KR102017985B1 - Ssd 소프트에러 테스트의 국부적 방사선 조사를 위한 콜리메이터 장치 및 그 방법 - Google Patents

Ssd 소프트에러 테스트의 국부적 방사선 조사를 위한 콜리메이터 장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

SSD 소프트에러 테스트의 국부적 방사선 조사를 위한 콜리메이터 장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 콜리메이터 장치는 고정된 제1 콜리메이터; 및 상기 제1 콜리메이터에 탈부착 가능하고, 테스트 반도체 시료를 부착하여 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사하는 제2 콜리메이터를 포함하고, 상기 제2 콜리메이터는 스페이서를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료를 부착함으로써, 상기 테스트 반도체 시료와의 거리를 일정하게 유지할 수 있다.

Description

SSD 소프트에러 테스트의 국부적 방사선 조사를 위한 콜리메이터 장치 및 그 방법 {Collimator apparatus for irradiating radiation locally to test soft error of solid state disk and method therefor}
본 발명은 국부적 방사선 조사를 위한 콜리메이터 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 SSD(solid state disk)에 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 용이하게 조사할 수 있는 콜리메이터 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
콜리메이터(collimator)는 방사선의 방향과 확산을 한정시키기 위하여 납이나 텅스텐과 같은 방사선을 흡수하는 물질로 만든 장치로, 이용 빔 이외의 방사선 조사선량율을 가능한 한 적게 하기 위한 장치이다.
이러한 콜리메이터는 방사선의 안전 취급상 시험에 필요한 방향으로만 조사되게 하고, 그 이외의 방향으로는 가능한 한 차폐되도록 하기 위해 사용하며, 일반적으로 방사선을 잘 흡수하는 텅스텐(Tungsten) 또는 납 또는 알루미늄으로 만들어질 수 있고 에너지에 따라 필요한 두께, 크기가 달라질 수 있다.
기존 SSD의 소프트에러 테스트를 위한 방사선을 조사함에 있어서, 방사선 크기를 조절하기 위한 콜리메이터와 테스트를 하고자 하는 반도체 샘플이 서로 별도로 위치하기 때문에 샘플에 방사선을 조사하고자 하는 위치를 정확하게 잡기 위해 별도의 과정이 필요하다. 또한 콜리메이터로부터 떨어진 거리를 매번 일정하게 유지하는 것이 어렵기 때문에 반도체 소자에 조사되는 영역을 일정하게 유지하는 것에 어려운 점이 있다.
따라서, SSD에 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 용이하게 조사할 수 있는 콜리메이터 장치의 필요성이 대두된다.
본 발명의 실시예들은, SSD(solid state disk)에 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 용이하게 조사할 수 있는 콜리메이터 장치 및 그 방법을 제공한다.
구체적으로, 본 발명의 실시예들은 고정된 제1 콜리메이터와 탈부착 가능한 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하고, 제2 콜리메이터의 이동을 통해 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사할 수 있는 콜리메이터 장치 및 그 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 콜리메이터 장치는 고정된 제1 콜리메이터; 및 상기 제1 콜리메이터에 탈부착 가능하고, 테스트 반도체 시료를 부착하여 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사하는 제2 콜리메이터를 포함한다.
상기 제2 콜리메이터는 스페이서를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료를 부착함으로써, 상기 테스트 반도체 시료와의 거리를 일정하게 유지할 수 있다.
상기 제2 콜리메이터는 상기 제2 콜리메이터의 이동을 통해 방사선이 조사되는 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치를 조절할 수 있다.
상기 제2 콜리메이터는 상기 테스트 반도체 시료에 따라 상기 테스트 반도체 시료에 대응하는 콜리메이터로 교체 가능할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 방사선 조사 방법은 고정된 제1 콜리메이터에 탈부착 가능한 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하는 단계; 및 상기 테스트 반도체 시료가 부착된 제2 콜리메이터를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사하는 단계를 포함한다.
