KR102082833B1 - Fluid transfering device - Google Patents

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KR102082833B1 KR1020190103776A KR20190103776A KR102082833B1 KR 102082833 B1 KR102082833 B1 KR 102082833B1 KR 1020190103776 A KR1020190103776 A KR 1020190103776A KR 20190103776 A KR20190103776 A KR 20190103776A KR 102082833 B1 KR102082833 B1 KR 102082833B1
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박근배
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Abstract

A fluid transfer apparatus according to one embodiment of the present invention may comprise: a housing in which a flow path for transferring fluid is formed therein; a fan including a fan frame installed in the flow path of the housing and having both end units opened in a fluid transfer direction side, and a plurality of blades positioned on the inner circumferential surface of the fan frame spaced apart from each other and protruding from the inner circumferential surface of the fan frame respectively; a rotation driving unit for rotating the fan; and a rotation support unit installed between the inner peripheral surface of the housing and the outer peripheral surface of the fan frame to support rotation of the fan.

Description

유체 이송 장치{FLUID TRANSFERING DEVICE}Fluid transfer device {FLUID TRANSFERING DEVICE}

본 발명은 유체 이송 장치로, 보다 구체적으로, 반도체 제조공정의 유해가스 배기시스템 등에 설치되어 유체 흐름을 원활하게 하는 유체 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid transfer apparatus, and more particularly, to a fluid transfer apparatus installed in a noxious gas exhaust system of a semiconductor manufacturing process to facilitate fluid flow.

반도체 제조 공정에서 발생하여 외부로 배기되는 부식성의 유해가스는 인체에 해로울 뿐만 아니라 배기 라인의 내구성에도 문제를 발생시키므로, 유해가스를 배기 시스템을 통하여 정화 후에 배기시킬 필요가 있다. Corrosive harmful gases generated in the semiconductor manufacturing process and exhausted to the outside are not only harmful to the human body but also cause problems in the durability of the exhaust line. Therefore, it is necessary to exhaust the harmful gases after purification through the exhaust system.

유해가스 배기시스템은 메인 덕트와, 메인 덕트로부터 분기되는 복수의 분기관과, 분기관에 연결되어 있는 스크러버로 이루어지며, 스크러버를 거쳐 정화된 배기가스가 분기관을 거쳐 메인 덕트에 합류하여 배기되도록 구성되어 있다. The noxious gas exhaust system is composed of a main duct, a plurality of branch pipes branching from the main duct, and a scrubber connected to the branch pipe, and the exhaust gas purified through the scrubber joins the main duct through the branch pipe and is exhausted. Consists of.

그런데, 배기시스템의 증설 등으로 분기관 내에서의 배기가스 유동속도가 저하되는 경우에, 분기관 내에서의 배기가스 유동 속도를 가속시키기 위한 다양한 시도가 있었다. By the way, in the case where the exhaust gas flow rate in the branch pipe is lowered due to the expansion of the exhaust system, various attempts have been made to accelerate the exhaust gas flow rate in the branch pipe.

예를 들어, 분기관 내의 일부 유동 단면적을 줄여 유동을 가속시키거나, 분기관 벽면에 별도의 유체 흐름을 형성하여 배기가스의 유동을 원활하게 하는 방안의 경우, 분기관의 직경이 작은 경우에는 일부 효과가 있지만, 실제 공정에 사용되는 80mm 이상의 직경을 가지는 분기관에서는 효과가 미미하였다. For example, in the case of reducing flow cross-sectional area in the branch pipe to accelerate the flow, or forming a separate fluid flow on the wall of the branch pipe to smooth the flow of exhaust gas, Although effective, the effect was insignificant in branch tubes with diameters of 80 mm or more used in actual processes.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여, 유체 흐름을 원활하게 할 수 있는 유체 이송 장치를 제공하고자 한다.In order to solve this problem, the present invention is to provide a fluid transfer device that can smooth the flow of fluid.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치는 유체를 이송하는 유로가 내부에 형성되는 하우징과, 하우징의 유로에 설치되며 유체 이송 방향측 양단부가 개구되어 있는 팬프레임 및 팬프레임의 내주면에 복수개가 서로 이격되어 위치되며 팬프레임의 내주면으로부터 각각 돌출되어 형성되는 블레이드를 포함하는 팬과, 팬을 회전시키는 회전 구동부와, 하우징의 내주면과 팬프레임의 외주면의 사이에 설치되어 팬의 회전을 지지하는 회전 지지부를 포함할 수 있다.The fluid transfer apparatus according to an embodiment of the present invention has a plurality of housings in which a flow path for transferring fluid is formed therein, and a fan frame and a plurality of inner circumferential surfaces of the fan frame, which are installed in the flow path of the housing and open at both ends of the fluid transfer direction. Fans including blades which are spaced apart from each other and protruded from the inner circumferential surface of the fan frame, a rotation drive unit for rotating the fan, and a rotation provided between the inner circumferential surface of the housing and the outer circumferential surface of the fan frame to support rotation of the fan. It may include a support.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 구동부는 하우징의 반경 방향으로 팬프레임의 외측에 설치될 수 있다. Rotational drive of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention may be installed on the outside of the fan frame in the radial direction of the housing.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 팬은 유체 이송 방향과 나란하게 설치될 수 있다.The fan of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention may be installed in parallel with the fluid transfer direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 구동부는 팬프레임의 회전 방향을 따라 팬프레임의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 기어와, 종동 기어와 맞물리는 구동 기어와, 구동 기어에 회전축이 연결되어 회전력을 구동 기어로 전달하는 모터를 포함할 수 있다.The rotary drive unit of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention is a driven gear installed to surround the outer circumferential surface of the fan frame in the rotational direction of the fan frame, a drive gear engaged with the driven gear, and a rotation shaft connected to the drive gear. And a motor that transmits rotational force to the drive gear.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 구동부는 회전축을 회전시켜 회전력을 생성하는 모터와, 모터의 회전축에 연결되어 회전력을 전달받는 구동 풀리와, 팬프레임의 회전 방향을 따라 팬프레임의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 풀리와, 구동 풀리와 종동 풀리에 연결되어 구동 풀리의 회전력을 종동 풀리에 전달하는 벨트를 포함할 수 있다.The rotation drive unit of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention rotates the rotating shaft to generate a rotational force, a drive pulley connected to the rotational shaft of the motor to receive the rotational force, and the fan frame along the rotational direction of the fan frame A driven pulley installed to surround the outer circumferential surface may include a belt that is connected to the driving pulley and the driven pulley to transmit the rotational force of the driving pulley to the driven pulley.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 구동부는 회전축을 회전시켜 회전력을 생성하는 모터와, 모터의 회전축에 연결되어 회전력을 전달받는 구동 스프로켓과, 팬프레임의 회전 방향을 따라 팬프레임의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 스프로켓과, 구동 스프로켓과 종동 스프로켓에 연결되어 구동 스프로켓의 회전력을 종동 스프로켓에 전달하는 체인을 포함할 수 있다.The rotation drive unit of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention rotates the rotating shaft to generate a rotational force, a drive sprocket connected to the rotational shaft of the motor to receive the rotational force, and the fan frame along the rotational direction of the fan frame A driven sprocket installed to surround the outer circumferential surface may include a chain connected to the driving sprocket and the driven sprocket to transmit the rotational force of the driving sprocket to the driven sprocket.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 구동부는 팬프레임의 외주면에 복수개가 서로 이격되어 위치되고 팬프레임의 외주면으로부터 각각 돌출하여 형성되는 외곽 돌출부와, 외곽 돌출부를 향하여 공기를 분사하는 분사노즐을 포함할 수 있다.The rotary drive unit of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention is located on the outer circumferential surface of the fan frame a plurality of spaced apart from each other and formed to protrude from the outer circumferential surface of the fan frame, respectively, the injection for injecting air toward the outer projection It may include a nozzle.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 구동부는 팬프레임의 외주면에 복수개가 서로 이격되어 설치되는 영구 자석과, 영구 자석과 대향하는 하우징의 내주면에 복수개가 서로 이격되어 설치되며 코일이 권선되어 있는 코어를 포함하며, 복수개의 코어에 순차적으로 통전하여 코어와 영구 자석 사이의 전자기력에 의해 팬을 회전시킬 수 있다.The rotary drive unit of the fluid transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is provided with a plurality of permanent magnets spaced apart from each other on the outer circumferential surface of the fan frame and a plurality of spaced apart from each other on the inner circumferential surface of the housing facing the permanent magnet, the coil is wound It includes a core, it is possible to sequentially energize the plurality of cores to rotate the fan by the electromagnetic force between the core and the permanent magnet.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 지지부는 하우징의 내주면과 팬프레임의 외주면 사이에 유체 이송방향으로 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 베어링과, 하우징의 내주면과 팬프레임의 외주면에 각각 설치되어 서로에 대해 전자기력을 미치는 한 쌍의 마그넷을 포함할 수 있다.The rotary support of the fluid transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is a pair of bearings which are installed to be spaced apart from each other in the fluid transfer direction between the inner circumferential surface of the housing and the outer circumferential surface of the fan frame, and the inner circumferential surface of the housing and the outer circumferential surface of the fan frame It can include a pair of magnets installed to exert electromagnetic forces against each other.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 하우징은 팬이 설치되는 위치에서 내경이 확경되어 구성되는 확경부를 포함하며, 한 쌍의 베어링은 확경부의 유체 이송방향측 내주면과 팬프레임의 유체이송 방향측 외주면 사이에 설치되고, 한 쌍의 마그넷은 하우징의 반경방향측 내주면과 팬프레임의 반경방향측 외주면에 각각 설치될 수 있다.The housing of the fluid transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes an enlarged diameter portion configured to have an enlarged inner diameter at a position at which the fan is installed, and the pair of bearings have a fluid in the fluid transfer direction side inner circumferential surface of the expanded diameter portion and the fan frame It is provided between the transport direction side outer peripheral surface, a pair of magnets may be installed on the radially inner peripheral surface of the housing and the radially outer peripheral surface of the fan frame, respectively.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 하우징은 팬이 설치되는 위치에서 내경이 확경되어 구성되는 확경부를 포함하며, 한 쌍의 베어링은 확경부의 반경 방향측 내주면과 팬프레임의 반경 방향측 외주면 사이에 설치되고, 한 쌍의 마그넷은 하우징의 유체 이송방향측 내주면과 팬프레임의 유체 이송방향측 외주면에 각각 설치될 수 있다. The housing of the fluid transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes an enlarged diameter portion configured to have an enlarged inner diameter at a position at which the fan is installed, and the pair of bearings have a radially inner peripheral surface of the enlarged diameter portion and a radial direction of the fan frame. It is provided between the side outer circumferential surface, a pair of magnets may be installed on the fluid transfer direction side inner circumferential surface of the housing and the fluid transfer direction side outer circumferential surface of the fan frame, respectively.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 하우징의 유체 이송방향측 내주면에는 팬프레임 수용홈이 형성되고, 팬프레임 수용홈에 팬프레임의 이송방향측 단부가 수용되며, 팬프레임의 유체 이송방향측 단부에는 한 쌍의 마그넷 중 제1 마그넷이 설치되고 제1 마그넷과 대향하는 팬프레임 수용홈의 저면에는 한 쌍의 마그넷 중 제2 마그넷이 설치되고, 팬프레임의 수용홈과 팬프레임 사이에 시일이 개재될 수 있다.A fan frame accommodating groove is formed in the fluid conveying direction side inner circumferential surface of the housing of the fluid conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, the end of the conveying direction side of the fan frame is accommodated in the fan frame accommodating groove, and the fluid conveying direction of the fan frame. At the side end, a first magnet of a pair of magnets is installed, and a bottom of the fan frame receiving groove facing the first magnet is installed a second magnet of a pair of magnets, and a seal between the receiving groove of the fan frame and the fan frame. This may be intervened.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 구동부 및 회전 지지부를 윤활 및 냉각시키는 윤활유를 저장하는 윤활유 리저버와, 일단은 윤활유 리저버와 연결되고 타단은 하우징의 확경부에 연결되는 윤활유 순환로와, 윤활유 순환로에 설치되어 윤활유를 순환시키는 펌프를 더 포함할 수 있다.A lubricating oil reservoir for storing lubricating oil for lubricating and cooling the rotary driving unit and the rotating support of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention, and a lubricating oil circulation passage connected to the lubricating oil reservoir at one end thereof and to the enlarged portion of the housing; It may further include a pump installed in the lubricating oil circuit for circulating the lubricating oil.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 하우징의 양단부에는 각각 플랜지부가 설치될 수 있다.Flange parts may be installed at both ends of the housing of the fluid transfer device according to the exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 유체 이송방향으로 팬프레임의 상류측에는 하우징의 내주면으로부터 돌출하여 형성되는 유동가이드가 설치될 수 있다.A flow guide protruding from the inner circumferential surface of the housing may be provided at an upstream side of the fan frame in the fluid transfer direction of the fluid transfer apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치는 팬의 회전수 및 탈조 여부 중 적어도 어느 하나를 측정 가능한 광센서와, 광센서로부터 측정된 결과에 기초하여 회전 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.Fluid transfer apparatus according to an embodiment of the present invention may further include an optical sensor capable of measuring at least one of the number of rotation of the fan and whether out of the fan, and a control unit for controlling the rotation drive based on the result measured from the optical sensor. have.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치는 하우징의 유로 중에서 팬의 상류측 압력과 하류측 압력을 각각 측정할 수 있는 복수의 압력 센서와, 압력 센서로부터 측정된 압력값들의 차이에 기초하여 회전 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The fluid transfer device according to an embodiment of the present invention rotates based on a plurality of pressure sensors capable of respectively measuring upstream pressure and downstream pressure of the fan in the flow path of the housing, and pressure values measured from the pressure sensor. The control unit may further include a control unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치는 유체 이송 장치가 설치되는 배기 시스템의 메인 덕트로부터 측정되는 압력값과 압력 센서로부터 측정된 압력값들을 비교하여 회전 구동부를 제어할 수 있다. The fluid transfer device according to an embodiment of the present invention may control the rotation drive unit by comparing the pressure value measured from the pressure duct measured from the pressure sensor and the pressure value measured from the main duct of the exhaust system in which the fluid transfer device is installed.

