KR101987689B1 - 전사용 도너 필름과 그 제조방법 및 이를 이용한 전사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 전사용 도너 필름은 베이스 필름과; 상기 베이스 필름 상에 제1방향을 따라 연장되고 제2방향을 따라 일정간격 이격되어 형성된 다수의 전사전극과; 상기 전사전극 상부에 형성되어 상기 전사전극을 덮는 열팽창층과; 상기 열팽창층 상부에 형성된 유기물층을 포함한다.

Description

전사용 도너 필름과 그 제조방법 및 이를 이용한 전사방법 {donor film for transfer, manufacturing method thereof, and transfer method using the same}

본 발명은 유기전기발광표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기전기발광표시장치용 유기물층을 형성하기 위한 전사용 도너 필름과 그 제조방법 및 이를 이용한 전사방법에 관한 것이다.

최근, 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판표시장치(flat panel display)가 널리 개발되어 다양한 분야에 적용되고 있다.

이중, 유기발광다이오드(organic light emitting diode: OLED)라고도 불리는 유기전기발광표시장치 또는 유기전계발광표시장치(organic electroluminescent display)는, 전자 주입 전극인 음극과 정공 주입 전극인 양극 사이에 형성된 발광층에 전하를 주입하여 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자이다. 이러한 유기전기발광표시장치는 플라스틱과 같은 유연한 기판(flexible substrate) 위에도 형성할 수 있을 뿐 아니라, 자체 발광에 의해 색감이 뛰어나며, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel)이나 무기 전기발광(EL) 디스플레이에 비해 낮은 전압에서 (10V이하) 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 적다는 장점이 있다.

도 1은 일반적인 유기전기발광표시장치의 구조를 밴드 다이어그램으로 표시한 도면이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 유기전기발광표시장치는 양극인 애노드(anode) 전극(11)과 음극인 캐소드(cathode) 전극(17) 사이에 발광층(emitting layer)(14)이 위치한다. 애노드 전극(11)으로부터의 정공과 캐소드 전극(17)으로부터의 전자를 발광층(14)으로 주입하기 위해, 애노드 전극(11)과 발광층(14) 사이 및 캐소드 전극(17)과 발광층(14) 사이에는 각각 정공수송층(hole transporting layer)(13)과 전자수송층(electron transporting layer)(15)이 위치한다. 이때, 정공과 전자를 좀더 효율적으로 주입하기 위해 애노드 전극(11)과 정공수송층(13) 사이에는 정공주입층(hole injecting layer)(12)을, 전자수송층(15)과 캐소드 전극(17) 사이에는 전자주입층(electron injecting layer)(16)을 더 포함한다.

도 1의 밴드 다이어그램에서, 아래쪽 선은 가전자 띠(valence band)의 가장 높은 에너지 레벨로, HOMO(highest occupied molecular orbital)라고 부르고, 위쪽 선은 전도성 띠(conduction band)의 가장 낮은 에너지 레벨로, LUMO(lowest unoccupied molecular orbital)라 부른다. HOMO 레벨과 LUMO 레벨의 에너지 차이는 밴드 갭(band gap)이 된다.

이러한 구조를 가지는 유기전기발광표시장치에서, 애노드 전극(11)으로부터 정공주입층(12)과 정공수송층(13)을 통해 발광층(14)으로 주입된 정공(+)과, 캐소드 전극(17)으로부터 전자주입층(16) 및 전자수송층(15)을 통해 발광층(14)으로 주입된 전자(-)는 재결합(recombination)을 통해 여기자(exciton)(18)를 형성하게 되고, 이 여기자(18)로부터 발광층(14)의 밴드 갭에 해당하는 색상의 빛을 발하게 된다.

유기전기발광표시장치는 영상을 표시하기 위해 다수의 화소를 포함하고, 각 화소는 적, 녹, 청의 서브화소를 포함하며, 각 서브화소 마다 박막트랜지스터 및 발광 다이오드를 박막의 형태로 형성한다.

적, 녹, 청의 서브화소에는 각 서브화소에 대응하여 패턴된 적, 녹, 청 발광층이 형성되는데, 일반적으로 발광층은 섀도우 마스크(shadow mask)를 이용한 진공증착법을 통해 형성된다. 그런데, 진공증착법의 경우 발광층을 미세하게 패턴하기가 어려워 고해상도에 적용하기가 쉽지 않은 단점이 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 레이저 열전사법(laser induced thermal imaging: LITI)을 통해 발광층을 패터닝하는 방법이 제안되었다.

도 2a와 도 2b는 종래의 레이저 열전사법에 의해 발광층을 형성하는 과정을 도시한 도면이다.

도 2a에 도시한 바와 같이, 기판(20) 상에 화소영역을 정의하는 다수의 패턴(22)이 형성되고, 그 위에 도너 필름(donor film)(30)이 배치된다.

도너 필름(30)은 베이스 필름(32)과 광-열 변환층(light-to-heat conversion layer: LTHC layer)(34), 층간막(inter layer)(36) 및 유기물층(38)을 순차적으로 포함한다.

여기서, 도너 필름(30)은 유기물층(38)이 기판(20)을 마주 대하도록 배치된다.

이어, 화소영역에 대응하는 부분에 레이저 빔을 조사한다. 따라서, 도 2b에 도시한 바와 같이, 레이저 빔을 받은 광-열 변환층(34)과 층간막(36)의 부피가 팽창하게 되고, 부피가 팽창된 부분의 유기물층(38)이 기판(20) 상에 전사되어 각 화소영역마다 패턴된 발광층(24)이 형성된다.

그러나, 레이저 빔을 조사하여 유기물층을 전사할 경우, 각 화소영역을 스캔하는 공정 시간(tact time)이 길고, 레이저 빔의 크기에 한계가 있어 한번에 전사시킬 수 있는 면적이 제한되므로, 레이저 빔의 크기에 따라 중복 조사되는 부분이 생겨 무라(mura) 문제가 발생한다.

또한, 빛 에너지를 열 에너지로 변환시키는 과정에서 손실되는 부분이 발생하므로, 실제 전사에 필요한 에너지 보다 큰 에너지 출력을 가지는 레이저가 필요하며, 에너지 손실을 최소화하기 위해 레이저 빔의 파장에 따라 광 흡수 및 열변환 효율이 좋은 광-열 변환층 재료의 개발이 필요하다.

상기한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 공정을 단순화하고 시간을 줄이며 비용을 절감할 수 있는 전사용 도너 필름과 그 제조방법 및 이를 이용한 전사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 고해상도 및 대면적에 적용 가능한 박막 형성용 전사용 도너 필름과 그 제조방법 및 이를 이용한 전사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 베이스 필름과; 상기 베이스 필름 상에 제1방향을 따라 연장되고 제2방향을 따라 일정간격 이격되어 형성된 다수의 전사전극과; 상기 전사전극 상부에 형성되어 상기 전사전극을 덮는 열팽창층과; 상기 열팽창층 상부에 형성된 유기물층을 포함하는 전사용 도너 필름을 제공한다.

상기 베이스 필름은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET)나 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리아미드(polyamide)로 이루어진다.

상기 전사전극은 몰리브덴으로 이루어진다.

상기 전사전극은 양단이 서로 연결된다.

상기 전사전극의 폭은 유기전기발광표시장치의 하나의 화소영역에 대응하고, 상기 전사전극 사이의 간격은 유기전기발광표시장치의 두 개의 화소영역에 대응한다.

본 발명의 전사용 도너 필름은 상기 베이스 필름과 상기 전사전극 사이에 열차단층을 더 포함한다.

또한, 본 발명은, 전사용 도너 필름을 피전사 기판 상에 배치하는 단계와; 상기 전사전극에 전원을 공급하여 열을 발생시키는 단계와; 상기 열에 의해 상기 열팽창층이 팽창하여 상기 유기물층을 상기 피전사 기판 상에 전사하는 단계를 포함하는 전사방법을 제공한다.

상기 열을 발생시키는 단계에서 상기 전사전극은 섭씨 150도 내지 250도에 도달한다.

또한, 본 발명은, 베이스 필름 상에 제1방향을 따라 연장되고 제2방향을 따라 일정간격 이격되어 형성된 다수의 전사전극을 형성하는 단계와; 상기 전사전극 상부에 상기 전사전극을 덮는 열팽창층을 형성하는 단계와; 상기 열팽창층 상부에 유기물층을 형성하는 단계를 포함하는 전사용 도너 필름 제조방법을 제공한다.

본 발명의 전사용 도너 필름 제조방법은 상기 다수의 전사전극을 형성하는 단계 이전에 유리 기판 상에 상기 베이스 필름을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 유기물층을 형성하는 단계 이후에 상기 유리 기판을 상기 베이스 필름으로부터 제거하는 단계를 더 포함한다.

본 발명에서는, 다수의 전사전극을 포함하는 전사용 도너 필름을 형성하여 전사전극에 전원을 공급함으로써 열을 발생시켜 유기물층을 전사한다. 따라서, 장비 및 공정을 단순화하고 시간을 줄여 비용을 절감할 수 있다.

또한, 본 발명의 전사용 도너 필름은 전사전극의 폭을 작게 할 수 있으며 대형으로 제작 가능하여 고해상도 및 대면적에 적용이 가능하다.

도 1은 일반적인 유기전기발광표시장치의 구조를 밴드 다이어그램으로 표시한 도면이다.
도 2a와 도 2b는 종래의 레이저 열전사법에 의해 발광층을 형성하는 과정을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치용 어레이 기판을 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름을 이용한 전사방법을 도시한 개략적 공정 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름과 피전사 기판의 배치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름의 제조방법을 도시한 개략적 공정 단면도이다.
도 9a 내지 도 9d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전사용 도너 필름의 제조방법을 도시한 개략적 공정 단면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기전기발광표시장치용 어레이 기판을 도시한 단면도이다.

도 3에 도시한 바와 같이, 절연 기판(110) 상에 반도체층(122)과 게이트전극(132), 그리고 소스 및 드레인 전극(142, 144)으로 구성되는 박막트랜지스터(Tr)가 각 화소영역에 대응하여 형성된다. 반도체층(122)과 게이트전극(132) 사이에는 게이트절연막(130)이 위치하며, 게이트전극(132)과 소스 및 드레인전극(142, 144) 사이에는 층간 절연막(140)이 위치한다.

박막트랜지스터(Tr) 상부에는 보호막(150)이 형성되어 박막트랜지스터(Tr)를 덮으며, 보호막(150)은 드레인전극(144)을 드러내는 콘택홀(150a)을 가진다. 보호막(150)은 유기절연물질로 형성되어 평탄한 표면을 가질 수 있다. 한편, 박막트랜지스터(Tr)와 보호막(150) 사이에 무기절연물질로 된 절연층을 더 포함할 수도 있다.

보호막(150) 상부에는 각 화소영역에 대응하여 제1전극(162)이 형성되며, 제1전극(162)은 드레인 콘택홀(150a)을 통해 드레인전극(144)과 접촉한다. 여기서, 제1전극(162)은 화소전극이 된다.

제1전극(162) 상부에는 뱅크층(172)이 형성된다. 뱅크층(172)은 인접한 화소영역 사이에 위치하고 제1전극(162)의 가장자리를 덮으며, 화소영역의 제1전극(162)을 노출한다.

뱅크층(172) 상부에는 노출된 제1전극(162)과 접촉하는 제1 내지 제3 발광층(182a, 182b, 18bc)이 형성되며, 제1 내지 제3 발광층(182a, 182b, 18bc)의 각각은 하나의 화소영역에 대응하여 형성된다. 제1 내지 제3 발광층(182a, 182b, 182c)은 적, 녹, 청색 빛을 각각 발광한다.

제1 내지 제3 발광층(182a, 182b, 182c) 상부에는 기판(110) 전면에 대응하여 제2전극(184)이 형성된다.

여기서, 제1전극(162)과 발광층(182a, 182b, 182c) 및 제2전극(184)은 발광다이오드를 형성하며, 제1전극(162)은 발광다이오드의 애노드 전극의 역할을 하고, 제2전극(184)은 발광다이오드의 캐소드 전극의 역할을 할 수 있다.

한편, 도시하지 않았지만, 제1 내지 제3 발광층(182a, 182b, 182c)과 제2전극(184) 사이에는 전자를 효율적으로 주입하기 위해, 전자수송층과 전자주입층이 순차적으로 형성될 수 있다. 또한, 제1전극(162)과 제1 내지 제3 발광층(182a, 182b, 182c) 사이에는 정공주입층과 정공수송층이 순차적으로 형성될 수 있다.

본 발명에서는 제1 내지 제3 발광층(182a, 182b, 182c) 각각이 하나의 화소영역에 대응하여 패터닝된 경우에 대하여 설명하였으나, 제1 발광층은 기판 전면에 형성되어 제1 화소영역은 제1 발광층만을 포함하고, 제2 및 제3 화소영역은 각각 제2 및 제3 발광층을 더 포함하도록 형성될 수도 있다.

이러한 발광층(182a, 182b, 182c)은 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름을 이용하여 전사방법으로 형성된다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름을 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름을 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 4와 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 전사용 도너 필름(200)은 베이스 필름(210)과 열차단층(220)과 전사전극(232), 열팽창층(240) 및 유기물층(250)을 포함한다.

베이스 필름(210)은 내열성이 높은 물질로 이루어지는 것이 바람직하며, 예를 들어, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET)나 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리아미드(polyamide)로 이루어질 수 있다.

베이스 필름(210) 상부에는 열차단층(220)이 형성되고, 열차단층(220) 상부에는 전사전극(232)이 다수 개 형성된다. 여기서, 열차단층(220)은 생략될 수도 있다. 전사전극(232)은 금속 물질로 이루어지며, 일례로, 몰리브덴으로 형성될 수 있다. 전사전극(232)은 그 양단을 서로 연결하여 전기적으로 연결될 수 있다.

전사전극(232) 상부에는 전사전극(232)을 덮는 열팽창층(240)이 형성된다. 열팽창층(240)은 일례로, 아크릴계 수지 또는 에폭시계 수지로 이루어질 수 있다.

열팽창층(240) 상부에는 유기물층(250)이 형성된다. 유기물층(250)은 전사되는 층으로 발광물질을 포함한다.

한편, 열팽창층(240)과 유기물층(250) 사이에는 유기물층(250)을 보호하기 위한 층간막(inter layer)을 더 형성할 수 있다. 층간막은 실리콘 질화막(SiNx)이나 실리콘 산화막(SiO₂)일 수 있다.

이러한 본 발명의 전사용 도너 필름을 이용한 전사방법에 대하여 도 6a 내지 도 6c와 도 7을 참조하여 설명한다.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름을 이용한 전사방법을 도시한 개략적 공정 단면도이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름과 피전사 기판의 배치를 개략적으로 도시한 평면도이다. 여기서, 피전사 기판은 도 3의 유기전기발광표시장치의 어레이 기판에 해당하며, 다른 구성요소는 생략한다.

도 6a과 도 7에 도시한 바와 같이, 피전사 기판(100) 상에 전사용 도너 필름(200)을 배치한다.

피전사 기판(100)은 절연 기판(110) 상의 화소영역에 대응하는 화소전극(162)과 화소전극(162) 상부의 뱅크층(172)을 포함한다. 뱅크층(172)은 화소전극(162) 가장자리를 덮으며 화소영역의 화소전극(162)을 노출한다.

도너 필름(200)은 베이스 필름(210)과 그 하부에 순차적으로 형성된 열차단층(220), 전사전극(232), 열팽창층(240) 및 유기물층(250)을 포함한다. 전사전극(232)은 다수 개로 각각 제1방향을 따라 연장되고 제2방향을 따라 일정간격 이격되며, 양단은 서로 연결될 수 있다. 유기물층(250)은 뱅크층(172)와 접촉하도록 배치된다.

이때, 도너 필름(200)은 전사전극(232)이 인접한 뱅크층(172) 사이의 화소전극(162)과 대응하도록 배치된다.

여기서, 전사전극(232)의 길이는 피전사 기판(100)의 제1방향 길이보다 큰 것이 바람직하며, 전사전극(232)의 폭은 인접한 뱅크층(172) 사이의 거리와 같거나 작을 수 있다. 한편, 전사전극(232) 사이의 간격은 두 화소영역에 대응한다.

다음, 도 6b와 도 7에 도시한 바와 같이, 전사전극(232) 양단에 전원을 공급한다. 이때, 전사전극(232)이 섭씨 약 150도 내지 250도의 온도에 도달하도록 일정전류를 일정시간 동안 인가하는 것이 바람직하며, 일례로, 약 750V의 전류를 약 50 ms 동안 흘려준다.

전사전극(232)에서 발생하는 열에 의해 전사전극(232) 하부의 열팽창층(240)이 팽창하게 되고, 팽창된 열팽창층(240) 하부의 유기물층(250)이 화소전극(162) 상에 전사된다. 예를 들어, 열팽창층(240)의 두께는 뱅크층(172)의 두께만큼 증가함으로써, 유기물층(250)이 화소전극(162)과 접촉하며 전사된다. 이때, 유기물층(250)은 뱅크층(172)의 상면에도 전사된다.

다음, 도 6c에 도시한 바와 같이, 전사용 도너 필름(200)을 제거하며, 피전사 기판(100)으로부터 제거하면, 화소전극(162)이 상부에 패터닝된 발광층(182)이 형성된다. 여기서, 발광층(182)은 뱅크층(172) 상부에도 부분적으로 형성될 수 있다.

이러한 과정을 반복하여 적, 녹, 청의 발광층을 각각 형성할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에서는 전사전극(232)을 포함하는 도너 필름(200)을 이용하여 발광층을 형성함으로써, 장비 및 공정이 단순화되고 고해상도 및 대면적에 적용이 가능하다.

이하, 본 발명의 전사용 도너 필름의 제조 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 실시예에 따른 전사용 도너 필름의 제조방법을 도시한 개략적 공정 단면도이다.

도 8a에 도시한 바와 같이, 베이스 필름(310) 상부 전면에 열차단층(320)을 형성한다. 이어, 열차단층(320) 상부에 금속 물질을 스퍼터링(sputtering) 등의 방법으로 증착하고 패터닝하여 일전간격 이격된 전사전극(332)을 형성한다. 여기서, 베이스 필름(310)은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET)로 이루어질 수 있으며, 전사전극(332)은 몰리브덴으로 이루어질 수 있다. 한편, 열차단층(320)은 생략될 수 있다.

도면 상에서는 전사전극(332)의 폭과 간격이 유사할지라도, 실제 전사전극(332)의 폭은 하나의 화소영역에 대응하고, 간격은 두 개의 화소영역에 대응한다. 또한, 도시하지 않았지만, 전사전극(332)의 양단은 전기적으로 연결된다.

다음, 도 8b에 도시한 바와 같이, 전사전극(332) 상부에 가열시 부패가 팽창하는 열팽창층(240)을 형성한다.

다음, 도 8c에 도시한 바와 같이, 열팽창층(340) 상부 전면에 유기물을 진공증착하거나 스핀 코팅 또는 슬릿 코팅하여 유기물층(350)을 형성한다.

따라서, 전사용 도너 필름을 완성한다.

도 9a 내지 도 9d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전사용 도너 필름의 제조방법을 도시한 개략적 공정 단면도이다.

도 9a에 도시한 바와 같이, 유리 기판(410) 상에 폴리이미드(polyimide)나 폴리아미드(polyamide)를 평탄하게 코팅하여 베이스 필름(412)을 형성한다.

이어, 베이스 필름(412) 상부 전면에 열차단층(420)을 형성하고, 열차단층(420) 상부에 금속 물질을 스퍼터링(sputtering) 등의 방법으로 증착하고 패터닝하여 일전간격 이격된 전사전극(432)을 형성한다. 여기서, 전사전극(432)은 몰리브덴으로 이루어질 수 있으며, 열차단층(420)은 생략될 수 있다.

다음, 도 9b에 도시한 바와 같이, 전사전극(432) 상부에 가열시 부패가 팽창하는 열팽창층(440)을 형성한다.

이어, 도 9c에 도시한 바와 같이, 열팽창층(440) 상부 전면에 유기물을 진공증착하거나 스핀 코팅 또는 슬릿 코팅하여 유기물층(450)을 형성한다.

다음, 도 9d에 도시한 바와 같이, 베이스 필름(412)으로부터 유리 기판(도 9c의 410)분리하여 유리 기판(도 9c의 410)을 제거한다.

따라서, 전사용 도너 필름을 완성한다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.

200: 도너 필름 210: 베이스 필름
220: 열차단층 232: 전사전극
240: 열팽창층 250: 유기물층

Claims (12)

1. 베이스 필름과; 상기 베이스 필름 상에 제1방향을 따라 연장되고 제2방향을 따라 일정간격 이격되어 형성된 다수의 전사전극과; 상기 전사전극 상부에 형성되어 상기 전사전극을 덮는 열팽창층과; 상기 열팽창층 상부에 형성된 유기물층을 포함하는 전사용 도너 필름을, 제 1 전극과 상기 제 1 전극의 가장자리를 덮는 뱅크층이 형성된 피전사 기판 상에 배치하는 단계와;
   상기 전사전극에 전원을 공급하여 열을 발생시키는 단계와;
   상기 열에 의해 상기 열팽창층이 팽창하여 상기 유기물층을 상기 제 1 전극 상에 전사하는 단계를 포함하고,
   상기 열팽창층은 에폭시계 수지로 이루어지며,
   상기 전사전극에 전원이 공급됨으로써 상기 열팽창층의 두께가 상기 제 1 전극 상에 위치하는 상기 뱅크층 부분의 두께만큼 증가하여 상기 유기물층이 상기 제 1 전극과 접촉된 상태에서 상기 제 1 전극 상에 전사되는 것을 특징으로 하는 전사방법.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 베이스 필름은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET)나 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리아미드(polyamide)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전사방법.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 전사전극은 몰리브덴으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전사방법.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 전사전극은 양단이 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 전사방법.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 전사전극의 폭은 유기전기발광표시장치의 하나의 화소영역에 대응하고, 상기 전사전극 사이의 간격은 유기전기발광표시장치의 두 개의 화소영역에 대응하는 것을 특징으로 하는 전사방법.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 베이스 필름과 상기 전사전극 사이에 열차단층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전사방법.
   
   
7. 삭제
8. 제1 항에 있어서,
   상기 열을 발생시키는 단계에서 상기 전사전극은 섭씨 150도 내지 250도에 도달하는 것을 특징으로 하는 전사방법.
   
   
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제

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