 시료액을 얻는다. 그리고, 이 측정 시료 중에 포함되는, 금속 원소를 함유하는 불순물(이하, 금속 불순물이라고 한다) 및/또는 비금속 원소를 함유하는 불순물(이하, 비금속 불순물이라고 한다)을 검출한다.As a method of analyzing impurities contained in organic substances, the pressure decomposition method described in Non-Patent Document 1 is known. According to the method described in Non-Patent Document 1, a polymer material is immersed in an acid solution such as nitric acid, heated and pressurized to dissolve organic substances in the acid solution to obtain a measurement sample solution. Then, impurities containing a metallic element (hereinafter referred to as metallic impurities) and/or impurities containing a non-metallic element (hereinafter referred to as non-metallic impurities) contained in the measurement sample are detected.

비특허 문헌 1: Fujikura Giho, 제101호, 57~60쪽, 2001, '가압 분해법에 의한 복합 재료 중의 미량 원소 분석'Non-Patent Document 1: Fujikura Giho, No. 101, pp. 57~60, 2001,'Analysis of trace elements in composite materials by pressure decomposition method'

그러나, 비특허 문헌 1에 기재된 방법에 의하면, 고분자 재료와 산용액이 직접 접촉하기 때문에, 산용액에 함유되는 불순물이 측정 시료액에 포함되어 측정 시료액의 오염(contamination)이 발생한다. 또한, 산용액을 수용하는 용기의 내벽에 부착된 불순물 및 내벽에 불순물로서 함유되는 금속 및/또는 비금속이 산용액에 접촉함으로써 산용액 내로 용출되어 측정 시료액에 혼입된다.However, according to the method described in Non-Patent Document 1, since the polymer material and the acid solution directly contact each other, impurities contained in the acid solution are contained in the measurement sample solution, and contamination of the measurement sample solution occurs. In addition, impurities adhering to the inner wall of the container containing the acid solution and metals and/or non-metals contained as impurities on the inner wall contact the acid solution to elute into the acid solution and mix into the measurement sample solution.

최근, 유기물은 전자 재료로서의 응용이 시야에 들어와, 보다 고순도의 유기물이 요구되고 있다. 따라서, 유기물 중에 함유되는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 보다 정확하게 분석할 필요가 있어, 종래는 문제가 되지 않았던 분석시의 미량의 불순물의 혼입이 문제가 된다.In recent years, the application of an organic material as an electronic material has entered the field of view, and a higher purity organic material is required. Therefore, it is necessary to more accurately analyze the metallic impurities and/or non-metal impurities contained in the organic material, and the incorporation of trace impurities during analysis, which has not been a problem in the past, becomes a problem.

본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 분해액에 유래하는 불순물의 혼입을 막아, 보다 정확하게 유기물 재료 중의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 분석할 수 있는, 기상 분해 방법, 분해된 유기물 재료의 분석 방법, 분석된 유기물 재료의 품질 관리 방법, 분석된 유기물 재료를 이용한 제조 방법 및 유기물 재료를 분해하기 위한 용기를 제공하는 것에 있다.The present invention has been made in view of the above problems, and its object is to prevent the incorporation of impurities derived from the decomposition solution, and to more accurately analyze metallic impurities and/or non-metal impurities in organic materials, a gas phase decomposition method, decomposed It is to provide a method for analyzing organic materials, a method for quality control of analyzed organic materials, a manufacturing method using the analyzed organic materials, and a container for decomposing organic materials.

본 발명에 따른 기상 분해 방법은, 유기물 재료와 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록, 상기 유기물 재료와 상기 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과, 상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 상기 유기물 재료를 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 분해하는 분해 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The gas phase decomposition method according to the present invention includes a preparation step of accommodating the organic material and the decomposition solution in a sealed container so that the organic material and the decomposition solution for decomposing the organic material do not come into contact, and pressurization by heating the inside of the sealed container. And a decomposition step of decomposing the organic material by the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid.

또한, 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 있어서, 상기 밀폐 용기 내에 수용하는 상기 유기물 재료는 0.001㎎ 이상, 500㎎ 이하인 것이 바람직하다.Further, in the gas phase decomposition method according to the present invention, the organic material contained in the sealed container is preferably 0.001 mg or more and 500 mg or less.

또한, 본 발명에 따른 기상 분해 방법은, 상기 분해 공정에서 분해한 상기 유기물 재료로부터 알칼리 금속, 알칼리토류 금속, 란타노이드(lanthanoid), 악티노이드(actinoid), 전이 금속, 붕소족, 탄소족, 닉토겐(pnictogen) 또는 칼코겐(chalcogen)에 속하는 적어도 하나의 원소를 함유하는 측정 시료를 회수하는 회수 공정을 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the gas phase decomposition method according to the present invention includes an alkali metal, an alkaline earth metal, a lanthanoid, an actinoid, a transition metal, a boron group, a carbon group, and a nick from the organic material decomposed in the decomposition step. It is preferable to further include a recovery step of recovering a measurement sample containing at least one element belonging to pnictogen or chalcogen.

본 발명에 따른 분석 방법은, 상기 어느 하나의 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중의 불순물을 검출하는 분석 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The analysis method according to the present invention is characterized by including an analysis step of detecting impurities in a measurement sample obtained by decomposing an organic material by any one of the gas phase decomposition methods described above.

본 발명에 따른 품질 관리 방법은, 상기 어느 하나의 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중의 불순물을 검출하는 분석 공정과, 상기 분석 공정에서 검출된 불순물의 양이 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출하는 추출 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The quality control method according to the present invention includes an analysis process for detecting impurities in a measurement sample obtained by decomposing an organic material by any one of the gas phase decomposition methods, and an organic material in which the amount of impurities detected in the analysis process is less than a predetermined reference amount. It characterized in that it comprises an extraction process for extracting the material.

본 발명에 따른 제조 방법은, 상기 어느 하나의 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중의 불순물을 검출하는 분석 공정과, 상기 분석 공정에서 검출된 불순물의 양이 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출하는 추출 공정과, 상기 추출 공정에서 추출된 유기물 재료를 이용해 유기 전자 기기를 제조하는 제조 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method according to the present invention includes an analysis process for detecting impurities in a measurement sample obtained by decomposing an organic material by any one of the gas phase decomposition methods, and an organic material in which the amount of impurities detected in the analysis process is less than or equal to a predetermined reference amount. It characterized in that it comprises an extraction process of extracting the, and a manufacturing process of manufacturing an organic electronic device using the organic material extracted in the extraction process.

본 발명에 따른 용기는, 유기물 재료를 분해하기 위한 용기로서, 내부에 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액을 수용하는 밀폐 공간을 갖고, 상기 유기물 재료를 분해하기 위한 압력에 대해 내압성(耐壓性)인 외부 용기와, 상기 외부 용기 내에 마련되고, 상기 분해액에 대해 내용성(耐溶性)인 재료에 의해 형성되고, 개방된 상부로부터 상기 유기물 재료가 수용되는 내부 용기를 구비하고, 상기 내부 용기는 상기 분해액이 상기 외부 용기에 수용되었을 때, 그 내벽에 상기 분해액이 접촉하지 않도록 마련되는 것을 특징으로 한다.The container according to the present invention is a container for decomposing an organic material, and has a closed space for accommodating a decomposition solution for decomposing the organic material therein, and is pressure resistant to the pressure for decomposing the organic material. A phosphorus outer container and an inner container provided in the outer container, formed of a material resistant to the decomposition liquid, and receiving the organic material from an open top, the inner container When the decomposition solution is accommodated in the outer container, it is characterized in that it is provided so that the decomposition solution does not come into contact with the inner wall.

본 발명에 따른 기상 분해 방법은, 유기물 재료와 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록, 상기 유기물 재료와 상기 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과, 상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 상기 유기물 재료를 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 분해하는 분해 공정을 포함하므로, 분해된 유기물 재료 중에 분해액에 유래하는 불순물이 혼입되는 것을 방지할 수 있다.The gas phase decomposition method according to the present invention includes a preparation step of accommodating the organic material and the decomposition solution in a sealed container so that the organic material and the decomposition solution for decomposing the organic material do not come into contact, and pressurization by heating the inside of the sealed container. Thus, since a decomposition step of decomposing the organic material by the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid is included, it is possible to prevent impurities derived from the decomposition liquid from being mixed in the decomposed organic material.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 유기물 재료를 분해하기 위한 용기를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a container for decomposing an organic material according to an embodiment of the present invention.

[기상 분해 방법][Measure decomposition method]

본 발명에 따른 유기물 재료의 기상 분해 방법은, 유기물 재료와 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록, 상기 유기물 재료와 상기 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과, 상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 상기 유기물 재료를 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 분해하는 분해 공정을 포함한다.The gas phase decomposition method of an organic material according to the present invention includes a preparation step of accommodating the organic material and the decomposition solution in a sealed container so that the organic material and the decomposition solution for decomposing the organic material do not come into contact, and the inside of the sealed container And a decomposition step of pressurizing by heating to decompose the organic material with a decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid.

본 발명에 의하면, 유기물 재료를 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 분해한다. 따라서, 분해액 중에 함유되는 불순물이 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중에 혼입되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, an organic material is decomposed by a decomposition liquid gas in which the decomposition liquid vaporizes. Therefore, it is possible to prevent impurities contained in the decomposition liquid from being mixed in the measurement sample obtained by decomposing the organic material.

유기물 재료는 유기물을 함유하는 재료로서, 유기 전자 재료가 포함된다. 유기 전자 재료는 전자 기기를 구성하는 재료로서 이용되는 유기물이며, 예를 들면 유기 박막 태양전지 재료, 유기 EL 재료 및 유기 트랜지스터(반도체) 재료 등이 포함된다. 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의하면, 분해액 중에 함유되는 불순물에 의한 오염의 발생이 억제되기 때문에, 분해하는 유기물 재료가 소량이라도 분해 후의 측정 시료를 정확한 분석에 제공하는 것이 가능하다. 따라서, 본 발명에 따른 기상 분해 방법은 고가의 유기 전자 재료의 분해에도 적합하다.The organic material is a material containing an organic material and includes an organic electronic material. The organic electronic material is an organic material used as a material constituting an electronic device, and includes, for example, an organic thin film solar cell material, an organic EL material, an organic transistor (semiconductor) material, and the like. According to the gas phase decomposition method according to the present invention, since the occurrence of contamination by impurities contained in the decomposition liquid is suppressed, it is possible to provide a measurement sample after decomposition for accurate analysis even if the organic material to be decomposed is small. Therefore, the gas phase decomposition method according to the present invention is also suitable for decomposition of expensive organic electronic materials.

