KR102051520B1 - Cnt 박막 제조 방법, cnt 박막, cnt 박막을 이용한 수소 센서 제조방법 및 cnt 박막을 이용한 수소 센서 - Google Patents
Cnt 박막 제조 방법, cnt 박막, cnt 박막을 이용한 수소 센서 제조방법 및 cnt 박막을 이용한 수소 센서 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102051520B1 KR102051520B1 KR1020190025218A KR20190025218A KR102051520B1 KR 102051520 B1 KR102051520 B1 KR 102051520B1 KR 1020190025218 A KR1020190025218 A KR 1020190025218A KR 20190025218 A KR20190025218 A KR 20190025218A KR 102051520 B1 KR102051520 B1 KR 102051520B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cnt
- thin film
- organic solvent
- hydrogen
- membrane filter
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/52—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/62218—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products obtaining ceramic films, e.g. by using temporary supports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/62625—Wet mixtures
- C04B35/62635—Mixing details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/52—Constituents or additives characterised by their shapes
- C04B2235/5284—Hollow fibers, e.g. nanotubes
- C04B2235/5288—Carbon nanotubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
본 발명의 일 실시예는 기판 및 분산재를 적용함이 없이 멤브레인 진공여과에 의한 스트레인(strain) 센서용 CNT 박막 또는 수소 센서용 CNT 박막을 용이하게 제조할 수 있도록 하기 위하여, 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 혼합물을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 및 상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법을 제공한다.
Description
본 발명은 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 기판 및 분산재를 적용함이 없이 멤브레인 진공여과에 의한 스트레인(strain) 센서용 CNT 박막 또는 수소 센서용 CNT 박막을 용이하게 제조할 수 있도록 하는 CNT 박막 제조 방법, CNT 박막, CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조방법 및 CNT 박막을 이용한 수소 센서에 관한 것이다.
탄소나노튜브는 에미터(emitter), 백색광원, 전계 방출 디스플레이(field emission display, FED), 나노와이어, 진공 형광 디스플레이(Vacuum Fluorescent Display, VFD), 원자력현미경(atomic force microscope, AFM) 팁(tip), 단전자 소자, 가스센서(gas sensor), 의공학용 미세부품, 고기능복합체, 및 에너지 저장소자로 2차 전지, 연료전지 또는 초고용량 커패시터의 전극 등에서 무한한 응용 가능성을 가지는 소재로 상기와 같은 다양한 용도로의 응용을 위해서는 나노 크기의 CNT 박막의 제조가 선행되어야 한다.
탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube) 박막은 기판을 준비한 후, 화학적으로 분산된 CNT 용액을 기판 상에 스크린 프린팅 또는 잉크젯 프린팅을 수행한 후 경화시키거나, 대한민국 등록특허 제10-0827649호와 같이 CNT에 대한 화학적 처리를 통해 액상으로 분산시키거나 폴리머 혹은 포토레지스트(Photoresist)에 혼합하여 기판에 코팅한 후 경화시키는 것에 의해 제조되는 것이 일반적이다.
즉, 종래기술의 경우 CNT 박막을 제조하기 위해서는 기판과 CNT 분산을 위한 폴리머 또는 포토레지스트 등의 분산재를 필요로 한다. 이에 따라 기판과 CNT 간에 약한 결합이 발생하게 되어, CNT간의 결합력이 저하되는 문제점을 가진다. 또한, 폴리머 또는 포토레지스트 등의 분산을 위한 분산재(모재)를 사용하는 경우, CNT들의 물성저하 및 폴리머 자체의 내구성과 오염 문제가 발생한다. 그리고 기판과 모재를 사용하여 CNT 박막을 제조하는 경우에는 별도의 경화 및 후처리 공정을 필요로 하는 문제점을 가진다.
따라서 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예는, 기판과 분산재를 적용함이 없이 CNT와 메탄올 슬러지를 진공여과하여 CNT-CNT가 직접 결합되는 스트레인 센서로 적용되는 CNT 박막을 제조하는 방법, CNT박막, 제조된 CNT 박막에 수소 반응물질을 증착하거나, CNT와 메탄올 및 수소반응물질 혼합 슬러지를 진공 여과하여 CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 수소 센서를 제조하기 위한 CNT 박막 제조 방법 및 수소센서용 CNT 박막을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는, 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 혼합물을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 및 상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법을 제공한다.
