KR102109267B1 - Polishing apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가압력을 일정하게 유지시켜 평탄도가 우수한 연마 정밀도에 의해 시편 표면이 정확한 조도를 갖게 하고, 수작업의 배제를 통해 작업자의 안전성을 확보할 수 있는 연마장치에 관한 것으로, 이는 연마재를 구비한 회전 테이블; 상기 연마재를 가로질러 놓이는 브리지; 상기 브리지에 높이조절 가능하게 설치되고, 시편홀더를 갖춘 시편고정부; 상기 브리지에 설치되어, 상기 시편홀더에 안착된 시편에 가압력을 인가하는 가압부; 및 상기 가압부에 구비되어, 상기 시편과 상기 연마재 사이의 평행을 조정하는 미세조정부를 포함한다. The present invention relates to an abrasive device that can maintain the pressing force constant so that the specimen surface has an accurate roughness by excellent abrasiveness with excellent flatness, and can secure worker safety through the exclusion of manual labor, which includes an abrasive. Turn table; A bridge placed across the abrasive; A specimen fixing unit installed to be adjustable in height on the bridge and equipped with a specimen holder; A pressing portion installed on the bridge to apply a pressing force to the specimen seated on the specimen holder; And a fine adjustment unit provided in the pressing unit to adjust the parallel between the specimen and the abrasive.

Description

연마장치 {POLISHING APPARATUS}Polishing device {POLISHING APPARATUS}

본 발명은 두께가 얇은 박판인 시편을 연마할 때 가압력을 일정하게 유지시켜 평탄도가 우수한 연마 정밀도와 안전성을 확보할 수 있는 연마장치에 관한 것이다.The present invention relates to a polishing apparatus capable of securing polishing precision and safety with excellent flatness by maintaining a constant pressing force when polishing a thin thin plate specimen.

예를 들어, 부식 실험의 분석을 위해 사용되는 시편은 규격에 맞게 일정 치수를 갖도록 박판으로 가공된 후, 고속으로 회전하는 연마장치에 직접 밀착한 상태에서 그 표면의 연마를 진행하여 소정의 조도를 갖게 된다. For example, the specimen used for the analysis of the corrosion test is processed into a thin plate to have a certain dimension in accordance with the specification, and then the surface is directly polished to a polishing apparatus rotating at high speed to polish the surface to obtain a predetermined roughness. You have.

그런데, 얇게 가공된 시편을 고속으로 회전하는 연마장치에 밀착시켜 진행되는 연마공정은 수작업으로 이루어지기 때문에, 표면의 균일한 연마가 어려우며 작업자에게 매우 위험하다.However, since the polishing process proceeds by adhering a thinly processed specimen to a polishing device rotating at a high speed, it is difficult to uniformly polish the surface and is very dangerous for workers.

더구나, 연마의 불균일과 치우침에 의한 표면의 편차는 실험 결과의 불확실성으로 이어지므로, 이러한 평탄도가 불량한 시편을 실험용으로 사용하기가 곤란해서, 적합한 시편의 준비를 위해 연마공정의 반복이 빈번하게 발생함에 따라 재료의 낭비는 물론, 과도하게 시간과 비용이 소요되는 문제가 초래되었다. Moreover, since irregularities in polishing and surface deviation due to bias lead to uncertainty in the experimental results, it is difficult to use specimens with poor flatness for experiments, and repetition of the polishing process frequently occurs to prepare suitable specimens. As a result, not only wasted material was caused, but also excessively time and cost was caused.

(특허문헌 1) KR 0262008 Y1 (Patent Document 1) KR 0262008 Y1

이에 본 발명은 가압력을 일정하게 유지시켜 평탄도가 우수한 연마 정밀도에 의해 시편 표면이 정확한 조도를 갖게 하고, 수작업의 배제를 통해 작업자의 안전성을 확보할 수 있는 연마장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to provide a polishing apparatus that can maintain the pressing force constant, to ensure that the surface of the specimen has an accurate roughness by excellent polishing precision, and to ensure the safety of workers through the exclusion of manual work. have.