또한, 유기물 재료에는 유기 금속 착물도 포함된다. 또한, 유기물 재료에는 유기물을, 예를 들면 증착 또는 도포한 박막 및 상기 박막을 용해한 유기물 용액도 포함된다. 여기에서, 박막이란, 예를 들면 증착에 의해 형성된 박막이거나, 도포에 의해 형성된 박막을 가리키지만, 그 형성 방법은 특별히 한정되지 않는다.In addition, organic metal complexes are also contained in the organic material. Further, the organic material includes a thin film formed by depositing or applying an organic material, for example, and an organic material solution in which the thin film is dissolved. Here, the thin film refers to, for example, a thin film formed by vapor deposition or a thin film formed by coating, but the formation method is not particularly limited.

유기물 재료로는, 예를 들면 방향족 탄화수소, 다환 방향족 탄화수소, 골격에 헤테로 원자를 포함하는 헤테로 방향족 탄화수소 혹은 다환 헤테로 방향환 탄화수소로부터 유도되는 화합물, 고리들이 공유 결합을 통해 연결된 화합물, 풀러렌(fullerene)을 골격에 포함하는 화합물, 포르피린 및 프탈로시아닌을 골격에 포함하는 화합물, 이들 구조를 포함하는 금속 착물 화합물, 그리고 이들 구조를 포함하는 올리고머 및 폴리머 등을 들 수 있다.As an organic material, for example, an aromatic hydrocarbon, a polycyclic aromatic hydrocarbon, a heteroaromatic hydrocarbon containing a hetero atom in the skeleton, or a compound derived from a polycyclic heteroaromatic hydrocarbon, a compound in which rings are linked through a covalent bond, fullerene. And compounds containing a skeleton, a compound containing porphyrin and phthalocyanine, a metal complex compound containing these structures, and oligomers and polymers containing these structures.

본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의하면, 벤젠고리를 갖는 난분해성 유기물 재료라도 매우 효율적으로 기상 분해하는 것이 가능하여, 이와 같은 벤젠고리를 갖는 유기물 재료도 기상 분해의 대상으로 할 수 있다.According to the gas phase decomposition method according to the present invention, even a non-decomposable organic material having a benzene ring can be decomposed in a gas phase very efficiently, and such an organic material having a benzene ring can be subjected to gas phase decomposition.

분해액은 유기물 재료를 분해하는 용액으로, 가열되어 가압됨으로써 기화해 분해액 가스를 발생시키는 용액이면 되고, 불화수소산, 질산, 염산, 황산, 인산, 과산화수소수 및 과염소산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 산을 함유하는 산용액을 이용할 수 있다. 또한, 분해액은 전술한 적어도 어느 하나의 산과 물의 산 수용액이라도 무방하다.The decomposition solution is a solution that decomposes organic materials, and may be a solution that evaporates by heating and pressurization to generate decomposition gas, at least one selected from the group consisting of hydrofluoric acid, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, aqueous hydrogen peroxide, and perchloric acid. An acid solution containing an acid of can be used. In addition, the decomposition liquid may be an aqueous acid solution of at least one of the above-described acids and water.

(준비 공정)(Preparation process)

준비 공정에서, 유기물 재료와 유기물 재료를 분해하는 분해액이 직접 접촉하지 않도록 유기물 재료와 분해액을 밀폐 용기 내에 수용한다. 예를 들면, 밀폐 용기 내에 분해액을 직접 수용하고, 개구부를 갖는 내부 용기 내에 수용한 유기물 재료를 밀폐 용기 내에 수용한다. 이때, 유기물 재료를 수용한 내부 용기의 개구부가 분해액의 액면보다 위쪽에 위치하도록 수용함으로써, 유기물 재료와 분해액이 접촉하지 않도록 수용하면 된다.In the preparation step, the organic material and the decomposition liquid are accommodated in a sealed container so that the organic material and the decomposition liquid for decomposing the organic material do not come into direct contact. For example, the decomposition liquid is directly accommodated in a sealed container, and an organic material contained in an inner container having an opening is accommodated in the sealed container. At this time, the opening of the inner container containing the organic material may be accommodated so that the opening of the inner container is positioned above the liquid level of the decomposition solution, so that the organic material and the decomposition solution do not come into contact.

또한, 유기물 재료를 수용한 내부 용기와 분해액을 수용한 내부 용기를 각각 밀폐 용기 내에 수용해도 된다. 또한, 밀폐 용기 내에 마련된 테이블 상에 유기물 재료를 수용한 내부 용기를 올려두고, 테이블 아래쪽에 분해액을 수용해도 되고, 유기물 재료를 수용한 내부 용기와 분해액을 수용한 내부 용기를 테이블 상에 인접해 올려두어도 된다. 또한, 분해액을 수용한 내부 용기를 테이블 상에 올려두고, 유기물 재료를 수용한 내부 용기를 테이블의 아래쪽에 두어도 된다. 즉, 유기물 재료와 분해액은 밀폐 용기 내에서 직접 접촉하지 않고, 분해액이 기화한 분해액 가스에 유기물 재료가 노출되도록 밀폐 용기 내에 수용되면 된다.In addition, an inner container containing an organic material and an inner container containing a decomposition liquid may be respectively accommodated in a sealed container. In addition, an inner container containing organic material may be placed on a table provided in a sealed container, and the decomposition liquid may be stored under the table. The inner container containing the organic material and the inner container containing the decomposition liquid are adjacent to the table. You can do it. Further, an inner container containing the decomposition liquid may be placed on a table, and an inner container containing an organic material may be placed under the table. That is, the organic material and the decomposition liquid do not come into direct contact in the sealed container, and may be accommodated in the sealed container so that the organic material is exposed to the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid.

밀폐 용기 내에 수용하는 유기물 재료는 0.001㎎ 이상, 500㎎ 이하인 것이 바람직하고, 0.1㎎ 이상, 500㎎ 이하인 것이 보다 바람직하고, 1㎎ 이상, 50㎎ 이하인 것이 가장 바람직하다. 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의하면, 유기물 재료와 분해액이 직접 접촉하지 않기 때문에, 분해액 중에 함유되는 불순물에 의한 오염이 유기물 재료를 분해해 얻어지는 측정 시료 내에 발생하는 것이 억제된다. 따라서, 소량의 유기물 재료를 이용해 얻어진 측정 시료를 정확한 분석에 제공하는 것이 가능하다.The organic material contained in the sealed container is preferably 0.001 mg or more and 500 mg or less, more preferably 0.1 mg or more and 500 mg or less, and most preferably 1 mg or more and 50 mg or less. According to the gas phase decomposition method according to the present invention, since the organic material and the decomposition liquid do not directly contact each other, contamination by impurities contained in the decomposition liquid is suppressed from occurring in a measurement sample obtained by decomposing the organic material. Therefore, it is possible to provide a measurement sample obtained by using a small amount of organic material for accurate analysis.

밀폐 용기 내에 수용하는 분해액의 양은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 밀폐 용기의 용적을 100%로 했을 때, 분해액을 밀폐 용기 용적의 1% 이상, 40% 이하의 양이 되도록 수용하면, 효율적으로 유기물 재료를 분해할 수 있으므로 바람직하다. 또한, 밀폐 용기 내에 수용되는 분해액의 양은 유기물 재료를 충분히 분해 가능한 양일 수 있다. 따라서, 예를 들면, 분해하는 유기물 재료 500㎎당 5㎖ 이상, 20㎖ 이하의 분해액을 수용해도 된다.Although the amount of the decomposition liquid contained in the sealed container is not particularly limited, for example, when the volume of the sealed container is 100%, if the decomposition liquid is contained in an amount of 1% or more and 40% or less of the sealed container volume, it is effective. It is preferable because it can decompose organic materials. In addition, the amount of the decomposition liquid contained in the sealed container may be an amount capable of sufficiently decomposing the organic material. Therefore, for example, 5 ml or more and 20 ml or less of the decomposition liquid may be accommodated per 500 mg of the organic material to be decomposed.

밀폐 용기 내에 수용하는 유기물 재료는 벌크라도 되고, 증착에 의해 형성된 박막이나, 도포에 의해 형성된 박막이라도 된다. 유기물 재료와 분해액을 밀폐 용기 내에 수용한 후, 밀폐 용기를 밀폐한다.The organic material contained in the sealed container may be bulk, may be a thin film formed by vapor deposition or a thin film formed by coating. After containing the organic material and the decomposition liquid in the sealed container, the sealed container is sealed.

(분해 공정)(Decomposition process)

분해 공정에서, 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 유기물 재료를 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 분해한다. 즉, 유기물 재료와 분해액이 수용되어 밀폐된 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압한다. 밀폐 용기 내의 가압 및 가열은, 종래 공지된 방법에 의해 적절하게 행할 수 있다.In the decomposition step, the inside of the sealed container is heated to pressurize, and the organic material is decomposed by the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid. That is, the organic material and the decomposition liquid are accommodated and pressurized by heating the inside of the sealed container. Pressurization and heating in the sealed container can be appropriately performed by a conventionally known method.

밀폐 용기의 가열 온도는, 후술하는 바와 같이 원하는 가압이 가능하고, 분해액을 기화시키는 온도이면 되는데, 100℃ 이상, 240℃ 이하인 것이 바람직하고, 150℃ 이상, 240℃ 이하인 것이 보다 바람직하고, 200℃ 이상, 240℃ 이하인 것이 가장 바람직하다. 또한, 밀폐 용기의 가열 시간은 유기물 재료 500㎎당 1시간 이상, 72시간 이하인 것이 바람직하고, 1시간 이상, 48시간 이하인 것이 보다 바람직하고, 1시간 이상, 24시간 이하인 것이 가장 바람직하다.As will be described later, the heating temperature of the sealed container may be a temperature at which desired pressurization is possible and the decomposition liquid is vaporized, but it is preferably 100°C or more and 240°C or less, more preferably 150°C or more and 240°C or less, and 200 It is most preferable that it is more than or equal to 240 degreeC. Further, the heating time of the sealed container is preferably 1 hour or more and 72 hours or less per 500 mg of organic material, more preferably 1 hour or more and 48 hours or less, and most preferably 1 hour or more and 24 hours or less.

전술한 온도로 가열함으로써 밀폐 용기 내에 가해지는 압력은 기화한 분해액에 의해 유기물 재료가 분해 가능한 압력으로, 1㎫ 이상, 15㎫ 이하인 것이 바람직하고, 5㎫ 이상, 15㎫ 이하인 것이 보다 바람직하고, 7㎫ 이상, 15㎫ 이하인 것이 가장 바람직하다.The pressure applied in the sealed container by heating to the above-described temperature is the pressure at which the organic material can be decomposed by the vaporized decomposition liquid, and is preferably 1 MPa or more and 15 MPa or less, more preferably 5 MPa or more and 15 MPa or less, It is most preferably 7 MPa or more and 15 MPa or less.