본 발명에 따른 유체 이송 장치는 관 내에서 유동하는 유체의 유동 단면적을 좁히지 않고도 유체 흐름을 가속시킬 수 있다.The fluid transfer device according to the present invention can accelerate fluid flow without narrowing the flow cross sectional area of the fluid flowing in the tube.

특히, 관 내의 유로 중심 근처에 별도의 설비를 추가할 필요가 없고, 관의 내벽에 설치되는 팬과 팬과 관의 내벽 사이에 팬을 구동 및 지지하는 구성들이 설치됨으로써 실질적으로 유동을 방해하지 않고 유체 흐름을 팬에 의해 가속시킬 수 있게 된다. In particular, there is no need to add a separate facility near the center of the flow path in the pipe, and the fan installed on the inner wall of the pipe and the components for driving and supporting the fan between the fan and the inner wall of the pipe are installed without substantially disturbing the flow. Fluid flow can be accelerated by the fan.

본 발명의 유체 이송 장치의 팬은 모터, 기어, 풀리, 스프로켓, 분사노즐, 전자기력 등 다양한 수단으로 구동시킬 수 있어 사용 조건 및 환경에 적합하게 최적화된 유체 이송 장치를 구현할 수 있다. The fan of the fluid transfer device of the present invention can be driven by various means such as a motor, a gear, a pulley, a sprocket, an injection nozzle, an electromagnetic force, and can implement a fluid transfer device optimized for use conditions and environments.

본 발명의 유체 이송 장치는 관 내에 설치된 팬을 베어링 및 마그넷을 사용하여 지지함으로써 팬의 회전에 따른 진동, 소음, 마찰, 발열 문제를 줄일 수 있다.The fluid conveying apparatus of the present invention can reduce vibration, noise, friction, and heat generation problems caused by the rotation of the fan by supporting the fan installed in the pipe by using a bearing and a magnet.

본 발명의 유체 이송 장치는 센서 및 제어부를 포함하여 팬의 회전수를 목표 운전 조건에 맞도록 최저화할 수 있다.The fluid transfer device of the present invention may include a sensor and a controller to minimize the rotation speed of the fan to meet the target operating conditions.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치가 설치되는 반도체 제조 공정의 유해가스 배기 시스템의 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 단면도이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 유체 이송 장치 회전 구동부의 다양한 변형 실시예를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 회전 지지부를 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 윤활 및 냉각 구성을 도시하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 센서 및 유동 가이드를 도시하는 단면도이다.1 is a conceptual diagram of a harmful gas exhaust system of a semiconductor manufacturing process in which a fluid transport apparatus according to an embodiment of the present invention is installed.
2 is a cross-sectional view of a fluid transfer device according to an embodiment of the present invention.
3A to 3D are cross-sectional views showing various modified embodiments of the fluid transfer device rotational drive of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing the rotational support of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing the lubrication and cooling configuration of the fluid transfer device according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a sensor and a flow guide of a fluid transfer device according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. The invention will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims.

한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Meanwhile, the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, “comprises” and / or “comprising” refers to the presence of one or more other components, steps, operations and / or elements. Or does not exclude additions. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are only used to distinguish one component from another.

본 발명에서 “유체”는 변형이 쉽고 흐르는 성질을 갖고 있으며 형상이 정해지지 않는 특징을 가지며 액체와 기체를 포함할 수 있다. 다만, 이하의 실시예에서는 반도체 제조 공정 중 배기 시스템을 통해 배출되는 유체인 유해 가스를 이송하여 이루어지나, 본 발명은 이에 한정되지 않음은 물론이다. In the present invention, the "fluid" is easy to deform, has a flowing property, has a feature that is not defined in shape and may include liquid and gas. However, in the following embodiments, the harmful gas that is the fluid discharged through the exhaust system during the semiconductor manufacturing process is made by transferring, but the present invention is not limited thereto.

이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention;

도 1에는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치가 설치되는 반도체 제조 공정의 유해 가스 배기 시스템이 도시되어 있다. 반도체 제조 공정 중 증착, 세정 공정 등에서는 인체에 해로운 유해 가스가 배출되는데, 이를 정화하여 배기할 수 있는 배기 시스템이 필수적이다. 유해 가스 배기 시스템은 각 각 공정에서 발생한 유해 가스는 스크러버(3)를 거쳐 정화되어 분기관(4)을 통과하여 메인 덕트(5)로 합류하여 외부로 배기되도록 구성된다. 메인 덕트(5)에는 메인 팬(2)이 설치되어 있고, 분기관(4)에도 메인 팬(2)과 별도로 유체 이송 장치(1)가 설치되어 원활한 배기가 이루어질 수 있도록 한다. FIG. 1 illustrates a harmful gas exhaust system of a semiconductor manufacturing process in which a fluid transport apparatus according to an embodiment of the present invention is installed. During the semiconductor manufacturing process, harmful gases harmful to the human body are emitted during the deposition and cleaning processes, and an exhaust system capable of purifying and evacuating them is essential. The noxious gas exhaust system is configured such that the noxious gas generated in each process is purified through the scrubber (3), passed through the branch pipe (4), joined to the main duct (5), and exhausted to the outside. The main duct 5 is provided with a main fan 2, and the fluid transfer device 1 is installed in the branch pipe 4 separately from the main fan 2 so that smooth exhaust can be achieved.

