KR102116459B1 - Device for generating multi pulse lasers - Google Patents

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KR102116459B1 KR1020180062680A KR20180062680A KR102116459B1 KR 102116459 B1 KR102116459 B1 KR 102116459B1 KR 1020180062680 A KR1020180062680 A KR 1020180062680A KR 20180062680 A KR20180062680 A KR 20180062680A KR 102116459 B1 KR102116459 B1 KR 102116459B1
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    • H01S3/2383—Parallel arrangements
    • H01S3/2391—Parallel arrangements emitting at different wavelengths

Abstract

멀티 펄스 레이저 생성 장치 및 그 방법을 제공한다. 멀티 펄스 레이저 생성 장치는 i) 제1 레이저빔을 출사하는 제1 펄스 레이저 생성부, ii) 제1 레이저빔이 입사되어 제1 레이저빔의 파장을 변형시키는 파장 제어판, iii) 제1 레이저빔과 교차하는 방향으로 제2 레이저빔을 출사하는 제2 펄스 레이저 생성부, iv) 파장 제어판을 통과한 제1 레이저빔과 제2 레이저빔이 만나서 결합되어 출사되는 합성판, v) 합성판으로부터 출사된 제1 레이저빔과 제2 레이저빔을 반사 굴절시키는 반사판, 및 vi) 반사판에서 반사 굴절된 제1 레이저빔과 제2 레이저빔이 입사되어 증폭되는 증폭부를 포함한다.Provided is a multi-pulse laser generating apparatus and method. The multi-pulse laser generating apparatus comprises: i) a first pulse laser generator for emitting a first laser beam, ii) a wavelength control panel to which the first laser beam is incident and transforms the wavelength of the first laser beam, and iii) a first laser beam A second pulsed laser generator for emitting a second laser beam in an intersecting direction, iv) a composite plate in which a first laser beam and a second laser beam passing through a wavelength control panel are combined and emitted, v) emitted from a composite plate And a reflector for reflectively refracting the first laser beam and the second laser beam, and vi) an amplifying unit in which the first and second laser beams refracted by the reflector are incident and amplified.

Description

멀티 펄스 레이저 생성 장치 {DEVICE FOR GENERATING MULTI PULSE LASERS}Multi-pulse laser generator {DEVICE FOR GENERATING MULTI PULSE LASERS}

본 발명은 멀티 펄스 레이저 생성 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 멀티 펄스의 레이저들을 생성하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-pulse laser generating device. More specifically, the present invention relates to an apparatus for generating multi-pulse lasers.

레이저는 직진성을 가지며 단일 파장으로 단시간내에 높은 출력을 낼 수 있다. 레이저는 피부 조직에 흡수되면 발열 작용과 광화학적인 변화를 일으켜 해당 물질을 변화시키는 특성을 가진다. 따라서 레이저는 잡티, 주근깨, 색소 침착, 문신, 혈관 질환, 주름, 여드름 등의 피부 질환 치료에 사용되고 있다.The laser has straightness and can output high power in a short time with a single wavelength. When laser is absorbed by skin tissue, it has the characteristic of changing the substance by causing exothermic action and photochemical change. Therefore, lasers are used to treat skin diseases such as blemishes, freckles, pigmentation, tattoos, vascular diseases, wrinkles, and acne.

레이저로 피부를 치료하는 경우, 레이저의 파장과 펄스 듀레이션을 적절히 선택하여 피부내 발색단을 표적화한다. 이 경우, 상이한 발색단들은 상이한 특성의 레이저들에만 치료 효과가 있다. 만약, 적절한 레이저를 사용하지 않는 경우, 표적 주위 피부가 손상된다. 따라서 상이한 발색단들을 한번에 치료하기 위해서는 다양한 레이저 발생 장치들을 구비할 필요가 있다.When treating the skin with a laser, the wavelength and pulse duration of the laser are appropriately selected to target the chromophore in the skin. In this case, different chromophores have a therapeutic effect only on lasers of different properties. If an appropriate laser is not used, the skin around the target is damaged. Therefore, in order to treat different chromophores at once, it is necessary to provide various laser generating devices.

동일한 파장 또는 상이한 파장을 가진 레이저들을 손실없이 하나의 레이저로 합친 멀티 펄스 레이저 생성 장치를 제공하고자 한다. 또한, 전술한 멀티 펄스 레이저의 생성 방법을 제공하고자 한다.It is an object of the present invention to provide a multi-pulse laser generating apparatus in which lasers having the same wavelength or different wavelengths are combined into one laser without loss. In addition, it is intended to provide a method for generating a multi-pulse laser described above.

본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치는, i) 제1 레이저빔을 출사하는 제1 펄스 레이저 생성부, ii) 제1 레이저빔이 입사되어 제1 레이저빔의 파장을 변형시키는 파장 제어판, iii) 제1 레이저빔과 교차하는 방향으로 제2 레이저빔을 출사하는 제2 펄스 레이저 생성부, iv) 파장 제어판을 통과한 제1 레이저빔과 제2 레이저빔이 만나서 결합되어 출사되는 합성판, v) 합성판으로부터 출사된 제1 레이저빔과 제2 레이저빔을 반사 굴절시키는 반사판, 및 vi) 반사판에서 반사 굴절된 제1 레이저빔과 제2 레이저빔이 입사되어 증폭되는 증폭부를 포함한다.The apparatus for generating a multi-pulse laser according to an embodiment of the present invention includes: i) a first pulse laser generator for emitting a first laser beam, and ii) a wavelength at which a first laser beam is incident to change the wavelength of the first laser beam Control panel, iii) a second pulse laser generating unit emitting a second laser beam in a direction crossing the first laser beam, and iv) a synthesis in which the first laser beam and the second laser beam passing through the wavelength control panel meet and combine to emit and exit. Plate, v) a reflective plate for reflectively refracting the first laser beam and the second laser beam emitted from the composite plate, and vi) an amplifying unit in which the first and second laser beams refracted by the reflective plate are incident and amplified. .

본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치는, i) 제1 레이저빔을 출사하는 제1 펄스 레이저 생성부, ii) 제1 레이저빔을 반사 굴절시키는 반사판, iii) 반사판으로부터 제1 레이저빔이 입사되어 제1 레이저빔의 파장을 변형시키는 파장 제어판, iv) 제1 레이저빔과 교차하는 방향으로 제2 레이저빔을 출사하는 제2 펄스 레이저 생성부, v) 파장 제어판을 통과한 제1 레이저빔과 제2 레이저빔이 만나서 결합되어 출사되는 합성판, vi) 합성판에서 출사된 제1 레이저빔과 제2 레이저빔이 입사되어 증폭되는 증폭부를 포함한다.The apparatus for generating a multi-pulse laser according to another embodiment of the present invention includes: i) a first pulse laser generator for emitting a first laser beam, ii) a reflector for reflectively refracting the first laser beam, and iii) a first laser from the reflector Wavelength control panel that beam is incident to transform the wavelength of the first laser beam, iv) A second pulse laser generator for emitting a second laser beam in a direction intersecting the first laser beam, v) First passing through the wavelength control panel It includes a composite plate in which the laser beam and the second laser beam meet and combine to emit, and vi) an amplifying unit in which the first and second laser beams emitted from the composite plate are incident and amplified.

본 발명의 또다른 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치는, i) 제1 레이저빔을 출사하는 제1 펄스 레이저 생성부, ii) 제1 레이저빔을 반사 굴절시키는 복수의 반사판들, iii) 복수의 반사판들 중 어느 한 반사판에서 출사된 제1 레이저빔이 입사되어 증폭되는 증폭부, iv) 증폭부로부터 제1 레이저빔이 입사되어 제1 레이저빔의 파장을 변형시키는 파장 제어판, v) 제1 레이저빔과 교차하는 방향으로 제2 레이저빔을 출사하는 제2 펄스 레이저 생성부, 및 vi) 파장 제어판을 통과한 제1 레이저빔과 제2 레이저빔이 만나서 결합되어 출사되는 합성판을 포함한다.A multi-pulse laser generating apparatus according to another embodiment of the present invention includes: i) a first pulse laser generator for emitting a first laser beam, ii) a plurality of reflectors for reflective refraction of the first laser beam, iii) a plurality An amplifying unit in which a first laser beam emitted from any one of the reflecting plates is incident and amplified, iv) a wavelength control panel for changing the wavelength of the first laser beam when the first laser beam is incident from the amplifying unit, v) the first It includes a second pulse laser generating unit for emitting a second laser beam in a direction intersecting the laser beam, and vi) a composite plate in which the first laser beam and the second laser beam that have passed through the wavelength control panel meet and are combined and emitted.

합성판은, i) 합성판 본체, ii) 합성판 본체 위에 형성되고, 제1 레이저빔과 만나며, 제1 레이저빔과 45°를 이루고, 반사 방지막을 포함하는 제1면, 및 iii) 제1면에서 멀어지는 방향을 향하고, 제2 레이저빔과 만나며, 제2 레이저빔과 45°를 이루고, 편광판을 포함하는 제2면을 포함할 수 있다. 제1 레이저빔의 파장과 제2 레이저빔의 파장이 755nm 및 1064nm로 이루어진 파장들 중에서 각각 어느 한 파장이고, 다른 한 파장인 경우, 제1면에서 제1 레이저빔의 투과율이 90% 이상이고, 제2면에서 제2 레이저빔의 반사율이 98% 이상일 수 있다. 좀더 바람직하게는, 제1 레이저빔의 투과율이 98% 이상일 수 있다.The composite plate comprises: i) a composite plate body, ii) formed on the composite plate body, meets the first laser beam, forms a 45 ° angle with the first laser beam, and includes a first surface including an antireflection film, and iii) a first It may include a second surface that faces away from the surface, meets the second laser beam, forms a 45 ° with the second laser beam, and includes a polarizing plate. When the wavelength of the first laser beam and the wavelength of the second laser beam are any one of the wavelengths consisting of 755 nm and 1064 nm, and the other wavelength, the transmittance of the first laser beam on the first surface is 90% or more, The second laser beam may have a reflectance of 98% or more on the second surface. More preferably, the transmittance of the first laser beam may be 98% or more.

파장 제어판은 제2 레이저빔의 파장을 1/2 또는 1/4로 변조할 수 있다. 제1 펄스 레이저 생성부 및 제2 펄스 레이저 생성부 중 어느 한 펄스 레이저 생성부는 나노초 레이저 생성부이고, 다른 한 펄스 레이저 생성부는 피코초 레이저 생성부일 수 있다.The wavelength control panel may modulate the wavelength of the second laser beam to 1/2 or 1/4. Any one of the first pulse laser generator and the second pulse laser generator may be a nanosecond laser generator, and the other pulse laser generator may be a picosecond laser generator.

본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 방법은, i) 제1 레이저빔을 생성하여 출사하는 단계, ii) 제1 레이저빔의 진행 방향과 교차하는 방향으로 제2 레이저빔을 생성하여 출사하는 단계, iii) 제1 레이저빔이 파장 제어판을 통과하면서 S파 레이저빔으로 편광되는 단계, iv) 제2 레이저빔이 합성판으로 45°로 입사되면서 P파 레이저빔으로 편광되어 직진 통과하는 단계, v) S파 레이저빔이 합성판에서 45°로 반사되어 P파 레이저빔과 함께 출사되는 단계, vi) P파 레이저빔과 S파 레이저빔이 반사 굴절되는 단계, 및 vii) 반사 굴절된 P파 레이저빔과 S파 레이저빔이 증폭되는 단계를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a method for generating a multi-pulse laser includes: i) generating and emitting a first laser beam, and ii) generating and emitting a second laser beam in a direction intersecting with a traveling direction of the first laser beam. Step iii) the first laser beam is polarized with an S-wave laser beam while passing through the wavelength control panel, iv) the second laser beam is incident at 45 ° to the composite plate and polarized with a P-wave laser beam to pass straight , v) the S-wave laser beam is reflected at 45 ° from the composite plate and emitted with the P-wave laser beam, vi) the P-wave laser beam and the S-wave laser beam are reflected and refracted, and vii) the reflected and refracted P And a step of amplifying the wave laser beam and the S wave laser beam.

본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 방법은, i) 제1 레이저빔을 생성하여 출사하는 단계, ii) 제1 레이저빔이 반사 굴절되는 단계, iii) 반사 굴절된 제1 레이저빔이 파장 제어판을 통과하면서 S파 레이저빔으로 편광되는 단계, iv) 제1 레이저빔의 진행 방향과 교차하는 방향으로 제2 레이저빔을 생성하여 출사하는 단계, v) 제2 레이저빔이 합성판으로 45°로 입사되면서 P파 레이저빔으로 편광되어 직진 통과하는 단계, vi) S파 레이저빔이 합성판에서 45°로 반사되어 P파 레이저빔과 함께 출사되는 단계, 및 vii) 출사된 P파 레이저빔과 S파 레이저빔이 증폭되는 단계를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a method for generating a multi-pulse laser includes: i) generating and emitting a first laser beam, ii) refracting the first laser beam, and iii) reflecting and refracting the first laser beam Passing through the wavelength control panel and polarizing with an S-wave laser beam, iv) generating and emitting a second laser beam in a direction crossing a direction in which the first laser beam proceeds, v) the second laser beam is converted into a composite plate 45 As it is incident at °, it is polarized with a P-wave laser beam and passes straight through. Vi) The S-wave laser beam is reflected at 45 ° from the composite plate and emitted with the P-wave laser beam, and vii) the emitted P-wave laser beam And a step in which the S-wave laser beam is amplified.

본 발명의 또다른 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 방법은, i) 제1 레이저빔을 생성하여 출사하는 단계, ii) 제1 레이저빔이 반사 굴절되는 단계, iii) 반사 굴절된 제1 레이저빔이 증폭되는 단계, iv) 증폭된 제1 레이저빔이 파장 제어판을 통과하면서 S파 레이저빔으로 편광되는 단계, v) 제1 레이저빔의 진행 방향과 교차하는 방향으로 제2 레이저빔을 생성하여 출사하는 단계, vi) 제2 레이저빔이 합성판으로 45°로 입사되면서 P파 레이저빔으로 편광되어 직진 통과하는 단계, 및 vii) S파 레이저빔이 합성판에서 45°로 반사되어 P파 레이저빔과 함께 출사되는 단계를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a method for generating a multi-pulse laser includes: i) generating and emitting a first laser beam, ii) refracting the first laser beam, and iii) reflecting and refracting the first laser beam This amplifying step, iv) the amplified first laser beam passes through the wavelength control panel and is polarized with an S-wave laser beam, v) generates and emits a second laser beam in a direction crossing the first laser beam traveling direction Step of vi, the second laser beam is incident at 45 ° to the composite plate and polarized with a P-wave laser beam to pass straight, and vii) the S-wave laser beam is reflected at 45 ° from the composite plate to P-wave laser beam And the step of being discharged.

