KR102176496B1 - Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator - Google Patents

Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator Download PDF

Info

Publication number
KR102176496B1
KR102176496B1 KR1020190039895A KR20190039895A KR102176496B1 KR 102176496 B1 KR102176496 B1 KR 102176496B1 KR 1020190039895 A KR1020190039895 A KR 1020190039895A KR 20190039895 A KR20190039895 A KR 20190039895A KR 102176496 B1 KR102176496 B1 KR 102176496B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
generating device
bubble
fine particles
bubble generating
cleaning liquid
Prior art date
Application number
KR1020190039895A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20200117583A (en
Inventor
박만호
고정휘
이유정
Original Assignee
(주)중앙플랜트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)중앙플랜트 filed Critical (주)중앙플랜트
Priority to KR1020190039895A priority Critical patent/KR102176496B1/en
Publication of KR20200117583A publication Critical patent/KR20200117583A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102176496B1 publication Critical patent/KR102176496B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/02—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent by passing the gas or air or vapour over or through a liquid bath
    • B01D47/021—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent by passing the gas or air or vapour over or through a liquid bath by bubbling the gas through a liquid bath
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact

Abstract

본 발명은 하부에 미세입자 및 유해가스가 유입되는 유입구(110)와, 상부에 처리가스가 배출되는 배출구(120)가 각각 형성되는 하우징(100); 상기 하우징(100)의 내부에 설치되며 하부만 세정액에 잠겨있는 상태로서, 상기 유입구(110)에서 이송된 미세입자 및 유해가스를 상부에서 하부로 유턴하는 경로로 안내하여 하부의 세정액에 의해 기포로 변환시킨 후, 다시 미세버블로 변환시키는 버블발생장치(200); 상기 버블발생장치(200)의 상측에 설치되며 상기 버블발생장치(200)에서 상승하는 미세버블을 포집하여 미세버블층을 형성하는 버블층발생필터(300); 상기 버블층발생필터(300)의 상측에 설치되며 상기 버블층이 형성되는 상하방향 폭을 제한하는 버블층차단필터(400); 및 상기 버블층차단필터(400)의 상측에 설치되며 세정액을 분사하는 세정액분사부(500);를 포함하는 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버에 관한 것이다.The present invention includes a housing 100 in which an inlet 110 through which fine particles and harmful gas are introduced and an outlet 120 through which processing gas is discharged are respectively formed at the lower portion; It is installed inside the housing 100 and is a state in which only the lower part is immersed in the cleaning solution, and guides the fine particles and harmful gas transferred from the inlet 110 in a U-turn path from the top to the bottom, and is bubbled by the cleaning solution at the bottom. After converting, the bubble generating device 200 for converting to fine bubbles again; A bubble layer generating filter 300 installed on the upper side of the bubble generating device 200 and collecting the fine bubbles rising from the bubble generating device 200 to form a fine bubble layer; A bubble layer blocking filter 400 installed above the bubble layer generating filter 300 and limiting a vertical width in which the bubble layer is formed; And a cleaning liquid spraying part 500 installed above the bubble layer blocking filter 400 and spraying the cleaning liquid. It relates to a scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device.

Description

버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버{Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator}Scrubber for removing fine particles and treatment of gas using bubble generator}

본 발명은 미세입자 및 유해가스물질을 함유한 가스를 물 또는 세정액속에 잠겨있는 버블발생장치로 유입시켜 생성된 다수의 공기방울이 버블층을 형성하여 물 또는 세정액 속으로 분산,입자와 액체 방울과의 충돌, 확산에 의한 미소 입자의 접촉, 습도 증가에 의한 입자의 부착 응집, 액막에 의한 포집 입자의 재비산 방지, 응축에 의한 입자 지름의 증대 등에 의해 입자와 가스상 물질의 포집을 쉽게 하기 위한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버에 관한 것이다.In the present invention, a plurality of air bubbles generated by introducing a gas containing fine particles and harmful gaseous substances into a bubble generating device immersed in water or cleaning liquid form a bubble layer and are dispersed into water or cleaning liquid, Microparticles to facilitate collection of particles and gaseous substances by collision, contact of microparticles due to diffusion, adhesion of particles due to increased humidity, prevention of re-scattering of trapped particles by liquid film, increase of particle diameter due to condensation, etc. It relates to a scrubber for removal and gas treatment.

스크러버는 세정액을 이용하여 미세입자 및 유해가스를 포집하는 장치로서 집진기라고도 하며, 세정액은 일반적으로 물을 사용하며, 불용가스 성분을 액체로 흡수제거하는 흡수장치도 스크러버라고 한다.A scrubber is a device that collects fine particles and harmful gases by using a cleaning liquid, and is also called a dust collector. The cleaning liquid generally uses water, and an absorption device that absorbs and removes insoluble gas components into a liquid is also called a scrubber.

좀 더 상세하게, 스크러버는 세정액을 이용하여 주로 반도체 및 LCD, LED, OLED, Solar 등 제조 Fab의 CVD 및 Etching, Diffusion 등 Process는 가스캐비넷에서 특수가스를 프로세스 챔버에 공급하여 웨이퍼에 프로세스를 진행한 후, 진공 펌프로 공정 중 발생한 미세입자 및 유해가스를 드레인(Drain)시켜서 1차 처리하여 옥상으로 배출한다.In more detail, the scrubber uses a cleaning solution to process wafers by supplying special gas from the gas cabinet to the process chamber for CVD, etching, and diffusion of mainly manufacturing Fabs such as semiconductors, LCD, LED, OLED, and solar. After that, a vacuum pump is used to drain fine particles and harmful gases generated during the process, treat them first, and discharge them to the roof.

이러한 스크러버에 관한 기술로서, 한국등록특허 제10-1950868호의 상부에서 유입되는 피처리 기체를 처리 온도로 가열하는 가열부; 상기 가열부 하부에 연통되어 설치되며, 상기 가열부를 통과한 피처리 기체를 냉각하는 냉각부; 상기 냉각부 하부에 연통되어 설치되며, 처리수가 저장되는 처리수 탱크; 상기 냉각부와 상기 처리수 탱크를 연통시키는 제1 연통 배관; 상기 제1 연통 배관에 나란하게 설치되며, 상기 제1 연통 배관을 통하여 전달되는 피처리 기체에 제1 처리수를 분사하여 정화처리하는 제1 습식 처리부; 상기 제1 연통배관과 상기 제1 습식 처리부 하단을 연결하여 피처리 기체를 상기 제1 습식 처리부로 공급하는 제2 연통 배관; 상기 처리수 탱크에 저장되어 있는 제1 처리수를 상기 제1 습식 처리부의 상부에 공급하는 처리수 순환펌프; 상기 제1 습식 처리부의 상부에 연통되어 설치되며, 상기 제1 습식 처리부를 통과한 피처리 기체에 제2 처리수를 분사하여 상기 피처리 기체를 세정하는 제2 습식 처리부;를 포함하며, 상기 처리수 탱크에는 상기 처리수 탱크의 저면에 경사면을 가시도록 형성되어 상기 처리수 탱크의 중앙 부분으로 상기 피처리 기체에서 형성된 파우더가 모이도록 하는 파우더 모음부; 상기 처리수 탱크의 일 측면에 설치되며, 상기 처리수 탱크 내의 물질을 외부로 배출하는 드레인부; 상기 파우더 모음부에서 상기 드레인부 방향으로 고압의 물을 분사하여 모아진 파우더를 상기 드레인부로 배출하는 파우더 배출부; 상기 처리수 탱크의 타 측면에 설치되며, 상기 처리수 순환 펌프로 처리수를 배출하는 처리수 순환 배관; 상기 파우더 모음부와 상기 처리수 순환 배관 사이에 설치되며, 상기 파우더 모음부에 모아진 파우더가 상기 처리수 순환 배관 방향으로 이동하는 것을 방지하는 파우더 이동 방지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 가스 스크러버가 개시된 적이 있었다.As a technology related to such a scrubber, there is provided a heating unit for heating the gas to be treated flowing from the top of Korean Patent No. 10-1950868 to a treatment temperature; A cooling unit installed in communication below the heating unit and cooling the gas to be processed that has passed through the heating unit; A treated water tank which is installed in communication under the cooling unit and stores treated water; A first communication pipe communicating the cooling unit and the treated water tank; A first wet treatment unit installed in parallel with the first communication pipe and for purifying by spraying first treated water to the gas to be treated transmitted through the first communication pipe; A second communication pipe connecting the first communication pipe and a lower end of the first wet treatment unit to supply the gas to be treated to the first wet treatment unit; A treated water circulation pump for supplying the first treated water stored in the treated water tank to an upper portion of the first wet treatment unit; A second wet treatment unit installed in communication with the upper portion of the first wet treatment unit and spraying a second treatment water onto the gas to be treated passing through the first wet treatment unit to clean the gas to be treated; In the water tank, a powder collecting part is formed so as to face an inclined surface on the bottom of the treated water tank so that the powder formed from the gas to be treated is collected to a central portion of the treated water tank; A drain unit installed on one side of the treated water tank and discharging substances in the treated water tank to the outside; A powder discharge part for discharging the collected powder to the drain part by spraying high-pressure water from the powder collection part toward the drain part; A treated water circulation pipe installed on the other side of the treated water tank and discharging the treated water through the treated water circulation pump; And a powder movement preventing unit installed between the powder collecting unit and the treated water circulation pipe, and preventing the powder collected in the powder collecting unit from moving in the direction of the treated water circulation pipe; and a wet gas scrubber comprising: Has been initiated.

