KR102129919B1 - Cooling module for optical fiber laser and optical fiber laser device including the cooling module - Google Patents

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Abstract

본 발명의 다양한 실시예는 내부에 레이저 광이 진행하는 광섬유 및 광섬유 레이저 용 냉각 모듈을 포함하는 광섬유 레이저 장치를 제공한다. 광섬유 레이저 용 냉각 모듈은 광섬유를 둘러싸는 블록 및 블록과 광섬유 사이에 마련된 공간에 채워지는 냉각 유체를 포함한다. Various embodiments of the present invention provides an optical fiber laser device including an optical fiber in which laser light progresses and a cooling module for an optical fiber laser. The cooling module for the optical fiber laser includes a cooling fluid filled in a block surrounding the optical fiber and a space provided between the block and the optical fiber.

Description

광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이 냉각 모듈을 포함하는 광섬유 레이저 장치{Cooling module for optical fiber laser and optical fiber laser device including the cooling module}Cooling module for optical fiber laser and optical fiber laser device including the cooling module {Cooling module for optical fiber laser and optical fiber laser device including the cooling module}

본 발명은 광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이 냉각 모듈을 포함하는 광섬유 레이저 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cooling module for an optical fiber laser and an optical fiber laser device including the cooling module.

반도체 공정에서 웨이퍼를 가공하여 많은 반도체 소자가 제작된다. 그리고 반도체 소자들을 제작하기 위해서 웨이퍼에 레이저를 이용한 다양한 가공 작업이 수행될 수 있다. 나아가, 다양한 기술 분야에서 금속에 대해 컷팅, 용접(welding) 등의 가공을 수행하는 경우에도, 레이저를 이용할 수 있다. 이러한 레이저를 이용한 가공에는 고출력 레이저 빔이 사용될 수 있으며, 고출력 레이저 광원에는 예를 들면, 이득 광섬유(active fiber)를 사용한 광섬유 레이저가 있다. Many semiconductor devices are manufactured by processing wafers in a semiconductor process. In addition, various processing operations using a laser on a wafer may be performed to manufacture semiconductor devices. Furthermore, a laser may be used even when cutting, welding, or the like is performed on a metal in various technical fields. A high-power laser beam may be used for processing using such a laser, and a high-power laser light source includes, for example, a fiber laser using a gain fiber.

광섬유 레이저를 사용하여 가공 작업을 수행하는 경우, 광섬유의 중심 부분에 마련된 코어에만 광이 집중되어야 고효율의 레이저 가공 작업을 수행할 수 있다. 그러나, 실제로는 광의 일부가 코어를 둘러싸고 있는 클래드층에 잔류하고 있는 경우가 있다. 이 경우, 광섬유 레이저의 효율을 높이기 위하여 클래드층에 잔류하고 있는 광을 제거할 필요가 있다. When a processing operation is performed using an optical fiber laser, high-efficiency laser processing operation can be performed only when the light is concentrated on the core provided in the center portion of the optical fiber. However, in practice, some of the light may remain in the clad layer surrounding the core. In this case, in order to increase the efficiency of the optical fiber laser, it is necessary to remove the light remaining in the clad layer.

일반적으로 클래드층에 잔류하고 있는 광을 제거하기 위해서 CPS(cladding power stripper)를 이용하여 클래드층 표면에 결함을 형성하는 방법이 사용될 수 있다. 이 경우, CPS에 의해 클래드층 표면에 형성된 결함을 통해 클래드층 내부에 잔류하고 있던 광이 클래드층 밖으로 빠져 나오게 된다. 이 때, 클래드층 밖으로 빠져 나온 레이저 광이 광섬유 레이저 주변 장치에 충돌할 경우 광섬유 레이저 주변의 온도가 높아질 수 있으며, 이에 따라, 광섬유 레이저의 안정성이 떨어질 수 있다.In general, a method of forming a defect on the surface of the cladding layer using a cladding power stripper (CPS) may be used to remove light remaining in the cladding layer. In this case, light remaining inside the clad layer is released from the clad layer through defects formed on the surface of the clad layer by CPS. At this time, when the laser light exiting the clad layer collides with the peripheral device of the optical fiber laser, the temperature around the optical fiber laser may be increased, and accordingly, the stability of the optical fiber laser may be deteriorated.

본 발명의 적어도 일 실시예는 광섬유 레이저의 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 외부로 배출시키는 과정에서 발생하는 열을 제거하기 위한 광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이 냉각 모듈을 포함하는 광섬유 레이저 장치를 제공하고자 한다. At least one embodiment of the present invention is to provide a cooling module for an optical fiber laser for removing heat generated in the process of discharging laser light remaining in the clad layer of an optical fiber laser to the outside, and an optical fiber laser device including the cooling module do.

본 발명의 일 실시예에 따라,According to an embodiment of the present invention,

광섬유의 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 외부로 배출시키는 과정에서 발생되는 열을 제거하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈에 있어서, 상기 광섬유를 둘러싸도록 마련되는 것으로, 내벽이 상기 광섬유의 표면과 이격되도록 배치되는 블록 및 상기 광섬유와 상기 블록 사이의 공간에 채워지는 냉각 유체를 포함하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈이 제공된다.In the cooling module for an optical fiber laser that removes heat generated in the process of discharging the laser light remaining in the clad layer of the optical fiber to the outside, it is provided to surround the optical fiber, the inner wall is arranged to be spaced apart from the surface of the optical fiber A cooling module for an optical fiber laser including a block and a cooling fluid filled in a space between the optical fiber and the block is provided.

상기 광섬유의 클래드층에 잔류하는 레이저 광은 상기 냉각 유체를 투과하여 상기 블록의 내벽에 도달할 수 있다.The laser light remaining in the cladding layer of the optical fiber may penetrate the cooling fluid and reach the inner wall of the block.

상기 블록의 양단부에는 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성될 수 있다.A through hole through which the optical fiber penetrates may be formed at both ends of the block.

