KR102076203B1 - Lighting system of optical inspection equipment - Google Patents

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KR102076203B1
KR102076203B1 KR1020180059101A KR20180059101A KR102076203B1 KR 102076203 B1 KR102076203 B1 KR 102076203B1 KR 1020180059101 A KR1020180059101 A KR 1020180059101A KR 20180059101 A KR20180059101 A KR 20180059101A KR 102076203 B1 KR102076203 B1 KR 102076203B1
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주식회사 에이치비테크놀러지
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    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/062—LED's

Abstract

본 발명은 검사 대상체를 이송시키는 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 이송된 검사 대상체에 빛을 조사하는 엘이디 조명등과, 상기 엘이디 조명등에 의해 빛이 조사된 검사 대상체를 촬영하는 에어리어 카메라를 포함하는 검사 대상체의 결함을 검출하는 광학 검사 장비의 조명 시스템에 있어서, 상기 엘이디 조명등이 작동되도록 조명 트리거 신호를 발생시키는 카메라 트리거 보드와, 상기 조명 트리거 신호에 의해 엘이디 조명등을 작동시키며, 카메라 트리거 신호를 발생시키는 조명 제어 보드와, 상기 카메라 트리거 신호에 의해 상기 에어리어 카메라에 전달하는 이미지 획득 보드를 포함하되, 상기 엘이디 조명등을 상기 에어리어 카메라보다 먼저 작동시켜 상기 검사 대상체에 빛이 조사된 상태에서 검사 대상체의 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장비의 조명 시스템이 제공된다. The present invention includes a stage for transporting a test object, an LED light for irradiating light to the test object transported by the stage, and an area camera for photographing the test object irradiated with light by the LED light An illumination system of optical inspection equipment for detecting a defect, comprising: a camera trigger board for generating an illumination trigger signal to operate the LED illuminator, and an illumination control for operating an LED illuminator by the illumination trigger signal and generating a camera trigger signal A board and an image acquisition board which transmits the image to the area camera by the camera trigger signal, wherein the LED lamp is operated before the area camera to acquire an image of the test object while the light is irradiated to the test object. Characterized by An illumination system of optical inspection equipment is provided.

Description

광학 검사 장비의 조명 시스템{Lighting system of optical inspection equipment}Lighting system of optical inspection equipment

본 발명은 광학 검사 장비의 조명 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 에어리어 카메라(area camera)를 이용한 패널검사용 엘이디 스트로브(LED strobe) 조명 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an illumination system of an optical inspection equipment, and more particularly to an LED strobe lighting system for panel inspection using an area camera (area camera).

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms.

이에 부응하여 근대에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 디스플레이 장치가 연구되어 왔고, 일부는 상용화되고 있다.In response to this, many modern flat panel display devices such as liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELDs), and vacuum fluorescent displays (VFDs) have been studied.

이와 같은 평판 디스플레이 장치가 일반적인 화면표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위화상을 얼마나 구현할 수 있는가가 관건이다. In order to use such a flat panel display device in various parts as a general screen display device, how much high quality images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption.

그리고 이러한 평판 디스플레이 장치의 제작공정 중 제품자체의 결함을 검사하는 공정은 제품에 대한 신뢰도와 직결되므로 중요한 공정에 해당한다고 볼 수 있다.In addition, the process of inspecting defects of the product itself in the manufacturing process of the flat panel display device is an important process since it is directly connected to the reliability of the product.

이러한 평판 디스플레이의 결함을 검출하는 광학 검사 장비의 조명 시스템에 있어서 도 1에 도시된 바와 같이 LCD 또는 AMOLED 등의 패널 결함 검사 시 에어리어 카메라가 작동되고 엘이디 조명등이 작동되는 방식이었다. In the illumination system of the optical inspection equipment for detecting defects of the flat panel display, as shown in FIG. 1, the area camera is operated and the LED illuminator is operated when inspecting a panel defect such as an LCD or an AMOLED.

이러한 경우 엘이디 조명등의 밝기가 최대밝기로 작동되기까지의 일정시간이 걸리기 때문에 가장 밝은 영상을 획득할 수 없거나 최대밝기로 되기까지 걸리는 시간동안 에어리어 카메라를 노출시켜야 하는 문제가 있다.In this case, since the brightness of the LED lamp takes a certain time to operate at the maximum brightness, there is a problem that the area camera must be exposed for the time it takes to obtain the brightest image or until the brightness becomes the maximum brightness.