그러나 종래기술은 피처리 기체(유해가스)가 미세버블화 되지 않은 상태로 처리수(세정액)와 반응됨으로써, 피처리 기체와 처리수의 반응 면적 및 반응 효율이 저하되는 문제점이 있었다.However, the prior art has a problem in that the target gas (hazardous gas) reacts with the treated water (cleaning liquid) in a state that is not microbubbled, thereby reducing the reaction area and reaction efficiency of the treated gas and the treated water.

한국등록특허 제10-1950868호(2019.02.15)Korean Patent Registration No. 10-1950868 (2019.02.15)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로, 본 발명의 목적은 버블발생장치가 미세입자 및 유해가스를 미세버블화시켜서 세정액과 반응시킴으로써, 가스상 물질의 흡수효율을 증대시키고, 입자와 액체 방울과의 충돌, 확산에 의한 미세입자의 접촉효율 증대와 액막에 의한 포집 입자의 재비산 방지에 따른 처리효율을 증대시키고, 스크러버에 사용되는 충전물인 고체의 의한 막힘, 액체 투과성, 내부 침전물의 적체, 압력 강하, 성능 저하, 세정 및 분해 등 유지관리의 어려움을 해결할 수 있는 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버에 관한 것이다.The present invention was derived to solve the above problems, and an object of the present invention is to increase the absorption efficiency of gaseous substances and increase the absorption efficiency of gaseous substances by reacting with the cleaning liquid by the bubble generating device converting fine particles and harmful gases into fine bubbles. It increases the treatment efficiency by increasing the contact efficiency of fine particles by collision with droplets and diffusion and preventing re-scattering of trapped particles by the liquid film, and clogging by solids, liquid permeability, and accumulation of internal sediments used in scrubbers. It relates to a scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device that can solve the difficulty of maintenance such as pressure drop, performance degradation, cleaning and decomposition.

본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 하부에 미세입자 및 유해가스가 유입되는 유입구(110)와, 상부에 처리가스가 배출되는 배출구(120)가 각각 형성되는 하우징(100); 상기 하우징(100)의 내부에 설치되며 하부만 세정액에 잠겨있는 상태로서, 상기 유입구(110)에서 이송된 미세입자 및 유해가스를 상부에서 하부로 유턴하는 경로로 안내하여 하부의 세정액에 의해 기포로 변환시킨 후, 다시 미세버블로 변환시키는 버블발생장치(200); 상기 버블발생장치(200)의 상측에 설치되며 상기 버블발생장치(200)에서 상승하는 미세버블을 포집하여 미세버블층을 형성하는 버블층발생필터(300); 상기 버블층발생필터(300)의 상측에 설치되며 상기 버블층이 형성되는 상하방향 폭을 제한하는 버블층차단필터(400); 및 상기 버블층차단필터(400)의 상측에 설치되며 세정액을 분사하는 세정액분사부(500);를 포함한다.The scrubber for fine particle removal and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention is a housing in which an inlet 110 through which fine particles and harmful gas are introduced and an outlet 120 through which the processing gas is discharged are formed at the bottom. (100); It is installed inside the housing 100 and is a state in which only the lower part is immersed in the cleaning solution, and guides the fine particles and harmful gas transferred from the inlet 110 in a U-turn path from the top to the bottom, and is bubbled by the cleaning solution at the bottom. After converting, the bubble generating device 200 for converting to fine bubbles again; A bubble layer generating filter 300 installed on the upper side of the bubble generating device 200 and collecting the fine bubbles rising from the bubble generating device 200 to form a fine bubble layer; A bubble layer blocking filter 400 installed above the bubble layer generating filter 300 and limiting a vertical width in which the bubble layer is formed; And a cleaning liquid spraying part 500 installed above the bubble layer blocking filter 400 and spraying a cleaning liquid.

또한, 상기 버블발생장치(200)는 상기 유입구(110)와 버블층발생필터(300) 사이에 수평하게 설치되어 상기 유입구(110)에서 이송되는 미세입자 및 유해가스를 계류시키며 다수의 끼움홀이 형성되는 차단막(210)과, 상기 끼움홀에 끼워지며 상기 유입구(110)에서 이송된 미세입자 및 유해가스가 상승하는 통과관(220)과, 상단과 하단이 밀폐되며 상기 통과관(220)이 하부에 삽입되며, 하부에 세정액이 잠겨있는 상태로서 상기 통과관을 통과한 미세입자 및 유해가스가 상부에서 하부로 유턴하는 경로로 유입되어 세정액과 함께 기포로 변환되는 세정액충진부(241)와, 하부 외주면에 상기 세정액충진부(241)에서 이송된 기포를 다수의 미세버블로 분산하는 다수의 분산홀(242)이 형성되는 분산관(240)을 포함한다.In addition, the bubble generating device 200 is horizontally installed between the inlet 110 and the bubble layer generating filter 300 to moor the fine particles and harmful gases transferred from the inlet 110, and a plurality of fitting holes A blocking film 210 is formed, a passage pipe 220 that is inserted into the fitting hole and through which fine particles and harmful gases transferred from the inlet 110 rise, and the upper and lower ends are sealed, and the passage pipe 220 is A cleaning liquid filling part 241 inserted into the lower part and in a state in which the cleaning liquid is immersed in the lower part, in which fine particles and harmful gases that have passed through the passage pipe are introduced through a U-turn path from the top to the bottom and are converted into bubbles together with the cleaning liquid, And a dispersion tube 240 in which a plurality of dispersion holes 242 for dispersing the air bubbles transferred from the cleaning liquid filling part 241 into a plurality of fine bubbles are formed on the lower outer circumferential surface.

