KR102130837B1 - Digital projector Inspection System and its inspection method - Google Patents

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KR102130837B1
KR102130837B1 KR1020180140367A KR20180140367A KR102130837B1 KR 102130837 B1 KR102130837 B1 KR 102130837B1 KR 1020180140367 A KR1020180140367 A KR 1020180140367A KR 20180140367 A KR20180140367 A KR 20180140367A KR 102130837 B1 KR102130837 B1 KR 102130837B1
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Abstract

본 발명은 측정 대상물 직상부에 위치되어 측정 대상물을 찍고 광학 영상을 디지털화시켜 유선 또는 무선으로 연결된 컴퓨터로 전송하는 디지털 카메라; 상기 디지털 카메라와 연결되어 상기 측정 대상물을 저배율에서 고배율까지 다양한 배율로 관찰하는 광학 줌 렌즈; 상기 디지털 카메라와 연결되어 상부에서 상기 측정 대상물로 조사되는 링조명; 상기 디지털 카메라와 연결되어 고배율에서도 상기 측정 대상물의 초점을 선명하게 자동으로 맞추는 오토포커스 장치; 상기 측정 대상물 경계부위의 측정 정확도를 높이기 위해서 하부에서 측정 대상물로 조사되는 백라이트; 상기 디지털 카메라과 광학 줌 렌즈 및 링조명을 포함하는 광학계 전체를 Z축으로 수직으로 이동시키는 Z스테이지; 및 상기 측정 대상물이 상면 중심에 위치되고 상기 백라이트 조명을 투과시키는 투명유리를 갖고 상기 측정 대상물을 X축 또는 Y축으로 이동시키고 그 위치 정보를 인식하는 XY스테이지를 구비하는 디지털 프로젝터 검사기 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명은 기존의 프로젝터 및 측정 현미경, 비접촉 AOI(Automated Optical Inspection)의 단점을 개선하여 제품 가공 상태의 불량 유무의 검증을 빠르게 육안 검사만으로 진행할 수 있고 더 나아가 정밀하게 측정 할 수 있으며, 다양한 정밀 금형 검사를 신속하고 정확하게 이루어 지도록 하고, 검사 준비 과정에서의 시간 지연과 검사 과정에서의 오류가 발생되지 않도록 하는 효과가 있다.
The present invention is a digital camera that is located directly above the measurement object to take the measurement object and digitize the optical image and transmit it to a computer connected by wire or wirelessly; An optical zoom lens connected to the digital camera to observe the measurement object at various magnifications from low magnification to high magnification; A ring light connected to the digital camera and irradiated to the measurement object from the top; An autofocus device connected to the digital camera to automatically and automatically focus the measurement object even at high magnification; A backlight irradiated to the measurement object from the bottom to increase the measurement accuracy of the boundary of the measurement object; A Z-stage for vertically moving the optical system including the digital camera, the optical zoom lens, and ring illumination in the Z axis; And an XY stage having a transparent glass in which the measurement object is positioned at the center of the upper surface and transmitting the backlight illumination, and moving the measurement object in the X-axis or Y-axis and recognizing the position information. It's about how.
The present invention can improve the shortcomings of the existing projector and measurement microscope and non-contact AOI (Automated Optical Inspection) to quickly verify the presence or absence of defects in the product processing state, and furthermore, to accurately measure, and measure various precisions. It has the effect of making the mold inspection quick and accurate, and avoiding delays in the preparation process and errors in the inspection process.

Description

디지털 프로젝터 검사기 및 이를 이용한 검사방법{Digital projector Inspection System and its inspection method}Digital projector inspection system and its inspection method

본 발명은 디지털 프로젝터 검사기 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기존의 프로젝터 및 측정 현미경, 비접촉 AOI(Automated Optical Inspection)의 단점을 개선하여 제품 가공 상태의 불량 유무의 검증을 빠르게 육안 검사만으로 진행할 수 있고 더 나아가 정밀하게 측정 할 수 있는 디지털 프로젝터 검사기 및 이를 이용한 검사방법에 관한 것이다. The present invention relates to a digital projector inspector and an inspection method using the same, and more specifically, to improve the shortcomings of the existing projector, measurement microscope, and non-contact AOI (Automated Optical Inspection), visually inspect the presence or absence of defects in product processing status It relates to a digital projector inspector that can proceed only and can be accurately measured, and an inspection method using the same.

일반적으로 스마트폰 및 전기/전자 부품들은 소비자의 요구에 의해 다양화, 정밀화, 소형화되는 반면에 제품의 라이프 사이클은 점점 짧아 지고 있다.In general, smartphones and electrical/electronic components are diversified, refined, and miniaturized by consumer demands, while product life cycles are becoming shorter.

이러한 요구사항을 충족시키기 위해서는 부품을 생산하는 정밀 금형의 품질이 우선되어야 한다.In order to meet these requirements, the quality of precision molds that produce parts must be prioritized.

따라서 정밀 금형 제작 과정도 중요하지만 제작 후 품질 측정 환경 또는 장비를 이용해 금형 품질을 보증해야 한다.Therefore, the precision mold manufacturing process is also important, but the quality of the mold must be guaranteed using a quality measurement environment or equipment after production.

이러한 정밀 금형을 측정하기 위해서 투영기(프로젝터), 측정 현미경, 비접촉 AOI(Automated Optical Inspection), 마이크로 메터등이 널리 사용되고 있다.Projectors (projectors), measurement microscopes, non-contact automated optical inspection (AOI), and micrometers are widely used to measure such precision molds.

기존 투영기(또는 프로젝터)는 광학 영상을 스크린에 투영시키고, 캐드 도면을 프린트하여 투영된 영상에 겹쳐 관찰/측정하는 방식으로, 이런 티지털 프로젝터는 광학 영상을 디지털 카메라를 이용해 컴퓨터로 전송하고, 전송된 디지털 영상을 관찰 및 자동 측정할 수 있는 장치이다. Conventional projectors (or projectors) project optical images onto the screen, print CAD drawings, and superimpose on the projected images for observation/measurement. Such digital projectors transmit and transmit optical images to computers using digital cameras. It is a device that can observe and automatically measure the digital image.

또한 파일로 저장되어 있는 캐드 도면을 불러와 디지털 영상에 겹쳐 출력하여 빠르고 정확하게 관찰 및 자동 측정하는 장치이다.It is a device that quickly and accurately observes and automatically measures CAD drawings that are stored as files and outputs them overlaid on digital images.

그러나, 전기/전자 부품들의 시장 특성상 정밀 금형의 다품종 소량 생산의 비율이 매우 높아 상기의 측정기들을 이용해 금형을 측정하는 방식은 시간이 오래 소요되고 정확도가 떨어지며 능숙한 숙련도를 갖는 작업자를 찾기가 어려워 작업효율이 매우 떨어지는 문제점이 있었다.However, due to the market characteristics of electrical/electronic parts, the rate of production of small quantities of multi-species of precision molds is very high. There was this very falling issue.

(1) 대한민국 특허 등록번호 10-0174940호(1) Republic of Korea Patent Registration No. 10-0174940

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기존의 투영기(프로젝터) 및 측정 현미경, 비접촉 AOI(Automated Optical Inspection)의 단점을 개선하여 제품 가공 상태의 불량 유무의 검증을 빠르게 육안 검사만으로 진행할 수 있고 더 나아가 정밀하게 측정 할 수 있는 디지털 프로젝터 검사기 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 그 목적이 그 목적이 있다.The present invention is to solve the problems as described above, by improving the disadvantages of the conventional projector (projector) and measurement microscope, non-contact AOI (Automated Optical Inspection) can quickly proceed to the verification of the presence or absence of defects in the product processing state The objective is to provide a digital projector inspector capable of accurately measuring and an inspection method using the same.

또한, 다양한 정밀 금형 검사를 신속하고 정확하게 이루어 지도록 하고, 검사 준비 과정에서의 시간 지연과 검사 과겅에서의 오류가 발생되지 않도록 한 디지털 프로젝터 검사기 및 이를 이용한 검사방법을 제공함에 다른 목적이 있다.In addition, there is another object to provide a digital projector tester and an inspection method using the same, so that various precision mold inspections can be performed quickly and accurately, and a time delay in an inspection preparation process and an error in the inspection are not generated.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에 언급한 과제들에 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 디지털 프로젝터 검사기는, 측정 대상물 직상부에 위치되어 측정 대상물을 찍고 광학 영상을 디지털화시켜 유선 또는 무선으로 연결된 컴퓨터로 전송하는 디지털 카메라; In order to achieve the above object, the digital projector tester of the present invention includes a digital camera which is located directly above the measurement object, takes a measurement object, digitizes an optical image, and transmits it to a computer connected by wire or wirelessly;

상기 디지털 카메라와 연결되어 상기 측정 대상물을 저배율에서 고배율까지 다양한 배율로 관찰하는 광학 줌 렌즈; An optical zoom lens connected to the digital camera to observe the measurement object at various magnifications from low magnification to high magnification;

상기 디지털 카메라와 연결되어 상부에서 상기 측정 대상물로 조사되는 링조명; A ring light connected to the digital camera and irradiated to the measurement object from the top;

상기 디지털 카메라와 연결되어 고배율에서도 상기 측정 대상물의 초점을 선명하게 자동으로 맞추는 오토포커스 장치; An autofocus device connected to the digital camera to automatically and automatically focus the measurement object even at high magnification;

상기 측정 대상물 경계부위의 측정 정확도를 높이기 위해서 하부에서 측정 대상물로 조사되는 백라이트; A backlight irradiated to the measurement object from the bottom to increase the measurement accuracy of the boundary of the measurement object;

상기 디지털 카메라과 광학 줌 렌즈 및 링조명을 포함하는 광학계 전체를 Z축으로 수직으로 이동시키는 Z스테이지; 및A Z-stage for vertically moving the optical system including the digital camera, the optical zoom lens, and ring illumination in the Z axis; And

상기 측정 대상물이 상면 중심에 위치되고 상기 백라이트 조명을 투과시키는 투명유리를 갖고 상기 측정 대상물을 X축 또는 Y축으로 이동시키고 그 위치 정보를 인식하는 XY스테이지를 구비하는 특징이 있다.The object to be measured is located at the center of the upper surface, and has a transparent glass that transmits the backlight illumination, and has an XY stage that moves the object to be measured in the X-axis or Y-axis and recognizes the position information.