본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치는, 연마재를 구비한 회전 테이블; 상기 연마재를 가로질러 놓이는 브리지; 상기 브리지에 높이조절 가능하게 설치되고 시편홀더를 갖춘 시편고정부; 상기 브리지에 설치되어, 상기 시편홀더에 안착된 시편에 가압력을 인가하는 가압부; 및 상기 가압부에 구비되어, 상기 시편과 상기 연마재 사이의 평행을 조정하는 미세조정부를 포함하고, 상기 가압부는, 상기 브리지의 수평부를 관통하고, 작동로드를 갖춘 적어도 하나의 액츄에이터; 상기 작동로드의 단부에 장착되고, 상기 시편홀더에 안착된 상기 시편의 상부면과 마주하여 승강 가능하게 배치된 가압블록; 및 상기 가압블록의 장착을 위해 상기 작동로드의 단부에 구비된 고정블록을 포함하며, 상기 가압블록은, 고정홈이 구비된 탄성재질의 접촉부; 상기 접촉부와 상기 고정블록 사이에 개재된 금속재질의 연결부; 및 상기 고정홈 내에 설치되고, 상기 연결부를 관통하여 상기 고정블록에 체결고정되는 고정구를 포함하는 것을 특징으로 한다. A polishing apparatus according to an embodiment of the present invention, a rotating table having an abrasive material; A bridge placed across the abrasive; A specimen fixing unit installed to be adjustable in height on the bridge and equipped with a specimen holder; A pressing portion installed on the bridge to apply a pressing force to the specimen seated on the specimen holder; And it is provided on the pressing portion, and includes a fine adjustment portion for adjusting the parallel between the specimen and the abrasive, the pressing portion, through the horizontal portion of the bridge, at least one actuator having an operating rod; A pressurizing block mounted on an end of the working rod and disposed to be elevated and facing the upper surface of the specimen seated on the specimen holder; And a fixing block provided at an end of the operation rod for mounting the pressing block, wherein the pressing block includes a contact portion of an elastic material provided with a fixing groove; A metal connection portion interposed between the contact portion and the fixing block; And it is installed in the fixing groove, it characterized in that it comprises a fixture that is fastened to the fixing block through the connecting portion.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 두께가 얇은 박판인 시편을 연마할 때 안전한 작업이 가능하고, 연마공정이 표준화되어 균일한 연마품질의 시편을 생산할 수 있으며, 이로써 실험시 데이터 정합성이 향상되는 효과를 얻을 수 있게 된다. As described above, according to the present invention, when grinding a thin thin specimen, a safe operation is possible, and the polishing process is standardized to produce a specimen of uniform polishing quality, thereby improving the data consistency during the experiment. I can get it.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 미세조정부를 확대하여 도시한 도면이다. 1 is a perspective view showing a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged view of the fine adjustment unit.

이하, 본 발명이 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명된다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail through exemplary drawings. It should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that detailed descriptions of related well-known structures or functions may obscure the subject matter of the present invention, detailed descriptions thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 미세조정부를 확대하여 도시한 도면이다. 1 is a perspective view showing a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view showing a fine adjustment unit.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치는, 연마재(11)를 구비한 회전 테이블(10); 연마재를 가로질러 놓이는 브리지(20); 이 브리지에 높이조절 가능하게 설치되고, 시편홀더(31)를 갖춘 시편고정부(30); 브리지에 설치되어, 시편홀더에 안착된 시편(1)에 가압력을 인가하는 가압부(40); 및 이 가압부에 구비되어, 시편과 연마재 사이의 평행을 조정하는 미세조정부(50)를 포함하고 있다. As shown in these drawings, a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a rotating table 10 having an abrasive material 11; A bridge 20 lying across the abrasive; A specimen fixing unit 30 installed to be adjustable in height to the bridge and equipped with a specimen holder 31; A pressure unit 40 installed on the bridge to apply a pressing force to the specimen 1 mounted on the specimen holder; And it is provided on the pressing portion, it includes a fine adjustment unit 50 for adjusting the parallel between the specimen and the abrasive.

회전 테이블(10)은 이 회전 테이블에서 대략 직각으로 연장한 회전축(미도시)을 갖추고, 이 회전축이 도시되지 않은 구동부에 직접 또는 전동기구를 매개로 연결되어 회전동력을 전달받도록 되어 있다. The rotating table 10 is provided with a rotating shaft (not shown) that extends at a substantially right angle from the rotating table, and the rotating shaft is connected to a driving unit (not shown) directly or via a transmission mechanism to receive rotational power.

이러한 회전 테이블(10)은, 회전 테이블과 구동부 등의 구성요소를 지지 또는 고정하도록 지면에 안정된 상태로 마련된 지지본체(12)를 포함할 수 있다.The rotary table 10 may include a support body 12 provided in a stable state on the ground to support or fix components such as a rotary table and a driving unit.

구동부로는 통상의 모터가 채용될 수 있으며, 이 모터의 모터축과 회전 테이블(10)의 회전축이 직접, 또는 감속기 등과 같은 전동기구를 매개로 하여 연결될 수 있다. A normal motor may be employed as the driving unit, and the motor shaft of the motor and the rotation shaft of the rotation table 10 may be directly connected through a transmission mechanism such as a reduction gear or the like.