밀폐 용기의 가열시에는 밀폐 용기 전체를 가열하는 것이 바람직하다. 또한, 특히 밀폐 용기의 상부에 열을 가하면, 밀폐 용기 내의 상벽에 응집한 액적이 유기물 재료 위로 떨어져 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있다.When heating the sealed container, it is preferable to heat the entire sealed container. In addition, in particular, when heat is applied to the upper part of the sealed container, it is possible to prevent the occurrence of contamination by falling droplets aggregated on the upper wall of the sealed container onto the organic material.

이와 같이, 유기물 재료 및 분해액이 수용된 밀폐 용기 내를 가열해 가압함으로써, 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 유기물 재료가 기상 분해된다. 따라서, 분해액 중에 함유되는 불순물이나 밀폐 용기의 내벽에 부착한 불순물이, 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중에 혼입되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 유기물 재료 중에 함유되는 미량의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 보다 정확하게 검출할 수 있도록 분석에 제공할 수 있다.In this way, by heating and pressurizing the inside of the sealed container containing the organic material and the decomposition liquid, the organic material is gas-phase decomposed by the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid. Therefore, it is possible to prevent impurities contained in the decomposition liquid or impurities adhering to the inner wall of the sealed container from being mixed in the measurement sample obtained by decomposing the organic material. As a result, trace amounts of metallic impurities and/or non-metallic impurities contained in the organic material can be provided for analysis so that they can be detected more accurately.

(회수 공정)(Recovery process)

본 발명에 따른 기상 분해 방법은, 분해 공정에서 분해한 유기물 재료로부터 알칼리 금속, 알칼리토류 금속, 란타노이드, 악티노이드, 전이 금속, 붕소족, 탄소족, 닉토겐 혹은 칼코겐에 속하는 적어도 하나의 원소를 함유하는 측정 시료를 회수하는 회수 공정을 더 포함해도 된다.The gas phase decomposition method according to the present invention comprises at least one element belonging to an alkali metal, an alkaline earth metal, a lanthanoid, an actinoid, a transition metal, a boron group, a carbon group, a nicktogen or a chalcogen from an organic material decomposed in the decomposition process. You may further include a recovery step of recovering the measurement sample containing?

분해 공정에서, 유기물 재료는 분해액 가스에 의해 기상 분해되어 승화하고, 유기물 재료 중에 함유되어 있던 금속 원소 및/또는 비금속 원소가 잔존한다. 회수 공정에서는, 유기물 재료를 분해한 후에 잔존하는 금속 원소 및/또는 비금속 원소를 측정 시료로서 회수한다. 유기물 재료의 분해 후에 잔존하는 금속 원소 및/또는 비금속 원소는 유기물 재료 중에 함유되는 불순물, 즉, 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이다.In the decomposition process, the organic material is gas-phase decomposed by the decomposition liquid gas to sublimate, and metallic elements and/or non-metallic elements contained in the organic material remain. In the recovery step, a metal element and/or a non-metal element remaining after the organic material is decomposed is recovered as a measurement sample. The metal elements and/or non-metal elements remaining after decomposition of the organic material are impurities contained in the organic material, that is, metal impurities and/or non-metal impurities.

여기에서, 금속 불순물이란, 알칼리 금속, 알칼리토류 금속, 란타노이드, 악티노이드 혹은 전이 금속에 속하는 적어도 하나의 금속 원소를 함유하는 불순물을 가리키고, 비금속 불순물이란, 알칼리 금속, 알칼리토류 금속, 란타노이드, 악티노이드 혹은 전이 금속에 속하는 적어도 하나의 금속 원소를 함유하지 않고, 붕소족, 탄소족, 닉토겐 혹은 칼코겐에 속하는 적어도 하나의 비금속 원소를 함유하는 불순물을 가리킨다.Here, the metal impurity refers to an impurity containing at least one metal element belonging to an alkali metal, alkaline earth metal, lanthanide, actinoid or transition metal, and the non-metal impurity refers to an alkali metal, alkaline earth metal, lanthanoid, It does not contain at least one metal element belonging to an actinoid or transition metal, and refers to an impurity containing at least one non-metal element belonging to a boron group, a carbon group, a nictogen or a chalcogen.

금속 원소 및/또는 비금속 원소의 회수는 종래 공지된 회수액을 이용하면 되고, 회수액으로는, 예를 들면 질산, 염산, 불화수소산, 황산, 인산, 과산화수소수 및 과염소산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 산을 함유하는 산용액을 이용할 수 있다.For the recovery of metal elements and/or non-metal elements, a conventionally known recovery solution may be used, and the recovery solution includes at least one selected from the group consisting of nitric acid, hydrochloric acid, hydrofluoric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, aqueous hydrogen peroxide and perchloric acid. An acid solution containing an acid can be used.

회수 공정에서는, 예를 들면 유기물 재료를 수용해 분해한 내부 용기 내에 회수액을 적하해, 내부 용기의 내벽에 부착된 금속 원소 및/또는 비금속 원소를 용해시킨다. 이때, 회수액을 적하한 내부 용기를 다시 가열함으로써, 금속 원소 및/또는 비금속 원소를 회수해도 된다.In the recovery step, for example, a recovery solution is dripped into an internal container that has been decomposed by containing an organic material, and metallic elements and/or non-metallic elements adhering to the inner wall of the internal container are dissolved. At this time, metal elements and/or non-metal elements may be recovered by heating the internal container to which the recovery liquid was dropped again.

본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의하면, 유기물 재료에 함유되는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이 휘발하는 고온에 의한 분해는 행하지 않기 때문에, 유기물 재료에 함유되는 알칼리 금속, 알칼리토류 금속, 란타노이드, 악티노이드, 전이 금속, 붕소족, 탄소족, 닉토겐 또는 칼코겐에 속하는 적어도 하나의 원소를 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물로서 회수할 수 있다. 즉, 이들 원소가 유기물 재료 중에 함유되어 있는지 여부를 분석하는데 제공할 수 있다. 특히, 회수 공정에서는 Na, K, Zn, Cu, Ag, Cd, Sn, Sb 및 Pb 등의 원소를 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물로서 바람직하게 회수할 수 있다.According to the gas phase decomposition method according to the present invention, since decomposition by a high temperature at which metallic impurities and/or non-metal impurities contained in organic materials are volatilized is not performed, alkali metals, alkaline earth metals, lanthanoids, and actioids contained in organic materials are not performed. At least one element belonging to a noid, a transition metal, a boron group, a carbon group, a nicktogen, or a chalcogen may be recovered as a metallic impurity and/or a non-metal impurity. That is, it can be provided to analyze whether these elements are contained in the organic material. In particular, in the recovery process, elements such as Na, K, Zn, Cu, Ag, Cd, Sn, Sb and Pb can be preferably recovered as metallic impurities and/or non-metal impurities.

회수 공정에서 회수 가능한 알칼리 금속으로는 Li, Na, K, Cs, Rb를 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 알칼리토류 금속으로는 Be, Mg, Ca, Sr, Ba를 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 란타노이드로는 La, Ce, Lu, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm 및 Yb를 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 악티노이드로는 Th 및 U를 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 전이 금속으로는 Fe, Co, Ni, Ti, Sc, V, Cr, Mn, Cu, Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, Ag, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Au, Zn 및 Cd를 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 붕소족으로는, 예를 들면 Ga, In, Tl, B 및 Al을 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 탄소족으로는, 예를 들면 Si, Ge, Sn 및 Pb를 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 닉토겐으로는 P, As, Sb 및 Bi를 들 수 있다. 또한, 회수 공정에서 회수 가능한 칼코겐으로는 S, Se 및 Te를 들 수 있다.Alkali metals recoverable in the recovery process include Li, Na, K, Cs, and Rb. Further, examples of alkaline earth metals recoverable in the recovery process include Be, Mg, Ca, Sr, and Ba. In addition, as lanthanoids recoverable in the recovery process, La, Ce, Lu, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm and Yb may be mentioned. In addition, Th and U can be mentioned as actinoids recoverable in the recovery process. In addition, transition metals recoverable in the recovery process include Fe, Co, Ni, Ti, Sc, V, Cr, Mn, Cu, Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, Ag, Hf, Ta, W , Re, Os, Ir, Pt, Au, Zn, and Cd. In addition, examples of the boron group recoverable in the recovery step include Ga, In, Tl, B, and Al. Further, examples of the carbon groups recoverable in the recovery step include Si, Ge, Sn, and Pb. In addition, P, As, Sb, and Bi may be mentioned as the nictogen recoverable in the recovery process. In addition, the chalcogens recoverable in the recovery process include S, Se and Te.

또한, 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의하면, 벤젠고리를 갖는 등의 난분해성 유기물 재료라도 매우 효율적으로 기상 분해하는 것이 가능하기 때문에, 분해 공정을 반복해 행하지 않고 유기물 재료를 분해해, 분석에 제공할 금속 불순물 또는 비금속 불순물을 회수할 수 있다.In addition, according to the gas phase decomposition method according to the present invention, it is possible to very efficiently decompose non-decomposable organic materials, such as having a benzene ring, so that organic materials are decomposed and provided for analysis without repeating the decomposition process. Metal impurities or non-metal impurities can be recovered.

