KR102110216B1 - A moving device for test specimen for precise grinding - Google Patents
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Abstract
본 발명은 정밀 연마용 시료 이송 장치에 관한 것으로서, 미크론 단위의 로 두께로 시료의 표면의 연마가 가능도록, 연마장치의 연마면 또는 마찰면에 대해서 시료이 위치를 정밀하게 제어할 수 있는 정밀 연마용 시료 이송 장치에 관한 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,연마 대상이 되는 시료가 그 하면에 부착되는 홀더와; 상기 홀더가 상하 방향으로 움직일 수 있으며 하면이 개구된 수용 공간이 형성되며, 상기 홀더를 수용하는 본체와; 상기 본체 상부에 배치되고, 상기 홀더에 접촉하여 홀더를 본체 내부에서 이동시켜 본체 내부에서의 홀더의 높이를 조절하는 이송 유닛과; 본체에 마련되고 수용 공간의 내벽면으로부터 수용 공간 내측방향으로 돌출되고, 홀더의 측면과 접촉하여 홀더를 지지하는 홀더 지지 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 연마용 시료 이송 장치를 제공한다. The present invention relates to a sample transfer device for precision polishing, for precision polishing that can precisely control the position of the sample with respect to the polishing surface or the friction surface of the polishing device, so that the surface of the sample can be polished in a micron-unit furnace thickness. It relates to a sample transfer device.
The present invention for achieving this object, the holder to be attached to the lower surface of the sample to be polished; The holder is movable in the vertical direction, the lower surface is formed with an open receiving space, the main body for receiving the holder; A transfer unit disposed on the main body and in contact with the holder to move the holder inside the main body to adjust the height of the holder inside the main body; Provided in the main body and provides a sample transfer device for precision polishing, characterized in that it comprises a holder support unit that protrudes from the inner wall surface of the receiving space to the inside of the receiving space and contacts the side of the holder to support the holder.
Description
본 발명은 정밀 연마용 시료 이송 장치에 관한 것으로서, 미크론 단위의 로 두께로 시료의 표면의 연마가 가능도록, 연마장치의 연마면 또는 마찰면에 대해서 시료이 위치를 정밀하게 제어할 수 있는 정밀 연마용 시료 이송 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a sample transfer device for precision polishing, for precision polishing that can precisely control the position of the sample with respect to the polishing surface or the friction surface of the polishing device, so that the surface of the sample can be polished in a micron-unit furnace thickness. It relates to a sample transfer device.
손톱 보다 작은 미소한 크기의 시료에 대해서 표면 정밀 가공이 필요한 경우, 즉, 미크론 단위의 깊이 또는 두께로 조절하여 시료의 표면을 연마 가공을 해야할 경우, 일반적인 시험 현장에서는 두께 또는 깊이 제어가 불가능하여 이를 외주 가공으로 맡길 수 밖에 없었다.If the surface of the sample needs to be precisely processed for a sample of a size smaller than the nail, that is, when the surface of the sample needs to be polished by adjusting the depth or thickness in microns, it is impossible to control the thickness or depth in a typical test site. It had to be entrusted to outsourcing.
이로 인하여, 비용이나 시간이 현저하게 소요되어, 이에 대한 작업 능률이 저하되는 문제가 있었다. For this reason, cost or time is remarkably consumed, and there is a problem in that work efficiency is reduced.
본 발명은 이러한 문제점을 해소하기 위하여 마련된 것으로서, 시료의 표면의 정밀 연마가 가능도록, 연마장치의 연마면 또는 마찰면에 대해서 시료이 위치를 정밀하게 제어할 수 있는 정밀 연마용 시료 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention is provided to solve such a problem, and to provide a precision polishing sample transfer device capable of precisely controlling the position of the sample with respect to the polishing surface or the friction surface of the polishing device, so that the surface of the sample can be precisely polished. It has a purpose.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,연마 대상이 되는 시료가 그 하면에 부착되는 홀더와; 상기 홀더가 상하 방향으로 움직일 수 있으며 하면이 개구된 수용 공간이 형성되며, 상기 홀더를 수용하는 본체와; 상기 본체 상부에 배치되고, 상기 홀더에 접촉하여 홀더를 본체 내부에서 이동시켜 본체 내부에서의 홀더의 높이를 조절하는 이송 유닛과; 본체에 마련되고 수용 공간의 내벽면으로부터 수용 공간 내측방향으로 돌출되고, 홀더의 측면과 접촉하여 홀더를 지지하는 홀더 지지 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 정밀 연마용 시료 이송 장치를 제공한다. The present invention for achieving this object, the holder to be attached to the lower surface of the sample to be polished; The holder is movable in the vertical direction, the lower surface is formed with an open receiving space, the main body for receiving the holder; A transfer unit disposed on the main body and in contact with the holder to move the holder inside the main body to adjust the height of the holder inside the main body; Provided in the main body and protruding from the inner wall surface of the receiving space in the direction of the receiving space, and provides a sample transfer device for precision polishing, characterized in that it comprises a holder support unit for supporting the holder in contact with the side of the holder.
또한, 상기 본체의 하면에 마련되고, 수용 공간의 개구부를 둘러싸며, 마찰 장치와 본체의 하면이 접촉하는 것을 방지하는 기준면 보호 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, it is characterized in that it further comprises a reference surface protection unit provided on the lower surface of the main body, surrounding the opening of the receiving space, preventing the friction device from contacting the lower surface of the main body.
상기 본체의 외주 표면에는 사용자의 파지시 미끄럼을 방지하도록 돌기부 형태로 마련되는 미끄럼 방지부가 마련되는 것을 특징으로 한다. The outer peripheral surface of the main body is characterized in that a non-slip portion provided in the form of a projection is provided to prevent slipping when the user grips.
상기 이송유닛은; 상기 본체의 상부의 외부 공간에 배치되는 몸체부와; 상기 몸체부에 연결되고 상기 본체 상면을 관통하여 상하 방향으로 움직일 수 있도록 마련되는 이동부와; 상기 이동부의 단부에 연결되며 상기 본체의 수용공간에 배치되고 상기 이동부의 움직임에 따라서 움직이는 지지판 및 지지판에 연결되며 홀더의 상면에 밀착되어 홀더를 지지하는 지지다리부와, 상기 몸체부 내부에 마련되고 상기 이동부와 연결되어 이동부를 상하 방향으로 움직이는 구동력을 제공하는 구동부와; 상기 몸체부 표면에 마련되어 이동부 및 구동부의 동작을 제어하는 버튼부를 포함하는 것을 특징으로 한다. The transfer unit; A body part disposed in an outer space above the main body; A moving part connected to the body part and provided to be able to move in the vertical direction through the upper surface of the body; It is connected to the end of the moving portion and is disposed in the receiving space of the main body and connected to a supporting plate and a supporting plate that moves according to the movement of the moving portion, and is provided in the body portion, and a supporting leg portion supporting the holder in close contact with the upper surface of the holder. A driving unit connected to the moving unit to provide a driving force for moving the moving unit in the vertical direction; It characterized in that it comprises a button portion provided on the surface of the body portion to control the operation of the moving portion and the driving portion.
본체의 수용 공간의 내벽면에는 홀더 지지 유닛이 수용되는 복수의 삽입홀이 마련되며, 상기 복수의 삽입홀 각각에는 복수의 홀더 지지 유닛이 각각 설치되며, 상기 홀더 지지 유닛은 지지 유닛 몸체부와, 지지 유닛 몸체부의 후방에 배치되는 탄성부재와; 지지 유닛 몸체부의 전단부에 마련되고, 삽입홀 외측으로 돌출되어 홀더의 측면에 접촉되는 접촉부를 포함하는 것을 특징으로 한다. A plurality of insertion holes in which the holder support unit is accommodated is provided on an inner wall surface of the accommodation space of the main body, and a plurality of holder support units are respectively installed in each of the plurality of insertion holes, and the holder support unit includes a support unit body portion, An elastic member disposed behind the support unit body; It is provided at the front end of the support unit body portion, it is characterized in that it comprises a contact portion protruding out of the insertion hole to contact the side of the holder.
상기 접촉부는 반구형 부재 또는 롤러 또는 볼로 구성되는 것을 특징으로 한다. The contact portion is characterized by consisting of a hemispherical member or a roller or ball.
이와 같은 본 발명에 의하면, 정밀한 두께로 시료를 선삭 또는 연마 가공하는 것이 가능하다. 이는 전동 방식의 마이크로 미터의 동작이 가능하기 때문이다. According to the present invention, it is possible to turn or polish a sample to a precise thickness. This is because the electric micrometer can be operated.
