KR102177661B1 - Check valve for pipes of semiconductor and display manufacturing device - Google Patents

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Abstract

개시되는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 메인 바디 부재와, 실링 바디 부재와, 실링 캡 부재와, 탄성 부재를 포함하고, 상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재가 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관을 따라 유동되는 각종 화학 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어짐에 따라, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 되는 장점이 있다.A check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility disclosed includes a main body member, a sealing body member, a sealing cap member, and an elastic member, and the main body member, the sealing body member, the sealing cap member, and the Since the elastic member is made of a plastic resin that has chemical resistance to various chemical fluids flowing along the pipes of semiconductor and display manufacturing facilities, the semiconductor and the display manufacturing facility do not have a separate corrosion resistance treatment for the pipe check valve of the semiconductor and display manufacturing facilities. And there is an advantage that the check valve for piping of the display manufacturing facility can be applied as it is to the piping of the semiconductor and display manufacturing facility.

Description

반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브{Check valve for pipes of semiconductor and display manufacturing device}Check valve for pipes of semiconductor and display manufacturing device

본 발명은 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a check valve for piping in semiconductor and display manufacturing equipment.

반도체 및 디스플레이 제작 설비는 반도체와 디스플레이 패널 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 설비를 말하는데, 이러한 반도체 및 디스플레이 제작 설비에는 에칭액, 퍼징 가스 등 액체 또는 기체 상태의 각종 화학 유체가 유동되는 수많은 배관들이 적용된다.A semiconductor and display manufacturing facility refers to a facility capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display panel, and numerous pipes through which various liquid or gaseous chemical fluids such as an etching solution and a purging gas flow are applied to the semiconductor and display manufacturing facility. .

이러한 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 적용되어, 해당 배관에서 유체의 유동이 요구되는 한 방향으로만 이루어지도록 하는 것이 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브이다.A check valve for piping of semiconductor and display manufacturing facilities is applied to the piping of such semiconductor and display manufacturing facilities, so that the fluid flows through the piping in only one direction required.

이러한 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.What can be presented as an example of a check valve for piping of such a semiconductor and display manufacturing facility is that of the patent document presented below.

그러나, 종래의 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 의하면, 반도체 및 디스플레이를 제조하기 위해 사용되는 각종 화학 유체의 특성 상, 금속 재질로 이루어진 배관이 부식될 수 있기 때문에, 그러한 배관의 내식성 향상을 위한 코팅 등의 별도 내식 처리가 요구되는 단점이 있었다.However, according to the conventional check valve for piping of semiconductor and display manufacturing facilities, due to the characteristics of various chemical fluids used to manufacture semiconductors and displays, piping made of metal material may be corroded, thereby improving the corrosion resistance of such piping. There was a disadvantage that a separate corrosion resistance treatment such as a coating for the was required.

공개특허 제 10-2003-0097452호, 공개일자: 2003.12.31., 발명의 명칭: 반도체 제조에 사용되는 체크밸브Publication No. 10-2003-0097452, Publication date: 2003.12.31., Title of invention: Check valve used in semiconductor manufacturing

본 발명은 별도 내식 처리없이도 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 적용될 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a check valve for piping of semiconductor and display manufacturing facilities that can be applied to piping of semiconductor and display manufacturing facilities without a separate corrosion resistance treatment.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브는 반도체 및 디스플레이 중 적어도 하나를 제작할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비를 구성하는 복수 개의 배관에 적용되는 것으로서,A check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to an aspect of the present invention is applied to a plurality of piping constituting a semiconductor and display manufacturing facility capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display,