S파 레이저빔이 P파 레이저빔과 함께 출사되는 단계에서, S파 레이저빔 및 P파 레이저빔은 피코초 펄스 및 나노초 펄스로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 펄스를 포함할 수 있다. 제1 레이저빔 및 제2 레이저빔 중 어느 한 레이저빔은 나노초 펄스를 가지고, 다른 레이저빔은 피코초 펄스를 가지며, 나노초 펄스는 5ns 내지 10ns의 파장을 가지고, 피코초 펄스는 150ps 내지 1000ps의 파장을 가질 수 있다.In the step where the S-wave laser beam is emitted together with the P-wave laser beam, the S-wave laser beam and the P-wave laser beam may include one or more pulses selected from the group consisting of picosecond pulses and nanosecond pulses. One of the first laser beam and the second laser beam has a nanosecond pulse, the other laser beam has a picosecond pulse, the nanosecond pulse has a wavelength of 5ns to 10ns, and the picosecond pulse has a wavelength of 150ps to 1000ps Can have

본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치를 사용하여 손실없이 동일하거나 상이한 파장의 레이저들을 함께 사용할 수 있다. 예를 들면, 피코초 레이저빔과 나노초 레이저빔을 합쳐서 조사할 수 있으므로, 피부 질환을 효율적으로 치료할 수 있다.By using the multi-pulse laser generating apparatus according to an embodiment of the present invention, lasers of the same or different wavelengths can be used together without loss. For example, since a picosecond laser beam and a nanosecond laser beam can be combined and irradiated, skin diseases can be effectively treated.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치의 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치의 작동 원리를 나타낸 개략적인 도면이다.
도 3은 도 1의 합성판을 III-III 선을 따라 자른 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치의 개략적인 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치의 개략적인 도면이다.
도 6은 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치를 통해 출력되는 펄스 듀레이션 그래프이다.
도 7은 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치의 다양한 사용예의 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram of a multi-pulse laser generating apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram showing the operating principle of the multi-pulse laser generating device of FIG. 1.
3 is a schematic cross-sectional view of the composite plate of FIG. 1 taken along line III-III.
4 is a schematic diagram of a multi-pulse laser generating apparatus according to a second embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram of a multi-pulse laser generating apparatus according to a third embodiment of the present invention.
6 is a pulse duration graph output through the multi-pulse laser generation device of FIG. 1.
7 is a schematic diagram of various use examples of the multi-pulse laser generating device of FIG. 1.

여기서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The terminology used herein is for the purpose of referring only to specific embodiments and is not intended to limit the invention. The singular forms used herein also include plural forms unless the phrases clearly indicate the opposite. As used herein, the meaning of “comprising” embodies certain properties, regions, integers, steps, actions, elements and / or components, and other specific properties, regions, integers, steps, actions, elements, components and / or groups It does not exclude the existence or addition of.

다르게 정의하지는 않았지만, 여기에 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 보통 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.Although not defined differently, all terms including technical terms and scientific terms used herein have the same meaning as those generally understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Commonly used dictionary-defined terms are further interpreted as having meanings consistent with related technical documents and currently disclosed contents, and are not interpreted as ideal or very formal meanings unless defined.

이하에서 사용하는 '레이저'라는 용어는 펄스 레이저 또는 연속광 레이저를 의미한다. '레이저'는 임의의 파장 대역을 가질 수 있다. 예를 들면, UV(Ultra violet) 대역, 가시광(Visible light) 대역, 또는 IR(Infra-red) 대역을 들 수 있다. 또한, '발생 광'이라는 용어는 레이저를 신체 조직에 조사시 발생하는 모든 광들을 의미한다. 예를 들면, '발생 광'은 플라즈마 광, 반사광, 산란광, 또는 형광광을 의미한다.The term 'laser' used hereinafter means a pulse laser or a continuous light laser. The 'laser' may have an arbitrary wavelength band. For example, UV (Ultra violet) band, visible light (Visible light) band, or IR (Infra-red) band. In addition, the term 'generated light' means all light generated when the laser is irradiated to the body tissue. For example, 'generated light' means plasma light, reflected light, scattered light, or fluorescent light.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily practice. However, the present invention can be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)을 개략적으로 나타낸다. 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)의 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 멀티 펄스 레이저 생성 장치의 구조를 다른 형태로도 변형할 수 있다.1 schematically shows a multi-pulse laser generating apparatus 100 according to a first embodiment of the present invention. The structure of the multi-pulse laser generating apparatus 100 of FIG. 1 is only for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, the structure of the multi-pulse laser generating device can be modified to other forms.

도 1에 도시한 바와 같이, 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)는 합성판(10), 반사판(17), 제1 펄스 레이저 생성부(30), 제2 펄스 레이저 생성부(20), 및 증폭부(40)를 포함한다. 이외에 필요에 따라, 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)는 다른 부품들을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1, the multi-pulse laser generating apparatus 100 includes a composite plate 10, a reflector 17, a first pulse laser generator 30, a second pulse laser generator 20, and amplification. Includes part 40. In addition, if necessary, the multi-pulse laser generating apparatus 100 may further include other components.

제1 펄스 레이저 생성부(30)는 제1 펄스를 가지는 레이저를 생성한다. 제1 펄스 레이저 생성부(30)는 전반사 거울(301), 1/4 파장판(303), Q 스위치(305), 고에너지 편광자(307), 및 플래쉬램프 챔버(309)를 포함한다. 이외에, 제1 펄스 레이저 생성부(30)는 필요에 따라 다른 부품들을 더 포함할 수 있다.The first pulse laser generator 30 generates a laser having a first pulse. The first pulse laser generator 30 includes a total reflection mirror 301, a quarter wave plate 303, a Q switch 305, a high energy polarizer 307, and a flashlamp chamber 309. In addition, the first pulse laser generator 30 may further include other components as necessary.

플래쉬램프 챔버(309)는 플래쉬 램프(미도시)와 로드(미도시)를 포함한다. 플래쉬 램프는 전원을 공급받아 레이저빔을 출사한다. 로드(rod)는 플래쉬 램프로부터 입력된 레이저빔을 증폭 발진한다. 로드의 소재로는 예를 들면 Nd:YAG를 사용할 수 있다. 도 1에 화살표로 나타낸 바와 같이, 전반사 거울(301)은 플래쉬램프 챔버(309)로부터 출력되는 레이저빔을 전반사시킨다. The flash lamp chamber 309 includes a flash lamp (not shown) and a rod (not shown). The flash lamp receives power and emits a laser beam. The rod amplifies and oscillates the laser beam input from the flash lamp. For the rod material, for example, Nd: YAG can be used. 1, the total reflection mirror 301 totally reflects the laser beam output from the flash lamp chamber 309.

전반사된 광은 1/4 파장판(303)을 통과하면서 변조된다. Q 스위치(305)는 레이저빔을 제1 펄스로 Q 스위치하여 공진 증폭시킨다. Q 스위치(305)는 모드 로킹(mode locking)과 함께 레이저 매질내의 방출 에너지를 한꺼번에 끄집어내기 위하여 사용한다. 예를 들면, Q 스위치(305)는 1064nm 파장의 나노초 펄스를 가지는 레이저빔을 출력할 수 있다. Q 스위치(305)는 레이저빔의 Q를 순간적으로 변화시킴으로써 레이저빔을 비발진 상태에서 발진 상태로 갑자기 이행시켜 펄스의 피크 출력을 크게 만든다. 레이저빔은 출력 거울(311)을 통하여 제1 펄스 레이저 생성부(30)의 외부로 출사된다.The totally reflected light is modulated while passing through the quarter wave plate 303. The Q switch 305 amplifies resonance by Q-switching the laser beam with a first pulse. The Q switch 305 is used to pull out the emission energy in the laser medium together with mode locking. For example, the Q switch 305 may output a laser beam having a nanosecond pulse having a wavelength of 1064 nm. The Q switch 305 instantaneously changes the Q of the laser beam, thereby suddenly shifting the laser beam from the non-oscillation state to the oscillation state, thereby increasing the peak output of the pulse. The laser beam is output to the outside of the first pulse laser generator 30 through the output mirror 311.

