KR102160157B1 - 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명의 일 실시예는 기판 상에 배치된 복수의 화소를 포함하며, 상기 복수의 화소에 포함된 각 화소는, 상기 기판 상에 제1 방향을 따라 순차적으로 배치된, 제1 색상의 광을 방출하는 제1 부화소 영역; 상기 제1 색상과 다른 제2 색상의 광을 방출하는 제2 부화소 영역; 상기 제1 색상 및 상기 제2 색상과 다른 제3 색상의 광을 방출하는 제3 부화소 영역; 및 외광이 투과되는 투과 영역;을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 개시한다.
Description
본 발명의 실시예들은 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 그리고 이들 사이에 형성되어 있는 유기 발광층을 포함하는 유기 발광 소자를 구비하며, 정공 주입 전극에서 주입되는 정공과 전자 주입 전극에서 주입되는 전자가 유기 발광층에서 결합하여 생성된 엑시톤(exciton)이 여기 상태(excited state)로부터 기저 상태(ground state)로 떨어지면서 빛을 발생시키는 자발광형 표시 장치이다.
자발광형 표시 장치인 유기 발광 표시 장치는 별도의 광원이 불필요하므로 저전압으로 구동이 가능하고 경량의 박형으로 구성할 수 있으며, 시야각, 콘트라스트(contrast), 응답 속도 등의 특성이 우수하기 때문에 MP3 플레이어나 휴대폰 등과 같은 개인용 휴대기기에서 텔레비전(TV)에 이르기까지 응용 범위가 확대되고 있다.
본 발명의 실시예들은 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 기판 상에 배치된 복수의 화소를 포함하며, 상기 복수의 화소에 포함된 각 화소는, 상기 기판 상에 제1 방향을 따라 순차적으로 배치된, 제1 색상의 광을 방출하는 제1 부화소 영역; 상기 제1 색상과 다른 제2 색상의 광을 방출하는 제2 부화소 영역; 상기 제1 색상 및 상기 제2 색상과 다른 제3 색상의 광을 방출하는 제3 부화소 영역; 및 외광이 투과되는 투과 영역;을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역 각각의 상기 제1 방향에 대한 너비는, 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향에 대한 너비보다 작을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 투과 영역의 상기 제1 방향에 대한 너비는, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역의 상기 제1 방향에 대한 너비보다 클 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역, 상기 제3 부화소 영역 및 상기 투과 영역의 상기 제2 방향에 대한 너비는 실질적으로 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역 각각은 제1 화소 전극, 제2 화소 전극 및 제3 화소 전극을 포함하며, 상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극 상에는 각각 제1 중간층, 제2 중간층 및 제3 중간층이 배치되며, 상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극의 중심부를 노출하는 개구들을 포함하는 화소 정의막 및 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층 상에 공통되도록 배치된 대향 전극을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 화소 정의막 및 상기 대향 전극 중 적어도 하나는 상기 투과 영역에 대응되는 개구를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수의 화소에 포함된 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역, 상기 제3 부화소 영역 및 상기 투과 영역 각각은, 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향을 따라 서로 인접하도록 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층에 각각 배치된 상기 제1 색상, 상기 제2 색상 및 상기 제3 색상의 광을 방출하는 제1 유기 발광층, 제2 유기 발광층, 제3 유기 발광층 및 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층에 공통되도록 배치된 공통층을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 화소 전극은 반사 전극이며, 상기 대향 전극은 투명 또는 반투명 전극일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역은 각각 상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극과 전기적으로 연결된 제1 회로부, 제2 회로부 및 제3 회로부를 포함하며, 상기 제1 회로부, 상기 제2 회로부 및 상기 제3 회로부는 각각 상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극과 평면상 중첩되는 영역에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 기판 상에 배치된 복수 개의 화소를 포함하며, 상기 복수 개의 화소에 포함된 각 화소는, 상기 기판 상에 제1 방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 부화소 영역, 제2 부화소 영역, 제3 부화소 영역 및 투과 영역을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 제1 부화소 영역에 대응되는 제1 개구를 포함하는 제1 마스크를 이용하여, 상기 제1 부화소 영역에 제1 중간층을 형성하는 단계; 상기 제2 부화소 영역에 대응되는 제2 개구를 포함하는 제2 마스크를 이용하여, 상기 제2 부화소 영역에 제2 중간층을 형성하는 단계; 및 상기 제3 부화소 영역에 대응되는 제3 개구를 포함하는 제3 마스크를 이용하여, 상기 제2 부화소 영역에 제3 중간층을 형성하는 단계;를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 마스크, 상기 제2 마스크 및 상기 제3 마스크는 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향에 있어서, 상기 기판보다 작게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 중간층을 형성하는 단계는 상기 기판과 상기 제1 마스크 중 적어도 하나를 상기 제2 방향을 따라 이동시키면서 제1 중간층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제2 중간층을 형성하는 단계는 상기 기판과 상기 제2 마스크 중 적어도 하나를 상기 제2 방향을 따라 이동시키면서 제2 중간층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제3 중간층을 형성하는 단계는 상기 기판과 상기 제3 마스크 중 적어도 하나를 상기 제2 방향을 따라 이동시키면서 제3 중간층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 마스크, 상기 제2 마스크 및 상기 제3 마스크는 각각 상기 제1 방향을 따라 배치된 상기 복수 개의 화소에 포함된 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역에 대응되는 복수 개의 제1 개구들, 제2 개구들 및 제3 개구들을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 마스크, 상기 제2 마스크 및 상기 제3 마스크는 각각 상기 투과 영역에 대응되는 차단부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역에 대응되는 제4 개구를 포함하는 공통 마스크를 이용하여, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역에 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층에 공통되도록 포함된 공통층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 공통 마스크는 상기 투과 영역에 대응되는 차단부를 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명은, 정렬(alignment) 공차가 작은 슬릿형 마스크를 사용하여 중간층을 증착할 수 있으며, 높은 투명도를 가질 수 있는 화소 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1의 유기 발광 표시 장치에 포함된 일 화소를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2에서 III-III' 선을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 1의 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 7은 도 1의 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법에서 사용되는 마스크를 순차적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1의 유기 발광 표시 장치에 포함된 일 화소를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2에서 III-III' 선을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 1의 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 7은 도 1의 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법에서 사용되는 마스크를 순차적으로 나타낸 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1의 유기 발광 표시 장치에 포함된 일 화소를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)는 복수의 화소(P)를 포함하며, 복수의 화소(P)에 포함된 각 화소(P)는, 제1 방향(X)을 따라 순차적으로 배치된, 제1 색상의 광을 방출하는 제1 부화소 영역(Pr), 제1 색상과 다른 제2 색상의 광을 방출하는 제2 부화소 영역(Pg), 제1 색상 및 제2 색상과 다른 제3 색상의 광을 방출하는 제3 부화소 영역(Pb) 및 외광이 투과되는 투과 영역(TA)을 포함한다.
즉, 투과 영역(TA)은 제3 부화소 영역(Pb)에만 인접하도록 배치되며, 제1 부화소 영역(Pr)과 투과 영역(TA)의 사이에는 제2 부화소 영역(Pg) 과 제3 부화소 영역(Pb)이 배치될 수 있다.
복수의 화소(P)는 기판(도 3, 110) 상에 행렬 형태로 배열될 수 있으며, 해상도에 따라 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)을 따라 소정의 수의 화소(P)가 배치될 수 있다. 제1 방향(X)은 도 1의 유기 발광 표시 장치(100)의 단변 방향이며, 제2 방향(Y)은 제1 방향(X)과 실질적으로 수직이며 유기 발광 표시 장치(100)의 장변 방향일 수 있다.
제2 방향(Y)을 따라 배치된 복수의 화소(P)에 포함된 제1 부화소 영역(Pr)은 제2 방향(Y)을 따라 서로 인접하도록 배치될 수 있다. 마찬가지로, 제2 부화소 영역(Pg), 제3 부화소 영역(Pb) 및 투과 영역(TA) 각각은 제2 방향(Y)을 따라 서로 인접하도록 배치될 수 있으며, 각 화소(P)에 포함된 투과 영역(TA)은 제1 방향(X)에 대하여 인접하게 배치된 다른 화소(P)의 제1 부화소 영역(Pr)과 인접하도록 배치될 수 있다.
제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg) 및 제3 부화소 영역(Pb) 각각의 제1 방향(X)에 대한 너비(L1r, L1g, L1b)는 제2 방향(Y)에 대한 너비(L2r, L2g, L2b)보다 작을 수 있으며, 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg), 제3 부화소 영역(Pb) 및 투과 영역(TA)의 제2 방향(Y)에 대한 너비(L2r, L2g, L2b, L2t)는 실질적으로 동일할 수 있다.
즉, 투과 영역(TA)이 차지하는 면적을 충분히 확보하기 위하여, 투과 영역(TA)은 제3 부화소 영역(Pb)의 긴 변에 인접하게 배치되며, 투과 영역(TA)의 제3 부화소 영역(Pb)에 인접하지 않은 변은 각 화소(P)의 크기에 따라 임의로 조절할 수 있다. 유기 발광 표시 장치(100)의 투명도를 높이기 위하여, 투과 영역(TA)의 제1 방향(X)에 대한 너비(L1t)은 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg) 및 제3 부화소 영역(Pb)의 제1 방향(X)에 대한 너비(L1r, L1g, L1b)보다 클 수 있다.
제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb) 각각은 서로 다른 제1 색상 내지 제3 색상의 광을 방출할 수 있으며, 제1 색상 내지 제3 색상 각각은 예를 들면, 적색, 녹색 및 청색일 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 제한되지 않으며 제1 색상 내지 제3 색상은 조합에 의해 백색광을 구현할 수 있다면 어떠한 조합도 가능하다.
제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)은 각각 제1 회로부(PCr), 제2 회로부(PCg) 및 제3 회소부(PCb)를 포함할 수 있으며, 제1 내지 제3 회로부(PCr, PCg, PCb)는 각각 제1 내지 제3 화소 전극(도 3, 130a, 130b, 130c)와 평면상 중첩되는 영역에 배치될 수 있다.
도 3은 도 2에서 III-III' 선을 따라 취한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)는, 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg), 제3 부화소 영역(Pb) 및 투과 영역(TA)으로 구획된 기판(110)을 포함하며, 기판(110) 상의 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg) 및 제3 부화소 영역(Pb)에는 각각 제1 화소 전극(130a), 제2 화소 전극(130b) 및 제3 화소 전극(130c)이 배치되며, 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c) 상에는 각각 제1 중간층(140a), 제2 중간층(140b) 및 제3 중간층(140c)이 배치될 수 있다.
제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)dms 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)의 중심부를 노출하는 개구들을 포함하는 화소 정의막(160)에 의해 구획되어 있으며, 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c) 상에는 대향 전극(150)이 공통적으로 배치될 수 있다.
제3 부화소 영역(Pb)에 인접한 영역에는 외광을 투과시키는 투과 영역(TA)이 배치되며, 대향 전극(150) 및 화소 정의막(160)은 각각 투과 영역(TA)에 대응되는 개구(Ca, Cb)를 포함할 수 있다.
상기 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)은 반사층을 포함하는 반사 전극일 수 있다. 예를 들면, 반사층은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir) 및 크롬(Cr)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있으며, 반사층 상에는 인듐틴옥사이드(ITO: indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO: indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO: zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3: indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO: indium galium oxide) 및 알루미늄징크옥사이드(AZO: aluminium zinc oxide)를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나로 형성된 투명 또는 반투명 전극층이 더 배치될 수 있다.
예를 들면, 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)은 ITO/Ag/ITO의 3개의 층으로 구성될 수 있으며, 은(Ag) 층의 두께를 1000Å 이상으로 형성함으로써, 반사율을 높일 수 있다.
상기 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)은 각각 제1 색상, 제2 색상 및제3 색상의 광을 방출하는 제1 유기 발광층(142a), 제2 유기 발광층(142b) 및 제3 유기 발광층(142c)을 포함할 수 있으며, 그 외에 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)에 공통되도록 배치된 공통층을 포함할 수 있다.
공통층은, 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)과 제1 내지 제3 유기 발광층(142a, 142b, 142c) 사이에 배치된 제1 공통층(141a, 141b, 141c)과 대향 전극(150)과 제1 내지 제3 유기 발광층(142a, 142b, 142c) 사이에 배치된 제2 공통층(143a, 143b, 143c)을 포함할 수 있다.
제1 공통층(141a, 141b, 141c)은 정공 주입층(HIL: hole injection layer) 및/또는 정공 수송층(HTL: hole transport layer)을 포함할 수 있으며, 제2 공통층(143a, 143b, 143c)은 전자 수송층(ETL: electron transport layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: electron injection layer)을 포함할 수 있다.
그러나, 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)은 각각 제1 내지 제3 유기 발광층(142a, 142b, 142c)을 포함하면서, 기타 다양한 기능층을 더 구비할 수 있다.
상기 제1 색상 내지 제3 색상은 각각 적색, 녹색 및 청색일 수 있다. 그러나, 적색, 녹색, 청색은 하나의 예시로서, 본 실시예는 이에 한정되지 않는다. 즉, 백색의 광을 방출할 수 있다면 적색, 녹색 및 청색의 조합 외에 기타 다양한 색의 조합을 이용할 수 있음은 물론이다.
상기 대향 전극(150)은 투명 또는 반투명 전극으로 구성될 수 있으며, 은(Ag), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 리튬(Li), 칼슘(Ca), 구리(Cu), LiF/Ca, LiF/Al, MgAg 및 CaAg에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있으며, 수 내지 수십 nm의 두께를 갖는 박막으로 형성될 수 있다.
제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140b)에 포함된 제1 내지 제3 유기 발광층(142a, 142b, 142c)에서 방출된 광은 직접 또는 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)에 의해 반사되어 대향 전극(150) 방향으로 방출될 수 있다. 즉, 본 실시예의 유기 발광 표시 장치(100)는 전면 발광형일 수 있다.
상기 제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)은 각각 제1 내지 제3 회로부(도 2, PCr, PCg, PCb)를 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 회로부(PCr, PCg, PCb)는 각각 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)과 전기적으로 연결된 제1 박막 트랜지스터(TFTa), 제2 박막 트랜지스터(TFTb) 및 제3 박막 트랜지스터(TFTc)을 포함하며, 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)과 평면상 중첩된 영역에 배치될 수 있다.
제1 내지 제3 박막 트랜지스터(TFTa, TFTb, TFTc)는 각각 활성층(112a, 112b, 112c), 게이트 전극(114a, 114b, 114c), 소스 전극(116a, 116b, 116c) 및 드레인 전극(117a, 117b, 117c)을 포함할 수 있다.
기판(110)과 활성층(112a, 112 b, 112c) 사이에는 제1 절연층(111), 활성층(112a, 112b, 112c)과 게이트 전극(114a, 114b, 114c) 사이에는 제2 절연층(113), 게이트 전극(114a, 114b, 114c) 상에는 제3 절연층(115), 소스 전극(116a, 116b, 116c) 및 드레인 전극(117a, 117b, 117c) 상에는 제4 절연층(120)이 배치될 수 있다.
상기 제1 내지 제4 절연층(111, 113, 115, 120)은 광을 투과시키는 물질로 형성되며, 따라서, 투과 영역(TA)은 외광에 대하여 높은 투명도를 가질 수 있다.
제1 내지 제3 회로부(PCr, PCg, PCb)를 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)과 중첩되는 영역에 배치함으로써, 제1 내지 제3 회로부(PCr, PCg, PCb)를 배치하기 위한 별도의 공간을 마련할 필요가 없어 고해상도 구현이 용이하며, 유기 발광 표시 장치(100)의 투명도를 높일 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 4를 참조하면, 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(200)는 복수의 화소(P)를 포함하며, 복수의 화소(P)에 포함된 각 화소(P)는, 제1 방향(X)을 따라 순차적으로 배치된, 제1 색상의 광을 방출하는 제1 부화소 영역(Pr), 제1 색상과 다른 제2 색상의 광을 방출하는 제2 부화소 영역(Pg), 제1 색상 및 제2 색상과 다른 제3 색상의 광을 방출하는 제3 부화소 영역(Pb) 및 외광이 투과되는 투과 영역(TA)을 포함한다.
도 4의 유기 발광 표시 장치(200)는, 도 1의 유기 발광 표시 장치(100)과 다른 구성은 모두 동일하며, 제1 방향(X)이 유기 발광 표시 장치(200)의 장변 방향이며, 제2 방향(Y)이 유기 발광 표시 장치(200)의 단변 방향이라는 차이만 존재한다.
즉, 각 화소(P)에 포함된 제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb) 및 투과 영역(TA)은 유기 발광 표시 장치(200)의 장변 방향을 따라 순차적으로 배치되며, 제2 방향(Y), 즉 유기 발광 표시 장치(200)의 단변 방향을 따라 배치된 복수의 화소(P)에 포함된 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg), 제3 부화소 영역(Pb) 및 투과 영역(TA) 각각은 서로 인접하도록 배치될 수 있다.
상기 구성에 의해, 유기 발광 표시 장치(200)에 중간층을 증착하는 시간을 단축시킬 수 있다. 이에 관해서는 후술한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하면, 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(300)는 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg), 제3 부화소 영역(Pb) 및 투과 영역(TA)으로 구획된 기판(310)을 포함하며, 기판(310) 상의 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg) 및 제3 부화소 영역(Pb)에는 각각 제1 화소 전극(330a), 제2 화소 전극(330b) 및 제3 화소 전극(330c)이 배치되며, 제1 내지 제3 화소 전극(330a, 330b, 330c) 상에는 각각 제1 중간층(340a), 제2 중간층(340b) 및 제3 중간층(340c)이 배치될 수 있다.
제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)은 제1 내지 제3 화소 전극(330a, 330b, 330c)의 중심부를 노출하는 개구들을 포함하는 화소 정의막(360)에 의해 구획되어 있으며, 제1 내지 제3 중간층(340a, 340b, 340c) 상에는 대향 전극(350)이 공통적으로 배치될 수 있다.
제3 부화소 영역(Pb)에 인접한 영역에는 외광을 투과시키는 투과 영역(TA)이 배치되며, 대향 전극(350)은 투과 영역(TA)에 대응되는 개구(Ca)를 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 화소 전극(330a, 330b, 330c)은 투명 또는 반투명 전극일 수 있으며, 인듐틴옥사이드(ITO: indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO: indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO: zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3: indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO: indium galium oxide) 및 알루미늄징크옥사이드(AZO: aluminium zinc oxide)를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 화소 전극(330a, 330b, 330c)은 상기 투명 도전성 산화물 이외에, 대향 전극(150)과 함께 미세 공진 구조(microcavity)를 형성하기 위한 반투과층(미도시)을 더 포함할 수 있으며, 반투과층은 수 내지 수십 nm의 박막으로 형성된 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca, 및 Yb를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 중간층(340a, 340b, 340c)은 유기 발광층(emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(hole injection layer), 정공 수송층(HTL: hole transport layer), 전자 수송층(ETL: electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL: electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.
상기 대향 전극(150)은 반사 전극으로 구성될 수 있으며, Ag, Al, Mg, Li, Ca, Cu, LiF/Ca, LiF/Al, MgAg 및 CaAg를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)은 적색, 녹색 또는 청색 등의 광을 방출하며, 직접 또는 대향 전극(150)에 의해 반사되어 투명 또는 반투명 전극인 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)을 투과하여 기판(310) 측으로 방출될 수 있다.
즉, 본 실시예의 유기 발광 표시 장치(300)는 기판(310) 측으로 광을 방출하는 배면 발광형일 수 있다.
기판(310)과 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c) 사이에는 절연층(320)이 배치될 수 있으며, 도시하진 않았지만 각 부화소들을 구동하는 회로부는 방출되지 광의 경로를 방해하지 않도록 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)과 평면상 중첩되지 않는 영역에 배치될 수 있다.
상기 기판(310), 절연층(320) 및 화소 정의막(360)은 투명한 물질로 형성될 수 있으며, 따라서 투과 영역(TA)에서 외광의 투과도를 높일 수 있다.
도 6은 도 1의 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법을 개략적으로 나타낸 개념도이고, 도 7은 도 1의 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법에서 사용되는 마스크를 순차적으로 나타낸 평면도이다.
이하, 도 1, 도 3, 도 6 및 도 7을 참조하여 도 1의 유기 발광 표시 장치(100)를 제조하는 방법에 관하여 설명한다.
도 6은 기판(110) 상에 배치된 복수 개의 화소(P)를 포함하며, 각 화소(P)는 제1 방향(X)을 따라 순차적으로 배치된 제1 부화소 영역(Pr), 제2 부화소 영역(Pg), 제3 부화소 영역(Pb) 및 투과 영역(TA)을 포함하는 유기 발광 표시 장치(100)를 제조하는 방법에 있어서, 제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)에 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)을 형성하기 위한 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
제1 내지 제3 회로부(PCr, PCg, PCb), 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c) 및 투과 영역(TA)에 대응되는 개구(Cb)를 포함하는 화소 정의막(160)이 형성된 기판(110)을, 증착하고자 하는 면이 증착원(10)을 향하도록 배치하고, 증착원(10)과 기판(110) 사이에는 도 7의 제1 마스크(M1), 제2 마스크(M2), 제3 마스크(M3) 또는 공통 마스크(Mc)를 배치한다.
증착원(10)은 복수 개의 노즐부(11)를 구비하며, 상기 노즐부(11)는 기판(110) 방향으로 증착 물질을 방사할 수 있다.
상기 제1 내지 제3 마스크(M1, M2, M3) 및 공통 마스크(Mc)는 제2 방향(Y)에 있어서, 기판(110)보다 작게 형성될 수 있다. 즉, 기판(110)의 제2 방향(Y)에 대한 너비(Ws)는 제1 내지 제3 마스크(M1, M2, M3) 및 공통 마스크(Mc)의 제2 방향(Y)에 대한 너비(Wm)보다 클 수 있다.
유기 발광 표시 장치(100)에 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)를 형성하는 단계를 순차적으로 살펴보면, 제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)에 대응되는 제4 개구(C4)를 포함하는 공통 마스크(Mc)를 이용하여, 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)에 공통되도록 제1 내지 제3 화소 전극(130a, 130b, 130c)과 제1 내지 제3 유기 발광층(142a, 142b, 142c)의 사이에 배치된 제1 공통층(141a, 141b, 141c)를 형성할 수 있다.
즉, 노즐부(11)로부터 제1 공통층(141a, 141b, 141c)을 형성하기 위한 물질을 방사하고, 기판(110)을 제2 방향(Y)을 따라 이동시키면서, 유기 발광 표시 장치(100)에 포함된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)에 제1 공통층(141a, 141b, 141c)을 형성할 수 있다.
제1 공통층(141a, 141b, 141c)은 정공 주입층 및/또는 정공 수송층을 포함할 수 있으며, 공통 마스크(Mc)는 투과 영역(TA)에 대응되는 차단부(BP4)를 포함할 수 있다.
제1 공통층(141a, 141b, 141c)을 형성한 후, 제1 부화소 영역(Pr)에 대응되는 제1 개구(C1)를 포함하는 제1 마스크(M1)를 이용하여 제1 부화소 영역(Pr)에 제1 중간층(140a)에 포함된 제1 유기 발광층(142a)을 형성할 수 있다.
즉, 노즐부(11)로부터 제1 색상의 광을 방출하는 제1 유기 발광층(142a)을 형성하기 위한 물질을 방사하고, 기판(110)을 제2 방향(Y)을 따라 이동시키면서, 유기 발광 표시 장치(100)에 포함된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제1 부화소 영역(Pr)에 제1 유기 발광층(142a)을 형성할 수 있다.
제1 마스크(M1)는 제1 방향(X)을 따라 배치된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제1 부화소 영역(Pr)에 대응되는 복수 개의 제1 개구(C1) 및 적어도 일부가 투과 영역(TA)에 대응되는 차단부(BP1)를 포함할 수 있다.
제1 유기 발광층(142a)을 형성한 후, 제2 부화소 영역(Pg)에 대응되는 제2 개구(C2)를 포함하는 제2 마스크(M2)를 이용하여 제2 부화소 영역(Pg)에 제2 중간층(140b)에 포함된 제2 유기 발광층(142b)을 형성할 수 있다.
즉, 노즐부(11)로부터 제2 색상의 광을 방출하는 제2 유기 발광층(142b)을 형성하기 위한 물질을 방사하고, 기판(110)을 제2 방향(Y)을 따라 이동시키면서, 유기 발광 표시 장치(100)에 포함된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제2 부화소 영역(Pg)에 제2 유기 발광층(142b)을 형성할 수 있다.
제2 마스크(M2)는 제1 방향(X)을 따라 배치된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제2 부화소 영역(Pg)에 대응되는 복수 개의 제2 개구(C2) 및 적어도 일부가 투과 영역(TA)에 대응되는 차단부(BP2)를 포함할 수 있다.
제2 유기 발광층(142b)을 형성한 후, 제3 부화소 영역(Pb)에 대응되는 제3 개구(C3)를 포함하는 제3 마스크(M3)를 이용하여 제3 부화소 영역(Pb)에 제3 중간층(140c)에 포함된 제3 유기 발광층(142c)을 형성할 수 있다.
즉, 노즐부(11)로부터 제3 색상의 광을 방출하는 제3 유기 발광층(142c)을 형성하기 위한 물질을 방사하고, 기판(110)을 제2 방향(Y)을 따라 이동시키면서, 유기 발광 표시 장치(100)에 포함된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제3 부화소 영역(Pb)에 제3 유기 발광층(142c)을 형성할 수 있다.
제3 마스크(M3)는 제1 방향(X)을 따라 배치된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제3 부화소 영역(Pb)에 대응되는 복수 개의 제3 개구(C3) 및 적어도 일부가 투과 영역(TA)에 대응되는 차단부(BP3)를 포함할 수 있다.
제3 유기 발광층(142c)을 형성한 후, 다시 상기 공통 마스크(Mc)를 이용하여, 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)에 공통되도록 제1 내지 제3 유기 발광층(142a, 142b, 142c)과 대향 전극(150)의 사이에 배치된 제2 공통층(143a, 143b, 143c)을 형성할 수 있다.
즉, 노즐부(11)로부터 제2 공통층(143a, 143b, 143c)을 형성하기 위한 물질을 방사하고, 기판(110)을 제2 방향(Y)을 따라 이동시키면서, 유기 발광 표시 장치(100)에 포함된 복수 개의 화소(P)에 포함된 제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)에 제2 공통층(143a, 143b, 143c)을 형성할 수 있다.
제2 공통층(143a, 143b, 143c)은 전자 주입층 및/또는 전자 수송층을 포함할 수 있다.
본 실시예의 유기 발광 표시 장치(100)의 제조 방법은, 기판(110)을 증착원(10) 및 제1 마스크(M1) 등에 대하여 이동시키는 경우를 예시하였지만, 본 발명은 이에 제한되지 않으며, 기판(110)은 고정되어 있고, 증착원(10) 및/또는 제1 마스크(M1) 등이 이동하면서 기판(110) 상에 증착을 수행할 수 있다.
또한, 상기 제1 공통층(141a, 141b, 141c) 및 제2 공통층(143a, 143b, 143c)을 형성하는 단계 중 적어도 하나는, 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)의 구성에 따라 생략될 수 있다.
상기 제1 내지 제3 마스크(M1, M2, M3) 및 공통 마스크(Mc)는 제1 방향(X)에 대하여 기판(110)과 동일한 크기를 가질 수 있으며, 제2 방향(Y)에 대하여는 기판(110)보다 작은 너비(Wm)를 가질 수 있다. 따라서, 제1 내지 제3 마스크(M1, M2, M3) 및 공통 마스크(Mc)를 이용하여, 복수 개의 화소(P)에 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)을 형성하는 경우 기판(110)을 제2 방향(Y)을 따라 이동시키면서 증착을 수행할 수 있다.
도 1의 유기 발광 표시 장치(100)는 제1 방향(X)에 따른 길이가 제2 방향(Y)에 따른 길이보다 짧으며, 따라서 제1 내지 제3 중간층(140a, 140b, 140c)을 증착하기 위하여, 상대적으로 작은 크기의 마스크를 사용하지만, 기판(110)을 이동시키는 거리가 증가할 수 있으며, 따라서 공정 시간이 증가하고, 사용되는 증착 물질의 양이 증가할 수 있다.
이에 반해, 도 4의 유기 발광 표시 장치(200)는 제1 방향(X)에 따른 길이가 제2 방향(Y)에 따른 길이보다 길기 때문에, 사용되는 마스크(미도시)의 크기는 커질 수 있으나, 중간층(미도시)을 증착하기 위하여 기판(미도시)을 이동시키는 거리가 짧아질 수 있다. 따라서, 공정 시간이 단축되며, 사용되는 증착 물질의 양이 감소할 수 있다.
또한, 도 6 및 도 7은 제2 방향(Y)에 대하여 제1 마스크(M1) 등의 너비(Wm)가 기판(110)의 너비(Ws)보다 작은 경우를 예시하였지만, 본 발명은 이에 제한되지 않으며, 제1 내지 제3 마스크(M1, M2, M3) 및 공통 마스크(Mc)는 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)에 대하여 기판(110)과 동일한 크기를 가질 수 있다.
이 경우, 제1 마스크(M1)는 복수 개의 화소(P)에 포함되며, 제2 방향을 따라 서로 인접하게 배치된 제1 부화소 영역(Pr)을 모두 포함하는 슬릿 형태의 개구를 포함할 수 있다. 제2 마스크(M2), 제3 마스크(M3) 및 공통 마스크(Mc) 또한 유사한 구성을 가질 수 있다.
상술한 실시예들에 관한 유기 발광 표시 장치들(100, 200, 300)은, 슬릿 형태의 제1 내지 제3 마스크(M1, M2, M3) 및 공통 마스크(Mc)를 사용하여, 중간층을 증착하더라고, 투과 영역(TA)이 제1 내지 제3 부화소 영역(Pr, Pg, Pb)에 대하여 제1 내지 제3 마스크(M1, M2, M3) 및 공통 마스크(Mc)에 포함된 슬릿 형태의 개구의 연장 방향 및/또는 증착시 기판의 이동 방향, 즉 제2 방향(Y)에 배치되어 있지 않으므로, 투과 영역(TA)에는 중간층이 증착되지 않아 유기 발광 표시 장치들(100, 200, 300)의 투명도를 증가시킬 수 있다.
슬릿 형태의 마스크는 점(dot) 형태의 마스크에 비하여, 정렬(alignment) 공차가 작으므로, 슬릿 형태의 마스크를 이용하여 상기 유기 발광 표시 장치들(100, 200, 300)을 제조함으로써, 유기 발광 표시 장치들(100, 200,300)의 품질을 향상시킬 수 있다.
기판의 크기보다 작은 마스크를 이용하고, 기판을 마스크에 대하여 상대적으로 이동시킴으로써 중간층을 증착함으로써, 대형 기판의 제조 수율 및 증착 효율을 향상시킬 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100, 200, 300: 유기 발광 표시 장치
110, 310: 기판 120: 절연층
130a, 330a: 제1 화소 전극 130b, 330b: 제2 화소 전극
130c, 330c: 제3 화소 전극 140a, 340a: 제1 중간층
140b, 340b: 제2 중간층 140c, 340c: 제3 중간층
141a, 141b, 141c: 제1 공통층 142a: 제1 유기 발광층
142b: 제2 유기 발광층 142c: 제3 유기 발광층
143a, 143b, 143c: 제2 공통층 150, 350: 대향 전극
160, 360: 화소 정의막
110, 310: 기판 120: 절연층
130a, 330a: 제1 화소 전극 130b, 330b: 제2 화소 전극
130c, 330c: 제3 화소 전극 140a, 340a: 제1 중간층
140b, 340b: 제2 중간층 140c, 340c: 제3 중간층
141a, 141b, 141c: 제1 공통층 142a: 제1 유기 발광층
142b: 제2 유기 발광층 142c: 제3 유기 발광층
143a, 143b, 143c: 제2 공통층 150, 350: 대향 전극
160, 360: 화소 정의막
Claims (17)
- 기판 상에 배치된 복수의 화소를 포함하며,
상기 복수의 화소에 포함된 각 화소는, 상기 기판 상에 제1 방향을 따라 순차적으로 배치된,
제1 색상의 광을 방출하는 제1 부화소 영역;
상기 제1 색상과 다른 제2 색상의 광을 방출하는 제2 부화소 영역;
상기 제1 색상 및 상기 제2 색상과 다른 제3 색상의 광을 방출하는 제3 부화소 영역; 및
외광이 투과되는 투과 영역;을 포함하고,
상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역은 인접한 제1 부화소 영역, 제2 부화소 영역 및 제3 부화소 영역과 상기 제1 방향을 따라 상기 투과 영역에 의해 분리되며,
상기 복수의 화소에 포함된 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역, 상기 제3 부화소 영역 및 복수의 상기 투과 영역 각각은, 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향을 따라 서로 인접하도록 배치되는 유기 발광 표시 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역 각각의 상기 제1 방향에 대한 너비는, 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향에 대한 너비보다 작은 유기 발광 표시 장치. - 제2 항에 있어서,
상기 투과 영역의 상기 제1 방향에 대한 너비는, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역의 상기 제1 방향에 대한 너비보다 큰 유기 발광 표시 장치. - 제2 항에 있어서,
상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역, 상기 제3 부화소 영역 및 상기 투과 영역의 상기 제2 방향에 대한 너비는 실질적으로 동일한 유기 발광 표시 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역 각각은 제1 화소 전극, 제2 화소 전극 및 제3 화소 전극을 포함하며, 상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극 상에는 각각 제1 중간층, 제2 중간층 및 제3 중간층이 배치되며,