상기 배관 중 하나의 내부와 연통되는 메인 바디 부재; 상기 배관 중 다른 하나의 내부와 연통되고, 상기 메인 바디 부재와 결합되는 실링 바디 부재; 상기 실링 바디 부재가 개폐될 수 있도록, 상기 메인 바디 부재의 내부에서 승강될 수 있는 실링 캡 부재; 상기 메인 바디 부재의 내부에 배치되어, 상기 실링 캡 부재를 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀어주는 탄성력을 제공하는 탄성 부재; 및 상기 실링 바디 부재의 개방된 실링 바디측 입구의 주변부를 따라 배치되고, 오 링(O-ring) 형태로 형성되는 밀폐 링 부재;를 포함하고,
상기 탄성 부재에 의해 상기 실링 캡 부재는 상기 메인 바디 부재에서 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀리면서, 상기 실링 바디 부재를 닫게 되고, 그에 따라 상기 메인 바디 부재를 통해 유동되던 메인 바디 유체는 상기 실링 캡 부재에 의해 막혀 상기 실링 바디 부재로의 진입이 제한되고, 상기 실링 바디 부재를 통해 유동되던 실링 바디 유체가 상기 실링 캡 부재를 밀어주면, 상기 실링 캡 부재가 상기 메인 바디 부재의 내부에서 밀리면서 하강되고, 그에 따라 상기 실링 캡 부재가 열리면서, 상기 실링 바디 유체가 상기 메인 바디 부재 쪽으로 진입되고, 상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재는 상기 메인 바디 유체 및 상기 실링 바디 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어지고,
상기 실링 캡 부재는 상기 탄성 부재가 그 저면에 삽입되는 탄성 삽입체와, 상기 탄성 삽입체로부터 그 외측으로 연장되어, 상기 실링 바디 부재와 접하면서 상기 실링 바디 부재와의 사이를 밀폐시키는 바디 실링체와, 상기 바디 실링체가 상기 실링 바디 부재와 접할 때, 상기 밀폐 링 부재와 접하면서 상기 밀폐 링 부재의 일부가 변형되도록 가압하는 밀폐 링 가압체와, 상기 밀폐 링 부재 중 상기 밀폐 링 가압체에 의해 가압되어 변형된 부분이 수용되어, 상기 밀폐 링 부재와의 사이를 밀폐시키는 밀폐 링 변형 수용체를 포함하는 것을 특징으로 한다.A main body member communicating with the inside of one of the pipes; A sealing body member communicating with the inside of the other one of the pipes and coupled to the main body member; A sealing cap member that can be raised or lowered inside the main body member so that the sealing body member can be opened and closed; An elastic member disposed inside the main body member to provide an elastic force pushing the sealing cap member toward the sealing body member; And a sealing ring member disposed along the periphery of the opening on the sealing body side of the sealing body member and formed in an O-ring shape,
The sealing cap member is pushed from the main body member toward the sealing body member by the elastic member to close the sealing body member, and accordingly, the main body fluid flowing through the main body member is transferred to the sealing cap member. When the sealing body fluid flowing through the sealing body member pushes the sealing cap member, and the sealing body fluid flowing through the sealing body member pushes the sealing cap member, the sealing cap member descends while being pushed inside the main body member, Accordingly, while the sealing cap member is opened, the sealing body fluid enters toward the main body member, and the main body member, the sealing body member, the sealing cap member and the elastic member are the main body fluid and the sealing body fluid. It is made of a plastic resin that has chemical resistance to
The sealing cap member includes an elastic insert into which the elastic member is inserted into a bottom surface thereof, and a body sealing body extending outwardly from the elastic insert to seal the space between the sealing body member and the sealing body member while contacting the sealing body member. And, when the body sealing body is in contact with the sealing body member, a sealing ring pressing body that presses a part of the sealing ring member to be deformed while in contact with the sealing ring member, and the sealing ring pressing body among the sealing ring members. It characterized in that it comprises a sealing ring deformation receptor for receiving the deformed portion by pressing, sealing the space between the sealing ring member and the like.

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본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 의하면, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 메인 바디 부재와, 실링 바디 부재와, 실링 캡 부재와, 탄성 부재를 포함하고, 상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재가 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관을 따라 유동되는 각종 화학 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어짐에 따라, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 되는 효과가 있다.According to the check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to an aspect of the present invention, the check valve for piping of the semiconductor and display manufacturing facility comprises a main body member, a sealing body member, a sealing cap member, and an elastic member. And the main body member, the sealing body member, the sealing cap member, and the elastic member are made of a plastic resin having chemical resistance to various chemical fluids flowing along pipes of semiconductor and display manufacturing facilities, There is an effect that the check valve for piping of the semiconductor and display manufacturing facility can be applied as it is to the piping of the semiconductor and display manufacturing facility without a separate corrosion resistance treatment for the piping check valve of the semiconductor and display manufacturing facility.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 결합된 모습에 대한 수직 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 분해된 모습에 대한 수직 단면도.
도 3은 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브의 일부를 확대한 수직 단면도.1 is a vertical cross-sectional view of a state in which a check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention is combined.
2 is a vertical cross-sectional view of an exploded view of a pipe check valve of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged view of portion A shown in FIG. 1;
4 is an enlarged vertical cross-sectional view of a part of a check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대하여 설명한다.Hereinafter, a check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 결합된 모습에 대한 수직 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브가 분해된 모습에 대한 수직 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 A부분에 대한 확대도이다.FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. It is a vertical cross-sectional view of the disassembled state of the check valve, and FIG. 3 is an enlarged view of part A shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)는 반도체 및 디스플레이 중 적어도 하나를 제작할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비를 구성하는 복수 개의 배관에 적용되는 것으로서, 메인 바디 부재(110)와, 실링 바디 부재(120)와, 실링 캡 부재(130)와, 탄성 부재(140)를 포함한다.1 to 3 together, the check valve 100 for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to the present embodiment is a plurality of piping constituting a semiconductor and display manufacturing facility capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display. As applied to, the main body member 110, the sealing body member 120, the sealing cap member 130, and includes an elastic member 140.

