KR102067697B1 - 대형 oled 엔클로져 박스 - Google Patents

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KR102067697B1
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이수연
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Abstract

본 발명은 대형 OLED 엔클로져 박스로서, 대형 OLED용 디스플레이 패널(Display Panel) 제작을 위한 잉크젯 프린팅 용액공정을 수행할 수 있는 엔클로저 박스에 관한 것이다.
내부에 100 Lube 이상의 밀폐된 챔버를 형성하고, 일측에 개폐부가 마련되는 하우징; 및 상기 챔버의 온도가 설정범위 내로 유지될 수 있도록 열교환장치를 작동시키고, 상기 챔버와 연통되는 공급관과 배출관 및 상기 공급관, 배출관과 연통되는 가스정화장치 내부를 불활성가스가 순환하며 상기 챔버의 산소농도 및 수증기농도가 설정범위 내로 유지되도록 하고, 상기 챔버에 유입되는 파티클을 제거하기 위해 필터와 송풍팬을 구비하는 팬필터 유닛이 마련되는 분위기제어시스템;를 포함하고, 상기 하우징은 적어도 일 측면이 개방된 형태의 복수의 하우징모듈을 구비하여 상기 하우징모듈의 개방면이 서로 맞닿아 체결되어 형성되되, 오링이 수용될 수 있는 링 그루브가 형성된 체결면이 서로 접촉하여 상기 하우징모듈의 체결부끼리 맞닿아 체결되고, 상기 체결부에는 복수의 체결공이 형성되며, 상기 공급관은 상기 하우징의 상부에 배치된 상기 팬필터 유닛을 통하여 상기 챔버로 유체를 공급하고, 상기 배출관은 상기 챔버의 하부에서 연통되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
본 발명에 따르면, 대형 유리기판을 수용할 수 있는 엔클로저 박스를 제공할 수 있다. 따라서, 디스플레이 패널의 제조 공정에서 면취 효율을 향상시킬 수 있어 디스플레이 패널의 제조에 소요되는 시간, 비용 및 노력을 절감할 수 있고, 대형 디스플레이 패널을 제조할 수 있다.

Description

대형 OLED 엔클로져 박스{LARGE SIZED OLED ENCLOSURE BOX}
본 발명은 대형 OLED 엔클로져 박스로서, 대형 OLED용 디스플레이 패널(Display Panel) 제작을 위한 잉크젯 프린팅 용액공정을 수행할 수 있는 엔클로저 박스에 관한 것이다.
정밀한 조립 및 제조 작업이 요구되는 경우 작업 환경을 통제하는 것이 매우 중요하다. 따라서, 공기 중의 입자에 의한 오염을 최소화하고 작업공간의 온도와 습도 등을 조절하여 제어된 환경을 제공할 수 있는 특수한 엔클로져 박스가 개발되어 왔다.
엔클로져 박스는, 그 내부에 제공되는 밀폐된 챔버에 특정한 환경을 유지하도록 하면서, 챔버에서 별도의 분위기(atmosphere)가 요구되는 개체를 조작 할 수 있도록 설계되어 있는 밀봉 용기를 일컫는다.
한편, OLED 디스플레이 패널을 제조하는 대표적인 방법으로 진공증착공정과 용액공정이 있는데, 용액공정은 진공증착공정에 비하여 재료 사용 효율이 높고 대면적화에 유리한 장점이 있어, OLED 디스플레이를 제조하는 방법으로 용액공정을 이용하는 기술이 각광받고 있다.
용액공정은 OLED 디스플레이 패널을 제조하기 위하여 용액 형태의 R, G, B 발광 재료를 각각의 노즐을 통하여 원하는 곳에 미세하게 분사하는 것인데, 용액 형태의 발광 재료를 분사하는 과정에서 작업 환경을 통제하는 것은 매우 중요하므로, 용액공정을 수행하기 위한 환경을 제공할 수 있는 엔클로져 박스의 기술확보가 중요하다.