또한, 상기 컴퓨터는, 실시간 비디오로 확대 관찰하는 비디오창; In addition, the computer, the video window to enlarge the observation in real time video;

상기 디지탈 카메라로 부터 받은 측정 대상물의 실물 영상과 내부에 미리 제작되어 저장된 측정 대상물의 설계 정보(CAD)를 중첩해서 상기 비디오창으로 중첩 출력시키는 중첩출력창; A superimposed output window that superimposes and outputs the real image of the measurement object received from the digital camera and the design information (CAD) of the measurement object previously produced and stored therein to the video window;

상기 비디오창과는 별도로 인접되어 내부에 미리 제작되어 저장된 측정 대상물의 설계 정보(CAD)을 보여주는 캐드 원본 보기창; A CAD original viewing window showing design information (CAD) of a measurement object which is pre-made and stored inside adjacent to the video window;

상기 비디오창 및 캐드 원본 보기창과는 별도로 인접되어 상기 중첩출력창에서 검사된 영역과 불량 정보를 전체적으로 보여주는 검사된 영역창; 및An inspected area window which is adjacent to the video window and the original view window of the CAD and shows the inspected area and defective information as a whole in the overlapped output window; And

상기 비디오창과 캐드 원본 보기창 및 검사된 영역창과 별도로 측정 대상물의 현재 위치를 XY 좌표로 보여주는 스테이지 좌표 창;을 포함하는 특징이 있다.In addition to the video window and the original view window of the CAD and the inspected area window, a stage coordinate window showing the current position of the measurement object in XY coordinates.

또한, 본 발명의 디지털 프로젝터 검사기를 이용한 검사방법은, 디지털 프로젝터 검사기의 XY스테이지 투명유리 상면에 측정 대상물을 위치시키는 측정 대상물 정위치단계;In addition, the inspection method using the digital projector tester of the present invention, the measurement object positioning step of positioning the measurement object on the XY stage transparent glass top of the digital projector tester;

컴퓨터를 구동시켜 측정 대상물의 설계 정보(CAD)를 활성화시키는 설계정보 활성화단계;A design information activation step of driving a computer to activate design information (CAD) of the measurement object;

컴퓨터의 불량검사 프로그램창을 활성화시키는 프로그램창 활성화단계;A program window activation step of activating a computer defect inspection program window;

상기 불량검사 프로그램창의 캐드 원본 보기창에 디지털 카메라로부터 제공된 측정 대상물의 설계 정보(CAD)를 선택하여 띄우는 설계정보 띄움단계;A design information floating step of selecting and displaying design information (CAD) of a measurement object provided from a digital camera in a CAD original view window of the defect inspection program window;

상기 불량검사 프로그램창 캐드 원본 보기창의 측정 대상물 설계 정보(CAD)에서 정렬개체를 선택하는 정렬개체 선택단계;An alignment object selection step of selecting an alignment object from the measurement object design information (CAD) of the defect inspection program window CAD source view window;

상기 정렬개체 선택단계에서 선택된 개체에 해당되는 측정 대상물의 영역이 비디오창의 X축과 Y축이 만난는 중앙십자선에 일치되도록 디지털 프로젝터 검사기의 XY스테이지를 이동시키는 XY스테이지이동단계;An XY stage moving step of moving the XY stage of the digital projector checker so that the area of the measurement object corresponding to the object selected in the alignment object selection step coincides with the center crosshair where the X and Y axes of the video window meet;

선택된 측정 대상물 설계 정보(CAD)를 기반으로 X축과 Y축이 만난는 중앙십자선 근처의 측정 대상물 형상을 자동으로 감지하는 형상자동감지단계;A shape automatic detection step of automatically detecting a shape of a measurement object near a central cross line where the X and Y axes meet based on the selected measurement object design information (CAD);

선택된 측정 대상물 설계 정보(CAD)의 형상을 기반으로 비디오창 내에서 원, 호, 선형상으로 수치해석하는 형상해석단계;A shape analysis step of numerically analyzing in a video window in a circle, arc, or linear shape based on the shape of the selected measurement object design information (CAD);

상기 형상해석단계를 거쳐서 데이텀(datum) 참조 개체로 설정하고 데이텀 개체가 2개일 경우에 데이텀 개체를 이용해 측정 대상물의 회전정보와 이동정보를 해석하는 측정대상물 해석단계;A measurement object analysis step of setting the datum reference object through the shape analysis step and analyzing rotation information and movement information of the measurement object using the datum object when there are two datum objects;

상기 형상해석단계를 거쳐서 데이텀(datum) 참조 개체로 설정하고 데이텀 개체가 2개가 아닐 경우에 상기 정렬개체 선택단계로 되돌아가는 복귀단계;A return step of setting as a datum reference object through the shape analysis step and returning to the sorting object selection step when there are not two datum objects;

해석된 정보를 이용해 설계 정보(CAD)를 비디오창에 중첩 출력하는 중첩출력단계;A superimposed output step of superimposing and outputting design information (CAD) on the video window using the analyzed information;

중첩출력단계 이후 설계 정보(CAD)와 중첩된 측정 대상물 형상과의 떨어진 거리나 각도가 지정된 값 이상이면 중첩출력창을 통해 경고하고 주의 메시지를 출력하며 비디오창에 이상부위의 영역과 측정값을 출력하는 경고및메시지출력단계; 및If the distance or angle between the design information (CAD) and the shape of the object to be superimposed after the superimposed output step is greater than or equal to the specified value, a warning is displayed through the superimposed output window, a warning message is output, and the area of the anomaly and the measured value are output on the video window. Warning and message output steps; And

상기 비디오창에 보이는 설계 정보(CAD)를 기반으로 하는 측정 대상물 형상의 표면불량이나 불량패턴을 포함하는 스크래치의 검사가 인공지능(Deep Learning)을 기반으로 실시간으로 이루어지는 인공지능 화면검사단계;를 포함하는 특징이 있다.Including the artificial intelligence screen inspection step in real time based on the artificial intelligence (Deep Learning) inspection of scratches, including surface defects or defect patterns of the measurement object shape based on the design information shown in the video window (CAD) There is a characteristic.

이와 같이, 본 발명은 기존의 프로젝터 및 측정 현미경, 비접촉 AOI(Automated Optical Inspection)의 단점을 개선하여 제품 가공 상태의 불량 유무의 검증을 빠르게 육안 검사만으로 진행할 수 있고 더 나아가 정밀하게 측정 할 수 있으며, 다양한 정밀 금형 검사를 신속하고 정확하게 이루어 지도록 하고, 검사 준비 과정에서의 시간 지연과 검사 과정에서의 오류가 발생되지 않도록 하는 효과가 있다.As described above, the present invention can improve the shortcomings of the existing projectors and measuring microscopes, and non-contact AOIs (Automated Optical Inspection) to quickly and accurately verify the presence or absence of defects in the product processing state, and furthermore, to accurately measure the It has the effect of ensuring that various precision mold inspections are made quickly and accurately, and that there is no delay in the preparation process and errors in the inspection process.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and various modifications can be implemented by anyone who has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Of course, such changes are within the scope of the claims.

도 1은 본 발명 실시 예인 디지털 프로젝터 검사기의 정면 모습과 측면 모습을 보인 설명도,
도 2는 본 발명 실시 예인 디지털 프로젝터 검사기를 통해 구현되는 컴퓨터 불량검사프로그램창의 모습을 보인 설명도,
도 3은 본 발명 실시 예인 디지털 프로젝터 검사기를 이용한 검사방법을 보인 순서도.
1 is an explanatory view showing a front view and a side view of a digital projector tester according to an embodiment of the present invention;
2 is an explanatory view showing a state of a computer defect inspection program window implemented through a digital projector inspection system according to an embodiment of the present invention;
Figure 3 is a flow chart showing an inspection method using a digital projector tester that is an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명을 첨부된 도면에 의해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명에 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains may easily practice. The present invention can be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시 예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니되며, 실시 예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. In the drawings, parts not related to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and the same reference numerals are attached to the same or similar elements throughout the specification. The scope of rights of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described in the text, and since the embodiments can be modified in various ways and have various forms, the scope of rights of the present invention can realize technical ideas. It should be understood to include equivalents.

본 발명의 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification of the present invention, when it is said that a part is "connected" to another part, this includes not only the case where it is "directly connected", but also "indirectly connected" with another member interposed therebetween. In addition, when a part is said to "include" a certain component, this means that other components may be further included instead of excluding other components, unless otherwise stated.

본 발명에서 사용되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 발명의 기술적 사항에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 할 것이다.Terms used in the present invention are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of the user or operator, so definitions of these terms are consistent with the technical matters of the present invention. And should be interpreted as a concept.

그리고, 아래 실시 예에서의 선택적인 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로서, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.And, the optional terms in the embodiments below are used to distinguish one component from another component, and the component is not limited by the terms. Hereinafter, in describing the present invention, detailed descriptions of related well-known technologies that may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention are omitted.

본 발명의 디지털 프로젝터 검사기(A)는, 디지털 카메라(100)와, 광학 줌 렌즈(200)와, 링조명(300)과, 오토포커스 장치(400)와, 백라이트(500)와, Z스테이지(10)와, XY스테이지(30)로 구성된다.The digital projector inspector A of the present invention includes a digital camera 100, an optical zoom lens 200, a ring illumination 300, an autofocus device 400, a backlight 500, and a Z stage ( 10) and XY stage (30).

상기 디지털 카메라(100)는, 측정 대상물(1) 직상부에 위치되어 측정 대상물(1)을 찍고 광학 영상을 디지털화시켜 유선 또는 무선으로 연결된 컴퓨터(2)로 전송한다. The digital camera 100 is located directly above the measurement object 1, takes the measurement object 1, digitizes the optical image and transmits it to the computer 2 connected by wire or wirelessly.

상기 광학 줌 렌즈(200)는, 상기 디지털 카메라(100)와 연결되어 상기 측정 대상물(1)을 저배율에서 고배율까지 다양한 배율로 관찰한다. The optical zoom lens 200 is connected to the digital camera 100 and observes the measurement object 1 at various magnifications from low magnification to high magnification.

상기 링조명(300)은, 상기 디지털 카메라(100)와 연결되어 상부에서 상기 측정 대상물(1)로 조사된다. The ring lighting 300 is connected to the digital camera 100 and irradiated to the measurement object 1 from the top.

상기 오토포커스 장치(400)는, 상기 디지털 카메라(100)와 연결되어 고배율에서도 상기 측정 대상물(1)의 초점을 선명하게 자동으로 맞춘다. The autofocus device 400 is connected to the digital camera 100 to automatically and automatically focus the measurement object 1 even at high magnification.

상기 백라이트(500)는, 상기 측정 대상물(1) 경계부위의 측정 정확도를 높이기 위해서 하부에서 측정 대상물(1)로 조사된다. The backlight 500 is irradiated to the measurement object 1 from the bottom to increase the measurement accuracy of the boundary of the measurement object 1.

상기 Z스테이지(10)는, 상기 디지털 카메라(100)과 광학 줌 렌즈(200) 및 링조명(300)을 포함하는 광학계 전체를 Z축으로 수직으로 이동시킨다. The Z stage 10 moves the entire optical system including the digital camera 100, the optical zoom lens 200, and the ring illumination 300 vertically along the Z axis.

상기 XY스테이지(30)는, 상기 측정 대상물(1)이 상면 중심에 위치되고 상기 백라이트(500) 조명을 투과시키는 투명유리(20)를 갖고 상기 측정 대상물(1)을 X축 또는 Y축으로 이동시키고 그 위치 정보를 인식한다. The XY stage 30 has the transparent glass 20 through which the measurement object 1 is positioned at the center of the upper surface and transmits the backlight 500 illumination, and moves the measurement object 1 in the X axis or Y axis. And recognize the location information.

상기 컴퓨터(2)에는, 실시간 비디오로 확대 관찰하는 비디오창(S100)과, 상기 디지탈 카메라(100)로 부터 받은 측정 대상물(1)의 실물 영상과 내부에 미리 제작되어 저장된 측정 대상물(1)의 설계 정보(CAD)를 중첩해서 상기 비디오창(S100)으로 중첩 출력시키는 중첩출력창(S200)과, 상기 비디오창(S100)과는 별도로 인접되어 내부에 미리 제작되어 저장된 측정 대상물(1)의 설계 정보(CAD)을 보여주는 캐드 원본 보기창(S300)과, 상기 비디오창(S100) 및 캐드 원본 보기창(S300)과는 별도로 인접되어 상기 중첩출력창(S200)에서 검사된 영역과 불량 정보를 전체적으로 보여주는 검사된 영역창(S400)과, 상기 비디오창(S100)과 캐드 원본 보기창(S300) 및 검사된 영역창(S400)과 별도로 측정 대상물(1)의 현재 위치를 XY 좌표로 보여주는 스테이지 좌표 창(S500)를 포함하는 불량검사 프로그램창(3)이 구비된다.The computer 2 includes a video window S100 that is enlarged and observed with real-time video, a real image of the measurement object 1 received from the digital camera 100, and a measurement object 1 that has been previously produced and stored therein. Overlapping output window (S200) for superimposing and outputting design information (CAD) to the video window (S100), and design of the measurement object (1) that is pre-made and stored inside and adjacent to the video window (S100) The CAD original viewing window (S300) showing the information (CAD) and the video window (S100) and the CAD original viewing window (S300) are adjacent to each other, and the area inspected in the overlapping output window (S200) and defect information as a whole. Stage coordinate window showing the current position of the measurement object 1 in XY coordinates separately from the inspected area window S400, the video window S100, the CAD original view window S300, and the inspected area window S400. A defect inspection program window 3 including (S500) is provided.

또한, 본 발명의 디지털 프로젝터 검사기를 이용한 검사방법은, 측정 대상물 정위치단계(a)와, 설계정보 활성화단계(b)와, 프로그램창 활성화단계(c)와, 설계정보 띄움단계(d)와, 정렬개체 선택단계(e)와, XY스테이지이동단계(f)와, 형상자동감지단계(g)와, 형상해석단계(h)와, 측정대상물 해석단계(i)와, 경고및메시지출력단계(l)와, 인공지능 화면검사단계(m)로 이루어진다. In addition, the inspection method using the digital projector tester of the present invention, the measurement object positioning step (a), the design information activation step (b), the program window activation step (c), the design information floating step (d) and , Alignment object selection step (e), XY stage moving step (f), shape automatic detection step (g), shape analysis step (h), measurement object analysis step (i), warning and message output step (l) and artificial intelligence screen inspection step (m).

상기 측정 대상물 정위치단계(a)는, 디지털 프로젝터 검사기(A)의 XY스테이지(30) 투명유리(20) 상면에 측정 대상물(1)을 위치시키는 단계이다.The measurement object positioning step (a) is a step of positioning the measurement object 1 on the XY stage 30 transparent glass 20 of the digital projector inspector A.

상기 설계정보 활성화단계(b)는, 컴퓨터(2)를 구동시켜 측정 대상물(1)의 설계 정보(CAD)를 활성화시키는 단계이다.The design information activation step (b) is a step of activating the design information (CAD) of the measurement object 1 by driving the computer 2.

상기 프로그램창 활성화단계(c)는, 컴퓨터(2)의 불량검사 프로그램창(3)을 활성화시키는 단계이다.The program window activation step (c) is a step of activating the defect inspection program window 3 of the computer 2.