상기 CNT는 1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 CNT는 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT분산용액을 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 슬러지에 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상온 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30분 내지 24시간 수행되는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서 분리된 상기 CNT 박막은, 변형률이 커질수록 저항이 커지는 스트레인 게이지용 신축성 CNT박막인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예는 상기 CNT 박막 제조 방법에 의해 제조된 스트레인 게이지용 CNT 박막을 제공한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예는, 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계; 상기 CNT가 분산된 CNT 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및 CNT 박막에 수소 반응성 부여를 위해 상기 CNT 박막을 고온 산화처리하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법을 제공한다.
상기 CNT는 1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 CNT는 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100 kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상온 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30분 내지 24시간 수행되는 것을 특징으로 한다.
상기 고온 산화처리하는 단계는, 산소 또는 질소 분위기에서 50 내지 900 ℃로 30 내지 120 분간 가열하여 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기를 생성하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예는, 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계; 상기 CNT분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 수소센서용 CNT 박막을 생성을 위한 수소 반응성 부여를 위해 산성용액을 이용하여 상기 CNT 박막을 산화처리하는 단계; 및 상기 CNT 박막에 수소 반응성 부여를 위해 산성용액을 이용한 산화처리를 수행하여 수소센서용 CNT 박막을 생성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법을 제공한다.
상기 CNT는 1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 CNT는 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상온 내지 45 ℃의 온도 범위에서30분 내지 24 시간 수행되는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 박막을 산성 용액을 이용한 산화처리를 수행하여 수소센서용CNT 박막을 생성하는 단계는, 상기 CNT 박막을 산성 용액에 침지하여 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기를 생성하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예는, 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계; 상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계; 상기 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및 수소센서용 CNT 박막을 생성을 위해 상기 CNT 박막에 수소 반응물질을 증착시키는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법을 제공한다.
상기 CNT는 1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 CNT는 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는, 상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상온 내지 45 ℃의 온도 범위에서30분 내지 24 시간 수행되는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 박막에 수소반응물질을 증착시키는 단계의 상기 수소반응물질은, Pt, Pd 또는 Au 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예는, 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT'), 수소반응물질 및 유기용매를 혼합하여 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계; 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계; 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 수소반응물질 분산 용액을 생성하는 단계; 상기 CNT 수소반응물질 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 및 상기 멤브레인필터에 걸러진 건조되지 않은 CNT 수소반응물질을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 수소반응물질 박막으로 형성되는 수소센서용 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법을 제공한다.
상기 CNT는 1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계에서 혼합되는 상기 수소반응물질은, Pt, Pd 또는 Au 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 CNT와 상기 수소반응물질의 전체 중량은 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되고, 상기 CNT와 상기 수소반응물질의 wt%의 비는 8 내지 9 : 1 내지 2의 범위인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 CNT 수소반응물질을 분산시켜 CNT 수소반응물질 분산용액을 생성하는 단계는, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 한다.
상기 수소센서용 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상온 내지 45 ℃의 온도 범위에서30분 내지 24 시간 수행되는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예는, 상기 수소센서용 CNT 박막 제조 방법 중 어느 하나의 수소센서용 CNT 박막 제조 방법에 의해 제조된 수소센서용 CNT박막을 제공한다.
본 발명의 실시예에 따르면, CNT 박막을 제조함에 있어 기판과 폴리머 또는 포토레지스트 등의 분산재를 적용하지 않는 것에 의해, 기판의 적용 시 발생하는 CNT-CNT 결합과 기판의 부착에 의한 박리 시의 불량 발생, 분산재의 오염에 의한 CNT 박막의 물성 및 내구성 저하를 방지한 스트레인 게이지용 CNT 박막 또는 수소 센서용 CNT박막을 적은 공정 및 저비용으로 용이하게 제조할 수 있도록 한다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 CNT 박막 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 2는 진공여과 공정을 나타내는 도면.
도 3은 경화 후의 CNT 박막(5)을 멤브레인필터(11)로부터 분리하는 과정을 나타내는 도면.
도 4는 변형률에 따른 CNT 박막의 저항 변화를 나타내는 그래프.
도 5는 본 발명의 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 9는 수소 농도에 따른 CNT 박막을 이용한 수소센서의 저항 변화를 나타내는 그래프.
도 2는 진공여과 공정을 나타내는 도면.
도 3은 경화 후의 CNT 박막(5)을 멤브레인필터(11)로부터 분리하는 과정을 나타내는 도면.
도 4는 변형률에 따른 CNT 박막의 저항 변화를 나타내는 그래프.
도 5는 본 발명의 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 9는 수소 농도에 따른 CNT 박막을 이용한 수소센서의 저항 변화를 나타내는 그래프.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 CNT 박막 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
도 1과 같이, 본 발명의 일 실시예의 CNT 박막 제조 방법은, CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10), CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20), CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30), 진공여과를 수행하는 단계(S40) 및 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S50)을 포함하여 구성되어, 기판과 분산재를 사용함이 없이 스트레인 게이지용 CNT 박막을 제조할 수 있도록 한다.