또한, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)는 밀폐 링 부재(150)와, 지지 부재(160)를 더 포함할 수 있다.In addition, the check valve 100 for piping of the semiconductor and display manufacturing facility may further include a sealing ring member 150 and a support member 160.

상기 메인 바디 부재(110)는 상기 배관 중 하나의 내부와 연통되는 것이다.The main body member 110 communicates with the inside of one of the pipes.

상세히, 상기 메인 바디 부재(110)는 상기 배관 중 하나에 연결되고 그 내부가 빈 원형 실린더 형태 등으로 형성되는 메인 바디 몸체(111)와, 상기 메인 바디 몸체(111)의 상단에 형성되어 상기 실링 바디 부재(120)의 하부가 삽입되어 걸리는 실링 바디 연결 홈(112)과, 상기 메인 바디 몸체(111)의 내부에 관통 형성되는 메인 바디측 입구(113)와, 상기 메인 바디 몸체(111)의 내부 중 상기 메인 바디측 입구(113) 부근에서 돌출되어 상기 지지 부재(160)가 걸리는 지지 걸림턱(114)을 포함한다.In detail, the main body member 110 is connected to one of the pipes and the main body body 111 is formed in the shape of a circular cylinder with an empty inside, and is formed on the upper end of the main body body 111 to seal the sealing. The sealing body connection groove 112 through which the lower portion of the body member 120 is inserted, the main body side inlet 113 formed through the inside of the main body body 111, and the main body body 111 It includes a support locking protrusion 114 protruding from the main body-side inlet 113 of the inside to catch the support member 160.

상기 실링 바디 부재(120)는 상기 배관 중 다른 하나의 내부와 연통되고, 상기 메인 바디 부재(110)와 결합되는 것이다.The sealing body member 120 communicates with the inside of another one of the pipes and is coupled to the main body member 110.

상세히, 상기 실링 바디 부재(120)는 상기 배관 중 다른 하나에 연결되고 그 내부가 빈 원형 실린더 형태 등으로 형성되는 실링 바디 몸체(121)와, 상기 실링 바디 몸체(121)의 하단에 형성되어 상기 실링 바디 연결 홈(112)에 연결을 위해 삽입되는 메인 바디 연결 삽입체(124)와, 상기 실링 바디 몸체(121)와 상기 메인 바디 연결 삽입체(124) 사이에서 외측으로 돌출되어 상기 메인 바디 연결 삽입체(124)가 상기 실링 바디 연결 홈(112)에 삽입될 때 상기 실링 바디 연결 홈(112)의 주변부 상단에 걸려 상기 메인 바디 연결 삽입체(124)가 미리 설정된 깊이만큼만 삽입되도록 하는 메인 바디 연결 걸림체(123)와, 상기 실링 바디 몸체(121)의 내부에 관통 형성되는 실링 바디측 입구(122)를 포함한다.In detail, the sealing body member 120 is connected to the other one of the pipes, and the sealing body body 121 is formed in the shape of a circular cylinder with an empty inside thereof, and the sealing body member 120 is formed at the lower end of the The main body connection insert 124 inserted for connection to the sealing body connection groove 112, and the main body connection by protruding outward between the sealing body body 121 and the main body connection insert 124 When the insert 124 is inserted into the sealing body connection groove 112, the main body is caught on the upper end of the periphery of the sealing body connection groove 112 so that the main body connection insert 124 is inserted only by a predetermined depth. It includes a connection locking body 123 and a sealing body side inlet 122 formed through the inside of the sealing body body 121.

상기 메인 바디 연결 삽입체(124)가 상기 실링 바디 연결 홈(112)에 삽입되고, 상기 메인 바디 연결 걸림체(123)가 상기 실링 바디 연결 홈(112)의 주변부 상단에 걸림으로써, 상기 메인 바디 부재(110)와 상기 실링 바디 부재(120)가 서로 연통되면서 연결될 수 있게 된다.The main body connection insert 124 is inserted into the sealing body connection groove 112, and the main body connection stopper 123 is caught on the upper end of the peripheral portion of the sealing body connection groove 112, so that the main body The member 110 and the sealing body member 120 may be connected while being in communication with each other.

상기 메인 바디 부재(110)와 상기 실링 바디 부재(120)는 수직으로 설치된 두 개의 배관 사이에 각각 설치(예를 들어, 상기 메인 바디 부재(110)가 수평의 배관에, 상기 실링 바디 부재(120)가 수직의 배관에 설치)될 수도 있고, 서로 일자로 연통된 두 개의 배관 사이에 각각 설치될 수도 있다.The main body member 110 and the sealing body member 120 are respectively installed between two vertically installed pipes (for example, the main body member 110 is on a horizontal pipe, and the sealing body member 120 ) May be installed in vertical pipes), or may be installed between two pipes connected in a straight line.

