KR102092781B1 - Firefighting structure - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 반도체 제조 라인에서 클린 룸 또는 덕트의 내부 및 외부에 설치되도록, 주름 부위와 주름 부위 대비 상대적으로 평탄한 형상의 매끈한 부위로 이루어지는 주름관, 주름관의 매끈한 부위 상에서 주름관의 단부를 향해 개구되는 슬립너트, 주름관의 단부를 수용하여 슬립 너트에 끼워지는 접속 도관, 및 접속 도관에 연결되는 스프링클러 헤드를 포함한다.The present invention is to be installed inside and outside of a clean room or duct in a semiconductor manufacturing line, a corrugated pipe composed of a smooth portion of a relatively flat shape compared to a corrugated portion and a corrugated portion, and a slip opening toward the end of the corrugated pipe on the smooth portion of the corrugated pipe It includes a nut, a connecting conduit that receives the end of the corrugated pipe and fits into the slip nut, and a sprinkler head connected to the connecting conduit.

Description

소방 구조물{FIREFIGHTING STRUCTURE}Firefighting structure {FIREFIGHTING STRUCTURE}

본 발명은, 반도체 제조 라인에서 클린 룸 또는 덕트의 내부 및 외부에 위치되는 스프링클러 헤드와 주름관의 연결을 쉽게 구현해주는 소방 구조물에 관한 것이다.The present invention relates to a fire fighting structure that easily implements the connection of a sprinkler head and a corrugated pipe located inside and outside a clean room or duct in a semiconductor manufacturing line.

일반적으로, 반도체 제조 라인은 복수의 클린 룸과 개별 클린 룸에 복수의 반도체 제조 장치들을 구비한다. 또한, 상기 반도체 제조 라인은 반도체 제조 장치들을 통해 반도체 기판에 포토 공정과 식각 공정과 증착 공정을 반복적으로 실시하여 반도체 기판에 복수의 반도체 칩을 형성하도록 가동된다. Generally, a semiconductor manufacturing line is provided with a plurality of semiconductor manufacturing devices in a plurality of clean rooms and individual clean rooms. In addition, the semiconductor manufacturing line is operated to repeatedly perform a photo process, an etching process, and a deposition process on a semiconductor substrate through semiconductor manufacturing devices to form a plurality of semiconductor chips on the semiconductor substrate.

여기서, 상기 식각 공정 또는 증착 공정은 개별 반도체 제조 장치에서 복수의 가스로부터 개별 반도체 공정에 적합한 유용한 가스를 추출하여 유용한 가스를 반도체 기판에 반응시키고 반도체 기판에서 반응에 참여 하였거나 반응에 참여하지 않은 가스를 개별 반도체 제조 장치로부터 반도체 제조 라인의 외부에 배출시킨다.Here, the etching process or the deposition process extracts useful gases suitable for individual semiconductor processes from a plurality of gases in an individual semiconductor manufacturing apparatus to react useful gases to the semiconductor substrate and to participate in the reaction or not participate in the reaction in the semiconductor substrate. It is discharged from the individual semiconductor manufacturing apparatus to the outside of the semiconductor manufacturing line.

상기 반도체 제조 라인의 가동 동안, 상기 복수의 가스는 개별 반도체 제조 장치의 반응 챔버에서 제어되지 못한 가스 화학 반응 속도를 통해 반응 챔버의 폭발을 일으켜서 클린 룸의 내부에 화재를 발생시키거나 클린 룸의 외부에서 덕트를 통과하는 배출 가스 중 인화성 물질을 통해 덕트 내 화재를 야기시킬 수 있다.During operation of the semiconductor manufacturing line, the plurality of gases cause an explosion in the reaction chamber through an uncontrolled gas chemical reaction rate in the reaction chamber of the individual semiconductor manufacturing apparatus, causing a fire inside the clean room or outside the clean room. In the exhaust gas passing through the duct, flammable substances can cause fire in the duct.

이 경우에, 상기 화재는 클린 룸 또는 덕트의 내부에서 소방 구조물의 스프링클러 헤드로부터 물 분사를 통해 초기에 진압될 수 있다. 한편, 상기 소방 구조물(35)은 주름관(10)과 브레이드(20)와 금속 링(30)과 피팅관(30A)과 슬립 너트(30B)와 유도관(30C)과 스프링클러 헤드(도면에 미 도시)를 도 1과 같이 구비한다. In this case, the fire may be initially extinguished by spraying water from the sprinkler head of the fire fighting structure inside the clean room or duct. Meanwhile, the fire fighting structure 35 includes a corrugated pipe 10, a braid 20, a metal ring 30, a fitting pipe 30A, a slip nut 30B, an induction pipe 30C, and a sprinkler head (not shown in the drawings) ) As shown in FIG. 1.

상기 주름관(10)은 금속 링(30)에 1차 용접(도면에 미도시)되고 금속 링(30) 이외의 부분에서 브레이드(20)로 덮여진다. 상기 피팅관(30A)은 일 측에서 주름관(10)과 금속 링(30)에 2차 용접(W)되고 타 측에서 요철 형상(도면에 미도시)을 이용하여 슬립 너트(30B)에 고정된다. The corrugated pipe 10 is first welded to a metal ring 30 (not shown in the drawing) and covered with a braid 20 at portions other than the metal ring 30. The fitting pipe 30A is secondary welded to the corrugated pipe 10 and the metal ring 30 on one side (W) and is fixed to the slip nut 30B using an uneven shape (not shown in the drawing) on the other side. .

상기 유도관(30C)은 일 측에서 슬립 너트(30B)에 나선 결합되며 타 측에서 스프링클러 헤드와 결합한다. 여기서, 상기 스프링클러 헤드는 클린 룸 또는 덕트의 내부에 위치되며, 상기 주름관(10)과 브레이드(20)와 금속 링(30)과 피팅관(30A)과 슬립 너트(30B)와 유도관(30C)은 클린 룸 또는 덕트의 외부에 위치된다.The induction pipe 30C is spirally coupled to the slip nut 30B on one side and is coupled with a sprinkler head on the other side. Here, the sprinkler head is located inside a clean room or duct, the corrugated pipe 10 and the braid 20, the metal ring 30, the fitting pipe 30A, the slip nut 30B, and the guide pipe 30C Is located outside the clean room or duct.

따라서, 상기 스프링클러 헤드는 화재 진압을 위해 소방 구조물(35)에서 주름관(10)과 피팅관(30A)과 유도관(30C)을 순차적으로 지나는 물을 받아서 클린 룸 또는 덕트의 내부에 물을 살수시킨다. 그러나, 상기 소방 구조물(35)은 클린 룸 또는 덕트에 설치되기 위해 주름관(10)과 금속 링(30)과 피팅관(30A)에 2번의 반복되는 용접 공정을 적용받아야 한다.Therefore, the sprinkler head receives water passing sequentially through the corrugated pipe 10, the fitting pipe 30A, and the guide pipe 30C from the fire fighting structure 35 for fire extinguishing, and sprinkles water inside the clean room or duct. . However, the fire fighting structure 35 must be subjected to two repeated welding processes on the corrugated pipe 10, the metal ring 30, and the fitting pipe 30A to be installed in a clean room or duct.

