KR102032764B1 - Complex filter - Google Patents

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Abstract

복합 필터는 유체가 도입되는 유체 도입부가 형성된 제1 하우징, 상기 제1 하우징에 결합되어 수납공간을 형성하며 필터링된 상기 유체가 배출되는 유체 배출부가 형성된 제2 하우징을 포함하는 하우징, 상기 제1 하우징에 결합 되어 상기 유체 도입부를 통과한 상기 유체의 압력을 감압, 상기 유체를 확산 및 상기 유체를 1차 필터링 하는 제1 필터 유닛 및 상기 수납공간 내에서 상기 제2 하우징에 결합 되어 상기 유체가 상기 유체 배출부를 통과하기 이전에 상기 유체를 2차 필터링 하는 제2 필터 유닛을 포함한다.The composite filter includes a first housing having a fluid introduction portion through which a fluid is introduced, a second housing coupled to the first housing to form an accommodation space, and a second housing having a fluid discharge portion through which the filtered fluid is discharged. Coupled to the first filter unit for depressurizing the pressure of the fluid passing through the fluid inlet, diffusing the fluid, and first filtering the fluid, and coupled to the second housing within the receiving space, wherein the fluid is connected to the fluid. And a second filter unit for secondary filtering the fluid prior to passing through the outlet.

Description

복합 필터{COMPLEX FILTER}Compound filter {COMPLEX FILTER}

본 발명은 복합 필터에 관한 것으로, 특히 본 발명은 반도체 공정용 제조 설비에도 적용할 수 있는 우수한 필터링 성능을 가지면서 이와 함께 필터링 이전 유체의 압력 및 필터링 된 유체의 압력 차이에 기인한 필터 파손도 방지한 복합 필터에 관한 것이다.The present invention relates to a composite filter, in particular, the present invention has excellent filtering performance that can be applied to manufacturing equipment for semiconductor processing, and also prevents filter breakage due to the pressure difference of the filtered fluid and the pressure of the filtered fluid. It relates to a composite filter.

일반적으로 반도체 소자는 실리콘 웨이퍼 상에 유기막, 절연막 및 금속막과 같은 다양한 박막들을 형성하는 박막 형성 공정, 박막을 패터닝 하는 박막 패터닝 공정, 웨이퍼에 이온을 주입하는 이온 주입 공정 등 복잡한 제조 공정 및 정밀한 제조 장비를 통해 제조된다.In general, semiconductor devices have complex manufacturing processes such as a thin film forming process for forming various thin films such as an organic film, an insulating film, and a metal film, a thin film patterning process for patterning a thin film, and an ion implantation process for implanting ions into a wafer. Manufactured through manufacturing equipment.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 매우 청정한 환경 및 고순도 공정 가스가 있어야 하는데, 이는 공정 가스 등에 파티클이 포함될 경우 파티클이 반도체 소자의 수율을 크게 저하 시키는 요인이 되기 때문이다.In order to manufacture a semiconductor device, there must be a very clean environment and a high purity process gas, because when the particles are included in the process gas, the particles significantly reduce the yield of the semiconductor device.

이와 같은 이유로 반도체 소자를 제조하는 클린룸, 클린룸 내부에 배치되어 반도체 소자를 제조하는 다양한 공정 설비들에는 대부분 파티클과 같은 이물질을 여과하는 고성능 필터가 장착되어 있다.For this reason, various process facilities for manufacturing semiconductor devices, which are disposed inside clean rooms and semiconductor devices, are equipped with high-performance filters for filtering foreign substances such as particles.

반도체 공정용 필터로서는 한국 등록특허 제10-0900091호, 고청정 라인용 메탈 엘리멘트 및 그를 구비한 필터(등록일: 2009.05.22)를 들 수 있다.As a filter for a semiconductor process, Korea Patent No. 10-0900091, the metal element for a high clean line, and the filter provided with the same (registration date: 2009.05.22) are mentioned.

상기 고청정 라인용 메탈 엘리멘트 및 그를 구비한 필터는 막힌 형태를 갖고 유체가 유입되는 유입구 부분인 일단, 뚫린 형태를 갖고 유입된 유체에 포함된 부유물질이 필터링되어 유출되는 유출구 부분인 타단을 포함하며, 불규칙한 형상을 갖는 파우더로 구성되는 기술적 특징을 갖는다.The high clean line metal element and the filter having the same include a first end having a clogged form and a fluid inflow portion, and a second end having a perforated form and an outlet portion through which suspended solids contained in the inflowed fluid are filtered out. It has a technical feature consisting of a powder having an irregular shape.

상기 반도체 공정용 필터는 유입구로 유입되어 메탈 엘리먼트로 유입되는 유체의 압력 및 메탈 엘리먼트를 통과하여 유출구로 배출되는 유체의 압력 사이에 압력 편차(또는 압력 손실)가 존재한다.The semiconductor process filter has a pressure difference (or pressure loss) between the pressure of the fluid flowing into the inlet and entering the metal element and the pressure of the fluid passing through the metal element and exiting the outlet.