또한, 에어리어 카메라의 노출시간이 길어지게 되면 이미지 블러링(image blurring) 현상이 발생하기 때문에 촬영된 이미지의 화상이 선명하지 않아 패널의 결함을 제대로 확인할 수 없어 제품 신뢰도가 저하되는 문제가 있다.In addition, when the exposure time of the area camera is prolonged, image blurring occurs, so that the image of the photographed image is not clear, so that defects on the panel cannot be properly confirmed, thereby degrading product reliability.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 엘이디 조명등의 밝기가 최대로 되었을 때, 에어리어 카메라의 노출을 시작함으로써 최대 밝기의 영상을 획득할 수 있는 광학 검사 장비의 조명 시스템을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, to provide an illumination system of the optical inspection equipment that can obtain the image of the maximum brightness by starting the exposure of the area camera when the brightness of the LED lighting is maximized. There is this.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned object, another object that is not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 검사 대상체를 이송시키는 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 이송된 검사 대상체에 빛을 조사하는 엘이디 조명등과, 상기 엘이디 조명등에 의해 빛이 조사된 검사 대상체를 촬영하는 에어리어 카메라를 포함하는 검사 대상체의 결함을 검출하는 광학 검사 장비의 조명 시스템이 구비된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a stage for transporting a test object, an LED light for irradiating light to the test object carried by the stage, and an area for photographing the test object irradiated with the LED light An illumination system of optical inspection equipment for detecting a defect of an inspection object including a camera is provided.

이때, 상기 광학 검사 장비는 상기 스테이지 이송 중 스테이지의 위치 엔코더 신호를 발생시키는 모터 엔코더가 구비되고, 상기 엔코더 신호에 의해 상기 엘이디 조명등이 작동되도록 조명 트리거 신호를 발생시키는 카메라 트리거 보드와, 상기 조명 트리거 신호에 의해 엘이디 조명등을 작동시키며, 카메라 트리거 신호를 발생시키는 조명 제어 보드와, 상기 카메라 트리거 신호에 의해 상기 에어리어 카메라를 작동시키는 이미지 획득 보드를 포함한다. In this case, the optical inspection equipment is provided with a motor encoder for generating a position encoder signal of the stage during the stage transfer, the camera trigger board for generating an illumination trigger signal to operate the LED light by the encoder signal, and the illumination trigger And a lighting control board for operating the LED lamp by a signal, and generating a camera trigger signal, and an image acquisition board for operating the area camera by the camera trigger signal.

또한, 상기 조명 시스템은, 상기 스테이지의 기설정된 촬영 위치에서 상기 에어리어 카메라가 작동되는 카메라 작동 지점과, 상기 카메라 작동지점에서부터 상기 검사 대상체를 촬영하는 카메라 노출 구간과, 상기 스테이지 이송 중 상기 카메라 작동 지점 이전에 상기 엔코더 신호를 발생시켜 상기 엘이디 조명등을 작동시키는 조명 작동 지점이 형성된다. The lighting system may further include a camera operating point at which the area camera is operated at a preset shooting position of the stage, a camera exposure section for photographing the inspection object from the camera operating point, and the camera operating point during the stage transfer. An illumination operating point is formed which previously generates the encoder signal to activate the LED illuminator.

따라서 상기 엘이디 조명등을 상기 에어리어 카메라보다 먼저 작동시켜 상기 검사 대상체에 빛이 조사된 상태에서 검사 대상체의 영상을 획득할 수 있다. Therefore, the LED lamp may be operated before the area camera to acquire an image of the test object in a state where light is irradiated onto the test object.

또한, 상기 조명 시스템은, 상기 조명 작동 지점에서 소정 시간 후에 상기 엘이디 조명등의 밝기가 최대 밝기에 도달하여 작동되는 최대 밝기 구간이 더 형성된다.In addition, the lighting system, the brightness of the LED lamp after reaching a maximum brightness after a predetermined time at the lighting operation point is further formed a maximum brightness interval to operate.

그리고 상기 카메라 노출 구간은 상기 최대 밝기 구간 내에 형성 되어 상기 에어리어 카메라는 상기 엘이디 조명등의 최대 밝기 구간 내에서 작동된다. The camera exposure section is formed within the maximum brightness section so that the area camera operates within the maximum brightness section of the LED lamp.

또한, 상기 스테이지의 이동 속도에 따라 상기 엔코더 신호가 발생되는 엔코더 신호 발생 위치를 설정하는 컨트롤러가 구비된다. The controller may be configured to set an encoder signal generation position at which the encoder signal is generated according to the moving speed of the stage.

또한, 상기 컨트롤러는, 상기 스테이지의 가속, 감속, 등속 이동을 확인하고, 가속, 감속, 등속 이동에 따른 1 펄스(pulse) 당 걸리는 시간 t2를 검출하는 검출부와, 상기 검출부에 의해 검출된 시간 t2 와 1 펄스(pulse) 당 스테이지의 이동 거리를 통해 상기 기설정된 촬영위치에서 상기 엘이디 조명이 최대 밝기에 도달하는 소정 시간 t1 만큼 이격된 엔코더 신호 발생 위치를 산술해내는 산술부와, 상기 산술부를 통해 산술된 엔코더 신호 발생 위치에서 엔코더 신호를 발생시키는 제어부를 포함하여 이루어진다. The controller may further include: a detector configured to check acceleration, deceleration, and constant velocity movement of the stage, and detect a time t2 taken per pulse according to the acceleration, deceleration, and constant velocity movement; and time t2 detected by the detector. And an arithmetic unit for arranging encoder signal generation positions spaced apart by a predetermined time t1 at which the LED illumination reaches the maximum brightness at the predetermined shooting position through a moving distance of the stage per pulse. And a controller for generating an encoder signal at the arithmetic encoder signal generation position.

또한, 상기 조명 제어 보드에는, 상기 엘이디 조명등에 인가되는 전류를 모니터링 하여 상기 엘이디 조명등의 밝기가 최대 밝기로 작동되는 설정 전류값에 도달했을 때, 상기 이미지 획득 보드에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 제1 카메라 작동부를 포함하여 이루어진다.In addition, the lighting control board, the first to monitor the current applied to the LED lamp to generate a camera trigger signal to the image acquisition board when the brightness of the LED lamp reaches a set current value operating at the maximum brightness; It includes a camera operating unit.

상기 조명 제어 보드에는, 상기 엘이디 조명등이 작동된 후 상기 엘이디 조명등의 밝기가 최대 밝기로 작동되는 설정시간이 되었을 때, 상기 이미지 획득 보드에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 제2 카메라 작동부를 포함하여 이루어진다.The lighting control board includes a second camera operating unit for generating a camera trigger signal to the image acquisition board when the brightness of the LED lighting is set to operate at the maximum brightness after the LED lighting is operated.

또한, 상기 제1 카메라 작동부는, 상기 엘이디 조명등으로 인가되는 전류 측정값을 실시간으로 측정하는 전류측정센서와, 상기 전류측정센서에서 측정된 전류 측정값을 전송받아 전류 측정값이 설정 전류값에 도달하면 상기 이미지 획득 보드에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 모니터링 제어부를 포함하여 이루어진다.In addition, the first camera operating unit, a current measurement sensor for measuring the current measurement value applied to the LED lamp in real time, and receives the current measurement value measured by the current measurement sensor, the current measurement value reaches the set current value And a monitoring controller for generating a camera trigger signal on the image acquisition board.