상기 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10)에서는 상기 CNT와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성한다.
이때, 상기 CNT는 1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
또한, 상기 유기용매는 메탄올 등의 알콜, 에테르, 벤젠, 아세톤, 티클로르메탄 등일 수 있다.
그리고 상기 CNT는 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합될 수 있다. 이 경우, 상기 CNT가 0.1 wt% 미만인 경우에는 CNT 슬러지가 생성되지 않고, 진공여과 시 CNT가 멤브레인필터에 침투하여 박리를 수행할 수 없게 된다. 또한, 상기 CNT가 10 wt%를 초과하는 경우에는 경화되는 중에 멤브레인필터의 접촉면에서 CNT-CNT 결합이 멤브레인필터에 침투하여 경화되는 것에 의해 박리가 잘 이루어지지 않게 되어 CNT 박막을 제조하기 어렵게 된다.
상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20)는 상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성한다. 이때, 상기 CNT 유기용매 혼합물은 별도의 용기에 담긴 후 초음파 세정기 등의 수조의 물이나 다른 유체에 잠겨지는 것에 의해 간접적으로 초음파가 인가되어 CNT 슬러지를 생성하게 된다. 이때 인가되는 초음파는 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz로 인가된다. 상기 초음파가 10 kHz 미만의 주파수 및 30 분 미만으로 인가되는 경우에는 유기용매가 CNT내부 및 CNT들 사이로 침투하지 못하여 유기용매가 고르게 혼합된 슬러지가 형성되지 않을 수 있다. 그리고 상기 초음파의 주파수 및 인가되는 시간의 상한에는 제한이 없으나, 공정의 효율적인 수행을 위해서 최대 초음파의 주파수는 100 kHz로 480분 동안 수행될 수 있다. 이 경우, 50 kHz로 120분 동안 초음파를 인가하는 경우 CNT슬러지가 완전히 생성될 수 있으나, 유기용매가 CNT 내부 및 사이에 균일한 혼합될 수 있도록 50 kHz 이상의 주파수를 가지는 초음파를 이용하여 120분 이상 수행될 수 있다. 상술한 바와 같이 생성된 CNT 유기용매 슬러지의 경우 유기용매가 균일하게 침투된 CNT들이 엄킴 상태로 존재한다.
상기 CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30)는 상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시킨다. 이에 의해 상기 CNT들이 CNT-CNT 결합을 이루며 상기 유기용매 내에서 균일하게 분산된다. 이때, 상기 초음파는 초음파 봉을 상기 CNT유기용매 슬러지에 삽입하여 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W로 인가된다. 이 경우, 상기 초음파가 100 W미만의 에너지 및 30 분 미만으로 인가되는 경우에는 CNT 응집체들이 풀어지지 않아 CNT들의 분산이 이루어지지 않게 된다. 그리고 상기 초음파 에너지의 상한에는 제한이 없으나, 공정의 효율적인 수행을 위해서 최대 초음파의 에너지는 500 W이하로 인가되는 것이 바람직하다. 이 경우, 100 W 로 30분 동안 초음파를 인가하는 경우 충분히 CNT가 유기용매 내에서 분산되나, 더욱 분산 효율을 높이기 위해 그 이상의 조건으로 수행될 수 있다. 다만, CNT 분산을 위한 초음파 인가 시간이 120분을 초과하는 경우에는 분산된 후 짧은 시간 내에 다시 슬러지화가 되어 CNT 박막을 제조할 수 없게 되므로 분산을 위한 초음파의 인가 시간은 120분 이하인 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이 생성된 CNT 분산용액의 경우, CNT 들이 유기용매 내부에서 엉킴이 없이 개별적으로 분산되어 존재하게 된다.
상기 진공여과를 수행하는 단계(S40)는 상기 CNT 유기용매 혼합물을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하여, 멤브레인필터의 표면에 CNT-CNT 결합체들의 박막을 얻는다.