유기물 재료를 분해하는 종래의 건식 회화법(dry ashing method)에 의하면, 고온으로 회분화함으로써 유기물 재료를 분해하기 때문에, 고온에서 휘발하는 원소는 회수하지 못하여 분석에 제공할 수 없었다(예를 들면, 참고 문헌 1(위생 시험법 주해 2005, 일본약학회 편저, P391)을 참조). 또한, 유기물 재료를 분해하는 종래의 마이크로 웨이브법에서는, 벤젠고리를 갖는 등의 난분해성 유기물 재료를 분해하는 것이 곤란하고, 재료에 따라서는 사용하는 산의 조합의 변경이나 분해 공정의 반복 실시가 필요했다(예를 들면, 참고 문헌 2(니가타현 공업기술 종합연구소 공업기술 연구보고서, '마이크로 웨이브 시료 분해 장치에 의한 시료 분해 방법의 확립', P86~88)를 참조). 또한, 마이크로 웨이브법에서는 시료가 황산에 접촉하기 때문에, 분해 후에 회수한 측정 시료 중에 Ca, Sr, Ba, Ag 및 Pb 등과 황산의 난용해성 황산염이 생성된다는 문제가 있었다(예를 들면, 참고 문헌 3(동경도립산업기술 연구 센터 연구 보고, 제4호, '마이크로파 가열 분해 처리에 의한 화학 분석 전처리의 효율화', P92~93)을 참조).According to the conventional dry ashing method for decomposing organic material, since the organic material is decomposed by ashing at high temperature, elements that volatilize at high temperature could not be recovered and thus cannot be provided for analysis (for example, Reference 1 (See Commentary on Hygiene Test Method 2005, compilation of the Japanese Pharmacopoeia, P391). In addition, in the conventional microwave method for decomposing organic materials, it is difficult to decompose non-decomposable organic materials such as having a benzene ring, and depending on the material, it is necessary to change the combination of acids used or repeat the decomposition process. (For example, see Reference 2 (Niigata Prefectural Institute of Industrial Technology Industrial Technology Research Report, ``Establishment of a Sample Decomposition Method Using a Microwave Sample Decomposition Device, P86-88)). In addition, in the microwave method, since the sample is in contact with sulfuric acid, there is a problem that poorly soluble sulfates of sulfuric acid such as Ca, Sr, Ba, Ag and Pb are generated in the measurement sample recovered after decomposition (e.g., Reference 3 (Refer to the Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Center Research Report, No. 4,'Efficient Chemical Analysis Pretreatment by Microwave Heat Decomposition Treatment', P92~93).

본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의하면, 종래의 분해 방법에 의해서는 회수가 곤란한 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 회수하는 것이 가능하고, 또한, 종래의 분해 방법에 의해서는 분해가 곤란한 난분해성 유기물 재료를 분해하는 것도 가능하다. 또한, 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의하면, 분해한 유기물 재료 중에 분해액에 유래하는 불순물이 혼입되는 것을 막아, 보다 정확하게 유기물 재료 중의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 분석하는 것이 가능하다.According to the gas phase decomposition method according to the present invention, it is possible to recover metal impurities and/or non-metal impurities that are difficult to recover by the conventional decomposition method, and also, a hardly decomposable organic material that is difficult to decompose by the conventional decomposition method. It is also possible to disassemble. Further, according to the gas phase decomposition method according to the present invention, it is possible to more accurately analyze the metallic impurities and/or non-metal impurities in the organic material by preventing the impurities derived from the decomposition liquid from being mixed in the decomposed organic material.

[분석 방법][Analysis method]

본 발명에 따른 유기물 재료의 분석 방법은, 전술한 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 검출하는 분석 공정을 포함한다.The method for analyzing an organic material according to the present invention includes an analysis step of detecting metallic impurities and/or non-metallic impurities in a measurement sample obtained by decomposing the organic material by the gas phase decomposition method according to the present invention described above.

분석 공정에서는, 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 잔존한 금속 원소 및/또는 비금속 원소를 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물로서 회수하고, 측정 시료로서 종래 공지의 측정 방법에 의해 원소 분석한다. 측정 시료를 원소 분석하는 방법으로는, 예를 들면 유도 결합 플라즈마 질량분석법(ICP-MS), 유도 결합 플라즈마 발광 분광 분석법(ICP-AES), 원자 흡광 분석법(AAS) 등을 들 수 있다.In the analysis process, the organic material is decomposed by the gas phase decomposition method according to the present invention, and the remaining metallic and/or non-metallic elements are recovered as metallic impurities and/or non-metallic impurities, and the elements are used as a measurement sample by a conventionally known measurement method. Analyze. As a method of elemental analysis of the measurement sample, for example, inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS), inductively coupled plasma emission spectrometry (ICP-AES), atomic absorption spectrometry (AAS), and the like can be cited.

이와 같이, 본 발명에 따른 분석 방법에 의하면, 유기물 재료를 기상 분해해 얻어진 측정 시료를 분석함으로써, 유기물 재료 중에 함유되는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 보다 정확하게 검출할 수 있다.As described above, according to the analysis method according to the present invention, metal impurities and/or non-metal impurities contained in the organic material can be more accurately detected by analyzing the measurement sample obtained by gas-phase decomposition of the organic material.

[품질 관리 방법][Quality Control Method]

본 발명에 따른 품질 관리 방법은, 전술한 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 검출하는 분석 공정과, 상기 분석 공정에서 검출된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 양이 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출하는 추출 공정을 포함한다.The quality control method according to the present invention includes an analysis process for detecting metallic impurities and/or non-metallic impurities in a measurement sample obtained by decomposing an organic material by the gas phase decomposition method according to the present invention described above, and a metal detected in the analysis process. And an extraction process of extracting an organic material having an amount of impurities and/or non-metallic impurities equal to or less than a predetermined reference amount.

분석 공정에서는, 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 잔존한 금속 원소 및/또는 비금속 원소를 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물로서 회수하고, 측정 시료로서 종래 공지된 측정 방법에 의해 원소 분석한다. 측정 시료를 원소 분석하는 방법으로는, 예를 들면 유도 결합 플라즈마 질량분석법(ICP-MS), 유도 결합 플라즈마 발광 분광 분석법(ICP-AES), 원자 흡광 분석법(AAS) 등을 들 수 있다.In the analysis process, the organic material is decomposed by the gas phase decomposition method according to the present invention, and the remaining metallic and/or non-metallic elements are recovered as metallic impurities and/or non-metallic impurities, and the elements are used as a measurement sample by a conventionally known measurement method. Analyze. As a method of elemental analysis of the measurement sample, for example, inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS), inductively coupled plasma emission spectrometry (ICP-AES), atomic absorption spectrometry (AAS), and the like can be cited.

그리고, 추출 공정에서, 분석 공정에서 검출된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 양이 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출한다. 즉, 분석 공정에서 검출된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 양에 기초해 유기물 재료를 선별한다. 한편, 추출 공정에서는, 분석 공정에서 검출된 금속 불순물에 함유되는 금속 원소의 종류 또는 비금속 불순물에 함유되는 비금속 원소의 종류에 기초해 유기물 재료를 선별해도 된다.Then, in the extraction process, an organic material in which the amount of metal impurities and/or non-metal impurities detected in the analysis process is equal to or less than a predetermined reference amount is extracted. That is, the organic material is selected based on the amount of metallic impurities and/or non-metallic impurities detected in the analysis process. On the other hand, in the extraction process, the organic material may be selected based on the type of the metal element contained in the metal impurity detected in the analysis process or the type of the nonmetal element contained in the nonmetallic impurity.

이와 같이, 본 발명에 따른 품질 관리 방법에 의하면, 유기물 재료 중에 함유되는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 정확하게 검출할 수 있기 때문에, 검출 결과에 기초해 유기물 재료를 선별함으로써 유기물 재료의 품질을 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 품질 관리 방법은 보다 정확한 품질 관리가 요구되는, 유기 전자 제품의 제조에 이용되는 유기물 재료의 품질 관리에도 적합하다.As described above, according to the quality control method according to the present invention, since metallic impurities and/or non-metallic impurities contained in the organic material can be accurately detected, the quality of the organic material is uniformly selected by selecting the organic material based on the detection result. Can be maintained. Accordingly, the quality control method according to the present invention is also suitable for quality control of organic materials used in the manufacture of organic electronic products that require more accurate quality control.

[제조 방법][Manufacturing method]

본 발명에 따른 제조 방법은, 전술한 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 얻어진 측정 시료 중의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 검출하는 분석 공정과, 상기 분석 공정에서 검출된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 양이 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출하는 추출 공정과, 상기 추출 공정에서 추출된 유기물 재료를 이용해 유기 전자 기기를 제조하는 제조 공정을 포함한다.The manufacturing method according to the present invention includes an analysis process for detecting metallic impurities and/or nonmetallic impurities in a measurement sample obtained by decomposing an organic material by the gas phase decomposition method according to the present invention described above, and a metal impurity detected in the analysis process. And/or an extraction process of extracting an organic material having an amount of non-metallic impurities equal to or less than a predetermined reference amount, and a manufacturing process of manufacturing an organic electronic device using the organic material extracted in the extraction process.

분석 공정에서는, 본 발명에 따른 기상 분해 방법에 의해 유기물 재료를 분해해 잔존한 금속 원소 및/또는 비금속 원소를 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물로서 회수하고, 측정 시료로서 종래 공지의 측정 방법에 의해 원소 분석한다. 측정 시료를 원소 분석하는 방법으로는, 예를 들면 유도 결합 플라즈마 질량분석법(ICP-MS), 유도 결합 플라즈마 발광 분광 분석법(ICP-AES), 원자 흡광 분석법(AAS) 등을 들 수 있다.In the analysis process, the organic material is decomposed by the gas phase decomposition method according to the present invention, and the remaining metallic and/or non-metallic elements are recovered as metallic impurities and/or non-metallic impurities, and the elements are used as a measurement sample by a conventionally known measurement method. Analyze. As a method of elemental analysis of the measurement sample, for example, inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS), inductively coupled plasma emission spectrometry (ICP-AES), atomic absorption spectrometry (AAS), and the like can be cited.

다음으로, 추출 공정에서, 분석 공정에서 검출된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 양이 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출한다. 즉, 분석 공정에서 검출된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 양에 기초해 유기물 재료를 선별한다. 한편, 추출 공정에서는, 분석 공정에서 검출된 금속 불순물에 함유되는 금속 원소의 종류 또는 비금속 불순물에 함유되는 비금속 원소의 종류에 기초해 유기물 재료를 선별해도 된다.Next, in the extraction process, an organic material in which the amount of metal impurities and/or non-metal impurities detected in the analysis process is equal to or less than a predetermined reference amount is extracted. That is, the organic material is selected based on the amount of metallic impurities and/or non-metallic impurities detected in the analysis process. On the other hand, in the extraction process, the organic material may be selected based on the type of the metal element contained in the metal impurity detected in the analysis process or the type of the nonmetal element contained in the nonmetallic impurity.

그리고, 제조 공정에서, 추출 공정에서 추출된 유기물 재료를 이용해 유기 전자 제품(유기 전자 기기)을 제조한다. 유기 전자 제품으로는, 예를 들면 유기 박막 태양전지, 유기 EL 및 유기 트랜지스터(반도체) 등을 들 수 있다.And, in the manufacturing process, an organic electronic product (organic electronic device) is manufactured using the organic material extracted in the extraction process. Examples of organic electronic products include organic thin-film solar cells, organic EL and organic transistors (semiconductors).

