KR102153537B1 - Processing system for industrial gases comprising fluorine gas and method for treating fluorine gas using thereof - Google Patents

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황유성
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Abstract

본 발명은 불소계열 산업가스 처리 시스템에 관한 것으로, 구체적으로 본 발명은 독성가스 주입구, 연료 주입구, 연소용 공기 주입구, 파일럿 버너, 버닝챔버, UV 센서, 압력센서, 온도 센서 및 LNG 배관이 장착되어 있는 버너부; 여과 집진기(백필터; bag-filter); 탑 내부에 흡착제인 충전물을 포함하고 흡수액을 살포할 수 있는 흡수액 공급노즐이 장착되어 있으며, 수평형으로 기체와 액체의 접촉 효율을 증진시킬 수 있도록 탑 내부에 충전물인 흡착제를 포함하는 흡착탑; 흡착탑 내부에서 과포화된 수분과 고농도의 독성가스 제거 시 생성되는 응축현상에 의한 산성미스트 제거를 위한 수막형 습식 전기집진기; 및 백연 저감 기능을 갖는 판형열교환기;를 포함하는 불소계열 산업가스 처리 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a fluorine-based industrial gas treatment system, and specifically, the present invention is equipped with a toxic gas inlet, a fuel inlet, a combustion air inlet, a pilot burner, a burning chamber, a UV sensor, a pressure sensor, a temperature sensor, and an LNG pipe. A burner part; Filter dust collector (bag-filter); An adsorption tower including an adsorbent filled inside the tower and equipped with an absorbent liquid supply nozzle capable of spraying the absorbent liquid, and including an adsorbent filled inside the tower so as to improve the contact efficiency between gas and liquid in a horizontal type; A water film type wet electric precipitator for removing acid mist due to condensation generated when supersaturated moisture and high concentration of toxic gas are removed inside the adsorption tower; And it relates to a fluorine-based industrial gas treatment system comprising a; plate-type heat exchanger having a white smoke reduction function.

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Figure 112018078487715-pat00008

Description

불소계열 산업가스 처리 시스템 및 이를 이용한 불소계열 산업가스 처리방법{Processing system for industrial gases comprising fluorine gas and method for treating fluorine gas using thereof}Fluorine-based industrial gas treatment system and fluorine-based industrial gas treatment method using the same {Processing system for industrial gases comprising fluorine gas and method for treating fluorine gas using thereof}

본 발명은 불소계열 산업가스 처리 시스템 및 이를 이용한 불소계열 산업가스 처리방법에 관한 것이다.The present invention relates to a fluorine-based industrial gas treatment system and a fluorine-based industrial gas treatment method using the same.

반도체 및 첨단 디스플레이 산업의 발전으로 사용되는 특수가스의 유통 및 생산이 증가되고 있고 연구소, 대학 또는 기업체 등에서도 소규모로 특수가스의 구입과 사용이 이루어지고 있다.With the development of semiconductor and high-tech display industries, the distribution and production of special gases are increasing, and research institutes, universities, and enterprises are also purchasing and using special gases on a small scale.

이러한 반도체 및 첨단 디스플레이의 산업발전으로 인해, 사용 후 남은 잔여가스의 처리가 새로운 문제점으로 대두되고 있다.Due to the industrial development of such semiconductors and high-tech displays, treatment of residual gas remaining after use has emerged as a new problem.

특히 이들 산업에 사용되는 특수가스는 대부분이 고압, 폭발, 가연성, 강산 또는 알칼리성을 갖는 등 독성이 매우 높아 취급 및 처리에 특별한 주의가 필요하다. 이들 독성가스들 중에서 불화계통의 독성가스는 매우 불안정하고 위해성이 높아 우선적으로 연소를 통한 열산화 반응으로 안정화 시킨 후, 집진 및 가스흡수과정을 거쳐 배출하지만 가스 흡수과정에서 발생되는 고농도의 HF 산성가스는 흡수탑 내부에서 기체와 액체의 접촉에 의해 산성가스의 응축현상(Acid Dew)을 통하여 미세 미스트(Mist)를 발생시킨다. 발생되는 미세 미스트의 입경은 0.3~3㎛의 범위를 가지며 덕트 후단에 배출되며 악취물질인 OF2의 생성, 백연현상, 불소화합물의 효율저하 및 초미세입자 배출 등 유해물질의 배출 및 환경악화의 문제를 발생시킨다.In particular, special gases used in these industries are highly toxic, such as high pressure, explosion, flammability, strong acid or alkali, and require special care in handling and treatment. Among these toxic gases, the toxic gas of the fluorinated system is very unstable and has high risk, so it is first stabilized by thermal oxidation through combustion, and then discharged through dust collection and gas absorption, but high concentration HF acid gas generated during gas absorption. Generates fine mist through the condensation of acidic gas (Acid Dew) by the contact of gas and liquid inside the absorption tower. The particle diameter of the generated fine mist is in the range of 0.3~3㎛ and is discharged at the rear end of the duct, and it solves the problems of emission of harmful substances and environmental deterioration such as the generation of odorous substances such as OF2, white smoke phenomenon, decrease in efficiency of fluorine compounds and discharge of ultrafine particles. Occurs.

이에 본 발명자들은 반도체 및 첨단 디스플레이 산업에서 문제가 되고 있는 불화수소(HF)의 효율저하와 미세미스트 입자를 효율적으로 제거하기 위해 흡수탑 후단에 수막형 습식 전기집진기와 특수 활성탄을 적용한 불소계열 산업가스 처리 시스템을 개발함으로써 본 발명을 완성하였다.Accordingly, the inventors of the present invention are fluorine-based industrial gas applying a water film type wet electric precipitator and special activated carbon at the rear end of the absorption tower in order to efficiently remove the efficiency reduction and fine mist particles of hydrogen fluoride (HF), which are a problem in the semiconductor and advanced display industries. The present invention was completed by developing a treatment system.

대한민국 공개특허 제10-2005-0040176호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0040176

따라서 본 발명의 목적은 흡수탑 후단에 수막형 습식 전기집진기와 특수 활성탄을 적용한 불소계열 산업가스 처리 시스템을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a fluorine-based industrial gas treatment system in which a water film type wet electrostatic precipitator and special activated carbon are applied at the rear end of the absorption tower.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 연료 주입구가 상부에 위치하고 공기주입구가 측면에 위치하며 처리가스를 연소시키기 위한 불꽃을 생성하는 파일럿 버너 및 상기 파일럿 버너의 하부에 위치하고 독성가스 주입구 및 공기주입구가 구비된 버닝챔버를 포함하되, 상기 독성가스 주입구는 버닝챔버 상부 측면에 위치하고 상기 공기주입구는 버닝챔버 측면에 위치하며, 상기 독성가스 주입구로 유입된 처리가스는 버닝챔버에서 연소되고, 상기 버닝챔버의 내부 공간은 처리가스를 메탄을 이용하여 환원시키는 환원연소부 및 상기 환원연소부 하부에 공기주입구로 유입된 가스를 이산화탄소로 전환시키는 산화연소부가 연속되어 위치하는, 상기 파일럿 버너 및 버닝챔버가 장착된 버너부;
상기 버너부의 하단에 인접하게 연결되어 위치하고 상기 버너부를 통해 배출된 연소가스가 하단으로 유입되어 여과포를 통과하면서 연소가스로부터 분진 및 유해가스를 제거하되, 분진 시 여과 집진기의 상단부 압축공기로 펄스하여 집진 과정에서 정화된 공기가 반대방향으로 흐르도록 역압하여 상기 분진 및 유해가스를 제거하는 여과 집진기;
상기 여과 집진기에서 분진 및 유해가스가 제거된 가스가 유입되도록 상기 여과 집진기와 인접하게 연결되어 위치하고, 탑 내부에는 수평형으로 기체와 액체의 접촉 효율을 증진시킬 수 있도록 흡착제인 폴리프로필렌 재질의 충전물을 포함하며, 탑 상부에는 흡수액인 KOH 용액을 살포할 수 있는 흡수액 공급노즐이 장착되어 있는 흡착탑;
상기 흡착탑의 후단에 연결되어 위치하고 있고, 상기 흡착탑에서 배출되는 가스가 하단으로 유입되어 내측에서 정화과정을 거친 후, 상단으로 배출되는 수막형 습식 전기집진기로서,
상기 수막형 습식 전기집진기는 하단에 상기 흡착탑에서 배출되는 가스가 유입되는 가스유입구가 위치하고 있고 내측 바닥부에는 수조가 형성되어 있으며 상단에는 정화된 가스가 배출되는 가스배출구가 있고, 내측 상단부와 하단부에는 수조의 물을 펌프를 통해 이송하여 복수의 노즐을 통해 하방과 상방으로 각각 분사하는 상측분사부 및 하측분사부가 자동밸브와 함께 구비되어 있으며, 상측분사부의 하측에는 복수의 상측지지대가 전후로 간격을 이루며 수평으로 결합되어 있고, 상기 상측지지대는 고전압공급장치와 연결되어 있으며, 상기 상측지지대에는 복수의 방전극이 좌우로 간격을 이루며 수직으로 결합되어 있고, 상기 방전극의 외주면에는 복수의 방전핀이 상하로 간격을 이루며 결합되어 있으며,
상기 수막형 습식 전기집진기는 내부에 위치하고 있는 다수의 집진극에 연속적으로 물을 흘려 수막(Water Film)을 형성하며, 다수의 방전핀을 함유하는 방전극에 직류(DC)의 음전하 고전압을 인가하여 집진극과 방전극 사이를 통과하는 산성미스트에 (-)전하가 인가되어 (+)극의 성질을 갖는 집진극 쪽으로 상기 흡착탑에서 유입된 산성미스트를 유도 및 부착함으로써 집진극에 부착된 분진을 연속적으로 제거하고,
상기 수막형 습식 전기집진기의 상부에는 원통형 모양이고 비표면적(BET)이 900m2/g 이상인 활성탄을 함유하고 있어 최종 저농도의 잔여가스를 처리하여 F2 가스와 OF2 로 배출되도록 하는 수막형 습식 전기집진기; 및
상기 수막형 습식 전기집진기의 가스배출구로부터 배출된 가스가 유입되도록 상기 수막형 습식 전기집진기의 가스배출구와 연결되어 인접하게 위치하고 있고, 허니컴 단면적을 갖는 전열패널로 구성되며 상기 전열패널은 길이방향을 따라 내부에 관통공이 형성되도록 판형상의 이격된 2개의 외벽과 이 외벽의 양단부를 잇는 단부벽으로 이루어지며, 상기 관통공의 내부에는 통과되는 외부공기의 전열면적이 넓어지도록 허니컴 단면 형상으로 외벽을 잇는 다수의 간벽이 간격을 두고 형성되어 있는 백연 저감 기능을 갖는 판형열교환기;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 불소계열 산업가스 처리 시스템을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a pilot burner in which a fuel inlet is located at an upper portion and an air inlet is located at a side, and generates a flame for combusting a process gas, and a toxic gas inlet and air located below the pilot burner. Including a burning chamber provided with an injection port, wherein the toxic gas injection port is located on the upper side of the burning chamber and the air injection port is located on the side of the burning chamber, and the processed gas introduced into the toxic gas injection port is burned in the burning chamber, and the burning In the inner space of the chamber, the pilot burner and the burning chamber, in which a reduction combustion unit for reducing process gas using methane and an oxidizing combustion unit for converting the gas introduced through the air inlet into carbon dioxide, are continuously located below the reduction combustion unit. Mounted burner unit;
Located adjacent to the lower end of the burner, the combustion gas discharged through the burner flows to the lower end and passes through the filter cloth to remove dust and harmful gases from the combustion gas, but when dust is collected, it is pulsed with compressed air at the upper end of the filter dust collector to collect dust. A filter dust collector which removes the dust and harmful gases by back pressure so that the air purified in the process flows in the opposite direction;
The filter dust collector is located adjacent to the filter dust collector so that the gas from which the dust and harmful gases are removed flows in, and a filler made of polypropylene, which is an adsorbent, is disposed in a horizontal type to improve the contact efficiency between the gas and the liquid. It includes, and the absorption tower is equipped with an absorption liquid supply nozzle capable of spraying the absorption liquid KOH solution at the top of the tower;
As a water film type wet electric precipitator located connected to the rear end of the adsorption tower, the gas discharged from the adsorption tower is introduced to the lower end, undergoes a purification process from the inside, and is discharged to the upper end,
The water-film type wet electric precipitator has a gas inlet at the lower end through which the gas discharged from the adsorption tower flows in, a water tank is formed at the inner bottom, and at the upper end there is a gas outlet through which the purified gas is discharged, and at the inner upper and lower parts The upper and lower injection parts that transfer water from the water tank through a pump and spray downward and upward through a plurality of nozzles are provided with automatic valves, and a plurality of upper supports are spaced back and forth on the lower side of the upper injection part. It is connected horizontally, and the upper support is connected to a high voltage supply device, a plurality of discharge electrodes are vertically connected to the upper support at a horizontal interval, and a plurality of discharge pins are spaced vertically on the outer circumferential surface of the discharge electrode. Are united to form,
The water film type wet electric precipitator forms a water film by continuously flowing water to a plurality of dust collecting electrodes located inside, and collecting dust by applying a negative charge high voltage of direct current (DC) to a discharge electrode containing a plurality of discharge pins. (-) charge is applied to the acid mist that passes between the pole and the discharge electrode to induce and attach the acid mist introduced from the adsorption tower toward the dust collecting electrode having the property of the (+) pole to continuously remove the dust attached to the dust collecting electrode. and,
The water film type wet electric dust collector has a cylindrical shape and contains activated carbon with a specific surface area (BET) of 900 m 2 /g or more, so that the final low-concentration residual gas is treated and discharged as F 2 gas and OF 2 Dust Collector; And
It is connected to and located adjacent to the gas outlet of the water-film-type wet electric precipitator so that the gas discharged from the gas outlet of the water-film-type wet electric precipitator flows in, and consists of a heat transfer panel having a honeycomb cross-sectional area, and the heat transfer panel is along the length direction. It consists of two plate-shaped spaced outer walls so that a through hole is formed inside and an end wall connecting both ends of the outer wall, and a number of connecting the outer walls in a honeycomb cross-sectional shape so that the heat transfer area of the external air passing through the through hole is widened. It provides a fluorine-based industrial gas treatment system comprising a; plate-type heat exchanger having a white smoke reduction function in which the partition walls are formed at intervals.

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본 발명에서 제공하는 불소계열 산업가스 처리 시스템은 흡수탑 후단에 수막형 습식 전기집진기와 특수활성탄을 적용하여 산업 가스 중에 발생되는 불소계열화합물을 안전하고 효율적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.The fluorine-based industrial gas treatment system provided by the present invention has an effect of safely and efficiently removing fluorine-based compounds generated in industrial gases by applying a water film type wet electric precipitator and special activated carbon at the rear end of the absorption tower.

도 1은 본 발명의 불소계열 산업가스 처리 시스템에서 일 구성인 버너의 모식도를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 불소계열 산업가스 처리 시스템에서 일 구성인 집진기(bag-filter)의 모식도를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 불소계열 산업가스 처리 시스템에서 일 구성인 흡착탑의 모식도를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 불소계열 산업가스 처리 시스템에서 일 구성인 수막형 습식집진기의 모식도를 나타낸 것이다.
도 5a는 종래 백연저감장치의 원리를 나타낸 것이며, 도 5b는 본 발명의 De-plumer를 이용한 백연현상 저감 원리를 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 불소계열 산업가스 처리 시스템에서 일 구성인 백연 저감용 De-Plumer의 모식도를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 불소계열 산업가스 처리의 전체 시스템 과정을 모식도로 나타낸 것이다.
도 8은 본 발명의 불소계열 산업가스 처리의 전체 공정 과정에서 흡착탑 처리까지의 공정 과정을 모식도로 나타낸 것이다.
도 9는 본 발명의 불소계열 산업가스 처리의 전체 공정 과정에서 흡착탑 이후 수막형 습식집진기부터 마지막 공정까지의 과정을 모식도로 나타낸 것이다. 1 is a schematic diagram of a burner that is one configuration in the fluorine-based industrial gas treatment system of the present invention.
Figure 2 shows a schematic diagram of a dust collector (bag-filter) as a component in the fluorine-based industrial gas treatment system of the present invention.
3 is a schematic diagram of an adsorption tower as one component in the fluorine-based industrial gas treatment system of the present invention.
4 is a schematic diagram of a water film type wet dust collector as one component in the fluorine-based industrial gas treatment system of the present invention.
5A shows the principle of a conventional white smoke reduction device, and FIG. 5B shows a white smoke reduction principle using the De-plumer of the present invention.
6 is a schematic diagram of a De-Plumer for reducing white smoke, which is a component in the fluorine-based industrial gas treatment system of the present invention.
7 is a schematic diagram showing the entire system process of the fluorine-based industrial gas treatment according to the present invention.
8 is a schematic diagram showing a process process from the entire process process of the fluorine-based industrial gas treatment to the adsorption tower treatment of the present invention.
9 is a schematic diagram showing the process from the water film type wet dust collector after the adsorption tower to the last process in the entire process of the fluorine-based industrial gas treatment of the present invention.

본 발명은 반도체 및 첨단 디스플레이 산업에서 발생하는 불소계열 산업가스를 안전하고 효율적으로 처리할 수 있는 불소계열 산업가스 처리 시스템에 관한 것이다.
구체적으로 본 발명의 불소계열 산업가스 처리 시스템은, 연료 주입구가 상부에 위치하고 공기주입구가 측면에 위치하며 처리가스를 연소시키기 위한 불꽃을 생성하는 파일럿 버너 및 상기 파일럿 버너의 하부에 위치하고 독성가스 주입구 및 공기주입구가 구비된 버닝챔버를 포함하되, 상기 독성가스 주입구는 버닝챔버 상부 측면에 위치하고 상기 공기주입구는 버닝챔버 측면에 위치하며, 상기 독성가스 주입구로 유입된 처리가스는 버닝챔버에서 연소되고, 상기 버닝챔버의 내부 공간은 처리가스를 메탄을 이용하여 환원시키는 환원연소부 및 상기 환원연소부 하부에 공기주입구로 유입된 가스를 이산화탄소로 전환시키는 산화연소부가 연속되어 위치하는, 상기 파일럿 버너 및 버닝챔버가 장착된 버너부; 상기 버너부의 하단에 인접하게 연결되어 위치하고 상기 버너부를 통해 배출된 연소가스가 하단으로 유입되어 여과포를 통과하면서 연소가스로부터 분진 및 유해가스를 제거하되, 분진 시 여과 집진기의 상단부 압축공기로 펄스하여 집진 과정에서 정화된 공기가 반대방향으로 흐르도록 역압하여 상기 분진 및 유해가스를 제거하는 여과 집진기; 상기 여과 집진기에서 분진 및 유해가스가 제거된 가스가 유입되도록 상기 여과 집진기와 인접하게 연결되어 위치하고, 탑 내부에는 수평형으로 기체와 액체의 접촉 효율을 증진시킬 수 있도록 흡착제인 폴리프로필렌 재질의 충전물을 포함하며, 탑 상부에는 흡수액인 KOH 용액을 살포할 수 있는 흡수액 공급노즐이 장착되어 있는 흡착탑; 상기 흡착탑의 후단에 연결되어 위치하고 있고, 상기 흡착탑에서 배출되는 가스가 하단으로 유입되어 내측에서 정화과정을 거친 후, 상단으로 배출되는 수막형 습식 전기집진기로서, 상기 수막형 습식 전기집진기는 하단에 상기 흡착탑에서 배출되는 가스가 유입되는 가스유입구가 위치하고 있고 내측 바닥부에는 수조가 형성되어 있으며 상단에는 정화된 가스가 배출되는 가스배출구가 있고, 내측 상단부와 하단부에는 수조의 물을 펌프를 통해 이송하여 복수의 노즐을 통해 하방과 상방으로 각각 분사하는 상측분사부 및 하측분사부가 자동밸브와 함께 구비되어 있으며, 상측분사부의 하측에는 복수의 상측지지대가 전후로 간격을 이루며 수평으로 결합되어 있고, 상기 상측지지대는 고전압공급장치와 연결되어 있으며, 상기 상측지지대에는 복수의 방전극이 좌우로 간격을 이루며 수직으로 결합되어 있고, 상기 방전극의 외주면에는 복수의 방전핀이 상하로 간격을 이루며 결합되어 있으며, 상기 수막형 습식 전기집진기는 내부에 위치하고 있는 다수의 집진극에 연속적으로 물을 흘려 수막(Water Film)을 형성하며, 다수의 방전핀을 함유하는 방전극에 직류(DC)의 음전하 고전압을 인가하여 집진극과 방전극 사이를 통과하는 산성미스트에 (-)전하가 인가되어 (+)극의 성질을 갖는 집진극 쪽으로 상기 흡착탑에서 유입된 산성미스트를 유도 및 부착함으로써 집진극에 부착된 분진을 연속적으로 제거하고, 상기 수막형 습식 전기집진기의 상부에는 원통형 모양이고 비표면적(BET)이 900m2/g 이상인 활성탄을 함유하고 있어 최종 저농도의 잔여가스를 처리하여 F2 가스와 OF2 로 배출되도록 하는 수막형 습식 전기집진기; 및 상기 수막형 습식 전기집진기의 가스배출구로부터 배출된 가스가 유입되도록 상기 수막형 습식 전기집진기의 가스배출구와 연결되어 인접하게 위치하고 있고, 허니컴 단면적을 갖는 전열패널로 구성되며 상기 전열패널은 길이방향을 따라 내부에 관통공이 형성되도록 판형상의 이격된 2개의 외벽과 이 외벽의 양단부를 잇는 단부벽으로 이루어지며, 상기 관통공의 내부에는 통과되는 외부공기의 전열면적이 넓어지도록 허니컴 단면 형상으로 외벽을 잇는 다수의 간벽이 간격을 두고 형성되어 있는 백연 저감 기능을 갖는 판형열교환기;를 포함하여 구성된다.
상기 본 발명의 시스템을 구성하는 각 구성부에 대한 구체적인 설명은 다음과 같다.The present invention relates to a fluorine-based industrial gas treatment system capable of safely and efficiently treating a fluorine-based industrial gas generated in semiconductor and high-tech display industries.
Specifically, the fluorine-based industrial gas treatment system of the present invention includes a pilot burner with a fuel inlet positioned on the upper side and an air inlet positioned on the side, generating a flame for burning the process gas, and a toxic gas inlet positioned below the pilot burner, and It includes a burning chamber equipped with an air inlet, wherein the toxic gas inlet is located on an upper side of the burning chamber and the air inlet is on a side of the burning chamber, and the processed gas introduced into the toxic gas inlet is burned in the burning chamber, and the The pilot burner and the burning chamber in which the internal space of the burning chamber is a reduction combustion unit that reduces process gas using methane and an oxidation combustion unit that converts gas introduced through the air inlet into carbon dioxide under the reduction combustion unit. A burner unit equipped with; Located adjacent to the lower end of the burner, the combustion gas discharged through the burner flows to the lower end and passes through the filter cloth to remove dust and harmful gases from the combustion gas, but when dust is collected, it is pulsed with compressed air at the upper end of the filter dust collector to collect dust. A filter dust collector which removes the dust and harmful gases by back pressure so that the air purified in the process flows in the opposite direction; The filter dust collector is located adjacent to the filter dust collector so that the gas from which the dust and harmful gases are removed flows in, and a filler made of polypropylene, which is an adsorbent, is disposed in a horizontal type to improve the contact efficiency between the gas and the liquid. It includes, and the absorption tower is equipped with an absorption liquid supply nozzle capable of spraying the absorption liquid KOH solution at the top of the tower; It is a water film type wet electric precipitator that is connected to the rear end of the adsorption tower, and is discharged to the upper end after gas discharged from the adsorption tower flows into the lower end and undergoes a purification process from the inside. There is a gas inlet through which the gas discharged from the adsorption tower flows into, a water tank is formed at the inner bottom, and a gas outlet through which the purified gas is discharged is located at the top, and the water from the tank is transferred through a pump at the inner upper and lower parts. The upper injection part and the lower injection part respectively spraying downward and upward through the nozzle of are provided with an automatic valve, and a plurality of upper supports are horizontally connected at intervals back and forth on the lower side of the upper injection part, and the upper support is It is connected to a high voltage supply device, and a plurality of discharge electrodes are vertically connected to the upper support with spaced left and right, and a plurality of discharge pins are vertically connected to the outer circumferential surface of the discharge electrode, and the water film type wet type Electric precipitators form a water film by continuously flowing water to a plurality of dust collecting electrodes located inside, and a negative charge high voltage of direct current (DC) is applied to a discharge electrode containing a plurality of discharge pins, between the dust collecting electrode and the discharge electrode. (-) charge is applied to the acid mist passing through and induces and attaches the acid mist introduced from the adsorption tower toward the dust collection electrode having the property of the (+) electrode, thereby continuously removing dust attached to the dust collecting electrode, and the water film A water film type wet electrostatic precipitator that has a cylindrical shape and contains activated carbon with a specific surface area (BET) of 900m 2 /g or more on the upper part of the wet electrostatic precipitator to treat the final low-concentration residual gas to be discharged as F 2 gas and OF 2 ; And a heat transfer panel having a honeycomb cross-sectional area and located adjacent to the gas outlet of the water film type wet electric precipitator so that the gas discharged from the gas discharge port of the water film type wet electric precipitator flows in. Accordingly, it consists of two outer walls in a plate shape and an end wall connecting both ends of the outer wall so that a through hole is formed therein, and the outer wall is connected in a honeycomb cross-sectional shape so that the heat transfer area of the external air passing through the through hole is widened. It is configured to include; plate-type heat exchanger having a function of reducing white smoke in which a plurality of interlayers are formed at intervals.
A detailed description of each component constituting the system of the present invention is as follows.

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먼저, 버너는 불소가스의 인입구에 파일럿 버너가 설치되어 있고, 상기 버너는 메탄을 주성분으로 하는 LNG를 연료로 한다. 파일럿 버너의 근처, 연소로 상부 및 상기 연소로 상부의 측면에는 적당한 각도로 독성가스가 주입되도록 독성가스 주입구가 설치되어 처리가스가 연소로 내로 유입되어 파일럿 버너와 화염이 혼합될 수 있도록 하였다. First, the burner has a pilot burner installed at the inlet of fluorine gas, and the burner uses LNG as a main component of methane as a fuel. In the vicinity of the pilot burner, at the top of the combustion furnace, and on the side of the furnace, a toxic gas inlet is installed so that the toxic gas is injected at an appropriate angle, so that the processed gas is introduced into the furnace so that the pilot burner and the flame can be mixed.

상기 버너에는 연소가스가 공급되는 연소가스유입구가 구비될 수 있으며, 공급된 연소가스는 연료로 이용되어 버닝챔버 내에서 불꽃을 형성하게 된다. 연소가스유입구는 버너의 상단에 구비될 수 있고, 일정 압력과 유량으로 연소가스를 버너에 공급한다. 또한 공급된 연소가스는 하방의 버닝챔버 방향으로 유동될 수 있고, 버너 내에서 점화되어 버닝챔버 내에서 처리가스의 연소를 위한 불꽃을 발생시킨다. The burner may be provided with a combustion gas inlet through which combustion gas is supplied, and the supplied combustion gas is used as fuel to form a flame in the burning chamber. The combustion gas inlet may be provided at the top of the burner, and supplies the combustion gas to the burner at a constant pressure and flow rate. In addition, the supplied combustion gas may flow in the downward direction of the burning chamber, and is ignited in the burner to generate a flame for combustion of the processing gas in the burning chamber.

버닝챔버는 버너의 하부에 위치되며, 챔버 내부는 처리가스의 연소를 위한 공간이 구비되어 있다. 처리가스는 버너에서 생성된 불꽃에 의해 버닝챔버 내에서 연소되며, 이 과정에서 파우더가 생성될 수 있다. 처리가스 내에 함유된 유해물질은 파우더 형태로 열분해되며, 생성된 파우더는 버닝챔버 하단으로 유동하여 포집될 수 있고, 파우더의 포집을 위해 별도의 처리부가 버닝챔버 하단에 연결될 수 있다. The burning chamber is located under the burner, and the interior of the chamber is provided with a space for combustion of the process gas. The process gas is burned in the burning chamber by the flame generated by the burner, and powder may be generated in this process. Hazardous substances contained in the processing gas are pyrolyzed in the form of powder, and the generated powder may flow to the bottom of the burning chamber and be collected, and a separate processing unit may be connected to the bottom of the burning chamber for collecting the powder.

또한, 버닝챔버 내측에 형성된 공간은 처리가스를 메탄을 이용하여 환원시키는 환원연소부가 위치하고, 환원연소부 하부에는 공기 주입에 의한 다량의 가스를 이산화탄소로 전환시키는 산화연소부가 연속되어 위치한다.In addition, in the space formed inside the burning chamber, a reduction combustion unit for reducing process gas using methane is located, and an oxidation combustion unit for converting a large amount of gas into carbon dioxide by air injection is continuously located below the reduction combustion unit.

또한, 연소에 있어서, 연료와 완전연소에 필요한 이론공기량을 주입하면서 내화재가 가열되어 연소실의 온도가 650℃ 이상을 유지하면서 안정화되도록 하였고, 사용된 내화물은 고온과 부식 및 내식에 잘 견딜 수 있도록 고순도의 알루미나 80%의 내화물을 적용하였다.In addition, in combustion, the refractory material is heated while maintaining the temperature of the combustion chamber above 650℃ while injecting the fuel and the theoretical air amount required for complete combustion, and the used refractory material is highly purified to withstand high temperatures, corrosion and corrosion resistance. 80% of alumina refractory was applied.

본 발명의 시스템에 있어서 일 구성요소인 상기 버너의 모식도는 도 1에 나타내었다.A schematic diagram of the burner, which is a component in the system of the present invention, is shown in FIG. 1.

도 1의 본 발명에 따른 버너의 작동을 위한 설명으로, 처리가스는 불화가스이며, 수직형 열축열식 직접 버닝방식의 타입이고, 안전장치로 UV 센서(화염의 연소상태를 감지하여 Not Flame를 감지), 압력센서(챔버 하단의 dust 적체를 감지하여 정압 이상을 감지), 온도센서(비정상 가동으로 인한 화재 발생 시 화재를 감지하기 위한 온도감지센서), LNG 배관(압력게이지를 설치하여 LNG 압력 이상을 감지)이 장착되어 있다. As a description for the operation of the burner according to the present invention in FIG. 1, the processing gas is a fluorinated gas, a type of a vertical heat storage type direct burning method, and a UV sensor as a safety device (not flame by detecting the combustion state of flame) ), pressure sensor (detects static pressure abnormality by detecting the accumulation of dust at the bottom of the chamber), temperature sensor (temperature sensor to detect fire in case of fire due to abnormal operation), LNG piping (LNG pressure abnormality by installing a pressure gauge) Detection) is equipped.

또한, 독성 가스 주입구의 경우, F2, SiF4, BF4 또는 WF6 등의 가스가 주입되도록 하며 막힘을 방지하기 위해 이중관으로 N2를 적용한다. In addition, in the case of the toxic gas injection port, gas such as F2, SiF4, BF4 or WF6 is injected, and N2 is applied as a double pipe to prevent clogging.

LNG 공급은 약 300mmAq의 압력으로 연료가 공급되도록 하며 점화모드, 가열모드, 운전모드, 소화모드로 운전된다. N2의 공급은 LNG 공급구와 독성가스 주입구에 배관 Purge N2로 공급되며, 이중관 구조로 막힘을 방지하도록 하였다.LNG supply allows fuel to be supplied at a pressure of about 300mmAq and is operated in ignition mode, heating mode, operation mode, and fire extinguishing mode. The supply of N2 is supplied to the LNG supply port and the toxic gas injection port through the pipe Purge N2, and the double pipe structure prevents clogging.

1차 연소용 공기주입구(Combustion Air)는 1차 연소용 공기를 주입하는 곳으로 완전연소에 필요한 공기를 공급한다. 상기 1차 연소용 공기주입구 하단에 위치한 다른 2차 연소용 공기주입구는 2차 연소 공기를 주입하며, 독성가스 주입시 부족한 산소를 2차 연소 공기를 통해 공급받을 수 있고, 운전모드 시 TE-401의 온도에 따라 공급량을 달리할 수 있다. 쿨링에어(Cooling Air)는 TE-402의 온도에 따라 연동되며, 상시 가동되어 버너 후단 배출가스의 온도를 120℃ 이하로 유지되게 한다. The primary combustion air inlet (Combustion Air) is a place to inject air for primary combustion and supplies the air required for complete combustion. Another secondary combustion air inlet located at the bottom of the primary combustion air inlet injects secondary combustion air, and when toxic gas is injected, insufficient oxygen can be supplied through the secondary combustion air, and in operation mode TE-401 The amount of supply can be varied depending on the temperature of. Cooling Air is interlocked according to the temperature of TE-402, and it is always operated to keep the temperature of the exhaust gas at the rear end of the burner below 120℃.

또한 각 가스종류별 연소반응은 하기 표 1에 기재된 바와 같으며, 가스 상으로는 HF, 입자상은 불소화합물의 산화물이 발생된다.In addition, the combustion reaction for each gas type is as shown in Table 1 below, and HF in the gas phase and oxides of fluorine compounds in the particulate form are generated.

가스종류Gas type 연소반응Combustion reaction F2F2 2F2 (g) + CH4(g) + O2 (g) = 4HF(g) + CO2 (g)2F 2 (g) + CH4(g) + O 2 (g) = 4HF(g) + CO 2 (g) BF3BF3 4BF3(g) + 3CH4 (g) + 6O2 (g) = 2B2O3(s) + 12HF(g) + 3CO2 (g)4BF 3 (g) + 3CH 4 (g) + 6O 2 (g) = 2B2O 3 (s) + 12HF(g) + 3CO 2 (g) SiF4SiF4 SiF4(g) + 2O2 (g) + CH4(g) = SiO2(s) + 4HF(g) + CO2 (g)SiF 4 (g) + 2O 2 (g) + CH 4 (g) = SiO 2 (s) + 4HF(g) + CO 2 (g) WF6WF6 2WF6(g) + 6O2 (g) + 3CH4(g) = 2WO3(s) + 12HF(g) + 3CO2 (g)2WF 6 (g) + 6O 2 (g) + 3CH 4 (g) = 2WO 3 (s) + 12HF(g) + 3CO 2 (g)

또한, 상기 불소가스를 가스실에서 처리하는데 있어, 불소가스 실린더 배출 캐비넷 및 가스룸의 가스 누출시 피해가 발생하지 않도록 가스실은 구획화되어 불소가스처리 시스템으로 환기되며, 가스 농도에 따라 고농도 및 저농도로 구분하여, 실린더로부터 배출되는 고농도의 가스는 연소로로 공급되도록 하였고, 캐비넷 및 가스룸 후드로부터 배출되는 환기 가스는 저농도로 구분하여 스크러버로 처리되도록 하였다.In addition, in the treatment of the fluorine gas in the gas chamber, the gas chamber is partitioned and ventilated to the fluorine gas treatment system so that damage does not occur when gas leaks from the fluorine gas cylinder discharge cabinet and gas room, and classified into high and low concentrations according to the gas concentration. Thus, the high-concentration gas discharged from the cylinder was supplied to the combustion furnace, and the ventilation gas discharged from the cabinet and the gas room hood was classified into a low concentration and treated with a scrubber.

또한 불소가스 캐비넷에서 연소로까지 공급되는 고농도 배관은 이중배관을 사용하여 누출 시 안전하게 공급되도록 하였고, 이중배관 중 내관은 STS316을 사용하였으며, 외관은 STS304배관을 사용하였다. 이중배관에는 질소를 충진하여 배관내 가스 누출 시 압력변화에 의해 자동으로 가스가 차단될 수 있도록 하였다.In addition, the high-concentration piping supplied from the fluorine gas cabinet to the combustion furnace uses double piping to ensure safe supply in case of leakage, and STS316 is used as the inner pipe among the double piping, and STS304 piping is used for the exterior. The double pipe was filled with nitrogen so that the gas could be automatically shut off by a pressure change when gas leaks in the pipe.

뿐만 아니라 불소가스 실린더를 안전하게 처리하기 위하여 N2퍼지를 최소 5회 이상 실시하여 실린더 내부의 잔병을 치환하였고, 이때 최초 배기 농도는 100%로 실린더가 공급되며 n회의 N2퍼지에 의해 치환이 되어 (P2/P1)n 으로 배기농도가 낮아져 안전하게 실린더를 처리할 수 있도록 하였으며, 각 횟수의 N2 퍼지에 따른 농도 저감 효과는 하기 표 2에 기재된 바와 같다(압력은 절대 압력 유지). In addition, in order to safely treat the fluorine gas cylinder, N2 purge was performed at least 5 times to replace the remaining bottles inside the cylinder.At this time, the cylinder was supplied with an initial exhaust concentration of 100% and replaced by n times of N2 purge (P2 /P1) The exhaust concentration was lowered to n so that the cylinder could be safely treated, and the effect of reducing the concentration according to the N2 purge of each number is as shown in Table 2 below (pressure is maintained at absolute pressure).

횟수Count 농도density 비고Remark 최초배기Initial exhaust 1One 100%농도100% concentration 1회 치환1 substitution (P2/P1)1(P2/P1)1 2회 치환2 substitutions (P2/P1)2(P2/P1)2 3회 치환3 substitutions (P2/P1)3(P2/P1)3 4회 치환4 substitutions (P2/P1)4(P2/P1)4 5회 치환5 substitutions (P2/P1)5(P2/P1)5

다음으로 상기 버너를 통해 배출된 입사장 물질은 여과 집진기(백필터; bag-filter)로 유입되어 제거된다.Next, the incident field material discharged through the burner is introduced into a filter dust collector (bag-filter) and removed.

여과 집진기의 역할은 연소가스로부터 분진을 제거하고, 여과포에 연소가스를 통과하면서 집진기(Filter Bag) 표면에 분진 및 유해가스를 제거하는 역할을 한다. 포집된 분지는 불소산화물의 먼지로 건조한 분말상태로 존재한다. The role of the filter dust collector is to remove dust from the combustion gas and to remove dust and harmful gas from the surface of the filter bag while passing the combustion gas through the filter cloth. The collected branches are dust of fluorine oxide and exist in dry powder form.

상기 집진기에 사용되는 필터의 재질은 Fiber Class에 PTFE가 표면코팅 된 것을 사용할 수 있고, 160℃의 온도까지 사용할 수 있다. 또한 분진 시 필터백 상단부의 압축공기를 이용하여 펄스하며, 집진 과정에서 정화된 공기 흐름의 반대방향으로 공기가 흐르도록 역압하여 팽창시킴으로써 필터 외벽에 붙어있던 먼지 등이 하단부 호퍼로 떨어지도록 한다. 본 발명에서 사용한 상기 여과 집진기의 모식도는 도 2에 나타내었다.The material of the filter used in the dust collector can be used with a fiber class coated with PTFE, and can be used up to a temperature of 160°C. In addition, when dust is collected, it pulses using compressed air at the top of the filter bag, and expands it by back pressure so that air flows in the opposite direction of the purified air flow during the dust collection process, so that the dust attached to the outer wall of the filter falls to the lower hopper. A schematic diagram of the filter dust collector used in the present invention is shown in FIG. 2.

이후 상기 과정으로 입자상의 오염물질이 제거된 가스는 흡착탑으로 유입되어 흡착탑에서 독성 가스를 제거하는데, 본 발명에 따른 상기 흡착탑은 수평형으로 기체와 액체의 접촉 효율을 증진시킬 수 있도록 탑 내부에 충전물(흡착제)이 있고 흡수액(KOH)을 살포하여 독성 가스를 흡수하도록 한다. 흡수액인 KOH에 의해 독성 가스의 중화 반응은 하기 표 3과 같다. After that, the gas from which particulate contaminants have been removed through the above process flows into the adsorption tower to remove toxic gases from the adsorption tower.The adsorption tower according to the present invention is a horizontal type and is packed inside the tower to improve the contact efficiency between gas and liquid. There is an (adsorbent) and an absorption liquid (KOH) is sprayed to absorb toxic gas. The neutralization reaction of the toxic gas by KOH as an absorption liquid is shown in Table 3 below.

가스종류Gas type 중화반응(흡수반응)Neutralization reaction (absorption reaction) F2F2 4HF(g) + 4KOH(aq) = 4KF(s)+H20(l)4HF(g) + 4KOH(aq) = 4KF(s)+H20(l) BF3BF3 B2O3 (s) + 6H2O(l) = 2H3BO3 (s) +…
2H3 BO3(s) + 6KOH(aq) = 2K3 BO3 (l) +…B2O3 (s) + 6H2O(l) = 2H3BO3 (s) +…
2H3 BO3(s) + 6KOH(aq) = 2K3 BO3 (l) +… SiF4SiF4 4HF(g) + 4KOH(aq) = 4KF(s) +…4HF(g) + 4KOH(aq) = 4KF(s) +… WF6WF6 12HF(g) + 12KOH(aq) = 12KF(s) +…12HF(g) + 12KOH(aq) = 12KF(s) +…

흡착탑의 몸체는 내산성이 뛰어난 FRP(불포화 폴리에스테르 수지와 유리섬유)로 제작되며, 내부 사용된 충진물은 폴리프로필렌(PP) 재질로 Tri Pack 2를 사용하였다. 또한 상부에는 흡수액을 공급하는 노즐이 부착되어 있다. 흡수액을 담고 있는 충진층에서는 유해가스와 흡수액이 만나 기액접촉이 되어 유해가스의 흡수효율을 높일 수 있고, 상부의 연속적으로 공급되는 흡수액으로 인해 입자에 의한 막힘 현상을 감소시킬 수 있다. The body of the adsorption tower is made of FRP (unsaturated polyester resin and glass fiber), which has excellent acid resistance, and the internal packing material is made of polypropylene (PP) and Tri Pack 2 is used. In addition, a nozzle for supplying the absorbent liquid is attached to the upper part. In the filling layer containing the absorbent liquid, the noxious gas and the absorbent liquid meet to form gas-liquid contact, thereby increasing the absorption efficiency of the noxious gas, and reducing clogging by particles due to the absorbent liquid continuously supplied at the top.

한편, 흡착탑 내부의 과포화된 수분과 고농도의 불화가스(HF) 제거 시 생성되는 응축현상은 산성미스트를 발생시키는데, 발생된 산성미스트는 수막형 습식 전기집진기에 의해 제거된다.On the other hand, the condensation phenomenon generated when the supersaturated moisture inside the adsorption tower and the high concentration of fluorinated gas (HF) are removed generates acid mist, and the generated acid mist is removed by a water film type wet electric precipitator.

본 발명에 따른 수막형 습식 전기집진기는 산성미스트를 제거하기 위해 집진극에 연속적으로 물을 흘려 수막(Water Film)을 형성시키고, 다수의 엣지가 있는 방전극에 직류(DC)의 음전하 고전압을 인가하여 집진극과 방전극 사이에 통과하는 산성미스트에 (-)전하가 인가되어 상대적으로 (+)극의 성질을 갖는 집진극 쪽으로 유도 부착되는 원리를 가지며, 집진극에 부착된 분진을 연속적으로 습식 수막을 이용하여 제거할 수 있는 특징을 가진다.The water film type wet electric precipitator according to the present invention forms a water film by continuously flowing water to the dust collecting electrode to remove acid mist, and by applying a negative charge high voltage of direct current (DC) to a discharge electrode having a plurality of edges. It has the principle of inductively attaching to the dust collecting electrode, which has a relatively positive (+) property by applying a negative charge to the acid mist passing between the dust collecting electrode and the discharge electrode. It has a feature that can be removed by using.

구체적으로 본 발명에 따른 수막형 습식 전기집진기의 모식도는 도 4에 나타내었고, 도 4에 나타낸 바와 같이 분진을 포함하는 유해가스가 전기집진기의 하측으로 유입되어 내측에서 정화과정을 거친 후, 상측으로 배출되는 습식 전기집진기이다. 습식 전기집진기의 하단부에는 유해가스가 유입되는 가스유입구가 형성되어 있으며, 내측 바닥부에는 수조가 형성되어 있고, 상단부에는 정화된 가스가 배출되는 가스배출구가 형성되어 있다. 본 발명의 수막형 습식 전기집진기의 내측 상단부와 하단부에는 수조의 물을 펌프를 통해 이송하여 복수의 노즐을 통해 하방과 상방으로 각각 분사하는 상측분사부 및 하측분사부가 자동밸브와 함께 설치되어 있다.Specifically, a schematic diagram of the water film type wet electric precipitator according to the present invention is shown in Fig. 4, and as shown in Fig. 4, the harmful gas including dust is introduced into the lower side of the electric precipitator and undergoes a purification process from the inside, and then goes upward. It is a discharged wet electric dust collector. A gas inlet through which harmful gas is introduced is formed at the lower end of the wet electrostatic precipitator, a water tank is formed at the inner bottom, and a gas outlet through which the purified gas is discharged is formed at the upper end. In the inner upper and lower portions of the water film type wet electric precipitator of the present invention, an upper and lower injection parts that transfer water from a water tank through a pump and spray downward and upward through a plurality of nozzles are installed together with an automatic valve.

또한, 상기 상측분사부의 하측에는 복수의 상측지지대가 전후로 간격을 이루며 수평으로 결합되어 있고, 상기 상측지지대는 고전압공급장치와 연결되어 있다. 상기 상측지지대에는 복수의 방전극이 좌우로 간격을 이루며 수직으로 결합되어 있고, 상기 방전극의 외주면에는 복수의 방전핀이 상하로 간격을 이루며 결합되어 있다.In addition, a plurality of upper supports are horizontally connected to the lower side of the upper injection part at an interval in front and rear, and the upper support is connected to a high voltage supply device. A plurality of discharge electrodes are vertically coupled to the upper support with spaced left and right, and a plurality of discharge pins are vertically coupled to the outer circumferential surface of the discharge electrode with a vertical distance.

수막형 습식전기집진기의 몸체와 내부 집진판은 FRP(불포화 폴리에스테르 수지와 유리섬유)로 제작되었고, 적용된 수막노즐은 바이톤으로 선회류의 와류방식으로 집진판에 균일한 수막을 형성시킬 수 있으며, 방전극은 SUS316L로 환봉에 다수의 방전핀이 부착되어 구성되어있다. The body and internal dust collecting plate of the water film type wet electric precipitator are made of FRP (unsaturated polyester resin and glass fiber), and the applied water film nozzle is Viton, which can form a uniform water film on the dust collection plate by the swirling flow method. It is composed of SUS316L and a number of discharge pins are attached to the round bar.

나아가 가스처리의 최종 후단인 특수활성탄(Charcoal)은 최종 저농도의 잔여가스를 처리하며, 그 성분은 F2 가스와 OF2로 배출된다. OF2 가스는 극소량의 ppm의 농도로 악취를 유발시키는 물질로 최종 특수 활성탄에 의해 제거되며 그 반응식은 다음과 같다. Furthermore, special activated carbon (Charcoal), which is the final stage of gas treatment, processes the final low-concentration residual gas, and its components are discharged as F2 gas and OF2. OF2 gas is a substance that causes odor at a very small concentration of ppm and is removed by the final special activated carbon. The reaction formula is as follows.

2F2 + C → CF4 2F 2 + C → CF 4

2OF2 + 2C → CF4 + CO2 2OF 2 + 2C → CF 4 + CO 2

이때 사용한 특수활성탄은 속이 비어있는 원통형 모양으로 공극률을 늘려 낮은 차압에서 운전할 수 있으며, 비표면적(BET)가 900m2/g이상인 것으로 사용한다. The special activated carbon used at this time has a hollow cylindrical shape that can be operated at a low differential pressure by increasing the porosity, and is used with a specific surface area (BET) of 900m 2 /g or more.

한편, 버너를 거친 고온의 배기가스는 습식 흡수탑을 지나면서 냉각되며 습도는 높아지게 된다. 일반적으로 소각로 또는 보일러 등 연소공정 중으로부터 배출되는 배기가스들은 최종 단에 공해방지를 위하여 습식 스크러버 시스템을 도입하고 있는데, 고온(150 ~ 300℃)으로 배출되는 배기가스의 습식 시스템에서의 감온은 외부와의 열교환이 없는 상태에서 단지 현열이 잠열로 전환되는 단열냉각공정(adiabaticcooling process)에 의하며 이 결과 배기가스는 40 ~ 80℃까지 냉각되지만 절대습도가 상당히 높은 상태에서 배출된다. 이때, 상대적으로 차가운 외기로 배출되는 고온, 다습한 배기가스는 대기 중에서 미세한 물방울들로 응축, 가시광선을 산란시켜, 굴뚝에서 마치 흰 연기가 배출되는 것과 같은 백연현상이 발생한다. On the other hand, the high-temperature exhaust gas passing through the burner is cooled while passing through the wet absorption tower, and the humidity is increased. In general, a wet scrubber system is introduced to prevent pollution in the final stage of exhaust gases discharged from combustion processes such as incinerators or boilers, but the temperature reduction in the wet system of exhaust gases discharged at high temperatures (150 ~ 300℃) is external. In the absence of heat exchange with, only sensible heat is converted to latent heat by an adiabatic cooling process. As a result, the exhaust gas is cooled to 40 ~ 80℃, but is discharged in a state where the absolute humidity is quite high. At this time, the high temperature and high humidity exhaust gas discharged to the relatively cold outside air condenses into fine water droplets in the atmosphere and scatters visible light, resulting in a white smoke phenomenon as if white smoke is discharged from a chimney.

본원발명의 도 5a 도면에 따르면, 습식 흡수탑의 출구 상태에서는 포화선에 이르고 차가운 외기로 배출되면 공정선(2→3)을 따라 냉각되어 지는데 이러한 공정선의 포화선 윗부분, 즉 과포화 영역을 지나게 되면 응축 및 결로현상이 발생되며 미세 물방울을 형성하게 되어 백연 현상이 유발된다.According to FIG. 5A of the present invention, when the wet absorption tower reaches the saturation line at the outlet state and is discharged to cold outside air, it is cooled along the process line (2→3). When passing through the above saturation line of this process line, that is, the supersaturation region Condensation and condensation occur, and fine water droplets are formed, causing white smoke.

따라서 이러한 백연 현상을 제거 및 감소시키기 위해 포화점에 이르는 습식 흡수탑 후단의 상태를 De-plumer를 이용할 경우, 도 5b에 나타낸 바와 같이 외기와 열교환하여 포환선을 따라 2지점에 이르게 하고 가열된 배기는 혼합되어 온도와 습도가 내려가게 되어 3지점에 이르게 된다. 외기 조건에 이르는 공정선은 3→4지점으로 포화선 아래로 지나게 되어 백연현상을 제거 및 감소시킬 수 있다.Therefore, in order to remove and reduce the white smoke phenomenon, when using the de-plumer in the state of the rear end of the wet absorption tower reaching the saturation point, heat exchange with outside air to reach two points along the shot line and heated exhaust as shown in FIG. Is mixed and the temperature and humidity are lowered to reach point 3. The process line reaching the outside air condition passes below the saturation line at points 3→4, which can eliminate and reduce the white smoke phenomenon.

여기서 백연 저감용 De-Plumer는 판형열교환기를 사용할 수 있으며, 내식성이 뛰어난 폴리에틸렌(PE) 재질로 허니컴 단면적을 갖는 전열패널로 구성되어 있다. 습하고 고온의 배기가스를 외기의 공기를 통해 열교환시켜 냉각시킴으로써 백연현상을 억제할 수 있다. 백연 저감용 De-Plumer의 모식도는 도 6에 나타내었다.Here, the De-Plumer for reducing white smoke can use a plate heat exchanger, and is composed of a heat transfer panel with a honeycomb cross-sectional area made of polyethylene (PE) with excellent corrosion resistance. The white smoke phenomenon can be suppressed by heat-exchanging and cooling the humid and high temperature exhaust gas through outside air. A schematic diagram of De-Plumer for reducing white smoke is shown in FIG. 6.

본 발명에 따른 백연 저감용 De-Plumer는 소각로 또는 보일러의 굴뚝 단부에 연결되며, 상하에 각각 관통 형성된 제1통기공을 통해 배기가스가 통기 되는 함체와, 송풍팬을 통해 외부공기가 통기 되도록 제2통기공이 상기 함체의 좌,우에 각각 형성된 하우징이 구비된다. 따라서, 상기 하우징의 상하에는 배기가스가 통과되는 제1통기공이 각각 형성되고, 좌우에는 외부공기가 통과되는 제2통기공이 각각 형성된다. 상기 제2통기공을 통해 통기 되는 외부공기가 상기 제1통기공에 통기되는 배기가스와 희석되지 않도록 서로 격리되도록 상기 함체의 내부에 구비되는 다수의 전열패널의 양단부가 결합되는 다수의 결합공이 배열 형성되며, 상기 제2통기공에 인접하여 상기 함체의 좌우측 내부에 각각 격리판이 구비된다. 상기 격리판에 양단부가 결합됨과 동시에 상기 함체의 내부에 구비되며, 상기 제1통기공을 통해 상기 함체의 내부에 통기 되는 배기가스와 상기 제2통기공을 통해 통기 되는 외부공기가 서로 격리된 상태에서 열 교환이 이루어지도록 상기 제2통기공을 통해 흡입된 외부공기가 통과되는 관통공을 갖는 다수의 전열패널이 구비된다. The De-Plumer for reducing white smoke according to the present invention is connected to the end of the chimney of an incinerator or boiler, and is made to allow external air to be ventilated through a blower fan and an enclosure through which exhaust gas is ventilated through the first vent holes respectively formed above and below A housing having two ventilation holes formed on the left and right sides of the enclosure is provided. Accordingly, first ventilation holes through which exhaust gas passes are formed on the upper and lower sides of the housing, and second ventilation holes through which external air passes are respectively formed on the left and right sides. A plurality of coupling holes are arranged in which both ends of a plurality of heat transfer panels provided inside the housing are coupled so that external air vented through the second vent hole is isolated from each other so that it is not diluted with the exhaust gas vented through the first vent hole. Is formed, and is provided with a separator in each of the left and right sides of the housing adjacent to the second ventilation hole. Both ends of the separator are coupled to each other and provided inside the enclosure, and the exhaust gas vented into the enclosure through the first vent hole and the external air vented through the second vent hole are isolated from each other. A plurality of heat transfer panels having through-holes through which external air sucked through the second ventilation hole passes is provided so that heat exchange is performed in

상기 전열패널은 길이방향을 따라 내부에 관통공이 형성되도록 판 형상의 이격된 두 개의 외벽과 이 외벽의 양단부를 잊는 단부벽으로 이루어지며, 상기 관통공의 내부에는 통과되는 외부공기의 전열면적이 넓어지도록 허니컴 단면 형상으로 외벽을 잊는 다수의 간벽이 간격을 두고 형성된다. The heat transfer panel is composed of two plate-shaped spaced outer walls so that a through hole is formed therein along the length direction and an end wall that forgets both ends of the outer wall, and the heat transfer area of the external air passing through the through hole is wide. The honeycomb cross-sectional shape is formed with a number of gaps to forget the outer wall.

또한, 단면에 관통공이 있는 허니컴 단면 형태의 구조는 전열패널의 전열 두께를 얇게 하더라도 공기 측에 설치되는 격벽에 의해 구조적으로 튼튼하게 되며, 상기 전열패널을 격리판에 용접할 때에도 열변형 문제에 대해 구조적인 안전성을 확보할 수 있다.In addition, the structure of the honeycomb cross-section with through-holes in the cross section is structurally strong by the partition wall installed on the air side even if the heat transfer thickness of the heat transfer panel is thin, and even when the heat transfer panel is welded to the separator, the heat distortion problem is solved. Structural safety can be secured.

이상의 구성을 포함하는 본 발명의 불소계열 산업가스 처리 시스템은 불화독성가스를 처리할 때 닥트로부터 배출될 수 있는 가스상 오염물질(HF), PM2.5 이하의 초미세먼지, 불산 미스트, OF2 악취가스 또는 백연 등을 안전하게 제거할 수 있다. The fluorine-based industrial gas treatment system of the present invention including the above configuration is a gaseous pollutant (HF) that can be discharged from the duct when treating fluorinated toxic gas, PM2.5 or less ultrafine dust, hydrofluoric acid mist, OF2 odor gas. Alternatively, white smoke can be safely removed.

앞서 기술한 바와 같이, 본 발명에 따른 불소계열 산업가스 처리 시스템의 전체 공정도는 도 7에 나타내었고, 전체 공정도에서 흡착탑까지의 공정은 도 8에 나타내었고, 흡착탑 이후 수막형 습식집진기부터 마지막 공정까지의 과정은 도 9에 나타내었다.As described above, the overall process chart of the fluorine-based industrial gas treatment system according to the present invention is shown in FIG. 7, and the process from the overall process chart to the adsorption tower is shown in FIG. 8, and from the water film type wet dust collector after the adsorption tower to the last process The process of is shown in FIG. 9.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.So far, the present invention has been looked at around its preferred embodiments. Those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to understand that the present invention may be implemented in a modified form without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered from an illustrative point of view rather than a limiting point of view. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the present invention.

Claims (5)

연료 주입구가 상부에 위치하고 공기주입구가 측면에 위치하며 처리가스를 연소시키기 위한 불꽃을 생성하는 파일럿 버너 및 상기 파일럿 버너의 하부에 위치하고 독성가스 주입구 및 공기주입구가 구비된 버닝챔버를 포함하되, 상기 독성가스 주입구는 버닝챔버 상부 측면에 위치하고 상기 공기주입구는 버닝챔버 측면에 위치하며, 상기 독성가스 주입구로 유입된 처리가스는 버닝챔버에서 연소되고, 상기 버닝챔버의 내부 공간은 처리가스를 메탄을 이용하여 환원시키는 환원연소부 및 상기 환원연소부 하부에 공기주입구로 유입된 가스를 이산화탄소로 전환시키는 산화연소부가 연속되어 위치하는, 상기 파일럿 버너 및 버닝챔버가 장착된 버너부;
상기 버너부의 하단에 인접하게 연결되어 위치하고 상기 버너부를 통해 배출된 연소가스가 하단으로 유입되어 여과포를 통과하면서 연소가스로부터 분진 및 유해가스를 제거하되, 분진 시 여과 집진기의 상단부 압축공기로 펄스하여 집진 과정에서 정화된 공기가 반대방향으로 흐르도록 역압하여 상기 분진 및 유해가스를 제거하는 여과 집진기;
상기 여과 집진기에서 분진 및 유해가스가 제거된 가스가 유입되도록 상기 여과 집진기와 인접하게 연결되어 위치하고, 탑 내부에는 수평형으로 기체와 액체의 접촉 효율을 증진시킬 수 있도록 흡착제인 폴리프로필렌 재질의 충전물을 포함하며, 탑 상부에는 흡수액인 KOH 용액을 살포할 수 있는 흡수액 공급노즐이 장착되어 있는 흡착탑;
상기 흡착탑의 후단에 연결되어 위치하고 있고, 상기 흡착탑에서 배출되는 가스가 하단으로 유입되어 내측에서 정화과정을 거친 후, 상단으로 배출되는 수막형 습식 전기집진기로서,
상기 수막형 습식 전기집진기는 하단에 상기 흡착탑에서 배출되는 가스가 유입되는 가스유입구가 위치하고 있고 내측 바닥부에는 수조가 형성되어 있으며 상단에는 정화된 가스가 배출되는 가스배출구가 있고, 내측 상단부와 하단부에는 수조의 물을 펌프를 통해 이송하여 복수의 노즐을 통해 하방과 상방으로 각각 분사하는 상측분사부 및 하측분사부가 자동밸브와 함께 구비되어 있으며, 상측분사부의 하측에는 복수의 상측지지대가 전후로 간격을 이루며 수평으로 결합되어 있고, 상기 상측지지대는 고전압공급장치와 연결되어 있으며, 상기 상측지지대에는 복수의 방전극이 좌우로 간격을 이루며 수직으로 결합되어 있고, 상기 방전극의 외주면에는 복수의 방전핀이 상하로 간격을 이루며 결합되어 있으며,
상기 수막형 습식 전기집진기는 내부에 위치하고 있는 다수의 집진극에 연속적으로 물을 흘려 수막(Water Film)을 형성하며, 다수의 방전핀을 함유하는 방전극에 직류(DC)의 음전하 고전압을 인가하여 집진극과 방전극 사이를 통과하는 산성미스트에 (-)전하가 인가되어 (+)극의 성질을 갖는 집진극 쪽으로 상기 흡착탑에서 유입된 산성미스트를 유도 및 부착함으로써 집진극에 부착된 분진을 연속적으로 제거하고,
상기 수막형 습식 전기집진기의 상부에는 원통형 모양이고 비표면적(BET)이 900m2/g 이상인 활성탄을 함유하고 있어 최종 저농도의 잔여가스를 처리하여 F2 가스와 OF2 로 배출되도록 하는 수막형 습식 전기집진기; 및
상기 수막형 습식 전기집진기의 가스배출구로부터 배출된 가스가 유입되도록 상기 수막형 습식 전기집진기의 가스배출구와 연결되어 인접하게 위치하고 있고, 허니컴 단면적을 갖는 전열패널로 구성되며 상기 전열패널은 길이방향을 따라 내부에 관통공이 형성되도록 판형상의 이격된 2개의 외벽과 이 외벽의 양단부를 잇는 단부벽으로 이루어지며, 상기 관통공의 내부에는 통과되는 외부공기의 전열면적이 넓어지도록 허니컴 단면 형상으로 외벽을 잇는 다수의 간벽이 간격을 두고 형성되어 있는 백연 저감 기능을 갖는 판형열교환기;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는,
불소계열 산업가스 처리 시스템.The fuel injection port is located on the upper side, the air inlet is located on the side, and a pilot burner that generates a flame for burning the process gas, and a burning chamber located under the pilot burner and provided with a toxic gas inlet and an air inlet, the toxicity The gas inlet is located on the upper side of the burning chamber and the air inlet is located on the side of the burning chamber, and the processed gas introduced into the toxic gas inlet is burned in the burning chamber, and the internal space of the burning chamber uses methane to convert the processed gas. A burner unit equipped with the pilot burner and the burning chamber, in which a reduction combustion unit for reducing and an oxidizing combustion unit for converting gas introduced through the air inlet into carbon dioxide is continuously located below the reduction combustion unit;
Located adjacent to the lower end of the burner, the combustion gas discharged through the burner flows to the lower end and passes through the filter cloth to remove dust and harmful gases from the combustion gas, but when dust is collected, it is pulsed with compressed air at the upper end of the filter dust collector to collect dust. A filter dust collector which removes the dust and harmful gases by back pressure so that the air purified in the process flows in the opposite direction;
The filter dust collector is located adjacent to the filter dust collector so that the gas from which the dust and harmful gases are removed flows in, and a filler made of polypropylene, which is an adsorbent, is disposed in a horizontal type to improve the contact efficiency between the gas and the liquid. It includes, and the absorption tower is equipped with an absorption liquid supply nozzle capable of spraying the absorption liquid KOH solution at the top of the tower;
As a water film type wet electric precipitator located connected to the rear end of the adsorption tower, the gas discharged from the adsorption tower is introduced to the lower end, undergoes a purification process from the inside, and is discharged to the upper end,
The water-film type wet electric precipitator has a gas inlet at the lower end through which the gas discharged from the adsorption tower flows in, a water tank is formed at the inner bottom, and at the upper end there is a gas outlet through which the purified gas is discharged, and at the inner upper and lower parts The upper and lower injection parts that transfer water from the water tank through a pump and spray downward and upward through a plurality of nozzles are provided with automatic valves, and a plurality of upper supports are spaced back and forth on the lower side of the upper injection part. It is connected horizontally, and the upper support is connected to a high voltage supply device, a plurality of discharge electrodes are vertically connected to the upper support at a horizontal interval, and a plurality of discharge pins are spaced vertically on the outer circumferential surface of the discharge electrode. Are united to form,
The water film type wet electric precipitator forms a water film by continuously flowing water to a plurality of dust collecting electrodes located inside, and collecting dust by applying a negative charge high voltage of direct current (DC) to a discharge electrode containing a plurality of discharge pins. (-) charge is applied to the acid mist that passes between the pole and the discharge electrode, and by inducing and attaching the acid mist introduced from the adsorption tower toward the dust collecting electrode having the property of the (+) pole, the dust attached to the dust collecting electrode is continuously removed. and,
The water film type wet electric dust collector has a cylindrical shape and contains activated carbon with a specific surface area (BET) of 900 m 2 /g or more, so that the final low-concentration residual gas is treated and discharged as F 2 gas and OF 2 Dust Collector; And
The water film type wet electric precipitator is connected to and located adjacent to the gas discharge port of the water film type wet electric precipitator so that the gas discharged from the gas discharge port of the water film type wet electric precipitator flows in. It consists of two outer walls in a plate shape and an end wall connecting both ends of the outer wall so that a through hole is formed therein, and a number of connecting the outer wall in a honeycomb cross-sectional shape so that the heat transfer area of the external air passing through the through hole is widened. Characterized in that comprising; a plate-type heat exchanger having a white smoke reduction function in which the partition walls of the are formed at intervals,
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110252059B (en) * 2019-06-14 2021-08-27 苏州市协力环保设备有限公司 Fiberboard drying waste gas treatment system and fiberboard drying waste gas treatment process
KR102237327B1 (en) 2020-02-12 2021-04-07 전남대학교산학협력단 Bacillus subtilis JCK-1398 strain having induced resistance in various plant, composition for controlling pine wilt disease comprising the same and method used therein
CN114682382A (en) * 2022-03-02 2022-07-01 湖北净天环保设备有限公司 Aerosol catcher
CN115254424B (en) * 2022-07-28 2023-05-16 上海协微环境科技有限公司 Tail gas treatment system with high-efficiency dust removal function

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007309535A (en) 2006-05-16 2007-11-29 Daido Steel Co Ltd Exhaust gas treatment device for metal scrap melting furnace
KR101263569B1 (en) * 2011-05-20 2013-05-13 기종숙 Cvd or dry etching process exhaust gas treatment system
KR101420508B1 (en) * 2012-10-12 2014-08-13 안성준 Wet electrostatic precipitator having ionizer and air purifying apparatus using the same

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050040176A (en) 2003-10-27 2005-05-03 한국생산기술연구원 Perfluorinated compounds scrubbing system
KR20150049863A (en) * 2013-10-31 2015-05-08 (주)에코솔루텍 Heat exchanger for white plume abatement

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007309535A (en) 2006-05-16 2007-11-29 Daido Steel Co Ltd Exhaust gas treatment device for metal scrap melting furnace
KR101263569B1 (en) * 2011-05-20 2013-05-13 기종숙 Cvd or dry etching process exhaust gas treatment system
KR101420508B1 (en) * 2012-10-12 2014-08-13 안성준 Wet electrostatic precipitator having ionizer and air purifying apparatus using the same

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