도 2는 진공여과 공정을 나타내는 도면이고, 도 3은 경화 후의 CNT 박막(5)을 멤브레인필터(11)로부터 분리하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 2와 같이, 상기 진공여과 공정은 내부에 멤브레인필터(11)가 장착된 여과조(10)와 여과조(10)의 하부에서 부압으로 유기용매(3)를 여과시켜 저장하는 저압챔버(20) 및 저압챔버(20)에 부압을 인가하는 펌프(30)를 포함하는 진공여과 장치를 이용하여 수행된다. 구체적으로, 생성된 CNT 유기용액 분산용액을 여과조(10)에 주입하면 유기용매(3)가 자체의 하중 및 저압챔버(12)의 부압에 의해 여과조(10)에서 멤브레인필터(11)를 거쳐 저압챔버(12)로 여과된다. 이 과정에서 멤브레인필터(11)의 표면에 유기용매(3)에 분산된 CNT-CNT 결합체(2)가 경화되지 않은 CNT-CNT 결합체막(4)으로 걸러진다.
다시, 도 1을 참조하여 설명하면, 상기 CNT 박막(5, 도 3 참조)을 멤브레인필터(11)와 분리하는 단계(S50)는 상기 CNT-CNT 결합체가 포집되어 걸러진 멤브레인필터(11)를 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리한다. 이때, 상기 경화는 상온 또는 가열에 의해 수행될 수 있다. 구체적으로, 상기 경화는 상온 내지 45 ℃의 온도 범위에서30분 내지 24 시간 수행될 수 있다. 상기 경화 온도의 하한은 열을 가하지 않는 경우의 실내온도로서 약 15 내지 25℃ 범위 일 수 있다. 그리고 오븐 또는 핫플레이트를 이용하여 가열하는 것에 의해 경화를 수행하는 경우, 상기 경화 온도가 45 ℃를 초과하는 경우에는 열에너지에 의한 CNT 들의 응집력이 커져 급격한 수축이 발생하게 된다. 이 경우, CNT 박막의 면적이 45 ℃ 이하로 경화시키는 경우에 비해 80%이하로 감소될 수 있어, 이에 의해 CNT 박막의 기대되는 특성, 즉, 변형률에 따른 저항 변화 등의 특성을 얻을 수 없게 된다.
상술한 바와 같은 경화를 수행하여 얻어진 상기 CNT 박막(5)은 도 3의 (a)와 같이 핀셋 등을 이용하여 멤브레인필터(11)로부터 용이하게 분리되어, 도 3의 (b)와 같이 신축성을 가지는 CNT 박막(5)으로 제조된다.
도 4는 변형률에 따른 CNT 박막의 저항 변화를 나타내는 그래프이다.
상기 도 1 내지 도 3의 처리과정에 의해 생성된 상기 CNT 박막(5)은 변형을 가하는 경우, 도 4와 같이, CNT 박막(5)의 변형률에 따라 저항이 변화되는 특성을 가지게 되어, 스트레인 게이지용 센서로 적용될 수 있다.
즉, 상술한 도 1 내지 도 3의 공정에 의해 제조된 CNT 박막은 스트레인 센서용 CNT 박막이 된다. 따라서 본 발명은 상술한 도 1 내지 도 3의 CNT 박막 제조방법에 의해 제조된 스트레인 센서용 CNT 박막을 제공한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
도 5와 같이, 본 발명의 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법은, CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10), CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20), CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30), 진공여과를 수행하는 단계(S40), CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S50) 및 상기 CNT 박막을 고온 산화처리하는 단계(S60)를 포함하여 구성되어, 기판과 분산재를 사용함이 없이 수소센서용 CNT 박막을 제조할 수 있도록 한다.
상술한 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법의 처리과정 중 상기 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10), 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20), 상기 CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30), 상기 진공여과를 수행하는 단계(S40) 및 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S50)는 도 1 내지 도 3에서 설명된 과정과 동일하므로 그 상세한 설명을 생략한다.
상술한 처리과정에 의해 CNT 박막(5, 도 3 참조)이 제조된 후에는, 상기 CNT 박막을 고온 산화처리하는 단계(S60)에서 산소 또는 질소 분위기에서 300(50) 내지 900 ℃로 30 내지 120분간 가열하여 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기를 생성하여 CNT 박막에 수소 반응성을 부여하는 것에 의해 CNT 박막을 수소센서로 변화시키는 것에 의해 수소센서를 제조한다. 이때 상기 산화처리 온도를 300 ℃ 미만으로 하는 경우, 상기 CNT 박막이 산화되지 않아 수소 반응성이 나타나지 않아 수소 센서로 적용할 수 없게 된다. 그리고 상기 산화처리 온도의 상한은 한정됨이 없으나 공정효율을 위해 최대 900 ℃ 이하인 것이 바람직하다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
도 6과 같이, 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법은, CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10), CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20), CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30), 진공여과를 수행하는 단계(S40), CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S50) 및 상기 CNT 박막을 산성용액을 이용하여 산화처리하는 단계(S70)를 포함하여 구성되어, 기판과 분산재를 사용함이 없이 수소센서용 CNT 박막을 제조할 수 있도록 한다.