회전축은 그 하부가 구동부에 연결되어 회전동력을 전달받고, 상단은 회전 테이블(10)의 중심과 연결되어, 회전 테이블과 함께 회전한다. The lower portion of the rotating shaft is connected to the driving unit to receive rotational power, and the upper end is connected to the center of the rotating table 10 to rotate together with the rotating table.

회전 테이블(10)은 회전에 적합하도록 대략 원형의 판 형상으로 마련되는 것이 바람직하나, 반드시 이에 한정되지 않는다. The rotation table 10 is preferably provided in a substantially circular plate shape to be suitable for rotation, but is not limited thereto.

연마재(11)가 회전 테이블(10)의 상면에 부착될 수 있다. 연마재로는 약 60 내지 600 Mash의 사포 등이 채용될 수 있다. 이러한 연마재는 시편(1)의 표면을 매끄럽게 연마하여 시편의 표면 조직 상태를 용이하게 관측할 수 있도록 한다.The abrasive 11 can be attached to the top surface of the rotary table 10. As the abrasive, sandpaper of about 60 to 600 Mash may be employed. The abrasive material smoothly polishes the surface of the specimen 1 so that the surface texture of the specimen can be easily observed.

브리지(20)는 회전 테이블(10)의 지지본체(12)에 설치되어, 연마재(11)를 가로질러 놓일 수 있다. 대략 역U자 형상으로 형성된 브리지는 수평부(21)와, 이 수평부의 양단에 연결된 한 쌍의 다리부(22)를 구비할 수 있다. 각 다리부의 하부에는 이 다리부를 관통하여 삽입되는 고정볼트(23)가 장착되어 있다. Bridge 20 is installed on the support body 12 of the rotary table 10, it can be placed across the abrasive (11). The bridge formed in a substantially inverted U shape may include a horizontal portion 21 and a pair of leg portions 22 connected to both ends of the horizontal portion. A fixing bolt 23 inserted through the leg portion is mounted to the lower portion of each leg portion.

회전 테이블(10)의 지지본체(12)에는, 길게 형성된 안내홈(25)을 가진 가이드 레일(24)이 그 양측면에 설치될 수 있다. 또한, 안내홈(25)에는 적당한 간격을 두고 안내홈의 길이방향으로 배열된 복수의 고정구멍(26)이 형성되어 있으며, 이 고정구멍의 내주면에는 나사산이 형성될 수 있다. On the support body 12 of the rotary table 10, guide rails 24 with elongated guide grooves 25 can be installed on both sides. In addition, a plurality of fixing holes 26 arranged in the longitudinal direction of the guide grooves are formed in the guide groove 25 at appropriate intervals, and threads may be formed on the inner circumferential surface of the fixing holes.

이에 따라, 다리부(22)의 고정볼트(23)가 가이드 레일(24)의 안내홈(25)을 따라 이동한 후 안내홈 내에 배열된 복수의 고정구멍(26) 중 하나에 나사체결됨으로써, 다리부가 고정됨과 더불어 브리지(20)의 위치가 설정될 수 있게 된다. Accordingly, after the fixing bolt 23 of the leg portion 22 moves along the guide groove 25 of the guide rail 24, it is screwed into one of the plurality of fixing holes 26 arranged in the guide groove, In addition to fixing the leg portion, the position of the bridge 20 can be set.

시편고정부(30)는, 브리지(20)의 수평부(21)를 수직하게 관통하여 연장하는 적어도 하나의 연장로드(32); 이 연장로드의 높이를 조절하도록 브리지의 수평부 상에 장착된 클램프(33); 및 연장로드의 하단에 형성되어 시편(1)이 삽입되는 시편홀더(31)를 포함할 수 있다. The specimen fixing part 30 includes: at least one extension rod 32 extending vertically through the horizontal portion 21 of the bridge 20; A clamp 33 mounted on the horizontal portion of the bridge to adjust the height of the extension rod; And it is formed on the bottom of the extension rod may include a specimen holder 31 into which the specimen 1 is inserted.

도 1에는 시편(1)의 안정된 지지를 위하여 한 쌍의 연장로드(32)를 갖춘 시편고정부(30)가 도시되어 있으나, 연장로드의 개수는 반드시 이에 한정되지 않는다. In FIG. 1, the specimen fixing unit 30 is provided with a pair of extension rods 32 for stable support of the specimen 1, but the number of extension rods is not necessarily limited to this.

클램프(33)는, 대략 반원 형상의 단면을 가진 오목홈(35)이 서로 마주보도록 배치되어 일단이 브리지(20)의 수평부(21)에 고정된 한 쌍의 파지부재(34); 및 파지부재의 타단에 형성된 관통공(37)에 삽입되어 체결됨으로써 오목홈들 사이를 지나가는 연장로드(32)를 조임고정할 수 있는 조임구(36)를 포함할 수 있다. The clamp 33 includes a pair of gripping members 34 having one end fixed to the horizontal portion 21 of the bridge 20 so that the concave grooves 35 having a substantially semicircular cross section face each other; And a fastener 36 inserted into and fastened to the through hole 37 formed at the other end of the gripping member to fasten and secure the extension rod 32 passing between the recessed grooves.

