KR102120440B1 - Separable vibration isolation table capable of integrated construction - Google Patents

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KR102120440B1
KR102120440B1 KR1020200025908A KR20200025908A KR102120440B1 KR 102120440 B1 KR102120440 B1 KR 102120440B1 KR 1020200025908 A KR1020200025908 A KR 1020200025908A KR 20200025908 A KR20200025908 A KR 20200025908A KR 102120440 B1 KR102120440 B1 KR 102120440B1
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KR1020200025908A
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박해동
박규남
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주식회사 브이원
박규남
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere

Abstract

The present invention relates to a prefabricated disturbance control plate which can be separated and disassembled, which comprises: a plurality of main panels which are composed of a concrete block of a plate shape; a tension application unit which is installed at each main panel to apply post-tension by compression; a support unit which is installed such that one end of the tension application unit may be supported, and is individually fixated to one side of the main panels; and a connecting unit which has the support unit respectively fixated to both sides, thereby mutually connecting the main panels. Here, the connecting unit has 50-200% of the bending stiffness of the main panels. Therefore, the present invention can embody the identical function as that of an integrated disturbance control plate while providing a solid assembly performance. Consequently, because the present invention provides excellent assemblability, time and effort required for assembly and disassembly can be minimized.

Description

분리 해체 가능한 조립식 제진대{Separable vibration isolation table capable of integrated construction}Separable vibration isolation table capable of integrated construction

본 발명은 제진대에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 조립을 용이하도록 하면서도 일체형 제진대와 동일 성능의 구현이 가능한 분리 해체 가능한 조립식 제진대에 관한 것이다.The present invention relates to a vibration damping table, and more particularly, to facilitate assembly, but to a detachable and detachable prefabricated vibration damping table capable of realizing the same performance as an integrated vibration damping table.

일반적으로, 반도체 소자의 제조 공정은 포토공정, 에칭공정, 박막증착공정 등을 비롯하여, 다양한 단위 공정을 거치게 되는데, 이를 위해 다양한 반도체 제조 장비들이 사용된다.In general, a semiconductor device manufacturing process includes various unit processes, including a photo process, an etching process, and a thin film deposition process, and various semiconductor manufacturing equipments are used for this.

이러한 반도체 제조 장비들은 정밀한 공정을 수행하기 때문에 외부로부터 전달되는 진동 등에 매우 취약하므로, 반도체 소자의 높은 품질 및 수율을 확보하기 위해서, 외부 진동 등으로 인한 취약점을 보완할 필요성을 가지게 되었으며, 이로 인해 제진대가 제안되고 있다.Since these semiconductor manufacturing equipments perform a precise process, they are very vulnerable to vibrations transmitted from the outside. Therefore, in order to secure high quality and yield of semiconductor devices, it is necessary to compensate for vulnerabilities due to external vibrations. The stand is being proposed.

종래의 제진대는 반도체 제조 장치가 바닥면 상에 직접 설치되지 않도록, 상면에 반도체 제조 장치가 설치되도록 하여, 외부 진동을 일정 부분 흡수 및 완화하도록 한다.Conventional anti-vibration tables allow the semiconductor manufacturing device to be installed on the top surface so that the semiconductor manufacturing device is not directly installed on the bottom surface, so as to absorb and mitigate external vibrations to a certain extent.

그러나, 종래의 제진대는 대부분 단일의 일체형 몸체로 이루어짐으로써, 투입 및 설치시 많은 공간을 필요로 하고, 많은 분진의 발생을 야기하는 문제점을 가지고 있었다However, the conventional vibration isolator is mostly composed of a single integral body, and requires a lot of space during input and installation, and has a problem of generating a lot of dust.

이와 같은 문제점을 해소하기 위한 종래 기술로서, 한국등록특허 제10-2002804호의 "동일한 구조물 동적특성을 갖는 분리형 일체화 제진대"가 제시된 바 있는데, 이는 상방이 개방되는 수용공간을 형성하는 케이싱의 측부로부터 양쪽 측면과 하부면이 수평되게 연장되어 연결공간을 형성하고, 상기 수용공간과 상기 연결공간에 철근이 배근되며, 상기 수용공간 내에 콘크리트의 타설에 의해 철근콘크리트를 형성하는 다수의 분할제진대; 상기 분할제진대 각각의 연결공간을 서로 연결시킨 상태를 유지하도록 상기 분할제진대 각각의 케이싱을 서로 연결시키는 거푸집연결부; 상기 분할제진대 각각의 연결공간으로 노출되는 철근을 서로 연결시키는 철근연결부; 및 상기 분할제진대가 각각 서로 연결된 연결공간 내에 콘크리트와 함께 타설되어 철근콘크리트를 형성하는 채움재;를 포함하고, 상기 채움재의 탄성계수는, 수용공간 내에 타설되는 콘크리트의 탄성계수의 50~200%인 것을 특징으로 한다. As a conventional technique for solving such a problem, there has been proposed a "separate integrated vibration damping table having the same structure dynamic characteristics" of Korean Patent Registration No. 10-2002804, which is from the side of the casing forming a receiving space in which the upper side is opened. A plurality of divided vibration isolators that horizontally extend on both sides and a lower surface to form a connection space, reinforcement is reinforced between the accommodation space and the connection space, and form reinforced concrete by pouring concrete in the accommodation space; Formwork connection unit for connecting the casing of each of the divided vibration isolation table to maintain a state in which the connection spaces of the divided vibration isolation table are connected to each other; Reinforcing bar connecting portion for connecting the reinforcing bar exposed to the connection space of each of the divided vibration isolation table to each other; And a filling material that is cast together with concrete in the connection space where the divided vibration isolators are connected to each other to form reinforced concrete. The elastic modulus of the filling material is 50 to 200% of the elastic modulus of the concrete poured in the receiving space. It is characterized by.

그러나, 이와 같은 종래 기술은 반도체 소자 제조의 정밀화 향상에 따라 일체형 제진대와 동일 성능의 구현을 가능하도록 하면서도 견고한 조립 성능의 향상이 보다 필요하게 되었고, 조립성이 뛰어나도록 함으로써, 조립 및 해체에 소요되는 시간과 노력을 최소화하도록 하는 개선이 보다 필요하게 되었다.However, such a conventional technology requires the improvement of solid assembly performance while enabling the same performance as the integrated vibration damping table according to the improvement in precision of semiconductor device manufacturing, and requires excellent assembly and disassembly. Improvements were needed to minimize the time and effort required.

상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 일체형 제진대와 동일 성능의 구현을 가능하도록 하면서도 견고한 조립성능을 가지도록 하고, 조립성이 뛰어나도록 함으로써, 조립 및 해체에 소요되는 시간과 노력을 최소화하도록 하는데 목적이 있다.In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention allows the implementation of the same performance as the one-piece damping table, while having a solid assembly performance, and excellent assembly performance, time required for assembly and disassembly The goal is to minimize the effort and effort.

본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시례에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.Other objects of the present invention will be easily understood through the description of the following examples.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면에 따르면, 장비의 설치를 위한 장소를 제공하는 다수의 메인패널;; 상기 메인패널 마다 압축에 의한 포스트 텐션을 인가하도록 설치되는 텐션인가유닛; 상기 텐션인가유닛의 일단이 지지되도록 설치됨으로써, 상기 메인패널의 일측에 각각 고정되는 지지유닛; 및 상기 지지유닛이 양측에 각각 고정됨으로써, 상기 메인패널을 서로 연결시키는 연결유닛;을 포함하고, 상기 연결유닛은, 굽힘강성이 상기 메인패널의 굽힘강성의 50~200%인, 분리 해체 가능한 조립식 제진대가 제공된다.In order to achieve the above object, according to an aspect of the present invention, a plurality of main panels providing a place for the installation of equipment; A tension applying unit installed to apply post tension by compression for each main panel; A support unit fixed to one side of the main panel by being installed so that one end of the tension applying unit is supported; And a connecting unit that connects the main panels to each other by being fixed to both sides of the support unit, wherein the connecting unit has a bending stiffness of 50 to 200% of the bending stiffness of the main panel. A damping table is provided.

상기 지지유닛은, 상기 메인패널의 측면 형태에 상응하는 평면구조를 가지는 금속재질의 블록으로 이루어지고, 상기 메인패널로부터 인출되는 텐션인가유닛의 일단이 관통하여 걸리도록 지지홀이 형성될 수 있다.The support unit is made of a block made of metal having a planar structure corresponding to the side shape of the main panel, and a support hole may be formed so that one end of the tension applying unit drawn out from the main panel passes through.

상기 텐션인가유닛은, 상기 메인패널 내에 상기 지지유닛에 교차하는 방향으로 매립되는 쉬즈관; 상기 쉬즈관의 내측에 설치되고, 상기 메인패널의 압축을 위해 인장력이 인가되는 텐션바; 상기 텐션바의 일단에 고정되어 상기 메인패널의 내측에 고정되는 정착구; 및 상기 지지홀 내에 고정되고, 인장력이 가해지는 상기 텐션바의 타단을 고정시키는 조임구;를 포함할 수 있다.The tension applying unit includes a sheath tube embedded in the main panel in a direction crossing the support unit; A tension bar installed inside the sheath tube and applied with a tensile force to compress the main panel; A fixing fixture fixed to one end of the tension bar and fixed to the inside of the main panel; And a fastener fixed in the support hole and fixing the other end of the tension bar to which a tensile force is applied.

상기 연결유닛은, 상기 지지유닛이 양측에 각각 고정볼트로 고정될 수 있다.In the connection unit, the support units may be fixed with fixing bolts on both sides.

상기 연결유닛은, 서로 연결시키고자 하는 상기 지지유닛 사이를 따라 다수로 설치되고, 각각이 "H" 형태의 단면을 가짐으로써 양측에 플랜지가 각각 마련되는 H블럭으로 이루어지고, 상기 플랜지마다 다수의 체결홀이 형성됨으로써 상기 지지유닛이 상기 체결홀 각각을 통한 상기 고정볼트의 체결에 의해 상기 플랜지마다 고정되도록 할 수 있다.The connecting unit is installed in a plurality along the support units to be connected to each other, each of which has a cross section of the "H" shape is made of H blocks provided with flanges on both sides, each of the flanges By forming a fastening hole, the support unit can be fixed for each flange by fastening the fixing bolt through each of the fastening holes.

본 발명에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대에 의하면, 일체형 제진대와 동일 성능의 구현을 가능하도록 하면서도 견고한 조립성능을 가지도록 할 수 있고, 조립성이 뛰어나도록 함으로써, 조립 및 해체에 소요되는 시간과 노력을 최소화하는 효과를 가진다.According to the separable and detachable assembly type vibration isolation table according to the present invention, it is possible to have a solid assembly performance while enabling the implementation of the same performance as the integral type vibration isolation table. It has the effect of minimizing effort.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 분해하여 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 분해하여 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 조립하여 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 조립하여 도시한 측면도이다.
도 5는 종래 일체형 제진대의 진동특성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 6 및 도 7은 종래 일체형 제진대와 본 발명에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대의 동일 성능 조건을 설명하기 위한 개략도이다.1 is an exploded plan view showing a detachable disassembleable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded side view showing a detachable disassembleable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view showing a detachable disassembleable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a side view showing a detachable disassembleable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic view for explaining the vibration characteristics of the conventional integral vibration isolation table.
6 and 7 are schematic diagrams for explaining the same performance conditions of a conventional integral vibration isolation table and a detachable disassembleable assembly vibration isolation table according to the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시례를 가질 수 있는 바, 특정 실시례들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다. The present invention can be variously changed, and may have various embodiments, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood as including all modifications, equivalents, and substitutes included in the technical spirit and scope of the present invention, and to be modified in various other forms. May be, the scope of the present invention is not limited to the following examples.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시례를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and the same reference numerals will be assigned to the same or corresponding components regardless of reference numerals, and redundant description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 분해하여 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 분해하여 도시한 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 조립하여 도시한 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대를 조립하여 도시한 측면도이다.1 is an exploded plan view showing a detachable and detachable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view showing an exploded and detachable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention, 3 is a plan view showing a detachable and detachable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view showing an assembly and detachable prefabricated vibration isolator according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시례에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대(100)는 메인패널(110), 텐션인가유닛(120), 지지유닛(130) 및 연결유닛(140)을 포함할 수 있다.1 to 4, the detachable and detachable assembly type vibration isolator 100 according to an embodiment of the present invention includes a main panel 110, a tension applying unit 120, a support unit 130 and a connecting unit 140 ).

메인패널(110)은 반도체나 디스플레이패널 등을 비롯하여 다양한 제조 장비의 설치를 위한 장소를 제공하도록 다수, 예컨대 한 쌍으로 이루어질 수 있는데, 이에 한하지 않고, 3개 이상으로 이루어져서 일렬 또는 2차원적으로 배열되도록 연결될 수도 있다. 메인패널(110) 상에는 장비가 직접 설치되거나, 별도의 부재를 매개로 하여 간접적으로 설치될 수도 있다. The main panel 110 may be formed of a plurality of, for example, a pair to provide a place for installation of various manufacturing equipment, including a semiconductor or a display panel, but is not limited thereto, and consists of three or more, in a line or two-dimensional manner. It may be connected to be arranged. The equipment may be directly installed on the main panel 110 or indirectly through a separate member.

메인패널(110)은 예컨대, 판상의 콘크리트블록으로 이루어질 수 있는데, 이 경우, 무근콘크리트는 물론 철근콘크리트 등으로 이루어질 수 있으며, 요구되는 강도를 만족시키도록 설계된 바에 따라 다양한 종류의 콘크리트블록으로 제작될 수 있다. 메인패널(110)은 이러한 콘크리트블록 외에도 장비의 제진을 위한 지지대로서의 역할을 위하여, 예컨대, 단순 모르타르 조성물, 강화 합성수지, 스틸, 목재, 세라믹 등을 비롯하여 다양한 재질로 이루어질 수 있음은 물론이다.The main panel 110 may be made of, for example, a plate-shaped concrete block, and in this case, may be made of reinforced concrete, as well as non-reinforced concrete, and be made of various types of concrete blocks as designed to satisfy required strength. Can be. In addition to the concrete block, the main panel 110 may be made of various materials including, for example, a simple mortar composition, reinforced synthetic resin, steel, wood, ceramic, etc., as a support for vibration control of equipment.

텐션인가유닛(120)은 메인패널(110) 마다 압축에 의한 포스트 텐션(post tension)을 인가하도록 설치되는데, 본 실시례에서처럼 다수개가 나란하도록 설치될 수 있으나, 반드시 이에 한하는 것은 아니며, 요구되는 포스트 텐션의 크기 및 메인패널(110)의 규격 등에 따라 단일 또는 그 개수를 달리할 수 있다.The tension applying unit 120 is installed to apply post tension by compression for each main panel 110, but may be installed in parallel as in this embodiment, but is not limited thereto. The number of single or the number of post tension may vary depending on the size of the post tension and the size of the main panel 110.

텐션인가유닛(120)은 메인패널(110)의 재질 내지 구조에 따라 압축력에 의한 포스트 텐션을 인가하기 위한 다양한 구조를 가질 수 있는데, 예컨대, 본 실시례에서처럼 메인패널(110) 내에 지지유닛(130)에 교차하는 방향으로 매립되는 쉬즈관(121)과, 쉬즈관(121)의 내측에 설치될 수 있고, 메인패널(110)의 압축을 위해 인장력이 인가되는 텐션바(122)와, 텐션바(122)의 일단에 고정되어 메인패널(110)의 내측에 고정되는 정착구(123)와, 후술하게 될 지지유닛(130)의 지지홀(131) 내에 고정될 수 있고, 유압 잭이나 나선을 이용한 조임 등에 의해 인장력이 가해지는 텐션바(122)의 타단을 고정시키는 조임구(124)를 포함할 수 있다.The tension applying unit 120 may have various structures for applying post tension by a compressive force according to the material or structure of the main panel 110. For example, the support unit 130 in the main panel 110 as in this embodiment ) Can be installed inside the sheath pipe 121 embedded in the direction intersecting the sheath pipe 121, the tension bar 122 to which the tensile force is applied for the compression of the main panel 110, and the tension bar Fixture 123 fixed to one end of the 122 and fixed to the inside of the main panel 110 and fixed to the support hole 131 of the support unit 130 to be described later, using a hydraulic jack or spiral A fastener 124 for fixing the other end of the tension bar 122 to which a tensile force is applied by tightening or the like may be included.

지지유닛(130)은 텐션인가유닛(120)의 일단이 지지되도록 설치됨으로써, 메인패널(110)의 일측에 각각 고정되도록 하는데, 예컨대 본 실시례에서처럼, 메인패널(110)의 측면 형태에 상응하는 평면구조를 가지는 금속재질의 블록으로 이루어질 수 있고, 메인패널(110)로부터 인출되는 텐션인가유닛(120)의 일단이 관통하여, 구체적으로 조임구(124)가 걸리도록 하는 지지홀(131)이 형성될 수 있다. 지지유닛(130)은 메인패널(110)에 매립되는 텐션인가유닛(120)의 개수에 상응하는 개수의 지지홀(131)이 형성될 수 있다.The support unit 130 is installed so that one end of the tension applying unit 120 is supported, so as to be fixed to each side of the main panel 110, for example, as in this embodiment, corresponding to the side shape of the main panel 110 It may be made of a metal block having a flat structure, and one end of the tension applying unit 120 drawn out from the main panel 110 penetrates, and specifically, a support hole 131 to fasten the fastener 124. Can be formed. The support unit 130 may have a number of support holes 131 corresponding to the number of tension applying units 120 embedded in the main panel 110.

연결유닛(140)은 지지유닛(130)이 양측에 각각 고정됨으로써, 메인패널(110)을 서로 연결시키도록 한다. 연결유닛(140)은 굽힘강성이 메인패널(110)의 굽힘강성의 50~200%일 수 있고, 일례로 메인패널(110)의 굽힘강성의 100%일 수 있다. 따라서, 이러한 메인패널(110)에 대한 연결유닛(140)의 굽힘강성 범위에 의하여, 조립식이 아닌 단일체의 제진대에 대하여, 진동특성이나 내구성을 비롯한 각종 성능이 동일 내지 이에 유사하도록 설계되어질 수 있다.The connecting unit 140 is fixed to each side of the support unit 130, so that the main panel 110 is connected to each other. The connecting unit 140 may be 50 to 200% of the bending stiffness of the main panel 110, and for example, 100% of the bending stiffness of the main panel 110. Accordingly, by the bending stiffness range of the connection unit 140 with respect to the main panel 110, various performances including vibration characteristics and durability can be designed to be the same or similar to the vibration damping unit of a single body that is not prefabricated. .

연결유닛(140)은 지지유닛(130)이 양측에 각각 고정볼트(150)로 고정될 수 있는데, 지지유닛(130) 사이에서 이들을 서로 연결시키기 위하여, 육면체 또는 "ㄷ" 형태의 블록 등을 비롯하여 다양한 형태를 가질 수 있는데, 예컨대 본 실시례에서처럼, 서로 연결시키고자 하는 지지유닛(130) 사이를 따라 다수로 설치될 수 있고, 각각이 "H" 형태의 단면을 가짐으로써 양측에 플랜지(142)가 각각 마련되는 H블럭으로 이루어질 수 있다. 이와 같이, H블록으로 이루어지는 연결유닛(140)은 플랜지(142)마다 다수의 체결홀(141)이 형성됨으로써 지지유닛(130)이 체결홀(141) 각각을 통한 고정볼트(150)의 체결에 의해 플랜지(142)마다 고정되도록 할 수 있다. The connection unit 140, the support unit 130 may be fixed to each side by a fixing bolt 150, in order to connect them to each other between the support unit 130, including a hexahedron or "c" type block, etc. It can have a variety of shapes, for example, as in this embodiment, it can be installed in multiple along the support unit 130 to be connected to each other, each having a cross section of the "H" shape by having a flange 142 on both sides It may be made of each H block is provided. As described above, the connection unit 140 formed of the H block is formed with a plurality of fastening holes 141 for each flange 142 so that the support unit 130 is fastened to the fixing bolts 150 through each of the fastening holes 141. By this, it can be fixed for each flange 142.

연결유닛(140)의 플랜지(142)에는 중심을 기준으로 그 양측에 일렬로 다수의 체결홀(141)이 형성될 수 있고, 이로 인해 고정볼트(150)를 사용한 지지유닛(130)과의 견고한 고정을 가능하도록 할 수 있다. 지지유닛(130)은 고정볼트(150)의 체결을 위하여, 길이방향을 따라 간격을 두고서 암나사부에 해당하는 체결홈(132)이 다수로 형성될 수 있다.On the flange 142 of the connection unit 140, a plurality of fastening holes 141 may be formed in a line on both sides of the center, thereby sturdy with the support unit 130 using the fixing bolt 150. It is possible to enable fixing. In order to fasten the fixing bolt 150, the support unit 130 may be formed with a plurality of fastening grooves 132 corresponding to the female screw portions at intervals along the longitudinal direction.

도 5를 참조하면, 일체형 제진대의 진동특성은 아래의 수학식 1 및 2로 나타낼 수 있다. 여기서 수학식 1은 단순 지지인 경우 일체형 콘크리트 제진대의 1차 굽힘 고유진동수(fn, Hz)이고, 수학식 2는 양단 자유 지지인 경우 일체형 콘크리트 제진대의 1차 굽힘 고유진동수(fn, Hz)이다.Referring to Figure 5, the vibration characteristics of the integral vibration isolation table can be represented by the following equations (1) and (2). Here, Equation 1 is the natural frequency of the first bending of the integral concrete damping table for simple support (fn, Hz), and Equation 2 is the natural natural frequency of the primary bending of the integral concrete damping table for both ends of free support (fn, Hz) to be.

Figure 112020021985562-pat00001
Figure 112020021985562-pat00001

Figure 112020021985562-pat00002
Figure 112020021985562-pat00002

또한 일체형 콘크리트 제진대의 동강성(N/m)은 아래의 수학식 3과 같다.In addition, the dynamic rigidity (N/m) of the integrated concrete vibration damping table is as shown in Equation 3 below.

Figure 112020021985562-pat00003
Figure 112020021985562-pat00003

수학식 1 내지 3에서, El(Nm2)은 제진대의 굽힘강성이고, E(N/m2)는 제진대의 탄성계수이고, l(m4)는 제진대의 4차 단면 계수이고, ρ(kg/m)는 제진대의 단위길이당 질량이고, F(t)는 제진대 중앙부의 가진력이고, x(t)는 가진점에서의 응답이다. 또한 ω= 2πf는 각 주파수(rad/s)이고, f는 주파수(Hz)이고, fn은 고유주파수(Hz)이다.In Equations 1 to 3, El(Nm 2 ) is the bending stiffness of the vibration damping table, E(N/m 2 ) is the elastic modulus of the vibration damping table, and l(m 4 ) is the fourth sectional coefficient of the vibration damping table, ρ(kg/m) is the mass per unit length of the vibration isolator, F(t) is the excitation force in the center of the vibration isolator, and x(t) is the response at the excitation point. In addition, ω= 2πf is each frequency (rad/s), f is frequency (Hz), and fn is natural frequency (Hz).

도 6을 참조하면, 일체형 제진대와 조립형 제진대(본 발명이 해당)는 고유진동수와 동강성이 동일하게 유지하여야 하며, 이를 위해, 조립형 제진대의 재질 2의 굽힘강성 El2와 밀도 ρ2를 재질 1의 굽힘강성 El1과 밀도 ρ1와 동일하게 유지할수록 만족하게 된다. Referring to FIG. 6, the integral vibration isolation table and the assembly vibration isolation table (the present invention is applicable) must maintain the same natural frequency and dynamic rigidity, and for this purpose, the bending stiffness El 2 and density of the material 2 of the assembly vibration isolation table a ρ 2 remains the same as the flexural stiffness El 1 and the density ρ 1 of the material 1, the more is satisfied.

재질 1이 콘크리트, 재질 2가 스틸인 경우, 스틸의 탄성계수 Es=210GPa가 콘크리트의 탄성계수 Ec=24Gpa의 약 9배이므로, 재질 2의 4차 단면계수는 약 9배 낮게 가능하다. 스틸 밀도가 ρs=7,850kg/m3이고, 콘크리트 밀도가 ρc=2,300kg/m3이므로 스틸이 콘크리트 밀도보다 약 3배 높아서, 재질 2의 연결보 공간 확보를 가능하도록 한다.When material 1 is concrete and material 2 is steel, since the elastic modulus Es=210GPa of steel is about 9 times that of concrete, the elastic modulus Ec=24Gpa is 4, so the fourth cross-sectional modulus of material 2 can be about 9 times lower. Since the steel density is ρs=7,850kg/m 3 and the concrete density is ρc=2,300kg/m 3 , the steel is about 3 times higher than the concrete density, so that it is possible to secure the space for the connecting beam of material 2.

도 7을 참조하면, 본 발명이 해당하는 조립식 제진대의 경우, 압축응력(σ)은 아래의 수학식 4와 같은데, 이때, P는 텐션바의 초기 인가 하중을 의미한다. Referring to FIG. 7, in the case of a prefabricated vibration damping table to which the present invention is applicable, the compressive stress σ is as shown in Equation 4 below, where P denotes the initial applied load of the tension bar.

Figure 112020021985562-pat00004
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도 7에서, (1)은 자중 W 하중시 포스트 텐션에 의한 응력 분포를 나타내고, (2)는 자중 W 작용시 응력 분포를 나타내고, (3)은 포스트 텐션에 의한 압축 응력을 나타낸다.In Fig. 7, (1) shows the stress distribution due to post tension during self-weight W load, (2) shows the stress distribution during self weight W action, and (3) shows the compressive stress due to post tension.

포스트 텐션의 텐션바 조기 인가하중을 P 작용시, 결합부의 인장응력 발생시 제진대의 단면이 감소되므로, 인장응력이 발생하지 않도록 한다. 일체형 제진대의 콘크리트 굽힘에 의한 휨 인장강도(fr)는 아래의 수학식 5와 같다. When the pre-tension bar's tension bar is applied early, when the tensile stress occurs at the joint, the cross section of the damping zone is reduced, so that tensile stress does not occur. The flexural tensile strength (fr) due to the concrete bending of the integral damping table is as shown in Equation 5 below.

Figure 112020021985562-pat00005
Figure 112020021985562-pat00005

여기서, fck(MPa)는 콘크리트의 압축강도이고, λ은 보통 중량콘크리트가 1.0이고, 모래 경량콘크리트가 0.85이고, 전경량콘크리트가 0.75이다.Here, fck (MPa) is the compressive strength of concrete, λ is usually 1.0 for weight concrete, 0.85 for light sand concrete, and 0.75 for foreground concrete.

조립형 제진대가 일체형 제진대와 동일한 인장강도를 갖기 위한 조건은 아래의 수학식 6과 같다.The condition for the assembled vibration damping platform to have the same tensile strength as the integral vibration damping table is shown in Equation 6 below.

Figure 112020021985562-pat00006
Figure 112020021985562-pat00006

이와 같은 본 발명에 따른 분리 해체 가능한 조립식 제진대에 따르면, 일체형 제진대와 동일 성능의 구현을 가능하도록 하면서도 견고한 조립성능을 가지도록 할 수 있고, 조립성이 뛰어나도록 함으로써, 조립 및 해체에 소요되는 시간과 노력을 최소화하도록 한다.According to the detachable disassembleable assembly type vibration isolation table according to the present invention, it is possible to have a solid assembly performance while enabling the implementation of the same performance as the integral vibration isolation table, and by assembling excellent, it is required for assembly and disassembly. Try to minimize time and effort.

이와 같이 본 발명에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시례에 한정되어서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, various modifications and variations can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims described below, but also by the claims and equivalents.

110 : 메인패널 120 : 텐션인가유닛
121 : 쉬즈관 122 : 텐션바
123 : 정착구 124 : 조임구
130 : 지지유닛 131 : 지지홀
132 : 체결홈 140 : 연결유닛
141 : 체결홀 142 : 플랜지
150 : 고정볼트110: main panel 120: tension application unit
121: sheath tube 122: tension bar
123: settlement 124: fastener
130: support unit 131: support hole
132: fastening groove 140: connecting unit
141: fastening hole 142: flange
150: fixed bolt

Claims (5)

장비의 설치를 위한 장소를 제공하는 다수의 메인패널;
상기 메인패널 마다 압축에 의한 포스트 텐션을 인가하도록 설치되는 텐션인가유닛;
상기 텐션인가유닛의 일단이 지지되도록 설치됨으로써, 상기 메인패널의 일측에 각각 고정되는 지지유닛; 및
상기 지지유닛이 양측에 각각 고정됨으로써, 상기 메인패널을 서로 연결시키는 연결유닛;을 포함하고,
상기 연결유닛은,
굽힘강성이 상기 메인패널의 굽힘강성의 50~200%이고,
상기 연결유닛은,
상기 지지유닛이 양측에 각각 고정볼트로 고정되는, 분리 해체 가능한 조립식 제진대. A plurality of main panels providing a place for installation of equipment;
A tension applying unit installed to apply post tension by compression for each main panel;
A support unit fixed to one side of the main panel by being installed so that one end of the tension applying unit is supported; And
The support unit is fixed to each side, so that the connecting unit for connecting the main panel to each other, including,
The connection unit,
The bending stiffness is 50 to 200% of the bending stiffness of the main panel,
The connection unit,
The support unit is fixed to each side with fixing bolts, a detachable and detachable assembly type vibration isolator. 청구항 1에 있어서,
상기 지지유닛은,
상기 메인패널의 측면 형태에 상응하는 평면구조를 가지는 금속재질의 블록으로 이루어지고, 상기 메인패널로부터 인출되는 텐션인가유닛의 일단이 관통하여 걸리도록 지지홀이 형성되는, 분리 해체 가능한 조립식 제진대.The method according to claim 1,
The support unit,
It is made of a block made of a metal material having a flat structure corresponding to the side shape of the main panel, and a support hole is formed so that one end of the tension applying unit drawn out from the main panel penetrates through it. 청구항 2에 있어서,
상기 텐션인가유닛은,
상기 메인패널 내에 상기 지지유닛에 교차하는 방향으로 매립되는 쉬즈관;
상기 쉬즈관의 내측에 설치되고, 상기 메인패널의 압축을 위해 인장력이 인가되는 텐션바;
상기 텐션바의 일단에 고정되어 상기 메인패널의 내측에 고정되는 정착구; 및
상기 지지홀 내에 고정되고, 인장력이 가해지는 상기 텐션바의 타단을 고정시키는 조임구;
를 포함하는, 분리 해체 가능한 조립식 제진대.The method according to claim 2,
The tension applying unit,
A sheath tube embedded in the main panel in a direction crossing the support unit;
A tension bar installed inside the sheath tube and applied with a tensile force to compress the main panel;
A fixing fixture fixed to one end of the tension bar and fixed to the inside of the main panel; And
A fastener fixed in the support hole and fixing the other end of the tension bar to which a tensile force is applied;
Included, detachable prefabricated vibration isolator. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 연결유닛은,
서로 연결시키고자 하는 상기 지지유닛 사이를 따라 다수로 설치되고, 각각이 "H" 형태의 단면을 가짐으로써 양측에 플랜지가 각각 마련되는 H블럭으로 이루어지고, 상기 플랜지마다 다수의 체결홀이 형성됨으로써 상기 지지유닛이 상기 체결홀 각각을 통한 상기 고정볼트의 체결에 의해 상기 플랜지마다 고정되도록 하는, 분리 해체 가능한 조립식 제진대.The method according to claim 1,
The connection unit,
It is installed in a number along the support units to be connected to each other, each of which has a cross section of the "H" shape is made of H blocks that are provided with flanges on each side, and by forming a plurality of fastening holes for each flange The support unit is fixed to each flange by the fastening of the fixing bolt through each of the fastening holes, separable and detachable assembly type vibration damping table.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH1181737A (en) * 1997-09-01 1999-03-26 Fujita Corp Vibration control construction for reinforced concrete building and constructing method therefor
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