상기 밀폐 링 부재(150)는 상기 실링 바디 부재(120)의 개방된 상기 실링 바디측 입구(122)의 주변부를 따라 상기 실링 캡 부재(130)와 대면되도록 배치되고, 오 링(O-ring) 형태로 형성되는 것이고, 탄성을 가지도록 형성된다.The sealing ring member 150 is disposed to face the sealing cap member 130 along the periphery of the open sealing body side inlet 122 of the sealing body member 120, and is an O-ring It is formed in a shape and is formed to have elasticity.

상기 밀폐 링 부재(150)의 예로는, 각종 화학 물질에 대한 내화학성이 우수한 테프론 오 링이 제시될 수 있다.As an example of the sealing ring member 150, a Teflon O-ring having excellent chemical resistance to various chemical substances may be presented.

상기 실링 캡 부재(130)는 상기 실링 바디 부재(120)가 개폐될 수 있도록, 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에서 승강될 수 있는 것이다.The sealing cap member 130 may be raised or lowered inside the main body member 110 so that the sealing body member 120 can be opened and closed.

상세히, 상기 실링 캡 부재(130)는 상기 탄성 부재(140)가 그 저면에 삽입되는 탄성 삽입체(131)와, 상기 탄성 삽입체(131)로부터 그 외측으로 연장되어 상기 실링 바디 부재(120)와 접하면서 상기 실링 바디 부재(120)와의 사이를 밀폐시키는 바디 실링체(132)와, 상기 바디 실링체(132)가 상기 실링 바디 부재(120)와 접할 때 상기 밀폐 링 부재(150)와 접하면서 상기 밀폐 링 부재(150)의 일부가 변형되도록 상기 밀폐 링 부재(150)를 가압하는 밀폐 링 가압체(133)와, 상기 밀폐 링 부재(150) 중 상기 밀폐 링 가압체(133)에 의해 가압되어 변형된 부분이 수용되어 상기 밀폐 링 부재(150)와의 사이를 밀폐시키는 밀폐 링 변형 수용체(134)를 포함한다.In detail, the sealing cap member 130 includes an elastic insert 131 into which the elastic member 140 is inserted into the bottom surface, and the sealing body member 120 extends outward from the elastic insert 131. The body sealing body 132 which is in contact with the sealing body member 120 and seals the space between the sealing body member 120 and the sealing ring member 150 when the body sealing body 132 is in contact with the sealing body member 120. While a part of the sealing ring member 150 is deformed by the sealing ring pressing body 133 for pressing the sealing ring member 150 and the sealing ring pressing body 133 of the sealing ring member 150 It includes a sealing ring deformation receptor 134 for receiving the deformed portion by pressing to seal the space between the sealing ring member 150 and the sealing ring member 150.

상기 바디 실링체(132)는 상기 실링 캡 부재(130)가 상승되면 상기 실링 바디 몸체(121)의 저면과 접하면서 상기 실링 바디 몸체(121)의 저면과의 사이를 밀폐시킨다.When the sealing cap member 130 is raised, the body sealing body 132 contacts the bottom surface of the sealing body body 121 and seals the space between the sealing cap member 130 and the bottom surface of the sealing body body 121.

상기 바디 실링체(132)의 저면에 일정 깊이로 함몰된 형태의 홈을 가진 상기 탄성 삽입체(131)에 상기 탄성 부재(140)의 상단이 삽입된다.The upper end of the elastic member 140 is inserted into the elastic insert 131 having a groove in a shape recessed to a predetermined depth in the bottom surface of the body sealing body 132.

상기 밀폐 링 가압체(133)는 상기 바디 실링체(132)로부터 수직으로 일정 높이 돌출되는 형태로 형성되고, 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)는 상기 밀폐 링 가압체(133)로부터 수직으로 일정 높이 돌출되되, 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)의 외면은 상기 밀폐 링 가압체(133)의 외면에 비해 곡면 형태로 함몰된 형태로 형성된다. 그러면, 상기 실링 캡 부재(130)가 상승될 때 상기 밀폐 링 가압체(133)가 상기 밀폐 링 부재(150)의 하부를 가압해주고, 그에 따라 상기 밀폐 링 부재(150)가 눌리면서 상기 실링 바디 부재(120)의 내측 방향으로 돌출되도록 변형되고, 상기 밀폐 링 부재(150) 중 상기와 같이 변형된 부분이 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)에 수용됨으로써, 상기 밀폐 링 부재(150)가 상기 밀폐 링 변형 수용체(134)와 밀착될 수 있게 되어, 상기 밀폐 링 부재(150)에 의해 상기 실링 바디 부재(120)와 상기 실링 캡 부재(130) 사이가 밀폐될 수 있게 된다.The sealing ring pressing body 133 is formed to protrude at a predetermined height vertically from the body sealing body 132, and the sealing ring deformation receptor 134 is vertically at a predetermined height from the sealing ring pressing body 133 Doedoe protruding, the outer surface of the sealing ring deformation receptor 134 is formed in a shape that is recessed in a curved shape compared to the outer surface of the sealing ring pressing body 133. Then, when the sealing cap member 130 is raised, the sealing ring pressing body 133 presses the lower portion of the sealing ring member 150, and accordingly, the sealing ring member 150 is pressed and the sealing body member It is deformed so as to protrude in the inward direction of 120, and the deformed portion of the sealing ring member 150 is accommodated in the sealing ring deformation receptor 134, so that the sealing ring member 150 is Since it can be in close contact with the deformation receptor 134, it is possible to seal between the sealing body member 120 and the sealing cap member 130 by the sealing ring member 150.

상기 탄성 부재(140)는 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에 배치되어, 상기 실링 캡 부재(130)를 상기 실링 바디 부재(120) 쪽으로 밀어주는 탄성력을 제공하는 것으로, 압축 스프링 형태 등으로 형성될 수 있다.The elastic member 140 is disposed inside the main body member 110 to provide an elastic force to push the sealing cap member 130 toward the sealing body member 120, and is formed in the form of a compression spring, etc. Can be.

상기 탄성 부재(140)의 상단은 상기 탄성 삽입체(131)에 삽입되고, 상기 탄성 부재(140)의 하단은 상기 지지 부재(160)의 상부에 거려 지지된다.The upper end of the elastic member 140 is inserted into the elastic insert 131, and the lower end of the elastic member 140 is supported by hanging above the support member 160.

상기 지지 부재(160)는 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에 설치되어, 상기 탄성 부재(140)의 하부를 지지하는 것이다.The support member 160 is installed inside the main body member 110 and supports the lower portion of the elastic member 140.

상세히, 상기 지지 부재(160)는 상기 지지 걸림턱(114)에 걸리는 지지 몸체(161)와, 상기 지지 몸체(161)의 내부가 관통된 형태로 형성되고 상기 메인 바디측 입구(113)와 연통되는 지지측 입구(162)와, 상기 지지측 입구(162)의 주변부를 따라 상기 지지 몸체(161)로부터 일정 높이로 원형 실린더 형태 등으로 돌출되어 상기 탄성 부재(140)가 그 외면을 따라 걸리는 탄성 걸림체(163)를 포함한다.In detail, the support member 160 is formed in a form in which the support body 161 caught on the support locking protrusion 114, and the inside of the support body 161 penetrates, and communicates with the main body side inlet 113 The support-side inlet 162, which is protruded from the support body 161 at a predetermined height along the periphery of the support-side inlet 162, and the elastic member 140 is caught along the outer surface thereof. Includes 163.

상기와 같이 구성되면, 상기 배관 중 상기 메인 바디 부재(110)와 연결된 부분을 따라 유동되던 유체인 메인 바디 유체가 상기 메인 바디 부재(110)의 내부를 따라 상승되면, 상기 메인 바디 유체의 유동력과 상기 탄성 부재(140)의 복원력에 의해 상기 실링 캡 부재(130)가 상기 메인 바디 부재(110)에서 상기 실링 바디 부재(120) 쪽으로 밀리면서, 상기 실링 바디 부재(120)의 상기 실링 바디측 입구(122)를 닫게 되고, 그에 따라 상기 메인 바디 유체는 상기 실링 캡 부재(130)에 의해 막혀 상기 실링 바디 부재(120)로의 진입이 제한된다.When configured as described above, when the main body fluid, which is the fluid flowing along the portion connected to the main body member 110 of the pipe, rises along the inside of the main body member 110, the flow force of the main body fluid And the sealing cap member 130 is pushed from the main body member 110 toward the sealing body member 120 by the restoring force of the elastic member 140, and the sealing body side of the sealing body member 120 The inlet 122 is closed, and accordingly, the main body fluid is blocked by the sealing cap member 130 and thus entry into the sealing body member 120 is restricted.