조임구(36)로는 관통공(37)에 나사산이 형성된 경우에는 손잡이가 마련된 나사가 사용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않고 예를 들어 임의의 볼트 및 너트 등이 채용되어도 무방하다. When the screw thread is formed in the through hole 37 as the fastener 36, a screw provided with a handle may be used, but is not limited thereto, and any bolt and nut may be employed, for example.

이러한 클램프(33)는, 시편고정부(30)의 연장로드(32)가 브리지(20)의 수평부(21)에 대해 그 높이가 조절된 후 조임구(36)를 사용하여 연장로드를 조임으로써, 연장로드 및 시편고정부의 위치가 고정될 수 있게 한다. In the clamp 33, after the extension rod 32 of the specimen fixing portion 30 is adjusted in height with respect to the horizontal portion 21 of the bridge 20, the extension rod is tightened using a fastener 36. By doing so, the position of the extension rod and the specimen fixing portion can be fixed.

시편홀더(31)는 대략 수평한 원판 형상을 가지면서, 안착구멍(39)이 형성되어 있다. 시편과 안착구멍은 서로 대응되는 형상을 갖는 것이 좋다. 이러한 형상으로는 다각형 또는 타원형 등이 바람직한데, 이러한 형상맞춤에 의해 시편이 시편홀더의 안착구멍 내에서 회전하지 못하게 된다. The specimen holder 31 has a substantially horizontal disk shape, and a seating hole 39 is formed. It is preferable that the specimen and the seating hole have shapes corresponding to each other. Polygon or oval is preferred as the shape, and the shape does not allow the specimen to rotate within the seating hole of the specimen holder.

추가로 시편고정부(30)의 연장로드(32)에서 시편홀더(31)의 반대측에는 사용상의 편의성을 제공하기 위해 손잡이(38)가 형성될 수 있다. In addition, a handle 38 may be formed on the opposite side of the specimen holder 31 from the extension rod 32 of the specimen fixing portion 30 to provide convenience in use.

가압부(40)는, 브리지(20)의 수평부(21)를 수직하게 관통하고, 작동로드(42)를 갖춘 적어도 하나의 액츄에이터(41); 및 작동로드의 단부에 장착되고, 시편홀더(31)에 안착된 시편(1)의 상부면과 마주하여 승강 가능하게 배치된 가압블록(43)을 포함할 수 있다. The pressing part 40, at least one actuator 41 having a working rod 42, vertically penetrating the horizontal part 21 of the bridge 20; And it is mounted on the end of the operating rod, it may include a pressure block 43 disposed to be able to move up and down facing the upper surface of the specimen 1 seated on the specimen holder (31).

액츄에이터(41)로는, 작동로드(42)를 갖추어 이 작동로드를 신장 또는 수축시킴으로써 가압블록(43)을 매개로 하여, 시편홀더(31)에 끼워진 시편(1)에 소정의 가압력을 인가하는 예컨대 유압 또는 공압의 유체압 실린더, 혹은 전기식 액츄에이터 등이 채택될 수 있다. For example, the actuator 41 is provided with a working rod 42 and extends or contracts the working rod to apply a predetermined pressing force to the specimen 1 fitted in the specimen holder 31 via the pressing block 43. Hydraulic or pneumatic fluid pressure cylinders, electric actuators or the like can be employed.

이러한 액츄에이터(41)는 그 작동본체가 브리지(20)의 수평부(21)를 수직하게 관통하여 설치되고 작동로드(42)가 하방으로 신축 가능하도록 배치된다. 작동로드의 단부에는 가압블록(43)의 장착을 위해 고정되게 설치된 고정블록(44)이 추가로 구비될 수 있다. The actuator 41 is installed so that the working body is vertically penetrated through the horizontal portion 21 of the bridge 20 and the working rod 42 is stretchable downward. A fixed block 44 fixedly installed for mounting the pressure block 43 may be additionally provided at an end of the operation rod.

가압블록(43)은, 대략 역U자 형상으로 형성되어 고정홈(46)이 구비된 예컨대 고무 등과 같은 탄성재질의 접촉부(45); 이 접촉부와 작동로드(42)의 단부에 있는 고정블록(44) 사이에 개재된 금속재질의 연결부(47); 및 고정홈 내에 설치되고, 연결부를 관통하여 고정블록에 체결고정되는 고정구(48)를 포함할 수 있다. The pressing block 43 is formed in a substantially inverted U-shape and is provided with a fixing groove 46, for example, a contact portion 45 made of an elastic material such as rubber; A metal connection portion 47 interposed between the contact portion and the fixing block 44 at the end of the operation rod 42; And a fastener 48 installed in the fixing groove and fastened and fixed to the fixing block through the connecting portion.

이러한 가압블록(43)은 작동로드(42)의 하단부에 장착되어 시편(1)의 연마시 시편의 상부면과 직접 접촉하면서 가압하도록 되어 있다. The pressing block 43 is mounted on the lower end of the working rod 42 to be pressed while directly contacting the upper surface of the specimen when the specimen 1 is polished.

추가로 가압블록(43)의 접촉부(45)에는 자성체(49)가 내장될 수 있다. 이에 따라, 시편(1)이 금속재질인 경우에 시편이 가압블록에 부착된 상태로 가압부(40)가 가압블록을 매개로 하여 시편에 가압력을 인가할 수 있게 된다. In addition, the magnetic body 49 may be embedded in the contact portion 45 of the pressing block 43. Accordingly, when the specimen 1 is made of metal, the pressing portion 40 can apply a pressing force to the specimen through the pressing block while the specimen is attached to the pressing block.

또한, 가압부(40)는, 브리지(20)의 수평부(21)에 설치되어 액츄에이터(41)를 작동시키는 작동레버(61)를 더 포함할 수 있다. 이 작동레버는 작동로드(42)의 신축을, 즉 가압블록(43)의 승강을 조작할 수 있다. In addition, the pressing portion 40 may further include an operation lever 61 installed on the horizontal portion 21 of the bridge 20 to operate the actuator 41. This operation lever can operate the expansion and contraction of the operation rod 42, that is, the lifting of the pressure block 43.

액츄에이터(41)가 유압 또는 공압의 유체압 실린더인 경우에는, 이러한 유체압 실린더의 불안정한 유체의 압력을 제어하여 일정한 압력을 유지할 수 있게 하는 적어도 하나의 압력조절부(62)가 더 포함될 수 있다. When the actuator 41 is a hydraulic or pneumatic fluid pressure cylinder, at least one pressure control unit 62 that controls a pressure of the unstable fluid of the fluid pressure cylinder to maintain a constant pressure may be further included.

이러한 압력조절부(62)는 유체압 실린더의 유체압을 검출하여 표시하는 압력계(63)와, 이 압력계를 확인하여 유체압 실린더의 유체압을 조절할 수 있게 하는 조절레버(64)를 포함할 수 있다. The pressure control unit 62 may include a pressure gauge 63 that detects and displays the fluid pressure of the fluid pressure cylinder, and an adjustment lever 64 that checks the pressure gauge to adjust the fluid pressure of the fluid pressure cylinder. have.

미세조정부(50)는 액츄에이터(41)의 작동로드(42)의 단부에 장착된 고정블록(44)에 구비될 수 있다. The fine adjustment unit 50 may be provided on the fixing block 44 mounted at the end of the operation rod 42 of the actuator 41.

도 2에 보다 상세히 도시된 바와 같이, 이러한 미세조정부(50)는, 고정블록(44)에 형성된 복수의 나사구멍(51); 및 각 나사구멍에 삽입되고 관통하여 고정블록에 고정된 가압블록(43)의 연결부(47)와 접촉하는 복수의 조정나사(52)를 포함할 수 있다. As shown in more detail in Figure 2, such a fine adjustment unit 50, a plurality of screw holes 51 formed in the fixing block 44; And a plurality of adjusting screws 52 that are inserted into each screw hole and penetrated to contact the connecting portion 47 of the pressing block 43 fixed to the fixing block.

연마 후 시편(1)을 인출하여 연마된 표면을 살펴보면, 시편의 표면이 평탄하게 연마되지 않고 일측만 불균일하게 연마되는 편연마 현상이 생길 수 있다. When the specimen 1 is taken out after polishing to look at the polished surface, the surface of the specimen may not be polished smoothly, but a polishing phenomenon may occur where only one side is unevenly polished.

이러한 경우에 작업자는 복수의 조정나사(52) 중, 시편에서 연마되지 못한 부위에 해당하는 가압블록(43) 및 고정블록(44) 상의 조정나사를 나사구멍(51)에 더욱 삽입되는 방향으로 회전시킨다. In this case, the operator rotates the adjustment screws on the pressing block 43 and the fixing block 44 corresponding to the unpolished portion of the specimen among the plurality of adjustment screws 52 in the direction to be further inserted into the screw hole 51 Order.

이에 따라, 회전된 조정나사(52)가 고정블록(44)을 관통하여 가압블록(43)의 연결부(47)에 접촉하고 힘을 가하게 됨으로써, 체결고정된 고정블록과 가압블록 사이가 미세하게 벌어진다. Accordingly, the rotated adjustment screw 52 penetrates through the fixing block 44 and contacts the connecting portion 47 of the pressing block 43 and applies a force, so that a fine gap between the fastening fixed block and the pressing block is opened. .

이와 같은 벌어짐으로 인하여 가압블록(43)의 조정된 부위가 시편(1)에 더욱 밀착되게 되고, 이처럼 조정된 상태에서 다시 시편을 연마하게 되면 시편의 편연마 현상이 없어지게 된다. Due to this opening, the adjusted portion of the pressure block 43 is brought into closer contact with the specimen 1, and when the specimen is polished again in this adjusted state, the polishing phenomenon of the specimen is eliminated.

이로써 가압부(40)의 가압블록(43)과 시편(1) 사이의 접촉을 균일하게 유지함과 더불어, 시편(1)과 연마재(11) 사이의 평행이 일정하게 유지되어, 높은 연마 정밀도를 얻을 수 있게 되는 것이다.Accordingly, while maintaining uniform contact between the pressure block 43 of the pressing portion 40 and the specimen 1, the parallel between the specimen 1 and the abrasive 11 is kept constant, thereby obtaining high polishing accuracy. It is possible.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마장치의 작동에 대해 간략히 설명한다. Hereinafter, the operation of the polishing apparatus according to an embodiment of the present invention will be briefly described.

먼저, 작업자는 시편고정부(30)의 손잡이(38)를 잡고서 시편고정부에서 클램프(33)의 조임을 해제한다. 시편고정부의 연장로드(32)를 아래로 내려 회전 테이블(10) 상의 연마재(11)와 닿게 한다. First, the operator holds the handle 38 of the specimen fixing unit 30 to release the clamp 33 from the specimen fixing unit. The extension rod 32 of the specimen fixing portion is lowered down to make contact with the abrasive 11 on the rotary table 10.

가이드 레일(24)을 따라 브리지(20)를 이동시켜 연마 위치를 설정한 후, 브리지의 각 다리부(22)에 있는 고정볼트(23)를 안내홈(25) 내에 배열된 복수의 고정구멍(26) 중 하나에 나사체결하여 브리지를 고정시킨다. After setting the polishing position by moving the bridge 20 along the guide rail 24, a plurality of fixing holes arranged in the guide groove 25 of the fixing bolts 23 in each leg portion 22 of the bridge ( 26) Fix the bridge by screwing on one of them.

연마할 시편(1)을 시편고정부(30)의 시편홀더(31) 내에 안착시킨 다음에, 시편고정부의 손잡이(38)를 잡고 시편이 연마재(11)의 표면에서 살짝 떠오르도록 시편고정부를 들어올린다. 이와 같이 시편고정부의 높이가 조절된 상태에서 클램프(33)의 조임구(36)를 조여 시편고정부의 연장로드(32)를 조임고정한다.After the specimen (1) to be polished is seated in the specimen holder (31) of the specimen fixing portion (30), hold the handle (38) of the specimen fixing portion so that the specimen is slightly raised from the surface of the abrasive (11). Lift up. As described above, by tightening the fastener 36 of the clamp 33 in a state in which the height of the specimen fixing part is adjusted, the extension rod 32 of the specimen fixing part is tightened and fixed.

이어서 작동레버(61)에 의해 가압부(40)의 액츄에이터(41)를 작동시켜 그 작동로드(42)를 신장시킴으로써, 다시 말해 가압블록(43)을 하강시킴으로써 시편(1)의 상부면에 가압력을 인가한다. Subsequently, by actuating the actuator 41 of the pressing portion 40 by the operating lever 61, the working rod 42 is stretched, that is, the pressing block 43 is lowered to press the pressing force on the upper surface of the specimen 1. Is approved.

회전 테이블(10)의 구동부를 작동시켜 회전 테이블과 함께 연마재(11)를 고속으로 회전시키면, 시편(1)의 밑면과 연마재 간의 마찰력에 의해 평탄도를 유지하면서 균일한 연마가 가능하게 된다.When the driving part of the rotating table 10 is operated to rotate the abrasive 11 together with the rotating table at a high speed, uniform polishing is possible while maintaining flatness by friction between the bottom surface of the specimen 1 and the abrasive.

어느 정도 연마한 후 시편(1)을 인출하여 연마된 표면을 살펴보고, 시편의 표면이 평탄하게 연마되지 않으면, 미세조정부(50)를 사용하여 가압블록(43)과 시편(1) 사이의 밀착력을 조정한 후 계속하여 연마공정을 진행한다.After polishing to some extent, the specimen 1 is pulled out to look at the polished surface, and if the surface of the specimen is not polished flat, the adhesion between the pressure block 43 and the specimen 1 using the fine adjustment unit 50 After adjusting, continue the polishing process.

연마 중 연마재(11)의 일부 표면이 과도하게 마모되면, 회전 테이블(10)의 작동을 중지하고 작동레버(61)에 의해 액츄에이터(41)의 작동로드(42)를 수축시킨 다음에, 브리지(20)의 각 다리부(22)에 있는 고정볼트(23)를 풀고 나서 가이드 레일(24)을 따라 브리지를 이동시켜 연마 위치를 재설정한다. If some surface of the abrasive 11 is excessively worn during polishing, the operation of the rotary table 10 is stopped and the working rod 42 of the actuator 41 is contracted by the working lever 61, and then the bridge ( Loosen the fixing bolts 23 on each leg 22 of 20) and then move the bridge along the guide rail 24 to reset the polishing position.

그 후에, 브리지(20)를 고정시키고 가압부(40)의 가압블록(43)을 하강시켜 가압력을 인가한 상태에서 회전 테이블(10)을 다시 작동시킴으로써 계속하여 연마공정을 진행할 수 있다. 이렇게 하여, 연마재(11)의 전체 표면을 골고루 사용할 수 있게 된다. Thereafter, the bridge 20 is fixed and the pressing block 43 of the pressing portion 40 is lowered to operate the rotary table 10 again while applying the pressing force to continue the polishing process. In this way, the entire surface of the abrasive 11 can be used evenly.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 두께가 얇은 박판인 시편을 연마할 때 안전한 작업이 가능하고, 연마공정이 표준화되어 균일한 연마품질의 시편을 생산할 수 있으며, 이로써 실험시 데이터 정합성이 향상되는 효과를 얻을 수 있게 된다. As described above, according to the present invention, when grinding a thin thin specimen, a safe operation is possible, and the polishing process is standardized to produce a specimen of uniform polishing quality, thereby improving the data consistency during the experiment. I can get it.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 명세서 및 도면에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present specification and drawings are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain the technical spirit of the present invention, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims below, and all technical spirits within the equivalent range should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1: 시편 10: 회전 테이블
11: 연마재 20: 브리지
24: 가이드 레일 30: 시편고정부
31: 시편홀더 40: 가압부
43: 가압블록 50: 미세조정부1: Psalm 10: rotating table
11: Abrasive 20: Bridge
24: guide rail 30: specimen fixation
31: specimen holder 40: pressing portion
43: pressure block 50: fine adjustment unit

Claims (12)

연마재를 구비한 회전 테이블;
상기 연마재를 가로질러 놓이는 브리지;
상기 브리지에 높이조절 가능하게 설치되고 시편홀더를 갖춘 시편고정부;
상기 브리지에 설치되어, 상기 시편홀더에 안착된 시편에 가압력을 인가하는 가압부; 및
상기 가압부에 구비되어, 상기 시편과 상기 연마재 사이의 평행을 조정하는 미세조정부
를 포함하고,
상기 가압부는,
상기 브리지의 수평부를 관통하고, 작동로드를 갖춘 적어도 하나의 액츄에이터;
상기 작동로드의 단부에 장착되고, 상기 시편홀더에 안착된 상기 시편의 상부면과 마주하여 승강 가능하게 배치된 가압블록; 및
상기 가압블록의 장착을 위해 상기 작동로드의 단부에 구비된 고정블록
을 포함하며,
상기 가압블록은,
고정홈이 구비된 탄성재질의 접촉부;
상기 접촉부와 상기 고정블록 사이에 개재된 금속재질의 연결부; 및
상기 고정홈 내에 설치되고, 상기 연결부를 관통하여 상기 고정블록에 체결고정되는 고정구
를 포함하는 연마장치.
A rotating table with an abrasive;
A bridge placed across the abrasive;
A specimen fixing unit installed to be adjustable in height on the bridge and equipped with a specimen holder;
A pressing portion installed on the bridge to apply a pressing force to the specimen seated on the specimen holder; And
It is provided on the pressing portion, a fine adjustment unit for adjusting the parallel between the specimen and the abrasive
Including,
The pressing portion,
At least one actuator having a working rod passing through the horizontal portion of the bridge;
A pressurizing block mounted on an end of the working rod and disposed to be elevated and facing the upper surface of the specimen seated on the specimen holder; And
Fixing block provided at the end of the working rod for mounting of the pressing block
It includes,
The pressing block,
An elastic material contact portion provided with a fixing groove;
A metal connection portion interposed between the contact portion and the fixing block; And
A fixture installed in the fixing groove and fastened to the fixing block through the connecting portion
Polishing device comprising a.
제1항에 있어서,
상기 회전 테이블은 지지본체를 포함하고,
상기 브리지는 상기 지지본체에 설치되어, 상기 연마재를 가로질러 놓이는 것을 특징으로 하는 연마장치,
According to claim 1,
The rotary table includes a support body,
The bridge is installed on the support body, characterized in that the polishing device is placed across the abrasive,
제2항에 있어서,
상기 브리지는 상기 수평부와, 상기 수평부의 양단에 연결된 한 쌍의 다리부를 구비하고,
각 다리부의 하부에는 다리부를 관통하여 삽입되는 고정볼트가 장착되며,
상기 지지본체에는 안내홈을 가진 가이드 레일이 설치되고, 상기 안내홈 내에는 길이방향으로 배열된 복수의 고정구멍이 형성되어 있어, 상기 고정볼트가 상기 복수의 고정구멍 중 하나에 나사체결되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
According to claim 2,
The bridge includes the horizontal portion and a pair of leg portions connected to both ends of the horizontal portion,
The lower part of each leg is equipped with a fixing bolt inserted through the leg,
A guide rail having a guide groove is installed in the support body, and a plurality of fixing holes arranged in the longitudinal direction are formed in the guide groove, so that the fixing bolt is screwed into one of the plurality of fixing holes. Polishing device.
제3항에 있어서,
상기 시편고정부는,
상기 브리지의 수평부를 관통하여 연장하는 적어도 하나의 연장로드;
상기 연장로드의 높이를 조절하도록 상기 브리지에 장착된 클램프; 및
상기 연장로드의 하단에 형성되어 상기 시편이 삽입되는 상기 시편홀더
를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
According to claim 3,
The specimen fixing section,
At least one extension rod extending through the horizontal portion of the bridge;
A clamp mounted on the bridge to adjust the height of the extension rod; And
The specimen holder is formed at the bottom of the extension rod is inserted into the specimen
Abrasive device comprising a.
제4항에 있어서,
상기 클램프는,
오목홈이 서로 마주보도록 배치되어 일단이 상기 브리지의 수평부에 고정된 한 쌍의 파지부재; 및
상기 파지부재의 타단에 형성된 관통공에 삽입되어 체결됨으로써 오목홈들 사이를 지나가는 상기 연장로드를 조임고정하는 조임구
를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
The method of claim 4,
The clamp,
A pair of gripping members having concave grooves facing each other and having one end fixed to the horizontal portion of the bridge; And
A fastener that is inserted into a through hole formed at the other end of the gripping member and fastened to tighten and fix the extension rod passing between the recessed grooves.
Abrasive device comprising a.
제4항에 있어서,
상기 시편홀더는 안착구멍이 형성되어 있고,
상기 시편과 상기 안착구멍은 서로 대응되는 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치,
The method of claim 4,
The specimen holder is formed with a seating hole,
The specimen and the seating hole polishing apparatus characterized in that it has a shape corresponding to each other,
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 가압블록의 접촉부에는 자성체가 내장된 것을 특징으로 하는 연마장치.
According to claim 1,
A polishing device characterized in that a magnetic body is embedded in the contact portion of the pressing block.
제1항에 있어서,
상기 액츄에이터는 유체압 실린더이고,
상기 유체압 실린더가 일정한 압력을 유지할 수 있게 하는 적어도 하나의 압력조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
According to claim 1,
The actuator is a fluid pressure cylinder,
And a fluid pressure cylinder further comprising at least one pressure regulating unit to maintain a constant pressure.
제1항에 있어서,
상기 미세조정부는,
상기 고정블록에 형성된 복수의 나사구멍; 및
각 나사구멍에 삽입되고 관통하여 상기 고정블록에 고정된 상기 가압블록의 연결부와 접촉하는 복수의 조정나사
를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
According to claim 1,
The fine adjustment unit,
A plurality of screw holes formed in the fixing block; And
A plurality of adjusting screws inserted into each screw hole and penetrated to contact the connecting portion of the pressing block fixed to the fixing block
Abrasive device comprising a.
제11항에 있어서,
상기 복수의 조정나사 중, 상기 시편에서 연마되지 못한 부위에 해당하는 조정나사를 상기 나사구멍에 더욱 삽입되는 방향으로 회전시켜, 회전된 상기 조정나사가 체결고정된 상기 고정블록과 상기 가압블록 사이를 벌어지게 하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
The method of claim 11,
Among the plurality of adjustment screws, the adjustment screw corresponding to a portion that is not polished in the specimen is rotated in a direction in which it is further inserted into the screw hole, and the rotational adjustment screw is fixed between the fixed block and the pressing block. Polishing device characterized in that the gap.
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