상기 설계정보 띄움단계(d)는, 상기 불량검사 프로그램창(3)의 캐드 원본 보기창(S300)에 디지털 카메라(100)로부터 제공된 측정 대상물(1)의 설계 정보(CAD)를 선택하여 띄우는 단계이다.In the design information floating step (d), the design information (CAD) of the measurement object 1 provided from the digital camera 100 is selected and floated in the CAD original view window S300 of the defect inspection program window 3. to be.

상기 정렬개체 선택단계(e)는, 상기 불량검사 프로그램창(3) 캐드 원본 보기창(S300)의 측정 대상물(1) 설계 정보(CAD)에서 정렬개체를 선택하는 단계이다.The alignment object selection step (e) is a step of selecting an alignment object from the measurement object (1) design information (CAD) of the defect inspection program window (3) CAD original view window (S300).

상기 XY스테이지이동단계(f)는, 상기 정렬개체 선택단계에서 선택된 개체에 해당되는 측정 대상물(1)의 영역이 비디오창(S100)의 X축과 Y축이 만난는 중앙십자선에 일치되도록 디지털 프로젝터 검사기(A)의 XY스테이지(30)를 이동시키는 단계이다.In the XY stage moving step (f), the digital projector checker so that the area of the measurement object 1 corresponding to the object selected in the alignment object selection step coincides with the central cross line where the X and Y axes of the video window S100 meet. This is a step of moving the XY stage 30 of (A).

상기 형상자동감지단계(g)는, 선택된 측정 대상물(1) 설계 정보(CAD)를 기반으로 X축과 Y축이 만난는 중앙십자선 근처의 측정 대상물(1) 형상을 자동으로 감지하는 단계이다.The automatic shape detection step (g) is a step of automatically detecting the shape of the measurement object 1 near the center cross line where the X and Y axes meet based on the selected measurement object 1 design information (CAD).

상기 형상해석단계(h)는, 선택된 측정 대상물(1) 설계 정보(CAD)의 형상을 기반으로 비디오창(S100) 내에서 원, 호, 선형상으로 수치해석하는 단계이다.The shape analysis step (h) is a step of numerically analyzing in a circle, arc, and linear shape in the video window S100 based on the shape of the selected measurement object 1 design information CAD.

상기 측정대상물 해석단계(i)는, 상기 형상해석단계를 거쳐서 데이텀(datum) 참조 개체로 설정하고 데이텀 개체가 2개일 경우에 데이텀 개체를 이용해 측정 대상물의 회전정보와 이동정보를 해석하는 단계이다.The measurement object analysis step (i) is a step of setting a datum reference object through the shape analysis step and analyzing rotation information and movement information of the measurement object using a datum object when there are two datum objects.

상기 형상해석단계를 거쳐서 데이텀(datum) 참조 개체로 설정하고 데이텀 개체가 2개가 아닐 경우에 상기 정렬개체 선택단계로 되돌아가는 복귀단계(j);A return step (j) of setting the datum reference object through the shape analysis step and returning to the sort object selection step when there are not two datum objects;

해석된 정보를 이용해 설계 정보(CAD)를 비디오창(S100)에 중첩 출력하는 중첩출력단계(k);A superimposed output step (k) of superimposing and outputting design information (CAD) on the video window (S100) using the analyzed information;

상기 경고및메시지출력단계(l)는, 중첩출력단계 이후 설계 정보(CAD)와 중첩된 측정 대상물(1) 형상과의 떨어진 거리나 각도가 지정된 값 이상이면 중첩출력창(S200)을 통해 경고하고 주의 메시지를 출력하며 비디오창(S100)에 이상부위의 영역과 측정값을 출력하는 단계이다.In the warning and message output step (l), after the overlapping output step, if the distance or angle between the design information (CAD) and the overlapped measurement object (1) shape is greater than the specified value, the warning is displayed through the overlapping output window (S200). This is the step of outputting the caution message and outputting the abnormal area and the measured value to the video window (S100).

상기 인공지능 화면검사단계(m)는, 상기 비디오창(S100)에 보이는 설계 정보(CAD)를 기반으로 하는 측정 대상물(1) 형상의 표면불량이나 불량패턴을 포함하는 스크래치의 검사가 인공지능(Deep Learning)을 기반으로 실시간으로 이루어지는 단계이다.In the artificial intelligence screen inspection step (m), inspection of scratches including surface defects or defective patterns of the object to be measured (1) based on design information (CAD) shown in the video window (S100) is performed by artificial intelligence ( Deep Learning).

이러한 본 발명은, 검사자가 디지털 프로젝터 검사기(A)의 투명유리(20) 상면에 측정 대상물(1)을 올려 놓고, 컴퓨터(2)의 설계 정보(CAD)를 활성화시킨 다음, 불량검사 프로그램창(3)을 활성화시켜 캐드원본보기창(S300)에 설계 정보(CAD)를 띄운다.In the present invention, the inspector places the measurement object 1 on the upper surface of the transparent glass 20 of the digital projector inspector A, activates the design information CAD of the computer 2, and then performs a defect inspection program window ( 3) Activate to display design information (CAD) in the CAD original view window (S300).

그 다음, 캐드원본보기창(S300)에서 정렬개체를 선택하면, 선택된 개체에 해당되는 영역으로 XY스테이지(30)가 이동하고, 이때 작업자가 비디오창(S100)에서 해당 영역이 화면의 중앙십자선에 닿도록 이동시키면, 불량검사 프로그램은 중앙십자선 근처의 형상을 자동으로 감지하여 선택된 설계 정보(CAD) 개체의 형상을 기반으로, 원, 호, 선 형상으로 해석하여 데이텀 참조 개체로 설정한다.Then, when an alignment object is selected in the CAD source view window (S300), the XY stage 30 moves to the area corresponding to the selected object, and the operator in the video window (S100) moves the area to the center crosshair of the screen. When moved to reach, the defect inspection program automatically detects the shape near the center crosshair and analyzes it as a circle, arc, line shape based on the shape of the selected design information (CAD) object, and sets it as a datum reference object.

설정된 데이텀 참조 개체가 2개가 아니면, 다시 캐드원본보기창(S300)에서 정렬 개체를 선택는 단계로 복위하여 다시 진행하고, 설정된 데이텀 참조 개체가 2개이면, 데이텀 개체를 이용해 측정 대상물(1)의 회전정보와 이동정보를 해석하며, 해석된 정보를 이용하여 설계 정보(CAD)를 비디오창(S100)에 중첩출력한다.If the set datum reference object is not two, the process is restored to the step of selecting the alignment object again in the CAD source view window (S300), and if the set datum reference object is two, rotation of the measurement object 1 using the datum reference object The information and movement information are analyzed, and design information (CAD) is superimposed on the video window (S100) using the analyzed information.

이 상태에서 비디오창(S100) 화면에 보이는 설계 정보(CAD)를 기반으로 주변 에지를 탐색하여, 설계 정보(CAD)와 에지의 떨어진 거리나 각도 등이 지정된 값 이상이면 화면을 통해 사용자에게 경고하고, 주의 메시지를 출력하며, 비디오 창(S100)에 이상부위의 영역과 측정 값을 출력한다.In this state, the surrounding edges are searched based on the design information (CAD) displayed on the screen of the video window (S100), and if the distance or angle between the design information (CAD) and the edge is greater than the specified value, the user is warned through the screen. , Outputs a caution message, and outputs the area of the abnormal region and the measured value in the video window (S100).

그리고, 검사 자료를 남기기 위해서는 사용자는 키보드의 엔터키나 별도로 제공되는 버튼을 눌러 검사된 영역 창(S400)에 정보를 남긴다.And, in order to leave the inspection data, the user presses the enter key of the keyboard or a button provided separately and leaves the information in the inspected area window S400.

이렇게 비디오창(S100) 화면에 보이는 설계 정보(CAD)를 기반으로 주변 에지 형상의 찍힘(표면 불량), 스크레치 등을 실시간으로 검사함에 있어, 인공지능(Deep Learning)을 기반으로 구현되며, 사용자가 추가적으로 불량 패턴(형상)등을 추가할 수도 있음은 물론이다.Based on the design information (CAD) shown on the screen of the video window (S100), in the real-time inspection of scratches (surface defects), scratches, etc. of the shape of the surrounding edge, it is implemented based on deep learning, and the user Needless to say, additionally, a bad pattern (shape) may be added.

본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 기술적 사상의 범위에 포함되는 것은 자명하다.The drawings attached to the present embodiment and the present specification merely show a part of the technical spirit included in the present invention, and can be easily inferred by those skilled in the art within the scope of the technical spirit included in the specification and the drawings of the present invention. It is apparent that all possible modifications and specific examples are included in the scope of the technical spirit of the present invention.

본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description, and all modifications or variations derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts should be interpreted to be included in the scope of the present invention.

A : 디지털 프로젝터 검사기
a : 측정대상물 정위치단계
b : 설계정보 활성화단계
c : 프로그램창 활성화단계
d : 설계정보 띄움단계
e : 정렬개체 선택단계
f : XY스테이지 이동단계
g : 형상자동감지단계
h : 형상해석단계
i : 측정대상물 해석단계
j : 복귀단계
k : 중첩출력단계
l : 경고및메시지출력단계
m : 인공지능 화면검사단계
1 : 측정 대상물
2 : 컴퓨터
3 : 불량검사 프로그램창
10 : Z스테이지
20 : 투명유리
30 : XY스테이지
100 : 디지털 카메라
200 : 줌렌즈
300 : 링조명
400 : 오토포커스 장치
500 : 백라이트
S100 : 비디오창
S200 : 중첩출력창
S300 : 캐드원본보기창
S400 : 검사된 영역창
S500 : 스테이지 좌표창
A: Digital projector checker
a: Precise step of measurement object
b: Design information activation stage
c: Program window activation step
d: design information float
e: Sort object selection step
f: XY stage moving stage
g: Automatic shape detection step
h: Shape analysis step
i: Analysis of the measurement object
j: return step
k: Overlapping output stage
l: Warning and message output stage
m: AI screen inspection step
1: Object to be measured
2: Computer
3: Poor inspection program window
10: Z stage
20: transparent glass
30: XY stage
100: digital camera
200: zoom lens
300: ring lighting
400: autofocus device
500: backlight
S100: Video window
S200: Overlay output window
S300: CAD original view window
S400: inspected area window
S500: Stage coordinate window