반면, 상기 배관 중 상기 실링 바디 부재(120)와 연결된 부분을 따라 유동되던 유체인 실링 바디 유체가 상기 실링 캡 부재(130)를 밀어주면, 상기 실링 캡 부재(130)가 상기 메인 바디 부재(110)의 내부에서 밀리면서 하강되고, 그에 따라 상기 실링 캡 부재(130)의 상기 실링 바디측 입구(122)가 열리면서, 상기 실링 바디 유체가 상기 메인 바디 부재(110) 쪽으로 진입된다. 이 때, 상기 탄성 부재(140)는 압축되면서 탄성력을 축적하고, 상기 실링 바디 유체의 유동력이 미리 설정된 값 이하로 약해지면, 상기 탄성력에 의해 상기 실링 캡 부재(130)가 다시 재상승되고, 그에 따라 상기 실링 바디측 입구(122)가 다시 닫히게 된다.On the other hand, when the sealing body fluid, which is a fluid flowing along the portion connected to the sealing body member 120 of the pipe, pushes the sealing cap member 130, the sealing cap member 130 is moved to the main body member 110 ), the sealing body side inlet 122 of the sealing cap member 130 is opened, and the sealing body fluid enters the main body member 110 accordingly. At this time, the elastic member 140 accumulates an elastic force while being compressed, and when the flow force of the sealing body fluid is weakened below a preset value, the sealing cap member 130 is raised again by the elastic force. Accordingly, the sealing body side inlet 122 is closed again.

본 실시예에서는, 상기 메인 바디 부재(110), 상기 실링 바디 부재(120), 상기 실링 캡 부재(130) 및 상기 탄성 부재(140)는 상기 메인 바디 유체 및 상기 실링 바디 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어진다. 그러면, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 된다.In this embodiment, the main body member 110, the sealing body member 120, the sealing cap member 130, and the elastic member 140 have chemical resistance to the main body fluid and the sealing body fluid. Made of plastic resin. Then, the check valve 100 for piping of the semiconductor and display manufacturing facility can be applied as it is to the piping of the semiconductor and display manufacturing facility without a separate corrosion resistance treatment for the piping check valve 100 of the semiconductor and display manufacturing facility. There will be.

상기와 같이, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)가 상기 메인 바디 부재(110)와, 상기 실링 바디 부재(120)와, 상기 실링 캡 부재(130)와, 상기 탄성 부재(140)를 포함하고, 상기 메인 바디 부재(110), 상기 실링 바디 부재(120), 상기 실링 캡 부재(130) 및 상기 탄성 부재(140)가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관을 따라 유동되는 각종 화학 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어짐에 따라, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)에 대한 별도 내식 처리없이도, 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브(100)가 상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 그대로 적용될 수 있게 된다.As described above, the check valve 100 for piping of the semiconductor and display manufacturing facility includes the main body member 110, the sealing body member 120, the sealing cap member 130, and the elastic member ( 140), wherein the main body member 110, the sealing body member 120, the sealing cap member 130, and the elastic member 140 flow along a pipe of the semiconductor and display manufacturing equipment. As it is made of a plastic resin that has chemical resistance to chemical fluids, the check valve 100 for piping of the semiconductor and display manufacturing facility without a separate corrosion resistance treatment for the piping check valve 100 of the semiconductor and display manufacturing facility Can be applied as it is to the piping of the semiconductor and display manufacturing equipment.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, a check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In carrying out this description, descriptions that are already described in the above-described embodiment of the present invention and overlapping descriptions will be replaced therewith, and will be omitted herein.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브의 일부를 확대한 수직 단면도이다.4 is an enlarged vertical cross-sectional view of a part of a check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 실시예에서는, 밀폐 링 부재(250)가 원형 단면의 오 링 형태로 형성되는 밀폐 링 몸체(251)와, 상기 밀폐 링 몸체(251)의 저면이 일정 깊이로 함몰된 형태의 밀폐 링 함몰 홈(252)과, 상기 밀폐 링 몸체(251) 중 상기 밀폐 링 함몰 홈(252)의 일 측 주변부를 이루는 제 1 밀폐 링 돌출부(253)와, 상기 밀폐 링 몸체(251) 중 상기 밀폐 링 함몰 홈(252)의 타 측 주변부를 이루는 제 2 밀폐 링 돌출부(254)를 포함한다.Referring to Figure 4, in this embodiment, the sealing ring member 250 is a sealing ring body 251 formed in an O-ring shape of a circular cross section, and the bottom surface of the sealing ring body 251 is recessed to a predetermined depth. A first sealing ring protrusion 253 forming a peripheral portion of one side of the sealing ring depression groove 252 among the sealing ring depression grooves 252 of the sealing ring body 251, and the sealing ring body 251 It includes a second sealing ring protrusion 254 forming the other side peripheral portion of the sealing ring recessed groove 252.

상기 제 1 밀폐 링 돌출부(253)는 상대적으로 실링 바디 부재 쪽에 배치되고, 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)는 상대적으로 실링 캡 부재(230) 쪽에 배치된다.The first sealing ring protrusion 253 is relatively disposed on the sealing body member side, and the second sealing ring protrusion 254 is relatively disposed on the sealing cap member 230 side.

또한, 본 실시예에서는, 상기 실링 캡 부재(230)가 탄성 삽입체(231), 바디 실링체(232) 및 밀폐 링 가압체(233)와 함께, 밀폐 링 가압 돌기(235)와, 피가압부 수용 홈(236)을 더 포함한다.In addition, in this embodiment, the sealing cap member 230, together with the elastic insert 231, the body sealing body 232 and the sealing ring pressing body 233, the sealing ring pressing protrusion 235, and blood It further includes a pressing portion receiving groove 236.

상기 밀폐 링 가압 돌기(235)는 상기 바디 실링체(232)로부터 수직으로 일정 높이 돌출되어, 상기 실링 캡 부재(230)가 상기 밀폐 링 부재(250)를 향해 상승될 때, 상기 밀폐 링 함몰 홈(252)에 삽입되면서 상기 밀폐 링 몸체(251)를 가압하여 변형시켜주는 것이다.The sealing ring pressing protrusion 235 protrudes at a predetermined height vertically from the body sealing body 232, and when the sealing cap member 230 is raised toward the sealing ring member 250, the sealing ring depression groove It is to deform by pressing the sealing ring body 251 while being inserted into 252.

상기 밀폐 링 가압 돌기(235)가 싱기 밀폐 링 함몰 홈(252)에 삽입되면서 상기 밀폐 링 몸체(251)를 가압하면, 상기 밀폐 링 몸체(251)가 눌리면서 변형되는데, 상기 제 1 밀폐 링 돌출부(253)는 상기 실링 바디 부재에 의해 막힌 형태여서, 상기 제 1 밀폐 링 돌출부(253)의 변형량은 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)의 변형량에 비해 상대적으로 적고, 그에 따라 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)가 상대적으로 더 변형되면서 돌출된다.When the sealing ring pressing protrusion 235 is inserted into the sealing ring recessed groove 252 and pressurizing the sealing ring body 251, the sealing ring body 251 is deformed while being pressed, and the first sealing ring protrusion ( 253) is a form blocked by the sealing body member, so that the amount of deformation of the first sealing ring protrusion 253 is relatively small compared to the amount of deformation of the second sealing ring protrusion 254, and accordingly, the second sealing ring protrusion (254) protrudes with relatively more deformation.

상기와 같이 변형된 상기 제 2 밀폐 링 돌출부(254)가 상기 피가압부 수용 홈(236)에 삽입되면서, 상기 피가압부 수용 홈(236)의 내면과 밀착되고, 그에 따라 상기 밀폐 링 부재(250)가 상기 밀폐 링 가압 돌기(235), 상기 피가압부 수용 홈(236) 및 상기 밀폐 링 가압체(233)와 전체적으로 접하게 되어, 상기 밀폐 링 가압 돌기(235) 및 상기 피가압부 수용 홈(236)이 없는 경우에 비해 상기 밀폐 링 부재(250)와 상기 실링 캡 부재(230)의 밀착 면적이 상대적으로 더 넓어지게 되고, 그에 따라 상기 밀폐 링 부재(250)와 상기 실링 캡 부재(230) 사이가 더욱 더 기밀하게 밀폐될 수 있게 된다.As the second sealing ring protrusion 254 deformed as described above is inserted into the pressurized portion receiving groove 236, it is in close contact with the inner surface of the pressurized portion receiving groove 236, and accordingly, the sealing ring member ( 250 is in full contact with the sealing ring pressing protrusion 235, the pressurized part receiving groove 236, and the sealing ring pressing body 233, and the sealing ring pressing protrusion 235 and the pressurized part receiving groove Compared to the case without 236, the contact area between the sealing ring member 250 and the sealing cap member 230 is relatively wider, and accordingly, the sealing ring member 250 and the sealing cap member 230 ) Can be sealed more airtightly.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.In the above, the present invention has been shown and described with respect to specific embodiments, but those of ordinary skill in the art variously modify the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. And it will be appreciated that it can be changed. However, it is intended to clearly reveal that all of these modifications and variations are included within the scope of the present invention.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브에 의하면, 별도 내식 처리없이도 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관에 적용될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the check valve for piping of a semiconductor and display manufacturing facility according to an aspect of the present invention, since it can be applied to the piping of a semiconductor and display manufacturing facility without a separate corrosion resistance treatment, the industrial applicability is high.