상술한 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법의 처리과정 중 상기 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10), 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20), 상기 CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30), 상기 진공여과를 수행하는 단계(S40) 및 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S50)는 도 1 내지 도 3에서 설명된 과정과 동일하므로 그 상세한 설명을 생략한다.
상술한 처리과정에 의해 CNT 박막(5, 도 3 참조)이 제조된 후에는, 상기 CNT 박막을 산성 용액에서 산화처리하는 단계(S70)에서 산성용액에 상기 CNT 박막을 침지하여 산화처리를 수행한다. 이때, 상기 산성용액은 황산, 질산, 염산 등의 강산일 수 있다. 상술한 산성용액을 이용한 산화처리에 의해, CNT 박막 내부에 수소반응을 수행하는 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기가 생성되어 수소 반응성이 부여되는 것에 의해 수소 센서로 사용할 수 있게 된다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
도 7과 같이, 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법은, CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10), CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20), CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30), 진공여과를 수행하는 단계(S40), CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S50) 및 상기 CNT 박막에 수소 반응물질을 증착시키는 단계(S80)를 포함하여 구성되어, 기판과 분산재를 사용함이 없이 수소센서용 CNT 박막을 제조할 수 있도록 한다.
상술한 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법의 처리과정 중 상기 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S10), 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S20), 상기 CNT를 분산시켜 CNT 분산용액을 생성하는 단계(S30), 상기 진공여과를 수행하는 단계(S40) 및 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S50)는 도 1 내지 도 3에서 설명된 과정과 동일하므로 그 상세한 설명을 생략한다.
상술한 처리과정에 의해 CNT 박막(5, 도 3 참조)이 제조된 후에는, 상기 CNT 박막에 수소 반응물질을 증착시키는 단계(S80)에서는 Pt, Pd 또는 Au 등의 수소 반응성이 높은 물질을 화학기상법(CVD: Chemical Vaporized Deposition), 플라즈마 기상법(PVD: Plasma Vaporized Deposition) 또는 원자층증착법(ALD: Atomic Layer Deposition) 등의 증착공정을 수행하는 것에 의해 상기 CNT 박막의 CNT-CNT 결합체들에 수소 반응물질을 증착시켜 CNT-수소반응물질 결합을 생성시킨다. 이에 따라, 상기 수소반응물질이 증착된 CNT 박막은 수소 센서로 기능하게 된다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예의 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S110), CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S120), CNT 수소반응물질을 분산시켜 CNT 수소반응물질 분산용액을 생성시키는 단계(S130), 상기 CNT 수소반응물질 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계(S140) 및 수소센서용 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S150)를 포함하여 구성된다.
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계(S110)에서는 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT'), 수소반응물질 및 유기용매를 혼합하여 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성한다.
이때, 상기 CNT는 1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 그리고 상기 수소반응물질은, Pt, Pd 또는 Au 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 상기 CNT와 상기 수소반응물질의 전체 중량은 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되고, 상기 CNT와 상기 수소반응물질의 wt%의 비는 8 내지 9 : 1 내지 2의 범위에서 선택될 수 있다.
상기 CNT와 수소반응물질이 0.1 wt% 미만인 경우에는 CNT 수소반응물질 슬러지가 생성되지 않고, 진공여과 시 CNT가 멤브레인필터에 침투하여 박리를 수행할 수 없게 된다. 또한, 상기 CNT와 수소반응물질이 10 wt%를 초과하는 경우에는 경화되는 중에 멤브레인필터의 접촉면에서 CNT-CNT 결합이 멤브레인필터에 침투하여 경화되는 것에 의해 박리가 잘 이루어지지 않게 되어 CNT 박막을 제조하기 어렵게 된다. 그리고 CNT 와 상기 수소반응물질의 wt%의 비는 8 내지 9 : 1 내지 2의 범위에서 혼합되는 경우 수소 반응 물질의 표면적 증가로 인하여 수소 반응성이 증가한다.
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계(S120)는, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하여 유기용매가 상기 CNT들의 사이에 균일하게 침투되도록 하여 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성한다.
