KR102101821B1

KR102101821B1 - Automatic level controller

Info

Publication number: KR102101821B1
Application number: KR1020170092188A
Authority: KR
Inventors: 최만식
Original assignee: 최만식
Priority date: 2017-07-20
Filing date: 2017-07-20
Publication date: 2020-04-20
Also published as: KR20190010769A

Abstract

본 발명은 자동수평조절장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시에에 의하면, 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되거나 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되어 외부로 유출되는 공기량을 적절하게 조절하여 외부진동 등으로 인한 테이블의 수평상태가 해제된 후 다양한 정밀계측장비의 특성에 맞게 테이블의 수평이 복원되는 속도를 적절하게 조절할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to an automatic horizontal adjustment device, according to the practice of the present invention, by properly adjusting the amount of air flowing in or out from the air supply unit or the air supply or the air supply unit or air spring to the outside due to external vibration, etc. After the level of the table is released, it is possible to properly adjust the speed at which the level of the table is restored to suit the characteristics of various precision measuring equipment.

Description

Automatic horizontal control device {AUTOMATIC LEVEL CONTROLLER}

본 발명은 자동수평조절장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic level adjustment device.

일반적으로 생산라인 등의 산업현장에서는 생산라인에서 제조된 반도체 등의 불량을 줄이기 위해 제품을 측정 및 관측하기 위한 다양한 정밀계측장비를 사용하며, 이러한 정밀계측장비로는 현미경, 진원도측정기, 전자저울 및 광학장치 등이 있다.In general, industrial sites such as production lines use various precision measurement equipment to measure and observe products to reduce defects in semiconductors manufactured on production lines, such as microscopes, roundness measuring instruments, electronic scales, etc. And optical devices.

한편, 현미경, 진원도측정기, 전자저울 및 광학장치 등과 같은 정밀계측장비는 반도체 등의 제품을 보다 정밀하게 측정하기 위해 외부 환경요인이 매우 중요하게 작용하는데, 그 중에서도 수평상태를 항상 일정하게 유지시켜줘야 하고 외부 진동을 완벽하게 차단해야만 보다 정밀한 측정이 가능하게 된다.On the other hand, in precision measuring equipment such as microscopes, roundness measuring instruments, electronic scales, and optical devices, external environmental factors are very important to more accurately measure products such as semiconductors, and among them, the horizontal state must always be kept constant. Only when the external vibration is completely blocked, more precise measurement is possible.

한편, 이와 관련된 선행기술로 한국공개실용신안 제20-1992-0009532호(공개일자: 1993. 12. 24일)에는 '수평조절장치'가 개시되어 있다.On the other hand, 'Horizontal adjustment device' is disclosed in Korean Utility Model No. 20-1992-0009532 (published date: December 24, 1993) as a related prior art.

상기 한국공개실용신안은 현미경이나 전자저울과 같은 정밀계측장비를 테이블에 설치할 경우 편심하중의 균형을 위해 레버로 가해지는 하중에 따라 입구측으로 에어탱크의 압축공기와 출구측의 에어스프링의 압축공기에 대한 유압과 유출량의 평형을 이루게 함으로써 테이블의 수평유지와 더불어 외부 진동을 차단할 수 있는 장점이 있다.In the case of the Korean public utility model, when precision measuring equipment such as a microscope or an electronic balance is installed on the table, the compressed air of the air tank toward the inlet side and the compressed air of the air spring on the outlet side according to the load applied by the lever to balance the eccentric load. The balance between the hydraulic pressure and the flow rate of Korea has the advantage of being able to block external vibration as well as maintaining the horizontality of the table.

그러나, 상기 한국공개실용신안은 다양한 정밀계측장비의 특성에 맞게 에어탱크 또는 에어스프링으로부터 유입되거나 에어탱크 또는 에어스프링으로부터 유입되어 외부로 유출되는 공기량을 적절하게 조절할 수 없다는 문제점이 존재한다.However, the Korean public utility model has a problem in that it is not possible to properly control the amount of air flowing into or out of an air tank or air spring or out of the air tank or air spring according to various characteristics of precision measuring equipment.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되거나 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되어 외부로 유출되는 공기량을 적절하게 조절하여 외부진동 등으로 인하여 테이블의 수평상태가 해제된 후 다양한 정밀계측장비의 특성에 맞게 테이블의 수평이 복원되는 속도를 적절하게 조절할 수 있는 자동수평조절장치를 제공하는데 있다.The present invention has been devised to solve the conventional problems as described above, and the object of the present invention is to adjust the amount of air flowing in or out through the air supply unit or the air spring or from the air supply unit or air spring to the outside. It is to provide an automatic leveling device that can properly adjust the speed at which the level of the table is restored according to the characteristics of various precision measuring equipment after the level of the table is released due to vibration.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to this, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일실시예는 에어공급부가 결합되는 유입구와, 상기 유입구와 연통되며 테이블을 지지하는 에어스프링이 결합되는 유출구를 포함하는 본체부; 상기 본체부의 내부에서 이동가능하게 구비되며, 일방향으로 이동되어 상기 에어공급부로부터 상기 본체부의 내부로 에어가 공급되도록 상기 유입구를 개방하고, 상기 에어스프링으로부터 공급되는 에어에 의해 타방향으로 이동되어 상기 유입구를 폐쇄하는 벤트핀; 및 상기 본체부의 외주면에 결합되어 상기 에어공급부로부터 공급되는 에어량을 조절하는 공급조절핀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동수평조절장치를 제공한다.In order to achieve this object, an embodiment of the present invention includes: a main body portion including an inlet port through which an air supply unit is coupled, and an outlet port through which an air spring supporting the table is communicated with the inlet port; It is provided to be movable inside the main body, and opens in the inlet so as to be moved in one direction to supply air from the air supply to the inside of the main body, and is moved in the other direction by air supplied from the air spring to the inlet Vent pin to close; And a supply control pin coupled to the outer circumferential surface of the main body part to adjust the amount of air supplied from the air supply part.

본 발명의 실시에에 의하면, 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되거나 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되어 외부로 유출되는 공기량을 적절하게 조절하여 외부진동 등으로 인하여 테이블의 수평상태가 해제된 후 다양한 정밀계측장비의 특성에 맞게 테이블의 수평이 복원되는 속도를 적절하게 조절할 수 있는 효과가 있다.According to the practice of the present invention, after the horizontal state of the table is released due to external vibration by appropriately adjusting the amount of air flowing in or out of the air supply unit or air spring or flowing out from the air supply unit or air spring, various precision measurement It has the effect of properly adjusting the speed at which the level of the table is restored according to the characteristics of the equipment.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will become apparent to those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 자동수평조절장치가 테이블에 설치된 모습을 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 자동수평조절장치의 사시도이다.
도 3은 도 2의 자동수평조절장치의 분해 사시도이다.
도 4는 도 2의 자동수평조절장치의 내부 구조를 설명하기 위한 단면도 및 부분절개도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 공급조절핀을 설명하기 위한 부분단면도 및 부분절개도이다.
도 6 및 도 7은 도 5의 공급조절핀의 다른 실시예를 설명하기 위한 부분단면도 및 부분절개도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 자동수평조절장치에 의해 수평이 조절되는 과정을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view showing a state in which the automatic level adjustment device according to an embodiment of the present invention is installed on a table.
2 is a perspective view of an automatic level adjustment device according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of the automatic horizontal adjustment device of Figure 2;
4 is a cross-sectional view and a partial cut-away view for explaining the internal structure of the automatic horizontal adjustment device of FIG. 2.
5 is a partial cross-sectional view and a partial cut-away view for explaining the supply control pin according to an embodiment of the present invention.
6 and 7 are partial sectional views and partial cutaway views for explaining another embodiment of the supply control pin of FIG. 5.
8 and 9 are cross-sectional views for explaining a process in which the horizontal is adjusted by the automatic horizontal adjustment device according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail through exemplary drawings. It should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that detailed descriptions of related well-known structures or functions may obscure the subject matter of the present invention, detailed descriptions thereof will be omitted.

또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected to or connected to the other component, but another component between each component It should be understood that elements may be "connected", "coupled" or "connected".