이 압력 편차가 일정 크기 이상이거나 급격한 압력 편차가 발생 될 경우, 취성이 약한 메탈 엘리먼트가 급격히 파손되고 파손된 메탈 엘리먼트로부터 발생 된 무수히 많은 파티클들이 공정 설비나 클린룸 내부로 직접 유입되는 치명적인 문제가 발생 될 수 있다.If this pressure deviation is greater than a certain size or a sudden pressure deviation occurs, a fatal problem occurs that the weak brittle metal element is suddenly broken and numerous particles generated from the broken metal element flow directly into the process equipment or the clean room. Can be.

한국 등록특허 제10-0900091호, 고청정 라인용 메탈 엘리멘트 및 그를 구비한 필터 (등록일: 2009.05.22)Korean Patent No. 10-0900091, Metal element for high clean line and filter equipped with the same (Registration date: May 22, 2009)

본 발명은 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 만족함과 동시에 필터링에 따른 압력 편차 또는 압력 손실에 의한 필터 부재의 파손을 방지한 복합 필터를 제공한다.The present invention provides a composite filter that satisfies high filtering performance suitable for a semiconductor manufacturing process and prevents breakage of the filter member due to pressure variation or pressure loss due to filtering.

일실시예로서, 복합 필터는 유체가 도입되는 유체 도입부가 형성된 제1 하우징, 상기 제1 하우징에 결합 되어 수납공간을 형성하며 필터링된 상기 유체가 배출되는 유체 배출부가 형성된 제2 하우징을 포함하는 하우징; 상기 제1 하우징에 결합 되어 상기 유체 도입부를 통과한 상기 유체의 압력을 감압, 상기 유체를 확산 및 상기 유체를 1차 필터링 하는 제1 필터 유닛; 및 상기 수납공간 내에서 상기 제2 하우징에 결합 되어 상기 유체가 상기 유체 배출부를 통과하기 이전에 상기 유체를 2차 필터링 하는 제2 필터 유닛을 포함한다.In one embodiment, the composite filter includes a first housing having a fluid introduction portion into which a fluid is introduced, a second housing coupled to the first housing to form a receiving space, and a second housing having a fluid discharge portion through which the filtered fluid is discharged. ; A first filter unit coupled to the first housing to reduce the pressure of the fluid passing through the fluid introduction part, diffuse the fluid, and first filter the fluid; And a second filter unit coupled to the second housing in the accommodation space to second filter the fluid before the fluid passes through the fluid discharge part.

상기 수납공간 내에서 상호 마주하게 배치된 상기 제1 필터 유닛 및 상기 제2 필터 유닛은 상호 이격 되어 배치된 복합 필터.The first filter unit and the second filter unit disposed to face each other in the receiving space are spaced apart from each other.

복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 제1 사이즈로 형성되고, 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈로 형성된다.The first filter unit of the composite filter is formed in a first size, and the second filter unit is formed in a second size larger than the first size.

복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 원기둥 형상 및 반구 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성된다.The first filter unit of the composite filter is formed in any one of a cylindrical shape and a hemispherical shape.

복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 제1 공극률을 갖고 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 공극률보다 큰 제2 공극률로 형성된다.The first filter unit of the composite filter has a first porosity and the second filter unit is formed with a second porosity greater than the first porosity.

복합 필터의 상기 제2 공극률은 50% 내지 80%이다.The second porosity of the composite filter is 50% to 80%.

복합 필터의 상기 제1 필터 유닛은 제1 경도를 갖고, 상기 제2 필터 유닛은 상기 제1 경도 이하인 제2 경도를 갖는다.The first filter unit of the composite filter has a first hardness, and the second filter unit has a second hardness that is less than or equal to the first hardness.

복합 필터의 상기 제1 하우징에는 제1 교환부가 형성되고, 상기 제 2 하우징에는 상기 제1 교환부와 착탈 가능하게 결합되는 제2 교환부가 형성된다.A first exchanger is formed in the first housing of the composite filter, and a second exchanger is detachably coupled to the first exchanger in the second housing.

복합 필터의 상기 제2 필터 유닛은 내부에 공간을 형성하며 금속 분말을 소결해 형성한 소결 필터부 및 상기 소결 필터부의 상기 공간에 채워진 미소결 분말을 포함하는 미소결 필터부를 포함한다.The second filter unit of the composite filter includes a sintered filter unit which forms a space therein and is formed by sintering a metal powder, and a microcrystalline filter unit including fine powder filled in the space of the sintered filter unit.

본 발명에 따른 복합 필터는 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 만족하면서 필터링에 따른 압력 편차 또는 압력 손실에 의한 필터 부재의 파손을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.The composite filter according to the present invention has the effect of preventing breakage of the filter member due to pressure variation or pressure loss due to filtering while satisfying high filtering performance suitable for a semiconductor manufacturing process.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다.
도 2는 도 1의 'A' 부분 확대도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 다양한 형태를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 'B' 부분 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 제2 필터 유닛의 'C' 부분 확대도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a composite filter according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a portion 'A' of FIG. 1.
3 and 4 are cross-sectional views showing various forms of the first filter unit according to an embodiment of the present invention.
5 is an enlarged view of a portion 'B' of the first filter unit according to the exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an enlarged view of a 'C' portion of a second filter unit according to an embodiment of the present invention. FIG.
7 is a cross-sectional view of a composite filter according to another embodiment of the present invention.