상기 블록의 개방된 양단부를 밀폐하며, 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성된 마개를 더 포함할 수 있다.The open ends of the block are closed, and a stopper having a through hole through which the optical fiber penetrates may be further included.

상기 마개는 상기 블록의 양단부와 나사 결합할 수 있다.The stopper may be screwed to both ends of the block.

상기 광섬유의 표면을 둘러싸도록 마련되는 보호층을 더 포함할 수 있다.A protective layer provided to surround the surface of the optical fiber may be further included.

상기 블록은 상기 냉각 유체를 상기 블록 내부로 유입시키는 유입구 및 상기 블록 내부의 냉각 유체를 상기 블록 외부로 배출시키는 유출구를 더 포함할 수 있다.The block may further include an inlet port for introducing the cooling fluid into the block and an outlet port for discharging the cooling fluid inside the block outside the block.

상기 블록의 내부에는 상기 냉각 유체의 상기 블록 외부로의 배출을 차단하는 적어도 하나의 차단벽이 마련되어 있으며, 상기 차단벽에는 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성될 수 있다.At least one blocking wall is provided inside the block to block the discharge of the cooling fluid to the outside of the block, and a through hole through which the optical fiber penetrates may be formed in the blocking wall.

상기 블록은 상부가 개방되고, 상기 블록의 개방된 상부를 덮는 커버를 더 포함할 수 있다.The block may further include a cover having an open top and covering the open top of the block.

본 발명의 다른 일 실시예에 따라,According to another embodiment of the present invention,

내부에 레이저 광이 진행하는 광섬유 및 상기 광섬유의 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 외부로 배출시키는 과정에서 발생되는 열을 제거하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈을 포함하고, 상기 냉각 모듈은, 상기 광섬유를 둘러싸도록 마련되는 것으로, 내벽이 상기 광섬유의 표면과 이격되도록 배치되는 블록 및 상기 광섬유와 상기 블록 사이의 공간에 채워지는 냉각 유체를 포함하는 광섬유 레이저 장치가 제공된다.And a cooling module for removing the heat generated in the process of discharging the laser light remaining in the cladding layer of the optical fiber and the optical fiber through which the laser light progresses, and the cooling module surrounds the optical fiber. The optical fiber laser device includes a block in which an inner wall is spaced apart from the surface of the optical fiber and a cooling fluid filled in the space between the optical fiber and the block.

상기 블록의 개방된 양단부를 밀폐하며, 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성된 마개를 더 포함할 수 있다.The open ends of the block are closed, and a stopper having a through hole through which the optical fiber penetrates may be further included.

상기 광섬유의 표면을 둘러싸도록 마련되는 보호층을 더 포함할 수 있다.A protective layer provided to surround the surface of the optical fiber may be further included.

상기 블록은 상기 냉각 유체를 상기 블록 내부로 유입시키는 형성된 유입구 및 상기 블록 내부의 냉각 유체를 상기 블록 외부로 배출시키는 유출구를 더 포함할 수 있다.The block may further include a formed inlet port for introducing the cooling fluid into the block and an outlet port for discharging the cooling fluid inside the block outside the block.

상기 블록의 내부에는 상기 냉각 유체의 상기 블록 외부로의 배출을 차단하는 적어도 하나의 차단벽이 마련되어 있으며, 상기 차단벽에는 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성될 수 있다.At least one blocking wall is provided inside the block to block the discharge of the cooling fluid to the outside of the block, and a through hole through which the optical fiber penetrates may be formed in the blocking wall.

본 발명의 실시예에 따른 냉각 모듈에 의하면 광섬유 레이저의 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 외부로 배출시키는 과정에서 발생하는 열은 광섬유를 둘러싸는 블록 내에 채워진 냉각 유체를 이용함으로써 제거될 수 있다. According to the cooling module according to the embodiment of the present invention, heat generated in the process of discharging the laser light remaining in the cladding layer of the optical fiber laser to the outside can be removed by using a cooling fluid filled in a block surrounding the optical fiber.

도 1은 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치를 간략하게 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 광섬유 레이저 장치의 I-I' 선을 따라 자른 측단면도이다.
도 3은 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치를 간략하게 도시한 사시도이다.
도 4는 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치를 간략하게 도시한 측단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 마개를 간략하게 도시한 평면도이다.
도 6은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치를 간략하게 도시한 측단면도이다.
도 7은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치를 간략하게 도시한 측단면도이다.
도 8은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치를 간략하게 도시한 측단면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 보호층을 간략하게 도시한 사시도이다.
도 10은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치를 간략하게 도시한 측단면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 커버를 간략하게 도시한 평면도이다.1 is a perspective view schematically showing an optical fiber laser device according to an embodiment.
FIG. 2 is a side cross-sectional view taken along line II′ of the optical fiber laser device of FIG. 1.
3 is a perspective view schematically showing an optical fiber laser device according to another embodiment.
4 is a cross-sectional side view schematically showing an optical fiber laser device according to another embodiment.
FIG. 5 is a plan view schematically illustrating the stopper illustrated in FIG. 4.
6 is a cross-sectional side view schematically showing an optical fiber laser device according to another embodiment.
7 is a cross-sectional side view schematically showing an optical fiber laser device according to another embodiment.
8 is a cross-sectional side view schematically showing an optical fiber laser device according to another embodiment.
9 is a perspective view schematically illustrating the protective layer illustrated in FIG. 8.
10 is a side cross-sectional view schematically showing an optical fiber laser device according to another embodiment.
11 is a plan view schematically illustrating the cover shown in FIG. 10.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이 냉각 모듈을 포함하는 광섬유 레이저 장치가 속하는 기술 분야에서의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이 냉각 모듈을 포함하는 광섬유 레이저 장치의 실시예를 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지칭하며, 각 구성 요소의 크기나 두께는 설명의 명료성을 위하여 과장되어 있을 수 있다. 광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이 냉각 모듈을 포함하는 광섬유 레이저 장치는 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. Below, with reference to the accompanying drawings, a cooling module for an optical fiber laser and a cooling module for an optical fiber laser so that those skilled in the art to which the optical fiber laser device including the cooling module belongs can easily perform An embodiment of an optical fiber laser device including a will be described in detail. The same reference numerals in the drawings refer to the same components, and the size or thickness of each component may be exaggerated for clarity. The cooling module for the optical fiber laser and the optical fiber laser device including the cooling module may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part “includes” a certain component, it means that the component may further include other components, not to exclude other components, unless otherwise stated.