일반적으로, OLED 디스플레이 페널은 그 제조의 기반이 되는 커다란 유리기판으로 제조가 이루어진다. 제조되는 디스플레이 패널의 사이즈에 따라 하나의 유리기판에 55인치 TV 디스플레이 크기에 해당하는 공간을 여러 개 할당할 수 있고, 5인치 스마트폰 디스플레이 크기에 해당하는 공간을 수백 개 할당할 수 있다. 이렇게 디스플레이 패널 생산의 기반이 되는 유리기판을 '원장' 또는 '마더글래스'라고 부르기도 하는데, 이 유리기판의 크기에 따라 세대(Generation, G)를 구분할 수 있다.
초기 기술적 한계 때문에, 대략 270*360mm 정도의 크기로 이루어진 유리기판으로 디스플레이 패널을 제조하였는데, 이를 1세대라하고, 이러한 규격은 규정된 것은 아니지만 업계에서는 비슷한 크기를 같은 세대로 칭하고 있다. 기술이 발전함에 따라 유리기판의 세대는 점점 커지는 방향으로 진화했는데, 현재는 그 크기가 대략 2940*3370mm 인 10.5G(또는 11G)까지 진화하였다.
기본적으로 디스플레이 패널 제조 공정에서 유리기판이 커질수록 한 번에 더 많은 디스플레이 패널을 만들 수 있으므로, 작은 유리기판을 순차적으로 투입하여 디스플레이 패널을 제조하는 것보다 큰 유리기판을 투입해 디스플레이 패널을 한 번에 제조하는 것이, 제조 공정 면에서나 면취 효율 면에서, 더 유리할 수 있다. 또한, 디스플레이 패널의 제조 기술이 발전함에 따라 대형 디스플레이 패널의 수요가 점차 증가하고 있기 때문에, 디스플레이 패널의 제조를 위하여 대형 유리기판을 이용하는 것이 바람직하다.
이에, 디스플레이 패널의 제조에 사용되는 대형 유리기판을 수용할 수 있는 엔클로저 박스의 요구가 증가하고 있는 실정이다.
본 발명은 대형 유리기판을 수용하기 위하여 내부 공간을 충분히 확보할 수 있는 대형 엔클로저 박스를 제공하고자 한다.
특히, 엔클로저 박스를 대형으로 제적하기 위하여 많은 노력, 비용, 시간이 소요되고, 제작된 대형 엔클로저 박스는 그 이동이 매우 어려우므로, 대형 엔클로저 박스의 제작과 이동에 소요되는 노력, 비용 및 시간을 절감하는 것을 목적으로 한다.
또한, 대형 엔클로저 박스의 반복되는 분해 및 재조립에도 불구하고 내부 챔버의 기밀력을 유지시키는 것을 목적으로 한다.
나아가, 대형 엔클로저 박스의 내부 챔버 분위기를 정밀하게 유지하는 것을 목적으로 한다.
내부에 100 Lube 이상의 밀폐된 챔버를 형성하고, 일측에 개폐부가 마련되는 하우징; 및 상기 챔버의 온도가 설정범위 내로 유지될 수 있도록 열교환장치를 작동시키고, 상기 챔버와 연통되는 공급관과 배출관 및 상기 공급관, 배출관과 연통되는 가스정화장치 내부를 불활성가스가 순환하며 상기 챔버의 산소농도 및 수증기농도가 설정범위 내로 유지되도록 하고, 상기 챔버에 유입되는 파티클을 제거하기 위해 필터와 송풍팬을 구비하는 팬필터 유닛이 마련되는 분위기제어시스템;를 포함하고, 상기 하우징은 적어도 일 측면이 개방된 형태의 복수의 하우징모듈을 구비하여 상기 하우징모듈의 개방면이 서로 맞닿아 체결되어 형성되되, 오링이 수용될 수 있는 링 그루브가 형성된 체결면이 서로 접촉하여 상기 하우징모듈의 체결부끼리 맞닿아 체결되고, 상기 체결부에는 복수의 체결공이 형성되며, 상기 공급관은 상기 하우징의 상부에 배치된 상기 팬필터 유닛을 통하여 상기 챔버로 유체를 공급하고, 상기 배출관은 상기 챔버의 하부에서 연통되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
여기서, 상기 팬필터 유닛은 상기 챔버의 상면의 면적의 70% 이상을 점유하는 것을 특징으로 하는 대형 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
그리고, 상기 개폐부의 작동은 공압 실린더를 이용하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
여기서, 상기 공압 실린더는 로드리스 실린더와 박형 실린더로 구성되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
한편, 상기 분위기제어시스템은 상기 챔버 내 하강기류가 0.35 내지 0.45 m/s 가 되도록 상기 송풍팬을 제어하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
그리고, 상기 하우징의 저면에 격자형태의 보강구조가 형성되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
또한, 챔버의 온도와, 산소농도 및 수증기농도의 분석 값을 하우징의 외측에 구비된 디스플레이 장치로 표시하는 분석장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
게다가, 상기 챔버의 온도는 24 내지 26 ℃ 로 유지되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
더욱이, 상기 하우징모듈은 상기 체결공을 통하여 용접, 볼트 또는 리벳 중에서 적어도 어느 하나로 체결되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
나아가, 상기 분위기제어시스템은 소정의 압력으로 상기 챔버에 불활성가스를 공급하기 위한 컴프레서 및 순환송풍기를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스를 제공한다.
본 발명에 따르면, 대형 유리기판을 수용할 수 있는 엔클로저 박스를 제공할 수 있다. 따라서, 디스플레이 패널의 제조 공정에서 면취 효율을 향상시킬 수 있어 디스플레이 패널의 제조에 소요되는 시간, 비용 및 노력을 절감할 수 있고, 대형 디스플레이 패널을 제조할 수 있다.
그리고, 엔클로저 박스를 대형으로 제조하면서도 엔클로저 박스의 제조에 소요되는 시간, 비용 및 노력을 절감할 수 있고, 엔클로저 박스를 분해 및 재조립의 편의성을 향상시킴으로써 대형으로 제조된 엔클로저 박스를 이동시킬 수 있다.
또한, 엔클로저 박스의 분해 및 재조립을 반복하더라도 기밀력을 안정적으로 확보하면서, 대형 챔버의 분위기를 정밀하게 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 엔크로저 박스의 하부 측 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 개폐부의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 개폐부의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 하우징모듈을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 하우징모듈을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 하우징모듈을 나타낸 도면이다.
도 9는 도 6 내지 도 8의 하우징모듈이 체결된 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 체결부를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 관련된 엔클로저 박스에 대해, 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
본 명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
대형 디스플레이 패널의 제작은 대면적화 되어가고 있는 OLED 디스플레이의 경쟁력을 확보하기 위해 매우 중요하다. 또한, 디스플레이 패널 제조의 기반이 되는 대형 유리기판은 디스플레이 패널의 제조 공정에서 면취 효율을 향상시킬 수 있다. 이에, 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스는 대형 유리기판을 수용하여 디스플레이 패널 제작하기 위한 엔클로저 박스를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)의 하부 측 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)의 단면도이다.
실질적으로 용액공정을 위한 장비는 매우 큰 공간을 차지한다. 이러한 장비를 수용하고, 디스플레이 패널 제조의 기반이 되는 대형 유리기판을 수용할 수 있도록, 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)는, 도면에 도시된 바와 같이, 내부에 100 Lube(=100 m3) 이상의 밀폐된 대형의 챔버(300)를 제공하는 하우징(200)을 포함한다. 본 발명의 일실시예에 따른 챔버(300)는 크기가 대략 2940*3370mm 이상인 유리기판을 수용할 수 있다.
챔버(300)에 수용되는 용액공정을 위한 장비들이 챔버의 하측에 가하는 하중을 충분히 견딜 수 있도록, 하우징(200)의 저면에는 격자형태의 보강구조(240)를 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 하우징(200)의 저면에는 바퀴와 지지부재를 마련하여, 아래에서 기술될 하우징 모듈의 이동을 용이하게 하고, 하우징 모듈이 조립되어 하나의 하우징(200)을 형성하였을 때 바닥에 견고히 지지되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고, 용액공정은 기존에 진공상태에서 이루어지는 증착방식과는 달리 불활성가스 환경에서 이루어지는 잉크젯 프린팅 방식을 적용하기 때문에 챔버(300)를 불활성 환경으로 유지해야 하며, 디스플레이 패널의 품질 향상을 위하여 챔버(300)의 파티클을 제거하는 것이 매우 중요하다. 이에, 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)는 챔버(300)의 분위기를 제어할 수 있는 분위기제어시스템을 포함한다.
분위기제어시스템에 의해 제어되는 챔버(300)의 분위기는, 수증기 및 산소의 레벨이 10ppm 이하, 또는 바람직하게 1ppm 이하로 유지되고, 파티클의 레벨이 ISO 14644-1 Cleanroom Standards 클래스 1을 충족되는 것이 바람직하다. 또한, 챔버(300)의 온도는 24 내지 26℃로 유지되는 것이 바람직하다.
일실시예로, 분위기제어시스템은 소정의 압력으로 챔버(300)에 가스를 공급하기 위한 컴프레서와 순환송풍기 및 어큐뮬레이터를 포함할 수 있다.
그리고, 분위기제어시스템은 정화된 불활성가스를 챔버(300)로 유입시키고, 챔버(300)로부터 배출된 불활성가스가 가스정화장치를 통하여 정화되도록 함으로써, 즉, 챔버(300) 및 불활성가스를 정화시키는 가스정화장치, 그리고 이들을 연통하는 공급관(610)과 배출관(620)으로 이루어지는 순환경로를 따라 불활성가스를 순환시키며 챔버(300)의 수증기 및 산소 농도를 제어하도록 구성될 수 있다.
일실시예로, 공급관(610)은 하우징(200)에 설치된 팬필터 유닛(500)을 통하여 챔버(300)로 유체를 공급할 수 있는데, 바람직하게는 팬필터 유닛(500)은 하우징(200)의 상부에 배치될 수 있다. 그리고, 배출관(620)은 챔버(300)의 하부와 연통하도록 하우징(200)의 하측에 설치될 수 있다. 바람직하게는, 챔버(300)에서 Flushing이 이루어질 수 있도록, 챔버(300) 내 불활성 가스의 유입과 유출 방향이 동일선 상에 배치되지 않도록 하기 위해, 배출관(620)은 하우징(200)의 측면의 하부에 설치될 수 있다.
그리고, 분위기제어시스템은 챔버(300)에서 원하는 온도가 유지될 수 있도록 가스의 순환경로 내부에 설치되거나, 순환경로와 인접하여 설치되는 열교환기를 포함하는 열교환장치를 포함할 수 있다.
또한, 챔버(300)에 유입되는 파티클을 제거하기 위해 팬필터 유닛(500)은 복수개의 필터와 복수개의 송풍팬을 구비할 수 있다.
일실시예로 팬필터 유닛(500)은 챔버(300)의 상면의 면적을 70% 이상을 점유하도록 형성되어, 챔버(300)에 제공되는 가스가 층류를 형성하도록 할 수 있다. 층류는 챔버(300)의 상부에서 하부 또는 그 외 다른 임의의 방향일 수 있고, 챔버(300)의 가스가 챔버(300) 내부에서 충분히 회전될 수 있도록 한다. 챔버(300)에서 안정된 층류를 형성하기 위하여 챔버(300)의 하강기류가 0.35 내지 0.45 m/s 가 되도록 송풍팬이 제어되는 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 개폐부(400)의 정면도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 개폐부(400)의 사시도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)는 하우징(200)의 일측에 챔버(300)를 개방할 수 있는 개폐부(400)가 마련되어, 챔버(300)가 하우징(200)의 외부와 연통되도록 할 수 있다. 챔버(300)가 개방되면 디스플레이 패널의 제조를 위하여 유리기판은 개폐부(400)를 통하여 챔버(300)로 수용되거나 챔버(300)로부터 배출될 수 있다.
하나의 개폐부(400)를 통하여 유리기판이 수용되거나 배출될 수 있고, 하우징(200)의 일측에 형성된 개폐부(400)를 통하여 유리기판이 수용된 후 하우징(200)의 타측에 형성된 개폐부(400)를 통하여 유리기판이 배출될 수도 있다.
유리기판이 개폐부(400)를 통하여 챔버(300)에 수용되면 개폐부(400)는 닫힌 상태가 되고 챔버(300)는 밀폐가 되어 질소와 같은 불활성가스가 챔버(300)를 순환하며 챔버(300) 내 분위기가 설정 값에 도달하고 유지될 수 있다.
일실시예로, 도면에 도시된 바와 같이, 개폐부(400)는 공압 실린더로 구비될 수 있다. 이 때, 공압 실린더는 로드리스 실린더(410)(Rodless Cylinder)와 박형 실린더(420)로 구성될 수 있는데, 로드리스 실린더(410)와 박형 실린더(420)는 설치면적을 최소화 할 수 있어 공간확보에 유리하고, 게이트 밸브(Gate Valve)에 비해 경제적으로 구성할 수 있다는 장점이 있다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 하우징모듈(210)의 사시도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 하우징모듈(210)의 사시도이며, 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 하우징모듈(210)의 사시도이고, 도 9는도 6 내지 도8의 하우징모듈(210)이 체결된 상태를 나타낸 도면이다. 그리고, 도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 체결부(214)를 나타낸 도면이다.
크기가 대략 2940*3370mm 인 10.5G(또는 11G)의 유리기판이나, 그 이상의 크기의 유리기판을 수용하여 디스플레이 패널을 제조하기 위한 챔버(300)는 그 부피가 최소 100 Lube를 만족시키는 것이 바람직한데, 이러한 챔버(300)를 제공하는 하우징(200)의 크기는 매우 커질 수 밖에 없다. 따라서, 엔클로저 박스(100)는 상당한 크기로 제작되어야 하므로, 엔클로저 박스(100)가 제작되는 장소에 제약이 따르게 되고, 특히 제작된 엔클로저 박스(100)의 이동에 많은 비용, 시간 및 노력이 소요된다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)는 제작과 분해, 이동 및 재조립을 용이하게 하기 위하여, 도면에 도시된 바와 같이, 적어도 일 측면이 개방된 형태의 복수의 하우징모듈(210)이 서로 체결되어 하나의 하우징(200)을 형성하도록 구성된다. 따라서, 엔클로저 박스(100)를 이동하고자 하는 경우, 하우징(200)을 하우징모듈(210)로 분해한 뒤 이동하여 이동 장소에서 하우징모듈(210)을 재조립할 수 있다.
일실시예로, 도 7에 도시된 바와 같이, 하우징모듈(210)에는 개폐부(400)가 형성될 수 있고, 개폐부(400)와 대향하는 면에 개방면이 형성될 수 있다. 다른 실시예로, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 하우징모듈(210)은 대향하는 면에 모두 개방면(212)이 형성될 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 하우징모듈(210)끼리는 개방면(212)이 서로 맞닿아 체결되고, 체결된 하우징모듈(210)은 서로 개방면(212)을 공유함으로써, 내부에 하나의 챔버(300)를 제공하는 하나의 하우징(200)을 형성할 수 있다. 또는, 하우징모듈(210)끼리 서로 체결되어 또 다른 하나의 하우징모듈(210)을 형성할 수 있다.
디스플레이 패널의 용액공정은 공정이 이루어지는 동안, 챔버(300)를 불활성 환경으로 유지해야 하므로, 외부의 공기가 챔버(300)로 유입되지 못하도록 하우징(200)을 밀폐시키는 것이 매우 중요하다. 따라서, 하우징모듈(210)이 체결되는 부위의 밀봉이 더욱 확실히 이루어지도록, 본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)는 엔클로저 박스(100)의 체결부(214)가 서로 면접촉을 이루며 체결되도록 하고, 체결면(215)에 링 그루브(218)를 형성함으로써, 오링(220)이 삽입되도록 할 수 있다.
링 그루브(218)는 하우징모듈(210)의 개방된 부분을 둘러싸는 체결면(215)에 형성되므로, 링 그루브(218)에 삽입되는 오링(220)에 의해 하우징모듈(210)이 체결되는 부분에서 안정적인 밀봉이 이루어지도록 할 수 있다. 또한, 오링(220)은 링 그루브(218)로부터 착탈이 용이하므로 하우징모듈(210)의 분해와 재조립을 용이하게 하면서도, 밀봉력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 체결부(214)에는 링 그루브(218)와 소정 간격 이격된 상태로 링 그루브(218)를 따라 배열되는 복수의 체결공(216)이 형성될 수 있다. 체결공(216)은 이를 통한 용접이나 볼트와 리벳을 이용한 체결이 이루어지도록 하여 하우징모듈(210)이 견고하게 체결될 수 있도록 한다.
본 발명의 일실시예에 따른 엔클로저 박스(100)는 챔버(300)의 온도와, 산소농도 및 수증기농도의 분석 값을 디스플레이 장치로 표시할 수 있는 분석장치를 포함할 수 있다. 디스플레이는 챔버(300) 외부에, 바람직하게는 하우징(200)의 외측 면에 마련될 수 있다. 사용자는 디스플레이를 통하여 나타내는 분석 값을 통하여 챔버(300)의 상황을 확인할 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 엔클로저 박스를 실시하기 위한 실시예들에 불과한 것으로서, 본 발명은 이상의 실시예들에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 사상이 있다고 할 것이다.
100: 엔클로저 박스
200: 하우징
210: 하우징모듈
212: 개방면
214: 체결부
215: 체결면
216: 체결공
218: 링 그루브
220: 오링
240: 보강구조
300: 챔버
400: 개폐부
410: 로드리스 실린더
420: 박형 실린더
500: 팬필터 유닛
610: 공급관
620: 배출관

Claims (10)

  1. 내부에 100 Lube 이상의 밀폐된 챔버를 형성하고, 일측에 개폐부가 마련되는 하우징; 및
    상기 챔버의 온도가 설정범위 내로 유지될 수 있도록 열교환장치를 작동시키고, 상기 챔버와 연통되는 공급관과 배출관 및 상기 공급관, 배출관과 연통되는 가스정화장치 내부를 불활성가스가 순환하며 상기 챔버의 산소농도 및 수증기농도가 설정범위 내로 유지되도록 하고, 상기 챔버에 유입되는 파티클을 제거하기 위해 필터와 송풍팬을 구비하는 팬필터 유닛이 마련되는 분위기제어시스템;를 포함하고,
    상기 하우징은 적어도 일 측면이 개방된 형태의 복수의 하우징모듈을 구비하여 상기 하우징모듈의 개방면이 서로 맞닿아 체결되어 형성되되, 오링이 수용될 수 있는 링 그루브가 형성된 체결면이 서로 접촉하여 상기 하우징모듈의 체결부끼리 맞닿아 체결되고, 상기 체결부에는 복수의 체결공이 형성되며,
    상기 공급관은 상기 하우징의 상부에 배치된 상기 팬필터 유닛을 통하여 상기 챔버로 유체를 공급하고, 상기 배출관은 상기 챔버의 하부에서 연통되고,
    상기 개폐부의 작동은 공압 실린더를 이용하고, 상기 공압 실린더는 로드리스 실린더와 박형 실린더로 구성되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 팬필터 유닛은 상기 챔버의 상면의 면적의 70% 이상을 점유하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 분위기제어시스템은 상기 챔버 내 하강기류가 0.35 내지 0.45 m/s 가 되도록 상기 송풍팬을 제어하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 저면에 격자형태의 보강구조가 형성되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
  7. 제1항에 있어서,
    챔버의 온도와, 산소농도 및 수증기농도의 분석 값을 하우징의 외측에 구비된 디스플레이 장치로 표시하는 분석장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 온도는 24 내지 26 ℃ 로 유지되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 하우징모듈은 상기 체결공을 통하여 용접, 볼트 또는 리벳 중에서 적어도 어느 하나를 이용하여 체결되는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 분위기제어시스템은 소정의 압력으로 상기 챔버에 불활성가스를 공급하기 위한 컴프레서 및 순환송풍기를 포함하는 것을 특징으로 하는 대형 OLED 엔클로저 박스.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20140038599A (ko) * 2012-09-20 2014-03-31 주식회사 원익아이피에스 기능챔버 및 이를 구비하는 박막 증착 설비
KR20160019485A (ko) * 2013-06-10 2016-02-19 카티바, 인크. 저-입자 가스 인클로저 시스템 및 방법

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