상기 제2 카메라 작동부는, 상기 카메라 트리거 보드에서 조명 트리거 신호를 받아 상기 엘이디 조명등에 대한 작동 시작 신호를 생성하는 입력부와, 상기 입력부의 작동 시작 신호로부터 상기 설정시간에 해당하는 시간이 지난 후에 상기 이미지 획득 보드에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 시간 동기화 제어부를 포함하여 이루어진다.The second camera operation unit may include an input unit configured to receive an illumination trigger signal from the camera trigger board and generate an operation start signal for the LED lighting lamp, and after the time corresponding to the set time passes from the operation start signal of the input unit, the image. And a time synchronization controller for generating a camera trigger signal on the acquisition board.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be interpreted in the ordinary and dictionary sense, and the inventors may appropriately define the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that the present invention should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 엘이디 조명등의 밝기가 최대로 되었을 때, 에어리어 카메라의 노출을 시작함으로써 최대 밝기의 영상을 획득할 수 있으며, 에어리어 카메라의 노출시간을 줄일 수 있어 선명한 영상을 획득할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, when the brightness of the LED lighting is maximized, the image of the maximum brightness can be obtained by initiating the exposure of the area camera, and the exposure time of the area camera can be reduced, thereby obtaining a clear image. There is an effect that can be done.

도 1은 종래의 광학 검사 장비의 조명 시스템의 에어리어 카메라와 엘이디 조명등의 작동상태를 나타낸 도,
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광학 검사 장비의 조명 시스템의 시스템 구성도,
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 제1 카메라 작동부를 포함하는 광학 검사 장비의 조명 시스템의 시스템 구성도,
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 제2 카메라 작동부를 포함하는 광학 검사 장비의 조명 시스템의 시스템 구성도,
도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 에어리어 카메라와 엘이디 조명등의 작동상태를 나타낸 도이다.1 is a view showing the operating state of the area camera and LED lighting of the lighting system of the conventional optical inspection equipment,
2 is a system configuration diagram of an illumination system of optical inspection equipment according to an embodiment of the present invention,
3 is a system configuration diagram of an illumination system of optical inspection equipment including a first camera operating unit in a preferred embodiment of the present invention;
4 is a system configuration diagram of an illumination system of optical inspection equipment including a second camera operating unit in a preferred embodiment of the present invention;
5 is a view showing an operating state of the area camera and the LED lighting according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.In addition, terms to be described below are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary depending on the intention or convention of a user or an operator. Therefore, the definitions of these terms should be made based on the contents throughout the specification.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.In addition, the following examples are not intended to limit the scope of the present invention, but merely illustrative of the components set forth in the claims of the present invention, which are included in the technical spirit throughout the specification of the present invention and constitute the claims Embodiments that include components substitutable as equivalents in the elements may be included in the scope of the present invention.

첨부된 도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광학 검사 장비의 조명 시스템의 시스템 구성도, 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 제1 카메라 작동부를 포함하는 광학 검사 장비의 조명 시스템의 시스템 구성도, 도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 제2 카메라 작동부를 포함하는 광학 검사 장비의 조명 시스템의 시스템 구성도, 도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 에어리어 카메라와 엘이디 조명등의 작동상태를 나타낸 도이다.2 is a system configuration diagram of an illumination system of the optical inspection equipment according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram of an illumination system of the optical inspection equipment including a first camera operating unit in a preferred embodiment of the present invention. 4 is a system configuration diagram of a lighting system of an optical inspection equipment including a second camera operating unit in a preferred embodiment of the present invention, Figure 5 is an area camera and LED lighting according to a preferred embodiment of the present invention This diagram shows the operating state of.

도 2 이하에 도시된 바와 같이 본 발명은 광학 검사 장비의 조명 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 에어리어 카메라(area camera)를 이용한 패널검사용 엘이디 스트로브(LED strobe) 조명 시스템에 관한 것이다. 2, the present invention relates to an illumination system of optical inspection equipment, and more particularly, to an LED strobe illumination system for panel inspection using an area camera.

본 발명에 따른 광학 검사 장비의 조명 시스템은 검사 대상체(미도시)를 이송시키는 스테이지(미도시)와, 상기 스테이지에 의해 이송된 검사 대상체에 빛을 조사하는 엘이디 조명등(10)과, 상기 엘이디 조명등(10)에 의해 빛이 조사된 검사 대상체를 촬영하는 에어리어 카메라(20)를 포함하여 이루어진다.The illumination system of the optical inspection equipment according to the present invention includes a stage (not shown) for transporting an inspection object (not shown), an LED illuminating light 10 for irradiating light to the inspection object transported by the stage, and the LED lighting light. And an area camera 20 for photographing the test object irradiated with light by 10.

이때, 상기 광학 검사 장비는 상기 스테이지 이송 중 스테이지의 위치 엔코더 신호를 발생시키는 모터 엔코더(30)가 구비되고, 상기 엔코더 신호에 의해 상기 엘이디 조명등(10)이 작동되도록 조명 트리거 신호를 발생시키는 카메라 트리거 보드(100)와, 상기 조명 트리거 신호에 의해 엘이디 조명등(10)을 작동시키며, 카메라 트리거 신호를 발생시키는 조명 제어 보드(200)와, 상기 카메라 트리거 신호에 의해 상기 에어리어 카메라(20)를 작동시키는 이미지 획득 보드(300)를 포함하여 이루어진다.At this time, the optical inspection equipment is provided with a motor encoder 30 for generating a position encoder signal of the stage during the stage transfer, the camera trigger for generating an illumination trigger signal to operate the LED lamp 10 by the encoder signal The board 100, the LED lighting lamp 10 is operated by the illumination trigger signal, the illumination control board 200 which generates a camera trigger signal, and the area camera 20 is operated by the camera trigger signal. And an image acquisition board 300.

따라서 본 발명에 따른 에어리어 카메라(area camera)를 이용한 패널검사용 엘이디 스트로브(LED strobe) 조명 시스템은 상기 엘이디 조명등(10)을 상기 에어리어 카메라(20)보다 먼저 작동시켜 상기 검사 대상체에 빛이 조사된 상태에서 검사 대상체의 영상을 획득하는 것을 특징으로 한다.Therefore, the LED strobe lighting system for panel inspection using an area camera according to the present invention operates the LED lamp 10 before the area camera 20 so that light is irradiated to the test object. And obtaining an image of the test object in a state.

또한, 상기 스테이지를 이동시키는 모터(미도시)가 구비되고, 상기 모터에는 상기 스테이지의 위치 정보를 송출하는 모터 엔코더(30)가 구비된다.In addition, a motor (not shown) for moving the stage is provided, and the motor is provided with a motor encoder 30 for transmitting position information of the stage.

그리고 상기 카메라 트리거 보드(100)는 상기 스테이지의 특정위치에서 송출되는 엔코더 신호에 의해 조명 트리거 신호를 발생시킨다.The camera trigger board 100 generates an illumination trigger signal by an encoder signal transmitted from a specific position of the stage.

또한, 엘이디 조명등(10)이 작동되고 일정시간 후에 조명의 밝기가 최대 밝기에 도달하는 최대 밝기 구간이 형성된다.In addition, after the LED lamp 10 is activated and a predetermined time is formed a maximum brightness section in which the brightness of the light reaches the maximum brightness.

즉, 도 5를 참조하면, 상기 조명 시스템은, 상기 스테이지의 기설정된 촬영 위치에서 상기 에어리어 카메라(20)가 작동되는 카메라 작동 지점과, 상기 카메라 작동 지점에서부터 상기 검사 대상체를 촬영하는 카메라 노출 구간과, 상기 스테이지 이송 중 상기 카메라 작동 지점 이전에 상기 엔코더 신호를 발생시켜 상기 엘이디 조명등을 작동시키는 조명 작동 지점이 형성된다. That is, referring to FIG. 5, the lighting system may include a camera operating point at which the area camera 20 is operated at a predetermined shooting position of the stage, a camera exposure period for photographing the inspection object from the camera operating point, and During operation of the stage, an illumination operation point is generated to generate the encoder signal before the camera operation point to operate the LED illuminator.

따라서 상기 엘이디 조명등(10)을 상기 에어리어 카메라(20)보다 먼저 작동시켜 상기 검사 대상체에 빛이 조사된 상태에서 검사 대상체의 영상을 획득할 수 있다. Therefore, the LED illuminator 10 may be operated before the area camera 20 to acquire an image of the test object in a state where light is irradiated onto the test object.

또한, 상기 조명 시스템은 상기 조명 작동 지점에서 소정 시간 후에 상기 엘이디 조명등(10)의 밝기가 최대 밝기에 도달하여 작동되는 최대 밝기 구간이 더 형성된다.In addition, the lighting system further has a maximum brightness section in which the brightness of the LED lamp 10 reaches maximum brightness after a predetermined time at the lighting operation point.