또한, 상기 버블발생장치(200)는 상기 분산관(240)의 하단을 밀폐하며 상기 통과관(220)이 내부에 삽입되는 밀폐캡(230)과, 상기 분산관(240)의 상단에 끼워져서 상기 분산관(240)의 상단을 밀폐하는 밀폐커버(250)를 포함한다.In addition, the bubble generating device 200 seals the lower end of the dispersion pipe 240 and is fitted with a sealing cap 230 into which the passage pipe 220 is inserted, and the upper end of the dispersion pipe 240 It includes a sealing cover 250 for sealing the upper end of the dispersion pipe 240.

또한, 상기 분산홀(242)은 상기 분산관(240)의 상측으로 경사진 구조로 형성된다.In addition, the dispersion hole 242 is formed in a structure inclined upward of the dispersion pipe 240.

또한, 상기 통과관(220)은 상기 차단막(210)에 나사결합되기 위한 제1나사부(221)와, 상기 제1나사부(221)의 상단에 연결되며 상기 밀폐캡(230)의 내부에 나사산으로 형성된 밀폐부(231)에 대응하는 나사산으로 형성되어 상기 밀폐부(231)에 나사결합되는 제2나사부(222)와, 상기 제2나사부(222)의 상단에 연결되며 상기 제2나사부(222)보다 외경이 작게 형성되는 내장부(223)를 포함한다.In addition, the passage pipe 220 is connected to the upper end of the first screw portion 221 to be screwed to the blocking film 210, the first screw portion 221, and is threaded inside the sealing cap 230 The second screw portion 222 is formed with a thread corresponding to the formed sealing portion 231 and is screwed to the sealing portion 231, and is connected to an upper end of the second screw portion 222 and the second screw portion 222 It includes an interior portion 223 formed with a smaller outer diameter.

또한, 상기 버블발생장치(200)는 상기 밀폐커버(250)와 통과관(220) 사이에 설치되며 하면에 웨이브진 구조의 한 쌍의 안내면(261)이 형성되어 상기 통과관(220)을 통과한 미세입자 및 유해가스를 웨이브진 경로로 안내하는 안내바(260)를 포함한다.In addition, the bubble generating device 200 is installed between the sealing cover 250 and the passage pipe 220, and a pair of guide surfaces 261 of a wavy structure are formed on the lower surface to pass through the passage pipe 220 It includes a guide bar 260 for guiding one fine particle and harmful gas to a waved path.

또한, 상기 버블발생장치(200)는 상기 통과관(220) 내부가 방사상으로구획되도록 상기 안내바(260)의 하단에 결합되는 안내벽(270)을 포함한다.In addition, the bubble generating device 200 includes a guide wall 270 coupled to the lower end of the guide bar 260 so that the inside of the passage pipe 220 is radially partitioned.

또한, 상기 세정액충진부(241)에 연통되는 수위조절탱크(710)와, 상기 수위조절탱크(710) 내부에 상하방향으로 설치되어 상기 세정액충진부(241)의 세정액 수위를 조절하여 미세버블층의 높이와 압력을 조절하는 월류웨어(720)와, 상기 수위조절탱크(710)에 침전된 슬러지를 배출하는 배출구(730)를 포함하는 수위조절장치(700);를 더 포함한다.In addition, the water level control tank 710 communicated with the cleaning liquid filling part 241 and the water level control tank 710 are installed in the vertical direction to adjust the level of the cleaning liquid in the cleaning liquid filling part 241 It further includes; a water level control device 700 including an outlet 730 for discharging the sludge settled in the water level control tank 710 and a wall flow ware 720 for adjusting the height and pressure of the water.

이에 따라, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 미세입자 및 유해가스가 버블발생장치로 유입되어 세정액 충진부에서 분산홀을 통과하며 버블을 발생시켜 반응시킴으로써, 가스상 물질의 흡수효율을 증대시키고, 입자와 액체 방울과의 충돌, 확산에 의한 미세입자의 접촉효율 증대와 액막에 의한 포집 입자의 재비산 방지에 따른 처리효율을 증대시키고, 스크러버에 사용되는 충전물인 필터에서 미세입자에 의한 막힘을 방지하고 , 하부에 포집된 미세입자는 유입되는 가스에 의한 압력으로 분사되는 물과함께 측면으로 배출되어 포집된 미세먼지에 의한 입자상 물질의 퇴적을 방지하며,버블필터내에 포집된 미세먼지도 발생되는 버블에 의하여 자동세정됨으로서 포집된 미세먼지에 의한 필터막힘, 막힘에 따른 압력 강하, 침전물의 적체,성능 저하, 세정 및 분해 등 유지관리의 어려움을 해결할수 있는 장점이 있다.Accordingly, in the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention, the fine particles and harmful gas flow into the bubble generating device, pass through the dispersion hole in the cleaning liquid filling part, and generate bubbles to react, Increases the absorption efficiency of substances, increases the contact efficiency of fine particles due to collision between particles and liquid droplets, diffusion, and increases treatment efficiency by preventing re-scattering of trapped particles by liquid film, and is a filler filter used in scrubbers Prevents clogging by fine particles at the bottom, and the fine particles collected at the bottom are discharged to the side with water sprayed at the pressure of the incoming gas to prevent accumulation of particulate matter by the collected fine dust, and inside the bubble filter. As the collected fine dust is automatically cleaned by the generated bubbles, it has the advantage of solving the difficulty of maintenance such as clogging of the filter due to the collected fine dust, pressure drop due to clogging, accumulation of sediment, deterioration of performance, cleaning and decomposition. .

또한, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 분산관의 분산홀 크기를 조절하여 미세버블의 직경을 조절할수 있다.In addition, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention can adjust the diameter of the fine bubbles by adjusting the size of the dispersion hole of the dispersion tube.

또한, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 분산관의 분산홀이 상측으로 경사진 구조로 형성됨으로써, 미세버블의 유동속도가 극대화되어 미세버블과 세정액의 반응 효율을 극대화시킬 수 있다.In addition, the scrubber for fine particle removal and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention has a structure in which the dispersion hole of the dispersion pipe is inclined upward, so that the flow rate of the fine bubbles is maximized, and the reaction efficiency between the fine bubbles and the cleaning solution Can be maximized.

또한, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 통과관의 제1나사부를 이용하여 통과관을 차단막에 용이하게 끼우거나 탈거할 수 있으며, 통과관의 제2나사부와 내장부의 외경 차이를 이용하여 통과관이 밀폐캡에 끼워지는 위치를 용이하게 설정할 수 있다.In addition, the scrubber for fine particle removal and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention can easily insert or remove the passage pipe to the barrier film using the first screw portion of the passage pipe, and the second screw portion of the passage pipe and the By using the difference in the outer diameter of the interior, it is possible to easily set the position where the passage pipe is inserted into the sealing cap.

또한, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 안내바를 이용하여 미세입자 및 유해가스의 유동경로를 분산홀로 신속하게 안내 함으로써, 미세버블과 세정액의 반응 효율을 극대화시킬 수 있다.In addition, the scrubber for fine particle removal and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention can maximize the reaction efficiency of the fine bubbles and the cleaning solution by quickly guiding the flow path of the fine particles and harmful gas to the dispersion hole using a guide bar. I can.

또한, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 안내벽을 이용하여 미세입자 및 유해가스가 뭉쳐져서 슬러지와 같은 부산물이 발생하는 것을 저하시킬 수 있다.In addition, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention can reduce generation of by-products such as sludge by agglomeration of fine particles and harmful gases using a guide wall.

또한, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 버블발생장치에 저장된 세정액에 포함된 슬러지가 수위조절장치의 배출구로 배출되어 버블발생장치가 슬러지로 인하여 막히는 것을 차단할 수 있다.In addition, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention can prevent the sludge contained in the cleaning liquid stored in the bubble generating device from being discharged to the outlet of the water level control device, thereby preventing the bubble generating device from being clogged by the sludge. have.