상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극의 중심부를 노출하는 개구들을 포함하는 화소 정의막 및 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층 상에 공통되도록 배치된 대향 전극을 포함하는 유기 발광 표시 장치. - 제5 항에 있어서,
상기 화소 정의막 및 상기 대향 전극 중 적어도 하나는 상기 투과 영역에 대응되는 개구를 포함하는 유기 발광 표시 장치. - 삭제
- 제5 항에 있어서,
상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층은, 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층에 각각 배치된 상기 제1 색상, 상기 제2 색상 및 상기 제3 색상의 광을 방출하는 제1 유기 발광층, 제2 유기 발광층, 제3 유기 발광층 및 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층에 공통되도록 배치된 공통층을 포함하는 유기 발광 표시 장치. - 제5 항에 있어서,
상기 화소 전극은 반사 전극이며, 상기 대향 전극은 투명 또는 반투명 전극인 유기 발광 표시 장치. - 제9 항에 있어서,
상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역은 각각 상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극과 전기적으로 연결된 제1 회로부, 제2 회로부 및 제3 회로부를 포함하며, 상기 제1 회로부, 상기 제2 회로부 및 상기 제3 회로부는 각각 상기 제1 화소 전극, 상기 제2 화소 전극 및 상기 제3 화소 전극과 평면상 중첩되는 영역에 배치된 유기 발광 표시 장치. - 기판 상에 배치된 복수 개의 화소를 포함하며, 상기 복수 개의 화소에 포함된 각 화소는, 상기 기판 상에 제1 방향을 따라 순차적으로 배치된 제1 부화소 영역, 제2 부화소 영역, 제3 부화소 영역 및 투과 영역을 포함하고,
상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역은 인접한 제1 부화소 영역, 제2 부화소 영역 및 제3 부화소 영역과 상기 제1 방향을 따라 상기 투과 영역에 의해 분리되며,
상기 복수의 화소에 포함된 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역, 상기 제3 부화소 영역 및 복수의 상기 투과 영역 각각은, 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향을 따라 서로 인접하도록 배치되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
상기 제1 부화소 영역에 대응되는 제1 개구를 포함하는 제1 마스크를 이용하여, 상기 제1 부화소 영역에 제1 중간층을 형성하는 단계;
상기 제2 부화소 영역에 대응되는 제2 개구를 포함하는 제2 마스크를 이용하여, 상기 제2 부화소 영역에 제2 중간층을 형성하는 단계; 및
상기 제3 부화소 영역에 대응되는 제3 개구를 포함하는 제3 마스크를 이용하여, 상기 제3 부화소 영역에 제3 중간층을 형성하는 단계;를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11 항에 있어서,
상기 제1 마스크, 상기 제2 마스크 및 상기 제3 마스크는 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향에 있어서, 상기 기판보다 작게 형성된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 중간층을 형성하는 단계는 상기 기판과 상기 제1 마스크 중 적어도 하나를 상기 제2 방향을 따라 이동시키면서 제1 중간층을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 제2 중간층을 형성하는 단계는 상기 기판과 상기 제2 마스크 중 적어도 하나를 상기 제2 방향을 따라 이동시키면서 제2 중간층을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 제3 중간층을 형성하는 단계는 상기 기판과 상기 제3 마스크 중 적어도 하나를 상기 제2 방향을 따라 이동시키면서 제3 중간층을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11 항에 있어서,
상기 제1 마스크, 상기 제2 마스크 및 상기 제3 마스크는 각각 상기 제1 방향을 따라 배치된 상기 복수 개의 화소에 포함된 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역에 대응되는 복수 개의 제1 개구들, 제2 개구들 및 제3 개구들을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11 항에 있어서,
상기 제1 마스크, 상기 제2 마스크 및 상기 제3 마스크는 각각 적어도 일부가 상기 투과 영역에 대응되는 차단부를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제11 항에 있어서,
상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역에 대응되는 제4 개구를 포함하는 공통 마스크를 이용하여, 상기 제1 부화소 영역, 상기 제2 부화소 영역 및 상기 제3 부화소 영역에 상기 제1 중간층, 상기 제2 중간층 및 상기 제3 중간층에 공통되도록 포함된 공통층을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제16 항에 있어서,
상기 공통 마스크는 상기 투과 영역에 대응되는 차단부를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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