상기 용접 공정은 전문가의 용접 기술을 필요로 하고 소방 구조물로부터 누수 방지를 위해 일반인의 설치를 불허하며 용접 관련 자재 소비 증가와 용접 인력 충원 관련 인건비 증가에 따른 소방 구조물의 제조 단가 상승을 야기시킨다. 상기 소방 구조물은 한국 공개특허공보 제10-2013-0007821호에 유사하게 개시되고 있다.The welding process requires expert welding technology, disallows the installation of the general public to prevent leakage from fire fighting structures, and increases the manufacturing cost of fire fighting structures due to an increase in welding-related material consumption and an increase in labor costs related to filling of welding manpower. The fire fighting structure is similarly disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2013-0007821.

한국 공개특허공보 제10-2013-0007821호Korean Patent Publication No. 10-2013-0007821

본 발명은, 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 반도체 제조 라인에서 클린 룸 또는 덕트의 내부 및 외부에 위치되는 스프링클러 헤드와 주름관의 연결을 위해 용접 공정을 최소화시키거나 전문가 아닌 일반인에게도 설치를 쉽게 허락하는데 적합한 소방 구조물을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the problems of the prior art, and minimizes the welding process for the connection of sprinkler heads and corrugated pipes located inside and outside of a clean room or duct in a semiconductor manufacturing line, or is installed even to a general person who is not an expert. The aim is to provide firefighting structures suitable for easy permitting.

본 발명에 따른 소방 구조물은, 주름 부위와 상기 주름 부위 대비 상대적으로 평탄한 형상의 매끈한 부위로 이루어지는 주름관; 상기 주름관의 상기 매끈한 부위 상에서 상기 주름관의 단부를 향해 개구되는 슬립너트; 상기 주름관의 상기 단부를 수용하여 상기 슬립 너트에 끼워지는 접속 도관; 및 상기 접속 도관에 연결되는 스프링클러 헤드를 포함하고, 상기 접속 도관은, 상기 주름관으로부터 상기 스프링클러 헤드를 향해 점진적으로 작아지는 직경을 가지고, 상기 슬립 너트와 제1 미터 가는 나사(metric fine screw thread)를 통해 그리고 상기 스프링 클러 헤드와 제1 관용 테이퍼 나사(taper pipe thread)를 통해 연결되고, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 적어도 하나의 이음관으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The fire fighting structure according to the present invention includes a corrugated pipe composed of a corrugated portion and a smooth portion having a relatively flat shape compared to the corrugated portion; A slip nut opening toward the end of the corrugated pipe on the smooth portion of the corrugated pipe; A connecting conduit that accommodates the end of the corrugated pipe and fits into the slip nut; And a sprinkler head connected to the connecting conduit, the connecting conduit having a diameter that gradually decreases from the corrugated pipe toward the sprinkler head, and the slip nut and the first metric fine screw thread. And through the sprinkler head and a first piper pipe thread, wherein at least one fitting tube is formed between the corrugated pipe and the sprinkler head.

상기 소방 구조물은, 상기 주름관의 상기 주름 부위를 둘러싸는 금속 직조로 이루어진 브레이드와, 상기 주름관의 상기 주름 부위 가까이에서 상기 주름관의 상기 매끈한 부위의 중도 확관부를 통해 접촉되는 금속 링을 더 포함할 수 있다.The fire fighting structure may further include a braid made of a metal weave surrounding the corrugated portion of the corrugated pipe, and a metal ring that comes into contact with the mid-expanded portion of the smooth portion of the corrugated pipe near the corrugated portion of the corrugated pipe. have.

상기 소방 구조물은, 상기 슬립 너트 아래에서, 상기 접속 도관과 상기 슬립 너트 사이에, 상기 주름관의 상기 단부로부터 상기 주름 부위를 향해 순차적으로 위치되는 각링과 'ㄴ'자형 절연링을 더 포함하고, 상기 주름관은 상기 각링과 상기 절연링 사이에 위치되는 단말 확관부를 가지고, 상기 절연링은 상기 슬립 너트로부터 노출시킬 수 있다.The fire fighting structure further includes an angular ring and a 'b'-shaped insulating ring, which are sequentially positioned under the slip nut, between the connecting conduit and the slip nut, from the end of the corrugated pipe toward the corrugated portion, and The corrugated pipe has a terminal expanding portion located between the angle ring and the insulating ring, and the insulating ring can be exposed from the slip nut.

상기 접속 도관은 상기 주름관으로부터 상기 스프링클러 헤드를 향해 순차적으로 위치되는 소켓 이음관과 성형 이음관으로 이루어지고, 상기 소켓 이음관은 상기 주름관의 길이 방향을 따라서 상기 성형 이음관보다 더 작은 길이를 가지고, 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관은 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 또는 티그(TIG) 용접을 통해 연결될 수 있다.The connecting conduit is composed of a socket fitting tube and a forming fitting tube which are sequentially positioned from the corrugating tube toward the sprinkler head, and the socket fitting tube has a smaller length than the forming fitting tube along the longitudinal direction of the corrugating tube, The socket joint and the molded joint may be connected through a second pipe taper screw or through a TIG welding.

상기 소켓 이음관은, 상기 주름관의 상기 단부를 수용하면서 상기 슬립 너트에 끼워지고, 상기 제1 미터 가는 나사를 통해 상기 슬립 너트에 나선 결합될 수 있다.The socket fitting tube may be fitted to the slip nut while receiving the end of the corrugated pipe, and may be spirally coupled to the slip nut through the first metric fine screw.

상기 성형 이음관은, 상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 소켓 이음관에 수용되어 상기 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 소켓 이음관에 나선 결합될 수 있다.The molded fitting tube may be accommodated in the socket fitting tube opposite the slip nut and spirally coupled to the socket fitting tube through the second pipe taper screw.

상기 성형 이음관은, 상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 소켓 이음관에 수용되며 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관 사이에서 상기 소켓 이음관에 티그(TIG) 용접될 수 있다.The molded fitting is accommodated in the socket fitting on the opposite side of the slip nut and can be tig welded (TIG) to the socket fitting between the socket fitting and the molded fitting.

상기 성형 이음관은, 상기 소켓 이음관과 상기 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 연결되는 때, 상기 소켓 이음관 가까이에서 그리고 상기 스프링클러 헤드 가까이에서 보다 상기 성형 이음관의 중앙 영역에서 더 큰 직경을 가질 수 있다.The molded fitting can have a larger diameter in the central region of the molded fitting than when connected through the socket fitting and the second piper screw, near the socket fitting and near the sprinkler head. have.

상기 성형 이음관은, 상기 소켓 이음관과 상기 티그 용접을 통해 연결되는 때, 상기 성형 이음관의 길이 방향을 따라 동일한 직경을 가질 수 있다.The molded fittings may have the same diameter along the length direction of the molded fittings when connected to the socket fittings through the tig welding.

상기 성형 이음관은 상기 소켓 이음관의 맞은 편에서 상기 제1 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 스프링클러 헤드와 나선 결합할 수 있다. The molded joint can be spirally coupled to the sprinkler head through the first piper screw on the opposite side of the socket joint.

상기 소방 구조물은 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 상기 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 연결되는 때, 상기 성형 이음관 상에 위치되어 반도체 제조 라인의 클린 룸의 천장과 결합하는 고정 브라켓을 더 포함하고, 상기 스프링클러 헤드는 상기 천장으로부터 돌출되어 상기 클린 룸의 내부에 노출될 수 있다.The fire fighting structure further includes a fixing bracket positioned on the forming fitting to engage the ceiling of a clean room of a semiconductor manufacturing line when the socket fitting and the forming fitting are connected through the second pipe taper screw. And, the sprinkler head may protrude from the ceiling and be exposed inside the clean room.

