KR102043412B1 - Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 배치된 광색성층; 상기 광색성층 상에 배치된 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인; 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인 중 어느 하나의 일단에 연결되는 패드부; 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 배치되고, 상기 제 1 전극과 접하는 영역에서 발광하는 유기발광층; 및 상기 유기발광층 상에 배치된 제 2 전극을 포함한다.An organic light emitting display device according to an aspect of the present invention includes a flexible substrate; A photochromic layer disposed on the flexible substrate; A thin film transistor, a gate line and a data line disposed on the photochromic layer; A pad unit connected to one end of one of the gate line and the data line; A first electrode disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor; An organic light emitting layer disposed on the first electrode and emitting light in a region in contact with the first electrode; And a second electrode disposed on the organic light emitting layer.

Description

유기전계발광표시장치 및 그 제조방법{Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same}Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same

본 발명은 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 플렉서블(flexible) 기판 기반의 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting display device based on a flexible substrate and a method of manufacturing the same.

최근들어 보다 뛰어난 색재현성, 보다 얇은 두께, 보다 낮은 소비전력, 보다 넓은 시야각, 보다 빠른 응답속도 등의 특성을 자랑하는 유기전계발광표시장치가 차세대 표시 장치로 각광을 받고 있다. 더욱이, 미래형 표시장치 중의 하나인 플렉서블(flexible) 표시장치의 구현에 유기전계발광표시장치가 기존의 액정표시장치보다 더 유리하여 다양한 연구가 진행되고 있다.In recent years, organic light emitting display devices, which have superior color reproducibility, thinner thickness, lower power consumption, wider viewing angle, and faster response speed, have been spotlighted as next generation display devices. In addition, various studies have been conducted since the organic light emitting display device is more advantageous than the conventional liquid crystal display device in implementing a flexible display device, which is one of future display devices.

플렉서블(flexible) 유기전계발광표시장치의 경우, 제조 공정 시, 베이스 기판 상에 플렉서블(flexible) 기판이 형성된 후, 각종 소자 및 금속 배선이 형성되는 것이 일반적이다. 표시장치의 구성 요소를 모두 형성한 후, 마지막으로 베이스 기판을 플렉서블 기판으로부터 분리시킨 후 공정을 완성하게 되는데, 이때, 레이저 릴리즈(laser release)라는 공정이 쓰인다.In the case of a flexible organic light emitting display device, in the manufacturing process, after a flexible substrate is formed on a base substrate, various elements and metal wirings are generally formed. After forming all the components of the display device, the base substrate is finally separated from the flexible substrate to complete the process, wherein a process called laser release is used.

레이저 릴리즈(laser release)란 특정 파장의 광원을 베이스 기판으로 조사한 후 베이스 기판과 플렉서블 기판 사이에 형성된 희생층으로부터 가스(gas)가 분출되면서 베이스 기판과 플렉서블 기판을 분리하는 공정이다.The laser release is a process of separating a base substrate and a flexible substrate by emitting a gas from a sacrificial layer formed between the base substrate and the flexible substrate after irradiating a light source having a specific wavelength to the base substrate.

도 1은 일반적인 유기전계발광표시장치의 레이저 릴리즈 공정을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a laser release process of a general organic light emitting display device.

도 1에 도시된 바와 같이, 레이저 릴리즈(laser release) 공정에 의해, 베이스 기판(101) 및 희생층(102)이 플렉서블 기판(110)으로부터 분리되고 있다. 레이저 릴리즈(laser release) 공정 이전에, 순차적으로 적층된 베이스 기판(101), 희생층(102) 및 플렉서블 기판(110) 상에 박막 트랜지스터(120), 게이트 라인(131), 데이터 라인(132) 및 패드부(140)가 형성되고, 패드부(140)를 제외한 영역을 덮도록 절연층(130)이 형성된다. 절연층(130)은 유기 평탄화막일 수 있다. 그 후, 제 1 전극(150), 유기발광층(160) 및 제 2 전극(170)이 순차적으로 형성된다.As shown in FIG. 1, the base substrate 101 and the sacrificial layer 102 are separated from the flexible substrate 110 by a laser release process. Before the laser release process, the thin film transistor 120, the gate line 131, and the data line 132 are sequentially stacked on the base substrate 101, the sacrificial layer 102, and the flexible substrate 110. And the pad part 140 is formed, and the insulating layer 130 is formed to cover an area except the pad part 140. The insulating layer 130 may be an organic planarization layer. Thereafter, the first electrode 150, the organic light emitting layer 160, and the second electrode 170 are sequentially formed.

플렉서블 기판(110)은 그 유연한 특성 때문에, 플렉서블 기판(110) 상에 직접 상기 구성 요소를 형성하는 경우, 공정 신뢰도가 저하된다. 따라서, 상기와 같이 베이스 기판(101)이 필요하게 된다.Because of the flexible characteristics of the flexible substrate 110, process reliability is lowered when the component is directly formed on the flexible substrate 110. Therefore, the base substrate 101 is required as described above.

유기전계발광표시장치의 상기 구성 요소를 모두 형성한 후, 베이스 기판(101)을 플렉서블 기판(110)으로부터 분리시키는 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 일반적으로 자외선(Ultra Violet: UV) 파장대의 광원이 쓰인다.After forming all the above components of the organic light emitting display device, in a laser release process in which the base substrate 101 is separated from the flexible substrate 110, a light source of an ultraviolet (Ultra Violet) wavelength band is generally used. This is used.

약 355nm 이하의 파장을 갖는 광원을 사용하는 경우, 베이스 기판(101)과 플렉서블 기판(110)의 분리는 수월하게 이루어지며, 희생층이 없는 경우에도 플렉서블 기판(110)의 분리가 가능하다. 또한, 플렉서블 기판(110) 상에 형성된 구성 요소 중, 박막 트랜지스터, 특히 산화물 박막 트랜지스터를 포함하여 금속으로 형성된 구조가 상기 광원에 의해 손상을 받지 않는 이점이 있다.When a light source having a wavelength of about 355 nm or less is used, separation of the base substrate 101 and the flexible substrate 110 can be easily performed, and the flexible substrate 110 can be separated even without a sacrificial layer. In addition, among the components formed on the flexible substrate 110, a structure formed of a metal including a thin film transistor, particularly an oxide thin film transistor, is advantageous in that it is not damaged by the light source.

그러나, 355nm 이하의 파장을 갖는 광원을 사용하는 장비가 매우 비싸며, 저출력이기 때문에 양산에 불리하다.However, equipment using a light source having a wavelength of 355 nm or less is very expensive and disadvantageous in mass production because of its low power.

따라서, 양산을 위해서는 장비의 가격이 저렴하며, 고출력이기 때문에 양산에 유리한 약 532nm 의 파장을 갖는 광원을 사용할 수 있다. 그러나, 532nm 의 파장을 갖는 광원을 사용하는 경우, 레이저 릴리즈(laser release) 시, 반드시 희생층이 필요하며, 박막 트랜지스터 및 금속으로 형성된 구조의 손상을 유발할 수 있다.Therefore, for mass production, the cost of the equipment is low, and because of the high output, it is possible to use a light source having a wavelength of about 532 nm, which is advantageous for mass production. However, in the case of using a light source having a wavelength of 532 nm, a sacrificial layer is necessary at the time of laser release, which may cause damage to the thin film transistor and the structure formed of the metal.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레이저 릴리즈(laser release) 공정 중, 레이저에 의한 손상을 줄일 수 있는 유기전계발광표시장치를 제공하는 것을 그 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an organic light emitting display device which can reduce damage caused by a laser during a laser release process.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치는 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 배치된 광색성층; 상기 광색성층 상에 배치된 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인; 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인 중 어느 하나의 일단에 연결되는 패드부; 상기 박막 트랜지스터 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 배치되고, 상기 제 1 전극과 접하는 영역에서 발광하는 유기발광층; 및 상기 유기발광층 상에 배치된 제 2 전극을 포함한다.An organic light emitting display device according to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem is a flexible substrate; A photochromic layer disposed on the flexible substrate; A thin film transistor, a gate line and a data line disposed on the photochromic layer; A pad unit connected to one end of one of the gate line and the data line; A first electrode disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor; An organic light emitting layer disposed on the first electrode and emitting light in a region in contact with the first electrode; And a second electrode disposed on the organic light emitting layer.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 베이스 기판 상에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판 상에 광색성층을 형성하는 단계; 상기 광색성층 상에 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하는 단계; 상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인 중 어느 하나와 연결되는 패드부를 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상에 유기발광층을 형성하는 단계; 상기 유기발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계; 상기 광색성층에 제 1 파장을 갖는 제 1 광원을 조사하여 상기 광색성층을 변색시키는 단계; 및 상기 베이스 기판에 제 2 파장을 갖는 제 2 광원을 조사하여 상기 베이스 기판을 상기 플렉서블 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, including forming a sacrificial layer on a base substrate; Forming a flexible substrate on the sacrificial layer; Forming a photochromic layer on the flexible substrate; Forming a thin film transistor, a gate line and a data line on the photochromic layer; Forming a pad part connected to any one of the gate line and the data line; Forming a first electrode on the thin film transistor; Forming an organic light emitting layer on the first electrode; Forming a second electrode on the organic light emitting layer; Irradiating the photochromic layer with a first light source having a first wavelength to discolor the photochromic layer; And irradiating the base substrate with a second light source having a second wavelength to separate the base substrate from the flexible substrate.

본 발명에 따르면, 베이스 기판 상에 광색성층을 형성하여, 베이스 기판을 분리하는 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 광원에 의해 박막 트랜지스터, 게이트 라인, 데이터 라인 및 패드부를 포함하는 금속 배선 및 전도성 물질층이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, a metal wiring and a conductive material including a thin film transistor, a gate line, a data line, and a pad part by a light source in a laser release process of forming a photochromic layer on a base substrate to separate the base substrate. There is an effect that can prevent the layer from being damaged.

또한, 본 발명에 따르면, 투명 유기전계발광표시장치에 광색성층을 적용하는 경우, 디스플레이 구동 시 대조비를 증가시킴으로써 시인성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, when the photochromic layer is applied to the transparent organic light emitting display device, the visibility may be improved by increasing the contrast ratio when driving the display.

또한, 본 발명에 따르면, 금속 배선 및 전도성 물질층의 손상을 방지하여 유기전계발광표시장치의 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to prevent damage to the metal wiring and the conductive material layer, thereby improving driving reliability of the organic light emitting display device.

도 1은 일반적인 유기전계발광표시장치의 레이저 릴리즈 공정을 도시한 단면도;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도;
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도; 및
도 5a ~ 5d 는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 도시한 단면도.
1 is a cross-sectional view showing a laser release process of a conventional organic light emitting display device;
2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention; And
5A through 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부되는 도면들을 참고하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는, 플렉서블 기판(210), 광색성층(220), 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232), 절연층(240), 패드부(250), 제 1 전극(260), 유기발광층(270) 및 제 2 전극(280)을 포함한다.As shown in FIG. 2, the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present invention includes a flexible substrate 210, a photochromic layer 220, a thin film transistor 230, a gate line 231, and a data line ( 232, an insulating layer 240, a pad part 250, a first electrode 260, an organic light emitting layer 270, and a second electrode 280.

플렉서블 기판(210) 전면 혹은 일부를 제외한 전면에 광색성층(220)이 배치된다. 광색성층(220)은 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 유기전계발광표시장치 내부로 레이저의 입사를 차단하여, 광색성층(220) 상에 배치되는 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250)를 포함하는 금속 배선 또는 전도성 물질층 등의 손상을 방지한다.The photochromic layer 220 is disposed on the entire surface of the flexible substrate 210 except for the entire surface. The photochromic layer 220 blocks the incidence of the laser into the organic light emitting display during the laser release process, and thus the thin film transistor 230, the gate line 231, and the photochromic layer 220 disposed on the photochromic layer 220. Damage to the metal line or the conductive material layer including the data line 232 and the pad unit 250 is prevented.

광색성층(220)은 광흡수량에 따라 가변적으로 변색되는 물질을 포함하며, 이러한 물질은 광 반응에 의해 무색에서 유색으로 유색에서 무색으로 변하는 화합물을 모두 포함한다. 광색성은 포토크로믹(photochromic) 또는 포토크로미즘(photochromism)이라고도 한다.The photochromic layer 220 includes a material that is variably changed according to the amount of light absorption, and the material includes all of the compounds that change from color to color by color reaction. Photochromic is also called photochromic or photochromism.

광색성 물질은 용액 또는 고체상태에서 특정 파장의 광을 조사하면, 화학 구조가 변화하여 이에 따라 흡수 스펙트럼도 변화하며, 다른 파장의 광을 조사하거나, 어두우면 처음 상태로 되돌아가는 특성을 지니고 있다.Photochromic material is characterized by the change of chemical structure when irradiated with light of a specific wavelength in the solution or solid state, the absorption spectrum accordingly, irradiated with light of different wavelengths, or return to the initial state when dark.

광색성 물질의 구체적인 예를 들면, 무기화합물로서는 염화은(AgCl), 브롬화은(AgBr), 요오드화은(AgI) 등을 포함하는 할로겐화은이 대표적이며, 유기 화합물로는 아조벤젠(azobenzen)계 화합물, 디아릴에텐(diarylethene)계 화합물, 스피로나프톡사진(spironaphthoxazine)계 화합물, 디오인디고(thioindigo)계 화합물, 트리페닐메탄(triphenylmethane)계 화합물, 퓨릴풀자이드(furylfulgide) 유도체 및 스피로 피란(spiropyrane)계 화합물 등이 있다.Specific examples of photochromic materials include silver halides including silver chloride (AgCl), silver bromide (AgBr), silver iodide (AgI), and the like, and organic compounds include azobenzen compounds and diarylethenes. (diarylethene) compounds, spironaphthoxazine compounds, thioindigo compounds, triphenylmethane compounds, furylfulgide derivatives and spiropyrane compounds have.

예를 들어, 광색성층(220)은 스피로 피란(spiropyrane)계 화합물, 아조벤젠(azobenzen)계 화합물 및 디아릴에텐(diarylethene)계 화합물을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 스피로 피란(spiropyrane)계 화합물은 350nm의 파장의 광원을 흡수하면 적색으로 변색하고, 상기 아조벤젠(azobenzen)계 화합물은 340nm의 파장의 광원을 흡수하면 녹색으로 변색하고, 상기 디아릴에텐(diarylethene)계 화합물은 310nm의 파장의 광원을 흡수하면 청색으로 변색한다. 또한, 상기 세 화합물들은 상기 광원이 제거되거나, 390nm의 파장의 광원을 흡수하면 투명해진다.For example, the photochromic layer 220 may include a spiropyrane-based compound, an azobenzen-based compound, and a diarylethene-based compound. Herein, the spiropyrane compound discolors red when absorbing a light source having a wavelength of 350 nm, and the azobenzen compound discolors green when absorbing a light source having a wavelength of 340 nm, and the diarylethene. A diarylethene compound discolors blue when it absorbs a light source having a wavelength of 310 nm. In addition, the three compounds become transparent when the light source is removed or absorbs a light source having a wavelength of 390 nm.

따라서, 310nm, 340nm, 350nm의 파장을 갖는 광을 조사하게 되면 스피로 피란(spiropyrane)계 화합물이 적색으로 변색되고, 상기 아조벤젠(azobenzen)계 화합물은 녹색으로 변색되며, 상기 디아릴에텐(diarylethene)계 화합물이 청색으로 변색되어, 광색성층(220) 전체적으로 검정색으로 변색되어 광을 투과하지 않게 된다. 이후, 상기 광원을 제거한 후 일정 시간이 지나거나, 또는 390nm의 파장을 갖는 광을 조사하면 광색성층(220)이 다시 투명해진다.Accordingly, when irradiated with light having a wavelength of 310 nm, 340 nm, and 350 nm, a spiropyrane-based compound discolors in red, the azobenzen-based compound discolors in green, and the diarylethene The compound is discolored in blue, and the entire photochromic layer 220 is discolored in black so as not to transmit light. Subsequently, after a predetermined time passes after the light source is removed, or when light having a wavelength of 390 nm is irradiated, the photochromic layer 220 becomes transparent again.

광색성층(220)은 그 성분 비율 및 첨가 물질의 종류를 조절함으로써, 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 광원에 대한 파장 대 및 민감도를 조절할 수 있다. 또한, 광색성층(220)은 이중 또는 다중층으로 구성되어 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 광원을 더욱 확실히 차단할 수 있는 효과를 가질 수 있다.The photochromic layer 220 may control the wavelength band and sensitivity of the light source during the laser release process by adjusting the component ratio and the kind of the additive material. In addition, the photochromic layer 220 is composed of a double or multiple layers may have the effect of blocking the light source more reliably during the laser release (laser release) process.

광색성층(220) 상에는 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)이 배치된다. 또한, 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)과 동일한 물질로 구동회로의 금속 배선이 형성된다. 특히, 박막 트랜지스터(230)는 산화물을 포함하는 산화물 박막 트랜지스터일 수 있다.The thin film transistor 230, the gate line 231, and the data line 232 are disposed on the photochromic layer 220. In addition, the metal wiring of the driving circuit is formed of the same material as the gate line 231 and the data line 232. In particular, the thin film transistor 230 may be an oxide thin film transistor including an oxide.

보다 자세하게 박막 트랜지스터(230)는 게이트 전극(미도시), 반도체층(미도시), 소스 및 드레인 전극(미도시)를 포함한다. 일반적으로 게이트 전극은 게이트 라인(231)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성되며, 소스 및 드레인 전극은 데이터 라인(232)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성된다.In more detail, the thin film transistor 230 includes a gate electrode (not shown), a semiconductor layer (not shown), a source and a drain electrode (not shown). In general, the gate electrode is formed of the same material on the same layer as the gate line 231, and the source and drain electrodes are formed of the same material on the same layer as the data line 232.

게이트 전극 상부 혹은 하부에 반도체층이 형성되며, 게이트 전극과 반도체층 사이에는 절연층(미도시)이 개재되어 서로 절연된다. 소스 및 드레인 전극은 반도체층과 연결되어 게이트 전극으로 전달되는 게이트 신호에 따라 소스 전극으로 입력된 데이터 신호가 반도체층을 통해 드레인 전극으로 전달된다.A semiconductor layer is formed above or below the gate electrode, and an insulating layer (not shown) is interposed between the gate electrode and the semiconductor layer to insulate each other. The source and drain electrodes are connected to the semiconductor layer and the data signal input to the source electrode is transferred to the drain electrode through the semiconductor layer according to the gate signal transmitted to the gate electrode.

게이트 라인(231)과 데이터 라인(232)은 서로 교차되어 화소를 정의한다. 도 2에는 게이트 라인(231)과 데이터 라인(232)이 박막 트랜지스터(230)의 측면에 동일층 상에 배치되어 있는 것으로 나와 있으나, 실제로, 게이트 라인(231)과 데이터 라인(232)은 절연층을 사이에 두고 서로 다른 층에 배치되며, 화소의 경계선에서 서로 교차한다.The gate line 231 and the data line 232 cross each other to define a pixel. Although FIG. 2 shows that the gate line 231 and the data line 232 are disposed on the same layer on the side of the thin film transistor 230, in practice, the gate line 231 and the data line 232 are the insulating layer. Are disposed on different layers with each other intersecting and intersecting each other at a boundary line of the pixel.

또한, 구동회로를 구성하는 금속 배선 중 박막 트랜지스터(230)를 제외한 금속 배선은 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232) 각각과 동일한 층에 동일한 물질로 패터닝되어 형성될 수 있다. 서로 다른 층에 형성된 금속 배선은 컨택홀(미도시)을 통해 서로 연결될 수 있다.In addition, the metal wires excluding the thin film transistor 230 among the metal wires constituting the driving circuit may be formed by patterning the same material on the same layer as each of the gate line 231 and the data line 232. Metal wires formed on different layers may be connected to each other through contact holes (not shown).

광색성층(220) 상에 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)을 포함한 구동회로의 금속 배선을 형성하기 전에, 광색성층(220) 상에 버퍼층(미도시)을 더 형성할 수 있다. 버퍼층은 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)을 형성하는 공정 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Before forming the metal wiring of the driving circuit including the thin film transistor 230, the gate line 231, and the data line 232 on the photochromic layer 220, a buffer layer (not shown) is further added on the photochromic layer 220. Can be formed. The buffer layer may improve process reliability of forming the thin film transistor 230, the gate line 231, and the data line 232.

