KR102056181B1 - Chamber door - Google Patents

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KR102056181B1
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주식회사 한화
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Abstract

본 발명의 챔버 도어 장치는 챔버를 기준으로 회전하면서 가공 대상물이 출입하는 상기 챔버의 출입구를 개폐하는 셔터;를 포함하고, 상기 셔터에는 상기 챔버를 기준으로 회전하는 커버, 상기 커버와 함께 움직이면서 상기 출입구를 개폐하며 상기 커버에 회전 가능하게 지지되는 몸체가 마련될 수 있다.The chamber door device of the present invention includes a shutter for opening and closing the entrance and exit of the chamber through which the object to be processed while rotating relative to the chamber; Opening and closing may be provided with a body rotatably supported on the cover.

Description

챔버 도어 장치{CHAMBER DOOR}Chamber door device {CHAMBER DOOR}

본 발명은 가공 대상물이 출입하는 챔버의 출입구를 개폐하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for opening and closing the entrance and exit of the chamber through which the object to be processed.

기판을 처리하는 다양한 챔버가 마련될 수 있다.Various chambers for processing the substrate may be provided.

일 예로, TFT LCD는 박막증착공정, 포토레지스트 코팅공정, 베이킹공정, 노광공정, 현상공정 및 식각공정과 같은 일련의 공정을 거쳐서 제조된다. 이때, 오븐챔버(oven chamber)가 사용되는데 이는 핫 플레이트(hot plate) 또는 적외선을 열원으로 하여 포토레지스트 코팅 전에 글라스 기판에 열을 가하여 건조 및 예열시키거나 포토레지스트 막이 코팅된 글라스 기판에 일정시간 열을 가하여 포토레지스트 막을 경화시키는 베이킹(baking) 공정에 사용되는 장비이다.For example, the TFT LCD is manufactured through a series of processes such as a thin film deposition process, a photoresist coating process, a baking process, an exposure process, a developing process, and an etching process. At this time, an oven chamber is used, which is heated or preheated by applying heat to the glass substrate before the photoresist coating using a hot plate or infrared ray as a heat source, or heats the glass substrate coated with the photoresist film for a predetermined time. It is an equipment used in the baking process to cure the photoresist film by adding a.

챔버에는 TFT LCD과 같은 유리 기판, 실리콘 기판 등이 출입하는 출입구 및 해당 출입구를 개폐하는 셔터가 마련된다.The chamber is provided with an entrance through which a glass substrate such as a TFT LCD, a silicon substrate, and the like enter and exit, and a shutter that opens and closes the entrance and exit.

이때, 셔터와 출입구 간의 접촉 부위의 기밀성 문제가 발생된다.At this time, a problem of airtightness of the contact portion between the shutter and the entrance occurs.

한국등록특허 제0649896호에는 회전식 도어가 닫히는 부분이 이중 패킹 구조로 형성된 챔버가 개시되고 있다.Korean Patent No. 0649896 discloses a chamber in which a portion in which a rotary door is closed is formed in a double packing structure.

한국등록특허 제0649896호Korean Registered Patent No. 0649896

본 발명은 챔버의 출입구를 확실하게 폐쇄할 수 있는 챔버 도어 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a chamber door device capable of reliably closing the entrance and exit of the chamber.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned above will be clearly understood by those skilled in the art from the following description. Could be.

본 발명의 챔버 도어 장치는 챔버를 기준으로 회전하면서 가공 대상물이 출입하는 상기 챔버의 출입구를 개폐하는 셔터;를 포함하고, 상기 셔터에는 상기 챔버를 기준으로 회전하는 커버, 상기 커버와 함께 움직이면서 상기 출입구를 개폐하며 상기 커버에 회전 가능하게 지지되는 몸체가 마련될 수 있다.The chamber door device of the present invention includes a shutter for opening and closing the entrance and exit of the chamber through which the object to be processed while rotating relative to the chamber; Opening and closing may be provided with a body rotatably supported on the cover.

본 발명의 챔버 도어 장치는 커버에 회전 가능하게 지지되는 구조의 몸체를 통해 챔버의 출입구를 확실하게 밀폐시킬 수 있다.The chamber door device of the present invention can reliably seal the entrance and exit of the chamber through the body of the structure rotatably supported by the cover.

또한, 몸체가 챔버에 부딪힐 때의 충격으로 인한 몸체, 챔버, 실링 부재의 훼손을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent damage to the body, the chamber, the sealing member due to the impact when the body hits the chamber.

본 발명의 챔버 도어 장치는 커버와 몸체를 탄성적으로 연결하는 탄성부를 통해, 도어의 개폐 과정에서 발생되는 각종 충격을 흡수할 수 있다.The chamber door device of the present invention can absorb various shocks generated during opening and closing of the door through an elastic part elastically connecting the cover and the body.

본 발명의 챔버 도어 장치에 따르면, 출입구의 폐쇄시 출입구의 하부 측에 먼저 접촉되는 실링 부재의 일측이 추후 출입구의 상부 측에 접촉되는 실링 부재의 타측보다 심각하게 훼손되는 현상이 효과적으로 방지될 수 있다.According to the chamber door device of the present invention, the phenomenon that one side of the sealing member that first comes into contact with the lower side of the entrance when the door is closed may be more seriously damaged than the other side of the sealing member that comes into contact with the upper side of the entrance later. .

도 1은 챔버를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 챔버 도어 장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 구동 유니트를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 셔터를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 챔버 도어 장치의 동작을 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a chamber.
2 is a perspective view showing a chamber door device of the present invention.
3 is a schematic view showing a drive unit.
4 is a schematic view showing a shutter of the present invention.
5 is a schematic view showing the operation of the chamber door apparatus of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this process, the size or shape of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description. In addition, terms that are specifically defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user or operator. Definitions of these terms should be made based on the contents throughout the specification.

도 1은 챔버를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a chamber.

챔버(10)의 내부에는 유리 기판, 실리콘 기판 등의 가공 대상물이 수용되는 수용 공간이 형성될 수 있다.An interior of the chamber 10 may include an accommodation space in which a processing object such as a glass substrate or a silicon substrate is accommodated.

챔버(10)에는 가열 히터(미도시)가 매립된 핫 플레이트(20), 챔버(10)의 출입구를 개폐하는 개폐 도어(30), 개폐 도어(30)의 일측 단부에 결합되는 회전축(40), 회전축(40)에 일측이 연결되는 링크(50), 링크(50)의 타측에 구동축이 연결된 실린더(60)가 마련될 수 있다.The chamber 10 includes a hot plate 20 in which a heating heater (not shown) is embedded, an opening and closing door 30 for opening and closing an entrance and exit of the chamber 10, and a rotating shaft 40 coupled to one end of the opening and closing door 30. In addition, a link 50 having one side connected to the rotation shaft 40 and a cylinder 60 connected with the driving shaft at the other side of the link 50 may be provided.

챔버는 실린더(60)의 구동에 따라 이와 연결된 링크(50)가 움직이게 되고, 링크(50)의 동작에 다라 회전축(40)이 회전되어 이와 연결된 개폐 도어(30)를 회전시켜 챔버(10)의 출입구를 개폐하게 된다.The chamber is connected to the link 50 is moved in accordance with the operation of the cylinder 60, the rotation shaft 40 is rotated in accordance with the operation of the link 50 to rotate the opening and closing door 30 connected to the chamber 10 of the Opening and closing the doorway.

개폐 도어(30)는 단순히 회전축(40)의 회전에 의해서만 챔버(10)의 출입구를 개폐하기 때문에, 챔버(10)의 출입구 폐쇄시, 출입구의 하부 측부터 개폐 도어(30)와 맞닿게 되고 회전축(40)의 회전이 진행됨에 따라 점차적으로 출입구의 상부까지 개폐 도어(30)와 맞닿게 되어 챔버(10)의 출입구를 폐쇄하게 된다.Since the opening and closing door 30 opens and closes the entrance and exit of the chamber 10 only by the rotation of the rotation shaft 40, when the entrance and exit of the chamber 10 is closed, the opening and closing door 30 comes into contact with the opening and closing door 30 from the lower side of the entrance and exits. As the rotation of the 40 proceeds, the door 40 is gradually brought into contact with the opening / closing door 30 to the upper portion of the entrance to close the entrance of the chamber 10.

개폐 도어(30)가 챔버(10)의 출입구를 폐쇄할 때, 출입구 전체를 균일하게 폐쇄하는 것이 아니라 출입구의 하부부터 상부로 점차적으로 폐쇄하기 때문에, 개폐 도어(30)와 출입구 하부의 접촉면에 많은 외력이 작용하게 된다. 이때의 외력에 의해 개폐 도어(30)와 출입구 사이에 배치된 실링 부재가 심각하게 훼손될 수 있다.When the opening / closing door 30 closes the entrance and exit of the chamber 10, the door is gradually closed from the lower part of the entrance to the upper part of the door, rather than uniformly closing the entire entrance and exit. External force will act. At this time, the sealing member disposed between the opening / closing door 30 and the entrance may be seriously damaged by the external force.

도 2는 본 발명의 챔버 도어 장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a chamber door device of the present invention.

본 발명의 챔버 도어 장치는 챔버(10)에 형성된 출입구(90)를 개폐하는 요소로, 셔터(100) 및 구동 유니트를 포함할 수 있다.The chamber door device of the present invention is an element for opening and closing the doorway 90 formed in the chamber 10, and may include a shutter 100 and a driving unit.

셔터(100)는 챔버를 기준으로 회전하면서 가공 대상물이 출입하는 챔버의 출입구를 개폐할 수 있다.The shutter 100 may open and close an entrance and exit of a chamber through which a processing object enters and exits while rotating based on the chamber.

구동 유니트는 챔버를 기준으로 셔터(100)를 회전시키는 동력을 제공할 수 있다.The driving unit may provide power for rotating the shutter 100 relative to the chamber.

도 3은 구동 유니트를 나타낸 개략도이다.3 is a schematic view showing a drive unit.

일 예로, 구동 유니트는 유압 펌프, 엔진, 모터, 실린더 등과 같이 동력을 제공하는 구동 수단(250)을 포함할 수 있다. 구동 수단(250)은 고정 파트(260)에 의해 챔버에 고정될 수 있다.For example, the driving unit may include a driving means 250 for providing power, such as a hydraulic pump, an engine, a motor, a cylinder, and the like. The drive means 250 may be fixed to the chamber by the fixing part 260.

구동 수단(250)은 고정 파트(260)에 의해 회전 가능하게 챔버에 지지될 수 있다.The driving means 250 may be rotatably supported in the chamber by the fixing part 260.

구동 유니트에는 구동 수단(250)의 동력을 회전력을 변환하는 링크 블럭(270), 링크 블럭(270)에 연결된 제1 축(210), 제1 축(210)을 회전 가능하게 지지하며 챔버에 고정되는 회전 블럭(230), 제1 축(210)과 셔터(100)를 연결하는 고정 블럭(240)이 마련될 수 있다. 제1 축(210)은 도 1의 회전축과 동일할 수 있다.The drive unit rotatably supports the link block 270 for converting the power of the driving means 250, the first shaft 210 connected to the link block 270, and the first shaft 210 to the chamber. The rotating block 230, the first block 210, and the fixing block 240 connecting the shutter 100 may be provided. The first shaft 210 may be the same as the rotation shaft of FIG. 1.