본 발명에 따른 제조 방법은, 추출 공정에서 추출된 유기물 재료에 함유되는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 양이 기준량 이하이기 때문에, 고품질인 유기 전자 제품을 제조하는 것이 가능하고, 제품의 제품 수율을 향상시킬 수 있다.In the manufacturing method according to the present invention, since the amount of metallic impurities and/or non-metallic impurities contained in the organic material extracted in the extraction process is less than the reference amount, it is possible to manufacture high-quality organic electronic products, and the product yield of the product is improved. Can be improved.

[용기(10)][Container (10)]

본 발명에 따른 용기는 유기물 재료를 분해하기 위한 용기로서, 내부에 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액을 수용하는 밀폐 공간을 갖고, 상기 유기물 재료를 분해하기 위한 압력에 대해 내압성인 외부 용기와, 상기 외부 용기 내에 마련되고, 상기 분해액에 대해 내용성인 재료에 의해 형성되고, 개방된 상부로부터 상기 유기물 재료가 수용되는 내부 용기를 구비하며, 상기 내부 용기는 상기 분해액이 상기 외부 용기에 수용되었을 때, 그 내벽에 상기 분해액이 접촉하지 않도록 마련된다.The container according to the present invention is a container for decomposing an organic material, and has a closed space for accommodating a decomposition solution for decomposing the organic material therein, an external container that is pressure resistant to pressure for decomposing the organic material, and the It is provided in an outer container, is formed of a material resistant to the decomposition liquid, and includes an inner container in which the organic material is accommodated from an open top, wherein the inner container is accommodated in the outer container. It is provided so that the decomposition liquid does not come into contact with the inner wall thereof.

이하, 본 발명에 따른 용기의 일 실시 형태에 대해, 도 1을 참조해 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 유기물 재료를 분해하기 위한 용기를 나타내는 단면도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 용기(10)는 외부 용기(1)와 내부 용기(4)를 구비하고 있다. 용기(10)는 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 이용된다. 용기(10)는 내부 용기(4)를 올려놓는 테이블을 구비한 지지부(미도시)를 더 구비해도 무방하다. 본 실시 형태에서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 외부 용기(1) 내에 수용된 분해액(6) 중에, 유기물 재료(5)를 수용한 내부 용기(4)를 침지하고 있다.Hereinafter, an embodiment of a container according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1. 1 is a cross-sectional view showing a container for decomposing an organic material according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the container 10 includes an outer container 1 and an inner container 4. The container 10 is used to decompose the organic material 5. The container 10 may further include a support (not shown) provided with a table on which the inner container 4 is placed. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the inner container 4 containing the organic material 5 is immersed in the decomposition liquid 6 accommodated in the outer container 1.

(외부 용기(1))(Outer container (1))

외부 용기(1)는 내부에 유기물 재료(5)와 유기물 재료(5)를 분해하는 분해액(6)을 수용하는 밀폐 공간을 갖고 있다. 외부 용기(1)는 내부에 수용한 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 가해지는 압력에 대해 내압성이다. 또한, 외부 용기(1)는 내부에 수용한 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 가해지는 열에 대해 내열성인 것이 바람직하다.The outer container 1 has a closed space in which the organic material 5 and a decomposition liquid 6 for decomposing the organic material 5 are accommodated. The outer container 1 is pressure resistant to pressure applied to decompose the organic material 5 contained therein. Further, it is preferable that the outer container 1 is heat resistant to heat applied to decompose the organic material 5 contained therein.

여기에서, 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 가해지는 압력에 대해 내압성이라는 것은, 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 압력이 가해졌을 때, 팽창 또는 연화하기 어렵고, 형상을 일정하게 유지해 변형되지 않는 것을 의도한다. 또한, 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 가해지는 열에 대해 내열성이라는 것은, 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 가열되었을 때, 용출 또는 연화하기 어렵고, 형상을 일정하게 유지해 변형되지 않는 것을 의도한다.Here, the pressure resistance to the pressure applied to decompose the organic material 5 means that when pressure is applied to decompose the organic material 5, it is difficult to expand or soften, and it is not deformed by maintaining a constant shape. Intend to do. In addition, heat resistance to heat applied to decompose the organic material 5 is intended to be difficult to elute or soften when heated to decompose the organic material 5, and to maintain a constant shape and not deform.

<내통부(3)><Inner tube part (3)>

외부 용기(1)는 내통부(3)와, 그 외측의 외통부(2)의 이중벽 구조이다. 내통부(3)는 밀폐 공간에 접하고, 분해액(6)에 대해 내용성인 재료에 의해 형성되어 있다. 내통부(3)는 밀폐 공간에 분해액(6)이 수용되었을 때, 분해액(6)에 직접 접촉하기 때문에, 분해액(6)에 대해 내용성인 재료에 의해 형성된다. 분해액(6)에 대해 내용성인 재료란, 분해액(6)에 대해 금속 성분 및/또는 비금속 성분의 용출이 적은 재료를 의도하고, 분해액(6)에 대해 금속 성분 및/또는 비금속 성분이 용출되지 않는 재료인 것이 보다 바람직하다.The outer container 1 has a double-walled structure of the inner cylinder 3 and the outer cylinder 2 on the outside. The inner cylinder portion 3 is made of a material that is in contact with the closed space and is resistant to the decomposition solution 6. When the decomposition solution 6 is accommodated in the closed space, the inner cylinder portion 3 is made of a material that is resistant to the decomposition solution 6 because it directly contacts the decomposition solution 6. The material that is resistant to the decomposition solution (6) is intended to be a material with little elution of metal components and/or nonmetallic components to the decomposition solution (6), and the metal component and/or nonmetallic component to the decomposition solution (6). It is more preferable that it is a material that does not elute.

분해액(6)에 대해 내용성인 재료로는, 예를 들면 불소 수지, 백금 또는 세라믹스 재료를 들 수 있다. 불소 수지로는, 예를 들면 PTFE(폴리 테트라 플루오로 에틸렌)(4불화), PFA(테트라 플루오로 에틸렌)·퍼플루오로 알킬 비닐 에테르 공중합체, PVDF(폴리 비닐리덴 플루오라이드)(2불화), PCTFE(폴리 클로로 트리 플루오로 에틸렌)(3불화) 등을 들 수 있다. 세라믹스 재료로는, 예를 들면 알루미나, 지르코니아, 카르시아, 마그네시아, 이트리아 등을 들 수 있다.As a material resistant to the decomposition liquid 6, for example, a fluororesin, platinum, or ceramic material may be mentioned. Examples of the fluorine resin include PTFE (polytetrafluoroethylene) (tetrafluoroethylene), PFA (tetrafluoroethylene) perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, and PVDF (polyvinylidene fluoride) (difluoride). , PCTFE (polychlorotrifluoroethylene) (trifluoride), and the like. Examples of the ceramic material include alumina, zirconia, carcia, magnesia, and yttria.

내통부(3)의 형상은 특별히 한정되지 않고, 내측에 밀폐 공간이 존재하고, 유기물 재료(5) 및 분해액(6)이 수용 가능하면 된다. 내통부(3)는 하부와 덮개부의 2개의 부재로 분할되어 있고, 하부에 분해액(6)을 수용하고, 이를 상부로부터 막도록 덮개부를 얹어 밀폐해도 된다. 내통부(3)의 하벽, 측벽 및 상벽의 두께는 수용되는 분해액(6)의 유출을 막고, 내측의 공간을 밀폐하는 것이 가능한 두께이면 특별히 한정되지 않는다.The shape of the inner cylinder portion 3 is not particularly limited, and an airtight space is present inside, and the organic material 5 and the decomposition liquid 6 may be accommodated. The inner cylinder portion 3 is divided into two members, a lower portion and a cover portion, and accommodates the decomposition liquid 6 in the lower portion, and may be sealed by placing a cover portion so as to block it from the upper portion. The thickness of the lower wall, the side wall, and the upper wall of the inner cylinder 3 is not particularly limited as long as it is a thickness capable of preventing the outflow of the accommodated decomposition liquid 6 and sealing the inner space.

<외통부(2)><External cylinder part (2)>

외통부(2)는 내통부(3)의 외측에 위치하고, 내통부(3)를 감싸도록 마련된다. 그리고, 외통부(2)는 유기물 재료(5)를 용해시키기 위한 압력에 대해 내압성이다. 따라서, 내부에 수용한 유기물 재료(5)를 분해하기 위해 가열되고 압력이 가해져 내통부(3)가 변형되었다고 해도, 외통부(2)가 내압성을 갖고 있기 때문에, 외부 용기(1) 전체의 변형을 방지할 수 있다. 또한, 외통부(2)는 유기물 재료(5)를 용해시키기 위해 가해지는 열에 대해 내열성인 것이 바람직하다. 이에 따라, 외부 용기(1)의 열에 의한 변형을 방지할 수 있다.The outer cylinder portion 2 is located outside the inner cylinder portion 3 and is provided to surround the inner cylinder portion 3. Further, the outer cylinder portion 2 is pressure resistant to the pressure for dissolving the organic material 5. Therefore, even if the inner cylinder 3 is deformed by heating and pressure to decompose the organic material 5 contained therein, since the outer cylinder 2 has pressure resistance, deformation of the entire outer container 1 is prevented. Can be prevented. In addition, it is preferable that the outer cylinder portion 2 is heat resistant to heat applied to dissolve the organic material 5. Accordingly, deformation of the outer container 1 due to heat can be prevented.

외통부(2)는 유기물 재료(5)를 용해시키기 위한 압력 및 열에 대해 내압성 및 내열성이면 되고, 예를 들면 스테인리스 스틸에 의해 형성된다. 외통부(2)는 적어도 가압 및 가열시에 내통부(3)를 감싸도록 마련되면 된다. 즉, 외통부(2)는 하부와 덮개부의 2개의 부재로 분할되어 있고, 하부에 내통부(3)를 수용하고, 이를 상부로부터 막도록 덮개부를 얹어 밀폐하여, 가압 및 가열에 제공해도 된다. 외통부(2)의 하벽, 측벽 및 상벽의 두께는, 원하는 내압성 및 내열성이 얻어지는 두께라면 특별히 한정되지 않는다.The outer cylinder portion 2 may have pressure resistance and heat resistance against pressure and heat for dissolving the organic material 5, and is formed of, for example, stainless steel. The outer cylinder portion 2 may be provided so as to surround the inner cylinder portion 3 at least when pressing and heating. That is, the outer cylinder portion 2 is divided into two members, a lower portion and a cover portion, and accommodates the inner cylinder portion 3 in the lower portion, and the cover portion may be put on and sealed to prevent this from the upper portion, thereby providing for pressurization and heating. The thickness of the lower wall, the side wall, and the upper wall of the outer cylinder portion 2 is not particularly limited as long as it is a thickness at which desired pressure resistance and heat resistance are obtained.