이하 설명되는 본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다.The present invention described below may apply various transformations and may have various embodiments, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

또한 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 구분하여 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.In addition, terms such as first and second may be used to describe various components separately, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a composite filter according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 복합 필터(500)는 하우징(100), 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the composite filter 500 includes a housing 100, a first filter unit 200, and a second filter unit 300.

하우징(100)은 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)을 수납 및 고정하는 역할을 한다.The housing 100 serves to receive and fix the first filter unit 200 and the second filter unit 300.

하우징(100)은, 예를 들어, 내식성이 우수하며 파티클을 발생시키지 않는 합성수지 재질 또는 내식성 금속으로 제작될 수 있다.The housing 100 may be made of, for example, a synthetic resin material or a corrosion resistant metal that is excellent in corrosion resistance and does not generate particles.

본 발명의 일실시예에서, 하우징(100)은 제1 하우징(110) 및 제2 하우징(120)을 포함한다.In one embodiment of the present invention, the housing 100 includes a first housing 110 and a second housing 120.

제1 하우징(110)은 필터링 될 유체가 도입되는 유체 도입부(115)가 형성되며, 제1 하우징(110)은, 예를 들어, 일측에 유체 도입부(115)가 형성된 플레이트 형상으로 형성될 수 있다.The first housing 110 may be formed with a fluid introduction portion 115 through which the fluid to be filtered is introduced, and the first housing 110 may be formed, for example, in a plate shape having the fluid introduction portion 115 formed at one side thereof. .

제2 하우징(120)은 통 형상으로 형성되며, 제2 하우징(120)은 제1 하우징(110)에 결합 된다.The second housing 120 is formed in a cylindrical shape, the second housing 120 is coupled to the first housing 110.

제2 하우징(120)이 제1 하우징(110)에 결합 됨에 따라 제1 및 제2 하우징(110,120) 사이에는 수납공간(125)이 형성된다. 수납공간(125)에는 후술 될 제1 및 제2 필터 유닛(200,300)이 수납된다.As the second housing 120 is coupled to the first housing 110, an accommodation space 125 is formed between the first and second housings 110 and 120. The first and second filter units 200 and 300 to be described later are accommodated in the storage space 125.

제2 하우징(120)에는 제2 필터 유닛(300)을 통과한 유체가 배출되는 유체 배출구(125)가 형성된다.The second housing 120 has a fluid outlet 125 through which the fluid passing through the second filter unit 300 is discharged.

도 2는 도 1의 'A' 부분 확대도이다.FIG. 2 is an enlarged view of a portion 'A' of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 하우징(110) 및 제2 하우징(120)이 상호 접촉되는 부분에는 제1 하우징(110) 및 제2 하우징(120)을 상호 결합 또는 분리할 수 있는 교환부(129)가 형성된다.Referring to FIGS. 1 and 2, the first housing 110 and the second housing 120 may be interchanged to couple or separate the first housing 110 and the second housing 120 to a portion where the first housing 110 and the second housing 120 are in contact with each other. The part 129 is formed.

본 발명의 일실시예에서, 교환부(129)는 제1 교환부(117) 및 제2 교호나부(127)를 포함한다. 제1 하우징(110)에는 제1 교환부(117)가 형성되고, 제2 하우징(120)에는 제2 교환부(127)가 형성된다.In one embodiment of the present invention, the exchange unit 129 includes a first exchange unit 117 and a second alternating portion 127. The first exchanger 117 is formed in the first housing 110, and the second exchanger 127 is formed in the second housing 120.

예를 들어, 제1 교환부(117)는 암사나부를 포함할 수 있고, 제2 교환부(127)는 암사나부와 체결되는 숫나사부를 포함할 수 있다.For example, the first exchanger 117 may include a female screw, and the second exchanger 127 may include a male screw coupled to the female screw.

본 발명의 일실시예에서, 제1 하우징(110)에 형성된 제1 교환부(117) 및 제2 하우징(120)에 형성된 제2 교환부(127)를 이용하여 후술 될 제1 필터 유닛(200)이 장착된 제1 하우징(110)을 제2 하우징(120)으로부터 분리 및 교체할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first filter unit 200 to be described later using the first exchanger 117 formed in the first housing 110 and the second exchanger 127 formed in the second housing 120. ) May be separated and replaced from the second housing 120.

비록 본 발명의 일실시예에서는 제1 교환부(117) 및 제2 교환부(127)가 암나사부 및 숫나사부인 것이 도시 및 설명되고 있지만, 이와 다르게 제1 및 제2 교환부(117,127)들로서 다양한 착탈 부재들이 사용될 수 있다.Although it is shown and described that the first exchanger 117 and the second exchanger 127 are a female threaded portion and a male threaded portion in one embodiment of the present invention, the first and second exchangers 117 and 127 may be variously modified. Detachable members can be used.

