KR102156588B1 - Flexible display device and method for manufacturing of the saem - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 플라스틱 기판, 상기 플라스틱 기판 상에 위치하는 접착층, 상기 접착층 상에 위치하는 멀티 버퍼층, 상기 멀티 버퍼층 상에 위치하는 제1 절연막, 상기 제1 절연막의 제1 오목부에 채워진 게이트 전극, 상기 제1 절연막 상에 위치하는 제2 절연막, 상기 제2 절연막의 제2 오목부에 채워진 소스 전극 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 상에 위치하는 반도체층, 상기 반도체층 상에 위치하는 제3 절연막, 상기 제3 절연막의 제3 오목부에 채워진 차광층 및 상기 제3 절연막의 볼록부에 위치하며 상기 드레인 전극과 연결된 화소 전극, 상기 차광층 및 화소 전극 상에 위치하는 제4 절연막, 상기 화소 전극 상에 위치하는 유기 발광층, 및 상기 유기 발광층 상에 위치하는 대향 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.A flexible display device according to an embodiment of the present invention includes a plastic substrate, an adhesive layer on the plastic substrate, a multi-buffer layer on the adhesive layer, a first insulating layer on the multi-buffer layer, and the first insulating layer. 1 A gate electrode filled in the concave portion, a second insulating layer disposed on the first insulating layer, a source electrode and a drain electrode filled in the second concave portion of the second insulating layer, and a semiconductor layer disposed on the source electrode and drain electrode , A third insulating layer on the semiconductor layer, a light blocking layer filled in a third concave portion of the third insulating layer, and a pixel electrode located on a convex portion of the third insulating layer and connected to the drain electrode, the light blocking layer, and the pixel electrode And a fourth insulating layer on the upper side, an organic emission layer on the pixel electrode, and a counter electrode on the organic emission layer.

Description

플렉서블 표시장치 및 그 제조방법{FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING OF THE SAEM}Flexible display device and its manufacturing method {FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING OF THE SAEM}

본 발명은 마스크 공정과 전사 공정을 줄여 공정을 단순화하고 소자의 효율 및 수명을 향상시킬 수 있는 플렉서블 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a flexible display device capable of simplifying a process by reducing a mask process and a transfer process and improving the efficiency and life of a device, and a method of manufacturing the same.

근래에, 표시장치(Display Device)는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display: FED), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display Device: OLED), 전기영동디스플레이(Electrophoretic Display: EPD) 등과 같은 여러 가지의 평면형 표시장치가 실용화되고 있다.In recent years, display devices are increasing in importance with the development of multimedia. In response, Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), Field Emission Display (FED), Organic Light Emitting Diode Display Device: OLED ), Electrophoretic Display (EPD), and the like, have been put into practice.

최근 기존의 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱 등과 같이 유연성 있는 재료를 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시성능을 그대로 유지할 수 있게 제조된 플렉서블(flexible) 표시장치가 대두되고 있다. 그러나 플렉서블 표시장치의 기판은 잘 휘어지는 특징 때문에 유리 또는 석영기판을 대상으로 설계된 기존의 표시장치용 제조장비에 적용되기 어렵다. In recent years, a flexible display device made of a flexible material such as plastic instead of a glass substrate, which is not flexible, and manufactured to maintain display performance even if it is bent like paper has emerged. However, the substrate of the flexible display device is difficult to be applied to the existing manufacturing equipment for the display device designed for the glass or quartz substrate because of the characteristic that it bends well.

도 1은 종래 플렉서블 표시장치의 제조방법을 나타낸 도면이다. 도 1의 (a)를 참조하면, 캐리어 기판(10) 상에 추후 기판 분리를 위한 희생층(20)을 형성한 후, 절연막인 버퍼층(30)을 형성한다. 버퍼층(30) 상에 TFT 어레이 소자를 포함하는 유기전계발광소자(40)를 형성한다. 다음, 도 1의 (b)를 참조하면, 전기소자(40) 상에 임시 접착제(50)를 통해 임시 기판(60)을 부착한다. 그리고, 도 1의 (c)에 도시된 바와 같이, 희생층(20)에 레이저(laser)를 조사하여 희생층(20)과 버퍼층(30)의 계면을 분리시킨다. 이에 따라 유기전계발광소자(40)가 캐리어 기판(10)과 분리된다. 다음, 도 1의 (d)를 참조하면, 버퍼층(30)의 하면에 영구 접착제(80)를 통해 플라스틱 기판(70)을 접착한다. 그리고, 도 1의 (e)에 도시된 바와 같이, 임시 접착제(50)를 제거하여 임시 기판(60)을 제거함으로써 플라스틱 기판(70) 상에 유기전계발광소자(40)가 형성된 플렉서블 표시장치를 제조한다.1 is a diagram illustrating a method of manufacturing a conventional flexible display device. Referring to FIG. 1A, after forming a sacrificial layer 20 for separating a substrate later on a carrier substrate 10, a buffer layer 30, which is an insulating film, is formed. An organic light emitting device 40 including a TFT array device is formed on the buffer layer 30. Next, referring to (b) of FIG. 1, a temporary substrate 60 is attached to the electric device 40 through a temporary adhesive 50. In addition, as shown in (c) of FIG. 1, a laser is irradiated on the sacrificial layer 20 to separate the interface between the sacrificial layer 20 and the buffer layer 30. Accordingly, the organic light emitting device 40 is separated from the carrier substrate 10. Next, referring to (d) of FIG. 1, the plastic substrate 70 is adhered to the lower surface of the buffer layer 30 through a permanent adhesive 80. In addition, as shown in (e) of FIG. 1, by removing the temporary substrate 60 by removing the temporary adhesive 50, the flexible display device having the organic light emitting device 40 formed on the plastic substrate 70 is provided. To manufacture.

전술한 바와 같이, 종래 플렉서블 표시장치는 임시 기판의 부착, 캐리어 기판의 분리, 플라스틱 기판의 부착 및 임시 기판의 분리로 2번의 트랜스퍼(transfer) 공정과 2번의 분리(release) 공정이 수행된다. 또한, 유기전계발광소자의 제조공정에 사용되는 마스크의 개수가 9매 이상이고, 컬러필터 공정까지 3매의 마스크가 추가적으로 사용된다. 따라서 종래 플렉서블 표시장치의 제조방법은 각각 2번의 트랜스퍼 공정과 분리 공정이 수행되어 공정이 복잡하고 제조비용이 증가되는 문제점이 있다. 또한, 유기전계발광소자의 제조방법에도 많은 마스크가 사용되기 때문에 생산성의 저하 및 제조비용의 증가를 초래하는 문제점이 있다.
As described above, in the conventional flexible display device, two transfer processes and two release processes are performed by attaching a temporary substrate, detaching a carrier substrate, attaching a plastic substrate, and detaching the temporary substrate. In addition, the number of masks used in the manufacturing process of the organic electroluminescent device is 9 or more, and 3 masks are additionally used up to the color filter process. Accordingly, the conventional method of manufacturing a flexible display device has a problem in that the transfer process and the separation process are performed twice, respectively, resulting in a complicated process and an increase in manufacturing cost. In addition, since many masks are used in the manufacturing method of the organic electroluminescent device, there is a problem of lowering productivity and increasing manufacturing cost.

본 발명은 마스크 공정과 전사 공정을 줄여 공정을 단순화하고 소자의 효율 및 수명을 향상시킬 수 있는 플렉서블 표시장치 및 그 제조방법을 제공한다.
The present invention provides a flexible display device capable of simplifying a process by reducing a mask process and a transfer process and improving the efficiency and life of a device, and a method of manufacturing the same.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 플라스틱 기판, 상기 플라스틱 기판 상에 위치하는 접착층, 상기 접착층 상에 위치하는 멀티 버퍼층, 상기 멀티 버퍼층 상에 위치하는 제1 절연막, 상기 제1 절연막의 제1 오목부에 채워진 게이트 전극, 상기 제1 절연막 상에 위치하는 제2 절연막, 상기 제2 절연막의 제2 오목부에 채워진 소스 전극 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 상에 위치하는 반도체층, 상기 반도체층 상에 위치하는 제3 절연막, 상기 제3 절연막의 제3 오목부에 채워진 차광층 및 상기 제3 절연막의 볼록부에 위치하며 상기 드레인 전극과 연결된 화소 전극, 상기 차광층 및 화소 전극 상에 위치하는 제4 절연막, 상기 화소 전극 상에 위치하는 유기 발광층, 및 상기 유기 발광층 상에 위치하는 대향 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a flexible display device according to an embodiment of the present invention includes a plastic substrate, an adhesive layer on the plastic substrate, a multi-buffer layer on the adhesive layer, and a first layer on the multi-buffer layer. An insulating layer, a gate electrode filled in the first concave portion of the first insulating layer, a second insulating layer positioned on the first insulating layer, a source electrode and a drain electrode filled in the second concave portion of the second insulating layer, the source electrode, and A semiconductor layer positioned on the drain electrode, a third insulating layer positioned on the semiconductor layer, a light shielding layer filled in a third concave portion of the third insulating layer, and a pixel positioned at a convex portion of the third insulating layer and connected to the drain electrode And an electrode, a fourth insulating layer disposed on the light blocking layer and the pixel electrode, an organic emission layer disposed on the pixel electrode, and a counter electrode disposed on the organic emission layer.

상기 화소 전극의 상면은 상기 제4 절연막의 상면과 동일 선 상에 위치하는 것을 특징으로 한다.The upper surface of the pixel electrode may be positioned on the same line as the upper surface of the fourth insulating layer.

상기 제1 절연막의 제4 오목부에 채워진 화소 연결 전극을 더 포함하며, 상기 화소 연결 전극은 상기 드레인 전극과 컨택하며 상기 화소 전극에 연결되는 것을 특징으로 한다.And a pixel connection electrode filled in a fourth concave portion of the first insulating layer, wherein the pixel connection electrode contacts the drain electrode and is connected to the pixel electrode.

상기 멀티 버퍼층과 상기 제1 절연막 사이에 컬러필터를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it further comprises a color filter between the multi-buffer layer and the first insulating layer.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계, 상기 희생층 상에 제1 마스크를 이용하여 차광층 및 제1 개구부를 포함하는 제1 절연막을 형성하는 단계, 상기 제1 절연막의 제1 개구부 상에 제2 마스크를 이용하여 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 전극 상에 제2 절연막을 형성하고 제3 마스크를 이용하여 소스 전극 및 드레인 전극을 형성함과 동시에 반도체층을 형성하는 단계, 상기 반도체층 상에 제3 절연막을 형성하고 제4 마스크를 이용하여 드레인 전극과 화소 전극을 노출하는 콘택홀을 형성하는 단계, 상기 제3 절연막 상에 제5 마스크를 이용하여 상기 반도체층에 대응하는 게이트 전극을 형성함과 동시에 상기 콘택홀을 채우는 화소 연결 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 전극 상에 제4 절연막을 형성하는 단계, 상기 제4 절연막 상에 멀티 버퍼층을 형성하는 단계, 상기 멀티 버퍼층 상에 접착층을 형성하고 플라스틱 기판을 부착하는 단계, 상기 희생층에 레이저를 조사하여 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계, 상기 플라스틱 기판을 반전하고 상기 화소 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계, 및 상기 유기 발광층 상에 대향 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention includes forming a sacrificial layer on a carrier substrate, and including a light blocking layer and a first opening on the sacrificial layer by using a first mask. Forming an insulating layer, forming a pixel electrode on the first opening of the first insulating layer using a second mask, forming a second insulating layer on the pixel electrode, and forming a source electrode and a drain using a third mask Forming a semiconductor layer while forming an electrode, forming a third insulating layer on the semiconductor layer and forming a contact hole exposing the drain electrode and the pixel electrode using a fourth mask, on the third insulating layer Forming a pixel connection electrode filling the contact hole while forming a gate electrode corresponding to the semiconductor layer using a fifth mask, forming a fourth insulating layer on the gate electrode, the fourth insulating layer Forming a multi-buffer layer on the multi-buffer layer, forming an adhesive layer on the multi-buffer layer and attaching a plastic substrate, separating the carrier substrate by irradiating a laser to the sacrificial layer, inverting the plastic substrate and the pixel electrode And forming an organic emission layer on the organic emission layer, and forming a counter electrode on the organic emission layer.

