KR102126811B1 - Laser light output device having a multilayer structure - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a laser light output device. More specifically, the present invention relates to the laser light output device having a multilayer structure wherein by dividing an optical system into two layers, spatial constraints can be overcome so that a total of three optical amplifications can be made once each with three amplifiers configured in series. The present invention exhibits the following effects. That is, according to the present invention, a manufacturing process becomes convenient as the spatial constraints are reduced and the size of the final product is reduced to have an advantage in space utilization.

Description

복층구조를 가지는 레이저광 출력장치 {Laser light output device having a multilayer structure}Laser light output device having a multilayer structure}

본 발명은 레이저광 출력장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광학 시스템을 2개의 층으로 나누어 구성함으로써, 공간적 제약을 극복하여 직렬로 구성된 3개의 앰플리파이어에서 각각 한 번씩 총 3회의 광증폭이 이루어질 수 있도록 한 복층구조를 가지는 레이저광 출력장치에 관한 것이다.The present invention relates to a laser light output device, and more specifically, by dividing the optical system into two layers, overcoming spatial limitations so that a total of three optical amplifications can be made once each in three amplifiers configured in series. It relates to a laser light output device having a multilayer structure.

피코초 레이저 시스템의 경우, 레이저 발생부에서 생성되는 레이저광은 매우 미세하기 때문에, 앰플리파이어를 사용하여 레이저광을 증폭시켜 실제 사용하고자 하는 레이저광을 구현해내는 것이 일반적이다.In the case of the picosecond laser system, since the laser light generated by the laser generation unit is very fine, it is common to amplify the laser light using an amplifier to implement the laser light to be actually used.

종래 레이저 시스템에서는 공간적 제약이 있기 때문에 도 1에 도시된 바와 같이, 2개의 앰플리파이어를 사용하여 3번의 광증폭을 이루어내는 방식을 취하고 있다. 도 1은 종래 레이저 시스템의 개념도이다.In the conventional laser system, since there are spatial limitations, as shown in FIG. 1, two amplifiers are used to achieve the optical amplification three times. 1 is a conceptual diagram of a conventional laser system.

구체적으로, 도 1을 참조하면, 레이저발생부(1)에서 생성된 레이저광(L1)이 제1앰플리파이어(2)에서 1차적으로 광증폭되고, 파장판(4)을 통과한 레이저광(L4)이 제2앰플리파이어(5)에서 2차적으로 광증폭되고, 반사판(6)에서 반사된 레이저광(L6)이 제2앰플리파이어(5)에서 3차적으로 광증폭된다. 즉, 제1앰플리파이어(2)에서 1회, 제2앰플리파이어(5)에서 2회 광증폭이 이루어지는 것이다.Specifically, referring to FIG. 1, the laser light L1 generated in the laser generator 1 is first optically amplified in the first amplifier 2, and the laser light L4 that has passed through the wavelength plate 4 ) Is secondarily amplified by the second amplifier 5, and laser light L6 reflected by the reflector 6 is thirdly amplified by the second amplifier 5. That is, optical amplification is performed once in the first amplifier 2 and twice in the second amplifier 5.

이러한 종래 레이저 시스템의 경우, 제조 과정 중 레이저 Alignment가 비교적 어렵고, 반사판(6)에서 반사된 후에 파장판(4)을 통과한 레이저광(L8)이 편광판(3)에서 제대로 편광되지 못하여 레이저광의 경로가 후방으로 향함으로써, 광학소자가 손상될 수 있다는 문제점이 있다.In the case of such a conventional laser system, laser alignment is relatively difficult during the manufacturing process, and the laser light L8 that has passed through the wavelength plate 4 after being reflected by the reflector 6 is not properly polarized in the polarizer 3, and thus the path of the laser light There is a problem that the optical element may be damaged by being directed backwards.

상기와 같은 문제점을 극복하기 위하여, 본 출원인은 광학 시스템을 2개의 층으로 나누어 구성함으로써, 공간적 제약을 극복하여 직렬로 구성된 3개의 앰플리파이어에서 각각 한 번씩 총 3회의 광증폭이 이루어질 수 있도록 한 복층구조를 가지는 레이저광 출력장치를 연구개발하게 된 것이다.In order to overcome the above problems, the present applicant divides the optical system into two layers and overcomes the spatial constraints, so that a double amplification structure is performed so that a total of three optical amplifications can be performed once in three amplifiers configured in series. It is to research and develop a laser light output device having a.

한국 등록특허 제10-1894386호 (2018.08.28)Korean Registered Patent No. 10-1894386 (2018.08.28)

본 발명은 광학 시스템을 2개의 층으로 나누어 구성함으로써, 공간적 제약을 극복하여 직렬로 구성된 3개의 앰플리파이어에서 각각 한 번씩 총 3회의 광증폭이 이루어질 수 있도록 한 복층구조를 가지는 레이저광 출력장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention provides a laser light output device having a multi-layer structure so that a total of three optical amplifications can be performed once in three amplifiers configured in series by overcoming spatial constraints by dividing the optical system into two layers. It has a purpose.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 제1레이저모듈부(100); 제1레이저모듈부(100)의 상부에 형성되는 제2레이저모듈부(200); 1064nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 일반모드 또는 532nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 변환모드 중 어느 하나의 구동모드를 설정하기 위한 모드설정부;를 포함하고, 상기 제1레이저모듈부(100)는 808nm 파장의 레이저광(L101)을 발생시키는 레이저광발생부(101)와, 상기 레이저광발생부(101)에서 발생된 레이저광(L101)을 전달받아 1064nm 파장의 레이저광(L102)으로 변환시키는 마이크로칩(102)과, 상기 마이크로칩(102)에서 변환된 레이저광(L102)의 빔사이즈를 확대시키는 제1익스팬더(103)와, 상기 제1익스팬더(103)에서 확대된 레이저광(L103)을 후방(-y방향)으로 반사시키는 제1반사거울(104)과, 상기 제1반사거울(104)에서 반사된 레이저광(L104)을 좌방(x방향)으로 반사시키는 제2반사거울(105)과, 상기 제2반사거울(105)에서 반사된 레이저광(L105)의 에너지를 증폭시키는 제1앰플리파이어(106)와, 상기 제1앰플리파이어(106)에서 증폭된 레이저광(L106)을 상방(z방향)으로 반사시키는 제3반사거울(107)을 포함하고, 상기 제2레이저모듈부(200)는 상기 제3반사거울(107)에서 반사된 레이저광(L107)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제4반사거울(201)과, 상기 제4반사거울(201)에서 반사된 레이저광(L201)의 빔사이즈를 확대시키는 제2익스팬더(202)와, 상기 제2익스팬더(202)에서 확대된 레이저광(L202)의 에너지를 증폭시키는 제2앰플리파이어(203)와, 상기 제2앰플리파이어(203)에서 증폭된 레이저광(L203)을 전방(y방향)으로 반사시키는 제5반사거울(204)과, 상기 제5반사거울(204)에서 반사된 레이저광(L204)을 좌방(x방향)으로 반사시키는 제6반사거울(205)과, 상기 제6반사거울(205)에서 반사된 레이저광(L205)의 에너지를 증폭시키는 제3앰플리파이어(206)와, 상기 제3앰플리파이어(206)에서 증폭된 레이저광(L206)을 전방(y방향)으로 반사시키는 제7반사거울(207)과, 시계방향(R1 방향) 또는 반시계방향(R2 방향)으로 회동가능하게 형성되되, ⅰ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 반시계방향(R2 방향)으로 회동되고, ⅱ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 시계방향(R1 방향)으로 회동되어 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제8반사거울(208)과, 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제9-1반사거울(209)과, 상기 제9-1반사거울(209)에서 반사된 레이저광(L209)을 532nm 파장의 레이저광(L210)으로 변환시키는 SHG소자(210)와, 상기 SHG소자(210)에서 변환된 레이저광(L210)을 후방(-y방향)으로 반사시키는 제9-2반사거울(211)과, 반시계방향(R3 방향) 또는 시계방향(R4 방향)으로 회동가능하게 형성되되, ⅰ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 시계방향(R4 방향)으로 회동되고, ⅱ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 반시계방향(R3 방향)으로 회동되어 상기 제9-2반사거울(211)에서 반사된 레이저광(L211)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제9-3반사거울(212)과, ⅰ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 상기 제8반사거울(208)에서 반사된 레이저광(L208)을 상방(z방향)으로 반사시키되, ⅱ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 상기 제9-3반사거울(212)에서 반사된 레이저광(L212)을 상방(z방향으로 반사시키는 제10반사거울(213)을 포함하는 것을 특징으로 하는 복층구조를 가지는 레이저광 출력장치를 제시한다.In order to achieve the above object, in the present invention, the first laser module unit 100; A second laser module unit 200 formed on an upper portion of the first laser module unit 100; It includes; a mode setting unit for setting a driving mode of either the normal mode for controlling the output of the laser beam of 1064nm wavelength or the conversion mode for controlling the output of the laser beam of 532nm wavelength; includes, the first laser module unit ( 100) is a laser light generating unit 101 for generating a laser light (L101) of 808nm wavelength, and receiving the laser light (L101) generated by the laser light generating unit 101, the laser light (L102) of 1064nm wavelength Microchip 102 to convert to, the first expander 103 to enlarge the beam size of the laser light (L102) converted from the microchip 102, and the laser light enlarged from the first expander 103 A first reflection mirror 104 reflecting (L103) rearward (-y direction) and a second reflection reflecting laser light L104 reflected from the first reflection mirror 104 in the left direction (x direction) A mirror 105, a first amplifier 106 for amplifying the energy of the laser light L105 reflected from the second reflection mirror 105, and a laser light L106 amplified by the first amplifier 106 And a third reflecting mirror 107 reflecting upward (z direction), and the second laser module unit 200 is configured to turn the laser light L107 reflected from the third reflecting mirror 107 to the right (- a fourth reflecting mirror 201 reflecting in the x direction), a second expander 202 expanding the beam size of the laser light L201 reflected from the fourth reflecting mirror 201, and the second expander ( A second amplifier 203 that amplifies the energy of the laser light L202 magnified in 202, and a fifth reflection that reflects the laser light L203 amplified in the second amplifier 203 forward (y direction). A mirror 204, a sixth reflection mirror 205 reflecting the laser light L204 reflected from the fifth reflection mirror 204 in the left (x direction), and reflections from the sixth reflection mirror 205 When the third amplifier 206 for amplifying the energy of the laser light L205 and the laser light L206 amplified by the third amplifier 206 are reflected forward (y direction) The key is formed to be rotatable in the seventh reflection mirror 207 and clockwise (R1 direction) or counterclockwise (R2 direction), iv) counterclockwise (R2 direction) when the drive mode is set to the conversion mode. Is rotated, and ii) is rotated clockwise (R1 direction) when the driving mode is set to the normal mode to reflect the laser light L207 reflected from the seventh reflection mirror 207 in the right direction (-x direction). The 8th reflection mirror 208 and the 9-1 reflection mirror that reflects the laser light L207 reflected from the seventh reflection mirror 207 in the right direction (-x direction) when the driving mode is set to the conversion mode 209 and the SHG element 210 converting the laser light L209 reflected from the 9-1 reflection mirror 209 into a laser light L210 having a wavelength of 532 nm, and the SHG element 210 The 9-2 reflection mirror 211 for reflecting the laser light L210 in the rear direction (-y direction) and the counterclockwise direction (R3 direction) or clockwise direction (R4 direction) are formed to be rotatable, ⅰ) When the drive mode is set to the normal mode, it is rotated in the clockwise direction (R4 direction), and ii) when the drive mode is set to the conversion mode, it is rotated counterclockwise (R3 direction) to rotate the 9-2 reflection mirror 211. 9-3 reflection mirror 212 reflecting the laser light L211 reflected in the right direction (-x direction), and iv) reflected in the eighth reflection mirror 208 when the driving mode is set to the normal mode The reflected laser light L208 is reflected upward (z direction), but ii) when the driving mode is set to the conversion mode, the laser light L212 reflected from the 9-3 reflection mirror 212 is upward (z direction). Presenting a laser light output device having a multilayer structure, characterized in that it comprises a tenth reflective mirror (213) for reflecting.

본 발명에 따르면, 공간적 제약이 줄어들기 때문에 제조 공정이 편리해지고, 최종 제품의 크기가 소형화되어 공간 활용에 이점을 가지고 있다.According to the present invention, since the spatial constraints are reduced, the manufacturing process is convenient, and the size of the final product is miniaturized, which has an advantage in space utilization.

도 1은 종래 레이저 시스템의 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 레이저 시스템의 레이저광 이동경로를 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 제1레이저모듈부에 대한 개념도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.
도 6 내지 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.
도 8 내지 도 9는 본 발명의 제4실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 레이저 시스템을 나타내는 도면 대용 사진이다.1 is a conceptual diagram of a conventional laser system.
2 is a block diagram for explaining a laser beam moving path of the laser system according to the present invention.
3 is a conceptual diagram of the first laser module unit of the present invention.
4 is a conceptual diagram of a second laser module unit according to a first embodiment of the present invention.
5 is a conceptual diagram of a second laser module unit according to a second embodiment of the present invention.
6 to 7 are conceptual diagrams of a second laser module unit according to a third embodiment of the present invention.
8 to 9 are conceptual diagrams of a second laser module unit according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a substitute photograph for a laser system according to a fourth embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 바탕으로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명한다. 다만 본 발명의 권리범위는 특허청구범위 기재에 의하여 파악되어야 한다. 또한 본 발명의 요지를 모호하게 하는 공지기술의 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the scope of the present invention should be grasped by describing the claims. Also, descriptions of well-known technologies that obscure the subject matter of the present invention will be omitted.

단, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도면에 도시된 바에 한정되지 않으며, 여러 부분 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다.However, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to that shown in the drawings, and the thickness is enlarged to clearly express various parts and regions. Did.

또한, 본 발명의 설명 중 방향 한정은 도면의 xyz 좌표계를 참고한다. 편의상, "전방"은 y방향, "후방"은 -y방향, "좌방"은 x방향, "우방"은 -x방향, "상방"은 z방향, "하방"은 -z방향으로 정의한다.In addition, the direction limitation in the description of the present invention refers to the xyz coordinate system of the drawing. For convenience, "front" is defined as the y-direction, "rear" as the -y direction, "left" as the x-direction, "right" as the -x direction, "upward" as the z-direction, and "downward" as the -z direction.

본 발명은 레이저광 출력장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광학 시스템을 2개의 층으로 나누어 구성함으로써, 공간적 제약을 극복하여 직렬로 구성된 3개의 앰플리파이어에서 각각 한 번씩 총 3회의 광증폭이 이루어질 수 있도록 한 복층구조를 가지는 레이저광 출력장치에 관한 것이다.The present invention relates to a laser light output device, and more specifically, by dividing the optical system into two layers, overcoming spatial limitations so that a total of three optical amplifications can be made once each in three amplifiers configured in series. It relates to a laser light output device having a multilayer structure.

도 1은 종래 레이저 시스템의 개념도이고, 도 2는 본 발명에 따른 레이저 시스템의 레이저광 이동경로를 설명하기 위한 블록도이고, 도 3은 본 발명의 제1레이저모듈부에 대한 개념도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이고, 도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이고, 도 6 내지 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이고, 도 8 내지 도 9는 본 발명의 제4실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이고, 도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 레이저 시스템을 나타내는 도면 대용 사진이다.1 is a conceptual diagram of a conventional laser system, FIG. 2 is a block diagram for explaining a laser beam moving path of a laser system according to the present invention, FIG. 3 is a conceptual diagram of a first laser module unit of the present invention, and FIG. 4 Is a conceptual diagram for a second laser module unit according to a first embodiment of the present invention, Figure 5 is a conceptual diagram for a second laser module unit according to a second embodiment of the present invention, Figures 6 to 7 is the present invention 8 to 9 is a conceptual diagram for a second laser module unit according to a fourth embodiment of the present invention, Figure 10 is a fourth diagram of the present invention This is a substitute photo for a laser system according to an embodiment.

본 발명에 따른 레이저광 출력장치는 도 10에 도시된 바와 같이, 제1레이저모듈부(100)와, 제1레이저모듈부(100)의 상부에 형성되는 제2레이저모듈부(200)를 포함하여 구성되고, 추가로 1064nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 일반모드 또는 532nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 변환모드 중 어느 하나의 구동모드를 설정하기 위한 모드설정부(미도시)를 포함할 수 있다.The laser light output device according to the present invention includes a first laser module unit 100 and a second laser module unit 200 formed on an upper portion of the first laser module unit 100 as shown in FIG. 10. It is configured, and further includes a mode setting unit (not shown) for setting a driving mode of either a normal mode for controlling to output laser light of 1064nm wavelength or a conversion mode for controlling for output of laser light of 532nm wavelength can do.

제1레이저모듈부(100)는 도 3에 도시된 바와 같이, 레이저광발생부(101)와, 마이크로칩(102)과, 제1익스팬더(103)와, 제1반사거울(104)과, 제2반사거울(105)과, 제1앰플리파이어(106)와, 제3반사거울(107)을 포함하여 구성될 수 있다.The first laser module unit 100, as shown in Figure 3, the laser light generation unit 101, a microchip 102, a first expander 103, a first reflection mirror 104, It may be configured to include a second reflection mirror 105, a first amplifier 106, and a third reflection mirror (107).

레이저광발생부(101)에 대해 설명한다. 레이저광발생부(101)는 레이저광(L101)을 발생시키는 소자로서, 구체적으로 808nm 파장의 레이저광(L101)을 발생시키는 소자이다(S101,도 2). 레이저광발생부(101)는 Laser Diode 소자로 형성될 수 있다. 이는 공지기술이므로, 상세한 설명은 생략한다.The laser light generator 101 will be described. The laser light generating unit 101 is a device that generates laser light L101, and specifically, a device that generates laser light L101 having a wavelength of 808 nm (S101, FIG. 2). The laser light generator 101 may be formed of a laser diode element. Since this is a known technique, detailed description is omitted.

마이크로칩(102)에 대해 설명한다. 마이크로칩(102)은 상기 레이저광발생부(101)에서 발생된 레이저광(L101)을 전달받아 파장의 길이를 변환시키는 소자로서, 구체적으로 808nm 파장의 레이저광(L101)을 1064nm 파장의 레이저광(L102)으로 변환시키는 소자이다(S102,도 2). 이는 공지기술이므로, 상세한 설명은 생략한다.The microchip 102 will be described. The microchip 102 is a device that receives the laser light L101 generated by the laser light generation unit 101 and converts the length of the wavelength. Specifically, the laser light L101 having a wavelength of 808 nm is laser light having a wavelength of 1064 nm. It is an element to convert to (L102) (S102, Fig. 2). Since this is a known technique, detailed description is omitted.

상기 1064nm 파장의 레이저광(L102)은 피코초 단위의 레이저 펄스 지속시간을 지니고 있으며, 수백 마이크로줄(uJ)에서 수밀리줄(mJ)의 매우 약한 레이저 에너지를 보유하고 있기 때문에, 의료, 미용 등의 분야에서 이용되기 위해서는 이러한 레이저광의 에너지를 증폭시켜야 할 필요가 있다.The 1064nm wavelength laser light (L102) has a laser pulse duration in picoseconds and has very weak laser energy of hundreds of micro joules (uJ) to several millijoules (mJ). In order to be used in the field of, it is necessary to amplify the energy of such laser light.

이에 따라, 후술할 제1,2익스팬더(103,202)에 의해 빔사이즈를 확대시키고, 후술할 제1,2,3앰플리파이어(106,203,206)에 의해 레이저광의 에너지를 증폭시키는 과정을 거치게 된다.Accordingly, the beam size is enlarged by the first and second expanders 103 and 202, which will be described later, and the energy of the laser light is amplified by the first, second, and third amplifiers 106, 203, and 206, which will be described later.

제1익스팬더(103)에 대해 설명한다. 제1익스팬더(103)는 상기 마이크로칩(102)에서 파장의 길이가 변환된 레이저광(L102)의 빔사이즈를 확대시키는 소자이다(S103,도 2). 제1익스팬더(103)는 오목렌즈와 볼록렌즈를 일렬로 정렬하여 입사된 레이저광을 확대시키는 원리를 이용한다.The first expander 103 will be described. The first expander 103 is an element that enlarges the beam size of the laser light L102 in which the length of the wavelength is converted in the microchip 102 (S103, FIG. 2). The first expander 103 uses the principle of expanding the incident laser light by aligning the concave lens and the convex lens in a line.

제1반사거울(104)에 대해 설명한다. 제1반사거울(104)은 상기 제1익스팬더(103)에서 확대된 레이저광(L103)을 후방(-y방향)으로 반사시키는 소자이다(S104,도 2). 제1반사거울(104)은 xz평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 3 참조).The first reflection mirror 104 will be described. The first reflection mirror 104 is an element that reflects the laser light L103 enlarged from the first expander 103 backward (-y direction) (S104, FIG. 2). The first reflection mirror 104 is preferably formed to be inclined 45° based on the xz plane (see FIG. 3).

제2반사거울(105)에 대해 설명한다. 제2반사거울(105)은 상기 제1반사거울(104)에서 반사된 레이저광(L104)을 좌방(x방향)으로 반사시키는 소자이다(S105,도 2). 제2반사거울(105)은 xz평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 3 참조).The second reflection mirror 105 will be described. The second reflection mirror 105 is a device that reflects the laser light L104 reflected from the first reflection mirror 104 in the left (x direction) (S105, FIG. 2). The second reflection mirror 105 is preferably formed to be inclined at 45° based on the xz plane (see FIG. 3).

제1앰플리파이어(106)에 대해 설명한다. 제1앰플리파이어(106)는 상기 제2반사거울(105)에서 반사된 레이저광(L105)의 에너지를 증폭시키는 소자이다(S106,도 2). 제1앰플리파이어(106)는 레이저 매질, 플래시 램프, 반사체, 광학 필터로 구성되어 있다.The first amplifier 106 will be described. The first amplifier 106 is a device that amplifies the energy of the laser light L105 reflected from the second reflection mirror 105 (S106, FIG. 2). The first amplifier 106 is composed of a laser medium, a flash lamp, a reflector, and an optical filter.

제1앰플리파이어(106)를 통과하는 레이저빔이 증폭되는 원리에 대해 설명하자면, 레이저빔이 통과하는 시점에 맞추어 플래시 램프에 고압이 가해지면 강한 빛이 발생하게 되고, 이 빛이 광학 필터를 거쳐 반사체를 통해 특정 파장의 빛만을 선택적으로 반사시킨다. 반사체를 통해 반사된 빛은 레이저 매질에 흡수되고, 레이저 매질은 여기되었다가 안정화되면서 특정 파장의 레이저광을 발생시키는데, 이 때 발생한 레이저광이 매질을 관통하는 레이저빔을 증폭시키게 되는 것이다.To explain the principle of amplifying the laser beam passing through the first amplifier 106, when a high pressure is applied to the flash lamp according to the time at which the laser beam passes, strong light is generated, and this light passes through an optical filter to reflector. Through it, only light of a specific wavelength is selectively reflected. The light reflected through the reflector is absorbed by the laser medium, and the laser medium is excited and stabilized to generate laser light of a specific wavelength, and the generated laser light amplifies the laser beam passing through the medium.

제3반사거울(107)에 대해 설명한다. 제3반사거울(107)은 상기 제1앰플리파이어(106)에서 증폭된 레이저광(L106)을 상방(z방향)으로 반사시키는 소자이다(S107,도 2). 제3반사거울(107)은 xy평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 3 참조).The third reflection mirror 107 will be described. The third reflection mirror 107 is a device that reflects the laser light L106 amplified by the first amplifier 106 upward (z direction) (S107, FIG. 2). The third reflection mirror 107 is preferably formed to be inclined at 45° based on the xy plane (see FIG. 3).

상기 제3반사거울(107)을 통하여 상방(z방향)으로 반사된 레이저광(L107)은 제2레이저모듈부(200)에 도달하게 되는데, 이하에서는 제2레이저모듈부(200)의 구성 및 형태에 따른 여러 실시예를 설명한다.The laser light L107 reflected in the upward direction (z direction) through the third reflection mirror 107 reaches the second laser module unit 200. Hereinafter, the configuration of the second laser module unit 200 and Various embodiments according to the form will be described.

제1실시예Embodiment 1

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.4 is a conceptual diagram of a second laser module unit according to a first embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예에 따른 제2레이저모듈부(200)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제4반사거울(201)과, 제2익스팬더(202)와, 제2앰플리파이어(203)와, 제5반사거울(204)과, 제6반사거울(205)과, 제3앰플리파이어(206)을 포함하여 구성된다.The second laser module unit 200 according to the first embodiment of the present invention, as shown in Figure 4, the fourth reflection mirror 201, the second expander 202, the second amplifier 203 and , A fifth reflection mirror 204, a sixth reflection mirror 205, and a third amplifier 206.

제4반사거울(201)에 대해 설명한다. 제4반사거울(201)은 상기 제3반사거울(107)에서 반사된 레이저광(L107)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 소자이다(S201,도 2). 제3반사거울(107)에서 반사된 레이저광(L107)은 제2레이저모듈부(200)의 레이저광통과홀(214)을 통하여 제4반사거울(201)에 도달하게 된다. 제4반사거울(201)은 xy평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 4 참조).The fourth reflection mirror 201 will be described. The fourth reflection mirror 201 is an element that reflects the laser light L107 reflected from the third reflection mirror 107 in the right direction (-x direction) (S201, FIG. 2). The laser light L107 reflected from the third reflection mirror 107 reaches the fourth reflection mirror 201 through the laser light passing hole 214 of the second laser module unit 200. The fourth reflection mirror 201 is preferably formed to be inclined at 45° based on the xy plane (see FIG. 4).

제2앰플리파이어(203)에 대해 설명한다. 제2앰플리파이어(203)는 상기 제2익스팬더(202)에서 확대된 레이저광(L202)의 에너지를 증폭시키는 소자이다(S203,도 2). 제2앰플리파이어(203)는 전술한 제1앰플리파이어(106)와 실질적으로 동일한 기능을 수행하므로, 제2앰플리파이어(203)에 대한 설명은 제1앰플리파이어(106)에 대한 상세한 설명을 참조한다.The second amplifier 203 will be described. The second amplifier 203 is a device that amplifies the energy of the laser light L202 magnified in the second expander 202 (S203, FIG. 2). Since the second amplifier 203 performs substantially the same function as the above-described first amplifier 106, for a description of the second amplifier 203, refer to the detailed description of the first amplifier 106.

제5반사거울(204)에 대해 설명한다. 제5반사거울(204)은 상기 제2앰플리파이어(203)에서 증폭된 레이저광(L203)을 전방(y방향)으로 반사시키는 소자이다(S204,도 2). 제5반사거울(204)은 xz평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 4 참조).The fifth reflection mirror 204 will be described. The fifth reflection mirror 204 is a device that reflects the laser light L203 amplified by the second amplifier 203 in the forward direction (y direction) (S204, FIG. 2). The fifth reflection mirror 204 is preferably formed to be inclined at 45° based on the xz plane (see FIG. 4).

제6반사거울(205)에 대해 설명한다. 제6반사거울(205)은 상기 제5반사거울(204)에서 반사된 레이저광(L204)을 좌방(x방향)으로 반사시키는 소자이다(S205,도 2). 제6반사거울(205)은 xz평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 4 참조).The sixth reflection mirror 205 will be described. The sixth reflection mirror 205 is a device that reflects the laser light L204 reflected from the fifth reflection mirror 204 in the left (x direction) (S205, FIG. 2). The sixth reflection mirror 205 is preferably formed to be inclined at 45° based on the xz plane (see FIG. 4).

제3앰플리파이어(206)에 대해 설명한다. 제3앰플리파이어(206)은 상기 제6반사거울(205)에서 반사된 레이저광(L205)의 에너지를 증폭시키는 소자이다(S206,도 2). 제3앰플리파이어(206)은 전술한 제1앰플리파이어(106)와 실질적으로 동일한 기능을 수행하므로, 제3앰플리파이어(206)에 대한 설명은 제1앰플리파이어(106)에 대한 상세한 설명을 참조한다.The third amplifier 206 will be described. The third amplifier 206 is an element that amplifies the energy of the laser light L205 reflected from the sixth reflection mirror 205 (S206, FIG. 2). Since the third amplifier 206 performs substantially the same function as the above-described first amplifier 106, for a description of the third amplifier 206, refer to the detailed description of the first amplifier 106.

제3앰플리파이어(206)를 통과한 레이저광(L206)은 1064nm 파장을 가지고 있으며, 레이저광전달부(300)로 전달된 후에 핸드피스 등의 레이저광출력부(미도시)를 통하여 출력될 수 있다.The laser light L206 that has passed through the third amplifier 206 has a wavelength of 1064 nm and can be output through a laser light output unit (not shown) such as a handpiece after being transmitted to the laser light transmission unit 300. .

제2실시예Example 2

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.5 is a conceptual diagram of a second laser module unit according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2실시예에 따른 제2레이저모듈부(200)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제1실시예에서 SHG(second harmonic generation)소자(210)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 이를 제외한 나머지는 제1실시예와 동일하게 실시한다.5, the second laser module unit 200 according to the second embodiment of the present invention may further include a second harmonic generation (SHG) element 210 in the first embodiment. Except for this, the rest is performed in the same manner as in the first embodiment.

제2실시예는 1064nm 파장의 레이저광(L206)이 SHG소자(210)를 통하여 532nm 파장의 레이저광(L210)으로 변환되는 점에서 제1실시예와 차이점이 있다.The second embodiment is different from the first embodiment in that the laser light L206 having a wavelength of 1064 nm is converted into the laser light L210 having a wavelength of 532 nm through the SHG element 210.

SHG소자(210)에 대해 설명한다. SHG소자(210)는 상기 제3앰플리파이어(206)에서 증폭된 레이저광(L206)을 전달받아 파장의 길이를 반으로 변환시키는 소자로서, 구체적으로 상기 제3앰플리파이어(206)에서 증폭된 1064nm 파장의 레이저광(L206)을 532nm 파장의 레이저광(L210)으로 변환시키는 소자이다. 즉, 레이저광의 사용 목적에 따라 532nm 파장의 녹색 레이저광을 사용하기 위하여 SHG소자(210)를 거치도록 하는 것이다.The SHG element 210 will be described. The SHG element 210 is a device that receives the laser light L206 amplified by the third amplifier 206 and converts the length of the wavelength in half. Specifically, the wavelength of the 1064nm amplified by the third amplifier 206 It is a device that converts laser light (L206) into laser light (L210) at a wavelength of 532 nm. That is, it is to pass through the SHG element 210 in order to use green laser light having a wavelength of 532 nm according to the purpose of using the laser light.

SHG소자로는 KTP(Potassium Titanyl Phosphate, KTiOPO4)소자 또는 LBO(Lithium triborate, LiB3O5)소자 등이 사용될 수 있다.As the SHG device, a KTP (Potassium Titanyl Phosphate, KTiOPO4) device or an LBO (Lithium triborate, LiB3O5) device may be used.

제3실시예Embodiment 3

도 6 내지 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.6 to 7 are conceptual diagrams of a second laser module unit according to a third embodiment of the present invention.

본 발명의 제3실시예에 따른 제2레이저모듈부(200)는 도 6 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제1실시예에서 제2익스팬더(202)와, 제7반사거울(207)과, 제8반사거울(208)과, 제9-1반사거울(209)과, SHG소자(210)와, 제9-2반사거울(211)과, 제9-3반사거울(212)과, 제10반사거울(213)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 이를 제외한 나머지는 제1실시예와 동일하게 실시한다.The second laser module unit 200 according to the third embodiment of the present invention includes a second expander 202 and a seventh reflection mirror 207 in the first embodiment, as shown in FIGS. 6 to 7. , 8th reflection mirror 208, 9-1 reflection mirror 209, SHG element 210, 9-2 reflection mirror 211, 9-3 reflection mirror 212, It may be configured to further include a tenth reflective mirror (213). Except for this, the rest is performed in the same manner as in the first embodiment.

제3실시예는 레이저광(L201)의 빔사이즈가 제2익스팬더(202)를 통하여 확대되는 점과, 사용자의 선택에 따라 1064nm 파장의 레이저광(L213) 또는 532nm 파장의 레이저광(L213') 중 어느 하나의 레이저광이 출력될 수 있도록 설정할 수 있다는 제1실시예와 차이점이 있다.In the third embodiment, the beam size of the laser light L201 is expanded through the second expander 202, and the laser light L213 of the wavelength of 1064 nm or the laser light L213 of the wavelength of 532 nm, depending on the user's selection There is a difference from the first embodiment in that any one of the laser lights can be set to be output.

제2익스팬더(202)에 대해 설명한다. 제2익스팬더(202)는 상기 제4반사거울(201)에서 반사된 레이저광(L201)의 빔사이즈를 확대시키는 소자이다(S202,도 2). 제2익스팬더(202)는 전술한 제1익스팬더(103)와 실질적으로 동일한 기능을 수행하므로, 제2익스팬더(202)에 대한 설명은 제1익스팬더(103)에 대한 상세한 설명을 참조한다.The second expander 202 will be described. The second expander 202 is an element that enlarges the beam size of the laser light L201 reflected from the fourth reflection mirror 201 (S202, FIG. 2). Since the second expander 202 performs substantially the same function as the above-described first expander 103, the description of the second expander 202 refers to the detailed description of the first expander 103.

제7반사거울(207)에 대해 설명한다. 제7반사거울(207)은 상기 제3앰플리파이어(206)에서 증폭된 레이저광(L206)을 전방(y방향)으로 반사시키는 소자이다(S207,도 2). 제7반사거울(207)은 yz평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 6,7 참조).The seventh reflection mirror 207 will be described. The seventh reflection mirror 207 is a device that reflects the laser light L206 amplified by the third amplifier 206 in the forward direction (y direction) (S207, FIG. 2 ). The seventh reflection mirror 207 is preferably formed to be inclined at 45° relative to the yz plane (see FIGS. 6 and 7 ).

제8반사거울(208)에 대해 설명한다. 제8반사거울(208)은 시계방향(R1 방향, 도 6) 또는 반시계방향(R2 방향,도 7)으로 회동가능하게 형성되되, 시계방향(R1 방향)으로 회동된 경우에 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 역할을 한다(S209,도 2). 제8반사거울(208)이 시계방향(R1 방향)으로 회동된 경우에는 yz평면을 기준으로 45°기울어지도록 형성되는 것이 바람직하다.The eighth reflection mirror 208 will be described. The eighth reflection mirror 208 is formed to be rotatable in the clockwise direction (R1 direction, FIG. 6) or in the counterclockwise direction (R2 direction, FIG. 7), but is rotated in the clockwise direction (R1 direction). It serves to reflect the laser light L207 reflected from the mirror 207 in the right direction (-x direction) (S209, FIG. 2). When the eighth reflection mirror 208 is rotated in the clockwise direction (R1 direction), it is preferably formed to be inclined at 45° relative to the yz plane.

제9-1반사거울(209)에 대해 설명한다. 제9-1반사거울(209)은 상기 제8반사거울(208)이 반시계방향(R2 방향,도 7)으로 회동된 경우에 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 소자이다(S210,도 2). The 9-1 reflection mirror 209 will be described. The 9-1 reflection mirror 209 reflects the laser light L207 reflected from the seventh reflection mirror 207 when the eighth reflection mirror 208 is rotated counterclockwise (R2 direction, FIG. 7 ). It is a device that reflects in the right direction (-x direction) (S210, Fig. 2).

다시 말해, 상기 제8반사거울(208)이 반시계방향(R2 방향,도 7)으로 회동된 경우에는 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)이 제8반사거울(208)에 간섭되지 않기 때문에 제9-1반사거울(209)에서 반사되는 것이다. 제9-1반사거울(209)은 yz평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다.In other words, when the eighth reflection mirror 208 is rotated counterclockwise (R2 direction, FIG. 7 ), the laser light L207 reflected from the seventh reflection mirror 207 reflects the eighth reflection mirror 208. ) Because it does not interfere, it is reflected from the 9-1 reflection mirror (209). The 9-1 reflection mirror 209 is preferably formed to be inclined at 45° relative to the yz plane.

SHG소자(210)에 대해 설명한다. SHG소자(210)는 제9-1반사거울(209)에서 반사된 레이저광(L209)을 전달받아 파장의 길이를 반으로 변환시키는 소자로서, 구체적으로 제9-1반사거울(209)에서 반사된 1064nm 파장의 레이저광(L209)을 532nm 파장의 레이저광(L210)으로 변환시키는 소자이다(S211,도 2). 즉, 레이저광의 사용 목적에 따라 532nm 파장의 녹색 레이저광을 사용하기 위하여 SHG소자(210)를 거치도록 하는 것이다.The SHG element 210 will be described. The SHG element 210 is a device that receives the laser light L209 reflected from the 9-1 reflection mirror 209 and converts the length of the wavelength in half. Specifically, the reflection is reflected from the 9-1 reflection mirror 209 It is a device that converts the 1064nm wavelength laser light (L209) to 532nm wavelength laser light (L210) (S211, FIG. 2). That is, it is to pass through the SHG element 210 in order to use green laser light having a wavelength of 532 nm according to the purpose of using the laser light.

제9-2반사거울(211)에 대해 설명한다. 제9-2반사거울(211)은 상기 SHG소자(210)에서 파장의 길이가 변환된 레이저광(L210)을 후방(-y방향)으로 반사시키는 소자이다(S212,도 2). 제9-2반사거울(211)은 xz평면을 기준으로 45°기울어지게 형성되는 것이 바람직하다(도 6,7 참조).The 9-2 reflection mirror 211 will be described. The 9-2 reflection mirror 211 is a device that reflects the laser light L210 whose wavelength length is converted in the SHG element 210 in the rear (-y direction) (S212, FIG. 2). The 9-2 reflection mirror 211 is preferably formed to be inclined at 45° based on the xz plane (see FIGS. 6 and 7 ).

제9-3반사거울(212)에 대해 설명한다. 제9-3반사거울(212)은 반시계방향(R3 방향,도 7) 또는 시계방향(R4 방향,도 6)으로 회동가능하게 형성되되, 반시계방향(R3 방향)으로 회동된 경우에 상기 제9-2반사거울(211)에서 반사된 레이저광(L211)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 역할을 한다(S213,도 2). 제9-3반사거울(212)이 반시계방향(R3 방향)으로 회동된 경우에는 yz평면을 기준으로 45°기울어지도록 형성되는 것이 바람직하다(도 6,7 참조).The 9-3 reflection mirror 212 will be described. The 9-3 reflection mirror 212 is formed to be rotatable in a counterclockwise direction (R3 direction, FIG. 7) or a clockwise direction (R4 direction, FIG. 6), but is rotated in the counterclockwise direction (R3 direction). It serves to reflect the laser light (L211) reflected from the 9-2 reflection mirror 211 in the right direction (-x direction) (S213, FIG. 2). When the 9-3 reflection mirror 212 is rotated in the counterclockwise direction (R3 direction), it is preferable to be formed to be inclined at 45° relative to the yz plane (see FIGS. 6 and 7 ).

제10반사거울(213)에 대해 설명한다. 제10반사거울(213)은 상기 제8반사거울(208)에서 반사된 레이저광(L208) 또는 제9-3반사거울(211)에서 반사된 레이저광(L212) 중 어느 하나의 레이저광을 상방(z방향)으로 반사시키는 소자이다(S214,도 2). 제10반사거울(213)은 xy평면을 기준으로 45°기울어지도록 형성되는 것이 바람직하다(도 6,7 참조).The tenth reflection mirror 213 will be described. The tenth reflection mirror 213 is above the laser light of either the laser light L208 reflected from the eighth reflection mirror 208 or the laser light L212 reflected from the 9-3 reflection mirror 211. It is an element to reflect in the (z direction) (S214, Fig. 2). The tenth reflective mirror 213 is preferably formed to be inclined at 45° based on the xy plane (see FIGS. 6 and 7 ).

제4실시예Example 4

도 8 내지 도 9는 본 발명의 제4실시예에 따른 제2레이저모듈부에 대한 개념도이다.8 to 9 are conceptual diagrams of a second laser module unit according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명의 제4실시예에 따른 제2레이저모듈부(200)는 도 8 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 제3실시예에서 모드설정부(미도시)와, 제8반사거울회동수단(208a)과, 제9-3반사거울회동수단(212a)을 더 포함하여 구성된다. The second laser module unit 200 according to the fourth embodiment of the present invention includes a mode setting unit (not shown) and an eighth reflecting mirror rotation means in the third embodiment as shown in FIGS. 8 to 9 ( 208a), and the 9-3 reflection mirror rotation means 212a.

제4실시예는 모드설정부의 구동모드에 따라 제8반사거울(208) 및 제9-3반사거울(212)의 회동이 동시에 자동적으로 진행되도록 하여 1064nm 파장의 레이저광(L213) 또는 532nm 파장의 레이저광(L213') 중 어느 하나의 레이저광이 출력되도록 형성시킨 점에서 제3실시예와 차이점이 있다. 이를 제외한 나머지는 제3실시예와 동일하게 실시한다.According to the fourth embodiment, the rotation of the eighth reflection mirror 208 and the ninth reflection mirror 212 is automatically performed at the same time according to the driving mode of the mode setting unit, so that the laser beam (L213) of 1064nm wavelength or the wavelength of 532nm There is a difference from the third embodiment in that the laser light of any one of the laser lights L213' is formed to be output. Except for this, the rest is performed in the same way as in the third embodiment.

모드설정부에 대해 설명한다. 모드설정부는 1064nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 일반모드 또는 532nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 변환모드 중 어느 하나의 구동모드를 설정하는 역할을 한다.The mode setting section will be described. The mode setting unit serves to set a driving mode of either a normal mode for controlling laser light output of 1064 nm wavelength or a conversion mode for controlling laser light output of 532 nm wavelength.

제8반사거울(208)은 ⅰ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 반시계방향(R2 방향,도 9)으로 회동되고, ⅱ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 시계방향(R1 방향,도 8)으로 회동되어 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)을 우방(-x방향)으로 반사시킨다(S209,도 2). 여기서, 제8반사거울(208)의 회동은 제8반사거울회동수단(208a)에 의해 이루어진다.The eighth reflection mirror 208 is rotated counterclockwise (R2 direction, FIG. 9) when the driving mode is set to the conversion mode, and ii) clockwise (R1 direction, when the driving mode is set to the normal mode). 8), the laser light L207 reflected by the seventh reflection mirror 207 is reflected in the right direction (-x direction) (S209, FIG. 2). Here, the eighth reflection mirror 208 is rotated by the eighth reflection mirror rotation means 208a.

그리고, 제9-3반사거울(212)은 ⅰ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 시계방향(R4 방향,도 8)으로 회동되고, ⅱ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 반시계방향(R3 방향,도 9)으로 회동되어 상기 제9-2반사거울(211)에서 반사된 레이저광(L211)을 우방(-x방향)으로 반사시킨다(S213,도 2). 여기서, 제9-3반사거울(212)의 회동은 제9-3반사거울회동수단(212a)에 의해 이루어진다.Then, the 9-3 reflection mirror 212 is rotated clockwise (R4 direction, FIG. 8) when the driving mode is set to the normal mode, and ii) counterclockwise when the driving mode is set to the conversion mode. (R3 direction, FIG. 9) is rotated to reflect the laser light L211 reflected from the 9-2 reflection mirror 211 in the right direction (-x direction) (S213, FIG. 2). Here, the rotation of the 9-3 reflection mirror 212 is made by the 9-3 reflection mirror rotation means 212a.

다시 말해, ⅰ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에는 제8반사거울(208)이 시계방향(R1 방향)으로 회동됨과 동시에 제9-3반사거울(212)이 시계방향(R4 방향)으로 회동되고(도 8 참조), ⅱ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에는 제8반사거울(208)이 반시계방향(R2 방향)으로 회동됨과 동시에 제9-3반사거울(212)이 반시계방향(R3 방향)으로 회동되는 것이다(도 9 참조).In other words, iii) when the driving mode is set to the normal mode, the eighth reflection mirror 208 is rotated clockwise (R1 direction) and at the same time, the ninth-3 reflection mirror 212 is rotated clockwise (R4 direction). (See FIG. 8), and ii) when the driving mode is set to the conversion mode, the eighth reflection mirror 208 is rotated in the counterclockwise direction (R2 direction) and at the same time, the ninth-3 reflection mirror 212 is counterclockwise direction. It is rotated in the (R3 direction) (see Fig. 9).

이에 따라, 제10반사거울(213)은 ⅰ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 상기 제8반사거울(208)에서 반사된 레이저광(L208)을 상방(z방향)으로 반사시키되, ⅱ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 상기 제9-3반사거울(212)에서 반사된 레이저광(L212)을 상방(z방향)으로 반사시키게 된다(S214,도 2).Accordingly, the tenth reflecting mirror 213 reflects the laser light L208 reflected from the eighth reflecting mirror 208 upward (z direction) when the driving mode is set to the normal mode, ii) When the driving mode is set to the conversion mode, the laser light L212 reflected from the 9-3 reflection mirror 212 is reflected upward (z direction) (S214, FIG. 2).

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.The present invention described above is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications and changes are possible within the scope of the present invention without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those who have knowledge.

100 : 제1레이저모듈부
101 : 레이저광발생부
102 : 마이크로칩
103 : 제1익스팬더
104 : 제1반사거울
105 : 제2반사거울
106 : 제1앰플리파이어
107 : 제3반사거울
200 : 제2레이저모듈부
201 : 제4반사거울
202 : 제2익스팬더
203 : 제2앰플리파이어
204 : 제5반사거울
205 : 제6반사거울
206 : 제3앰플리파이어
207 : 제7반사거울
208 : 제8반사거울
208a : 제8반사거울회동수단
209 : 제9-1반사거울
210 : SHG소자
211 : 제9-2반사거울
212 : 제9-3반사거울
212a : 제9-3반사거울회동수단
213 : 제10반사거울
214 : 레이저광통과홀
300 : 레이저광전달부
1 : 레이저발생부
2 : 제1앰플리파이어
3 : 편광판
4 : 파장판
5 : 제2앰플리파이어
6 : 반사판100: first laser module unit
101: laser light generation unit
102: microchip
103: first expander
104: first reflection mirror
105: second reflection mirror
106: first amplifier
107: 3rd reflection mirror
200: second laser module
201: 4th reflection mirror
202: second expander
203: second amplifier
204: 5th reflection mirror
205: 6th reflection mirror
206: third amplifier
207: 7th reflection mirror
208: 8th reflection mirror
208a: 8th reflective mirror rotation means
209: 9-1 reflection mirror
210: SHG element
211: 9-2 reflection mirror
212: 9-3 reflection mirror
212a: 9-3 reflection mirror rotation means
213: 10th reflection mirror
214: laser light through hole
300: laser light transmission unit
1: laser generator
2: 1st amplifier
3: Polarizing plate
4: Wave plate
5: second amplifier
6: Reflector

Claims (4)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1레이저모듈부(100);
제1레이저모듈부(100)의 상부에 형성되는 제2레이저모듈부(200);
1064nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 일반모드 또는 532nm 파장의 레이저광이 출력되도록 제어하는 변환모드 중 어느 하나의 구동모드를 설정하기 위한 모드설정부;를 포함하고,

상기 제1레이저모듈부(100)는
808nm 파장의 레이저광(L101)을 발생시키는 레이저광발생부(101)와,
상기 레이저광발생부(101)에서 발생된 레이저광(L101)을 전달받아 1064nm 파장의 레이저광(L102)으로 변환시키는 마이크로칩(102)과,
상기 마이크로칩(102)에서 변환된 레이저광(L102)의 빔사이즈를 확대시키는 제1익스팬더(103)와,
상기 제1익스팬더(103)에서 확대된 레이저광(L103)을 후방(-y방향)으로 반사시키는 제1반사거울(104)과,
상기 제1반사거울(104)에서 반사된 레이저광(L104)을 좌방(x방향)으로 반사시키는 제2반사거울(105)과,
상기 제2반사거울(105)에서 반사된 레이저광(L105)의 에너지를 증폭시키는 제1앰플리파이어(106)와,
상기 제1앰플리파이어(106)에서 증폭된 레이저광(L106)을 상방(z방향)으로 반사시키는 제3반사거울(107)을 포함하고,

상기 제2레이저모듈부(200)는
상기 제3반사거울(107)에서 반사된 레이저광(L107)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제4반사거울(201)과,
상기 제4반사거울(201)에서 반사된 레이저광(L201)의 빔사이즈를 확대시키는 제2익스팬더(202)와,
상기 제2익스팬더(202)에서 확대된 레이저광(L202)의 에너지를 증폭시키는 제2앰플리파이어(203)와,
상기 제2앰플리파이어(203)에서 증폭된 레이저광(L203)을 전방(y방향)으로 반사시키는 제5반사거울(204)과,
상기 제5반사거울(204)에서 반사된 레이저광(L204)을 좌방(x방향)으로 반사시키는 제6반사거울(205)과,
상기 제6반사거울(205)에서 반사된 레이저광(L205)의 에너지를 증폭시키는 제3앰플리파이어(206)와,
상기 제3앰플리파이어(206)에서 증폭된 레이저광(L206)을 전방(y방향)으로 반사시키는 제7반사거울(207)과,
시계방향(R1 방향) 또는 반시계방향(R2 방향)으로 회동가능하게 형성되되, ⅰ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 반시계방향(R2 방향)으로 회동되고, ⅱ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 시계방향(R1 방향)으로 회동되어 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제8반사거울(208)과,
구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 상기 제7반사거울(207)에서 반사된 레이저광(L207)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제9-1반사거울(209)과,
상기 제9-1반사거울(209)에서 반사된 레이저광(L209)을 532nm 파장의 레이저광(L210)으로 변환시키는 SHG소자(210)와,
상기 SHG소자(210)에서 변환된 레이저광(L210)을 후방(-y방향)으로 반사시키는 제9-2반사거울(211)과,
반시계방향(R3 방향) 또는 시계방향(R4 방향)으로 회동가능하게 형성되되, ⅰ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 시계방향(R4 방향)으로 회동되고, ⅱ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 반시계방향(R3 방향)으로 회동되어 상기 제9-2반사거울(211)에서 반사된 레이저광(L211)을 우방(-x방향)으로 반사시키는 제9-3반사거울(212)과,
ⅰ) 구동모드가 일반모드로 설정된 경우에 상기 제8반사거울(208)에서 반사된 레이저광(L208)을 상방(z방향)으로 반사시키되, ⅱ) 구동모드가 변환모드로 설정된 경우에 상기 제9-3반사거울(212)에서 반사된 레이저광(L212)을 상방(z방향)으로 반사시키는 제10반사거울(213)을 포함하는 것을 특징으로 하는
복층구조를 가지는 레이저광 출력장치.
A first laser module unit 100;
A second laser module unit 200 formed on an upper portion of the first laser module unit 100;
It includes; a mode setting unit for setting a driving mode of either the normal mode for controlling the output of the laser light of 1064nm wavelength or the conversion mode for controlling the output of the laser light of 532nm wavelength;

The first laser module unit 100 is
A laser light generator 101 that generates a laser light L101 having a wavelength of 808 nm;
A microchip 102 that receives the laser light L101 generated by the laser light generator 101 and converts it into a laser light L102 having a wavelength of 1064 nm;
A first expander 103 for enlarging the beam size of the laser light L102 converted by the microchip 102;
A first reflection mirror 104 reflecting the laser light L103 enlarged from the first expander 103 in the rear direction (-y direction);
A second reflection mirror 105 for reflecting the laser light L104 reflected from the first reflection mirror 104 in the left (x direction),
A first amplifier 106 for amplifying the energy of the laser light L105 reflected from the second reflection mirror 105,
And a third reflection mirror 107 for reflecting the laser light L106 amplified by the first amplifier 106 upward (z direction),

The second laser module unit 200
A fourth reflection mirror 201 reflecting the laser light L107 reflected from the third reflection mirror 107 in the right direction (-x direction),
A second expander 202 for enlarging the beam size of the laser light L201 reflected from the fourth reflection mirror 201,
A second amplifier 203 for amplifying the energy of the laser light L202 magnified in the second expander 202,
A fifth reflection mirror 204 for reflecting the laser light L203 amplified by the second amplifier 203 in the forward direction (y direction),
A sixth reflection mirror 205 which reflects the laser light L204 reflected from the fifth reflection mirror 204 in the left (x direction),
A third amplifier 206 for amplifying the energy of the laser light L205 reflected from the sixth reflection mirror 205,
A seventh reflection mirror 207 for reflecting the laser light L206 amplified by the third amplifier 206 in the forward direction (y direction),
It is formed to be rotatable in the clockwise direction (R1 direction) or counterclockwise (R2 direction), iv) when the drive mode is set to the conversion mode, it is rotated counterclockwise (R2 direction), and ii) the drive mode is the normal mode. And an eighth reflection mirror 208 which is rotated clockwise (R1 direction) to reflect the laser light L207 reflected from the seventh reflection mirror 207 in the right direction (-x direction),
A 9-1 reflection mirror 209 which reflects the laser light L207 reflected from the seventh reflection mirror 207 in the right direction (-x direction) when the driving mode is set to the conversion mode,
A SHG element 210 that converts the laser light L209 reflected from the 9-1 reflection mirror 209 into a laser light L210 having a wavelength of 532 nm,
A 9-2 reflection mirror 211 for reflecting the laser light L210 converted from the SHG element 210 to the rear (-y direction),
It is formed to be able to rotate counterclockwise (R3 direction) or clockwise (R4 direction). ⅰ) When the drive mode is set to the normal mode, it is rotated clockwise (R4 direction), and ii) the drive mode is switched. When set, the 9-3 reflection mirror 212 is rotated counterclockwise (R3 direction) to reflect the laser light L211 reflected from the 9-2 reflection mirror 211 in the right direction (-x direction) and,
Iv) When the driving mode is set to the normal mode, the laser light L208 reflected from the eighth reflection mirror 208 is reflected upward (z direction), ii) when the driving mode is set to the conversion mode. 9-3, characterized in that it comprises a 10th reflection mirror (213) for reflecting the laser light (L212) reflected from the reflection mirror 212 upward (z direction)
A laser light output device having a multilayer structure.
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