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 자동수평조절장치가 테이블에 설치된 모습을 나타낸 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 자동수평조절장치의 사시도이다. 도 3은 도 2의 자동수평조절장치의 분해 사시도이다. 도 4는 도 2의 자동수평조절장치의 내부 구조를 설명하기 위한 단면도 및 부분절개도이다. 도5는 본 발명의 일실시예에 의한 공급조절핀을 설명하기 위한 부분단면도 및 부분절개도이다. 도 6 및 도 7은 도 5의 공급조절핀의 다른 실시예를 설명하기 위한 부분단면도 및 부분절개도이다. 도 8 및 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 자동수평조절장치에 의해 수평이 조절되는 과정을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view showing a state in which the automatic level adjustment device according to an embodiment of the present invention is installed on a table. 2 is a perspective view of an automatic level adjustment device according to an embodiment of the present invention. 3 is an exploded perspective view of the automatic horizontal adjustment device of Figure 2; 4 is a cross-sectional view and a partial cut-away view for explaining the internal structure of the automatic horizontal adjustment device of FIG. 2. Figure 5 is a partial cross-sectional view and a partial cut-away view for explaining the supply control pin according to an embodiment of the present invention. 6 and 7 are partial sectional views and partial cutaway views for explaining another embodiment of the supply control pin of FIG. 5. 8 and 9 are cross-sectional views for explaining a process in which the horizontal is adjusted by the automatic horizontal adjustment device according to an embodiment of the present invention.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 자동수평조절장치(100)는 레버부(101)와, 상부에 레버부(101)가 구비되되, 에어공급부(102)가 결합되는 유입구(201)와, 유입구(201)와 연통되며 테이블(104)을 지지하는 에어스프링(103)이 결합되는 유입구(401)를 포함하는 본체부(105); 본체부(105)의 내부에서 이동가능하게 구비되며, 일방향으로 이동되어 에어공급부(102)로부터 본체부(105)의 내부로 에어가 공급되도록 유입구(201)를 개방하고, 에어스프링(103)으로부터 공급되는 에어에 의해 타방향으로 이동되어 유입구(201)를 폐쇄하는 벤트핀(301); 본체부(105)의 내부에 구비되며 벤트핀(301)이 상하로 이동되는 벤트핀가이드홀(305)이 형성되는 벤트핀가이드부(307)와, 본체부(105)의 외주면에 결합되어 에어공급부(102)로부터 공급되는 에어량을 조절하는 공급조절핀(323); 및 본체부(105)의 하부면에 설치되는 하부면폐쇄부(107)를 포함하여 구성된다.As shown in these drawings, the automatic horizontal adjustment device 100 according to an embodiment of the present invention is provided with a lever portion 101 and a lever portion 101 on the upper portion, the air supply portion 102 is coupled A main body portion 105 including an inlet port 201 and an inlet port 401 through which the air spring 103 communicating with the inlet port 201 supports the table 104; It is provided to be movable inside the body portion 105, is moved in one direction to open the inlet 201 so that air is supplied from the air supply unit 102 to the interior of the body portion 105, from the air spring 103 A vent pin 301 moving in the other direction by the supplied air to close the inlet 201; The vent pin guide portion 307 is provided inside the main body portion 105 and the vent pin guide hole 305 is formed such that the vent pin 301 moves up and down, and air is coupled to the outer circumferential surface of the main body portion 105. Supply adjustment pin 323 for adjusting the amount of air supplied from the supply unit 102; And a lower surface closing portion 107 installed on the lower surface of the body portion 105.

이하, 도면들을 참조하여 각 구성에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, each configuration will be described in detail with reference to the drawings.

레버부(101)는 일단이 본체부(105)의 상부에 상하로 회동가능하게 결합되고 타단이 테이블(104)의 하부면에 설치되는데, 이러한 레버부(101)는 본체부(105)의 상부에서 힌지축(303)을 기준으로 상하로 회동가능하게 구비되는 레버(207)와, 레버(207)의 일단에 나사결합되는 누름볼트(209)와, 레버(207)의 타단에 나사결합되며 테이블(104)의 하부면과 밀착되는 조절볼트(211)를 포함하여 구성된다.The lever portion 101 is one end is rotatably coupled to the upper portion of the body portion 105 and the other end is installed on the lower surface of the table 104, the lever portion 101 is the upper portion of the body portion 105 In the hinge shaft 303, the lever 207 is provided rotatably up and down, the pressing bolt 209 screwed to one end of the lever 207, and screwed to the other end of the lever 207 table It comprises a control bolt 211 in close contact with the lower surface of the (104).

레버(207)는 본체부(105)의 상부에 힌지축(303)을 통해 상하로 회동가능하게 결합되며, 테이블(104)로부터 전해지는 외력을 조절볼트(211)를 통해 누름볼트(209)로 전달한다.The lever 207 is rotatably coupled up and down through the hinge shaft 303 on the upper portion of the main body 105, and the external force transmitted from the table 104 to the pressing bolt 209 through the adjusting bolt 211 To deliver.

누름볼트(209)는 레버(207)의 일단에 나사결합되며 높이조절 가능하게 구비되는데, 이러한 누름볼트(209)는 본체부(105)의 상부면을 관통하며 테이블(104)의 수평이 해제되어 레버(207)가 하부로 회동되는 경우 본체부(105)의 내부에 구비되는 벤트핀(301)을 하부로 가압한다.The pressing bolt 209 is screwed to one end of the lever 207 and is provided to be height-adjustable. Such a pressing bolt 209 penetrates the upper surface of the main body 105 and the level of the table 104 is released. When the lever 207 is rotated downward, the vent pin 301 provided inside the main body 105 is pressed downward.

조절볼트(211)는 레버(207)의 타단에 나사결합되어 높이조절 가능하게 구비되는데, 이러한 조절볼트(211)는 테이블(104)의 하부면과 밀착되어 테이블(104)의 수평이 해제되는 경우 레버(207)를 상하로 회동시킨다.The adjustment bolt 211 is provided to be screwed to the other end of the lever 207 so that the height can be adjusted. When the adjustment bolt 211 is in close contact with the lower surface of the table 104, the level of the table 104 is released. The lever 207 is rotated up and down.

이어서, 본체부(105)는 제1본체부(309)와 제2본체부(311)를 포함하여 구성된다.Subsequently, the body portion 105 is configured to include a first body portion 309 and a second body portion 311.

제1본체부(309)는 제2본체부(311)의 상부에 나사결합되며 레버(207)가 힌지축(303)을 기준으로 상하 회동되도록 구비되는데, 레버(207)가 힌지축(303)을 기준으로 하부로 회동되는 경우 누름볼트(209)가 벤트핀(301)을 가압할 수 있도록 상부에 관통홀이 형성된다.The first body portion 309 is screwed to the upper portion of the second body portion 311 and the lever 207 is provided to be rotated up and down relative to the hinge shaft 303, the lever 207 is a hinge shaft 303 When rotated to the bottom based on the through-hole is formed in the upper portion so that the pressing bolt 209 can press the vent pin (301).

제2본체부(311)는 에어공급부(102)가 결합되는 유입구(201)와, 상기 유입구(201)와 연통되며 테이블(104)을 지지하는 에어스프링(103)이 결합되는 유출구(401) 및 축방향으로 관통형성되되 유입구(201)와 유출구(401)를 연통시키며, 후술할 벤트핀(301)과 벤트핀가이드부(307)가 수용되는 가이드홀(403)이 형성된다.The second main body part 311 includes an inlet port 201 through which the air supply unit 102 is coupled, an outlet port 401 through which the air spring 103 communicating with the inlet port 201 supports the table 104, and A guide hole 403 is formed in the axial direction to communicate with the inlet 201 and the outlet 401 and accommodates a vent pin 301 and a vent pin guide part 307 to be described later.

유입구(201)는 가이드홀(403)과 연통되도록 제2본체부(311)의 외주면으로부터 관통형성되는데, 이러한 유입구(201)에는 벤트핀(301)이 상부로 이동되는 경우 가이드홀(403)의 내부로 에어를 공급하는 에어공급부(102)가 결합된다.The inlet 201 is formed through the outer circumferential surface of the second main body 311 so as to communicate with the guide hole 403. In this inlet 201, when the vent pin 301 is moved upward, the guide hole 403 The air supply unit 102 for supplying air to the inside is coupled.

유출구(401)는 가이드홀(403)을 통해 유입구(201)와 연통되도록 제2본체부(311)의 외주면에 관통형성되는데, 이러한 유출구(401)에는 벤트핀(301)이 상부로 이동되도록 에어를 공급하는 에어스프링(103)이 결합된다.Outlet 401 is formed through the outer circumferential surface of the second body portion 311 so as to communicate with the inlet 201 through the guide hole 403, the vent pin 301 is moved to the top so that the vent pin 301 is moved upward Air spring 103 for supplying is coupled.

또한, 유출구(401)는 벤트핀(301)이 하부로 이동되어 유입구(201)가 개방되는 경우 에어공급부(102)로부터 가이드홀(403) 내부로 유입되는 에어가 공급되며, 이때, 에어공급부(102)로부터 가이드홀(403) 내부로 유입된 에어는 에어스프링(103)의 내부로 유입된다.In addition, in the outlet 401, when the vent pin 301 is moved downward and the inlet 201 is opened, air introduced into the guide hole 403 is supplied from the air supply unit 102, and at this time, the air supply unit ( The air introduced into the guide hole 403 from 102) flows into the air spring 103.

또한, 제2본체부(311)는 가이드홀(403)의 하단에 개폐홀(405)이 형성되는데, 이러한 개폐홀(405)은 후술할 하부면폐쇄부(107)에 의해 개폐되며, 이때 유입구(201)또한 개폐홀(405)과 함께 개폐된다.In addition, the second main body part 311 is formed with an opening / closing hole 405 at the lower end of the guide hole 403, and the opening / closing hole 405 is opened and closed by a lower surface closing part 107, which will be described later. 201 is also opened and closed with the opening and closing hole 405.

한편, 본 발명의 일실시예에 의한 본체부(105)는 가이드홀(403)을 통해 유출구(401)와 연통되는 벤트홀(213)을 더 포함하는데, 이러한 벤트홀(213)은 에어공급부(102)에 의해 에어스프링(103)이 미리 정해진 부피 이상으로 팽창된 후, 다시 에어스프링(103)으로부터 공급되는 에어를 가이드홀(403)을 통해 외부로 배출시키는 역할을 한다.On the other hand, the body portion 105 according to an embodiment of the present invention further includes a vent hole 213 in communication with the outlet 401 through the guide hole 403, the vent hole 213 is an air supply ( After the air spring 103 expands by a predetermined volume or more by 102), it serves to discharge air supplied from the air spring 103 again through the guide hole 403.

이어서, 벤트핀(301)은 대략 축형상으로 제공되는데, 벤트가이드홀(305)의 내부에서 상하로 이동가능하게 구비되며, 유입구(201)와 가까워지는 방향으로 이동되어 에어공급부(102)로부터 본체부(105)의 내부로 에어가 공급되도록 유입구(201)를 개방하고, 에어스프링(103)으로부터 공급되는 에어에 의해 유입구(201)와 멀어지는 방향으로 이동되어 유입구(201)를 폐쇄하는데, 이러한 벤트핀(301)은 제1벤트홀(407)과 제2벤트홀(313)을 포함하여 구성된다.Subsequently, the vent pin 301 is provided in a substantially axial shape, is provided to be movable up and down inside the vent guide hole 305, is moved in a direction closer to the inlet 201, and is moved from the air supply unit 102 to the main body. The inlet 201 is opened so that air is supplied to the inside of the portion 105, and the air is moved away from the inlet 201 by the air supplied from the 103 to close the inlet 201. The pin 301 includes a first vent hole 407 and a second vent hole 313.

제1벤트홀(407)은 제2벤트홀(313)과 연통되도록 벤트핀(301)의 하부면으로부터 축방향 내측으로 일정 길이만큼 함몰형성되는데, 이러한 제1벤트홀(407)은 에어스프링(103)으로부터 유출구(401)를 거쳐 공급되는 에어가 유입된다.The first vent hole 407 is recessed by a predetermined length in the axial direction from the lower surface of the vent pin 301 so as to communicate with the second vent hole 313. Such a first vent hole 407 is an air spring ( Air supplied through the outlet 401 from 103) is introduced.

제2벤트홀(313)은 제1벤트홀(407)과 연통되도록 벤트핀(301)의 외주면에 형성되며, 에어스프링(103)에 의해 제1벤트홀(407)의 내부로 유입된 에어를 외부로 배출되도록 하는 역할을 한다.The second vent hole 313 is formed on the outer circumferential surface of the vent pin 301 so as to communicate with the first vent hole 407, and the air introduced into the first vent hole 407 by the air spring 103 is removed. It plays a role of letting it discharge to the outside.

이어서, 벤트핀가이드부(307)는 가이드홀더(315)에 의해 가이드홀(403)에 고정결합되며, 벤트핀(301)이 상하로 이동되는 벤트핀가이드홀(305)이 축방향으로 관통형성된다.Subsequently, the bent pin guide portion 307 is fixedly coupled to the guide hole 403 by the guide holder 315, and the bent pin guide hole 305 through which the bent pin 301 moves up and down is formed through the axial direction. do.

이러한 벤트핀가이드부(307)의 구조에대한 일예를 좀더 구체적으로 설명하면, 벤트핀가이드부(307)는 본체부(105)의 내부에 고정결합되며 벤트핀가이드홀(305)이 축방향으로 관통형성되는 가이드본체(317)와, 가이드본체(317)의 외주면으로부터 벤트핀가이드홀(305)로 관통형성되는 제1벤트구(319) 및 가이드본체(317)의 외주면으로부터 벤트핀가이드홀(305)로 관통형성되되 제1벤트구(319)와 일정간격 이격되는 제2벤트구(321)를 포함하여 구성된다.In more detail for an example of the structure of the vent pin guide part 307, the vent pin guide part 307 is fixedly coupled to the inside of the main body 105 and the vent pin guide hole 305 is axially The through-formed guide body 317 and the first vent hole 319 formed through the guide body 317 from the outer circumferential surface to the vent pin guide hole 305 and the guide body 317 from the outer circumferential surface of the bent pin guide hole ( 305), but is formed through a first vent hole 319 and a second vent hole 321 spaced a predetermined distance apart.

제1벤트구(319)는 에어공급부(102)로부터 공급되는 에어가 The first vent port 319 is supplied with air from the air supply unit 102

유출구(401)를 통해 에어스프링(103)의 내부로 공급되게 하거나, 에어스프링(103)으로부터 공급되는 에어가 유출구(401)를 통해 제1벤트홀(407)의 내부로 유입되도록 한다.It is to be supplied to the interior of the air spring 103 through the outlet 401, or air supplied from the air spring 103 is introduced into the interior of the first vent hole 407 through the outlet 401.

제2벤트구(321)는 벤트가이드홀(305)을 통해 제1벤트구(319)와 연통되며, 에어스프링(103)을 통해 제1벤트홀(407)의 내부로 유입된 에어가 제2벤트홀(313)를 거쳐 벤트홀(213)의 외부로 배출되도록 한다.The second vent hole 321 communicates with the first vent hole 319 through the vent guide hole 305, and the air introduced into the first vent hole 407 through the air spring 103 is second. It is discharged to the outside of the vent hole 213 through the vent hole 313.

이어서, 공급조절핀(323)은 본체부(105)의 외주면에 결합되어 에어공급부(102)로부터 공급되는 에어량을 조절하는 역할을 하는데, 이러한 공급조절핀(323)의 구조에 대한 일예를 좀더 구체적으로 설명하면, 공급조절핀(323)은 본체부(105)의 외주면에 나사결합되며, 일방향으로 회전되어 에어공급부(102)로부터 공급되는 에어량을 늘려주거나, 타방향으로 회전되어 에어공급부(102)로부터 공급되는 에어량을 줄여준다.Subsequently, the supply control pin 323 is coupled to the outer circumferential surface of the body portion 105 to serve to control the amount of air supplied from the air supply unit 102, and more specifically, an example of the structure of the supply control pin 323 To be described, the supply adjustment pin 323 is screwed to the outer circumferential surface of the body portion 105, rotated in one direction to increase the amount of air supplied from the air supply unit 102, or rotated in the other direction to supply the air supply unit 102 It reduces the amount of air supplied from.

좀더 구체적으로 본 발명의 일실시예에 의한 공급조절핀(323)은 다양한 공구가 결합되는 조작부(501)와 조작부(501)으로부터 연장되며 제2본체부(311)와 나사결합되는 나사부(503)와 경방향 내측으로 함몰형성되며 실링부재가 구비되는 차단부(505)와 차단부(505)로부터 연장되는 테이퍼부(507)를 포함하여 구성된다.More specifically, the supply control pin 323 according to an embodiment of the present invention extends from the operation unit 501 and the operation unit 501 to which various tools are coupled, and a screw unit 503 that is screwed with the second body unit 311. And a recessed portion formed inward in the radial direction and including a blocking portion 505 provided with a sealing member and a tapered portion 507 extending from the blocking portion 505.

이러한 공급조절핀(323)은 도 5에 도시된 바와 같이 일방향 또는 타방향으로 회전되는 경우 나사부(503)에 의해 제2본체부(311)의 내,외측으로 이동되며 유입구(201)를 일부 폐쇄하거나 개방함으로써 에어공급부(102)로부터 본체부(105)의 내부로 공급되는 에어량 및 에어의 속도를 제어할 수 있다.When the supply control pin 323 is rotated in one direction or the other direction as shown in FIG. 5, it moves to the inside and the outside of the second body part 311 by the screw part 503 and partially closes the inlet port 201 By opening or opening, it is possible to control the amount of air supplied to the interior of the body portion 105 and the air velocity from the air supply unit 102.

한편, 도 6 및 도 7을 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 의한 공급조절핀(601)은 유입구(201)가 폐쇄되도록 본체부(105)의 외주면에 결합되며, 일방향 또는 타방향으로 회전되어 상기 에어공급부(102)로부터 공급되는 에어량이 조절되도록, 경방향 내측으로 공급조절부(603)가 함몰형성된다.Meanwhile, referring to FIGS. 6 and 7, the supply control pin 601 according to another embodiment of the present invention is coupled to the outer circumferential surface of the main body 105 so that the inlet 201 is closed, and is rotated in one direction or the other direction In order to control the amount of air supplied from the air supply unit 102, the supply control unit 603 is recessed in the radial direction.

이러한 구성에 의하면 도 7에 도시된 바와 같이 공급조절핀(601)이 일방향 또는 타방향으로 회전됨에 따라 유입구(201)의 일부를 폐쇄하거나 개방하여 에어공급부(102)로부터 본체부(105)의 내부로 공급되는 에어량 및 에어의 속도를 제어할 수 있다.According to such a configuration, as shown in FIG. 7, as the supply control pin 601 is rotated in one direction or the other direction, a part of the inlet 201 is closed or opened to open the body portion 105 from the air supply unit 102. It is possible to control the amount of air supplied to and the speed of the air.

한편, 도 3을 참조하면, 본 발명에 일실시예에 의한 자동수평조절장치(100)는 에어스프링(103)으로부터 공급된 에어가 밴트홀(213)을 통해 외부로 유출되는 양을 조절하는 유출조절핀(325)을 더 포함하여 구성된다.On the other hand, referring to Figure 3, the automatic horizontal adjustment device 100 according to an embodiment of the present invention to control the amount of air supplied from the air spring 103 flows out through the vent hole 213 It further comprises a control pin 325.

이러한 본 발명의 일실시예 및 다른실시예에 의한 유출조절핀(325,605)는 본 발명의 일실시예에 의한 공급조절핀(323) 또는 다른실시예에 의한 공급조절핀(601)과 동일한 구조로 제공될 수 있다.The outflow control pins 325 and 605 according to one embodiment of the present invention and the other embodiment have the same structure as the supply control pin 323 according to one embodiment of the present invention or the supply control pin 601 according to another embodiment. Can be provided.

다만, 유출조절핀(325,605)은 공급조절핀(323,601)과는 달리 본체부(105)의 내부에 유입된 에어가 외부로 배출되는 양 및 속도를 제어한다.However, unlike the supply control pins 323 and 601, the outflow control pins 325 and 605 control the amount and speed at which air introduced into the main body 105 is discharged to the outside.

이어서, 하부면폐쇄부(107)는 본체부(105)의 하부면에 나사결합되는 스프링홀더(327)와, 스프링홀더(327)의 상부에 구비되는 패킹부재홀더(329)와, 패킹부재홀더(329)에 일부가 삽입되어 벤트핀(301)에 의해 개폐홀(405)을 개폐하는 패킹부재(331) 및 일단이 스프링홀더(327)에 지지되고 타단이 패킹부재홀더(329)에 지지되어 패킹부재(331) 및 패킹부재홀더(329)를 개폐홀(405)과 밀착되는 방향으로 탄성력을 가하는 스프링(333)을 포함하여 구성된다.Subsequently, the lower surface closing portion 107 includes a spring holder 327 screwed to the lower surface of the body portion 105, a packing member holder 329 provided on an upper portion of the spring holder 327, and a packing member holder A packing member 331 that opens and closes the opening / closing hole 405 by a vent pin 301 is partially inserted into the 329 and one end is supported by the spring holder 327, and the other end is supported by the packing member holder 329. The packing member 331 and the packing member holder 329 is configured to include a spring 333 that applies an elastic force in a direction in close contact with the opening and closing hole 405.

이하, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 실시예에 의한 수평조절장치(100)에 의해 테이블(104)의 수평이 조절되는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process in which the level of the table 104 is adjusted by the horizontal adjustment device 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9.

우선 테이블(104)의 수평이 해제되어 레버(207)가 힌지축(303)을 기준으로 하부로 회동되는 경우 누름볼트(209)는 벤트핀(301)을 하부로 가압하고 벤트핀(301)은 패킹부재(331)를 하부로 가압하는데, 이때 유입구(201)가 개방되면서 에어공급부(102)로부터 에어가 본체부(105) 내부로 공급되며, 이렇게 공급된 에어는 벤트핀가이드부(307)의 제1벤트구(319) 및 유출구(401)를 통과하며 에어스프링(103)으로 공급되어 다시 에어스프링(103)을 팽창시킨다.First, when the level of the table 104 is released and the lever 207 is rotated downward based on the hinge axis 303, the pressing bolt 209 presses the vent pin 301 downward and the vent pin 301 When the packing member 331 is pressed downward, air is supplied from the air supply unit 102 into the body unit 105 while the inlet port 201 is opened, and the air thus supplied is supplied to the vent pin guide unit 307. It passes through the first vent port 319 and the outlet port 401 and is supplied to the air spring 103 to inflate the air spring 103 again.

그리고, 에어공급부(102)에 의해 에어스프링(103)이 미리 정해진 부피 이상으로 팽창되는 경우, 에어스프링(103)으로부터 에어가 다시 본체부(105)의 내부로 유입되는데, 이때 본체부(105)의 내부로 유입된 에어는 제1벤트홀(407)의 내로 유입되며 벤트핀(301)을 상부로 이동시키고 다시 벤트핀(301)의 제2벤트구(321)와 벤트핀가이드부(307)의 제2벤트홀(313) 및 벤트홀(213)을 거쳐 외부로 배출된다.Then, when the air spring 103 is expanded to a predetermined volume or more by the air supply unit 102, air is again introduced into the interior of the body unit 105 from the air spring 103, at this time, the body unit 105 The air introduced into the interior of the first vent hole 407 flows into the vent pin 301 upwards, and the second vent hole 321 and the vent pin guide part 307 of the vent pin 301 again. It is discharged to the outside through the second vent hole 313 and the vent hole 213 of the.

에어스프링(103)으로부터 공급된 에어가 벤트홀(213)을 통해 외부로 배출되면, 벤트핀(301)은 다시 하부로 이동되고, 레버(207)는 힌지축(303)을 기준으로 하부로 회동되면서 다시 테이블(104)의 수평이 유지된다.When the air supplied from the air spring 103 is discharged to the outside through the vent hole 213, the vent pin 301 is moved downward again, and the lever 207 is rotated downward based on the hinge shaft 303 As it is, the level of the table 104 is maintained again.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시에에 의하면, 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되거나 에어공급부 또는 에어스프링으로부터 유입되어 외부로 유출되는 공기량을 적절하게 조절하여 외부진동 등으로 인한 테이블의 수평상태가 해제된 후 다양한 정밀계측장비의 특성에 맞게 테이블의 수평이 복원되는 속도를 적절하게 조절할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the practice of the present invention, the horizontal state of the table due to external vibration or the like is adjusted by appropriately adjusting the amount of air flowing in or out of the air supply unit or the air spring or entering the air supply unit or the air spring. After release, it has the effect of properly adjusting the speed at which the level of the table is restored to suit the characteristics of various precision measuring equipment.

