KR102136224B1 - Plasma generator having partition wall - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내부 공간을 최적의 비율로 구획 가능한 격벽을 구비하고, 유동이 방지되는 플라즈마 생성부를 구비하여 안전하고 효율적으로 플라즈마를 생성할 수 있고, 안정적으로 슬러지 및 스컴을 배출할 수 있는 플라즈마 생성기에 관한 것이다.
본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는 내부에 중공이 형성되고, 오존이 배출되는 오존 배출구가 상단 일측에 구비되며, 슬러지 및 스컴이 배출되는 슬러지 배출구가 하단 일측에 구비되는 외부 하우징과, 중공을, 플라즈마가 생성되는 하부 일측의 생성 구역, 플라즈마 생성시 발생하는 오존이 체류하는 상부의 체류 구역 및 슬러지와 스컴이 배출되는 통로인 하부 타측의 배출 구역으로 각각 구획하는 격벽과, 일부가 외부 하우징의 외부 측에 설치되고 다른 일부가 중공 측에 설치되어 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
The present invention is provided with a plasma generator capable of safely and efficiently generating plasma, and having a plasma generating unit capable of partitioning the interior space at an optimal ratio, and having a plasma generation unit that prevents flow, and stably discharging sludge and scum. It is about.
Plasma generator having a barrier rib structure according to the present invention is formed with a hollow inside, an ozone outlet for discharging ozone is provided on one side at the top, and an outer housing for sludge outlets at which the sludge and scum are discharged are provided on the lower side, and a hollow , A partition wall partitioning each into a production zone on the lower side where plasma is generated, an upper residence zone where ozone generated when plasma is generated, and a discharge zone on the lower side which is a passage through which sludge and scum are discharged, and a part of the outer housing It is characterized in that it is configured to include a plasma generating unit that is installed on the outer side and the other part is installed on the hollow side to generate plasma.

Description

격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기{Plasma generator having partition wall}Plasma generator having partition wall structure

본 발명은 플라즈마의 생성과, 슬러지 및 스컴의 배출에 최적화된 구조를 가지는 플라즈마 생성기에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 내부 공간을 최적의 비율로 구획 가능한 격벽을 구비하고, 유동이 방지되는 플라즈마 생성부를 구비하여 안전하고 효율적으로 플라즈마를 생성할 수 있고, 안정적으로 슬러지 및 스컴을 배출할 수 있는 플라즈마 생성기에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma generator having a structure optimized for the generation of plasma and the discharge of sludge and scum, and more particularly, it is provided with a partition wall capable of dividing the interior space at an optimal ratio, and preventing plasma generation. The present invention relates to a plasma generator capable of safely and efficiently generating plasma, and stably discharging sludge and scum.

일반적으로, 플라즈마는 초고온에서 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 기체 상태로써 ‘제4의 물질상태’라 불리고 있으며, 생성 방식에 따라 각기 다른 물리화학적 특징을 가지게 되므로 반도체, 조명, 디스플레이, 의료장비, 환경 개선 사업 및 신에너지 개발 등 다양한 분야에 복합적으로 이용 가능한 장점이 있다.In general, plasma is a gas state separated by electrons with negative charges and positively charged ions at very high temperatures, and is called a'fourth material state', and has different physicochemical characteristics depending on the production method, so it has semiconductor, lighting, and display properties. , Medical equipment, environmental improvement business and new energy development, etc.

이러한 플라즈마를 생성하기 위한 장치는 아직까지 일반화된 형태가 없으므로 사용자 등이 선택한 플라즈마의 생성 방식에 따라 다양하게 구성하여 사용 가능하나, 플라즈마의 생성시 부가적으로 발생하는 오존, 슬러지 및 스컴의 활용 또는 처리에 관한 문제는 플라즈마를 생성하기 위한 대부분의 장치에 공통되는 과제로써 장치 내부의 부식을 방지하고 플라즈마의 생성 효율을 유지하기 위하여 반드시 해결되어야 한다.The apparatus for generating such a plasma has not yet been generalized, so it can be configured and used in various ways depending on the plasma generation method selected by the user, etc. The processing problem is a problem common to most devices for generating plasma, and must be solved to prevent corrosion inside the device and maintain plasma generation efficiency.

종래의 플라즈마 생성 장치에 관한 발명으로는 대한민국 공개특허공보 특2001-0076348호의 “플라즈마 생성장치 및 플라즈마 처리장치” 및 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0023061호의 “플라즈마 생성장치 및 생성방법”, 대한민국 등록특허공보 제10-1111207호의 “플라즈마 발생장치” 및 대한민국 등록특허공보 제10-1476644호의 “수중 플라즈마 발생장치”가 제안되어 공개된 바 있다.The invention of the conventional plasma generating device includes "Plasma Generating Device and Plasma Processing Device" of the Republic of Korea Patent Application Publication No. 2001-0076348 and "Plasma Generating Device and Method" of Korea Patent Publication No. 10-2008-0023061 “Plasma generator” of Korean Patent Publication No. 10-1111207 and “Underwater plasma generator” of Korean Patent Publication No. 10-1476644 have been proposed and published.

상기 대한민국 공개특허공보 특2001-0076348호의 “플라즈마 생성장치 및 플라즈마 처리장치”에는 슬롯안테나 근방의 방사용 도파관의 치수를 국소적으로 변화시킴으로써 방사용 도파관 내의 마이크로파 파장을 변화시킬 수 있도록 구성되고, 이에 따라 슬롯안테나로부터 방전 챔버를 향해 방사되는 전자방사의 강도분포를 제어할 수 있는 장치에 관한 발명이 제안되었고, 상기 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0023061호의 “플라즈마 생성장치 및 생성방법”에는 챔버 내에 위치하고 반도체 기판의 안착부가 구비되는 하부 전극부와, 상기 하부 전극부와 대향하고 제1 플라즈마 소스부를 형성하는 상부 전극부와, 상기 상부 전극부보다 높은 위치에 구비되는 제2 플라즈마 소스부와, 상기 제1 및 제2 플라즈마 소스부에 파워를 공급하는 파워공급부를 포함하도록 구성됨으로써 고온의 전자가 저온 상태로 공급되도록 하여 저압상태에서 고밀도의 플라즈마를 생성 가능한 장치에 관한 발명이 제안되었다.The Republic of Korea Patent Application Publication No. 2001-0076348 "plasma generating device and plasma processing device" is configured to change the microwave wavelength in the radiation waveguide by locally changing the dimensions of the radiation waveguide near the slot antenna, thereby Accordingly, an invention has been proposed for a device capable of controlling the intensity distribution of electron radiation emitted from a slot antenna toward a discharge chamber, and the chamber of “Plasma Generating Device and Method” of Korean Patent Publication No. 10-2008-0023061 A lower electrode portion located in the semiconductor substrate, an upper electrode portion facing the lower electrode portion and forming a first plasma source portion, and a second plasma source portion provided at a higher position than the upper electrode portion; An invention has been proposed for a device capable of generating high-density plasma in a low-pressure state by supplying high-temperature electrons to a low-temperature state by being configured to include a power supply for supplying power to the first and second plasma source parts.

또한, 상기 대한민국 등록특허공보 제10-1111207호의 “플라즈마 발생장치”에는 고전압이 인가되는 음전극이 하부에 구비된 음극조립체와, 플라즈마 발생공간을 형성하되, 상기 공간으로 플라즈마 발생가스를 주입하는 복수의 플라즈마 발생가스 주입로가 구비된 양극조립체 및 자기력을 발생시키는 자기발생수단을 포함하도록 구성됨으로써 플라즈마를 효율적이고 안정적으로 발생시킬 수 있는 장치에 관한 발명이 제안되었고, 상기 대한민국 등록특허공보 제10-1476644호의 “수중 플라즈마 발생장치”에는 수조의 상부에 설치되는 방전용 유전체관과, 상기 유전체관의 외부인 수중에 설치되는 도전성 대향전극과, 상기 도전성 대향전극에 전원을 인가하는 전원인가장치를 포함하도록 구성됨으로써 안정적인 플라즈마 발생이 가능하고 편향된 위치로 인한 아크성 플라즈마 발생이 방지되는 장치에 관한 발명이 제안되었다.In addition, in the “Plasma Generator” of Korean Patent Publication No. 10-1111207, a negative electrode to which a high voltage is applied is provided with a negative electrode assembly provided below and a plasma generating space, but a plurality of plasma generating gases are injected into the space. An invention relating to an apparatus capable of generating plasma efficiently and stably by being configured to include an anode assembly provided with a plasma generating gas injection path and a magnetic generating means for generating magnetic force has been proposed, and the Republic of Korea Patent Publication No. 10-1476644 The “underwater plasma generator” of the heading includes a discharge dielectric tube installed on the upper part of the water tank, a conductive counter electrode installed in the water outside the dielectric tube, and a power supply device for applying power to the conductive counter electrode. Thus, an invention has been proposed for a device capable of generating stable plasma and preventing arcing plasma generation due to a deflected position.

그러나 상기한 바와 같은 종래 발명들은 플라즈마 생성시 발생하는 오존의 활용 또는 처리 문제나, 슬러지 및 스컴의 처리 등에 관한 문제를 명확히 제시하지 못하고 있고, 전압의 인가시 발생할 수 있는 합선의 문제에 관하여는 언급한 바가 없으므로, 이러한 문제를 해결 가능한 장치에 관한 발명이 요구되는 실정이다.However, the above-mentioned conventional inventions do not clearly present problems related to the use or treatment of ozone generated during plasma generation or the treatment of sludge and scum, and refer to the short circuit problem that may occur when voltage is applied. Since there is no one, there is a need for an invention relating to an apparatus capable of solving such a problem.

대한민국 공개특허공보 특2001-0076348호(2001. 08. 11)Republic of Korea Patent Publication No. 2001-0076348 (2001. 08. 11) 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0023061호(2008. 03. 12)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2008-0023061 (2008. 03. 12) 대한민국 등록특허공보 제10-1111207호(2012. 01. 25)Republic of Korea Registered Patent Publication No. 10-1111207 (2012. 01. 25) 대한민국 등록특허공보 제10-1476644호(2014. 12. 19)Republic of Korea Registered Patent Publication No. 10-1476644 (2014. 12. 19)

본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는,Plasma generator having a partition structure according to the present invention,

플라즈마의 생성시 발생하는 오존이 체류하는 공간의 면적에 비하여 플라즈마가 생성되는 구역의 면적이 협소하면, 플라즈마의 생성 효율이 감소하는 문제가 발생하였고,When the area of the region where the plasma is generated is narrow compared to the area of the space where ozone generated during the generation of the plasma is generated, a problem in that the efficiency of plasma generation is reduced occurs.

플라즈마의 생성시 발생하는 오존이 체류하는 공간의 면적에 비하여 플라즈마가 생성되는 구역의 면적이 과대하면, 과량 발생하는 오존으로 인한 기압의 증가에 따라 슬러지 및 스컴의 배출 효율이 감소하는 문제가 발생하였으며,When the area of the zone where the plasma is generated is excessive compared to the area of the space where the ozone generated during the generation of the plasma is generated, there is a problem that the discharge efficiency of the sludge and scum decreases as the atmospheric pressure caused by the excessive ozone increases. ,

플라즈마의 생성을 위한 공기 및 전압을 유입시키는 장치에 유동이 발생하면, 내부의 오존이 외부로 유출될 수 있고, 합선이 발생할 수 있기 때문에, 이에 대한 해결책을 제시하는 것을 그 목적으로 한다.When a flow occurs in a device for introducing air and voltage for generating plasma, the purpose of the present invention is to present a solution to this, since internal ozone may flow out and short circuits may occur.

본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는 상기와 같은 목적을 실현하고자,Plasma generator having a partition structure according to the present invention to achieve the above object,

내부에 중공이 형성되고, 오존이 배출되는 오존 배출구가 상단 일측에 구비되며, 슬러지 및 스컴이 배출되는 슬러지 배출구가 하단 일측에 구비되는 외부 하우징; 상기 중공을, 플라즈마가 생성되는 하부 일측의 생성 구역, 플라즈마 생성시 발생하는 오존이 체류하는 상부의 체류 구역 및 슬러지와 스컴이 배출되는 통로인 하부 타측의 배출 구역으로 각각 구획하는 격벽; 일부가 상기 외부 하우징의 외부 측에 설치되고, 다른 일부가 상기 중공 측에 설치되어 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성부; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기를 제시하며, 상기 격벽은 상기 중공에 설치되어, 상기 생성 구역과 상기 배출 구역의 면적을 8:2의 비율로 구획하고, 상기 중공의 높이에 대하여 10:6의 비율로 길이가 형성되는 것을 특징으로 한다.An outer housing in which a hollow is formed inside, an ozone outlet for discharging ozone is provided on one side at the top, and a sludge outlet for discharging sludge and scum is provided at one side at the bottom; A partition wall for partitioning the hollow into a production region on one side of the lower side where plasma is generated, an upper residence region on which ozone generated when plasma is generated, and a discharge region on the lower other side which is a passage through which sludge and scum are discharged; A plasma generating part which is installed on the outer side of the outer housing and the other is installed on the hollow side to generate plasma; It provides a plasma generator having a partition structure, characterized in that comprises a, the partition wall is installed in the hollow, partitioning the area of the production zone and the discharge zone in a ratio of 8: 2, the hollow Characterized in that the length is formed in a ratio of 10:6 to the height.

본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는,Plasma generator having a partition structure according to the present invention,

상기 중공의 높이에 대하여 5:3의 비율로 길이가 형성되는 격벽을 상기 생성 구역과 상기 배출 구역의 면적이 4:1의 비율로 구획되도록 설치하여, 플라즈마 생성기 내부의 구조를 플라즈마의 생성과 슬러지 및 스컴의 배출에 최적화할 수 있는 효과가 발생하였고,A partition having a length of 5:3 with respect to the height of the hollow is installed so that the area of the production zone and the discharge zone is partitioned at a ratio of 4:1, so that the structure inside the plasma generator is generated by plasma and sludge. And an effect that can be optimized for the discharge of the scum,

나사 결합 구조를 가지는 플라즈마 생성부를 구비하여 유동을 방지함으로써 오존의 유출 및 합선을 방지할 수 있는 효과가 발생하였다.By providing a plasma generating portion having a screw-coupled structure to prevent flow, an effect of preventing the outflow and short circuit of ozone occurred.

도 1은 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기의 구조를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기의 일 사용예를 나타낸 예시도.
도 3은 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기의 플라즈마 생성시 부가적으로 발생하는 오존과, 슬러지 및 스컴이 외부로 배출되는 모습을 나타낸 예시도.
도 4는 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기의 플라즈마 생성부의 내부 구조를 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기의 플라즈마 생성부 중 일부의 분해도.
1 is a cross-sectional view showing the structure of a plasma generator having a partition structure according to the present invention.
Figure 2 is an exemplary view showing an example of use of a plasma generator having a partition structure according to the present invention.
3 is an exemplary view showing a state in which ozone, sludge, and scum are additionally generated when plasma is generated by the plasma generator having the barrier rib structure according to the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view showing the internal structure of the plasma generator of the plasma generator having a partition structure according to the present invention.
5 is an exploded view of a part of the plasma generator of the plasma generator having the barrier rib structure according to the present invention.

우선, 본 발명은 중소기업청에서 지원하는 2017년도 산학연협력 기술개발사업(No.C0503385)의 연구수행으로 인한 결과물임을 밝히는 바이다.First of all, it is revealed that the present invention is a result of the research conducted by the 2017 Small and Medium Business Cooperation Technology Development Project (No.C0503385).

본 발명은 플라즈마의 생성과, 슬러지 및 스컴의 배출에 최적화된 구조를 가지는 플라즈마 생성기에 관한 것으로써,The present invention relates to a plasma generator having a structure optimized for the generation of plasma and the discharge of sludge and scum,

내부에 중공(101)이 형성되고, 오존이 배출되는 오존 배출구(102)가 상단 일측에 구비되며, 슬러지 및 스컴이 배출되는 슬러지 배출구(103)가 하단 일측에 구비되는 외부 하우징(100); 상기 중공(101)을, 플라즈마가 생성되는 하부 일측의 생성 구역(111), 플라즈마 생성시 발생하는 오존이 체류하는 상부의 체류 구역(112) 및 슬러지와 스컴이 배출되는 통로인 하부 타측의 배출 구역(113)으로 각각 구획하는 격벽(110); 일부가 상기 외부 하우징(100)의 외부 측에 설치되고, 다른 일부가 상기 중공(101) 측에 설치되어 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성부(200); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기에 관한 것이다.An outer housing 100 in which a hollow 101 is formed inside, an ozone outlet 102 through which ozone is discharged is provided on one side of the upper end, and a sludge outlet 103 through which sludge and scum are discharged is provided on the lower side; The hollow 101, the production zone 111 on the lower side where plasma is generated, the upper residence zone 112 where ozone generated when plasma is generated, and the discharge zone on the lower other side which is a passage through which sludge and scum are discharged. Partition walls 110 partitioned by 113; Plasma generator 200 is installed on the outer side of the outer housing 100, the other part is installed on the hollow 101 side to generate plasma; It relates to a plasma generator having a partition structure, characterized in that comprises a.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

우선, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는 내부에 중공(101)이 형성되고, 오존이 배출되는 오존 배출구(102)가 상단 일측에 구비되며, 슬러지 및 스컴이 배출되는 슬러지 배출구(103)가 하단 일측에 구비되는 외부 하우징(100)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.First, as shown in FIG. 1, a plasma generator having a partition structure according to the present invention has a hollow 101 formed therein, and an ozone outlet 102 through which ozone is discharged is provided on one side of the top, sludge and scum It characterized in that the discharged sludge outlet 103 is configured to include an outer housing 100 provided on one side of the bottom.

상기 외부 하우징(100)은 상기 플라즈마 생성기의 몸체를 구성한다.The outer housing 100 constitutes the body of the plasma generator.

상기 외부 하우징(100)의 내부에 형성되는 중공(101)은 초고온에서 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 기체 상태로써 ‘제4의 물질상태’라 불리는 플라즈마가 생성되는 공간이고, 상기 오존 배출구(102)는 플라즈마의 생성 과정에서 부가적으로 발생하는 오존이 배출되는 출구로써 기체인 오존의 성질을 고려하여 외부 하우징(100)의 상단에 구비되며, 상기 슬러지 배출구(103)는 플라즈마의 생성 과정에서 오존과 함께 부가적으로 발생하는 슬러지 및 스컴이 배출되는 출구로써 침전물인 슬러지 및 부유물인 스컴의 성질을 고려하여 외부 하우징(100)의 하단에 구비된다.The hollow 101 formed inside the outer housing 100 is a space in which a plasma called a'fourth material state' is generated as a gas state separated into electrons having negative charges and positively charged ions at an extremely high temperature, and the The ozone outlet 102 is an outlet through which ozone, which is additionally generated in the process of generating plasma, is provided at the top of the outer housing 100 in consideration of the property of ozone as a gas, and the sludge outlet 103 is a plasma As an outlet through which sludge and scum generated additionally with ozone are discharged during the production process, it is provided at the bottom of the outer housing 100 in consideration of the properties of sediment sludge and floating scum.

부가적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 오존 배출구(102)에는 오존이 배출되는 통로인 오존 배출관의 일측 말단부가 연결되고, 상기 오존 배출관의 타측 말단부는 이젝터에 연결되어 오존을 공급함으로써 오존이 이젝터 내부로 유입되는 용수와 함께 이젝터 내부의 디퓨저 내부로 진입하여 용수에 용해될 수 있도록 한다.Additionally, as illustrated in FIG. 2, one end of the ozone discharge pipe, which is a passage through which ozone is discharged, is connected to the ozone outlet 102, and the other end of the ozone discharge pipe is connected to an ejector to supply ozone. With the water flowing into the ejector, it enters into the diffuser inside the ejector so that it can be dissolved in the water.

이때, 상기 이젝터는 오존을 용수에 용해시키는 기능에 더하여 공기보다 큰 밀도를 가지는 오존이 상기 오존 배출구(102)로 원활하게 배출될 수 있도록 오존의 기능을 수행한다.At this time, the ejector performs the function of ozone so that ozone having a density greater than air can be smoothly discharged to the ozone outlet 102 in addition to the function of dissolving ozone in water.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 상지 슬러지 배출구(103)에는 슬러지 및 스컴이 배출되는 통로인 슬러지 배출관의 일측 말단부가 연결되고, 상기 슬러지 배출관의 타측 말단부는 상기 이젝터와는 다른 이젝터에 연결되어 슬러지 및 스컴을 공급함으로써 슬러지 및 스컴이 이젝터 내부로 유입되는 용수와 함께 상기 디퓨저와는 다른 디퓨저의 내부로 진입하여 용수에 용해될 수 있도록 하나, 상기한 바와 같은 오존의 처리 과정과 슬러지 및 스컴의 처리 과정이 반드시 이러한 예에 한정되는 것은 아니다.In addition, as shown in Figure 2, the upper end sludge discharge port 103 is connected to one end of the sludge discharge pipe which is a passage through which sludge and scum are discharged, and the other end of the sludge discharge pipe is connected to an ejector different from the ejector. By supplying sludge and scum, the sludge and scum can be dissolved in water by entering the inside of a diffuser different from the diffuser together with the water flowing into the ejector.However, the treatment of ozone as described above and the sludge and scum The processing is not necessarily limited to this example.

또한, 상기 오존 배출구(102)는 상기 중공(101)의 하부를 양분하는 하기 생성 구역(111)과 하기 배출 구역(113) 중 배출 구역(113)의 상방에 구비됨이 오존의 원활한 배출에 있어 바람직하고, 상기 슬러지 배출구(103)는 하기 배출 구역(113)의 하방에 구비되어 배출 구역(113)을 통과한 슬러지 및 스컴이 상기 외부 하우징(100)의 외부로 배출될 수 있도록 한다.In addition, the ozone outlet 102 is provided above the discharge zone 113 of the following production zone 111 and the following discharge zone 113 for dividing the lower portion of the hollow 101 for smooth discharge of ozone. Preferably, the sludge outlet 103 is provided below the discharge zone 113 so that sludge and scum that have passed through the discharge zone 113 can be discharged to the outside of the outer housing 100.

즉, 하기 생성 구역(111)은 플라즈마가 생성되는 공간이고, 플라즈마의 생성시 지속적으로 발생하는 오존에 의하여 먼저 발생한 오존이 밀려나게 되므로 상기 오존 배출구(102)가 생성 구역(111)의 상방에 위치되면 하기 배출 구역(113)의 상방 측으로 밀려난 오존이 외부로 배출되지 못하고 장기 체류할 가능성이 높아지게 된다.That is, the following generation zone 111 is a space in which plasma is generated, and the ozone first generated by ozone continuously generated when plasma is generated is pushed out, so that the ozone outlet 102 is located above the generation zone 111. When the ozone is pushed to the upper side of the following discharge zone 113 is not discharged to the outside is more likely to stay for a long time.

위와 같은 이유로 상기 오존 배출구(102)는 하기 배출 구역(113)의 상방에 구비됨이 바람직하고, 도 3에 도시된 바와 같이 플라즈마의 생성시 부가적으로 발생하는 슬러지 및 스컴은 생성 구역(111)으로부터 하기 배출 구역(113)으로 넘어가게 되므로, 상기 슬러지 배출구(103)가 배출 구역(113)의 하방에 구비되어야 함은 자명하다.For the above reasons, the ozone outlet 102 is preferably provided above the following discharge zone 113, and as shown in FIG. 3, sludge and scum that are additionally generated when plasma is generated are generated zone 111. It is apparent that the sludge discharge port 103 should be provided below the discharge zone 113 because it is passed from to the below discharge zone 113.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는 상기 중공(101)을, 플라즈마가 생성되는 하부 일측의 생성 구역(111), 플라즈마 생성시 발생하는 오존이 체류하는 상부의 체류 구역(112) 및 슬러지와 스컴이 배출되는 통로인 하부 타측의 배출 구역(113)으로 각각 구획하는 격벽(110)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, as shown in Figure 1, the plasma generator having a partition structure according to the present invention, the hollow 101, the production zone 111 on the lower side where the plasma is generated, ozone generated during plasma generation is retained It is characterized in that it comprises a partition wall 110 for partitioning into the upper retention zone 112 and the discharge zone 113 on the other side of the lower side which is a passage through which sludge and scum are discharged.

상기 격벽(110)은 상기 플라즈마 생성기 내부의 중공(101)을 세 개의 구역으로 구획하되, 각 구역 간의 면적 비율을 결정하여 플라즈마 생성 효율과, 슬러지 및 스컴의 배출 효율이 최적화되도록 한다.The partition wall 110 divides the hollow 101 inside the plasma generator into three zones, and determines the area ratio between each zone to optimize the plasma generation efficiency and the discharge efficiency of sludge and scum.

즉, 플라즈마의 생성시 발생하는 오존이 체류하는 상기 체류 구역(112)의 면적에 비하여 플라즈마가 생성되는 상기 생성 구역(111)의 면적이 협소하게 형성되면, 플라즈마의 생성 과정에서 부가적으로 발생하는 오존의 양에 비하여 체류 구역(112)의 면적이 다소 넓은 상태가 되므로, 이는 곧 상기 플라즈마 생성기의 플라즈마 생성 효율이 최적화되지 못하였음을 의미한다.That is, when the area of the production zone 111 in which plasma is generated is narrowly formed compared to the area of the residence zone 112 in which ozone generated when plasma is generated resides, additionally generated in the process of plasma generation Since the area of the residence zone 112 is rather large compared to the amount of ozone, this means that the plasma generation efficiency of the plasma generator has not been optimized.

또한, 플라즈마의 생성시 발생하는 오존이 체류하는 상기 체류 구역(112)의 면적에 비하여 플라즈마가 생성되는 상기 생성 구역(111)의 면적이 과다하게 형성되면, 과량 발생하는 오존으로 인한 기압의 증가에 따라 슬러지 및 스컴이 격벽(110)을 넘어가기 어렵게 되므로, 이는 곧 상기 플라즈마 생성기의 슬러지 및 스컴의 배출 효율이 최적화되지 못하였음을 의미한다.In addition, when the area of the production zone 111 in which plasma is generated is excessively formed compared to the area of the residence zone 112 in which ozone generated during plasma generation resides, an increase in air pressure due to excessive ozone is generated. Accordingly, since the sludge and scum become difficult to pass over the partition wall 110, this means that the discharge efficiency of the sludge and scum of the plasma generator has not been optimized.

즉, 상기 생성 구역(111)의 면적은 상기 체류 구역(112)의 면적보다 넓은 면적을 가지도록 구성되어야 하되 양 면적 간의 차이 범위가 제한되어야 하며, 상기 배출 구역(113)은 플라즈마의 생성 속도에 따른 슬러지 및 스컴의 발생 속도 및 배출 속도를 고려하여 상기 생성 구역(111)에 대한 면적의 비율의 비율이 결정되어야 한다.That is, the area of the production zone 111 should be configured to have a larger area than the area of the residence zone 112, but the range of the difference between the two areas should be limited, and the discharge zone 113 is based on the plasma production rate. The proportion of the area to the production zone 111 should be determined in consideration of the resulting sludge and scum generation and discharge rates.

따라서, 상기 플라즈마 생성기의 플라즈마 생성 효율과, 슬러지 및 스컴의 배출 효율을 최적하고자, 상기 격벽(110)은 상기 생성 구역(111)과 상기 배출 구역(113)의 면적을 4:1의 비율로 구획하도록 상기 중공(101) 하부에 설치되고, 이때 상기 격벽(110)의 길이는 상기 중공(101)의 높이에 대하여 5:3의 비율로 구성되는 것을 특징으로 한다.Therefore, in order to optimize the plasma generation efficiency of the plasma generator and the discharge efficiency of sludge and scum, the partition wall 110 divides the areas of the generation zone 111 and the discharge zone 113 in a ratio of 4:1. To be installed in the lower portion of the hollow 101, wherein the length of the partition wall 110 is characterized in that it consists of a ratio of 5: 3 with respect to the height of the hollow 101.

아래의 표 1은 상기 격벽(110)의 길이 및 설치 위치에 따라 결정되는 상기 생성 구역(111), 상기 체류 구역(112) 및 상기 배출 구역(113) 각각의 비율을 다르게 구성하고, 상기 슬러지 배출구(103)를 폐쇄하였을 때 슬러지 및 스컴이 포함된 거품이 격벽(110) 높이의 80% 높이로 쌓이는 시간을 측정한 결과에 대한 표이다.Table 1 below configures the ratio of each of the generation zone 111, the residence zone 112, and the discharge zone 113 determined according to the length and installation location of the partition 110, and the sludge outlet Table 103 shows the result of measuring the time for the foam containing sludge and scum to accumulate to 80% of the height of the partition 110 when closed (103).

이때, 상기 슬러지 배출구(103)를 개방하면 하기 표에 기재된 어떠한 조건에서도 거품이 격벽(110) 높이의 80% 높이로 쌓이지 않았음을, 즉, 거품의 외부로의 배출이 원활하게 진행되었음을 밝힌다.At this time, when the sludge outlet 103 is opened, it is revealed that the bubbles did not accumulate to 80% of the height of the partition wall 110 under any conditions described in the table below, that is, the discharge of the foam to the outside proceeded smoothly.

생성 구역Creation zone 배출 구역Discharge area 체류 구역Residence zone 시간(t)Time(t) 44 1One 55 3030 33 1One 44 2727 44 1One 44 2222 55 22 33 1818 44 1One 33 1515

따라서, 상기 표 1에 기재된 바와 같이, 상기 격벽(110)에 의하여 구획되는 상기 중공(101)의 내부 비율은 상기 생성 구역(111), 상기 배출 구역(113) 및 상기 체류 구역(112)이 각각 4:1:3의 비율로 형성되었을 때 상기 생성 구역(111)에 대한 상기 배출 구역(113)의 비율을 최소화하며 효율적으로 슬러지 및 스컴을 배출 가능하다는 것을 알 수 있다.Therefore, as described in Table 1, the internal ratio of the hollow 101 partitioned by the partition wall 110 is the production zone 111, the discharge zone 113 and the residence zone 112, respectively. It can be seen that sludge and scum can be efficiently discharged while minimizing the ratio of the discharge zone 113 to the production zone 111 when formed at a ratio of 4:1:3.

또한, 상기 격벽(110)은 상기 플라즈마 생성기의 하단으로부터 90°의 각도로 수직으로 형성되거나 슬러지 및 스컴의 배출 속도 향상을 위하여 상기 배출구역 측으로 1 내지 30°의 각도로 기울어지게 형성될 수 있는 것을 특징으로 하며, 배출구역 측으로 1 내지 30°의 각도로 기울어지게 형성되는 경우에도 상기 각 구역의 비율은 일정하게 유지되어야 하므로, 격벽(110)의 기울기에 따라 격벽(110)이 설치되는 위치는 다르게 구성되어야 한다.In addition, the partition wall 110 may be formed vertically at an angle of 90° from the bottom of the plasma generator or be inclined at an angle of 1 to 30° toward the discharge area to improve the discharge speed of sludge and scum. It is characterized in that, even when it is formed to be inclined at an angle of 1 to 30° toward the discharge zone, the proportion of each zone must be kept constant, so the position where the partition 110 is installed varies depending on the slope of the partition 110 Should be constructed.

다만, 상기 격벽(110)의 기울기가 1 내지 5°의 범위로 형성되는 경우에는 격벽(110)의 기울기에 따른 슬러지 및 스컴의 배출 속도 향상 효과가 미약할 수 있고, 격벽(110)의 기울기가 31° 이상으로 형성되는 경우에는 상기 배출 구역(113)으로의 진입로가 협소해져 슬러지 및 스컴의 배출 속도가 제한되는 병목 현상이 발생할 수 있으므로, 격벽(110)의 기울기는 6 내지 30°의 범위 내로 형성됨이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. However, when the inclination of the partition 110 is formed in a range of 1 to 5°, the effect of improving the discharge speed of sludge and scum according to the inclination of the partition 110 may be weak, and the inclination of the partition 110 When formed at 31° or more, the entry path to the discharge zone 113 is narrowed, and thus a bottleneck phenomenon in which the discharge speed of sludge and scum is limited may occur, so the slope of the partition wall 110 is within a range of 6 to 30° It is preferably formed, but is not necessarily limited thereto.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는 일부가 상기 외부 하우징(100)의 외부 측에 설치되고, 다른 일부가 상기 중공(101) 측에 설치되어 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성부(200)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, as shown in Figure 1, a plasma generator having a partition structure according to the present invention is a part is installed on the outer side of the outer housing 100, the other part is installed on the side of the hollow 101 plasma It characterized in that it comprises a plasma generating unit 200 to generate.

상기 플라즈마 생성부(200)는 상기 플라즈마 생성기의 내부로 공기를 유입시킬 수 있도록 구성되고, 외부로부터 전압을 인가받도록 구성되며, 전압의 인가 및 공기와의 접촉에 의하여 방전되어 플라즈마를 생성하는 방전부(240)를 구비함으로써, 상기 생성 구역(111) 내에서 플라즈마를 생성한다.The plasma generating unit 200 is configured to allow air to flow into the inside of the plasma generator, is configured to receive a voltage from the outside, and discharges by applying voltage and contacting air to generate plasma. By providing 240, plasma is generated in the generation zone 111.

구체적으로, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 생성부(200)는 내부에 수평의 제1 통로(211)가 형성되는 수평관(212)이 측부에 구비되고, 내부에 수직의 제3 통로(213)가 형성되는 수직관(214)이 하부에 구비되며, 상기 제1 통로(211) 및 상기 제3 통로(213)를 연통하는 ‘ㄱ’ 자형의 제2 통로(215)가 내부에 형성되며, 상단에 전압이 인가되는 인가부(216)가 구비되는 헤드부(201)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Specifically, as shown in FIGS. 4 and 5, the plasma generating unit 200 is provided with a horizontal tube 212 on which a horizontal first passage 211 is formed, and is provided vertically therein. The vertical passage 214 in which the third passage 213 is formed is provided at the bottom, and the second passage 215 having an'a' shape communicating with the first passage 211 and the third passage 213 is provided. It is formed in the interior, it characterized in that it comprises a head portion 201 is provided with an application unit 216 is applied with a voltage on the upper end.

상기 제1 통로(211)는 상기 헤드부(201)의 내부로 공기가 진입하는 진입로이고, 상기 제3 통로(213)는 헤드부(201)의 외부로 공기가 진출하는 진출로이며, 상기 제2 통로(215)는 상기 제1 통로(211)로 진입한 공기의 진행 방향을 직각 방향으로 전환 시킨다.The first passage 211 is an entry path through which air enters the interior of the head portion 201, and the third passage 213 is an entry path through which air enters the outside of the head portion 201. 2 passage 215 converts the direction of the air that has entered the first passage 211 to the right angle direction.

이때, 상기 헤드부(201)의 상단에는 전압이 인가되는 인가부(216)가 구비되므로, 인가부(216)로 인가된 전압은 하기 방전부(240)에 전류를 공급하도록 구성되므로 인가부(216)를 제외한 헤드부(201)의 재질은 절연성이 우수한 세라믹 등으로 구성되어 누전을 방지함이 바람직하다.At this time, the upper end of the head unit 201 is provided with an application unit 216 to which a voltage is applied, so the voltage applied to the application unit 216 is configured to supply current to the discharge unit 240 below, so that the application unit ( The material of the head portion 201 except 216) is preferably made of ceramic or the like having excellent insulating properties, and thus it is preferable to prevent an electric leakage.

또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 생성부(200)는 상단과 하단을 관통하는 제4 통로(221)가 내부에 형성되는 방전관(220)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 헤드부(201)로부터 진출한 공기는 상기 제4 통로(221)를 따라 흐르며 하기 방전부(240)와 지속적으로 접촉하여 방전이 발생하도록 한다.In addition, as shown in Figures 4 and 5, the plasma generation unit 200 is characterized in that it comprises a discharge tube 220 through which the fourth passage 221 passing through the top and bottom is formed therein The air that has advanced from the head portion 201 flows along the fourth passage 221 and continuously contacts the discharge portion 240 to generate discharge.

이때, 상기 방전관(220)은 하기 방전부(240)에 의한 플라즈마의 생성이 상기 생성 구역(111) 내에서 수행될 수 있도록 그 길이가 하방으로 충분히 연장됨이 바람직하고, 재질은 석영관이 가장 바람직하나, 세라믹관 또는 유리관으로 구성되어도 무방하다.At this time, the discharge tube 220, it is preferable that the length is sufficiently extended downward so that the generation of the plasma by the following discharge unit 240 can be performed in the generation zone 111, the material is most preferably a quartz tube However, it may be composed of a ceramic tube or a glass tube.

또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 생성부(200)는 상기 수직관(214)의 하부 일부가 삽입되는 제1 삽입로(231)가 내부의 상측에 형성되고, 상기 방전관(220)의 상부 일부가 삽입되는 제2 삽입로(232)가 내부의 하측에 형성되며, 상기 제1 삽입로(231)와 상기 제2 삽입로(232)를 연통하는 연통로(233)가 중단에 형성되는 연결부(230)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, as shown in FIGS. 4 and 5, the plasma generating unit 200 is formed with a first insertion path 231 into which a lower portion of the vertical tube 214 is inserted, and the discharge tube. A second insertion path 232 into which the upper part of the 220 is inserted is formed on the lower side of the interior, and a communication path 233 communicating the first insertion path 231 and the second insertion path 232 is provided. Characterized in that it comprises a connection portion 230 formed in the middle.

상기 연결부(230)는 일부가 상기 외부 하우징(100)의 외측에 위치되고 다른 일부가 상기 중공(101) 측에 위치되는 형태로 외부 하우징(100)의 상단 측에 구비되어, 상기 헤드부(201)가 상기 외부 하우징(100)의 외측에 구비될 수 있도록 하고, 상기 방전관(220) 및 상기 방전부(240)가 상기 중공(101) 측에 구비될 수 있도록 한다.The connection part 230 is provided on the upper side of the outer housing 100 in a form in which a part is located outside the outer housing 100 and the other part is located on the hollow 101 side, the head part 201 ) To be provided on the outside of the outer housing 100, and the discharge tube 220 and the discharge portion 240 can be provided on the hollow 101 side.

상기 헤드부(201)와 상기 방전관(220)이 직접 연결되면 플라즈마의 생성시 발생하는 진동의 누적으로 인해 둘 중 어느 하나 이상이 손상될 수 있으므로, 상기 연결부(230)는 헤드부(201)와 방전관(220)을 일정거리 이격시킴으로써 위와 같은 손상을 방지하며, 이에 따라 진동을 흡수 가능한 실리콘 등의 탄성체로 구성됨이 바람직하다.When the head unit 201 and the discharge tube 220 are directly connected, any one or more of the two may be damaged due to accumulation of vibration generated when plasma is generated, so the connection unit 230 is connected to the head unit 201 It is preferable that the discharge tube 220 is spaced a predetermined distance to prevent damage such as the above, and thus is composed of an elastic body such as silicone capable of absorbing vibration.

본 발명의 일 실시예로써, 상기 연결부(230)는 내약품성, 탄성 및 복원력이 우수한 앨라스토머로 구성될 수 있고, 이에 따라 삽입된 헤드부(201)의 일부 및 방전관(220)의 일부를 기밀하게 밀폐하여 오존 및 전류의 유출을 방지하면서도 내구성에 뛰어난 효과를 얻을 수 있다.As an embodiment of the present invention, the connecting portion 230 may be composed of an elastomer having excellent chemical resistance, elasticity, and resilience, and accordingly, part of the inserted head portion 201 and part of the discharge tube 220 It is hermetically sealed to prevent the leakage of ozone and electric current, while obtaining an excellent effect on durability.

이러한 앨라스토머로 실리콘 고무가 주로 이용되고 있으나, 본 발명에서는 오존에 의한 압력 등을 고려하여 불소계 고무를 이용할 수 있다.Silicone rubber is mainly used as the elastomer, but in the present invention, fluorine-based rubber may be used in consideration of pressure caused by ozone.

바람직하게는 내열성, 내약품성 등의 특성을 고려하여 불화비닐리덴(VDF)과 6-불화프로필렌(HFP)의 블록 공중합체 또는 4-불화에틸렌(TFE)과 6-불화프로필렌(HFP)의 블록 공중합체로 이루어진 불소계 고무를 이용할 수 있으며, 특히, 상기 공중합체를 형성할 때 6-불화프로필렌(HFP)는 분자 내 불소 원자가 6개로 불소의 함량이 높기 때문에 요구되는 장치의 특성에 따라 그 함량을 달리하여 중합체를 형성하는 것이 바람직한데, 불화비닐리덴(VDF)과 6-불화프로필렌(HFP)의 블록 공중합체의 경우 1:3 또는 1:4의 몰비가 되도록 중합하는 것이 바람직하고, 4-불화에틸렌(TFE)과 6-불화프로필렌(HFP)의 블록 공중합체의 경우 4-불화에틸렌(TFE)의 불소 함량이 불화비닐리덴(VDF) 보다 높기 때문에 1:2 또는 1:3의 몰비가 되도록 중합하는 것이 바람직하다.Preferably, block copolymers of vinylidene fluoride (VDF) and 6-propylene fluoride (HFP) or block copolymers of 4-ethylene fluoride (TFE) and 6-propylene fluoride (HFP) in consideration of properties such as heat resistance and chemical resistance A fluorine-based rubber made of a coalescence may be used. In particular, when forming the copolymer, 6-fluorinated propylene (HFP) has 6 fluorine atoms in the molecule, so the content of fluorine is high. In order to form a polymer, it is preferable that in the case of a block copolymer of vinylidene fluoride (VDF) and 6-propylene fluoride (HFP), it is preferable to polymerize to a molar ratio of 1:3 or 1:4, and 4-ethylene fluoride In the case of a block copolymer of (TFE) and 6-propylene fluoride (HFP), since the fluorine content of 4-ethylene fluoride (TFE) is higher than that of vinylidene fluoride (VDF), polymerization is performed at a molar ratio of 1:2 or 1:3. It is preferred.

또한, 전기적 특성, 내구성을 향상시키기 위하여 상기 불소계 고무 70 내지 80 중량부에 대하여 카본블랙 10 내지 20 중량부, 수산화칼슘 등의 보강제 1 내지 3 중량부, 산화칼슘 또는 산화칼륨 등의 산화제 1 내지 3 중량부, 염소계 가류제, 비스페놀계 가류제 등의 가류제 0.1 내지 1 중량부로 이루어진 고무 조성물을 사용하는 것이 바람직하다.In addition, 10 to 20 parts by weight of carbon black, 1 to 3 parts by weight of a reinforcing agent such as calcium hydroxide, and 1 to 3 parts by weight of an oxidizing agent such as calcium oxide or potassium oxide to improve electrical properties and durability It is preferable to use a rubber composition composed of 0.1 to 1 part by weight of a vulcanizing agent such as a part, a chlorine-based vulcanizing agent, or a bisphenol-based vulcanizing agent.

또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기는 상기 수직관(214)의 외부 측 중단 일부에 나사산(217)이 형성되고, 상기 연결부(230)의 내부 측에 상기 나사산(217)에 대응하는 나사홈(234)이 형성되는 것을 특징으로 하며, 위와 같은 구성에 의하여 상기 수직관(214)은 상기 연결부(230)에 견고하게 체결됨으로써 유동을 방지함으로써, 상기 플라즈마 생성부(200)를 구성하는 각 구성요소들의 틈새로 오존이 유출되는 것을 방지함과 동시에 플라즈마 생성부(200) 외부로의 전류 유출로 인한 합선을 방지하는 구성이다.In addition, as shown in Figures 4 and 5, the plasma generator having a partition structure according to the present invention is formed with a thread 217 on a part of the outer side of the vertical tube 214, the connection portion 230 It characterized in that the screw groove 234 corresponding to the thread 217 is formed on the inner side, the vertical pipe 214 by the above configuration is securely fastened to the connection portion 230 to prevent flow , It is a configuration that prevents the outflow of ozone into the gaps of the components constituting the plasma generating unit 200 and also prevents short circuits due to current leakage to the outside of the plasma generating unit 200.

즉, 상기 플라즈마 생성기의 내부는 하기 버블 발생부(250) 등에 의한 이유로 습도가 높은 상태이므로 상기 헤드부(210)와 상기 연결부(230)가 단순한 삽입 방식으로만 체결되면 헤드부(210)의 승하강이 용이하게 되어, 그 틈새로 오존이 외부로 유출될 수 있고, 합선이 발생할 수 있으므로, 상기 나사산(217)과 상기 나사홈(234)은 헤드부(210)와 연결부(230)의 결합을 견고하게 하여 위와 같은 문제의 발생을 방지한다.That is, since the inside of the plasma generator is in a high humidity for reasons due to the following bubble generator 250 or the like, if the head part 210 and the connection part 230 are fastened only by a simple insertion method, the head part 210 is lifted. As the descent is facilitated, ozone may flow out to the outside and a short circuit may occur, so that the threads 217 and the screw grooves 234 combine the head portion 210 and the connection portion 230. Robustness prevents the occurrence of the above problems.

또한, 상기 수평관(212)에는 상기 제1 통로(211)의 직경보다 작은 직경을 가지는 부통로(미도시)가 형성된 부수평관(미도시)이 체결될 수 있으며, 상기 부수평관은 상기 중공(101) 내부로 유입되는 공기의 양을 조절하여 플라즈마의 생성량을 조절하기 위한 용도로 사용 가능하고, 이에 따라 상기 부통로의 크기가 다양하게 형성된 복수 개의 개체로 구성될 수 있다.In addition, the horizontal tube 212 may be connected to a horizontal pipe (not shown) having a sub-path (not shown) having a diameter smaller than the diameter of the first passage 211, the horizontal pipe is the hollow ( 101) It can be used for the purpose of controlling the amount of plasma generated by controlling the amount of air flowing into the interior. Accordingly, the size of the sub-path may be formed of a plurality of individuals.

또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 생성부(200)는 일부가 상기 수직관(214)에 삽입되고 다른 일부가 상기 방전관(220)에 삽입되는 방전부(240)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 방전부(240)는 상기 인가부(216)로부터 전류를 공급받는 상태로 상기 제4 통로(221)를 따라 흐르는 공기와 접촉하며 방전함으로써, 플라즈마를 생성한다.In addition, as shown in FIGS. 4 and 5, the plasma generating part 200 includes a discharge part 240 in which a part is inserted into the vertical tube 214 and another part is inserted into the discharge tube 220. It characterized in that the configuration, and the discharge unit 240 generates a plasma by contacting and discharging the air flowing along the fourth passage 221 in a state in which a current is supplied from the application unit 216.

또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 생성부(200)는 상기 방전관(220)의 하부와 연결되는 버블 발생부(250)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 버블 발생부(250)에 의하여 발생한 거품은 상기 생성 구역(111)의 내부를 채우며 상승한 후 상기 배출 구역(113)으로 넘어가게 되어 거품에 포함된 슬러지 및 스컴이 상기 플라즈마 생성기 외부로 배출될 수 있도록 한다.In addition, as shown in Figures 4 and 5, the plasma generation unit 200 is characterized in that it comprises a bubble generator 250 connected to the lower portion of the discharge tube 220, the bubble generation The foam generated by the unit 250 fills the interior of the production zone 111 and rises, then passes to the discharge zone 113 so that sludge and scum contained in the foam can be discharged outside the plasma generator.

위에서 소개된 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해, 예로써 제공되는 것이며, 본 발명은 위에서 설명된 실시예들에 한정되지 않고, 다른 형태로 구체화 될 수도 있다.The embodiments introduced above are provided as examples to ensure that the technical spirit of the present invention can be sufficiently transmitted to a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains, and the present invention is directed to the embodiments described above. It is not limited and may be embodied in other forms.

본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 도면에서 생략하였으며 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장 또는 축소되어 표현될 수 있다. In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description are omitted in the drawings, and in the drawings, the width, length, and thickness of components may be exaggerated or reduced for convenience.

또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.In addition, the same reference numbers throughout the specification indicate the same components.

100 : 외부 하우징
101 : 중공 102 : 오존 배출구
103 : 슬러지 배출구
110 : 격벽
111 : 생성 구역 112 : 체류 구역
113 : 배출 구역
200 : 플라즈마 생성부
210 : 헤드부
211 : 제1 통로 212 : 수평관
213 : 제3 통로 214 : 수직관
215 : 제2 통로 216 : 인가부
217 : 나사산
220 : 방전관
221 : 제4 통로
230 : 연결부
231 : 제1 삽입로 232 : 제2 삽입로
233 : 연통로 234 : 나사홈
240 : 방전부
250 : 버블 발생부
100: outer housing
101: hollow 102: ozone outlet
103: sludge outlet
110: bulkhead
111: production zone 112: residence zone
113: discharge area
200: plasma generator
210: head
211: first passage 212: horizontal tube
213: third passage 214: vertical tube
215: second passage 216: authorization unit
217: thread
220: discharge tube
221: passage 4
230: connection
231: 1st insertion path 232: 2nd insertion path
233: communication path 234: screw groove
240: discharge unit
250: bubble generator

Claims (5)

내부에 중공(101)이 형성되고, 오존이 배출되는 오존 배출구(102)가 상단 일측에 구비되며, 슬러지 및 스컴이 배출되는 슬러지 배출구(103)가 하단 일측에 구비되는 외부 하우징(100);
상기 중공(101)을, 플라즈마가 생성되는 하부 일측의 생성 구역(111), 플라즈마 생성시 발생하는 오존이 체류하는 상부의 체류 구역(112) 및 슬러지와 스컴이 배출되는 통로인 하부 타측의 배출 구역(113)으로 각각 구획하는 격벽(110);
일부가 상기 외부 하우징(100)의 외부 측에 설치되고, 다른 일부가 상기 중공(101) 측에 설치되어 플라즈마를 생성하는 플라즈마 생성부(200); 를 포함하여 구성되되,
상기 플라즈마 생성부(200)는,
일부가 수직관(214)에 삽입되고 다른 일부가 방전관(220)에 삽입되는 방전부(240)를 포함하여 구성되고,
상기 방전관(220)의 하부와 연결되는 버블 발생부(250)를 포함하여 구성되고, 상기 버블 발생부(250)에 의하여 발생한 거품은 상기 생성 구역(111)의 내부를 채우며 상승한 후 상기 배출 구역(113)으로 넘어가게 되어 거품에 포함된 슬러지 및 스컴이 외부로 배출될 수 있도록 하며,
상기 오존 배출구(102)에는,
오존 배출관의 일측 말단부가 연결되고, 상기 오존 배출관의 타측 말단부는 이젝터에 연결되어 오존이 이젝터 내부로 유입되는 용수와 함께 이젝터 내부의 디퓨저 내부로 진입하여 용수에 용해되도록 하는 것을 특징으로 하는 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기.
An outer housing 100 in which a hollow 101 is formed, an ozone outlet 102 through which ozone is discharged is provided on one side of the upper end, and a sludge outlet 103 through which sludge and scum are discharged is provided on one side of the bottom;
The hollow 101, a production zone 111 on the lower side where plasma is generated, an upper residence zone 112 where ozone generated during plasma generation stays, and a discharge zone on the lower other side which is a passage through which sludge and scum are discharged. Partition walls 110 partitioned by 113;
A plasma generating unit 200 which is installed on the outer side of the outer housing 100 and the other is installed on the hollow 101 side to generate plasma; Consisting of, including
The plasma generating unit 200,
It is configured to include a discharge portion 240, a part of which is inserted into the vertical tube 214 and the other part of which is inserted into the discharge tube 220,
It is configured to include a bubble generator 250 connected to the lower portion of the discharge tube 220, the bubbles generated by the bubble generator 250 fills the interior of the production zone 111, and then rises to the discharge zone ( 113) so that the sludge and scum contained in the foam can be discharged to the outside.
In the ozone outlet 102,
One end portion of the ozone discharge pipe is connected, and the other end portion of the ozone discharge pipe is connected to an ejector to form a partition structure characterized in that ozone enters into the diffuser inside the ejector together with the water flowing into the ejector and dissolves in the water. Eggplant plasma generator.
제1항에 있어서,
상기 격벽(110)은,
상기 중공(101)에 설치되어,
상기 생성 구역(111)과 상기 배출 구역(113)의 면적을 8:2의 비율로 구획하고,
상기 중공(101)의 높이에 대하여 10:6의 비율로 길이가 형성되는 것을 특징으로 하는 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기.
According to claim 1,
The partition wall 110,
It is installed in the hollow 101,
The area of the production zone 111 and the discharge zone 113 is divided into a ratio of 8:2,
Plasma generator having a partition structure, characterized in that the length is formed in a ratio of 10:6 with respect to the height of the hollow (101).
제1항에 있어서,
상기 격벽(110)은,
상기 배출 구역(113)을 향하여 1 내지 30°의 기울기가 형성되는 것을 특징으로 하는 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기.
According to claim 1,
The partition wall 110,
Plasma generator having a partition structure, characterized in that a slope of 1 to 30 ° is formed toward the discharge zone (113).
제1항에 있어서,
상기 플라즈마 생성부(200)는,
내부에 수평의 제1 통로(211)가 형성되는 수평관(212)이 측부에 구비되고, 내부에 수직의 제3 통로(213)가 형성되는 수직관(214)이 하부에 구비되며, 상기 제1 통로(211) 및 상기 제3 통로(213)를 연통하는 ‘ㄱ’ 자형의 제2 통로(215)가 내부에 형성되며, 상단에 전압이 인가되는 인가부(216)가 구비되는 헤드부(201);
상단과 하단을 관통하는 제4 통로(221)가 내부에 형성되는 방전관(220);
상기 수직관(214)의 하부 일부가 삽입되는 제1 삽입로(231)가 내부의 상측에 형성되고, 상기 방전관(220)의 상부 일부가 삽입되는 제2 삽입로(232)가 내부의 하측에 형성되며, 상기 제1 삽입로(231)와 상기 제2 삽입로(232)를 연통하는 연통로(233)가 중단에 형성되는 연결부(230); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기.
According to claim 1,
The plasma generation unit 200,
A horizontal tube 212 in which a horizontal first passage 211 is formed is provided on the side, and a vertical tube 214 in which a vertical third passage 213 is formed is provided at the bottom, and the agent is The first passage 211 and the second passage 215 having an'A' shape communicating with the third passage 213 are formed therein, and a head portion provided with an application portion 216 to which a voltage is applied at the top ( 201);
A discharge tube 220 through which a fourth passage 221 penetrating the upper and lower ends is formed;
A first insertion path 231 into which the lower part of the vertical tube 214 is inserted is formed on the inside, and a second insertion path 232 into which the upper portion of the discharge tube 220 is inserted is on the lower side inside. It is formed, the first insertion path 231 and the communication path 233 communicating the second insertion path 232 is formed in the middle of the connection portion 230; Plasma generator having a partition structure, characterized in that comprises a.
제4항에 있어서,
상기 수직관(214)의 외부 측 중단 일부에는 나사산(217)이 형성되고,
상기 연결부(230)의 내부 측에는 상기 나사산(217)에 대응하는 나사홈(234)이 형성되는 것을 특징으로 하는 격벽 구조를 가지는 플라즈마 생성기.
According to claim 4,
A thread 217 is formed on a part of the outer side middle end of the vertical tube 214,
A plasma generator having a partition structure, characterized in that a thread groove 234 corresponding to the thread 217 is formed on the inner side of the connection part 230.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101425106B1 (en) * 2013-02-08 2014-08-01 주식회사 플라즈마코리아 Assembly of plasma generating portions for water treating apparatus

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001203099A (en) 2000-01-20 2001-07-27 Yac Co Ltd Plasma generator and plasma processing apparatus
KR100845285B1 (en) 2006-09-08 2008-07-09 삼성전자주식회사 Plasma Generating Apparatus and Plasma Generating Method
KR101111207B1 (en) 2009-05-20 2012-02-20 주식회사 에이피시스 Apparatus for generating plasma
KR20120086532A (en) * 2011-01-26 2012-08-03 (주)미리내 Wet type air cleaner using plasma treated water
KR20120118296A (en) * 2011-04-18 2012-10-26 (주)엔플라 Waste water treating system for plasma scrubber using micro bubble
KR101476644B1 (en) 2013-01-30 2014-12-26 주식회사 플라즈마코리아 Underwater plasma generation apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101425106B1 (en) * 2013-02-08 2014-08-01 주식회사 플라즈마코리아 Assembly of plasma generating portions for water treating apparatus

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