그리고 상기 카메라 노출 구간은 상기 최대 밝기 구간 내에 형성 되어 상기 에어리어 카메라는 상기 엘이디 조명등의 최대 밝기 구간 내에서 작동된다. The camera exposure section is formed within the maximum brightness section so that the area camera operates within the maximum brightness section of the LED lamp.

즉, 상기 에어리어 카메라(20)는 상기 엘이디 조명등(10)의 최대 밝기 구간 내에서 작동되어 영상을 획득한다. That is, the area camera 20 is operated within the maximum brightness section of the LED lamp 10 to obtain an image.

따라서 상기 엘이디 조명등(10)의 밝기가 최대로 되었을 때, 에어리어 카메라(20)의 노출을 시작함으로써 최대 밝기의 영상을 획득할 수 있으며, 에어리어 카메라(20)의 노출시간을 줄일 수 있어 선명한 영상을 획득할 수 있다.Therefore, when the brightness of the LED lamp 10 is maximized, the image of the maximum brightness can be obtained by initiating the exposure of the area camera 20, and the exposure time of the area camera 20 can be reduced, so that a clear image can be obtained. Can be obtained.

또한, 상기 스테이지의 이동 속도에 따라 상기 엔코더 신호가 발생되는 엔코더 신호 발생 위치를 설정하는 컨트롤러(미도시)가 더 구비될 수 있다. In addition, a controller (not shown) for setting an encoder signal generation position at which the encoder signal is generated may be further provided according to the moving speed of the stage.

이때, 또한, 상기 컨트롤러는, 상기 스테이지의 가속, 감속, 등속 이동을 확인하고, 가속, 감속, 등속 이동에 따른 1 펄스(pulse) 당 걸리는 시간 t2를 검출하는 검출부와, 상기 검출부에 의해 검출된 시간 t2 와 1 펄스(pulse) 당 스테이지의 이동 거리를 통해 상기 기설정된 촬영위치에서 상기 엘이디 조명이 최대 밝기에 도달하는 소정 시간 t1 만큼 이격된 엔코더 신호 발생 위치를 산술해내는 산술부와, 상기 산술부를 통해 산술된 엔코더 신호 발생 위치에서 엔코더 신호를 발생시키는 제어부를 포함하여 이루어진다. At this time, the controller may further include: a detector configured to check acceleration, deceleration, and constant velocity movements of the stage, and detect a time t2 taken per pulse according to the acceleration, deceleration, and constant velocity movements; An arithmetic unit for arranging encoder signal generation positions spaced apart by a predetermined time t1 at which the LED illumination reaches the maximum brightness at the preset shooting position through a time t2 and a moving distance of the stage per one pulse; It comprises a control unit for generating an encoder signal at the encoder signal generation position arithmetic through.

즉, 상기 광학 검사 장치에서 상기 검사 대상체를 촬영하는 촬영구간은 기설정되어 있으며, 상기 엘이디 조명등(10)의 최대 밝기에 도달하는 시간t1은 미리 측정하여 획득할 수 있다. That is, the photographing section for photographing the inspection object in the optical inspection apparatus is preset, and the time t1 for reaching the maximum brightness of the LED lamp 10 may be measured and obtained in advance.

즉, 상기 컨트롤러를 통해 상기 스테이지의 이동속도에 따라 1 펄스(pulse) 당 엔코더 신호가 출력되는 시간 t2를 검출함으로써 상기 촬영위치에서 엘이디 조명등(10)이 최대 밝기에 도달하는 시간 t1 만큼 떨어진 엔코더 신호 발생 위치를 설정할 수 있다.That is, by detecting the time t2 at which the encoder signal is output per pulse according to the moving speed of the stage through the controller, the encoder signal separated by the time t1 at which the LED lamp 10 reaches the maximum brightness at the shooting position. The generation position can be set.

따라서 상기 엔코더 신호 발생 위치를 상기 스테이지의 이동속도에 따라 재설정하여 엘이디 조명(10)을 작동시킴으로써 상기 에어리어 카메라(20)를 상기 엘이디 조명등(10)의 최대 밝기 구간 내에서 작동시킬 수 있다. Therefore, by resetting the encoder signal generation position according to the moving speed of the stage to operate the LED lighting 10, the area camera 20 can be operated within the maximum brightness period of the LED lighting 10.

한편, 상기 조명 제어 보드(200)에는 상기 엘이디 조명등(10)에 인가되는 전류를 모니터링 하여 상기 엘이디 조명등(10)의 밝기가 최대 밝기로 작동되는 설정 전류값에 도달했을 때, 상기 이미지 획득 보드(300)에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 제1 카메라 작동부(400)를 포함하여 이루어진다.On the other hand, the lighting control board 200 by monitoring the current applied to the LED lamp 10 when the brightness of the LED lamp 10 reaches a set current value to operate at the maximum brightness, the image acquisition board ( It comprises a first camera operating unit 400 for generating a camera trigger signal to 300.

이때, 상기 제1 카메라 작동부(400)는 상기 엘이디 조명등(10)으로 인가되는 전류 측정값을 실시간으로 측정하는 전류측정센서(410)와, 상기 전류측정센서(410)에서 측정된 전류 측정값을 전송받아 전류 측정값이 설정 전류값에 도달하면 상기 이미지 획득 보드(300)에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 모니터링 제어부(420)를 포함하여 이루어진다. At this time, the first camera operating unit 400 is a current measurement sensor 410 for measuring in real time the current measurement value applied to the LED lamp 10, and the current measurement value measured by the current measurement sensor 410 The control unit 420 is configured to generate a camera trigger signal to the image acquisition board 300 when the current measurement value reaches the set current value.

또한, 상기 엘이디 조명등(10)의 최대 밝기의 설정전류값은 실험을 통해 미리 측정하여 결정된 값이다. In addition, the set current value of the maximum brightness of the LED lamp 10 is a value determined by measuring in advance through the experiment.

또한, 상기 에어리어 카메라(20)의 작동이 중단되고 난 후 상기 엘이디 조명등(10)의 작동이 중단된다. In addition, after the operation of the area camera 20 is stopped, the operation of the LED lamp 10 is stopped.

한편, 상기 조명 제어 보드에는 상기 엘이디 조명등(10)이 작동된 후 상기 엘이디 조명등(10)의 밝기가 최대 밝기로 작동되는 설정시간이 되었을 때, 상기 이미지 획득 보드(300)에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 제2 카메라 작동부(500)를 포함하여 이루어진다.On the other hand, the light control board generates a camera trigger signal to the image acquisition board 300 when the brightness of the LED light 10 is set to operate at the maximum brightness after the LED light 10 is operated It comprises a second camera operating unit 500 to.

이때, 상기 제2 카메라 작동부(500)는 상기 카메라 트리거 보드(100)에서 조명 트리거 신호를 받아 상기 엘이디 조명등(10)에 대한 작동 시작 신호를 생성하는 입력부(510)와, 상기 입력부(510)의 작동 시작 신호로부터 상기 설정시간에 해당하는 시간이 지난 후에 상기 이미지 획득 보드(300)에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 시간 동기화 제어부(520)를 포함하여 이루어진다.In this case, the second camera operator 500 receives an illumination trigger signal from the camera trigger board 100 to generate an operation start signal for the LED lamp 10 and the input unit 510. It includes a time synchronization control unit 520 for generating a camera trigger signal to the image acquisition board 300 after a time corresponding to the set time from the start operation signal of the.

또한, 상기 엘이디 조명등(10)의 최대 밝기의 설정시간값은 실험을 통해 미리 측정하여 결정된 값이다. In addition, the set time value of the maximum brightness of the LED lamp 10 is a value determined by measuring in advance through the experiment.