Claims (3)

삭제delete 삭제delete 디지털 프로젝터 검사기(A)의 XY스테이지(30) 투명유리(20) 상면에 측정 대상물(1)을 위치시키는 측정 대상물 정위치단계;
컴퓨터(2)를 구동시켜 측정 대상물(1)의 설계 정보(CAD)를 활성화시키는 설계정보 활성화단계;
컴퓨터(2)의 불량검사 프로그램창(3)을 활성화시키는 프로그램창 활성화단계;
상기 불량검사 프로그램창(3)의 캐드 원본 보기창(S300)에 디지털 카메라(100)로부터 제공된 측정 대상물(1)의 설계 정보(CAD)를 선택하여 띄우는 설계정보 띄움단계;
상기 불량검사 프로그램창(3) 캐드 원본 보기창(S300)의 측정 대상물(1) 설계 정보(CAD)에서 정렬개체를 선택하는 정렬개체 선택단계;
상기 정렬개체 선택단계에서 선택된 개체에 해당되는 측정 대상물(1)의 영역이 비디오창(S100)의 X축과 Y축이 만난는 중앙십자선에 일치되도록 디지털 프로젝터 검사기(A)의 XY스테이지(30)를 이동시키는 XY스테이지이동단계;
선택된 측정 대상물(1) 설계 정보(CAD)를 기반으로 X축과 Y축이 만난는 중앙십자선 근처의 측정 대상물(1) 형상을 자동으로 감지하는 형상자동감지단계;
선택된 측정 대상물(1) 설계 정보(CAD)의 형상을 기반으로 비디오창(S100) 내에서 원, 호, 선형상으로 수치해석하는 형상해석단계;
상기 형상해석단계를 거쳐서 데이텀(datum) 참조 개체로 설정하고 데이텀 개체가 2개일 경우에 데이텀 개체를 이용해 측정 대상물의 회전정보와 이동정보를 해석하는 측정대상물 해석단계;
상기 형상해석단계를 거쳐서 데이텀(datum) 참조 개체로 설정하고 데이텀 개체가 2개가 아닐 경우에 상기 정렬개체 선택단계로 되돌아가는 복귀단계;
해석된 정보를 이용해 설계 정보(CAD)를 비디오창(S100)에 중첩 출력하는 중첩출력단계;
중첩출력단계 이후 설계 정보(CAD)와 중첩된 측정 대상물(1) 형상과의 떨어진 거리나 각도가 지정된 값 이상이면 중첩출력창(S200)을 통해 경고하고 주의 메시지를 출력하며 비디오창(S100)에 이상부위의 영역과 측정값을 출력하는 경고및메시지출력단계; 및
상기 비디오창(S100)에 보이는 설계 정보(CAD)를 기반으로 하는 측정 대상물(1) 형상의 표면불량이나 불량패턴을 포함하는 스크래치의 검사가 인공지능(Deep Learning)을 기반으로 실시간으로 이루어지는 인공지능 화면검사단계;를 포함하는 디지털 프로젝터 검사기를 이용한 검사방법.
A measurement object positioning step of positioning the measurement object 1 on the XY stage 30 of the digital projector inspector A on the transparent glass 20;
A design information activation step of driving the computer 2 to activate the design information CAD of the measurement object 1;
A program window activation step of activating the defect inspection program window 3 of the computer 2;
A design information floating step of selecting and displaying design information (CAD) of the measurement object 1 provided from the digital camera 100 in the CAD original viewing window S300 of the defect inspection program window 3;
An alignment object selection step of selecting an alignment object from the object to be measured (1) design information (CAD) of the defect inspection program window (3) CAD source view window (S300);
The XY stage 30 of the digital projector inspector A is aligned so that the area of the measurement object 1 corresponding to the object selected in the alignment object selection step coincides with the center crosshair where the X and Y axes of the video window S100 meet. Moving the XY stage to move;
A shape automatic detection step of automatically detecting the shape of the measurement object 1 near the central cross line where the X and Y axes meet based on the selected measurement object 1 design information (CAD);
A shape analysis step of numerically analyzing in the video window S100 based on the shape of the selected measurement object 1 design information (CAD) in a circle, arc, or linear form;
A measurement object analysis step of setting a datum reference object through the shape analysis step and analyzing rotation information and movement information of the measurement object using a datum object when there are two datum objects;
A return step of setting as a datum reference object through the shape analysis step and returning to the sorting object selection step when there are not two datum objects;
A superimposed output step of superimposing and outputting design information (CAD) on the video window (S100) using the analyzed information;
If the distance or angle between the design information (CAD) and the overlapped measurement object (1) shape after the overlay output step is greater than or equal to the specified value, a warning is output through the overlay output window (S200), a warning message is output, and a video window (S100) is displayed. A warning and message output step of outputting an abnormal region and a measured value; And
Artificial intelligence based on the design information (CAD) shown in the video window (S100), the inspection of scratches, including surface defects or defect patterns of the measurement object (1), is performed in real time based on artificial intelligence (Deep Learning) Screen inspection step; inspection method using a digital projector tester comprising a.
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X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant