KR102148736B1 - 메모리 사용량 모니터링 방법 및 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 메모리 사용량 모니터링 방법 및 기판처리장치에 관한 것으로서, 본 발명의 메모리 사용량 모니터링 방법은, 설정된 수집주기에 따라 메모리 사용량을 수집하는 메모리 사용량 수집 과정과, 상기 수집되는 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수를 판단하는 메모리 누수 판단 과정과, 상기 메모리 누수의 판단 결과에 기반하여 설비 알람을 생성하는 알람 처리 과정을 포함하고, 상기 메모리 누수를 판단하는 과정은, 상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 비교하여 메모리 누수 여부를 판단하는 제1 메모리 누수 판단 과정과, 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하지 않은 경우, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부를 판단하는 제2 메모리 누수 판단 과정을 포함한다.

Description

메모리 사용량 모니터링 방법 및 기판처리장치{A METHOD OF MONITORING USAGE OF MEMORY AND A SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 메모리 사용량 모니터링 방법 및 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 허용치를 초과한 메모리 사용으로 인한 설비구동정지를 방지하기 위한 것이다.
공장 내에 구동되는 기판처리장치는 기판 처리 공정을 연속적으로 진행한다. 기판처리장치가 기판 처리 공정을 연속적으로 진행하기 때문에, 기판처리장치 내부 부품에 열화가 발생할 수 있다. 내부 부품에 열화가 발생하여 기판처리장치의 구동이 정지되는 경우, 작업자는 기판처리장치의 구동 정지 원인을 파악하여 열화된 부품을 교체하거나 그 외의 작업을 수행함으로써, 기판처리장치의 구동 정지 원인을 제거할 수 있다. 즉, 기판처리장치에 하드웨어와 관련된 문제가 발생한 경우, 작업자는 그 원인을 파악하고 그 원인을 제거할 수 있다.
이와는 다르게 기판처리장치에 구비된 메인컴퓨터가 알 수 없는 이유로 정지하거나 기판처리장치 구동프로그램이 알 수 없는 이유로 종료될 수 있다. 메인컴퓨터가 정지되거나 기판처리장치 구동 프로그램이 종료되는 경우, 작업자는 메인컴퓨터에서 구동 정지된 원인을 찾아 원인을 제거할 수 없다. 작업자가 프로그래머라고 하더라도, 작업자가 메인컴퓨터의 구동정지 원인 또는 기판처리장치 구동 프로그램의 종료 원인을 찾고 분석하는 데에는 오랜 시간이 걸리기 때문이다. 생산성이 중시되는 기판처리장치는 장시간 방치될 수 없기 때문에, 작업자는 메인컴퓨터에서 로그를 생성하고 메인컴퓨터와 함께 설비를 리셋시킬 수밖에 없다. 이와 더불어 설비에서 공정처리가 진행중인 기판들은 폐기 처리될 수 있다. 즉, 기판처리장치에 소프트웨어와 관련된 문제가 발생한 경우, 작업자는 그 원인을 파악할 수 없을 뿐만 아니라 그 원인을 제거할 수도 없다.
한편 소프트웨어와 관련된 문제를 일으키는 원인들 중 하나는 허용치를 초과한 메모리 사용량이다. 기판처리장치를 구동하는 기판처리장치 구동프로그램은 기판처리장치에 구비된 메인컴퓨터에서 실행된다. 허용치를 초과한 메모리 사용량으로 인한 기판처리장치의 구동정지를 방지하기 위해, 작업자가 메인컴퓨터의 메모리 사용량을 모니터링하는 것은 많은 시간과 노력이 필요하다. 공장 내에서는 한 대의 기판처리장치만 존재하는 것이 아니고, 복수 대의 기판처리장치가 존재하기 때문이다.
본 발명은 허용치를 초과한 메모리 사용량으로 인한 설비구동정지를 방지하기 위해 효과적인 메모리 사용량 모니터링 방법 및 기판처리장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 메모리 사용량 모니터링 방법은, 설정된 수집주기에 따라 메모리 사용량을 수집하는 과정과, 상기 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수를 판단하는 과정과, 상기 메모리 누수의 판단 결과에 기반하여 설비 알람을 생성하는 과정을 포함하고, 상기 메모리 누수를 판단하는 과정은, 상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 비교하여 메모리 누수 여부를 판단하는 과정과, 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하지 않은 경우, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부를 판단하는 과정을 포함한다.
상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 비교하여 메모리 누수를 판단하는 과정은, 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수로 판단하는 과정임을 특징으로 한다.
상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 한다.
메모리 사용량을 메모리에 누적하여 저장하는 과정을 더 포함하고, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수를 판단하는 과정은, 상기 수집주기마다 누적하여 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수를 판단하고, 상기 설정된 기간 동안 상기 최대 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수가 임계 갱신 횟수를 초과하면 메모리 누수로 판단하는 과정을 포함한다.
상기 수집주기마다 수집되는 메모리 사용량을 메모리에 누적하여 저장하는 과정을 더 포함하고, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수를 판단하는 과정은, 상기 수집주기마다 누적하여 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 여부를 판단하는 과정과, 상기 메모리 사용량의 최대치 갱신이 상기 설정된 기간 동안 연속적으로 발생하는 경우 메모리 누수로 판단하는 과정을 포함한다.
상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 설정된 수집주기에 따라 메모리 사용량을 수집하는 메모리 사용량 수집부; 상기 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수를 판단하는 메모리 누수 판단부; 및, 상기 메모리 누수의 판단 결과에 기반하여 설비 알람을 생성하는 설비 알람 발생부를 포함하고, 상기 메모리 누수 판단부는, 상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 대소 비교하여 메모리 누수 여부를 판단하고, 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하지 않은 경우, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부를 판단한다.
상기 메모리 누수 판단부는 상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 비교하여 메모리 누수 판단 시 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수로 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 한다.
상기 메모리 사용량을 누적하여 저장하는 메모리 사용량 저장부를 더 포함하고, 상기 메모리 누수 판단부는, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수를 판단 시 상기 수집주기마다 누적하여 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수를 판단하고, 상기 설정된 기간 동안 상기 최대 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수가 임계 갱신 횟수를 초과하면 메모리 누수로 판단하는 것을 특징으로 한다.
메모리 사용량을 메모리에 누적하여 저장하는 과정을 더 포함하고, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수를 판단하는 과정은, 상기 수집주기마다 누적하여 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 여부를 판단하는 과정과, 상기 메모리 사용량의 최대치 갱신이 상기 설정된 기간 동안 연속적으로 발생하는 경우 메모리 누수로 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 메모리 누수 판단으로 기판처리장치가 구동 정지를 사전에 방지함으로써 기판처리장치에 생산성을 상승시킬 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 메모리 누수가 존재한다고 판단된 경우, 알람을 통하여 사용자가 메모리 누수 존재에 대해 미리 인식하게 할 수 있다.
본 발명에 의하면 사용자가 직접 메모리 누수 판단을 위한 모니터링이 필요없기 때문에, 메모리 사용량 모니터링에 인력, 시간, 비용 등을 아낄 수 있다.
본 발명에 의하면 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량과 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량에 대해 메모리 누수 판단을 함으로써, 어플리케이션들 중 어떤 어플리케이션이 허용치를 넘어 메모리를 사용하였는지 판단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 사용량 모니터링 방법을 설명하는 플로우차트이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 메모리 사용량 모니터링 방법에 따른 설정된 수집주기에 따라 수집되어 저장된 메모리 사용량에 대한 예시를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치에 대한 개략적인 구성도이다.
이하 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메모리 사용량 모니터링 방법을 설명하는 플로우차트이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 메모리 사용량 모니터링 방법에 따른 설정된 수집주기에 따라 수집되어 저장된 메모리 사용량에 대한 예시를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 메모리 사용량 모니터링 방법은, 메모리 사용량 수집 과정(S100)과, 메모리 사용량 저장 과정(S200)과, 메모리 누수 판단 과정(S300)과, 알람 처리 과정(S400)을 포함한다.
메모리 사용량 수집과정(S100)에서는 설정된 수집주기에 따라 메모리 사용량이 수집된다. 수집되는 메모리 사용량은 이후 메모리 누수 판단과정(S300)에서 메모리 누수 판단 대상이 된다. 메모리는 가상 메모리, 물리 메모리 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
메모리 사용량은 기판처리장치에서 구동되는 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량일 수 있다. 또는 메모리 사용량은 어플리케이션들 각각에 대한 메모리 사용량이거나 또는 특정 어플리케이션에 대한 메모리 사용량일 수 있다. 또한 메모리 사용량은 기판처리장치에서 구동되는 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 모두일 수 있다.
적어도 하나의 어플리케이션에 대한 메모리 사용량을 획득하는 방법은 공지된 방법을 이용할 수 있다. 예를 들어, NET framework환경에서는 PerformanceCounter Class를 이용하여 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각의 메모리 사용량이 획득될 수 있다. 또한 C/C++환경에서는 WIN32 API, PDH(Performance Data Handler), winmm.lib, psapi.lib등을 이용하여 어플리케이션의 전체 또는 어플리케이션 각각의 메모리 사용량이 획득될 수 있다. 또한 공지된 다른 방법으로 어플리케이션의 전체 또는 어플리케이션 각각의 메모리 사용량이 획득될 수 있다.
메모리 사용량의 수집주기(T)는 디폴트 또는 사용자에 의해 설정되며, 사용자에 의해 업데이트될 수 있다. 한편 수집주기에 따라 메모리 사용량을 수집 동작이 수행됨에도 불구하고 메모리 사용량이 수집되지 않거나 복수의 수집주기 동안 메모리 사용량이 수집되지 않는 경우, 도 1에는 도시되지 않았지만 알람 처리 과정(S400)이 진행될 수 있다.
설비가 리셋되거나 또는 설비를 구동하는 메인 컴퓨터가 리셋되는 경우, 설비 또는 메인컴퓨터가 부팅완료될 때까지 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량을 수집하지 않을 수 있다. 그리고 설비가 리셋되거나 또는 설비를 구동하는 메인 컴퓨터가 리셋되는 경우 메모리 사용량이 수집될 수 있지만, 메모리 누수 판단에 이용되지 않을 수 있다.
메모리 사용량 저장 과정(S200)에서는 수집주기(T)에 따라 수집되는 메모리 사용량이 저장된다. 메모리 사용량이 수집주기마다 저장됨으로써 메모리 누수 판단 과정(S300)에서 메모리 누수 판단을 위한 자료가 된다.
어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량이 수집되면, 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량이 메모리에 저장될 수 있다. 저장되는 메모리 사용량은 수집된 메모리 사용량으로서, 기판처리장치에서 구동되는 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량일 수 있다. 또는 저장되는 메모리 사용량은 어플리케이션들 각각에 대한 메모리 사용량이거나 또는 특정 어플리케이션에 대한 메모리 사용량일 수 있다. 또한 저장되는 메모리 사용량은 기판처리장치에서 구동되는 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 모두일 수 있다.
도 2를 참조하면, 수집된 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량은 저장기능을 갖는 저장소에 저장된다. 예를 들어, 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량은 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T, t1+6T, t1+7T일 때 각각 60%, 65%, 62%, 67%, 72%, 68%, 63%, 64%이다.
한편, 측정 또는 저장된 현재 시각이 t1+5T이라면, t1은 현재 측정 또는 저장 시각으로부터 5T만큼 전 시각으로 볼 수 있다. 가장 최근에 측정된 시각이 t1+5T이라고 가정하면, 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량은 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T일 때 각각 60%, 65%, 62%, 67%, 72%, 68%이다.
또한 선택적으로 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량의 최대치가 수집주기마다 파악되어 저장될 수 있다. 예를 들어, 수집시각 또는 저장시각이 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T, t1+6T, t1+7T일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 최대치는 각각 60%, 65%, 65%, 67%, 72%, 72%, 72%, 72%이다.
또한 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량의 최대치가 수집주기마다 파악되어 저장되는 경우, 선택적으로 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량의 최대치 갱신 여부도 수집주기마다 파악되어 저장될 수 있다.
예를 들어, 어플리케이션의 메모리 사용량 최대치가 갱신되었을 때 최대치 갱신 여부는 1로 저장되고, 어플리케이션의 메모리 사용량 최대치가 갱신되지 않은 경우 최대치 갱신 여부가 0으로 저장된다고 가정한다. 수집시각 또는 저장시각이 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T, t1+6T, t1+7T일 때, 도 2에 도시된 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 최대치 갱신여부는 각각 1, 1, 0, 1, 1, 0, 0, 0로 저장된다.
구체적으로 살펴보면, 측정시각 t1 이전에 기록된 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량의 최대치가 60%미만인 경우, 측정시각이 t1일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량의 최대치가 60%로 갱신되므로 최대치 갱신 여부는 1로 저장된다. 또한 측정시각이 t1+T일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량의 최대치가 65%로 갱신되므로 최대치 갱신 여부는 1로 저장된다. 또한 어플리케이션 전체에 대한 측정시각이 t1+2T일 때 메모리 사용량의 최대치가 갱신되지 않았으므로 최대치 갱신 여부는 0으로 저장된다. 또한 측정시각이 t1+3T일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량의 최대치가 67%로 갱신되므로 최대치 갱신 여부는 1로 저장된다. 또한 측정시각이 t1+4T일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량의 최대치가 72%로 갱신되므로 최대치 갱신 여부는 1로 저장된다. 또한 측정시각이 t1+5T, t1+6T, t1+7T일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량의 최대치는 갱신되지 않으므로, 최대치 갱신 여부는 0로 저장될 수 있다.
메모리 사용량의 최대치 및 최대치 갱신 여부는 메모리 누수 판단 과정(S300)에서 메모리 사용량 추이를 기준으로 판단할 때 자료가 될 수 있다.
상기와 같이, 메모리 사용량 저장 과정(S100)에서 메모리 사용량, 메모리 사용량 최대치, 메모리 사용량 최대치 갱신여부에 대한 저장은 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각 또는 특정 어플리케이션 중 적어도 하나에 대해 수행될 수 있다. 이와는 다르게 메모리 사용량만 저장될 수 있다. 메모리 사용량 저장과정은 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각 또는 특정 어플리케이션 중 적어도 하나에 대해 수행될 수 있다.
메모리 누수 판단 과정(S300)에서는 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수가 판단되며, 메모리 누수가 있다고 판단된 경우는 알람 처리 과정(S400)으로 진행되고, 메모리 누수가 없다고 판단된 경우 메모리 사용량 수집 과정(S100)이 진행된다.
메모리 누수 판단 과정(S300)은 메모리 사용량을 설정된 임계값과 비교하여 메모리 누수 여부를 판단하는 제1 메모리 누수 판단 과정(S310)과, 메모리 사용량이 설정된 임계값을 초과하지 않은 경우, 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부를 판단하는 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)을 포함한다.
제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서는 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량이 어플리케이션 전체에 대해 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수가 있다고 판단될 수 있다.
또한 제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 어느 하나가 어플리케이션 각각에 대해 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수가 있다고 판단될 수 있다.
또한 제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서는 어플리케이션 전체 및 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 어느 하나가 어플리케이션 각각에 대해 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수가 있다고 판단될 수 있다.
또한 제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서는 특정 어플리케이션에 대한 메모리 사용량이 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수가 있다고 판단될 수 있다.
또한 제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서는, 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 어느 하나가 어플리케이션 전체 또는 각각에 대해 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수가 있다고 판단될 수 있다.
예를 들어, 어플리케이션 전체에 대해 설정된 임계값이 70%이라고 가정한다. 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량이 임계값 70%를 초과하면 어플리케이션 전체에 대해 메모리 누수가 있는 것으로 판단될 수 있다.
임계값은 어플리케이션 전체에 대해 설정된 임계값이거나 어플리케이션 각각에 대해 설정된 임계값일 수 있다. 그리고 어플리케이션 각각에 대해 설정된 임계값은 각 어플리케이션마다 서로 다르게 설정될 수 있다.
도 2를 참조하면, 측정시각 또는 저장시각이 t1 내지 t1+3T 일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량은 임계값 70%를 초과하지 않는다. 하지만 t1+4T일 때 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량이 임계값 70%를 초과한다. 따라서 t1+4T일 때, 어플리케이션 전체에 대해 메모리 누수가 있는 것으로 판단되고, 알람 처리 과정(S400)이 진행될 수 있다.
또한 예를 들어, 어플리케이션1에 대해 설정된 메모리 사용량에 대한 임계값이 7%인 경우, 수집된 어플리케이션1에 대한 메모리 사용량이 7%를 초과하면 어플리케이션에 대해 메모리 누수가 있는 것으로 판단되고, 알람 처리 과정(S400)이 진행될 수 있다. 어플리케이션1의 경우 t1+5T일 때 메모리 누수가 존재하는 것으로 판단되어 알람 처리 과정(S400)이 진행될 수 있다.
한편 어플리케이션 전체 및 어플리케이션 각각에 대해 메모리 누수가 존재하는지 모두 판단되는 경우, 어플리케이션 전체 및 어플리케이션 각각에 대해 메모리 누수가 어느 하나라도 존재한다고 판단되면 알람 처리 과정(S400)이 진행될 수 있다. 이 경우 메모리 사용량 수집과정(S100) 및 메모리 사용량 저장 과정(S200)에서 어플리케이션 전체 및 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량이 모두 수집 및 저장되어야 한다.
한편, 어플리케이션 전체 또는 특정 어플리케이션에 대해 메모리 누수가 존재하는지 판단되는 경우, 메모리 사용량 수집과정(S100) 및 메모리 사용량 저장 과정(S200)에서 어플리케이션 전체 또는 특정 어플리케이션에 대한 메모리 사용량이 수집 및 저장되어야 한다.
설정된 임계값은 초기에 설정된 것일 수 있고, 사용자에 의해 설정되거나 업데이트될 수 있다.
어플리케이션 하나의 메모리 사용량에 대한 임계값은 적어도 하나 이상의 임계값으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 어플리케이션 전체에 대해 설정된 임계값이 제1 임계값이 65%, 제2 임계값이 75%, 제3 임계값이 85%으로 구성될 수 있다. 어플리케이션 전체의 메모리 사용량이 50%, 60%, 70%, 80%, 90%으로 증가된다면 각각의 임계값을 기준으로 알람 레벨을 서로 다르게 하여 알람이 발생될 수 있다.
어플리케이션의 메모리 사용량에 대한 임계값은 가상 메모리 및 물리 메모리를 포함하는 메모리 사이즈를 기준으로 설정될 수 있다. 즉 어플리케이션의 초기 메모리 사이즈가 X인 경우, X의 배수로 임계값이 설정될 수 있다.
또한 어플케이션의 메모리 사용량에 대한 임계값은, 알람 처리 과정(S400)에서 알람 처리에 따라 메모리 사용량에 대한 임계값이 업데이트된 것일 수 있다.
제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대해 메모리 누수가 존재하는 것으로 판단되면, 기판처리 설비의 메모리 사용량 모니터링 과정 중 설비 알람 처리 과정(S400)이 진행되고, 그렇지 않은 경우네는 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)이 진행된다.
제2 메모리 누수 판단 과정(S320)에서 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부가 판단된다. 본 발명에서는 메모리 사용량 최대치 갱신 횟수를 기반으로 메모리 사용량의 변화 추이가 판단되는 과정을 나타내었지만, 이에 한정되지 않는다.
제2 메모리 누수 판단 과정(S320)은 제1 메모리 누수 판단 과정(S320)에서 어플리케이션 전체 및 어플리케이션 각각에 대해 메모리 누수가 존재하지 않는 것으로 판단된 경우 진행된다.
메모리 사용량 저장 과정(S200)에서 메모리 사용량 최대치 갱신 여부가 저장되어 있는 경우, 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)에서 메모리 사용량 최대치 갱신 여부를 이용하여 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대한 메모리 누수 여부가 판단된다.
한편 메모리 사용량 저장 과정(S200)에서 메모리 사용량 최대치 갱신 여부가 저장되어 있지 않은 경우, 저장된 메모리 사용량을 이용하여 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)에서 메모리 사용량 최대치 갱신 여부가 판단된 후 메모리 누수 여부가 판단된다.
제2 메모리 누수 판단 과정(S320)에서 설정기간(L1)동안 메모리 사용량 최대치 갱신 횟수가 임계횟수(N)를 초과하면 어플리케이션 전체 또는 어플리케이션 각각에 대해 메모리 누수로 판단될 수 있다.
도 2에 도시된 예를 참조하여 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)을 설명하면 다음과 같다.
우선 어플리케이션1에 대해 설정된 임계치는 10%이고 제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서 메모리 누수가 존재하지 않는다고 판단된 경우라고 가정한다. 메모리에 저장된 어플리케이션1의 메모리 사용량들 중에서 수집시각 또는 저장시각이 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T, t1+6T, t1+7T일 때, 어플리케이션1의 메모리 사용량 최대치는 각각 5%, 5%, 6%, 7%, 7%, 8%, 8%, 8%이다.
어플리케이션의 메모리 사용량 최대치가 갱신되었을 때 최대치 갱신 여부는 1이 되고, 어플리케이션의 메모리 사용량 최대치가 갱신되지 않은 경우 최대치 갱신 여부는 0인 것으로 가정한다. 그리고 수집 또는 측정시각이 t1일 때 최대치가 갱신되지 않은 것으로 가정하면, 어플리케이션1의 메모리 사용량 최대치는 수집시각 또는 저장시각이 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T, t1+6T , t1+7T 일 때, 메모리 사용량 최대치 갱신 여부는 각각 0, 0, 1, 1, 0, 1, 0, 0이 된다.
설정기간(L1)이 4T이고, 임계횟수(N)이 3인 경우, 측정시각이 t1+5T일 때 설정기간 t1+T 내지 t1+5T 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수가 3이므로 어플리케이션1에 대한 메모리 누수가 존재하는 것으로 판단될 수 있다. 이때 현재 수집시각 또는 측정시각이 t1+5T일때, 수집시각 또는 저장시각이 t1+T일 때의 최대치 갱신 여부는 제외하고 판단하거나 포함시켜 판단될 수 있다.
상기와는 다른 방법으로 제2 메모리 누수 판단 과정을 수행될 수 있다. 즉 설정기간(L2)동안에 연속적으로 메모리 사용량 최대치 갱신이 이루어지는 경우 해당 어플리케이션에 메모리 누수가 존재한다고 판단될 수 있다.
도 2에 도시된 예를 참조하여 다른 방법으로 수행되는 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)을 설명하면 다음과 같다.
메모리에 저장된 어플리케이션2의 메모리 사용량들 중에서 수집시각 또는 저장시각이 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T, t1+6T, t1+7T일 때, 어플리케이션2의 메모리 사용량 최대치는 각각 3%, 4%, 4%, 5%, 7%, 8%, 9%, 10%이다.
어플리케이션2의 메모리 사용량 최대치가 갱신되었을 때 최대치 갱신 여부는 1이 되고, 어플리케이션2의 메모리 사용량 최대치가 갱신되지 않은 경우 최대치 갱신 여부는 0인 것으로 가정한다. 수집 시각 또는 저장 시각이 t1일 때 최대치가 갱신된 것으로 가정하면, 어플리케이션2의 메모리 사용량 최대치는 수집시각 또는 저장시각이 t1, t1+T, t+2T, t1+3T, t1+4T, t1+5T, t1+6T, t1+7T 일 때, 메모리 사용량 최대치 갱신 여부는 각각 1, 1, 0, 1, 1, 1, 1, 1이 된다.
설정기간(L2)이 4T인 것으로 가정하면, 수집시각 또는 저장시각이 t1+6T일 때 설정기간 t1+3T 내지 t1+6T 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신이 연속적으로 이루어지므로 메모리 누수가 존재하는 것으로 판단될 수 있다.
한편 제2 메모리 누수 판단 과정에도 임계값이 적용될 수 있다. 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)에 적용되는 임계값보다 어플리케이션의 메모리 사용이 높은 경우에만 메모리 사용량 추이에 기반하여 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)이 진행될 수 있다. 제2 메모리 누수 판단 과정(S320)에서 사용되는 임계값은 제1 메모리 누수 판단 과정(S310)에서 사용되는 임계값보다는 작은 수의 임계값이다.
이와는 다르게 설정기간(L3) 동안의 메모리 사용량에 대한 차분값이 이용될 수도 있다.
한편 메모리 사용량 최대치는 기판처리장치 또는 기판처리장치를 구동하는 메인컴퓨터가 리셋될 때 함께 리셋될 수 있다. 또한 사용자에 의해 리셋될 수 있다.
알람 처리 과정(S400)에서는 메모리 누수 판단 과정(S300)에서 메모리 누수 판단 결과에 기반하여 설비 알람이 발생된다.
즉, 메모리 누수가 발생한 어플리케이션의 이름, 메모리 누수가 발생한 어플리케이션의 메모리 사용량을 포함하는 정보와 함께 설비 알람과 함께 사용자에게 통지될 수 있다.
알람 처리 과정(S500)에서 알람이 발생된 경우, 메모리 사용량 수집 과정(S100)으로 진행될 수 있다. 그 이유는 메모리 누수 판단은 허용치를 초과한 메모리 사용에 대한 예방 목적이기 때문에 기판처리장치 구동은 정지하지 않기 때문이다. 또한 알람 발생 이후라도 메모리 사용량을 수집하여 메모리 누수 여부를 판단할 필요가 있기 때문에 메모리 사용량 수집 과정(S100)으로 진행될 필요가 있다.
알람 처리 과정(S500)에서 알람이 발생된 경우, 메모리 사용량 수집 과정(S100)으로 진행되지 않고 메모리 사용량 모니터링 과정이 사용자에 의해 종료되거나 또는 초기설정에 의해 종료될 수 있다.
한편 알람 처리 과정(S500)에서, 기판 처리 설비에 대한 조치를 기반으로 메모리 사용량 누수 판단에 이용되는 임계치, 설정기간(L1, L2), 임계횟수(N) 등을 포함하는 파라미터들이 업데이트될 수 있다.
본 발명의 실시예에 다른 메모리 사용량 모니터링 방법은 어플리케이션 전체, 어플리케이션 각각, 특정 어플리케이션 중 적어도 하나에 관한 메모리 사용량을 수집하고, 수집한 메모리 사용량을 저장하고, 저장된 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수 여부를 판단하고, 메모리 누수 판단결과를 기반으로 알람을 처리한다.
이하 기판처리장치에 대해 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 나타낸 도면이다.
메모리 사용량 모니터링 방법을 이용한 기판처리장치(10)는 메모리 사용량 수집부(100), 메모리 사용량 저장부(200), 메모리 누수 판단부(300), 알람 처리부(400)를 포함한다.
메모리 사용량 수집부(100)는 설정된 수집주기에 따라 기판처리장치(10)의 메모리 사용량을 수집하는 메모리 사용량 수집 과정(S100)을 수행한다.
메모리 사용량 저장부(200)는 메모리 사용량을 누적하여 저장하는 메모리 사용량 저장과정(S100)을 수행한다.
메모리 누수 판단부(300)은 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수를 판단하는 메모리 누수 판단 과정(S300)을 수행한다. 즉, 메모리 누수 판단부(300)은 메모리 사용량을 설정된 임계값과 대소 비교하여 메모리 누수 여부를 판단하고, 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하지 않은 경우, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부를 판단한다.
알람 처리부(400)는 메모리 누수의 판단 결과에 기반하여 설비 알람을 생성하는 알람처리 과정(S400)을 수행한다.
한편 이러한 메모리 사용량 모니터링 과정은 기판처리장치에 구비된 메인컴퓨터 또는 별도의 컴퓨터에서 수행될 수 있다.
각 구성에 대한 구체적인 내용은 메모리 사용량 모니터링 방법에서 상술한 바와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
본 발명에 의하면, 메모리 누수 판단으로 기판처리장치가 구동 정지를 사전에 방지함으로써 기판처리장치에 생산성을 상승시킬 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 메모리 누수가 존재한다고 판단된 경우, 알람을 통하여 사용자가 메모리 누수 존재에 대해 미리 인식하게 할 수 있다.
본 발명에 의하면 사용자가 직접 메모리 누수 판단을 위한 모니터링이 필요없기 때문에, 메모리 사용량 모니터링에 인력, 시간, 비용 등을 절감할 수 있다.
본 발명에 의하면 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량과 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량에 대해 메모리 누수 판단을 함으로써, 어플리케이션들 중 어떤 어플리케이션이 허용치를 넘어 메모리를 사용하였는지 판단할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시 예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 기판처리장치 100:메모리 사용량 수집부
200: 메모리 사용량 저장부 300: 메모리 누수 판단부
400: 알람 처리부

Claims (12)

  1. 설정된 수집주기에 따라 메모리 사용량을 수집하는 메모리 사용량 수집 과정과,
    상기 수집되는 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수를 판단하는 메모리 누수 판단 과정과,
    상기 메모리 누수의 판단 결과에 기반하여 설비 알람을 생성하는 알람 처리 과정을 포함하고,
    상기 메모리 누수를 판단하는 과정은,
    상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 비교하여 메모리 누수 여부를 판단하는 제1 메모리 누수 판단 과정과,
    상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하지 않은 경우, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부를 판단하는 제2 메모리 누수 판단 과정을 포함하는 것을 특징으로 하고,
    상기 제1 메모리 누수 판단 과정은, 상기 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수로 판단하며,
    상기 제1 메모리 누수 판단 과정에서, 상기 설정된 임계값은 서로 다른 알람을 생성하기 위한 복수의 임계값으로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 메모리 사용량 모니터링 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 메모리 사용량 모니터링 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수집되는 메모리 사용량을 메모리에 저장하는 저장 과정을 더 포함하고,
    상기 제2 메모리 누수 판단 과정은,
    상기 수집주기마다 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수를 판단하고,
    상기 설정된 기간 동안 상기 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수가 임계 갱신 횟수를 초과하면 메모리 누수로 판단하는 과정을 포함하는 기판처리장치의 메모리 사용량 모니터링 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 수집주기마다 수집되는 메모리 사용량을 메모리에 저장하는 저장 과정을 더 포함하고,
    상기 제2 메모리 누수 판단 과정은,
    상기 수집주기마다 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 여부를 판단하여, 상기 메모리 사용량의 최대치 갱신이 상기 설정된 기간 동안 연속적으로 발생하는 경우 메모리 누수로 판단하는 과정을 포함하는 기판처리장치의 메모리 사용량 모니터링 방법.
  6. 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 메모리 사용량 모니터링 방법.
  7. 설정된 수집주기에 따라 메모리 사용량을 수집하는 메모리 사용량 수집부;
    상기 메모리 사용량을 기반으로 메모리 누수를 판단하는 메모리 누수 판단부; 및,
    상기 메모리 누수의 판단 결과에 기반하여 설비 알람을 생성하는 설비 알람 발생부를 포함하고,
    상기 메모리 누수 판단부는,
    상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 대소 비교하여 메모리 누수 여부를 판단하고, 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하지 않은 경우, 상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수 여부를 판단하고,
    상기 메모리 누수 판단부는 상기 메모리 사용량을 설정된 임계값과 비교하여 상기 메모리 사용량이 상기 설정된 임계값을 초과하는 경우 메모리 누수로 판단하고, 상기 설정된 임계값은 서로 다른 알람을 생성하기 위한 복수의 임계값으로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 메모리 사용량을 누적하여 저장하는 메모리 사용량 저장부를 더 포함하고,
    상기 메모리 누수 판단부는,
    상기 메모리 사용량의 변화 추이에 기반하여 메모리 누수를 판단 시 상기 수집주기마다 누적하여 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수를 판단하고, 상기 설정된 기간 동안 상기 메모리 사용량의 최대치 갱신 횟수가 임계 갱신 횟수를 초과하면 메모리 누수로 판단하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 메모리 사용량을 누적하여 저장하는 메모리 사용량 저장부를 더 포함하고,
    상기 메모리 누수 판단부는 상기 수집주기마다 누적하여 저장되는 메모리 사용량 중 설정된 기간 동안 메모리 사용량의 최대치 갱신 여부를 판단하고, 상기 메모리 사용량의 최대치 갱신이 상기 설정된 기간 동안 연속적으로 발생하는 경우 메모리 누수로 판단하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 제10항 및 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메모리 사용량은 어플리케이션 전체에 대한 메모리 사용량 및 상기 어플리케이션 각각에 대한 메모리 사용량 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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