박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)을 포함한 구동회로의 금속 배선 상에 절연층(240)이 형성된다. 절연층(240)은 그 상부에 제 1 전극(260), 유기발광층(270) 및 제 2 전극(280)을 형성하기 전에 제 1 전극(260)과 금속 배선 간 절연을 유지하고, 평탄화 물질로 평탄화시켜 상부 구조가 안정적으로 형성될 수 있도록 한다.The insulating layer 240 is formed on the metal line of the driving circuit including the thin film transistor 230, the gate line 231, and the data line 232. The insulating layer 240 maintains insulation between the first electrode 260 and the metal wires before forming the first electrode 260, the organic light emitting layer 270, and the second electrode 280 thereon and is formed of a planarization material. The planarization allows the upper structure to be stably formed.

패드부(250)는 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232) 중 어느 하나의 일단에 연결되도록 형성된다. 도 1에는 직접적으로 연결되도록 도시되지 않았으나, 서로 교차되는 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)은 패드 영역에서 패드부(250)와 연결된다. 패드부(250)는 게이트 패드 및 데이터 패드를 포함한다.The pad part 250 is formed to be connected to one end of one of the gate line 231 and the data line 232. Although not illustrated in FIG. 1, the gate line 231 and the data line 232 that cross each other are connected to the pad unit 250 in the pad region. The pad part 250 includes a gate pad and a data pad.

더욱 자세하게, 게이트 라인(231)은 패널의 제 1 방향으로 형성되고, 상기 제 1 방향의 일단에 위치하는 패드 영역에서 게이트 라인(231) 상에 게이트 패드가 형성된다. 마찬가지로, 데이터 라인(232)은 패널의 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 형성되고, 상기 제 2 방향의 일단에 위치하는 패드 영역에서 데이터 라인(232) 상에 데이터 패드가 형성된다.In more detail, the gate line 231 is formed in the first direction of the panel, and a gate pad is formed on the gate line 231 in a pad region located at one end of the first direction. Similarly, the data line 232 is formed in a second direction crossing the first direction of the panel, and a data pad is formed on the data line 232 in a pad region located at one end of the second direction.

패드부(250)도 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 광원에 의해 손상될 수 있기 때문에, 광원이 조사되는 방향에 광색성층(220)이 형성되어, 광색성층(220)이 패드부(250)를 보호할 수 있다.Since the pad part 250 may also be damaged by the light source during the laser release process, the photochromic layer 220 is formed in the direction in which the light source is irradiated, so that the photochromic layer 220 is the pad part 250. Can protect.

절연층(240) 상에는 제 1 전극(260), 유기발광층(270) 및 제 2 전극(280)이 순차적으로 형성되고, 유기발광층(270)이 제 1 전극(260) 및 제 2 전극(280)과 접하는 영역이 발광 영역으로 정의된다. 제 2 전극(280)은 유기발광층(270) 상에 배치된다. 제 1 전극(160)은 박막 트랜지스터(230) 상에 절연층(240)을 사이에 두고 배치되며, 박막 트랜지스터(230)와 연결된다.The first electrode 260, the organic light emitting layer 270, and the second electrode 280 are sequentially formed on the insulating layer 240, and the organic light emitting layer 270 is formed of the first electrode 260 and the second electrode 280. The region in contact with is defined as a light emitting region. The second electrode 280 is disposed on the organic light emitting layer 270. The first electrode 160 is disposed on the thin film transistor 230 with the insulating layer 240 interposed therebetween, and is connected to the thin film transistor 230.

제 1 전극(260)은 인듐(Indium), 주석(Tin), 아연(Zinc), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W) 중 어느 하나를 포함하는 전도성 산화물로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide, ITO), 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide, IZO) 및 인듐 주석 아연 산화물(Indium Tin Zink Oxide, ITZO) 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 물질은 금속은 아니며 전도성 물질층으로 볼 수 있다.The first electrode 260 may be formed of a conductive oxide including any one of indium, tin, zinc, molybdenum, and tungsten, for example, indium. It may include any one of tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and indium tin zinc oxide (ITZO). The material is not a metal and can be viewed as a conductive material layer.

제 2 전극(280)은 유기발광층(270)에서 발광하는 빛이 외부로 출사될 수 있도록 박막의 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 은(Ag), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca), 알루미늄(Al), 리튬(Li), 네오디뮴(Nd) 등을 포함하는 금속 군에서 하나를 포함할 수 있다.The second electrode 280 may be formed of a thin metal so that light emitted from the organic light emitting layer 270 may be emitted to the outside. For example, it may include one from a metal group including silver (Ag), magnesium (Mg), calcium (Ca), aluminum (Al), lithium (Li), neodymium (Nd), and the like.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치는, 제 1 전극(260), 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250)와 대응되는 영역에 배치된 광색성층(220)을 포함한다.As shown in FIG. 3, an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention includes a first electrode 260, a thin film transistor 230, a gate line 231, a data line 232, and a pad unit. It includes a photochromic layer 220 disposed in the region corresponding to the (250).

광색성층(220)은 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 플렉서블 기판(210) 상에 형성된 금속 배선 및 전도성 물질층이 레이저광에 의해 손상되는 것을 방지한다. 따라서, 광색성층(220)은 플렉서블 기판(210) 전면에 형성될 필요없이, 플렉서블 기판(210) 상에 형성된 금속 배선 및 전도성 물질층에 대응되는 영역에만 형성되어도 무방하다.The photochromic layer 220 prevents the metal wiring and the conductive material layer formed on the flexible substrate 210 from being damaged by the laser light during the laser release process. Accordingly, the photochromic layer 220 may be formed only in a region corresponding to the metal wiring and the conductive material layer formed on the flexible substrate 210 without having to be formed on the entire surface of the flexible substrate 210.

즉, 패드 영역에서 패드부(250)와 대응되는 영역에만 광색성층(220)이 형성되어 있고, 패드부(250)와 대응되는 영역을 제외한 영역에는 광색성층(220)이 형성되지 않을 수 있다. 또한, 발광 영역 중에서 제 1 전극(260), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232)을 포함하는 금속 배선 및 도전성 물질층과 대응되는 영역을 제외한 영역에는 광색성층(220)이 형성되지 않을 수 있다.That is, the photochromic layer 220 may be formed only in an area corresponding to the pad part 250 in the pad area, and the photochromic layer 220 may not be formed in an area except the area corresponding to the pad part 250. In addition, the photochromic layer 220 may not be formed in a region other than the region corresponding to the metal wiring and the conductive material layer including the first electrode 260, the gate line 231, and the data line 232. have.

또한, 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)과 동일층에 동일한 물질로 형성되는 금속 배선은 일반적으로 박막 트랜지스터(230)를 포함하여 구동회로를 형성한다. 상기 구동회로와 대응되는 영역에만 광색성층(220)이 형성되고, 상기 구동회로와 대응되는 영역을 제외한 영역에는 광색성층(220)이 형성되지 않을 수 있다.In addition, the metal lines formed of the same material as the gate line 231 and the data line 232 generally include the thin film transistor 230 to form a driving circuit. The photochromic layer 220 may be formed only in the region corresponding to the driving circuit, and the photochromic layer 220 may not be formed in the region except for the region corresponding to the driving circuit.

본 실시예와 같이 광색성층(220)이 플렉서블 기판(210) 상에 부분적으로 형성되는 경우, 광색성층(220)은 플렉서블 기판(210) 상에 형성된 후, 패터닝되어 제 1 전극(260), 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250)와 대응되는 영역에 패턴의 형태로 형성될 수 있다.When the photochromic layer 220 is partially formed on the flexible substrate 210 as in the present embodiment, the photochromic layer 220 is formed on the flexible substrate 210 and then patterned to form the first electrode 260 and the thin film. The pattern may be formed in a region corresponding to the transistor 230, the gate line 231, the data line 232, and the pad unit 250.

광색성층(220)이 패턴의 형태로 형성될 경우, 그 상부에 박막 트랜지스터(230)를 비롯한 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250)가 안정적으로 형성되기 어렵다. 따라서, 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250) 등을 안정적으로 형성할 수 있도록, 광색성층(220) 상에 평탄화층(221)이 추가적으로 배치될 수 있다. 평탄화층(221)은 아크릴 수지 계열의 물질을 포함할 수 있다.When the photochromic layer 220 is formed in the form of a pattern, it is difficult to stably form the gate line 231, the data line 232, and the pad part 250 including the thin film transistor 230 thereon. Accordingly, the planarization layer 221 may be additionally disposed on the photochromic layer 220 so that the thin film transistor 230, the gate line 231, the data line 232, the pad part 250, and the like may be stably formed. Can be. The planarization layer 221 may include an acrylic resin-based material.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.

도 4는 유기전계발광표시장치 중 특히, 투명 유기전계발광표시장치를 도시한 단면으로, 단일 화소 내의 발광 영역 측면에 투명 영역이 추가로 배치된다. 또는, 도 4에 도시된 투명 유기전계발광표시장치는 서로 다른 화소 내에 발광 영역 및 투명 영역이 서로 인접하거나 일정 거리만큼 떨어져 있는 형태로 배치될 수 있다. 발광 영역에는 다른 실시예와 마찬가지로 제 1 전극(260), 유기발광층(270) 및 제 2 전극(280)이 형성되고, 그 하부에 유기발광층(270)의 구동을 위한 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)을 포함하는 금속 배선 및 전도성 물질층 등이 구성하는 구동회로가 위치한다.4 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device, in particular, a transparent organic light emitting display device, wherein a transparent region is further disposed on a side of a light emitting region in a single pixel. Alternatively, the transparent organic light emitting display device illustrated in FIG. 4 may be disposed in a form in which the light emitting area and the transparent area are adjacent to each other or separated by a predetermined distance from each other. The first electrode 260, the organic light emitting layer 270, and the second electrode 280 are formed in the emission region, and the thin film transistor 230 and the gate for driving the organic light emitting layer 270 are formed thereunder. The driving circuit formed by the metal wiring including the line 231 and the data line 232 and the conductive material layer is positioned.

또한, 투명 영역에는 상기 발광 영역에 위치하는 구동회로가 형성되지 않아 투명함이 유지된다. 도 4에는 절연층(240)이 형성되어 있은 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않는다. 절연층(240)이 형성되지 않은 공간으로 남겨질 수도 있고, 발광 영역에 위치하는 구성 요소 중 일부가 형성될 수도 있다.In addition, since the driving circuit positioned in the light emitting area is not formed in the transparent area, transparency is maintained. 4 illustrates that the insulating layer 240 is formed, but is not limited thereto. The insulating layer 240 may be left as a space in which the insulating layer 240 is not formed, or some of the components positioned in the emission region may be formed.

예를 들어, WRGB 방식의 경우, 유기발광층(270)이 플렉서블 기판(210) 전면 또는 일부를 제외한 전면에 형성되므로, 유기발광층(270)이 투명 영역에 형성될 수 있다. 그러나, RGB 방식의 경우, 각 화소별로 유기발광층(270)이 독립 증착되기 때문에, 투명 영역에 형성되지 않을 수도 있다.For example, in the case of the WRGB method, since the organic light emitting layer 270 is formed on the entire surface of the flexible substrate 210 except for a portion, the organic light emitting layer 270 may be formed in the transparent region. However, in the RGB method, since the organic light emitting layer 270 is independently deposited for each pixel, it may not be formed in the transparent region.

또한, 제 2 전극(280)이 캐소드 전극인 경우, 캐소드 전극이 화소별 독립 형성되는 전극이 아니라 화소 구분 없이 공통으로 형성되는 공통 전극이라면, 투명 영역에도 형성될 수 있다. 그러나, 상기 설명에 제한되지 않고, 발광 영역에 배치된 구성 요소 중 유기발광층(270) 및 제 2 전극(280)을 제외한 구성 요소의 일부 또는 전부가 투명 영역에 형성될 수 있다.In addition, when the second electrode 280 is a cathode, the cathode may be formed in the transparent region if the cathode is not a pixel formed independently of each pixel but a common electrode formed in common without pixel division. However, without being limited to the above description, some or all of the components except for the organic light emitting layer 270 and the second electrode 280 among the components disposed in the emission region may be formed in the transparent region.

본 실시예도 이전 실시예와 마찬가지로 광색성층(220)이 플렉서블 기판(210) 상에 부분적으로 형성되기 때문에, 광색성층(220)은 패터닝되어 제 1 전극(260), 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250)와 대응되는 영역에 패턴의 형태로 형성될 수 있다.Since the photochromic layer 220 is partially formed on the flexible substrate 210 as in the previous embodiment, the photochromic layer 220 is patterned to form the first electrode 260, the thin film transistor 230, and the gate line. 231, the data line 232 and the pad part 250 may be formed in a pattern shape.

광색성층(220)이 패턴의 형태로 형성될 경우, 그 상부에 박막 트랜지스터(230)를 비롯한 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250)가 안정적으로 형성되기 어렵기 때문에, 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부(250) 등을 안정적으로 형성할 수 있도록, 광색성층(220) 상에 평탄화층(221)을 추가적으로 형성할 수 있다.When the photochromic layer 220 is formed in the form of a pattern, since the gate line 231 including the thin film transistor 230, the data line 232, and the pad part 250 are hardly formed on the photochromic layer 220, The planarization layer 221 may be additionally formed on the photochromic layer 220 to stably form the thin film transistor 230, the gate line 231, the data line 232, the pad part 250, and the like. .

상기와 같이 투명 유기전계발광표시장치에 광색성층(220)이 플렉서블 기판(210) 상에 패턴의 형태로 형성되거나, 플렉서블 기판(210)상의 전면 혹은 일부를 제외한 전면에 형성되면, 표시장치 구동 시, 밝은 곳이나 야외에서 대조비를 향상시킬 수 있는 차광판의 역할도 할 수 있다.As described above, when the photochromic layer 220 is formed on the flexible substrate 210 in the form of a pattern on the flexible organic light emitting display device, or is formed on the entire surface of the flexible substrate 210 except for the entire surface or a part thereof, the display device is driven. It can also serve as a shading plate to improve contrast in bright places or outdoors.

도 5a ~ 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 도시한 단면도이다.5A through 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 5a에 도시된 바와 같이, 우선, 베이스 기판(201) 상에 희생층(202)을 형성한 후, 희생층(202) 상에 플렉서블 기판(210)을 형성한다. 플렉서블 기판(210)은 폴리에테르술폰(Polyethersulphone; PES), 폴리아크릴레이트(Polyacrylate; PAR), 폴리에테르 이미드(Polyetherimide; PEI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethyelenen Napthalate; PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(Polyethyelene Terepthalate; PET), 폴리페닐렌 설파이드(Polyphenylene Sulfide; PPS), 폴리아릴레이트(Polyallylate), 폴리이미드(Polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC) 및 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(Cellulose Acetate Propionate: CAP) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 5A, first, the sacrificial layer 202 is formed on the base substrate 201, and then the flexible substrate 210 is formed on the sacrificial layer 202. The flexible substrate 210 is made of polyethersulphone (PES), polyacrylate (PAR), polyetherimide (PEI), polyethyelenen Napthalate (PEN), polyethylene terephthalate (Polyethyelene Terepthalate) PET), Polyphenylene Sulfide (PPS), Polyallylate, Polyimide, Polycarbonate (PC), Cellulose Triacetate (TAC) and Cellulose Acetate Propionate : CAP) may be included.

플렉서블 기판(210)은 예를 들어, 스핀 코팅(spin coating) 방식으로 형성될 수 있다. 더욱 자세하게, 상기 제시된 물질 중 어느 하나를 포함하는 액상 물질을 희생층(202) 상에 위치시킨 후 베이스 기판(201)을 고속으로 회전시켜 두께 균일도가 높은 박막의 플렉서블 기판(210)을 형성할 수 있다.The flexible substrate 210 may be formed by, for example, spin coating. In more detail, after placing the liquid material including any one of the above-described materials on the sacrificial layer 202, the base substrate 201 is rotated at high speed to form the thin flexible substrate 210 having high thickness uniformity. have.

또한, 플렉서블 기판(210)은 롤 코팅(roll coating) 방식 및 슬릿 코팅(slit coating) 방식으로도 형성될 수 있는데, 상기 두 가지 방식은 스핀 코팅 방식에 비해 두께 균일도가 떨어지는 단점이 있으나, 생산 효율성을 비교적 높은 편이다.In addition, the flexible substrate 210 may be formed by a roll coating method or a slit coating method. The two methods have a disadvantage in that thickness uniformity is inferior to that of the spin coating method. Is relatively high.

그 다음으로, 플렉서블 기판(210) 상에 광색성층(220)을 형성한다. 광색성층(220)은 염화은(AgCl), 브롬화은(AgBr), 요오드화은(AgI), 아조벤젠(azobenzen)계 화합물, 디아릴에텐(diarylethene)계 화합물, 스피로나프톡사진(spironaphthoxazine)계 화합물, 디오인디고(thioindigo)계 화합물, 트리페닐메탄(triphenylmethane)계 화합물, 퓨릴풀자이드(furylfulgide) 유도체 및 스피로 피란(spiropyrane)계 화합물 중 어느 하나를 포함할 수 있다.Next, the photochromic layer 220 is formed on the flexible substrate 210. The photochromic layer 220 includes silver chloride (AgCl), silver bromide (AgBr), silver iodide (AgI), azobenzen compound, diarylethene compound, spironaphthoxazine compound, dioindigo (thioindigo) compound, triphenylmethane (triphenylmethane) compound, a furylfulgide derivative (furylfulgide) derivatives and may include any one of the spiropyrane (spiropyrane) compound.

광색성층(220) 형성 시에도, 플렉서블 기판(210)과 같이 스핀 코팅(spin coating) 방식, 롤 코팅(roll coating) 방식 및 슬릿 코팅(slit coating) 방식 등으로 형성될 수 있다.Even when the photochromic layer 220 is formed, it may be formed by a spin coating method, a roll coating method, a slit coating method, or the like as the flexible substrate 210.

광색성층(220)은 플렉서블 기판(210)의 전면 혹은 일부를 제외한 전면에 형성될 수 있으며, 또한, 광색성층(220)은 패터닝되어, 제 1 전극(260), 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부와 대응되는 영역에만 패턴의 형태로 남겨질 수 있다. 즉, 제 1 전극(260), 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부와 대응되는 영역을 제외한 영역에 위치하는 광색성층(220)을 제거하여 광색성층(220)을 제 1 전극(260), 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231), 데이터 라인(232) 및 패드부와 대응되는 영역에 배치된 패턴의 형태로 형성할 수 있다.The photochromic layer 220 may be formed on the entire surface of the flexible substrate 210 except for a part or the entire surface thereof, and the photochromic layer 220 may be patterned to form the first electrode 260, the thin film transistor 230, and the gate line. 231, only the area corresponding to the data line 232 and the pad part may be left in the form of a pattern. That is, the photochromic layer 220 is removed by removing the photochromic layer 220 positioned in the region except for the region corresponding to the first electrode 260, the thin film transistor 230, the gate line 231, the data line 232, and the pad unit. The first electrode 260, the thin film transistor 230, the gate line 231, the data line 232, and the pad portion may be formed in a pattern formed in a region corresponding to the first electrode 260.

광색성층(220)이 플렉서블 기판(210)의 전면 혹은 일부를 제외한 플렉서블 기판(210) 전면에 형성되거나, 특히 광색성층(220)이 플렉서블 기판(210) 상에 패턴의 형태로 형성되는 경우, 광색성층(220) 상에 평탄화층(미도시)을 더 형성할 수 있다. 또한, 광색성층(220) 상에 추후 형성될 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232) 등을 더욱 안정적으로 형성하기 위하여, 광색성층(220) 상에 버퍼층을 더 형성할 수 있다.When the photochromic layer 220 is formed on the entire surface of the flexible substrate 210 except for the entire surface or part of the flexible substrate 210, or in particular, when the photochromic layer 220 is formed in the form of a pattern on the flexible substrate 210, A planarization layer (not shown) may be further formed on the layered layer 220. Further, in order to more stably form the thin film transistor 230, the gate line 231, the data line 232, and the like, which will be formed later on the photochromic layer 220, a buffer layer may be further formed on the photochromic layer 220. Can be.

그 다음으로, 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)을 포함하는 금속 배선 및 전도성 물질층 등을 형성하여 구동회로를 형성할 수 있다. 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)중 어느 하나의 일단에는 패드부(250)가 형성되어 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)어느 하나의 일단에 패드부가(250) 연결된다.Next, a driving circuit may be formed by forming a metal wiring including the thin film transistor 230, the gate line 231, and the data line 232, and a conductive material layer. The pad part 250 is formed at one end of one of the gate line 231 and the data line 232, and the pad part 250 is connected to one end of either the gate line 231 and the data line 232.

그 다음으로, 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232) 상에 절연층(240)이 형성되고, 절연층(240) 상에 제 1 전극(260), 유기발광층(270) 및 제 2 전극(280)을 순차적으로 형성한다. 절연층(240)은 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)을 포함하는 금속 배선 및 전도성 물질층을 포함하는 구동회로의 요철을 평탄화시키기 위해 평탄화 특성이 우수한 유기물로 형성될 수 있다.Next, an insulating layer 240 is formed on the thin film transistor 230, the gate line 231, and the data line 232, and the first electrode 260 and the organic light emitting layer 270 are formed on the insulating layer 240. ) And the second electrode 280 are sequentially formed. The insulating layer 240 is formed of an organic material having excellent planarization characteristics to planarize unevenness of the driving circuit including the thin film transistor 230, the gate line 231, and the data line 232 and the conductive material layer. Can be.

그 다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 제 1 파장을 갖는 제 1 광원을 베이스 기판(201) 및 광색성층(220)을 향해 약 10초 이상 조사한다. 제 1파장으로는 광색성층(220)에만 선택적으로 반응할 수 있는 파장대(광색성층의 물질마다 물질이 변색될 수 있는 고유 파장대를 사용)를 사용할 수 있으며, 더욱 명확하게 제 1 파장은 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232)을 포함하는 금속 배선 및 전도성 물질층 등에 손상을 입히지 않거나 특성 변화를 유발하지 않는 파장으로 정의할 수 있다. 이 때, 광색성층(220)은 제 1 광원을 흡수하여 변색된다. 변색의 색상 및 변색되는 정도는 광색성층(220)의 물질마다 다양하며, 광색성층(220)의 형성 물질은 추후 조사될 제 2 광원을 차단하여 박막 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232) 등에 손상을 방지할 수 있는 정도의 물질일 수 있다.Next, as shown in FIG. 5B, the first light source having the first wavelength is irradiated toward the base substrate 201 and the photochromic layer 220 for about 10 seconds or more. As the first wavelength, a wavelength band capable of selectively reacting only with the photochromic layer 220 may be used (a unique wavelength band through which materials may be discolored for each material of the photochromic layer), and more specifically, the first wavelength may be a thin film transistor ( 230, the metal line including the gate line 231 and the data line 232, and a conductive material layer may be defined as a wavelength that does not damage or cause a characteristic change. At this time, the photochromic layer 220 absorbs the first light source and discolors. The color of the discoloration and the degree of discoloration vary for each material of the photochromic layer 220, the material forming the photochromic layer 220 blocks the second light source to be irradiated later, the thin film transistor 230, the gate line 231 and the data The line 232 or the like may be of a material that can prevent damage.

그 다음으로, 도 5c에 도시된 바와 같이, 제 2 파장을 갖는 제 2 광원을 베이스 기판(201)을 향해 조사하면, 희생층(202)에서 가스(gas)가 분출되면서 희생층(202) 및 베이스 기판(201)이 플렉서블 기판(210)으로부터 분리된다.Next, as shown in FIG. 5C, when the second light source having the second wavelength is irradiated toward the base substrate 201, gas is emitted from the sacrificial layer 202 and the sacrificial layer 202 and The base substrate 201 is separated from the flexible substrate 210.

상기와 같이 제 2 광원을 조사하여 희생층(202) 및 베이스 기판(201)을 플렉서블 기판(210)으로부터 분리시키는 단계는 광색성층(220)이 제 1 광원에 의해 이미 변색되어 있는 상태에서 진행되며, 이 때, 제 2 광원은 광색성층(220)에서 차단되기 때문에 트랜지스터(230), 게이트 라인(231) 및 데이터 라인(232) 등이 제 2 광원에 의해 손상되는 것이 방지될 수 있다. 제 2 파장은 대체적으로 308nm ~ 532nm의 범위를 가지나, 더욱 명확하게 제 1 파장은 제 2 파장보다 더 큰 범위에서 결정될 수 있다.As described above, the step of separating the sacrificial layer 202 and the base substrate 201 from the flexible substrate 210 by irradiating the second light source proceeds while the photochromic layer 220 is already discolored by the first light source. In this case, since the second light source is blocked in the photochromic layer 220, the transistor 230, the gate line 231, the data line 232, and the like may be prevented from being damaged by the second light source. The second wavelength generally has a range of 308 nm to 532 nm, but more clearly the first wavelength can be determined in a larger range than the second wavelength.

마지막으로, 도 5d에 도시된 바와 같이, 광색성층(220)은 제 2 광원의 조사를 중단하거나, 다시 원래 상태로 회복시킬 수 있는 제 3 광원을 조사할 경우, 원래 투명한 상태로 되돌아 올 수 있다. 상기 제 3 광원은 광색성층(220)의 물질에 따라 달라질 수 있다.Finally, as shown in FIG. 5D, the photochromic layer 220 may return to the original transparent state when the irradiation of the third light source stops the irradiation of the second light source or irradiates the third light source that can be restored to its original state. . The third light source may vary depending on the material of the photochromic layer 220.

상기와 같이 플렉서블 기판(210) 기반의 유기전계발광표시장치에 광원의 조사에 따라 변색되는 광색성층(220)을 적용함으로써, 베이스 기판을 분리하는 레이저 릴리즈(laser release) 공정 시, 광원에 의해 박막 트랜지스터, 게이트 라인, 데이터 라인 및 패드부를 포함하는 금속 배선 및 전도성 물질층이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. 특히, 투명 유기전계발광표시장치에 광색성층(220)이 적용될 경우, 디스플레이 구동 시, 대조비를 증가시켜 시인성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 금속 배선 및 전도성 물질층의 손상을 방지하여 유기전계발광표시장치의 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As described above, the photochromic layer 220 which is discolored according to the irradiation of the light source is applied to the organic light emitting display device based on the flexible substrate 210 so that the thin film is formed by the light source during the laser release process of separating the base substrate. The metal wiring and the conductive material layer including the transistor, the gate line, the data line, and the pad portion may be prevented from being damaged. In particular, when the photochromic layer 220 is applied to the transparent organic light emitting display device, the visibility may be improved by increasing the contrast ratio when driving the display. In addition, the driving reliability of the organic light emitting display device may be improved by preventing damage to the metal lines and the conductive material layer.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.Those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the above-described present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features.

그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, it is to be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

210: 플렉서블 기판 220: 광색성층
230: 박막 트랜지스터 231: 게이트 라인
232: 데이터 라인 240: 절연층
250: 패드부 260: 제 1 전극
270: 유기발광층 280: 제 2 전극
210: flexible substrate 220: photochromic layer
230: thin film transistor 231: gate line
232: data line 240: insulating layer
250: pad portion 260: first electrode
270: organic light emitting layer 280: second electrode

Claims (12)

플렉서블 기판;
상기 플렉서블 기판 상에 배치된 광색성층;
상기 광색성층 상에 배치된 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인;
상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인 중 어느 하나의 일단에 연결되는 패드부;
상기 박막 트랜지스터 상에 배치되고, 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극;
상기 제 1 전극 상에 배치되고, 상기 제 1 전극과 접하는 영역에서 발광하는 유기발광층; 및
상기 유기발광층 상에 배치된 제 2 전극을 포함하며,
상기 광색성층은 광흡수량에 따라 가변적으로 변색되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
A flexible substrate;
A photochromic layer disposed on the flexible substrate;
A thin film transistor, a gate line and a data line disposed on the photochromic layer;
A pad unit connected to one end of one of the gate line and the data line;
A first electrode disposed on the thin film transistor and connected to the thin film transistor;
An organic light emitting layer disposed on the first electrode and emitting light in a region in contact with the first electrode; And
A second electrode disposed on the organic light emitting layer,
The photochromic layer is organic light emitting display device characterized in that the color change in accordance with the amount of light absorption.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 광색성층은 염화은(AgCl), 브롬화은(AgBr), 요오드화은(AgI), 아조벤젠(azobenzen), 디아릴에텐(diarylethene), 스피로나프톡사진(spironaphthoxazine), 디오인디고(thioindigo), 트리페닐메탄(triphenylmethane), 퓨릴풀자이드(furylfulgide) 유도체 및 스피로 피란(spiropyrane) 중 어느 하나를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method of claim 1,
The photochromic layer is silver chloride (AgCl), silver bromide (AgBr), silver iodide (AgI), azobenzen (azobenzen), diarylethene, spironaphthoxazine, dioindigo, triphenylmethane ( An organic light emitting display device comprising any one of triphenylmethane), a furylfulgide derivative, and spiropyrane.
제 1 항에 있어서,
상기 광색성층은 상기 제 1 전극, 상기 박막 트랜지스터, 상기 게이트 라인, 상기 데이터 라인 및 상기 패드부와 대응되는 영역에 배치된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method of claim 1,
And the photochromic layer is disposed in a region corresponding to the first electrode, the thin film transistor, the gate line, the data line, and the pad part.
제 1 항, 제3항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유기전계발광표시장치는 상기 광색성층 상에 배치된 평탄화층을 더 포함하여 구성되며,
상기 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인 각각은 상기 평탄화층 상에 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to any one of claims 1, 3 or 4,
The organic light emitting display device further includes a planarization layer disposed on the photochromic layer.
And each of the thin film transistor, the gate line and the data line are formed on the planarization layer.
제 1 항, 제3항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유기전계발광표시장치는 상기 광색성층 상에 배치된 버퍼층을 더 포함하여 구성되며,
상기 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인 각각은 상기 버퍼층 상에 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
The method according to any one of claims 1, 3 or 4,
The organic light emitting display device further includes a buffer layer disposed on the photochromic layer,
And the thin film transistor, the gate line, and the data line are each formed on the buffer layer.
베이스 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;
상기 희생층 상에 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
상기 플렉서블 기판 상에 광색성층을 형성하는 단계;
상기 광색성층 상에 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하는 단계;
상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인 중 어느 하나와 연결되는 패드부를 형성하는 단계;
상기 박막 트랜지스터 상에 제 1 전극을 형성하는 단계;
상기 제 1 전극 상에 유기발광층을 형성하는 단계;
상기 유기발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계;
상기 광색성층에 제 1 파장을 갖는 제 1 광원을 조사하여 상기 광색성층을 변색시키는 단계; 및
상기 베이스 기판에 제 2 파장을 갖는 제 2 광원을 조사하여 상기 베이스 기판을 상기 플렉서블 기판으로부터 분리시키는 단계; 및
상기 변색된 상기 광색성층을 원래 상태로 복원하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
Forming a sacrificial layer on the base substrate;
Forming a flexible substrate on the sacrificial layer;
Forming a photochromic layer on the flexible substrate;
Forming a thin film transistor, a gate line and a data line on the photochromic layer;
Forming a pad part connected to any one of the gate line and the data line;
Forming a first electrode on the thin film transistor;
Forming an organic light emitting layer on the first electrode;
Forming a second electrode on the organic light emitting layer;
Irradiating the photochromic layer with a first light source having a first wavelength to discolor the photochromic layer; And
Irradiating the base substrate with a second light source having a second wavelength to separate the base substrate from the flexible substrate; And
And restoring the discolored photochromic layer to its original state.
제 7 항에 있어서,
상기 제 1 파장은 상기 제 2 파장보다 큰 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 7, wherein
And wherein the first wavelength is larger than the second wavelength.
제 7 항에 있어서,
상기 베이스 기판을 분리시키는 단계는,
상기 광색성층이 변색된 상태에서 진행되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 7, wherein
Separating the base substrate,
The method of manufacturing an organic light emitting display device, wherein the photochromic layer is discolored.
제 7 항에 있어서,
상기 플렉서블 기판 상에 광색성층을 형성하는 단계는,
상기 플렉서블 기판 상에 광색성층을 형성한 후, 상기 광색성층을 패터닝하여, 상기 제 1 전극, 상기 박막 트랜지스터, 상기 게이트 라인, 상기 데이터 라인 및 상기 패드부 각각이 형성될 영역을 제외한 나머지 영역에 위치하는 상기 광색성층을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 7, wherein
Forming a photochromic layer on the flexible substrate,
After the photochromic layer is formed on the flexible substrate, the photochromic layer is patterned and positioned in the remaining regions except for regions in which the first electrode, the thin film transistor, the gate line, the data line, and the pad unit are to be formed. And removing the photochromic layer to form an organic light emitting display device.
제 10 항에 있어서,
상기 광색성층을 형성한 후에, 상기 패터닝된 광색성층 상에 평탄화층을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어지고,
상기 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인 각각은 상기 평탄화층 상에 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method of claim 10,
After forming the photochromic layer, further comprising forming a planarization layer on the patterned photochromic layer,
And each of the thin film transistor, the gate line and the data line is formed on the planarization layer.
제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광색성층을 형성한 후에, 상기 광색성층 상에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어지고,
상기 박막 트랜지스터, 게이트 라인 및 데이터 라인 각각은 상기 버퍼층 상에 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.
The method according to any one of claims 7 to 9,
After forming the photochromic layer, the method further includes forming a buffer layer on the photochromic layer,
And the thin film transistor, the gate line, and the data line are each formed on the buffer layer.
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