KR102050772B1 - Back flow prevention device - Google Patents

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KR102050772B1 KR1020170103053A KR20170103053A KR102050772B1 KR 102050772 B1 KR102050772 B1 KR 102050772B1 KR 1020170103053 A KR1020170103053 A KR 1020170103053A KR 20170103053 A KR20170103053 A KR 20170103053A KR 102050772 B1 KR102050772 B1 KR 102050772B1
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Abstract

본 발명은, 진공펌프로부터 진공챔버로의 가스 역류를 방지하는 가스역류 방지장치에 관한 것이다.
본 발명은, 진공챔버(10) 및 진공펌프(20) 사이의 유로에 설치되어 상기 진공펌프(20)로부터 상기 진공챔버(10)로의 가스역류를 방지하는 가스역류 방지장치로서, 상기 진공챔버(10) 측의 제1실린더(100)와; 상기 제1실린더(100)와 결합되어 상기 진공챔버(10) 및 상기 진공펌프(20) 사이를 연결하는 연결유로(P)를 형성하는 상기 진공펌프(20) 측의 제2실린더(200)와; 상기 제1실린더(100) 및 상기 제2실린더(200) 사이에 설치되어 상기 진공펌프(20)로부터 상기 진공챔버(10)로의 역류를 방지하는 역류방지부(300)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스역류 방지장치를 개시한다.The present invention relates to a gas backflow prevention device for preventing a gas backflow from a vacuum pump to a vacuum chamber.
The present invention is a gas backflow prevention device which is installed in a flow path between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20 to prevent a gas backflow from the vacuum pump 20 to the vacuum chamber 10, the vacuum chamber ( 10) the first cylinder 100 on the side; The second cylinder 200 on the side of the vacuum pump 20 is coupled to the first cylinder 100 to form a connection flow path (P) connecting between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20 ; It is installed between the first cylinder 100 and the second cylinder 200, characterized in that it comprises a backflow prevention part 300 for preventing a back flow from the vacuum pump 20 to the vacuum chamber 10 A gas backflow prevention device is disclosed.

Description

가스역류 방지장치 {Back flow prevention device}Backflow prevention device

본 발명은, 진공펌프로부터 진공챔버로의 가스 역류를 방지하는 가스역류 방지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas backflow prevention device for preventing a gas backflow from a vacuum pump to a vacuum chamber.

진공펌프는, 대상이 되는 챔버 내의 공기나 그 밖의 가스를 흡출하여 진공을 만드는 기계를 말한다. 진공펌프 중에서도 일반적으로 실험실에서 저진공 용도로 가장 많이 사용되는 로타리펌프(rotary pump)는 정지자(stator), 회전자(rotator) 그리고 베인(vane)에 의해 흡입, 압축, 배기의 과정을 거쳐 작동하게 된다. The vacuum pump refers to a machine that draws out air or other gas in a chamber to produce a vacuum. Among the vacuum pumps, the rotary pump, which is generally used for low vacuum in the laboratory, is operated by suction, compression, and exhaust by a stator, a rotor, and a vane. Done.

이때 이용되는 로타리펌프(rotary pump) 내 오일은 윤활제의 역할뿐만 아니라 회전에 의한 마찰열의 감소와 정지자와 베인 사이의 공간을 막아주는 역할 등을 수행하므로 로타리 펌프(rotary pump)의 필수적인 요소라고 할 수 있다.The oil in the rotary pump used here is not only a lubricant, but also reduces the frictional heat due to rotation and blocks the space between the stop and the vane, which is an essential element of the rotary pump. Can be.

하지만 진공펌프의 특성상 낮은 압력으로 인하여 펌프 내 오일의 일부가 증발되어 일부가 오일 증기로서 존재하며, 일시적으로 진공챔버 측의 압력이 진공펌프 측의 압력보다 높게 형성되는 경우 증기상태의 오일이 진공챔버 쪽으로 역류할 수 있다. 역류하는 오일에 의하여 진공챔버 내 시료 또는 진공챔버 자체를 오염시키는 원인이 되기도 한다. However, due to the low pressure of the vacuum pump, some of the oil in the pump is evaporated and some exists as oil vapor. When the pressure in the vacuum chamber is temporarily formed higher than the pressure in the vacuum pump side, the oil in the vapor state is in the vacuum chamber. Can flow back toward Oil that flows back may cause contamination of the sample or the vacuum chamber itself in the vacuum chamber.

이에 종래에는 진공펌프로부터의 오일의 역류를 방지하기 위하여 진공챔버와 진공펌프 사이에 인위적으로 긴 경로를 가지도록 구성하거나, 유로 상에 섬유재질 혹은 메탈재질의 다공질 물질을 삽입하여 다공질 표면에 역류하는 오일입자를 제거하도록 구성하였다. In the related art, in order to prevent backflow of oil from the vacuum pump, an artificially long path is formed between the vacuum chamber and the vacuum pump, or a porous material of fiber material or metal material is inserted into the flow path and flows back to the porous surface. It was configured to remove oil particles.

그러나 유로가 지나치게 길게 형성되거나, 다공질 물질이 설치된 경우 진공펌프의 가동시 가스흐름을 방해하여 진공펌프 자체의 성능이 온전히 발휘되지 못하고 실제로 역류되는 오일입자를 완벽하게 제거하지 못하는 문제점이 있다.However, if the flow path is formed too long or a porous material is installed, there is a problem that the performance of the vacuum pump itself is not fully exhibited because the gas flow is prevented when the vacuum pump is operated, and oil particles which are actually flowed back cannot be completely removed.

본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 진공펌프의 성능이 온전히 발휘되면서도 오일의 역류를 효과적으로 차단할 수 있는 가스역류 방지장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a gas backflow prevention device that can effectively block the back flow of oil while the performance of the vacuum pump is fully exhibited in order to solve the above problems.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 진공챔버(10) 및 진공펌프(20) 사이의 유로에 설치되어 상기 진공펌프(20)로부터 상기 진공챔버(10)로의 가스역류를 방지하는 가스역류 방지장치로서, 상기 진공챔버(10) 측의 제1실린더(100)와; 상기 제1실린더(100)와 결합되어 상기 진공챔버(10) 및 상기 진공펌프(20) 사이를 연결하는 연결유로(P)를 형성하는 상기 진공펌프(20) 측의 제2실린더(200)와; 상기 제1실린더(100) 및 상기 제2실린더(200) 사이에 설치되어 상기 진공펌프(20)로부터 상기 진공챔버(10)로의 역류를 방지하는 역류방지부(300)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스역류 방지장치를 개시한다.The present invention was created in order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention is installed in the flow path between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20, the vacuum chamber (20) from the vacuum pump ( 10. A gas backflow prevention device for preventing gas backflow into a 10), comprising: a first cylinder (100) on the side of the vacuum chamber (10); The second cylinder 200 on the side of the vacuum pump 20 is coupled to the first cylinder 100 to form a connection flow path (P) connecting between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20 ; It is installed between the first cylinder 100 and the second cylinder 200, characterized in that it comprises a backflow prevention part 300 for preventing a back flow from the vacuum pump 20 to the vacuum chamber 10 A gas backflow prevention device is disclosed.

상기 역류방지부(300)는, 상기 연결유로(P) 상에 상기 연결유로(P)를 따라 이동가능하게 설치되어 상기 연결유로(P)의 가스의 흐름을 개방하거나 차단하는 차단부재(330)와; 상기 제1실린더(100)에 설치되어 상기 차단부재(330)에 제1탄성력을 가하는 제1탄성부재(310)와; 상기 차단부재(330)를 기준으로 상기 제1실린더(100)에 대향되도록 상기 제2실린더(200)에 설치되어 상기 차단부재(330)에 제2탄성력을 가하는 제2탄성부재(320)를 포함하며, 상기 역류방지부(300)는, 상기 차단부재(330)가 상기 진공챔버(10) 측의 압력이 상기 진공펌프(20) 측의 압력보다 크거나 같은 경우 상기 연결유로(P)의 개방상태를 유지하고, 상기 진공챔버(10) 측의 압력이 상기 진공펌프(20) 측의 압력보다 작을 때는 상기 연결유로(P)를 차단할 수 있다.The backflow prevention part 300 is installed on the connection flow path P so as to be movable along the connection flow path P, and a blocking member 330 for opening or blocking the flow of gas in the connection flow path P. Wow; A first elastic member 310 installed in the first cylinder 100 to apply a first elastic force to the blocking member 330; A second elastic member 320 installed on the second cylinder 200 so as to face the first cylinder 100 based on the blocking member 330 to apply a second elastic force to the blocking member 330. The backflow prevention part 300 may be configured such that when the blocking member 330 has the pressure at the side of the vacuum chamber 10 is greater than or equal to the pressure at the side of the vacuum pump 20, the connection flow path P is opened. Maintaining the state, when the pressure on the vacuum chamber 10 side is less than the pressure on the vacuum pump 20 side can block the connection flow path (P).

상기 차단부재(330)가 상기 연결유로(P)를 차단한 상태에서 상기 제1탄성력은, 상기 제2탄성력보다 작은 것이 바람직하다.In a state in which the blocking member 330 blocks the connection flow path P, the first elastic force is preferably smaller than the second elastic force.

상기 제1실린더(100)는, 길이방향으로 관통하여 상기 연결유로(P)의 일부를 형성하는 제1관통공(101)이 형성되며, 상기 제1탄성부재(310)가 끼워져 지지될 수 있도록 상기 제2실린더(200)를 향하는 쪽에서 상기 제1실린더(100)의 제1관통공(101) 중 상기 진공챔버(10) 쪽 부분보다 내경이 더 큰 제1확장부(110)가 형성될 수 있다.The first cylinder 100 has a first through hole 101 penetrating in the longitudinal direction to form a part of the connection flow path P, and the first elastic member 310 can be inserted and supported therein. A first extension part 110 having an inner diameter larger than that of the vacuum chamber 10 side of the first through hole 101 of the first cylinder 100 may be formed toward the second cylinder 200. have.

상기 차단부재(330)는, 상기 제1실린더(100)에 밀착될 때 상기 제1관통공(101)에 대한 차단효과를 높이기 위하여 실링부재(340)가 설치되며, 상기 제1실린더(100)를 향하는 면에는, 상기 실링부재(340)의 설치를 위하여 상기 제1확장부(110)의 내경보다 큰 직경의 제1삽입홈(331)이 형성될 수 있다.When the blocking member 330 is in close contact with the first cylinder 100, a sealing member 340 is installed to increase the blocking effect on the first through hole 101, and the first cylinder 100 is provided. On the surface facing the first insertion groove 331 having a diameter larger than the inner diameter of the first expansion unit 110 may be formed for the installation of the sealing member 340.

상기 제1탄성부재(310)는, 코일스프링이며, 상기 제1탄성부재(310) 및 상기 차단부재(330)가 이루는 중심축에 대하여 상기 제1탄성부재(310)가 상기 차단부재(330)에 대하여 상대적으로 벗어나는 것을 방지하도록, 상기 차단부재(330)는, 상기 코일스프링의 끝단이 삽입되는 제2삽입홈(332)이 형성될 수 있다.The first elastic member 310 is a coil spring, and the first elastic member 310 is the blocking member 330 about a central axis formed by the first elastic member 310 and the blocking member 330. The blocking member 330 may be provided with a second insertion groove 332 into which the end of the coil spring is inserted, so as to prevent the deviation from the relative deviation.

상기 제2실린더(200)는, 길이방향으로 관통하여 상기 연결유로(P)의 일부를 형성하는 제2관통공(201)이 형성되며, 상기 제2탄성부재(320)가 끼워져 지지될 수 있도록 상기 제1실린더(100)를 향하는 쪽에서 상기 제2실린더(200)의 제2관통공(201) 중 상기 진공챔버(10) 쪽 부분보다 내경이 더 큰 제2확장부(210)가 형성될 수 있다.The second cylinder 200 has a second through hole 201 penetrating in the longitudinal direction to form a part of the connection flow path P, and the second elastic member 320 can be inserted and supported therein. A second extension part 210 having an inner diameter larger than that of the vacuum chamber 10 side of the second through hole 201 of the second cylinder 200 may be formed toward the first cylinder 100. have.

상기 차단부재(330)의 외경은, 상기 제2확장부(210)의 내경보다 크게 형성되고, 상기 제2실린더(200)는, 상기 차단부재(330)가 삽입되어 상기 제2실린더(200)의 길이?향으로 이동가능하도록 상기 차단부재(330)의 외경보다 같거나 큰 내경을 가지는 추가확장부(220)가 상기 제2확장부(210)로부터 상기 제2실린더(200)의 끝단까지 형성될 수 있다.The outer diameter of the blocking member 330 is formed to be larger than the inner diameter of the second expansion unit 210, the second cylinder 200, the blocking member 330 is inserted into the second cylinder 200 An additional extension part 220 having an inner diameter equal to or greater than an outer diameter of the blocking member 330 is formed from the second extension part 210 to the end of the second cylinder 200 so as to be movable in a length? Can be.

상기 제2탄성부재(320)는, 코일 스프링이며, 상기 차단부재(330)가 상기 연결유로(P)를 개방할 때 원활한 유체 흐름을 위하여 상기 제2확장부(210)는, 내주면에서 반경방향으로 오목하게 형성된 하나 이상의 유로형성홈(211)이 형성될 수 있다.The second elastic member 320 is a coil spring, the second expansion portion 210 in the radial direction on the inner circumferential surface for smooth fluid flow when the blocking member 330 opens the connection flow path (P) One or more flow path forming grooves 211 formed to be concave may be formed.

상기 유로형성홈(211)을 통한 진공펌프(20) 측으로의 가스흐름이 원활하도록 상기 제2확장부(210)는, 상기 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 상기 제1실린더(100) 쪽으로 상기 제2탄성부재(320)를 돌출시켜 지지하도록 상기 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 상기 제1실린더(100) 쪽으로 돌출지지부(212)가 추가로 돌출되어 형성될 수 있다.The second expansion part 210 is moved toward the first cylinder 100 from the end of the vacuum pump 20 side so that the gas flows toward the vacuum pump 20 through the flow path forming groove 211 smoothly. The protruding support 212 may further protrude from the end of the vacuum pump 20 side toward the first cylinder 100 so as to protrude and support the second elastic member 320.

본 발명에 따른 가스역류 방지장치는, 진공챔버 및 진공펌프 사이의 유로, 특히 진공펌프와 결합되고, 차단부재 및 차단부재를 중심으로 서로 대향되어 배치되는 제1탄성부재 및 제2탄성부재로 구성됨으로써 진공펌프 측의 압력이 진공챔버 측의 압력보다 같거나 크게 형성되는 경우 그 유로를 차단하여 오일이 진공챔버 측으로 역류하는 것을 차단함으로써 진공챔버의 오염을 막을 수 있는 이점이 있다.The gas backflow prevention device according to the present invention comprises a first elastic member and a second elastic member which are coupled to a flow path between a vacuum chamber and a vacuum pump, in particular, a vacuum pump, and are disposed to face each other with respect to the blocking member and the blocking member. As a result, when the pressure at the vacuum pump side is equal to or greater than the pressure at the vacuum chamber side, the flow path is blocked to prevent oil from flowing back to the vacuum chamber side, thereby preventing contamination of the vacuum chamber.

특히 종래에는 유로를 길게 형성하거나, 다공성 재질의 오일제거부재를 설치함으로써 진공펌프의 효율을 크게 저하시키는 문제점이 있으나, 본 발명에 따른 가스역류 방지장치는, 가스의 역류를 차단함에 있어서 진공펌프 및 진공챔버 사이의 압력을 활용함으로써 진공펌프의 효율을 크게 저하시키지 않고 가스의 역류를 효과적으로 차단할 수 있는 이점이 있다.In particular, in the related art, there is a problem of greatly reducing the efficiency of the vacuum pump by forming a long flow path or installing a porous oil removing member, but the gas backflow prevention device according to the present invention includes a vacuum pump and By utilizing the pressure between the vacuum chamber there is an advantage that can effectively block the back flow of the gas without significantly lowering the efficiency of the vacuum pump.

또한 두개의 탄성부재를 이용하므로 최초 설치시 그 설치방향에 따른 두 탄성부재의 힘의 균형을 고려하여 설치하는 경우 설치방향에 구애받지 않고 설치 가능한 이점이 있다.In addition, since the use of two elastic members when installing in consideration of the balance of the forces of the two elastic members according to the installation direction at the time of the first installation there is an advantage that can be installed regardless of the installation direction.

도 1은, 본 발명에 따른 가스 역류 방지장치를 보여주는 블록도이다.
도 2은, 도 1의 가스 역류 방지장치를 보여주는 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는, 도 1의 가스 역류 방지장치의 작동상태를 보여주는 단면도들로서, 도 3a는, 연결유로가 개방된 상태를 보여주는 단면도이고, 도 3b는, 연결유로가 차단된 상태를 보여주는 단면도다.
도 4은, 도 3a에 도시된 가스 역류 방지장치의 분해 단면도이다.
도 5은, 도 2의 가스 역류 방지장치를 보여주는 절개 사시도이다.
도 6는, 도 2의 가스 역류 방지장치 중 제2실린더 및 역류방지부의 구성 일부를 보여주는 절개 사시도이다.
도 7는, 도 6의 A부분을 확대한 확대도이다.
도 8은, 도 1의 가스 역류 방지장치 중 제2실린더 및 역류방지부의 구성 일부를 보여주는 평면도이다. 1 is a block diagram showing a gas backflow prevention apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view illustrating the gas backflow preventing device of FIG. 1.
3A and 3B are cross-sectional views showing an operating state of the gas backflow prevention apparatus of FIG. 1, FIG. 3A is a cross-sectional view showing a state in which the connection flow path is opened, and FIG. 3B is a cross-sectional view showing a state in which the connection flow path is blocked. All.
4 is an exploded cross-sectional view of the gas backflow prevention device shown in FIG. 3A.
FIG. 5 is a cutaway perspective view illustrating the gas backflow prevention device of FIG. 2. FIG.
FIG. 6 is a cutaway perspective view illustrating a part of a configuration of a second cylinder and a backflow prevention unit of the gas backflow prevention device of FIG. 2.
FIG. 7 is an enlarged view in which the portion A of FIG. 6 is enlarged.
FIG. 8 is a plan view illustrating a part of components of the second cylinder and the backflow prevention unit of the gas backflow prevention device of FIG. 1.

이하 본 발명에 따른 가스역류 방지장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a gas backflow prevention apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 가스역류 방지장치는, 도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 진공챔버(10) 측의 제1실린더(100)와; 제1실린더(100)와 결합되어 진공챔버(10) 및 진공펌프(20) 사이를 연결하는 연결유로(P)를 형성하는 진공펌프(20) 측의 제2실린더(200)와; 제1실린더(100) 및 제2실린더(200)에 설치되어 진공펌프(20)로부터 진공챔버(10)로의 역류를 방지하는 역류방지부(300)를 포함한다.Gas flow prevention device according to the present invention, as shown in Figures 1 to 8, the first cylinder 100 on the vacuum chamber 10 side; A second cylinder 200 on the side of the vacuum pump 20 that is coupled to the first cylinder 100 to form a connection flow path P connecting between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20; It is installed in the first cylinder 100 and the second cylinder 200 includes a backflow prevention part 300 for preventing a backflow from the vacuum pump 20 to the vacuum chamber 10.

여기서 본 발명에 따른 가스역류 방지장치는, 도 1에 도시된 바와같이, 제1실린더(100)가 상기 진공챔버(10) 측과 제1유로(11)를 통해 연결되며, 상기 제2실린더(200)가 상기 진공펌프(20) 측과 제2유로(21)를 통해 연결됨으로써, 진공챔버(10)로부터 진공펌프(20)로의 가스순류를 원활히 하고 가스역류를 방지하는 가스역류 방지장치(30)로서, 가스가 일방으로 흐르도록 고안된 장치이다.In the gas backflow prevention apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 1, the first cylinder 100 is connected to the vacuum chamber 10 side and the first passage 11, and the second cylinder ( 200 is connected to the vacuum pump 20 side and the second flow passage 21, thereby smoothing the gas flow from the vacuum chamber 10 to the vacuum pump 20 and prevents the gas backflow 30 ) Is a device designed to flow gas in one direction.

여기서 상기 가스역류방지장치는, 진공펌프(20)와 제2유로(21)에 의하여 연결되는 것으로 도시 및 설명하고 있으나, 진공펌프(20)와 직접 연결될 수 도 있음은 물론이다.Here, the gas backflow prevention device is illustrated and described as being connected by the vacuum pump 20 and the second flow passage 21, but may be directly connected to the vacuum pump 20.

상기 진공챔버(10)는, 공기나 그 밖의 가스가 흡출되어 진공상태가 되는 대상으로서, 진공펌프(20)로부터 배기되어 진공챔버(10)의 내부가 미리 설정된 압력으로 제어될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 다능하다.The vacuum chamber 10 is an object in which air or other gas is sucked out to be in a vacuum state, and is exhausted from the vacuum pump 20 so that the inside of the vacuum chamber 10 can be controlled to a predetermined pressure. The configuration is also versatile.

상기 제1실린더(100)는, 진공챔버(10) 측에서 후술하는 제2실린더(200) 및 역류방지부(300)와 함께 가스역류방지장치를 구성하며, 길이방향으로 관통하여 후술하는 연결유로(P)의 일부를 형성하는 제1관통공(101)이 형성되는 실린더 구조를 가지는 등 다양한 구성이 가능하다.The first cylinder 100, along with the second cylinder 200 and the backflow prevention portion 300 to be described later on the vacuum chamber 10 side constitutes a gas backflow prevention device, the connection flow path to be described later through the longitudinal direction Various configurations are possible, such as having a cylinder structure in which the 1st through-hole 101 which forms a part of (P) is formed.

상기 연결유로(P)는, 후술하는 제2실린더(200) 및 역류방지부(300)와 함께 진공챔버(10) 및 진공펌프(20) 사이를 연결하는 유로로서 전체적으로 실린더 구조를 이룰 수 있다.The connection flow path P may form a cylinder structure as a flow path connecting the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20 together with the second cylinder 200 and the backflow prevention part 300 to be described later.

그리고 상기 제1실린더(100)는, 일단에 제2실린더(200)와의 결합, 타단에 제1유로(11)를 형성하는 배관과의 결합을 위하여 반경방향으로 확장된 플랜지(130, 140)가 형성될 수 있다. The first cylinder 100 has flanges 130 and 140 extending in a radial direction for coupling with a second cylinder 200 at one end and a pipe forming the first flow path 11 at the other end. Can be formed.

상기 제2실린더(200)는, 진공펌프(20) 측에서 제1실린더(100) 및 역류방지부(300)와 함께 가스역류방지장치를 구성하며, 길이방향으로 관통하여 연결유로(P)의 일부를 형성하는 제2관통공(201)이 형성되는 실린더 구조를 가지는 등 다양한 구성이 가능하다.The second cylinder 200, along with the first cylinder 100 and the backflow prevention part 300 in the vacuum pump 20 side constitutes a gas backflow prevention device, penetrates in the longitudinal direction of the connection flow path (P) Various configurations are possible, such as having a cylinder structure in which a second through hole 201 forming a part is formed.

그리고 상기 제1실린더(200)는, 일단에 제1실린더(200)와의 결합, 타단에 제2유로(21)를 형성하는 배관 또는 진공펌프(20)와의 결합을 위하여 반경방향으로 확장된 플랜지(230, 240)가 형성될 수 있다. In addition, the first cylinder 200 may include a flange extended radially for coupling with a first cylinder 200 at one end and a pipe or vacuum pump 20 forming a second flow path 21 at the other end ( 230 and 240 may be formed.

한편 상기 제1실린더(100) 및 제2실린더(200)가 결합되는 부분인, 플렌지(140, 240)들은, 볼트 등의 결합을 위하여 하나 이상의 결합용 볼트 구멍(150)이 형성될 수 있다.Meanwhile, the flanges 140 and 240, which are portions in which the first cylinder 100 and the second cylinder 200 are coupled, may include one or more coupling bolt holes 150 for coupling bolts.

그리고 상기 제1실린더(100) 및 제2실린더(200)는, 금속, 세라믹 등 다양한 재질이 사용될 수 있으나 바람직하게는 금속 재질이 사용될 수 있다.The first cylinder 100 and the second cylinder 200 may be formed of various materials such as metal and ceramic, but preferably, a metal material may be used.

또한 상기 제1실린더(100) 및 제2실린더(200) 사이에는, 외부에 대한 연결유로(P)의 기밀성을 위하여 오-링 시일(121)이 설치됨이 바람직하다.In addition, between the first cylinder 100 and the second cylinder 200, it is preferable that the O-ring seal 121 is installed for the airtightness of the connection flow path (P) to the outside.

그리고 상기 제1실린더(100) 및 제2실린더(200) 중 적어도 어느 하나, 특히 제2실린더(200)에는, 오-링 시일(121)의 설치를 위한 하나 이상의 제1홈이(120) 형성될 수 있고, 제1홈(120)에 오-링 시일(121)을 끼워진 상태에서 제1실린더(100)와 제2실린더(200)가 결합됨으로써 외부와 격리된 상태로 결합될 수 있다.In addition, at least one of the first cylinder 100 and the second cylinder 200, in particular, the second cylinder 200, one or more first grooves 120 are formed to install the o-ring seal 121. The first cylinder 100 and the second cylinder 200 may be coupled in a state of being isolated from the outside in a state where the o-ring seal 121 is inserted into the first groove 120.

한편 상기 오-링 시일(121)은, 외부에 대한 연결유로(P)의 기밀성을 위하여 가스입자의 통과가 어려운 재질이며, 바람직하게는 테프론, 합성수지 등의 재질을 가질 수 있다.On the other hand, the o-ring seal 121 is a material that is difficult to pass the gas particles for airtightness of the connection flow path (P) to the outside, preferably may have a material such as Teflon, synthetic resin.

상기 제1홈(120)이 복수 개로 형성될 수 있으며, 이때 오-링 시일(121) 또한 제1홈(120)의 수에 대응하여 복수 개로 설치될 수 있다. The first groove 120 may be formed in plural, and in this case, the o-ring seal 121 may also be provided in plural in correspondence with the number of the first grooves 120.

상기 역류방지부(300)는, 제1실린더(100) 및 제2실린더(200)에 설치되어 진공펌프(20)로부터 진공챔버(10)로의 역류를 방지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The backflow prevention part 300 is installed in the first cylinder 100 and the second cylinder 200 to prevent a backflow from the vacuum pump 20 to the vacuum chamber 10 can be configured in various ways.

예로서, 상기 역류방지부(300)는, 연결유로(P) 상에 연결유로(P)를 따라 이동가능하게 설치되어 연결유로(P)의 가스의 흐름을 개방하거나 차단하는 차단부재(330)와; 제1실린더(100)에 설치되어 차단부재(330)에 제1탄성력을 가하는 제1탄성부재(310)와; 차단부재(330)를 기준으로 제1실린더(100)에 대향되도록 제2실린더(200)에 설치되어 차단부재(330)에 제2탄성력을 가하는 제2탄성부재(320)를 포함할 수 있다.For example, the backflow prevention part 300 is installed on the connection flow path P so as to be movable along the connection flow path P, and the blocking member 330 for opening or blocking the flow of gas in the connection flow path P. Wow; A first elastic member 310 installed in the first cylinder 100 to apply a first elastic force to the blocking member 330; The second elastic member 320 may be installed on the second cylinder 200 so as to face the first cylinder 100 based on the blocking member 330 to apply a second elastic force to the blocking member 330.

여기서 상기 역류방지부(300)는, 차단부재(330)가 진공챔버(10) 측의 압력이 진공펌프(20) 측의 압력보다 크거나 같은 경우 연결유로(P)의 개방상태를 유지하고, 진공챔버(10) 측의 압력이 진공펌프(20) 측의 압력보다 작을 때는 연결유로(P)를 차단하도록 구성될 수 있다.Here, the backflow prevention part 300, the blocking member 330 maintains the open state of the connection flow path (P) when the pressure on the vacuum chamber 10 side is greater than or equal to the pressure on the vacuum pump 20 side, When the pressure of the vacuum chamber 10 side is less than the pressure of the vacuum pump 20 side may be configured to block the connection flow path (P).

상기 차단부재(330)는, 연결유로(P) 상에 연결유로(P)를 따라 이동가능하게 설치되어 연결유로(P)의 가스의 흐름을 개방하거나 차단하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The blocking member 330 is installed so as to be movable along the connection flow path P on the connection flow path P, and may be configured in various ways as to open or block the flow of gas in the connection flow path P.

예로서, 상기 차단부재(330)는, 후술하는 제1탄성부재(310) 및 제2탄성부재(320) 사이의 탄성력 차이에 의하여 이동되며, 제1실린더(100) 및 제2실린더(200) 중 어느 하나에 접함으로써 연결유로(P)의 가스의 흐름을 개방하거나 차단하도록 구성될 수 있다.For example, the blocking member 330 is moved by the elastic force difference between the first elastic member 310 and the second elastic member 320 to be described later, the first cylinder 100 and the second cylinder 200 It may be configured to open or block the flow of the gas of the connection passage (P) by contacting any one of.

이를 위하여, 상기 차단부재(330)는, 제1실린더(100) 및 제2실린더(200) 중 어느 하나에 접하는 면에서 제1실린더(100) 및 제2실린더(200) 중 어느 하나와 밀착되는 구조를 가짐이 바람직하다.To this end, the blocking member 330 is in close contact with any one of the first cylinder 100 and the second cylinder 200 in contact with any one of the first cylinder 100 and the second cylinder 200. It is preferred to have a structure.

구체적인 예로서, 상기 차단부재(330)는, 판상의 플레이트, 특히 원형 플레이트로 구성될 수 있다.As a specific example, the blocking member 330 may be composed of a plate-shaped plate, in particular a circular plate.

한편 상기 차단부재(330)는, 제1실린더(100)에 밀착될 때 제1관통공(101)에 대한 차단효과를 높이기 위하여 실링부재(340)가 설치되며, 제1실린더(100)를 향하는 면에는, 실링부재(340)의 설치를 위하여 후술하는 제1확장부(110)의 내경보다 큰 직경의 제1삽입홈(331)이 형성됨이 바람직하다.Meanwhile, the blocking member 330 is provided with a sealing member 340 in order to increase the blocking effect on the first through hole 101 when the blocking member 330 is in close contact with the first cylinder 100, and faces the first cylinder 100. On the surface, it is preferable that the first insertion groove 331 having a diameter larger than the inner diameter of the first extension part 110 to be described later is formed for the installation of the sealing member 340.

여기서 상기 실링부재(340)는, 차단부재(330) 대신에 제1실린더(100) 쪽에 설치되는 경우 제1삽입홈(331)이 차단부재(330)에 형성되지 않고 제1실린더(100) 쪽에 형성될 수 있음은 물론이다.Here, when the sealing member 340 is installed in the first cylinder 100 instead of the blocking member 330, the first insertion groove 331 is not formed in the blocking member 330, but the first cylinder 100 is disposed on the side of the first cylinder 100. Of course it can be formed.

상기 제1탄성부재(310)는, 제1실린더(100)에 설치되어 차단부재(330)에 제1탄성력을 가하는 구성으로서 탄성체, 코일스프링, 판스프링 등 다양한 구성이 가능하다.The first elastic member 310 is installed in the first cylinder 100 to apply a first elastic force to the blocking member 330 can be configured in a variety of configurations, such as an elastic body, a coil spring, a leaf spring.

구체적으로, 상기 제1탄성부재(310)는, 일단이 제1실린더(100)에 지지되고 타단이 차단부재(330)를 가압하도록 설치됨으로써, 후술하는 제2탄성부재(320)와의 탄성력 차이 및 차단부재(300)를 기준으로 연결유로(P) 상의 압력차에 의하여 차단부재(300)를 제2실린더(200) 쪽으로 밀거나 제1실린더(100) 쪽으로 밀릴 때 그 변형에 따른 제1탄성력을 가할 수 있다.Specifically, the first elastic member 310, one end is supported to the first cylinder 100 and the other end is installed to press the blocking member 330, the difference in elastic force and the second elastic member 320 to be described later and When the blocking member 300 is pushed toward the second cylinder 200 or toward the first cylinder 100 by the pressure difference on the connection flow path P with respect to the blocking member 300, the first elastic force according to the deformation is applied. Can be added.

한편 상기 제1실린더(100)는, 제1탄성부재(310)가 끼워져 지지될 수 있도록 제2실린더(200)를 향하는 쪽에서 제1실린더(100)의 제1관통공(101) 중 진공챔버(10) 쪽 부분보다 내경이 더 큰 제1확장부(110)가 형성됨이 바람직하다.On the other hand, the first cylinder 100, the vacuum chamber (1) of the first through-hole 101 of the first cylinder 100 from the side toward the second cylinder 200 so that the first elastic member 310 can be inserted and supported It is preferable that the first extension part 110 having an inner diameter larger than that of the 10) side is formed.

상기 제1확장부(110)는, 제1탄성부재(310)가 끼워져 지지될 수 있도록 제2실린더(200)를 향하는 쪽에서 제1실린더(100)의 제1관통공(101) 중 진공챔버(10) 쪽 부분보다 내경이 더 크게 형성된 부분으로서, 제1탄성부재(310)가 끼워질 수 있는 크기이면 다양한 구성이 가능하다.The first expansion unit 110 is a vacuum chamber (1) of the first through hole 101 of the first cylinder 100 toward the second cylinder 200 so that the first elastic member 310 can be inserted and supported The inner diameter is larger than that of the 10) side, and the first elastic member 310 can be fitted in a variety of configurations.

여기서 상기 제1관통공(101)는, 제1확장부(110)가 시작되는 부분이 제1관통공(101)의 길이방향과 수직인 방향의 단부가 형성됨으로써, 제1탄성부재(310)의 일단을 지지할 수 있다.In this case, the first through hole 101 is formed by an end portion in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the first through hole 101 where the first extension part 110 starts, thereby forming the first elastic member 310. Can support one end of

한편 상기 제1탄성부재(310) 및 제2탄성부재(320) 중 적어도 하나, 특히 제1탄성부재(320)가 제1실린더(100) 및 제2실린더(200)를 연결하는 길이방향, 즉 제1탄성부재(310) 및 차단부재(330)가 이루는 중심축에 대하여 제1탄성부재(310)가 차단부재(330)에 대하여 상대적으로 벗어나는 것을 방지하도록, 차단부재(330)는, 코일스프링의 끝단이 삽입되는 제2삽입홈(332)이 형성될 수 있다.Meanwhile, at least one of the first elastic member 310 and the second elastic member 320, in particular, the first elastic member 320 connects the first cylinder 100 and the second cylinder 200, namely, The blocking member 330 is a coil spring so as to prevent the first elastic member 310 from deviating relative to the blocking member 330 relative to the central axis formed by the first elastic member 310 and the blocking member 330. A second insertion groove 332 into which the end of the insert is inserted may be formed.

즉, 상기 제1탄성부재(310)를 이루는 코일스프링의 끝단이 차단부재(330)에 형성된 제2삽입홈(332)에 끼워짐으로써 차단부재(330)와이 안정적 결합상태를 유지할 수 있다.That is, the end of the coil spring constituting the first elastic member 310 is fitted into the second insertion groove 332 formed in the blocking member 330 can maintain a stable coupling state with the blocking member 330.

상기 제2탄성부재(320)는, 차단부재(330)를 기준으로 제1실린더(100)에 대향되도록 제2실린더(200)에 설치되어 차단부재(330)에 제2탄성력을 가하는 구성으로서 탄성체, 코일스프링, 판스프링 등 다양한 구성이 가능하다.The second elastic member 320 is installed on the second cylinder 200 to face the first cylinder 100 based on the blocking member 330 to apply a second elastic force to the blocking member 330. , Coil spring, leaf spring, etc., various configurations are possible.

구체적으로, 상기 제2탄성부재(320)는, 일단이 제2실린더(200)에 지지되고 타단이 차단부재(330)를 가압하도록 설치됨으로써, 제1탄성부재(320)와의 탄성력 차이 및 차단부재(300)를 기준으로 연결유로(P) 상의 압력차에 의하여 차단부재(300)를 제1실린더(100) 쪽으로 밀거나 제2실린더(200) 쪽으로 밀릴 때 그 변형에 따른 제2탄성력을 가할 수 있다.Specifically, the second elastic member 320, one end is supported to the second cylinder 200 and the other end is installed to press the blocking member 330, the difference in elastic force and the blocking member with the first elastic member 320 When the blocking member 300 is pushed toward the first cylinder 100 or the second cylinder 200 by the pressure difference on the connection flow path P based on the 300, a second elastic force according to the deformation may be applied. have.

한편 상기 제2실린더(200)는, 제2탄성부재(320)가 끼워져 지지될 수 있도록 제1실린더(100) 측에 대향되는 단차를 형성하기 위하여, 제2실린더(200)의 제2관통공(201)이 반경방향으로 확장되어 형성되는 제2확장부(210)를 포함할 수 있다.On the other hand, the second cylinder 200, the second through-hole of the second cylinder 200 in order to form a step facing the side of the first cylinder 100 so that the second elastic member 320 can be inserted and supported 201 may include a second extension 210 formed to extend in a radial direction.

상기 제2확장부(210)는, 제2탄성부재(320)가 끼워져 지지될 수 있도록 제1실린더(100)를 향하는 쪽에서 제2실린더(100)의 제2관통공(201) 중 진공펌프(20) 쪽 부분보다 내경이 더 크게 형성된 부분으로서, 제2탄성부재(320)가 끼워질 수 있는 크기이면 다양한 구성이 가능하다.The second expansion part 210 is a vacuum pump (2) of the second through hole 201 of the second cylinder 100 from the side facing the first cylinder 100 so that the second elastic member 320 can be inserted and supported ( The inner diameter is larger than that of the 20) side, and the second elastic member 320 may be fitted in a variety of configurations.

여기서 상기 제2관통공(201)는, 제2확장부(210)가 시작되는 부분이 제2관통공(201)의 길이방향과 수직인 방향의 단부가 형성됨으로써, 제2탄성부재(310)의 일단을 지지할 수 있다.In this case, the second through hole 201 is formed by an end portion in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the second through hole 201 where the second extension part 210 starts, thereby forming a second elastic member 310. Can support one end of

한편 상기 제2확장부(210)의 형성과 관련하여, 차단부재(330)가 제2실린더(200) 쪽으로 과도하게 밀리는 것을 방지하기 위하여, 차단부재(330)의 외경은, 제2확장부(210)의 내경보다 크게 형성될 수 있다.Meanwhile, in order to prevent the blocking member 330 from being excessively pushed toward the second cylinder 200 in relation to the formation of the second extension part 210, the outer diameter of the blocking member 330 may be the second extension part ( It may be formed larger than the inner diameter of 210.

이때 상기 제2실린더(200)는, 차단부재(330)가 삽입되어 제2실린더(200)의 길이?향으로 이동가능하도록 차단부재(330)의 외경보다 같거나 큰 내경을 가지는 추가확장부(220)가 제2확장부(210)로부터 제2실린더(200)의 끝단까지 형성될 수 있다.In this case, the second cylinder 200 has an additional extension part having an inner diameter equal to or larger than an outer diameter of the blocking member 330 such that the blocking member 330 is inserted and movable in the length? Direction of the second cylinder 200. 220 may be formed from the second extension part 210 to the end of the second cylinder 200.

상기 추가확장부(220)는, 차단부재(330)가 삽입되어 제2실린더(200)의 길이?향으로 이동가능하도록 차단부재(330)의 외경보다 같거나 큰 내경으로 제2확장부(210)로부터 제2실린더(200)의 끝단까지 형성되는 부분이다.The additional extension part 220 may include a second extension part 210 having an inner diameter equal to or greater than an outer diameter of the blocking member 330 such that the blocking member 330 is inserted and movable in the length-direction of the second cylinder 200. ) Is a portion formed up to the end of the second cylinder (200).

상기 추가확장부(220)의 형성에 의하여 차단부재(330)의 이동을 안정적으로 가이드하면서 차단부재(330)가 제2실린더(200) 쪽으로 과도하게 밀리는 것을 방지할 수 있다.By forming the additional extension 220, the blocking member 330 may be prevented from being excessively pushed toward the second cylinder 200 while stably guiding the movement of the blocking member 330.

한편 도 3a에 도시된 바와 같이, 진공펌프(20)의 진공압에 의하여 진공챔버(10) 측과의 압력차에 의하여 차단부재(330)가 진공펌프(20) 측으로 밀릴 때 일단이 제2실린더(200)에 지지되며 타단이 차단부재(330)에 밀착되는 제2탄성부재(320) 또한 수축하게 되면서 진공챔버(10)로부터 진공펌프(20)로의 유체의 흐름을 방해할 수 있는 문제점이 있다.On the other hand, as shown in Figure 3a, when the blocking member 330 is pushed toward the vacuum pump 20 side by the pressure difference with the vacuum chamber 10 side by the vacuum pressure of the vacuum pump 20 one end of the second cylinder The second elastic member 320, which is supported by the 200 and the other end is in close contact with the blocking member 330, also contracts, which may hinder the flow of fluid from the vacuum chamber 10 to the vacuum pump 20. .

이에, 상기 제2탄성부재(320)는, 코일 스프링이고, 차단부재(330)가 연결유로(P)를 개방할 때, 원활한 유체 흐름을 위하여, 제2확장부(210)는, 내주면에서 반경방향으로 오목하게 형성된 하나 이상의 유로형성홈(211)이 형성됨이 바람직하다.Accordingly, the second elastic member 320 is a coil spring, and when the blocking member 330 opens the connection flow path P, the second extension part 210 has a radius at an inner circumferential surface for smooth fluid flow. At least one flow path forming groove 211 formed concave in the direction is preferably formed.

상기 제2확장부(210)는, 제2실린더(200)의 제2확장부(210)에서 내주면에서 반경방향으로 오목하게 형성됨으로써 제2탄성부재(320)가 코일 스프링이고, 차단부재(330)가 연결유로(P)를 개방할 때, 원활한 유체 흐름을 유도할 수 있게 된다.The second extension part 210 is formed in the second extension part 210 of the second cylinder 200 in a radially concave direction from the inner circumferential surface, so that the second elastic member 320 is a coil spring and the blocking member 330. When () opens the connection flow path (P), it is possible to induce a smooth fluid flow.

더 나아가, 상기 유로형성홈(211)을 통한 진공펌프(20) 측으로의 가스흐름이 원활하도록 제2확장부(210)는, 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 제1실린더(100) 쪽으로 제2탄성부재(320)를 돌출시켜 지지하도록 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 제1실린더(100) 쪽으로 돌출지지부(212)가 추가로 돌출되어 형성됨이 바람직하다.Furthermore, the second expansion part 210 may be formed from the end of the vacuum pump 20 side toward the first cylinder 100 so that the gas flows toward the vacuum pump 20 through the flow path forming groove 211 smoothly. It is preferable that the protruding support portion 212 further protrudes from the end of the vacuum pump 20 side toward the first cylinder 100 so as to protrude and support the elastic member 320.

상기 돌출지지부(212)는, 제2확장부(210)에서 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 제1실린더(100) 쪽으로 제2탄성부재(320)를 돌출시켜 지지하도록 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 제1실린더(100) 쪽으로 돌출되어 형성됨으로써, 제2실린더(200)에 지지되며 타단이 차단부재(330)에 밀착되는 제2탄성부재(320) 또한 수축하게 되면서 진공챔버(10)로부터 진공펌프(20)로의 유체의 흐름을 방해하는 것을 방지할 수 있다.
이 경우, 상기 돌출지지부(212)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 차단부재(330)가 연결유로(P)를 개방할 때 제2관통공(201)을 통한 원활한 유체 흐름을 위하여, 제2확장부(210)의 둘레를 따라서 일정간격으로 복수개 형성될 수 있으며, 이를 통해 차단부재(330)가 연결유로(P)를 개방할 때 제2탄성부재(320)의 압축에도 유체의 흐름을 제2확장부(210)의 둘레에 대하여 균일하게 유지할 수 있다. The protruding support part 212 is configured to protrude and support the second elastic member 320 toward the first cylinder 100 from the end of the vacuum pump 20 side in the second extension part 210. Protruding toward the first cylinder 100 from the end of the, the second elastic member 320 which is supported by the second cylinder 200 and the other end is in close contact with the blocking member 330 is also contracted while the vacuum chamber 10 It can be prevented from disturbing the flow of the fluid from the vacuum pump 20 to the vacuum pump 20.
In this case, as shown in FIG. 8, the protruding support 212 may be configured to smoothly flow through the second through hole 201 when the blocking member 330 opens the connection flow path P. The plurality of expansion portions 210 may be formed at a predetermined interval along the circumference, and through this, when the blocking member 330 opens the connection flow path P, the flow of the fluid may be compressed even when the second elastic member 320 is compressed. It can be maintained uniformly with respect to the circumference of the second expansion portion (210).

한편 상기 제1탄성력 및 제2탄성력은, 차단부재(300)의 전방 및 후방에서의 압력차에 더하여 제1탄성력 및 제2탄성력 차에 의하여 차단부재(330)의 이동을 위하여 차단부재(330)에 가해지는 힘으로써 제1탄성부재(310) 및 제2탄성부재(320)의 물성 및 차단부재(330)의 이동조건에 의하여 결정된다.On the other hand, the first elastic force and the second elastic force, in addition to the pressure difference in the front and rear of the blocking member 300, the blocking member 330 for the movement of the blocking member 330 by the first elastic force and the second elastic force difference. The force applied to the first elastic member 310 and the second elastic member 320 is determined by the physical properties of the blocking member 330 and the movement conditions.

예로서, 도 3a에 도시된 와 같이, 상기 차단부재(330)가 진공챔버(10) 측의 압력이 진공펌프(20) 측의 압력보다 크거나 같은 경우 연결유로(P)의 개방상태를 유지하고, 도 3b에 도시된 바와 같이, 진공챔버(10) 측의 압력이 진공펌프(20) 측의 압력보다 작을 때는 연결유로(P)를 차단하도록, 차단부재(330)가 연결유로(P)를 차단한 상태에서 제1탄성력은, 제2탄성력보다 작게 설정될 수 있다.For example, as shown in FIG. 3A, when the blocking member 330 has the pressure at the side of the vacuum chamber 10 is greater than or equal to the pressure at the side of the vacuum pump 20, the connection channel P is kept open. And, as shown in Figure 3b, when the pressure on the vacuum chamber 10 side is less than the pressure on the vacuum pump 20 side, the blocking member 330 to block the connection flow path (P), the connection flow path (P) The first elastic force may be set smaller than the second elastic force in a state in which?

한편 본 발명의 실시예에서는, 차단부재(330)가 제1실린더(100)에 밀착되어 유체의 흐름을 차단하는 것으로 설명하였으나, 본 발명에 따른 가스역류 방지장치는, 탄성력의 변화와 함께 그 형상 및 구조가 대칭되어 구성될 수도 있음은 물론이다.Meanwhile, in the embodiment of the present invention, the blocking member 330 is in close contact with the first cylinder 100 to block the flow of the fluid, but the gas backflow prevention device according to the present invention has a shape with a change in elastic force. Of course, the structure may be configured to be symmetrical.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.Since the above has been described only with respect to some of the preferred embodiments that can be implemented by the present invention, the scope of the present invention, as is well known, should not be construed as limited to the above embodiments, the present invention described above It will be said that both the technical idea and the technical idea which together with the base are included in the scope of the present invention.

10: 진공챔버 20: 진공펌프
100: 제1실린더 200: 제2실린더
300: 역류방지부 330: 차단부재10: vacuum chamber 20: vacuum pump
100: first cylinder 200: second cylinder
300: backflow prevention unit 330: blocking member

Claims (10)

진공챔버(10) 및 진공펌프(20) 사이의 유로에 설치되어 상기 진공펌프(20)로부터 상기 진공챔버(10)로의 가스역류를 방지하는 가스역류 방지장치로서,
상기 진공챔버(10) 측의 제1실린더(100)와;
상기 제1실린더(100)와 결합되어 상기 진공챔버(10) 및 상기 진공펌프(20) 사이를 연결하는 연결유로(P)를 형성하는 상기 진공펌프(20) 측의 제2실린더(200)와;
상기 제1실린더(100) 및 상기 제2실린더(200) 사이에 설치되어 상기 진공펌프(20)로부터 상기 진공챔버(10)로의 역류를 방지하는 역류방지부(300)를 포함하며,
상기 역류방지부(300)는,
상기 연결유로(P) 상에 상기 연결유로(P)를 따라 이동가능하게 설치되어 상기 연결유로(P)의 가스의 흐름을 개방하거나 차단하는 차단부재(330)와;
상기 제1실린더(100)에 설치되어 상기 차단부재(330)에 제1탄성력을 가하는 제1탄성부재(310)와;
상기 차단부재(330)를 기준으로 상기 제1실린더(100)에 대향되도록 상기 제2실린더(200)에 설치되어 상기 차단부재(330)에 제2탄성력을 가하는 제2탄성부재(320)를 포함하며,
상기 역류방지부(300)는, 상기 차단부재(330)가 상기 진공챔버(10) 측의 압력이 상기 진공펌프(20) 측의 압력보다 크거나 같은 경우 상기 연결유로(P)의 개방상태를 유지하고, 상기 진공챔버(10) 측의 압력이 상기 진공펌프(20) 측의 압력보다 작을 때는 상기 연결유로(P)를 차단하며,
상기 제2실린더(200)는,
길이방향으로 관통하여 상기 연결유로(P)의 일부를 형성하는 제2관통공(201)이 형성되며,
상기 제2탄성부재(320)가 끼워져 지지될 수 있도록 상기 제1실린더(100) 측에 대향되는 단차를 형성하기 위하여, 상기 제2실린더(200)의 상기 제2관통공(201)이 반경방향으로 확장되어 형성되는 제2확장부(210)를 포함하며,
상기 제2탄성부재(320)는, 코일 스프링이며,
상기 차단부재(330)가 상기 연결유로(P)를 개방할 때 원활한 유체 흐름을 위하여 상기 제2확장부(210)는, 내주면에서 반경방향으로 오목하게 형성된 하나 이상의 유로형성홈(211)이 형성되며,
상기 유로형성홈(211)을 통한 진공펌프(20) 측으로의 가스흐름이 원활하도록 상기 제2확장부(210)는, 상기 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 상기 제1실린더(100) 쪽으로 상기 제2탄성부재(320)를 돌출시켜 지지하도록 상기 진공펌프(20) 측의 끝단으로부터 상기 제1실린더(100) 쪽으로 돌출지지부(212)가 추가로 돌출되어 형성되며,
상기 돌출지지부(212)는, 상기 차단부재(330)가 상기 연결유로(P)를 개방할 때 상기 제2관통공(201)을 통한 원활한 유체 흐름을 위하여, 상기 제2확장부(210)의 둘레를 따라서 일정간격으로 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 가스역류 방지장치.A gas backflow prevention device installed in a flow path between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20 to prevent a gas backflow from the vacuum pump 20 to the vacuum chamber 10,
A first cylinder (100) on the side of the vacuum chamber (10);
The second cylinder 200 on the side of the vacuum pump 20 is coupled to the first cylinder 100 to form a connection flow path (P) connecting between the vacuum chamber 10 and the vacuum pump 20 ;
It is installed between the first cylinder 100 and the second cylinder 200 includes a backflow prevention part 300 for preventing a back flow from the vacuum pump 20 to the vacuum chamber 10,
The backflow prevention part 300,
A blocking member (330) installed on the connection channel (P) to be movable along the connection channel (P) to open or block the flow of gas in the connection channel (P);
A first elastic member 310 installed in the first cylinder 100 to apply a first elastic force to the blocking member 330;
A second elastic member 320 installed on the second cylinder 200 so as to face the first cylinder 100 based on the blocking member 330 to apply a second elastic force to the blocking member 330. ,
The backflow prevention part 300, the blocking member 330 when the pressure of the vacuum chamber 10 side is greater than or equal to the pressure of the vacuum pump 20 side to the open state of the connection flow path (P) When the pressure on the vacuum chamber 10 side is less than the pressure on the vacuum pump 20 side, the connection flow path (P) is blocked,
The second cylinder 200,
A second through hole 201 penetrating in the longitudinal direction to form a part of the connection flow path P is formed.
In order to form a step facing the side of the first cylinder 100 so that the second elastic member 320 can be fitted and supported, the second through hole 201 of the second cylinder 200 is radially It includes a second expansion portion 210 is formed to be extended to,
The second elastic member 320 is a coil spring,
When the blocking member 330 opens the connection flow path P, the second expansion part 210 has one or more flow path forming grooves 211 formed in a radially concave direction on an inner circumferential surface thereof so as to smoothly flow the fluid. ,
The second expansion part 210 is moved toward the first cylinder 100 from the end of the vacuum pump 20 side so that the gas flows toward the vacuum pump 20 through the flow path forming groove 211 smoothly. Protruding support 212 is further protruded toward the first cylinder 100 from the end of the vacuum pump 20 side to protrude and support the second elastic member 320,
The protruding support portion 212 may be configured to provide a smooth flow of fluid through the second through hole 201 when the blocking member 330 opens the connection flow path P. Gas backflow prevention device, characterized in that formed in a plurality at regular intervals along the circumference. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 차단부재(330)가 상기 연결유로(P)를 차단한 상태에서 상기 제1탄성력은, 상기 제2탄성력보다 작은 것을 특징으로 하는 가스 역류 방지장치. The method according to claim 1,
And the first elastic force is smaller than the second elastic force in a state in which the blocking member (330) blocks the connection flow path (P). 청구항 1에 있어서,
상기 제1실린더(100)는, 길이방향으로 관통하여 상기 연결유로(P)의 일부를 형성하는 제1관통공(101)이 형성되며,
상기 제1탄성부재(310)가 끼워져 지지될 수 있도록 상기 제2실린더(200)를 향하는 쪽에서 상기 제1실린더(100)의 제1관통공(101) 중 상기 진공챔버(10) 쪽 부분보다 내경이 더 큰 제1확장부(110)가 형성된 것을 특징으로 하는 가스 역류 방지장치. The method according to claim 1,
The first cylinder 100 is formed with a first through hole 101 penetrating in the longitudinal direction to form a part of the connection flow path P,
Inner diameter of the first through-hole 101 of the first cylinder 100 from the side of the vacuum chamber 10 toward the second cylinder 200 so that the first elastic member 310 can be inserted and supported Gas backflow prevention device, characterized in that the larger first expansion portion (110) is formed. 청구항 4에 있어서,
상기 차단부재(330)는,
상기 제1실린더(100)에 밀착될 때 상기 제1관통공(101)에 대한 차단효과를 높이기 위하여 실링부재(340)가 설치되며,
상기 제1실린더(100)를 향하는 면에는, 상기 실링부재(340)의 설치를 위하여 상기 제1확장부(110)의 내경보다 큰 직경의 제1삽입홈(331)이 형성된 것을 특징으로 하는 가스역류 방지장치.The method according to claim 4,
The blocking member 330,
Sealing member 340 is installed to increase the blocking effect for the first through hole 101 when in close contact with the first cylinder 100,
On the surface facing the first cylinder 100, the first insertion groove 331 having a diameter larger than the inner diameter of the first expansion portion 110 for the installation of the sealing member 340 is characterized in that the gas Backflow prevention device. 청구항 4에 있어서,
상기 제1탄성부재(310)는, 코일스프링이며,
상기 제1탄성부재(310) 및 상기 차단부재(330)가 이루는 중심축에 대하여 상기 제1탄성부재(310)가 상기 차단부재(330)에 대하여 상대적으로 벗어나는 것을 방지하도록, 상기 차단부재(330)는, 상기 코일스프링의 끝단이 삽입되는 제2삽입홈(332)이 형성된 것을 특징으로 하는 가스 역류 방지장치.The method according to claim 4,
The first elastic member 310 is a coil spring,
The blocking member 330 to prevent the first elastic member 310 is relatively out of the blocking member 330 relative to the central axis formed by the first elastic member 310 and the blocking member 330. ), The gas backflow prevention device, characterized in that the second insertion groove (332) is formed is inserted into the end of the coil spring. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 차단부재(330)의 외경은, 상기 제2확장부(210)의 내경보다 크게 형성되고,
상기 제2실린더(200)는, 상기 차단부재(330)가 삽입되어 상기 제2실린더(200)의 길이?향으로 이동가능하도록 상기 차단부재(330)의 외경보다 같거나 큰 내경을 가지는 추가확장부(220)가 상기 제2확장부(210)로부터 상기 제2실린더(200)의 끝단까지 형성된 것을 특징으로 하는 가스 역류 방지장치.The method according to claim 1,
The outer diameter of the blocking member 330 is formed larger than the inner diameter of the second expansion portion 210,
The second cylinder 200 has an additional extension having an inner diameter equal to or larger than an outer diameter of the blocking member 330 such that the blocking member 330 is inserted and movable in the length-direction of the second cylinder 200. Gas flow backflow prevention device, characterized in that the portion 220 is formed from the second expansion portion 210 to the end of the second cylinder (200). 삭제delete 삭제delete
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