100 : 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브
110 : 메인 바디 부재
120 : 실링 바디 부재
130 : 실링 캡 부재
140 : 탄성 부재
150 : 밀폐 링 부재
160 : 지지 부재100: check valve for piping of semiconductor and display manufacturing facilities
110: main body member
120: sealing body member
130: sealing cap member
140: elastic member
150: sealing ring member
160: support member

Claims (3)

반도체 및 디스플레이 중 적어도 하나를 제작할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제작 설비를 구성하는 복수 개의 배관에 적용되는 것으로서,
상기 배관 중 하나의 내부와 연통되는 메인 바디 부재;
상기 배관 중 다른 하나의 내부와 연통되고, 상기 메인 바디 부재와 결합되는 실링 바디 부재;
상기 실링 바디 부재가 개폐될 수 있도록, 상기 메인 바디 부재의 내부에서 승강될 수 있는 실링 캡 부재;
상기 메인 바디 부재의 내부에 배치되어, 상기 실링 캡 부재를 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀어주는 탄성력을 제공하는 탄성 부재; 및
상기 실링 바디 부재의 개방된 실링 바디측 입구의 주변부를 따라 배치되고, 오 링(O-ring) 형태로 형성되는 밀폐 링 부재;를 포함하고,
상기 탄성 부재에 의해 상기 실링 캡 부재는 상기 메인 바디 부재에서 상기 실링 바디 부재 쪽으로 밀리면서, 상기 실링 바디 부재를 닫게 되고, 그에 따라 상기 메인 바디 부재를 통해 유동되던 메인 바디 유체는 상기 실링 캡 부재에 의해 막혀 상기 실링 바디 부재로의 진입이 제한되고,
상기 실링 바디 부재를 통해 유동되던 실링 바디 유체가 상기 실링 캡 부재를 밀어주면, 상기 실링 캡 부재가 상기 메인 바디 부재의 내부에서 밀리면서 하강되고, 그에 따라 상기 실링 캡 부재가 열리면서, 상기 실링 바디 유체가 상기 메인 바디 부재 쪽으로 진입되고,
상기 메인 바디 부재, 상기 실링 바디 부재, 상기 실링 캡 부재 및 상기 탄성 부재는 상기 메인 바디 유체 및 상기 실링 바디 유체에 대한 내화학성이 있는 플라스틱 수지로 이루어지고,
상기 실링 캡 부재는
상기 탄성 부재가 그 저면에 삽입되는 탄성 삽입체와,
상기 탄성 삽입체로부터 그 외측으로 연장되어, 상기 실링 바디 부재와 접하면서 상기 실링 바디 부재와의 사이를 밀폐시키는 바디 실링체와,
상기 바디 실링체가 상기 실링 바디 부재와 접할 때, 상기 밀폐 링 부재와 접하면서 상기 밀폐 링 부재의 일부가 변형되도록 가압하는 밀폐 링 가압체와,
상기 밀폐 링 부재 중 상기 밀폐 링 가압체에 의해 가압되어 변형된 부분이 수용되어, 상기 밀폐 링 부재와의 사이를 밀폐시키는 밀폐 링 변형 수용체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브.As applied to a plurality of pipes constituting a semiconductor and display manufacturing facility capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display,
A main body member communicating with the inside of one of the pipes;
A sealing body member communicating with the inside of the other one of the pipes and coupled to the main body member;
A sealing cap member that can be raised or lowered inside the main body member so that the sealing body member can be opened and closed;
An elastic member disposed inside the main body member to provide an elastic force pushing the sealing cap member toward the sealing body member; And
Including; a sealing ring member disposed along the periphery of the opening of the sealing body side of the sealing body member and formed in an O-ring shape,
The sealing cap member is pushed from the main body member toward the sealing body member by the elastic member to close the sealing body member, and accordingly, the main body fluid flowing through the main body member is transferred to the sealing cap member. Blocked by the sealing body member,
When the sealing body fluid flowing through the sealing body member pushes the sealing cap member, the sealing cap member is pushed down and lowered inside the main body member, and the sealing cap member is opened accordingly, and the sealing body fluid Enters toward the main body member,
The main body member, the sealing body member, the sealing cap member, and the elastic member are made of a plastic resin having chemical resistance to the main body fluid and the sealing body fluid,
The sealing cap member is
An elastic insert into which the elastic member is inserted into its bottom surface,
A body sealing body extending outwardly from the elastic insert and sealing the space with the sealing body member while being in contact with the sealing body member,
A sealing ring pressing body for pressing so that a part of the sealing ring member is deformed while contacting the sealing ring member when the body sealing body is in contact with the sealing body member,
For piping of a semiconductor and display manufacturing facility, characterized in that the sealing ring member includes a sealing ring deformation receptor that receives a deformed portion of the sealing ring member that is pressed by the sealing ring pressing body and seals the space between the sealing ring member Check valve. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브는
상기 메인 바디 부재의 내부에 설치되어, 상기 탄성 부재의 하부를 지지하는 지지 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제작 설비의 배관용 체크 밸브.The method of claim 1,
The check valve for piping of the semiconductor and display manufacturing facility
A support member installed inside the main body member to support a lower portion of the elastic member;
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