상기 소방 구조물은 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 상기 티그 용접을 통해 연결되는 때, 상기 소켓 이음관 상에서 제2 미터 가는 나사를 통해 상기 소켓 이음관과 나선 결합하며 반도체 제조 라인의 클린 룸의 천장에 고정되는 고정 브라켓을 더 포함하고, 상기 스프링클러 헤드는 상기 천장으로부터 돌출되어 상기 클린 룸의 내부에 노출될 수 있다.The fire fighting structure spirally engages the socket fitting through a second meter fine screw on the socket fitting when the socket fitting and the molded fitting are connected through the TIG welding, and the Further comprising a fixing bracket fixed to the ceiling, the sprinkler head may protrude from the ceiling and be exposed to the interior of the clean room.

상기 접속 도관은 상기 주름관으로부터 상기 스프링클러 헤드를 향해 순차적으로 위치되는 소켓 이음관과 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 위치되는 성형 이음관으로 이루어질 수 있다.The connection conduit may be formed of a socket joint and a molded joint that are sequentially positioned from the corrugated pipe toward the sprinkler head, or a molded joint that is positioned between the corrugated pipe and the sprinkler head.

상기 소켓 이음관은, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 위치되는 때, 상기 주름관의 길이 방향을 따라서 상기 성형 이음관보다 더 작은 길이를 가질 수 있다.The socket fitting tube may have a smaller length than the molded fitting tube along the longitudinal direction of the corrugated pipe when the socket fitting pipe and the molded fitting pipe are positioned between the corrugated pipe and the sprinkler head.

상기 소켓 이음관은, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 위치되는 때, 상기 주름관의 상기 단부를 수용하면서 상기 슬립 너트에 끼워지고, 상기 제1 미터 가는 나사를 통해 상기 슬립 너트에 나선 결합될 수 있다.The socket fitting tube is inserted into the slip nut while receiving the end of the corrugated tube and the first meter fine screw is inserted between the corrugated tube and the sprinkler head while the socket fitting tube and the molded fitting tube are located. Through the slip nut can be spirally coupled.

상기 성형 이음관은, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 위치되는 때, 상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 소켓 이음관에 수용되어 제3 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 소켓 이음관에 나선 결합될 수 있다.The molded fitting pipe is accommodated in the socket fitting pipe opposite the slip nut when the socket fitting pipe and the molded fitting pipe are positioned between the corrugated pipe and the sprinkler head, and through the third pipe tapered screw, It can be spirally coupled to the socket fitting.

상기 성형 이음관은, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때, 상기 슬립 너트에 수용되어 상기 제1 미터 가는 나사를 통해 상기 슬립 너트에 나선 결합될 수 있다.When the molded fitting is positioned between the corrugated pipe and the sprinkler head, the molded fitting pipe may be accommodated in the slip nut and spirally coupled to the slip nut through the first metric fine screw.

상기 성형 이음관은, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때, 상기 슬립 너트 가까이에서 그리고 상기 스프링클러 헤드 가까이에서 보다 상기 성형 이음관의 중앙 영역에서 더 큰 직경을 가질 수 있다.The molded fitting tube is located near the slip nut and when the molded fitting tube is located between the corrugated pipe and the sprinkler head, between the socket joint and the molded pipe, or between the corrugated pipe and the sprinkler head, and the sprinkler. It can have a larger diameter in the central region of the molded joint than near the head.

상기 성형 이음관은, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때, 상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 제1 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 스프링클러 헤드와 나선 결합할 수 있다.The molded fitting pipe is located on the opposite side of the slip nut when the socket fitting pipe and the molded fitting pipe, or the molded fitting pipe is positioned between the corrugated pipe and the sprinkler head, between the corrugated pipe and the sprinkler head. The sprinkler head may be spirally coupled to the first piper screw.

상기 소방 구조물은, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때, 상기 스프링클러 헤드를 덮어 상기 성형 이음관을 향해 연장하는 적어도 하나의 투명 커버 부재, 그리고 상기 성형 이음관의 외주면에 상기 투명 커버 부재를 고정시키면서 반도체 제조 라인의 클린 룸으로부터 외부를 향해 가스를 배출시키는 덕트에 나사 부재를 통해 고정되는 위치 결정 부재를 더 포함하고, 상기 스프링클러 헤드와 상기 투명 커버 부재는 상기 덕트에 삽입되어 상기 덕트의 내부에 노출될 수 있다.The fire fighting structure covers the molded joint by covering the sprinkler head when the socket joint and the molded joint between the corrugated pipe and the sprinkler head or the molded joint is located between the corrugated pipe and the sprinkler head. At least one transparent cover member extending toward the position, and fixing the transparent cover member to the outer circumferential surface of the molded fitting while positioning the screw member to a duct that discharges gas outward from the clean room of the semiconductor manufacturing line through the screw member Further comprising a member, the sprinkler head and the transparent cover member may be inserted into the duct and exposed inside the duct.

상기 슬립 너트는 상기 각링과 상기 절연링을 'ㄱ'자형으로 덮어 상기 제1 미터 가는 나사를 통해 상기 접속 도관과 나선 결합하면서 상기 주름관의 상기 단말 확관부를 상기 각링과 상기 절연링 사이에 구속시킬 수 있다.The slip nut covers the angle ring and the insulation ring with an 'A' shape and constrains the terminal expansion portion of the corrugated pipe between the angle ring and the insulating ring while spirally engaging the connection conduit through the first meter thin screw. You can.

본 발명은, 반도체 제조 라인에서 클린 룸 또는 덕트의 내부 및 외부에 위치되는 스프링클러 헤드와 주름관 사이에 접속 도관으로써 성형 이음관과 소켓 이음관을 구비하여 주름관과 소켓 이음관과 성형 이음관과 스프링클러 헤드를 나선 결합시키므로 전문가 아닌 일반인에게도 소방 구조물의 설치를 쉽게 허락할 수 있다.The present invention is provided in the semiconductor manufacturing line as a connecting conduit between a sprinkler head and a corrugated pipe located inside and outside of a clean room or duct, provided with a molded fitting pipe and a socket fitting pipe, and a corrugated pipe, socket fitting pipe, molded fitting pipe and sprinkler head. By combining the spirals, it is easy to allow the installation of firefighting structures to the general public, not to experts.

본 발명은, 반도체 제조 라인에서 클린 룸의 내부 및 외부에 위치되는 스프링클러 헤드와 주름관 사이에 접속 도관으로써 성형 이음관과 소켓 이음관을 구비하여 주름관과 소켓 이음관을 나선 결합시키고 소켓 이음관과 성형 이음관을 용접 결합시키고 성형 이음관과 스프링클러 헤드를 나선 결합시키므로 소방 구조물에 적용되는 용접 공정을 최소화시킬 수 있다.In the present invention, the semiconductor manufacturing line includes a splicing pipe and a socket joint as a connecting conduit between a sprinkler head and a corrugated pipe located inside and outside of a clean room, spirally coupling the corrugated pipe and the socket joint, and forming the socket joint with the pipe. The welding process applied to firefighting structures can be minimized by welding joints to the joints and helical bonding of the molded joints and the sprinkler head.

본 발명은, 반도체 제조 라인에서 덕트의 내부 및 외부에 위치되는 스프링클러 헤드와 주름관 사이에 접속 도관으로써 성형 이음관을 구비하여 주름관과 성형 이음관과 스프링클러 헤드를 나선 결합시키므로 전문가 아닌 일반인에게도 소방 구조물의 설치를 쉽게 허락할 수 있다.In the present invention, the semiconductor manufacturing line is provided with a molded fitting pipe as a connection conduit between a sprinkler head and a corrugated pipe located inside and outside of a duct. Installation can be easily permitted.

도 1은 종래 기술에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 이미지이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 2의 'A1' 영역과 도 3의 'A2' 영역을 보여주는 확대도이다.
도 5는 도 3의 'B' 영역을 보여주는 확대도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이다.1 is an image partially showing a fire fighting structure according to the prior art.
2 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a second embodiment of the present invention.
4 is an enlarged view showing an area 'A1' of FIG. 2 and an area 'A2' of FIG. 3.
5 is an enlarged view showing an area 'B' of FIG. 3.
6 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a third embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a fourth embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시 예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시 예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시 예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시 예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시 예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.For a detailed description of the present invention, which will be described later, reference is made to the accompanying drawings that illustrate specific embodiments in which the present invention may be practiced. These embodiments are described in detail enough to enable those skilled in the art to practice the present invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, the specific shapes, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in relation to one embodiment. In addition, it should be understood that the location or placement of individual components within each disclosed embodiment can be changed without departing from the spirit and scope of the invention. Therefore, the following detailed description is not intended to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if appropriately described, is limited only by the appended claims, along with all ranges equivalent to those claimed. In the drawings, similar reference numerals refer to the same or similar functions across various aspects, and length, area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시 예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings in order to enable those skilled in the art to easily implement the present invention.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이다. 2 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a second embodiment of the present invention.

또한, 도 4는 도 2의 'A1' 영역과 도 3의 'A2' 영역을 보여주는 확대도이며, 도 5는 도 3의 'B' 영역을 보여주는 확대도이다. 도 2 내지 도 5의 소방 구조물은 반도체 제조 라인에서 클린 룸의 내부 및 외부에 배치된다.In addition, FIG. 4 is an enlarged view showing the area 'A1' of FIG. 2 and the area 'A2' of FIG. 3, and FIG. 5 is an enlarged view showing the area 'B' of FIG. 3. The fire fighting structures of FIGS. 2 to 5 are disposed inside and outside the clean room in the semiconductor manufacturing line.

도 2 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 소방 구조물(162)은, 주름관(10)과 브레이드(20)와 금속 링(30)과 절연링(40)과 각링(50)과 슬립 너트(70)와 접속 도관(92)과 스프링 클러 헤드(122)를 포함한다. 상기 주름관(10)은 주름 부위(2)와 주름 부위(2) 대비 상대적으로 평탄한 형상의 매끈한 부위(8)로 도 2와 같이 이루어진다.2 and 4, the fire fighting structure 162 according to the first embodiment of the present invention includes a corrugated pipe 10, a braid 20, a metal ring 30, an insulating ring 40, and an angle ring 50 ), Slip nut 70, connecting conduit 92, and sprinkler head 122. The corrugated pipe 10 is formed as shown in FIG. 2 as a smooth portion 8 having a relatively flat shape compared to the corrugated portion 2 and the corrugated portion 2.

상기 브레이드(20)는 주름관(10)의 주름 부위(2)를 둘러싸는 금속 직조로 이루어진다. 상기 브레이드(20)는 주름관(10)의 길이 방향의 신장을 제한하고 외부 충격으로부터 주름관(10)을 보호한다. 여기서, 상기 주름관(10)과 브레이드(20)는 스테인레스 재질로 이루어진다. The braid 20 is made of a metal weave surrounding the corrugated portion 2 of the corrugated tube 10. The braid 20 limits the elongation in the longitudinal direction of the corrugated pipe 10 and protects the corrugated pipe 10 from external impact. Here, the corrugated pipe 10 and the braid 20 are made of stainless material.

상기 금속 링(30)은 주름관(10)의 주름 부위(2) 가까이에서 주름관(10)의 매끈한 부위(8)의 중도 확관부(4)를 통해 도 2와 같이 접촉된다. 상기 절연링(40)과 각링(50)은 슬립 너트(70) 아래에서, 접속 도관(92)과 슬립 너트(70) 사이에, 주름관(10)의 단부로부터 주름 부위(2)를 향해 도 4와 같이 순차적으로 위치된다. The metal ring 30 is contacted as shown in FIG. 2 through the middle expansion tube 4 of the smooth portion 8 of the corrugated pipe 10 near the corrugated portion 2 of the corrugated pipe 10. The insulating ring 40 and the angle ring 50 are located below the slip nut 70, between the connecting conduit 92 and the slip nut 70, from the end of the corrugated pipe 10 toward the corrugated portion 2, FIG. It is placed sequentially.

상기 절연링(40)은 'ㄴ'자형으로 이루어져 일 측을 통해 주름관(10)의 외주면으로부터 솟아 오르고 타 측을 통해 주름관(10)의 외주면을 따라 연장한다. 여기서, 상기 주름관(10)은 각링(50)과 절연링(40) 사이에 위치되는 단말 확관부(6)를 갖는다. 상기 절연링(40)은 슬립 너트(70)로부터 도 4와 같이 노출된다.The insulating ring 40 is formed of a 'b' shape so as to rise from the outer circumferential surface of the corrugated pipe 10 through one side and extend along the outer circumferential surface of the corrugated pipe 10 through the other side. Here, the corrugated pipe 10 has a terminal expanding portion 6 positioned between each ring 50 and the insulating ring 40. The insulating ring 40 is exposed from the slip nut 70 as shown in FIG. 4.

상기 슬립 너트(70)는 주름관(10)의 매끈한 부위(8) 상에서 주름관(10)의 단부를 향해 도 2와 같이 개구된다. 상기 접속 도관(92)은 주름관(10)의 단부를 수용하여 슬립 너트(70)에 도 2와 같이 끼워진다. 상기 스프링클러 헤드(122)는 접속도관(92)에 연결된다. 여기서, 상기 접속 도관(92)은, 주름관(10)으로부터 스프링클러 헤드(122)를 향해 점진적으로 작아지는 직경을 갖는다. The slip nut 70 opens on the smooth portion 8 of the corrugated pipe 10 toward the end of the corrugated pipe 10 as shown in FIG. 2. The connecting conduit 92 accommodates the end of the corrugated pipe 10 and fits into the slip nut 70 as shown in FIG. 2. The sprinkler head 122 is connected to a connection conduit 92. Here, the connecting conduit 92 has a diameter that gradually decreases from the corrugated pipe 10 toward the sprinkler head 122.

상기 접속 도관(92)은, 슬립 너트(70)와 제1 미터 가는 나사(metric fine screw thread)를 통해 그리고 스프링클러 헤드(122)와 제1 관용 테이퍼 나사(taper pipe thread)를 통해 연결된다. 상기 접속 도관(92)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(122) 사이에 두 개의 이음관으로 이루어진다.The connecting conduit 92 is connected to the slip nut 70 through a first metric fine screw thread and through a sprinkler head 122 through a first taper pipe thread. The connecting conduit 92 is composed of two joints between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 122.

좀 더 상세하게는, 접속 도관(92)은 주름관(10)으로부터 스프링클러 헤드(122)를 향해 순차적으로 위치되는 소켓 이음관(62)과 성형 이음관(82)으로 이루어진다. 상기 소켓 이음관(62)은 주름관(10)의 길이 방향을 따라서 성형 이음관(82)보다 더 작은 길이를 갖는다.More specifically, the connecting conduit 92 is made up of a socket fitting tube 62 and a forming fitting tube 82 that are sequentially positioned from the corrugated pipe 10 toward the sprinkler head 122. The socket fitting tube 62 has a smaller length than the molded fitting tube 82 along the longitudinal direction of the corrugated pipe 10.

상기 소켓 이음관(62)과 성형 이음관(62)은 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 연결된다. 상기 소켓 이음관(62)은, 주름관(10)의 단부를 수용하면서 슬립 너트(70)에 끼워지고, 제1 미터 가는 나사를 통해 슬립 너트(70)에 나선 결합된다.The socket fitting tube 62 and the molded fitting tube 62 are connected through a second pipe taper screw. The socket fitting tube 62 is fitted to the slip nut 70 while receiving the end of the corrugated pipe 10, and is spirally coupled to the slip nut 70 through a first metric thin screw.

여기서, 상기 슬립 너트(70)는 각링(50)과 절연링(40)을 'ㄱ'자형으로 덮어 제1 미터 가는 나사를 통해 접속 도관(92), 예를 들면 소켓 이음관(62)과 나선 결합하면서 주름관(10)의 단말 확관부(6)를 각링(50)과 절연링(40) 사이에 구속시킨다.Here, the slip nut 70 covers each ring 50 and the insulating ring 40 in an 'A' shape and spirals with a connection conduit 92, for example, a socket fitting 62 through a first meter thin screw. While engaging, the terminal expansion portion 6 of the corrugated pipe 10 is restrained between each ring 50 and the insulating ring 40.

상기 성형 이음관(82)은, 슬립 너트(70)의 맞은 편에서 소켓 이음관(62)에 수용되어 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 소켓 이음관(62)에 나선 결합된다. 상기 성형 이음관(82)은, 소켓 이음관(62)과 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 연결되는 때, 소켓 이음관(62) 가까이에서 그리고 스프링클러 헤드(122) 가까이에서 보다 성형 이음관(82)의 중앙 영역에서 더 큰 직경을 갖는다.The molded fitting tube 82 is accommodated in the socket fitting tube 62 on the opposite side of the slip nut 70 and spirally coupled to the socket fitting tube 62 through a second pipe tapered screw. The molded fitting 82 is formed more closely than the socket fitting 62 and the sprinkler head 122 when connected through the socket fitting 62 and the second pipe taper screw. It has a larger diameter in the central region.

상기 성형 이음관(82)은 소켓 이음관(62)의 맞은 편에서 제1 관용 테이퍼 나사를 통해 스프링클러 헤드(122)와 나선 결합한다.The molded fitting tube 82 spirally couples with the sprinkler head 122 through a first piper screw on the opposite side of the socket fitting tube 62.

한편, 상기 소방 구조물은(162), 소켓 이음관(62)과 성형 이음관(82)이 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 연결되는 때, 성형 이음관(82) 상에 위치되어 반도체 제조 라인의 클린 룸의 천장(도면에 미도시)과 결합하는 고정 브라켓(114)을 더 포함한다.On the other hand, when the fire fighting structure 162, the socket fitting tube 62 and the forming fitting tube 82 are connected through the second pipe taper screw, they are located on the forming fitting tube 82 to clean the semiconductor manufacturing line. It further includes a fixing bracket 114 that is coupled to the ceiling of the room (not shown in the figure).

상기 고정 브라켓(114)은 성형 이음관(82) 상에서 성형 이음관(82)의 양 측부를 향해 날개 형상으로 돌출하여 성형 이음관(82)에 용접되고, 고정 홀(112)을 통해 클린 룸의 천정과 결합한다. 여기서, 상기 스프링클러 헤드(122)는 천장으로부터 돌출되어 클린 룸의 내부에 노출된다.The fixing bracket 114 protrudes in the shape of a wing toward both sides of the forming fitting tube 82 on the forming fitting tube 82 and is welded to the forming fitting tube 82, through the fixing hole 112 of the clean room Combine with the ceiling. Here, the sprinkler head 122 protrudes from the ceiling and is exposed inside the clean room.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 소방 구조물(164)은, 도 2 및 도 4의 소방 구조물(162)과 구조적으로 유사하나, 접속 도관(94)에서 소방 구조물(162)과 다른 구조를 갖는다. 상기 접속 도관(94)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(122) 사이에 두 개의 이음관으로 이루어진다.3 to 5, the fire fighting structure 164 according to the second embodiment of the present invention is structurally similar to the fire fighting structure 162 of FIGS. 2 and 4, but the fire fighting structure at the connecting conduit 94 It has a different structure from 162. The connecting conduit 94 is composed of two joints between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 122.

즉, 상기 접속 도관(94)은 주름관(10)으로부터 스프링클러 헤드(124)를 향해 순차적으로 위치되는 소켓 이음관(64)과 성형 이음관(84)으로 도 3과 같이 이루어진다. 상기 소켓 이음관(64)은 주름관(10)의 길이 방향을 따라서 성형 이음관(84)보다 더 작은 길이를 갖는다. That is, the connecting conduit 94 is formed as shown in FIG. 3 with a socket fitting 64 and a forming fitting 84 positioned sequentially from the corrugated pipe 10 toward the sprinkler head 124. The socket fitting tube 64 has a smaller length than the molded fitting tube 84 along the longitudinal direction of the corrugated pipe 10.

상기 소켓 이음관(64)과 성형 이음관(84)은 도 2의 제2 관용 테이퍼 나사 대신에 티그(TIG) 용접을 통해 도 5와 같이 연결된다. 좀 더 상세하게는, 상기 성형 이음관(84)은, 슬립 너트(70)의 맞은 편에서 소켓 이음관(64)에 수용되며 소켓 이음관(64)과 성형 이음관(84) 사이에서 소켓 이음관(64)에 티그 용접된다.The socket joint 64 and the molded joint 84 are connected as shown in FIG. 5 through TIG welding instead of the second pipe taper screw of FIG. 2. More specifically, the molded fitting tube 84 is accommodated in the socket fitting tube 64 on the opposite side of the slip nut 70 and is socket-joined between the socket fitting tube 64 and the molded fitting tube 84. The tube 64 is tig welded.

여기서, 상기 성형 이음관(84)은, 소켓 이음관(64)과 티그 용접을 통해 연결되는 때, 성형 이음관(84)의 길이 방향을 따라 동일한 직경을 도 4와 같이 갖는다. 한편, 상기 소방 구조물(164)은, 소켓 이음관(64)과 성형 이음관(84)이 티그 용접을 통해 연결되는 때, 소켓 이음관(64) 상에서 제2 미터 가는 나사를 통해 소켓 이음관(64)과 나선 결합하며 반도체 제조 라인의 클린 룸의 천장에 고정되는 고정 브라켓(118)을 도 4 또는 도 5와 같이 더 포함한다. Here, the molded fitting pipe 84 has the same diameter as shown in FIG. 4 along the longitudinal direction of the molded fitting pipe 84 when connected to the socket fitting pipe 64 through the tig welding. On the other hand, the firefighting structure 164, when the socket fitting 64 and the molded fitting 84 are connected through teg welding, the socket fitting through the second meter thin screw on the socket fitting 64 (( 64) and further includes a fixing bracket 118 fixed to the ceiling of the clean room of the semiconductor manufacturing line and spirally coupled as shown in FIG. 4 or FIG.

상기 고정 브라켓(118)은 고정 홀(116)을 통해 클린 룸의 천정과 결합한다. 여기서, 상기 스프링클러 헤드(124)는 천장으로부터 돌출되어 클린 룸의 내부에 노출된다.The fixing bracket 118 is coupled to the ceiling of the clean room through the fixing holes 116. Here, the sprinkler head 124 protrudes from the ceiling and is exposed inside the clean room.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 소방 구조물을 부분적으로 보여주는 단면도이다. 6 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional view partially showing a fire fighting structure according to a fourth embodiment of the present invention.

이 경우에, 도 6 및 도 7의 소방 구조물은 반도체 제조 라인에서 덕트의 내부 및 외부에 배치된다.In this case, the fire fighting structures of FIGS. 6 and 7 are disposed inside and outside the duct in the semiconductor manufacturing line.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 소방 구조물(166)은, 도 2 및 도 4의 소방 구조물(162)과 구조적으로 유사하나, 접속 도관(96)과 스프링클러 헤드(126)에서 그리고 접속 도관(96)과 스프링클러 헤드(126) 주변에서 소방 구조물(162)과 다른 구조를 갖는다. 우선적으로, 상기 접속 도관(96)은 주름관(10)으로부터 스프링클러 헤드(126)를 향해 순차적으로 위치되는 소켓 이음관(86)과 성형 이음관(86)으로 이루어진다.Referring to FIG. 6, the fire fighting structure 166 according to the third embodiment of the present invention is structurally similar to the fire fighting structure 162 of FIGS. 2 and 4, but has a connection conduit 96 and a sprinkler head 126. In and around the connection conduit 96 and sprinkler head 126, it has a different structure from the firefighting structure 162. Preferentially, the connecting conduit 96 consists of a socket fitting 86 and a forming fitting 86 which are sequentially positioned from the corrugated pipe 10 towards the sprinkler head 126.

상기 소켓 이음관(66)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(126) 사이에 소켓 이음관(66)과 성형 이음관(86)이 위치되는 때, 주름관(10)의 길이 방향을 따라서 성형 이음관(86)보다 더 작은 길이를 갖는다. 상기 소켓 이음관(66)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(126) 사이에 소켓 이음관(66)과 성형 이음관(86)이 위치되는 때, 주름관(10)의 단부를 수용하면서 슬립 너트(70)에 끼워지고, 제1 미터 가는 나사를 통해 슬립 너트(70)에 나선 결합된다.The socket fitting pipe 66 is formed between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 126 when the socket fitting pipe 66 and the molded fitting pipe 86 are positioned, along the longitudinal direction of the corrugated pipe 10. It has a smaller length than the tube 86. The socket fitting pipe 66, while the socket fitting pipe 66 and the molded fitting pipe 86 are positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 126, slip nut while receiving the end of the corrugated pipe 10 It fits into the (70) and is spirally coupled to the slip nut (70) through a first meter fine screw.

상기 소방 구조물(166)의 'A3' 영역에서, 상기 주름관(10)과 소켓 이음관(66)과 슬립 너트(70)는 도 4의 주름관(10)과 소켓 이음관(62)과 슬립 너트(70)와 동일하게 슬립 너트(70) 아래에서 각링(50)과 절연링(40) 사이에 주름관(10)의 단말 확관부(6)를 구속시킨다. 상기 성형 이음관(86)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(126) 사이에 소켓 이음관(66)과 성형 이음관(86)이 위치되는 때, 슬립 너트(70)의 맞은 편에서 소켓 이음관(66)에 수용되어 제3 관용 테이퍼 나사를 통해 소켓 이음관(66)에 나선 결합된다.In the area 'A3' of the fire fighting structure 166, the corrugated pipe 10, the socket fitting pipe 66 and the slip nut 70 are corrugated pipe 10, the socket fitting pipe 62 and the slip nut of FIG. In the same manner as 70), the terminal expansion portion 6 of the corrugated pipe 10 is constrained between the angle ring 50 and the insulating ring 40 under the slip nut 70. The molded joint 86 is a socket joint on the opposite side of the slip nut 70 when the socket joint 66 and the molded joint 86 are positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 126. It is accommodated in the tube 66 and spirally coupled to the socket fitting tube 66 through a third taper screw.

상기 성형 이음관(86)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(126) 사이에 소켓 이음관(66)과 성형 이음관(86)이 위치되는 때, 슬립 너트(70) 가까이에서 그리고 스프링클러 헤드(126) 가까이에서 보다 성형 이음관(86)의 중앙 영역에서 더 큰 직경을 갖는다. 상기 성형 이음관(86)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(126) 사이에 소켓 이음관(66)과 성형 이음관(86)이 위치되는 때, 슬립 너트(70)의 맞은 편에서 제1 관용 테이퍼 나사를 통해 스프링클러 헤드(126)와 나선 결합한다.The molded joint 86 is located near the slip nut 70 and when the socket joint 66 and the molded joint 86 are positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 126, and the sprinkler head ( 126) has a larger diameter in the central region of the forming fitting 86 than near. The molded fitting 86 is the first opposite the slip nut 70 when the socket fitting 66 and the molded fitting 86 are positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 126. The sprinkler head 126 is spirally coupled through a piper screw.

한편, 상기 소방 구조물(166)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(126) 사이에 소켓 이음관(66)과 성형 이음관(86)이 위치되는 때, 스프링클러 헤드(126)를 덮어 성형 이음관(86)을 향해 연장하는 적어도 하나의 투명 커버 부재(130), 그리고 성형 이음관(86)의 외주면에 투명 커버 부재(130)를 고정시키면서 반도체 제조 라인의 클린 룸으로부터 외부를 향해 가스를 배출시키는 덕트에 나사 부재(150)를 통해 고정되는 위치 결정 부재(140)를 더 포함한다.Meanwhile, the fire fighting structure 166 covers the sprinkler head 126 when the socket joint 66 and the molded joint 86 are positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 126. At least one transparent cover member 130 extending toward 86, and fixing the transparent cover member 130 to the outer circumferential surface of the molded fitting tube 86 while discharging gas from the clean room of the semiconductor manufacturing line toward the outside The duct further includes a positioning member 140 fixed through the screw member 150.

여기서, 상기 스프링클러 헤드(126)와 투명 커버 부재(130)는 덕트에 삽입되어 덕트의 내부에 노출된다.Here, the sprinkler head 126 and the transparent cover member 130 are inserted into the duct and exposed inside the duct.

도 7을 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 소방 구조물(168)은, 도 2 및 도 4의 소방 구조물(162)과 구조적으로 유사하나, 접속 도관(98)과 스프링클러 헤드(128)에서 그리고 접속 도관(98)과 스프링클러 헤드(128) 주변에서 소방 구조물(166)과 다른 구조를 갖는다. 즉, 상기 접속 도관(98)은 주름관(10)과 스프링클러 헤드(128) 사이에 위치되는 성형 이음관(88)으로 이루어진다. 상기 성형 이음관(88)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(128) 사이에 성형 이음관(98)이 위치되는 때, 슬립 너트(70)에 수용되어 제1 미터 가는 나사를 통해 슬립 너트(70)에 나선 결합된다. Referring to FIG. 7, the fire fighting structure 168 according to the fourth embodiment of the present invention is structurally similar to the fire fighting structure 162 of FIGS. 2 and 4, but has a connection conduit 98 and a sprinkler head 128. In and around the connection conduit 98 and sprinkler head 128, it has a different structure from the firefighting structure 166. That is, the connecting conduit 98 is made of a molded joint 88 positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 128. The molded fitting 88 is accommodated in the slip nut 70 when the molded fitting 98 is positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 128, and the slip nut ( 70).

상기 소방 구조물(166)의 'A4' 영역에서, 상기 주름관(10)과 성형 이음관(98)과 슬립 너트(70)는 도 4의 주름관(10)과 소켓 이음관(62)과 슬립 너트(70)와 동일하게 슬립 너트(70) 아래에서 각링(50)과 절연링(40) 사이에 주름관(10)의 단말 확관부(6)를 구속시킨다. 상기 성형 이음관(88)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(128) 사이에 성형 이음관(88)이 위치되는 때, 슬립 너트(70) 가까이에서 그리고 스프링클러 헤드(128) 가까이에서 보다 성형 이음관(88)의 중앙 영역에서 더 큰 직경을 갖는다. In the area 'A4' of the fire fighting structure 166, the corrugated pipe 10, the molded joint 98 and the slip nut 70 are corrugated pipe 10, the socket joint 62 and the slip nut of FIG. In the same manner as 70), the terminal expansion portion 6 of the corrugated pipe 10 is constrained between the angle ring 50 and the insulating ring 40 under the slip nut 70. The molded joint 88 is more molded joint near the slip nut 70 and near the sprinkler head 128 when the molded joint 88 is positioned between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 128. It has a larger diameter in the central region of the tube 88.

상기 성형 이음관(88)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(128) 사이에 성형 이음관(88)이 위치되는 때, 슬립 너트(70)의 맞은 편에서 제1 관용 테이퍼 나사를 통해 스프링클러 헤드(128)와 나선 결합한다. 한편, 상기 소방 구조물(168)은, 주름관(10)과 스프링클러 헤드(128) 사이에 성형 이음관(88)이 위치되는 때, 스프링클러 헤드(128)를 덮어 성형 이음관(88)을 향해 연장하는 적어도 하나의 투명 커버 부재(130), 그리고 성형 이음관(88)의 외주면에 투명 커버 부재(130)를 고정시키면서 반도체 제조 라인의 클린 룸으로부터 외부를 향해 가스를 배출시키는 덕트에 나사 부재(150)를 통해 고정되는 위치 결정 부재(140)를 더 포함한다.The molded joint tube 88, when the molded joint tube 88 is located between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 128, the sprinkler head through the first pipe taper screw opposite the slip nut 70 Combine with 128. On the other hand, the fire fighting structure 168, when the forming joint 88 is located between the corrugated pipe 10 and the sprinkler head 128, covers the sprinkler head 128 and extends toward the forming joint 88 At least one transparent cover member 130 and a screw member 150 in a duct that discharges gas from the clean room of the semiconductor manufacturing line to the outside while fixing the transparent cover member 130 to the outer peripheral surface of the molded fitting tube 88 It further includes a positioning member 140 that is fixed through.

여기서, 상기 스프링클러 헤드(128)와 투명 커버 부재(130)는 덕트에 삽입되어 덕트의 내부에 노출된다.Here, the sprinkler head 128 and the transparent cover member 130 are inserted into the duct and exposed inside the duct.

10; 주름관, 20; 브레이드
30; 금속 링, 62; 소켓 이음관
82; 성형 이음관, 92; 접속 도관
114; 고정 브라켓, 122; 스프링클러 헤드
162; 소방 구조물10; Corrugated tube, 20; Braid
30; Metal ring, 62; Socket fitting
82; Molded fitting, 92; Connection conduit
114; Fixing bracket, 122; sprinkler head
162; Fire fighting structures

Claims (21)

주름 부위와 상기 주름 부위 대비 상대적으로 평탄한 형상의 매끈한 부위로 이루어지는 주름관;
상기 주름관의 상기 주름 부위를 둘러싸는 금속 직조로 이루어진 브레이드;
상기 주름관의 상기 주름 부위 가까이에서 상기 주름관의 상기 매끈한 부위의 중도 확관부를 통해 접촉되는 금속 링;
상기 주름관의 상기 매끈한 부위 상에서 상기 주름관의 단부를 향해 개구되는 슬립너트;
상기 주름관의 상기 단부를 수용하여 상기 슬립 너트에 끼워지는 접속 도관; 및
상기 접속 도관에 연결되는 스프링클러 헤드를 포함하고,
상기 접속 도관은,
상기 주름관으로부터 상기 스프링클러 헤드를 향해 점진적으로 작아지는 직경을 가지고, 상기 슬립 너트와 제1 미터 가는 나사(metric fine screw thread)를 통해 그리고 상기 스프링 클러 헤드와 제1 관용 테이퍼 나사(taper pipe thread)를 통해 연결되고, 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 적어도 하나의 이음관으로 이루어지고, 상기 접속 도관이 두 개의 이음관으로 이루어지는 때, 상기 주름관의 길이 방향을 따라 상기 슬립 너트로부터 이격하여 상기 스프링클러 헤드 가까이에서 두 개의 이음관을 관용 테이퍼 나사 또는 용접 부재에 의해 연결시키는 소방 구조물.
A corrugated pipe composed of a wrinkled portion and a smooth portion having a relatively flat shape compared to the wrinkled portion;
A braid made of a metal weave surrounding the corrugated portion of the corrugated tube;
A metal ring in contact with the mid-expansion portion of the smooth portion of the corrugated pipe near the corrugated portion of the corrugated pipe;
A slip nut opening toward the end of the corrugated pipe on the smooth portion of the corrugated pipe;
A connecting conduit that accommodates the end of the corrugated pipe and fits into the slip nut; And
And a sprinkler head connected to the connection conduit,
The connection conduit,
With a diameter gradually decreasing from the corrugated pipe toward the sprinkler head, through the slip nut and the first metric fine screw thread and through the sprinkler head and the first piper pipe thread It is connected through, and is made of at least one joint between the corrugated pipe and the sprinkler head, and when the connecting conduit is composed of two joint pipes, spaced apart from the slip nut along the longitudinal direction of the corrugated pipe and close to the sprinkler head Fire fighting structure in which two joints are connected by pipe tapered screws or welding elements.
삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 접속 도관은 상기 주름관으로부터 상기 스프링클러 헤드를 향해 순차적으로 위치되는 소켓 이음관과 성형 이음관으로 이루어지고,
상기 소켓 이음관은 상기 주름관의 길이 방향을 따라서 상기 성형 이음관보다 더 작은 길이를 가지고,
상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관은 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 또는 티그(TIG) 용접을 통해 연결되는 소방 구조물.
According to claim 1,
The connecting conduit consists of a socket joint and a molded joint that are sequentially positioned from the corrugated pipe toward the sprinkler head,
The socket joint has a smaller length than the molded joint along the longitudinal direction of the corrugated pipe,
The socket joint pipe and the molded joint pipe are connected to the fire protection structure through a second pipe taper screw or through a tig (TIG) welding.
제4 항에 있어서,
상기 소켓 이음관은,
상기 주름관의 상기 단부를 수용하면서 상기 슬립 너트에 끼워지고,
상기 제1 미터 가는 나사를 통해 상기 슬립 너트에 나선 결합되는 소방 구조물.
According to claim 4,
The socket fitting,
It is fitted to the slip nut while receiving the end of the corrugated pipe,
A fire fighting structure spirally coupled to the slip nut through the first meter fine screw.
제4 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 소켓 이음관에 수용되어 상기 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 소켓 이음관에 나선 결합되는 소방 구조물.
According to claim 4,
The molded joint tube,
A fire fighting structure accommodated in the socket fitting tube opposite the slip nut and spirally coupled to the socket fitting tube through the second pipe taper screw.
제4 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 소켓 이음관에 수용되며 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관 사이에서 상기 소켓 이음관에 티그(TIG) 용접되는 소방 구조물.
According to claim 4,
The molded joint tube,
A fire-fighting structure accommodated in the socket fitting at the opposite side of the slip nut and tigged (TIG) to the socket fitting between the socket fitting and the molded fitting.
제4 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 소켓 이음관과 상기 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 연결되는 때,
상기 소켓 이음관 가까이에서 그리고 상기 스프링클러 헤드 가까이에서 보다 상기 성형 이음관의 중앙 영역에서 더 큰 직경을 가지는 소방 구조물.
According to claim 4,
The molded joint tube,
When connected through the socket fitting tube and the second pipe taper screw,
A fire fighting structure having a larger diameter in the central region of the molded fitting than near the socket fitting and near the sprinkler head.
제4 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 소켓 이음관과 상기 티그 용접을 통해 연결되는 때,
상기 성형 이음관의 길이 방향을 따라 동일한 직경을 가지는 소방 구조물.
According to claim 4,
The molded joint tube,
When connected through the socket fitting and the tig welding,
A fire fighting structure having the same diameter along the longitudinal direction of the molded fitting tube.
제8 항 또는 제9 항에 있어서,
상기 성형 이음관은 상기 소켓 이음관의 맞은 편에서 상기 제1 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 스프링클러 헤드와 나선 결합하는 소방 구조물.
The method of claim 8 or 9,
The molded joint is a fire fighting structure that spirally couples with the sprinkler head through the first piper screw on the opposite side of the socket joint.
제4 항에 있어서,
상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 상기 제2 관용 테이퍼 나사를 통해 연결되는 때, 상기 성형 이음관 상에 위치되어 반도체 제조 라인의 클린 룸의 천장과 결합하는 고정 브라켓을 더 포함하고,
상기 스프링클러 헤드는 상기 천장으로부터 돌출되어 상기 클린 룸의 내부에 노출되는 소방 구조물.
According to claim 4,
When the socket fitting and the molded fitting are connected through the second pipe taper screw, they further include a fixing bracket positioned on the molded fitting to engage the ceiling of a clean room in a semiconductor manufacturing line,
The sprinkler head protrudes from the ceiling and is exposed to the interior of the clean room.
제4 항에 있어서,
상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 상기 티그 용접을 통해 연결되는 때, 상기 소켓 이음관 상에서 제2 미터 가는 나사를 통해 상기 소켓 이음관과 나선 결합하며 반도체 제조 라인의 클린 룸의 천장에 고정되는 고정 브라켓을 더 포함하고,
상기 스프링클러 헤드는 상기 천장으로부터 돌출되어 상기 클린 룸의 내부에 노출되는 소방 구조물.
According to claim 4,
When the socket joint and the molded joint are connected through the TIG welding, the socket joint is spirally coupled to the socket joint through a second meter fine screw on the socket joint and fixed to the ceiling of a clean room in a semiconductor manufacturing line Further comprising a fixing bracket,
The sprinkler head protrudes from the ceiling and is exposed to the interior of the clean room.
제1 항에 있어서,
상기 접속 도관은 상기 주름관으로부터 상기 스프링클러 헤드를 향해 순차적으로 위치되는 소켓 이음관과 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 위치되는 성형 이음관으로 이루어지는 소방 구조물.
According to claim 1,
The connecting conduit is a firefighting structure comprising a socket joint and a molded joint that are sequentially positioned from the corrugated pipe toward the sprinkler head, or a molded joint that is positioned between the corrugated pipe and the sprinkler head.
제13 항에 있어서,
상기 소켓 이음관은,
상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 위치되는 때,
상기 주름관의 길이 방향을 따라서 상기 성형 이음관보다 더 작은 길이를 가지는 소방 구조물.
The method of claim 13,
The socket fitting,
When the socket joint pipe and the molded joint pipe are located between the corrugated pipe and the sprinkler head,
A fire fighting structure having a length smaller than that of the molded fitting along the longitudinal direction of the corrugated pipe.
제13 항에 있어서,
상기 소켓 이음관은,
상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 위치되는 때,
상기 주름관의 상기 단부를 수용하면서 상기 슬립 너트에 끼워지고,
상기 제1 미터 가는 나사를 통해 상기 슬립 너트에 나선 결합되는 소방 구조물.
The method of claim 13,
The socket fitting,
When the socket joint pipe and the molded joint pipe are located between the corrugated pipe and the sprinkler head,
It is fitted to the slip nut while receiving the end of the corrugated pipe,
A fire fighting structure spirally coupled to the slip nut through the first meter fine screw.
제13 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관이 위치되는 때,
상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 소켓 이음관에 수용되어 제3 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 소켓 이음관에 나선 결합되는 소방 구조물.
The method of claim 13,
The molded joint tube,
When the socket joint pipe and the molded joint pipe are located between the corrugated pipe and the sprinkler head,
A fire fighting structure accommodated in the socket fitting tube opposite the slip nut and spirally coupled to the socket fitting tube through a third pipe taper screw.
제13 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때,
상기 슬립 너트에 수용되어 상기 제1 미터 가는 나사를 통해 상기 슬립 너트에 나선 결합되는 소방 구조물.
The method of claim 13,
The molded joint tube,
When the molded joint pipe is located between the corrugated pipe and the sprinkler head,
A firefighting structure accommodated in the slip nut and spirally coupled to the slip nut through the first meter fine screw.
제13 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때,
상기 슬립 너트 가까이에서 그리고 상기 스프링클러 헤드 가까이에서 보다 상기 성형 이음관의 중앙 영역에서 더 큰 직경을 가지는 소방 구조물.
The method of claim 13,
The molded joint tube,
When the socket joint tube and the molded joint tube or the molded joint tube is located between the corrugated pipe and the sprinkler head,
A firefighting structure having a larger diameter in the central region of the forming fitting than near the slip nut and near the sprinkler head.
제13 항에 있어서,
상기 성형 이음관은,
상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때,
상기 슬립 너트의 맞은 편에서 상기 제1 관용 테이퍼 나사를 통해 상기 스프링클러 헤드와 나선 결합하는 소방 구조물.
The method of claim 13,
The molded joint tube,
When the socket joint and the molded joint between the corrugated pipe and the sprinkler head, or when the molded joint is located between the corrugated pipe and the sprinkler head,
A fire fighting structure spirally engaging the sprinkler head through the first piper screw on the opposite side of the slip nut.
제13 항에 있어서,
상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 소켓 이음관과 상기 성형 이음관, 또는 상기 주름관과 상기 스프링클러 헤드 사이에 상기 성형 이음관이 위치되는 때,
상기 스프링클러 헤드를 덮어 상기 성형 이음관을 향해 연장하는 적어도 하나의 투명 커버 부재, 그리고 상기 성형 이음관의 외주면에 상기 투명 커버 부재를 고정시키면서 반도체 제조 라인의 클린 룸으로부터 외부를 향해 가스를 배출시키는 덕트에 나사 부재를 통해 고정되는 위치 결정 부재를 더 포함하고,
상기 스프링클러 헤드와 상기 투명 커버 부재는 상기 덕트에 삽입되어 상기 덕트의 내부에 노출되는 소방 구조물.


The method of claim 13,
When the socket joint tube and the molded joint tube or the molded joint tube is located between the corrugated pipe and the sprinkler head,
A duct that covers the sprinkler head and at least one transparent cover member extending toward the molded fitting tube, and a duct that discharges gas from the clean room of the semiconductor manufacturing line to the outside while fixing the transparent cover member on the outer peripheral surface of the molded fitting tube. Further comprising a positioning member to be fixed through the screw member,
The sprinkler head and the transparent cover member are inserted into the duct and exposed to the inside of the duct.


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