상기 테스트 반도체 시료를 부착하는 단계는 스페이서를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료를 성기 제2 콜리메이터에 부착함으로써, 상기 테스트 반도체 시료와의 거리를 일정하게 유지할 수 있다.
상기 방사선을 국부적으로 조사하는 단계는 상기 제2 콜리메이터의 이동을 통해 방사선이 조사되는 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치를 조절할 수 있다.
상기 제2 콜리메이터는 상기 테스트 반도체 시료에 따라 상기 테스트 반도체 시료에 대응하는 콜리메이터로 교체 가능할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 테스트 반도체 시료에 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 용이하게 조사할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, DRAM, NAND Flash, Controller 등 여러 종류의 소자들로 이루어진 SSD 또는 테스트 반도체 시료에 대해 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 조사하여 해당 소자에 대한 SER 분석 또는 SSD 시스템 전체에서 해당 소자로부터 발생하는 세부 분석을 위해 특정 소자에만 방사선을 조사하여 실험하기 용이한 콜리메이터 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 메인 콜리메이터에 탈부착이 가능한 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하여 콜리메이터와 반도체 시료간 거리를 일정하게 유지하고 정확한 위치에 방사선을 조사할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 여러 개의 탈부착이 가능한 콜리메이터를 사용하여 테스트 반도체 시료 교체가 용이하고, 탈부착이 가능한 콜리메이터를 이동시켜 테스트 시료에 방사선이 조사되는 위치 및 면적을 세밀하게 조절할 수 있어 보다 실험을 세분화하여 진행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜리메이터 장치에 대한 구성을 나타낸 것이다.
도 2는 도 1의 콜리메이터 장치에 대한 일 예시도를 나타낸 것이다.
도 3은 탈부착 가능한 제2 콜리메이터에 대한 예시도를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 방사선 조사 방법에 대한 동작 흐름도를 나타낸 것이다.
이하, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
본 발명의 실시예들은, SSD 또는 테스트 반도체 시료에 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 용이하게 조사할 수 있는 콜리메이터 장치를 제공하는 것을 그 요지로 한다.
여기서, 본 발명의 실시예에 따른 콜리메이터 장치는 고정된 제1 콜리메이터와 탈부착 가능한 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하고, 제2 콜리메이터의 이동을 통해 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사할 수 있다.
이러한 본 발명에 따른 장치 및 이런 장치를 이용한 방사선 조사 방법에 대해 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜리메이터 장치에 대한 구성을 나타낸 것이고, 도 2는 도 1의 콜리메이터 장치에 대한 일 예시도를 나타낸 것이다.
도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 콜리메이터 장치는 제1 콜리메이터와 제2 콜리메이터를 포함한다.
제1 콜리메이터는 고정된 콜리메이터(메인 콜리메이터)로, 제1 콜리메이터로 조사되는 방사선 중 일정 방향 이외의 방사선을 차폐하고 일정 방향과 일정 영역의 방사선만을 제2 콜리메이터로 제공한다.
제2 콜리메이터는 제1 콜리메이터에 탈부착 가능한 구조로 되어 있으며, 테스트 반도체 시료 예를 들어, SSD가 제2 콜리메이터에 부착된다.
여기서, 제2 콜리메이터는 스페이서를 이용하여 테스트 반도체 시료를 부착할 수 있으며, 이러한 스페이서를 통해 제2 콜리메이터와 테스트 반도체 시료 간의 거리를 일정하게 유지 및 관리할 수 있다.
물론, 제2 콜리메이터와 연결되는 스페이서의 길이 및 위치 등은 테스트 반도체 시료가 부착되는 위치 그리고 방사선이 조사되는 특정 위치 나아가 제2 콜리메이터의 종류 및 테스트 반도체 시료의 종류 등에 의해 결정될 수 있다. 예컨대, 테스트 반도체 시료의 종류가 달라지거나 테스트 반도체 시료에 따라 테스트 반도체 시료가 부착되는 제2 콜리메이터가 달라지는 경우 제2 콜리메이터와 연결되는 스페이서의 길이 및 위치가 달라질 수 있다. 상황에 따라 스페이서의 길이 및 위치는 동일할 수 있으며, 이러한 스페이서의 길이 및 위치는 테스트 반도체 시료에 조사되는 방사선을 얼마나 정확한 위치에 조사하느냐에 따라 달라질 수 있으며, 이러한 스펙은 이 기술을 제공하는 사업자 또는 개인에 의해 결정될 수 있다.
나아가, 제2 콜리메이터는 제2 콜리메이터의 모서리 부분에 구비된 구멍 등을 통해 제1 콜리메이터와 탈부착되거나 그 위치를 정렬시킬 수 있다. 예컨대, 제2 콜리메이터는 모서리의 구멍을 통한 연결 수단을 통해 제1 콜리메이터와 부착할 수 있고, 연결 수단을 제거함으로써, 제1 콜리메이터와 탈착할 수 있다. 물론, 이러한 모서리의 구멍을 이용하여 제1 콜리메이터와 제2 콜리메이터가 정렬될 수 있다. 필요에 따라, 제1 콜리메이터와 제2 콜리메이터 간 탈부착 수단 그리고 정렬 수단을 모서리 부분의 구멍으로 한정되지 않으며 방사선을 테스트 반도체 시료에 조사하는데 있어서 방해가 되지 않는 위치 또는 크기 등을 통해 결정될 수 있다.
이러한 제2 콜리메이터는 스페이서를 이용하여 테스트 반도체 시료가 부착된 후 제2 콜리메이터의 이동을 통해 테스트 반도체 시료에 조사되는 방사선의 특정 위치가 조절될 수 있다.
여기서, 제2 콜리메이터는 제1 콜리메이터와 테스트 반도체 시료 간의 이동을 통해 방사선이 조사되는 테스트 반도체 시료의 특정 위치가 조절될 수도 있고, 제2 콜리메이터의 좌우 이동을 통해 방사선이 조사되는 테스트 반도체 시료의 특정 위치가 조절될 수도 있다. 물론, 제2 콜리메이터의 전후 이동 또는 좌우 이동을 위해서는 이러한 이동을 위한 이동 수단 예를 들어, 액츄에이터와 같은 이동 장치를 구비 또는 그 이동 간격을 조절할 수 있는 조절 수단이 구비되어야 하는 것이 바람직하다.
더 나아가, 제2 콜리메이터는 테스트하고자 하는 테스트 반도체 시료에 따라 콜리메이터의 종류가 달라질 수 있다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 콜리메이터는 그 종류가 다양하게 제공될 수 있으며, 이러한 제2 콜리메이터는 테스트하고자 하는 테스트 반도체 시료에 따라 그 종류가 상이하고, 필요에 따라 스페이서의 길이 또한 상이할 수 있으며, 전후 이동 또는 좌우 이동할 수 있는 이동 길이가 상이할 수도 있다.
이 때, 제2 콜리메이터는 테스트하고자 하는 테스트 반도체 시료에 따라 테스트 반도체 시료에 대응하는 제2 콜리메이터로 교체 가능하며, 교체되는 해당 제2 콜리메이터를 제1 콜리메이터에 탈부착함으로써, 테스트하고자 하는 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 콜리메이터 장치는 테스트하고자 하는 테스트 반도체 시료에 따라 해당하는 제2 콜리메이터를 선택하고, 선택된 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착한 후 테스트 반도체 시료가 부착된 제2 콜리메이터를 제1 콜리메이터에 부착함으로써, 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 조사할 수 있다. 물론, 이렇게 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 용이하게 조사함으로써, 테스트 반도체 시료를 구성하는 소자 단위의 부분적 실험을 수행할 수 있다.
또한, 제2 콜리메이터에 부착되는 테스트 반도체 시료에 대한 부분은 분리가 가능하여 여러 종류의 시료를 간단하게 교체함으로써, 방사선을 이용한 반도체 내성평가에 유용할 수 있다.
즉, 본 발명의 특징인 제2 콜리메이터는 의료기기와 달리 시료 자체가 방사선이 조사되는 동안 움직일 수 없기 때문에 방사선 조사 전 정확히 그 위치를 잡아야 하며 단일 시료에 의한 영향 뿐만 아니라 여러 개의 시료에 대해 실험을 하는 경우에 주로 적용하는 것이다.
따라서, 본 발명은 제 1 콜리메이터를 고정한 뒤 제 2 콜리메이터를 탈 부착하도록 구성하고, 실험 전 또는 실험이 진행되는 동안 반도체 시료를 정확한 위치에 고정할 수 있으며, 시료에 따른 복수의 제2 콜리메이터를 구비하여 여러 개의 시료를 실험할 때 단순히 제 2 콜리메이터만 교체함으로써, 반도체 시료에 대한 실험을 신속하게 수행할 수 있다.
또한, 제2 콜리메이터는 좌우 및 상하로 이동이 가능한 모터로 이루어진 액츄에이터를 사용하여 원격으로 위치를 조절하거나 제1 콜리메이터와의 정렬 단계에서 임의적으로 위치를 좌우 또는 상하로 이동시켜 고정함으로써, 방사선이 시료에 조사되는 범위와 위치를 조절할 수 있다.
이 때, 제2 콜리메이터는 실제 방사선을 막기위한 용도보다는 시료를 고정하는 용도이기 때문에 제1 콜리메이터보다 그 두께가 ?게 구성될 수 있으며, 그 무게가 가벼운 특징을 가질 수 있다.
예를 들어, 제2 콜리메이터는 원격으로 상하 또는 좌우의 위치 조절이 가능한 액츄에이터에 의해 상하 또는 좌우로 위치가 조절될 수 있으며, 반도체 시료, 제2 콜리메이터의 식별 정보 등에 기초하여 시료를 구성하는 각 소자들에 방사선을 조사하기 위한 제2 콜리메이터의 위치 이동을 원격에서 자동적으로 수행할 수 있다.
SSD와 같은 제품 시료의 경우 제품에 여러가지의 반도체 소자가 있어 이러한 각 소자들에 따로따로 방사선을 조사하기 위해 시료를 이동시켜야 하는데, 본 발명에 따른 콜리메이터 장치를 이용하면 각 소자들로 방사선을 조사하기 위하여 제2 콜리메이터를 원격으로 위치 이동시킴으로써, 실험자가 방사선이 조사되는 공간으로 직접 출입하지 않아도 되고, 따라서 시료 위치를 조절하기 위해 사람의 출입이 가능할 때 까지 기다리는 시간을 줄일 수 있고 손으로 조절하는 것보다 미세한 컨트롤이 가능하다.
상술한 바와 같이, 제2 콜리메이터는 제2 콜리메이터의 위치 이동을 조절할 수 있는 액츄에이터를 원격으로 조절할 수 있기 때문에 테스트하고자 하는 반도체 시료 그리고 제2 콜리메이터의 종류에 따라 원격에서의 위치 이동에 대한 자동화가 가능하고, 이러한 정보의 입력을 통해 반도체 시료의 각 소자로의 위치 이동, 방사선 조사 등의 과정이 자동적으로 이루어질 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 콜리메이터 장치는 테스트 반도체 시료에 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 용이하게 조사할 수 있다. 예컨대, 본 발명은 DRAM, NAND Flash, Controller 등 여러 종류의 소자들로 이루어진 SSD 또는 테스트 반도체 시료에 대해 방사선을 이용한 소프트에러 테스트 시 특정 소자에만 방사선을 조사하여 해당 소자에 대한 SER 분석 또는 SSD 시스템 전체에서 해당 소자로부터 발생하는 세부 분석을 위해 특정 소자에만 방사선을 조사할 수 있다. 특히 SSD의 DRAM, NAND Flash, Controller 등소자 단위의 부분적 실험을 할 수 있어 SSD의 소프트에러를 완화하기 위해서 어떤 소자를 미티게이션(mitigation)해야 하는지 알아내는데 기여할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 콜리메이터 장치는 탈부착이 가능한 콜리메이터를 이동시켜 부착된 테스트 반도체 시료에 방사선이 조사되는 위치를 세밀하게 조정할 수 있으므로 SSD의 Controller에 조사되는 부위를 조절하여 내부 로직 단위의 실험을 통해 소프트에러에 취약한 부분을 찾아낼 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 콜리메이터 장치는 메인 콜리메이터에 탈부착이 가능한 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하여 콜리메이터와 반도체 시료간 거리를 일정하게 유지하고 정확한 위치에 방사선을 조사할 수 있으며, 여러 개의 탈부착이 가능한 콜리메이터를 사용하여 테스트 반도체 시료 교체가 용이할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 콜리메이터 장치는 탈부착 가능한 콜리메이터에 시료가 부착되는 부분의 분리가 가능하여 여러 종류의 시료를 간단하게 교체함으로써, 방사선을 이용한 반도체 내성평가에 유용할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 방사선 조사 방법에 대한 동작 흐름도를 나타낸 것으로, 도 1 내지 도 3의 콜리메이터 장치를 이용한 방사선 조사 방법에 대한 동작 흐름도를 나타낸 것이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 방사선 조사 방법은 제1 콜리메이터(메인 콜리메이터)에 탈부착 가능한 제2 콜리메이터에 테스트하고자 하는 테스트 반도체 시료를 부착한다(S410).
여기서, 단계 S410은 테스트 반도체 시료에 따라 테스트 반도체 시료에 대응하는 제2 콜리메이터를 선택하고, 선택된 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하는데, 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료가 부착되는 부분은 분리 가능하고, 테스트 반도체 시료는 스페이서 등을 통해 제2 콜리메이터와 일정 간격을 유지할 수 있다.
단계 S410에 의해 테스트 반도체 시료가 제2 콜리메이터에 부착되면 테스트 반도체 시료가 부착된 제2 콜리메이터를 제1 콜리메이터에 정렬하고 부착한다(S420).
여기서, 단계 S420은 제2 콜리메이터의 모서리 부분에 구비된 구멍 등을 통해 제1 콜리메이터와 제2 콜리메이터의 정렬을 수행할 수 있으며, 해당 구멍 또는 다른 부분을 통해 제2 콜리메이터를 제1 콜리메이터에 부착시킬 수 있다.
단계 S420에 의해 제2 콜리메이터가 제1 콜리메이터에 부착되면 부착된 제1 콜리메이터와 제2 콜리메이터를 통해 방사선을 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 조사함으로써, 테스트 반도체 시료 중 해당 소자로부터 발생하는 세부 분석을 수행할 수 있다(S430).
여기서, 단계 S430은 테스트 반도체 시료가 부착된 제2 콜리메이터를 이동시킴으로써, 테스트 반도체 시료 중 방사선이 조사되는 특정 위치를 조절할 수 있다.
비록, 도 4의 방법에서 그 설명이 생략되었더라도 본 발명에 따른 시스템은 도 1 내지 도 3의 장치에서 설명한 모든 내용을 포함할 수 있다는 것은 이 기술 분야에 종사하는 당업자에게 있어서 자명하다.
소프트웨어는 컴퓨터 프로그램(computer program), 코드(code), 명령(instruction), 또는 이들 중 하나 이상의 조합을 포함할 수 있으며, 원하는 대로 동작하도록 처리 장치를 구성하거나 독립적으로 또는 결합적으로(collectively) 처리 장치를 명령할 수 있다. 소프트웨어 및/또는 데이터는, 처리 장치에 의하여 해석되거나 처리 장치에 명령 또는 데이터를 제공하기 위하여, 어떤 유형의 기계, 구성요소(component), 물리적 장치, 가상 장치(virtual equipment), 컴퓨터 저장 매체 또는 장치, 또는 전송되는 신호 파(signal wave)에 영구적으로, 또는 일시적으로 구체화(embody)될 수 있다. 소프트웨어는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템 상에 분산되어서, 분산된 방법으로 저장되거나 실행될 수도 있다. 소프트웨어 및 데이터는 하나 이상의 컴퓨터 판독 가능 기록 매체에 저장될 수 있다.
실시예들에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

Claims (8)

  1. 고정된 제1 콜리메이터; 및
    상기 제1 콜리메이터에 탈부착 가능하고, 테스트 반도체 시료를 부착하여 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사하는 제2 콜리메이터
    를 포함하며,
    상기 제2 콜리메이터는
    스페이서를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료를 부착함으로써, 상기 테스트 반도체 시료와의 거리를 일정하게 유지하고,
    상기 제2 콜리메이터는
    상기 제2 콜리메이터의 이동을 통해 방사선이 조사되는 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치를 조절하며,
    상기 제2 콜리메이터와 연결되는 상기 스페이서의 길이 및 위치는
    상기 반도체 시료가 부착되는 위치, 상기 방사선이 조사되는 특정 위치, 상기 제2 콜리메이터의 종류 및 상기 반도체 시료의 종류에 의해 결정되고,
    상기 제2 콜리메이터는
    원격으로 상하 또는 좌우의 위치 조절이 가능한 액츄에이터에 의해 상하 또는 좌우로 위치가 조절되며, 상기 반도체 시료 및 상기 제2 콜리메이터의 식별 정보에 기초하여 상기 반도체 시료를 구성하는 각 소자들에 상기 방사선을 조사하기 위한 상기 제2 콜리메이터의 위치 이동이 원격에서 자동적으로 수행되는 콜리메이터 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 콜리메이터는
    상기 테스트 반도체 시료에 따라 상기 테스트 반도체 시료에 대응하는 콜리메이터로 교체 가능한 것을 특징으로 하는 콜리메이터 장치.
  5. 고정된 제1 콜리메이터에 탈부착 가능한 제2 콜리메이터에 테스트 반도체 시료를 부착하는 단계; 및
    상기 테스트 반도체 시료가 부착된 제2 콜리메이터를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료의 특정 위치에 방사선을 국부적으로 조사하는 단계
    를 포함하고,
    상기 테스트 반도체 시료를 부착하는 단계는
    스페이서를 이용하여 상기 테스트 반도체 시료를 부착함으로써, 상기 테스트 반도체 시료와의 거리를 일정하게 유지하고,
    상기 방사선을 국부적으로 조사하는 단계는
    상기 제2 콜리메이터의 이동을 통해 방사선이 조사되는 상기 부착된 테스트 반도체 시료의 특정 위치를 조절하며,
    상기 제2 콜리메이터와 연결되는 상기 스페이서의 길이 및 위치는
    상기 반도체 시료가 부착되는 위치, 상기 방사선이 조사되는 특정 위치, 상기 제2 콜리메이터의 종류 및 상기 반도체 시료의 종류에 의해 결정되고,
    상기 방사선을 국부적으로 조사하는 단계는
    원격으로 상하 또는 좌우의 위치 조절이 가능한 액츄에이터에 의해 상하 또는 좌우로 위치가 조절되며, 상기 반도체 시료 및 상기 제2 콜리메이터의 식별 정보에 기초하여 상기 반도체 시료를 구성하는 각 소자들에 상기 방사선을 조사하기 위한 상기 제2 콜리메이터의 위치 이동이 원격에서 자동적으로 수행되는 방사선 조사 방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제5항에 있어서,
    상기 제2 콜리메이터는
    상기 테스트 반도체 시료에 따라 상기 테스트 반도체 시료에 대응하는 콜리메이터로 교체 가능한 것을 특징으로 하는 방사선 조사 방법.
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