도 1은 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버를 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 버블발생장치를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 버블발생장치의 통과관, 밀폐캡, 분산관, 밀폐커버를 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 버블발생장치의 통과관, 밀폐캡, 분산관, 밀폐커버를 나타낸 분해사시도.
도 6은 본 발명에 따른 버블발생장치의 통과관, 밀폐캡, 분산관, 밀폐커버를 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 버블발생장치의 통과관, 밀폐캡, 분산관, 밀폐커버의 일 예를 나타낸 단면도.
도 8은 본 발명에 따른 버블발생장치의 통과관, 밀폐캡, 분산관, 밀폐커버 및 안내바를 나타낸 단면도.
도 9는 본 발명에 따른 버블발생장치의 통과관, 밀폐캡, 분산관, 밀폐커버, 안내바 및 안내벽을 나타낸 단면도.1 is a perspective view showing a scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device according to the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view showing a scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device according to the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing a bubble generating device according to the present invention.
Figure 4 is a perspective view showing a passage pipe, a sealing cap, a dispersion pipe, and a sealing cover of the bubble generating device according to the present invention.
Figure 5 is an exploded perspective view showing a passage pipe, a sealing cap, a dispersion pipe, and a sealing cover of the bubble generating device according to the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a passage pipe, a sealing cap, a dispersion pipe, and a sealing cover of the bubble generating device according to the present invention.
7 is a cross-sectional view showing an example of a passage pipe, a sealing cap, a dispersion pipe, and a sealing cover of the bubble generating device according to the present invention.
Figure 8 is a cross-sectional view showing a passage pipe, a sealing cap, a dispersion pipe, a sealing cover and a guide bar of the bubble generating device according to the present invention.
9 is a cross-sectional view showing a passage pipe, a sealing cap, a dispersion pipe, a sealing cover, a guide bar, and a guide wall of the bubble generating device according to the present invention.

이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the technical idea of the present invention will be described in more detail using the accompanying drawings.

첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.The accompanying drawings are only an example shown to describe the technical idea of the present invention in more detail, so the technical idea of the present invention is not limited to the form of the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버를 나타낸 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버를 나타낸 단면도.1 is a perspective view showing a scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing a scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 하우징(100), 버블발생장치(200), 버블층발생필터(300), 버블층차단필터(400) 및 세정액분사부(500)를 포함한다.As shown in Fig. 1, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention includes a housing 100, a bubble generating device 200, a bubble layer generating filter 300, and a bubble layer blocking filter. It includes 400 and a washing liquid spraying unit 500.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(100)은 본 발명의 기본 몸체로서, 하부에 미세입자 및 유해가스가 유입되는 유입구(110)와, 상부에 미세입자 및 유해가스와 세정액의 반응이 이루어진 처리가스가 배출되는 배출구(120)가 각각 형성된다. 이 때, 상기 유입구(110)는 상부가 상하방향으로 형성되며 하부가 좌우방향으로 형성된 L자 구조로 형성되어 상기 하우징(100)의 하부 측면에 연통되어 미세입자 및 유해가스를 좌우방향으로 안내한다. 또한, 상기 배출구(120)는 좌우방향으로 형성되어 처리가스를 좌우방향으로 안내한다.As shown in Figure 2, the housing 100 is the basic body of the present invention, the inlet 110 through which fine particles and harmful gases are introduced into the lower part, and the reaction between the fine particles and harmful gas and the cleaning liquid is made in the upper part. The discharge ports 120 through which the processing gas is discharged are respectively formed. At this time, the inlet 110 is formed in an L-shaped structure having an upper portion in an up-down direction and a lower portion in a left-right direction, and communicates with the lower side of the housing 100 to guide fine particles and harmful gases in the left-right direction. . In addition, the discharge port 120 is formed in the left-right direction to guide the processing gas in the left-right direction.

상기 버블발생장치(200)는 상기 하우징(100)의 내부에 설치되며 하부가 세정액에 잠겨있는 상태이며, 상부가 세정액에 잠겨있는 상태가 아닌 것으로, 상기 유입구(110)에서 이송된 미세입자 및 유해가스를 상부에서 하부로 유턴하는 경로로 안내하여 하부의 세정액에 의해 기포로 변환시킨 후, 다시 미세버블로 변환시킨다.The bubble generating device 200 is installed in the housing 100, the lower part is immersed in the cleaning liquid, the upper part is not immersed in the cleaning liquid, and the fine particles and harmful particles transferred from the inlet 110 The gas is guided in a U-turn path from the top to the bottom, is converted into bubbles by the cleaning liquid at the bottom, and then converted into fine bubbles.

상기 버블층발생필터(300)는 상기 버블발생장치(200)의 상측에 설치되며 상기 버블발생장치(200)에서 상승하는 미세버블을 포집하여 미세버블층을 형성하는 것으로, 격자 구조로 형성되며, 기체와 액체의 접촉 면적을 늘려주는 역할을 한다. The bubble layer generating filter 300 is installed on the upper side of the bubble generating device 200 and collects fine bubbles rising from the bubble generating device 200 to form a fine bubble layer, and is formed in a lattice structure, It serves to increase the contact area between gas and liquid.

이 때, 상기 버블층발생필터(300)는 본 출원인에 의해서 출원된 클린필터 형태일 수 있다(한국등록특허 제10-1726299호 참조).In this case, the bubble layer generating filter 300 may be in the form of a clean filter filed by the present applicant (refer to Korean Patent Registration No. 10-1726299).

한편, 상기 버블층발생필터(300)은 버블 형성을 도울수 있는 버블액이 저장되는 버블액 저장탱크(미도시), 버블액을 공급하는 버블액 공급펌프(미도시), 버블액을 이송하기 위한 버블액 공급배관(미도시)이 추가될 수 있다. 버블액은 비이온성 계면활성제와 양쪽성이온 계면활성제가 혼합된 것이거나 음이온성 계면활성제를 포함하는 용액일 수 있으며, 음이온성 계면활성제가 바람직하다. 바람직한 실시예로는 비누 (지방산 나트륨) RCOO-Na+, 모노알킬 황산염 ROSO3 -M+, 알킬폴리옥시에틸렌 황산염 RO(CH2CH2O)mSO3 -M+, 알킬벤젠술폰산염 RR'CH2CHC6H4SO3 -M+, 모노알킬인산염 ROPO(OH)O-M+, 또는 SDS가 있다. 여기에서 R은 작용기, M은 금속을 의미한다.On the other hand, the bubble layer generating filter 300 is a bubble liquid storage tank (not shown) in which a bubble liquid that can help bubble formation is stored, a bubble liquid supply pump (not shown) that supplies the bubble liquid, and transfers the bubble liquid. A bubble liquid supply pipe (not shown) for may be added. The bubble liquid may be a mixture of a nonionic surfactant and a zwitterionic surfactant or a solution containing an anionic surfactant, and an anionic surfactant is preferred. Preferred examples include soap (sodium fatty acid) RCOO - Na + , monoalkyl sulfate ROSO 3 - M + , alkylpolyoxyethylene sulfate RO(CH 2 CH 2 O)mSO 3 - M + , alkylbenzenesulfonate RR'CH 2 CHC 6 H 4 SO 3 - M a +, or SDS - M +, monoalkyl phosphate ROPO (OH) O. Here, R is a functional group, and M is a metal.

상기 버블층차단필터(400)는 상기 버블층발생필터(300)의 상측에 설치되며 상기 버블층이 형성되는 높이, 즉, 전체적인 상하방향 폭을 제한하는 것으로, 격자 구조로 형성된다.The bubble layer blocking filter 400 is installed above the bubble layer generating filter 300 and limits the height at which the bubble layer is formed, that is, the overall vertical width, and has a lattice structure.

