KR102038389B1 - 필름 이송장치 및 그를 포함하는 결함 검출장치 - Google Patents

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Abstract

필름 이송장치 및 그를 포함하는 결함 검출장치를 개시한다.
본 실시예의 일 측면에 의하면, 필름 내 존재하는 결함을 검출하는 장치에 있어서, 결함의 검사를 하고자 하는 필름을 이송하는 필름 이송부재, 필름의 진동을 감소시키는 제1 진동 방지부재 및 필름의 이송방향에 대해 상기 제1 진동 방지부재의 후단에 배치되며 필름으로 공기를 배출하거나 공기를 흡입하여 필름의 진동을 최소화하는 제2 진동 방지부재를 포함하는 필름 이송부와 상기 필름 이송부에 의해 이송되는 필름의 이미지를 생성하는 이미지 생성부 및 상기 이미지 생성부가 생성한 필름의 이미지를 분석하여 필름 내 결함이 존재하는지를 검출하는 결함 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검출장치를 제공한다.

Description

필름 이송장치 및 그를 포함하는 결함 검출장치{Apparatus for Transferring a Film and Apparatus for Detecting Defects Including the Same}
본 발명은 필름 이송장치 및 해당 장치를 포함하여 필름 내 결함을 검출하는 결함 검출장치에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
최근, 모바일 단말 분야, 전지(電池) 분야 또는 반도체 분야 등 다양한 분야에서 제품의 소형화가 진행됨에 따라, 각 분야에서의 제품에 사용되는 박막 필름이 각광을 받고 있다.
이러한 박막 필름의 제조 공정상에서 의도하지 않은 이물의 혼입 또는 제조 공정 중 장비의 오작동 등 다양한 원인에 의해 제조되는 박막 필름의 표면이나 내부에 결함이 발생하는 경우가 존재한다. 이처럼 발생한 결함을 검출하기 위해, 통상적으로 제조된 박막 필름을 촬영하고 촬영된 박막 필름의 이미지 내에서 결함이 존재하는지를 검출하는 방법이 사용되곤 한다.
그러나 이러한 종래의 방법은 필름의 두께가 수십 내지 수백 마이크로미터까지 얇아지며 다음과 같은 문제가 발생한다.
검사 대상인 필름의 두께가 상당히 얇아짐에 따라, 검사를 위해 필름을 이송하는 과정에서 이송장치의 움직임에 따라 필름이 필연적으로 진동하는 문제가 발생한다. 이처럼, 필름이 진동을 하게되면, 결함을 검출하기 위해 필름의 이미지를 촬영하는 과정에서 온전한 이미지가 촬영되지 못하게 되어, 필름 내 결함 검출 정확도를 떨어뜨리게 된다.
따라서 두께가 얇아진 필름 내 결함 검출의 정확도를 높이기 위해, 이송과정에서 필름의 진동을 최소화할 수 있는 필름 이송장치에 대한 수요가 존재한다.
본 발명의 일 실시예는, 박막 필름을 이송함에 있어, 필름의 진동을 최소화할 수 있는 필름 이송장치 및 그를 포함한 결함 검출장치를 제공하는 데 일 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 필름 내 존재하는 결함을 검출하는 장치에 있어서, 결함의 검사를 하고자 하는 필름을 이송하는 필름 이송부재, 필름의 진동을 감소시키는 제1 진동 방지부재 및 필름의 이송방향에 대해 상기 제1 진동 방지부재의 후단에 배치되며 필름으로 공기를 배출하거나 공기를 흡입하여 필름의 진동을 최소화하는 제2 진동 방지부재를 포함하는 필름 이송부와 상기 필름 이송부에 의해 이송되는 필름의 이미지를 생성하는 이미지 생성부 및 상기 이미지 생성부가 생성한 필름의 이미지를 분석하여 필름 내 결함이 존재하는지를 검출하는 결함 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검출장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 진동 방지부재는 복수 개의 롤러로 구현되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 진동 방지부재는 롤러의 사이로 필름이 이송되도록 하여 필름의 진동을 감소시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 필름 이송부는 상기 제2 진동 방지부재를 복수 개 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 이미지 생성부는 복수의 제2 진동 방지부재의 사이에서 필름의 이미지를 생성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 필름 내 존재하는 결함의 검출을 위해 이미지 생성부가 필름의 이미지를 온전히 생성할 수 있도록, 진동을 최소화하며 필름을 상기 이미지 생성부로 이송하는 필름 이송장치에 있어서, 결함의 검사를 하고자 하는 필름을 이송하는 필름 이송부재와 필름의 진동을 감소시키는 제1 진동 방지부재 및 필름의 이송방향에 대해 상기 제1 진동 방지부재의 후단에 배치되며 필름으로 공기를 배출하거나 공기를 흡입하여 필름의 진동을 최소화하는 제2 진동 방지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 이송장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 진동 방지부재는 복수 개의 롤러로 구현되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 진동 방지부재는 롤러의 사이로 필름이 이송되도록 하여 필름의 진동을 감소시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제2 진동 방지부재는 복수 개로 구현되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 이미지 생성부는 복수의 제2 진동 방지부재의 사이에서 필름의 이미지를 생성하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따르면, 박막 필름을 이송함에 있어 진동을 최소화하며 이송하기 때문에, 이송되는 박막 필름 내 결함 검출의 정확도를 현저히 상승시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검출장치의 일 구현예를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검출장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 이송부의 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 진동 방지부재의 단면을 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에서, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 본 발명의 각 실시예에 포함된 각 구성, 과정, 공정 또는 방법 등은 기술적으로 상호 간 모순되지 않는 범위 내에서 공유될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검출장치의 일 구현예를 도시한 도면이다.
결함의 존부에 대한 검사 대상인 필름은 수십 내지 수백 μm의 두께를 갖는 박막으로서, 전지(電池) 분야, 자동차 분야, 모바일 단말 분야 또는 반도체 분야 등 다양한 분야에서 사용된다. 필름은 미세하게 동작하기 때문에, 필름에 발생한 결함은 필름의 동작에 큰 영향을 미칠 수 있다. 이에 따라, 생산된 필름의 표면이나 내부에 결함이 존재하는 필름들은 검출되어 분리되어야 한다.
결함 검출장치(100)는 생산된 (박막) 필름 내 결함이 존재하는지를 검출한다. 필름 내 결함에는 제조 공정상에서 이물이 유입되어 필름의 표면에 발생하는 결함이 있을 수 있고, 제조 공정의 불량으로 필름 내 존재해야 할 회로, 패턴 또는 내부 구성이 온전치 못한 내부 결함이 존재할 수 있다. 결함 검출장치(100)는 생산되어 이송되는 필름의 이미지를 생성하며, 생성된 이미지를 분석하여 필름 내 결함이 존재하는지를 검출한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검출장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 결함 검출장치(100)는 필름 이송부(210), 이미지 생성부(220), 결함 검출부(230) 및 제어부(240)를 포함한다.
필름 이송부(210)는 결함 존부의 검사 대상인 필름을 이송한다. 필름 이송부(210)는 결함이 존재하는지 검사를 하기 위해 외부(미도시)로부터 생성된 필름을 이미지 생성부(220)로 이송한다. 이때, 필름 이송부가 필름에 동력을 제공하여 필름을 이송함에 있어 필연적으로 진동이 발생하게 되고, 이러한 진동은 필름으로 전달된다. 전술한 대로, 필름은 아주 얇은 두께의 박막이기 때문에, 미세한 진동이 전달되어도 그대로 진동하게 되고, 필름의 진동은 이미지 생성부의 이미지 생성에 악영향을 미치게 된다. 온전히 이미지 생성부(220)가 필름의 이미지를 생성할 수 있도록, 필름 이송부(210)는 필름으로 전달된 진동을 최소화하며 필름을 이미지 생성부(220)로 이송한다. 필름 이송부(210)에 대한 상세한 설명은 도 3 내지 4를 참조하여 설명하기로 한다.
이미지 생성부(220)는 필름 이송부(210)에 의해 이송되는 필름의 이미지를 생성한다. 이미지 생성부(220)는 필름 이송부(210)와의 관계에서 적절한 위치 상에 배치되어, 필름의 결함을 검출할 수 있도록 필름의 이미지를 생성한다. 이미지 생성부(220)는 카메라 등과 같이 필름의 이미지를 생성할 수 있는 구성으로 구현될 수 있다. 이미지 생성부(220)는 생성한 필름의 이미지를 결함 검출부(230)로 전달한다.
결함 검출부(230)는 이미지 생성부(220)에 의해 생성된 필름의 이미지를 토대로, 필름에 결함이 존재하는지를 판단한다. 결함 검출부(230)는 내부에 결함이 존재하지 않는 필름의 이미지를 저장하며, 이미지 생성부(220)에 의해 생성된 필름의 이미지와 저장된 (온전한) 이미지를 비교하여 필름에 결함이 존재하는지를 판단한다.
제어부(240)는 각 구성(210 내지 230)의 동작을 제어한다. 제어부(240)는 필름 이송부(210), 이미지 생성부(220) 및 결함 검출부(230) 각 구성의 전술한 동작들을 제어한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 이송부의 구성을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 이송부(210)는 필름 이송부재(미도시), 제1 진동 방지부재(310) 및 제2 진동 방지부재(320)를 포함한다.
필름 이송부재(미도시)는 결함의 검사 대상인 필름을 이송한다. 필름 이송부재(미도시)는 외부로부터 생산된 필름을 유입받아 이미지 생성부(220) 방향(+x축)으로 이송함으로써, 제1 진동 방지부재(310)를 거쳐 이미지 생성부(220)가 필름의 이미지를 생성할 수 있도록 한다.
제1 진동 방지부재(310)는 롤러(312), 회동유닛(314), 힌지 축(316) 및 회동 조절유닛(318)을 포함하여, 필름 이송부재(미도시)에 의해 이송되는 필름(330)의 진동을 1차적으로 감소시킨다.
제1 진동 방지부재(310)는 복수의 롤러(312)를 포함하며, 롤러(312)의 사이로 필름(330)이 이송되도록 함으로써 필름(330)의 진동을 감소시킨다. 롤러(312)는 필름(330)과 점 접촉을 하기 때문에, 필름(330)과의 접촉으로 필름에 가해질 수 있는 손상을 최소화할 수 있다.
회동유닛(314)의 일 끝단에는 각 롤러(312)가 연결되며, 힌지 축(316)을 중심으로 회동유닛(314)의 반대편 끝단에는 회동 조절유닛(318)이 연결된다. 회동 조절유닛(318)은 스프링과 같이 탄성이 있거나 모터와 같이 동력을 제공할 수 있는 구성으로 구현되어, 제어부(240)의 제어에 따라 각 회동유닛(314)의 반대편 끝단의 간격을 조절한다. 회동 조절유닛(318)이 각 회동유닛(314)의 반대편 끝단의 간격을 조절하는 경우, 각 회동유닛(314)의 일 끝단은 회동유닛(314)의 반대편 끝단의 움직임과 반대로 회동한다. 예를 들어, 회동 조절유닛(318)에 의해 각 회동유닛(314)의 반대편 끝단의 간격이 좁아질 경우, 각 회동유닛(314)의 일 끝단은 서로 멀어지도록 회동하고, 회동 조절유닛(318)에 의해 각 회동부재(314)의 반대편 끝단의 간격이 멀어질 경우, 각 회동유닛(314)의 일 끝단은 서로 가까워지도록 회동한다. 이러한 동작에 따라, 각 롤러(312)는 서로 가까워지거나 멀어지도록 회동할 수 있어, 필름(330)의 진동 폭에 유동적으로 대응할 수 있다.
제2 진동 방지부재(320)는 복수의 구성으로 구현되며, 필름으로 공기를 배출하거나 공기를 흡입함으로써 필름의 진동을 최소화한다. 제2 진동 방지부재(320)는 공기를 흡입하여 필름이 진동하지 않고 제2 진동 방지부재(320)로 향하도록 하되, 공기를 배출함으로서 제2 진동 방지부재(320)와는 미세하게 거리를 유지한 채 떠 있도록(Folating) 한다. 이에 따라, 제2 진동 방지부재(320)의 흡착에 따라 필름(330)의 진동은 최소화하면서도, 제2 진동 방지부재(320)와 미세하게 거리를 유지하기 때문에 필름(330)이 제2 진동 방지부재(320)와 접촉으로 발생할 수 있는 손상은 발생하지 않을 수 있다. 다만, 필름이 미세하게 진동을 하고 있는 상황에서 제2 진동 방지부재(320)가 흡입을 하는 경우, 상황에 따라 일시적으로 제2 진동 방지부재(320)와 필름(330)이 접촉하는 경우가 발생할 수 있다. 이런 경우, 필름(330)의 손상을 최소화할 수 있도록, 제2 진동 방지부재(320)는 롤러 형태로 구현될 수 있다. 제2 진동 방지부재(320)는 롤러 형태로 구현될 경우, 제2 진동 방지부재(320)는 필름(330)과 접촉을 하더라도 점접촉을 할 수 있다. 이러한 특징에 따라, 제2 진동 방지부재(320)는 필름(330)의 진동을 최소화하면서, 혹시 발생할 수 있는 필름(330)의 손상도 최소화할 수 있다. 제2 진동 방재부재(320)의 상세한 구성은 도 4에 도시되어 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 진동 방지부재의 단면을 도시한 도면이다. 도 4는 제2 진동 방지부재(320)를 y축 방향으로 절단한 경우의 단면을 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 진동 방지부재(320)는 샤프트유닛(410), 흡착유닛(420) 및 배출유닛(430)을 포함한다.
샤프트유닛(410)은 제2 진동 방지부재(320)가 일정한 형태를 유지하도록 하며, 회전할 수 있도록 한다. 제2 진동 방지부재(320)가 일정한 형태를 유지하도록샤프트유닛(410)은 일정한 형태(예를 들어, 원통형 등)를 갖는다. 샤프트유닛(410)은 제2 진동 방지부재(320)의 무게가 너무 많이 나가지 않도록 가벼운 재질로 구현될 수 있거나, 내부가 빈채 형태만을 가질 수 있다.
샤프트유닛(410)은 양 끝단에 회동 축(415)을 구비하여, 샤프트유닛(410)을 포함한 제2 진동 방지부재(320)가 회동할 수 있도록 한다. 또한, 공기를 흡착하는 관이나 공기를 배출하는 관이 회동 축(415)을 거쳐 흡착유닛(420) 또는 배출유닛(430)과 연결될 수 있도록, 회동 축(415)은 내부에 공간과 흡착 유닛(420) 또는 배출유닛(430)과 통하는 구멍을 가질 수 있다.
흡착유닛(420)은 진공상태를 유지하여, 제2 진동 방지부재(320)의 외부에서 필름(330)을 제2 진동 방지부재(320)로 흡착한다. 흡착유닛(420)은 흡착유닛 내부와 제2 진동 방지부재(320)의 외부를 연결하는 흡착통로(425)를 포함하며, 흡착통로(425)를 이용해 제2 진동 방지부재(320)의 외부 공기를 흡착유닛 내부로 흡착한다. 흡착통로(425)는 기 설정된 간격을 두고 복수 개 형성된다. 흡착유닛(420)의 내부는 회동 축(415)을 거쳐 흡착유닛(420)에 연결된 공기를 흡착하는 관(미도시)에 의해 진공 상태로 유지된다. 흡착유닛(420)은 내부를 진공 상태로 유지하며 제2 진동 방지부재(320)의 외부 공기를 지속적으로 흡착하기 때문에, 제2 진동 방지부재(320) 상으로 이송되는 필름이 제2 진동 방지부재(320) 방향으로 흡착된다.
배출유닛(430)은 공기 분위기를 유지하여, 제2 진동 방지부재(320)의 외부로 공기를 배출한다. 흡착유닛(420)과 마찬가지로, 배출유닛(430)은 배출유닛 내부와 제2 진동 방지부재(320)의 외부를 연결하는 배출통로(435)를 포함하며, 배출통로(435)를 이용해 배출유닛(430) 내부의 공기를 제2 진동 방지부재(320)의 외부로 배출한다. 배출통로(435)는 기 설정된 간격을 두고 복수 개 형성된다. 배출유닛(430)의 내부는 회동 축(415)을 거쳐 배출유닛(430)에 연결된 공기를 배출하는 관(미도시)에 의해 공기 분위기로 유지된다. 배출유닛(430)은 공기를 배출하여, 흡착유닛(420)의 흡착에 의해 필름(330)이 제2 진동 방지부재(320)에 접촉하는 것을 방지한다. 제2 진동 방지부재(320)에 흡착유닛(420)만이 존재할 경우, 제2 진동 방지부재(320)는 필름(330)을 지속적으로 흡착만 할 뿐이어서 필름에 손상을 가할 수 있다. 이를 방지하고자, 제2 진동 방지부재(320)는 배출유닛(430)을 함께 포함함으로써, 필름(330)이 흡착되되 배출되는 공기에 의해 완전히 흡착되지 않고 제2 진동 방지부재(320)와 일정거리를 유지한 채 떠 있도록 한다. 배출유닛(430)은 제어부(240)의 제어에 따라 공기의 배출량을 조절할 수 있다. 제어부(240)는 제1 진동 방지부재(310)를 제어하며 필름의 진동폭을 감지(회동 조절유닛(318)의 제어량을 토대로 간접적으로 감지)할 수 있고, 필름의 진동폭에 따라 배출유닛(430)의 공기 배출량을 조절한다. 진동폭이 큰 경우, 필름이 흡착되며 제2 진동 방지부재(320)와 접촉할 가능성이 높기 때문에, 제어부(240)는 필름이 상대적으로 덜 흡착되도록 배출유닛(430)의 공기 배출량을 증가시킨다. 반대의 경우, 제어부(240)는 필름이 상대적으로 더 흡착될 수 있도록 배출유닛(430)의 공기 배출량을 감소시킨다.
도 4에는 샤프트유닛(410)의 외부에 흡착유닛(420)이, 흡착유닛(420)의 외부에 배출유닛(430)이 배치되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 흡착유닛(420)과 배출유닛(430)의 위치는 서로 바뀔 수 있다. 즉, 샤프트유닛(410)의 외부에 배출유닛이, 배출유닛의 외부에 흡착유닛이 배치될 수도 있다.
다시 도 3을 참조하면, 필름(330)의 진동을 보다 효과적으로 최소화할 수 있도록, 제2 진동 방지부재(320) 복수 개가 일정한 간격을 두고 배치될 수 있다. 필름(330)의 이미지를 생성하는 이미지 생성부(220)는 복수의 제2 진동 방지부재(320)의 사이에 이송되는 필름의 이미지를 생성할 수 있다. 복수의 제2 진동 방지부재(320)의 사이에서는 양 진동 방지부재에 의해 필름의 진동이 최소화된다. 따라서, 이미지 생성부(220)는 복수의 제2 진동 방지부재(320)의 사이에서 필름의 이미지를 생성할 수 있다.
이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 결함 검출장치
210: 필름 이송부
220: 이미지 생성부
230: 결함 검출부
240: 제어부
310: 제1 진동 방지부재
312: 롤러
314: 회동유닛
316: 힌지 축
318: 회동 조절유닛
320: 제2 진동 방지부재
330: 필름
410: 샤프트유닛
415: 회동 축
420: 흡착유닛
425: 흡착통로
430: 배출유닛
435: 배출통로

Claims (10)

  1. 필름 내 존재하는 결함을 검출하는 장치에 있어서,
    결함의 검사를 하고자 하는 필름을 이송하는 필름 이송부재, 필름의 진동을 감소시키는 제1 진동 방지부재 및 롤러 형태로 구현되며 필름의 이송방향에 대해 상기 제1 진동 방지부재의 후단에 배치되며 필름으로 공기를 배출하거나 공기를 흡입하여 필름의 진동을 최소화하는 제2 진동 방지부재를 포함하는 필름 이송부, 여기서 상기 제1 진동 방지부재는 사이로 필름이 이송되도록 하여 필름의 진동을 감소시키는 복수의 롤러, 각 롤러 간 간격을 조절하여 각 롤러가 서로 가까워지거나 멀어지도록 회동시키는 회동 조절유닛 및 힌지 축을 포함하며 힌지 축을 중심으로 일 끝단에 각 롤러가 연결되며, 반대편 끝단에는 회동 조절유닛이 연결되는 회동유닛을 포함함;
    필름 이송부에 의해 이송되는 필름의 이미지를 생성하는 이미지 생성부;
    상기 이미지 생성부가 생성한 필름의 이미지를 분석하여 필름 내 결함이 존재하는지를 검출하는 결함 검출부; 및
    상기 회동 조절유닛을 제어하여 각 롤러 간 간격을 조절하며, 상기 제1 진동 방지부재를 제어하며 감지한 필름의 진동폭을 토대로 상기 제2 진동 방지부재의 공기 배출량을 조절하는 제어부를 포함하며,
    상기 제1 진동 방지부재는 회동유닛을 더 포함하고, 상기 회동유닛의 일 끝단에는 각 롤러가 연결되며, 상기 힌지 축을 중심으로 상기 회동유닛의 반대편 끝단에는 상기 회동 조절유닛이 연결되고,
    상기 회동 조절유닛은 탄성을 갖거나 동력을 제공할 수 있는 구성으로 구현되어, 상기 회동유닛의 반대편 끝단의 간격을 조절하여 상기 회동유닛의 일 끝단이 상기 회동유닛의 반대편 끝단의 움직임과 반대로 회동하도록 하여, 각 롤러의 간격을 조정하고,
    상기 제2 진동 방지부재는 샤프트유닛, 흡착유닛 및 배출유닛을 포함하고,
    상기 샤프트유닛은 내부가 빈 원통형으로 구현되어 상기 제2 진동 방지부재가 원통형을 갖도록 하며, 양 끝단에 회동축을 구비하여 상기 샤프트유닛을 포함한 제2 진동 방지부재가 회동할 수 있도록 하고,
    상기 흡착유닛은 진공상태를 유지하여 상기 제2 진동 방지부재의 외부에서 필름을 상기 제2 진동 방지부재로 흡착하고, 흡착유닛 내부와 상기 제2 진동 방지부재의 외부를 연결하는 흡착통로를 포함하여 상기 흡착통로를 이용해 상기 제2 진동 방지부재의 외부 공기를 흡착유닛 내부로 흡착하고,
    상기 배출유닛은 공기분위기를 유지하여 상기 제2 진동 방지부재의 외부로 공기를 배출하고, 배출유닛 내부와 상기 제2 진동 방지부재의 외부를 연결하는 배출통로를 포함하여 상기 배출통로를 이용해 배출유닛 내부의 공기를 상기 제2 진동 방지부재의 외부로 배출하며,
    상기 회동축은 공기를 흡착하는 관이 상기 회동축을 거쳐 상기 흡착유닛과 연결되거나 공기를 배출하는 관이 상기 회동축을 거쳐 상기 배출유닛과 연결될 수 있도록, 내부에 상기 흡착유닛 또는 상기 배출유닛과 통하는 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검출장치
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  6. 필름 내 존재하는 결함의 검출을 위해 이미지 생성부가 필름의 이미지를 온전히 생성할 수 있도록, 진동을 최소화하며 필름을 상기 이미지 생성부로 이송하는 필름 이송장치에 있어서,
    결함의 검사를 하고자 하는 필름을 이송하는 필름 이송부재;
    사이로 필름이 이송되도록 하여 필름의 진동을 감소시키는 복수의 롤러, 각 롤러 간 간격을 조절하여 각 롤러가 서로 가까워지거나 멀어지도록 회동시키는 회동 조절유닛 및 힌지 축을 포함하며 힌지 축을 중심으로 일 끝단에 각 롤러가 연결되며, 반대편 끝단에는 회동 조절유닛이 연결되는 회동유닛을 포함하는 제1 진동 방지부재; 및
    롤러 형태로 구현되며, 필름의 이송방향에 대해 상기 제1 진동 방지부재의 후단에 배치되며 필름으로 공기를 배출하거나 공기를 흡입하여 필름의 진동을 최소화하며, 제어부의 제어에 따라 필름의 진동폭을 토대로 공기 배출량을 조절하는 제2 진동 방지부재를 포함하고,
    상기 제1 진동 방지부재는 회동유닛을 더 포함하고, 상기 회동유닛의 일 끝단에는 각 롤러가 연결되며, 상기 힌지 축을 중심으로 상기 회동유닛의 반대편 끝단에는 상기 회동 조절유닛이 연결되고,
    상기 회동 조절유닛은 탄성을 갖거나 동력을 제공할 수 있는 구성으로 구현되어, 상기 회동유닛의 반대편 끝단의 간격을 조절하여 상기 회동유닛의 일 끝단이 상기 회동유닛의 반대편 끝단의 움직임과 반대로 회동하도록 하여, 각 롤러의 간격을 조정하고,
    상기 제2 진동 방지부재는 샤프트유닛, 흡착유닛 및 배출유닛을 포함하고,
    상기 샤프트유닛은 내부가 빈 원통형으로 구현되어 상기 제2 진동 방지부재가 원통형을 갖도록 하며, 양 끝단에 회동축을 구비하여 상기 샤프트유닛을 포함한 제2 진동 방지부재가 회동할 수 있도록 하고,
    상기 흡착유닛은 진공상태를 유지하여 상기 제2 진동 방지부재의 외부에서 필름을 상기 제2 진동 방지부재로 흡착하고, 흡착유닛 내부와 상기 제2 진동 방지부재의 외부를 연결하는 흡착통로를 포함하여 상기 흡착통로를 이용해 상기 제2 진동 방지부재의 외부 공기를 흡착유닛 내부로 흡착하고,
    상기 배출유닛은 공기분위기를 유지하여 상기 제2 진동 방지부재의 외부로 공기를 배출하고, 배출유닛 내부와 상기 제2 진동 방지부재의 외부를 연결하는 배출통로를 포함하여 상기 배출통로를 이용해 배출유닛 내부의 공기를 상기 제2 진동 방지부재의 외부로 배출하며,
    상기 회동축은 공기를 흡착하는 관이 상기 회동축을 거쳐 상기 흡착유닛과 연결되거나 공기를 배출하는 관이 상기 회동축을 거쳐 상기 배출유닛과 연결될 수 있도록, 내부에 상기 흡착유닛 또는 상기 배출유닛과 통하는 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 이송장치.
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