상기 제1 마스크 및 상기 제3 마스크는 하프톤 마스크인 것을 특징으로 한다.The first mask and the third mask may be halftone masks.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계, 상기 희생층 상에 제1 마스크를 이용하여 차광층 및 제1 개구부를 포함하는 제1 절연막을 형성하는 단계, 상기 제1 절연막의 제1 개구부 상에 제2 마스크를 이용하여 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 전극 상에 제2 절연막을 형성하고 제3 마스크를 이용하여 화소 전극을 노출하는 콘택홀을 형성하는 단계, 상기 반도체층 상에 제3 절연막을 형성하고 제4 마스크를 이용하여 소스 전극 및 드레인 전극을 형성함과 동시에 반도체층을 형성하는 단계, 상기 제3 절연막 상에 제5 마스크를 이용하여 상기 반도체층에 대응하는 게이트 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 전극 상에 제4 절연막을 형성하는 단계, 상기 제4 절연막 상에 멀티 버퍼층을 형성하는 단계, 상기 멀티 버퍼층 상에 접착층을 형성하고 플라스틱 기판을 부착하는 단계, 상기 희생층에 레이저를 조사하여 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계, 상기 플라스틱 기판을 반전하고 상기 화소 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계, 및 상기 유기 발광층 상에 대향 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention includes forming a sacrificial layer on a carrier substrate, and including a light blocking layer and a first opening on the sacrificial layer by using a first mask. Forming an insulating layer, forming a pixel electrode on the first opening of the first insulating layer using a second mask, forming a second insulating layer on the pixel electrode, and exposing the pixel electrode using a third mask Forming a contact hole, forming a third insulating layer on the semiconductor layer, forming a source electrode and a drain electrode using a fourth mask, and simultaneously forming a semiconductor layer, on the third insulating layer, a fifth Forming a gate electrode corresponding to the semiconductor layer using a mask, forming a fourth insulating layer on the gate electrode, forming a multi-buffer layer on the fourth insulating layer, and forming an adhesive layer on the multi-buffer layer Forming and attaching a plastic substrate, separating the carrier substrate by irradiating a laser to the sacrificial layer, inverting the plastic substrate and forming an organic emission layer on the pixel electrode, and facing the organic emission layer It characterized in that it comprises the step of forming an electrode.

상기 제1 마스크 및 상기 제3 마스크는 하프톤 마스크인 것을 특징으로 한다.
The first mask and the third mask may be halftone masks.

본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 표시장치는 박막트랜지스터부터 화소 전극까지 순차적으로 적층하여 제조하는 일반적인 표시장치와는 달리, 화소 전극을 먼저 형성하고 박막트랜지스터를 제조하여 정반대로 제조한다. 따라서, 종래 임시 기판의 부착, 캐리어 기판의 분리, 플라스틱 기판의 부착 및 임시 기판의 분리로 2번의 트랜스퍼 공정과 2번의 분리 공정이 각각 수행되던 것과는 달리, 플라스틱 기판의 부착 및 캐리어 기판의 분리로 1번의 트랜스퍼 공정과 1번의 분리 공정을 수행하여 플렉서블 표시장치를 제조할 수 있다. 그러므로, 플렉서블 표시장치의 제조 공정을 단순화하고 제조비용을 절감하여 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. The flexible display device according to the exemplary embodiments of the present invention is manufactured in the opposite direction by forming a pixel electrode first and then manufacturing a thin film transistor, unlike a general display device that sequentially stacks a thin film transistor to a pixel electrode. Therefore, unlike the conventional attachment of a temporary substrate, separation of a carrier substrate, attachment of a plastic substrate, and separation of a temporary substrate, two transfer processes and two separation processes were performed, respectively, by attaching a plastic substrate and detaching a carrier substrate. A flexible display device may be manufactured by performing the transfer process No. 1 and the separation process No. 1. Therefore, there is an advantage of simplifying the manufacturing process of the flexible display device and reducing manufacturing cost to improve productivity.

또한, 종래 차광층, 반도체층, 게이트 전극, 층간 절연막, 소스/드레인 전극, 오버코트, 패시베이션, 화소 전극 및 뱅크층의 제조에 총 9매의 마스크를 사용하나, 본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 표시장치는 뱅크층과 오버코트를 생략하고 화소 전극부터 제조함으로써, 제1 절연막과 차광층, 화소 전극, 반도체층과 소스/드레인 전극, 제2 및 제3 절연막, 게이트 전극의 총 5매의 마스크를 사용하여 제조비용을 절감하고 공정을 간소화할 수 있는 이점이 있다.
In addition, a total of 9 masks are used to manufacture the conventional light-shielding layer, semiconductor layer, gate electrode, interlayer insulating layer, source/drain electrode, overcoat, passivation, pixel electrode, and bank layer, but flexible according to embodiments of the present invention In the display device, by omitting the bank layer and the overcoat and manufacturing the pixel electrode, a total of five masks including the first insulating film and the light shielding layer, the pixel electrode, the semiconductor layer and the source/drain electrodes, the second and third insulating films, and the gate electrode are formed. It has the advantage of reducing manufacturing costs and simplifying the process.

도 1은 종래 플렉서블 표시장치의 제조방법을 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 단면도.
도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 도면.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 도면.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 도면.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면.1 is a view showing a method of manufacturing a conventional flexible display device.
2 is a cross-sectional view illustrating a flexible display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.
3A to 3H are diagrams showing a method of manufacturing a flexible display device according to a first exemplary embodiment of the present invention for each process.
4 is a view showing a flexible display device according to a second embodiment of the present invention.
5A and 5B are diagrams showing a method of manufacturing a flexible display device according to a second embodiment of the present invention for each process.
6 is a view showing a flexible display device according to a third embodiment of the present invention.
7A and 7B are diagrams showing a method of manufacturing a flexible display device according to a third embodiment of the present invention for each process.
8 is a view showing a flexible display device according to a fourth embodiment of the present invention.
9A and 9B are diagrams showing a method of manufacturing a flexible display device according to a fourth embodiment of the present invention for each process.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시 예들을 자세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 단면도이다. 본 발명의 제1 실시예에서는 산화물 박막트랜지스터(Oxide TFT)를 포함하는 유기전계발광표시장치를 예로 설명하기로 한다.2 is a cross-sectional view illustrating a flexible display device according to a first exemplary embodiment of the present invention. In the first embodiment of the present invention, an organic light emitting display device including an oxide thin film transistor (Oxide TFT) will be described as an example.

도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치(100)는 플라스틱 기판(110) 상에 형성된 하나 이상의 박막트랜지스터(TFT)와, 박막트랜지스터(TFT)에 연결된 유기전계발광소자(EL)를 포함한다. 2, the flexible display device 100 according to the first embodiment of the present invention includes at least one thin film transistor (TFT) formed on a plastic substrate 110, and an organic light emitting device connected to the thin film transistor (TFT). Includes (EL).

보다 자세하게, 플렉서블 표시장치(100)는 R, G 및 B 데이터전압이 공급되는 다수의 데이터 라인들, 데이터 라인들과 교차되어 게이트 펄스(또는 스캔 펄스)가 공급되는 다수의 게이트 라인들(또는 스캔 라인들), 데이터 라인들과 나란하게 배열되어 공통전압을 공급하는 공통라인들, 데이터 라인들과 게이트 라인들의 교차부들에 형성되는 다수의 스위칭 박막트랜지스터들(Switching Thin Film Transistor), 스위칭 박막트랜지스터들과 공통라인들 사이에 형성되는 다수의 구동 박막트랜지스터들(Driving Thin Film Transistor), 및 구동 전압을 유지시키 위한 스토리지 커패시터(Storage Capacitor) 등을 포함한다. 유기전계발광소자(EL)는 구동 박막트랜지스터들로부터 구동전류를 인가받는 화소 전극, 화소 전극과 대향하는 대향 전극, 및 화소 전극과 대향 전극 사이에 위치하는 유기 발광층을 포함한다. 따라서, 화소 전극으로부터 공급받는 정공과 대향 전극으로부터 공급받은 전자가 유기 발광층 내에서 결합하여 정공-전자 쌍인 여기자(exciton)를 형성하고 다시 여기자가 바닥상태로 돌아오면서 발생하는 에너지에 의해 자발광하게 된다.In more detail, the flexible display device 100 includes a plurality of data lines to which R, G, and B data voltages are supplied, and a plurality of gate lines (or scan pulses) to which a gate pulse (or scan pulse) is supplied by crossing the data lines. Lines), common lines arranged in parallel with the data lines to supply a common voltage, a plurality of switching thin film transistors formed at the intersections of the data lines and the gate lines, switching thin film transistors And a plurality of driving thin film transistors formed between the and common lines, and a storage capacitor for maintaining a driving voltage. The organic light emitting device EL includes a pixel electrode receiving a driving current from the driving thin film transistors, an opposite electrode facing the pixel electrode, and an organic emission layer positioned between the pixel electrode and the opposite electrode. Accordingly, holes supplied from the pixel electrode and electrons supplied from the counter electrode are combined in the organic emission layer to form excitons, which are hole-electron pairs, and then self-emit light by energy generated when the excitons return to the ground state. .

그리고, 플렉서블 표시장치(100)는 데이터 라인들과 게이트 라인들에 신호를 인가하기 위해 게이트 패드부(GPD) 및 데이터 패드부(DPD)가 구비되고, 데이터 라인들이 위치한 데이터부(Data)가 구비된다. 따라서, 게이트 패드부(GPD) 및 데이터 패드부(DPD)에 구동칩(D-IC) 및 인쇄회로기판(PCB)으로부터 신호를 인가받아 표시장치를 구동하게 된다.In addition, the flexible display device 100 includes a gate pad part GPD and a data pad part DPD to apply signals to data lines and gate lines, and a data part Data in which data lines are located. do. Accordingly, the display device is driven by receiving signals from the driving chip D-IC and the printed circuit board PCB to the gate pad portion GPD and the data pad portion DPD.

보다 자세하게, 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치(100)는 박막트랜지스터와 화소 전극을 포함하는 화소 영역(PIXEL), 데이터 라인을 포함하는 데이터 영역(Data), 게이트 패드를 포함하는 게이트 패드 영역(GPD) 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 패드 영역(DPD)을 포함한다. 플라스틱 기판(100) 상에 접착층(115)이 위치하여 플라스틱 기판(100)과 상부에 형성되는 소자를 일체화한다. 접착층(115) 상에 제1 버퍼층(120a)과 제2 버퍼층(120b)을 포함하는 멀티 버퍼층(120)이 위치하여, 플라스틱 기판(100)에서 발생하는 불순물 또는 가스 등으로부터 소자를 보호한다. 멀티 버퍼층(120) 상에 제1 절연막(125)이 위치하여 다시 한번 소자를 보호한다. 제1 절연막(125) 상의 화소 영역(PIXEL)에 게이트 전극(130a)과 화소 연결 전극(130b)이 위치하고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드 연결 전극(130c)이 위치하며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(130d)이 위치한다. 게이트 전극(130a)은 제1 절연막(125)에 형성된 제1 오목부(126a)에 채워진 구조로 이루어지고, 게이트 전극(130a)의 상면과 제1 절연막(125)의 상면은 동일 선상에 위치한다. 또한, 화소 연결 전극(130b), 게이트 패드 연결 전극(130c) 및 데이터 패드 연결 전극(130d)은 후술하는 제2 절연막(135) 및 제3 절연막(145)를 관통하여, 각각 화소 전극(155a), 게이트 패드(155b) 및 데이터 패드(155c)에 연결된다. 화소 연결 전극(130b)은 제1 절연막(125)에 형성된 제2 오목부(126b)에 채워진 구조로 이루어지고, 게이트 패드 연결 전극(130c)은 제1 절연막(125)에 형성된 제3 오목부(126c)에 채워진 구조로 이루어지고 및 데이터 패드 연결 전극(130d)은 제1 절연막(125)에 형성된 제4 오목부(126d)에 채워진 구조로 이루어진다. In more detail, referring to FIG. 2, the flexible display device 100 according to the first embodiment of the present invention includes a pixel area PIXEL including a thin film transistor and a pixel electrode, a data area Data including a data line, and A gate pad area GPD including a gate pad and a data pad area DPD including a data pad are included. An adhesive layer 115 is positioned on the plastic substrate 100 to integrate the plastic substrate 100 and the device formed thereon. A multi-buffer layer 120 including the first buffer layer 120a and the second buffer layer 120b is positioned on the adhesive layer 115 to protect the device from impurities or gases generated in the plastic substrate 100. The first insulating layer 125 is positioned on the multi-buffer layer 120 to once again protect the device. The gate electrode 130a and the pixel connection electrode 130b are located in the pixel area PIXEL on the first insulating layer 125, the gate pad connection electrode 130c is located in the gate pad area GPD, and the data pad area ( The data pad connection electrode 130d is positioned on the DPD). The gate electrode 130a has a structure filled in the first concave portion 126a formed in the first insulating layer 125, and the upper surface of the gate electrode 130a and the upper surface of the first insulating layer 125 are positioned on the same line. . Further, the pixel connection electrode 130b, the gate pad connection electrode 130c, and the data pad connection electrode 130d pass through the second insulating layer 135 and the third insulating layer 145, which will be described later, so that the pixel electrode 155a is formed. , Connected to the gate pad 155b and the data pad 155c. The pixel connection electrode 130b has a structure filled with the second concave portion 126b formed in the first insulating layer 125, and the gate pad connection electrode 130c is formed in the third concave portion ( The structure is filled in 126c and the data pad connection electrode 130d has a structure filled in the fourth concave portion 126d formed in the first insulating layer 125.