상기 세정액분사부(500)는 상기 버블층차단필터(400)의 상측에 설치되며 세정액을 분사한다. 이 때, 상기 세정액은 물일수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다. 본 발명의 세정 공정은 상기 세청액분사부의 세정액이 상기 버블층차단필터(400)와 버블층발생필터(300)로 분사되면서 상기 버블발생장치(200)에서 발생하는 미세입자 및 유해가스가 분산된 미세버블이 세정액과 반응되어 미세입자 및 유해가스를 포집한다.The cleaning liquid spraying part 500 is installed above the bubble layer blocking filter 400 and sprays the cleaning liquid. In this case, the washing liquid may be water, but the present invention is not limited thereto. In the cleaning process of the present invention, fine particles and harmful gases generated in the bubble generating device 200 are dispersed as the cleaning liquid of the washing liquid spraying part is sprayed to the bubble layer blocking filter 400 and the bubble layer generating filter 300. The fine bubbles react with the cleaning liquid to collect fine particles and harmful gases.

이에 따라, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 버블발생장치(200)가 미세입자 및 유해가스를 미세버블화시켜서 세정액과 반응시킴으로써, 가스상 물질의 흡수효율을 증대시키고, 입자와 액체 방울과의 충돌, 확산에 의한 미세입자의 접촉효율 증대와 액막에 의한 포집 입자의 재비산 방지에 따른 처리효율을 증대시키고, 스크러버에 사용되는 충전물인 필터에서 미세입자에 의한 막힘을 방지하고 , 하부에 포집된 미세입자는 유입되는 가스에 의한 압력으로 분사되는 물과함께 측면으로 배출되어 포집된 미세먼지에 의한 입자상 물질의 퇴적을 방지하며,버블 필터내에 포집된 미세먼지도 발생되는 버블에 의하여 자동세척됨으로서 포집된 미세먼지에 의한 필터막힘, 막힘에 따른 압력 강하, 침전물의 적체,성능 저하, 세척 및 분해 등 유지관리의 어려움을 해결할수 있는 장점이 있다.Accordingly, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention increases the absorption efficiency of gaseous substances by reacting with the cleaning liquid by the bubble generating device 200 to microbubble fine particles and harmful gases. It increases the treatment efficiency by increasing the contact efficiency of fine particles due to collision between particles and liquid droplets, diffusion, and preventing re-scattering of trapped particles by liquid film, and clogging by fine particles in the filter, which is a filler used for scrubbers. And the fine particles collected at the bottom are discharged to the side with water sprayed under the pressure of the incoming gas to prevent the accumulation of particulate matter by the collected fine dust, and fine dust collected in the bubble filter is also generated. As it is automatically cleaned by the bubbles, it has the advantage of solving the difficulty of maintenance such as clogging of the filter due to the collected fine dust, pressure drop due to clogging, accumulation of sediment, deterioration of performance, washing and decomposition.

도 3은 본 발명에 따른 버블발생장치(200)를 나타낸 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 버블발생장치(200)의 통과관(220), 밀폐캡(230), 분산관(240), 밀폐커버(250)를 나타낸 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 버블발생장치(200)의 통과관(220), 밀폐캡(230), 분산관(240), 밀폐커버(250)를 나타낸 분해사시도, 도 6은 본 발명에 따른 버블발생장치(200)의 통과관(220), 밀폐캡(230), 분산관(240), 밀폐커버(250)를 나타낸 단면도이다. 이 때, 도 6의 점선은 미세입자 및 유해가스의 흐름 방향이다.3 is a perspective view showing a bubble generating device 200 according to the present invention, and FIG. 4 is a passage pipe 220, a sealing cap 230, a dispersion pipe 240, and a sealing of the bubble generating device 200 according to the present invention. A perspective view showing the cover 250, FIG. 5 is an exploded perspective view showing the passage pipe 220, the sealing cap 230, the dispersion pipe 240, and the sealing cover 250 of the bubble generating device 200 according to the present invention, 6 is a cross-sectional view showing the passage pipe 220, the sealing cap 230, the dispersion pipe 240, and the sealing cover 250 of the bubble generating device 200 according to the present invention. In this case, the dotted line in FIG. 6 is a flow direction of fine particles and harmful gas.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 버블발생장치(200)는 차단막(210), 통과관(220), 밀폐캡(230), 분산관(240) 및 밀폐커버(250)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the bubble generating device 200 according to the present invention includes a blocking film 210, a passage pipe 220, a sealing cap 230, a dispersion pipe 240, and a sealing cover 250. .

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 차단막(210)은 상기 유입구(110)와 버블층발생필터(300) 사이에 수평하게 설치되어 상기 유입구(110)에서 이송되는 미세입자 및 유해가스를 계류시키며 다수의 끼움홀(도면부호 미표시)이 형성되는 것으로, 평판 구조로 형성될 수 있다.4 to 6, the blocking film 210 is horizontally installed between the inlet 110 and the bubble layer generating filter 300 to prevent fine particles and harmful gases transferred from the inlet 110. A plurality of fitting holes (not shown) are formed while mooring, and may be formed in a flat plate structure.

상기 통과관(220)은 상기 끼움홀에 끼워지며 상기 유입구(110)에서 이송된 미세입자 및 유해가스가 상승하는 것으로, 관구조로 형성될 수 있다.The passage pipe 220 is inserted into the fitting hole, and fine particles and noxious gases transferred from the inlet 110 rise, and may be formed in a tubular structure.

상기 분산관(240)은 상단과 하단이 밀폐되며 상기 통과관(220)이 하부에 삽입되며, 하부에 세정액이 잠겨있는 상태로서 상기 통과관을 통과한 미세입자 및 유해가스가 상부에서 하부로 유턴하는 경로로 유입되어 세정액과 함께 기포로 변환되는 세정액충진부(241)와, 하부 외주면에 상기 세정액충진부(241)에서 이송된 기포를 다수의 미세버블로 분산하는 다수의 분산홀(242)이 형성된다. 이 때, 상기 분산홀(242)들은 상기 분산관(240)의 외주면에 방사상으로 형성되면서 상하방향으로 배열 형성될 수 있다. (도 6 참조)The dispersion pipe 240 has an upper end and a lower end sealed, and the passage pipe 220 is inserted into the lower part, and the washing liquid is immersed in the lower part, and the fine particles and harmful gas passing through the passage pipe U-turn from the upper part to the lower part. A cleaning liquid filling part 241 that flows through the path and is converted into bubbles together with the cleaning liquid, and a plurality of dispersion holes 242 dispersing the bubbles transferred from the cleaning liquid filling part 241 into a plurality of fine bubbles on the lower outer circumferential surface. Is formed. In this case, the dispersion holes 242 may be radially formed on the outer circumferential surface of the dispersion pipe 240 and may be arranged in a vertical direction. (See Fig. 6)

상기 밀폐캡(230)은 상기 차단막(210)의 상측에 배치되며, 상기 통과관(220)이 내부에 형성된 밀폐부(231)에 삽입된다.The sealing cap 230 is disposed on the upper side of the blocking film 210 and is inserted into the sealing portion 231 having the passage tube 220 formed therein.

한편, 상기 밀폐캡(230)은 상부 외경이 상기 분산관(240)의 내경에 동일하게 형성되며, 하부 외경이 상부 외경보다 넓게 형성되어 상부만 상기 분산관(240)의 하단에 끼워질 수 있다. 또한, 상기 밀폐캡(230)의 상부 외주면에는 기밀을 위한 오링(미도시)이 설치될 수 있다.Meanwhile, the sealing cap 230 has an upper outer diameter equal to the inner diameter of the dispersion pipe 240, and the lower outer diameter is formed wider than the upper outer diameter, so that only the upper portion can be fitted to the lower end of the dispersion pipe 240. . In addition, an O-ring (not shown) for airtightness may be installed on an upper outer peripheral surface of the sealing cap 230.