외부 용기(1)에 있어서는, 내통부(3)가 분해액(6)이 수용되는 밀폐 공간에 접하고, 외통부(2)와 분해액(6)이 접촉하지 않도록 되어 있으므로, 외통부(2)에 유래하는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이 분해액(6)에 용출되어 오염이 발생하는 것을 방지해, 분해액(6)으로의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 용출을 억제할 수 있다. 한편, 내통부(3)를 다시 2층 구조로 하여, 보다 확실하게 외통부(2)에 유래하는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이 분해액(6)에 용출되는 것을 방지해도 된다.In the outer container (1), the inner cylinder portion (3) is in contact with the sealed space in which the decomposition solution (6) is accommodated, and the outer cylinder portion (2) and the decomposition solution (6) do not come into contact with each other. Metal impurities and/or non-metallic impurities are prevented from being eluted in the decomposition solution 6 to cause contamination, and elution of the metal impurities and/or non-metallic impurities into the decomposition solution 6 can be suppressed. On the other hand, the inner cylinder portion 3 may have a two-layer structure again to more reliably prevent the metal impurities and/or non-metallic impurities originating from the outer cylinder portion 2 from eluting into the decomposition liquid 6.

(내부 용기(4))(Inner container (4))

내부 용기(4)는 분해액(6)에 대해 내용성인 재료에 의해 형성되고, 상부가 개방된 기둥 형상의 용기이다. 유기물 재료(5)는 상부의 개방 부분으로부터 내부 용기(4) 내에 수용된다. 내부 용기(4)는 그 내벽에 분해액(6)이 접촉하지 않도록, 외부 용기(1) 내에 마련된다. 내부 용기(4)는 분해액(6)이 기화한 분해액 가스 중에 노출되므로, 분해액(6)에 대해 금속 성분 및/또는 비금속 성분의 용출이 적거나, 또는, 분해액(6)에 대해 금속 성분 및/또는 비금속 성분이 용출되지 않는 재료에 의해 형성될 필요가 있다.The inner container 4 is formed of a material resistant to the decomposition liquid 6 and is a columnar container with an open top. The organic material 5 is accommodated in the inner container 4 from the upper open part. The inner container 4 is provided in the outer container 1 so that the decomposition liquid 6 does not come into contact with its inner wall. Since the inner container 4 is exposed to the decomposition liquid gas in which the decomposition liquid 6 has been vaporized, the elution of metal components and/or non-metallic components with respect to the decomposition liquid 6 is small, or with respect to the decomposition liquid 6 Metal components and/or non-metal components need to be formed by a material that does not elute.

내부 용기(4)를 구성하는, 분해액(6)에 대해 내용성인 재료로는, 예를 들면 불소 수지, 백금, 또는 세라믹스 재료를 들 수 있다. 불소 수지로는, 예를 들면 PTFE(폴리 테트라 플루오로 에틸렌)(4불화), PFA(테트라 플루오로 에틸렌)·퍼플루오로 알킬 비닐 에테르 공중합체, PVDF(폴리 비닐리덴 플루오라이드)(2불화), PCTFE(폴리 클로로 트리 플루오로 에틸렌)(3불화) 등을 들 수 있다. 세라믹스 재료로는, 예를 들면 알루미나, 지르코니아, 카르시아, 마그네시아, 이트리아 등을 들 수 있다.As a material that is resistant to the decomposition liquid 6 constituting the inner container 4, for example, a fluororesin, platinum, or ceramic material may be mentioned. Examples of the fluorine resin include PTFE (polytetrafluoroethylene) (tetrafluoroethylene), PFA (tetrafluoroethylene) perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, and PVDF (polyvinylidene fluoride) (difluoride). , PCTFE (polychlorotrifluoroethylene) (trifluoride), and the like. Examples of the ceramic material include alumina, zirconia, carcia, magnesia, and yttria.

내부 용기(4)는, 예를 들면 내부 용기(4)를 외부 용기(1)에 마련된 테이블(미도시) 상에 올려두고, 분해액(6)의 액면보다 위쪽에 위치하는 테이블의 아래쪽에 분해액(6)이 수용되어도 된다. 이때, 테이블에는 분해액 가스가 통과하기 위한 구멍이 마련되어 있거나, 테이블의 내경을 내통부(3)의 내경보다 작게 해, 테이블과 내통부(3) 내벽의 사이에 틈새가 생기도록 함으로써, 분해액 가스의 유로를 마련하는 것이 바람직하다. 또한, 외부 용기(1) 내부의 바닥면으로부터 돌출하도록 마련된 스탠드(미도시)의 상부에 테이블을 마련해도 되고, 내통부(3) 측벽의 적어도 2개소로부터 돌출하도록 마련된 지지 핀(미도시)에 의해 테이블을 아래로부터 지지하도록 마련해도 된다. 스탠드의 높이 또는 지지 핀의 위치는 변경 가능하게 구성되어도 된다.In the inner container 4, for example, the inner container 4 is placed on a table (not shown) provided in the outer container 1 and disassembled under the table positioned above the liquid level of the decomposition solution 6 The liquid 6 may be accommodated. At this time, the table is provided with a hole through which the decomposition liquid gas passes, or the inner diameter of the table is made smaller than the inner diameter of the inner cylinder 3 so that a gap is created between the table and the inner wall of the inner cylinder 3 It is preferable to provide a gas flow path. In addition, a table may be provided on the top of a stand (not shown) provided to protrude from the bottom surface of the outer container 1, and a support pin (not shown) provided to protrude from at least two places of the sidewall of the inner cylinder 3 Thus, you may provide so as to support the table from below. The height of the stand or the position of the support pin may be configured to be changeable.

또한, 내부 용기(4)와, 분해액(6)이 수용된 분해액 용기(미도시)를, 테이블 상에 인접해 올려놓아도 된다. 또한, 내부 용기(4)를 테이블의 아래쪽에 두고, 분해액이 수용된 분해액 용기를 테이블의 위쪽에 올려놓아도 된다. 즉, 내부 용기(4)는 그 내벽에 분해액(6)이 접촉하지 않고, 분해액(6)이 기화한 분해액 가스에 내부 용기(4) 내의 유기물 재료(5)가 노출되면 된다. 한편, 분해액 용기로는 분해액(6)에 대해 내용성인 재료에 의해 형성되고, 개방된 상부로부터 분해액이 수용되는 것을 이용할 수 있다.Further, the inner container 4 and the decomposition liquid container (not shown) in which the decomposition liquid 6 is accommodated may be placed adjacent to each other on the table. Further, the inner container 4 may be placed under the table, and the decomposition liquid container in which the decomposition liquid is accommodated may be placed above the table. That is, in the inner container 4, the decomposition liquid 6 does not come into contact with the inner wall thereof, and the organic material 5 in the inner container 4 is exposed to the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid 6. On the other hand, as the decomposition liquid container, one formed of a material resistant to the decomposition liquid 6 and containing the decomposition liquid from the open top can be used.

내부 용기(4)는 외부 용기(1) 내에 복수 개 마련되어도 되고, 이에 따라 복수의 유기물 재료(5)를 동시에 분해하는 것이 가능하다. 내부 용기(4)의 크기는, 수용된 유기물 재료(5)가 분해액(6)이 기화한 분해액 가스에 충분히 노출되는 크기라면 특별히 한정되지 않는다. 또한, 내부 용기(4) 내에 내부 용기(4)보다 용량이 작은 소용기를 수용하고, 그 소용기 내에 유기물 재료(5)를 수용해 분해에 제공해도 된다.A plurality of inner containers 4 may be provided in the outer container 1, and accordingly, it is possible to simultaneously decompose a plurality of organic materials 5. The size of the inner container 4 is not particularly limited as long as the accommodated organic material 5 is sufficiently exposed to the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid 6. Further, a small container having a smaller capacity than the inner container 4 may be accommodated in the inner container 4, and the organic material 5 may be accommodated in the small container to be provided for decomposition.

이상과 같이, 용기(10)를 이용하면, 분해액(6)을 수용하는 내압성의 외부 용기(1) 내에 마련된 내부 용기(4) 내에 유기물 재료(5)를 수용하고, 외부 용기(1) 내를 가열해 가압함으로써, 분해액(6)이 기화한 분해액 가스에 의해 유기물 재료(5)가 기상 분해된다. 따라서, 분해액(6) 중에 함유되는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이나, 외부 용기(1)의 내벽(내통부(3)의 내벽) 및 내부 용기(4)의 내벽에 부착된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이, 유기물 재료(5)를 분해해 얻어진 측정 시료 중에 혼입되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 용기(10)를 이용해 유기물 재료(5)를 분해하면, 유기물 재료(5) 중에 함유되는 미량의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 보다 정확하게 검출할 수 있도록 분석에 제공할 수 있다.As described above, when the container 10 is used, the organic material 5 is accommodated in the inner container 4 provided in the pressure-resistant outer container 1 for accommodating the decomposition solution 6, and the outer container 1 By heating and pressurizing, the organic material 5 is gas-phase decomposed by the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid 6. Accordingly, metal impurities and/or non-metallic impurities contained in the decomposition liquid 6, or metal impurities adhering to the inner wall of the outer container 1 (the inner wall of the inner cylinder 3) and the inner wall of the inner container 4 and/or Alternatively, it is possible to prevent non-metallic impurities from being mixed in the measurement sample obtained by decomposing the organic material 5. As a result, when the organic material 5 is decomposed using the container 10, a trace amount of metallic impurities and/or non-metallic impurities contained in the organic material 5 can be provided for analysis so as to more accurately detect.

실시예Example

[실시예 1: 블랭크 시험][Example 1: Blank test]

본 발명에 따른 기상 분해 방법의 블랭크 시험을 행했다. 블랭크 시험에서는 유기물 재료를 이용하지 않고, 실시 형태에 기재된 용기를 이용해 기상 분해와 같은 처리를 행함으로써, 분해액에 함유되는 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물, 그리고 외부 용기의 내벽에 부착된 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물이 측정 시료에 어느 정도 혼입되는지를 조사했다.The blank test of the gas phase decomposition method according to the present invention was performed. In the blank test, by performing a treatment such as gas phase decomposition using the container described in the embodiment without using an organic material, metal impurities and/or non-metal impurities contained in the decomposition liquid, and metal impurities adhering to the inner wall of the outer container, and / Or it was investigated to what extent non-metallic impurities were mixed in the measurement sample.

분해액으로 40% 불화수소산과 68% 질산(1:1)의 혼산 용액을 이용했다. 내부 용기 내를 빈 상태로 하여 분해액이 기화한 분해액 가스에 노출되게 하고, 외부 용기 내를 200℃에서 5시간 가열함으로써 고온 가압 조건으로 했다. 외통부로서 SUS 용기를 이용하고, 내통부로서 PTFE 용기를 이용했다. PTFE제 내부 용기를 2개(VPD-1 및 VPD-2), 외부 용기 내에 올려두었다. 내부 용기를 꺼내, 질산을 적하해 각각의 내부 용기 내의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 회수하여, 측정 시료로 했다.A mixed acid solution of 40% hydrofluoric acid and 68% nitric acid (1:1) was used as the decomposition liquid. The inside of the inner container was made empty, the decomposition liquid was exposed to the vaporized decomposition liquid gas, and the inside of the outer container was heated at 200°C for 5 hours to obtain a high temperature pressurized condition. A SUS container was used as the outer cylinder part, and a PTFE container was used as the inner cylinder part. Two inner containers made of PTFE (VPD-1 and VPD-2) were placed in the outer container. The internal container was taken out, nitric acid was added dropwise to recover metallic impurities and/or non-metallic impurities in each of the internal containers to obtain a measurement sample.

상기 측정 시료를 ICP-MS(파킨엘마사 제품)에 의해 측정했다. 그 결과, 측정 시료 중에 함유되는 금속 불순물량 및 비금속 불순물량은 표 1에 나타내는 바와 같았다. 한편, 표 1에 기재된 값은 ICP-MS에 의해 측정한 농도(ng/g)에, 액체 조정한 액체량(g)을 곱해 산출했다. 이하 기재하는 다른 실시예에 있어서도 마찬가지로 기재했다.The measurement sample was measured by ICP-MS (manufactured by Parkin Elma). As a result, the amount of metal impurities and the amount of non-metal impurities contained in the measurement sample were as shown in Table 1. On the other hand, the values shown in Table 1 were calculated by multiplying the concentration (ng/g) measured by ICP-MS by the amount of liquid adjusted to the liquid (g). In the other examples described below, it was similarly described.

Figure 112015069494237-pct00001
Figure 112015069494237-pct00001

[실시예 2: 풀러렌][Example 2: Fullerene]

유기물 재료로서 풀러렌을 이용해 기상 분해를 행했다. 실시 형태에 기재한 용기 내에 풀러렌 7㎎을 수용하고 기상 분해했다. 분해액으로는 68% 질산과 96% 황산의 혼산 용액을 이용했다. 230℃에서 가열함으로써 고온 가압 조건으로 했다. 분해 처리 후 내부 용기를 꺼내, 질산을 적하해 가열 용해하고, 내부 용기 내의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 회수해 측정 시료로 했다.Gas phase decomposition was performed using fullerene as an organic material. 7 mg of fullerene was accommodated in the container described in the embodiment and gas phase decomposition was performed. A mixed acid solution of 68% nitric acid and 96% sulfuric acid was used as the decomposition liquid. It was set as high temperature pressurization conditions by heating at 230 degreeC. After the decomposition treatment, the inner container was taken out, nitric acid was added dropwise to dissolve by heating, and the metallic impurities and/or non-metal impurities in the inner container were recovered to obtain a measurement sample.

상기 측정 시료를 ICP-MS(파킨엘마사 제품)에 의해 측정했다. 그 결과, 시료의 측정치는 표 2에 나타내는 바와 같았다. 표 중 '<'의 기호는, 이 기호의 우측에 기재되어 있는 수치보다 측정치가 작은 것을 나타낸다. 이하, 다른 표에서도 마찬가지로 나타낸다.The measurement sample was measured by ICP-MS (manufactured by Parkin Elma). As a result, the measured values of the sample were as shown in Table 2. In the table, the symbol of'<' indicates that the measured value is smaller than the numerical value described on the right side of this symbol. Hereinafter, it is similarly shown in other tables.

Figure 112015069494237-pct00002
Figure 112015069494237-pct00002

[실시예 3: 5,6,11,12-테트라페닐 나프타센][Example 3: 5,6,11,12-tetraphenyl naphthacene]

유기물 재료로서 5,6,11,12-테트라페닐 나프타센(루브렌)을 이용해, 본 발명에 따른 기상 분해 방법과 비교예로서 마이크로 웨이브법의 각각에 의해 분해했다.Using 5,6,11,12-tetraphenyl naphthacene (rubrene) as an organic material, it was decomposed by the gas phase decomposition method according to the present invention and the microwave method as a comparative example.

우선, 실시 형태에 기재한 용기 내에 루브렌 10㎎을 수용하고, 실시예 2와 같이 기상 분해했다. 분해 처리 후, 내부 용기를 꺼내, 질산을 적하해 가열 용해하고, 내부 용기 내의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 회수해 실시예의 측정 시료로 했다.First, 10 mg of rubrene was accommodated in the container described in the embodiment, and gas phase decomposition was carried out in the same manner as in Example 2. After the decomposition treatment, the inner container was taken out, nitric acid was added dropwise to heat dissolution, and the metallic impurities and/or non-metallic impurities in the inner container were recovered to obtain a measurement sample of the example.

다음으로, 루브렌 10㎎에 96% 황산을 첨가해 마이크로 웨이브 가열을 행했다. 마이크로 웨이브 가열은 마이크로파 시료 전처리 장치(마일스톤제너럴사 제품)를 이용해 행하였다. 분해 처리 후, 68% 질산을 더 첨가해 마이크로 웨이브 가열을 반복했다. 분해 후의 시료 용액을 가열 처리한 후에 질산을 첨가하고 가열 용해해, 비교예의 측정 시료로 했다.Next, 96% sulfuric acid was added to 10 mg of rubrene, followed by microwave heating. Microwave heating was performed using a microwave sample pretreatment device (manufactured by Milstone General Corporation). After the decomposition treatment, further 68% nitric acid was added and microwave heating was repeated. After the sample solution after decomposition was subjected to heat treatment, nitric acid was added and dissolved by heating to obtain a measurement sample of a comparative example.

상기 측정 시료를 각각, ICP-MS(파킨엘마사 제품)에 의해 측정했다. 그 결과, 시료의 측정치는 표 3에 나타내는 바와 같았다.Each of the above measurement samples was measured by ICP-MS (manufactured by Parkin Elma). As a result, the measured values of the sample were as shown in Table 3.

Figure 112015069494237-pct00003
Figure 112015069494237-pct00003

[실시예 4: N,N'-디페닐-N,N'-디(m-트릴)벤지딘][Example 4: N,N'-diphenyl-N,N'-di(m-thryl)benzidine]

유기물 재료로서 N,N'-디페닐-N,N'-디(m-트릴)벤지딘(TPD)을 이용해 기상 분해를 행했다. 실시 형태에 기재한 용기 내에 TPD 9㎎을 수용하고, 실시예 2와 같이 기상 분해했다. 분해 처리 후, 내부 용기를 꺼내, 질산을 적하해 가열 용해하고, 내부 용기 내의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 회수해 측정 시료로 했다.Gas phase decomposition was performed using N,N'-diphenyl-N,N'-di(m-thryl)benzidine (TPD) as an organic material. 9 mg of TPD was accommodated in the container described in the embodiment, and gas phase decomposition was performed in the same manner as in Example 2. After the decomposition treatment, the inner container was taken out, nitric acid was added dropwise to heat dissolution, and the metallic impurities and/or non-metallic impurities in the inner container were recovered to obtain a measurement sample.

상기 측정 시료를 ICP-MS(파킨엘마사 제품)에 의해 측정했다. 그 결과, 시료의 측정치는 표 4에 나타내는 바와 같았다.The measurement sample was measured by ICP-MS (manufactured by Parkin Elma). As a result, the measured values of the sample were as shown in Table 4.

Figure 112015069494237-pct00004
Figure 112015069494237-pct00004

[실시예 5: 트리스(8-히드록시 퀴놀리네이트)알루미늄(Ⅲ)][Example 5: Tris (8-hydroxyquinolinate) aluminum (III)]

유기물 재료로서 트리스(8-히드록시 퀴놀리네이트)알루미늄(Ⅲ)(Alq3)을 이용해 기상 분해를 행했다. 실시 형태에 기재한 용기 내에 Alq3 10㎎을 수용하고, 실시예 2와 같이 기상 분해했다. 분해 처리 후, 내부 용기를 꺼내, 질산을 적하해 가열 용해하고, 내부 용기 내의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물을 회수해 측정 시료로 했다.Gas phase decomposition was performed using tris(8-hydroxyquinolinate)aluminum(III)(Alq3) as an organic material. 10 mg of Alq3 was accommodated in the container described in the embodiment, and gas phase decomposition was performed in the same manner as in Example 2. After the decomposition treatment, the inner container was taken out, nitric acid was added dropwise to heat dissolution, and metallic impurities and/or non-metallic impurities in the inner container were recovered to obtain a measurement sample.

상기 측정 시료를 ICP-MS(파킨엘마사 제품)에 의해 측정했다. 그 결과, 시료의 측정치는 표 5에 나타내는 바와 같았다.The measurement sample was measured by ICP-MS (manufactured by Parkin Elma). As a result, the measured values of the sample were as shown in Table 5.

Figure 112015069494237-pct00005
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[실시예 6: 시료 분해의 비교][Example 6: Comparison of sample decomposition]

본 발명에 따른 기상 분해 방법과, 비교예로서 마이크로 웨이브법의 각각에 의한 유기물 재료의 분해성을 비교했다. 분해 후에 침전물이 생긴 경우, 유기물 재료의 분해가 불충분했던 것으로 판단할 수 있기 때문에, 각 분해 방법에 의한 분해 후에 유기물 재료에 유래하는 침전물이 생기는지 여부를 평가했다.The gas phase decomposition method according to the present invention and the decomposition properties of organic materials by the microwave method as a comparative example were compared. When a precipitate was generated after decomposition, it could be determined that the decomposition of the organic material was insufficient, and it was evaluated whether or not a precipitate derived from the organic material was generated after decomposition by each decomposition method.

우선, 실시 형태에 나타내는 용기 내에, 표 6에 나타내는 각 유기물 재료 10㎎을 수용하고 기상 분해했다. 분해액으로는 68% 질산, 또는, 68% 질산과 96% 황산의 혼산 용액을 이용했다. 230℃에서 가열함으로써 고온 가압 조건으로 했다. 분해 처리 후, 내부 용기를 꺼내고, 질산을 적하해 내부 용기 내의 침전물의 유무를 육안으로 확인했다.First, in a container shown in the embodiment, 10 mg of each organic material shown in Table 6 was accommodated and gas-phase decomposed. As the decomposition liquid, a 68% nitric acid or a mixed acid solution of 68% nitric acid and 96% sulfuric acid was used. It was set as high temperature pressurization conditions by heating at 230 degreeC. After the decomposition treatment, the inner container was taken out, nitric acid was added dropwise, and the presence or absence of a precipitate in the inner container was visually checked.

다음으로, 표 6에 나타내는 유기물 재료 10㎎에 68% 질산, 또는, 68% 질산과 96% 황산의 혼산 용액을 첨가하고 마이크로 웨이브 가열을 행했다. 마이크로 웨이브 가열은 마이크로파 시료 전처리 장치(마일스톤제너럴사 제품)를 이용해 행했다. 분해 후의 시료 용액을 가열 처리한 후에 질산을 첨가해 가열 용해하고, 물로 일정 부피로 하여 침전물의 유무를 육안으로 확인했다.Next, 68% nitric acid or a mixed acid solution of 68% nitric acid and 96% sulfuric acid was added to 10 mg of the organic material shown in Table 6, followed by microwave heating. Microwave heating was performed using a microwave sample pretreatment device (made by Milstone General Corporation). After the sample solution after decomposition was heat-treated, nitric acid was added to dissolve by heating, and it was made into a constant volume with water, and the presence or absence of a precipitate was visually checked.

결과를 표 6에 나타낸다. 표 6에서는, 침전물이 생기지 않은 경우를 '○', 침전물이 생긴 경우를 '×'로 나타냈다.Table 6 shows the results. In Table 6, the case where no precipitate was formed is indicated as'○', and the case where the precipitate was formed was indicated as'×'.

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본 발명은 전술한 각 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 청구항에 기재하는 범위에서 여러 가지 변경이 가능하고, 다른 실시 형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절하게 조합하여 얻어지는 실시 형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.The present invention is not limited to each of the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope described in the claims, and the technical scope of the present invention is also for an embodiment obtained by appropriately combining the technical means disclosed in each of the other embodiments. Included in

〈산업상의 이용 가능성〉〈Industrial availability〉

본 발명은 여러 가지 분야에 이용되는 유기물 재료의 금속 불순물 및/또는 비금속 불순물의 분석에 이용할 수 있다.The present invention can be used for analysis of metallic impurities and/or non-metallic impurities in organic materials used in various fields.

1 외부 용기(밀폐 용기)
2 외통부
3 내통부
4 내부 용기
5 유기물 재료
6 분해액
1 External container (closed container)
2 External cylinder
3 inner tube
4 inner container
5 organic material
6 Decomposition liquid

Claims (11)

유기물 재료와, 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록, 상기 유기물 재료와 상기 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과,
상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 상기 유기물 재료를 기상 분해에 의해 승화시키는 분해 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 분해 방법.
A preparation step of accommodating the organic material and the decomposition liquid in a sealed container so that the organic material and the decomposition liquid for decomposing the organic material do not come into contact,
And a decomposition step in which the inside of the sealed container is pressurized by heating, and the organic material is sublimated by gas phase decomposition using decomposition liquid gas in which the decomposition liquid vaporizes.
제1항에 있어서,
상기 밀폐 용기 내에 수용되는 상기 유기물 재료는, 0.001㎎ 이상, 500㎎ 이하인 것을 특징으로 하는 기상 분해 방법.
The method of claim 1,
The vapor phase decomposition method, wherein the organic material contained in the sealed container is 0.001 mg or more and 500 mg or less.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 분해 공정에서 분해한 상기 유기물 재료로부터, 알칼리 금속, 알칼리토류 금속, 란타노이드, 악티노이드, 전이 금속, 붕소족, 탄소족, 닉토겐 또는 칼코겐에 속하는 적어도 하나의 원소가 함유되는 측정 시료를 회수하는 회수 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기상 분해 방법.
The method according to claim 1 or 2,
From the organic material decomposed in the decomposition step, a measurement sample containing at least one element belonging to an alkali metal, an alkaline earth metal, a lanthanide, an actinoid, a transition metal, a boron group, a carbon group, a nicktogen or a chalcogen Gas phase decomposition method, characterized in that it further comprises a recovery step of recovering.
유기물 재료와 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록 해당 유기물 재료와 상기 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과, 상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여 상기 유기물 재료를 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 기상 분해에 의해 승화시키는 분해 공정을 포함하는 기상 분해 방법에 의해,
유기물 재료를 분해하여 얻어진 측정 시료 중의 불순물을 검출하는 분석 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 재료의 분석 방법.
A preparation step of accommodating the organic material and the decomposition solution in a sealed container so that the organic material and the decomposition solution for decomposing the organic material do not come into contact, and the organic material is vaporized by heating the sealed container to pressurize the organic material. By a gas phase decomposition method including a decomposition step of sublimating by gas phase decomposition with one decomposition liquid gas
An analysis method for organic material comprising an analysis step of detecting impurities in a measurement sample obtained by decomposing the organic material.
유기물 재료와 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록 상기 유기물 재료와 그 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과, 상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해 상기 유기물 재료를 기상 분해에 의해 승화시키는 분해 공정을 포함하는 기상 분해 방법에 의해,
유기물 재료를 분해하여 얻어진 측정 시료 중의 불순물을 검출하는 분석 공정과, 상기 분석 공정에서 검출된 불순물의 양이, 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출하는 추출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 재료의 품질 관리 방법.
A preparation step of accommodating the organic material and the decomposition liquid in a sealed container so that the organic material and the decomposition liquid for decomposing the organic material do not come into contact, and a decomposition liquid in which the decomposition liquid is vaporized by heating the sealed container By a gas phase decomposition method including a decomposition step of sublimating the organic material with gas by gas phase decomposition,
An analysis process for detecting impurities in a measurement sample obtained by decomposing an organic material, and an extraction process for extracting an organic material in which the amount of the impurities detected in the analysis process is less than or equal to a predetermined reference amount. Management method.
유기물 재료와, 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액이 접촉하지 않도록, 상기 유기물 재료와 상기 분해액을 밀폐 용기 내에 수용하는 준비 공정과,
상기 밀폐 용기 내를 가열함으로써 가압하여, 상기 분해액이 기화한 분해액 가스에 의해, 상기 유기물 재료를 기상 분해에 의해 승화시키는 분해 공정을 포함하는 기상 분해 방법에 의해, 유기물 재료를 분해하여 얻어진 측정 시료 중의 불순물을 검출하는 분석 공정과,
상기 분석 공정에서 검출된 불순물의 양이, 미리 정해진 기준량 이하인 유기물 재료를 추출하는 추출 공정과,
상기 추출 공정에서 추출된 유기물 재료를 이용해 유기 전자 기기를 제조하는 제조 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 기기의 제조 방법.
A preparation step of accommodating the organic material and the decomposition liquid in a sealed container so that the organic material and the decomposition liquid for decomposing the organic material do not come into contact,
Measurement obtained by decomposing the organic material by a gas phase decomposition method including a decomposition step of sublimating the organic material by gas phase decomposition by pressurization by heating the inside of the sealed container and the decomposition liquid gas vaporized by the decomposition liquid An analysis process for detecting impurities in the sample, and
An extraction step of extracting an organic material whose amount of impurities detected in the analysis step is less than or equal to a predetermined reference amount,
And a manufacturing process of manufacturing an organic electronic device using the organic material extracted in the extraction process.
유기물 재료를 분해하기 위한 용기로서,
내부에 상기 유기물 재료를 분해하는 분해액을 수용하는 밀폐 공간을 갖고, 상기 유기물 재료를 분해하기 위한 압력에 대해 내압성인 외부 용기와,
상기 외부 용기 내에 마련되고, 상기 분해액에 대해 내용성인 재료에 의해 형성되고, 개방된 상부로부터 상기 유기물 재료가 수용되는 내부 용기를 구비하고,
상기 내부 용기는, 상기 분해액이 상기 외부 용기에 수용되었을 때, 그 내벽에 상기 분해액이 접촉하지 않도록 마련되고,
상기 용기 전체를 가열하는 가열 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 용기.
As a container for decomposing organic materials,
An external container having a closed space inside for accommodating a decomposition solution for decomposing the organic material, and having a pressure resistance to a pressure for decomposing the organic material,
An inner container provided in the outer container, formed of a material resistant to the decomposition liquid, and receiving the organic material from an open top,
The inner container is provided so that when the decomposition liquid is accommodated in the outer container, the decomposition liquid does not contact with the inner wall thereof,
A container, further comprising a heating device for heating the entire container.
제1항에 있어서,
상기 분해액은 불화수소산, 질산, 염산, 황산, 인산, 과산화수소 및 과염소산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 산을 포함하는 산용액 또는 이 중 적어도 어느 하나의 산과 물의 수용액인 것을 특징으로 하는 기상 분해 방법.
The method of claim 1,
The decomposition liquid is an acid solution containing at least one acid selected from the group consisting of hydrofluoric acid, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrogen peroxide, and perchloric acid, or an aqueous solution of at least one of the acids and water. Way.
제4항에 있어서,
상기 분해액은 불화수소산, 질산, 염산, 황산, 인산, 과산화수소 및 과염소산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 산을 포함하는 산용액 또는 이 중 적어도 어느 하나의 산과 물의 수용액인 것을 특징으로 하는 유기물 재료의 분석 방법.
The method of claim 4,
The decomposition liquid is an acid solution containing at least one acid selected from the group consisting of hydrofluoric acid, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrogen peroxide, and perchloric acid, or an aqueous solution of at least one of the acids and water. Method of analysis.
제5항에 있어서,
상기 분해액은 불화수소산, 질산, 염산, 황산, 인산, 과산화수소 및 과염소산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 산을 포함하는 산용액 또는 이 중 적어도 어느 하나의 산과 물의 수용액인 것을 특징으로 하는 유기 전자 기기의 제조 방법.
The method of claim 5,
The decomposition liquid is an acid solution containing at least one acid selected from the group consisting of hydrofluoric acid, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrogen peroxide, and perchloric acid, or an aqueous solution of at least one of the acids and water. How to make the device.
제6항에 있어서,
상기 분해액은 불화수소산, 질산, 염산, 황산, 인산, 과산화수소 및 과염소산으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 산을 포함하는 산용액 또는 이 중 적어도 어느 하나의 산과 물의 수용액인 것을 특징으로 하는 유기 전자 기기의 제조 방법.
The method of claim 6,
The decomposition liquid is an acid solution containing at least one acid selected from the group consisting of hydrofluoric acid, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrogen peroxide, and perchloric acid, or an aqueous solution of at least one of the acids and water. How to make the device.
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