앞서 살펴본 바와 같이, 반도체 제조 공정 상의 변화로 인하여 유해 가스 배기 시스템의 구성이 변경되는 경우가 빈번하게 발생하며, 스크러버(3)와 분기관(4)을 증설하는 경우도 이러한 변경에 해당한다. 이러한 증설은 최초 설계된 배기 압력 내지 배기 용량에 영향을 미치게 되어 배기 가스의 흐름을 원활하게 유지할 수 있도록 배기 가스인 유체를 이송 방향으로 압송할 수 있는 구성이 필수적이며 본 발명의 일실시예에 따른 유체 이송 장치(1)가 분기관(4)에 설치되어 이러한 문제를 해결하게 된다. As described above, the configuration of the noxious gas exhaust system is frequently changed due to the change in the semiconductor manufacturing process, and the case of the expansion of the scrubber 3 and the branch pipe 4 also corresponds to this change. This expansion is essential to the configuration designed to be able to pump the fluid, which is the exhaust gas in the conveying direction in order to affect the first designed exhaust pressure or exhaust capacity to maintain the flow of the exhaust gas smoothly and the fluid according to an embodiment of the present invention The transfer device 1 is installed in the branch pipe 4 to solve this problem.

도 2에는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)가 그 중심축을 포함하는 단면으로 도시되어 있다. In FIG. 2 a fluid transfer device 1 according to an embodiment of the invention is shown in cross section including its central axis.

유체 이송 장치(1)는 원통 형상의 하우징(10) 내에 팬(20)이 설치되어 있고, 이 팬(20)은 회전 구동부(30)에 의해 회전되어 하우징(10) 내에서 이송되는 유체에 압력을 부여함으로써 팬(20)을 통과하는 유체의 유속을 증가시킨다. 또한, 팬(20)은 하우징(10) 내에 회전 지지부(50)에 의해 지지되어 안정적으로 회전할 수 있게 구성된다. The fluid conveying apparatus 1 is provided with a fan 20 in a cylindrical housing 10, which is rotated by the rotation drive unit 30 to pressurize the fluid conveyed in the housing 10. By increasing the flow rate of the fluid passing through the fan 20. In addition, the fan 20 is supported by the rotation support 50 in the housing 10 is configured to be able to rotate stably.

다시 말하면, 유체 이송 장치(1)는 하우징(10), 팬(20), 회전 구동부(30) 및 회전 지지부(50)를 포함할 수 있다. In other words, the fluid transfer device 1 may include a housing 10, a fan 20, a rotation drive unit 30, and a rotation support unit 50.

하우징(10)은 분기관(4)과 연결되어 스크러버(3)를 통과한 유체가 분기관(4)을 지나 이송되는 유로의 일부가 내부에 형성되어 있다. 분기관(4)에 결합되기 위해 하우징(10)의 양단부에는 플랜지(12)가 형성되어 있으며, 이에 대응하는 플랜지(미도시)가 분기관(4)의 결합 부위에도 마련될 수 있다. The housing 10 is connected to the branch pipe 4 and a part of the flow path through which the fluid passing through the scrubber 3 passes through the branch pipe 4 is formed therein. Flanges 12 are formed at both ends of the housing 10 to be coupled to the branch pipe 4, and a flange (not shown) corresponding to the branch pipe 4 may be provided at a coupling portion of the branch pipe 4.

하우징(10)의 양단부에 설치된 플랜지(12)를 통한 분기관(4)과의 결합 구성은 유체 이송 장치(1)를 유해 가스 배기 시스템의 한 유닛으로 기능하게 하여 유체 이송 장치(1)를 간편하게 설치 내지 분리하여 유지 보수성을 극대화할 수 있게 된다. 나아가, 요구 배기 성능을 고려하여 필요한 수만큼의 유체 이송 장치(1)를 분기관에 결합할 수 있어 배기 시스템의 성능을 최적으로 유지할 수 있게 된다. The coupling arrangement with the branch pipe 4 through the flange 12 provided at both ends of the housing 10 allows the fluid transfer device 1 to function as a unit of the noxious gas exhaust system, thereby simplifying the fluid transfer device 1. It is possible to maximize the maintainability by installing or removing. Furthermore, in consideration of the required exhaust performance, the required number of fluid transfer devices 1 can be coupled to the branch pipes, so that the performance of the exhaust system can be optimally maintained.

하우징(10)의 내부에는 유체의 유로가 형성되어 있으며 팬(20)이 설치되어 있는데, 분기관(4)을 지나 유동하는 유체가 하우징(10)의 내부에서 원활하게 이송되기 위해서는 하우징(10) 내부에서도 유체의 유동 단면적을 급격히 감소시키는 것은 바람직하지 않으므로, 하우징(10) 중 팬(20)이 설치되는 부분은 하우징(10)의 직경이 그 이외의 부분보다 큰 확경부(11)로 이루어진다.A fluid flow path is formed inside the housing 10 and a fan 20 is installed. In order for the fluid flowing through the branch pipe 4 to be smoothly transported inside the housing 10, the housing 10 is provided. Since it is not preferable to rapidly reduce the flow cross-sectional area of the fluid inside, the portion of the housing 10 in which the fan 20 is installed is made up of the enlarged diameter portion 11 having a larger diameter than that of the other portions of the housing 10.

확경부(11)에 팬(20)과, 이 팬(20)에 회전력을 전달하고 지지하는 회전 구동부(30) 및 회전 지지부(50)가 설치되어 하우징(10) 내의 유로를 좁히지 않을 수 있게 된다. The fan 20, the rotation drive unit 30 and the rotation support unit 50 for transmitting and supporting the rotational force are installed in the enlarged diameter part 11 so that the flow path in the housing 10 may not be narrowed. .

본 실시예에서는 유해 가스가 배기 시스템을 따라 지면에서 멀어지는 상하 방향으로 이송되는 것으로 상정하여 하우징(10)의 양단부가 상하방향으로 개구되도록 배치되며, 상하방향은 유체의 이송방향과 같은 방향이다. 유체의 이송방향은 도면에서 화살표로 표시되어 있다. In this embodiment, it is assumed that the noxious gas is transported in the up and down direction away from the ground along the exhaust system so that both ends of the housing 10 are opened in the up and down direction, and the up and down direction is the same direction as the transport direction of the fluid. The conveying direction of the fluid is indicated by arrows in the figure.

팬(20)은 하우징(10)의 유로에 설치되며, 유체 이송 방향측 양단부가 개구되어 통 형상으로 이루어지는 팬프레임(21)과, 팬프레임(21)의 내주면에 복수개가 서로 이격되어 위치되며 팬프레임(21)의 내주면으로부터 각각 돌출되어 형성되는 블레이드(22)를 포함하여 이루어질 수 있다. Fan 20 is installed in the flow path of the housing 10, the both ends of the fluid transfer direction side opening is formed in a fan-shaped frame 21 and a plurality of spaced apart from each other on the inner peripheral surface of the fan frame 21 It may include a blade 22 is formed to protrude from the inner peripheral surface of the frame 21, respectively.

본 발명의 일 실시예에 따른 팬(20)은 중심축이 모터에 의해 회전하고 중심축으로부터 반경방향으로 돌출하여 형성되는 블래이드가 중심축의 회전과 함께 회전하는, 소위 축류 팬과는 상이한 구조를 가질 수 있다. 즉, 본 발명의 팬(20)에서는 중심축 근방에 회전축이 설치되거나 모터가 설치되지 않는다. 종래의 축류 팬의 경우, 유로를 과도하게 막아 유체의 흐름을 방해하게 되어 팬이 회전하여도 팬을 통과하는 유체를 압송할 수 없었다. 반면에, 본 발명의 일 실시예에 따른 팬(20)은 유체 이송 방향측 양단부가 개구되어 유체 이송방향과 나란하게 설치되는 팬프레임(21)과, 이 팬프레임(21)의 내주면에서부터 돌출하여 형성된 복수의 블레이드(22)로 구성되어 있어 유동 단면적을 축류팬과 같이 감소시키지 않고도 팬(20)을 통과하는 유체에 압력을 가하여 유체의 흐름을 가속시킬 수 있게 된다. The fan 20 according to an embodiment of the present invention has a structure different from a so-called axial fan, in which a blade formed by the central axis rotates by a motor and protrudes radially from the central axis rotates with the rotation of the central axis. Can be. That is, in the fan 20 of the present invention, the rotation shaft is installed near the central axis or the motor is not installed. In the case of the conventional axial fan, the flow path is excessively blocked to hinder the flow of the fluid, so that the fluid passing through the fan cannot be pumped even when the fan rotates. On the other hand, the fan 20 according to an embodiment of the present invention is a fan frame 21 which is installed at both ends of the fluid conveying direction side and installed in parallel with the fluid conveying direction, and protrudes from the inner peripheral surface of the fan frame 21 It is composed of a plurality of blades 22 formed to be able to accelerate the flow of the fluid by applying pressure to the fluid passing through the fan 20 without reducing the flow cross-sectional area like the axial fan.

팬(20)의 블레이드(22)는 팬프레임(21)의 내주면에서 원주 방향으로 일정 거리 만큼씩 이격되어 복수개가 구비될 수 있으며, 블레이드(22)는 유체의 성질, 요구되는 배기 성능 등에 따라 다양한 크기와 형상을 가질 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 직선형, 나선형 등 다양한 형상의 블레이드(22)가 팬프레임(21)의 내주면에 등간격으로 설치될 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. The blades 22 of the fan 20 may be provided in plurality in a circumferential direction by a predetermined distance from the inner circumferential surface of the fan frame 21, and the blades 22 may vary according to the properties of the fluid and the required exhaust performance. Of course it can have a size and shape. For example, the blades 22 having various shapes such as straight lines and spirals may be installed on the inner circumferential surface of the fan frame 21 at equal intervals, but are not limited thereto.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)의 팬(20)은 유체 이송 방향과 나란하게 설치되어 하우징(10) 내의 유체 흐름을 방해하지 않고 팬(20)을 통과하는 유체를 압송할 수 있다.The fan 20 of the fluid conveying apparatus 1 according to an embodiment of the present invention is installed in parallel with the fluid conveying direction to pump the fluid passing through the fan 20 without disturbing the fluid flow in the housing 10. Can be.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)는 팬(20)을 회전시키는 회전력을 부여하는 회전 구동부(30)를 포함할 수 있으며, 회전 구동부(30)는 하우징(10)의 반경 방향으로 팬프레임(21)의 외측에 설치되어 하우징(10) 내의 유로 단면적을 감소시키지 않고 유체 이송을 원활하게 할 수 있다. Fluid transfer device 1 according to an embodiment of the present invention may include a rotation drive unit 30 to give a rotational force for rotating the fan 20, the rotation drive unit 30 is a radial direction of the housing 10 Therefore, it is installed outside the fan frame 21 to facilitate fluid transfer without reducing the cross-sectional area of the flow path in the housing 10.

팬(20)에 회전력을 부여하는 회전 구동부(30)는 다양한 동력원과 동력전달 기구로 구현될 수 있다.The rotation drive unit 30 that provides the rotational force to the fan 20 may be implemented by various power sources and a power transmission mechanism.

도 3a 내지 도 3d는 다양한 회전 구동부(30)의 실시예들을 도시하고 있다. 먼저, 도 2 및 도 3a에서는 기어와 모터로 구성된 회전 구동부(30)를 도시하고 있는데, 팬프레임(21)의 회전 방향을 따라 팬프레임(21)의 외주면을 둘러싸도록 종동 기어(34)가 설치되며, 이 종동 기어(34)와 맞물리도록 팬프레임(21)의 반경 방향 외측에 구동 기어(33)가 설치되고, 구동 기어(33)에 회전축이 연결되어 회전력을 전달하는 모터(31)가 설치될 수 있다. 회전 구동부(30)는 하우징(10)의 확경부(11)와 팬(20)의 팬프레임(21) 사이에 위치될 수 있으며, 이 경우, 회전 구동부(30)가 유체의 흐름을 방해하지 않게 되는 효과를 가진다. 3A-3D illustrate embodiments of various rotational drives 30. First, Figures 2 and 3a shows a rotation drive unit 30 composed of a gear and a motor, the driven gear 34 is installed so as to surround the outer peripheral surface of the fan frame 21 along the rotation direction of the fan frame 21. The driving gear 33 is installed on the radially outer side of the fan frame 21 so as to be engaged with the driven gear 34, and a rotation shaft is connected to the driving gear 33 to transmit a rotational force. Can be. The rotary drive unit 30 may be located between the enlarged diameter portion 11 of the housing 10 and the fan frame 21 of the fan 20, in this case, so that the rotary drive unit 30 does not interfere with the flow of the fluid. Has the effect of becoming.

한편, 하우징(10) 내의 유로로 유동하는 유체는 반도체 제조 공정에서 발생하는 유해 가스일 수 있으며, 이러한 유해 가스는 부식성 기체로 회전 구동부(30)의 내구성에 부정적인 영향을 미칠 수 있다. 특히, 테프론 등 부식성 재질로 제조 가능한 기어(33, 34) 등의 동력전달 부품은 부식성 환경 내에 위치하여도 영향이 미미하지만, 모터(31) 등의 동력원은 부식성 환경에 치명적일 수 있다. 따라서, 모터(31)를 하우징(10) 외부로 격리하고 로터리 피드스루(32)와 같은 동력 전달 부품을 통하여 구동 기어(33)에 연결함으로써 부식성 환경에 대한 영향을 최소화할 수 있다. 이를 위해, 하우징(10)의 확경부(11) 일부의 직경을 그 이외의 부분보다 더 크게 하여 모터(31)와 그 이외의 동력전달 부품을 하우징(10) 내외부로 격리하는 것이 가능해진다.On the other hand, the fluid flowing into the flow path in the housing 10 may be a harmful gas generated in the semiconductor manufacturing process, such a harmful gas may have a negative effect on the durability of the rotary drive unit 30 as a corrosive gas. In particular, power transmission parts such as gears 33 and 34 that can be manufactured from corrosive materials such as Teflon are insignificant even when located in the corrosive environment, but power sources such as the motor 31 may be fatal to the corrosive environment. Accordingly, the effect on the corrosive environment can be minimized by isolating the motor 31 to the outside of the housing 10 and connecting it to the drive gear 33 through a power transmission component such as a rotary feedthrough 32. To this end, the diameter of a part of the enlarged diameter portion 11 of the housing 10 is made larger than that of other portions, so that the motor 31 and the other power transmission components can be isolated into and out of the housing 10.

본 발명의 일실시예에 따른 유체 이송 장치(1)에서는 회전 구동부(30)를 제어하여 요구되는 유체 이송 성능을 유지하도록 하는 제어부(70)를 포함할 수 있다. 이 제어부(70) 구성은 후술할 센서들과의 관계에서 보다 상세히 기재하도록 한다. The fluid transport apparatus 1 according to an embodiment of the present invention may include a controller 70 to control the rotation drive unit 30 to maintain the required fluid transport performance. The controller 70 will be described in more detail in relation to the sensors to be described later.

도 3b에서는 풀리와 모터 내지는 스프로켓과 모터로 구성되는 회전 구동부(30) 구성을 도시하고 있다. 회전 구동부(30)는 회전축을 회전시켜 회전력을 생성하는 모터(31)와, 이 모터(31)의 회전축에 연결되어 회전력을 전달받는 구동 풀리(35)와, 팬프레임(21)의 회전 방향을 따라 팬프레임(21)의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 풀리(36)와, 구동 풀리(35)와 종동 풀리(36)에 연결되어 마찰력에 의해 구동 풀리(35)의 회전력을 종동 풀리(36)에 전달하는 벨트(37)를 포함할 수 있다. 도 3b에 도시되어 있는 바와 같이, 본 변형예에서도 회전 구동부(30)의 설치 구성을 도 2 및 도 3a에 따른 실시예에서와 동일하게 구성할 수 있음은 물론이다. In FIG. 3B, the rotation drive unit 30 including the pulley and the motor or the sprocket and the motor is illustrated. The rotation drive unit 30 rotates the rotation shaft to generate a rotation force, a drive pulley 35 connected to the rotation shaft of the motor 31 to receive the rotation force, and a rotation direction of the fan frame 21. Accordingly, the driven pulley 36 installed to surround the outer circumferential surface of the fan frame 21 and the driving pulley 35 and the driven pulley 36 are connected to the driving force of the driving pulley 35 by frictional force. It may include a belt 37 to transmit to. As shown in FIG. 3B, the installation configuration of the rotation drive unit 30 may also be configured in the present modification in the same manner as in the embodiment according to FIGS. 2 and 3A.

한편, 풀리를 스프로켓으로 벨트를 체인으로 대체하여 보다 확실하게 모터(31)로부터의 회전력을 전달하는 회전 구동부(30)를 구성할 수도 있다. 보다 구체적으로, 회전 구동부(30)는 회전축을 회전시켜 회전력을 생성하는 모터(31)와, 모터의 회전축에 연결되어 회전력을 전달받는 구동 스프로켓(미도시)과, 팬프레임(21)의 회전 방향을 따라 팬프레임(21)의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 스프로켓(미도시)과, 구동 스프로켓과 종동 스프로켓에 연결되어 구동 스프로켓의 회전력을 종동 스프로켓에 전달하는 체인(미도시)을 포함하는 구성으로 이루어 질 수 있다.On the other hand, the rotation drive part 30 which transmits the rotational force from the motor 31 more reliably can be comprised by replacing a belt with a chain by a pulley by a sprocket. More specifically, the rotation drive unit 30 includes a motor 31 which rotates the rotation shaft to generate a rotation force, a drive sprocket (not shown) connected to the rotation shaft of the motor to receive the rotation force, and a rotation direction of the fan frame 21. A driven sprocket (not shown) installed to surround the outer circumferential surface of the fan frame 21 and a chain (not shown) connected to the drive sprocket and the driven sprocket to transmit the rotational force of the drive sprocket to the driven sprocket. Can be done.

도 3c에서는 모터를 동력원으로 하지 않고, 노즐을 통한 유체 압력을 동력원으로 한 회전 구동부(30)를 도시한다. 회전 구동부(30)는 분사 노즐을 통하여 유체를 분사하는 분사 노즐(38)을 포함할 수 있다. 분사 노즐(38)을 통해 분사되는 유체는 이송 유체와의 관계에서 안정성을 유지하기 위해 질소기체 등 불활성 기체를 사용할 수 있다. 분사 노즐(38)로부터 분사된 유체로부터 회전력을 전달받기 위하여 팬프레임(21)의 외주면에 복수개가 서로 이격되어 위치되고 팬프레임(21)의 외주면으로부터 각각 돌출하여 형성되는 외곽 돌출부(39)를 구비할 수 있다. In FIG. 3C, the rotary drive unit 30 is shown using the fluid pressure through the nozzle as the power source without using the motor as the power source. The rotary drive unit 30 may include an injection nozzle 38 for injecting a fluid through the injection nozzle. The fluid injected through the injection nozzle 38 may use an inert gas such as nitrogen gas to maintain stability in relation to the transfer fluid. In order to receive the rotational force from the fluid injected from the injection nozzle 38, the outer peripheral surface of the fan frame 21 is provided with a plurality of spaced apart from each other and the outer projection 39 is formed to protrude from the outer peripheral surface of the fan frame 21, respectively. can do.

본 변형예의 회전 구동부(30)에서는 외곽 돌출부(39)를 향하여 유체가 분사되도록 분사노즐(38)의 위치나 경사 각도를 결정할 수 있다. 또한, 외곽 돌출부(39)도 분사되는 유체로부터 압력을 효과적으로 전달받기 위하여 다양한 형상이나 크기를 가지도록 구성될 수 있음은 물론이다. In the rotation drive unit 30 of the present modification, the position or the inclination angle of the injection nozzle 38 may be determined so that the fluid is injected toward the outer protrusion 39. In addition, the outer protrusion 39 may also be configured to have a variety of shapes or sizes in order to receive the pressure effectively from the injected fluid.

도 3d는 영구자석과 권선 코어 사이의 전자기력에 의해 회전력을 제공하는 회전 구동부(30)의 변형예를 도시한다. 본 변형예에 따른 회전 구동부(30)는 팬프레임(21)의 외주면에 복수개가 서로 이격되어 설치되는 영구자석(40)과, 이 영구자석(40)과 대향하는 하우징(10)의 내주면에 복수개가 서로 이격되어 설치되며 코일(42)이 권선되어 있는 코어(41)를 포함하며, 복수개의 코어(41)에 순차적으로 통전하여 코어(41)와 영구자석(40) 사이의 전자기력의 변화에 의해 팬(20)을 회전시킬 수 있다. 회전축 주위로 설치되는 복수개의 영구자석(40)과 이에 대향하여 하우징 내주면에 설치된 복수개의 권선 코어(41)의 구성은 BLDC 모터의 구조와 유사하게 구성될 수 있으므로, 영구자석(40) 및 권선 코어(41)의 형상, 개수 및 설치 위치와 권선 코어(41)에 통전하는 순서 등은 생략하기로 한다. 3d shows a variant of the rotary drive 30 which provides the rotational force by the electromagnetic force between the permanent magnet and the winding core. The rotation drive unit 30 according to the present modification includes a plurality of permanent magnets 40 installed on the outer circumferential surface of the fan frame 21 and spaced apart from each other, and on the inner circumferential surface of the housing 10 facing the permanent magnets 40. Are spaced apart from each other, and includes a core 41 in which coils 42 are wound, and sequentially energizes the plurality of cores 41 by a change in electromagnetic force between the core 41 and the permanent magnet 40. The fan 20 can be rotated. Since the configuration of the plurality of permanent magnets 40 installed around the rotating shaft and the plurality of winding cores 41 installed on the inner circumferential surface of the housing may be configured similarly to the structure of the BLDC motor, the permanent magnets 40 and the winding cores The shape, number and installation positions of the 41 and the order of energizing the winding core 41 will be omitted.

본 발명의 일실시예에 따른 유체 이송 장치(1)는 팬(20)의 회전을 지지하는 회전 지지부(50)를 포함할 수 있다. 회전 지지부(50)는 하우징(10)의 내주면과 팬프레임(21)의 외주면의 사이에 설치됨으로써 팬(20)이 하우징(10)의 내부에서 안정적으로 지지되어 회전할 수 있도록 한다. Fluid transfer device 1 according to an embodiment of the present invention may include a rotation support 50 for supporting the rotation of the fan (20). The rotation support part 50 is installed between the inner circumferential surface of the housing 10 and the outer circumferential surface of the fan frame 21 so that the fan 20 can be stably supported and rotated inside the housing 10.

도 2 및 도 4에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)의 회전 지지부(50)의 구성을 살펴보면, 회전 지지부(50)는 팬(20)을 하우징(10) 내부에서 지지하기 위하여 한 쌍의 베어링(51)과 한 쌍의 마그넷(52)이 설치될 수 있다. 팬(20)이 하우징(10) 내 유로에서 유동하는 유체의 흐름을 가속하기 위해 회전하게 되면 진동, 소음, 및 열이 발생하게 되며 이러한 진동, 소음 및 열 발생을 억제하여 팬(20)이 원활하게 회전할 수 있도록 회전 지지부(50)가 구성될 수 있다. 회전 지지부(50)는 팬(20)의 유체 이송방향측에서 팬(20)을 지지함과 함께, 팬(20)의 반경방향측에서 팬(20)을 지지하도록 구성될 수 있다. Looking at the configuration of the rotary support 50 of the fluid transfer device 1 according to an embodiment of the present invention shown in Figures 2 and 4, the rotary support 50 is a fan 20 in the housing 10 In order to support, a pair of bearings 51 and a pair of magnets 52 may be installed. When the fan 20 rotates to accelerate the flow of the fluid flowing in the flow path in the housing 10, vibration, noise, and heat are generated, and the fan 20 is smoothed by suppressing such vibration, noise, and heat generation. Rotational support 50 may be configured to be able to rotate. The rotary support part 50 may be configured to support the fan 20 on the fluid transport direction side of the fan 20, and to support the fan 20 on the radial side of the fan 20.

도 2에서는 팬(20)의 유체 이송방향측 지지를 베어링(51)이 담당하고, 팬(20)의 반경방향측 지지를 한 쌍의 마그넷(52)이 담당하도록 구성될 수 있다. 이와 같이 구성함으로써 상하방향으로 설치된 유체 이송 장치(1) 내의 팬(20)을 견고하게 지지할 수 있게 된다. In FIG. 2, the bearing 51 may be responsible for the fluid transport direction side support of the fan 20, and the pair of magnets 52 may be responsible for the radial support of the fan 20. By such a configuration, the fan 20 in the fluid transfer device 1 provided in the vertical direction can be firmly supported.

이와 달리, 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 팬(20)의 유체 이송방향측 지지를 한 쌍의 마그넷(52)이 담당하고, 팬(20)의 반경방향측 지지를 베어링(51)이 담당하도록 구성될 수 있다. 이와 같이 구성함으로써 좌우방향으로 설치된 유체 이송 장치(1) 내의 팬(20)을 견고하게 지지할 수 있게 된다. In contrast, as shown in FIG. 4, the pair of magnets 52 are responsible for the fluid transport direction side support of the fan 20, and the bearings 51 are responsible for the radial support of the fan 20. It can be configured to. This configuration makes it possible to firmly support the fan 20 in the fluid transfer device 1 provided in the left and right directions.

본 발명의 일실시예에 따른 회전 지지부의 베어링(51)은 하우징(10)의 내주면과 팬프레임(21)의 외주면 사이에 설치하되 유체 이송방향으로 서로 이격되게 한 쌍으로 설치할 수 있으며, 한 쌍의 마그넷(52)은 하우징(10)의 내주면과 팬프레임(21)의 외주면에 각각 설치되어 마그넷(53) 사이의 전자기력에 의해 지지할 수 있도록 구성될 수 있다. The bearing 51 of the rotary support unit according to an embodiment of the present invention may be installed between the inner circumferential surface of the housing 10 and the outer circumferential surface of the fan frame 21, but may be installed in a pair so as to be spaced apart from each other in the fluid transfer direction. The magnet 52 is installed on the inner circumferential surface of the housing 10 and the outer circumferential surface of the fan frame 21 may be configured to be supported by the electromagnetic force between the magnets (53).

다시 도 2로 돌아가 회전 지지부(50) 구성을 보다 구체적으로 살펴보면, 팬(20)은 하우징(10)의 확경부(11)에 설치되며, 이 확경부(11)가 위치하는 하우징(10)의 내주면은 유체 이송방향측 내주면과 반경방향측 내주면으로 이루어질 수 있다. 여기에서 유체 이송방향측 내주면은 하우징(10)의 직경이 증가하는 부분에 해당하고, 반경방향측 내주면은 확경된 하우징(10)의 직경이 유지되는 부분에 해당할 수 있다. 이와 유사하게, 팬프레임(21)의 외주면도 유체 이송방향측 외주면과 반경방향측 외주면으로 구분할 수 있다. Referring back to FIG. 2 to look at the configuration of the rotation support 50 in more detail, the fan 20 is installed in the enlarged diameter portion 11 of the housing 10, the housing 10 of the enlarged diameter portion 11 is located The inner circumferential surface may be composed of a fluid conveying direction side inner circumferential surface and a radial side inner circumferential surface. Here, the fluid transport direction side inner circumferential surface may correspond to a portion in which the diameter of the housing 10 increases, and the radial side inner circumferential surface may correspond to a portion in which the diameter of the expanded housing 10 is maintained. Similarly, the outer circumferential surface of the fan frame 21 may be divided into a fluid transport direction side outer circumferential surface and a radial side outer circumferential surface.

한 쌍의 베어링(51)은 하우징(10)의 확경부(11)의 유체 이송방향측 내주면과 팬프레임(21)의 유체 이송방향측 외주면 사이에 설치될 수 있다. 이와 같이 구성하는 경우, 지면과 수직하게 상하방향으로 설치되는 유체 이송 장치(1)에서 팬(20)의 정적 및 동적 하중을 팬(20)의 상측과 하측에 설치된 한 쌍의 베어링(51)에 의해 안정적으로 지지할 수 있게 된다. The pair of bearings 51 may be installed between the fluid transfer direction side inner circumferential surface of the enlarged diameter portion 11 of the housing 10 and the fluid transfer direction side outer circumferential surface of the fan frame 21. In this configuration, the static and dynamic loads of the fan 20 are transferred to the pair of bearings 51 installed on the upper and lower sides of the fan 20 in the fluid transfer device 1 installed vertically perpendicular to the ground. It can be stably supported by this.

한편, 팬(20)의 회전이나 기타 요인으로 베어링(53)이 반경방향측으로 의도치 않게 이동하는 것을 방지하기 위하여 베어링 지지부(53)가 설치될 수 있다. 한 쌍의 베어링(51)은 스러스트 볼 베어링이 사용되어 축 방향 하중을 지지하도록 구성될 수 있지만, 이에 한정되지 않고, 레이디얼 베어링, 진공 베어링 등 다양한 베어링이 사용될 수 있으며, 하우징(10) 내 유로로 유동하는 유체가 부식성 기체인 경우, 테프론 코팅 내지는 내식성 재료로 이루어진 베어링을 사용할 수도 있다. On the other hand, the bearing support 53 may be installed to prevent the bearing 53 from moving unintentionally in the radial direction due to the rotation of the fan 20 or other factors. The pair of bearings 51 may be configured to support the axial load by using a thrust ball bearing, but is not limited thereto, and various bearings such as radial bearings and vacuum bearings may be used, and the flow path in the housing 10 may be used. If the fluid flowing in is a corrosive gas, a bearing made of Teflon coated or corrosion resistant material may be used.

한 쌍의 마그넷(52)은 하우징(10)의 확경부(11)의 반경방향측 내주면과, 이와 마주보는 팬프레임(21)의 반경방향측 외주면에 각각 설치될 수 있다. 한 쌍의 마그넷(52) 중에서 제1 마그넷(521)은 확경부(11)의 반경방향측 내주면에 설치되는데, 내주면 전체에 걸쳐서 링 형상의 제1 마그넷(521)이 설치되거나, 내주면에서 일정 거리만큼 이격되어 복수 개의 제1 마그넷(521)이 설치될 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 제2 마그넷(522)은 제1 마그넷(521)을 마주보도록 팬프레임(21)의 반경방향측 외주면에 설치되는데, 외주면 전체에 걸쳐서 링 형상의 제2 마그넷(522)이 설치되거나, 외주면에서 일정 거리만큼 이격되어 복수 개의 제2 마그넷(522)이 설치될 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. The pair of magnets 52 may be installed on the radially inner circumferential surface of the enlarged diameter portion 11 of the housing 10 and the radially outer circumferential surface of the fan frame 21 facing the same. Among the pair of magnets 52, the first magnet 521 is installed on the radially inner peripheral surface of the enlarged diameter part 11, and a ring-shaped first magnet 521 is installed over the entire inner peripheral surface, or a predetermined distance from the inner peripheral surface. A plurality of first magnets 521 may be installed to be spaced apart from each other, but is not limited thereto. The second magnet 522 is installed on the outer circumferential surface of the fan frame 21 to face the first magnet 521, the ring-shaped second magnet 522 is installed over the entire outer circumferential surface, or fixed on the outer circumferential surface A plurality of second magnets 522 may be installed spaced apart by a distance, but is not limited thereto.

한 쌍의 마그넷(52)은 서로 전자기력을 미칠 수 있도록 구성되어 제1 마그넷(521)과 제2 마그넷(522) 사이에서 척력 또는 인력이 작용하여 한 쌍의 베어링(53)과 함께 팬(20)을 지지할 수 있게 된다. 또한, 한 쌍의 마그넷(52)은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 유체 이송방향측으로 이격되어 복수개의 조로 배치하여 보다 안정적으로 팬(20)을 지지할 수도 있다. The pair of magnets 52 are configured to exert electromagnetic forces with each other such that a repulsive force or attraction force acts between the first magnet 521 and the second magnet 522 such that the fan 20 together with the pair of bearings 53. Will be able to support. In addition, as shown in FIG. 2, the pair of magnets 52 may be spaced apart from each other in the fluid transfer direction and arranged in a plurality of groups to support the fan 20 more stably.

도 4는 본 발명의 유체 이송 장치(1)의 회전 지지부(50)에 대한 변형예를 도시하고 있다. 여기에서, 한 쌍의 베어링(51)은 하우징(10)의 확경부(11)의 반경 방향측 내주면과 팬프레임(21)의 반경 방향측 외주면 사이에 설치되며, 유체 이송방향으로 서로 이격되어 위치될 수 있다. 한 쌍의 베어링(51)은 레이디얼 볼 베어링이 사용되어 축 방향과 수직한 방향으로 작용하는 팬(20)의 회전 하중을 지지할 수 있지만, 이에 한정되지 않고, 레이디얼 베어링, 진공 베어링 등 다양한 베어링이 사용될 수 있으며, 하우징(10) 내 유로로 유동하는 유체가 부식성 기체인 경우, 테프론 코팅 내지는 내식성 재료로 이루어진 베어링을 사용할 수도 있다.4 shows a variant of the rotary support 50 of the fluid transfer device 1 of the present invention. Here, the pair of bearings 51 are installed between the radially inner circumferential surface of the enlarged diameter portion 11 of the housing 10 and the radially outer circumferential surface of the fan frame 21, and are spaced apart from each other in the fluid transfer direction. Can be. The pair of bearings 51 may use a radial ball bearing to support the rotational load of the fan 20 acting in a direction perpendicular to the axial direction, but the present invention is not limited thereto. A bearing may be used, and a bearing made of Teflon coated or corrosion resistant material may be used if the fluid flowing into the flow path in the housing 10 is a corrosive gas.

하우징(10)의 확경부(11)의 유체 이송방향측 내주면에는 팬프레임의 단부를 수용할 수 있는 팬프레임 수용홈(13)이 형성될 수 있다. 팬프레임 수용홈(13)에 팬프레임(21)의 이송방향측 단부가 수용되면, 회전 구동부(30) 및 회전 지지부(50)가 위치하는 하우징(10)의 확경부(11) 내로 유로를 유동하는 유체가 유입될 가능성을 줄여 회전 구동부(30) 및 회전 지지부(50)의 내부식성을 향상시킬 수 있게 된다. A fan frame accommodating groove 13 may be formed at the inner circumferential surface of the enlarged diameter portion 11 of the housing 10 to accommodate the end of the fan frame. When the end portion in the conveying direction of the fan frame 21 is accommodated in the fan frame accommodating groove 13, a flow path flows into the enlarged diameter portion 11 of the housing 10 in which the rotation driving part 30 and the rotation support part 50 are located. It is possible to improve the corrosion resistance of the rotary drive unit 30 and the rotary support unit 50 by reducing the possibility of the fluid flow.

나아가, 팬프레임 수용홈(13)과 팬프레임(21) 사이에 시일을 개재하여 내부식성 성능을 보다 강화할 수 있다. 시일(54)은 팬프레임(21)의 외주면과 팬프레임 수용홈(13) 사이 및 팬프레임(21)의 내주면과 팬프레임 수용홈(13) 사이에 링 형상의 시일(54) 한 쌍을 설치할 수 있다.Furthermore, it is possible to further enhance the corrosion resistance performance through the seal between the fan frame receiving groove 13 and the fan frame 21. The seal 54 is provided with a pair of ring-shaped seals 54 between the outer peripheral surface of the fan frame 21 and the fan frame receiving groove 13 and between the inner peripheral surface of the fan frame 21 and the fan frame receiving groove 13. Can be.

한 쌍의 마그넷(52)은 하우징(10)의 확경부(11)의 유체 이송방향측 내주면과 팬프레임(21)의 유체 이송방향측 외주면, 팬프레임(21)의 유체 이송방향측 단부에 각각 설치될 수 있다. 한 쌍의 마그넷(52) 중에서 제1 마그넷(521)은 팬프레임의 유체 이송방향측 단부에 설치되고, 제1 마그넷(521)과 대향하는 팬프레임 수용홈(13)의 저면에는 제2 마그넷(522)이 설치될 수 있다. The pair of magnets 52 are respectively disposed at the fluid transfer direction side inner circumferential surface of the enlarged diameter portion 11 of the housing 10, the fluid transfer direction side outer circumferential surface of the fan frame 21, and the fluid transfer direction side end portions of the fan frame 21, respectively. Can be installed. Among the pair of magnets 52, the first magnet 521 is installed at the end portion of the fan frame in the fluid conveying direction side, and the second magnet is disposed on the bottom of the fan frame accommodating groove 13 facing the first magnet 521. 522 may be installed.

한 쌍의 마그넷(52)은 서로 전자기력을 미칠 수 있도록 구성되어 제1 마그넷(521)과 제2 마그넷(522) 사이에서 척력 또는 인력이 작용하여 한 쌍의 베어링(53)과 함께 팬(20)을 지지할 수 있게 된다. 또한, 한 쌍의 마그넷(52)은 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 팬프레임(21)의 유체 이송방향측 양단부에 복수개의 조로 배치하여 보다 안정적으로 팬(20)을 지지할 수도 있다. The pair of magnets 52 are configured to exert electromagnetic forces with each other such that a repulsive force or attraction force acts between the first magnet 521 and the second magnet 522 such that the fan 20 together with the pair of bearings 53. Will be able to support. In addition, as shown in FIG. 4, the pair of magnets 52 may be arranged in a plurality of groups at both ends of the fluid transfer direction side of the fan frame 21 to support the fan 20 more stably.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치의 윤활 및 냉각 구성을 도시한다. 5 shows a lubrication and cooling arrangement of a fluid transfer device according to one embodiment of the invention.

유체 이송 장치(1)의 회전 구동부(30)가 고속으로 팬(20)을 회전시킬 경우, 회전 구동부(30) 및 회전 지지부(50)에 마찰, 진동, 소음, 및 발열이 발생할 수 있게 되어 장치를 열화시키고 내구성을 약화시키는 요인이 될 염려가 있다. When the rotation drive unit 30 of the fluid transfer device 1 rotates the fan 20 at high speed, friction, vibration, noise, and heat generation may occur in the rotation drive unit 30 and the rotation support unit 50. There is a fear that the deterioration and the durability will be a factor.

이를 방지하기 위해, 회전 구동부(30) 및 회전 지지부(50)를 윤활 및 냉각시키는 윤활유를 저장하는 윤활유 리저버(61)를 설치하고, 윤활유 리저버(61)와 하우징(10)의 확경부(11)를 연결하는 윤활유 순환로(62)를 구성하여 윤활유 리저버(61) 내의 윤활유가 하우징(10)의 확경부(11) 내에 위치하는 회전 구동부(30)와 회전 지지부(50)로 전달될 수 있도록 한다. 또한, 윤활유 순환로(62)에 펌프(63)를 설치하여 윤활유가 순환될 수 있도록 구성할 수 있다.In order to prevent this, the lubricant reservoir 61 for storing the lubricant for lubricating and cooling the rotary drive unit 30 and the rotary support unit 50 is provided, and the enlarged diameter portion 11 of the lubricant reservoir 61 and the housing 10 is provided. By configuring a lubricating oil circulation path 62 connecting the lubricating oil in the lubricating oil reservoir 61 can be delivered to the rotary drive unit 30 and the rotary support unit 50 located in the enlarged diameter portion 11 of the housing 10. In addition, the pump 63 may be installed in the lubricating oil circuit 62 so that the lubricating oil may be circulated.

도 6에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)의 유동 가이드(14)를 도시하고 있다. 6 shows a flow guide 14 of a fluid transfer device 1 according to an embodiment of the invention.

유동 가이드(14)는 유체 이송방향으로 팬(20)의 상류측에서 팬(20)과 인접한 위치에 하우징(10)의 내주면으로부터 돌출하여 형성되는 유동가이드가 설치될 수 있다. 유동 가이드(14)는 유체 이송방향측으로 경사가 지도록 형성되어 유체가 경사면을 따라 유동하여 하우징(10)의 확경부(11)와 팬프레임(21) 사이의 공간을 통해 유체 내지 유체에 포함된 이물질이 확경부(11) 내의 회전 구동부(30) 및 회전 지지부(50)로 유입되지 않도록 할 수 있다. 또한, 유동 가이드(14)가 유체의 유동 단면적을 줄여 유속을 높여 팬(20)으로 전달함으로써 유체 흐름을 가속시키는데 기여할 수도 있다.The flow guide 14 may be provided with a flow guide protruding from the inner circumferential surface of the housing 10 at a position adjacent to the fan 20 at an upstream side of the fan 20 in the fluid transfer direction. The flow guide 14 is formed to be inclined toward the fluid conveying direction so that the fluid flows along the inclined surface so that the foreign matter contained in the fluid or the fluid through the space between the enlarged portion 11 of the housing 10 and the fan frame 21. It is possible to prevent the flow into the rotation drive unit 30 and the rotation support unit 50 in the enlarged diameter portion 11. In addition, the flow guide 14 may contribute to accelerate the fluid flow by reducing the flow cross-sectional area of the fluid to increase the flow rate to the fan 20.

한편, 도 6에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)의 센서(71, 72) 및 제어부(70) 구성을 도시한다.On the other hand, Figure 6 shows the configuration of the sensor 71, 72 and the control unit 70 of the fluid transfer device 1 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)는 회전 구동부(30)를 제어하여 팬(20)의 회전수 내지 회전 패턴을 조절하는 제어부(70)를 구비할 수 있다. 제어부(70)의 구체적인 구성은 제어 대상이 되는 회전 구동부(30)의 구성에 따라 상이하게 구현될 수 있다.Fluid transfer device 1 according to an embodiment of the present invention may be provided with a control unit 70 for controlling the rotational speed of the fan 20 by controlling the rotation drive unit 30. Specific configuration of the controller 70 may be implemented differently depending on the configuration of the rotation drive unit 30 to be controlled.

유체 이송 장치(1)에는 광센서(70)가 부착되어 광센서(70)로부터 측정되는 정보에 기초하여 제어부(70)를 제어할 수 있다. 광센서(71)는 하우징(10)의 확경부(11)의 내주면에 발광 센서를 설치하고, 발광 센서와 마주보는 팬프레임(21)의 외주면에 수광 센서를 설치하거나, 하우징(10)의 확경부(11)의 내주면에 발광 및 수광 센서를 설치하고, 마주보는 팬프레임(21)의 외주면에는 광반응 도료로 마커를 표시하여 측정할 수 있으며, 이에 제한되지 않고 다양한 방식과 설치위치를 가지는 광센서를 포함할 수 있다. An optical sensor 70 may be attached to the fluid transfer device 1 to control the controller 70 based on information measured by the optical sensor 70. The light sensor 71 installs a light emitting sensor on the inner circumferential surface of the enlarged diameter portion 11 of the housing 10, installs a light receiving sensor on the outer circumferential surface of the fan frame 21 facing the light emitting sensor, or expands the housing 10. The light emitting and light receiving sensors are installed on the inner circumferential surface of the neck portion 11, and the markers are measured on the outer circumferential surface of the facing fan frame 21 by a photoreactive paint, and the measurement is not limited thereto. It may include a sensor.

광센서(71)는 팬(20)의 회전수를 측정할 수 있으며, 측정된 회전수를 목표 회전수와 대비하여 제어부(70)에 의해 팬(20) 회전수를 증감하도록 할 수 있다. 뿐만 아니라, 광센서(71)는 팬(20)이 원래 설치 위치로부터 벗어나 제 기능을 발휘하지 못하는 탈조 상태인지 여부를 확인할 수 있다. 광센서(71)로부터 측정된 정보에 기초하여 팬(20)이 탈조 상태인 것으로 판단되면, 제어부(70)에서는 고장 신호를 송신하거나 팬(20)을 정지하고 재가동하여 탈조에 대응하도록 할 수 있다. The optical sensor 71 may measure the rotation speed of the fan 20, and allow the controller 70 to increase or decrease the rotation speed of the fan 20 by comparing the measured rotation speed with the target rotation speed. In addition, the optical sensor 71 can determine whether the fan 20 is out of the original installation position is in the out of state that does not function properly. If it is determined that the fan 20 is in the out-of-fuel state based on the information measured by the optical sensor 71, the control unit 70 may transmit a fault signal or stop and restart the fan 20 to respond to the out-of-season. .

한편, 광센서(71) 이외에 압력 센서(72)의 측정값에 기초하여 회전 구동부(30)를 제어할 수 있다. 압력 센서(72)는 하우징(10)의 유로 중에서 팬(20)의 상류측과 하류측에 각각 설치하여 이송되는 유동의 압력을 측정하도록 구성된다. 제어부(70)에서는 압력 센서(72)로부터 측정된 압력값들의 차이인 차압을 측정하고 이를 목표 압력차와 비교하여 회전 구동부(30)를 제어하도록 구성될 수 있다. On the other hand, the rotation drive unit 30 may be controlled based on the measured value of the pressure sensor 72 in addition to the optical sensor 71. The pressure sensor 72 is configured to measure the pressure of the flow to be installed and transported respectively upstream and downstream of the fan 20 in the flow path of the housing 10. The controller 70 may be configured to measure the differential pressure, which is a difference between the pressure values measured by the pressure sensor 72, and compare the pressure difference with the target pressure difference to control the rotation driving unit 30.

나아가, 본 발명의 변형 실시예에 따른 유체 이송 장치(1)에서는 유체 이송 장치(1)가 설치되는 배기 시스템의 메인 덕트(5)로부터 측정되는 압력값과 압력 센서(72)로부터 측정된 압력값들을 비교하여 회전 구동부(30)를 제어할 수도 있다.Furthermore, in the fluid conveying apparatus 1 according to the modified embodiment of the present invention, the pressure value measured from the main duct 5 of the exhaust system in which the fluid conveying apparatus 1 is installed and the pressure value measured from the pressure sensor 72. The rotation drive unit 30 may be controlled by comparing them.

이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

1 유체 이송 장치 2 메인 팬
3 스크러버 4 분기관
5 메인덕트 10 하우징
11 확경부 12 플랜지부
13 팬프레임 수용 홈 14 유동 가이드
20 팬 21 팬프레임
22 팬블레이드 30 회전 구동부
31 모터 32 로터리 피드스루
33 구동 기어 34 종동 기어
35 구동 풀리 36 종동 풀리
37 벨트 38 분사 노즐
39 외곽 돌출부 40 영구자석
41 코어 42 코일
50 회전 지지부 51 베어링
52 마그넷 521 제1 마그넷
522 제2 마그넷 53 베어링 지지부
54 시일 61 윤활유 리저버
62 윤활유 순환로 63 펌프
70 제어부 71 광센서
72 압력 센서 1 Fluid transfer unit 2 Main fan
3 scrubber 4 branch pipe
5 Main duct 10 Housing
11 Expanded diameter 12 Flange
13 Fan frame receiving groove 14 Flow guide
20 Fans 21 Fanframes
22 Fanblade 30 Rotational Drive
31 Motor 32 Rotary Feedthroughs
33 Drive Gear 34 Follow Gear
35 driven pulley 36 driven pulley
37 Belt 38 Spray Nozzles
39 Outer protrusion 40 Permanent magnet
41 core and 42 coil
50 Rotational Support 51 Bearing
52 Magnet 521 First Magnet
522 Second magnet 53 Bearing support
54 Seal 61 Lubricant Reservoir
62 Lubricant circuit 63 Pump
70 Control unit 71 Light sensor
72 pressure sensor

Claims (18)

유체를 이송하는 유로가 내부에 형성되는 하우징;
상기 하우징의 유로에 설치되며 유체 이송방향측 양단부가 개구되어 있는 팬프레임과, 상기 팬프레임의 내주면에 복수개가 서로 이격되어 위치되며 상기 팬프레임의 내주면으로부터 각각 돌출되어 형성되는 블레이드를 포함하는 팬;
상기 팬을 회전시키는 회전 구동부; 및
상기 하우징의 내주면과 상기 팬프레임의 외주면의 사이에 설치되어 상기 팬의 회전을 지지하는 회전 지지부를 포함하고,
상기 하우징은 상기 팬이 설치되는 위치에서 내경이 확경되어 구성되는 확경부를 포함하며,
상기 회전 지지부는, 상기 확경부의 유체 이송방향측 내주면과 상기 팬프레임의 유체이송 방향측 외주면 사이에 유체 이송방향으로 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 베어링과, 상기 확경부의 반경방향측 내주면과, 상기 반경방향측 내주면과 마주보는 상기 팬프레임의 반경방향측 외주면에 각각 설치되어 서로에 대해 전자기력을 미치는 한 쌍의 마그넷을 포함하는, 유체 이송 장치.A housing in which a flow path for transporting the fluid is formed;
A fan installed in the flow path of the housing, the fan frame having both ends of the fluid conveying direction opening, and a plurality of blades positioned on the inner circumferential surface of the fan frame and spaced from each other and protruding from the inner circumferential surface of the fan frame;
A rotation driver for rotating the fan; And
A rotation support part installed between an inner circumferential surface of the housing and an outer circumferential surface of the fan frame to support rotation of the fan;
The housing includes an enlarged diameter portion configured to expand the inner diameter at the position where the fan is installed,
The rotatable support includes a pair of bearings spaced apart from each other in the fluid conveying direction between the fluid conveying direction side inner circumferential surface of the enlarged diameter part and the fluid conveying direction side outer circumferential surface of the fan frame, and the radially inner circumferential surface of the enlarged diameter part; And a pair of magnets respectively installed on radially outer peripheral surfaces of the fan frame facing the radially inner peripheral surfaces to exert an electromagnetic force on each other. 유체를 이송하는 유로가 내부에 형성되는 하우징;
상기 하우징의 유로에 설치되며 유체 이송방향측 양단부가 개구되어 있는 팬 프레임과, 상기 팬프레임의 내주면에 복수개가 서로 이격되어 위치되며 상기 팬프레임의 내주면으로부터 각각 돌출되어 형성되는 블레이드를 포함하는 팬;
상기 팬을 회전시키는 회전 구동부; 및
상기 하우징의 내주면과 상기 팬프레임의 외주면의 사이에 설치되어 상기 팬 의 회전을 지지하는 회전 지지부를 포함하고,
상기 하우징은 상기 팬이 설치되는 위치에서 내경이 확경되어 구성되는 확경부를 포함하며,
상기 회전 지지부는, 상기 확경부의 반경방향측 내주면과 상기 팬프레임의 반경방향측 외주면 사이에 유체 이송방향으로 서로 이격되어 설치되는 한 쌍의 베어링과, 상기 확경부의 유체 이송방향측 내주면과, 상기 유체 이송방향측 내주면과 마주보는 상기 팬프레임의 유체 이송방향측 외주면에 각각 설치되어 서로에 대해 전자기력을 미치는 한 쌍의 마그넷을 포함하는, 유체 이송 장치.A housing in which a flow path for transporting the fluid is formed;
A fan installed in a flow path of the housing and having a fan frame having both ends of the fluid conveying direction opening, and a plurality of blades positioned on the inner circumferential surface of the fan frame and spaced apart from each other and protruding from the inner circumferential surface of the fan frame;
A rotation driver for rotating the fan; And
A rotation support part installed between an inner circumferential surface of the housing and an outer circumferential surface of the fan frame to support rotation of the fan;
The housing includes an enlarged diameter portion configured to expand the inner diameter at the position where the fan is installed,
The rotating support includes a pair of bearings spaced apart from each other in the fluid conveying direction between the radially inner peripheral surface of the enlarged diameter part and the radially outer peripheral surface of the fan frame, and the fluid conveying direction side inner peripheral surface of the enlarged diameter part; And a pair of magnets respectively provided on the fluid transport direction side outer circumferential surface of the fan frame facing the fluid transport direction side inner circumferential surface to exert an electromagnetic force on each other. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부는 상기 하우징의 반경방향으로 상기 팬프레임의 외측에 설치되어 있는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
And the rotation drive unit is installed outside the fan frame in a radial direction of the housing. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 팬은 상기 유체 이송방향과 나란하게 설치되는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
And the fan is installed in parallel with the fluid conveying direction. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부는,
상기 팬프레임의 회전 방향을 따라 상기 팬프레임의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 기어와,
상기 종동 기어와 맞물리는 구동 기어와,
상기 구동 기어에 회전축이 연결되어 회전력을 상기 구동 기어로 전달하는 모터를 포함하는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The rotation drive unit,
A driven gear installed to surround an outer circumferential surface of the fan frame in a rotational direction of the fan frame;
A drive gear meshing with the driven gear;
And a motor coupled to the drive gear to transmit a rotational force to the drive gear. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부는,
회전축을 회전시켜 회전력을 생성하는 모터와,
상기 모터의 회전축에 연결되어 상기 회전력을 전달받는 구동 풀리와,
상기 팬프레임의 회전 방향을 따라 상기 팬프레임의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 풀리와,
상기 구동 풀리와 상기 종동 풀리에 연결되어 상기 구동 풀리의 회전력을 상기 종동 풀리에 전달하는 벨트를 포함하는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The rotation drive unit,
A motor that rotates the rotating shaft to generate rotational force,
A driving pulley connected to the rotation shaft of the motor to receive the rotation force;
A driven pulley installed to surround the outer circumferential surface of the fan frame in a rotational direction of the fan frame;
And a belt coupled to the drive pulley and the driven pulley to transmit rotational force of the drive pulley to the driven pulley. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부는,
회전축을 회전시켜 회전력을 생성하는 모터와,
상기 모터의 회전축에 연결되어 상기 회전력을 전달받는 구동 스프로켓과,
상기 팬프레임의 회전 방향을 따라 상기 팬프레임의 외주면을 둘러싸도록 설치되는 종동 스프로켓과,
상기 구동 스프로켓과 상기 종동 스프로켓에 연결되어 상기 구동 스프로켓의 회전력을 상기 종동 스프로켓에 전달하는 체인을 포함하는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The rotation drive unit,
A motor that rotates the rotating shaft to generate rotational force,
A drive sprocket connected to the rotation shaft of the motor and receiving the rotation force;
A driven sprocket installed to surround an outer circumferential surface of the fan frame in a rotational direction of the fan frame;
And a chain connected to the drive sprocket and the driven sprocket for transmitting a rotational force of the drive sprocket to the driven sprocket. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부는,
상기 팬프레임의 외주면에 복수개가 서로 이격되어 위치되고 상기 팬프레임의 외주면으로부터 각각 돌출하여 형성되는 외곽 돌출부와,
상기 외곽 돌출부를 향하여 공기를 분사하는 분사노즐을 포함하는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The rotation drive unit,
A plurality of outer protrusions positioned on the outer circumferential surface of the fan frame and spaced apart from each other and protruding from the outer circumferential surface of the fan frame, respectively;
And an injection nozzle for injecting air toward the outer protrusion. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부는,
상기 팬프레임의 외주면에 복수개가 서로 이격되어 설치되는 영구자석과,
상기 영구자석과 대향하는 상기 하우징의 내주면에 복수개가 서로 이격되어 설치되며 코일이 권선되어 있는 코어를 포함하며,
상기 복수개의 코어에 순차적으로 통전하여 상기 코어와 상기 영구자석 사이의 전자기력에 의해 상기 팬을 회전시키는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The rotation drive unit,
Permanent magnets are installed on the outer peripheral surface of the fan frame spaced apart from each other,
A plurality of cores are installed on the inner circumferential surface of the housing facing the permanent magnet and spaced apart from each other and have a coil wound thereon;
And energizing the plurality of cores sequentially to rotate the fan by electromagnetic force between the core and the permanent magnet. 삭제delete 삭제delete 제2항에 있어서,
상기 확경부의 유체 이송방향측 내주면에는 팬프레임 수용홈이 형성되고,
상기 팬프레임 수용홈에 상기 팬프레임의 유체 이송방향측 외주면이 수용되며,
상기 팬프레임의 유체 이송방향측 외주면에는 상기 한 쌍의 마그넷 중 제1 마그넷이 설치되고 상기 제1 마그넷과 대향하는 상기 팬프레임 수용홈의 저면에는 상기 한 쌍의 마그넷 중 제2 마그넷이 설치되며,
상기 팬프레임의 수용홈과 상기 팬프레임 사이에 시일이 개재되어 있는, 유체 이송 장치.The method of claim 2,
A fan frame accommodating groove is formed in the inner circumferential surface of the fluid delivery direction side of the enlarged diameter part.
The outer peripheral surface of the fluid transport direction side of the fan frame is accommodated in the fan frame receiving groove,
A first magnet of the pair of magnets is installed on the outer circumferential surface of the fan frame in the fluid transfer direction side, and a second magnet of the pair of magnets is installed on the bottom of the fan frame receiving groove facing the first magnet.
And a seal is interposed between the receiving groove of the fan frame and the fan frame. 제12항에 있어서,
상기 회전 구동부 및 상기 회전 지지부를 윤활 및 냉각시키는 윤활유를 저장하는 윤활유 리저버와,
일단은 상기 윤활유 리저버와 연결되고 타단은 상기 하우징의 확경부에 연결되는 윤활유 순환로와,
상기 윤활유 순환로에 설치되어 윤활유를 순환시키는 펌프를 더 포함하는 유체 이송 장치.The method of claim 12,
A lubricating oil reservoir storing lubricating oil for lubricating and cooling the rotating driving part and the rotating supporting part;
A lube oil circulation path having one end connected to the lubricant reservoir and the other end connected to the enlarged portion of the housing;
And a pump installed in the lubricating oil circuit to circulate the lubricating oil. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 하우징의 양단부에는 플랜지부가 설치되어 있는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
Both ends of the housing is provided with a flange portion, the fluid transfer device. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 유체 이송방향으로 상기 팬의 상류측에는 상기 하우징의 내주면으로부터 돌출하여 형성되는 유동가이드가 설치되어 있는, 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
And a flow guide protruding from an inner circumferential surface of the housing in an upstream side of the fan in the fluid conveying direction. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 팬의 회전수 및 탈조 여부 중 적어도 어느 하나를 측정 가능한 광센서; 및
상기 광센서로부터 측정된 결과에 기초하여 상기 회전 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
An optical sensor capable of measuring at least one of rotational speed of the fan and whether or not the fan is out; And
And a control unit for controlling the rotation driving unit based on the result measured by the optical sensor. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 하우징의 내의 유로 중에서 상기 팬의 상류측 압력과 하류측 압력을 각각 측정할 수 있는 복수의 압력 센서; 및
상기 압력 센서들로부터 측정된 압력값들의 차이에 기초하여 상기 회전 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 유체 이송 장치.The method according to claim 1 or 2,
A plurality of pressure sensors each capable of measuring an upstream pressure and a downstream pressure of the fan in a flow path in the housing; And
And a control unit for controlling the rotation driving unit based on the difference between the pressure values measured from the pressure sensors. 제17항에 있어서,
상기 유체 이송 장치가 설치되는 배기 시스템의 메인 덕트로부터 측정되는 압력값과 상기 압력 센서들로부터 측정된 압력값들을 비교하여 상기 회전 구동부를 제어하는, 유체 이송 장치.The method of claim 17,
And the pressure value measured from the main duct of the exhaust system in which the fluid transfer device is installed and the pressure values measured from the pressure sensors to control the rotary drive unit.
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