상기 밀폐커버(250)는 상기 분산관(240)의 상단에 끼워져서 상기 분산관(240)의 상단을 밀페하는 것으로, 하부가 개구된 원통형 구조로 형성될 수 있다.The sealing cover 250 is fitted to the upper end of the dispersion pipe 240 to seal the upper end of the dispersion pipe 240, and may be formed in a cylindrical structure with an open lower portion.

이에 따라, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 분산관(240)의 분산홀(242) 크기를 조절하여 미세버블의 직경을 조절할수 있다.Accordingly, the scrubber for removing fine particles and treating gas using the bubble generating device according to the present invention can adjust the diameter of the fine bubbles by adjusting the size of the dispersion hole 242 of the dispersion pipe 240.

또한, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 차단막(210)의 차단 구조와 분산관(240)의 분산홀(242) 분산 구조를 이용하여 미세입자 및 유해가스의 미세버블 변환 효율을 극대화할 수 있다.In addition, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention uses the blocking structure of the blocking film 210 and the dispersion hole 242 of the dispersion tube 240 to prevent fine particles and harmful gases. It can maximize the efficiency of microbubble conversion.

도 7은 본 발명에 따른 버블발생장치(200)의 통과관(220), 밀폐캡(230), 분산관(240), 밀폐커버(250)의 일 예를 나타낸 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing an example of the passage pipe 220, the sealing cap 230, the dispersion pipe 240, and the sealing cover 250 of the bubble generating device 200 according to the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 분산홀(242)은 상기 분산관(240)의 상측으로 경사진 구조로 형성될 수 있다. 이 때, 상기 분산홀(242)과 상기 분산관(240)의 상하방향 중심축이 이루는 각도는 30도 내지 45도인 것이 바람직하다.As shown in FIG. 7, the dispersion hole 242 may be formed in a structure inclined upward of the dispersion pipe 240. In this case, it is preferable that the angle formed between the dispersion hole 242 and the central axis in the vertical direction of the dispersion pipe 240 is 30 degrees to 45 degrees.

이에 따라, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 분산관(240)의 분산홀(242)이 상측으로 경사진 구조로 형성됨으로써, 미세버블의 유동속도가 극대화되어 미세버블과 세정액의 반응 효율을 극대화시킬 수 있다.Accordingly, the scrubber for fine particle removal and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention is formed in a structure in which the dispersion hole 242 of the dispersion pipe 240 is inclined upward, so that the flow rate of the fine bubbles is maximized. It is possible to maximize the reaction efficiency between the fine bubbles and the cleaning liquid.

또한, 상기 통과관(220)은 제1나사부(221)와, 제2나사부(222)와, 내장부(223)를 포함할 수 있다.In addition, the passage tube 220 may include a first screw portion 221, a second screw portion 222, and an interior portion 223.

상기 제1나사부(221)는 상기 차단막(210)에 나사결합되기 위하여 나사산이 형성된다.The first screw portion 221 is formed with a thread to be screwed to the blocking film 210.

상기 제2나사부(222)는 상기 제1나사부(221)의 상단에 연결되며 상기 밀폐캡(230)의 나사산으로 형성된 밀폐부(231)에 대응하는 나사산으로 형성되어 상기 밀폐부(231)에 나사결합된다.The second screw portion 222 is connected to the upper end of the first screw portion 221 and is formed with a thread corresponding to the sealing portion 231 formed by the thread of the sealing cap 230, and is screwed to the sealing portion 231 Are combined.

상기 내장부(223)는 상기 제2나사부(222)의 상단에 연결되며 상기 제2나사부(222)보다 외경이 작게 형성되며 상기 밀폐캡(230)의 상측으로 돌출되게 설치된다.The interior portion 223 is connected to an upper end of the second screw portion 222 and has an outer diameter smaller than that of the second screw portion 222 and is installed to protrude upward from the sealing cap 230.

이에 따라, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 통과관(220)의 제1나사부(221)를 이용하여 통과관(220)을 차단막(210)에 용이하게 끼울수 있으며, 통과관(220)의 제2나사부(222)와 내장부(223)의 외경 차이를 이용하여 통과관(220)이 밀폐캡(230)에 끼워지는 위치를 용이하게 설정할 수 있다.Accordingly, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention can easily fit the passage pipe 220 into the blocking film 210 using the first screw portion 221 of the passage pipe 220. In addition, by using the difference in outer diameter between the second screw portion 222 of the passage pipe 220 and the interior portion 223, the position where the passage pipe 220 is fitted into the sealing cap 230 can be easily set.

도 8은 본 발명에 따른 버블발생장치(200)의 통과관(220), 밀폐캡(230), 분산관(240), 밀폐커버(250) 및 안내바(260)를 나타낸 단면도이다. 이 때, 도 8의 점선은 미세입자 및 유해가스의 흐름 방향이다.8 is a cross-sectional view showing the passage pipe 220, the sealing cap 230, the dispersion pipe 240, the sealing cover 250, and the guide bar 260 of the bubble generating device 200 according to the present invention. In this case, the dotted line in FIG. 8 is a flow direction of fine particles and harmful gas.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 버블발생장치(200)는 안내바(260)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 8, the bubble generating device 200 according to the present invention may include a guide bar 260.

상기 안내바(260)는 상기 밀폐커버(250)와 통과관(220) 사이에 설치되며 하면에 웨이브진 구조의 한 쌍의 안내면(261)이 형성되어 상기 통과관(220)을 통과한 미세입자 및 유해가스를 웨이브진 경로로 안내할 수 있다. 이 때, 상기 안내면(261)은 n자형으로 형성될 수 있다.The guide bar 260 is installed between the sealing cover 250 and the passage pipe 220, and a pair of guide surfaces 261 of a wave structure is formed on the lower surface of the fine particles passing through the passage pipe 220 And it is possible to guide the harmful gas to the waved path. In this case, the guide surface 261 may be formed in an n-shape.

이에 따라, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 안내바(260)를 이용하여 미세입자 및 유해가스의 유동경로를 분산홀(242)로 신속하게 안내 함으로써, 미세버블과 세정액의 반응 효율을 극대화시킬 수 있다.Accordingly, the scrubber for fine particle removal and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention quickly guides the flow path of fine particles and harmful gas to the dispersion hole 242 using the guide bar 260, It is possible to maximize the reaction efficiency of the bubble and the cleaning liquid.

도 9는 본 발명에 따른 버블발생장치(200)의 통과관(220), 밀폐캡(230), 분산관(240), 밀폐커버(250), 안내바(260), 제2안내바(260) 및 안내벽(270)을 나타낸 단면도이다. 이 때, 도 9의 점선은 미세입자 및 유해가스의 흐름 방향이다.9 is a passage pipe 220, a sealing cap 230, a dispersion pipe 240, a sealing cover 250, a guide bar 260, a second guide bar 260 of the bubble generating device 200 according to the present invention. ) And the guide wall 270 is a cross-sectional view. In this case, the dotted line in FIG. 9 is a flow direction of fine particles and harmful gas.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 버블발생장치(200)는 상기 통과관(220) 내부가 방사상으로구획되도록 상기 안내바(260)의 하단에 결합되는 안내벽(270)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 9, the bubble generating device 200 according to the present invention includes a guide wall 270 coupled to the lower end of the guide bar 260 so that the inside of the passage tube 220 is radially partitioned. I can.

한편, 도 2를 다시 참조하면, 상기 세정액분사부(500)와 배출구(120) 사이에 설치되어 처리가스의 비산액적을 제거하는 비산액적제거필터(600)가 더 구성될 수 있다.Meanwhile, referring again to FIG. 2, a scattered droplet removing filter 600 may be further configured to be installed between the washing liquid spraying unit 500 and the outlet 120 to remove scattered droplets of the processing gas.