게이트 전극(130a) 상에 제2 절연막(135)이 위치하여 게이트 전극(130a)을 절연시킨다. 제2 절연막(135) 상의 화소 영역(PIXEL)에 반도체층(143), 소스 전극(140a) 및 드레인 전극(140b)이 위치하고, 데이터 영역(Data)에 데이터 라인(140c)이 위치한다. 반도체층(143), 소스 전극(140a) 및 드레인 전극(140b)은 제2 절연막(135)에 형성된 제5 오목부(136a)에 채워진 구조로 이루어지고, 데이터 라인(140c) 또한 제2 절연막(135)에 형성된 제6 오목부(136b)에 채워진 구조로 이루어진다. 반도체층(143)과 데이터 라인(140c)의 상면은 제2 절연막(135)의 상면과 동일 선 상에 위치한다.소스 전극(140a) 및 드레인 전극(140b)은 반도체층(143)과 중첩되어 반도체층(143)에 각각 컨택하고, 데이터 라인(140c)은 데이터 패드(155c)에 연결되는 데이터 패드 연결 전극(130d)과 컨택한다. 또한, 드레인 전극(140b)과 반도체층(143)의 측부는 화소 연결 전극(130b)과 컨택하여 화소 전극(155a)에 전기적으로 연결된다. 반도체층(143), 소스 전극(140a), 드레인 전극(140b) 및 데이터 라인(140c) 상에 제 3 보호막(145)이 위치하여, 반도체층(143), 소스 전극(140a), 드레인 전극(140b) 및 데이터 라인(140c)을 각각 절연시킨다. A second insulating layer 135 is positioned on the gate electrode 130a to insulate the gate electrode 130a. The semiconductor layer 143, the source electrode 140a, and the drain electrode 140b are positioned in the pixel region PIXEL on the second insulating layer 135, and the data line 140c is positioned in the data region Data. The semiconductor layer 143, the source electrode 140a, and the drain electrode 140b have a structure filled in the fifth concave portion 136a formed in the second insulating layer 135, and the data line 140c also has a second insulating layer ( It consists of a structure filled in the sixth concave portion 136b formed in 135). The upper surfaces of the semiconductor layer 143 and the data line 140c are positioned on the same line as the upper surface of the second insulating layer 135. The source electrode 140a and the drain electrode 140b overlap with the semiconductor layer 143. Each of the semiconductor layers 143 is in contact, and the data line 140c contacts the data pad connection electrode 130d connected to the data pad 155c. Further, side portions of the drain electrode 140b and the semiconductor layer 143 are in contact with the pixel connection electrode 130b and are electrically connected to the pixel electrode 155a. A third passivation layer 145 is positioned on the semiconductor layer 143, the source electrode 140a, the drain electrode 140b, and the data line 140c, so that the semiconductor layer 143, the source electrode 140a, and the drain electrode ( 140b) and the data line 140c are insulated, respectively.

제3 절연막(145) 상에 반도체층(143)과 대응되는 영역에 차광층(150)이 위치하여 반도체층(143)에 광이 조사되어 누설전류가 발생하는 것을 방지한다. 차광층(150)은 제3 절연막(145)에 형성된 제7 오목부(146a)에 채워진 형상으로 이루어진다. 또한, 제3 절연막(145) 상의 화소 영역(PIXEL)에 화소 연결 전극(130b)과 연결되는 화소 전극(155a)이 위치하고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드 연결 전극(130c)과 연결되는 게이트 패드(155b)가 위치하며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(130d)과 연결되는 데이터 패드(155c)가 위치한다. 여기서, 화소 연결 전극(130b)은 제2 절연막(135)과 제2 절연막(145)을 관통하는 제1 콘택홀(CH1)을 통해 화소 전극(155a)과 연결되고, 게이트 패드 연결 전극(130c)은 제2 절연막(135)과 제2 절연막(145)을 관통하는 제2 콘택홀(CH2)을 통해 게이트 패드(155b)와 연결되며, 데이터 패드 연결 전극(130d)은 제2 절연막(135)과 제2 절연막(145)을 관통하는 제3 콘택홀(CH3)을 통해 데이터 패드(155c)와 연결된다. 여기서, 화소 연결 전극(130b)은 제3 절연막(145)에 형성된 제1 볼록부(146b) 상에 위치하고, 게이트 패드 연결 전극(130c)은 제3 절연막(145)에 형성된 제2 볼록부(146c) 상에 위치하고, 데이터 패드 연결 전극(130d)은 제3 절연막(145)에 형성된 제3 볼록부(146d) 상에 위치한다.The light shielding layer 150 is positioned on the third insulating layer 145 in a region corresponding to the semiconductor layer 143 to prevent leakage current from being irradiated to the semiconductor layer 143. The light blocking layer 150 has a shape filled in the seventh concave portion 146a formed in the third insulating layer 145. In addition, the pixel electrode 155a connected to the pixel connection electrode 130b is located in the pixel area PIXEL on the third insulating layer 145, and the gate connected to the gate pad connection electrode 130c is located in the gate pad area GPD. The pad 155b is positioned, and the data pad 155c connected to the data pad connection electrode 130d is positioned in the data pad area DPD. Here, the pixel connection electrode 130b is connected to the pixel electrode 155a through a first contact hole CH1 penetrating the second insulating layer 135 and the second insulating layer 145, and the gate pad connection electrode 130c Silver is connected to the gate pad 155b through a second contact hole CH2 penetrating through the second insulating layer 135 and the second insulating layer 145, and the data pad connection electrode 130d is connected to the second insulating layer 135 The data pad 155c is connected through a third contact hole CH3 penetrating the second insulating layer 145. Here, the pixel connection electrode 130b is positioned on the first convex portion 146b formed in the third insulating layer 145, and the gate pad connecting electrode 130c is the second convex portion 146c formed in the third insulating layer 145. ), and the data pad connection electrode 130d is positioned on the third convex portion 146d formed in the third insulating layer 145.

화소 전극(155a), 게이트 패드(155b) 및 데이터 패드(155c) 상에 제4 절연막(160)이 위치한다. 제 4 절연막(160)의 상면은 화소 전극(155a), 게이트 패드(155b) 및 데이터 패드(155c) 각각의 상면과 동일 선 상에 위치하기 때문에, 화소 전극(155a), 게이트 패드(155b) 및 데이터 패드(155c) 각각의 상면은 위로 노출된다. 노출된 화소 전극(155a) 상에 유기 발광층(165)이 위치한다. 그리고, 화소 영역(PIXEL)과 데이터 영역(Data) 상에 대향 전극(170)이 위치하여 유기전계발광소자(EL)를 구성함으로써, 플렉서블 표시장치(100)를 구성한다. A fourth insulating layer 160 is positioned on the pixel electrode 155a, the gate pad 155b, and the data pad 155c. Since the upper surface of the fourth insulating layer 160 is positioned on the same line as the upper surfaces of each of the pixel electrode 155a, the gate pad 155b, and the data pad 155c, the pixel electrode 155a, the gate pad 155b, and The upper surface of each of the data pads 155c is exposed upward. The organic emission layer 165 is positioned on the exposed pixel electrode 155a. In addition, the flexible display device 100 is configured by configuring the organic light emitting device EL by positioning the opposite electrode 170 on the pixel area PIXEL and the data area Data.

이하, 전술한 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 대해 설명하면 다음과 같다. 도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면이다. Hereinafter, a method of manufacturing the flexible display device according to the first embodiment of the present invention will be described. 3A to 3H are diagrams showing a method of manufacturing a flexible display device according to a first embodiment of the present invention for each process.

도 3a를 참조하면, 유리, 석영 등과 같은 투명한 물질로 이루어지며 평탄도가 유지되는 캐리어 기판(210) 상에 CVD(Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 증착 방법으로 희생층(215)을 형성한다. 희생층(215)은 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H) 또는 수소화처리되고 불순물이 도핑된 비정질 실리콘(a-Si:H;n+ 또는 a-Si:H;p+)으로 형성된다. 희생층(215)의 수소는 추후 설명될 유리 기판의 실리콘과 결합되며 추후 설명된 제조 공정 중 레이저 조사 공정에 의해 희생층(215)의 수소와 캐리어 기판의 실리콘의 결합이 끊기므로 분리가 용이해진다.Referring to FIG. 3A, a sacrificial layer 215 made of a transparent material such as glass, quartz, etc., by a chemical vapor deposition (CVD) or plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) deposition method on a carrier substrate 210 maintaining flatness. ) To form. The sacrificial layer 215 is formed of hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) or hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H;n+ or a-Si:H;p+) doped with impurities. The hydrogen of the sacrificial layer 215 is bonded with silicon of the glass substrate to be described later, and the bonding between the hydrogen of the sacrificial layer 215 and the silicon of the carrier substrate is disconnected by the laser irradiation process during the manufacturing process described later, so separation becomes easy. .

이어, 상기 희생층(215) 상에 제4 절연막(220)을 형성한다. 제4 절연막(220)은 실리콘산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 이와는 달리, 하부 구조의 단차를 완화시키기 위한 평탄화막일 수도 있으며, 폴리이미드(polyimide), 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene series resin), 아크릴레이트(acrylate) 등의 유기물 또는 실리콘 산화물을 액상 형태로 코팅한 다음 경화시키는 SOG(spin on glass)와 같은 무기물을 사용하여 형성할 수도 있다.Subsequently, a fourth insulating layer 220 is formed on the sacrificial layer 215. The fourth insulating layer 220 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof. Unlike this, it may be a planarization film to alleviate the step difference in the lower structure, and is coated with organic substances such as polyimide, benzocyclobutene series resin, acrylate, or silicon oxide in a liquid form. It can also be formed by using an inorganic material such as spin on glass (SOG) that is then cured.

그리고, 제4 절연막(220)의 일부 영역 즉 반도체층이 형성될 영역에 차광층(225)을 형성한다. 차광층(225)은 추후 반도체층에 광이 침투되는 것을 방지하기 위한 것으로, 광을 차단하는 블랙 재료 예를 들어 카본 블랙을 포함하는 블랙 수지(resin) 등으로 이루어질 수 있다. 이어, 제1 마스크(M1)를 이용하여 상기 제4 절연막(220)과 차광층(225)을 동시에 패터닝한다. 보다 자세하게, 제1 마스크(M1)는 하프톤 마스크(half-tone)로 일반적인 하프톤 공정을 이용하여, 차광층(225)을 패턴화한다. 이와 동시에 제4 절연막(220)을 패터닝하여 추후 화소 전극이 형성될 영역에 제1 개구부(227a)를 형성하고, 게이트 패드가 형성될 영역에 제2 개구부(227b)를 형성하며, 데이터 패드가 형성될 영역에 제3 개구부(227c)를 형성한다.In addition, a light blocking layer 225 is formed in a portion of the fourth insulating layer 220, that is, a region in which a semiconductor layer is to be formed. The light blocking layer 225 is for preventing light from penetrating into the semiconductor layer in the future, and may be made of a black material that blocks light, for example, a black resin including carbon black. Then, the fourth insulating layer 220 and the light blocking layer 225 are simultaneously patterned using the first mask M1. In more detail, the first mask M1 is a half-tone mask, and a general halftone process is used to pattern the light blocking layer 225. At the same time, the fourth insulating layer 220 is patterned to form a first opening 227a in a region where a pixel electrode will be formed later, a second opening 227b is formed in a region where a gate pad will be formed, and a data pad is formed. A third opening 227c is formed in the region to be formed.