한편, 본 발명은 지지 유닛이 홀더의 측면을 가압하기 때문에 외력에 의하여 홀더를 위아래로 움직이지 않는 이상은 홀더가 최초의 삽입 위치를 유지할 수 있다. 이에 의하여 예기치 않은 홀더의 이동이 억제되어 연마 안정성이 확보된다.On the other hand, in the present invention, since the support unit presses the side of the holder, the holder can maintain the initial insertion position unless the holder is moved up and down by external force. Thereby, unexpected movement of the holder is suppressed, and polishing stability is secured.
또한, 기준면 보호 유닛이 있으므로, 연마 과정에서 기준면이 손상되는 것이 방지되어, 가공된 두께의 정확성 및 정밀도가 보장될 수 있다. In addition, since there is a reference surface protection unit, damage to the reference surface is prevented in the polishing process, and accuracy and precision of the processed thickness can be ensured.
도1은 본 발명의 사시도이다.
도2는 본 발명의 분해 사시도이다.
도3은 본 발명에서 이송 유닛과 홀더의 사시도이다.
도4는 본 발명에서 본체와, 지지 유닛, 기준면 보호 유닛의 사시도이다.
도5 및 도6은 본 발명에서 지지 유닛에 의하여 홀더가 지지되는 상태 및 이송 유닛과의 상대 배치 관계를 도시한 사시도이다.
도7은 본 발명의 동작 상태도이다. 1 is a perspective view of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the present invention.
3 is a perspective view of the transfer unit and the holder in the present invention.
4 is a perspective view of the main body, the support unit, and the reference surface protection unit in the present invention.
5 and 6 are perspective views showing a state in which the holder is supported by the support unit in the present invention and a relative arrangement relationship with the transfer unit.
7 is an operational state diagram of the present invention.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 설명하고자 한다. The present invention can be applied to various changes and can have various embodiments, and specific embodiments will be illustrated and described in the drawings.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소 들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. Terms including ordinal numbers such as first and second may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms.
상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components.
예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다. For example, the second component may be referred to as a first component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the first component may also be referred to as a second component.
및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.The term and / or includes a combination of a plurality of related described items or any one of a plurality of related described items.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. When an element is said to be "connected" or "connected" to another component, it is understood that other components may be directly connected to or connected to the other component, but there may be other components in between. It should be.
반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.On the other hand, when a component is said to be "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that no other component exists in the middle.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this application, terms such as “include” or “have” are intended to indicate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, one or more other features. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the same or corresponding components are assigned the same reference numbers regardless of reference numerals, and redundant descriptions thereof will be omitted.
도1에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 정밀 연마용 시료 이송 장치(이하 '이송 장치'라고 한다)(1)는 서로 다른 외경을 같는 복층의 원통형태를 갖는 본체(100)와, 본체(100) 상부에 마련되는 이송 유닛(200)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the sample transfer device for precision polishing according to the present invention (hereinafter referred to as a 'transfer device') 1 has a
이송 유닛(200)은 그 내부에 모터와 같은 전기로 구동하는 구동부(미도시)가 마련되어 본체 내부에 수용되어 있는 홀더(400)를 이동시키는 구동력을 제공한다. The
전력을 제공하기 위해서 본체에는 이송 유닛(200)과 연결되는 와이어(130)와, 플러그(140)가 마련되어 있다.In order to provide power, the main body is provided with a
본체(100)는 상대적으로 작은 외경을 갖는 상부 본체(110)와, 그 아래에 마련되며 상대적으로 큰 외경을 갖는 하부 본체(120)를 포함하고 있다. 다만, 그 형상은 자유롭게 변형이 가능하므로 이에만 한정되지는 않는다.The
이송 유닛(200)은 사용자가 잡을 수 있는 핸들 형태의 몸체부(210)와, 몸체부(210)의 하부에 마련되는 이동부(230)를 포함하고 있으며, 이동부(230)는 상부 본체(110)의 중앙부를 관통하여 그 내부까지 연장된다.The
상부 본체(110) 및 하부 본체(120)의 외주면에는 상하 방향으로 형성되는 복수의 돌출 리브 또는 홈과 같이 요철부가 마련되는데, 이 요철부는 사용자가 잡고 파지하는 경우, 미끄럼 방지 역할을 수행하는 미끄럼 방지부(111, 121)가 된다.On the outer circumferential surfaces of the
한편, 이송 유닛(200) 내부에는 배터리(미도시)가 마련되어 전원 충전이 가능한 것이 바람직하며, 상부 본체(110)의 상면에는 그러한 배터리의 잔량을 표시하는 배터리 잔량 표시부(112)가 마련될 수 있다.On the other hand, a battery (not shown) is preferably provided inside the
또한 상부 본체(110)의 상면에, 배터리 잔량 표시부(112)와 이격되는 영역에는 이송 유닛(200)의 이동부(230)의 위치를 원위치 시키는 리셋버튼(113)이 마련되고, 한편에는 현재 이동부(230)의 하강 위치가 기준 높이에서 얼마나 내려왔는지 표시하는 이동 거리 표시부(114)가 마련된다.In addition, a
여기서 이송 유닛(200)은 일종의 전동식 마이크로 미터와 전동 이송 장치가 결합된 것으로서, 이송 유닛(200)에 접촉되는 물체(예, 홀더)를 미세하게 미크론 단위로 이동시킬 수 있고, 그 이동 거리를 표시할 수 있는 장치이다.Here, the
이송 유닛(200)의 몸체부(210)의 표면에는 이동부(230)를 상하 방향으로 움직이는 명령을 내릴 수 있는 버튼부(220)가 마련되는데, 버튼부(220)는 상방향 버튼(221)과, 하방향 버튼(222), 그리고 on/off 버튼(223)을 포함한다.The surface of the
도2와 도3에서 도시한 바와 같이, 본체(100) 내부에는 하부가 개구된 수용공간(122)이 형성되며, 그 수용공간은 상부 본체(110) 및 하부 본체(120)에 걸쳐서 상하 방향으로 형성되어 있으며, 그 수용공간은 원통형 형태의 홀더(400)가 수용될 수 있도록 그 형상에 맞는 원통형 공간으로 마련되는 것이 바람직하다.2 and 3, a
이송 유닛(200)의 이동부(230)의 하부에는 지지판(240)과, 그 지지판(240)의 하면으로부터 하방으로 연장되는 복수의 지지다리(250)가 마련된다. 지지다리(250)가 복수개로 되어야 홀더(400)를 미는 힘을 균등하게 분산하여, 어느 한쪽에 치우쳐지지 않게 할 수 있다. A lower portion of the
한편 지지다리(250)에는 자석과 같은 부재가 마련되어 금속성의 홀더(400)와 부착될 수도 있다. Meanwhile, a member such as a magnet may be provided on the
지지판(240)의 상면은 이동부(230)의 하단에 연결되어 있으며, 지지다리(250)는 홀더(400)의 상면에 밀착되게 마련된다. The upper surface of the
수용 공간(122)의 상부 영역에는 이동부(230)의 하단 일부 및 지지판(240), 지지다리(250)가 위치하고, 지지다리(250)의 아래에 홀더(400)가 위치한다. In the upper region of the
이송 유닛(200)를 조립하는 경우엔, 지지판(240) 및 지지다리(250)가 결합된 모듈을 수용 공간(122) 내부에 넣고, 본체(100)외부에서 이동부(230)를 상부 본체(110) 중앙에 형성되어 있는 센터홀에 삽입하여, 이동부(230)의 하단부와 지지판(240)의 상면이 결합되도록 한다. In the case of assembling the
이를 위해서 도시되지는 않았지만, 지지판(240)과 이동부(230)의 하단부에는 상호 맞물리거나 체결되는 결합구조(미도시)가 있는 것이 바람직하다. For this purpose, although not shown, it is preferable that the lower portion of the
홀더(400)의 하면(420)에는 정밀 연마의 대상이 되는 작은 조각 형태의 시료(500)가 부착되어 고정된다. 여기서 시료(500)는 아무리 얇은 조각이라도 할지라도 홀더(400)의 하면보다는 하방으로 미세하게 돌출될 수 밖에 없다. To the
한편, 홀더(400)가 수용 공간(122)에 수용된 상태에서 자유롭게 이동하지 않고, 이송 유닛(200)에 의한 외력이 가해질 때만 움직일 수 있도록, 도2 및 도4에서 도시한 바와 같이, 본체(100)의 내부에는 홀더(400)를 지지할 수 있는 지지 유닛(300)이 마련되어 있으며, 이 지지유닛(300)은 본체(100)의 수용 공간(122)에 형성되는 삽입홀(123)에 수용되어 홀더(400)의 외주 측면(430)에 다점 지지 형태로 밀착되어 홀더(400)의 자유로운 움직임을 억제한다.On the other hand, as shown in Figures 2 and 4, the
도4에서 도시한 바와 같이, 지지 유닛(300)은 복수개로 마련되고, 각각 삽입홀(123)에 삽입되는 것이 바람직하다. As shown in Figure 4, the
삽입홀(123)은 수용 공간(122)의 내벽면의 둘레를 따라서 복수의 열, 복수의 행으로 규칙적으로 배열되며, 홀더(400)의 외주측면벽을 둘러싸는 형태로 배열되는 것이 바람직하다.The
한편, 삽입홀(123)에 삽입되어 수용되는 지지 유닛(300)은 원통 형태의 지지 유닛 몸체부(310)와, 지지 유닛 몸체부(310)의 후방에 마련되어 지지 유닛 몸체부(310)에 탄성 복원력을 제공하는 탄성 부재(330)와, 지지 유닛 몸체부(310)의 전방에 마련되어 홀더(400)의 외주 측벽면과 점접촉 또는 구름접촉을 하는 접촉부(320)를 포함한다.On the other hand, the
여기서 접촉부(320)는 반구형 부재, 또는 구형부재, 또는 롤러, 볼과 같은 부재로 구성되는 것이 바람직하며, 그 접촉부(320) 및 지지 유닛 몸체부(310)의 측면형상은 마치 탄환과 같은 형상이 되는 것이 바람직하다. Here, the
탄성부재(330)는 삽입홀(123)의 내부에 배치되어 삽입홀(123)의 내부벽에 지지되어 지지 유닛 몸체부(310) 및 접촉부(320)가 수용공간(122) 쪽으로 밀어내는 탄성력을 제공하고, 지지 유닛 몸체부(310) 및 접촉부(320)가 홀더(400)에 의하여 밀리는 것을 제한하는 역할을 수행한다. The
한편, 도2와 도4에서 도시한 바와 같이, 본체(100)의 하면에는 링 플레이트 형태의 기준면 보호 유닛(150)이 마련되어 있으며, 이를 설치하기 위해서 하부 본체(120)의 하면에는 기준면 보호 유닛(150)의 형상이 삽입되어 고정되도록 링 형태의 고정홈(124)이 마련된다.On the other hand, as shown in Figures 2 and 4, the lower surface of the
시편 연마를 하는 경우, 본체(100)의 최하면이 기준면이 되는데, 이 기준면이 마모되면 기준면의 높이가 달라져서 연마 두께에 대한 데이터 정확도가 현저하게 떨어진다. When the specimen is polished, the lowermost surface of the
기준면 보호 유닛(150)은 이와 같이, 본체(100)의 하면이 마모되는 것을 방지하기 위한 일종의 쉴드 부재로서, 내마모성이 강한 부재(예, 세라믹 등)로 구성되는 것이 바람직하다.The reference
도5와 도6과 같이, 지지 유닛(300)이 다수개 마련되고 홀더(400)의 외주 측면을 다수 지지하는 경우, 위와 같은 탄성 지지력 및 접촉부(320)의 접촉 지지력에 의하여 홀더(400)의 위치가 고정될 수 있다.5 and 6, when a plurality of
도5는 본체(100)가 도시되지 않은 상태에서 이동 유닛(200)의 지지 다리(250)가 홀더(400)의 상면(410)에 밀착되어 배치되고, 또한, 복수의 지지 유닛(300)의 접촉부(320)의 단부가 홀더(400)의 외주측벽을 복수의 지점에서 가압하여 지지하는 것을 도시한 것이고, 도6은 본체(100) 내부에 홀더(400)가 수용된 상태에서, 지지유닛(300)에 의하여 외주측벽이 가압되어 그 상하 방향 위치가 고정되어 있고, 이송 유닛(200)이 본체(100)에 설치되어 홀더(400)와 연결 또는 밀착된 상태를 도시한 것이다. 5, the
지지 유닛(300)에 의한 홀더(400)에 대한 점 접촉이 다수되는 상태이므로 외력이 가해지지 않은 상태에서는 그 위치가 고정되나, 위쪽 또는 아래 쪽으로 이동시키려는 외력이 가해지면 그에 따라서 홀더(400)가 위쪽 또는 아래쪽으로 이동한다. Since the point contact with the
이하에서는 본 발명의 동작에 대해서 설명하도록 하겠다. 도7(a)에서 도시한 바와 같이, 사용자가 리셋 버튼(도1참조, 113)을 누르면, 구동부(미도시)의 동작에 의하여 이동부(230)가 상승하고, 이동부(230)에 연결되는 지지판(240)이 수용 공간 천장에 닿는다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described. As shown in Fig. 7 (a), when the user presses the reset button (see Fig. 1, 113), the moving
아직까지 수용 공간에 홀더(500) 수용되지 않은 경우, 지지 유닛(300)의 지지 유닛 몸체부(310) 및 접촉부(320)가 수용 공간 안쪽으로 상당부분 돌출되어 있다. If the
이 상태에서, 시료(500)를 하면에 부착한, 원통형태의 홀더(400)를 삽입하여, 누르면, 홀더(400)의 상면은 지지 다리(250)에 닿을 때까지 수용 공간 안쪽으로 삽입된다.In this state, when the
접촉부(320)가 상술한 바와 같이 볼, 또는 롤러, 구형 부재 등으로 구성되므로, 홀더(400)의 이동은 원활하게 이루어진다. Since the
그리고, 접촉부(320) 및 지지 유닛 몸체부(310)는 뒤로 밀리고, 코일 스프링 형태의 탄성부재(330)가 압축된다. 탄성 복원력에 의하여 탄성부재(330)가 미는 힘에 의하여 지지 유닛(300)이 홀더(400)의 외측벽면을 다수 영역에서 밀기때문에, 홀더(400)가 자유낙하하거나 외력 없이 하강하는 일이 방지된다.Then, the
이 상태에서, 본체(100)를 연마면(600)에 놓으면, 아직까지는 홀더(400)에 부착된 시료(500)는 연마면(600)에서 이격되어 있고, 기준면 보호 유닛(150)이 연마면(600)에 밀착된다.In this state, when the
도7(b)에서 도시한 바와 같이, 사용자가 버튼부(220)를 조작하여, 이송 유닛(200)을 동작시키면, 이동부(230)와, 지지판(240)과, 지지 다리(250)의 하강 운동에 의하여 홀더(400)가 하강하고, 시료(500)가 연마면(600)에 가까워진다. As shown in Figure 7 (b), when the user operates the
그리고, 도1에서 나타난 이동 거리 표시부(114)에는 기준면 높이 대비 이동거리(또는 기준면 대비 외부로 돌출된 두께나 거리)가 얼마나 되는지 표시가 된다.In addition, the moving
이 상태에서 시료(500)가 부착된 홀더(400)가 수용되어 있는 본체(100)를 연마면(600)에 놓고 본체(100)를 꽉 잡고, 연마 장치를 구동시켜서 연마면(600)이 회전하여 연마작업을 수행하면, 돌출된 미세 두께만큼 시료(500)가 연마 또는 선삭되어 원하는 미세한 두께만큼 정밀한 가공이 가능하다. In this state, the
이상과 같이 본 발명을 도면에 도시한 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 발명을 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 발명의 상세한 설명으로부터 다양한 변형 또는 균등한 실시예가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. As described above, the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, but this is only for explaining the invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications or equivalents from the detailed description of the invention It will be understood that one embodiment is possible.
따라서 본 발명의 진정한 권리범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 한다.Therefore, the true scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the claims.
100: 본체 200: 이송 유닛
300: 지지 유닛 400: 홀더
500: 시료100: main body 200: transfer unit
300: support unit 400: holder
500: sample
Claims (6)
상기 홀더가 상하 방향으로 움직일 수 있으며 하면이 개구된 수용 공간이 형성되며, 상기 홀더를 수용하는 본체와;
상기 본체 상부에 배치되고, 상기 홀더에 접촉하여 홀더를 본체 내부에서 이동시켜 본체 내부에서의 홀더의 높이를 조절하는 이송 유닛과;
본체에 마련되고 수용 공간의 내벽면으로부터 수용 공간 내측방향으로 돌출되고, 홀더의 측면과 접촉하여 홀더를 지지하는 홀더 지지 유닛을 포함하며,
상기 본체의 하면에 마련되고, 수용 공간의 개구부를 둘러싸며, 마찰 장치와 본체의 하면이 접촉하는 것을 방지하는 내마모성 재질로 구성된 기준면 보호 유닛을 더 포함하되,
상기 이송유닛은;
상기 본체의 상부의 외부 공간에 배치되는 몸체부와;
상기 몸체부에 연결되고 상기 본체 상면을 관통하여 상하 방향으로 움직일 수 있도록 마련되는 이동부와;
상기 이동부의 단부에 연결되며 상기 본체의 수용공간에 배치되고 상기 이동부의 움직임에 따라서 움직이는 지지판 및 지지판의 하면으로부터 하방으로 연장되도록 연결되며 홀더의 상면에 밀착되어 홀더를 지지하여 홀더를 미는 힘을 균등하게 분산하는 복수의 지지다리부와,
상기 몸체부 내부에 마련되고 상기 이동부와 연결되어 이동부를 상하 방향으로 움직이는 구동력을 제공하는 구동부와;
상기 몸체부 표면에 마련되어 이동부 및 구동부의 동작을 제어하는 버튼부를 포함하고,
본체의 수용 공간의 내벽면에는 홀더 지지 유닛이 수용되는 복수의 삽입홀이 마련되며, 삽입홀은 수용 공간의 내벽면의 둘레를 따라서 복수의 열 및 복수의 행으로 규칙적으로 배열되고,
상기 복수의 삽입홀 각각에는 복수의 홀더 지지 유닛이 각각 설치되며,
상기 홀더 지지 유닛은 지지 유닛 몸체부와, 지지 유닛 몸체부의 후방에 배치되는 탄성부재와; 지지 유닛 몸체부의 전단부에 마련되고, 삽입홀 외측으로 돌출되어 홀더의 측면 표면에 점접촉 또는 구름접촉되는 접촉부를 포함하고,
상기 접촉부는 반구형 부재 또는 롤러로 구성되고,
상기 본체의 외주 표면에는 사용자의 파지시 미끄럼을 방지하도록 돌기부 형태로 마련되는 미끄럼 방지부가 마련되는 것을 특징으로 하는 정밀 연마용 시료 이송 장치.
A holder to which a sample to be polished is attached to its lower surface;
The holder is movable in the vertical direction, the lower surface is formed with an open receiving space, the main body for receiving the holder;
A transfer unit disposed on the main body and in contact with the holder to move the holder inside the main body to adjust the height of the holder inside the main body;
It is provided in the main body and includes a holder support unit that protrudes from the inner wall surface of the accommodation space to the inside of the accommodation space and contacts the side of the holder to support the holder.
It is provided on the lower surface of the main body, surrounds the opening of the receiving space, and further comprises a reference surface protection unit made of a wear-resistant material to prevent the friction device from contacting the lower surface of the body,
The transfer unit;
A body portion disposed in an outer space above the main body;
A moving part connected to the body part and provided to be able to move in the vertical direction through the upper surface of the body;
It is connected to the end of the moving part, is disposed in the receiving space of the main body and is connected to extend downward from the lower surface of the supporting plate and the supporting plate that moves according to the movement of the moving portion, and is in close contact with the upper surface of the holder to support the holder and equally push the holder. A plurality of support leg portions which are distributed so as to
A driving part provided inside the body part and connected to the moving part to provide a driving force for moving the moving part in the vertical direction;
It is provided on the surface of the body portion includes a button portion for controlling the operation of the moving portion and the driving portion,
A plurality of insertion holes in which the holder support unit is accommodated is provided on the inner wall surface of the accommodation space of the body, and the insertion holes are regularly arranged in a plurality of columns and a plurality of rows along the circumference of the inner wall surface of the accommodation space,
A plurality of holder support units are respectively installed in each of the plurality of insertion holes,
The holder support unit includes a support unit body portion and an elastic member disposed behind the support unit body portion; It is provided at the front end of the support unit body portion, and includes a contact portion protruding outward of the insertion hole to be in point contact or rolling contact with the side surface of the holder,
The contact portion is composed of a hemispherical member or a roller,
A sample transfer device for precision polishing, characterized in that a non-slip portion provided in the form of a protrusion is provided on the outer circumferential surface of the main body to prevent slipping when the user grips.
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