링크 블럭(270)의 일단은 구동 수단(250), 예를 들어 실린더의 피스톤 로드에 연결되고, 링크 블럭(270)의 타단은 제1 축(210)에 연결될 수 있다. One end of the link block 270 may be connected to the driving means 250, for example, a piston rod of the cylinder, and the other end of the link block 270 may be connected to the first shaft 210.

실린더에 의해 피스톤 로드가 왕복 운동하면, 링크 블럭(270)의 일단은 제1 축(210)을 중심으로 회동되며, 링크 블럭(270)의 회동에 의해 제1 축(210) 역시 회동될 수 있다.When the piston rod is reciprocated by the cylinder, one end of the link block 270 is rotated about the first shaft 210, and the first shaft 210 may also be rotated by the rotation of the link block 270. .

제1 축(210)은 회전 블럭(230)에 의해 회전 가능하게 챔버에 지지될 수 있다. 챔버를 기준으로 회전하는 제1 축(210)은 고정 블럭(240) 및 고정 블럭(240)에 연결된 셔터(100)를 회전시킬 수 있다.The first shaft 210 may be rotatably supported by the chamber by the rotation block 230. The first shaft 210 rotating relative to the chamber may rotate the fixing block 240 and the shutter 100 connected to the fixing block 240.

도 4는 본 발명의 셔터(100)를 나타낸 개략도이다. 도 4의 셔터(100)는 도 2의 A-A' 단면을 나타낼 수 있다. 도 5는 본 발명의 챔버 도어 장치의 동작을 나타낸 개략도이다.4 is a schematic diagram showing a shutter 100 of the present invention. The shutter 100 of FIG. 4 may have a cross section taken along the line A-A 'of FIG. 2. 5 is a schematic view showing the operation of the chamber door apparatus of the present invention.

셔터(100)에는 챔버를 기준으로 회전하는 커버(110), 커버(110)와 함께 움직이면서 챔버의 출입구를 개폐하는 몸체(130)가 마련될 수 있다. 이때, 몸체(130)는 커버(110)에 회전 가능하게 지지될 수 있다.The shutter 100 may be provided with a cover 110 that rotates with respect to the chamber and a body 130 that opens and closes the entrance and exit of the chamber while moving together with the cover 110. In this case, the body 130 may be rotatably supported by the cover 110.

커버(110)의 회전 각도 중 몸체(130)가 출입구를 폐쇄하는 폐쇄 각도가 정의될 수 있다. 출입구의 폐쇄시 구동 유니트는 커버(110)를 폐쇄 각도까지 회전시킬 수 있다.A closing angle at which the body 130 closes the doorway among the rotation angles of the cover 110 may be defined. When the door is closed, the driving unit may rotate the cover 110 to a closing angle.

커버(110)가 출입구를 향하는 정방향으로 회전하면, 몸체(130)는 커버(110)가 폐쇄 각도에 도달하기 전에 챔버의 일측에 물리적으로 간섭되면서 정방향으로 회전할 수 있다.When the cover 110 rotates in the forward direction toward the doorway, the body 130 may rotate in the forward direction while physically interfering with one side of the chamber before the cover 110 reaches the closing angle.

도 5에서 정방향은 시계 방향이며, 역방향은 반시계 방향일 수 있다.In FIG. 5, the forward direction may be clockwise, and the reverse direction may be counterclockwise.

셔터(100)의 회전 중심이 되는 제1 축(210)이 출입구의 하측에 배치된 경우, 몸체(130)의 하측 단부가 먼저 출입구에 접촉되고, 점차적으로 몸체(130)의 상측 단부가 접촉될 수 있다. 이때, 출입구의 하측에 먼저 접촉된 몸체(130)의 하측 단부는 출입구의 하측 가장자리로부터 강한 압력을 받거나, 출입구의 하측 가장자리에 대해 미끄러지면서 스크래치될 수 있다. 이러한 압력 및 스크래치에 의해 몸체(130), 출입구, 몸체(130)와 출입구 사이에 개재된 실링 부재(180) 등이 심각하게 훼손될 수 있다. When the first shaft 210 serving as the rotation center of the shutter 100 is disposed below the doorway, the lower end of the body 130 first contacts the doorway, and gradually the upper end of the body 130 contacts the doorway. Can be. In this case, the lower end of the body 130 that is first contacted the lower side of the doorway may be scratched while being subjected to strong pressure from the lower edge of the doorway or sliding against the lower edge of the doorway. The pressure and scratches may seriously damage the body 130, the doorway, the sealing member 180 interposed between the body 130, and the doorway.

그런데, 본 실시예의 몸체(130)는 커버(110)에 대해 회전 가능하게 지지되므로, 챔버의 일측에 물리적으로 간섭될 때 도 5의 (b)와 같이 정방향으로 회전하면서 출입구와의 마찰을 경감시킬 수 있다. 일 예로, 몸체(130) 하부가 출입구 하측에 맞닿았을 때, 몸체(130)가 정방향으로 회전되면서 출입구와의 강한 압력, 스크래치 등이 경감될 수 있다.However, since the body 130 of the present embodiment is rotatably supported with respect to the cover 110, when physically interfered with one side of the chamber, the body 130 may reduce friction with the entrance while rotating in the forward direction as shown in FIG. Can be. For example, when the lower portion of the body 130 is in contact with the lower side of the doorway, the body 130 is rotated in the forward direction, the strong pressure, scratches and the like can be reduced.

챔버의 일측(출입구 하측)과 몸체(130)의 간섭 이후에 커버(110)의 정방향 회전이 폐쇄 각도까지 지속되면, 몸체(130)는 도 5의 (c)와 같이 커버(110)에 대해 역방향으로 회전하면서 출입구를 폐쇄할 수 있다.If the forward rotation of the cover 110 continues to the closing angle after the interference of one side of the chamber (below the entrance) and the body 130, the body 130 is reversed with respect to the cover 110 as shown in FIG. The door can be closed while rotating.

이상에서 살펴본 실시예에 따르면, 챔버의 출입구를 실질적으로 폐쇄하는 몸체(130)가 몸체(130)를 출입구를 향해 움직이는 커버(110)에 대해 회전 가능하게 형성될 수 있다. 그 결과, 출입구와 몸체(130)가 접촉할 때, 출입구와 몸체(130) 사이에 마련된 실링 부재(180), 출입구, 몸체(130) 각각에 전달되는 충격 및 스크래치 등을 최소화할 수 있다. 충격 및 스크래치의 감소에 따라, 실링 부재(180), 출입구, 몸체(130) 각각의 훼손이 감소되고, 수명이 증가될 수 있다.According to the above-described embodiment, the body 130 which substantially closes the entrance and exit of the chamber may be rotatably formed with respect to the cover 110 to move the body 130 toward the entrance and exit. As a result, when the doorway and the body 130 are in contact with each other, the sealing member 180 provided between the doorway and the body 130, the doorway, and the impact delivered to each of the body 130 may be minimized. As the impact and the scratches are reduced, damage to each of the sealing member 180, the entrance, and the body 130 may be reduced, and the life may be increased.

챔버에 대해 회전하는 커버(110)에 대해 몸체(130)가 회전되도록, 제2 축(120) 또는 탄성부(150)가 이용될 수 있다.The second shaft 120 or the elastic portion 150 may be used so that the body 130 rotates with respect to the cover 110 that rotates with respect to the chamber.

커버(110)는 챔버에 회전 가능하게 설치된 제1 축(210)에 연결될 수 있다. 이때, 커버(110)는 출입구의 일측, 예를 들어 출입구의 하부에 마련된 제1 축(210)을 회전 중심으로 회전할 수 있다.The cover 110 may be connected to the first shaft 210 rotatably installed in the chamber. In this case, the cover 110 may rotate the first shaft 210 provided at one side of the entrance, for example, a lower portion of the entrance to the rotation center.

커버(110)와 몸체(130) 사이에는 제1 축(210)에 평행하게 연장되는 제2 축(120)이 마련될 수 있다. 몸체(130)는 제2 축(120)을 회전 중심으로 회전 가능하게 형성될 수 있다.A second shaft 120 extending parallel to the first shaft 210 may be provided between the cover 110 and the body 130. The body 130 may be formed to be rotatable about the second shaft 120.

일 예로, 제2 축(120)은 커버(110)에 대해 회전 가능하게 몸체(130)를 지지하면서, 커버(110)와 몸체(130)를 연결하는 힌지를 포함할 수 있다.For example, the second shaft 120 may include a hinge connecting the cover 110 and the body 130 while supporting the body 130 to be rotatable with respect to the cover 110.

커버(110)와 몸체(130) 사이에 마련된 힌지에 따르면, 제1 축(210)에 의해 커버(110)가 회전할 때, 몸체(130) 역시 커버(110)와 함께 움직이면서 챔버에 대해 회전할 수 있다. 또한, 몸체(130)는 제2 축(120)에 의해 커버(110)에 대해 회전 가능하게 형성될 수 있다.According to the hinge provided between the cover 110 and the body 130, when the cover 110 is rotated by the first shaft 210, the body 130 also rotates with respect to the chamber while moving with the cover 110. Can be. In addition, the body 130 may be rotatably formed with respect to the cover 110 by the second shaft (120).

다른 예로, 셔터(100)에는 커버(110)와 몸체(130)를 탄성적으로 연결하는 탄성부(150)가 마련될 수 있다. 일 예로, 탄성부(150)는 커버(110)에 일측이 연결되고 몸체(130)에 타측이 연결된 스프링, 고무 블럭 등을 포함할 수 있다.As another example, the shutter 100 may be provided with an elastic part 150 for elastically connecting the cover 110 and the body 130. For example, the elastic part 150 may include a spring, a rubber block, and the like, one side of which is connected to the cover 110 and the other side of which is connected to the body 130.

탄성부(150)는 제1 축(210)에 수직한 수직 방향을 따라 서로 다른 위치에 복수로 마련될 수 있다.The elastic part 150 may be provided in plurality in different positions along a vertical direction perpendicular to the first axis 210.

일 예로, 2개의 탄성부(150)가 수직 방향을 따라 서로 다른 위치에 배치된 경우, 상측의 탄성부(150)가 압축되고 하측의 탄성부(150)가 팽창될 수 있다. 이 경우, 상측 탄성부(150)와 하측 탄성부(150) 사이의 가상의 축을 중심으로 몸체(130)가 커버(110)에 대해 일방향을 따라 회동될 수 있다. 반대로, 상측의 탄성부(150)가 팽창되고 하측의 탄성부(150)가 압축되면, 몸체(130)가 커버(110)에 대해 타방향을 따라 회동될 수 있다.For example, when the two elastic parts 150 are disposed at different positions along the vertical direction, the upper elastic part 150 may be compressed and the lower elastic part 150 may be expanded. In this case, the body 130 may be rotated in one direction with respect to the cover 110 about a virtual axis between the upper elastic part 150 and the lower elastic part 150. On the contrary, when the upper elastic portion 150 is expanded and the lower elastic portion 150 is compressed, the body 130 may be rotated along the other direction with respect to the cover 110.

따라서, 제1 축(210)의 수직 방향을 따라 서로 다른 위치에 마련된 복수의 탄성부(150)를 통해서도 커버(110)에 대해 회전하는 몸체(130)가 형성될 수 있다.Therefore, a body 130 that rotates with respect to the cover 110 may also be formed through the plurality of elastic parts 150 provided at different positions along the vertical direction of the first shaft 210.

한편, 제2 축(120)과 탄성부(150)가 함께 마련될 수 있다. 이때, 커버(110)에 대한 몸체(130)의 회전은 주로 제2 축(120)이 담당하고, 탄성부(150)는 커버(110)와 몸체(130) 간의 간격을 탄성적으로 유지하며 몸체(130)를 출입구를 향하는 방향으로 가압하는 압력을 제공할 수 있다.Meanwhile, the second shaft 120 and the elastic part 150 may be provided together. At this time, the rotation of the body 130 with respect to the cover 110 is mainly responsible for the second shaft 120, the elastic portion 150 elastically maintains the distance between the cover 110 and the body 130 and the body Pressure may be provided to press 130 in the direction towards the doorway.

커버(110) 및 몸체(130)는 제1 축(210)에 평행하게 연장되는 판, 용기 형상 등으로 형성될 수 있다.The cover 110 and the body 130 may be formed in a plate, a container shape, or the like extending in parallel with the first axis 210.

몸체(130)에 대면되는 커버(110)의 일면에는 몸체(130)의 회전 중심이 되는 제2 축(120)이 마련될 수 있다. 제1 축(210)에 수직한 수직 방향 상으로 제2 축(120)은 커버(110)의 가운데에 배치될 수 있다.One surface of the cover 110 facing the body 130 may be provided with a second shaft 120 to be the center of rotation of the body 130. The second shaft 120 may be disposed in the center of the cover 110 in a vertical direction perpendicular to the first shaft 210.

이때, 수직 방향 상으로 제2 축(120)을 사이에 두고 커버(110)의 일측과 타측(도면 상에는 상측과 하측)에는 커버(110)와 몸체(130)를 탄성적으로 연결하는 탄성부(150)가 각각 마련될 수 있다.In this case, an elastic part for elastically connecting the cover 110 and the body 130 to one side and the other side (upper and lower side in the drawing) of the cover 110 with the second shaft 120 in the vertical direction ( 150 may be provided respectively.

제2 축(120)을 사이에 두고 커버(110)의 일측과 타측에는 몸체(130)를 향해 연장되는 조절 볼트(190)가 각각 관통 설치될 수 있다.On one side and the other side of the cover 110 with the second shaft 120 therebetween, the adjustment bolt 190 extending toward the body 130 may be installed through.

조절 볼트(190)가 마련된 경우, 탄성부(150), 예를 들어 스프링의 일측은 조절 볼트(190)의 단부에 지지될 수 있다. 이 경우, 조절 볼트(190)의 조임에 의해 탄성부(150)의 탄성력이 조절될 수 있다. 왜냐하면, 조절부트의 조임에 의해 탄성력 f=kx에서 변위 x가 조절되기 때문이다.When the adjusting bolt 190 is provided, one side of the elastic part 150, for example, the spring, may be supported at the end of the adjusting bolt 190. In this case, the elastic force of the elastic part 150 may be adjusted by tightening the adjusting bolt 190. This is because the displacement x is adjusted at the elastic force f = kx by tightening the adjusting boot.

몸체(130)에서 조절 볼트(190)에 대면되는 위치에는 돌기 형상 또는 홈 형상의 설치 수단(139)이 마련될 수 있다. 탄성부(150)의 일단이 조절 볼트(190)에 지지될 때, 설치 수단(139)은 탄성부(150)의 타단을 지지할 수 있다.At the position facing the control bolt 190 in the body 130, a protrusion or groove-shaped installation means 139 may be provided. When one end of the elastic portion 150 is supported by the adjustment bolt 190, the installation means 139 may support the other end of the elastic portion 150.

출입구의 가장자리 또는 출입구의 주변에 대면되는 몸체(130)의 일면에는 폐곡선 형상의 실링 부재(180)가 설치될 수 있다. 실링 부재(180)는 챔버 내부의 기밀성을 유지하는 오링 등을 포함할 수 있다.A closed curve sealing member 180 may be installed on one surface of the body 130 facing the edge of the doorway or the periphery of the doorway. The sealing member 180 may include an O-ring or the like for maintaining airtightness inside the chamber.

제1 축(210)은 챔버에 고정되는 회전 블럭(230)에 회전 가능하게 설치될 수 있다.The first shaft 210 may be rotatably installed in the rotating block 230 fixed to the chamber.

실린더 등의 구동 수단(250)에 의해 제1 축(210)이 정방향으로 회전하면, 제1 축(210)에 연결된 커버(110)가 출입구를 향해 회전할 수 있다.When the first shaft 210 rotates in the forward direction by the driving means 250 such as a cylinder, the cover 110 connected to the first shaft 210 may rotate toward the doorway.

몸체(130)는 커버(110)의 회전에 의해 실링 부재(180) 중 제1 축(210)에 가까운 부분이 먼저 출입구 가장자리에 접촉되게 형성될 수 있다. 일 예로, 도 5에서 제1 축(210)이 출입구의 하측에 배치되므로, 제1 축(210)에 가까운 실링 부재(180)의 하부가 도 5의 (b)와 같이 먼저 출입구 가장자리에 접촉될 수 있다.The body 130 may be formed such that a portion close to the first shaft 210 of the sealing member 180 first contacts the doorway edge by the rotation of the cover 110. For example, in FIG. 5, since the first shaft 210 is disposed below the entrance, the lower portion of the sealing member 180 close to the first shaft 210 may first contact the entrance edge as shown in FIG. 5B. Can be.

실링 부재(180) 하부와 출입구 가장자리의 접촉에 따른 물리적 간섭 이후에도 지속되는 커버(110)의 회전력으로 인해, 출입구 가장자리에 의해 실링 부재(180) 하부가 짖뭉개질 수 있다.Due to the rotational force of the cover 110 that persists after physical interference due to the contact between the sealing member 180 and the entrance edge, the lower portion of the sealing member 180 may be barked by the entrance edge.

그러나, 본 발명에 따르면, 실링 부재(180)와 출입구 가장자리의 접촉에 따른 물리적 간섭에 의해 몸체(130)가 제2 축(120)을 기준으로 정방향으로 회전할 수 있다. 그 결과, 실링 부재(180) 하부는 출입구 가장자리에 의해 짖뭉개지지 않을 수 있다.However, according to the present invention, the body 130 may rotate in the forward direction with respect to the second axis 120 by the physical interference caused by the contact between the sealing member 180 and the entrance edge. As a result, the lower portion of the sealing member 180 may not be barked by the entrance edge.

한편, 커버(110)에 대한 몸체(130)의 정방향 회전이 지나치면, 실링 부재(180)의 하부와 출입구 하부 가장자리 간의 접촉이 해제될 수 있다. 실링 부재(180)의 일부가 출입구 가장자리에 접촉된 이후 커버(110)에 대한 몸체(130)의 정방향 회전 또는 역방향 회전에 상관없이 이미 접촉된 실링 부재(180)의 일부와 출입구 가장자리 간의 접촉이 유지되는 것이 좋다.On the other hand, if the forward rotation of the body 130 with respect to the cover 110 is excessive, the contact between the bottom of the sealing member 180 and the lower edge of the doorway can be released. The contact between the entrance edge and the portion of the sealing member 180 already in contact is maintained regardless of the forward or reverse rotation of the body 130 relative to the cover 110 after the portion of the sealing member 180 contacts the entrance edge. It is good to be.

커버(110)에 대한 몸체(130)의 회전에 상관없이 탄성부(150)에 의해 실링 부재(180)의 일측이 출입구 가장자리에 접촉된 상태가 유지될 수 있다.Irrespective of the rotation of the body 130 relative to the cover 110, the state in which one side of the sealing member 180 is in contact with the doorway edge by the elastic part 150 may be maintained.

실링 부재(180) 또는 몸체(130)에 접촉되는 출입구의 하부 가장자리 또는 출입구의 하부 주변을 하부 에지(91)(edge)로 정의하고, 실링 부재(180) 또는 몸체(130)에 접촉되는 출입구의 상부 가장자리 또는 출입구의 상부 주변을 상부 에지(92)(edge)로 정의한다.The lower edge of the doorway or the lower periphery of the doorway contacting the sealing member 180 or the body 130 is defined as the lower edge 91 (edge), and the doorway of the doorway contacting the sealing member 180 or the body 130. The upper edge or the upper perimeter of the doorway is defined as the upper edge 92.

도 5의 (a)와 같이 몸체(130)가 하부 에지(91) 및 상부 에지(92)로부터 이격된 상태에서, 커버(110)와 몸체(130) 간의 간격은 탄성부(150)에 의해 일정하게 유지될 수 있다.In a state in which the body 130 is spaced apart from the lower edge 91 and the upper edge 92 as shown in FIG. 5A, the distance between the cover 110 and the body 130 is constant by the elastic part 150. Can be maintained.

도 5의 (b)와 같이 커버(110)가 정방향으로 회전되면, 먼저 실링 부재(180)의 하부가 하부 에지(91)에 접촉될 수 있다. 이후, 실링 부재(180)의 나머지가 출입구 주변에 밀착되도록 커버(110)는 추가로 정방향을 따라 회전되며, 커버(110)의 추가 회전에 따른 실링 부재(180)의 짖뭉개짐이 방지되도록 몸체(130)는 커버(110)에 대해 정방향으로 회전할 수 있다.When the cover 110 is rotated in the forward direction as shown in (b) of FIG. 5, first, a lower portion of the sealing member 180 may contact the lower edge 91. Thereafter, the cover 110 is further rotated along the forward direction so that the rest of the sealing member 180 is in close contact with the entrance and exit, and the body is prevented from being bark of the sealing member 180 due to the further rotation of the cover 110. 130 may rotate in a forward direction with respect to the cover 110.

몸체(130)의 정방향 회전에 의해 제2 축(120) 아래의 하부 탄성부(150)는 압축되고, 제2 축(120) 위의 상부 탄성부(150)는 팽창될 수 있다.The lower elastic part 150 under the second shaft 120 may be compressed by the forward rotation of the body 130, and the upper elastic part 150 over the second shaft 120 may be expanded.

압축된 하부 탄성부(150) 또는 팽창된 상부 탄성부(150)에 몸체(130)의 하부는 하부 에지(91)에 가압되고, 각 탄성부(150)의 가압으로 인해 실링 부재(180)의 일부는 하부 에지(91)에 밀착된 상태를 유지할 수 있다.The lower portion of the body 130 is pressed against the compressed lower elastic portion 150 or the expanded upper elastic portion 150 by the lower edge 91, and due to the pressing of each elastic portion 150, Some may remain in close contact with the lower edge 91.

커버(110)의 추가 회전에 의해 몸체(130) 또는 실링 부재(180)의 상부가 상부 에지(92)에 밀착되면, 챔버에 대한 몸체(130)의 각도는 고정될 수 있다. 기하학적 구조 및 회전 특성으로 인해 챔버에 대해 몸체(130)의 각도가 고정된 상태에서도 커버(110)가 추가로 이동될 수 있으며, 이 과정에서 몸체(130)는 커버(110)에 대해 역방향으로 회전할 수 있다.When the top of the body 130 or the sealing member 180 is in close contact with the upper edge 92 by further rotation of the cover 110, the angle of the body 130 relative to the chamber can be fixed. Due to the geometry and rotational characteristics, the cover 110 may be further moved even when the angle of the body 130 is fixed with respect to the chamber, in which the body 130 rotates in the reverse direction with respect to the cover 110. can do.

커버(110)가 정방향을 따라 추가로 회전하면, 몸체(130)는 제2 축(120)을 기준으로 역방향으로 회전하면서 출입구에 평행하게 정렬될 수 있다. 출입구에 평행하게 정렬된 몸체(130)에 설치된 실링 부재(180) 전체는 출입구 전체를 폐쇄할 수 있다.When the cover 110 is further rotated along the forward direction, the body 130 may be aligned in parallel to the doorway while rotating in the reverse direction with respect to the second axis 120. The entire sealing member 180 installed in the body 130 aligned parallel to the doorway may close the entire doorway.

출입구에 평행하게 정렬된 몸체(130)의 상부는 상부 탄성부(150)에 의해 상부 에지(92)를 향해 가압되고, 출입구에 평행하게 정렬된 몸체(130)의 하부는 하부 탄성부(150)에 의해 하부 에지(91)를 향해 가압되므로, 몸체(130)는 출입구를 확실하게 폐쇄할 수 있다.The upper portion of the body 130 aligned parallel to the doorway is urged toward the upper edge 92 by the upper elastic portion 150, and the lower portion of the body 130 aligned parallel to the doorway is the lower elastic portion 150. By pressing toward the lower edge 91, the body 130 can securely close the entrance and exit.

제2 축(120), 복수의 탄성부(150)가 설치되도록, 커버(110)는 최외곽에 배치된 탄성부(150) 간의 거리보다 큰 폭을 가질 수 있다.The cover 110 may have a width greater than the distance between the elastic parts 150 disposed at the outermost side so that the second shaft 120 and the plurality of elastic parts 150 are installed.

일 예로, 커버(110)의 단면 형상은 몸체(130)의 일부를 수용할 수 있는 그릇 형상으로 형성될 수 있다.For example, the cross-sectional shape of the cover 110 may be formed in a bowl shape that can accommodate a portion of the body 130.

이때, 커버(110)의 가장자리에는 제2 축(120)을 회전 중심으로 회전하는 몸체(130)의 회전 각도를 설정 범위에서 제한하는 스토퍼(119)가 마련될 수 있다.In this case, a stopper 119 may be provided at the edge of the cover 110 to limit the rotation angle of the body 130 that rotates the second shaft 120 around the rotation center within a setting range.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.Although embodiments according to the present invention have been described above, these are merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent embodiments of the present invention are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the following claims.

10...챔버 90...출입구
91...하부 에지 92...상부 에지
100...셔터 110...커버
119...스토퍼 120...제2 축
130...몸체 139...설치 수단
150...탄성부 180...실링 부재
190...조절 볼트 210...제1 축
230...회전 블럭 240...고정 블럭
250...구동 수단 260...고정 파트
270...링크 블럭10 ... chamber 90 ... exit
91 ... bottom edge 92 ... top edge
100 ... shutter 110 ... cover
119 ... stopper 120 ... second axis
130 ... body 139 ... mounting means
150 ... elastic part 180 ... sealing member
190 ... Adjustment bolt 210 ... 1st axis
230 ... rotating block 240 ... fixing block
250 ... drive means 260 ... fixed parts
270 ... link block

Claims (8)

