KR102140145B1 - High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape - Google Patents

High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape Download PDF

Info

Publication number
KR102140145B1
KR102140145B1 KR1020200027403A KR20200027403A KR102140145B1 KR 102140145 B1 KR102140145 B1 KR 102140145B1 KR 1020200027403 A KR1020200027403 A KR 1020200027403A KR 20200027403 A KR20200027403 A KR 20200027403A KR 102140145 B1 KR102140145 B1 KR 102140145B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
discharge space
discharge
space
dielectric
housing
Prior art date
Application number
KR1020200027403A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이규하
윤덕환
안창근
박성진
제임스 게리 이든
Original Assignee
그린스펙(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 그린스펙(주) filed Critical 그린스펙(주)
Priority to KR1020200027403A priority Critical patent/KR102140145B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102140145B1 publication Critical patent/KR102140145B1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/10—Preparation of ozone
    • C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
    • C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
    • C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
    • C01B2201/22—Constructional details of the electrodes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
    • C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
    • C01B2201/32—Constructional details of the dielectrics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
    • C01B2201/60—Feed streams for electrical dischargers
    • C01B2201/64—Oxygen

Abstract

The present invention relates to an ozone generating apparatus. More specifically, the present invention relates to an ozone generating apparatus equipped with a different size and shape discharge space, wherein a first dielectric and a second dielectric are spaced apart at a specific interval to form a first discharge space and a second discharge space, wherein the second discharge space is formed by being spaced apart by a larger interval than the first discharge space so that, when oxygen flows from the second discharge space to the first discharge space, the pressure decreases to lower the driving voltage for plasma generation to reduce power consumption, and oxygen is allowed to be mixed with each other in the second discharge space to uniform the concentration of ozone generated in the first discharge space.

Description

다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 고농도 오존 발생 장치{High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape}High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and Shape}

본 발명은 오존 발생 장치에 대한 것으로서 특히 제1유전체와 제2유전체가 특정 간격으로 이격되어 제1방전 공간과 제2방전 공간을 형성하되, 상기 제2방전 공간은 상기 제1방전 공간보다 큰 간격으로 이격되어 형성하여 상기 제2방전 공간에서 제1방전 공간으로 산소가 유입될 때 압력이 강하되어 플라즈마 생성을 위한 구동 전압을 낮추어서 전력 소모량을 절감하고, 상기 제2방전 공간에서 산소가 상호 혼합되게 하여 제1방전 공간에서 생성된 오존의 농도를 균일하게 할 수 있는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 오존 발생 장치이다.The present invention relates to an ozone generator, in particular, the first dielectric and the second dielectric are spaced apart at specific intervals to form a first discharge space and a second discharge space, wherein the second discharge space is greater than the first discharge space Spaced apart, the pressure drops when oxygen flows into the first discharge space from the second discharge space, thereby lowering the driving voltage for plasma generation, thereby reducing power consumption and allowing oxygen to be mixed in the second discharge space. Thus, it is an ozone generating apparatus having a discharge space of different size and shape capable of uniformizing the concentration of ozone generated in the first discharge space.

일반적으로 오존 생성을 위한 플라즈마 기술은, 코로나 방전, 유전체 방전등의 방법이 널리 사용되고 있다. 특히 고농도(10 wt. % 이상)의 오존을 의미 있는 균일도로 생성하기 위해서는 플라즈마의 균일도, 유지전압, 생성 및 유지온도, 방전기체의 성분 (불순물의 정도) 및 압력 등을 만족해야 하나, 산소로부터의 오존발생이 발열 반응이므로, 열발생시 일정한 오존발생농도가 유지되기 어렵고, 또한 산소 원자의 높은 전자친화도로 인해서 방전이 균일치 못하거나, 고전압의 인가가 필요하다. 또한 고전압의 인가 뿐 아니라 반응성이 높은 오존이 고농도시, 반응기내의 전극이나 유전체등과 반응하여 절연 파괴 혹은 변형, 그리고 반응기를 오염시키기가 매우 쉽다. In general, as a plasma technology for ozone generation, methods such as corona discharge and dielectric discharge are widely used. Particularly, in order to generate high concentration (10 wt.% or more) of ozone with meaningful uniformity, the uniformity of the plasma, the maintenance voltage, the generation and maintenance temperature, the components of the discharge gas (the degree of impurities), and the pressure must be satisfied. Since the ozone generation of is an exothermic reaction, it is difficult to maintain a constant ozone concentration at the time of heat generation, and due to the high electron affinity of oxygen atoms, discharge is not uniform or high voltage application is required. In addition, when high-concentration ozone is reacted with electrodes or dielectrics in the reactor at high concentration as well as high voltage application, it is very easy to break or deform insulation and contaminate the reactor.

따라서 고농도 오존을 발생시, 방전조건을 균일하게 할 수 있고, 또한 오존발생 효율을 극대화시키면서도, 열의 발생을 효과적으로 제어할 수 있는 유전체 방전 방식의 오존 발생 장치가 사용된다.Therefore, when generating high-concentration ozone, a dielectric discharge type ozone generating device capable of uniformly discharging conditions and effectively controlling heat generation while maximizing ozone generating efficiency is used.

도 1에 도시된 바와 같이 상기 유전체 방전 방식의 오존 발생 장치(1)는 상호 이격되는 한 쌍의 전극(ED)과 상기 전극(ED)을 감싸는 유전체(ER)를 포함한다. 상기 한 쌍의 전극(ED)은 상하 방향 배치되고 일정 간격 이격된 제1전극(ED1) 및 제2전극(ED2)을 포함한다. As shown in FIG. 1, the ozone generator 1 of the dielectric discharge method includes a pair of electrodes ED spaced apart from each other and a dielectric ER surrounding the electrodes ED. The pair of electrodes ED is disposed in the vertical direction and includes a first electrode ED1 and a second electrode ED2 spaced apart at regular intervals.

상기 유전체(ER) 역시 상기 제1전극(ED1)에 구비되는 제1유전체(ER1)와 제2전극(ED2)에 구비되는 제2유전체(ER2)를 포함한다. 이때, 상기 제1전극(ED1)과 제2전극(ED2)의 마주보는 측면은 상기 제1유전체(ER1) 및 제2유전체(ER2)에 의해 커버된다.The dielectric ER also includes a first dielectric ER1 provided on the first electrode ED1 and a second dielectric ER2 provided on the second electrode ED2. At this time, opposite sides of the first electrode ED1 and the second electrode ED2 are covered by the first dielectric ER1 and the second dielectric ER2.

이러한 제1유전체(ER1)와 제2유전체(ER2)사이의 공간에 플라즈마가 발생하는 방전 공간으로 작용한다. 이러한 방전 공간을 산소(O2)가 통과하며 오존(O3)으로 생성된다.The space between the first dielectric ER1 and the second dielectric ER2 serves as a discharge space in which plasma is generated. Oxygen (O2) passes through this discharge space and is generated as ozone (O3).

그런데, 이러한 종래 기술의 오존 생성 장치의 경우 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the ozone generating device of the prior art has the following problems.

첫째, 고농도의 오존을 형성하기 위해 주입 기체인 산소를 상압 이상으로 유지하여 산소의 밀도를 증가시켜야 하는데, 이러한 경우 오존 발생기의 구동 전압이 증가하여 전력 소모가 증가하는 문제점이 있었다.First, in order to form a high concentration of ozone, it is necessary to increase the density of oxygen by maintaining oxygen, which is an injection gas, at or above atmospheric pressure. In this case, there is a problem in that power consumption increases due to an increase in the driving voltage of the ozone generator.

둘째, 종래의 반응 공간은 다수 개 구비되어 상기 반응 공간에서 일시에 오존이 생성되는데, 상기 반응 공간마다 생성되는 오존의 농도가 상이하여 균일한 농도의 오존을 생성하기가 어려운 문제점이 있었다.Second, a plurality of conventional reaction spaces are provided, and ozone is generated at a time in the reaction space. However, since the concentration of ozone generated for each reaction space is different, it is difficult to generate a uniform concentration of ozone.

한편, 상술한 오존 발생 장치 자체는 널리 알려진 것으로서, 특히 아래의 선행기술문헌에 자세히 기재되어 있어 이에 대한 설명과 도시는 생략한다.On the other hand, the above-described ozone generating device itself is widely known, and is described in detail in the following prior art documents, and thus description and illustration thereof are omitted.

한국 등록 특허 제10-1593291호Korean Registered Patent No. 10-1593291 한국 등록 특허 제10-0516961호Korean Registered Patent No. 10-0516961 한국 등록 특허 제10-0944700호Korean Registered Patent No. 10-0944700

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제1유전체와 제2유전체가 특정 간격으로 이격되어 제1방전 공간과 제2방전 공간을 형성하되, 상기 제2방전 공간은 상기 제1방전 공간보다 큰 간격으로 이격되어 형성하여 상기 제2방전 공간에서 제1방전 공간으로 산소가 유입될 때 압력이 강하되어 플라즈마 생성을 위한 구동 전압을 낮추어서 전력 소모량을 절감하고, 상기 제2방전 공간에서 산소가 상호 혼합되게 하여 제1방전 공간에서 생성된 오존의 농도를 균일하게 할 수 있는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 오존 발생 장치의 제공을 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems, the first dielectric and the second dielectric spaced apart at a specific interval to form a first discharge space and a second discharge space, the second discharge space than the first discharge space It is formed by being spaced apart at large intervals, and when oxygen flows into the first discharge space from the second discharge space, the pressure drops to lower the driving voltage for plasma generation, thereby reducing power consumption, and oxygen in the second discharge space. It is an object of the present invention to provide an ozone generator having different sizes and types of discharge spaces that can be mixed to uniformize the concentration of ozone generated in the first discharge space.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned object, another object not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 판체 형상의 하우징(H)과 상기 하우징(H) 내부에 구비되는 한 쌍의 전극(ED)과, 상기 한 쌍의 전극(ED) 내측면에 구비되는 유전체(ER)를 포함하되,In order to achieve the above object, a plate-shaped housing (H) and a pair of electrodes (ED) provided inside the housing (H), and a dielectric (ER) provided on the inner surface of the pair of electrodes (ED) Including,

상기 한 쌍의 전극(ED)은 상호 다른 극성을 가지고 일정 간격 이격되고 판체 형상인 제1전극(ED1) 및 제2전극(ED2)을 포함하고,The pair of electrodes ED includes a first electrode ED1 and a second electrode ED2 having a different polarity and spaced apart at regular intervals, and having a plate shape.

상기 유전체(ER)는 상기 제1전극(ED1)과 제2전극(ED2)의 내측에 각각 구비되고 일정 간격 상호 이격되는 제1유전체(ER1) 및 제2유전체(ER2)를 포함하며,The dielectric ER includes a first dielectric ER1 and a second dielectric ER2 that are provided inside the first electrode ED1 and the second electrode ED2 and are spaced apart from each other at regular intervals.

상기 제1유전체(ER1)와 제2유전체(ER2)는 특정 간격으로 이격되어 제1방전 공간(100)이 형성되되 상기 1방전 공간(100)에서 방전된 물질을 버퍼링하는 버퍼링 공간을 구비한다The first dielectric ER1 and the second dielectric ER2 are spaced apart at specific intervals to form a first discharge space 100, but a buffering space for buffering substances discharged from the first discharge space 100.

이때 상기 버퍼링공간은 상기 제1방전 공간(100)은 하우징(H)의 폭 방향으로 다수 개 형성되면서 상기 제1방전 공간(100)이 연통되도록 형성되는 제2방전 공간(200)을 구비한다.In this case, the buffering space includes a second discharge space 200 in which the first discharge space 100 is formed to communicate with the plurality of first discharge spaces 100 in the width direction of the housing H.

또한 상기 제2방전 공간(200)은 상기 제1방전 공간(100)보다 큰 간격으로 이격되어 형성되며, 상기 제2방전 공간(200)은 제1방전 공간(100)으로부터 산소 유동의 상류측 방향에 배치되는 것을 특징으로 한다. In addition, the second discharge space 200 is formed to be spaced apart at a larger interval than the first discharge space 100, the second discharge space 200 is in the upstream direction of the oxygen flow from the first discharge space 100 It is characterized by being placed in.

상기에서, 상기 제1방전 공간(100)은 산소 유동 방향으로 일정 거리 이격된 제11방전 공간(110) 및 제12방전 공간(120)을 포함하되, 상기 제11방전 공간(110)은 제12방전 공간(120) 보다 산소 유동의 상류측 방향에 배치되고, 상기 제2방전 공간(200)은 상기 제11방전 공간(110) 및 제12방전 공간(120) 사이에 배치되는 제21방전 공간(210)과 상기 제11방전 공간(110)의 산소 유동 방향의 상류측 방향에 배치되고 상기 제11방전 공간(110)과 연통되는 제22방전 공간(220)을 포함한다.In the above, the first discharge space 100 includes an eleventh discharge space 110 and a twelfth discharge space 120 spaced a predetermined distance in the direction of oxygen flow, wherein the eleventh discharge space 110 is a twelfth The discharge space 120 is disposed in an upstream direction of oxygen flow, and the second discharge space 200 is a 21st discharge space disposed between the 11th discharge space 110 and the 12th discharge space 120 ( 210) and the 22th discharge space 220 disposed in the upstream direction of the oxygen flow direction of the 11th discharge space 110 and communicating with the 11th discharge space 110.

상기에서, 상기 제2방전 공간(200)은 제12방전 공간(120)의 산소 유동의 하류측 방향에 배치되는 제23방전 공간(230)을 더 포함한다.In the above, the second discharge space 200 further includes a 23rd discharge space 230 disposed in the downstream direction of the oxygen flow of the 12th discharge space 120.

상기에서, 상기 제21방전 공간(210)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되고, 하우징(H)의 폭 방향으로 다수 개 배치되는 제11방전 공간(110)과 제12방전 공간(120)은 상기 제21방전 공간(210)에 모두 연통되는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비한다.In the above, the 21st discharge space 210 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H, and the 11th discharge space 110 and a plurality of discharge spaces 110 arranged in the width direction of the housing H The twelfth discharge space 120 includes discharge spaces of different sizes and shapes that are all in communication with the twenty-first discharge space 210.

상기에서, 상기 제22방전 공간(220)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되되, 일 측은 하우징(H)에 구비되는 입력 피팅(F1)에 연결되고 타 측은 다수 개의 제11방전 공간(110)에 연통되며, 상기 제22방전 공간(220)의 폭은 제11방전 공간(110)으로 갈수록 증가하여, 상기 다수 개의 제11방전 공간(110) 전부와 연통되는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비한다.In the above, the 22th discharge space 220 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H, one side is connected to the input fitting F1 provided in the housing H and the other side is a plurality The 11th discharge space 110 communicates with each other, and the width of the 22th discharge space 220 increases toward the 11th discharge space 110, and the other 11th discharge space 110 communicates with all of the 11th discharge spaces 110. A discharge space of size and shape is provided.

상기에서, 상기 제23방전 공간(230)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되되, 일 측은 하우징(H)에 구비되는 출력 피팅(F2)에 연결되고 타 측은 다수 개의 제12방전 공간(120)에 연통되며, 상기 제23방전 공간(230)의 폭은 제12방전 공간(120)으로 갈수록 증가하여, 상기 다수 개의 제12방전 공간(110) 전부와 연통되는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비한다.In the above, the 23rd discharge space 230 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H. One side is connected to the output fitting F2 provided in the housing H, and the other side is a plurality. The 12th discharge space 120 communicates with each other, and the width of the 23rd discharge space 230 increases toward the 12th discharge space 120. A discharge space of size and shape is provided.

상기에서, 상기 제22방전 공간(220)과 제23방전 공간(230) 사이에 구비되는 바이패스부(400)를 더 포함하는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비한다.In the above, a discharge space of different size and shape is further provided, which further includes a bypass unit 400 provided between the 22nd discharge space 220 and the 23th discharge space 230.

상기에서, 상기 제1방전 공간(100)과 제2방전 공간(200) 사이의 연결 부분은 유선형으로 형성된 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비한다.In the above, the connecting portion between the first discharge space 100 and the second discharge space 200 has discharge spaces of different sizes and shapes formed in a streamlined shape.

상기에서, 상기 제11방전 공간(110)과 제12방전 공간(120) 또는 제22방전 공간(220)과 제23방전 공간(230)은 비 대칭으로 형성된다.In the above, the 11th discharge space 110 and the 12th discharge space 120 or the 22th discharge space 220 and the 23th discharge space 230 are formed asymmetrically.

또한 본 발명은 상기 제1방전 공간(100) 또는 제2방전 공간(200)의 상하측에 구비되는 제1유전체(ER1) 또는 제2유전체(ER2)에는 마이크로 캐비티(300)가 요홈되어 형성되며, 상기 마이크로 캐비티(300)는 하우징(H)의 폭 방향 및 길이 방향으로 다수 개 구비되는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비한다. In addition, the present invention is formed by the microcavity 300 is recessed in the first dielectric ER1 or the second dielectric ER2 provided on the upper and lower sides of the first discharge space 100 or the second discharge space 200. , The micro-cavities 300 have discharge spaces of different sizes and shapes provided in a plurality in the width and length directions of the housing H.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.Features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms or words used in the specification and claims should not be interpreted in a conventional and lexical sense, and the inventor may appropriately define the concept of terms in order to best describe his or her invention. Based on the principle that it should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

이상 설명한 본 발명에 의해 종래보다 전력 소모를 낮출 수 있고 오존의 농도를 균일하게 할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention described above, power consumption can be lowered than in the prior art, and the ozone concentration can be made uniform.

도 1은 일반적인 오존 생성 장치를 설명하는 개념도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치의 단면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치의 단면도 및 일부 확대도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치의 일부 단면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치의 제1방전 공간과 제2방건 공간의 결합 관계를 나타내는 개념도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치의 바이패스부를 나타내는 개념도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치의 다른 실시예를 나타내는 개념도,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a general ozone generating device,
Figure 2 is a cross-sectional view of the ozone generator according to an embodiment of the present invention,
Figure 3 is a cross-sectional view and a partially enlarged view of the ozone generator according to an embodiment of the present invention,
Figure 4 is a partial cross-sectional view of the ozone generator according to an embodiment of the present invention,
5 is a conceptual diagram showing a coupling relationship between a first discharge space and a second dry space of the ozone generator according to an embodiment of the present invention,
6 is a conceptual diagram showing a bypass unit of the ozone generator according to an embodiment of the present invention,
7 is a conceptual diagram showing another embodiment of the ozone generator according to an embodiment of the present invention,
8 is a conceptual diagram showing another embodiment of an ozone generator according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to a user's or operator's intention or practice. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout the present specification.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.In addition, the following embodiments are not intended to limit the scope of the present invention, but are merely illustrative of the components presented in the claims of the present invention, and are included in the technical idea throughout the specification of the present invention and constitute the claims. Embodiments that include a substitutable component as an equivalent in the elements can be included in the scope of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 오존 발생 장치(10)는 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 판체 형상의 하우징(H)과 상기 하우징(H) 내부에 구비되는 한 쌍의 전극(ED)과, 상기 한 쌍의 전극(ED) 내측면에 구비되는 유전체(ER)를 포함한다. 이때, 상기 한 쌍의 전극(ED)은 상호 다른 극성을 가지고 일정 간격 이격되고 판체 형상인 제1전극(ED1) 및 제2전극(ED2)을 포함한다. 이러한 제1전극(ED1)과 제2전극(ED2)은 상술된 종래 기술을 적용할 수 있어 이에 대한 자세한 설명과 도시는 생략한다. 또한, 상기 제1전극(ED1)과 제2전극(ED2)에는 전원 공급 장치(V)에 의해 전원이 공급될 수 있으며 이러한 전원 공급 장치(V)는 고주파 교류 전원 또는 직류 전원 등을 이용할 수 있으며 이는 널리 관계로 이에 대한 설명과 도시는 생략한다.The ozone generator 10 according to an embodiment of the present invention includes a plate-shaped housing H and a pair of electrodes ED provided inside the housing H, as shown in FIGS. 2 to 5. , A dielectric ER provided on the inner surface of the pair of electrodes ED. At this time, the pair of electrodes ED has different polarities and is spaced apart at regular intervals and includes a plate-shaped first electrode ED1 and a second electrode ED2. The first electrode ED1 and the second electrode ED2 may apply the above-described conventional technology, and thus detailed description and illustration will be omitted. In addition, power may be supplied to the first electrode ED1 and the second electrode ED2 by a power supply V, and the power supply V may use high-frequency AC power or DC power, or the like. This is widely related, so the description and illustration are omitted.

또한, 상기 하우징(H)에는 유체의 유출입을 위한 피팅(F)이 구비될 수 있고, 상기 피팅(F)은 유체가 하우징(H)측으로 유입되게 하는 입력 피팅(F1)과 유체가 하우징(H)으로부터 토출되게 하는 출력 피팅(F2)을 포함할 수 있으며, 이러한 피팅(fitting)은 널리 알려진 구성인 관계로 자세한 설명과 도시는 생략한다.In addition, the housing (H) may be provided with a fitting (F) for the flow of fluid in and out, the fitting (F) is the input fitting (F1) and the fluid to allow the fluid to flow into the housing (H) side and the housing (H ) May include an output fitting (F2) to be discharged, and such a fitting is a well-known configuration, and thus detailed description and illustration will be omitted.

또한 상기 하우징(H) 내부에는 소정의 유동홈(2-1)이 형성되는 냉각부(2)를 포함할 수 있으며, 이러한 유동홈(2-1)에 냉각수가 유동하며 열을 흡수할 수 있다. 이러한 냉각부(2) 역시 널리 알려진 구성인 관계로 자세한 설명과 도시는 생략한다.In addition, the housing (H) may include a cooling unit (2) in which a predetermined flow groove (2-1) is formed, the cooling water flows in such a flow groove (2-1) can absorb heat. . Since the cooling unit 2 is also a well-known configuration, detailed description and illustration are omitted.

한편, 상기 유전체(ER)의 경우도 종래와 유사하게 상기 제1전극(ED1)과 제2전극(ED2)의 내측에 각각 구비되고 일정 간격 상호 이격되는 제1유전체(ER1) 및 제2유전체(ER2)를 포함할 수 있으며 이러한 유전체(ER)는 결정질, 비 결정질 세라믹 또는 유리나 상술된 구성의 복합 소재를 이용할 수 있다.On the other hand, in the case of the dielectric ER, similarly to the prior art, the first dielectric ER1 and the second dielectric are provided inside the first electrode ED1 and the second electrode ED2 and spaced apart from each other at regular intervals. ER2), and the dielectric ER may be crystalline, non-crystalline ceramic or glass, or a composite material having the above-described configuration.

본 발명의 경우 상기 제1유전체(ER1)와 제2유전체(ER2)는 특정 간격으로 이격되어 제1방전 공간(100) 및 제2방전 공간(200)을 각각 형성한다. 이때, 상기 제1방전 공간(100)은 하우징(H)의 폭 방향으로 다수 개 형성된다(도 5참조)In the case of the present invention, the first dielectric ER1 and the second dielectric ER2 are spaced apart at specific intervals to form a first discharge space 100 and a second discharge space 200, respectively. At this time, a plurality of first discharge spaces 100 are formed in the width direction of the housing H (see FIG. 5).

상기 제1유전체(ER1)와 제2유전체(ER2)는 동일 형상을 가지며 상기 제1유전체(ER1)는 서로 다른 재질인 제11유전체(ER11)와 제12유전체(ER12)를 포함할 수 있다. 상기 제11유전체(ER11)와 제12유전체(ER12) 사이에 제1전극(ED1)이 배치될 수 있고 상기 제11유전체(ER11)는 외측 방향으로 배치되고, 제12유전체(ER12)는 내측 방향으로 배치될 수 있으며 이는 제2유전체(ER2)의 경우도 동일하다.The first dielectric ER1 and the second dielectric ER2 have the same shape, and the first dielectric ER1 may include eleventh dielectric ER11 and twelfth dielectric ER12 made of different materials. A first electrode ED1 may be disposed between the eleventh dielectric ER11 and the twelfth dielectric ER12, the eleventh dielectric ER11 may be disposed outward, and the twelfth dielectric ER12 may be inward. It can be arranged in the same as the case of the second dielectric (ER2).

또한, 상기 제1유전체(ER1)는 제1방전 공간(100) 상에 배치되는 것도 가능하고, 제2방전 공간(200)상에 배치되는 것도 가능하다. 즉, 상기 제2방전 공간(200)의 상하측에 제1전극(ED1) 및 제2전극(ED2)을 배치하고, 상기 제1전극(ED1)의 상하측에 각각 제11유전체(ER11) 및 제12유전체(ER12)를 배치하는 것도 가능하다. 물론 제2전극(ED2)의 경우도 동일하게 배치할 수 있다.Further, the first dielectric ER1 may be disposed on the first discharge space 100 or may be disposed on the second discharge space 200. That is, the first electrode ED1 and the second electrode ED2 are disposed on the upper and lower sides of the second discharge space 200, and the eleventh dielectric ER11 and the upper and lower sides of the first electrode ED1, respectively. It is also possible to arrange the twelfth dielectric ER12. Of course, the second electrode ED2 may be disposed in the same manner.

또한, 상기 제2방전 공간(200)은 다수 개의 제1방전 공간(100)이 연통되도록 형성된다, 이때, 상기 제2방전 공간(200)은 상기 제1방전 공간(100)보다 큰 간격으로 이격되어 형성되며, 상기 제2방전 공간(200)은 제1방전 공간(100)으로부터 산소 유동의 상류측 방향에 배치된다. In addition, the second discharge space 200 is formed such that a plurality of first discharge spaces 100 communicate with each other. At this time, the second discharge space 200 is spaced apart at a greater distance than the first discharge space 100. The second discharge space 200 is disposed in an upstream direction of oxygen flow from the first discharge space 100.

즉, 도 2에 도시된 바와 같이 제2방전 공간(200)은 상하 방향 간격 L2를 가지며, 제1방전 공간(100)은 상하 방향 간격 L1을 가진다. 또한, 상기 제2방전 공간(200)은 제1방전 공간(100)보다 산소 유동의 상류 방향(도면상 좌측)에 배치된다. 이러한 구성에 의해 상기 제2방전 공간(200)을 유동하는 산소는 제1방전 공간(100)으로 진입하면서 유속은 상승하고 압력은 하강하여 방전 전압을 감소시킬 수 있다. That is, as illustrated in FIG. 2, the second discharge space 200 has an interval L2 in the vertical direction, and the first discharge space 100 has an interval L1 in the vertical direction. In addition, the second discharge space 200 is disposed in an upstream direction (left side in the drawing) of oxygen flow than the first discharge space 100. With this configuration, oxygen flowing in the second discharge space 200 may enter the first discharge space 100 while increasing the flow rate and decreasing the pressure to decrease the discharge voltage.

즉, 종래 기술의 경우 고농도의 오존을 형성하기 위해 주입 기체인 산소를 상압 이상으로 유지하여 산소의 밀도를 증가시켜야 하는데, 이러한 경우 오존 발생기의 구동 전압이 증가하여 전력 소모가 증가하는 문제점이 있었다. 본 발명은 이러한 문제점을 해결한 것으로서 상술된 바와 같이 다른 크기(즉, 다른 간극)을 가지는 방전 공간의 구성을 통해 압력을 하강시켜 구동 전압의 상승을 방지할 수 있어 전력 소모의 증가를 막을 수 있다.That is, in the case of the prior art, in order to form a high concentration of ozone, oxygen, which is an injection gas, must be maintained above atmospheric pressure to increase the density of oxygen. In this case, there is a problem in that power consumption increases due to an increase in the driving voltage of the ozone generator. The present invention has solved this problem, and as described above, it is possible to prevent an increase in power consumption by preventing a rise in driving voltage by lowering pressure through a configuration of a discharge space having different sizes (ie, different gaps). .

상술된 제1방전 공간(100)과 제2방전 공간(200)은 특정 간격으로 반복될 수 있다.The first discharge space 100 and the second discharge space 200 described above may be repeated at specific intervals.

한편, 상기 제1방전 공간(100) 또는 제2방전 공간(200)의 상하측에 구비되는 제1유전체(ER) 또는 제2유전체(ER2)에는 마이크로 캐비티(300)가 요홈되어 형성되며, 이러한 마이크로 캐비티(300)는 하우징(H)의 폭 방향 및 길이 방향으로 다수 개 구비되며 최소 2개 이상 구비될 수 있다.Meanwhile, the microcavity 300 is recessed in the first dielectric ER or the second dielectric ER2 provided on the upper and lower sides of the first discharge space 100 or the second discharge space 200. A plurality of micro-cavities 300 are provided in the width direction and the length direction of the housing H, and may be provided in at least two.

본 발명과 같이 오존을 생성하기 위해 높은 기체 압력하에서의 유전체사이의 플라즈마 형성은 균일한 플라즈마 대신 방전위치가 유전체 표면상의 열적 불균일성으로 무작위 방전이 되기가 매우 싶다. 이는 오존 발생 효율에 직접적으로 영향을 미치거나, 강한 방전이 특정부위에 형성되에 플라즈마 전극에 물리적인 파손 및 방전성능의 점진적인 퇴화를 나타낼 수 있다. 또한 플라즈마 형성이 전극의 온도변화에 직접적인 영향을 받아, 냉각장치의 도움에도 불구하고 정확한 오존생성을 유지하기가 어려워지는 문제가 있다. Plasma formation between dielectrics under high gas pressure in order to generate ozone, as in the present invention, is very likely to be a random discharge due to thermal non-uniformity on the dielectric surface instead of a uniform plasma. This may directly affect the efficiency of ozone generation, or may indicate physical damage to the plasma electrode and gradual deterioration of discharge performance because a strong discharge is formed at a specific site. In addition, plasma formation is directly affected by the temperature change of the electrode, so it is difficult to maintain accurate ozone generation despite the aid of a cooling device.

본 발명의 마이크로 캐비티(300)에 의하면 다수의 마이크로 플라즈마가 일정한 공간에 높은 전자 밀도를 가지며 형성되므로, 그 특성이 균일하고, 평면에서 무작위로 발생하는 기존의 플라즈마 기술 방식과는 달리, 요구되는 플라즈마의 물리적 화학적 특성을 일정하기에 제어하는데 큰 도움이 된다. According to the micro-cavity 300 of the present invention, since a plurality of micro plasmas are formed with a high electron density in a certain space, the characteristics are uniform, and unlike the conventional plasma technology, which is randomly generated in a plane, the required plasma It is very helpful in controlling the physical and chemical properties of.

도 3에 도시된 바와 같이 상기 마이크로 캐비티(300)는 원형 또는 다면체 형상을 가질 수 있으며, 도시된 바와 같이 상기 마이크로 캐비티(300)는 상하 방향 직경(D1,D2)이 다른 원형 형상을 가질 수 있고, 상하 방향 직경(D3,D4)이 다른 4각형 형상을 가질 수 있다. 이때, 상기 마이크로 캐비티(300)의 직경 또는 대각선 길이는 2mm 미만인 것이 플라즈마의 특성을 일정하게 하는데 도움이 된다.As illustrated in FIG. 3, the micro-cavity 300 may have a circular or polyhedral shape, and as shown, the micro-cavity 300 may have a circular shape with different diameters D1 and D2 in the vertical direction. , The up and down diameter (D3, D4) may have a different quadrangular shape. At this time, the diameter or diagonal length of the micro-cavity 300 is less than 2 mm helps to keep the plasma characteristics constant.

한편, 상술된 마이크로 캐비티의 생성 방법에 대해서는 널리 알려진 것으로서 특히 미국 등록 특허 제6,867,548호, 국제출원특허 PCT/US2006/027667, 미국 공개 특허 제20050148270호, 미국 공개 특허 제20040160162호, 미국 공개 특허 제20040100194호 등에 기재되어 있으므로 이에 대한 설명과 도시는 생략한다.On the other hand, as described above, the method of generating the micro-cavity is widely known, and in particular, U.S. Patent No. 6,867,548, International Patent Application PCT/US2006/027667, U.S. Patent Publication No. 20050148270, U.S. Publication Patent No. 20040160162, U.S. Publication Patent No.20040100194 Since it is described in the arc and the like, the description and illustration are omitted.

상기 제1방전 공간(100)은 산소 유동 방향으로 일정 거리 이격된 제11방전 공간(110) 및 제12방전 공간(120)을 포함하되, 상기 제11방전 공간(110)은 제12방전 공간(120) 보다 산소 유동의 상류측 방향(도면상 좌측)에 배치된다.The first discharge space 100 includes an 11th discharge space 110 and a 12th discharge space 120 spaced a predetermined distance in the direction of oxygen flow, wherein the 11th discharge space 110 includes a 12th discharge space ( 120) It is arranged in the upstream direction of the oxygen flow (left in the figure).

상기 제2방전 공간(200)은 상기 제11방전 공간(110) 및 제12방전 공간(120) 사이에 배치되는 제21방전 공간(210)과 상기 제11방전 공간(110)의 산소 유동 방향의 상류측 방향(도면상 좌측)에 배치되고 상기 제11방전 공간(110)과 연통되는 제22방전 공간(220)을 포함한다.The second discharge space 200 is the direction of oxygen flow in the 21st discharge space 210 and the 11th discharge space 110 disposed between the 11th discharge space 110 and the 12th discharge space 120. It includes a 22th discharge space 220 disposed in an upstream direction (left in the drawing) and communicating with the 11th discharge space 110.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 제11방전 공간(110)과 제12방전 공간(120)은 산소 유동 방향으로 일정 간격 이격되어 있다. 상기 제11방전 공간(110)과 제12방전 공간(120) 사이에 제21방전 공간(210)이 형성된다. 제22방전 공간(220)은 상기 제11방전 공간(110)의 산소 유동 방향의 상류측 방향(도면상 좌측)에 형성된다.3 and 4, the eleventh discharge space 110 and the twelfth discharge space 120 are spaced apart at a predetermined interval in the direction of oxygen flow. A 21st discharge space 210 is formed between the 11th discharge space 110 and the 12th discharge space 120. The 22nd discharge space 220 is formed in the upstream direction (left side in the drawing) of the oxygen flow direction of the 11th discharge space 110.

따라서, 산소는 상기 제22방전 공간(220)으로 투입된 후 제11방전 공간(110)과 제21방전 공간(210) 그리고 제12방전 공간(120)을 거쳐 유동한다. 즉, 상기 제22방전 공간(220)의 간극은 제11방전 공간(110) 보다 크므로 제11방전 공간(110)에 투입되는 산소의 유속은 증가하고 압력은 하강한다. 이에 의해 상술된 바와 같이 방전 전압을 낮출 수 있다. 유사하게 상기 제21방전 공간(210)은 제12방전 공간(120) 보다 간극이 크므로 동일한 작용에 의해 방전 전압을 낮출 수 있다.Accordingly, oxygen flows through the eleventh discharge space 110, the twenty-first discharge space 210, and the twelfth discharge space 120 after being introduced into the 22nd discharge space 220. That is, since the gap of the 22nd discharge space 220 is larger than the 11th discharge space 110, the flow rate of oxygen input to the 11th discharge space 110 increases and the pressure decreases. As a result, the discharge voltage can be lowered as described above. Similarly, since the 21st discharge space 210 has a larger gap than the 12th discharge space 120, the discharge voltage can be lowered by the same action.

이때, 상기 제2방전 공간(200)은 제12방전 공간(120)의 산소 유동의 하류측 방향에 배치되는 제23방전 공간(230)을 더 포함하는 것도 가능하다. 즉, 상기 제12방전 공간(120)을 최종 방전 공간으로 하는 것도 가능하고, 상기 제23방전 공간(230)을 더 포함하여, 상기 제23방전 공간(230)을 최종 방전 공간으로 하는 것도 가능하다.In this case, the second discharge space 200 may further include a 23rd discharge space 230 disposed in a downstream direction of oxygen flow in the 12th discharge space 120. That is, the 12th discharge space 120 may be used as the final discharge space, and the 23th discharge space 230 may be further included to make the 23th discharge space 230 as the final discharge space. .

한편, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제21방전 공간(210)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성된다. 이때, 제11방전 공간(110)과 제12방전 공간(120)은 하우징(H)의 폭 방향으로 다수 개 배치된다. 이러한 제11방전 공간(110)과 제2방전 공간(120)은 상기 제21방전 공간(210)에 모두 연통된다.Meanwhile, as shown in FIG. 5, the 21st discharge space 210 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H. At this time, the eleventh discharge space 110 and the twelfth discharge space 120 are arranged in a plurality in the width direction of the housing H. The eleventh discharge space 110 and the second discharge space 120 are all in communication with the twenty-first discharge space 210.

즉, 상기 다수 개의 제11방전 공간(110) 각각으로부터 소정 농도의 오존이 각각 생성되는 관계로 상기 다수 개의 제11방전 공간(110)에서 생성되는 오존의 농도가 모두 상이할 수 있다. 그러나, 상기 다수 개의 제11방전 공간(110)은 단일한 제21방전 공간(210)에 연통되어 있으므로 상기 각 제11방전 공간(110)에서 토출되는 오존이 모두 혼합되게 되어 균일한 농도의 오존이 생성될 수 있다. 상술된 바에 의해 생성된 오존은 상기 제12방전 공간(120)으로 유동하게 된다.That is, since the ozone having a predetermined concentration is generated from each of the plurality of eleven discharge spaces 110, the concentration of ozone generated in the plurality of eleven discharge spaces 110 may be different. However, since the plurality of eleven discharge spaces 110 are in communication with a single twenty-first discharge space 210, ozone discharged from each of the eleven discharge spaces 110 is mixed so that ozone having a uniform concentration is generated. Can be generated. The ozone generated by the above-described flows into the twelfth discharge space 120.

한편, 제11방전 공간(110)의 상류측에 형성되는 제22방전 공간(220)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되되, 일 측은 하우징(H)에 구비되는 입력 피팅(F1)에 연결되고 타 측은 다수 개의 제11방전 공간(110)에 연통된다. 이때, 상기 제22방전 공간(220)의 폭은 제11방전 공간(110)으로 갈수록 증가하여, 상기 다수 개의 제11방전 공간(110) 전부와 연통된다.Meanwhile, the 22nd discharge space 220 formed on the upstream side of the 11th discharge space 110 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H, and one side is provided in the housing H It is connected to the input fitting F1 and the other side communicates with a plurality of eleven discharge spaces 110. At this time, the width of the 22nd discharge space 220 increases toward the 11th discharge space 110 and communicates with all of the plurality of 11th discharge spaces 110.

또한, 상기 제23방전 공간(230)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되되, 일 측은 하우징(H)에 구비되는 출력 피팅(F2)에 연결되고 타 측은 다수 개의 제12방전 공간(120)에 연통되며, 상기 제23방전 공간(230)의 폭은 제12방전 공간(120)으로 갈수록 증가하여, 상기 다수 개의 제12방전 공간(110) 전부와 연통된다.In addition, the 23rd discharge space 230 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H, one side is connected to the output fitting F2 provided in the housing H and the other side has a plurality of The 12th discharge space 120 communicates with each other, and the width of the 23rd discharge space 230 increases toward the 12th discharge space 120 to communicate with all of the plurality of 12th discharge spaces 110.

한편, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제22방전 공간(220)과 제23방전 공간(230) 사이에 구비되는 바이패스부(400)를 더 포함하는 것도 가능하다. 이러한 구성에 의해 상기 제23방전 공간(230)에서 생성된 오존을 제22방전 공간(220)으로 다시 투입하여 보다 높은 농도의 오존을 생성하는 것도 가능하다. 이때, 상기 피팅(F) 중 출력 피팅(F2)을 잠금한 후 상기 바이패스부(400)를 통해 바이패스하는 것도 가능하다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 6, it is also possible to further include a bypass unit 400 provided between the 22nd discharge space 220 and the 23rd discharge space 230. By this configuration, it is also possible to generate ozone of a higher concentration by re-injecting the ozone generated in the 23rd discharge space 230 into the 22nd discharge space 220. At this time, it is also possible to bypass the output fitting F2 among the fittings F and then through the bypass part 400.

도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1방전 공간(100)과 제2방전 공간(200) 사이의 연결 부분은 유선형으로 형성하여 유체의 흐름을 원활히 하고, 방전공간의 급격한 변화에 따라 발생할수 있는 기체의 이상난류 (Turbulance)를 감소시킬 수 있다.As illustrated in FIG. 7, the connection portion between the first discharge space 100 and the second discharge space 200 is formed in a streamlined shape to facilitate the flow of fluid, and a gas that may occur according to a rapid change in the discharge space It can reduce the turbulence.

도 8에 도시된 바와 같이 상기 제11방전 공간(110)과 제12방전 공간(120) 또는 제22방전 공간(220)과 제23방전 공간(230)은 비 대칭으로 형성하여 플라즈마 발생을 조절하는 것으로 가능하다.8, the eleventh discharge space 110 and the twelve discharge space 120 or the twenty-second discharge space 220 and the twenty-third discharge space 230 are formed asymmetrically to control plasma generation. It is possible.

또한, 상기 제11방전 공간(110)의 길이(S11) 및 간극(L11)과, 제12방전 공간(120)의 길이(S12) 및 간극(L12) 그리고 제21방전 공간(210)의 길이(S21) 및 간극(L21), 제22방전 공간(220)의 길이(S22) 및 간극(L22) 그리고 제23방전 공간(230)의 길이(S23) 및 간극(L23)은 필요에 따라 조절하는 것도 가능하다.In addition, the length (S11) and the gap (L11) of the eleventh discharge space (110), the length (S12) and the gap (L12) of the twelfth discharge space (120), and the length of the twenty-first discharge space (210) S21) and the gap (L21), the length of the 22nd discharge space 220 (S22) and the gap (L22) and the length of the 23rd discharge space (230) (S23) and the gap (L23) is also adjusted as needed It is possible.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.All simple modifications or changes of the present invention belong to the scope of the present invention, and the specific protection scope of the present invention will be clarified by the appended claims.

100 :제1방전 공간 110 : 제11방전 공간
120 : 제12방전 공간 200 : 제2방전 공간
210 : 제21방전 공간 220 : 제22방전 공간
230 : 제23방전 공간 300 : 마이크로 캐비티
400 : 바이패스부100: first discharge space 110: eleven discharge space
120: 12th discharge space 200: 2nd discharge space
210: 21st discharge space 220: 22nd discharge space
230: 23rd discharge space 300: micro cavity
400: bypass unit

Claims (8)

판체 형상의 하우징(H)과 상기 하우징(H) 내부에 구비되는 한 쌍의 전극(ED)과, 상기 한 쌍의 전극(ED) 내측면에 구비되는 유전체(ER)를 포함하되,
상기 한 쌍의 전극(ED)은 상호 다른 극성을 가지고 일정 간격 이격되고 판체 형상인 제1전극(ED1) 및 제2전극(ED2)을 포함하고,
상기 유전체(ER)는 상기 제1전극(ED1)과 제2전극(ED2)의 내측에 각각 구비되고 일정 간격 상호 이격되는 제1유전체(ER1) 및 제2유전체(ER2)를 포함하며,
상기 제1유전체(ER1)와 제2유전체(ER2)는 특정 간격으로 이격되어 제1방전 공간(100)이 형성되되 상기 1방전 공간(100)에서 방전된 물질을 버퍼링하는 버퍼링 공간을 구비하며,
상기 버퍼링공간은 상기 제1방전 공간(100)은 하우징(H)의 폭 방향으로 다수 개 형성되면서 상기 제1방전 공간(100)이 연통되도록 형성되는 제2방전 공간(200)을 구비하며,
상기 제1방전 공간(100)은 산소 유동 방향으로 일정 거리 이격된 제11방전 공간(110) 및 제12방전 공간(120)을 포함하며,
상기 제2방전 공간(200)은 제12방전 공간(120)의 산소 유동의 하류측 방향에 배치되는 제23방전 공간(230)을 더 포함하는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 오존 발생 장치.It includes a plate-shaped housing (H) and a pair of electrodes (ED) provided inside the housing (H), and a dielectric (ER) provided on the inner surface of the pair of electrodes (ED),
The pair of electrodes ED includes a first electrode ED1 and a second electrode ED2 having a different polarity and spaced apart at regular intervals, and having a plate shape.
The dielectric ER includes a first dielectric ER1 and a second dielectric ER2 that are provided inside the first electrode ED1 and the second electrode ED2 and are spaced apart from each other at regular intervals.
The first dielectric ER1 and the second dielectric ER2 are spaced apart at specific intervals to form a first discharge space 100, but a buffering space for buffering substances discharged from the first discharge space 100 is provided.
The buffering space includes a second discharge space 200 in which the first discharge space 100 is communicated while a plurality of the first discharge spaces 100 are formed in the width direction of the housing H,
The first discharge space 100 includes an 11th discharge space 110 and a 12th discharge space 120 spaced a predetermined distance in the direction of oxygen flow,
The second discharge space 200 is ozone generator having a discharge space of different size and shape further comprising a 23 discharge space 230 disposed in the downstream direction of the oxygen flow of the 12 discharge space 120 . 삭제delete 제1항에 있어서
상기 제2방전 공간(200)은 상기 제1방전 공간(100)보다 큰 간격으로 이격되어 형성되며, 상기 제2방전 공간(200)은 제1방전 공간(100)으로부터 산소 유동의 상류측 방향에 배치되는 것을 특징으로 하는 오존 발생 장치.The method of claim 1
The second discharge space 200 is formed to be spaced apart at a larger distance than the first discharge space 100, the second discharge space 200 is in the upstream direction of the oxygen flow from the first discharge space 100 Ozone generator, characterized in that arranged. 제1항에 있어서,
상기 제11방전 공간(110)은 제12방전 공간(120) 보다 산소 유동의 상류측 방향에 배치되고,
상기 제2방전 공간(200)은 상기 제11방전 공간(110) 및 제12방전 공간(120) 사이에 배치되는 제21방전 공간(210)과 상기 제11방전 공간(110)의 산소 유동 방향의 상류측 방향에 배치되고 상기 제11방전 공간(110)과 연통되는 제22방전 공간(220)을 포함하는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 오존 발생 장치.According to claim 1,
The eleventh discharge space 110 is disposed in an upstream direction of oxygen flow than the twelfth discharge space 120,
The second discharge space 200 is the direction of oxygen flow in the 21st discharge space 210 and the 11th discharge space 110 disposed between the 11th discharge space 110 and the 12th discharge space 120. An ozone generator having a discharge space of different size and shape including a 22th discharge space 220 disposed in an upstream direction and communicating with the 11th discharge space 110. 삭제delete 제4항에 있어서,
상기 제21방전 공간(210)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되고,
하우징(H)의 폭 방향으로 다수 개 배치되는 제11방전 공간(110)과 제12방전 공간(120)은 상기 제21방전 공간(210)에 모두 연통되는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 오존 발생 장치.According to claim 4,
The 21st discharge space 210 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H,
The eleventh discharge space 110 and the twelfth discharge space 120, which are arranged in a plurality in the width direction of the housing H, include discharge spaces of different sizes and shapes that are all communicated with the second discharge space 210. Ozone generator. 제4항에 있어서,
상기 제22방전 공간(220)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되되, 일 측은 하우징(H)에 구비되는 입력 피팅(F1)에 연결되고 타 측은 다수 개의 제11방전 공간(110)에 연통되며,
상기 제22방전 공간(220)의 폭은 제11방전 공간(110)으로 갈수록 증가하여, 상기 다수 개의 제11방전 공간(110) 전부와 연통되는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 고농도 오존 발생 장치.According to claim 4,
The 22th discharge space 220 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H, one side is connected to the input fitting F1 provided in the housing H and the other side is a plurality of eleventh It communicates with the discharge space 110,
The width of the 22nd discharge space 220 increases as the 11th discharge space 110 increases, generating high concentration ozone having discharge spaces of different sizes and shapes communicating with all of the plurality of 11th discharge spaces 110 Device. 제1항에 있어서,
상기 제23방전 공간(230)은 하우징(H) 내부에 특정 길이와 폭을 가지는 빈 공간으로 형성되되, 일 측은 하우징(H)에 구비되는 출력 피팅(F2)에 연결되고 타 측은 다수 개의 제12방전 공간(120)에 연통되며,
상기 제23방전 공간(230)의 폭은 제12방전 공간(120)으로 갈수록 증가하여, 상기 다수 개의 제12방전 공간(110) 전부와 연통되는 다른 크기와 형태의 방전 공간을 구비하는 고농도 오존 발생 장치.
According to claim 1,
The 23rd discharge space 230 is formed as an empty space having a specific length and width inside the housing H. One side is connected to the output fitting F2 provided in the housing H and the other side has a plurality of 12th Communicating with the discharge space 120,
The width of the 23rd discharge space 230 increases toward the 12th discharge space 120, generating high concentration ozone having discharge spaces of different sizes and shapes communicating with all of the plurality of 12th discharge spaces 110 Device.
KR1020200027403A 2020-03-04 2020-03-04 High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape KR102140145B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200027403A KR102140145B1 (en) 2020-03-04 2020-03-04 High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200027403A KR102140145B1 (en) 2020-03-04 2020-03-04 High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102140145B1 true KR102140145B1 (en) 2020-07-31

Family

ID=71834820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200027403A KR102140145B1 (en) 2020-03-04 2020-03-04 High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102140145B1 (en)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3504420B2 (en) * 1996-03-04 2004-03-08 株式会社神戸製鋼所 Ozone generator
JP3654409B2 (en) * 1998-03-24 2005-06-02 住友精密工業株式会社 Discharge cell for ozone generator and manufacturing method thereof
KR100516961B1 (en) 2002-10-22 2005-09-26 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 Ozonizer
KR100944700B1 (en) 2009-05-19 2010-02-26 한국기계연구원 Apparatus for generating high density ozone gas
KR101164290B1 (en) * 2005-08-03 2012-07-09 드그레몽 Ozone generator
KR101593291B1 (en) 2011-06-24 2016-02-11 더 보오드 오브 트러스티스 오브 더 유니버시티 오브 일리노이즈 Arrays of metal and metal oxide microplasma devices with defect free oxide
JP6133021B2 (en) * 2012-07-11 2017-05-24 株式会社Ｉｈｉシバウラ Ozonizer

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3504420B2 (en) * 1996-03-04 2004-03-08 株式会社神戸製鋼所 Ozone generator
JP3654409B2 (en) * 1998-03-24 2005-06-02 住友精密工業株式会社 Discharge cell for ozone generator and manufacturing method thereof
KR100516961B1 (en) 2002-10-22 2005-09-26 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 Ozonizer
KR101164290B1 (en) * 2005-08-03 2012-07-09 드그레몽 Ozone generator
KR100944700B1 (en) 2009-05-19 2010-02-26 한국기계연구원 Apparatus for generating high density ozone gas
KR101593291B1 (en) 2011-06-24 2016-02-11 더 보오드 오브 트러스티스 오브 더 유니버시티 오브 일리노이즈 Arrays of metal and metal oxide microplasma devices with defect free oxide
JP6133021B2 (en) * 2012-07-11 2017-05-24 株式会社Ｉｈｉシバウラ Ozonizer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5594820B2 (en) Uniform atmospheric pressure plasma generator
JP6177864B2 (en) Toroidal plasma channel with cross-sectional area varying along the channel
KR101913978B1 (en) Radical gas generation system
US7285228B2 (en) Device and method for anisotropic plasma etching of a substrate, a silicon body in particular
US10676825B2 (en) Gas jetting apparatus for film formation apparatus
US8097217B2 (en) Atmospheric pressure plasma generating apparatus by induction electrode
US20220230854A1 (en) Apparatus for indirect atmospheric pressure plasma processing
JP2007059385A (en) Atmospheric pressure plasma generating apparatus of electrode structure for inhibiting useless electric discharge
KR102140145B1 (en) High Concentration Ozone Reactor with Discharging Gap of Different Size and shape
JP4630874B2 (en) Atmospheric pressure large area glow plasma generator
JP5764461B2 (en) Plasma processing equipment
JP2010218801A (en) Atmospheric-pressure plasma generator
KR101190208B1 (en) Atmospheric-pressure cold plasma generation apparatus with electrode cooling system for surface treatment
US20110000432A1 (en) One atmospheric pressure non-thermal plasma reactor with dual discharging-electrode structure
CN105050304A (en) U-shaped plate type dielectric-barrier-discharge-based low-temperature plasma reactor and reactive system
US10916412B2 (en) Surface modifying device
JP4761442B2 (en) Plasma generator and plasma processing apparatus
US11673108B2 (en) Surface modifying device
KR100485816B1 (en) High pressure plasma discharge device
KR102145120B1 (en) Ozone generator
JP2003197396A (en) Plasma discharge device
KR101020769B1 (en) Plasma generator
KR102045008B1 (en) Plasma generating device
RU2027324C1 (en) High-frequency capacitive plasma generator
JP2004124238A (en) Plasma surface treatment device

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant