KR102139719B1 - UV exposure examination apparatus for display panel - Google Patents

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양승록
조정상
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Abstract

The present invention relates to an assessment apparatus of a display panel and, more specifically, to an impact assessment apparatus for ultraviolet (UV) exposure of a display panel, which is for assessing light emission characteristics of a display panel according to UV exposure. The impact assessment apparatus for UV exposure of a display panel comprises: a substrate support unit (100) on which a display panel (10) provided with a signal transfer unit (11) is seated and a terminal connection unit (110) applying a driving signal to the signal transfer unit (11) of the display panel (10) is installed; a UV light source unit (200) generating UV light with which the display panel (10) is irradiated; and a light receiving unit (300) receiving the light emitted from the display panel (10) in a state of being irradiated with the UV light for analyzing the light characteristics of the display panel (10).

Description

디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치 {UV exposure examination apparatus for display panel}Equipment for evaluating the influence of the display panel on UV exposure {UV exposure examination apparatus for display panel}

본 발명은 디스플레이 패널의 평가장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자외선 노출에 따른 디스플레이 패널의 발광특성을 평가하기 위한 디스플레이 패널의 자외선 노광에 대한 영향 평가장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for evaluating a display panel, and more particularly, to an apparatus for evaluating the influence of a display panel on UV exposure for evaluating the luminescence characteristics of the display panel according to UV exposure.

LCD 패널, OLED 패널 등, 디스플레이 패널은, 전기신호에 의하여 화면에 문자, 도형, 사진, 동영상 등을 나타내는 패널로서 TV는 물론 스마트폰, 스마트패드, 소형 IT 기기 등 다양한 제품에 사용되고 있다.Display panels, such as LCD panels and OLED panels, are panels that display characters, figures, photos, and videos on the screen by electric signals, and are used in various products such as smart phones, smart pads, and small IT devices as well as TVs.

한편 LCD 패널, OLED 패널 등, 디스플레이 패널은, 디스플레이 작동원리에 따라서 다양한 공정을 통하여 제조되며, 공정에 따라서 자외선, 즉 UV의 노광에 의한 UV 노광 증착공정 등의 수행을 거칠 수 있다.On the other hand, display panels, such as LCD panels and OLED panels, are manufactured through various processes according to the operating principle of the display, and according to the processes, UV exposure deposition processes such as UV exposure, that is, UV exposure, may be performed.

그런데 디스플레이 패널 제조기술의 발전에 따라서 고해상도화, 고화질화 추세에 따라서 각 제조공정을 최적화할 필요가 있다.However, with the development of display panel manufacturing technology, it is necessary to optimize each manufacturing process according to the trend of higher resolution and higher definition.

UV 노광 증착공정 또한 공정의 최적화를 위하여 디스플레이 패널의 화질에 영향을 미치게 되는바 디스플레이 패널에 대한 UV 노광에 대한 화질의 영향을 평가할 필요가 있다.The UV exposure deposition process also affects the image quality of the display panel in order to optimize the process, so it is necessary to evaluate the effect of the image quality on the UV exposure to the display panel.

특히 자체 발광에 의한 디스플레이 기능을 수행하는 OLED 패널의 경우 봉지공정, 즉 Encapsulation 공정을 UV 노광 증착공정에 의하여 수행될 수 있는바 최적화된 공정 수행을 위해서는 UV 노광 증착공정에 의하여 디스플레이 패널의 화질에 미치는 영향을 평가하는 것이 필수적이다.In particular, in the case of an OLED panel that performs a display function by self-luminescence, the encapsulation process, that is, the encapsulation process can be performed by the UV exposure deposition process. For the optimized process, the UV exposure deposition process affects the image quality of the display panel. It is essential to assess the impact.

본 발명의 목적은, 상기와 같은 필요성을 인식하여, UV 노광 증착공정에 의하여 디스플레이 패널의 화질에 미치는 영향을 평가함으로써 디스플레이 패널에 대한 UV 노광 증착공정을 최적화할 수 있는 디스플레이 패널의 자외선 노광에 대한 영향 평가장치를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to recognize the necessity as described above, and evaluate the effect of the UV exposure deposition process on the image quality of the display panel, thereby optimizing the UV exposure deposition process for the display panel. It is to provide an impact assessment device.

본 발명은, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 신호전달부(11)를 구비하는 디스플레이 패널(10)이 안착되며 상기 디스플레이 패널(10)의 신호전달부(11)에 구동신호를 인가하는 단자연결부(110)가 설치된 기판지지부(100)와; 상기 디스플레이 패널(10)에 UV 광을 조사하기 위한 UV광을 발생시키는 UV 광원부(200)와; 상기 디스플레이 패널(10)의 광특성을 분석하기 위하여 상기 UV 광이 조사되는 상태에서 상기 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광을 수광하는 수광부(300)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치를 개시한다.The present invention, as created to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, the display panel 10 having a signal transmission unit 11 is seated and the signal transmission unit of the display panel 10 A substrate support portion 100 provided with a terminal connection portion 110 for applying a driving signal to (11); A UV light source unit 200 for generating UV light for irradiating UV light on the display panel 10; UV exposure of a display panel, characterized in that it comprises a light receiving unit 300 that receives light emitted from the display panel 10 while the UV light is irradiated in order to analyze the optical characteristics of the display panel 10 A device for evaluating the impact on is disclosed.

상기 영향 평가장치는, 상기 디스플레이 패널(10)의 상부에 설치되어 상기 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광이 상기 수광부(300)에 이르도록 투과함과 아울러 상기 UV 광원부(200)에서 발생된 광을 상기 디스플레이 패널(10)을 향하여 반사시키는 빔 스플리터(400)를 포함할 수 있다.The effect evaluation device is installed on the display panel 10 to transmit light emitted from the display panel 10 to reach the light receiving unit 300 and light generated by the UV light source unit 200. It may include a beam splitter 400 that reflects toward the display panel 10.

상기 빔 스플리터(400) 및 상기 수광부(300) 사이의 광경로에는, UV 광을 제외한 나머지 광을 투과시키는 광필터(510)가 추가로 설치될 수 있다.In the optical path between the beam splitter 400 and the light receiving unit 300, an optical filter 510 for transmitting light other than UV light may be additionally installed.

상기 UV 광원부(200)에서 발생된 광의 제어를 위하여 상기 UV 광원부(200)에서 발생된 광 중 상기 빔 스플리터(400)를 투과한 광을 수광하는 제어광수광부(520)을 추가로 포함할 수 있다.In order to control the light generated by the UV light source unit 200, a control light receiving unit 520 for receiving light transmitted through the beam splitter 400 among the light generated by the UV light source unit 200 may be further included. .

상기 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 상부에는, 평가대상인 상기 디스플레이 패널(10)의 유효 발광 부분 만 상측으로 노출시키는 마스크 부재가 추가로 설치될 수 있다.A mask member for exposing only the effective light emitting portion of the display panel 10 to be evaluated upward may be additionally installed on the display panel 10 supported by the substrate support part 100.

상기 디스플레이 패널(10)은, OLED 패널이 될 수 있다.The display panel 10 may be an OLED panel.

본 발명에 따른 디스플레이 패널의 자외선 노광에 대한 영향 평가장치는, UV 노광 증착공정 수행 중 또는 수행완료 상태의 디스플레이 패널에 대하여 전원인가에 따른 작동과 동시에 UV를 조사함으로써 UV 노광 증착공정에 의하여 디스플레이 패널의 화질에 미치는 영향의 평가를 보다 원활하게 수행할 수 있는 이점이 있다.The apparatus for evaluating the influence of the display panel on UV exposure according to the present invention is a display panel by means of a UV exposure deposition process by irradiating UV at the same time as power is applied to the display panel during or completed the UV exposure deposition process. There is an advantage of being able to perform more smoothly the evaluation of the effect on the picture quality of

특히 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 자외선 노광에 대한 영향 평가장치는, UV 노광 증착공정 수행 중 또는 수행완료 상태의 디스플레이 패널에 대하여 전원인가에 따른 작동과 동시에 UV를 조사함으로써 UV 노광 증착공정에 의하여 디스플레이 패널의 화질에 미치는 영향의 평가를 신뢰성 있게 수행할 수 있는 이점이 있다.In particular, the apparatus for evaluating the influence of the display panel on ultraviolet light exposure according to the present invention provides a display by UV exposure deposition process by irradiating UV at the same time as power is applied to the display panel during or completed the UV exposure deposition process. There is an advantage of being able to reliably evaluate the effect on the image quality of the panel.

도 1은, 본 발명에 따른 평가장치의 구성을 보여주는 수직단면도이다.1 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of an evaluation apparatus according to the present invention.

이하 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치에 관하여 첨부된 되면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an apparatus for evaluating the influence of a display panel on UV exposure according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 신호전달부(11)를 구비하는 디스플레이 패널(10)이 안착되며 디스플레이 패널(10)의 신호전달부(11)에 구동신호를 인가하는 단자연결부(110)가 설치된 기판지지부(100)와; 디스플레이 패널(10)에 UV 광을 조사하기 위한 UV광을 발생시키는 UV 광원부(200)와; 디스플레이 패널(10)의 광특성을 분석하기 위하여 UV 광이 조사되는 상태에서 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광을 수광하는 수광부(300)를 포함한다.In the apparatus for evaluating the influence of the display panel on UV exposure according to the present invention, as shown in FIG. 1, a display panel 10 including a signal transmission unit 11 is mounted and a signal transmission unit of the display panel 10 A substrate support portion 100 provided with a terminal connection portion 110 for applying a driving signal to (11); A UV light source unit 200 for generating UV light for irradiating UV light on the display panel 10; In order to analyze the optical characteristics of the display panel 10, it includes a light receiving unit 300 that receives light emitted from the display panel 10 while UV light is irradiated.

여기서 평가대상인 디스플레이 패널(10)은, 표면에 화소단위로 다수의 픽셀들이 형성되어 전원인가에 의하여 화면에 문자, 도형, 사진, 동영상 등을 나타내는 패널로서 LCD 패널, OLED 패널 등이 될 수 있다.Here, the display panel 10 to be evaluated is a panel in which a plurality of pixels are formed on a surface in pixel units to display characters, figures, photos, videos, etc. on the screen by applying power, and may be an LCD panel, an OLED panel, or the like.

특히 상기 디스플레이 패널(10)은, UV 노광에 의한 증착공정이 수행되는 디스플레이 패널이면 모두 가능하며, 특히 OLED 패널이 바람직하며, UV 노광에 의한 증착공정에 의하여 수행되는 봉지공정(encapsulation)을 마친 OLED 패널이 가장 바람직하다.In particular, the display panel 10 can be any display panel in which a deposition process by UV exposure is performed, and in particular, an OLED panel is preferred, and an OLED that has completed an encapsulation process performed by a deposition process by UV exposure. Panels are most preferred.

한편 본 발명에 따른 평가장치의 대상이 되는 디스플레이 패널(10)은, 그 작동을 위한 신호전달부(11)가 구비된다.On the other hand, the display panel 10, which is an object of the evaluation apparatus according to the present invention, is provided with a signal transmission unit 11 for its operation.

상기 신호전달부(11)는, 디스플레이 패널(10)의 작동을 위하여 디스플레이 패널(10)에 구비된 구성으로서 디스플레이 패널(10)의 작동원리에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The signal transmission unit 11 is provided in the display panel 10 for the operation of the display panel 10, and various configurations are possible according to the operating principle of the display panel 10.

상기 기판지지부(100)는, 신호전달부(11)를 구비하는 디스플레이 패널(10)이 안착되며 디스플레이 패널(10)의 신호전달부(11)에 구동신호를 인가하는 단자연결부(110)가 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.In the substrate support 100, a display panel 10 including a signal transmission unit 11 is mounted, and a terminal connection unit 110 for applying a driving signal to the signal transmission unit 11 of the display panel 10 is installed. Various configurations are possible as a configuration.

예를 들면 상기 기판지지부(100)는, 디스플레이 패널(10)이 평판 형상을 가짐이 일반적인바 디스플레이 패널(10)의 형상에 대응되는 형상을 가질 수 있다.For example, the substrate support part 100 may have a shape corresponding to the shape of the display panel 10 since it is common that the display panel 10 has a flat plate shape.

그리고 상기 기판지지부(100)는, 디스플레이 패널(10)의 신호전달부(11)에 구동신호를 인가하는 단자연결부(110)을 구비한다.In addition, the substrate support part 100 includes a terminal connection part 110 that applies a driving signal to the signal transmission part 11 of the display panel 10.

상기 단자연결부(110)는, 디스플레이 패널(10)의 신호전달부(11)에 구동신호를 인가하는 구성으로서, 디스플레이 패널(10)에 구비된 신호전달부(11)의 설치 위치 및 구조에 따라서 포고핀(Pogo pin) 등 다양한 구성이 가능하다.The terminal connection unit 110 is a configuration for applying a driving signal to the signal transmission unit 11 of the display panel 10, depending on the installation position and structure of the signal transmission unit 11 provided in the display panel 10 Various configurations such as Pogo pin are possible.

한편 상기 단자연결부(110)는, 도시하지 않았지만 평가장치의 제어를 위한 제어부에 연결되어 제어신호를 신호전달부(11)에 전달하여 디스플레이 패널(10)의 온/오프, 디스플레이 패널(10)의 구동 등을 제어할 수 있다.On the other hand, the terminal connection unit 110, although not shown, is connected to a control unit for controlling the evaluation device and transmits a control signal to the signal transmission unit 11 to turn the display panel 10 on/off and the display panel 10 You can control the drive, etc.

상기 UV 광원부(200)는, 디스플레이 패널(10)에 UV 광을 조사하기 위한 UV광을 발생시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The UV light source unit 200 is configured to generate UV light for irradiating UV light onto the display panel 10 and may be configured in various ways.

예로서, 상기 UV 광원부(200)는, 자외선 레이저 등, 광특성 분석을 위하여 미리 선택된 파장의 자외선 광을 발생시키는 광원으로 구성될 수 있다.As an example, the UV light source unit 200 may be configured as a light source that generates ultraviolet light of a wavelength previously selected for optical characteristic analysis, such as an ultraviolet laser.

구체적으로, 상기 UV 광원부(200)는, UV LED와 UV LED가 설치되며 UV LED의 제어를 위한 제어회로가 설치된 기판을 포함할 수 있다.Specifically, the UV light source unit 200 may include a substrate on which a UV LED and a UV LED are installed and a control circuit for controlling the UV LED is installed.

그리고 상기 상기 UV 광원부(200)는, UV LED에서 발생되는 열을 냉각하기 위하여 UV LED 부근, 예를 들면 기판에 결합되어 설치될 수 있다.In addition, the UV light source unit 200 may be installed in the vicinity of a UV LED, for example, coupled to a substrate to cool heat generated from the UV LED.

그리고 상기 UV 광원부(200)는, 디스플레이 패널(10) 상에 이르는 광 경로의 형성을 위하여 하나 이상의 렌즈로 구성된 광학계가 추가로 구비될 수 있다.In addition, the UV light source unit 200 may further include an optical system composed of one or more lenses to form a light path leading to the display panel 10.

상기 광학계는, 도시되지 않았지만 광 조사 균일도 향상을 위한 광학계로서 후술하는 빔 스플리터(400) 등의 구성에 제한받지 않고 적소에 배치될 수 있으며, Collimation Lens, Focusing Lens 등이 사용될 수 있다.Although not shown, the optical system is an optical system for improving the uniformity of light irradiation, and may be disposed in a proper place without being limited to the configuration of the beam splitter 400 to be described later, and a collimation lens, a focusing lens, or the like may be used.

한편 상기 UV 광원부(200)는, 디스플레이 패널(10)의 상면과 평행한 방향으로 광을 발생시키도록 설치될 수 있다. 여기서 상기 UV 광원부(200)에 의하여 디스플레이 패널(10)의 상면과 평행한 방향으로 조사된 광은, 후술하는 빔 스플리터(400)에 의하여 디스플레이 패널(10)의 상면으로 반사될 수 있다.Meanwhile, the UV light source unit 200 may be installed to generate light in a direction parallel to the upper surface of the display panel 10. Here, light irradiated by the UV light source unit 200 in a direction parallel to the top surface of the display panel 10 may be reflected to the top surface of the display panel 10 by a beam splitter 400 to be described later.

상기 수광부(300)는, 디스플레이 패널(10)의 광특성을 분석하기 위하여 UV 광이 조사되는 상태에서 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광을 수광하는 구성으로서 포토 다이오드, 스펙트로미터 등 다양한 구성이 가능하다.The light receiving unit 300 is configured to receive light emitted from the display panel 10 while UV light is irradiated to analyze the optical characteristics of the display panel 10, and various configurations such as a photodiode and a spectrometer are possible. Do.

상기 수광부(300)는, 분석될 광특성을 고려하여 그 사양이 선택될 수 있다.The specification of the light receiving unit 300 may be selected in consideration of optical characteristics to be analyzed.

한편 상기 수광부(300)에 의하여 수광된 광은, 디스플레이 패널(10)에서 발광된 광특성, 예를 들면 밝기, 파장 등의 분석을 위하여 제어부에 전달될 수 있다.Meanwhile, the light received by the light receiving unit 300 may be transmitted to the control unit for analysis of optical characteristics emitted from the display panel 10, for example, brightness and wavelength.

한편 상기 수광부(300)는, 사람이 인식하는 파장대, 예를 들면 가시광선 영역 등 분석될 특정 파장대의 광을 수광하는 것이 바람직한바, 디스플레이 패널(10)에서 발생된 광의 광경로를 기준으로서, 빔 스플리터(400) 및 수광부(300) 사이의 광경로에는, 미리 설정된 파장대의 광을 투과시키는 광필터(510)이 추가로 설치될 수 있다.Meanwhile, the light-receiving unit 300 is preferable to receive light in a specific wavelength band to be analyzed, such as a wavelength band recognized by a person, for example, a visible ray region, as a reference to the optical path of the light generated from the display panel 10. In the optical path between the splitter 400 and the light receiving unit 300, an optical filter 510 for transmitting light in a preset wavelength range may be additionally installed.

상기 광필터(510)는, 빔 스플리터(400) 및 수광부(300) 사이에 설치되어 미리 설정된 파장대의 광을 투과시키는 광필터로서 다양한 구성이 가능하다.The optical filter 510 is an optical filter installed between the beam splitter 400 and the light receiving unit 300 to transmit light in a preset wavelength range, and may be configured in various ways.

예로서, 상기 광필터(510)는, UV 광을 제외한 나머지 광을 투과, 즉 UV 광을 차단하는 광필터가 사용될 수 있다. For example, as the optical filter 510, an optical filter that transmits light except for UV light, that is, blocks UV light, may be used.

즉, 상기 광필터(510)는, 디스플레이 패널(10)에 의하여 반사된 UV 광이 반사되어 수광부(300)로 조사되는 것을 방지하기 위하여, UV LED와 동일 파장의 빛을 차단하는 필터, 예를 들면 Sorting Filter, Long Pass Filter 등이 사용될 수 있다.That is, the optical filter 510 is a filter that blocks light of the same wavelength as the UV LED in order to prevent UV light reflected by the display panel 10 from being reflected and irradiated to the light receiving unit 300, for example. For example, Sorting Filter, Long Pass Filter, etc. can be used.

한편 상기 수광부(300) 및 앞서 설명한 UV 광원부(200)는, 광경로 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.Meanwhile, the light receiving unit 300 and the UV light source unit 200 described above may have various configurations according to the arrangement of the optical path.

바람직한 예로서, 상기 수광부(300)는, 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 직상부에 위치되며, 디스플레이 패널(10) 및 수광부(300) 사이에 UV 광이 조사되는 상태에서 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광이 투과함과 아울러 UV 광원부(200)에서 발생된 광을 디스플레이 패널(10)을 향하여 반사시키는 빔 스플리터(400)가 설치될 수 있다.As a preferred example, the light receiving unit 300 is positioned directly above the display panel 10 supported by the substrate support unit 100, and in a state in which UV light is irradiated between the display panel 10 and the light receiving unit 300 A beam splitter 400 that transmits light emitted from the display panel 10 and reflects light generated from the UV light source unit 200 toward the display panel 10 may be installed.

여기서 상기 수광부(300)는, 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 직상부에 위치된 실시예를 들어 설명하였으나, 하나 이상의 반사부재(미도시)를 이용하여 광경로의 전환이 가능한바 수광부(300)가 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 직상부에 위치될 필요가 없음은 물론이다.Here, the light-receiving unit 300 has been described for an embodiment positioned directly above the display panel 10 supported by the substrate support unit 100, but the light path can be switched using one or more reflective members (not shown). It goes without saying that the light-receiving unit 300 need not be positioned directly above the display panel 10 supported by the substrate support unit 100 as possible.

즉, 상기 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광이 빔 스플리터(400)를 투과한 후 하나 이상의 반사부재에 의하여 광경로의 전환이 가능한바 수광부(300)는, 설계 등에 따라서 최적의 위치에 설치될 수도 있다.That is, after the light emitted from the display panel 10 passes through the beam splitter 400, the light path can be switched by one or more reflective members. The light receiving unit 300 may be installed at an optimal position according to design, etc. May be.

즉, 상기 수광부(300)는, 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 직상부에 위치되는 대신에 적절한 위치에 위치되고, 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광으로서, 빔 스플리터(400)를 투과한 투과광이 하나 이상의 반사부재에 의하여 광경로가 변환되어 수광부(300)에 이르도록 배치될 수 있다.That is, the light receiving unit 300 is positioned at an appropriate position instead of being positioned directly above the display panel 10 supported by the substrate support unit 100, and is light emitted from the display panel 10, as a beam splitter ( The transmitted light passing through 400 may be disposed to reach the light receiving unit 300 by converting an optical path by one or more reflective members.

상기 빔 스플리터(400)는, 디스플레이 패널(10) 및 수광부(300) 사이에 UV 광이 조사되는 상태에서 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광이 투과함과 아울러 UV 광원부(200)에서 발생된 광을 디스플레이 패널(10)을 향하여 반사시키는 부재로서 다양한 구성이 가능하다.The beam splitter 400 transmits light emitted from the display panel 10 while UV light is irradiated between the display panel 10 and the light receiving unit 300 and transmits light generated by the UV light source unit 200. Various configurations are possible as a member that reflects the light toward the display panel 10.

한편 본 발명에 따른 평가장치는, UV 노광에 의한 증착공정, 예를 들면 봉지공정(Encapsulation) 등을 거친 후 디스플레이 패널(10), 예를 들면 픽셀단위 등에서 발생되는 광을 수광하여 밝기, 파장 등의 광특성을 분석하는데 사용될 수 있다.Meanwhile, the evaluation apparatus according to the present invention receives light generated from the display panel 10, for example, pixel units after undergoing a deposition process by UV exposure, for example, an encapsulation process, etc. It can be used to analyze the optical properties of

이때 안정적 평가 또는 체계적 분석을 위해서는, UV 광원부(200)에서 발생된 UV 광이 안정적으로 디스플레이 패널(10)에 조사될 필요가 있다.At this time, for stable evaluation or systematic analysis, the UV light generated from the UV light source unit 200 needs to be stably irradiated onto the display panel 10.

이에, 본 발명에 따른 평가장치는, 광량제어 등, UV 광원부(200)에서 발생된 광의 제어를 위하여 UV 광원부(200)에서 발생된 광 중 빔 스플리터(400)를 투과한 광을 수광하는 제어광수광부(520)을 추가로 포함할 수 있다.Accordingly, the evaluation device according to the present invention includes the number of control light for receiving the light transmitted through the beam splitter 400 among the light generated by the UV light source unit 200 to control light generated from the UV light source unit 200, such as controlling the amount of light. A miner 520 may be additionally included.

상기 제어광수광부(520)는, UV 광원부(200)에서 발생된 광의 제어를 위하여 빔 스플리터(400)를 기준으로 UV 광원부(200)와 대향되는 위치에서 UV 광원부(200)에서 발생된 광 중 빔 스플리터(400)를 투과한 광을 수광하는 구성으로서, 포토 다이오드, 스펙트로미터 등이 사용될 수 있다.The control light-receiving unit 520 is a beam of light generated from the UV light source unit 200 at a position opposite to the UV light source unit 200 with respect to the beam splitter 400 for controlling the light generated from the UV light source unit 200. As a configuration for receiving light transmitted through the splitter 400, a photodiode, a spectrometer, or the like may be used.

이때 상기 빔 스플리터(400)는, 디스플레이 패널(10)에 UV 광원부(200)에서 발생된 광의 일부를 반사를 통하여 디스플레이 패널(10)로 반사시키고 나머지를 투과시켜 제어광수광부(520)로 전달할 수 있다.At this time, the beam splitter 400 reflects some of the light generated from the UV light source unit 200 on the display panel 10 to the display panel 10 through reflection, and transmits the remaining light to the control light receiving unit 520. have.

예를 들면 상기 제어광수광부(520)는, 빔 스플리터(400)를 기준으로 UV 광원부(200)와 대향되는 위치에 설치될 수 있다.For example, the control light receiving unit 520 may be installed at a position opposite to the UV light source unit 200 based on the beam splitter 400.

한편 상기 제어광수광부(520)의 설치위치가 UV 광원부(200)와 대향된 위치에 설치되는 예를 들어 설명하였으나, UV 광원부(200)에서 발생된 광 중 빔 스플리터(400)를 투과한 광에 대하여 하나 이상의 반사부재(미도시)를 설치하여 광경로 전환이 가능한바, 설계 등에 따라 다양한 위치에 위치될 수도 있음은 물론이다.On the other hand, the installation position of the control light receiving unit 520 has been described as an example in which it is installed at a position opposite to the UV light source unit 200, but among the light generated from the UV light source unit 200, the light transmitted through the beam splitter 400 On the other hand, since one or more reflective members (not shown) can be installed to switch the optical path, it goes without saying that they may be located in various positions depending on design.

한편 본 발명에 따른 평가장치는, 디스플레이 패널(10)에 대한 광조사 및 디스플레이 패널(10)에서 발생된 광이 수광부(300)에 안정적으로 이를 수 있도록 할 필요가 있다.On the other hand, the evaluation apparatus according to the present invention needs to be able to stably reach the light receiving unit 300 with light irradiation to the display panel 10 and light generated from the display panel 10.

이에 본 발명에 따른 평가장치는, 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 상부에 평가대상인 디스플레이 패널(10)의 유효 발광 부분만 상측으로 노출시키는 마스크 부재(530)가 추가로 설치될 수 있다.Accordingly, in the evaluation apparatus according to the present invention, a mask member 530 is additionally installed on the upper portion of the display panel 10 supported by the substrate support 100 to expose only the effective light-emitting portion of the display panel 10 to be evaluated upward. Can be.

상기 마스크 부재(530)는, 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 상부에 평가대상인 디스플레이 패널(10)의 유효 발광 부분만 상측으로 노출시키는 구성으로서 디스플레이 패널(10)의 구성에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The mask member 530 is a configuration in which only the effective light-emitting portion of the display panel 10 to be evaluated is exposed upwards on the display panel 10 supported by the substrate support part 100. Therefore, various configurations are possible.

한편 본 발명에 따른 평가장치는, 디스플레이 패널(10)에 대한 광조사 및 디스플레이 패널(10)에서 발생된 광이 수광부(300)에 안정적으로 이를 수 있도록 앞서 설명한 UV 광원부(200)에서 발생된 광의 광경로 및 디스플레이 패널(10)에서 발생된 광의 광경로에 외부의 광이 간섭하는 것을 차단하기 위한 하우징(540)를 추가로 포함할 수 있다.On the other hand, the evaluation apparatus according to the present invention, the light irradiation to the display panel 10 and the light generated by the UV light source unit 200 described above so that the light generated from the display panel 10 can stably reach the light receiving unit 300 It may further include a housing 540 for blocking external light from interfering with the optical path and the optical path of light generated from the display panel 10.

상기 하우징(540)은, 디스플레이 패널(10)에 대한 광조사 및 디스플레이 패널(10)에서 발생된 광이 수광부(300)에 안정적으로 이를 수 있도록 앞서 설명한 UV 광원부(200)에서 발생된 광의 광경로 및 디스플레이 패널(10)에서 발생된 광의 광경로에 외부의 광이 간섭하는 것을 차단하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The housing 540 is a light path of light generated from the UV light source unit 200 described above so that light irradiation to the display panel 10 and light generated from the display panel 10 can stably reach the light receiving unit 300. And various configurations are possible as a configuration for blocking external light from interfering with the optical path of light generated from the display panel 10.

한편 본 발명에 따른 평가장치는, UV 노광에 의한 광특성을 평가할 수 있는 대상이면 어떠한 대상도 평가대상이 될 수 있다.Meanwhile, in the evaluation apparatus according to the present invention, any object may be an evaluation object as long as it is an object capable of evaluating optical characteristics by UV exposure.

예를 들면, OLED 패널에 대하여 증착재료(또는 발광재료)의 증착 후, UV 광원 노광을 통해 유기 재료와 같은 증착 재료(또는 발광 재료)를 경화하고 있으며, UV 광원 노출에 따른 광특성 변화 등 증착재료(또는 발광 재료)에 대한 영향에 대한 평가가 필요하다. For example, after deposition of a deposition material (or light emitting material) on an OLED panel, a deposition material (or light emitting material) such as an organic material is cured through exposure to a UV light source. An evaluation of the effect on the material (or luminescent material) is required.

이에 본 발명에 따른 평가장치는, UV 광원에 의하여 일정시간 UV 노광 후 디스플레이 패널(10)에 대하여 구동신호를 주고 발광 소자의 밝기 변화를 측정하는 등의 평가를 수행할 수 있다.Accordingly, the evaluation apparatus according to the present invention can perform evaluation, such as giving a driving signal to the display panel 10 after UV exposure for a certain period of time by a UV light source and measuring a change in brightness of the light emitting element.

또한 본 발명에 따른 평가장치는, 본 발명 만의 특유의 장점으로서, UV 광원부(100)에 의한 UV 광의 노광과 동시에 디스플레이 패널(10)에 대하여 구동신호를 주어 디스플레이 패널(10)에서 발생된 광을 수광부(300)에 의하여 수광함으로써 발광 소자의 밝기 변화를 측정하는 등의 평가를 실시간으로 수행할 수 있다.In addition, the evaluation apparatus according to the present invention, as a unique advantage of the present invention, provides a driving signal to the display panel 10 at the same time as exposure of the UV light by the UV light source unit 100 to control the light generated from the display panel 10. By receiving light by the light-receiving unit 300, evaluation, such as measuring a change in brightness of the light-emitting element, can be performed in real time.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.Since the above is only described with respect to some of the preferred embodiments that can be implemented by the present invention, as well known, the scope of the present invention should not be limited to the above embodiments and should not be interpreted. It will be said that both the technical idea and the technical idea together with the fundamental are included in the scope of the present invention.

100 : 기판지지부 200 : UV 광원부
300 : 수광부100: substrate support 200: UV light source
300: light receiving unit

Claims (6)

신호전달부(11)를 구비하는 디스플레이 패널(10)이 안착되며 상기 디스플레이 패널(10)의 신호전달부(11)에 구동신호를 인가하는 단자연결부(110)가 설치된 기판지지부(100)와;
상기 디스플레이 패널(10)에 UV 광을 조사하기 위한 UV광을 발생시키는 UV 광원부(200)와;
상기 디스플레이 패널(10)의 광특성을 분석하기 위하여 상기 UV 광이 조사되는 상태에서, 상기 단자연결부(110)를 통해 전달받은 구동신호에 따라 작동됨으로써 상기 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광을 수광하는 수광부(300)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치.A substrate support part 100 on which a display panel 10 having a signal transmission part 11 is mounted and a terminal connection part 110 for applying a driving signal to the signal transmission part 11 of the display panel 10 is installed;
A UV light source unit 200 for generating UV light for irradiating UV light on the display panel 10;
In a state in which the UV light is irradiated to analyze the optical characteristics of the display panel 10, the light emitted from the display panel 10 is received by being operated according to a driving signal transmitted through the terminal connection unit 110 An apparatus for evaluating the influence of the display panel on UV exposure, comprising: a light receiving unit 300. 청구항 1에 있어서,
상기 디스플레이 패널(10)의 상부에 설치되어 상기 디스플레이 패널(10)에서 발광되는 광이 상기 수광부(300)에 이르도록 투과함과 아울러 상기 UV 광원부(200)에서 발생된 광을 상기 디스플레이 패널(10)을 향하여 반사시키는 빔 스플리터(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치.The method according to claim 1,
The display panel 10 is installed above the display panel 10 to transmit light emitted from the display panel 10 to the light receiving unit 300 and transmit the light generated by the UV light source unit 200 to the display panel 10 The apparatus for evaluating the influence of the display panel on UV exposure, comprising: a beam splitter 400 that reflects toward ). 청구항 2에 있어서,
상기 빔 스플리터(400) 및 상기 수광부(300) 사이의 광경로에는, UV 광을 제외한 나머지 광을 투과시키는 광필터(510)가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치.The method according to claim 2,
In the optical path between the beam splitter 400 and the light receiving unit 300, an optical filter 510 for transmitting light other than UV light is additionally installed. . 청구항 2에 있어서,
상기 UV 광원부(200)에서 발생된 광의 제어를 위하여 상기 UV 광원부(200)와 대향되는 위치에서 상기 UV 광원부(200)에서 발생된 광 중 상기 빔 스플리터(400)를 투과한 광을 수광하는 제어광수광부(520)을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치.The method according to claim 2,
The number of control light to receive the light transmitted through the beam splitter 400 among the light generated from the UV light source unit 200 at a position opposite to the UV light source unit 200 to control the light generated from the UV light source unit 200 An apparatus for evaluating the influence of the display panel on UV exposure, further comprising a lighter 520. 청구항 1에 있어서,
상기 기판지지부(100)에 지지된 디스플레이 패널(10)의 상부에는, 평가대상인 상기 디스플레이 패널(10)의 유효 발광 부분만 상측으로 노출시키는 마스크 부재(530)가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치.The method according to claim 1,
A display panel, characterized in that a mask member 530 is additionally installed on the display panel 10 supported by the substrate support part 100 to expose only the effective light-emitting portion of the display panel 10 to be evaluated upwards. Apparatus for evaluating the effect of UV exposure. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 디스플레이 패널(10)은, OLED 패널인 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 UV 노광에 대한 영향 평가장치.The method according to any one of claims 1 to 5,
The display panel 10, an apparatus for evaluating the influence of the display panel on UV exposure, characterized in that the OLED panel.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050086755A (en) * 2002-11-25 2005-08-30 가부시키가이샤 니콘 Exposure apparatus and exposure method
JP2010139593A (en) * 2008-12-10 2010-06-24 Lasertec Corp Euv (extreme ultraviolet) mask inspection device
US9766473B1 (en) * 2014-02-03 2017-09-19 Automation Engineering, Inc. Automated UV calibration, motorized optical target and automatic surface finder for optical alignment and assembly robot
KR20180058005A (en) * 2016-11-23 2018-05-31 삼성전자주식회사 Optical inspection apparatus and method, and method for fabricating semiconductor using the inspection apparatus
KR20180095466A (en) * 2017-02-17 2018-08-27 스텍 코 엘티디 Optical system and method for inspecting a transparent plate
KR101893820B1 (en) * 2018-02-13 2018-10-04 주식회사 인스풀 Apparatus for inspecting pixels of organic light emitting diode panel
KR20190053280A (en) * 2016-10-07 2019-05-17 케이엘에이-텐코 코포레이션 Phase contrast monitoring for extreme ultraviolet (EUV) mask defect inspection

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050086755A (en) * 2002-11-25 2005-08-30 가부시키가이샤 니콘 Exposure apparatus and exposure method
JP2010139593A (en) * 2008-12-10 2010-06-24 Lasertec Corp Euv (extreme ultraviolet) mask inspection device
US9766473B1 (en) * 2014-02-03 2017-09-19 Automation Engineering, Inc. Automated UV calibration, motorized optical target and automatic surface finder for optical alignment and assembly robot
US20180004004A1 (en) * 2014-02-03 2018-01-04 Automation Engineering, Inc. Automated UV Calibration, Motorized Optical Target and Automatic Surface Finder for Optical Alignment and Assembly Robot
KR20190053280A (en) * 2016-10-07 2019-05-17 케이엘에이-텐코 코포레이션 Phase contrast monitoring for extreme ultraviolet (EUV) mask defect inspection
KR20180058005A (en) * 2016-11-23 2018-05-31 삼성전자주식회사 Optical inspection apparatus and method, and method for fabricating semiconductor using the inspection apparatus
KR20180095466A (en) * 2017-02-17 2018-08-27 스텍 코 엘티디 Optical system and method for inspecting a transparent plate
KR101893820B1 (en) * 2018-02-13 2018-10-04 주식회사 인스풀 Apparatus for inspecting pixels of organic light emitting diode panel

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