삭제delete 챔버를 기준으로 회전하면서 가공 대상물이 출입하는 상기 챔버의 출입구를 개폐하는 셔터;를 포함하고,
상기 셔터에는 상기 챔버를 기준으로 회전하는 커버, 상기 커버와 함께 움직이면서 상기 출입구를 개폐하며 상기 커버에 회전 가능하게 지지되는 몸체가 마련되며,
상기 커버의 회전 각도 중 상기 몸체가 상기 출입구를 폐쇄하는 폐쇄 각도가 정의될 때,
상기 커버가 상기 출입구를 향하는 정방향으로 회전하면, 상기 몸체는 상기 커버가 상기 폐쇄 각도에 도달하기 전에 상기 챔버의 일측에 물리적으로 간섭되면서 상기 정방향으로 회전하고,
상기 챔버의 일측과 상기 몸체의 간섭 이후에 상기 커버의 상기 정방향 회전이 상기 폐쇄 각도까지 지속되면, 상기 몸체는 역방향으로 회전하면서 상기 출입구를 폐쇄하는 챔버 도어 장치.
It includes; a shutter for opening and closing the door of the chamber through which the object to be processed while rotating relative to the chamber;
The shutter is provided with a cover that rotates with respect to the chamber, a body that opens and closes the doorway while moving with the cover and is rotatably supported by the cover.
When the closing angle of the body closing the doorway of the rotation angle of the cover is defined,
When the cover rotates in the forward direction toward the doorway, the body rotates in the forward direction with physical interference with one side of the chamber before the cover reaches the closing angle,
And when the forward rotation of the cover continues to the closing angle after the interference of one side of the chamber and the body, the body rotates in the reverse direction to close the door.
제2항에 있어서,
상기 커버는 상기 챔버에 회전 가능하게 설치된 제1 축에 연결되고,
상기 커버와 상기 몸체 사이에는 상기 제1 축에 평행하게 연장되는 제2 축이 마련되며,
상기 몸체는 상기 제2 축을 회전 중심으로 회전 가능하게 형성된 챔버 도어 장치.
The method of claim 2,
The cover is connected to a first shaft rotatably installed in the chamber,
Between the cover and the body is provided with a second axis extending in parallel to the first axis,
The body is a chamber door device formed to be rotatable about the second axis of rotation.
챔버를 기준으로 회전하면서 가공 대상물이 출입하는 상기 챔버의 출입구를 개폐하는 셔터;를 포함하고,
상기 셔터에는 상기 챔버를 기준으로 회전하는 커버, 상기 커버와 함께 움직이면서 상기 출입구를 개폐하며 상기 커버에 회전 가능하게 지지되는 몸체가 마련되며,
상기 셔터에는 상기 커버와 상기 몸체를 탄성적으로 연결하는 탄성부가 마련되고,
상기 커버는 상기 출입구의 일측에 마련된 제1 축을 회전 중심으로 회전하며,
상기 탄성부는 상기 제1 축에 수직한 방향을 따라 서로 다른 위치에 복수로 마련되는 챔버 도어 장치.
It includes; a shutter for opening and closing the door of the chamber through which the object to be processed while rotating relative to the chamber;
The shutter is provided with a cover that rotates with respect to the chamber, a body that opens and closes the doorway while moving with the cover and is rotatably supported by the cover.
The shutter is provided with an elastic portion for elastically connecting the cover and the body,
The cover rotates around the rotational axis of the first axis provided on one side of the doorway,
The elastic door is provided with a plurality of chamber door apparatus at different positions along the direction perpendicular to the first axis.
챔버를 기준으로 회전하면서 가공 대상물이 출입하는 상기 챔버의 출입구를 개폐하는 셔터;를 포함하고,
상기 셔터에는 상기 챔버를 기준으로 회전하는 커버, 상기 커버와 함께 움직이면서 상기 출입구를 개폐하며 상기 커버에 회전 가능하게 지지되는 몸체가 마련되며,
상기 커버는 상기 챔버에 설치된 제1 축을 회전 중심으로 회전하고,
상기 커버 및 상기 몸체는 상기 제1 축에 평행하게 연장되며,
상기 몸체에 대면되는 상기 커버의 일면에는 상기 몸체의 회전 중심이 되는 제2 축이 마련되고,
상기 제1 축에 수직한 수직 방향 상으로 상기 제2 축은 상기 커버의 가운데에 배치되며,
상기 수직 방향 상으로 상기 제2 축을 사이에 두고 상기 커버의 일측과 타측에는 상기 커버와 상기 몸체를 탄성적으로 연결하는 탄성부가 각각 마련된 챔버 도어 장치.
It includes; a shutter for opening and closing the door of the chamber through which the object to be processed while rotating relative to the chamber;
The shutter is provided with a cover that rotates with respect to the chamber, a body that opens and closes the doorway while moving with the cover and is rotatably supported by the cover.
The cover rotates about the rotational center of the first axis installed in the chamber,
The cover and the body extend parallel to the first axis,
One side of the cover facing the body is provided with a second axis to be the center of rotation of the body,
The second axis is disposed in the center of the cover in a vertical direction perpendicular to the first axis,
And a resilient portion that elastically connects the cover and the body to one side and the other side of the cover in the vertical direction with the second axis therebetween.
제5항에 있어서,
상기 커버의 일측과 타측에는 상기 몸체를 향해 연장되는 조절 볼트가 각각 관통 설치되고,
상기 조절 볼트의 조임에 의해 상기 탄성부의 탄성력이 조절되는 챔버 도어 장치.
The method of claim 5,
On one side and the other side of the cover is installed through the adjustment bolt extending toward the body, respectively
Chamber door device that the elastic force of the elastic portion is adjusted by tightening the adjustment bolt.
제5항에 있어서,
상기 출입구의 가장자리에 대면되는 상기 몸체의 일면에는 폐곡선 형상의 실링 부재가 설치되고,
상기 제1 축은 상기 챔버에 고정되는 회전 블럭에 회전 가능하게 설치되고,
구동 수단에 의해 상기 제1 축이 정방향으로 회전하면, 상기 제1 축에 연결된 상기 커버가 출입구를 향해 회전하며,
상기 몸체는 상기 커버의 회전에 의해 상기 실링 부재 중 상기 제1 축에 가까운 부분이 먼저 상기 출입구 가장자리에 접촉되게 형성되고,
상기 실링 부재와 상기 출입구 가장자리의 접촉에 따른 물리적 간섭에 의해 상기 몸체가 상기 제2 축을 기준으로 상기 정방향으로 회전하며,
상기 커버에 대한 상기 몸체의 회전에 상관없이 상기 탄성부에 의해 상기 실링 부재의 일측이 상기 출입구 가장자리에 접촉된 상태가 유지되는 챔버 도어 장치.
The method of claim 5,
One surface of the body facing the edge of the doorway is provided with a closed curved sealing member,
The first shaft is rotatably installed in the rotating block fixed to the chamber,
When the first shaft is rotated in the forward direction by the driving means, the cover connected to the first shaft is rotated toward the doorway,
The body is formed such that a portion close to the first axis of the sealing member first contacts the doorway edge by the rotation of the cover,
The body rotates in the forward direction with respect to the second axis by physical interference due to the contact between the sealing member and the edge of the doorway,
And a chamber door apparatus in which one side of the sealing member is in contact with the entrance edge by the elastic part regardless of the rotation of the body with respect to the cover.
제7항에 있어서,
상기 커버가 상기 정방향을 따라 추가로 회전하면, 상기 몸체는 상기 제2 축을 기준으로 역방향으로 회전하면서 상기 출입구에 평행하게 정렬되고, 평행하게 정렬된 상기 몸체에 설치된 상기 실링 부재 전체가 상기 출입구 전체를 폐쇄하는 챔버 도어 장치.The method of claim 7, wherein
When the cover is further rotated along the forward direction, the body is aligned in parallel with the doorway while rotating in the reverse direction with respect to the second axis, and the entire sealing member installed in the parallelly aligned body covers the entire doorway. Chamber door device to close.
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