도 1은 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치(1000)를 간략하게 도시한 사시도이다. 도 2는 도 1의 광섬유 레이저 장치(1000)의 I-I' 선을 따라 자른 측단면도이다.1 is a perspective view schematically showing an optical fiber laser apparatus 1000 according to an embodiment. FIG. 2 is a side cross-sectional view taken along the line I-I' of the optical fiber laser device 1000 of FIG. 1.

도 1을 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1000)는 내부에 레이저 광이 진행하는 광섬유(300) 및 냉각 모듈(900)을 포함할 수 있다. 광섬유(300)는 레이저 광이 진행하는 코어와 이 코어를 둘러싸고 있는 클래드층으로 이루어져 있다. 여기서, 냉각 모듈(900)은 광섬유(300)의 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 외부로 배출시키는 과정에서 발생되는 열을 제거하는 역할을 할 수 있다 Referring to FIG. 1, the optical fiber laser apparatus 1000 may include an optical fiber 300 and a cooling module 900 through which laser light proceeds. The optical fiber 300 is composed of a core through which laser light travels and a clad layer surrounding the core. Here, the cooling module 900 may serve to remove heat generated in the process of discharging the laser light remaining in the cladding layer of the optical fiber 300 to the outside.

일반적으로, 광섬유(300)에 입사되는 레이저 광은 코어뿐만 클래드층에도 입사될 수 있으며, 여기서 클래드층 내에 잔류하는 레이저 광은 레이저 가공 효율을 떨어뜨릴 수 있으므로 제거될 필요가 있다. In general, the laser light incident on the optical fiber 300 may be incident on the clad layer as well as the core, where the laser light remaining in the clad layer needs to be removed because it may reduce laser processing efficiency.

이를 위해서, 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 광섬유(300) 외부로 배출시킬 수 있다. 예를 들어, CPS를 이용하여 클래드층 표면에 결함을 형성하고, 클래드층 표면에 형성된 결함을 통해서 레이저 광이 외부로 배출될 수 있다. 이 경우, 광섬유(300) 외부로 배출된 레이저 광이 광섬유(300) 주위의 다른 부재와 충돌하여 열이 발생할 수 있다. 본 발명은 이러한 열을 제거할 수 있는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈(900) 및 이를 포함하는 광섬유 레이저 장치(1000)를 제공한다.To this end, the laser light remaining in the clad layer may be emitted outside the optical fiber 300. For example, a defect may be formed on the surface of the clad layer using CPS, and laser light may be emitted to the outside through the defect formed on the surface of the clad layer. In this case, the laser light emitted to the outside of the optical fiber 300 may collide with other members around the optical fiber 300 to generate heat. The present invention provides a cooling module 900 for optical fiber lasers capable of removing such heat and an optical fiber laser device 1000 including the same.

냉각 모듈(900)은, 광섬유(300)를 둘러싸도록 마련되는 블록(100) 및 이 블록(100) 내에 채워지는 냉각 유체(200)를 포함할 수 있다. 여기서, 블록(100)은 광섬유(300)의 표면과 이격되도록 마련될 수 있다. 이러한 블록(100)은 금속(예를 들어, 알루미늄)을 포함할 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니고, 블록(100)은 금속 이외의 다양한 물질을 포함할 수 있다. The cooling module 900 may include a block 100 provided to surround the optical fiber 300 and a cooling fluid 200 filled in the block 100. Here, the block 100 may be provided to be spaced apart from the surface of the optical fiber 300. The block 100 may include metal (eg, aluminum). However, the present invention is not limited thereto, and the block 100 may include various materials other than metal.

블록(100)은 내부가 비어있는 튜브 형상을 가질 수 있다. 도 1에는 블록(100)이 사각형의 단면을 가지는 경우가 예시적으로 도시되어 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며, 블록(100)은 원형 또는 다각형 등과 같은 다양한 형상의 단면을 가질 수 있다. 광섬유(300)는 냉각 유체(200)가 채워진 블록(100)을 관통하도록 마련될수 있다. 이를 위해, 블록(100)의 양단부에는 광섬유(300)가 관통하는 관통공(110)이 형성될 수 있다. The block 100 may have an empty tube shape. In FIG. 1, a case where the block 100 has a rectangular cross-section is illustratively illustrated. However, the present invention is not limited thereto, and the block 100 may have a cross section of various shapes such as a circle or polygon. The optical fiber 300 may be provided to penetrate the block 100 filled with the cooling fluid 200. To this end, a through hole 110 through which the optical fiber 300 penetrates may be formed at both ends of the block 100.

그리고, 냉각 유체(200)는 광섬유와(300) 블록(100) 사이의 공간을 채우도록 마련될 수 있다. 예를 들어, 냉각 유체(200)는 물을 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 냉각 유체(200)는 광섬유(300)의 표면에 접촉하도록 마련될 수 있다. 이와 같이, 냉각 유체(200)가 광섬유(300) 표면에 접촉함으로써, 그렇지 않은 경우에 비하여 냉각 모듈(900)의 냉각 효율이 향상될 수 있다.In addition, the cooling fluid 200 may be provided to fill the space between the optical fiber and the block 300. For example, the cooling fluid 200 may include water, but is not limited thereto. The cooling fluid 200 may be provided to contact the surface of the optical fiber 300. As such, the cooling fluid 200 contacts the surface of the optical fiber 300, so that the cooling efficiency of the cooling module 900 can be improved as compared to the case where it is not.

도 2를 참조하면, 냉각 모듈(900)은 블록(100) 및 이 블록(100) 내부에 채워진 냉각 유체(200)를 포함할 수 있다. 블록(100)은 광섬유(300)를 둘러싸고, 냉각 유체(200)는 블록(100)의 내벽이 광섬유(300)와 이격됨으로써 형성된 공간에 채워질 수 있다. 또한, 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 광섬유(300) 외부로 배출시키기 위하여 CPS에 의해 형성된 결함(미도시)를 통해, 광섬유(300)의 클래드층에 잔류하고 있는 광이 광섬유(300) 외부로 배출될 수 있다.Referring to FIG. 2, the cooling module 900 may include a block 100 and a cooling fluid 200 filled inside the block 100. The block 100 surrounds the optical fiber 300, and the cooling fluid 200 may be filled in a space formed by the inner wall of the block 100 being spaced apart from the optical fiber 300. In addition, through a defect (not shown) formed by CPS to discharge the laser light remaining in the clad layer to the outside of the optical fiber 300, the light remaining in the clad layer of the optical fiber 300 goes out of the optical fiber 300. Can be discharged.

광섬유(300)의 클래드층에 잔류하고 있는 광이 외부로 배출되면, 광은 냉각 유체(200)를 투과하여 블록(100)의 내벽에 도달할 수 있다. 이 경우 광이 블록(100)의 내벽에 부딪힘으로 인해 열이 발생될 수 있으며, 냉각 유체(200)는 이렇게 발생되는 열을 흡수할 수 있다. 여기서, 냉각 유체(200)가 광섬유(300)와 블록(100) 사이를 채우도록 마련됨으로써 광섬유(300)를 둘러싸고 있기 때문에, 냉각 유체(200)가 광섬유(300)를 둘러싸도록 마련되어 있지 않은 경우에 비하여, 냉각 효율이 향상될 수 있다.When the light remaining in the clad layer of the optical fiber 300 is discharged to the outside, the light may pass through the cooling fluid 200 to reach the inner wall of the block 100. In this case, heat may be generated due to light hitting the inner wall of the block 100, and the cooling fluid 200 may absorb the heat generated in this way. Here, since the cooling fluid 200 surrounds the optical fiber 300 by being provided to fill between the optical fiber 300 and the block 100, when the cooling fluid 200 is not provided to surround the optical fiber 300 In comparison, cooling efficiency can be improved.

도 3은 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치(1001)를 간략하게 도시한 사시도이다.3 is a perspective view schematically showing an optical fiber laser device 1001 according to another embodiment.

도 3을 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1001)는 냉각 모듈(901) 및 광섬유(301)를 포함할 수 있다. 냉각 모듈(901)은 블록(101) 및 냉각 유체(201)를 포함할 수 있다. 블록(101) 및 냉각 유체(201)에 대해서는 도 1을 참조하여 설명하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 3, the optical fiber laser device 1001 may include a cooling module 901 and an optical fiber 301. The cooling module 901 may include a block 101 and a cooling fluid 201. Since the block 101 and the cooling fluid 201 have been described with reference to FIG. 1, description thereof is omitted.

블록(101)은 냉각 유체(201)를 블록(101) 내부로 유입시키는 유입구(410) 및 블록(101) 내부의 냉각 유체(201)를 블록(101) 외부로 배출시키는 유출구(411)를 더 포함할 수 있다. The block 101 further includes an inlet 410 for introducing the cooling fluid 201 into the block 101 and an outlet 411 for discharging the cooling fluid 201 inside the block 101 to the outside of the block 101. It can contain.

냉각 모듈(901)의 냉각 시간이 지날수록, 광섬유(301)로부터 배출되는 빛에 의해 발생하는 열에 의해 냉각 유체(201)의 온도가 상승할 수 있다. 이에 따라, 냉각 유체(201)의 냉각 효율이 감소될 수 있다. 그러나, 유입구(410) 및 유출구(411)를 더 포함하는 광섬유 레이저 장치(1001)에서는, 유입구 및 유출구(420)를 통해 냉각 유체(201)가 순환하여 새로운 냉각 유체(201)가 블록(101) 내부로 주기적으로 유입될 수 있다. 이로 인해, 냉각 유체(201)의 냉각 효율이 향상될 수 있다. As the cooling time of the cooling module 901 passes, the temperature of the cooling fluid 201 may rise due to heat generated by light emitted from the optical fiber 301. Accordingly, the cooling efficiency of the cooling fluid 201 can be reduced. However, in the optical fiber laser device 1001 further comprising an inlet 410 and an outlet 411, the cooling fluid 201 circulates through the inlet and outlet 420, so that the new cooling fluid 201 blocks 101. It can be introduced periodically. Due to this, the cooling efficiency of the cooling fluid 201 can be improved.

도 4는 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치(1002)를 간략하게 도시한 측단면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 마개(520)를 간략하게 도시한 평면도이다. 4 is a cross-sectional side view schematically showing an optical fiber laser device 1002 according to another embodiment. 5 is a plan view briefly illustrating the stopper 520 illustrated in FIG. 4.

도 4를 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1002)는 냉각 모듈(902) 및 광섬유(302)를 포함할 수 있다. 냉각 모듈(902)은 블록(102) 및 냉각 유체(202)를 포함할 수 있다. 여기서, 블록(102)은 유입구(420) 및 유출구(422)를 더 포함할 수 있다. 이외에, 블록(102), 냉각 유체(202), 유입구(420) 및 유출구(422)에 대한 자세한 사항은 도 1 및 도 3을 참조하여 설명하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 4, the optical fiber laser device 1002 may include a cooling module 902 and an optical fiber 302. The cooling module 902 can include a block 102 and a cooling fluid 202. Here, the block 102 may further include an inlet 420 and an outlet 422. In addition, since the details of the block 102, the cooling fluid 202, the inlet 420, and the outlet 422 have been described with reference to FIGS. 1 and 3, a description thereof will be omitted.