도 1을 다시 참조하면, 제1 필터 유닛(200)은 하우징(100)의 내부에 형성된 수납공간(125)에 배치되며, 제1 필터 유닛(200)은 하우징(100)의 제1 하우징(110)에 장착된다.Referring back to FIG. 1, the first filter unit 200 is disposed in the accommodation space 125 formed inside the housing 100, and the first filter unit 200 is the first housing 110 of the housing 100. ) Is mounted.

제1 필터 유닛(200)은 제1 하우징(110)의 유체 도입부(115)를 통과한 필터링 될 유체의 압력을 감압, 필터링 될 유체를 확산(diffusion) 및 유체를 1차적으로 필터링 한다.The first filter unit 200 depressurizes the pressure of the fluid to be filtered passing through the fluid inlet 115 of the first housing 110, diffuses the fluid to be filtered, and first filters the fluid.

이를 구현하기 위해 제1 필터 유닛(200)은 일측단이 개방된 통 형상으로 형성되며, 제1 필터 유닛(200)의 개방된 단부는 제1 하우징(110)에 용접 등의 방법에 의하여 결합 된다.In order to implement this, the first filter unit 200 is formed in a cylindrical shape with one end open, and the open end of the first filter unit 200 is coupled to the first housing 110 by welding or the like. .

도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 다양한 형태를 도시한 단면도이다.3 and 4 are cross-sectional views showing various forms of the first filter unit according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 필터 유닛(200)은, 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 일측단이 개방된 육면체 형상으로 형성되거나, 도 4에 도시된 바와 같이 일측단이 개방된 반구 형상으로 형성될 수 있다.3 and 4, the first filter unit 200 may be, for example, formed in a hexahedral shape having one side end open as shown in FIG. 3, or one side end as shown in FIG. 4. It may be formed into an open hemispherical shape.

본 발명의 일실시예에서, 제1 필터 유닛(200)이 일측단이 개방된 육면체 형상 또는 일측단이 개방된 반구 형상으로 형성함으로써 제1 필터 유닛(200)으로 유입된 필터링 될 유체의 방향을 방사상 또는 다양한 방향으로 분산시켜 제1 필터 유닛(200)을 통과한 유체를 확산(diffusion), 감압 및 1차적으로 필터링을 수행할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first filter unit 200 is formed in a hexagonal shape with one end open or a hemispherical shape with one open end to change the direction of the fluid to be filtered into the first filter unit 200. Diffusion, pressure reduction, and primary filtering may be performed on the fluid passing through the first filter unit 200 by dispersing it radially or in various directions.

비록 본 발명의 일실시예에서는 제1 필터 유닛(200)이 일측단이 개방된 육면체 형상 또는 일측단이 개방된 반구 형상인 것이 도시 및 설명되고 있지만, 이와 다르게 제1 필터 유닛(200)은 일측단이 개방되며 오목한 공간을 갖는 다양한 통 형상으로 형성될 수 있다.Although one embodiment of the present invention is shown and described that the first filter unit 200 is a hexagonal shape with one end open or one side end is open, the first filter unit 200 is differently The stage can be formed into various cylindrical shapes having open and concave spaces.

도 1을 다시 참조하면, 하우징(100)의 내측에 배치된 제2 필터 유닛(300)은 제1 필터 유닛(200)을 통과한 유체를 다시 한번 필터링 하여 유체가 제2 하우징(120)의 유체 배출구(125)로 배출되도록 한다.Referring back to FIG. 1, the second filter unit 300 disposed inside the housing 100 once again filters the fluid that has passed through the first filter unit 200 so that the fluid is in the fluid of the second housing 120. It is to be discharged to the outlet (125).

본 발명의 일실시예에서, 제2 필터 유닛(300)은 일측단이 개방된 통 형상으로 형성되며, 제2 필터 유닛(300)의 상기 일측단은 제2 하우징(120)에 용접 등의 방법에 의하여 결합 된다.In one embodiment of the present invention, the second filter unit 300 is formed in a cylindrical shape with one end open, the one end of the second filter unit 300 is a method such as welding to the second housing 120. Are combined by.

제2 필터 유닛(300)은 제1 필터 유닛(200)과 마찬가지로 일측단이 개방된 육면체 형상, 일측단이 개방된 반구 형상 등 다양한 형상으로 제작될 수 있다.Like the first filter unit 200, the second filter unit 300 may be manufactured in various shapes such as a hexahedron shape having one side open and a hemisphere shape with one open.

본 발명의 일실시예에서, 도 1에 도시 및 설명된 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)은 하우징(100) 내부에서 상호 마주하게 배치되는데, 제1 필터 유닛(200)을 통과하면서 확산 된 유체가 충분히 확산 된 후 제2 필터 유닛(300)으로 유입되도록 하기 위해 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(300)은 상호 소정 간격(G) 만큼 상호 이격 되어 배치된다.In one embodiment of the invention, the first filter unit 200 and the second filter unit 300 shown and described in FIG. 1 are disposed to face each other inside the housing 100, the first filter unit 200 The first filter unit 200 and the second filter unit 300 are arranged to be spaced apart from each other by a predetermined distance G so that the fluid diffused while passing therethrough is sufficiently diffused into the second filter unit 300. do.

도 1을 다시 참조하면, 본 발명에서 제1 필터 유닛(200)은 제2 필터 유닛(300)이 유체의 압력 편차에 의하여 파손되는 것을 방지하기 위해 유체의 압력을 1차적으로 감압하는 역할을 하기 때문에 제1 필터 유닛(200)은 제1 사이즈(또는 제1 길이)로 형성될 수 있고, 제2 필터 유닛(300)은 메인 필터로서 작용하기 때문에 제2 필터 유닛(300)은 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈(또는 제2 길이)로 형성될 수 있다.Referring back to FIG. 1, in the present invention, the first filter unit 200 serves to primarily reduce the pressure of the fluid to prevent the second filter unit 300 from being damaged by the pressure variation of the fluid. As a result, the first filter unit 200 may be formed in a first size (or a first length), and the second filter unit 300 may serve as a main filter. It may be formed in a large second size (or second length).

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 제1 필터 유닛의 'B' 부분 확대도이다. 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 제2 필터 유닛의 'C' 부분 확대도이다.5 is an enlarged view of a portion 'B' of the first filter unit according to the exemplary embodiment of the present invention. FIG. 6 is an enlarged view of a 'C' portion of a second filter unit according to an embodiment of the present invention. FIG.

본 발명의 일실시예에서 빈번하게 사용되는 용어인 '공극률'은 전체 부피를 내부에 형성된 공극의 부피로 나눈 비율로서 정의된다. 본 발명의 일실시예에서, 공극률이 높은 것은 내부에 공극이 상대적으로 많은 것을 의미하고, 공극률이 낮은 것은 내부에 공극이 상대적으로 적은 것을 의미하며, 따라서 공극률이 높을 경우 필터링 성능에 양호한 영향을 미치며, 공극률이 낮을 경우 경도는 증가 된다.The term 'porosity', which is frequently used in one embodiment of the present invention, is defined as the ratio of the total volume divided by the volume of the pores formed therein. In one embodiment of the present invention, a high porosity means a relatively large amount of pores therein, a low porosity means a relatively small amount of pores therein, and thus a high porosity has a good effect on filtering performance. If the porosity is low, the hardness increases.

도 5를 참조하면, 제1 필터 유닛(200)을 이루는 분말 입자들은 제1 평균 직경(D1)으로 형성되며, 제1 평균 직경(D1)을 갖는 제1 필터 유닛(200)은 제1 공극률을 갖는다.Referring to FIG. 5, the powder particles forming the first filter unit 200 may be formed to have a first average diameter D1, and the first filter unit 200 having the first average diameter D1 may have a first porosity. Have

도 6을 참조하면, 제2 필터 유닛(300)을 이루는 분말 입자들은 제1 평균 직경(D1)보다 작은 제2 평균 직경(D2)을 가지며, 제2 평균 직경(D2)을 갖는 제2 필터 유닛(300)은 제1 공극률보다 높은 제2 공극률을 갖는다.Referring to FIG. 6, the powder particles forming the second filter unit 300 have a second average diameter D2 smaller than the first average diameter D1, and a second filter unit having a second average diameter D2. 300 has a second porosity higher than the first porosity.

본 발명의 일실시예에서, 제2 공극률은, 예를 들어, 약 50% 내지 약 60%일 수 있으며, 보다 정밀한 필터링을 위해 제2 공극률은 약 60% 내지 약 80%일 수 있다. 따라서, 제2 필터 유닛(300)의 제2 공극률은, 예를 들어, 50% 내지 80%일 수 있다. 본 발명의 일실시예에서, 제2 공극률보다 낮은 제1 필터 유닛(200)의 제1 공극률은, 예를 들어, 약 30% 내지 약 40% 정도일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the second porosity may be, for example, about 50% to about 60%, and the second porosity may be about 60% to about 80% for more precise filtering. Therefore, the second porosity of the second filter unit 300 may be, for example, 50% to 80%. In one embodiment of the present invention, the first porosity of the first filter unit 200 lower than the second porosity may be, for example, about 30% to about 40%.

제1 필터 유닛(200)이 제1 공극률을 갖고, 제2 필터 유닛(300)이 제1 공극률보다 높은 제2 공극률을 가짐에 따라 제1 필터 유닛(200)은 제1 경도를 갖고, 제2 필터 유닛(300)은 제1 경도 보다 낮은 제2 경도를 갖는다. 단, 본 발명의 일실시예에서, 제2 경도는 제2 필터 유닛을 이루는 금속 분말이 갖는 경도를 의미하지 않고 금속 분말들의 집합체인 제2 필터 유닛의 경도를 의미한다.As the first filter unit 200 has a first porosity, and the second filter unit 300 has a second porosity higher than the first porosity, the first filter unit 200 has a first hardness and a second hardness. The filter unit 300 has a second hardness lower than the first hardness. However, in one embodiment of the present invention, the second hardness does not mean the hardness of the metal powder constituting the second filter unit, but refers to the hardness of the second filter unit which is a collection of metal powders.

본 발명의 일실시예에서, 제1 필터 유닛(200)이 제2 필터 유닛(300)보다 높은 경도를 갖기 때문에 제1 필터 유닛(200)은 유입되는 유체의 압력에 의하여 파손되지 않는다.In one embodiment of the present invention, since the first filter unit 200 has a higher hardness than the second filter unit 300, the first filter unit 200 is not damaged by the pressure of the fluid flowing therein.

작동 측면에서 보았을 때, 제1 하우징(110)의 유체 유입부(115)로 도입된 유체는 제1 공극률 및 제1 경도를 갖는 제1 필터 유닛(200)을 먼저 통과하면서 유체는 감압, 확산 및 1차적으로 필터링 된다.In operation terms, the fluid introduced into the fluid inlet 115 of the first housing 110 first passes through the first filter unit 200 having the first porosity and the first hardness, while the fluid is depressurized, diffused and Primary filtering.

제1 필터 유닛(200)을 통과하면서, 감압, 확산 및 필터링 된 유체는 제1 필터 유닛(200)과 이격된 제2 필터 유닛(300)으로 유입된 후 제2 필터 유닛(300)에서 2차적으로 필터링된 후 제2 하우징(120)의 유체 배출구(125)를 통해 배출된다.While passing through the first filter unit 200, the pressure-reduced, diffused, and filtered fluid flows into the second filter unit 300 spaced apart from the first filter unit 200 and then is secondary in the second filter unit 300. After filtered by the fluid is discharged through the fluid outlet 125 of the second housing (120).

본 발명의 일실시예에 따른 복합 필터(500)는 유체의 유속 및 압력이 제1 필터 유닛(200)을 통과하면서 1차적으로 감소 되고 이에 의하여 유체는 다양한 방향으로 확된 후 제2 필터 유닛(300)으로 제공됨으로써 유체의 압력 편차에 따라 취성이 약해 쉽게 파손될 수 있는 제2 필터 유닛(300)의 파손을 방지하면서 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 구현 할 수 있다.In the composite filter 500 according to the exemplary embodiment of the present invention, the flow rate and the pressure of the fluid are firstly reduced while passing through the first filter unit 200, whereby the fluid is expanded in various directions and then the second filter unit 300 is formed. By providing a) it is possible to implement a high filtering performance suitable for the semiconductor manufacturing process while preventing the breakage of the second filter unit 300 which can be easily broken due to weak brittleness according to the pressure deviation of the fluid.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 필터의 단면도이다. 도 7에 도시된 복합 필터(500)는 제2 필터 유닛(300)의 구조를 제외하면 앞서 도 1 내지 도 6에서 도시 및 설명된 복합 필터(500)와 실질적으로 동일한 구성을 갖는다. 따라서 동일한 구성에 대한 중복된 설명은 생략하기로 하며, 동일한 구성에 대해서는 동일한 명칭 및 동일한 참조 부호를 부여하기로 한다.7 is a cross-sectional view of a composite filter according to another embodiment of the present invention. The composite filter 500 illustrated in FIG. 7 has substantially the same configuration as the composite filter 500 illustrated and described above with reference to FIGS. 1 to 6 except for the structure of the second filter unit 300. Therefore, duplicate description of the same configuration will be omitted, and the same name and the same reference numerals will be given for the same configuration.

도 7을 참조하면, 복합 필터(500)는 하우징(100), 제1 필터 유닛(200) 및 제2 필터 유닛(350)을 포함한다.Referring to FIG. 7, the composite filter 500 includes a housing 100, a first filter unit 200, and a second filter unit 350.

제2 필터 유닛(350)은 높은 필터링 성능을 발생시키기 위하여 3중 구조로 형성된다.The second filter unit 350 is formed in a triple structure to generate high filtering performance.

제2 필터 유닛(350)은 한 쌍의 소결 필터부(310,320) 및 미소결 필터부(330)를 포함한다.The second filter unit 350 includes a pair of sintered filter units 310 and 320 and a fine grain filter unit 330.

소결 필터부(310,320)는 금속 분말을 소결 방식 또는 압출 방식으로 제작하여 형성되며, 소결 필터부(310,320)는 한 쌍이 상호 이격 되며 일정한 갭을 갖는 형상으로 조립된다.The sintered filter units 310 and 320 are formed by fabricating a metal powder by a sintering method or an extrusion method, and the sintered filter units 310 and 320 are assembled in a shape in which a pair is spaced apart from each other and has a predetermined gap.

소결 필터부(310,320)를 이루는 금속 분말은, 예를 들어, 스테인리스 스틸 분말, 니켈 분말 및 하스텔로이(hastelloy) 분말이 혼합되어 사용될 수 있으며, 이로 인해 소결 필터부(310,320)의 내식성을 크게 향상시킬 수 있다.The metal powder constituting the sintered filter parts 310 and 320 may be used, for example, by mixing stainless steel powder, nickel powder, and hastelloy powder, thereby greatly improving the corrosion resistance of the sintered filter parts 310 and 320. Can be.

본 발명의 일실시예에서, 소결 필터부(310,320)들을 이루는 금속 분말들은 제1 평균 사이즈를 가질 수 있고, 제1 평균 사이즈를 갖는 소결 필터부(310,320)는 제1 공극률 및 제1 경도를 갖는다.In an embodiment of the present invention, the metal powders constituting the sintered filter parts 310 and 320 may have a first average size, and the sintered filter parts 310 and 320 having the first average size have a first porosity and a first hardness. .

미소결 필터부(330)는 한 쌍의 소결 필터부(310,320)들의 사이에 형성된 공간의 내부에 배치되며, 미소결 필터부(330)는 소결되지 않은 금속 분말들을 포함한다.The micro filter unit 330 is disposed in a space formed between the pair of sintered filter units 310 and 320, and the micro filter unit 330 includes metal powders which are not sintered.

본 발명의 일실시예에서, 미소결 필터부(330)를 이루는 금속 분말들은 스테인리스 스틸 분말, 니켈 분말 및 하스텔로이(hastelloy) 분말이 혼합되어 사용될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the metal powders constituting the micro filter unit 330 may be a mixture of stainless steel powder, nickel powder and hastelloy powder.

미소결 필터부(330)는, 예를 들어, 소결 필터부(310,320)를 이루는 금속 분말들의 제1 평균 사이즈 이하인 제2 평균 사이즈를 가질 수 있고, 제2 평균 사이즈를 갖는 미소결 필터부(330)는 제1 공극률 이상인 제2 공극률 및 제1 경도 이하인 제2 경도를 갖는다.The micro filter unit 330 may have, for example, a second average size equal to or less than a first average size of the metal powders constituting the sintered filter units 310 and 320, and the micro filter unit 330 having a second average size. ) Has a second porosity equal to or greater than the first porosity and a second hardness equal to or less than the first hardness.

본 발명의 일실시예에서, 미소결 필터부(330)의 제2 평균 사이즈는 약 10㎛이고, 미소결 필터부(330)의 제2 공극률은 약 50% 내지 약 80%일 수 있다.In an embodiment of the present invention, the second average size of the micro filter unit 330 may be about 10 μm, and the second porosity of the micro filter unit 330 may be about 50% to about 80%.

본 발명의 일실시예에서, 소결 필터부(310,320)는 제1 공극률 및 제1 경도를 갖기 때문에 깨지거나 손상되지 않는 장점을 갖는 반면 필터 성능이 낮은 단점을 갖는다.In one embodiment of the present invention, the sintered filter unit 310, 320 has a first porosity and a first hardness has the advantage of being not broken or damaged while having a low filter performance.

한편 이와 같은 소결 필터부(310,320)의 단점은 제1 공극률 이상인 제2 공극률을 갖음으로써 필터 성능이 매우 우수한 미소결 필터부(330)에 의하여 극복될 수 있으며 미소결 필터부(330)의 단점인 매우 낮은 제2 경도는 소결 필터부(310,320)의 상대적으로 높은 제1 경도에 의하여 극복될 수 있다.On the other hand, the disadvantages of the sintered filter unit 310 and 320 can be overcome by the fine filter unit 330 having excellent filter performance by having a second porosity greater than or equal to the first porosity, which is a disadvantage of the fine filter unit 330. The very low second hardness may be overcome by the relatively high first hardness of the sintered filter portions 310 and 320.

비록 도 7에는 제2 필터 유닛(350)이 소결 필터부(310,320) 및 미소결 필터부(330)를 포함하는 것이 도시 및 설명되고 있지만, 이와 다르게 제1 필터 유닛(200)을 제2 필터 유닛(350)과 동일한 구조로 형성할 수 있다.Although FIG. 7 illustrates that the second filter unit 350 includes the sintered filter units 310 and 320 and the fine grain filter unit 330, the first filter unit 200 may be replaced with the second filter unit. It may be formed in the same structure as (350).

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 본 발명에 의한 복합 필터는 반도체 제조 공정에 적합한 높은 필터링 성능을 만족하면서 필터링에 따른 압력 편차 또는 압력 손실에 의한 필터 부재의 파손을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.As described in detail above, the composite filter according to the present invention has the effect of preventing the breakage of the filter member due to pressure variation or pressure loss due to filtering while satisfying a high filtering performance suitable for a semiconductor manufacturing process.

한편, 본 도면에 개시된 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.On the other hand, the embodiments disclosed in the drawings are merely presented specific examples to aid understanding, and are not intended to limit the scope of the invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention can be carried out in addition to the embodiments disclosed herein.

500...복합 필터 100...하우징
200...제1 필터 유닛 300...제2 필터 유닛500 ... composite filter 100 ... housing
200 ... first filter unit 300 ... second filter unit

Claims (9)

유체가 도입되는 유체 도입부가 형성된 제1 하우징, 상기 제1 하우징에 결합되어 수납공간을 형성하며 필터링된 상기 유체가 배출되는 유체 배출부가 형성된 제2 하우징을 포함하는 하우징;
상기 제1 하우징에 결합 되어 상기 유체 도입부를 통과한 상기 유체의 압력을 감압, 상기 유체를 확산 및 상기 유체를 1차 필터링 하는 일측단이 개방된 통 형상을 갖는 제1 필터 유닛; 및
상기 수납공간 내에서 상기 제2 하우징에 결합 되어 상기 유체가 상기 유체 배출부를 통과하기 이전에 상기 유체를 2차 필터링 하는 일측단이 개방된 통 형상을 갖는 제2 필터 유닛을 포함하며,
상기 제1 필터 유닛은 상기 제1 필터 유닛의 전체 부피 대비 공극의 부피의 비율인 제1 공극률을 갖고, 상기 제2 필터 유닛은 상기 제2 필터 유닛의 전체 부피 대비 공극의 부피의 비율로서 상기 제1 공극률보다 큰 제2 공극률을 갖고,
상기 제1 필터 유닛은 상기 제1 하우징에 결합된 제1 측벽 및 상기 제1 측벽에 연결되며 상기 유체 도입부와 마주하게 배치된 제1 상판을 포함하고,
상기 제2 필터 유닛은 상기 제2 하우징에 결합된 제2 측벽 및 상기 제2 측벽에 연결되며 상기 유체 배출부와 마주하게 형성된 제2 상판을 포함하며,
상기 제1 필터 유닛의 상기 제1 측벽 및 상기 제1 상판을 각각 통과하면서 감압, 확산 및 필터링 된 유체는 상기 제2 필터 유닛의 상기 제2 측벽 및 상기 제2 상판을 각각 통과해 유입되며,
상기 제1 상판 및 제2 상판은 상호 마주하면서 상호 이격된 상태로 배치되어, 유체가 상기 제1 필터 유닛의 상기 제1 상판 및 상기 제1 측벽으로부터 배출되어 확산된 후 상기 제2 필터 유닛의 상기 제2 상판 및 제2 측벽으로 유입되며,
상기 제1 필터 유닛은 압력 편차에 의한 파손을 방지하기 위해 상기 제1 공극률에 의해 제1 경도로 형성되고, 상기 제2 필터 유닛은 필터 성능을 향상시키기 위해 상기 제2 공극률에 의해 상기 제1 경도보다 낮은 제2 경도로 형성되며,
상기 제1 필터 유닛 및 상기 제2 필터 유닛은 상기 하우징 내부에 형성된 상기 수납공간 내에 상호 접촉되지 않게 이격되어 배치되는 복합 필터.A housing including a first housing having a fluid introduction portion through which a fluid is introduced, a second housing coupled to the first housing to form a receiving space, and a fluid discharge portion through which the filtered fluid is discharged;
A first filter unit coupled to the first housing and having a tubular shape having one end opened to depressurize the pressure of the fluid passing through the fluid introduction part, to diffuse the fluid, and to first filter the fluid; And
A second filter unit coupled to the second housing in the accommodation space and having a tubular shape having one end opened to secondly filter the fluid before the fluid passes through the fluid discharge part;
The first filter unit has a first porosity that is the ratio of the volume of the voids to the total volume of the first filter unit, and the second filter unit is the first filter unit as the ratio of the volume of the voids to the total volume of the second filter unit. Has a second porosity greater than one porosity,
The first filter unit includes a first side wall coupled to the first housing and a first top plate connected to the first side wall and disposed to face the fluid introduction portion,
The second filter unit includes a second sidewall coupled to the second housing and a second top plate connected to the second sidewall and facing the fluid discharge portion.
The pressure-reduced, diffused and filtered fluid flowing through the first side wall and the first top plate of the first filter unit respectively passes through the second side wall and the second top plate of the second filter unit, respectively.
The first top plate and the second top plate are disposed to face each other while being spaced apart from each other, so that the fluid is discharged from the first top plate and the first side wall of the first filter unit to be diffused, and then the Flows into the second top plate and the second sidewall,
The first filter unit is formed at a first hardness by the first porosity to prevent breakage due to pressure variation, and the second filter unit is formed at the first hardness by the second porosity to improve filter performance. Is formed with a lower second hardness,
The first filter unit and the second filter unit is a composite filter disposed spaced apart from each other in the receiving space formed inside the housing. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2 공극률은 50% 내지 80%인 복합 필터.The method of claim 1,
The second porosity is 50% to 80% composite filter. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 하우징에는 제1 교환부가 형성되고, 상기 제 2 하우징에는 상기 제1 교환부와 착탈 가능하게 결합되는 제2 교환부가 형성된 복합 필터.The method of claim 1,
The first housing is formed in the first housing, the second housing is a composite filter formed with a second exchanger detachably coupled to the first exchanger. 삭제delete
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Free format text: TRIAL NUMBER: 2019101000931; TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20190320

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