또한, 상기 버블층차단필터(400)와 비산액적제거필터(600)는 상기 하우징(100)의 내부에 설치된 다수의 지주(130)에 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된 슬라이드틀(140)에 삽입되어 수평방향으로 슬라이딩 이동되어 상기 탈착 및 부착이 용이하게 될 수 있으며, 상기 슬라이드틀(140)의 고정은 체결볼트로 할 수 있다.In addition, the bubble layer blocking filter 400 and the scattering droplet removing filter 600 are inserted into a slide frame 140 installed to be slid in a horizontal direction on a plurality of posts 130 installed inside the housing 100. By sliding in the horizontal direction, the detachment and attachment may be facilitated, and the slide frame 140 may be fixed with a fastening bolt.

또한, 상기 하우징(100)은 상기 버블층차단필터(400)의 상태를 확인할수 있도록 상기 버블층차단필터(400)가 설치된 부위의 좌우방항 일면에 관찰창(150)이 설치될 수 있다.In addition, the housing 100 may be provided with a viewing window 150 on one side in the left and right directions of the portion where the bubble layer blocking filter 400 is installed so that the state of the bubble layer blocking filter 400 can be checked.

또한, 상기 버블발생장치(200)는 상기 하우징의 내면에 형성된 슬라이드홈(160)에 슬라이드방식으로 결합되어 교체가 용이할 수 있다.In addition, the bubble generating device 200 may be easily replaced by being coupled to the slide groove 160 formed on the inner surface of the housing in a slide manner.

도 2를 다시 참조하면 상기 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 수위조절장치(700)를 더 포함할 수 있다.Referring back to FIG. 2, the scrubber for removing fine particles and gas treatment using the bubble generating device may further include a water level control device 700.

상기 수위조절장치(700)는 상기 세정액충진부(241)에 슬라이드홈(160)을 통해 연통되어 세정액이 채워지는 수위조절탱크(710)와, 상기 수위조절탱크(710) 내부에 상하방향으로 설치되어 상기 세정액충진부(241)의 세정액 수위를 조절하여 미세버블층의 높이와 압력을 조절하는 월류웨어(720)와, 상기 수위조절탱크(710)에 저장된 세정액에 침전된 슬러지를 배출하는 배출구(730)를 포함한다.The water level control device 700 communicates with the cleaning liquid filling part 241 through a slide groove 160 to be filled with a cleaning liquid, and the water level control tank 710 is installed in the vertical direction. A wall flow ware 720 that adjusts the level of the cleaning liquid in the cleaning liquid filling part 241 to control the height and pressure of the microbubble layer, and an outlet for discharging the sludge deposited in the cleaning liquid stored in the water level control tank 710 ( 730).

이에 따라, 본 발명에 따른 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버는 버블발생장치에 저장된 세정액에 포함된 슬러지가 수위조절장치의 배출구로 배출되어 버블발생장치가 슬러지로 인하여 막히는 것을 차단할 수 있다.Accordingly, the scrubber for fine particle removal and gas treatment using the bubble generating device according to the present invention prevents the sludge contained in the cleaning liquid stored in the bubble generating device from being discharged to the outlet of the water level control device, and thus the bubble generating device is blocked by the sludge. I can.

또한, 상기 유입구(110)와 버블층발생필터(300) 사이 공간이 다수의 격벽에 의해 밀폐형으로 형성되어 상기 유입구(110)와 버블층발생필터(300) 사이 공간에 유동하는 미세먼지와 유해가스의 악취가 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the space between the inlet 110 and the bubble layer generating filter 300 is formed in a sealed form by a plurality of partition walls, so that fine dust and harmful gas flowing in the space between the inlet 110 and the bubble layer generating filter 300 It can prevent the odor of odor from being discharged to the outside.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and of course, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims.

100 : 하우징
110 : 유입구
120 : 배출구
130 : 지주
140 : 슬라이드틀
150 : 관찰창
160 : 슬라이드홈
200 : 버블발생장치
210 : 차단막
220 : 통과관
221 : 제1나사부
222 : 제2나사부
223 : 내장부
230 : 밀폐캡
231 : 밀폐부
240 : 분산관
241 : 세정액충진부
242 : 분산홀
250 : 밀폐커버
260 : 안내바
261 : 안내면
270 : 안내벽
300 : 버블층발생필터
400 : 버블층차단필터
500 : 세정액분사부
600 : 비산액적제거필터
700 : 수위조절장치
710 : 수위조절탱크
720 : 월류웨어
730 : 배출구100: housing
110: inlet
120: outlet
130: holding
140: slide frame
150: observation window
160: slide groove
200: bubble generating device
210: blocking film
220: passing pipe
221: first screw part
222: second screw part
223: internal part
230: sealing cap
231: sealing part
240: dispersion tube
241: cleaning liquid filling part
242: dispersion hole
250: sealed cover
260: information bar
261: guide surface
270: guide wall
300: bubble layer generation filter
400: bubble layer blocking filter
500: washing liquid injection part
600: scattering droplet removal filter
700: water level control device
710: water level control tank
720: Wallyu Wear
730: outlet

Claims (8)

하부에 미세입자 및 유해가스가 유입되는 유입구(110)와, 상부에 처리가스가 배출되는 배출구(120)가 각각 형성되는 하우징(100);
상기 하우징(100)의 내부에 설치되며 하부만 세정액에 잠겨있는 상태로서, 상기 유입구(110)에서 이송된 미세입자 및 유해가스를 상부에서 하부로 유턴하는 경로로 안내하여 하부의 세정액에 의해 기포로 변환시킨 후, 다시 미세버블로 변환시키는 버블발생장치(200);
상기 버블발생장치(200)의 상측에 설치되며 상기 버블발생장치(200)에서 상승하는 미세버블을 포집하여 미세버블층을 형성하는 버블층발생필터(300);
상기 버블층발생필터(300)의 상측에 설치되며 상기 버블층이 형성되는 상하방향 폭을 제한하는 버블층차단필터(400); 및
상기 버블층차단필터(400)의 상측에 설치되며 세정액을 분사하는 세정액분사부(500);를 포함하며,
상기 버블발생장치(200)는,
상기 유입구(110)와 버블층발생필터(300) 사이에 수평하게 설치되어 상기 유입구(110)에서 이송되는 미세입자 및 유해가스를 계류시키며 다수의 끼움홀이 형성되는 차단막(210)과,
상기 끼움홀에 끼워지며 상기 유입구(110)에서 이송된 미세입자 및 유해가스가 상승하는 통과관(220)과,
상단과 하단이 밀폐되며 상기 통과관(220)이 하부에 삽입되며, 하부에 세정액이 잠겨있는 상태로서 상기 통과관을 통과한 미세입자 및 유해가스가 상부에서 하부로 유턴하는 경로로 유입되어 세정액과 함께 기포로 변환되는 세정액충진부(241)와, 하부 외주면에 상기 세정액충진부(241)에서 이송된 기포를 다수의 미세버블로 분산하는 다수의 분산홀(242)이 형성되는 분산관(240)과,
상기 분산관(240)의 하단을 밀폐하며 상기 통과관(220)이 내부에 삽입되는 밀폐캡(230)과,
상기 분산관(240)의 상단에 끼워져서 상기 분산관(240)의 상단을 밀폐하는 밀폐커버(250)와,
상기 밀폐커버(250)와 통과관(220) 사이에 설치되며 하면에 웨이브진 구조의 한 쌍의 안내면(261)이 형성되어 상기 통과관(220)을 통과한 미세입자 및 유해가스를 웨이브진 경로로 안내하는 안내바(260)를 포함하는 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버.
A housing 100 in which an inlet 110 through which fine particles and harmful gas are introduced and an outlet 120 through which processing gas is discharged are formed in the lower portion;
It is installed inside the housing 100 and is a state in which only the lower part is immersed in the cleaning solution, and guides the fine particles and harmful gas transferred from the inlet 110 in a U-turn path from the top to the bottom, and is bubbled by the cleaning solution at the bottom. After converting, the bubble generating device 200 for converting to fine bubbles again;
A bubble layer generating filter 300 installed on the upper side of the bubble generating device 200 and collecting the fine bubbles rising from the bubble generating device 200 to form a fine bubble layer;
A bubble layer blocking filter 400 installed above the bubble layer generating filter 300 and limiting a vertical width in which the bubble layer is formed; And
Includes; a cleaning liquid spraying unit 500 installed on the upper side of the bubble layer blocking filter 400 and spraying the cleaning liquid,
The bubble generating device 200,
A blocking film 210 which is horizontally installed between the inlet 110 and the bubble layer generating filter 300 to moor the fine particles and harmful gases transferred from the inlet 110 and has a plurality of fitting holes,
A passage pipe 220 that is inserted into the fitting hole and through which fine particles and harmful gases transferred from the inlet 110 rise,
The upper and lower ends are sealed, and the through pipe 220 is inserted into the lower part, and the cleaning liquid is immersed in the lower part, and the fine particles and harmful gases that have passed through the through pipe are introduced into the U-turn path from the upper part to the lower part, A dispersion tube 240 in which a cleaning liquid filling part 241 that is converted into bubbles together, and a plurality of dispersion holes 242 for dispersing the bubbles transferred from the cleaning liquid filling part 241 into a plurality of micro bubbles are formed on the lower outer circumferential surface. and,
A sealing cap 230 that seals the lower end of the dispersion tube 240 and into which the passage tube 220 is inserted,
A sealing cover 250 fitted to the top of the dispersion tube 240 to seal the top of the distribution tube 240,
It is installed between the sealing cover 250 and the passage pipe 220, and a pair of guide surfaces 261 of a waved structure are formed on the lower surface to pass through the fine particles and harmful gases that have passed through the passage pipe 220 Scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device including a guide bar 260 to guide to.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 분산홀(242)은,
상기 분산관(240)의 상측으로 경사진 구조로 형성되는 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버.
The method of claim 1, wherein the dispersion hole (242),
A scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device formed in a structure inclined toward the top of the dispersion pipe 240.
 제1항에 있어서, 상기 통과관(220)은,
상기 차단막(210)에 나사결합되기 위한 제1나사부(221)와,
상기 제1나사부(221)의 상단에 연결되며 상기 밀폐캡(230)의 내부에 나사산으로 형성된 밀폐부(231)에 대응하는 나사산으로 형성되어 상기 밀폐부(231)에 나사결합되는 제2나사부(222)와,
상기 제2나사부(222)의 상단에 연결되며 상기 제2나사부(222)보다 외경이 작게 형성되는 내장부(223)를 포함하는 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버.
The method of claim 1, wherein the through tube 220,
A first screw portion 221 to be screwed to the blocking film 210,
A second screw part connected to the upper end of the first screw part 221 and formed with a thread corresponding to the sealing part 231 formed as a thread inside the sealing cap 230 and screwed to the sealing part 231 ( 222) and,
A scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device including an internal part 223 connected to an upper end of the second screw part 222 and having an outer diameter smaller than that of the second screw part 222.
 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 버블발생장치(200)는,
상기 통과관(220) 내부가 방사상으로구획되도록 상기 안내바(260)의 하단에 결합되는 안내벽(270)을 포함하는 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버.
The method of claim 1, wherein the bubble generating device (200),
A scrubber for removing fine particles and gas treatment using a bubble generating device including a guide wall 270 coupled to a lower end of the guide bar 260 so that the inside of the passage pipe 220 is radially partitioned.
 제1항에 있어서,
상기 세정액충진부(241)에 연통되는 수위조절탱크(710)와, 상기 수위조절탱크(710) 내부에 상하방향으로 설치되어 상기 세정액충진부(241)의 세정액 수위를 조절하여 미세버블층의 높이와 압력을 조절하는 월류웨어(720)와, 상기 수위조절탱크(710)에 침전된 슬러지를 배출하는 배출구(730)를 포함하는 수위조절장치(700);를 더 포함하는 버블발생장치를 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버.


The method of claim 1,
The height of the fine bubble layer by controlling the level of the cleaning liquid in the water level control tank 710 and the water level control tank 710 installed in the vertical direction in the cleaning liquid filling part 241 A water level control device 700 including an outlet 730 for discharging the sludge deposited in the water level control tank 710 and a wall flow ware 720 for controlling the pressure and the water level control tank 710; Scrubber for particle removal and gas treatment.
KR1020190039895A 2019-04-05 2019-04-05 Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator KR102176496B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190039895A KR102176496B1 (en) 2019-04-05 2019-04-05 Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190039895A KR102176496B1 (en) 2019-04-05 2019-04-05 Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200117583A KR20200117583A (en) 2020-10-14
KR102176496B1 true KR102176496B1 (en) 2020-11-09

Family

ID=72847538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190039895A KR102176496B1 (en) 2019-04-05 2019-04-05 Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102176496B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102420317B1 (en) * 2022-03-02 2022-07-13 윤창진 Cleaning type deodorizer with jet nozzle to prevent leakage of cleaning liquid
KR102564989B1 (en) * 2023-07-11 2023-08-09 주식회사 엔이엔텍 Apparutus for eliminating dust and odor gas

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101614906B1 (en) * 2015-09-18 2016-04-29 성상규 Air cleaning apparatus for using microbubble
KR101902185B1 (en) * 2017-09-01 2018-09-28 (주)중앙플랜트 Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble layer

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102006156B1 (en) * 2017-01-06 2019-10-02 오성산업(주) The stench removal unit using bubble cap
KR101950868B1 (en) 2018-08-08 2019-02-21 백기동 A wetting type gas scrubber

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101614906B1 (en) * 2015-09-18 2016-04-29 성상규 Air cleaning apparatus for using microbubble
KR101902185B1 (en) * 2017-09-01 2018-09-28 (주)중앙플랜트 Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble layer

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200117583A (en) 2020-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102176496B1 (en) Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble generator
JP2005131509A (en) Waste gas treatment and waste gas treatment method
KR100481256B1 (en) Apparatus and method for point-of-use treatment of effluent gas streams
CN1021020C (en) Method and apparatus for treatment of waste gas containing dusts and chemical contaminants
KR20100016625A (en) Apparatus for treating gas
JP2008534263A (en) Exhaust gas wet purification system
KR101180064B1 (en) Immersion type scrubber
US9616360B2 (en) Gas-liquid separator and polishing apparatus
CN205127613U (en) Wet type dust collection unit
JP2012115735A (en) Exhaust gas treatment apparatus
KR20170006088A (en) Air Purifier with water
KR101902185B1 (en) Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble layer
KR102072734B1 (en) Wet dust collecting unit and apparatus using the same
RU2465037C1 (en) Fibrous filter
KR20140103742A (en) Dust collector
CN101254389B (en) Epitaxial furnace tail gas cleaner
KR101496676B1 (en) An inlet and a reacting system including the same
KR200446764Y1 (en) Wet type scrubber for exhaust gas capable of maintaining liquid level of chamber
JP3223688U (en) Wet scrubber
CN215388367U (en) Dust remover
KR20220147230A (en) Horizontal scrubber using micro bubbles
KR100919817B1 (en) Wet type scrabber for exhaust gas capable of cleaning eliminator easily
JP6234215B2 (en) Air cleaner
CN215027175U (en) Anti-blocking device of wet dust collector
RU2190452C2 (en) Method of cleaning filter housing and filter

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant