KR102131088B1 - Cylinder control apparatus and piston actuator apparatus - Google Patents

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KR102131088B1 KR1020180083848A KR20180083848A KR102131088B1 KR 102131088 B1 KR102131088 B1 KR 102131088B1 KR 1020180083848 A KR1020180083848 A KR 1020180083848A KR 20180083848 A KR20180083848 A KR 20180083848A KR 102131088 B1 KR102131088 B1 KR 102131088B1
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요시히로 마츠오카
다쿠야 다나하시
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시케이디 가부시키가이샤
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Abstract

제어 대상을 제어하기 위한 제어 구성을 콤팩트하게 할 수 있고, 제어 대상의 응답 시간을 단축시킬 수 있는 실린더 제어 장치 및 피스톤 액추에이터 장치를 제공한다.
실린더 제어 장치(3)의 CPU(51)는, 조작부(35)를 통해 입력된 시간마다의 조작 압력의 설정값을 접수하면, 그것에 기초하여 동작 패턴을 생성하고, EEPROM(54)에 기억시킨다. CPU(51)는, 조작부(35) 또는 상위 컨트롤러(9)에 의해, EEPROM(54)에 기억된 복수의 동작 패턴 중에서 있는 동작 패턴이 지정된 경우에, 지정된 동작 패턴을 EEPROM(54)으로부터 판독한다. 그리고, CPU(51)는, 판독된 동작 패턴에 따라, 시간마다의 조작 압력의 설정값에 실린더(17)의 조작 압력을 일치시키도록, 급배기부(8)를 제어함으로써, 피스톤 액추에이터 장치(1)의 동작을 피드 포워드 제어한다.A cylinder control device and a piston actuator device capable of compacting a control configuration for controlling a control object and shortening the response time of the control object.
When the CPU 51 of the cylinder control device 3 receives the set value of the operation pressure for each time input through the operation unit 35, an operation pattern is generated based on it and stored in the EEPROM 54. The CPU 51 reads the specified operation pattern from the EEPROM 54 when the operation pattern among the plurality of operation patterns stored in the EEPROM 54 is specified by the operation unit 35 or the host controller 9. . Then, the CPU 51 controls the supply/exhaust section 8 to match the operating pressure of the cylinder 17 to the set value of the operating pressure every hour according to the read operation pattern, thereby controlling the piston actuator device 1 ) To feed forward control.

Figure R1020180083848
Figure R1020180083848

Description

실린더 제어 장치 및 피스톤 액추에이터 장치{CYLINDER CONTROL APPARATUS AND PISTON ACTUATOR APPARATUS}Cylinder control device and piston actuator device {CYLINDER CONTROL APPARATUS AND PISTON ACTUATOR APPARATUS}

본 발명은 피스톤을 수용하는 실린더의 조작 압력을 제어하는 실린더 제어 장치 및 피스톤 액추에이터 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cylinder control device and a piston actuator device for controlling the operating pressure of a cylinder accommodating the piston.

예를 들어, 의약품 제조 라인에는, 에어 오퍼레이팅 밸브가 복수 배설되어 있다. 에어 오퍼레이팅 밸브는, 피스톤을 수용하는 실린더를 구비하고, 그 실린더에 조작 압력을 제어하기 위한 실린더 제어 장치가 접속되어 있다. 실린더 제어 장치에는, 예를 들어 전공 제어 밸브가 사용된다. 전공 제어 밸브는, 의약품 제조 공정을 관리하는 PLC(Progra㎜able Logic Controller) 등의 상위 컨트롤러에 통신 가능하게 접속되어 있다. 상위 컨트롤러는, 에어 오퍼레이팅 밸브의 2차측에 배치되는 2차 압센서에도 전기적으로 접속되어 있다.For example, a plurality of air operating valves are provided in a pharmaceutical production line. The air operating valve is provided with a cylinder for accommodating the piston, and a cylinder control device for controlling the operating pressure is connected to the cylinder. For the cylinder control device, a pneumatic control valve is used, for example. The electro-pneumatic control valve is communicatively connected to a host controller such as a PLC (Programmable Logic Controller) that manages the pharmaceutical manufacturing process. The upper controller is also electrically connected to the secondary pressure sensor disposed on the secondary side of the air operating valve.

상위 컨트롤러는, 2차 압센서에 의해 검출되는 2차 압력과 2차 압력의 설정값의 차압에 기초하여 조작 신호를 생성하고, 전공 제어 밸브에 송신한다. 전공 제어 밸브는, 조작 신호를 따라서 조작 유체를 실린더에 급배기함으로써, 실린더에 공급하는 조작 압력을 제어한다. 에어 오퍼레이팅 밸브는, 실린더의 조작 압력에 따라 피스톤이 실린더 내를 이동하고, 밸브 개방도를 변화시킨다.The upper level controller generates an operation signal based on the differential pressure of the secondary pressure and the set value of the secondary pressure detected by the secondary pressure sensor, and transmits it to the electro-pneumatic control valve. The electropneumatic control valve controls the operating pressure supplied to the cylinder by supplying and exhausting the operating fluid to the cylinder in accordance with the operating signal. In the air operating valve, the piston moves in the cylinder according to the operating pressure of the cylinder, and the valve opening degree is changed.

일본 특허 공개 제2011-134183호 공보Japanese Patent Publication No. 2011-134183

그러나, 종래의 에어 오퍼레이팅 밸브는, 상위 컨트롤러에 의해 밸브 개방도를 피드백 제어되어 있었기 때문에, 에어 오퍼레이팅 밸브의 2차측에 2차 압센서를 설치할 필요가 있었다. 그 때문에, 에어 오퍼레이팅 밸브를 제어하기 위한 제어 구성이 복잡하고 대형화되고 있었다.However, in the conventional air operating valve, since the valve opening degree is feedback-controlled by the host controller, it is necessary to provide a secondary pressure sensor on the secondary side of the air operating valve. Therefore, the control structure for controlling the air operating valve has been complicated and large.

또한, 에어 오퍼레이팅 밸브의 2차 압력은, 불안정하다. 그 때문에, 에어 오퍼레이팅 밸브의 밸브 개방도를 2차 압력에 기초하여 피드백 제어할 경우, 예를 들어 도 16에 도시되는 바와 같이, 전공 제어 밸브에 의해 제어되는 조작 압력이, 소정의 밸브 개방도에 대응하는 목표 압력에 대해 오버슈트를 반복하고, 응답 시간(Tx)이 길어지는 문제가 있었다. 도 16은, 피드백 제어 시의 조작 압력 변동을 도시하는 도면이며, 종축에 조작 압력(kPa)을 나타내고, 횡축에 시간(sec)을 나타낸다. 예를 들어, 의료품 제조 라인의 세정이나 멸균을 행하는 현장에서는, 정밀도가 피드백 제어보다 다소 열화되어도, 응답 시간(Tx)을 단축하여 세정 공정이나 멸균 공정의 효율화를 도모하고 싶다는 요구가 있었다.Further, the secondary pressure of the air operating valve is unstable. Therefore, in the case of feedback control of the valve opening degree of the air operating valve based on the secondary pressure, for example, as shown in FIG. 16, the operating pressure controlled by the electropneumatic control valve is applied to the predetermined valve opening degree. There was a problem that the overshoot was repeated for the corresponding target pressure and the response time (Tx) was increased. Fig. 16 is a diagram showing operating pressure fluctuations during feedback control, and shows the operating pressure (kPa) on the vertical axis and time (sec) on the horizontal axis. For example, in a field where cleaning or sterilization of a medical product manufacturing line is performed, there has been a request to shorten the response time (Tx) and improve the efficiency of the cleaning process or the sterilization process even if the precision is slightly deteriorated than the feedback control.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 제어 대상을 제어하기 위한 제어 구성을 콤팩트하게 할 수 있고, 제어 대상의 응답 시간을 단축시킬 수 있는 실린더 제어 장치 및 피스톤 액추에이터 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a cylinder control device and a piston actuator device that can compact a control configuration for controlling a control object and shorten the response time of the control object. do.

상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 본 발명의 일 양태는, 피스톤을 수용하는 실린더의 조작 압력을 제어하는 실린더 제어 장치에 있어서, 상기 실린더에 조작 유체를 급배기함으로써, 상기 조작 압력을 제어하는 급배기부와, 제어부와, 기억부와, 시간마다의 조작 압력의 설정값을 접수하는 접수부를 갖고, 상기 제어부는 상기 접수부를 통해 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값을 적어도 2점 접수하여 동작 패턴을 생성하고, 상기 기억부에 식별 가능하게 기억하는 동작 패턴 기억 처리와, 상기 기억부에 복수의 동작 패턴이 기억되는 경우이며, 또한, 상기 동작 패턴을 지정하는 지정 명령을 취득한 경우에, 상기 기억부에 기억되는 상기 복수의 동작 패턴 중에서, 상기 지정 명령에 대응하는 동작 패턴을 판독하는 동작 패턴 판독 처리와, 상기 동작 패턴 판독 처리에서 판독된 동작 패턴에 따라, 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값에 상기 조작 압력을 일치시키도록 상기 급배기부를 제어하는 제어 처리를 실행하는 것을 특징으로 한다.One aspect of the present invention made to solve the above problem is a cylinder control device for controlling the operating pressure of the cylinder for receiving the piston, by supplying and exhausting the operating fluid to the cylinder, the supply and exhaust unit for controlling the operating pressure , A control unit, a storage unit, and a reception unit that receives a set value of the operation pressure every hour, and the control unit receives at least two points of the set value of the operation pressure every hour through the reception unit to generate an operation pattern , The operation pattern storage process for identifiably storing in the storage unit, and the case where a plurality of operation patterns are stored in the storage unit, and further, when a designation command for designating the operation pattern is acquired, the storage unit stores Of the plurality of operation patterns, the operation pattern reading process for reading the operation pattern corresponding to the designated instruction and the operation pattern read in the operation pattern reading process are operated according to the set value of the operation pressure for each time. It is characterized in that a control process for controlling the supply/exhaust portion is made to match the pressure.

이와 같은 구성을 갖는 실린더 제어 장치는, 시간마다의 조작 압력 설정값을 규정하는 동작 패턴을 기억부에 미리 기억시켜 두고, 지정 명령을 취득하면, 그 지정 명령에 대응하는 동작 패턴을 기억부로부터 판독하고, 판독된 동작 패턴에 따라 급배기부를 제어함으로써, 제어 대상의 실린더 조작 압력을 제어한다. 제어 대상은, 실린더의 조작 압력에 따라 동작한다. 따라서, 실린더 제어 장치는, 기억부에 기억된 동작 패턴을 사용하여 제어 대상의 동작을 피드 포워드 제어하기 때문에, 제어 대상의 동작 상태를 검출하는 구성(예를 들어 2차 압센서 등)이 불필요해지고, 제어 대상을 제어하기 위한 제어 구성이 콤팩트해진다. 또한, 실린더 제어 장치는, 오버슈트를 반복하지 않고 조작 압력을 제어하므로, 제어 대상의 응답 시간을 단축시킬 수 있다.The cylinder control device having such a structure stores an operation pattern that defines the operating pressure setting value for each time in advance in a storage unit, and when a specified command is acquired, an operation pattern corresponding to the specified command is read from the storage unit Then, by controlling the supply/exhaust section according to the read operation pattern, the cylinder operating pressure of the control target is controlled. The control target operates according to the operating pressure of the cylinder. Therefore, since the cylinder control device feed-forwards control of the operation of the control object using an operation pattern stored in the storage unit, a configuration for detecting the operation state of the control object (for example, a secondary pressure sensor) becomes unnecessary. , The control configuration for controlling the control object becomes compact. In addition, since the cylinder control device controls the operating pressure without repeating the overshoot, the response time of the control target can be shortened.

또한, 상기 구성의 실린더 제어 장치는, 상기 제어 처리는, 상기 조작 압력을 상기 조작 압력의 설정값에 도달시키기 직전에서의 상기 피스톤의 이동 방향을 항상 동일하게 하도록, 상기 급배기부를 제어하는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 구성을 갖는 실린더 제어 장치에 의하면, 밸브 개방도를 크게 하는 경우와 밸브 개방도를 작게 하는 경우로 동일 조작 압력에서도 밸브 개방도가 상이하다는 사태를 피할 수 있다.In addition, the cylinder control device of the above configuration is characterized in that the control process controls the supply/exhaust portion so that the operating direction of the piston is always the same just before the operating pressure reaches the set value of the operating pressure. Is done. According to the cylinder control device having such a configuration, it is possible to avoid a situation in which the valve opening degree is different even at the same operating pressure when the valve opening degree is increased and the valve opening degree is decreased.

또한, 상기 구성의 실린더 제어 장치는, 조작부와 표시부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 조작부의 조작 내용을 상기 표시부에 표시시키는 표시 처리를 실행하고, 또한, 상기 동작 패턴 기억 처리에 의해, 상기 조작부를 통해 입력된 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값을 상기 접수부가 접수하는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 구성을 갖는 실린더 제어 장치에 의하면, 동작 패턴을 자체 장치만으로 기억할 수 있기 때문에, 제어 구성을 간소화할 수 있다.Further, the cylinder control device having the above-described configuration includes an operation unit and a display unit, and the control unit executes a display processing for displaying the operation contents of the operation unit on the display unit, and further, by the operation pattern storage processing, the operation unit It is characterized in that the receiving unit accepts a set value of the operating pressure for each time inputted through. According to the cylinder control device having such a configuration, since the operation pattern can be stored only with its own device, the control configuration can be simplified.

상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 본 발명의 다른 양태는, 실린더와, 상기 실린더에 수용되어, 상기 실린더 내의 조작 압력에 따라 상기 실린더 내를 미끄럼 이동하는 피스톤과, 상기 피스톤에 연결되어, 상기 피스톤의 이동에 따라 출력을 행하는 출력부와, 상기 실린더에 접속되는 실린더 제어 장치를 갖는 피스톤 액추에이터 장치에 있어서, 상기 실린더 제어 장치는, 상기 실린더에 조작 유체를 급배기함으로써, 상기 조작 압력을 제어하는 급배기부와, 제어부와, 기억부와, 시간마다의 조작 압력의 설정값을 접수하는 접수부를 갖고, 상기 제어부는, 상기 접수부를 통해 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값을 적어도 2점 접수하여 동작 패턴을 생성하고, 상기 기억부에 식별 가능하게 기억하는 동작 패턴 기억 처리와, 상기 기억부에 복수의 동작 패턴이 기억되는 경우이며, 또한, 상기 동작 패턴을 지정하는 지정 명령을 취득한 경우에, 상기 기억부에 기억되는 상기 복수의 동작 패턴 중에서 상기 지정 명령에 대응하는 동작 패턴을 판독하는 동작 패턴 판독 처리와, 상기 동작 패턴 판독 처리로 판독된 동작 패턴에 따라, 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값에 상기 조작 압력을 일치시키도록 상기 급배기부를 제어하는 제어 처리를 실행하는 것을 특징으로 한다.Another aspect of the present invention made to solve the above problems is a cylinder, a piston accommodated in the cylinder, and slid in the cylinder according to the operating pressure in the cylinder, and connected to the piston to move the piston In the piston actuator device having an output unit which outputs in accordance with the output, and a cylinder control device connected to the cylinder, the cylinder control device supplies and discharges the operating fluid to and from the cylinder, thereby controlling the operating pressure. , A control unit, a storage unit, and a reception unit for receiving a set value of the operation pressure every hour, and the control unit receives at least two points of the set value of the operation pressure every hour through the reception unit to generate an operation pattern In this case, the operation pattern storage processing for identifiably storing in the storage unit and a plurality of operation patterns are stored in the storage unit, and further, when a designation command for designating the operation pattern is acquired, the storage unit According to the operation pattern reading process for reading the operation pattern corresponding to the designated command from among the plurality of operation patterns stored, and the operation pattern read in the operation pattern reading process, the operation is set to the set value of the operation pressure for each time. It is characterized in that a control process for controlling the supply/exhaust portion is made to match the pressure.

이와 같은 구성을 갖는 피스톤 액추에이터 장치는, 실린더 제어 장치가, 시간마다의 조작 압력 설정값을 규정하는 동작 패턴을 기억부에 미리 기억시켜 두고, 지정 명령을 취득하면, 그 지정 명령에 대응하는 동작 패턴을 기억부로부터 판독하고, 판독된 동작 패턴에 따라 급배기부를 제어함으로써, 실린더의 조작 압력이 제어된다. 피스톤 액추에이터 장치는, 실린더의 조작 압력에 따라 피스톤이 이동하고, 출력부의 출력이 조정된다. 따라서, 피스톤 액추에이터 장치는, 실린더 제어 장치가 기억부에 기억된 동작 패턴을 사용하여 출력부의 출력을 피드 포워드 제어하기 때문에, 출력부의 출력을 검출하는 구성(예를 들어 2차 압센서 등)이 불필요해지고, 피스톤 액추에이터 장치를 제어하기 위한 제어 구성이 콤팩트해진다. 또한, 피스톤 액추에이터 장치는, 실린더 제어 장치에 의해 오버슈트를 반복하지 않고 조작 압력이 제어되므로, 응답 시간이 단축된다.In the piston actuator device having such a configuration, when the cylinder control device stores an operation pattern defining an operating pressure setting value for each hour in advance in a storage unit, and acquires a designated command, an operation pattern corresponding to the designated command The operating pressure of the cylinder is controlled by reading from the storage unit and controlling the supply/exhaust unit according to the read operation pattern. In the piston actuator device, the piston moves according to the operating pressure of the cylinder, and the output of the output section is adjusted. Therefore, in the piston actuator device, since the cylinder control device feed-forwards the output of the output unit using the operation pattern stored in the storage unit, a configuration for detecting the output of the output unit (for example, a secondary pressure sensor) is unnecessary. And the control configuration for controlling the piston actuator device becomes compact. In addition, the piston actuator device controls the operating pressure without repeating the overshoot by the cylinder control device, so that the response time is shortened.

따라서, 본 발명에 따르면, 제어 대상을 제어하기 위한 제어 구성을 콤팩트하게 할 수 있고, 제어 대상의 응답 시간을 단축시킬 수 있는 실린더 제어 장치 및 피스톤 액추에이터 장치를 제공할 수 있다.Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a cylinder control device and a piston actuator device capable of making the control configuration for controlling the control object compact and reducing the response time of the control object.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 피스톤 액추에이터 장치의 정면도이다.
도 2는 도 1의 AA 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 피스톤 액추에이터 장치의 좌측면도이다.
도 4는 전공 제어 밸브의 개략 구성도이다.
도 5는 제1 동작 패턴을 도시하는 도면이다.
도 6은 제2 동작 패턴을 도시하는 도면이다.
도 7은 제3 동작 패턴을 도시하는 도면이다.
도 8은 제4 동작 패턴을 도시하는 도면이다.
도 9는 티칭 동작의 제어 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 10은 티칭 동작을 설명하는 도면이다.
도 11은 동작 패턴 제작의 이미지도이다.
도 12는 동작 패턴 제작의 이미지도이다.
도 13은 상위 컨트롤러를 사용한 가동 시의 제어 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 14는 의료품 제조 라인의 일례를 도시하는 도면이다.
도 15는 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 피스톤 액추에이터 장치를 도시하는 단면도이다.
도 16은 피드백 제어 시의 조작 압력 변동을 도시하는 도면이다.1 is a front view of a piston actuator device according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1.
3 is a left side view of the piston actuator device shown in FIG. 1.
4 is a schematic configuration diagram of an electropneumatic control valve.
5 is a view showing a first operation pattern.
6 is a view showing a second operation pattern.
7 is a view showing a third operation pattern.
8 is a view showing a fourth operation pattern.
9 is a flowchart showing the control procedure of the teaching operation.
It is a figure explaining a teaching operation.
11 is an image diagram of operation pattern production.
12 is an image diagram of operation pattern production.
13 is a flowchart showing a control procedure at the time of operation using the upper controller.
14 is a view showing an example of a medical product manufacturing line.
15 is a cross-sectional view showing a piston actuator device according to a second embodiment of the present invention.
Fig. 16 is a diagram showing operating pressure fluctuations during feedback control.

이하에, 본 발명에 관한 실린더 제어 장치 및 피스톤 액추에이터 장치의 실시 형태에 대해 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of the cylinder control apparatus and piston actuator apparatus which concerns on this invention is demonstrated based on drawing.

A. 제1 실시 형태A. First embodiment

(피스톤 액추에이터 장치의 구성)(Configuration of piston actuator device)

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 피스톤 액추에이터 장치(1)의 정면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 실시 형태의 피스톤 액추에이터 장치(1)(이하 「액추에이터 장치(1)」이라고 약기함)는, 에어 오퍼레이팅 밸브이다. 액추에이터 장치(1)는, 보디(10)에 실린더(17)가 연결되어 있다. 실린더(17)에는, 실린더 제어 장치(3)(이하 「제어 장치(3)」이라고 약기함)가 일체적으로 장착되어 있다. 본 형태에서는, 전공 제어 밸브를 제어 장치(3)에 사용하고 있다.1 is a front view of a piston actuator device 1 according to a first embodiment of the present invention. As shown in Fig. 1, the piston actuator device 1 of the first embodiment (hereinafter abbreviated as "actuator device 1") is an air operating valve. In the actuator device 1, a cylinder 17 is connected to the body 10. A cylinder control device 3 (hereinafter abbreviated as "control device 3") is integrally mounted to the cylinder 17. In this embodiment, the electro-pneumatic control valve is used for the control device 3.

도 2는, 도 1의 AA 단면도이다. 보디(10)는, 유로 블록(11)과 연결 블록(15)을 다이어프램(16)을 통해 나사로 연결함으로써, 구성되어 있다. 유로 블록(11)은, 제1 입출력 포트(12)와 제2 입출력 포트(13) 사이에 밸브 시트(14)가 설치되어 있다. 다이어프램(16)은, 밸브 시트(14)와 대향하여 배치되고, 외연부가 유로 블록(11)과 연결 블록(15) 사이에서 끼움 지지되어 있다. 연결 블록(15)은, 통형으로 설치되고, 실린더(17)에 장착 나사에 의해 고정되어 있다.FIG. 2 is an AA sectional view of FIG. 1. The body 10 is configured by connecting the flow path block 11 and the connection block 15 with screws through the diaphragm 16. In the flow path block 11, a valve seat 14 is provided between the first input/output port 12 and the second input/output port 13. The diaphragm 16 is disposed to face the valve seat 14, and the outer edge portion is sandwiched between the flow path block 11 and the connection block 15. The connecting block 15 is provided in a cylindrical shape, and is fixed to the cylinder 17 by mounting screws.

실린더(17)는, 실린더실(18)에 피스톤(19)이 미끄럼 이동 가능하게 장전되어 있다. 실린더실(18)은, 피스톤(19)을 통해 제1실(18a)과 제2실(18b)에 기밀하게 구획되어 있다. 구동축(20)은, 피스톤(19)과 일체로 설치되어 있다. 구동축(20)은, 출력부의 일례이다. 구동축(20)의 하단부는, 연결 블록(15) 내에 돌출되어, 연결 블록(15)에 슬라이드 가능하게 배치된 결합 부재(21)에 연결되어 있다. 결합 부재(21)에는, 다이어프램(16)이 장착되어 있다. 따라서, 다이어프램(16)은, 피스톤(19)이 실린더(17) 내를 이동하는 데 따라서 밸브 시트(14)에 맞닿거나 또는 이격된다.In the cylinder 17, the piston 19 is slidably loaded in the cylinder chamber 18. The cylinder chamber 18 is airtightly divided into the first chamber 18a and the second chamber 18b through the piston 19. The drive shaft 20 is integrally provided with the piston 19. The drive shaft 20 is an example of an output unit. The lower end of the drive shaft 20 protrudes in the connection block 15 and is connected to a coupling member 21 slidably disposed in the connection block 15. The diaphragm 16 is attached to the coupling member 21. Accordingly, the diaphragm 16 abuts or spaces the valve seat 14 as the piston 19 moves within the cylinder 17.

압축 스프링(22)은, 제1실(18a)에 압축 설치되어, 피스톤(19)과 구동축(20)과 결합 부재(21)를 통해 다이어프램(16)에 밸브 폐지력을 부여한다. 실린더(17)는, 제2실(18b)이 조작 포트(23)(도 4 참조)를 통해 제어 장치(3)에 연통하고, 조작 유체가 급배기된다. 따라서, 액추에이터 장치(1)는, 압축 스프링(22)의 스프링력과 제2실(18b)의 내압의 밸런스에 따라 밸브 개방도가 조정된다. 즉, 압축 스프링(22)의 스프링력이 제2실(18b)의 내압보다 큰 경우에는, 액추에이터 장치(1)는 완전 폐쇄 상태가 된다. 한편, 제2실(18b)의 내압이 압축 스프링(22)의 스프링력보다 큰 경우에는, 그 편차에 따라 다이어프램(16)이 밸브 시트(14)로부터 이격된다.The compression spring 22 is compressedly installed in the first chamber 18a to provide a valve closing force to the diaphragm 16 through the piston 19, the drive shaft 20, and the coupling member 21. In the cylinder 17, the second chamber 18b communicates with the control device 3 through the operation port 23 (see FIG. 4), and the operation fluid is supplied and discharged. Therefore, the valve opening degree of the actuator device 1 is adjusted according to the balance of the spring force of the compression spring 22 and the internal pressure of the second chamber 18b. That is, when the spring force of the compression spring 22 is greater than the internal pressure of the second chamber 18b, the actuator device 1 is in a completely closed state. On the other hand, when the internal pressure of the second chamber 18b is greater than the spring force of the compression spring 22, the diaphragm 16 is spaced from the valve seat 14 according to the deviation.

도 3은, 도 1에 도시하는 액추에이터 장치(1)의 좌측면도이다. 제어 장치(3)는, 하우징(30)에 표시부(31)와 조작부(35)가 설치되어 있다. 본 형태의 표시부(31)는, 4자리 7 세그먼트 LED에 의해 구성되어 있다. 또한, 본 형태의 조작부(35)는, 제1 키(32)와, 제2 키(33)와, 제3 키(34)를 구비한다. 제1 키 내지 제3 키(32 내지 34)는 누름식의 스위치에 의해 구성되어 있다.3 is a left side view of the actuator device 1 shown in FIG. 1. The control device 3 is provided with a display portion 31 and an operation portion 35 in the housing 30. The display part 31 of this form is comprised with the 4-digit 7-segment LED. Moreover, the operation part 35 of this form is provided with the 1st key 32, the 2nd key 33, and the 3rd key 34. The first to third keys 32 to 34 are constituted by a push-type switch.

(전공 제어 밸브의 구성)(Composition of electro-pneumatic control valve)

도 4는, 제어 장치(3)의 개략 구성도이다. 제어 장치(3)는, 제1 포트(36)와, 제2 포트(37)와, 제3 포트(38)를 구비한다. 제1 포트(36)는, 조작 유체 공급원(60)에 접속되어 있다. 제2 포트(37)는, 실린더(17)에 개설된 조작 포트(23)에 접속되어 있다. 제3 포트(38)는, 대기에 개방되어 있다. 또한, 제어 장치(3)는, 입력 단자(45)를 구비한다. 입력 단자(45)는, 제1 키(32)와 제2 키(33)와 제3 키(34)에 접속되어 있다.4 is a schematic configuration diagram of the control device 3. The control device 3 includes a first port 36, a second port 37, and a third port 38. The first port 36 is connected to the operating fluid supply source 60. The second port 37 is connected to the operation port 23 opened in the cylinder 17. The third port 38 is open to the atmosphere. In addition, the control device 3 includes an input terminal 45. The input terminal 45 is connected to the first key 32, the second key 33, and the third key 34.

제어 장치(3)는, 컨트롤러(4)와, 공급용 전자기 밸브(5)와, 배기용 전자기 밸브(6)와, 압력 센서(7)가 내부 설치되어 있다.The control device 3 is provided with a controller 4, an electromagnetic valve 5 for supply, an electromagnetic valve 6 for exhaust, and a pressure sensor 7 inside.

공급용 전자기 밸브(5)는, 제1 포트(36)와 제2 포트(37)를 접속하는 제1 유로(L1) 위에 배치되어 있다. 배기용 전자기 밸브(6)는, 공급용 전자기 밸브(5)와 제2 포트(37) 사이의 접속점(P1)에 있어서 제1 유로(L1)로부터 분기하여 제3 포트(38)에 접속되는 제2 유로(L2) 위에 배치되어 있다. 압력 센서(7)는, 제1 유로(L1) 에 대해, 접속점(P1)과 제2 포트(37) 사이에 배치되고, 제2실(18b)의 내압을 검출한다. 즉, 압력 센서(7)는, 제어 장치(3)에 의해 제어되는 실린더(17)의 조작 압력을 검출한다.The supply electromagnetic valve 5 is disposed on the first flow path L1 connecting the first port 36 and the second port 37. The electromagnetic valve 6 for exhaust is branched from the first flow path L1 at the connection point P1 between the electromagnetic valve 5 for supply and the second port 37, and is connected to the third port 38. It is arranged on the two flow paths L2. The pressure sensor 7 is arrange|positioned between the connection point P1 and the 2nd port 37 with respect to the 1st flow path L1, and detects the internal pressure of the 2nd chamber 18b. That is, the pressure sensor 7 detects the operating pressure of the cylinder 17 controlled by the control device 3.

컨트롤러(4)는, 마이컴 제어부(41)에, 통신 인터페이스부(42)와, 압력 제어부(43)와, 입출력부(44)가 전기적으로 접속되어 있다. 통신 인터페이스부(42)와 입출력부(44)는, 접수부의 일례이다.In the controller 4, the communication interface unit 42, the pressure control unit 43, and the input/output unit 44 are electrically connected to the microcomputer control unit 41. The communication interface unit 42 and the input/output unit 44 are examples of the reception unit.

통신 인터페이스부(42)는, 상위 컨트롤러(9) 등의 외부 기기와의 통신을 제어하기 위한 하드웨어이다. 통신 방법은, 유선이거나 무선이어도 된다.The communication interface unit 42 is hardware for controlling communication with external devices such as the upper controller 9. The communication method may be wired or wireless.

입출력부(44)는, 신호의 입출력을 제어하기 위한 하드웨어이다. 입출력부(44)는, 입력 단자(45)를 통해 제1 키 내지 제3 키(32 내지 34)에 접속되어 있다. 입출력부(44)는, 제1 키 내지 제3 키(32 내지 34)의 입력 조작을 전기 신호로서 수신한다. 또한, 입출력부(44)는, 표시부(31)에 접속되어 있다. 입출력부(44)는, 표시부(31)의 표시 내용을 제어하기 위한 표시 신호를 표시부(31)에 송신한다.The input/output unit 44 is hardware for controlling input/output of signals. The input/output unit 44 is connected to the first to third keys 32 to 34 through the input terminal 45. The input/output unit 44 receives input operations of the first to third keys 32 to 34 as electrical signals. In addition, the input/output unit 44 is connected to the display unit 31. The input/output unit 44 transmits a display signal for controlling the display content of the display unit 31 to the display unit 31.

마이컴 제어부(41)는, CPU(51)와, ROM(52)와, RAM(53)와, EEPROM(electrically erasable and progra㎜able read-only memory)(54)을 구비한다. CPU(51)는, 제어부의 일례이다. EEPROM(54)는, 기억부의 일례이다.The microcomputer control unit 41 includes a CPU 51, a ROM 52, a RAM 53, and an electrically erasable and programmable read-only memory (EEPROM) 54. The CPU 51 is an example of a control unit. The EEPROM 54 is an example of a storage unit.

ROM(52)에는, 제어 장치(3)를 제어하기 위한 각종 제어 프로그램이나 각종 설정, 초기값 등이 기억되어 있다. RAM(53) 및 EEPROM(54)은, 각종 제어 프로그램이 판독되는 작업 영역으로서, 혹은, 데이터를 일시적으로 기억하는 기억 영역으로서 이용된다.In the ROM 52, various control programs for controlling the control device 3, various settings, initial values, and the like are stored. The RAM 53 and the EEPROM 54 are used as a work area in which various control programs are read, or as a storage area for temporarily storing data.

CPU(51)는, ROM(52)으로부터 판독한 제어 프로그램을 따라, 그 처리 결과를 RAM(53) 또는 EEPROM(54)에 기억시키면서, 제어 장치(3)의 각 구성 요소를 제어한다.The CPU 51 controls each component of the control device 3 while storing the result of the processing in the RAM 53 or the EEPROM 54 in accordance with the control program read from the ROM 52.

EEPROM(54)은, 1 또는 2 이상의 동작 패턴을 기억하고 있다. 여기서, 동작 패턴이란, 예를 들어 도 5 내지 도 8에 도시되는 바와 같이, 시간마다의 조작 압력의 설정값을 규정하는 것을 의미한다. 여기서, 도 5 내지 도 8은, 제1 동작 내지 제4 동작 패턴을 도시하는 도면이며, 각각 종축에 조작 압력(kPa)을 나타내고, 횡축에 시간(sec)을 나타낸다.The EEPROM 54 stores one or two or more operation patterns. Here, the operation pattern means, for example, as shown in FIGS. 5 to 8, it defines a set value of the operating pressure for each time. Here, FIGS. 5 to 8 are diagrams showing the first to fourth operation patterns, each showing an operating pressure (kPa) on the vertical axis, and time (sec) on the horizontal axis.

도 4에 도시하는 EEPROM(54)은, 제어 장치(3)가 실행 가능한 기능을, 기능 식별 번호에 관련지어서 기억하고 있다. 기능에는, 동작 패턴을 기억하는 제1 기능과, 동작 패턴에 따라, 제어 대상이 되는 액추에이터 장치(1)의 동작을 제어하는 제2 기능이 포함된다.The EEPROM 54 shown in FIG. 4 stores functions executable by the control device 3 in association with a function identification number. The function includes a first function for storing an operation pattern and a second function for controlling the operation of the actuator device 1 to be controlled according to the operation pattern.

압력 제어부(43)는, 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)와 압력 센서(7)에 접속되어 있다. 압력 제어부(43)는, 마이컴 제어부(41)로부터 시간마다 조작 압력의 설정값을 입력하고, 압력 센서(7)가 검출하는 조작 압력을 조작 압력의 설정값에 일치시키도록, 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)의 동작을 제어한다.The pressure control part 43 is connected to the electromagnetic valve 5 for supply, the electromagnetic valve 6 for exhaust, and the pressure sensor 7. The pressure control unit 43 inputs a set value of the operation pressure from the microcomputer control unit 41 every time, and supplies the electromagnetic valve for supply so that the operation pressure detected by the pressure sensor 7 matches the set value of the operation pressure ( 5) and the operation of the electromagnetic valve 6 for exhaust control.

예를 들어, 압력 제어부(43)는, 마이컴 제어부(41)로부터 수신된 조작 압력 설정값보다도 압력 센서(7)로부터 수신된 조작 압력 검출값의 쪽이 작은 경우에는, 공급용 전자기 밸브(5)를 개방하고, 배기용 전자기 밸브(6)를 폐쇄함으로써, 제2 포트(37)를 제1 포트(36)에 연통시켜, 조작 포트(23)에 조작 유체를 공급한다. 이에 의해, 제2실(18b)의 내압(조작 압력)이 상승하고, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도가 커진다.For example, when the pressure of the operation pressure detection value received from the pressure sensor 7 is smaller than the operation pressure set value received from the microcomputer control unit 41, the pressure control unit 43 supplies the electromagnetic valve 5 for supply. By opening and closing the electromagnetic valve 6 for exhaust, the second port 37 is communicated with the first port 36, and the operating fluid is supplied to the operating port 23. Thereby, the internal pressure (operating pressure) of the second chamber 18b increases, and the valve opening degree of the actuator device 1 increases.

또한 예를 들어, 압력 제어부(43)는, 마이컴 제어부(41)로부터 수신된 조작 압력 설정값보다도 압력 센서(7)로부터 수신된 조작 압력 검출값의 쪽이 큰 경우에는, 배기용 전자기 밸브(6)를 개방하고, 공급용 전자기 밸브(5)를 폐쇄함으로써, 제2 포트(37)를 제3 포트(38)에 연통시켜, 제2실(18b)의 조작 유체를 배기한다. 이에 따라, 제2실(18b)의 내압(조작 압력)이 저하되고, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도가 작아진다. 또한, 압력 제어부(43)와 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)와 압력 센서(7)는, 급배기부(8)를 구성한다.In addition, for example, when the pressure of the operating pressure detected from the pressure sensor 7 is greater than the operating pressure set value received from the microcomputer control unit 41, the pressure control unit 43 is configured with an electromagnetic valve 6 for exhaust. ) Is opened and the electromagnetic valve 5 for supply is closed, so that the second port 37 is communicated with the third port 38, and the operating fluid in the second chamber 18b is exhausted. Thereby, the internal pressure (operation pressure) of the 2nd chamber 18b falls, and the valve opening degree of the actuator device 1 becomes small. Moreover, the pressure control part 43, the electromagnetic valve 5 for supply, the electromagnetic valve 6 for exhaust, and the pressure sensor 7 constitute the supply/exhaust part 8.

(티칭 동작의 개요)(Overview of teaching action)

계속해서, 티칭 동작의 개요를 설명한다. 예를 들어, 유저는, 제어 장치(3)의 조작부(35)를 통해, 시간마다의 조작 압력의 설정값을 적어도 2점 입력한다. 제어 장치(3)는, 조작부(35)에 입력된 시간마다의 조작 압력의 설정값에 기초하여 동작 패턴을 작성하여, 기억한다. 유저는, 시간마다의 조작 압력의 설정값을 바꿈으로써, 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같은 복수의 동작 패턴을, 제어 장치(3)에 기억시킬 수 있다.Next, an outline of the teaching operation will be described. For example, the user inputs at least two set values of the operating pressure every hour through the operation unit 35 of the control device 3. The control device 3 creates and stores an operation pattern based on the set value of the operation pressure for each time input to the operation unit 35. The user can store the plurality of operation patterns as shown in Figs. 5 to 8 in the control device 3 by changing the set value of the operating pressure every hour.

액추에이터 장치(1)는, 유저가 조작부(35)를 통해 동작 패턴을 지정하면, 제어 장치(3)가, 지정된 동작 패턴을 판독하고, 판독된 동작 패턴을 따라서 실린더(17)의 조작 압력을 제어한다. 액추에이터 장치(1)는, 실린더(17)에 공급되는 조작 압력에 따라, 밸브 개방도를 변화시킨다.In the actuator device 1, when the user designates an operation pattern through the operation unit 35, the control device 3 reads the designated operation pattern and controls the operating pressure of the cylinder 17 according to the read operation pattern do. The actuator device 1 changes the valve opening degree according to the operating pressure supplied to the cylinder 17.

또한, 액추에이터 장치(1)는 제어 장치(3)에 상위 컨트롤러(9)가 접속된 경우에는, 상위 컨트롤러(9)에 의해 동작 패턴이 지정된다. 이 경우도, 액추에이터 장치(1)는, 상기와 동일하게 하여, 지정된 동작 패턴을 따라서 조작 압력이 제어되고, 밸브 개방도를 변화시킨다.In addition, when the upper controller 9 is connected to the control device 3, the actuator device 1 is assigned an operation pattern by the upper controller 9. Also in this case, in the same manner as described above, the actuator device 1 controls the operating pressure along the specified operation pattern and changes the valve opening degree.

이와 같이, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도는, 상위 컨트롤러(9)에 의해 피드백 제어되는 것이 아니고, 제어 장치(3)가 EEPROM(54)에 미리 기억된 동작 패턴을 따라서 실린더(17)의 조작 압력을 제어함으로써, 피드 포워드 제어된다. 따라서, 본 형태의 액추에이터 장치(1)는, 실린더(17)의 조작 압력이 조작 압력의 설정값(목표 압력)에 대해 오버슈트가 반복되는 것을 피하고, 응답 시간을 단축할 수 있다. 또한, 종래 기술과 같이 액추에이터 장치(1)의 2차측에 2차 압센서를 배치할 필요가 없으므로, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도를 제어하기 위한 제어 구성을 간소화하여 콤팩트하게 할 수 있다.Thus, the valve opening degree of the actuator device 1 is not feedback-controlled by the host controller 9, but the control device 3 follows the operation pattern stored in the EEPROM 54 in advance by the cylinder 17. By controlling the operating pressure, feed forward is controlled. Therefore, the actuator device 1 of this aspect can avoid the overshoot of the operation pressure of the cylinder 17 against the set value (target pressure) of the operation pressure, and can shorten the response time. In addition, since it is not necessary to arrange the secondary pressure sensor on the secondary side of the actuator device 1 as in the prior art, it is possible to simplify and compact the control configuration for controlling the valve opening degree of the actuator device 1.

(티칭 동작의 제어 수순)(Control procedure for teaching operation)

계속해서, 티칭 동작의 제어 수순에 대해 설명한다. 마이컴 제어부(41)의 CPU(51)는, 조작부(35)가 조작된 것을 계기로, 도 9에 나타내는 처리를 실행한다.Next, the control procedure of the teaching operation will be described. The CPU 51 of the microcomputer control unit 41 executes the processing shown in Fig. 9, based on the operation of the operation unit 35.

먼저, 동작 패턴을 기억하는 제어 수순에 대해, 도 9 및 도 10을 참조하여 설명한다. 도 9는, 티칭 동작의 제어 수순을 나타내는 흐름도이다. 도 10은, 티칭 동작을 설명하는 도면이다. 또한, 도 10에서는, 설명의 편의상, 화면의 가로에 단위를 적절히 기재하고 있다.First, the control procedure for storing the operation pattern will be described with reference to FIGS. 9 and 10. 9 is a flowchart showing the control procedure of the teaching operation. It is a figure explaining a teaching operation. In addition, in FIG. 10, for convenience of description, the unit is appropriately described on the horizontal side of the screen.

CPU(51)는, 조작부(35)의 제1 키 내지 제3 키(32 내지 34) 중 어느 것이 눌러지면, 도 9의 흐름도에 도시되는 바와 같이, 기능 일람 화면(71)(도 10 참조)을 표시부(31)에 표시시킨다(스텝 1, 이하 「S1」로 함). 도 10의 X1에 나타내는 바와 같이, 기능 일람 화면(71)에는, 최초, 초기값이 표시된다. 유저가 제2 키(33) 또는 제3 키(34)를 누르면, CPU(51)는, 그 입력 조작을 입출력부(44)를 통해 접수하고, EEPROM(54)에 기억되어 있는 기능 식별 번호를 1개 판독한다. 그리고, CPU(51)는, 판독된 기능 식별 번호를 표시하는 것을 지시하는 표시 신호를, 입출력부(44)를 통해 표시부(31)에 송신한다. 이에 따라, 도 10의 X2로 나타내는 바와 같이, 기능 일람 화면(71)에는, 예를 들어 기능 식별 번호 「F1」이 표시된다. 기능 식별 번호는, 유저가 제2 키(33) 또는 제3 키(34)를 누르는 것에 따라서 변경된다.When any of the first to third keys 32 to 34 of the operation unit 35 is pressed on the CPU 51, as shown in the flowchart of Fig. 9, the function list screen 71 (see Fig. 10) Is displayed on the display unit 31 (step 1, hereinafter referred to as "S1"). As shown in X1 in FIG. 10, the initial and initial values are displayed on the function list screen 71. When the user presses the second key 33 or the third key 34, the CPU 51 accepts the input operation through the input/output unit 44, and receives the function identification number stored in the EEPROM 54. 1 read. Then, the CPU 51 transmits a display signal instructing to display the read function identification number to the display unit 31 through the input/output unit 44. Accordingly, as indicated by X2 in FIG. 10, the function identification number "F1" is displayed on the function list screen 71, for example. The function identification number changes according to the user pressing the second key 33 or the third key 34.

도 9에 도시되는 바와 같이, CPU(51)는, 기능이 선택되었는지 여부를 판단한(S2). CPU(51)는, 제1 키(32)가 눌러지지 않는 경우에는, 기능이 선택되어 있지 않다고 판단한다(S2: "아니오"). 이 경우, CPU(51)는, 소정 시간이 경과했는지 여부를 판단한다(S24). 소정 시간이 경과할 때까지는(S24: "아니오"), CPU(51)는, 기능 일람 화면(71)을 표시한 상태에서 제1 키(32)가 눌러지는 것을 기다린다. 한편, 제1 키(32)를 누르지 않고, 소정 시간이 경과한 경우에는(S24: "예"), CPU(51)는, 도 9에 나타내는 제어를 종료한다. 이에 따라, 액추에이터 장치(1)가 기능이 선택되지 않는 상태로 방치되는 것을 피할 수 있다.As shown in Fig. 9, the CPU 51 judges whether or not a function is selected (S2). When the first key 32 is not pressed, the CPU 51 determines that the function is not selected (S2: "No"). In this case, the CPU 51 determines whether or not a predetermined time has elapsed (S24). Until the predetermined time has elapsed (S24: NO), the CPU 51 waits for the first key 32 to be pressed while the function list screen 71 is displayed. On the other hand, when the predetermined time has elapsed without pressing the first key 32 (S24: YES), the CPU 51 ends the control shown in FIG. Accordingly, it is possible to avoid the actuator device 1 from being left unselected.

유저가 소정 시간 내에 제1 키(32)를 누르면, CPU(51)는 기능이 선택되었다고 판단한다(S2: "예"). 그리고, CPU(51)는, 선택된 기능이 제1 기능이거나 제2 기능인지를 판단한다(S3). 제1 기능을 나타내는 기능 식별 번호가 표시부(31)에 표시되어 있을 때, 유저가 제1 키(32)를 눌렀을 경우에는, CPU(51)는, 제1 기능이 선택되었다고 판단한다(S3: 제1 기능). 이 경우, CPU(51)는, 입출력부(44)를 통해, 프리셋 번호 설정 화면(73)(도 10 참조)을 표시하는 것을 지시하는 표시 신호를 표시부(31)에 송신하고, 프리셋 번호 설정 화면(73)을 표시부(31)에 표시시킨다(S4). 도 10에 도시되는 바와 같이, 프리셋 번호 설정 화면(73)에는, 기능 식별 번호(도면 중 X3)와 프리셋 번호(도면 중 X4)가 표시된다. 프리셋 번호란, 동작 패턴을 식별하기 위한 식별 정보이다. 본 형태에서는, 예를 들어 동작 패턴을 8개까지 기억할 수 있고, 각 동작 패턴에 「P1」 내지 「P8」의 프리셋 번호가 부여된다. CPU(51)는, 유저가 제2 키(33) 또는 제3 키(34)를 누르는 것에 따라서 프리셋 번호(도면 중 X4)를 변경한다.When the user presses the first key 32 within a predetermined time, the CPU 51 determines that the function has been selected (S2: "Yes"). Then, the CPU 51 determines whether the selected function is the first function or the second function (S3). When the function identification number indicating the first function is displayed on the display unit 31, when the user presses the first key 32, the CPU 51 determines that the first function is selected (S3: No. 1 function). In this case, the CPU 51 transmits to the display unit 31 a display signal instructing to display the preset number setting screen 73 (see FIG. 10) through the input/output unit 44, and the preset number setting screen. (73) is displayed on the display unit 31 (S4). As shown in Fig. 10, on the preset number setting screen 73, a function identification number (X3 in the drawing) and a preset number (X4 in the drawing) are displayed. The preset number is identification information for identifying the operation pattern. In this embodiment, for example, up to eight operation patterns can be stored, and preset numbers "P1" to "P8" are assigned to each operation pattern. The CPU 51 changes the preset number (X4 in the figure) according to the user pressing the second key 33 or the third key 34.

도 9에 도시되는 바와 같이, CPU(51)는, 유저가 제1 키(32)를 누를 때까지, 프리셋 번호를 설정하지 않는다(S5: "아니오"). 한편, CPU(51)는, 유저가 제1 키(32)를 누르면, 프리셋 번호 설정 화면(73)에 표시되어 있는 프리셋 번호를 RAM(53)에 기억시킴으로써, 프리셋 번호를 설정한다(S5: "예"). 그러면, CPU(51)는, 프리셋 번호 결정 화면(74)의 표시를 지시하는 표시 신호를 표시부(31)에 송신하고, 프리셋 번호 결정 화면(74)을 표시부(31)에 표시시킨다(S6). 도 10의 X5로 표시되는 바와 같이, 프리셋 번호 결정 화면(74)은, 기능 식별 번호가 표시되지 않고, 설정된 프리셋 번호만이 표시된다.As shown in Fig. 9, the CPU 51 does not set the preset number until the user presses the first key 32 (S5: "No"). On the other hand, the CPU 51 sets the preset number by storing the preset number displayed on the preset number setting screen 73 in the RAM 53 when the user presses the first key 32 (S5: " Yes"). Then, the CPU 51 transmits a display signal instructing the display of the preset number determination screen 74 to the display unit 31 and causes the display unit 31 to display the preset number determination screen 74 (S6). As indicated by X5 in FIG. 10, the preset number determination screen 74 does not display the function identification number, and only the preset number set.

다음에, 도 9에 도시되는 바와 같이, CPU(51)는, 초기 압력 입력 화면(75)을 표시하는 것을 지시하는 표시 신호를 입출력부(44)를 통해 표시부(31)에 송신하고, 초기 압력 입력 화면(75)을 표시부(31)에 표시시킨다(S7). 예를 들어 도 10에 도시되는 바와 같이, 프리셋 번호 결정 화면(74)이 표시된 상태에서 제1 키(32)가 눌러지면, 표시부(31)의 표시가, 프리셋 번호 결정 화면(74)으로부터 초기 압력 입력 화면(75)으로 전환된다. 초기 압력 입력 화면(75)에는, 초기 압력(Pf)을 입력하는 것을 나타내는 수순 번호(도면 중 N1 참조)와, 초기 압력(Pf)의 입력값(도면 중 M1)이 표시된다. 여기서, 초기 압력(Pf)이란, 동작 패턴을 따라서 밸브 제어(실린더(17)의 조작 압력의 제어)를 개시할 때의 조작 압력의 설정값을 의미한다. CPU(51)는, 제2 키(33) 또는 제3 키(34)의 입력 조작을 입출력부(44)를 통해 접수하고, 그 입력 조작에 따라 초기 압력(Pf)의 입력값(도면 중 M1)을 변경한다. 도 9에 도시되는 바와 같이, CPU(51)는 유저가 제1 키(32)를 누를 때까지, 초기 압력(Pf)을 설정하지 않는다(S8: "아니오").Next, as shown in FIG. 9, the CPU 51 transmits a display signal instructing to display the initial pressure input screen 75 to the display unit 31 through the input/output unit 44, and the initial pressure. The input screen 75 is displayed on the display unit 31 (S7). For example, as shown in FIG. 10, when the first key 32 is pressed while the preset number determination screen 74 is displayed, the display of the display unit 31 causes initial pressure from the preset number determination screen 74. The screen is switched to the input screen 75. On the initial pressure input screen 75, a procedure number (refer to N1 in the figure) indicating inputting the initial pressure Pf and an input value of the initial pressure Pf (M1 in the figure) are displayed. Here, the initial pressure Pf means a set value of the operating pressure when starting valve control (control of the operating pressure of the cylinder 17) according to the operation pattern. The CPU 51 receives the input operation of the second key 33 or the third key 34 through the input/output unit 44, and the input value of the initial pressure Pf according to the input operation (M1 in the drawing) ). As shown in FIG. 9, the CPU 51 does not set the initial pressure Pf until the user presses the first key 32 (S8: "No").

한편, 유저가 제1 키(32)를 누르면, CPU(51)는, 초기 압력(Pf)을 설정한다(S8: "예"). 즉, CPU(51)는, 초기 압력 입력 화면(75)에 표시되어 있는 초기 압력(Pf)의 입력값을 초기 압력(Pf)의 설정값으로서 RAM(53)에 기억시킨다.On the other hand, when the user presses the first key 32, the CPU 51 sets the initial pressure Pf (S8: "Yes"). That is, the CPU 51 stores the input value of the initial pressure Pf displayed on the initial pressure input screen 75 in the RAM 53 as a set value of the initial pressure Pf.

다음에, CPU(51)는, 목표 압력 입력 화면(76)의 표시를 지시하는 표시 신호를 입출력부(44)를 통해 표시부(31)에 송신하고, 목표 압력 입력 화면(76)을 표시부(31)에 표시시킨다(S9). 예를 들어 도 10에 도시되는 바와 같이, 목표 압력 입력 화면(76)에는, 목표 압력(Pe)을 입력하는 것을 나타내는 수순 번호(도면 중 N2)와, 목표 압력(Pe)의 입력값(도면 중 M2)이 표시된다. 여기서, 목표 압력(Pe)이란, 실린더(17)의 조작 압력을 피드 포워드 제어할 때의 조작 압력의 설정값을 의미한다. 그 후, 도 9에 도시되는 바와 같이, CPU(51)는, 목표 압력(Pe)의 입력값을 설정했는지 여부를 판단한다(S10). S9, S10의 처리는, S7, S8의 처리와 동일하므로, 설명을 생략한다.Next, the CPU 51 transmits a display signal instructing the display of the target pressure input screen 76 to the display unit 31 through the input/output unit 44, and displays the target pressure input screen 76 on the display unit 31 ) (S9). For example, as shown in FIG. 10, in the target pressure input screen 76, a procedure number (N2 in the figure) indicating input of the target pressure Pe and an input value of the target pressure Pe (in the drawing) M2) is displayed. Here, the target pressure Pe means the set value of the operating pressure at the time of feed-forward control of the operating pressure of the cylinder 17. Then, as shown in FIG. 9, the CPU 51 determines whether or not an input value of the target pressure Pe is set (S10). Since the processing of S9 and S10 is the same as the processing of S7 and S8, the description is omitted.

CPU(51)는, 목표 압력(Pe)의 입력값을 설정한 경우에는(S10: "예"), 딜레이 시간 입력 화면(77)을 표시하기 위한 표시 신호를 입출력부(44)를 통해 표시부(31)에 송신하고, 딜레이 시간 입력 화면(77)을 표시부(31)에 표시시킨다(S11). 예를 들어 도 10에 도시되는 바와 같이, 딜레이 시간 입력 화면(77)에는, 딜레이 시간(Td)을 입력하는 것을 나타내는 수순 번호(도면 중 N3)와, 딜레이 시간(Td)의 입력값(도면 중 M3)이, 표시된다. 여기서, 딜레이 시간(Td)이란, 동작 패턴을 따라서 밸브 제어(실린더(17)의 조작 압력의 제어)를 개시한 후, 초기 압력(Pf)을 유지하는 시간을 말한다. CPU(51)는, 제2 키(33) 또는 제3 키(34)의 입력 조작을 입출력부(44)를 통해 접수하고, 입력 조작에 따라 딜레이 시간(Td)의 입력값(도 10에 도시되는 M3)을 변경한다. CPU(51)는, 유저가 제1 키(32)를 누를 때까지, 딜레이 시간(Td)을 설정하지 않는다(S12: "아니오").When the input value of the target pressure Pe is set (S10: "Yes"), the CPU 51 displays the display signal for displaying the delay time input screen 77 through the input/output unit 44 ( 31), and the delay time input screen 77 is displayed on the display unit 31 (S11). For example, as shown in FIG. 10, on the delay time input screen 77, a sequence number (N3 in the figure) indicating input of the delay time Td and an input value of the delay time Td (in the drawing) M3) is displayed. Here, the delay time Td refers to a time for holding the initial pressure Pf after starting the valve control (control of the operating pressure of the cylinder 17) according to the operation pattern. The CPU 51 receives the input operation of the second key 33 or the third key 34 via the input/output unit 44, and inputs the delay time Td according to the input operation (shown in FIG. 10). M3). The CPU 51 does not set the delay time Td until the user presses the first key 32 (S12: "No").

한편, CPU(51)는, 유저가 제1 키(32)를 누르면, 딜레이 시간(Td)을 설정한다(S12: "예"). 즉, CPU(51)는, 딜레이 시간 입력 화면(77)에 표시되어 있는 입력값을 딜레이 시간(Td)의 설정값으로서 RAM(53)에 기억시킨다.On the other hand, the CPU 51 sets the delay time Td when the user presses the first key 32 (S12: "Yes"). That is, the CPU 51 stores the input value displayed on the delay time input screen 77 in the RAM 53 as a set value of the delay time Td.

그 후, CPU(51)는, 수순 번호(도 10의 N4)와 스위프 시간(Ts)의 입력값(도 10에 도시하는 M4)을 표시하는 스위프 시간 입력 화면(78)(도 10)을 표시부(31)에 표시시키고(S13), 제1 키(32)가 눌러지면, 표시되어 있는 입력값을 스위프 시간(Ts)으로 설정한다(S14: "예"). 여기서, 스위프 시간(Ts)이란, 초기 압력(Pf)을 목표 압력(Pe)에 도달시킬 때까지의 시간을 의미한다. 그리고, CPU(51)는, 수순 번호(도 10의 N5)와 리피트 시간(Tr)의 입력값(도 10에 도시하는 M5)을 표시하는 리피트 시간 입력 화면(79)(도 10 참조)을 표시부(31)에 표시시키고(S15), 제1 키(32)가 눌러지면, 표시되어 있는 입력값을 리피트 시간(Tr)으로 설정한다(S16: "예"). 여기서, 리피트 시간(Tr)이란, 초기 압력(Pf)과 목표 압력(Pe)의 변동을 반복하는 경우의 간격 시간을 의미한다. 입력값(도 10에 도시하는 M5)이 「-」인 경우에는, 초기 압력(Pf)과 목표 압력(Pe)의 변동을 반복하지 않는 것을 의미한다. S13 및 S15의 처리는 S11의 처리와 동일하며, S14 및 S16의 처리는 S12와 동일하므로, 설명을 생략한다.After that, the CPU 51 displays the sweep time input screen 78 (Fig. 10) that displays the procedure number (N4 in Fig. 10) and the input value of the sweep time Ts (M4 shown in Fig. 10). (31), and when the first key 32 is pressed, the displayed input value is set to the sweep time Ts (S14: "Yes"). Here, the sweep time Ts means the time until the initial pressure Pf reaches the target pressure Pe. Then, the CPU 51 displays a repeat time input screen 79 (see Fig. 10) that displays the procedure number (N5 in Fig. 10) and the input value of the repeat time Tr (M5 shown in Fig. 10). (31), and when the first key 32 is pressed, the displayed input value is set as the repeat time Tr (S16: "Yes"). Here, the repeat time Tr means an interval time when the fluctuations of the initial pressure Pf and the target pressure Pe are repeated. When the input value (M5 shown in FIG. 10) is "-", it means that fluctuations in the initial pressure Pf and the target pressure Pe are not repeated. The processing of S13 and S15 is the same as the processing of S11, and the processing of S14 and S16 is the same as that of S12, so the description is omitted.

또한, 딜레이 시간(Td)의 종점은, 초기 압력(Pf)을 목표 압력(Pe)으로 변화시키기 시작할 때의 시간에 상당한다. 그리고, 스위프 시간(Ts)의 종점은, 목표 압력(Pe)에 도달할 때의 시간에 상당한다. 따라서, S7 내지 S14의 처리에 의해, 시간마다의 조작 압력의 설정값이 2점 설정된다.Moreover, the end point of the delay time Td corresponds to the time when the initial pressure Pf starts to change to the target pressure Pe. The end point of the sweep time Ts corresponds to the time when the target pressure Pe is reached. Therefore, by the processing of S7 to S14, the set value of the operating pressure every hour is set to two points.

다음에, 도 9에 도시되는 바와 같이, CPU(51)는, RAM(53)에 기억된 초기 압력(Pf), 목표 압력(Pe), 딜레이 시간(Td), 스위프 시간(Ts), 리피트 시간(Tr)에 기초하여 동작 패턴을 작성하여, EEPROM(54)에 기억시킨다(S17).Next, as shown in Fig. 9, the CPU 51 stores the initial pressure Pf, target pressure Pe, delay time Td, sweep time Ts, and repeat time stored in the RAM 53. An operation pattern is created based on (Tr) and stored in the EEPROM 54 (S17).

예를 들어, 유저가, 초기 압력(Pf)을 0kPa보다 큰 값으로 설정하고, 목표 압력(Pe)을 초기 압력(Pf)보다 큰 값으로 설정하고, 딜레이 시간(Td)과 스위프 시간(Ts)에 0초보다 큰 값을 설정하고, 리피트 시간(Tr)에 「-」을 설정했다고 하자. 이 경우에는, CPU(51)는, 도 11에 도시된 바와 같이 조작 압력을 초기 압력(Pf)으로부터 목표 압력(Pe)에 한번만 변동시키는 동작 패턴을 생성한다. 도 11은, 동작 패턴 작성의 이미지도이며, 종축에 조작 압력(kPa)을 나타내고, 횡축에 시간(sec)을 나타낸다.For example, the user sets the initial pressure Pf to a value greater than 0 kPa, sets the target pressure Pe to a value greater than the initial pressure Pf, and delay time Td and sweep time Ts. It is assumed that a value greater than 0 seconds is set to and "-" is set to the repeat time Tr. In this case, the CPU 51 generates an operation pattern for changing the operating pressure from the initial pressure Pf to the target pressure Pe only once, as shown in FIG. 11. 11 is an image diagram of the operation pattern creation, the operating pressure (kPa) on the vertical axis, and the time (sec) on the horizontal axis.

이에 반하여, 유저가, 리피트 시간(Tr)에 수치를 설정한 경우에는, CPU(51)는, 도 12에 도시되는 바와 같이, 리피트 시간(Tr)의 간격으로, 초기 압력(Pf)과 목표 압력(Pe)의 변동을 반복하는 동작 패턴을 생성한다. 도 12는, 동작 패턴 제작의 이미지도이며, 종축에 조작 압력(kPa)을 나타내고, 횡축에 시간(sec)을 나타낸다.On the other hand, when the user sets a numerical value for the repeat time Tr, the CPU 51, as shown in FIG. 12, at intervals of the repeat time Tr, the initial pressure Pf and the target pressure An operation pattern that repeats the variation of (Pe) is generated. Fig. 12 is an image diagram of the operation pattern production, the operating pressure (kPa) on the vertical axis, and the time (sec) on the horizontal axis.

이와 같이 하여 작성된 동작 패턴을, CPU(51)는, RAM(53)에 기억된 프리셋 번호(S5에 의해 설정된 프리셋 번호)에 관련지어서, EEPROM(54)에 기억한다. 따라서, CPU(51)는, 프리셋 번호를 인수로 하여 동작 패턴을 판독하는 것이 가능해진다.The operation pattern created in this way is stored in the EEPROM 54 in association with the preset number (preset number set by S5) stored in the RAM 53. Therefore, the CPU 51 can read the operation pattern using the preset number as an argument.

그리고, CPU(51)는, 동작 패턴 등록 완료 화면(80)을 표시부(31)에 표시시킨다(S18). 예를 들어 도 10의 X6에 도시되는 바와 같이, 동작 패턴 등록 완료 화면(80)에는, S17에서 EEPROM(54)에 기억된 동작 패턴의 프리셋 번호, 즉, S5에서 설정된 프리셋 번호가 표시된다. 이에 따라, 유저는, 동작 패턴의 등록이 완료된 것을 인식할 수 있다. 그 후, CPU(51)는, 도 9에 나타내는 제어를 종료한다. 또한, S4 내지 S17의 처리는, 동작 패턴 기억 처리의 일례이다. 또한, S7, S9, S11, S13, S15의 처리는, 표시 처리의 일례이다.Then, the CPU 51 causes the operation pattern registration completion screen 80 to be displayed on the display unit 31 (S18). For example, as shown in X6 of FIG. 10, on the operation pattern registration completion screen 80, the preset number of the operation pattern stored in the EEPROM 54 in S17, that is, the preset number set in S5 is displayed. Accordingly, the user can recognize that the registration of the operation pattern is completed. Thereafter, the CPU 51 ends the control shown in FIG. 9. Note that the processing in S4 to S17 is an example of the operation pattern storage processing. Note that the processing of S7, S9, S11, S13, and S15 is an example of display processing.

도 5 내지 도 8을 참조하여, 동작 패턴을 EEPROM(54)에 기억시키는 수순을 구체적으로 설명한다. 여기에서는, 조작 압력이 5kPa인 경우에, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도가 완전 개방 상태가 된다.5 to 8, the procedure for storing the operation pattern in the EEPROM 54 will be specifically described. Here, when the operating pressure is 5 kPa, the valve opening degree of the actuator device 1 is fully opened.

예를 들어, 유저가 조작부(35)를 통해, 초기 압력(Pf)을 「0kPa」로 설정하고, 목표 압력(Pe)을 「5kPa」로 설정하고, 딜레이 시간(Td)을 「0sec」로 설정하고, 스위프 시간(Ts)을 「5sec」로 설정하고, 리피트 시간(Tr)을 「-」으로 설정했다고 하자. 이 경우, CPU(51)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 동작 패턴을 따라서 밸브 제어(실린더(17)의 조작 압력의 제어)를 개시함과 동시에 조작 압력을 상승시키고, 5초간 걸쳐 천천히 조작 압력을 0kPa로부터 5kPa에 도달시키는 제1 동작 패턴을 생성한다. 그리고, CPU(51)는, 이 제1 동작 패턴에 프리셋 번호 「P1」을 관련지어서 EEPROM(54)에 기억시킨다.For example, the user sets the initial pressure Pf to "0 kPa" through the operation unit 35, sets the target pressure Pe to "5 kPa", and sets the delay time Td to "0 sec". It is assumed that the sweep time Ts is set to "5 sec" and the repeat time Tr is set to "-". In this case, the CPU 51 starts valve control (control of the operating pressure of the cylinder 17) according to the operation pattern, as shown in Fig. 5, and simultaneously raises the operating pressure and slowly operates over 5 seconds. A first operating pattern is created that causes the pressure to reach from 0 kPa to 5 kPa. Then, the CPU 51 associates the first operation pattern with the preset number "P1" and stores it in the EEPROM 54.

또한 예를 들어, 유저가 조작부(35)를 통해, 초기 압력(Pf)을 「0kPa」로 설정하고, 목표 압력(Pe)을 「2kPa」로 설정하고, 딜레이 시간(Td)을 「0sec」로 설정하고, 스위프 시간(Ts)을 「5sec」로 설정하고, 리피트 시간(Tr)을 「-」으로 설정했다고 하자. 이 경우, CPU(51)는, 도 6에 도시되는 바와 같이, 동작 패턴을 따라서 밸브 제어를 개시함과 동시에 조작 압력을 상승시키고, 5초간 걸쳐 천천히 조작 압력을 0kPa로부터 2kPa에 도달시키는 제2 동작 패턴을 작성한다. 그리고, CPU(51)는, 이 제2 동작 패턴에 프리셋 번호 「P2」를 관련지어서 EEPROM(54)에 기억시킨다.Also, for example, the user sets the initial pressure Pf to "0 kPa" through the operation unit 35, sets the target pressure Pe to "2 kPa", and sets the delay time Td to "0 sec". Suppose that you set, set the sweep time (Ts) to "5 sec", and set the repeat time (Tr) to "-". In this case, as shown in Fig. 6, the CPU 51 starts the valve control according to the operation pattern, increases the operating pressure, and slowly moves the operating pressure from 0 kPa to 2 kPa over 5 seconds. Write a pattern. Then, the CPU 51 associates the second operation pattern with the preset number "P2" and stores it in the EEPROM 54.

또한 예를 들어, 유저가 조작부(35)를 통해, 초기 압력(Pf)을 「2.5kPa」로 설정하고, 목표 압력(Pe)을 「2kPa」로 설정하고, 딜레이 시간(Td)을 「5sec」로 설정하고, 스위프 시간(Ts)을 「0sec」로 설정하고, 리피트 시간(Tr)을 「-」으로 설정했다고 하자. 이 경우, CPU(51)는, 도 7에 도시되는 바와 같이, 동작 패턴을 따라서 밸브 제어를 개시함과 동시에 조작 압력을 2.5kPa에 제어하고, 그 상태를 5초간 유지한 후, 즉시 조작 압력을 2.5kPa로부터 2kPa로 감소시키는 제3 동작 패턴을 작성한다. 그리고, CPU(51)는, 이 제3 동작 패턴에 프리셋 번호 「P3」을 관련지어서 EEPROM(54)에 기억시킨다.Also, for example, the user sets the initial pressure Pf to "2.5 kPa" through the operation unit 35, sets the target pressure Pe to "2 kPa", and sets the delay time Td to "5 sec". Suppose that it is set to, and the sweep time (Ts) is set to "0 sec" and the repeat time (Tr) is set to "-". In this case, as shown in Fig. 7, the CPU 51 starts valve control along the operation pattern, controls the operating pressure at 2.5 kPa, maintains the state for 5 seconds, and immediately applies the operating pressure. Create a third operation pattern that reduces from 2.5 kPa to 2 kPa. Then, the CPU 51 associates the third operation pattern with the preset number "P3" and stores it in the EEPROM 54.

또한 예를 들어, 유저가 조작부(35)를 통해, 초기 압력(Pf)을 「5kPa」로 설정하고, 목표 압력(Pe)을 「2kPa」로 설정하고, 딜레이 시간(Td)를 「5sec」로 설정하고, 스위프 시간(Ts)을 「2sec」로 설정하고, 리피트 시간(Tr)을 「-」으로 설정했다로 한다. 이 경우, CPU(51)는, 도 8에 도시되는 바와 같이, 동작 패턴을 따라서 밸브 제어를 개시함과 동시에, 조작 압력을 5kPa에 제어하고, 그 상태를 5초간 유지한 후, 2초간 걸쳐 조작 압력을 5kPa로부터 2kPa로 변화시키는 제4 동작 패턴을 작성한다. CPU(51)는, 이 제4 동작 패턴에 프리셋 번호 「P4」를 관련지어서 EEPROM(54)에 기억시킨다.Also, for example, the user sets the initial pressure Pf to "5 kPa" through the operation unit 35, sets the target pressure Pe to "2 kPa", and sets the delay time Td to "5 sec". Suppose that the sweep time Ts is set to "2 sec", and the repeat time Tr is set to "-". In this case, as shown in Fig. 8, the CPU 51 starts valve control along the operation pattern, controls the operating pressure at 5 kPa, maintains the state for 5 seconds, and then operates for 2 seconds. A fourth operation pattern is created that changes the pressure from 5 kPa to 2 kPa. The CPU 51 associates a preset number "P4" with this fourth operation pattern and stores it in the EEPROM 54.

따라서, 유저는, 표시부(31)를 보면서, 조작부(35)를 통해, 초기 압력(Pf)과 목표 압력(Pe)과, 딜레이 시간(Td)과, 스위프 시간(Ts)을 설정하는 것만으로, 요구에 따라 다른 동작 패턴을 간단하게 CPU(51)에 작성시키고, EEPROM(54)에 식별 가능하게 기억시킬 수 있다. 즉, 액추에이터 장치(1)는, 유저가 표시부(31)를 보면서 조작부(35)를 조작함으로써 시간마다의 조작 압력의 설정값을 설정할 수 있으므로, 동작 패턴을 자체 장치만으로 기억할 수 있다.Therefore, the user merely sets the initial pressure Pf, the target pressure Pe, the delay time Td, and the sweep time Ts through the operation unit 35 while looking at the display unit 31, Other operation patterns can be easily created in the CPU 51 according to the request, and can be stored identifiably in the EEPROM 54. That is, since the actuator device 1 can set the set value of the operating pressure every hour by operating the operation unit 35 while the user looks at the display unit 31, the operation pattern can be stored only with the own device.

계속해서, 조작부(35)를 통해 동작 패턴을 선택하고, 액추에이터 장치(1)를 동작시키는 제어 수순을 도 9를 참조하면서 설명한다.Subsequently, a control procedure for selecting an operation pattern through the operation unit 35 and operating the actuator device 1 will be described with reference to FIG. 9.

예를 들어, 유저는, 제2 키(33) 또는 제3 키(34)를 눌러서 기능 일람 화면(71)에 제2 기능을 나타내는 기능 식별 번호를 표시시키고, 제1 키(32)를 누른다. 그러면, CPU(51)는, 선택된 기능이 제2 기능이라고 판단한다(S1, S2: "예", S3: 제2 기능).For example, the user presses the second key 33 or the third key 34 to display the function identification number indicating the second function on the function list screen 71, and presses the first key 32. Then, the CPU 51 determines that the selected function is the second function (S1, S2: "yes", S3: second function).

이 경우, CPU(51)는, 프리셋 번호 지정 화면을 표시하기 위한 표시 신호를 입출력부(44)를 통해 표시부(31)에 송신하고, 프리셋 번호 지정 화면을 표시부(31)에 표시시킨다(S19). CPU(51)는, 제2 키(33) 또는 제3 키(34)의 조작에 따라, EEPROM(54)에 기억된 프리셋 번호를 프리셋 번호 지정 화면(도시되어 있지 않음)에 순차 표시시킨다. CPU(51)는, 제1 키(32)가 눌러지지 않는 경우에는, 프리셋 번호가 지정되어 있지 않다고 판단하고, 대기한다(S20: "아니오"). 한편, CPU(51)는, 제1 키(32)가 눌러진 경우에는, 프리셋 번호 지정 화면에 표시된 프리셋 번호가 지정되었다고 판단한다(S20: "예").In this case, the CPU 51 transmits a display signal for displaying the preset number designation screen to the display unit 31 through the input/output unit 44, and displays the preset number designation screen on the display unit 31 (S19). . The CPU 51 sequentially displays the preset number stored in the EEPROM 54 on the preset number designation screen (not shown) in accordance with the operation of the second key 33 or the third key 34. When the first key 32 is not pressed, the CPU 51 judges that the preset number is not specified and waits (S20: "No"). On the other hand, when the first key 32 is pressed, the CPU 51 determines that the preset number displayed on the preset number designation screen is designated (S20: "Yes").

CPU(51)는, 지정된 프리셋 번호에 일치하는 프리셋 번호가, EEPROM(54)에 있는지 여부를 판단한다(S21). 일치하는 프리셋 번호가 없는 경우에는(S21: "아니오"), CPU(51)는, 에러 통지를 행하고(S25), 도 9에 나타내는 제어를 종료한다.The CPU 51 determines whether or not the preset number corresponding to the designated preset number is in the EEPROM 54 (S21). If there is no matching preset number (S21: "No"), the CPU 51 notifies the error (S25) and ends the control shown in FIG.

한편, 일치하는 프리셋 번호가 있는 경우에는(S21: "예"), 지정된 프리셋 번호에 대응하는 동작 패턴을 EEPROM(54)으로부터 판독하여, RAM(53)에 기억시킨다(S22).On the other hand, if there is a matching preset number (S21: YES), the operation pattern corresponding to the specified preset number is read from the EEPROM 54 and stored in the RAM 53 (S22).

그 다음에, CPU(51)는, RAM(53)에 기억된 동작 패턴을 따라서 압력 제어부(43)에 실린더(17)의 조작 압력의 제어를 개시시킨다(S23). 구체적으로 CPU(51)는, RAM(53)에 기억된 동작 패턴에 기초하여, 시간마다 조작 압력의 설정값을 지시하는 제어 신호를 압력 제어부(43)에 송신한다. 압력 제어부(43)는, 수신된 조작 압력의 설정값에 압력 센서(7)에 의해 검출되는 조작 압력 검출값을 일치시키도록, 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)를 제어한다. 그 후, CPU(51)는, 처리를 종료한다. 또한, S20 내지 S22의 처리는, 동작 패턴 판독 처리의 일례이다. S23의 처리는, 제어 처리의 일례이다.Then, the CPU 51 starts the control of the operating pressure of the cylinder 17 to the pressure control unit 43 in accordance with the operation pattern stored in the RAM 53 (S23). Specifically, the CPU 51 transmits to the pressure control unit 43 a control signal instructing the set value of the operating pressure every hour based on the operation pattern stored in the RAM 53. The pressure control unit 43 controls the electromagnetic valve 5 for supply and the electromagnetic valve 6 for exhaust so as to match the operation pressure detection value detected by the pressure sensor 7 with the set value of the received operation pressure. do. After that, the CPU 51 ends the processing. Note that the processing in S20 to S22 is an example of the operation pattern reading processing. The processing of S23 is an example of control processing.

도 5 내지 도 8을 참조하고, 조작부(35)를 통해 동작 패턴을 지정하고, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도를 제어하는 수순을 구체적으로 설명한다.5 to 8, the procedure of designating an operation pattern through the operation unit 35 and controlling the valve opening degree of the actuator device 1 will be described in detail.

구체적으로 예를 들어, 유저가, 조작부(35)를 통해 프리셋 번호 「P1」을 지정하면, CPU(51)는, 프리셋 번호 「P1」을 인수로 하여, EEPROM(54)으로부터 도 5에 도시하는 제1 동작 패턴을 판독한다. CPU(51)는, 제1 동작 패턴에 규정되는 시간마다 조작 압력을 지시하는 제어 신호를 압력 제어부(43)에 송신한다. 압력 제어부(43)는, 제어 신호에 기초하여, 압력 센서(7)에 의해 검출되는 조작 압력 검출값을 CPU(51)가 지시하는 조작 압력에 일치시키도록 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)를 제어한다. 이에 따라, 액추에이터 장치(1)는, 조작 압력이 5초간 걸쳐 0kPa로부터 5kPa까지 서서히 상승한 후, 5kPa로 유지된다. 따라서, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도는, 오버슈트하지 않고, 완전 폐쇄 상태로부터 완전 개방 상태로 변화한다.Specifically, for example, when the user designates the preset number "P1" through the operation unit 35, the CPU 51 takes the preset number "P1" as an argument and shows the EEPROM 54 in FIG. The first operation pattern is read. The CPU 51 transmits a control signal for instructing the operating pressure to the pressure control unit 43 every time specified in the first operation pattern. The pressure control part 43 is for supply electromagnetic valve 5 and exhaust so as to match the operation pressure detection value detected by the pressure sensor 7 with the operation pressure indicated by the CPU 51 based on the control signal. The electromagnetic valve 6 is controlled. Accordingly, the actuator device 1 is maintained at 5 kPa after the operating pressure gradually rises from 0 kPa to 5 kPa over 5 seconds. Therefore, the valve opening degree of the actuator device 1 does not overshoot, and changes from the fully closed state to the fully open state.

또한 예를 들어, 유저가, 조작부(35)를 통해 프리셋 번호 「P2」를 지정하면, CPU(51)는 프리셋 번호 「P2」를 인수로 하여, EEPROM(54)으로부터 도 6에 나타내는 제2 동작 패턴을 판독한다. CPU(51)는, 상기 제1 동작 패턴과 동일하게 하여, 제2 동작 패턴을 따라서 제어 신호를 압력 제어부(43)에 송신하고, 압력 제어부(43)에 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)를 제어시킨다. 이에 의해, 액추에이터 장치(1)는, 조작 압력이 0kPa로부터 2kPa까지 서서히 상승한 후, 2kPa로 유지된다. 그 때문에, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도는, 오버슈트하지 않고, 완전 폐쇄 상태로부터 미소 밸브 개방 상태로 변화한다.In addition, for example, when the user designates the preset number "P2" through the operation unit 35, the CPU 51 takes the preset number "P2" as an argument, and the second operation shown in Fig. 6 from the EEPROM 54. Read the pattern. The CPU 51 transmits a control signal to the pressure control unit 43 along the second operation pattern in the same manner as the first operation pattern, and supplies the electromagnetic valve 5 and exhaust for supply to the pressure control unit 43. The electromagnetic valve 6 is controlled. Thereby, the actuator apparatus 1 is maintained at 2 kPa after the operating pressure gradually rises from 0 kPa to 2 kPa. Therefore, the valve opening degree of the actuator device 1 does not overshoot, and changes from the fully closed state to the minute valve open state.

또한 예를 들어, 유저가 조작부(35)를 통해 프리셋 번호 「P3」을 지정하면, CPU(51)는, 프리셋 번호 「P3」을 인수로 하여, EEPROM(54)으로부터 도 7에 나타내는 제3 동작 패턴을 판독한다. CPU(51)는, 상기 제1 동작 패턴과 동일하게 하여, 제3 동작 패턴을 따라서 제어 신호를 압력 제어부(43)에 송신하고, 압력 제어부(43)에 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)를 제어시킨다. 이에 의해, 액추에이터 장치(1)의 조작 압력은, 먼저 2.5kPa로 조정되면, 그 2.5kPa를 5초간 유지하고, 그 후, 2kPa로 감압되고 나서, 당해 2kPa를 유지한다. 그 때문에, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도는, 오버슈트하지 않고, 중간 밸브 개방 상태로부터 미소 밸브 개방 상태로 변화한다.In addition, for example, when the user designates the preset number "P3" through the operation unit 35, the CPU 51 takes the preset number "P3" as an argument, and the third operation shown in Fig. 7 from the EEPROM 54. Read the pattern. The CPU 51 transmits a control signal to the pressure control unit 43 along the third operation pattern in the same manner as the first operation pattern, and supplies the electromagnetic valve 5 and exhaust for supply to the pressure control unit 43. The electromagnetic valve 6 is controlled. Thereby, when the operating pressure of the actuator device 1 is first adjusted to 2.5 kPa, the 2.5 kPa is maintained for 5 seconds, after which the pressure is reduced to 2 kPa, and then the 2 kPa is maintained. Therefore, the valve opening degree of the actuator device 1 does not overshoot, and changes from the intermediate valve opening state to the minute valve opening state.

또한 예를 들어, 유저가, 조작부(35)를 통해 프리셋 번호 「P4」를 지정하면, CPU(51)는, 프리셋 번호 「P4」를 인수로 하여, EEPROM(54)으로부터 도 8에 나타내는 제4 동작 패턴을 판독한다. CPU(51)는, 상기 제1 동작 패턴과 동일하게 하여, 제4 동작 패턴을 따라서 제어 신호를 압력 제어부(43)에 송신하고, 압력 제어부(43)에 공급용 전자기 밸브(5)와 배기용 전자기 밸브(6)를 제어시킨다. 이에 의해, 액추에이터 장치(1)의 조작 압력은, 먼저 5kPa로 조정되면, 그 5kPa를 5초간 유지하고, 그 후, 2초간 걸쳐 5kPa로부터 2kPa로 감압되고 나서, 당해 2kPa를 유지한다. 그 때문에, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도는, 오버슈트하지 않고, 완전 개방 상태로부터 미소 밸브 개방 상태로 변화한다.Further, for example, when the user designates the preset number "P4" via the operation unit 35, the CPU 51 takes the preset number "P4" as an argument and shows the fourth number shown in Fig. 8 from the EEPROM 54. The operation pattern is read. The CPU 51 transmits a control signal to the pressure control unit 43 in the same manner as the first operation pattern, in accordance with the fourth operation pattern, and supplies the electromagnetic valve 5 and exhaust for supply to the pressure control unit 43. The electromagnetic valve 6 is controlled. Thereby, when the operating pressure of the actuator device 1 is first adjusted to 5 kPa, the 5 kPa is maintained for 5 seconds, after which the pressure is reduced from 5 kPa to 2 kPa over 2 seconds, and then the 2 kPa is maintained. Therefore, the valve opening degree of the actuator device 1 does not overshoot, and changes from the fully open state to the minute valve open state.

또한, 동작 패턴은, 조작부(35)에서 뿐만 아니라, 상위 컨트롤러(9)로부터도 지정하는 것이 가능하다. 이 제어 수순에 대해, 도 13에 나타내는 흐름도를 참조하면서 설명한다. 도 13은, 상위 컨트롤러를 사용한 가동 시의 제어 수순을 나타내는 흐름도이다. 제어 장치(3)의 CPU(51)는, 상위 컨트롤러(9)로부터 프리셋 번호가 입력된 것을 계기로, 도 13에 나타내는 제어를 실행한다.In addition, the operation pattern can be specified not only from the operation unit 35 but also from the upper controller 9. This control procedure will be described with reference to the flowchart shown in FIG. 13. 13 is a flow chart showing a control procedure at the time of operation using the host controller. The CPU 51 of the control device 3 executes the control shown in FIG. 13 based on the input of the preset number from the host controller 9.

CPU(51)는, 통신 인터페이스부(42)를 통해 상위 컨트롤러(9)로부터 수신된 프리셋 번호를 RAM(53)에 기억시킴으로써, 프리셋 번호를 접수한다(S41). 그리고, CPU(51)는, 수신된 프리셋 번호와 일치하는 프리셋 번호가 있는 경우에는(S42: "예"), 그 동작 패턴을 EEPROM(54)으로부터 판독하고(S43), 실린더(17)의 조작 압력의 제어를 개시한다(S44). 한편, 일치하는 프리셋 번호가 없는 경우에는(S42: "아니오"), CPU(51)는, 에러 통지를 행한다(S45). S42 내지 S45의 처리는, 도 9의 S21 내지 S23, S25와 동일하므로, 설명을 생략한다. 또한, S41 내지 S43의 처리는, 동작 패턴 판독 처리의 일례이다. S44의 처리는, 제어 처리의 일례이다.The CPU 51 stores the preset number received from the host controller 9 via the communication interface unit 42 in the RAM 53, thereby accepting the preset number (S41). Then, if there is a preset number that matches the received preset number (S42: YES), the CPU 51 reads the operation pattern from the EEPROM 54 (S43), and operates the cylinder 17 Control of pressure is started (S44). On the other hand, if there is no matching preset number (S42: "No"), the CPU 51 notifies the error (S45). The processing of S42 to S45 is the same as that of S21 to S23 and S25 in Fig. 9, and description thereof is omitted. Note that the processing in S41 to S43 is an example of the operation pattern reading processing. The processing of S44 is an example of control processing.

이와 같이, 액추에이터 장치(1)는, 조작부(35) 또는 상위 컨트롤러(9)를 통해 동작 패턴의 프리셋 번호가 지정되면, 제어 장치(3)가, EEPROM(54)에 기억된 복수의 동작 패턴으로부터 지정된 프리셋 번호에 대응하는 동작 패턴을 판독하고, 판독된 동작 패턴을 따라서 밸브 제어(실린더(17)의 조작 압력의 제어)를 행한다. 따라서, 액추에이터 장치(1)는, 밸브 개방도가 피드 포워드 제어되므로, 밸브 개방도 제어 시에 오버슈트가 발생하지 않고, 응답 시간을 단축할 수 있다. 또한, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도를 제어하기 위하여 액추에이터 장치(1)의 2차 압력을 검출하는 압력 센서가 불필요해지므로, 액추에이터 장치(1)의 밸브 개방도를 제어하기 위한 제어 구성이 간소화되어, 콤팩트해진다.As described above, when the preset number of the operation pattern is specified through the operation unit 35 or the upper controller 9, the actuator device 1 can control the control device 3 from a plurality of operation patterns stored in the EEPROM 54. The operation pattern corresponding to the designated preset number is read, and valve control (control of the operating pressure of the cylinder 17) is performed in accordance with the read operation pattern. Therefore, since the valve opening degree of the actuator device 1 is feed-forward-controlled, overshoot does not occur when controlling the valve opening degree, and the response time can be shortened. In addition, since a pressure sensor for detecting the secondary pressure of the actuator device 1 becomes unnecessary in order to control the valve opening degree of the actuator device 1, a control configuration for controlling the valve opening degree of the actuator device 1 is required. Simplified and compact.

그런데, 액추에이터 장치(1)는, 밸브 개방 동작시와 밸브 폐쇄 동작시의 사이에서 히스테리시스가 발생하고, 밸브 개방도를 크게 하는 경우와, 밸브 개방도를 작게 하는 경우에서, 조작 압력에 대한 밸브 개방도가 상이하다. 그래서, 제어 장치(3)의 CPU(51)는, 밸브 개방도를 조정하는 경우에, 피스톤(19)의 이동 방향을 일정하게 하고 있다. 즉, 제어 장치(3)의 CPU(51)는, 예를 들어 도 7에 나타내는 제3 동작 패턴에 따라 밸브 개방도를 중간 밸브 개방 상태로부터 미소 밸브 개방 상태로 변화시키는 경우, 실린더(17)의 조작 압력을 목표 압력(Pe)(2kPa)보다 작게 하고 나서, 목표 압력(Pe)(2kPa)까지 상승시키는 제어 신호를, 압력 제어부(43)에 송신한다. 이에 따라, 액추에이터 장치(1)는, 항상, 다이어프램(16)을 밸브 시트(14)로부터 이격시키는 밸브 개방 방향으로 피스톤(19)을 가압함으로써, 실린더(17)의 조작 압력을 목표 압력(Pe)에 일치시키게 된다. 그 때문에, 액추에이터 장치(1)는, 히스테리시스에 의해 동일한 조작 압력에서도 밸브 개방도가 다르다는 사태를 피할 수 있고, 정밀도가 양호하다.By the way, the actuator device 1 generates hysteresis between the valve opening operation and the valve closing operation, and when the valve opening degree is increased and the valve opening degree is decreased, the valve is opened to the operating pressure. The degrees are different. Therefore, when the valve opening degree is adjusted, the CPU 51 of the control device 3 makes the moving direction of the piston 19 constant. That is, when the CPU 51 of the control device 3 changes the valve opening degree from the intermediate valve opening state to the minute valve opening state according to the third operation pattern shown in FIG. 7, for example, the cylinder 51 After making the operating pressure smaller than the target pressure Pe (2kPa), a control signal that increases to the target pressure Pe (2kPa) is transmitted to the pressure control unit 43. Accordingly, the actuator device 1 always presses the piston 19 in the valve opening direction that separates the diaphragm 16 from the valve seat 14, thereby setting the operating pressure of the cylinder 17 to the target pressure Pe. To match. For this reason, the actuator device 1 can avoid the situation that the valve opening degree is different even at the same operating pressure due to hysteresis, and the precision is good.

(사용예)(Example of use)

계속해서, 액추에이터 장치(1)의 사용예를 설명한다. 도 14는, 의료품 제조 라인의 일례를 도시하는 도면이다. 공급 라인(62)은, 탱크(61)의 상면에 접속되고, 제1 액추에이터 장치(1A)가 배치되어 있다. 배출 라인(63)은, 탱크(61)의 하면에 접속되어 있다. 배출 라인(63)은, 탱크(61)측으로부터 순서대로 제2 액추에이터 장치(1B)와, 필터(64)와, 제3 액추에이터 장치(1C)가 배설되어 있다. 가스 배출 라인(65)은, 필터(64)의 상부에 접속되고, 제4 액추에이터 장치(1D)가 배설되어 있다.Next, an example of use of the actuator device 1 will be described. 14 is a diagram showing an example of a medical product manufacturing line. The supply line 62 is connected to the upper surface of the tank 61, and the first actuator device 1A is disposed. The discharge line 63 is connected to the lower surface of the tank 61. In the discharge line 63, the second actuator device 1B, the filter 64, and the third actuator device 1C are disposed in order from the tank 61 side. The gas discharge line 65 is connected to the upper portion of the filter 64, and a fourth actuator device 1D is provided.

제1 내지 제4 액추에이터 장치(1A 내지 1D)는, 상술한 액추에이터 장치(1)와 동일한 구성이다. 제1 내지 제4 액추에이터 장치(1A 내지 1D)에는, 사용 목적에 따라, 동작 패턴이 기억되어 있다.The first to fourth actuator devices 1A to 1D have the same configuration as the actuator device 1 described above. In the first to fourth actuator devices 1A to 1D, operation patterns are stored according to the purpose of use.

예를 들어, 제1 액추에이터 장치(1A)에는, 도 5에 도시하는 제1 동작 패턴이 기억된다. 제2 액추에이터 장치(1B)에는, 도 5에 도시하는 제1 동작 패턴이 기억된다. 제3 액추에이터 장치(1C)에는, 도 7에 나타내는 제3 동작 패턴이 기억된다. 또한, 제4 액추에이터 장치(1D)에는, 도 6에 나타내는 제2 동작 패턴과 도 8에 나타내는 제4 동작 패턴이 기억된다. 여기에서는, 제1 내지 제4 동작 패턴의 프리셋 번호를 공통으로 하지만, 밸브마다 상이해도 된다.For example, the first operation pattern shown in FIG. 5 is stored in the first actuator device 1A. The first operation pattern shown in FIG. 5 is stored in the second actuator device 1B. The 3rd operation pattern shown in FIG. 7 is memorize|stored in the 3rd actuator device 1C. In addition, the second operation pattern shown in FIG. 6 and the fourth operation pattern shown in FIG. 8 are stored in the fourth actuator device 1D. Here, the preset numbers of the first to fourth operation patterns are common, but may be different for each valve.

상위 컨트롤러(9)는, 위생 확보를 위하여, 고온의 탕을 라인에 5초간 공급함으로써 탱크(61)에 CIP(정치 세정: Cleaning In Place)를 실시한 후, 고온의 증기를 라인에 공급하여 탱크(61)에 SIP(정치 멸균: Sterilizing In Place)를 실시한다.The upper controller 9 performs CIP (Cleaning In Place) on the tank 61 by supplying hot water to the line for 5 seconds to ensure hygiene, and then supplying hot steam to the line to supply the tank ( 61) SIP (Political Sterilization: Sterilizing In Place) is performed.

이 경우, 상위 컨트롤러(9)는, 제1 액추에이터 장치(1A) 및 제2 액추에이터 장치(1B)에 프리셋 번호 「P1」을, 제3 액추에이터 장치(1C)에 프리셋 번호 「P3」을, 제4 액추에이터 장치(1D)에 프리셋 번호 「P4」를, 각각 송신한다.In this case, the upper level controller 9 sets the preset number "P1" in the first actuator device 1A and the second actuator device 1B, the preset number "P3" in the third actuator device 1C, and the fourth The preset number "P4" is transmitted to the actuator device 1D, respectively.

이에 따라, 고온의 온수가 공급 라인(62)으로부터 탱크(61), 배출 라인(63)으로 흐르는 사이, 제3 액추에이터 장치(1C)의 밸브 개방도가 중간 밸브 개방 상태로 제어됨과 함께, 제4 액추에이터 장치(1D)의 밸브 개방도가 완전 개방 상태로 제어된다. 그 때문에, 제4 액추에이터 장치(1D)를 통해 에어가 배출되어, 온수가 라인 내를 고속으로 흘러서 세정 효과를 높일 수 있다.Accordingly, while the high-temperature hot water flows from the supply line 62 to the tank 61 and the discharge line 63, the valve opening degree of the third actuator device 1C is controlled to the intermediate valve opening state, and the fourth The valve opening degree of the actuator device 1D is controlled to the fully open state. Therefore, air is discharged through the fourth actuator device 1D, and hot water flows through the line at a high speed, so that the cleaning effect can be enhanced.

탱크(61)는, 온수가 5초간 공급된 후, 증기가 공급된다. 증기가 공급 라인(62)으로부터 탱크(61), 배출 라인(63)에 흐르는 사이, 제3 액추에이터 장치(1C) 및 제4 액추에이터 장치(1D)의 밸브 개방도가 미소 밸브 개방 상태로 작게 된다. 이에 따라, 증기의 배출을 최대한 억제하면서, 증기의 흐름을 확보하고, 멸균 효율을 높일 수 있다. 이때, 제4 액추에이터 장치(1D)는, 천천히 밸브 개방도를 작게 하므로, 필터(64)의 내압이 급증하는 것을 억제할 수 있다.The tank 61 is supplied with steam after hot water is supplied for 5 seconds. While steam flows from the supply line 62 to the tank 61 and the discharge line 63, the valve opening degree of the 3rd actuator device 1C and the 4th actuator device 1D becomes small to the micro valve opening state. Accordingly, it is possible to secure the flow of the steam and increase the sterilization efficiency while suppressing the discharge of the steam as much as possible. At this time, since the fourth actuator device 1D slowly decreases the valve opening degree, it is possible to suppress an increase in the internal pressure of the filter 64.

또한, 상위 컨트롤러(9)는, 필터(64)를 교환하고 나서 CIP 및 SIP를 행할 경우, 제4 액추에이터 장치(1D)에 대해, 프리셋 번호 「P4」가 아니고, 프리셋 번호 「P2」를 공급한다. 이에 의해, 제4 액추에이터 장치(1D)는, 완전 폐쇄 상태로부터 미소 밸브 개방 상태로 천천히 변화하고, 필터 내의 에어를 천천히 뺀다. 그 때문에, 필터는, 온수가 주입되었을 때의 압력에 의해 파손되는 것이 방지된다.In addition, when performing CIP and SIP after exchanging the filter 64, the upper controller 9 supplies the preset number "P2", not the preset number "P4", to the fourth actuator device 1D. . Thereby, the 4th actuator device 1D changes slowly from a fully closed state to a microvalve open state, and bleeds out the air in a filter slowly. Therefore, the filter is prevented from being damaged by pressure when hot water is injected.

B. 제2 실시 형태B. Second embodiment

계속해서, 본 발명의 제2 실시 형태의 피스톤 액추에이터 장치에 대해 설명한다. 도 15는, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 피스톤 액추에이터 장치(100)(이하 「액추에이터 장치(100)」라고 약기함)를 도시하는 단면도이다. 도 15에서는, 제어 장치(3)의 기재를 생략하고 있다.Next, the piston actuator device of the second embodiment of the present invention will be described. 15 is a cross-sectional view showing a piston actuator device 100 (hereinafter abbreviated as "actuator device 100") according to a second embodiment of the present invention. In Fig. 15, description of the control device 3 is omitted.

액추에이터 장치(100)는, 실린더(101)에 피스톤(103)이 미끄럼 이동 가능하게 장전되어, 실린더실(102)이 제1실(102a)과 제2실(102b)로 구획되어 있다. 출력 로드(104)는, 피스톤(103)에 연결되어 있다. 출력 로드(104)는, 출력부의 일례이다. 압축 스프링(105)은, 제1실(102a)에 압축 설치되어, 피스톤(103)을 통해 출력 로드(104)에 대해, 실린더(101)로부터 돌출되는 방향의 힘을 상시 부여하고 있다. 제2실(102b)은, 연통로(106)를 통해 조작 포트(23)에 연통되어 있다. 조작 포트(23)에는, 실린더 제어 장치(3)(도시하지 않음)가 접속된다.In the actuator device 100, the piston 103 is slidably mounted on the cylinder 101, and the cylinder chamber 102 is divided into a first chamber 102a and a second chamber 102b. The output rod 104 is connected to the piston 103. The output rod 104 is an example of an output unit. The compression spring 105 is compressedly installed in the first chamber 102a, and always applies a force in the direction protruding from the cylinder 101 to the output rod 104 through the piston 103. The second chamber 102b is connected to the operation port 23 through the communication path 106. A cylinder control device 3 (not shown) is connected to the operation port 23.

이러한 액추에이터 장치(100)는, 제1 실시 형태와 동일하게, 도시되지 않은 제어 장치(3)가 제2실(102b)에 조작 유체를 급배기하고, 실린더(101)의 조작 압력을 제어한다. 액추에이터 장치(100)는, 압축 스프링(105)의 스프링력과 제2실(102b)의 압력의 밸런스에 따라 출력 로드(104)를 진퇴시킨다. 따라서, 액추에이터 장치(100)는, 제1 실시 형태와 동일하게, 액추에이터 장치(100)의 출력을 제어하기 위한 제어 구성이 콤팩트해지고, 응답 시간이 단축된다.In the actuator device 100, as in the first embodiment, a control device 3 (not shown) supplies and discharges the operating fluid to the second chamber 102b, and controls the operating pressure of the cylinder 101. The actuator device 100 moves the output rod 104 back and forth according to the balance of the spring force of the compression spring 105 and the pressure of the second chamber 102b. Therefore, the actuator device 100 has a compact control configuration for controlling the output of the actuator device 100, and the response time is reduced, as in the first embodiment.

또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 다양한 응용이 가능하다.In addition, the present invention is not limited to the above embodiment, and various applications are possible.

(1) 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 조작부(35)를 통해 입력된 초기 압력(Pf), 목표 압력(Pe), 딜레이 시간(Td), 스위프 시간(Ts), 리피트 시간(Tr)에 기초하여 동작 패턴을 작성했지만, 상위 컨트롤러(9)가 작성한 동작 패턴을 마이컴 제어부(41)가 통신 인터페이스부(42)를 통해 접수하고, EEPROM(54)에 기억시키게 해도 된다.(1) For example, in the above embodiment, the initial pressure (Pf), the target pressure (Pe), the delay time (Td), the sweep time (Ts), the repeat time (Tr) input through the operation unit 35 Although an operation pattern was created based on this, the operation pattern created by the host controller 9 may be received by the microcomputer control unit 41 through the communication interface unit 42 and stored in the EEPROM 54.

(2) 제어 장치(3)는, 컨트롤러(4) 내의 통신 인터페이스부(42)를 생략하여, 비용 절감해도 된다. 이 경우, 상위 컨트롤러(9)를 제어 장치(3)에 접속할 수 없지만, 조작부(35)를 통해 동작 패턴의 기억이나 밸브 제어를 행할 수 있다.(2) The control device 3 may reduce the cost by omitting the communication interface 42 in the controller 4. In this case, the upper controller 9 cannot be connected to the control device 3, but the operation pattern 35 can be used to store the operation pattern or to control the valve.

(3) 표시부(31)는, 예를 들어 좌측으로부터 1자리째를 적색으로 표시하고, 좌측에서 2자리째로부터 4자리째까지 녹색으로 표시하는 등, 표시색을 바꾸어서 보기 쉽게 해도 된다. 물론, 표시부(31)의 표시가 단색이어도 된다.(3) The display unit 31 may be easy to see by changing the display color, for example, displaying the first digit from the left in red, and displaying from the left to the second to fourth digit in green. Of course, the display of the display portion 31 may be a single color.

(4) 예를 들어, 표시부(31)를 액정 디스플레이로 구성해도 된다. 또한 예를 들어, 터치식 패널에 의해, 표시부(31)와 조작부(35)를 일체로 설치해도 된다.(4) For example, the display portion 31 may be configured as a liquid crystal display. Moreover, the display part 31 and the operation part 35 may be integrally provided, for example, by a touch panel.

(5) 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 표시부(31)의 자릿수는 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 임의로 변경 가능하다. 또한, 제1 키 내지 제3 키(32 내지 34)의 수는 상기 실시 형태에 한정되지 않는다.(5) For example, in the above embodiment, the number of digits of the display unit 31 is not limited to the above embodiment, and can be arbitrarily changed. Note that the number of the first to third keys 32 to 34 is not limited to the above embodiment.

(6) 예를 들어, 액추에이터 장치(1)는 단동 밸브이지만, 복동 밸브여도 된다.(6) For example, the actuator device 1 is a single acting valve, but may be a double acting valve.

1, 100: 피스톤 액추에이터 장치
3: 실린더 제어 장치
4: 컨트롤러
8: 급배기부
17: 실린더
19: 피스톤
31: 표시부
35: 조작부
42: 통신 인터페이스
44: 입출력부
51: CPU
54: EEPROM1, 100: piston actuator device
3: Cylinder control device
4: Controller
8: Supply and exhaust
17: Cylinder
19: piston
31: display
35: control panel
42: communication interface
44: input and output unit
51: CPU
54: EEPROM

Claims (6)

피스톤을 수용하는 실린더의 조작 압력을 제어하는 실린더 제어 장치에 있어서,
상기 실린더에 조작 유체를 급배기함으로써, 상기 조작 압력을 제어하는 급배기부와,
제어부와,
기억부와,
시간마다의 조작 압력의 설정값을 접수하는 접수부를 갖고,
상기 제어부는,
상기 접수부를 통해 초기 압력과, 목표 압력과, 딜레이 시간과, 스위프 시간의 설정값을 접수하여 동작 패턴을 생성하고, 상기 기억부에 식별 가능하게 기억하는 동작 패턴 기억 처리와,
상기 기억부에 복수의 동작 패턴이 기억되는 경우이며, 또한, 상기 동작 패턴을 지정하는 지정 명령을 취득한 경우에, 상기 기억부에 기억되는 상기 복수의 동작 패턴 중에서 상기 지정 명령에 대응하는 동작 패턴을 판독하는 동작 패턴 판독 처리와,
상기 동작 패턴 판독 처리로 판독된 동작 패턴에 따라, 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값에 상기 조작 압력을 일치시키도록 상기 급배기부를 제어하는 제어 처리를 실행하는 것,
상기 초기 압력은, 동작 패턴을 따라서 상기 실린더의 조작 압력의 제어를 개시할 때의 조작 압력의 설정값이며,
상기 목표 압력은, 상기 실린더의 조작 압력을 피드 포워드 제어할 때의 조작 압력의 설정값이며,
상기 딜레이 시간은, 동작 패턴을 따라서 상기 실린더의 조작 압력의 제어를 개시한 후, 상기 초기 압력을 유지하는 시간이며,
상기 스위프 시간은, 상기 초기 압력을 상기 목표 압력에 도달시킬 때까지의 시간인 것을
특징으로 하는 실린더 제어 장치.In the cylinder control device for controlling the operating pressure of the cylinder for receiving the piston,
A supply/exhaust unit for controlling the operating pressure by supplying/exhausting the operating fluid to the cylinder;
A control unit,
With memory,
It has a receiving section that receives the set value of the operating pressure every hour,
The control unit,
An operation pattern storage process for receiving an initial pressure, a target pressure, a delay time, and a set value of a sweep time through the reception unit to generate an operation pattern, and to identifiably store it in the storage unit;
When a plurality of operation patterns are stored in the storage unit, and when a designation command for designating the operation pattern is acquired, an operation pattern corresponding to the designation command is selected from among the plurality of operation patterns stored in the storage unit. An operation pattern reading process for reading,
Executing a control process for controlling the supply/exhaust section to match the operation pressure to a set value of the operation pressure every hour according to the operation pattern read by the operation pattern reading process,
The initial pressure is a set value of the operating pressure when starting control of the operating pressure of the cylinder along the operation pattern,
The target pressure is a set value of the operating pressure when feed-forward control of the operating pressure of the cylinder,
The delay time is a time for maintaining the initial pressure after starting control of the operating pressure of the cylinder according to the operation pattern,
The sweep time is a time until the initial pressure reaches the target pressure.
Cylinder control device characterized by. 제1항에 있어서,
상기 동작 패턴 기억 처리에서는, 또한 상기 접수부를 통해, 상기 초기 압력과 상기 목표 압력의 변동을 반복하는 경우의 간격 시간인 리피트 시간의 설정값을 접수하고, 접수한 상기 리피트 시간의 간격으로 상기 초기 압력과 상기 목표 압력의 변동을 반복하는 상기 동작 패턴을 생성하는 것을
특징으로 하는 실린더 제어 장치.According to claim 1,
In the operation pattern memory processing, a set value of a repeat time, which is an interval time when the fluctuation of the initial pressure and the target pressure is repeated, is also received through the receiving unit, and the initial pressure is obtained at the interval of the received repeat time. And generating the operation pattern that repeats the fluctuation of the target pressure.
Cylinder control device characterized by. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제어 처리는, 상기 조작 압력을 상기 조작 압력의 설정값에 도달시키기 직전에 있어서의 상기 피스톤의 이동 방향을 항상 동일하게 하도록, 상기 급배기부를 제어하는 것을
특징으로 하는 실린더 제어 장치.The method according to claim 1 or 2,
The control process is to control the supply/exhaust portion so that the moving direction of the piston is always the same just before the operating pressure reaches the set value of the operating pressure.
Cylinder control device characterized by. 제1항 또는 제2항에 있어서,
조작부와 표시부를 구비하고,
상기 제어부는,
상기 조작부의 조작 내용을 상기 표시부에 표시시키는 표시 처리를 실행하고,
또한, 상기 동작 패턴 기억 처리에서, 상기 조작부를 통해 입력된 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값을 상기 접수부가 접수하는 것을
특징으로 하는 실린더 제어 장치.The method according to claim 1 or 2,
It has a control unit and a display unit,
The control unit,
Display processing for displaying the operation contents of the operation unit on the display unit,
Further, in the operation pattern storage processing, the reception unit receives the set value of the operation pressure for each time input through the operation unit.
Cylinder control device characterized by. 제3항에 있어서,
조작부와 표시부를 구비하고,
상기 제어부는,
상기 조작부의 조작 내용을 상기 표시부에 표시시키는 표시 처리를 실행하고,
또한, 상기 동작 패턴 기억 처리에서, 상기 조작부를 통해 입력된 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값을 상기 접수부가 접수하는 것을
특징으로 하는 실린더 제어 장치.According to claim 3,
It has a control unit and a display unit,
The control unit,
Display processing for displaying the operation contents of the operation unit on the display unit,
Further, in the operation pattern storage processing, the reception unit receives the set value of the operation pressure for each time input through the operation unit.
Cylinder control device characterized by. 실린더와,
상기 실린더에 수용되어, 상기 실린더 내의 조작 압력에 따라 상기 실린더 내를 미끄럼 이동하는 피스톤과,
상기 피스톤에 연결되어, 상기 피스톤의 이동에 따라 출력을 행하는 출력부와,
상기 실린더에 접속되는 실린더 제어 장치를 갖는 피스톤 액추에이터 장치에 있어서,
상기 실린더 제어 장치는,
상기 실린더에 조작 유체를 급배기함으로써, 상기 조작 압력을 제어하는 급배기부와,
제어부와,
기억부와,
시간마다의 조작 압력의 설정값을 접수하는 접수부를 갖고,
상기 제어부는,
상기 접수부를 통해 초기 압력과, 목표 압력과, 딜레이 시간과, 스위프 시간의 설정값을 접수하여 동작 패턴을 생성하고, 상기 기억부에 식별 가능하게 기억하는 동작 패턴 기억 처리와,
상기 기억부에 복수의 동작 패턴이 기억되는 경우이며, 또한, 상기 동작 패턴을 지정하는 지정 명령을 취득한 경우에, 상기 기억부에 기억되는 상기 복수의 동작 패턴 중에서 상기 지정 명령에 대응하는 동작 패턴을 판독하는 동작 패턴 판독 처리와,
상기 동작 패턴 판독 처리로 판독된 동작 패턴에 따라, 상기 시간마다의 조작 압력의 설정값에 상기 조작 압력을 일치시키도록 상기 급배기부를 제어하는 제어 처리를 실행하는 것,
상기 초기 압력은, 동작 패턴을 따라서 상기 실린더의 조작 압력의 제어를 개시할 때의 조작 압력의 설정값이며,
상기 목표 압력은, 상기 실린더의 조작 압력을 피드 포워드 제어할 때의 조작 압력의 설정값이며,
상기 딜레이 시간은, 동작 패턴을 따라서 상기 실린더의 조작 압력의 제어를 개시한 후, 상기 초기 압력을 유지하는 시간이며,
상기 스위프 시간은, 상기 초기 압력을 상기 목표 압력에 도달시킬 때까지의 시간인 것을
특징으로 하는 피스톤 액추에이터 장치.Cylinder,
A piston accommodated in the cylinder and slid in the cylinder according to the operating pressure in the cylinder;
An output unit connected to the piston to output according to the movement of the piston;
In the piston actuator device having a cylinder control device connected to the cylinder,
The cylinder control device,
A supply/exhaust unit for controlling the operating pressure by supplying/exhausting the operating fluid to the cylinder;
A control unit,
With memory,
It has a receiving section that receives the set value of the operating pressure every hour,
The control unit,
An operation pattern storage process for receiving an initial pressure, a target pressure, a delay time, and a set value of a sweep time through the reception unit to generate an operation pattern, and to identifiably store it in the storage unit;
When a plurality of operation patterns are stored in the storage unit, and when a designation command for designating the operation pattern is acquired, an operation pattern corresponding to the designation command is selected from among the plurality of operation patterns stored in the storage unit. An operation pattern reading process for reading,
Executing a control process for controlling the supply/exhaust section to match the operation pressure to a set value of the operation pressure every hour according to the operation pattern read by the operation pattern reading process,
The initial pressure is a set value of the operating pressure when starting control of the operating pressure of the cylinder along the operation pattern,
The target pressure is a set value of the operating pressure when feed-forward control of the operating pressure of the cylinder,
The delay time is a time for maintaining the initial pressure after starting control of the operating pressure of the cylinder according to the operation pattern,
The sweep time is a time until the initial pressure reaches the target pressure.
Piston actuator device characterized by.
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