도 4를 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1002)는 블록(102)의 개방된 양단부를 밀폐하며, 광섬유(302)가 관통하는 관통공(524)이 형성된 마개(520)를 더 포함할 수 있다. 마개(520)는 블록(102)의 개방된 양단부를 밀폐함으로써, 냉각 유체(202)가 블록(102)의 개방된 양단부로 배출되는 것을 방지할 수 있다. 마개(520)는 블록(102)의 개방된 양단부를 밀폐하는 데에 적합한 T자 형태를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the optical fiber laser device 1002 seals both open ends of the block 102 and may further include a stopper 520 having a through hole 524 through which the optical fiber 302 penetrates. The stopper 520 can prevent the cooling fluid 202 from being discharged to the open both ends of the block 102 by sealing the open ends of the block 102. The stopper 520 may include a T-shape suitable for sealing both open ends of the block 102.

도 5를 참조하면, 마개(520)는 블록(102)의 개방된 양단부 내부로 삽입될 수 있는 삽입부(526)와 이 삽입부(526)의 단면의 면적보다 넓은 면적의 단면을 가지는 머리부(528)를 포함할 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니고, 마개(520)는 일정한 면적의 단면을 가지는 기둥 형상을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5, the stopper 520 has an insertion portion 526 that can be inserted into both open ends of the block 102 and a head portion having a cross section of a larger area than that of the cross section of the insertion portion 526. 528. However, the present invention is not limited thereto, and the stopper 520 may include a pillar shape having a cross section of a certain area.

삽입부(526)는 블록(102)의 양단부 내부에 삽입되어 냉각 유체(202)의 블록(102) 외부로의 배출을 1차적으로 방지할 수 있다. 머리부(528)는 삽입부(526)의 단면보다 넓은 면적의 단면을 포함함으로써, 덮개 역할을 할 수 있다. 따라서, 머리부(528)는 삽입부(526)와 블록(102)의 단부 사이로 흘러나올 수 있는 냉각 유체(202)의 블록(102) 외부로의 배출을 2차적으로 방지할 수 있다. The insertion portion 526 is inserted into both ends of the block 102 to primarily prevent discharge of the cooling fluid 202 out of the block 102. The head portion 528 may serve as a cover by including a cross section of a larger area than the cross section of the insertion portion 526. Thus, the head 528 can secondarily prevent the cooling fluid 202 from flowing out between the insert 526 and the end of the block 102 to the outside of the block 102.

또한, 마개(520)는 머리부(528)에 부착된 실링 부재(522)를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 실링 부재(522)는 머리부(528)의, 블록(102)의 양단부와 접하는 면에 마련될 수 있다. 실링 부재(522)는 블록(102)의 단부와 마개(520)가 접촉하는 영역을 통한 냉각 유체(202)의 배출을 방지하는 역할을 할 수 있다. 실링 부재(522)는 예를 들어, 고무링을 포함할 수 있다. In addition, the stopper 520 may further include a sealing member 522 attached to the head 528. For example, the sealing member 522 may be provided on a surface of the head portion 528, which is in contact with both ends of the block 102. The sealing member 522 may serve to prevent the discharge of the cooling fluid 202 through the area where the end of the block 102 and the stopper 520 contact. The sealing member 522 may include, for example, a rubber ring.

도 6은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치(1003)를 간략하게 도시한 측단면도이다. 6 is a cross-sectional side view schematically showing an optical fiber laser device 1003 according to another embodiment.

도 6를 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1003)는 냉각 모듈(903) 및 광섬유(303)를 포함할 수 있다. 냉각 모듈(903)은 블록(103) 및 냉각 유체(203)를 포함할 수 있다. 여기서, 블록(103)은 유입구(430) 및 유출구(433)를 더 포함할 수 있다. 이외에, 블록(103), 냉각 유체(203), 유입구(430) 및 유출구(433)에 대한 자세한 사항은 도 1 및 도 3을 참조하여 설명하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 6, the optical fiber laser device 1003 may include a cooling module 903 and an optical fiber 303. Cooling module 903 may include block 103 and cooling fluid 203. Here, the block 103 may further include an inlet 430 and an outlet 433. In addition, since the details of the block 103, the cooling fluid 203, the inlet 430, and the outlet 433 have been described with reference to FIGS. 1 and 3, a description thereof will be omitted.

도 6을 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1003)는 블록(103)의 개방된 양단부를 밀폐하는 마개(530)를 더 포함할 수 있다. 마개(530)는 블록(103)의 개방된 양단부 내부로 삽입될 수 있는 삽입부(536)와 이 삽입부(536)의 단면의 면적보다 넓은 면적의 단면을 가지는 머리부(538)를 포함할 수 있다. 나아가, 광섬유 레이저 장치(1003)는 마개(530)와 블록(103)의 양단부 사이에 형성된 나사 결합 영역(603)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 마개(530)의 삽입부(536)의 표면과 블록(103)의 양단부의 삽입부(536)와 접하는 표면에는 나사산이 형성될 수 있다. 이러한 나사산에 의해서 마개(530)와 블록(103)의 양단부는 나사 결합할 수 있다. 이와 같은, 블록(103)의 양단부 및 마개(530)의 나사 결합에 의해서 냉각 유체(203)의 블록(103) 외부로의 배출이 방지될 수 있다.Referring to FIG. 6, the optical fiber laser device 1003 may further include a stopper 530 that seals both open ends of the block 103. The stopper 530 may include an insertion portion 536 that can be inserted into both open ends of the block 103 and a head portion 538 having a cross section of a larger area than that of the insertion portion 536. Can. Furthermore, the optical fiber laser device 1003 may include a screw coupling region 603 formed between the cap 530 and both ends of the block 103. For example, a thread may be formed on the surface of the insertion portion 536 of the stopper 530 and the surface of the block 103 that contacts the insertion portion 536 of both ends. By these threads, both ends of the stopper 530 and the block 103 may be screwed. As such, the discharge of the cooling fluid 203 to the outside of the block 103 may be prevented by screwing the both ends of the block 103 and the stopper 530.

