KR102027689B1

KR102027689B1 - Double Valve Disc Type Mass Flow Meter and Manufacturing Method Thereof

Info

Publication number: KR102027689B1
Application number: KR1020180032949A
Authority: KR
Inventors: 민병광
Original assignee: 엠케이프리시젼 주식회사
Priority date: 2018-03-21
Filing date: 2018-03-21
Publication date: 2019-10-01

Abstract

The present invention relates to a double valve disk type mass flowmeter and, more specifically, to a double valve disk type mass flowmeter, which has remarkably improved assembly performance by changing design to assemble a part of multiple nozzles at a lower end, and a manufacturing method for the same. According to the present invention, the double valve disk type mass flowmeter includes: a flow rate detecting unit (3); and a flow rate control unit (4) having an upper valve disk (620) and a lower valve disk (630), which control a flow rate by opening and closing the upper nozzle (300), a lower nozzle (400), and each of the upper and lower nozzles (300, 400). The flow rate control unit (4) comprises a main body (100) and a valve body (200). The valve body (200) is an assembly which includes the upper nozzle (300), the upper valve disk (620), and the lower valve disk (630). The lower nozzle (400) is inserted into the lower part of the valve body (200) and connected at the depth in which the lower nozzle (400) is in contact with the lower valve disk (630).

Description

Double valve disc mass flow meter with improved assembly and manufacturing method thereof {Double Valve Disc Type Mass Flow Meter and Manufacturing Method Thereof}

본 발명은 더블 밸브디스크 타입 질량유량계에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 복수의 노즐 중 일부를 하단에서 조립 가능하도록 설계를 변경함으로써, 조립성이 획기적으로 향상된 더블 밸브디스크 질량유량계 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a double valve disc mass flow meter, and more particularly, to a double valve disc mass flow meter and a method for manufacturing the same by changing the design to be able to assemble a part of the plurality of nozzles at the lower end. will be.

일반적으로 가스나 유체의 유량을 측정하기 위한 유량계로서 열식 질량유량계가 자주 사용된다.In general, a thermal mass flow meter is frequently used as a flow meter for measuring the flow rate of a gas or a fluid.

열식 질량유량계는 흐르고 있는 유체 중에 가열된 물체를 놓으면 유체와 가열된 물체 사이에 열교환이 이루어져 가열된 물체가 냉각되고, 그 냉각율이 유속의 함수가 된다는 원리를 이용하여 가열된 물체의 온도를 측정함으로써 유속과 그에 따른 질량유량을 구하는 유량계이다.The thermal mass flow meter measures the temperature of a heated object by using the principle that when a heated object is placed in a flowing fluid, heat is exchanged between the fluid and the heated object to cool the heated object, and the cooling rate becomes a function of the flow rate. The flowmeter calculates the flow rate and the mass flow rate.

도 1은 종래의 열식 질량유량계를 나타낸다.1 shows a conventional thermal mass flow meter.

열식 질량유량계는 크게 유량검출부(3)와 유량제어부(4)로 구성된다.The thermal mass flow meter is largely composed of a flow rate detection section 3 and a flow rate control section 4.

질량유량계의 유입플랜지(1)가 유체 흐름 상류의 배관(미도시)과 연결되며, 유출플랜지(2)는 흐름 하류의 배관(미도시)과 연결되어 유로가 구성된다.The inflow flange 1 of the mass flow meter is connected with a pipe (not shown) upstream of the fluid flow, and the outflow flange 2 is connected with a pipe (not shown) downstream of the flow to form a flow path.

유량검출부(3)는 앞서 설명한 열식 측정방법으로 배관에 흐르는 유량을 측정하며, 유량제어부(4)는 밸브 구조에 의해 유량을 조절한다.The flow rate detection unit 3 measures the flow rate flowing in the pipe by the thermal measurement method described above, the flow rate control unit 4 adjusts the flow rate by the valve structure.

도 2는 종래의 열식 질량유량계의 내부 구조를 간략히 도시한다.2 briefly illustrates the internal structure of a conventional thermal mass flow meter.

유입플랜지(1)의 유입구(11)로 들어온 유체가 세관(31)을 지나며 층류화 하고, 바이패스를 갖는 유량검출부(3)에 의해 유량이 측정된다.The fluid entering the inlet 11 of the inlet flange 1 laminarizes through the tubule 31, and the flow rate is measured by the flow rate detection unit 3 having a bypass.

세관(31)을 지난 유체는 이중의 밸브시트(6, 7)를 통과해 유출플랜지(2)의 유출구(21)를 통해 하류 배관(미도시)으로 빠져 나간다.The fluid passing through the tubule 31 passes through the double valve seats 6 and 7 and exits through the outlet 21 of the outlet flange 2 to the downstream pipe (not shown).

밸브시트(6, 7)는 일반적으로 하나의 노즐과 밸브디스크로 구성되는 것이 일반적이나, 미세한 유량 조절을 위해 도 2에 도시한 바와 같이 이중으로 복수 밸브시트(6, 7)를 구성할 수도 있다.The valve seats 6 and 7 are generally composed of one nozzle and a valve disc, but may be configured as a plurality of valve seats 6 and 7 as shown in FIG. 2 for fine flow rate control. .

도 2는 본 출원인이 먼저 출원하여 특허로 등록받은 더블 밸브디스크 타입 질량유량계인 바, 좀 더 자세한 사항은 한국등록특허 제10-1749954호를 참조하면 된다.2 is a double valve disc type mass flow meter which the applicant first applied for and registered as a patent. For more details, refer to Korean Patent No. 10-1749954.

종래의 더블 밸브디스크 타입 질량유량계는 상단노즐(6)과 상단밸브디스크(51) 및 하단노즐(7)과 하단밸브디스크(52)를 포함한다.The conventional double valve disc type mass flow meter includes an upper nozzle 6 and an upper valve disc 51 and a lower nozzle 7 and a lower valve disc 52.

상단밸브디스크(51)와 하단밸브디스크(52)는 밸브축(53)에 의해 이동간(5)과 연결되어 솔레노이드(41)의 전기력에 의해 상하 이동하면서 각각 상단노즐(6)과 하단노즐(7)을 선택적으로 개폐하는바, 노즐(6, 7)이 열린 경우 세관(31)을 지난 유체는 상단유도로(61)과 하단유도로(71)를 통과해 유출구(21)로 나가게 된다.The upper valve disc 51 and the lower valve disc 52 are connected to the movement rod 5 by the valve shaft 53 and moved up and down by the electric force of the solenoid 41, respectively, and the upper nozzle 6 and the lower nozzle 7 are respectively. ) Selectively opening and closing the bar, when the nozzles 6 and 7 are opened, the fluid passing through the tubule 31 passes through the upper inlet 61 and the lower inlet 71 to exit the outlet 21.

상단밸브디스크(51)와 하단밸브디스크(52)의 개폐 정도에 따라 유량이 결정된다.The flow rate is determined according to the opening and closing degree of the upper valve disk 51 and the lower valve disk 52.

종래의 열식 질량유량계에서 상단밸브디스크(51)와 하단밸브디스크(52) 사이의 간극과 상단노즐(6)과 하단노즐7) 사이의 간극은 이론적으로 동일해야 정확한 질량 제어가 가능하다. 양자 간에 차이가 있는 경우 상단노즐(6)이나 하단노즐(7) 둘 중에 하나는 열려 있게 되어 리크(leak)가 발생한다.In the conventional thermal mass flow meter, the gap between the upper valve disc 51 and the lower valve disc 52 and the gap between the upper nozzle 6 and the lower nozzle 7 are theoretically the same to enable accurate mass control. If there is a difference between the two, either the upper nozzle 6 or the lower nozzle 7 is left open to generate a leak.

종래의 열식 질량유량계에서 본 출원인은 도 2에 도시한 바와 같이 하단노즐(7)을 볼트형 조립식 노즐로 형성하고, 바디의 노즐체결구(72)에 나삽을 함으로써 볼트형 하단노즐(7)의 회전량에 따라 상단노즐(6)과 하단노즐(7) 사이의 간극을 상단밸브디스크(51)와 하단밸브디스크(52) 사이의 간극과 일치시키는 발명을 제안한 바 있다.In the conventional thermal mass flow meter, the applicant forms the lower nozzle 7 as a bolt-type assembly nozzle as shown in FIG. 2, and by screwing into the nozzle fastening hole 72 of the body, According to the amount of rotation, an invention in which the gap between the upper nozzle 6 and the lower nozzle 7 matches the gap between the upper valve disk 51 and the lower valve disk 52 has been proposed.

그러나 본 출원인의 종래 열식 질량유량계는 양자 간극을 동일하게 맞출 수 있다는 장점은 있었으나, 하단노즐(7)의 회전량을 조절하자면 솔레노이드(41) 및 하우징(4)을 포함해 전체 부품을 조립했다가 다시 모두 푸는 과정을 반복해야 하는 문제점이 있다.However, the conventional thermal mass flow meter of the applicant has the advantage that the quantum gap can be equally adjusted, but to adjust the amount of rotation of the lower nozzle 7, the entire parts including the solenoid 41 and the housing 4 are assembled. There is a problem that must be solved again.

즉, 전체 부품을 조립해 질량유량계를 구성하였는데, 테스트 결과 상단밸브디스크(51)와 하단밸브디스크(52)를 모두 닫히도록 제어했는데도 가스 리크가 발생한다면 모든 부품을 풀고 하단노즐(7)의 회전량을 다시 조정하여야 한다는 문제점이 있다.That is, the mass flowmeter was constructed by assembling all the parts. If the gas leak occurs even though the test results are controlled to close both the upper valve disc 51 and the lower valve disc 52, loosen all the parts and rotate the lower nozzle (7). There is a problem that the total amount must be adjusted again.

이런 지루한 조절 과정을 가스 리크가 발생하지 않을 때까지 반복하여야 한다.This tedious adjustment process must be repeated until no gas leak occurs.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 밸브 바디만 조립하여 리크 검사가 가능하고 하단노즐의 위치를 조정 가능하게 설계함으로써, 조립성이 획기적으로 향상된 더블 밸브디스크 타입 질량유량계와 이의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, by assembling only the valve body is possible to check the leak and to adjust the position of the lower nozzle, the double valve disc type mass flow meter dramatically improved the assembly performance and its manufacturing method Is to provide.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유량검출부(3); 상단노즐(300) 및 하단노즐(400)과 상기 상하단 노즐(300, 400) 각각을 개폐하여 유량을 조절하는 상단밸브디스크(620) 및 하단밸브디스크(630)를 갖는 유량제어부(4);를 포함하는 더블 밸브디스크 타입 질량유량계에 있어서, 상기 유량제어부(4)가 메인바디(100)와 밸브바디(200)로 분리되어 구성되고, 상기 밸브바디(200)는 상기 상단노즐(300), 상단밸브디스크(620) 및 하단밸브디스크(630)가 조립되는 조립체이며, 상기 하단노즐(400)은 밸브바디(200)의 하부에서 삽입되어 상기 하단밸브디스크(630)에 접하는 정도의 깊이로 결합되는 것이 특징인 더블 밸브디스크 타입 질량유량계를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a flow detection unit (3); A flow rate control part 4 having an upper valve disc 620 and a lower valve disc 630 for controlling the flow rate by opening and closing each of the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400 and the upper and lower nozzles 300 and 400; In the double valve disk type mass flow meter including, the flow control unit 4 is composed of a main body 100 and the valve body 200 is configured, the valve body 200 is the upper nozzle 300, the upper end The valve disk 620 and the lower valve disk 630 is assembled, the lower nozzle 400 is inserted into the lower portion of the valve body 200 is coupled to a depth enough to contact the lower valve disk 630. A double valve disc type mass flow meter is provided.

여기서, 상기 밸브바디(200)의 하부에는 하단노즐(400)이 삽입되는 노즐체결구(230)가 형성되어 있고, 상기 노즐체결구(230)는 일종의 구멍 형태로 그 내주 표면이 하단노즐(400)의 외주 표면과 형상이 일치하여 엄밀하게 결합되는 것이 바람직하다.Here, the nozzle fastener 230 is formed in the lower portion of the valve body 200 is inserted into the lower nozzle 400, the nozzle fastener 230 is a type of hole in the inner peripheral surface of the lower nozzle 400 It is preferable that the shape coincides with the outer circumferential surface of the c) and is tightly coupled.

또한, 상기 메인바디(100)는 상기 하단노즐(400)이 결합되는 측면에 상기 밸브바디(200)와 결합되어 하단노즐(400)이 외력의 영향을 받아 회전해 노즐(300, 400)간의 간극이 변경되지 않도록 유지하는 것이 바람직하다.In addition, the main body 100 is coupled to the valve body 200 on the side to which the lower nozzle 400 is coupled, the lower nozzle 400 is rotated under the influence of the external force, the gap between the nozzle (300, 400) It is desirable to keep it unchanged.

이에 더해, 상기 하단노즐(400)은 하단노즐팁(410)과 하단노즐나사부(420)로 구성되어, 하단노즐(400)을 회전시킴에 따라 삽입 깊이가 달라져 상단노즐(300)과의 간극이 조절되는 것이 더욱 바람직하다.In addition, the lower nozzle 400 is composed of a lower nozzle tip 410 and the lower nozzle screw portion 420, the insertion depth is changed by rotating the lower nozzle 400, the gap between the upper nozzle 300 More preferably, it is adjusted.

더 나아가, 상기 하단노즐(400)은 한 개 이상의 오링(440)을 더 포함하는 것이 더더욱 바람직하다.Furthermore, the lower nozzle 400 further includes one or more o-rings 440.

본 발명은 다른 일면으로서, 상단노즐(300) 및 하단노즐(400)과 상기 상하단 노즐(300, 400) 각각을 개폐하여 유량을 조절하는 상단밸브디스크(620) 및 하단밸브디스크(630)를 갖는 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 밸브바디 조립체(200) 조립검사 지그(700)에 있어서, 상기 지그(700)는 밸브바디 조립체(200)를 지지하는 베이스(710); 검사용 가스를 밸브바디 조립체(200)에 주입하는 제1접속피팅(760); 리크 가스를 추출하는 제2접속피팅(770); 가스 리크량을 확인할 수 있는 질량유량측정기(720)를 포함하는 것이 특징인 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 밸브바디 조립체(200) 조립검사 지그를 제공한다.As another aspect of the present invention, the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400 and the upper and lower nozzles 300 and 400, respectively, having an upper valve disc 620 and a lower valve disc 630 to control the flow rate. A valve body assembly (200) assembly inspection jig (700) of a double valve disc type mass flow meter, the jig (700) comprising: a base (710) for supporting the valve body assembly (200); A first connection fitting 760 for injecting a test gas into the valve body assembly 200; A second connection fitting 770 for extracting the leak gas; It provides a valve body assembly 200 assembly inspection jig of a double valve disc type mass flow meter, characterized in that it comprises a mass flow meter (720) capable of confirming the gas leak amount.

여기서, 상기 조립검사 지그(700)는 회전 가능한 리크 가스 추출용 회전피팅(780)을 추가로 포함하고, 상기 회전피팅(780)은 상기 노즐(300, 400) 중 어느 하나와 접속되어 회전함에 따라 노즐(300, 400)의 삽입 깊이를 조절하여 리크가 발생하지 않을 때까지 조정 가능한 것이 유리하다.Here, the assembly inspection jig 700 further includes a rotatable leak gas extraction rotation fitting 780, and the rotation fitting 780 is connected to any one of the nozzles 300 and 400 and rotates. It is advantageous to be able to adjust the insertion depth of the nozzles 300, 400 until no leakage occurs.

이에 더해, 상기 지그(700)는 회전모터(730)를 더 포함하고, 상기 회전모터(730)는 상기 회전피팅(780)을 좌우 회전시키며, 상기 회전모터(730)가 상기 질량유량측정기(720)와 상호 전기적 신호를 주고받아 리크가 발생하지 않도록 피드백 제어하는 것이 더욱 유리하다.In addition, the jig 700 further includes a rotation motor 730, the rotation motor 730 rotates the rotation fitting 780 left and right, the rotation motor 730 is the mass flow meter 720 It is more advantageous to control feedback so that leakage does not occur by exchanging the electrical signals with each other.

본 발명은 또 다른 일면으로서, 상단노즐(300) 및 하단노즐(400)과 상기 상하단 노즐(300, 400) 각각을 개폐하여 유량을 조절하는 상단밸브디스크(620) 및 하단밸브디스크(630)를 갖는 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 밸브바디 조립체(200)의 조립 방법에 있어서, 밸브바디(200)의 하부 노즐체결구(230)에 하단노즐(400)을 임시로 나삽하는 제1단계(S200); 검사용 가스를 밸브바디 조립체(200)에 공급하는 제2단계(S400); 질량유량측정기(720)로 가스 리크량을 확인하는 제3단계(S500); 상단노즐(300)과 하단노즐(400)의 간극이 상단밸브디스크(620)와 하단밸브디스크(630) 간의 간극과 맞아 더 이상 리크가 발생하지 않을 때까지 하단노즐(400)을 회전시켜 삽입 깊이를 변경하는 제4단계(S600);를 포함하는 것이 특징인 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 밸브바디 조립체(200)의 조립 방법를 제공한다.According to another aspect of the present invention, an upper valve disc 620 and a lower valve disc 630 for controlling flow rates by opening and closing each of the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400 and the upper and lower nozzles 300 and 400 are provided. In the assembling method of the valve body assembly 200 of the double valve disk type mass flow meter having a first step (S200) to temporarily insert the lower nozzle 400 to the lower nozzle fastener 230 of the valve body 200 ; Supplying a gas for inspection to the valve body assembly 200 (S400); A third step (S500) of checking a gas leak amount with a mass flow meter 720; Insertion depth of the lower nozzle 400 is rotated until the gap between the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400 matches the gap between the upper valve disk 620 and the lower valve disk 630 and no further leakage occurs. It provides a method of assembling the valve body assembly 200 of the double valve disc type mass flow meter, comprising; a fourth step (S600) to change the.

여기서, 상기 제4단계(S600)에서 상기 하단노즐(400)을 회전시킬 때 회전모터(730)를 이용하되, 상기 회전모터(730)를 제3단계(S500)에서 확인된 리크량에 기초해 피드백 제어하는 것이 바람직하다.In this case, the rotary motor 730 is used to rotate the lower nozzle 400 in the fourth step S600, but the rotation motor 730 is based on the amount of leaks identified in the third step S500. It is desirable to control feedback.

본 발명에서 제공하는 조립성이 향상된 더블 밸브디스크 질량유량계는 밸브바디만 조립하여 가스 리크 검사가 가능하므로 작업성이 향상된다는 장점이 있다.The double valve disc mass flow rate improved assembly provided by the present invention has the advantage that the workability is improved because only the valve body can be assembled gas inspection.

본 발명에서 제공하는 조립성이 향상된 더블 밸브디스크 질량유량계는 밸브바디에 조립한 상태에서 하단노즐의 위치를 조정 가능하므로 생산성이 향상된다는 장점이 있다.The double valve disc mass flowmeter improved in the assembly provided by the present invention has the advantage of improving productivity since the position of the lower nozzle can be adjusted in an assembled state on the valve body.

본 발명에서 제공하는 조립성이 향상된 더블 밸브디스크 질량유량계는 밸브 조립 단계를 나누고 완료 시에 조립품 단위로 재고 보관이 가능하여 작업의 반복성이 향상된다는 장점이 있다.The double valve disc mass flow rate improved assembly provided by the present invention has the advantage that the repeatability of the operation can be improved by dividing the valve assembly step and inventory storage in the unit of assembly upon completion.

도 1은 종래의 더블 밸브디스크 질량유량계의 사시도
도 2는 종래의 더블 밸브디스크 질량유량계의 조립 구조 및 유체 흐름을 나타내는 절단면도
도 3은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 유량제어부의 조립 구조를 나타내는 절단면도
도 4는 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 조립 구조를 나타내는 유량제어부 절단면도
도 5는 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 조립 방법을 설명하기 위한 유량제어부 절단면도
도 6은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 조립 방법을 설명하기 위한 유량제어부의 다른 절단면도
도 7은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 밸브 조립체와 메인바디의 조립 상태를 나타내는 유량제어부 절단면도
도 8은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 유체 흐름을 설명하기 위한 유량제어부 절단면도
도 9는 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 구조를 나타내는 사시도
도 10은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 조립 지그를 나타내는 사시도
도 11은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 제조방법을 설명하는 순서도1 is a perspective view of a conventional double valve disk mass flow meter
Figure 2 is a cross-sectional view showing the assembly structure and fluid flow of a conventional double valve disk mass flow meter
Figure 3 is a cross-sectional view showing the assembly structure of the flow control unit of the double valve disk mass flow meter of the present invention
4 is a cross-sectional view of a flow control unit showing an assembly structure of a lower nozzle of a double valve disc mass flow meter of the present invention;
5 is a cross-sectional view of a flow control unit for explaining a method of assembling the lower nozzle of the double valve disc mass flow meter of the present invention;
6 is another sectional view of the flow control unit for explaining a method of assembling the lower nozzle of the double valve disc mass flow meter of the present invention;
7 is a cross-sectional view of a flow control unit showing an assembled state of a valve assembly and a main body of the double valve disc mass flow meter of the present invention;
8 is a cross-sectional view of a flow control unit for explaining the fluid flow of the double valve disk mass flow meter of the present invention;
Figure 9 is a perspective view showing the structure of the lower nozzle of the double valve disk mass flow meter of the present invention
10 is a perspective view showing the assembly jig of the double valve disk mass flow meter of the present invention.
11 is a flow chart illustrating a manufacturing method of a double valve disc mass flow meter of the present invention.

본 발명의 구체적 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 자세히 설명한다.Specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 종래의 더블 밸브디스크 질량유량계의 조립 구조 및 유체 흐름을 나타내는 절단면도이고, 도 3은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 유량제어부의 조립 구조를 나타내는 절단면도이며, 도 4는 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 조립 구조를 나타내는 유량제어부 절단면도이다.2 is a cross-sectional view showing the assembling structure and the fluid flow of the conventional double valve disc mass flow meter, Figure 3 is a cross-sectional view showing the assembly structure of the flow control unit of the double valve disc mass flow meter of the present invention, Figure 4 is a present invention Fig. 1 is a sectional view of the flow control section showing the assembly structure of the lower nozzle of the double valve disc mass flow meter.

도 5는 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 조립 방법을 설명하기 위한 유량제어부 절단면도이고, 도 6은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 조립 방법을 설명하기 위한 유량제어부의 다른 절단면도이며, 도 7은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 밸브 조립체와 메인바디의 조립 상태를 나타내는 유량제어부 절단면도이다.5 is a cross-sectional view of a flow control unit for explaining a method of assembling the lower nozzle of the double valve disc mass flow meter of the present invention, and FIG. 6 is a flow control unit for explaining a method of assembling the bottom nozzle of the double valve disc mass flow meter of the present invention. Fig. 7 is a cross-sectional view of a flow control section showing an assembled state of a valve assembly and a main body of the double valve disc mass flow meter of the present invention.

한편, 도 8은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 유체 흐름을 설명하기 위한 유량제어부 절단면도이고, 도 9는 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 하단노즐의 구조를 나타내는 사시도이며, 도 10은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 조립 지그를 나타내는 사시도이다.8 is a cross-sectional view of a flow control part for explaining the fluid flow of the double valve disc mass flow meter of the present invention, FIG. 9 is a perspective view showing the structure of a lower nozzle of the double valve disc mass flow meter of the present invention, and FIG. It is a perspective view which shows the assembling jig of the double valve disc mass flow meter of this invention.

또한, 도 11은 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계의 제조방법을 설명하는 순서도11 is a flowchart for explaining a method for manufacturing a double valve disc mass flow meter of the present invention.

종래 기술과 다르지 않은 부분으로서 발명의 기술적 사상을 이해하는데 필요하지 않은 사항은 설명에서 제외하나, 본 발명의 기술적 사상과 그 보호범위가 이에 제한되는 것은 아니다.Matters that are not required to understand the technical spirit of the invention as parts that are not different from the prior art are excluded from the description, but the technical spirit and protection scope of the present invention are not limited thereto.

먼저 도 3 및 도 4를 이용하여 본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계를 자세히 설명한다.First, the double valve disk mass flow meter of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.

본 발명의 더블 밸브디스크 질량유량계는 유량제어부(4)가 메인바디(100)와 밸브바디(200)로 분리되어 구성되고, 하단노즐(400)이 밸브바디(200)의 하부에서 결합되는 것이 특징이다.Double valve disk mass flow meter of the present invention is characterized in that the flow control unit 4 is divided into the main body 100 and the valve body 200, the lower nozzle 400 is coupled to the lower portion of the valve body 200 to be.

밸브바디(200)의 상부에는 상단노즐(300)이 결합되고, 상기 상단노즐(300)을 실린더(500)가 가압접합부(520)를 이용해 밸브바디(200)에 접합시킨다.The upper nozzle 300 is coupled to the upper portion of the valve body 200, and the upper nozzle 300 is joined to the valve body 200 by the cylinder 500 using the pressure bonding part 520.

실린더(500)에는 솔레노이드(510)가 실린더(500)의 내면을 따라 원통형으로 재치되는바, 그 솔레노이드(510)의 내부에 이동간(610)이 위치한다.In the cylinder 500, the solenoid 510 is placed in a cylindrical shape along the inner surface of the cylinder 500, and the moving rod 610 is positioned inside the solenoid 510.

이동간(610)은 솔레노이드(510)의 전기력에 의해 상단 및 하단 밸브디스크(600)를 상하로 이동시켜 상단노즐(300) 및 하단노즐(400)을 개폐한다.The moving part 610 opens and closes the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400 by moving the upper and lower valve discs 600 up and down by the electric force of the solenoid 510.

밸브바디(200)의 하부에는 하단노즐(400)이 삽입되는 노즐체결구(230)가 형성되어 있다.A nozzle fastening hole 230 into which the lower nozzle 400 is inserted is formed at the lower portion of the valve body 200.

도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이 노즐체결구(230)에 하단노즐(400)이 결합되면 하단노즐(400)의 하단노즐팁(410)에 하단밸브디스크(630)의 하면이 맞닿게 된다.5 and 6, when the lower nozzle 400 is coupled to the nozzle fastener 230, the lower surface of the lower valve disc 630 comes into contact with the lower nozzle tip 410 of the lower nozzle 400. .

상기 노즐체결구(230)는 일종의 구멍 형태로 된 것으로 그 내주 표면이 하단노즐(400)의 외주 표면과 형상이 일치하여 엄밀하게 결합될 수 있다.The nozzle fastener 230 is in the form of a hole, and its inner circumferential surface may be rigidly coupled to match the shape of the outer circumferential surface of the lower nozzle 400.

상기 하단노즐(400)이 노즐체결구(230)에 어느 정도 깊이로 삽입되느냐에 따라 상단노즐(300)과 하단노즐(400) 사이의 간극이 결정된다. 하단노즐(400)이 노즐체결구(230)에 깊이 삽입되면 노즐(300, 400) 상호간의 간극이 줄어든다.The gap between the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400 is determined depending on how deeply the lower nozzle 400 is inserted into the nozzle fastener 230. When the lower nozzle 400 is deeply inserted into the nozzle fastener 230, the gap between the nozzles 300 and 400 is reduced.

본 발명에서 상단밸브디스크(620)와 하단밸브디스크(630) 간의 간극은 미리 결정되는바, 하단노즐(400)의 삽입 깊이를 조절하여 상기 밸브디스크(620, 630) 간의 간극과 쉽게 일치시킬 수 있다.In the present invention, the gap between the upper valve disk 620 and the lower valve disk 630 is determined in advance, by adjusting the insertion depth of the lower nozzle 400 can easily match the gap between the valve disk (620, 630). have.

본 발명 질량유량계는 밸브바디(200)와 메인바디(100)가 상호 분리되어 구성되는바, 밸브바디(200) 조립품을 제작하는 과정에서 미리 하단밸브(400)의 삽입 깊이를 조정하여 밸브디스크(620, 630)간의 간극과 일치시킬 수 있어 가스 리크를 쉽게 방지할 수 있다는 장점이 있다.In the present invention, the mass flow meter is configured to separate the valve body 200 and the main body 100 from each other. In the process of manufacturing the valve body 200 assembly, the valve disc 200 may be adjusted by adjusting the insertion depth of the lower valve 400 in advance. It is possible to match the gap between the 620 and 630, there is an advantage that can easily prevent the gas leak.

설혹 하단노즐(400)의 삽입 깊이가 맞지 않아 리크가 발생하더라도 밸브바디 조립체(200) 상태에서 하단노즐(400)의 삽입 깊이를 조정할 수 있는바, 종전의 지루한 조정 작업이 획기적으로 개선된다.Even if the insertion depth of the lower nozzle 400 does not match, even if leakage occurs, it is possible to adjust the insertion depth of the lower nozzle 400 in the state of the valve body 200, and the conventional tedious adjustment work is greatly improved.

도 7에 도시한 바와 같이, 상기 하단노즐(400)을 밸브바디(200)의 노즐체결구(230)에 삽입해 노즐(300, 400) 상호 간의 간극을 밸브디스크(620, 630) 간극과 일치시킨 후, 밸브바디(200) 조립체를 메인바디(100)와 결합한다.As shown in FIG. 7, the lower nozzle 400 is inserted into the nozzle fastener 230 of the valve body 200 so that the gap between the nozzles 300 and 400 coincides with the gap between the valve discs 620 and 630. After the assembly, the valve body 200 is coupled to the main body 100.

메인바디(100)는 하단노즐(400)이 외력에 영향을 받아 회전해 노즐(300, 400)간의 간극이 변경되지 않도록 유지하는 역할을 한다.The main body 100 serves to keep the lower nozzle 400 rotated under the influence of the external force so that the gap between the nozzles 300 and 400 is not changed.

밸브바디(200)와 메인바디(100)가 상호 접합됨에 따라 메인바디(100)의 제1유도로(130)와 밸브바디(200)의 제4유도로(210)가 상호 연결되어 하나의 유체 통로를 구성한다.As the valve body 200 and the main body 100 are bonded to each other, the first induction path 130 of the main body 100 and the fourth induction path 210 of the valve body 200 are connected to each other to form a single fluid. Configure the passageway.

밸브바디(200)와 메인바디(100)가 상호 접합됨에 따라 메인바디(100)의 제3유도로(150)와 밸브바디(200)의 제5유도로(240)가 상호 연결되어 하나의 유체 통로를 구성한다.As the valve body 200 and the main body 100 are bonded to each other, the third flow path 150 of the main body 100 and the fifth flow path 240 of the valve body 200 are connected to each other to form a single fluid. Configure the passageway.

도 8과 같이 참조하여 보면, 밸브바디(200)와 메인바디(100)가 상호 접합됨에 따라 메인바디(100)의 제2유도로(140)와 밸브바디(200)에 삽입된 하단노즐(400)의 하단노즐구멍(430)이 상호 연결되어 하나의 유체 통로를 구성한다.Referring to FIG. 8, as the valve body 200 and the main body 100 are bonded to each other, the lower nozzle 400 inserted into the second induction path 140 of the main body 100 and the valve body 200 is provided. Lower nozzle hole 430 of the () is interconnected to form a fluid passage.

도 8을 이용하여 본 발명의 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 유로 구성을 좀 더 자세히 설명한다.The flow path configuration of the double valve disk type mass flow meter of the present invention will be described in more detail with reference to FIG. 8.

도 8에 도시한 바와 같이 메인바디(100)는 유량검출부(3)의 세관(31, 도 2 참조)을 통과한 유체가 유입되는 유입로(110)를 포함한다.As shown in FIG. 8, the main body 100 includes an inflow path 110 through which the fluid passing through the tubules 31 (see FIG. 2) of the flow rate detection unit 3 flows in.

상기 유입로(110)는 제1유도로(130)로 연결되며, 밸브바디(200)와 메인바디(100)가 결합됨에 따라 유체 통로는 밸브바디(200)의 제4유도로(210)로 연결된다.The inflow path 110 is connected to the first induction path 130, and as the valve body 200 and the main body 100 are coupled, the fluid passage is connected to the fourth induction path 210 of the valve body 200. Connected.

밸브바디(200)에는 하단밸브디스크(630)가 위치하는 밸브바디중공(220)이 포함되는바, 상기 제4유도로(210)와 연결되어 유체가 유입될 수 있다.The valve body 200 includes a valve body hollow 220 in which the lower valve disc 630 is located. The fluid may be connected to the fourth induction road 210.

밸브바디중공(220)은 각각 상단노즐(300)의 상단노즐유입구(320)와 하단노즐(400)의 하단노즐구멍(430)과 통해, 밸브디스크(620, 630)가 열림에 따라 유체가 상단노즐중공부(340)와 메인바디(100)의 제2유도로(140)로 빠져나갈 수 있다.The valve body hollow 220 is connected to the upper nozzle inlet 320 of the upper nozzle 300 and the lower nozzle hole 430 of the lower nozzle 400, respectively. The nozzle hollow part 340 and the second body 140 of the main body 100 may exit.

상단노즐중공부(340)로 들어온 유체는 상단노즐유출구(330)를 통해 밸브바디(200)의 제5유도로(240)로 빠져나갈 수 있다.The fluid entering the upper nozzle hollow portion 340 may exit to the fifth induction path 240 of the valve body 200 through the upper nozzle outlet 330.

상기 제5유도로(240)는 메인바디(100)의 제3유도로(150)와 연통된바, 유체가 제3유도로(150)를 통해 유출로(120)에 이른다.The fifth flow path 240 is in communication with the third flow path 150 of the main body 100, the fluid reaches the outflow path 120 through the third flow path 150.

한편, 메인바디(100)의 제2유도로(140)도 유출로(120)에 연결되어 있다.On the other hand, the second induction path 140 of the main body 100 is also connected to the outflow path (120).

도 8을 참고하면, 하단밸브디스크(630)는 밸브바디(200)의 밸브바디중공(220)에 위치하여 이동간(610)에 의해 상하 이동하면서 하단노즐(400)의 하단노즐구멍(430)을 개폐한다.Referring to FIG. 8, the lower valve disc 630 is located in the valve body hollow 220 of the valve body 200 and moves up and down by the movement 610 to move the lower nozzle hole 430 of the lower nozzle 400. Open and close.

한편, 상단밸브디스크(620)는 상단노즐(300)의 상단노즐중공부(340)에 위치하여 이동간(610)에 의해 상하 이동하면서 상단노즐(300)의 상단노즐유입구(320)를 개폐한다.On the other hand, the upper valve disk 620 is located in the upper nozzle hollow portion 340 of the upper nozzle 300 to open and close the upper nozzle inlet 320 of the upper nozzle 300 while moving up and down by the movement 610.

하단밸브디스크(630)의 하면은 하단노즐(400)의 하단노즐팁(410)에 선택적으로 접촉한다.The lower surface of the lower valve disc 630 selectively contacts the lower nozzle tip 410 of the lower nozzle 400.

상단밸브디스크(620)의 하면은 상단노즐(300)의 상단노즐팁(310)에 선택적으로 접촉한다.The lower surface of the upper valve disc 620 selectively contacts the upper nozzle tip 310 of the upper nozzle 300.

도 8은 이동간(610)이 상측으로 이동하여 상단밸브디스크(620)와 하단밸브디스크(630)가 각각 상단노즐팁(310)과 하단노즐팁(410)에서 이격된 상황을 도시한다. 이에 따라 유체 통로가 형성되는바, 유입로(110)로 들어온 유체가 각 연결된 유로를 거쳐 유출로(120)로 빠져나간다.8 illustrates a situation in which the movement 610 is moved upward so that the upper valve disc 620 and the lower valve disc 630 are spaced apart from the upper nozzle tip 310 and the lower nozzle tip 410, respectively. Accordingly, the fluid passage is formed, and the fluid entering the inflow path 110 exits to the outflow path 120 through each of the connected flow paths.

이동간(610)이 하측으로 이동하면 상단밸브디스크(620)와 하단밸브디스크(630)가 각각 상단노즐팁(310)과 하단노즐팁(410)에 접촉하는바, 유로가 막혀 유체는 더 이상 흐르지 않게 된다.When the movement 610 moves downward, the upper valve disc 620 and the lower valve disc 630 contact the upper nozzle tip 310 and the lower nozzle tip 410, respectively, and the flow path is blocked so that the fluid no longer flows. Will not.

본 발명에서 하단노즐(400)을 밸브바디(200)의 하부에서 삽입하여 정밀하게 상단노즐(300)과의 간극을 조절할 수 있는바, 유로를 막은 상황에서 가스의 리크는 발생하지 않는다.In the present invention, by inserting the lower nozzle 400 in the lower portion of the valve body 200 to precisely adjust the gap with the upper nozzle 300, there is no leakage of gas in the situation of blocking the flow path.

다음으로 도 9를 이용하여 본 발명의 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 하단노즐(400) 형상을 자세히 설명한다.Next, the shape of the lower nozzle 400 of the double valve disc type mass flow meter of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 9.

본 발명의 하단노즐(400)은 하단노즐팁(410)과 하단노즐나사부(420)로 구성할 수 있다.The lower nozzle 400 of the present invention may be composed of a lower nozzle tip 410 and a lower nozzle screw portion 420.

하단노즐팁(410)은 하단밸브디스크(630)의 하면과 접촉하는 부분이다.The lower nozzle tip 410 is in contact with the lower surface of the lower valve disc 630.

하단노즐팁(410)과 하단노즐나사부(420)를 관통하여 하단노즐구멍(430)이 형성된다.A lower nozzle hole 430 is formed through the lower nozzle tip 410 and the lower nozzle screw portion 420.

본 발명의 밸브바디(200) 노즐체결구(230)에는 하단노즐나사부(420)에 대응하는 나사모양이 형성되어 있는바, 하단노즐(400)을 회전시킴에 따라 삽입 깊이가 달라지며, 그에 따라 상단노즐(300)과의 간극이 조절된다.The valve body 200 of the present invention nozzle fastener 230 is a screw shape corresponding to the lower nozzle screw portion 420 is formed, the insertion depth is changed by rotating the lower nozzle 400, accordingly The gap with the upper nozzle 300 is adjusted.

한편, 도 9b에 도시한 바와 같이 본 발명의 질량유량계의 하단노즐(400)은 한 개 이상의 오링(440)을 더 포함하여 하단노즐팁(410) 이외의 부분으로 유체가 흘러가는 것을 방지하고, 그에 더해 일단 조립된 하단노즐(400)이 외력에 의해 회전해 삽입 깊이가 달라지지 않도록 할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 9B, the lower nozzle 400 of the mass flow meter of the present invention further includes one or more O-rings 440 to prevent fluid from flowing to portions other than the lower nozzle tip 410. In addition, the lower nozzle 400 once assembled may be rotated by an external force so that the insertion depth does not change.

다음으로 도 10을 이용하여 본 발명의 밸브바디 조립검사 지그(700)를 자세히 설명한다.Next, the valve body assembly inspection jig 700 of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 10.

본 발명의 밸브바디 조립검사 지그(700)는 밸브바디 조립체(200)를 지지하는 베이스(710), 검사용 가스를 밸브바디 조립체(200)에 주입하는 제1접속피팅(760), 리크 가스를 추출하는 제2접속피팅(770) 및 회전피팅(780), 가스 리크량을 확인할 수 있는 질량유량측정기(MFM, mass flow meter, 720)를 포함한다.The valve body assembly inspection jig 700 of the present invention includes a base 710 for supporting the valve body assembly 200, a first connection fitting 760 for injecting inspection gas into the valve body assembly 200, and leak gas. The second connection fitting 770 and the rotating fitting 780 to extract the mass flow meter (MFM, 720) that can check the gas leakage amount is included.

밸브바디 조립체(200)를 베이스(710)에 안치하면 제1접속피팅(760)은 밸브바디(200)의 제4유도로(210)에 접속되며, 제2접속피팅(770)은 밸브바디(200)의 제5유도로(240)에 접속된다.When the valve body assembly 200 is placed on the base 710, the first connecting fitting 760 is connected to the fourth induction road 210 of the valve body 200, and the second connecting fitting 770 is connected to the valve body ( 200 is connected to the fifth induction route 240.

한편, 회전피팅(780)은 하단노즐(400)의 하단노즐구멍(430)에 삽입된다.On the other hand, the rotary fitting 780 is inserted into the lower nozzle hole 430 of the lower nozzle 400.

외부에서 검사용 가스가 인입파이프(740)를 통해 제1접속피팅(760)으로 공급된다.The inspection gas is externally supplied to the first connection fitting 760 through the inlet pipe 740.

조립검사 과정에서 이동간(610)은 최대한 하방으로 내려와 상단밸브디스크(620)와 하단밸브디스크(630)를 상단노즐(300)과 하단노즐(400)에 가압한다.In the assembly inspection process, the moving part 610 descends downward as much as possible to press the upper valve disk 620 and the lower valve disk 630 to the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400.

하단노즐(400)의 삽입 깊이를 작게 하면 상단밸브디스크(620)는 상단노즐(300)에 맞닿아 상단노즐(300)에서 리크는 발생하지 않으나, 하단노즐(400)은 하단밸브디스크(630)와의 사이에 틈이 생겨 가스 리크가 발생한다.When the insertion depth of the lower nozzle 400 is reduced, the upper valve disk 620 abuts the upper nozzle 300 so that no leakage occurs in the upper nozzle 300, but the lower nozzle 400 is the lower valve disk 630. A gap is formed between and, and gas leak occurs.

이렇게 누설된 가스는 회전피팅(780)을 통해 가스인출파이프(750)를 거쳐 질량유량측정기(720)에서 확인할 수 있다.The leaked gas may be confirmed by the mass flow meter 720 through the gas drawing pipe 750 through the rotation fitting 780.

만약, 하단노즐(400)의 삽입 깊이가 과도하게 크면 하단밸브디스크(630)는 하단노즐(400)에 맞닿아 하단노즐(400)에서 리크는 발생하지 않으나, 상단노즐(300)은 상단밸브디스크(620)와의 사이에 틈이 생겨 가스 리크가 발생한다.If the insertion depth of the lower nozzle 400 is excessively large, the lower valve disk 630 contacts the lower nozzle 400 so that no leakage occurs in the lower nozzle 400, but the upper nozzle 300 is the upper valve disk. A gap occurs between 620 and gas leak occurs.

이렇게 누설된 가스는 제2접속피팅(770)을 통해 가스인출파이프(750)를 거쳐 질량유량측정기(720)에서 확인할 수 있다.The leaked gas may be confirmed by the mass flow meter 720 through the gas drawing pipe 750 through the second connection fitting 770.

하단노즐(400)의 삽입 깊이가 적절해 하단노즐(400)과 상단노즐(300) 사이의 간극이 상단밸브디스크(620)와 하단밸브디스크(630) 사이의 간극과 일치하면 가스 리크는 더 이상 발생하지 않으며, 이를 질량유량측정기(720)로 확인 가능하다.If the insertion depth of the lower nozzle 400 is appropriate and the gap between the lower nozzle 400 and the upper nozzle 300 coincides with the gap between the upper valve disk 620 and the lower valve disk 630, the gas leak is no longer. It does not occur, it can be confirmed by the mass flow meter (720).

본 발명은 밸브바디 조립체(200)를 지그(700)에 재치한 상태에서 하단노즐(400)의 삽입 깊이를 자동으로 조절하여 최적의 삽입 깊이를 결정하는 것이 가능하다.The present invention can determine the optimum insertion depth by automatically adjusting the insertion depth of the lower nozzle 400 in a state where the valve body assembly 200 is mounted on the jig 700.

도 10에 도시한 바와 같이 본 발명의 밸브바디 조립검사 지그(700)는 회전피팅(780)을 좌우로 회전시키는 회전모터(730)를 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 10, the valve body assembly inspection jig 700 of the present invention may further include a rotation motor 730 that rotates the rotation fitting 780 from side to side.

상기 회전모터(730)는 컨트롤러(미도시)를 구비한 질량유량측정기(720)와 제어선(790)으로 연결되어 피드백 제어함으로써 리크가 발생하지 않는 상태까지 상기 하단노즐(400)을 삽입시킨다.The rotary motor 730 is connected to the mass flow meter 720 having a controller (not shown) and the control line 790 to control the feedback so that the lower nozzle 400 is inserted until the leak does not occur.

예를 들어, 질량유량측정기(720)는 리크 가스를 검출하면 리크 가스량이 감소하는 방향으로 상기 회전피팅(780)을 회전시킨다.For example, when the mass flow meter 720 detects the leak gas, the mass flow meter 720 rotates the rotation fitting 780 in a direction in which the leak gas amount decreases.

상기 회전피팅(780)은 하단노즐(400)과 접속할 때, 도 10에 도시한 바와 같이 마찰패드(781)가 하단노즐(400)의 하단노즐구멍(430)에 마찰 접촉하는바, 상기 회전피팅(780)이 회전함에 따라 하단노즐(400)도 회전하여 삽입 깊이가 달라진다.When the rotary fitting 780 is connected to the lower nozzle 400, as shown in FIG. 10, the friction pad 781 frictionally contacts the lower nozzle hole 430 of the lower nozzle 400. As the 780 rotates, the lower nozzle 400 also rotates to change the insertion depth.

본 발명에서 상기 회전피팅(780)은 회전모터(730)를 이용하지 않고 회전손잡이(미도시)를 두어 수동으로 하단노즐(400)의 삽입 깊이를 변경할 수도 있다.In the present invention, the rotation fitting 780 may change the insertion depth of the lower nozzle 400 manually by using a rotation knob (not shown) without using the rotation motor 730.

다음으로 도 11을 이용하여 본 발명의 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 조립 방법을 자세히 설명한다.Next, the assembling method of the double valve disc type mass flow meter of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

본 발명의 더블 밸브디스크 타입 질량유량계의 조립 방법은 유량제어부(4)의 조립에 특징이 있는 것으로, 먼저 밸브바디 조립체(200)를 조립한다(S100).The method of assembling the double valve disc type mass flow meter of the present invention is characterized in assembling the flow control unit 4, and first, the valve body assembly 200 is assembled (S100).

밸브바디 조립체(200)는 도 5에 도시한 바와 같이 밸브바디(200) 상부에 상단노즐(300)을 설계 위치에 재치하고 실린더(500)로 가압해 결합하는 것이며, 이 때 이동간(610), 밸브축(640), 상단밸브디스크(620) 및 하단밸브디스크(630)도 같이 조립된다.The valve body assembly 200 is to place the upper nozzle 300 in the design position on the valve body 200, as shown in Figure 5 and pressurized by the cylinder 500, the movement time 610, The valve shaft 640, the upper valve disk 620, and the lower valve disk 630 are also assembled.

다음으로 도 6에 도시한 바와 같이 밸브바디(200)의 하부 노즐체결구(230)에 하단노즐(400)을 나삽한다(S200).Next, as shown in FIG. 6, the lower nozzle 400 is inserted into the lower nozzle fastener 230 of the valve body 200 (S200).

이 때, 하단노즐(400)은 삽입 깊이를 최소한으로 하는 것이 바람직하다.At this time, the lower nozzle 400 is preferably to minimize the insertion depth.

다음으로 밸브바디 조립검사 지그(700)의 베이스(710)에 밸브바디 조립체(200)를 안치한다(S300).Next, the valve body assembly 200 is placed in the base 710 of the valve body assembly inspection jig 700 (S300).

이에 따라, 밸브바디 조립검사 지그(700)의 제1접속피팅(760)은 밸브바디(200)의 제4유도로(210)에, 제2접속피팅(770)은 밸브바디(200)의 제5유도로(240)에 끼워지며, 회전피팅(780)은 하단노즐(400)에 끼워진다.Accordingly, the first connecting fitting 760 of the valve body assembly inspection jig 700 is connected to the fourth induction path 210 of the valve body 200, and the second connecting fitting 770 is formed of the valve body 200. 5 is inserted into the induction path 240, the rotary fitting 780 is fitted to the lower nozzle (400).

다음으로 검사용 가스를 인입파이프(740)를 통해 제1접속피팅(760)에 공급한다(S400).Next, the inspection gas is supplied to the first connection fitting 760 through the inlet pipe 740 (S400).

검사용 가스가 밸브바디 조립체(200)를 지나며 간극이 있는 경우 리크가 발생한다.If the inspection gas passes through the valve body assembly 200 and there is a gap, a leak occurs.

다음으로 질량유량측정기(720)으로 리크량을 확인한다(S500).Next, the leak rate is checked by the mass flow meter 720 (S500).

리크량이 조금이라도 있으면 회전모터(730)를 제어하여 하단노즐(400)을 회전시켜 삽입 깊이를 변경한다(S600). 이 후 다시 질량유량측정기(720)로 리크량을 확인한다.If the leakage amount is a little, the rotational motor 730 is controlled to rotate the lower nozzle 400 to change the insertion depth (S600). Afterwards, the leak rate is checked using the mass flow meter 720.

이런 피드백 제어 과정을 리크량이 전혀 없는 정도까지 지속한다.This feedback control process continues to the extent that there is no leakage.

본 발명에서 따라 하단노즐(400)의 삽입 깊이가 리크가 전혀 발생하지 않는 정도까지 정밀하게 결정될 수 있다.According to the present invention, the insertion depth of the lower nozzle 400 may be precisely determined to the extent that no leakage occurs.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용 범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application of the present invention is not limited to those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Of course, various modifications can be made.

100 : 메인바디 110 : 유입로
120 : 유출로 200 : 밸브바디
220 : 밸브바디중공 230 : 노즐체결구
300 : 상단노즐 320 : 상단노즐유입구
330 : 상단노즐유출구 340 : 상단노즐중공부
400 : 하단노즐 410 : 하단노즐팁
420 : 하단노즐나사부 430 : 하단노즐구멍
440 : 오링 500 : 실린더
510 : 솔레노이드 520 : 가압접합부
610 : 이동간 620 : 상단밸브디스크
630 : 하단밸브디스크 710 : 베이스
720 : 질량유량측정기 730 : 회전모터
760 : 제1접속피팅 770 : 제2접속피팅
780 : 회전피팅 781 : 마찰패드100: main body 110: inflow path
120: outflow 200: valve body
220: valve body hollow 230: nozzle fastener
300: upper nozzle 320: upper nozzle inlet
330: upper nozzle outlet 340: upper nozzle hollow
400: lower nozzle 410: lower nozzle tip
420: lower nozzle thread 430: lower nozzle hole
440: O-ring 500: cylinder
510: solenoid 520: pressure bonding
610: Between movement 620: Upper valve disc
630: lower valve disc 710: base
720: mass flow meter 730: rotating motor
760: first connection fitting 770: second connection fitting
780: rotational fitting 781: friction pad

Claims

A flow rate detection part 3; A flow rate control part 4 having an upper valve disc 620 and a lower valve disc 630 for controlling the flow rate by opening and closing each of the upper nozzle 300 and the lower nozzle 400 and the upper and lower nozzles 300 and 400; In the included double valve disc type mass flow meter,
The flow control unit 4 is divided into the main body 100 and the valve body 200, the valve body 200 is the upper nozzle 300, the upper valve disk 620 and the lower valve disk 630 ) Is assembled to the assembly, the lower nozzle 400 is composed of a lower nozzle tip 410 and the lower nozzle screw portion 420 is inserted from the bottom to the valve body 200, the lower nozzle tip 410 is the lower It is coupled to the depth of the contact with the valve disk 630;
A nozzle fastener 230 is formed at the bottom of the valve body 200 to insert the lower nozzle 400. The nozzle fastener 230 is a type of hole, and its inner circumferential surface is a lower nozzle 400. The outer circumferential surface and the shape coincide and are tightly coupled;
The main body 100 is coupled to the valve body 200 on one side to which the lower nozzle 400 is fastened so that the lower nozzle 400 rotates under the influence of an external force, so that the gap between the nozzles 300 and 400 is increased. Keep it unchanged
As the valve body 200 is coupled to the main body 100, the nozzle hole 430 of the lower nozzle 400 inserted into the valve body 200 and the flow passage 140 of the main body 100 communicate with each other to form a fluid. Double valve disc type mass flow meter characterized by constructing passage

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The double valve disc type mass flow meter of claim 1, wherein the lower nozzle 400 further includes one or more O-rings 440.

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