또한, 상기 에어리어 카메라(20)의 작동이 중단되고 난 후 상기 엘이디 조명등(10)의 작동이 중단된다. In addition, after the operation of the area camera 20 is stopped, the operation of the LED lamp 10 is stopped.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, it is intended to describe the present invention in detail, and the present invention is not limited thereto, and should be understood by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention. It is obvious that the modification and improvement are possible.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

100 : 카메라 트리거 보드 200 : 조명 제어 보드
300 : 이미지 획득 보드 400 : 제1 카메라 작동부
410 : 전류 측정 센서 420 : 모니터링 제어부
500 : 제2 카메라 작동부 510 : 입력부
520 : 시간 동기화 제어부 100: camera trigger board 200: light control board
300: image acquisition board 400: first camera operating portion
410: current measurement sensor 420: monitoring control
500: second camera operating unit 510: input unit
520: time synchronization control unit

Claims (7)

검사 대상체를 이송시키는 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 이송된 검사 대상체에 빛을 조사하는 엘이디 조명등과, 상기 엘이디 조명등에 의해 빛이 조사된 검사 대상체를 촬영하는 에어리어 카메라를 포함하는 검사 대상체의 결함을 검출하는 광학 검사 장비의 조명 시스템에 있어서,
상기 광학 검사 장비는,
상기 스테이지 이송 중 스테이지의 위치 엔코더 신호를 발생시키는 모터 엔코더가 구비되고,
상기 엔코더 신호에 의해 상기 엘이디 조명등이 작동되도록 조명 트리거 신호를 발생시키는 카메라 트리거 보드와,
상기 조명 트리거 신호에 의해 엘이디 조명등을 작동시키며, 카메라 트리거 신호를 발생시키는 조명 제어 보드와,
상기 카메라 트리거 신호에 의해 상기 에어리어 카메라를 작동시키는 이미지 획득 보드를 포함하며
상기 조명 시스템은,
상기 스테이지의 기설정된 촬영 위치에서 상기 에어리어 카메라가 작동되는 카메라 작동 지점과,
상기 카메라 작동지점에서부터 상기 검사 대상체를 촬영하는 카메라 노출 구간과,
상기 스테이지 이송 중 상기 카메라 작동 지점 이전에 상기 엔코더 신호를 발생시켜 상기 엘이디 조명등을 작동시키는 조명 작동 지점이 형성되어,
상기 엘이디 조명등을 상기 에어리어 카메라보다 먼저 작동시켜 상기 검사 대상체에 빛이 조사된 상태에서 검사 대상체의 영상을 획득하며
이를 위해 상기 엘이디 조명등에 인가되는 전류를 모니터링 하여 상기 엘이디 조명등의 밝기가 최대 밝기로 작동되는 설정 전류값에 도달했을 때,
상기 이미지 획득 보드에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 제1 카메라 작동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 광학 검사 장비의 조명 시스템.Detecting a defect of the inspection object including a stage for transporting the inspection object, an LED lamp for irradiating light to the inspection object carried by the stage, and an area camera for shooting the inspection object irradiated with the LED light In the illumination system of the optical inspection equipment,
The optical inspection equipment,
A motor encoder for generating a position encoder signal of the stage during the stage transfer is provided,
A camera trigger board for generating an illumination trigger signal to operate the LED illuminator by the encoder signal;
An illumination control board operating an LED lamp by the illumination trigger signal and generating a camera trigger signal;
An image acquisition board for operating the area camera by the camera trigger signal;
The lighting system,
A camera operating point at which the area camera is operated at a predetermined shooting position of the stage,
A camera exposure section for photographing the inspection object from the camera operating point;
The lighting operation point is formed to generate the encoder signal before the camera operating point during the stage transfer to operate the LED light,
The LED lamp is operated before the area camera to obtain an image of the test object while the light is irradiated to the test object.
To this end, when the current applied to the LED lamp is monitored, when the brightness of the LED lamp reaches a set current value operating at maximum brightness,
And a first camera operating unit configured to generate a camera trigger signal on the image acquisition board. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 제1 카메라 작동부는,
상기 엘이디 조명등으로 인가되는 전류 측정값을 실시간으로 측정하는 전류측정센서와,
상기 전류측정센서에서 측정된 전류 측정값을 전송받아 전류 측정값이 설정 전류값에 도달하면 상기 이미지 획득 보드에 카메라 트리거 신호를 발생시키는 모니터링 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장비의 조명 시스템.



The method of claim 1, wherein the first camera operating unit,
A current measuring sensor measuring a current measured value applied to the LED lamp in real time;
Illumination system of the optical inspection equipment characterized in that it comprises a monitoring control unit for receiving a current measurement value measured by the current measuring sensor to generate a camera trigger signal on the image acquisition board when the current measurement value reaches a set current value .



삭제delete
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