파장 제어판(19)은 제1 펄스 레이저 생성부(30)에서 출력된 제1 펄스 레이저빔의 파장을 변형한다. 즉, 제1 펄스 레이저 생성부(30)에서 출사된 레이저빔의 파장을 1/2 또는 1/4로 변조하여 S파 레이저빔으로 변조한다. 파장 제어판은 빠른 축에 대해 느린 축으로 가는 편광 방향의 레이저광을 반파장 또는 1/4 파장만큼 차이가 나도록 만든다. 따라서 파장 제어판을 돌리면 빠른 축 방향이 돌려지고, 이로써 빠른 축에 대한 편광 성분을 조절할 수 있다. 그 결과, 편광 방향이 전체적으로 돌아간다. 예를 들면, 빠른 축과 편광 방향의 일치를 0도로 정의하는 경우, 45도를 돌리면 편광은 90도가 돌아간다. 즉, 돌리고 싶은 편광의 절반에 해당하는 각도가 되도록 파장 제어판을 돌려서 조절할 수 있다.The wavelength control panel 19 transforms the wavelength of the first pulse laser beam output from the first pulse laser generator 30. That is, the wavelength of the laser beam emitted from the first pulse laser generator 30 is modulated to 1/2 or 1/4 and modulated with an S-wave laser beam. The wavelength control panel makes the laser light in the polarization direction going from the fast axis to the slow axis different by half wavelength or 1/4 wavelength. Therefore, when the wavelength control panel is turned, the fast axis direction is rotated, whereby the polarization component for the fast axis can be adjusted. As a result, the polarization direction is entirely turned. For example, when defining the coincidence of the fast axis and the polarization direction as 0 degrees, turning 45 degrees rotates the polarization 90 degrees. That is, it can be adjusted by turning the wavelength control panel so that it is an angle corresponding to half of the polarization to be rotated.

제2 펄스 레이저 생성부(20)는 합성판(10)을 향해 제2 펄스 레이저빔을 출사한다. 제2 펄스 레이저빔의 진행 방향은 제1 펄스 레이저빔의 진행 방향과 직교한다. 즉, 제2 펄스 레이저빔은 -x축 방향을 따라 진행하고, 제1 펄스 레이저빔은 +y축 방향을 따라 진행한다.The second pulse laser generator 20 emits a second pulse laser beam toward the composite plate 10. The traveling direction of the second pulse laser beam is orthogonal to the traveling direction of the first pulse laser beam. That is, the second pulse laser beam proceeds along the -x axis direction, and the first pulse laser beam proceeds along the + y axis direction.

합성판(10)에서는 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔이 결합한다. 합성판(10)은 이들 두 레이저빔들을 합성하여 멀티 펄스 레이저빔을 출사한다. 합성판(10)의 상세한 구조는 추후에 도 3을 통하여 좀더 상세하게 설명한다.In the composite plate 10, a first pulse laser beam and a second pulse laser beam are combined. The composite plate 10 synthesizes these two laser beams and emits a multi-pulse laser beam. The detailed structure of the composite plate 10 will be described in more detail later with reference to FIG. 3.

다음으로, 멀티 펄스 레이저빔, 즉 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔은 반사판(17)에 의해 증폭부(40)측으로 반사 굴절된다. 즉, 멀티 펄스 레이저빔은 -x축 방향으로 진행하다가 90도 반사되어 -y축 방향으로 진행한다. 반사판(17)을 이용하여 멀티 펄스 레이저빔의 진행 방향을 변경시켜서 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)의 부피를 최소화할 수 있다.Next, the multi-pulse laser beam, that is, the first pulse laser beam and the second pulse laser beam are reflected and refracted toward the amplifying unit 40 by the reflector 17. That is, the multi-pulse laser beam proceeds in the -x-axis direction, and then is reflected 90 degrees, and then in the -y-axis direction. The volume of the multi-pulse laser generating apparatus 100 may be minimized by changing the traveling direction of the multi-pulse laser beam using the reflector 17.

증폭부(40)는 플래쉬램프 챔버(309), KTP(KTiOPO4, Potassium Titanyl Phosphate)(401), 출력 반사 거울(403)을 포함한다. 이외에, 필요에 따라 증폭부(40)는 다른 부품들을 더 포함할 수 있다.The amplification unit 40 includes a flash lamp chamber 309, a KTi (KTiOPO 4 , Potassium Titanyl Phosphate) 401, and an output reflection mirror 403. In addition, if necessary, the amplification unit 40 may further include other components.

멀티 펄스 레이저빔, 즉 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔은 증폭부(40)에 입시되어 증폭된다. 좀더 구체적으로, 플래쉬램프 챔버(309)는 멀티 펄스 레이저빔을 재증폭시킨다. 그 결과, 고출력의 멀티 펄스 레이저빔을 얻을 수 있다. KTP(401)를 적용하는 경우, 멀티 펄스 레이저빔의 파장을 특정 파장으로 변환시킬 수 있다. 예를 들면, 1064nm 파장의 멀티 펄스 레이저빔이 입사되는 경우, 이 중 일부를 532nm 파장의 레이저빔으로 변환시켜 출력 반사 거울(403)을 통해 외부로 출사할 수 있다. KTP(401)는 정방형 결정으로서, 허용되는 온도의 폭이 크고, 허용되는 위상 정합의 각도도 여유가 있으며, 고출력의 입사광에 대해서도 좋은 내구성을 가진다. 또한, KTP(401)는 투명하므로, 자외선부터 근적외선까지 걸쳐서 광대역 파장의 투과가 용이하다.The multi-pulse laser beam, that is, the first pulse laser beam and the second pulse laser beam is received by the amplifying unit 40 and amplified. More specifically, the flashlamp chamber 309 re-amplifies the multi-pulse laser beam. As a result, a high-power multi-pulse laser beam can be obtained. When the KTP 401 is applied, the wavelength of the multi-pulse laser beam can be converted to a specific wavelength. For example, when a multi-pulse laser beam having a wavelength of 1064 nm is incident, some of them may be converted into a laser beam having a wavelength of 532 nm, and then output to the outside through the output reflection mirror 403. The KTP 401 is a square crystal, has a large allowable temperature range, has an allowable angle of phase matching, and has good durability against high output incident light. In addition, since the KTP 401 is transparent, it is easy to transmit broadband wavelengths from ultraviolet rays to near infrared rays.

도 1에서 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔은 각각 피코초 펄스 레이저빔과 나노초 펄스 레이저빔이 될 수 있다. 즉, 제1 펄스 레이저빔이 피코초 펄스 레이저빔인 경우, 제2 펄스 레이저빔은 나노초 펄스 레이저빔이다. 반대로, 제1 펄스 레이저빔이 나노초 펄스 레이저빔인 경우, 제2 펄스 레이저빔은 피코초 펄스 레이저빔이다. 이는 추후에 설명하는 본 발명의 제2 실시예 및 제3 실시예에도 동일하게 적용된다.In FIG. 1, the first pulse laser beam and the second pulse laser beam may be picosecond pulse laser beam and nanosecond pulse laser beam, respectively. That is, when the first pulse laser beam is a picosecond pulse laser beam, the second pulse laser beam is a nanosecond pulse laser beam. Conversely, when the first pulse laser beam is a nanosecond pulse laser beam, the second pulse laser beam is a picosecond pulse laser beam. This also applies to the second and third embodiments of the present invention described later.

도 2는 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)의 작동 원리를 개략적으로 나타낸다. 도 2의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)의 작동 원리는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 이를 다른 형태로도 변형할 수 있다.FIG. 2 schematically shows the operating principle of the multi-pulse laser generating device 100 of FIG. 1. The principle of operation of the multi-pulse laser generating apparatus 100 of FIG. 2 is only for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, it can be modified to other forms.

도 2에 도시한 바와 같이, 제1 레이저 소스부(L1) 및 제2 레이저 소스부(L2)에서 각각 제1 레이저빔 및 제2 레이저빔이 제공된다. 제1 레이저 소스부(L1)로부터 출사된 제1 레이저빔은 제2 레이저빔과 직각 교차하도록 +y축 방향을 향한다. 제1 레이저빔은 파장 제어판(19)를 통과하면서 S파 레이저빔으로 편광된다. S파 레이저빔은 합성판(10)으로 입사해 -x축 방향으로 반사된다. 이를 위해 합성판(10)은 제1 레이저빔의 진행 방향 및 제2 레이저빔의 진행 방향과 각각 45°를 이룬다. 그 결과, 합성판(10)에서 반사된 S파 레이저빔과 P파 레이저빔을 함께 가지는 멀티 펄스 레이저빔으로 출사될 수 있다. 이 레이저빔은 피코초 펄스 및 나노초 펄스를 포함한다.As shown in FIG. 2, a first laser beam and a second laser beam are provided in the first laser source part L1 and the second laser source part L2, respectively. The first laser beam emitted from the first laser source part L1 is directed to the + y axis direction to cross the second laser beam at right angles. The first laser beam is polarized by the S-wave laser beam while passing through the wavelength control panel 19. The S-wave laser beam enters the composite plate 10 and is reflected in the -x axis direction. To this end, the composite plate 10 forms a 45 ° direction with respect to the first laser beam and the second laser beam. As a result, it can be emitted as a multi-pulse laser beam having both the S-wave laser beam and the P-wave laser beam reflected from the composite plate 10. The laser beam includes picosecond pulses and nanosecond pulses.

한편, 제2 레이저 소스부(L2)로부터 조사되어 -x축 방향을 향해 직진하는 제2 레이저빔은 조사되어 합성판(10)으로 입사된다. 제2 레이저빔은 비편향되거나 P파 레이저빔일 수 있다. 합성판(10)으로 입사된 제2 레이저빔은 P파 레이저빔으로 편광되어 직진 통과한다.Meanwhile, the second laser beam irradiated from the second laser source unit L2 and going straight toward the -x axis direction is irradiated and incident on the composite plate 10. The second laser beam may be an unbiased or P-wave laser beam. The second laser beam incident on the composite plate 10 is polarized with a P-wave laser beam and passes straight.

여기서, 제1 레이저빔과 제2 레이저빔은 모두 755nm의 파장 또는 1064nm의 파장을 가질 수 있다. 또한, 제1 레이저빔과 제2 레이저빔은 755nm의 파장과 1064nm의 파장을 교번하여 가질 수 있다. 이 경우, 제1 레이저빔의 투과율은 90% 이상일 수 있다. 또한, 제2 레이저빔의 반사율은 98% 이상일 수 있다.Here, both the first laser beam and the second laser beam may have a wavelength of 755 nm or a wavelength of 1064 nm. Further, the first laser beam and the second laser beam may alternately have a wavelength of 755 nm and a wavelength of 1064 nm. In this case, the transmittance of the first laser beam may be 90% or more. Further, the reflectance of the second laser beam may be 98% or more.

종래에는 동일한 파장을 가지는 2개의 레이저빔들을 하나로 결합하는 경우, 투과율 50% 및 반사율 50%에 불과하여 에너지 효율이 낮았다. 이와는 대조적으로 본 발명의 일 실시예에서는 투과율과 반사율 손실이 거의 없는 레이저빔을 생성할 수 있다. 즉, 90% 이상의 투과율과 98% 이상의 반사율을 가진 레이저빔을 생성할 수 있다. 좀더 바람직하게는, 2개의 레이저빔들의 파장이 서로 다른 경우, 98% 이상의 투과율과 98% 이상의 반사율을 가진 레이저빔을 얻을 수 있다.Conventionally, when two laser beams having the same wavelength are combined into one, the energy efficiency is low because the transmittance is only 50% and the reflectance is 50%. In contrast, in one embodiment of the present invention, a laser beam with little loss of transmittance and reflectance can be generated. That is, a laser beam having a transmittance of 90% or more and a reflectance of 98% or more can be generated. More preferably, when the wavelengths of the two laser beams are different, a laser beam having a transmittance of 98% or more and a reflectance of 98% or more can be obtained.

그 결과, 다양한 치료 목적에 부합하는 레이저 소스들을 임의로 선택하여 사용할 수 있다. 예를 들면, 손발톱진균증을 치료하는 경우 1064nm 파장의 레이저빔이 적합하므로, 제1 레이저 소스부 및 제2 레이저 소스부에 Nd:YAG를 사용할 수 있다. 1064nm 파장의 레이저빔을 5ps의 펄스폭과 10kHz의 펄스반복율을 가지는 피코초 레이저로 사용할 수 있다. 또는, 나노초 레이저로도 사용할 수 있다.As a result, laser sources suitable for various treatment purposes can be arbitrarily selected and used. For example, when treating onychomycosis, a laser beam having a wavelength of 1064 nm is suitable, so Nd: YAG can be used in the first laser source part and the second laser source part. A laser beam of 1064 nm wavelength can be used as a picosecond laser with a pulse width of 5 ps and a pulse repetition rate of 10 kHz. Alternatively, it can also be used as a nanosecond laser.

또한, 흑색 선조를 치료하는 경우, 755nm 파장의 레이저빔이 적합하다. 755nm 파장의 레이저빔을 피코초 레이저나 나노초 레이저로 사용할 수 있다. 이 경우, 제1 레이저 소스부 및 제2 레이저 소스부에 알렉산드라이트를 사용한다. 나아가, 이들을 혼합하여 각각 제1 레이저 소스부 및 제2 레이저 소스부에 사용할 수도 있다. 이외에도, 파장에 있어서 193nm의 엑시머, 488-514nm의 아르곤, 532nm의 KTP, 585-595nm의 Dye, 694nm의 루비, 808-980nm의 다이오드, 1320nm의 Nd:YAG, 2940nm의 Er:YAG, 10,600nm의 CO2 등을 사용할 수도 있다. 이러한 다양한 파장의 레이저들을 혼합하는 경우, 치료 효과를 높일 수 있다. 따라서 P파 레이저빔과 S파 레이저빔으로 편광한 후 합성하는 방법을 통하여 다양한 파장의 레이저들을 혼합한다. 그 결과, 서로 다른 파장의 레이저들을 혼합하거나 같은 파장의 레이저들을 용이하게 혼합할 수 있다.In addition, when treating black filigree, a laser beam with a wavelength of 755 nm is suitable. A laser beam with a wavelength of 755 nm can be used as a picosecond laser or nanosecond laser. In this case, alexandrite is used for the first laser source portion and the second laser source portion. Furthermore, it is also possible to mix them and use the first laser source portion and the second laser source portion, respectively. In addition, 193nm excimer in wavelength, 488-514nm argon, 532nm KTP, 585-595nm Dye, 694nm ruby, 808-980nm diode, 1320nm Nd: YAG, 2940nm Er: YAG, 10,600nm CO 2 or the like can also be used. When the lasers of these various wavelengths are mixed, the treatment effect can be enhanced. Therefore, lasers of various wavelengths are mixed through a method of polarizing and synthesizing with a P-wave laser beam and an S-wave laser beam. As a result, lasers of different wavelengths can be mixed or lasers of the same wavelength can be easily mixed.

도 3은 도 1의 합성판(10)의 단면 구조를 확대하여 나타낸다. 즉, 도 3은 III-III선을 따라 자른 합성판(10)의 단면 구조를 개략적으로 나타낸다. 도 3의 합성판(10)의 단면 구조는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 합성판(10)의 단면 구조를 다른 형태도로 변형할 수 있다.3 is an enlarged cross-sectional structure of the composite plate 10 of FIG. 1. That is, Figure 3 schematically shows the cross-sectional structure of the composite plate 10 cut along the line III-III. The cross-sectional structure of the composite plate 10 of FIG. 3 is only for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, the cross-sectional structure of the composite plate 10 can be modified to other shapes.

도 3에 도시한 바와 같이, 합성판(10)은 합성판 본체(101), 제1면(103) 및 제2면(105)을 포함한다. 이외에 필요에 따라 합성판(10)은 다른 요소들을 더 포함할 수 있다. 제1면(103) 및 제2면(105)은 합성판 본체(101)를 가공하여 형성되거나 가공된 후 합성판 본체(101)에 부착될 수 있다. 또한, 제1면(103) 및 제2면(105)은 합성판 본체(101)와 동일한 소재를 사용하여 제조할 수 있다.3, the composite plate 10 includes a composite plate body 101, a first surface 103 and a second surface 105. In addition, if necessary, the composite plate 10 may further include other elements. The first surface 103 and the second surface 105 may be formed by processing the composite plate body 101 or may be attached to the composite plate body 101 after being processed. In addition, the first surface 103 and the second surface 105 may be manufactured using the same material as the composite plate body 101.

합성판 본체(101)는 프리즘으로 사용되는 유리, 좀더 구체적으로 BK7 광학 유리로 제조된다. 이외에, 수정, 사파이어 또는 용융 실리카(fused silica)로 제조될 수도 있다. 합성판 본체(101)는 수 mm 단위 두께의 원판 형태를 가진다. 렌즈의 유효경(clear aperture)은 합성판 본체(101) 직경의 85% 정도일 수 있다. 평탄도는 633nm 파장빔에서 λ/8이다.The composite plate body 101 is made of glass used as a prism, more specifically BK7 optical glass. In addition, it may be made of quartz, sapphire or fused silica. The composite plate body 101 has a disc shape having a thickness of several mm. The effective aperture of the lens may be about 85% of the diameter of the composite body 101. The flatness is λ / 8 at a 633nm wavelength beam.

제1면(103)은 합성판 본체(101) 위에 형성된다. 제1면(103)은 합성판 본체(101) 위에 일체로 형성될 수 있고, 합성판 본체(101)와 별도로 코팅 등에 의해 형성될 수도 있다. 제1면(103)은 V형 반사 방지막(anti-reflection, AR)을 포함한다. 반사 방지막은 투과하는 광의 양을 극대화하고 원하지 않는 광의 반사를 최소화한다. 반사 방지막의 표면 반사율은 1% 이하이고, 그 투과율은 95% 이상이다. 반사 방지막은 나노 크기의 광학 돌기들로 이루어질 수 있다. 여기서, 광학 돌기들은 1nm 내지 100nm의 높이로 형성된다. 광학 돌기들은 유리를 산 용액으로 습식 식각하여 형성할 수 있다.The first surface 103 is formed on the composite plate body 101. The first surface 103 may be integrally formed on the composite plate body 101 or may be formed by coating or the like separately from the composite plate body 101. The first surface 103 includes a V-type anti-reflection (AR) film. The antireflection film maximizes the amount of transmitted light and minimizes the reflection of unwanted light. The surface reflectance of the antireflection film is 1% or less, and the transmittance thereof is 95% or more. The anti-reflection film may be made of nano-sized optical protrusions. Here, the optical projections are formed to a height of 1nm to 100nm. The optical projections can be formed by wet etching the glass with an acid solution.

이러한 제1면(103)을 이용하는 경우, 제2 레이저빔에 대한 P파 반사율은 0.25% 이하로 조절된다. 특히, 제2 레이저빔이 1064nm 파장을 가지는 경우, P파 반사율을 최소화할 수 있다. 따라서 제2 레이저빔의 P파 성분만 손실되지 않고 합성판(10)을 통과한다.When using the first surface 103, the P-wave reflectivity for the second laser beam is adjusted to 0.25% or less. Particularly, when the second laser beam has a wavelength of 1064 nm, the P-wave reflectance can be minimized. Therefore, only the P-wave component of the second laser beam is lost and passes through the composite plate 10.

제1면(103)에서 멀어지는 방향을 향하는 제2면(105)도 합성판 본체(101) 위에 형성된다. 제2면(105)은 합성판 본체(101) 위에 일체로 형성될 수 있고, 합성판 본체(101)와 코팅 등에 의해 별도로 형성될 수도 있다. 제2면(105)은 고출력 편광판(high power plate polarizer, HPPB)으로 되어 있다. 고출력 편광판은 입사광, 비편광빔, 단색빔을 각각 S 성분 및 P 성분으로 분리시킬 수 있다. 고출력 편광판은 BK7 광학 유리로 제조될 수 있다.The second surface 105 facing away from the first surface 103 is also formed on the composite plate body 101. The second surface 105 may be integrally formed on the composite plate body 101, or may be separately formed by a composite plate body 101 and a coating. The second surface 105 is made of a high power plate polarizer (HPPB). The high-power polarizing plate can separate incident light, non-polarized beam, and monochromatic beam into S component and P component, respectively. The high power polarizing plate can be made of BK7 optical glass.

제2면(105)을 이용하는 경우, S파 레이저빔의 반사율은 98% 이상이며, P파 레이저빔의 투과율은 90% 이상이다. 그 결과, 합성판(10)은 제1 레이저빔의 성분 중 S파 레이저빔만 반사시켜서 출사하고, P파 레이저빔은 그대로 통과시킨다. 따라서 합성판(10)에 의해 S파 레이저빔 성분만을 좀더 잘 추출할 수 있다.When the second surface 105 is used, the reflectivity of the S-wave laser beam is 98% or more, and the transmittance of the P-wave laser beam is 90% or more. As a result, only the S-wave laser beam among the components of the first laser beam is reflected and emitted, and the P-wave laser beam is passed through as it is. Therefore, only the S-wave laser beam component can be better extracted by the composite plate 10.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치(200)를 개략적으로 나타낸다. 도 4의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(200)는 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)와 유사하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하고 그 상세한 설명을 생략한다.4 schematically shows a multi-pulse laser generating apparatus 200 according to a second embodiment of the present invention. Since the multi-pulse laser generating apparatus 200 of FIG. 4 is similar to the multi-pulse laser generating apparatus 100 of FIG. 1, the same reference numerals are used for the same parts and detailed description thereof is omitted.

도 4에 도시한 바와 같이, 제1 펄스 레이저 생성부(30)에서 생성된 제1 펄스 레이저빔은 반사판(17)에 의해 반사되어 파장 제어판(19)에서 그 파장이 변형된다. 즉, S파 성분만 포함하는 제1 펄스 레이저빔으로 변형된다. 제1 펄스 레이저빔은 -x축 방향으로 진행하다가 90도로 반사되어 -y축 방향으로 진행한다. 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔은 합성판(10)에서 결합된다. 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔은 증폭부(40)에서 증폭된 후 외부로 출사된다.As illustrated in FIG. 4, the first pulse laser beam generated by the first pulse laser generator 30 is reflected by the reflector 17 and the wavelength is deformed in the wavelength control panel 19. That is, it is transformed into a first pulsed laser beam containing only the S-wave component. The first pulsed laser beam proceeds in the -x-axis direction, and then is reflected at 90 degrees and proceeds in the -y-axis direction. The first pulse laser beam and the second pulse laser beam are combined in the composite plate 10. The first pulse laser beam and the second pulse laser beam are amplified by the amplifier 40 and then emitted to the outside.

도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 멀티 펄스 레이저 생성 장치(300)를 개략적으로 나타낸다. 도 5의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(300)는 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)와 유사하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하고 그 상세한 설명을 생략한다.5 schematically shows a multi-pulse laser generating apparatus 300 according to a third embodiment of the present invention. Since the multi-pulse laser generating apparatus 300 of FIG. 5 is similar to the multi-pulse laser generating apparatus 100 of FIG. 1, the same reference numerals are used for the same parts, and detailed descriptions thereof are omitted.

도 5에 도시한 바와 같이, 제1 펄스 레이저 생성부(30)에서 생성된 제1 펄스 레이저빔은 2개의 이웃한 반사판들(17)에 의해 두차례 90도로 꺾이면서 반사되어 증폭부(40)로 입사된다. 그 결과, 멀티 펄스 레이저 생성 장치(300)의 부피를 최소화할 수 있다. 증폭부(40)에서 증폭된 제1 펄스 레이저빔은 파장 제어판(19)에서 그 파장이 변형된다. 즉, S파 성분만 포함하는 제1 펄스 레이저빔으로 변형된다. 제2 펄스 레이저 생성부(20)는 제1 펄스 레이저빔과 교차하는 방향, 즉 -x축 방향으로 제2 펄스 레이저빔을 -x축 방향으로 투과하여 출사한다. 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔은 합성판(10)에서 멀티 펄스 레이저빔으로 결합된다. 제2 펄스 레이저빔은 합성판(10)을 투과하여 -x축 방향으로 진행한다. 멀티 펄스 레이저빔, 즉 제1 펄스 레이저빔과 제2 펄스 레이저빔은 외부로 출사된다.As shown in FIG. 5, the first pulse laser beam generated by the first pulse laser generator 30 is reflected by being bent 90 degrees twice by two neighboring reflectors 17 to amplify unit 40 Is joined. As a result, the volume of the multi-pulse laser generating device 300 can be minimized. The wavelength of the first pulse laser beam amplified by the amplifying unit 40 is deformed by the wavelength control panel 19. That is, it is transformed into a first pulsed laser beam containing only the S-wave component. The second pulse laser generator 20 emits light by transmitting the second pulse laser beam in the -x axis direction in a direction crossing the first pulse laser beam, that is, in the -x axis direction. The first pulse laser beam and the second pulse laser beam are combined into a multi-pulse laser beam in the composite plate 10. The second pulse laser beam passes through the composite plate 10 and travels in the -x axis direction. The multi-pulse laser beam, that is, the first pulse laser beam and the second pulse laser beam is emitted to the outside.

도 6은 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)로부터 출력되는 결합된 레이저빔 펄스의 그래프를 나타낸다. 도 6의 레이저빔 펄스는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 레이저빔 펄스의 형태를 다르게 변형할 수 있다.FIG. 6 shows a graph of combined laser beam pulses output from the multi-pulse laser generator 100 of FIG. 1. The laser beam pulse in FIG. 6 is only for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, the shape of the laser beam pulse can be modified differently.

도 6에 도시한 바와 같이, 레이저빔 펄스는 피코초 펄스 및 나노초 펄스가 혼합된 형태를 가진다. 도 6의 상부에는 피코초 펄스를 나타내고, 도 6의 하부에는 나노초 펄스를 편의상 설명을 위해 각각 별개로 분리하여 나타내었지만 실제로 이들은 혼합된 형태로 나타난다. 도 6의 상부에 나타낸 1000ps 및 150ps의 피코초 펄스는 실제로 150ps 내지 1000ps의 파장을 가질 수 있다. 한편, 도 6의 하부에 나타낸 10ns 및 5ns의 나노초 펄스는 실제로 5ns 내지 10ns의 파장을 가질 수 있다. 레이저빔 펄스에는 이러한 피코초 펄스 및 나노초 펄스가 함께 결합되어 있다.6, the laser beam pulse has a form in which picosecond pulses and nanosecond pulses are mixed. Fig. 6 shows picosecond pulses in the upper part, and nanosecond pulses are separately shown for clarity in the lower part of Fig. 6, but in reality, they appear in a mixed form. The picosecond pulses of 1000ps and 150ps shown at the top of FIG. 6 can actually have wavelengths from 150ps to 1000ps. Meanwhile, the nanosecond pulses of 10ns and 5ns shown in the lower part of FIG. 6 may actually have a wavelength of 5ns to 10ns. These picosecond pulses and nanosecond pulses are combined together in a laser beam pulse.

이와 같이 결합된 레이저빔이 주기적으로 조사되므로, 레이저가 적어도 하나의 펄스 단위로 조사되어 끊기기 전까지의 펄스 인가 기간은 매 주기가 될 수 있다. 그 결과, 레이저빔을 피부 등에 조사하는 경우, 치료 대상 부위의 치료 효과를 극대화할 수 있다. 즉, 멀티 펄스 레이저빔들이 교번하여 반복적으로 조사되므로, 실질적인 레이저 치료 시간을 단축하고 치료 효율을 향상시킬 수 있다.Since the combined laser beam is periodically irradiated, the pulse application period before the laser is irradiated and cut off in at least one pulse unit may be every period. As a result, when the laser beam is irradiated to the skin or the like, it is possible to maximize the therapeutic effect of the treatment target site. That is, since the multi-pulse laser beams are alternately irradiated alternately, it is possible to shorten the actual laser treatment time and improve the treatment efficiency.

도 7은 도 1의 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)의 다양한 사용예들을 개략적으로 나타낸다. 이러한 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)의 사용예들은 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 따라서 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)의 사용예들을 다른 형태로도 변형할 수 있다.7 schematically shows various examples of use of the multi-pulse laser generating apparatus 100 of FIG. 1. The use examples of the multi-pulse laser generating apparatus 100 are only for illustrating the present invention, and the present invention is not limited thereto. Therefore, the use examples of the multi-pulse laser generating apparatus 100 can be modified to other forms.

도 7에 점선 화살표로 도시한 바와 같이, 멀티 펄스 레이저 생성 장치(100)에 후단에 7 관절암(미도시) 또는 유리섬유 케이블(미도시)을 연결하고 다양한 핸드피스들(300, 400, 500)을 결합하여 사용할 수 있다. 즉, 치료 용도에 맞게 맞춤형으로 각 핸드피스들(300, 400, 500)을 적용한다.As shown by the dotted arrow in FIG. 7, a multi-pulse laser generating device 100 is connected to a 7 joint arm (not shown) or a glass fiber cable (not shown) at the rear end and various handpieces 300, 400, 500 ) Can be used in combination. That is, each of the handpieces (300, 400, 500) is tailored to suit the treatment application.

예를 들면, 핸드피스(300)는 렌즈, 좀더 구체적으로 마이크로 렌즈 어레이(3001)를 포함한다. 마이크로 렌즈 어레이(3001)는 하나의 레이저빔을 다수의 레이저빔들로 분할할 수 있다. 각 개구의 상은 S파 레이저빔과 P파 레이저빔을 축소시켜 포커싱하는 방법으로 치료 부위에 집중되어 그 치료 효과를 높일 수 있다.For example, the handpiece 300 includes a lens, more specifically a micro lens array 3001. The micro lens array 3001 may divide one laser beam into multiple laser beams. The image of each aperture is focused by reducing and focusing the S-wave laser beam and the P-wave laser beam, thereby enhancing the therapeutic effect.

한편, 핸드피스(400)는 초점 렌즈(4001)와 회절광학소자(diffractive optical elements, DOE)(4003)를 포함한다. 초점 렌즈(4001)와 회절광학소자(4003)를 함께 사용하여 멀티 펄스 레이저빔을 치료할 대상에 조사함으로써 치료 효과를 극대화할 수 있다. 또한, 핸드피스(500)는 줌인 및 줌아웃이 가능하므로, 이를 통해 치료 부위에 집중되는 레이저의 강도를 조절할 수 있다. 그 결과, 치료 대상물의 효율적인 치료가 가능하다.Meanwhile, the handpiece 400 includes a focus lens 4001 and diffractive optical elements (DOE) 4003. By using the focus lens 4001 and the diffractive optical element 4003 together, a multi-pulse laser beam is irradiated to an object to be treated to maximize the therapeutic effect. In addition, since the handpiece 500 is capable of zooming in and out, it is possible to control the intensity of the laser focused on the treatment area. As a result, efficient treatment of the treatment object is possible.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 설명하였지만, 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described as described above, those skilled in the art to which the present invention pertains will readily appreciate that various modifications and variations are possible without departing from the concept and scope of the claims set forth below.

10. 합성판
17. 반사판
18. 반사 출사판
19. 파장 제어판
20. 제2 펄스 레이저 생성부
30. 제1 펄스 레이저 생성부
40. 증폭부
100, 200, 300. 멀티 펄스 레이저 생성 장치
101. 합성판 본체
103, 105. 면
300, 400, 500. 핸드피스
301. 전반사 거울
303. 1/4 파장판
305. Q 스위치
307. 고에너지 편광자
309. 플래쉬램프 챔버
311. 출력 거울
401. KTP
403. 출력 반사 거울
3001. 마이크로 렌즈 어레이
4001. 초점 렌즈
4003. 회절광학소자10. Composite board
17. Reflector
18. Reflective plate
19. Wavelength control panel
20. Second pulse laser generator
30. First pulse laser generator
40. Amplifier
100, 200, 300. Multi pulse laser generator
101. Composite board body
103, 105.
300, 400, 500. Handpiece
301.Reflection mirror
303. 1/4 wave plate
305.Q switch
307. High Energy Polarizer
309. Flashlight Chamber
311.Output mirror
401.KTP
403. Output reflective mirror
3001.micro lens array
4001.Focus lens
4003. Diffraction optical element

Claims (13)

제1 레이저빔을 일방향으로 출사하는 제1 펄스 레이저 생성부,
상기 제1 레이저빔이 입사되어 상기 제1 레이저빔의 편광 방향을 바꾸는 파장 제어판,
상기 일방향과 직교하는 방향으로 제2 레이저빔을 출사하는 제2 펄스 레이저 생성부,
상기 파장 제어판을 통과한 상기 제1 레이저빔과 상기 제2 레이저빔을 결합함으로써 멀티 레이저빔을 출사시키는 합성판,
상기 합성판으로부터 출사된 상기 멀티 레이저빔을 반사시키는 반사판, 및
상기 반사판에서 반사된 멀티 레이저빔을 증폭시키는 증폭부
를 포함하고,
상기 제1 펄스 레이저 생성부는,
전원을 공급받아 레이저빔을 상기 일방향의 반대 방향으로 출사하는 플래쉬 램프 챔버,
상기 반대 방향으로 출사된 레이저빔을 상기 일방향으로 전반사시키는 전반사 거울,
상기 일방향으로 전반사된 레이저빔을 1/4 파장만큼 지연시키는 제1 1/4 파장판,
상기 1/4 파장만큼 지연된 레이저빔의 피크 출력을 증가시키는 Q 스위치, 및
상기 피크 출력이 증가된 레이저빔을 1/4 파장만큼 지연시키는 제2 1/4 파장판
을 포함하고,
상기 제1 레이저빔은 상기 제2 1/4 파장판을 통과하여 상기 제1 펄스 레이저 생성부의 출력 거울로부터 출사된 레이저빔이고,
상기 합성판은,
합성판 본체,
상기 합성판 본체 위에 형성되고, 상기 제1 레이저빔과 만나며, 상기 제1 레이저빔과 45°를 이루고, 반사 방지막을 포함하는 제1면, 및
상기 제1면에서 멀어지는 방향을 향하고, 상기 제2 레이저빔과 만나며, 상기 제2 레이저빔과 45°를 이루고, 편광판을 포함하는 제2면
을 포함하며,
상기 제1 레이저빔과 상기 제2 레이저빔이 모두 755nm의 파장을 가지거나 상기 제1 레이저빔과 상기 제2 레이저빔이 모두 1064nm의 파장을 가지는 경우, 상기 제1면에서 상기 제1 레이저빔의 투과율이 90% 이상이고, 상기 제2면에서 상기 제2 레이저빔의 반사율이 98% 이상이며,
상기 제1 레이저빔 및 상기 제2 레이저빔 중 어느 한 레이저빔은 나노초 펄스를 가지고, 다른 레이저빔은 피코초 펄스를 가지며,
상기 나노초 펄스는 5ns 내지 10ns의 파장을 가지고,
상기 피코초 펄스는 150ps 내지 1000ps의 파장을 가지는 멀티 펄스 레이저 생성 장치.A first pulse laser generator for emitting a first laser beam in one direction,
Wavelength control panel to change the polarization direction of the first laser beam is incident on the first laser beam,
A second pulse laser generator for emitting a second laser beam in a direction orthogonal to the one direction,
A composite plate for emitting a multi-laser beam by combining the first laser beam and the second laser beam passing through the wavelength control panel,
A reflector reflecting the multi-laser beam emitted from the composite plate, and
Amplifying unit for amplifying the multi-laser beam reflected from the reflector
Including,
The first pulse laser generating unit,
A flash lamp chamber that receives power and emits a laser beam in a direction opposite to the one direction,
A total reflection mirror that totally reflects the laser beam emitted in the opposite direction in the one direction,
A first quarter wave plate for delaying the laser beam totally reflected in one direction by a quarter wavelength,
Q switch to increase the peak power of the laser beam delayed by the 1/4 wavelength, and
A second quarter wave plate that delays the laser beam whose peak power is increased by a quarter wavelength
Including,
The first laser beam passes through the second quarter wave plate and is a laser beam emitted from the output mirror of the first pulse laser generator,
The composite plate,
Composite board body,
A first surface formed on the body of the composite plate, meeting the first laser beam, forming a 45 ° angle with the first laser beam, and including an anti-reflection film, and
Facing the direction away from the first surface, meeting the second laser beam, forming a 45 ° with the second laser beam, and a second surface comprising a polarizing plate
It includes,
When the first laser beam and the second laser beam both have a wavelength of 755 nm or the first laser beam and the second laser beam both have a wavelength of 1064 nm, the first laser beam of the first laser beam The transmittance is 90% or more, and the reflectance of the second laser beam on the second surface is 98% or more,
One of the first laser beam and the second laser beam has a nanosecond pulse, and the other laser beam has a picosecond pulse,
The nanosecond pulse has a wavelength of 5ns to 10ns,
The picosecond pulse is a multi-pulse laser generating apparatus having a wavelength of 150ps to 1000ps. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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