이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.In the above, even if all the components constituting the embodiments of the present invention are described as being combined or operated as one, the present invention is not necessarily limited to these embodiments. That is, if it is within the scope of the present invention, all of the components may be selectively combined and operated.

또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.In addition, the terms "include", "consist" or "have" as described above mean that the corresponding component can be inherent, unless specifically stated otherwise, to exclude other components. It should not be interpreted as being able to further include other components. All terms, including technical or scientific terms, have the same meaning as generally understood by a person skilled in the art to which the present invention belongs, unless otherwise defined. Commonly used terms, such as predefined terms, should be interpreted as being consistent with the meaning of the context of the related art, and are not to be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present invention.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims below, and all technical spirits within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100 : 자동수평조절장치
101 : 레버부 102 : 에어공급부
103 : 에어스프링 104 : 테이블
105 : 본체부 107 : 하부면폐쇄부
201 : 유입구 207 : 레버
209 : 누름볼트 211 : 조절볼트
213 : 벤트홀 301 : 벤트핀
303 : 힌지축 305 : 벤트가이드홀
307 : 벤트핀가이드부 309 : 제1본체부
311 : 제2본체부 313 : 제2벤트홀
315 : 가이드홀더 317 : 가이드본체
319 : 제1벤트구 321 : 제2벤트구
323 : 공급조절핀 325 : 유출조절핀
327 : 스프링홀더 329 : 패킹부재홀더
331 : 패킹부재 333 : 스프링
401 : 유출구 403 : 가이드홀
405 : 개폐홀 407 : 제1벤트홀
501 : 조작부 503 : 나사부
505 : 차단부 507 : 테이퍼부
601 : 공급조절핀 603 : 공급조절부100: automatic horizontal adjustment device
101: lever portion 102: air supply
103: air spring 104: table
105: body portion 107: lower surface closing portion
201: inlet 207: lever
209: Pressing bolt 211: Adjusting bolt
213: vent hole 301: vent pin
303: hinge axis 305: vent guide hole
307: vent pin guide section 309: first body section
311: Second main body 313: Second vent hole
315: guide holder 317: guide body
319: First vent zone 321: Second vent zone
323: Supply control pin 325: Outflow control pin
327: spring holder 329: packing member holder
331: packing member 333: spring
401: Outlet 403: Guide hole
405: opening / closing hole 407: first vent hole
501: operation portion 503: screw portion
505: blocking portion 507: tapered portion
601: supply adjustment pin 603: supply adjustment unit

Claims

The main body portion including an inlet to which the air supply unit is coupled, an outlet to communicate with the inlet and an air spring to support the table, and a vent hole formed to communicate with the outlet to discharge air supplied from the air spring to the outside ;
It is provided to be movable inside the main body, and opens in the inlet so as to be moved in one direction so that air is supplied from the air supply to the inside of the main body, and is moved in the other direction by air supplied from the air spring to the inlet Vent pin to close;
A supply control pin coupled to the outer circumferential surface of the main body to adjust the amount of air supplied from the air supply; And
The guide body is fixedly coupled to the inside of the main body portion and the vent pin guide hole in which the vent pin moves up and down is formed in the axial direction, and is formed through the outer peripheral surface of the guide body so as to communicate with the vent pin guide hole and the vent pin When moving in this direction, when the first vent opening communicating with the outlet, and spaced apart from the first vent opening and communicating with the vent pin guide hole, is formed through the outer peripheral surface of the guide body and the vent pin moves in the other direction A vent pin guide part including a second vent hole in communication with the vent hole;
Automatic horizontal adjustment device comprising a.

According to claim 1,
The supply control pin,
It is coupled to the outer circumferential surface of the main body portion so that the cross-sectional area of the inlet is adjusted, it is rotated in one direction to increase the amount of air supplied from the air supply, or rotated in the other direction to reduce the amount of air supplied from the air supply Leveling device.

According to claim 2,
The supply control pin,
Automatic horizontal adjustment device characterized in that the supply adjustment portion is recessed in the radial direction.

delete

According to claim 1,
Automatic horizontal adjustment device, characterized in that it further comprises an outflow control pin for controlling the amount of air supplied from the air spring flows out through the vent hole.