도 7은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치(1004)를 간략하게 도시한 측단면도이다. 7 is a side cross-sectional view schematically showing an optical fiber laser device 1004 according to another embodiment.

도 7을 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1004)는 냉각 모듈(904) 및 광섬유(304)를 포함할 수 있다. 냉각 모듈(904)은 블록(104) 및 냉각 유체(204)를 포함할 수 있다. 여기서, 블록(104)은 유입구(440) 및 유출구(444)를 더 포함할 수 있다. 또한, 광섬유 레이저 장치(1004)는 블록(104)의 개방된 양단부를 밀폐하는 마개(504)를 더 포함할 수 있다. 이외에, 블록(102), 냉각 유체(202), 마개(504), 유입구(420) 및 유출구(422)에 대한 자세한 사항은 도 1, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 7, the optical fiber laser device 1004 may include a cooling module 904 and an optical fiber 304. Cooling module 904 may include block 104 and cooling fluid 204. Here, the block 104 may further include an inlet 440 and an outlet 444. In addition, the optical fiber laser device 1004 may further include a stopper 504 that seals both open ends of the block 104. In addition, since the details of the block 102, the cooling fluid 202, the stopper 504, the inlet 420, and the outlet 422 have been described with reference to FIGS. 1, 3, and 4, a description thereof is provided. Omitted.

도 7을 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1004)는 블록(104) 내부에 마련되며, 냉각 유체(204)의 블록(104) 외부로의 배출을 차단하는 적어도 하나의 차단벽(704)을 더 포함할 수 있다. 차단벽(704)은 광섬유(304)가 관통하는 관통공(705)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7, the optical fiber laser device 1004 is provided inside the block 104 and further includes at least one blocking wall 704 that blocks the cooling fluid 204 from being discharged outside the block 104. can do. The blocking wall 704 may include a through hole 705 through which the optical fiber 304 passes.

차단벽(704)의 양 끝단은 블록(104)의 내벽과 접촉할 수 있다. 차단벽(704)은 냉각 유체(204)가 블록(104)의 개방된 양단부를 향해 흘러가는 것을 차단할 수 있다. 이와 같이, 차단벽(704)은 냉각 유체(204)가 블록(104)의 외부로 배출되지 못하도록 하는 냉각 유체(204)의 배출 방지 부재 역할을 할 수 있다.Both ends of the blocking wall 704 may contact the inner wall of the block 104. The blocking wall 704 can block the cooling fluid 204 from flowing toward the open ends of the block 104. As such, the blocking wall 704 may serve as a discharge preventing member of the cooling fluid 204 that prevents the cooling fluid 204 from being discharged outside the block 104.

도 8은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치(1005)를 간략하게 도시한 측단면도이다. 도 9는 도 8에 도시된 보호층(805) 및 광섬유(305)를 간략하게 도시한 사시도이다.8 is a cross-sectional side view schematically illustrating an optical fiber laser device 1005 according to another embodiment. 9 is a perspective view schematically illustrating the protective layer 805 and the optical fiber 305 illustrated in FIG. 8.

도 8를 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1005)는 냉각 모듈(905) 및 광섬유(305)를 포함할 수 있다. 냉각 모듈(905)은 블록(105) 및 냉각 유체(205)를 포함할 수 있다. 여기서, 블록(105)은 유입구(450) 및 유출구(455)를 더 포함할 수 있다. 이외에, 블록(105), 냉각 유체(205), 유입구(450) 및 유출구(455)에 대한 자세한 사항은 도 1 및 도 3을 참조하여 설명하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 8, the optical fiber laser device 1005 may include a cooling module 905 and an optical fiber 305. Cooling module 905 may include block 105 and cooling fluid 205. Here, the block 105 may further include an inlet port 450 and an outlet port 455. In addition, since the details of the block 105, the cooling fluid 205, the inlet 450, and the outlet 455 have been described with reference to FIGS. 1 and 3, a description thereof will be omitted.

도 8을 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1005)는 광섬유(305)의 표면을 둘러싸도록 마련되는 보호층(805)을 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 8, the optical fiber laser device 1005 may further include a protective layer 805 provided to surround the surface of the optical fiber 305.

보호층(805)은 블록(105)을 관통하는 광섬유(305)를 지지할 수 있다. 광섬유(305)를 둘러싸는 보호층(805)이 마련되지 않을 경우, 블록(105)에 가해질 수 있는 외부 충격이 광섬유(305)로 그대로 전달되어, 광섬유(305)가 블록(105)을 관통하고 있는 연결 형태가 불안정해질 수 있다. 이러한 광섬유 레이저 장치(1005)의 안정성을 저하시키는 요인을 제거하기 위하여, 광섬유(305)를 둘러싸는 보호층(805)을 형성할 수 있다. 보호층(805)은 광섬유(305)의 표면을 둘러싸고 블록(105)의 양단부와 접촉함으로써, 광섬유(305)와 블록(105)의 접촉이 더욱 견고해질 수 있도록 할 수 있다. The protective layer 805 may support the optical fiber 305 passing through the block 105. When the protective layer 805 surrounding the optical fiber 305 is not provided, external shock that may be applied to the block 105 is transmitted to the optical fiber 305 as it is, so that the optical fiber 305 penetrates the block 105 The type of connection you have may become unstable. In order to remove factors that deteriorate the stability of the optical fiber laser device 1005, a protective layer 805 surrounding the optical fiber 305 may be formed. The protective layer 805 surrounds the surface of the optical fiber 305 and makes contact with both ends of the block 105, so that the contact between the optical fiber 305 and the block 105 can be further strengthened.

또한, 보호층(805)은 광섬유(305)에 이물질이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 전술한 바와 같이, 광섬유(305)의 클래드층에 잔류하는 광을 제거하기 위해, CPS에 의해 광섬유(305)의 표면이 손상될 수 있다. 광섬유(305)의 손상된 표면을 통해 이물질이 침투하게 되면, 광섬유(305) 내부의 광의 진행이 방해될 수 있다. 상기 이물질은 냉각 유체(205) 자체가 될 수도 있고, 냉각 유체(205)에 포함된 임의의 미세 입자일 수도 있다. 보호층(805)은 광섬유(305)의 표면을 둘러싸도록 마련되어 냉각 유체(205)와 광섬유(305)를 이격시킴으로써, 이물질이 광섬유(305) 내부로 침투하는 것을 방지할 수 있다.In addition, the protective layer 805 may prevent foreign substances from penetrating the optical fiber 305. As described above, in order to remove light remaining in the clad layer of the optical fiber 305, the surface of the optical fiber 305 may be damaged by CPS. When a foreign substance penetrates through the damaged surface of the optical fiber 305, the progress of light inside the optical fiber 305 may be impeded. The foreign material may be the cooling fluid 205 itself, or may be any fine particles contained in the cooling fluid 205. The protective layer 805 is provided to surround the surface of the optical fiber 305 to separate the cooling fluid 205 from the optical fiber 305, thereby preventing foreign matter from penetrating into the optical fiber 305.

보호층(805)은 예를 들어, 유리관을 포함할 수 있다. 도 9에는 보호층(805)이 중공의 원기둥 형상으로 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 보호층(805)의 형상은 다양할 수 있다. The protective layer 805 may include, for example, a glass tube. In FIG. 9, the protective layer 805 is illustrated in a hollow cylindrical shape, but is not limited thereto, and the shape of the protective layer 805 may vary.

도 10은 또 다른 일 실시예에 따른 광섬유 레이저 장치(1006)를 간략하게 도시한 측단면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 커버(116)를 간략하게 도시한 평면도이다.10 is a cross-sectional side view schematically showing an optical fiber laser device 1006 according to another embodiment. 11 is a plan view schematically showing the cover 116 shown in FIG. 10.

도 10을 참조하면, 광섬유 레이저 장치(1006)는 냉각 모듈(906) 및 광섬유(306)을 포함할 수 있다. 냉각 모듈(903)은 상부가 개방된 블록(106), 블록(106)의 개방된 상부를 덮는 커버(116) 및 냉각 유체(206)을 포함할 수 있다. 여기서, 블록(106)은 유입구(460) 및 유출구(466)를 더 포함할 수 있다. 이외에, 냉각 유체(206), 유입구(460) 및 유출구(466)에 대한 자세한 사항은 도 1 및 도 3을 참조하여 설명하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 10, the optical fiber laser device 1006 may include a cooling module 906 and an optical fiber 306. The cooling module 903 may include a block 106 with an open top, a cover 116 covering the open top of the block 106 and a cooling fluid 206. Here, the block 106 may further include an inlet 460 and an outlet 466. In addition, since the details of the cooling fluid 206, the inlet 460, and the outlet 466 have been described with reference to FIGS. 1 and 3, a description thereof will be omitted.

전술한 바와 같이, 광섬유 레이저 장치(1006)는 블록(106)과 블록(106)의 개방된 상부를 덮는 커버(116)를 포함할 수 있다. 이와 같이, 광섬유 레이저 장치(1006)를 제조하는 과정에서, 블록(106)과 커버(116)를 개별적으로 제조한 뒤에, 둘을 조립하는 방식으로 광섬유 레이저 장치(1006)를 제조할 수 있다. 이러한 제조 방법을 통해, 블록(106)과 커버(116)는 일체형이 아닌, 분리형으로 형성될 수 있다. 블록(106)과 커버(116)는 볼트에 의해 결합될 수 있다. 분리형 광섬유 레이저 장치(1006)는, 유사시에 커버(116)를 블록(106)으로부터 분리할 수 있어, 보다 용이하게 수리, 정비를 할 수 있다는 이점이 있을 수 있다. As described above, the optical fiber laser device 1006 may include a block 106 and a cover 116 covering the open top of the block 106. As described above, in the process of manufacturing the optical fiber laser device 1006, after the block 106 and the cover 116 are individually manufactured, the optical fiber laser device 1006 may be manufactured by assembling the two. Through this manufacturing method, the block 106 and the cover 116 may be formed as a separate type, not an integral type. The block 106 and the cover 116 can be joined by bolts. The separable optical fiber laser device 1006 may have the advantage of being able to separate the cover 116 from the block 106 in an emergency, making repair and maintenance easier.

도 11을 참조하면, 커버(116)는 실링 부재(126)를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 실링 부재(126)는 커버(116)의, 블록(106)과 접하는 면에 마련될 수 있다. 실링 부재(126)는 블록(106)과 커버(116)가 접촉하는 영역을 통한 냉각 유체(206)의 배출을 방지하는 역할을 할 수 있다. 실링 부재(126)는 예를 들어, 고무링을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11, the cover 116 may further include a sealing member 126. For example, the sealing member 126 may be provided on a surface of the cover 116 that contacts the block 106. The sealing member 126 may serve to prevent the discharge of the cooling fluid 206 through the area where the block 106 and the cover 116 contact. The sealing member 126 may include, for example, a rubber ring.

상술한 광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이를 포함하는 광섬유 레이저 장치는 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시 예를 참고하여 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 광섬유 레이저 용 냉각 모듈 및 이를 포함하는 광섬유 레이저 장치의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.The above-described cooling module for an optical fiber laser and an optical fiber laser device including the same have been described with reference to the embodiment shown in the drawings to help understanding, but this is only an example, and those skilled in the art can use various It will be understood that variations and equivalent embodiments are possible. Therefore, the true technical protection range of the cooling module for optical fiber laser and the optical fiber laser device including the same should be defined by the appended claims.

100, 101, 102, 103, 104, 105, 106: 블록
200, 201, 202, 203, 204, 205, 206: 냉각 유체
300, 301, 302, 303, 304, 305, 306: 광섬유
900, 901, 902, 903, 904, 905, 906: 냉각 모듈
410, 420, 430, 440, 450, 460: 유입구
411, 422, 433, 444, 455, 466: 유출구
520: 마개
704: 차단벽
805: 보호층
116: 커버
1000, 1001, 1002, 1003, 1004, 1005, 1006: 광섬유 레이저 장치100, 101, 102, 103, 104, 105, 106: block
200, 201, 202, 203, 204, 205, 206: cooling fluid
300, 301, 302, 303, 304, 305, 306: optical fiber
900, 901, 902, 903, 904, 905, 906: cooling module
410, 420, 430, 440, 450, 460: inlet
411, 422, 433, 444, 455, 466: outlet
520: stopper
704: barrier
805: protective layer
116: cover
1000, 1001, 1002, 1003, 1004, 1005, 1006: Fiber laser device

Claims (14)

광섬유의 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 외부로 배출시키는 과정에서 발생되는 열을 제거하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈에 있어서,
상기 광섬유를 둘러싸도록 마련되는 것으로, 내벽이 상기 광섬유의 표면과 이격되도록 배치되는 블록; 및
상기 광섬유와 상기 블록 사이의 공간에 채워지는 냉각 유체; 를 포함하며,
상기 블록의 내부에는 상기 냉각 유체의 상기 블록 외부로의 배출을 차단하는 적어도 하나의 차단벽이 마련되어 있으며, 상기 차단벽에는 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성된, 광섬유 레이저 용 냉각 모듈.In the cooling module for the optical fiber laser to remove the heat generated in the process of discharging the laser light remaining in the cladding layer of the optical fiber to the outside,
A block provided to surround the optical fiber, the inner wall being spaced apart from the surface of the optical fiber; And
A cooling fluid filled in the space between the optical fiber and the block; It includes,
The inside of the block is provided with at least one blocking wall to block the discharge of the cooling fluid to the outside of the block, wherein the blocking wall is formed with a through hole through which the optical fiber passes, the cooling module for an optical fiber laser. 제1 항에 있어서,
상기 광섬유의 클래드층에 잔류하는 레이저 광은 상기 냉각 유체를 투과하여 상기 블록의 내벽에 도달하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈.According to claim 1,
The laser module remaining in the cladding layer of the optical fiber passes through the cooling fluid and reaches the inner wall of the block. 제1 항에 있어서,
상기 블록의 양단부에는 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성된 광섬유 레이저 용 냉각 모듈According to claim 1,
Cooling module for an optical fiber laser having a through hole through which the optical fiber penetrates at both ends of the block 제1 항에 있어서,
상기 블록의 개방된 양단부를 밀폐하며, 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성된 마개를 더 포함하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈According to claim 1,
A cooling module for an optical fiber laser that seals the open ends of the block and further includes a stopper having a through hole through which the optical fiber passes. 제4 항에 있어서,
상기 마개는 상기 블록의 양단부와 나사 결합하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈.According to claim 4,
The stopper is a cooling module for optical fiber laser screw-coupled to both ends of the block. 제1 항에 있어서,
상기 광섬유의 표면을 둘러싸도록 마련되는 보호층을 더 포함하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈.According to claim 1,
Cooling module for an optical fiber laser further comprises a protective layer provided to surround the surface of the optical fiber. 제1 항에 있어서,
상기 블록은 상기 냉각 유체를 상기 블록 내부로 유입시키는 유입구 및 상기 블록 내부의 냉각 유체를 상기 블록 외부로 배출시키는 유출구를 더 포함하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈.According to claim 1,
The block further includes an inlet port for introducing the cooling fluid into the block and an outlet port for discharging the cooling fluid inside the block outside the block. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 블록은 상부가 개방되고, 상기 블록의 개방된 상부를 덮는 커버를 더 포함하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈. According to claim 1,
The block is a cooling module for an optical fiber laser, the top of which is open, and further comprising a cover that covers the open top of the block. 내부에 레이저 광이 진행하는 광섬유; 및
상기 광섬유의 클래드층에 잔류하는 레이저 광을 외부로 배출시키는 과정에서 발생되는 열을 제거하는 광섬유 레이저 용 냉각 모듈; 을 포함하고,
상기 냉각 모듈은,
상기 광섬유를 둘러싸도록 마련되는 것으로, 내벽이 상기 광섬유의 표면과 이격되도록 배치되는 블록 및 상기 광섬유와 상기 블록 사이의 공간에 채워지는 냉각 유체를 포함하며,
상기 블록의 내부에는 상기 냉각 유체의 상기 블록 외부로의 배출을 차단하는 적어도 하나의 차단벽이 마련되어 있으며, 상기 차단벽에는 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성된, 광섬유 레이저 장치.An optical fiber through which laser light progresses; And
A cooling module for an optical fiber laser that removes heat generated in the process of discharging the laser light remaining in the clad layer of the optical fiber to the outside; Including,
The cooling module,
It is provided to surround the optical fiber, the inner wall includes a block arranged to be spaced apart from the surface of the optical fiber and a cooling fluid filled in the space between the optical fiber and the block,
An inside of the block is provided with at least one blocking wall to block the discharge of the cooling fluid to the outside of the block, wherein the blocking wall is formed with a through hole through which the optical fiber penetrates. 제10 항에 있어서,
상기 블록의 개방된 양단부를 밀폐하며, 상기 광섬유가 관통하는 관통공이 형성된 마개를 더 포함하는 광섬유 레이저 장치.The method of claim 10,
An optical fiber laser device sealing the open ends of the block, and further comprising a stopper through which the optical fiber penetrates. 제10 항에 있어서,
상기 광섬유의 표면을 둘러싸도록 마련되는 보호층을 더 포함하는 광섬유 레이저 장치.The method of claim 10,
And a protective layer provided to surround the surface of the optical fiber. 제10 항에 있어서,
상기 블록은 상기 냉각 유체를 상기 블록 내부로 유입시키는 형성된 유입구 및 상기 블록 내부의 냉각 유체를 상기 블록 외부로 배출시키는 유출구를 더 포함하는 광섬유 레이저 장치.The method of claim 10,
The block further includes a formed inlet port for introducing the cooling fluid into the block and an outlet port for discharging the cooling fluid inside the block outside the block. 삭제delete
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