다음, 도 3b를 참조하면, 제4 절연막(220)과 차광층(225)이 형성된 캐리어 기판(210) 상에 투명도전막을 적층하고 제2 마스크(M2)를 이용하여 패터닝함으로써, 제1 개구부(227a)에 화소 전극(230a)을 형성하고, 제2 개구부(227b)에 게이트 패드(230b)를 형성하며, 제3 개구부(227c)에 데이터 패드(230c)를 형성한다. 여기서, 투명도전막은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명하면서도 도전성을 가진 재료로 형성할 수 있다. 이때, 유기전계발광소자가 전면발광형 구조로 형성할 경우 투명도전막의 하부에 알루미늄(Al), 알루미늄-네오디움(Al-Nd), 은(Ag), 은 합금(Ag alloy) 등과 같은 고반사율의 특성을 갖는 반사금속막을 더 포함할 수 있고, 투명도전막/반사금속막/투명도전막의 구조로 형성될 수 있으며, 예를 들어 ITO/Ag/ITO일 수 있다. Next, referring to FIG. 3B, by laminating a transparent conductive film on the carrier substrate 210 on which the fourth insulating film 220 and the light blocking layer 225 are formed, and patterning using a second mask M2, the first opening ( A pixel electrode 230a is formed in 227a, a gate pad 230b is formed in the second opening 227b, and a data pad 230c is formed in the third opening 227c. Here, the transparent conductive film may be formed of a transparent and conductive material such as Indium Tin Oxide (ITO) or Indium Zinc Oxide (IZO). At this time, when the organic electroluminescent device is formed in a front emission type structure, high reflectance such as aluminum (Al), aluminum-neodymium (Al-Nd), silver (Ag), silver alloy, etc. under the transparent conductive film A reflective metal film having the characteristics of may be further included, and may be formed in a structure of a transparent conductive film/reflective metal film/transparent conductive film, and may be, for example, ITO/Ag/ITO.

이어, 도 3c를 참조하면, 화소 전극(230a), 게이트 패드(230b) 및 데이터 패드(230c)가 형성된 캐리어 기판(210) 상에 제3 절연막(235)을 형성한다. 제3 절연막(235)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 이와는 달리, 폴리이미드, 벤조사이클로부틴계 수지, 아크릴레이트 등의 유기물 또는 실리콘 산화물을 액상 형태로 코팅한 다음 경화시키는 SOG와 같은 무기물을 사용하여 형성할 수도 있다.Next, referring to FIG. 3C, a third insulating layer 235 is formed on the carrier substrate 210 on which the pixel electrode 230a, the gate pad 230b, and the data pad 230c are formed. The third insulating layer 235 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof. Alternatively, it may be formed using an inorganic material such as SOG, which is coated with an organic material such as polyimide, a benzocyclobutine-based resin, or an acrylate, or a silicon oxide in a liquid form and then cured.

그리고, 제3 절연막(235) 상에 반도체층(240), 소스 전극(245a), 드레인 전극(245b) 및 데이터 라인(245c)을 형성한다. 보다 자세하게, 캐리어 기판(210) 상에 산화물 반도체층을 적층하고 그 위에 금속층을 순차적으로 적층한다. 그 다음, 하프톤 마스크인 제3 마스크(M3)를 이용하여 산화물 반도체층과 금속층을 동시에 패터닝한다. 따라서, 차광층(225)에 대응되는 영역에 반도체층(240)이 형성되고 반도체층(240)의 양측 상부에 소스 전극(245a)과 드레인 전극(245b)이 형성된다. 그리고, 소스 전극(245c)으로부터 데이터 패드(230c)에 대응되는 영역까지 연결된 데이터 라인(245c)이 형성된다. In addition, a semiconductor layer 240, a source electrode 245a, a drain electrode 245b, and a data line 245c are formed on the third insulating layer 235. In more detail, an oxide semiconductor layer is stacked on the carrier substrate 210 and a metal layer is sequentially stacked thereon. Then, the oxide semiconductor layer and the metal layer are simultaneously patterned using a third mask M3 that is a halftone mask. Accordingly, the semiconductor layer 240 is formed in a region corresponding to the light blocking layer 225 and the source electrode 245a and the drain electrode 245b are formed on both sides of the semiconductor layer 240. In addition, a data line 245c connected from the source electrode 245c to a region corresponding to the data pad 230c is formed.

반도체층(240)은 아연 산화물(ZnO), 인듐 아연 산화물(InZnO), 아연 주석 산화물(ZnSnO) 또는 인듐 갈륨 아연 산화물(InGaZnO4) 중 어느 하나의 산화물 반도체로 형성된다. 반면, 반도체층(240)은 비정질 실리콘(a-si), 다결정 실리콘(poly-si) 또는 유기물로 이루어진 유기 반도체로도 적용가능하다. 소스 전극(245a), 드레인 전극(245b) 및 데이터 라인(245c)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 형성된다. The semiconductor layer 240 is formed of an oxide semiconductor of any one of zinc oxide (ZnO), indium zinc oxide (InZnO), zinc tin oxide (ZnSnO), or indium gallium zinc oxide (InGaZnO 4 ). On the other hand, the semiconductor layer 240 may be applied to an organic semiconductor made of amorphous silicon (a-si), poly-silicon (poly-si), or an organic material. The source electrode 245a, the drain electrode 245b, and the data line 245c are molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and copper ( It is formed of any one selected from the group consisting of Cu) or an alloy thereof.

다음, 도 3d를 참조하면, 반도체층(240), 소스 전극(245a), 드레인 전극(245b) 및 데이터 라인(245c)이 형성된 캐리어 기판(210) 상에 제2 절연막(250)을 형성한다. 제2 절연막(250)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다. 이와는 달리, 폴리이미드, 벤조사이클로부틴계 수지, 아크릴레이트 등의 유기물 또는 실리콘 산화물을 액상 형태로 코팅한 다음 경화시키는 SOG와 같은 무기물을 사용하여 형성할 수도 있다. 이어, 제4 마스크(M4)를 이용하여 제2 절연막(250)과 제3 절연막(235)를 식각하여 제1 콘택홀(252a), 제2 콘택홀(252b) 및 제3 콘택홀(252c)을 형성한다. 보다 자세하게, 제1 콘택홀(252a)은 드레인 전극(245b), 반도체층(240) 및 화소 전극(230a)을 동시에 노출하고, 제2 콘택홀(252b)은 게이트 패드(230b)를 노출하며, 제3 콘택홀(252c)은 데이터 패드(230c)를 노출한다. Next, referring to FIG. 3D, a second insulating layer 250 is formed on the carrier substrate 210 on which the semiconductor layer 240, the source electrode 245a, the drain electrode 245b, and the data line 245c are formed. The second insulating layer 250 may be a silicon oxide layer, a silicon nitride layer, or a multilayer thereof. Alternatively, it may be formed using an inorganic material such as SOG, which is coated with an organic material such as polyimide, a benzocyclobutine-based resin, or an acrylate, or a silicon oxide in a liquid form and then cured. Then, the second insulating layer 250 and the third insulating layer 235 are etched using the fourth mask M4 to form the first contact hole 252a, the second contact hole 252b, and the third contact hole 252c. To form. In more detail, the first contact hole 252a exposes the drain electrode 245b, the semiconductor layer 240, and the pixel electrode 230a at the same time, and the second contact hole 252b exposes the gate pad 230b, The third contact hole 252c exposes the data pad 230c.

그리고, 도 3e를 참조하면, 제1 콘택홀(252a), 제2 콘택홀(252b) 및 제3 콘택홀(252c)이 형성된 캐리어 기판(210) 상에 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni) 및 구리(Cu) 등의 금속을 증착한 후 제5 마스크(M5)를 이용하여 패터닝하여, 반도체층(240)과 대응되는 영역에 게이트 전극(255a)을 형성한다. 이와 동시에 제1 콘택홀(252a)을 통해 드레인 전극(245b), 반도체층(240) 및 화소 전극(230a)을 연결하는 화소 연결 전극(255b)을 형성하고 제2 콘택홀(252b)을 통해 게이트 패드(230b)에 연결되는 게이트 패드 연결 전극(255c)을 형성하고 제3 콘택홀(252c)을 통해 데이터 라인(245c)과 데이터 패드(230c)를 연결하는 데이터 패드 연결 전극(255d)을 형성한다. 한편, 도시하지 않았지만, 콘택홀들의 형성 공정에서 차광층(225)을 노출하는 또 하나의 콘택홀을 더 형성하여 게이트 전극(255a)과 차광층(225)을 연결함으로써, 듀얼 게이트 구조도 형성할 수도 있다.In addition, referring to FIG. 3E, molybdenum (Mo), aluminum (Al), on the carrier substrate 210 in which the first contact hole 252a, the second contact hole 252b, and the third contact hole 252c are formed, After depositing metals such as chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni) and copper (Cu), patterning is performed using a fifth mask (M5) to correspond to the semiconductor layer 240 A gate electrode 255a is formed in the region. At the same time, a pixel connection electrode 255b connecting the drain electrode 245b, the semiconductor layer 240, and the pixel electrode 230a through the first contact hole 252a is formed, and a gate is formed through the second contact hole 252b. A gate pad connection electrode 255c connected to the pad 230b is formed, and a data pad connection electrode 255d connecting the data line 245c and the data pad 230c through the third contact hole 252c is formed. . Meanwhile, although not shown, in the process of forming the contact holes, by further forming another contact hole exposing the light blocking layer 225 to connect the gate electrode 255a and the light blocking layer 225, a dual gate structure can also be formed. May be.

이어, 게이트 전극(255a), 화소 연결 전극(255b), 게이트 패드 연결 전극(255c) 및 데이터 패드 연결 전극(255d)이 형성된 캐리어 기판(210) 상에 제1 절연막(260)을 형성한다. 제1 절연막(260)은 전술한 제2 내지 제4 절연막(250, 235, 220)과 동일한 재료로 이루어진다. 다음, 제1 절연막(260) 상에 멀티 버퍼층(265)을 형성한다. 멀티 버퍼층(265)은 추후 형성되는 플라스틱 기판으로부터 수분이나 불순물이 침투되는 것을 방지하기 위한 것으로, 제1 버퍼층(265a) 및 제2 버퍼층(265b)을 포함한다. 제1 버퍼층(265a) 및 제2 버퍼층(265b)은 실리콘 산화막(SiOx) 또는 실리콘 질화막(SiNx)의 적층으로 형성되며, 2층에 한정되지 않고 3층 이상의 적층으로 이루어질 수도 있다. Then, a first insulating layer 260 is formed on the carrier substrate 210 on which the gate electrode 255a, the pixel connection electrode 255b, the gate pad connection electrode 255c, and the data pad connection electrode 255d are formed. The first insulating layer 260 is made of the same material as the second to fourth insulating layers 250, 235, and 220 described above. Next, a multi-buffer layer 265 is formed on the first insulating layer 260. The multi-buffer layer 265 is to prevent penetration of moisture or impurities from a plastic substrate formed later, and includes a first buffer layer 265a and a second buffer layer 265b. The first buffer layer 265a and the second buffer layer 265b are formed by stacking a silicon oxide layer (SiOx) or a silicon nitride layer (SiNx), and are not limited to two layers, and may be formed by stacking three or more layers.

이어, 도 3f를 참조하면, 멀티 버퍼층(265) 상에 플라스틱 기판(275)을 접착층(270)을 이용하여 접착한다. 플라스틱 기판(275)은 투과율과 내열성이 우수한 폴리에틸렌 나프탈레이트(Poly ethylene naphthalate; PEN), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Ploy ethylene terephthalate; PET), 폴리에틸렌에테르프탈레이트(poly ethylene ether phthalate), 폴리카보네이트(poly carbonate; PC), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르이미드(polyether imide), 폴리에테르술폰산(polyether sulfonate), 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리아크릴레이트(polyacrylate)에서 선택된 적어도 하나의 유기 물질 등의 기판을 사용한다. Next, referring to FIG. 3F, the plastic substrate 275 is adhered on the multi-buffer layer 265 using an adhesive layer 270. The plastic substrate 275 includes polyethylene naphthalate (PEN) having excellent transmittance and heat resistance, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene ether phthalate, and polycarbonate (PC). ), polyarylate, polyether imide, polyether sulfonate, polyimide, or at least one organic material selected from polyacrylate. .

다음, 도 3g를 참조하면, 캐리어 기판(210)의 배면에 레이저(laser)를 조사하여 캐리어 기판(210)과 제4 절연막(220) 사이의 계면을 분리시킨다. 보다 자세하게는, 캐리어 기판(210)의 배면을 통해 캐리어 기판(210)과 제4 절연막(220) 사이에 형성된 희생층(215)에 레이저가 조사되면, 희생층(215)인 비정질 실리콘에 함유된 수소가 탈수소화되면서 표면의 막터짐 현상으로 인해 제4 절연막(220)으로부터 분리된다. 따라서, 캐리어 기판(210)이 소자가 형성된 플라스틱 기판(275)으로부터 분리된다. 이 후 산 용액 등을 이용한 습식 식각으로 제4 절연막(220), 화소 전극(230a), 게이트 패드(230b) 및 데이터 패드(230c)의 표면에 잔류된 희생층(215)을 제거할 수 있다.Next, referring to FIG. 3G, an interface between the carrier substrate 210 and the fourth insulating layer 220 is separated by irradiating a laser to the rear surface of the carrier substrate 210. In more detail, when a laser is irradiated to the sacrificial layer 215 formed between the carrier substrate 210 and the fourth insulating layer 220 through the rear surface of the carrier substrate 210, the sacrificial layer 215 is contained in amorphous silicon. As hydrogen is dehydrogenated, it is separated from the fourth insulating layer 220 due to a film burst phenomenon on the surface. Accordingly, the carrier substrate 210 is separated from the plastic substrate 275 on which the device is formed. Thereafter, the sacrificial layer 215 remaining on the surfaces of the fourth insulating layer 220, the pixel electrode 230a, the gate pad 230b, and the data pad 230c may be removed by wet etching using an acid solution or the like.

여기서, 사용되는 레이저로는 DPSS(Diode Pumped Solid State; DPSS) 레이저 또는 엑시머(Eximer) 레이저 등을 사용한다. 특히, 레이저는 캐리어 기판(210) 상에 형성된 반도체층에 조사되지 않도록 한다. 본 발명에서는 캐리어 기판(210)과 반도체층(240) 사이에 차광층(225)이 존재하여, 레이저가 반도체층(240)에 조사되는 것을 방지한다. 또한, 유기 발광층이 형성되지 않고 화소 전극(230a)까지만 형성되었기 때문에 레이저에 의한 유기 발광층의 손상을 방지할 수 있다. 따라서, 유기전계발광소자의 열화를 방지하고 수명을 증가시키는 이점이 있다.Here, as the laser used, a Diode Pumped Solid State (DPSS) laser or an excimer laser is used. In particular, the laser is not irradiated to the semiconductor layer formed on the carrier substrate 210. In the present invention, the light blocking layer 225 is present between the carrier substrate 210 and the semiconductor layer 240 to prevent the laser from being irradiated to the semiconductor layer 240. In addition, since the organic emission layer is not formed and only the pixel electrode 230a is formed, damage to the organic emission layer by the laser can be prevented. Therefore, there is an advantage of preventing deterioration of the organic electroluminescent device and increasing its lifespan.

이어, 도 3h를 참조하면, 캐리어 기판(210)이 분리된 플라스틱 기판(275)을 반전시켜 화소 전극(230a)이 최상부에 위치하도록 한다. 이어, 화소 전극(230a) 상에 유기 발광층(280)을 형성한다. 유기 발광층(280)은 적어도 발광층을 포함하며, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 또는 전자주입층을 더 포함할 수 있다. 유기 발광층(280)은 진공증착법, 레이저 열 전사법, 스크린 프린팅법 등을 이용하여 형성할 수 있다. 그리고, 유기 발광층(280)을 포함한 플라스틱 기판(2750) 상에 대향 전극(285)을 형성한다. 대향 전극(285)은 일함수가 낮은 금속들로 은(Ag), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca) 등을 사용할 수 있다. Next, referring to FIG. 3H, the plastic substrate 275 from which the carrier substrate 210 is separated is inverted so that the pixel electrode 230a is positioned at the top. Subsequently, an organic emission layer 280 is formed on the pixel electrode 230a. The organic emission layer 280 includes at least an emission layer, and may further include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, or an electron injection layer. The organic light emitting layer 280 may be formed using a vacuum deposition method, a laser thermal transfer method, a screen printing method, or the like. In addition, a counter electrode 285 is formed on the plastic substrate 2750 including the organic emission layer 280. The counter electrode 285 is metal having a low work function, and may use silver (Ag), magnesium (Mg), calcium (Ca), or the like.

따라서, 플라스틱 기판(275)의 화소 영역(PIXEL)에 게이트 전극(255a), 반도체층(240), 소스 전극(245a) 및 드레인 전극(245b)을 포함하는 박막트랜지스터와, 화소 전극(230a), 유기 발광층(280) 및 제2 전극(285)을 포함하는 유기발광 다이오드가 형성된다. 플라스틱 기판(275)의 데이터 영역(Date)에 데이터 라인(245c)이 형성되고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드(230b)와 게이트 패드 연결 전극(255c)이 형성되며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드(230c)와 데이터 패드 연결 전극(255d)이 형성된다. 따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치가 제조된다.Accordingly, a thin film transistor including a gate electrode 255a, a semiconductor layer 240, a source electrode 245a, and a drain electrode 245b in the pixel region PIXEL of the plastic substrate 275, the pixel electrode 230a, An organic light emitting diode including an organic light emitting layer 280 and a second electrode 285 is formed. The data line 245c is formed in the data area Date of the plastic substrate 275, the gate pad 230b and the gate pad connection electrode 255c are formed in the gate pad area GPD, and the data pad area DPD ), a data pad 230c and a data pad connection electrode 255d are formed. Accordingly, the flexible display device according to the first embodiment of the present invention is manufactured.

전술한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 박막트랜지스터부터 화소 전극까지 순차적으로 적층하여 제조하는 일반적인 표시장치와는 달리, 화소 전극을 먼저 형성하고 박막트랜지스터를 제조하여 정반대로 제조한다. 따라서, 종래 임시 기판의 부착, 캐리어 기판의 분리, 플라스틱 기판의 부착 및 임시 기판의 분리로 2번의 트랜스퍼 공정과 2번의 분리 공정이 각각 수행되던 것과는 달리, 플라스틱 기판의 부착 및 캐리어 기판의 분리로 1번의 트랜스퍼 공정과 1번의 분리 공정을 수행하여 플렉서블 표시장치를 제조할 수 있다. 그러므로, 플렉서블 표시장치의 제조 공정을 단순화하고 제조비용을 절감하여 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. As described above, in the flexible display device according to the first embodiment of the present invention, unlike a general display device that is manufactured by sequentially stacking a thin film transistor to a pixel electrode, the pixel electrode is first formed and then the thin film transistor is manufactured. To manufacture. Therefore, unlike the conventional attachment of a temporary substrate, separation of a carrier substrate, attachment of a plastic substrate, and separation of a temporary substrate, two transfer processes and two separation processes were performed, respectively, by attaching a plastic substrate and detaching a carrier substrate. A flexible display device may be manufactured by performing the transfer process No. 1 and the separation process No. 1. Therefore, there is an advantage of simplifying the manufacturing process of the flexible display device and reducing manufacturing cost to improve productivity.

또한, 종래 차광층, 반도체층, 게이트 전극, 층간 절연막, 소스/드레인 전극, 오버코트, 패시베이션, 화소 전극 및 뱅크층의 제조에 총 9매의 마스크를 사용하나, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 뱅크층과 오버코트를 생략하고 화소 전극부터 제조함으로써, 제1 절연막과 차광층, 화소 전극, 반도체층과 소스/드레인 전극, 제2 및 제3 절연막, 게이트 전극의 총 5매의 마스크를 사용하여 제조비용을 절감하고 공정을 간소화할 수 있는 이점이 있다. 또한, 뱅크층과 오버코트의 유기재료들이 생략되기 때문에 아웃개싱 및 투습에 의한 유기 발광층의 열화를 방지하여 수명을 증가시킬 수 있는 이점이 있다. In addition, a total of 9 masks are used to manufacture the conventional light shielding layer, semiconductor layer, gate electrode, interlayer insulating film, source/drain electrode, overcoat, passivation, pixel electrode, and bank layer, but according to the first embodiment of the present invention. In a flexible display device, a total of five masks including the first insulating film and the light shielding layer, the pixel electrode, the semiconductor layer and the source/drain electrodes, the second and third insulating films, and the gate electrode are manufactured by omitting the bank layer and the overcoat and manufacturing the pixel electrode. It has the advantage of reducing the manufacturing cost and simplifying the process. In addition, since the organic materials of the bank layer and the overcoat are omitted, there is an advantage of increasing the lifespan by preventing deterioration of the organic light emitting layer due to outgassing and moisture permeation.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 도면이고, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면이다. 하기에서는 전술한 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.4 is a diagram illustrating a flexible display device according to a second embodiment of the present invention, and FIGS. 5A and 5B are diagrams illustrating a method of manufacturing the flexible display device according to the second embodiment of the present invention for each process. In the following, redundant descriptions of the same components as those of the first embodiment will be omitted.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치(300)는 화소 영역(PIXEL), 데이터 영역(Data), 게이트 패드 영역(GPD) 및 데이터 패드 영역(DPD)을 포함한다. 플라스틱 기판(300) 상에 접착층(315)이 위치하고, 접착층(315) 상에 제1 버퍼층(320a)과 제2 버퍼층(320b)을 포함하는 멀티 버퍼층(320)이 위치한다. 멀티 버퍼층(320) 상에 제1 절연막(325)이 위치하고 제1 절연막(325) 상에 컬러필터(CF)가 위치한다. 컬러필터(CF)는 유기 발광층에서 발광하는 흰색 광을 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)으로 각각 변환하는 역할을 하는 것으로, 각 서브화소(sub pixel)에 하나의 색의 컬러필터가 위치한다. 예를 들어, 제1 서브화소에는 적색 컬러필터가 위치하고 인접한 제2 서브화소에 녹색 컬러필터가 위치하고 인접한 제3 서브화소에 청색 컬러필터가 위치할 수 있다. 본 실시예에서는 설명을 위해 하나의 서브화소에 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 모두 도시함을 참고한다.Referring to FIG. 4, a flexible display device 300 according to a second embodiment of the present invention includes a pixel area PIXEL, a data area Data, a gate pad area GPD, and a data pad area DPD. . An adhesive layer 315 is positioned on the plastic substrate 300, and a multi-buffer layer 320 including a first buffer layer 320a and a second buffer layer 320b is positioned on the adhesive layer 315. A first insulating layer 325 is positioned on the multi-buffer layer 320 and a color filter CF is positioned on the first insulating layer 325. The color filter CF serves to convert white light emitted from the organic emission layer into red (R), green (G), and blue (B), respectively, and each sub-pixel has a color of one color. The filter is located. For example, a red color filter may be positioned in a first subpixel, a green color filter may be positioned in an adjacent second subpixel, and a blue color filter may be positioned in an adjacent third subpixel. In the present embodiment, for explanation, it is referred to that all red, green, and blue color filters are shown in one sub-pixel.

컬러필터(CF) 상에 제2 절연막(325)이 위치하고, 제2 절연막(325) 상의 화소 영역(PIXEL)에 게이트 전극(330a)과 화소 연결 전극(330b)이 위치하고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드 연결 전극(330c)이 위치하며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(330d)이 위치한다. 게이트 전극(330a) 상에 제3 절연막(335)이 위치하고, 제3 절연막(335) 상의 화소 영역(PIXEL)에 반도체층(343), 소스 전극(340a) 및 드레인 전극(340b)이 위치하고, 데이터 영역(Data)에 데이터 라인(340c)이 위치한다. 반도체층(343), 소스 전극(340a), 드레인 전극(340b) 및 데이터 라인(340c) 상에 제4 절연막(345)이 위치하고, 제4 절연막(345) 상에 반도체층(343)과 대응되는 영역에 차광층(350)이 위치한다. 또한, 제4 절연막(345) 상의 화소 영역(PIXEL)에 화소 연결 전극(330b)과 연결되는 화소 전극(355a)이 위치하고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드 연결 전극(330c)과 연결되는 게이트 패드(355b)가 위치하며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(330d)과 연결되는 데이터 패드(355c)가 위치한다. 여기서, 화소 연결 전극(330b)은 제1 콘택홀(CH1)을 통해 화소 전극(355a)과 연결되고, 게이트 패드 연결 전극(330c)은 제2 콘택홀(CH2)을 통해 게이트 패드(355b)와 연결되며, 데이터 패드 연결 전극(330d)은 제3 콘택홀(CH3)을 통해 데이터 패드(355c)와 연결된다.The second insulating layer 325 is positioned on the color filter CF, the gate electrode 330a and the pixel connection electrode 330b are positioned in the pixel area PIXEL on the second insulating layer 325, and the gate pad area GPD The gate pad connection electrode 330c is positioned in the data pad area DPD, and the data pad connection electrode 330d is positioned in the data pad area DPD. The third insulating layer 335 is positioned on the gate electrode 330a, the semiconductor layer 343, the source electrode 340a, and the drain electrode 340b are positioned in the pixel region PIXEL on the third insulating layer 335, and data The data line 340c is located in the area Data. The fourth insulating layer 345 is positioned on the semiconductor layer 343, the source electrode 340a, the drain electrode 340b, and the data line 340c, and corresponding to the semiconductor layer 343 on the fourth insulating layer 345 The light blocking layer 350 is positioned in the region. In addition, the pixel electrode 355a connected to the pixel connection electrode 330b is located in the pixel region PIXEL on the fourth insulating layer 345, and the gate connected to the gate pad connection electrode 330c is located in the gate pad region GPD. The pad 355b is positioned, and the data pad 355c connected to the data pad connection electrode 330d is positioned in the data pad area DPD. Here, the pixel connection electrode 330b is connected to the pixel electrode 355a through the first contact hole CH1, and the gate pad connection electrode 330c is connected to the gate pad 355b through the second contact hole CH2. The data pad connection electrode 330d is connected to the data pad 355c through the third contact hole CH3.

화소 전극(355a), 게이트 패드(355b) 및 데이터 패드(355c) 상에 제5 절연막(360)이 위치한다. 노출된 화소 전극(355a) 상에 유기 발광층(365)이 위치한다. 그리고, 화소 영역(PIXEL)과 데이터 영역(Data) 상에 대향 전극(370)이 위치하여 유기발광 다이오드(EL)를 구성함으로써, 플렉서블 표시장치(300)를 구성한다. A fifth insulating layer 360 is positioned on the pixel electrode 355a, the gate pad 355b, and the data pad 355c. The organic emission layer 365 is positioned on the exposed pixel electrode 355a. In addition, the flexible display device 300 is configured by forming the organic light emitting diode EL by having the opposite electrode 370 positioned on the pixel area PIXEL and the data area Data.

이하, 도 5a 및 도 5b를 참조하여 전술한 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 대해 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 전술한 제1 실시예와 동일한 제조 공정에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the flexible display device according to the second embodiment of the present invention described above will be described with reference to FIGS. 5A and 5B. Hereinafter, descriptions of the same manufacturing processes as those of the first embodiment will be omitted.

도 5a를 참조하면, 캐리어 기판(410) 상에 희생층(415)과 제5 절연막(420)을 형성한다. 제5 절연막(420) 상에 제1 마스크(M1)를 이용하여 제5 절연막(420)과 차광층(425)을 동시에 패터닝하여, 차광층(425), 제1 개구부(427a), 제2 개구부(427b) 및 제3 개구부(427c)를 형성한다. 이어, 캐리어 기판(410) 상에 제2 마스크(M2)를 이용하여 화소 전극(430a), 게이트 패드(430b) 및 데이터 패드(430c)를 형성한다. 그리고, 캐리어 기판(410) 상에 제4 절연막(435)을 형성하고, 제4 절연막(435) 상에 제3 마스크(M3)를 이용하여 반도체층(440), 소스 전극(445a), 드레인 전극(445b) 및 데이터 라인(445c)을 형성한다. 다음, 캐리어 기판(410) 상에 제3 절연막(450)을 형성하고, 제4 마스크(M4)를 이용하여 제1 콘택홀(452a), 제2 콘택홀(452b) 및 제3 콘택홀(452c)을 형성한다. 그리고, 캐리어 기판(410) 상에 제5 마스크(M5)를 이용하여 게이트 전극(455a), 화소 연결 전극(455b), 게이트 패드 연결 전극(455c) 및 데이터 패드 연결 전극(455d)을 형성한다. 이어, 캐리어 기판(410) 상에 제2 절연막(460)을 형성한다.Referring to FIG. 5A, a sacrificial layer 415 and a fifth insulating layer 420 are formed on a carrier substrate 410. The fifth insulating layer 420 and the light blocking layer 425 are simultaneously patterned on the fifth insulating layer 420 by using the first mask M1, so that the light blocking layer 425, the first opening 427a, and the second opening are formed. 427b and a third opening 427c are formed. Subsequently, a pixel electrode 430a, a gate pad 430b, and a data pad 430c are formed on the carrier substrate 410 using the second mask M2. In addition, a fourth insulating layer 435 is formed on the carrier substrate 410, and the semiconductor layer 440, the source electrode 445a, and the drain electrode are formed on the fourth insulating layer 435 by using a third mask M3. 445b and a data line 445c are formed. Next, a third insulating layer 450 is formed on the carrier substrate 410, and the first contact hole 452a, the second contact hole 452b, and the third contact hole 452c are formed using the fourth mask M4. ) To form. Further, a gate electrode 455a, a pixel connection electrode 455b, a gate pad connection electrode 455c, and a data pad connection electrode 455d are formed on the carrier substrate 410 by using the fifth mask M5. Subsequently, a second insulating layer 460 is formed on the carrier substrate 410.

다음, 도 5b를 참조하면, 제2 절연막(460)이 형성된 캐리어 기판(410) 상에 컬러필터(CF)를 형성한다. 보다 자세하게는, 캐리어 기판(410) 상에 적색 컬러필터 재료를 도포하고 제6 마스크(M6)를 이용하여 적색 컬러필터(R)를 형성하고, 녹색 컬러필터를 도포하고 제7 마스크(M7)를 이용하여 녹색 컬러필터(G)를 형성하고, 청색 컬러필터를 도포하고 제8 마스크(M8)를 이용하여 청색 컬러필터(B)를 형성한다. 이어, 컬러필터(CF)가 형성된 캐리어 기판(410) 상에 제1 절연막(463)을 형성하고, 제1 버퍼층(465a)과 제2 버퍼층(465b)을 포함하는 멀티 버퍼층(465)을 형성한다. 다음으로, 전술한 제1 실시예의 도 3f 내지 3h에서 설명한 바와 같이, 플라스틱 기판의 접착 공정, 캐리어 기판의 분리 공정 및 유기 발광층과 대향 전극의 형성 공정을 수행하여 도 4에 도시된 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 제조한다.Next, referring to FIG. 5B, a color filter CF is formed on the carrier substrate 410 on which the second insulating layer 460 is formed. In more detail, a red color filter material is applied on the carrier substrate 410, a red color filter R is formed using a sixth mask M6, a green color filter is applied, and a seventh mask M7 is applied. A green color filter (G) is formed by using, a blue color filter is applied, and a blue color filter (B) is formed by using the eighth mask (M8). Then, a first insulating layer 463 is formed on the carrier substrate 410 on which the color filter CF is formed, and a multi-buffer layer 465 including the first buffer layer 465a and the second buffer layer 465b is formed. . Next, as described with reference to FIGS. 3F to 3H of the first embodiment, the bonding process of the plastic substrate, the separation process of the carrier substrate, and the formation process of the organic light emitting layer and the counter electrode are performed. 2 A flexible display device according to the embodiment is manufactured.

본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 컬러필터 상부에 박막트랜지스터가 위치하는 COT(Color filter On TFT) 구조의 일예로 박막트랜지스터와 화소 전극의 고온 공정이 다 끝난 후에 컬러필터를 제조하기 때문에 고온에 의해 컬러필터가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 박막트랜지스터 상부에 컬러필터가 위치하는 TOC(TFT On Color filter) 구조에서는 화소 전극이 박막트랜지스터에 연결되기 위한 홀이 컬러필터에 형성되지만, 본 발명의 제2 실시예의 구조에서는 컬러필터에 홀이 형성되지 않기 때문에 개구율이 향상되는 이점이 있다. The flexible display device according to the second embodiment of the present invention is an example of a color filter on TFT (COT) structure in which a thin film transistor is positioned on a color filter. After the high-temperature process of the thin film transistor and the pixel electrode is completed, the color filter is manufactured. Therefore, it is possible to prevent the color filter from being damaged by high temperature. In addition, in the TOC (TFT On Color filter) structure in which the color filter is located above the thin film transistor, holes for connecting the pixel electrodes to the thin film transistor are formed in the color filter, but in the structure of the second embodiment of the present invention, holes are formed in the color filter Since this is not formed, there is an advantage that the aperture ratio is improved.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 도면이고, 도 7a 및 도 7b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면이다.6 is a diagram illustrating a flexible display device according to a third embodiment of the present invention, and FIGS. 7A and 7B are diagrams illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to the third embodiment of the present invention by process.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치(500)는 화소 영역(PIXEL), 데이터 영역(Data), 게이트 패드 영역(GPD) 및 데이터 패드 영역(DPD)을 포함한다. 플라스틱 기판(500) 상에 접착층(515)이 위치하고, 접착층(515) 상에 제1 버퍼층(520a)과 제2 버퍼층(520b)을 포함하는 멀티 버퍼층(520)이 위치한다. 멀티 버퍼층(520) 상에 제1 절연막(525)이 위치하고 제1 절연막(525) 상의 화소 영역(PIXEL)에 게이트 전극(530a)이 위치하고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드 연결 전극(530b)이 위치하며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(530c)이 위치한다. 게이트 전극(530a) 상에 제2 절연막(535)이 위치하고, 제2 절연막(535) 상의 화소 영역(PIXEL)에 반도체층(543), 소스 전극(540a) 및 드레인 전극(540b)이 위치하고, 데이터 영역(Data)에 데이터 라인(540c)이 위치한다. 반도체층(543), 소스 전극(540a), 드레인 전극(540b) 및 데이터 라인(540c) 상에 제3 절연막(545)이 위치하고, 제3 절연막(545) 상에 반도체층(543)과 대응되는 영역에 차광층(550)이 위치한다. 또한, 제3 절연막(545) 상의 화소 영역(PIXEL)에 드레인 전극(540b)과 연결되는 화소 전극(555a)이 위치하고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드 연결 전극(530b)과 연결되는 게이트 패드(555b)가 위치하며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(540d)과 연결되는 데이터 패드(555c)가 위치한다. 여기서, 드레인 전극(540b)은 제1 콘택홀(CH1)을 통해 화소 전극(555a)과 연결되고, 게이트 패드 연결 전극(530b)은 제2 콘택홀(CH2)을 통해 게이트 패드(555b)와 연결되며, 데이터 패드 연결 전극(540d)은 제3 콘택홀(CH3)을 통해 데이터 패드(555c)와 연결된다.Referring to FIG. 6, the flexible display device 500 according to the third embodiment of the present invention includes a pixel area PIXEL, a data area Data, a gate pad area GPD, and a data pad area DPD. . An adhesive layer 515 is positioned on the plastic substrate 500, and a multi-buffer layer 520 including a first buffer layer 520a and a second buffer layer 520b is positioned on the adhesive layer 515. The first insulating layer 525 is positioned on the multi-buffer layer 520, the gate electrode 530a is positioned in the pixel area PIXEL on the first insulating layer 525, and the gate pad connection electrode 530b is positioned in the gate pad area GPD. This is located, and the data pad connection electrode 530c is located in the data pad area DPD. The second insulating layer 535 is positioned on the gate electrode 530a, the semiconductor layer 543, the source electrode 540a, and the drain electrode 540b are positioned in the pixel region PIXEL on the second insulating layer 535, and data The data line 540c is located in the area Data. The third insulating layer 545 is positioned on the semiconductor layer 543, the source electrode 540a, the drain electrode 540b, and the data line 540c, and corresponding to the semiconductor layer 543 on the third insulating layer 545 The light blocking layer 550 is positioned in the region. In addition, a pixel electrode 555a connected to the drain electrode 540b is located in the pixel region PIXEL on the third insulating layer 545, and a gate pad connected to the gate pad connection electrode 530b in the gate pad region GPD. A 555b is positioned, and a data pad 555c connected to the data pad connection electrode 540d is positioned in the data pad area DPD. Here, the drain electrode 540b is connected to the pixel electrode 555a through the first contact hole CH1, and the gate pad connection electrode 530b is connected to the gate pad 555b through the second contact hole CH2. The data pad connection electrode 540d is connected to the data pad 555c through the third contact hole CH3.

화소 전극(555a), 게이트 패드(555b) 및 데이터 패드(555c) 상에 제4 절연막(560)이 위치한다. 노출된 화소 전극(555a) 상에 유기 발광층(565)이 위치한다. 그리고, 화소 영역(PIXEL)과 데이터 영역(Data) 상에 대향 전극(570)이 위치하여 유기발광 다이오드(EL)를 구성함으로써, 플렉서블 표시장치(500)를 구성한다. A fourth insulating layer 560 is positioned on the pixel electrode 555a, the gate pad 555b, and the data pad 555c. An organic emission layer 565 is positioned on the exposed pixel electrode 555a. In addition, the flexible display device 500 is configured by forming the organic light emitting diode EL by having the counter electrode 570 positioned on the pixel area PIXEL and the data area Data.

이하, 도 7a 및 도 7b를 참조하여 전술한 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 대해 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 전술한 제1 및 제2 실시예와 동일한 제조 공정에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the flexible display device according to the third embodiment of the present invention described above will be described with reference to FIGS. 7A and 7B. Hereinafter, descriptions of the same manufacturing processes as those of the first and second embodiments will be omitted.

도 7a를 참조하면, 캐리어 기판(610) 상에 희생층(615)과 제4 절연막(620)을 형성한다. 제4 절연막(620) 상에 제1 마스크(M1)를 이용하여 제4 절연막(620)과 차광층(625)을 동시에 패터닝하여, 차광층(625), 제1 개구부(627a), 제2 개구부(627b) 및 제3 개구부(627c)를 형성한다. 이어, 캐리어 기판(610) 상에 제2 마스크(M2)를 이용하여 화소 전극(630a), 게이트 패드(630b) 및 데이터 패드(630c)를 형성한다. 그리고, 캐리어 기판(610) 상에 제3 절연막(635)을 형성하고, 제3 절연막(635) 상에 제3 마스크(M3)를 이용하여 화소 전극(630a)을 노출하는 제1 콘택홀(CH1)을 형성하고, 게이트 패드(630b)를 노출하는 제2 콘택홀(CH2)을 형성하고, 데이터 패드(630c)를 노출하는 제3 콘택홀(CH3)을 형성한다. Referring to FIG. 7A, a sacrificial layer 615 and a fourth insulating layer 620 are formed on the carrier substrate 610. The fourth insulating layer 620 and the light blocking layer 625 are simultaneously patterned on the fourth insulating layer 620 by using the first mask M1, so that the light blocking layer 625, the first opening 627a, and the second opening are formed. (627b) and a third opening 627c are formed. Then, a pixel electrode 630a, a gate pad 630b, and a data pad 630c are formed on the carrier substrate 610 using the second mask M2. In addition, a first contact hole CH1 exposing the pixel electrode 630a by forming a third insulating layer 635 on the carrier substrate 610 and using a third mask M3 on the third insulating layer 635 ), forming a second contact hole CH2 exposing the gate pad 630b, and forming a third contact hole CH3 exposing the data pad 630c.

다음, 도 7b를 참조하면, 제3 절연막(635) 상에 산화물 반도체층과 금속층을 적층한 후 제4 마스크(M4)를 이용하여 반도체층(640), 소스 전극(645a), 드레인 전극(645b), 데이터 라인(645c) 및 데이터 패드 연결 전극(645d)을 형성한다. 이때, 드레인 전극(645b)은 제1 콘택홀(CH1)을 통해 화소 전극(630a)과 연결되고, 데이터 패드 연결 전극(645d)은 제3 콘택홀(CH3)을 통해 데이터 패드(630c)와 연결된다. 다음, 캐리어 기판(610) 상에 제2 절연막(650)을 형성하고, 제2 절연막(650) 상에 금속층을 적층한 후 제5 마스크(M5)를 이용하여 게이트 전극(655a) 및 게이트 패드 연결 전극(655b)을 형성한다. 따라서, 게이트 패드 연결 전극(655b)은 제2 콘택홀(CH2)을 통해 게이트 패드(630b)에 연결된다. 다음으로, 전술한 제1 실시예의 도 3e 내지 3h에서 설명한 바와 같이, 멀티 버퍼층 형성 공정, 플라스틱 기판의 접착 공정, 캐리어 기판의 분리 공정 및 유기 발광층과 대향 전극의 형성 공정을 수행하여 도 6에 도시된 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 제조한다.Next, referring to FIG. 7B, after stacking an oxide semiconductor layer and a metal layer on the third insulating layer 635, the semiconductor layer 640, the source electrode 645a, and the drain electrode 645b are formed using a fourth mask M4. ), a data line 645c, and a data pad connection electrode 645d are formed. At this time, the drain electrode 645b is connected to the pixel electrode 630a through the first contact hole CH1, and the data pad connection electrode 645d is connected to the data pad 630c through the third contact hole CH3. do. Next, a second insulating layer 650 is formed on the carrier substrate 610, a metal layer is stacked on the second insulating layer 650, and then the gate electrode 655a and the gate pad are connected using a fifth mask M5. An electrode 655b is formed. Accordingly, the gate pad connection electrode 655b is connected to the gate pad 630b through the second contact hole CH2. Next, as described in FIGS. 3E to 3H of the first embodiment, a multi-buffer layer forming process, a plastic substrate bonding process, a carrier substrate separation process, and an organic light emitting layer and a counter electrode forming process are performed, as shown in FIG. The flexible display device according to the third embodiment of the present invention is manufactured.

본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 전술한 제1 및 제2 실시예에서 형성된 화소 연결 전극 대신에 드레인 전극이 직접 화소 전극에 컨택하는 구조를 설명하였다. 본 발명의 제3 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 전술한 제1 실시예와 동일한 효과를 가지므로 자세한 설명을 생략한다.In the flexible display device according to the third embodiment of the present invention, a structure in which a drain electrode directly contacts a pixel electrode instead of the pixel connection electrode formed in the above-described first and second embodiments has been described. Since the flexible display device according to the third embodiment of the present invention has the same effect as the above-described first embodiment, detailed descriptions are omitted.

도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 나타낸 도면이고, 도 9a 및 도 9b는 본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 공정별로 나타낸 도면이다.8 is a diagram illustrating a flexible display device according to a fourth embodiment of the present invention, and FIGS. 9A and 9B are diagrams showing a manufacturing method of the flexible display device according to the fourth embodiment of the present invention by process.

도 8을 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치(700)는 화소 영역(PIXEL), 데이터 영역(Data), 게이트 패드 영역(GPD) 및 데이터 패드 영역(DPD)을 포함한다. 플라스틱 기판(700) 상에 접착층(715)이 위치하고, 접착층(715) 상에 제1 버퍼층(720a)과 제2 버퍼층(720b)을 포함하는 멀티 버퍼층(720)이 위치한다. 멀티 버퍼층(720) 상에 제1 절연막(725)이 위치하고 제1 절연막(725) 상의 화소 영역(PIXEL)에 차광층(730a)과 화소 연결 전극(730b)이 위치하고, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(730c)이 위치한다. 차광층(730a) 상에 제2 절연막(735)이 위치하고, 제2 절연막(735) 상의 화소 영역(PIXEL)에 반도체층(743), 소스 전극(740a) 및 드레인 전극(740b)이 위치하고, 데이터 영역(Data)에 데이터 라인(740c)이 위치한다. 반도체층(743), 소스 전극(740a), 드레인 전극(740b) 및 데이터 라인(740c) 상에 제3 절연막(745)이 위치하고, 제3 절연막(745) 상에 반도체층(743)과 대응되는 영역에 게이트 전극(750a)이 위치한다. 또한, 제3 절연막(745) 상의 화소 영역(PIXEL)에 화소 연결 전극(730b)과 연결되는 화소 전극(755a)이 위치하고, 게이트 패드 영역(GPD)에 게이트 패드 연결 전극(750b)과 연결되는 게이트 패드(755b)가 위치하며, 데이터 패드 영역(DPD)에 데이터 패드 연결 전극(730c)과 연결되는 데이터 패드(755c)가 위치한다. 여기서, 화소 연결 전극(730a)은 제1 콘택홀(CH1)을 통해 화소 전극(755a)에 연결되고, 데이터 패드 연결 전극(730c)은 제2 콘택홀(CH2)을 통해 데이터 패드(755c)와 연결된다.Referring to FIG. 8, a flexible display device 700 according to a fourth embodiment of the present invention includes a pixel area PIXEL, a data area Data, a gate pad area GPD, and a data pad area DPD. . An adhesive layer 715 is positioned on the plastic substrate 700, and a multi-buffer layer 720 including a first buffer layer 720a and a second buffer layer 720b is positioned on the adhesive layer 715. The first insulating layer 725 is located on the multi-buffer layer 720, the light blocking layer 730a and the pixel connection electrode 730b are located in the pixel area PIXEL on the first insulating layer 725, and in the data pad area DPD. The data pad connection electrode 730c is positioned. The second insulating layer 735 is positioned on the light blocking layer 730a, the semiconductor layer 743, the source electrode 740a, and the drain electrode 740b are positioned in the pixel region PIXEL on the second insulating layer 735, and data The data line 740c is located in the area Data. The third insulating layer 745 is positioned on the semiconductor layer 743, the source electrode 740a, the drain electrode 740b, and the data line 740c, and corresponding to the semiconductor layer 743 on the third insulating layer 745 The gate electrode 750a is positioned in the region. In addition, a pixel electrode 755a connected to the pixel connection electrode 730b is located in the pixel region PIXEL on the third insulating layer 745, and a gate connected to the gate pad connection electrode 750b is located in the gate pad region GPD. The pad 755b is positioned, and the data pad 755c connected to the data pad connection electrode 730c is positioned in the data pad area DPD. Here, the pixel connection electrode 730a is connected to the pixel electrode 755a through the first contact hole CH1, and the data pad connection electrode 730c is connected to the data pad 755c through the second contact hole CH2. Connected.

화소 전극(755a), 게이트 패드(755b) 및 데이터 패드(755c) 상에 제4 절연막(760)이 위치한다. 노출된 화소 전극(755a) 상에 유기 발광층(765)이 위치한다. 그리고, 화소 영역(PIXEL)과 데이터 영역(Data) 상에 대향 전극(770)이 위치하여 유기발광 다이오드(EL)를 구성함으로써, 플렉서블 표시장치(700)를 구성한다. A fourth insulating layer 760 is positioned on the pixel electrode 755a, the gate pad 755b, and the data pad 755c. An organic emission layer 765 is positioned on the exposed pixel electrode 755a. In addition, the flexible display device 700 is configured by forming the organic light emitting diode EL by having the counter electrode 770 positioned on the pixel area PIXEL and the data area Data.

이하, 도 9a 및 도 9b를 참조하여 전술한 본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 대해 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 전술한 제1 내지 제3 실시예와 동일한 제조 공정에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the flexible display device according to the fourth exemplary embodiment described above will be described with reference to FIGS. 9A and 9B. Hereinafter, descriptions of the same manufacturing processes as those of the first to third embodiments will be omitted.

도 9a를 참조하면, 캐리어 기판(810) 상에 희생층(815)과 제4 절연막(820)을 형성한다. 제4 절연막(820) 상에 금속층을 형성하고 제1 마스크(M1)를 이용하여 제4 절연막(820)을 패터닝하여, 제1 개구부(827a), 제2 개구부(827b) 및 제3 개구부(827c)를 형성한다. 이어, 캐리어 기판(810) 상에 제2 마스크(M2)를 이용하여 화소 전극(830a), 게이트 패드(830b) 및 데이터 패드(830c)를 형성한다. 그리고, 캐리어 기판(810) 상에 금속층을 적층하고 제3 마스크(M3)를 이용하여 화소 영역(PIXEL)의 일부에 게이트 전극(825)을 형성하고 게이트 패드(830b) 상에 게이트 패드 연결 전극(825b)를 형성한다. Referring to FIG. 9A, a sacrificial layer 815 and a fourth insulating layer 820 are formed on the carrier substrate 810. A metal layer is formed on the fourth insulating layer 820 and the fourth insulating layer 820 is patterned using the first mask M1 to form the first opening 827a, the second opening 827b, and the third opening 827c. ) To form. Subsequently, a pixel electrode 830a, a gate pad 830b, and a data pad 830c are formed on the carrier substrate 810 by using the second mask M2. In addition, a metal layer is stacked on the carrier substrate 810, a gate electrode 825 is formed in a part of the pixel region PIXEL using the third mask M3, and a gate pad connection electrode is formed on the gate pad 830b. 825b).

다음, 도 9b를 참조하면, 캐리어 기판(810) 상에 제3 절연막(835)을 형성하고, 제3 절연막(835) 상에 산화물 반도체층과 금속층을 적층한 후 제4 마스크(M4)를 이용하여 반도체층(840), 소스 전극(845a), 드레인 전극(845b) 및 데이터 라인(845c)을 형성한다. 다음, 캐리어 기판(810) 상에 제2 절연막(850)을 형성하고, 제5 마스크(M5)를 이용하여 화소 전극(830a)을 노출하는 제1 콘택홀(CH1)을 형성하고, 데이터 패드(830c)를 노출하는 제2 콘택홀(CH2)을 형성한다. 이어, 제2 절연막(850) 상에 금속층을 적층한 후 제6 마스크(M5)를 이용하여 차광층(855a) 및 데이터 패드 연결 전극(855b)을 형성한다. 따라서, 데이터 패드 연결 전극(855b)은 제2 콘택홀(CH2)을 통해 데이터 패드(630c)에 연결된다. 다음으로, 전술한 제1 실시예의 도 3e 내지 3h에서 설명한 바와 같이, 멀티 버퍼층 형성 공정, 플라스틱 기판의 접착 공정, 캐리어 기판의 분리 공정 및 유기 발광층과 대향 전극의 형성 공정을 수행하여 도 8에 도시된 본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 제조한다.Next, referring to FIG. 9B, a third insulating layer 835 is formed on the carrier substrate 810, an oxide semiconductor layer and a metal layer are stacked on the third insulating layer 835, and then a fourth mask M4 is used. Thus, a semiconductor layer 840, a source electrode 845a, a drain electrode 845b, and a data line 845c are formed. Next, a second insulating layer 850 is formed on the carrier substrate 810, a first contact hole CH1 exposing the pixel electrode 830a is formed using the fifth mask M5, and a data pad ( A second contact hole CH2 exposing 830c is formed. Subsequently, after depositing a metal layer on the second insulating layer 850, the light blocking layer 855a and the data pad connection electrode 855b are formed using the sixth mask M5. Accordingly, the data pad connection electrode 855b is connected to the data pad 630c through the second contact hole CH2. Next, as described in FIGS. 3E to 3H of the first embodiment, a multi-buffer layer forming process, a plastic substrate bonding process, a carrier substrate separation process, and an organic light emitting layer and a counter electrode formation process are performed, as shown in FIG. The flexible display device according to the fourth embodiment of the present invention is manufactured.

본 발명의 제4 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 전술한 제1 내지 제3 실시예에서 개시한 탑 게이트형 박막트랜지스터와는 반대로 바텀 게이트형 박막트랜지스터를 구비한 구조를 설명하였다. In the flexible display device according to the fourth exemplary embodiment of the present invention, a structure including a bottom gate type thin film transistor has been described as opposed to the top gate type thin film transistor disclosed in the first to third exemplary embodiments.

전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 표시장치는 박막트랜지스터부터 화소 전극까지 순차적으로 적층하여 제조하는 일반적인 표시장치와는 달리, 화소 전극을 먼저 형성하고 박막트랜지스터를 제조하여 정반대로 제조한다. 따라서, 종래 임시 기판의 부착, 캐리어 기판의 분리, 플라스틱 기판의 부착 및 임시 기판의 분리로 2번의 트랜스퍼 공정과 2번의 분리 공정이 각각 수행되던 것과는 달리, 플라스틱 기판의 부착 및 캐리어 기판의 분리로 1번의 트랜스퍼 공정과 1번의 분리 공정을 수행하여 플렉서블 표시장치를 제조할 수 있다. 그러므로, 플렉서블 표시장치의 제조 공정을 단순화하고 제조비용을 절감하여 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. As described above, the flexible display device according to the embodiments of the present invention is manufactured in the opposite direction by forming a pixel electrode first and then manufacturing a thin film transistor, unlike a general display device that is manufactured by sequentially stacking a thin film transistor to a pixel electrode. do. Therefore, unlike the conventional attachment of a temporary substrate, separation of a carrier substrate, attachment of a plastic substrate, and separation of a temporary substrate, two transfer processes and two separation processes were performed, respectively, by attaching a plastic substrate and detaching a carrier substrate. A flexible display device may be manufactured by performing the transfer process No. 1 and the separation process No. 1. Therefore, there is an advantage of simplifying the manufacturing process of the flexible display device and reducing manufacturing cost to improve productivity.

또한, 종래 차광층, 반도체층, 게이트 전극, 층간 절연막, 소스/드레인 전극, 오버코트, 패시베이션, 화소 전극 및 뱅크층의 제조에 총 9매의 마스크를 사용하나, 본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 표시장치는 뱅크층과 오버코트를 생략하고 화소 전극부터 제조함으로써, 제1 절연막과 차광층, 화소 전극, 반도체층과 소스/드레인 전극, 제2 및 제3 절연막, 게이트 전극의 총 5매의 마스크를 사용하여 제조비용을 절감하고 공정을 간소화할 수 있는 이점이 있다.In addition, a total of 9 masks are used to manufacture the conventional light shielding layer, semiconductor layer, gate electrode, interlayer insulating layer, source/drain electrode, overcoat, passivation, pixel electrode, and bank layer, but flexible according to embodiments of the present invention In the display device, by omitting the bank layer and the overcoat and manufacturing the pixel electrode, a total of five masks including the first insulating film and the light blocking layer, the pixel electrode, the semiconductor layer and the source/drain electrodes, the second and third insulating films, and the gate electrode are formed. It has the advantage of reducing manufacturing costs and simplifying the process.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above is in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention by those skilled in the art. It will be appreciated that it can be implemented. Therefore, the embodiments described above are illustrative in all respects and should be understood as non-limiting. In addition, the scope of the present invention is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description. In addition, all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100: 플렉서블 표시장치 110 : 플라스틱 기판
115 : 접착층 120 : 멀티 버퍼층
125 : 제1 절연막 130a : 게이트 전극
135 : 제2 절연막 136a : 소스 전극
136b : 드레인 전극 143 : 반도체층
145 : 제3 절연막 150 : 차광층
155a : 화소 전극 160 : 제4 절연막
165 : 유기 발광층 170 : 대향 전극100: flexible display device 110: plastic substrate
115: adhesive layer 120: multi buffer layer
125: first insulating film 130a: gate electrode
135: second insulating film 136a: source electrode
136b: drain electrode 143: semiconductor layer
145: third insulating film 150: light shielding layer
155a: pixel electrode 160: fourth insulating film
165: organic light emitting layer 170: counter electrode

Claims (8)

플라스틱 기판;
상기 플라스틱 기판 상에 위치하는 접착층;
상기 접착층 상에 위치하는 멀티 버퍼층;
상기 멀티 버퍼층 상에 위치하는 제1 절연막;
상기 제1 절연막의 제1 오목부에 채워진 게이트 전극;
상기 제1 절연막 상에 위치하는 제2 절연막;
상기 제2 절연막의 제2 오목부에 채워진 소스 전극 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 상에 위치하는 반도체층;
상기 반도체층 상에 위치하는 제3 절연막;
상기 제3 절연막의 제3 오목부에 채워진 차광층 및 상기 제3 절연막의 볼록부에 위치하며 상기 드레인 전극과 연결된 화소 전극;
상기 차광층 및 화소 전극 상에 위치하는 제4 절연막;
상기 화소 전극 상에 위치하는 유기 발광층; 및
상기 유기 발광층 상에 위치하는 대향 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치.
Plastic substrate;
An adhesive layer positioned on the plastic substrate;
A multi-buffer layer on the adhesive layer;
A first insulating layer on the multi-buffer layer;
A gate electrode filled in the first concave portion of the first insulating layer;
A second insulating layer on the first insulating layer;
A source electrode and a drain electrode filled in the second concave portion of the second insulating layer, and a semiconductor layer disposed on the source electrode and the drain electrode;
A third insulating layer on the semiconductor layer;
A light blocking layer filled in a third concave portion of the third insulating layer and a pixel electrode positioned at a convex portion of the third insulating layer and connected to the drain electrode;
A fourth insulating layer on the light blocking layer and the pixel electrode;
An organic emission layer positioned on the pixel electrode; And
And a counter electrode on the organic emission layer.
제1 항에 있어서,
상기 화소 전극의 상면은 상기 제4 절연막의 상면과 동일 선 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치.
The method of claim 1,
The flexible display device, wherein an upper surface of the pixel electrode is positioned on the same line as an upper surface of the fourth insulating layer.
제1 항에 있어서,
상기 제1 절연막의 제4 오목부에 채워진 화소 연결 전극을 더 포함하며,
상기 화소 연결 전극은 상기 드레인 전극과 컨택하며 상기 화소 전극에 연결되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치.
The method of claim 1,
Further comprising a pixel connection electrode filled in the fourth concave portion of the first insulating layer,
The pixel connection electrode is in contact with the drain electrode and is connected to the pixel electrode.
제1 항에 있어서,
상기 멀티 버퍼층과 상기 제1 절연막 사이에 컬러필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치.
The method of claim 1,
The flexible display device further comprising a color filter between the multi-buffer layer and the first insulating layer.
캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;
상기 희생층 상에 제1 마스크를 이용하여 차광층 및 제1 개구부를 포함하는 제1 절연막을 형성하는 단계;
상기 제1 절연막의 제1 개구부 상에 제2 마스크를 이용하여 화소 전극을 형성하는 단계;
상기 화소 전극 상에 제2 절연막을 형성하고 제3 마스크를 이용하여 소스 전극 및 드레인 전극을 형성함과 동시에 반도체층을 형성하는 단계;
상기 반도체층 상에 제3 절연막을 형성하고 제4 마스크를 이용하여 드레인 전극과 화소 전극을 노출하는 콘택홀을 형성하는 단계;
상기 제3 절연막 상에 제5 마스크를 이용하여 상기 반도체층에 대응하는 게이트 전극을 형성함과 동시에 상기 콘택홀을 채우는 화소 연결 전극을 형성하는 단계;
상기 게이트 전극 상에 제4 절연막을 형성하는 단계;
상기 제4 절연막 상에 멀티 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 멀티 버퍼층 상에 접착층을 형성하고 플라스틱 기판을 부착하는 단계;
상기 희생층에 레이저를 조사하여 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계;
상기 플라스틱 기판을 반전하고 상기 화소 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및
상기 유기 발광층 상에 대향 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
Forming a sacrificial layer on the carrier substrate;
Forming a first insulating layer including a light blocking layer and a first opening on the sacrificial layer by using a first mask;
Forming a pixel electrode on the first opening of the first insulating layer by using a second mask;
Forming a second insulating layer on the pixel electrode, forming a source electrode and a drain electrode using a third mask, and simultaneously forming a semiconductor layer;
Forming a third insulating layer on the semiconductor layer and forming a contact hole exposing the drain electrode and the pixel electrode using a fourth mask;
Forming a gate electrode corresponding to the semiconductor layer on the third insulating layer by using a fifth mask and simultaneously forming a pixel connection electrode filling the contact hole;
Forming a fourth insulating film on the gate electrode;
Forming a multi-buffer layer on the fourth insulating layer;
Forming an adhesive layer on the multi-buffer layer and attaching a plastic substrate;
Separating the carrier substrate by irradiating a laser onto the sacrificial layer;
Inverting the plastic substrate and forming an organic emission layer on the pixel electrode; And
And forming an opposite electrode on the organic emission layer.
제5 항에 있어서,
상기 제1 마스크 및 상기 제3 마스크는 하프톤 마스크인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
The method of claim 5,
The method of manufacturing a flexible display device, wherein the first mask and the third mask are halftone masks.
캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;
상기 희생층 상에 제1 마스크를 이용하여 차광층 및 제1 개구부를 포함하는 제1 절연막을 형성하는 단계;
상기 제1 절연막의 제1 개구부 상에 제2 마스크를 이용하여 화소 전극을 형성하는 단계;
상기 화소 전극 상에 제2 절연막을 형성하고 제3 마스크를 이용하여 화소 전극을 노출하는 콘택홀을 형성하는 단계;
상기 제2 절연막 상에 제4 마스크를 이용하여 소스 전극 및 드레인 전극을 형성함과 동시에 반도체층을 형성하고, 상기 반도체층 상에 제 3 절연막을 형성하는 단계;
상기 제3 절연막 상에 제5 마스크를 이용하여 상기 반도체층에 대응하는 게이트 전극을 형성하는 단계;
상기 게이트 전극 상에 제4 절연막을 형성하는 단계;
상기 제4 절연막 상에 멀티 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 멀티 버퍼층 상에 접착층을 형성하고 플라스틱 기판을 부착하는 단계;
상기 희생층에 레이저를 조사하여 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계;
상기 플라스틱 기판을 반전하고 상기 화소 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및
상기 유기 발광층 상에 대향 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
Forming a sacrificial layer on the carrier substrate;
Forming a first insulating layer including a light blocking layer and a first opening on the sacrificial layer by using a first mask;
Forming a pixel electrode on the first opening of the first insulating layer by using a second mask;
Forming a second insulating layer on the pixel electrode and forming a contact hole exposing the pixel electrode by using a third mask;
Forming a semiconductor layer while forming a source electrode and a drain electrode on the second insulating layer by using a fourth mask, and forming a third insulating layer on the semiconductor layer;
Forming a gate electrode corresponding to the semiconductor layer on the third insulating layer by using a fifth mask;
Forming a fourth insulating film on the gate electrode;
Forming a multi-buffer layer on the fourth insulating layer;
Forming an adhesive layer on the multi-buffer layer and attaching a plastic substrate;
Separating the carrier substrate by irradiating a laser onto the sacrificial layer;
Inverting the plastic substrate and forming an organic emission layer on the pixel electrode; And
And forming an opposite electrode on the organic emission layer.
제7 항에 있어서,
상기 제1 마스크 및 상기 제3 마스크는 하프톤 마스크인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.The method of claim 7,
The method of manufacturing a flexible display device, wherein the first mask and the third mask are halftone masks.
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