상기 CNT 수소반응물질 분산용액을 생성시키는 단계(S130)는, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT와 수소반응물질을 유기용매 내에서 균일하게 분산시킨다. 이에 의해 상기 CNT들은 CNT-CNT 결합 및 CNT-수소물질 결합을 이루며 상기 유기용매 내에서 균일하게 분산된다. 상기 초음파는 초음파 봉을 상기 CNT수소반응물질 유기용매 슬러지에 삽입하여 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W로 인가된다. 상기 초음파가 100 W미만의 에너지 및 30 분 미만으로 인가되는 경우에는 CNT 응집체들이 풀어지지 않아 CNT들의 분산이 이루어지지 않게 된다. 그리고 상기 초음파 에너지의 상한에는 제한이 없으나, 공정의 효율적인 수행을 위해서 최대 초음파의 에너지는 500 W이하로 인가되는 것이 바람직하다. 이 경우, 100 W 로 30분 동안 초음파를 인가하는 경우 충분히 CNT와 수소반응물질이 유기용매 내에서 분산되나, 더욱 분산 효율을 높이기 위해 그 이상의 조건으로 수행될 수 있다. 다만, CNT 분산을 위한 초음파 인가 시간이 120분을 초과하는 경우에는 분산된 후 짧은 시간 내에 다시 슬러지화가 되어 CNT 박막을 제조할 수 없게 되므로 분산을 위한 초음파의 인가 시간은 120분 이하인 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이 생성된 CNT 수소반응물질 분산용액의 경우, CNT와 수소반응물질 들이 CNT-CNT 결합 및 CNT-수소반응물질 사이의 직접 결합을 이루며 유기용매 내부에서 엉킴이 없이 개별적으로 분산되어 존재하게 된다.
상기 진공여과를 수행하는 단계(S140)는, 상기 CNT 수소반응물질 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하여, 멤브레인필터의 표면에 CNT-CNT 결합체 및 CNT-수소반응물질 결합체들이 혼합된 CNT박막을 얻는다. 이를 도 2 를 참조하여 설명하면, 상기 진공여과 공정은 내부에 멤브레인필터(11)가 장착된 여과조(10)와 여과조(10)의 하부에서 부압으로 유기용매(3)를 여과시켜 저장하는 저압챔버(20) 및 저압챔버(20)에 부압을 인가하는 펌프(30)를 포함하는 진공여과 장치를 이용하여 수행된다. 구체적으로, 생성된 CNT 수소반응물질 분산용액을 여과조(10)에 주입하면 유기용매(3)가 자체의 하중 및 저압챔버(12)의 부압에 의해 여과조(10)에서 멤브레인필터(11)를 거쳐 저압챔버(12)로 여과된다. 이 과정에서 멤브레인필터(11)의 표면에 유기용매(3)에 분산된 CNT-CNT 결합체와 CNT-수소반응물질 결합체들을 포함하는 경화되지 않은 CNT-CNT 결합체막으로 걸러진다.
상기 수소센서용 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계(S150)는, 상기 CNT-CNT 결합체와 CNT-수소반응물질 결합체들을 포함하는 경화되지 않은 CNT-CNT 결합체막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT 수소반응물질 박막으로 형성되는 수소센서용 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하여 수소센서용 CNT 박막을 제조한다. 이때, 상기 경화는 상온 내지 45 ℃의 온도 범위에서30분 내지 24 시간 수행될 수 있다. 상기 경화 온도의 하한은 열을 가하지 않는 경우의 실내온도로서 약 15 내지 25℃ 범위 일 수 있다. 그리고 오븐 또는 핫플레이트를 이용하여 가열하는 것에 의해 경화를 수행하는 경우, 상기 경화 온도가 45 ℃를 초과하는 경우에는 열에너지에 의한 CNT 들의 응집력이 커져 급격한 수축이 발생하게 된다. 이 경우, 수소센서용 CNT 박막의 면적이 45 ℃ 이하로 경화시키는 경우에 비해 80% 이하로 감소할 수 있어, 이에 의해 CNT 박막의 기대되는 특성이 저하될 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 실시예는 상기 수소센서용 CNT 박막 제조 방법 중 어느 하나의 수소센서용 CNT 박막 제조 방법에 의해 제조된 수소센서용 CNT박막을 제공한다.
도 9는 수소 농도에 따른 수소센서용 CNT 박막의 저항 변화를 나타내는 그래프이다.
도 9와 같이 수소농도가 증가함에 따라, 수소센서용 CNT 박막의 저항이 증가하게 되므로, 본 발명의 수소센서용 CNT 박막은 수소센서에 적용될 수 있다.
상술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: CNT 분산용액
2: CNT-CNT 결합체
3: 유기용매
4: CNT-CNT 결합체막
5: CNT 박막
10: 여과조
11: 멤브레인필터
20: 저압챔버
30: 펌프
2: CNT-CNT 결합체
3: 유기용매
4: CNT-CNT 결합체막
5: CNT 박막
10: 여과조
11: 멤브레인필터
20: 저압챔버
30: 펌프
Claims (35)
- 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 혼합물을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 및
상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계;를 포함하고,
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행되고,
상기 멤브레인필터와 분리하는 단계에서 분리된 상기 CNT 박막은 변형률이 커질수록 저항이 커지는 스트레인 게이지용 신축성 CNT박막인 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법. - 제1항에 있어서, 상기 CNT는,
1 내지 990 nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법. - 제 1항에 있어서. 상기 CNT는,
상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법. - 제1항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법. - 제1항에 있어서, 상기 CNT분산용액을 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 슬러지에 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법. - 삭제
- 삭제
- 유기 용매와 탄소나노튜브를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;
상기 CNT가 분산된 CNT 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계;
상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및
CNT 박막에 수소 반응성을 부여하고, CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 수소센서용 CNT 박막의 생성을 위해 상기 CNT 박막을 고온 산화처리하는 단계;를 포함하고,
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제8항에 있어서, 상기 CNT는,
1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제8항에 있어서, 상기 CNT는,
상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제8항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제8항에 있어서, 상기 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 삭제
- 제8항에 있어서, 상기 고온 산화처리하는 단계는,
산소 또는 질소 분위기에서 50 내지 900 ℃로 30 내지 120분간 가열하여 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기를 생성하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;
상기 CNT분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계;
상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및
CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 수소센서용 CNT 박막의 생성을 위해 산성용액을 이용하여 상기 CNT 박막을 산화처리하는 단계;를 포함하고,
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제15항에 있어서, 상기 CNT,
1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제15항에 있어서, 상기 CNT는,
상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제15항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제15항에 있어서, 상기 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 삭제
- 제15항에 있어서, 상기 CNT 박막을 산화처리하는 단계는,
상기 CNT 박막을 산성 용액에 침지하여 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기를 생성하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;
상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;
상기 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계;
상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및
CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 수소센서용 CNT 박막의 생성을 위해 상기 CNT 박막에 수소 반응물질을 증착시키는 단계;를 포함하고,
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제22항에 있어서, 상기 CNT는,
1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제22항에 있어서, 상기 CNT는,
상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제22항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제22항에 있어서, 상기 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는,
상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 삭제
- 제22항에 있어서, 상기 CNT 박막에 수소반응물질을 증착시키는 단계의 상기 수소반응물질은,
Pt, Pd 또는 Au 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT'), 수소반응물질 및 유기용매를 혼합하여 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 수소반응물질 분산 용액을 생성하는 단계;
상기 CNT 수소반응물질 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 및
상기 멤브레인필터에 걸러진 건조되지 않은 CNT 수소반응물질을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 CNT 수소반응물질 박막으로 형성되는 수소센서용 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계;를 포함하고,
상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제29항에 있어서, 상기 CNT는,
1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제29항에 있어서, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계에서 혼합되는 상기 수소반응물질은,
Pt, Pd 또는 Au 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제29항에 있어서,
상기 CNT와 상기 수소반응물질의 전체 중량은 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0.1 내지 10 wt%로 혼합되고,
상기 CNT와 상기 수소반응물질의 wt%의 비는 8 내지 9 : 1 내지 2의 범위인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제29항에 있어서, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 제29항에 있어서, 상기 CNT 수소반응물질을 분산시켜 CNT 수소반응물질 분산용액을 생성하는 단계는,
상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법. - 삭제
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190025218A KR102051520B1 (ko) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | Cnt 박막 제조 방법, cnt 박막, cnt 박막을 이용한 수소 센서 제조방법 및 cnt 박막을 이용한 수소 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190025218A KR102051520B1 (ko) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | Cnt 박막 제조 방법, cnt 박막, cnt 박막을 이용한 수소 센서 제조방법 및 cnt 박막을 이용한 수소 센서 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102051520B1 true KR102051520B1 (ko) | 2019-12-05 |
Family
ID=69002204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020190025218A KR102051520B1 (ko) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | Cnt 박막 제조 방법, cnt 박막, cnt 박막을 이용한 수소 센서 제조방법 및 cnt 박막을 이용한 수소 센서 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102051520B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102398160B1 (ko) | 2021-07-09 | 2022-05-17 | 한국생산기술연구원 | 감도가 개선된 단파장 적외선 감지 센서 및 제조방법 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100827649B1 (ko) | 2007-01-17 | 2008-05-07 | 한양대학교 산학협력단 | Ｃｎｔ 박막의 제조방법 |
| KR101079931B1 (ko) * | 2009-01-05 | 2011-11-04 | 이화여자대학교 산학협력단 | 단일벽 탄소나노튜브 수소센서 및 그의 제조방법 |
| KR101304340B1 (ko) * | 2011-10-31 | 2013-09-11 | 한국표준과학연구원 | 수소농도 측정장치 및 그 제조방법 |
| KR101398313B1 (ko) * | 2012-07-11 | 2014-05-22 | 서울대학교산학협력단 | 배향된 탄소나노튜브 페이퍼의 제조방법 |
| KR101681291B1 (ko) * | 2015-02-03 | 2016-12-02 | 한국과학기술연구원 | 탄소나노튜브 기반 하이브리드 방열시트 및 그 제조방법 |
-
2019
- 2019-03-05 KR KR1020190025218A patent/KR102051520B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100827649B1 (ko) | 2007-01-17 | 2008-05-07 | 한양대학교 산학협력단 | Ｃｎｔ 박막의 제조방법 |
| KR101079931B1 (ko) * | 2009-01-05 | 2011-11-04 | 이화여자대학교 산학협력단 | 단일벽 탄소나노튜브 수소센서 및 그의 제조방법 |
| KR101304340B1 (ko) * | 2011-10-31 | 2013-09-11 | 한국표준과학연구원 | 수소농도 측정장치 및 그 제조방법 |
| KR101398313B1 (ko) * | 2012-07-11 | 2014-05-22 | 서울대학교산학협력단 | 배향된 탄소나노튜브 페이퍼의 제조방법 |
| KR101681291B1 (ko) * | 2015-02-03 | 2016-12-02 | 한국과학기술연구원 | 탄소나노튜브 기반 하이브리드 방열시트 및 그 제조방법 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102398160B1 (ko) | 2021-07-09 | 2022-05-17 | 한국생산기술연구원 | 감도가 개선된 단파장 적외선 감지 센서 및 제조방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100361258C (zh) | 电子发射元件、电子源以及图像形成装置的制造方法和墨 | |
| Goh et al. | Directed and on‐demand alignment of carbon nanotube: a review toward 3D printing of electronics | |
| US6866801B1 (en) | Process for making aligned carbon nanotubes | |
| Lin et al. | Microwave makes carbon nanotubes less defective | |
| JP5043911B2 (ja) | カーボンナノチューブアレイを利用した複合体の製造方法 | |
| US20100255303A1 (en) | Multifunctional composites based on coated nanostructures | |
| EP2298697A1 (en) | Carbon wire, nanostructure composed of carbon film, method for producing the carbon wire, and method for producing nanostructure | |
| JPWO2006030981A1 (ja) | 透明導電性カーボンナノチューブフィルムとその製造方法 | |
| JP2010052972A (ja) | 導電性膜、導電性基板、透明導電性フィルムおよびこれらの製造方法 | |
| Yun et al. | High-performance field-emission properties of boron nitride nanotube field emitters | |
| US9828253B2 (en) | Nanotube film structure | |
| KR102051520B1 (ko) | Cnt 박막 제조 방법, cnt 박막, cnt 박막을 이용한 수소 센서 제조방법 및 cnt 박막을 이용한 수소 센서 | |
| US9162893B2 (en) | Method for making carbon nanotube composite preform | |
| US20150274527A1 (en) | Method for making nanotube film | |
| Su et al. | Scalable and surfactant-free process for single-walled carbon nanotube based transparent conductive thin films via layer-by-layer assembly | |
| JP5182237B2 (ja) | 電子源電極の製造方法 | |
| Hazra et al. | Dramatic enhancement of the emission current density from carbon nanotube based nanosize tips with extremely low onset fields | |
| KR101434463B1 (ko) | 소프트 리소그래피를 통한 박막 패턴의 제조방법 및 이에 따라 제조된 박막 패턴 | |
| WO2019042484A1 (en) | PROCESS FOR PRODUCING A POROUS DIAMOND LAYER AND A THICK POROUS DIAMOND LAYER SUPPORTED BY NANOFIBERS | |
| KR102096293B1 (ko) | 에너지 하베스트 소자용 cnt 박막 제조 방법, 에너지 하베스트 소자용 cnt 박막, cnt 에너지 하베스트 소자 제조 방법 및 cnt 에너지 하베스트 소자 | |
| US20240062984A1 (en) | Carbon nanotube based cold cathodes for x-ray generation | |
| KR20040039325A (ko) | 전계전자방출소자 | |
| KR101400538B1 (ko) | 탄소나노튜브 박막 제조방법 | |
| Go et al. | Improved Field Emission Properties of Carbon Nanotube Paste Emitters Using an Electrically Conductive Graphite Binder | |
| TWI309055B (en) | Method for making emission source having carbon nanotube |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |