KR101969298B1 - Xenon and krypton separating apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 제논 및 크립톤 분리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a xenon and krypton separation apparatus.
제논(xenon)은 원소주기율표 상에서 5주기 18족에 속하는 비활성 기체로, 원소 기호는 Xe, 녹는점은 -111.7℃, 끓는점은 -108.12℃, 밀도는 5.894g/L이고, 색깔과 냄새가 없는 단원자 분자로 공기 중에 극미량 함유되어 있다.Xenon is an inert gas belonging to the 5th cycle group 18 on the Periodic Table of the Elements. The element symbol is Xe, the melting point is -111.7 ℃, the boiling point is -108.12 ℃, the density is 5.894g / L, It is a small molecule contained in the air.
크립톤(krypton)은 원소주기율표 상에서 4주기 18족에 속하는 기체로, 원소 기호는 Kr, 녹는점은 -157.36℃, 끓는점은 -153.22℃, 밀도는 3.749g/L이고, 단원자 분자 기체로 반응성이 거의 없어 비활성 기체라고도 하며 색깔과 냄새가 없고 공기 중에 적은 양이 존재한다.Krypton is a gas belonging to the 4th cycle group 18 on the Periodic Table of the Elements. Its symbol is Kr, the melting point is -157.36 ℃, the boiling point is -153.22 ℃, and the density is 3.749g / L. It is also called inert gas, with little color and odor, and a small amount in the air.
이러한 제논 및 크립톤은 반도체 웨이퍼 등의 제조 공정에서 필수 요소로 사용되어져야 하는데, 공기 중에 극미량만 함유되어 있는 특성 때문에, 반도체 웨이퍼 등의 제조 공정에서 이미 사용된 제논 및 크립톤의 회수가 요구되고 있다.Such xenon and krypton should be used as essential elements in the manufacturing process of semiconductor wafers and the like. Due to the characteristic that they are contained only in a very small amount in the air, the recovery of xenon and krypton already used in the production process of semiconductor wafers and the like is required.
반도체 웨이퍼 등의 제조 공정에서 이미 사용된 제논 및 크립톤은 산소 등의 이물질과 혼합된 상태의 혼합 가스 상태로 존재하는데, 이러한 혼합 가스 내에서 순수한 제논 및 크립톤을 분리하기 위한 여러 기술이 개발되어 오고 있고, 그러한 분리 기술의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.[0003] Xenon and krypton already used in the production process of semiconductor wafers and the like exist in a mixed gas state mixed with foreign substances such as oxygen. Various techniques for separating pure xenon and krypton in such mixed gas have been developed , Which can be presented as an example of such a separation technique is that of the patent literature given below.
그러나, 위 특허문헌을 포함한 종래 기술에 의하면, 액화질소와 혼합 가스가 열교환되도록 하기 위한 열교환기와, 상기 열교환기를 경유하면서 저온화된 혼합 가스 중 동결된 제온을 흡착시키는 제논 흡탈착기를 구비하여야 하고, 그에 따라 혼합 가스를 분리 정제하기 위한 분리 부재가 매우 긴 탑 형태로 형성되어져야 해서, 그 설치에 소요되는 공간 및 비용이 과다한 단점이 있었다.However, according to the prior art including the patent documents, it is necessary to include a heat exchanger for exchanging heat between the liquefied nitrogen and the mixed gas, and a xenon desorber for adsorbing the frozen xenon in the mixed gas, which is passed through the heat exchanger, Accordingly, the separation member for separating and purifying the mixed gas has to be formed in a very long tower shape, which is disadvantageous in terms of space and cost for installation.
또한, 위 특허문헌을 포함한 종래 기술에 의하면, 혼합 가스를 분리 정제하기 위한 분리 부재가 임의로 기울어지는 경우, 이를 감지할 수가 없어서, 안전 사고가 발생될 수 있는 단점이 있었다.In addition, according to the prior art including the above patent documents, when the separating member for separating and purifying the mixed gas is arbitrarily inclined, it can not be detected, and there is a disadvantage that a safety accident may occur.
본 발명은 제논과 크립톤이 함유된 혼합 가스에서 제논과 크립톤을 분리 정제하기 위한 분리 부재의 설치에 소요되는 공간 및 비용을 저감시킬 수 있는 제논 및 크립톤 분리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a xenon and krypton separation apparatus capable of reducing the space and cost required for the separation member for separating and purifying xenon and krypton in a mixed gas containing xenon and krypton.
본 발명의 다른 목적은 제논과 크립톤을 분리 정제하기 위한 분리 부재가 임의로 기울어지는 경우 이를 감지할 수 있는 제논 및 크립톤 분리 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a xenon and krypton separation device capable of detecting when the separation member for separating and purifying xenon and krypton is arbitrarily inclined.
본 발명의 일 측면에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치는 제논 및 크립톤을 함유한 혼합 가스를 공급하는 공급 탱크; 냉매 수용 케이스와, 상기 공급 탱크로부터 공급되어 상기 냉매 수용 케이스를 경유한 혼합 가스가 유입되고, 상기 냉매 수용 케이스를 경유한 혼합 가스 중의 액화된 제논과 기체 상태인 크립톤 분리를 위한 충전물이 그 내부에 충전된 분리 부재를 포함하는 분리 유닛; 및 상기 분리 부재에 배치되어, 상기 분리 부재의 수직도를 감지하는 기울어짐 센싱 부재;를 포함하고,
상기 냉매 수용 케이스의 내측 하부에 저온 냉매가 수용되어 있고,
상기 기울어짐 센싱 부재는 상기 분리 부재에 설치되고 내부가 빈 형태로 형성되는 기울어짐 센싱 부재 케이스와, 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스 내부의 상단에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링과, 상기 회동 연결 링에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있는 회동체와, 상기 회동체의 말단에 상기 회동체에 대해 회동될 수 있도록 힌지에 의해 연결되되 중력 방향으로 향하도록 연장되는 회동 연장체와, 상기 회동 연장체의 말단부에 배치되는 회동 마그넷과, 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스의 내부의 저면에 배치되어, 상기 회동 연장체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 자력 변화를 감지하는 기울어짐 감지 홀 센서를 포함하고,
상기 분리 부재가 기울어지기 시작하면, 상기 분리 부재의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체 및 상기 회동 연장체가 중력 방향으로 회동되면서 상기 회동 마그넷의 위치가 변동됨에 따라 상기 기울어짐 감지 홀 센서에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 분리 부재의 기울어짐이 감지될 수 있는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for separating xenon and krypton, comprising: a supply tank for supplying a mixed gas containing xenon and krypton; And a gas mixture supplied from the supply tank and passing through the coolant containing case flows into the coolant containing case and the filler for separating the liquefied xenon in the gaseous mixture passing through the coolant containing case and the gaseous krypton, A separation unit including a charged separation member; And a tilting sensing member disposed on the separating member, the tilting sensing member sensing a verticality of the separating member,
The low-temperature refrigerant is accommodated in the lower portion of the inside of the refrigerant containing case,
Wherein the tilting sensing member includes a tilting sensing member case mounted on the separating member and having an interior formed in an empty shape, a tilting connection ring projecting in a hemispherical shape from an upper end of the tilting sensing member case, A pivoting extension body connected to the distal end of the pivoting body by a hinge so as to be pivotable about the pivoting body and extending toward the gravity direction; And a tilting detection hole sensor disposed on a bottom surface of the tilting sensing member case for detecting a change in magnetic force of the tilting magnet that is suspended from the tilting extension body,
When the separating member starts to be inclined, the rotating body and the rotating extension body are rotated in the gravity direction by an amount of tilting of the separating member, and the magnetic force sensed by the inclination detecting hall sensor The tilting of the separating member can be detected.
본 발명의 일 측면에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치에 의하면, 제논 및 크립톤 분리 장치가 혼합 가스 중의 액화된 제논과 기체 상태인 크립톤 분리를 위한 충전물이 그 내부에 충전된 분리 부재를 포함하는 분리 유닛을 포함함에 따라, 열교환기, 제논 흡탈착기 등이 별도로 구비될 필요가 없고, 그에 따라 제논과 크립톤이 함유된 혼합 가스에서 제논과 크립톤을 분리 정제하기 위한 분리 부재의 설치에 소요되는 공간 및 비용을 저감시킬 수 있게 되는 효과가 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a separation unit comprising a separation member filled with a packing for liquefied xenon in a mixed gas and gaseous krypton separation in a gaseous mixture, It is not necessary to separately provide a heat exchanger and a xenon aspirator and the like so that the space and cost required for the separation member for separating and purifying xenon and krypton in a mixed gas containing xenon and krypton There is an effect that it can be reduced.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치의 구성을 개략적으로 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치를 구성하는 분리 부재 내부를 보이는 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치를 구성하는 분리 부재에 적용된 기울어짐 센싱 부재가 정상적인 상태일 때의 모습을 보이는 단면도.
도 4는 도 3에 도시된 기울어짐 센싱 부재가 일정량 기울어진 상태일 때의 모습을 보이는 단면도.
도 5은 도 4에 도시된 기울어짐 센싱 부재가 최대값으로 기울어진 상태일 때의 모습을 보이는 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of a configuration of a xenon and krypton separation apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the inside of a separating member constituting a separator for separating xenon and krypton according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a tilting sensing member applied to a separating member constituting the separator of xenon and krypton according to an embodiment of the present invention in a normal state. FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where the tilting sensing member shown in FIG. 3 is tilted by a predetermined amount.
5 is a cross-sectional view showing a state where the tilt sensing member shown in FIG. 4 is tilted to a maximum value.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, an apparatus for separating xenon and krypton according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치의 구성을 개략적으로 보이는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치를 구성하는 분리 부재 내부를 보이는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치를 구성하는 분리 부재에 적용된 기울어짐 센싱 부재가 정상적인 상태일 때의 모습을 보이는 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 기울어짐 센싱 부재가 일정량 기울어진 상태일 때의 모습을 보이는 단면도이고, 도 5은 도 4에 도시된 기울어짐 센싱 부재가 최대값으로 기울어진 상태일 때의 모습을 보이는 단면도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of a separator for separating xenon and krypton according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view showing the interior of a separator constituting the separator for separating xenon and krypton according to an embodiment of the present invention FIG. 3 is a cross-sectional view showing a tilting sensing member applied to a separating member constituting the separating apparatus for separating xenon and krypton according to an embodiment of the present invention in a normal state, and FIG. 4 is a cross- FIG. 5 is a cross-sectional view showing the state when the tilt sensing member shown in FIG. 4 is tilted to its maximum value. FIG.
도 1 내지 도 5를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치(100)는 공급 탱크(110)와, 분리 유닛(130)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 to 5 together, the xenon and
도면 번호 101은 상기 공급 탱크(110)와 상기 분리 유닛(130) 내의 후술되는 분리 부재(135)를 연결하는 공급 배관이고, 도면 번호 102는 상기 분리 부재(135)를 경유하면서 분리된 크립톤이 크립톤 저장 탱크(150)로 유동되는 크립톤 유동 배관이고, 도면 번호 103은 상기 분리 부재(135)를 경유하면서 분리된 제논이 제논 저장 탱크(155)로 유동되는 제논 유동 배관이다.
도면 번호 170은 상기 제논 및 크립톤 분리 장치(100)의 각종 구성요소의 작동을 제어할 수 있는 제어 부재이다.
상기 공급 탱크(110)는 반도체 웨이퍼 등을 제조하는 공정에서 이미 사용된 제논 및 크립톤을 함유한 혼합 가스를 저장하고, 상기 분리 유닛(130) 쪽으로 공급할 수 있는 것이다.The
상기 분리 유닛(130)은 상기 공급 탱크(110)로부터 공급된 상기 혼합 가스 중의 제논 및 크립톤을 분리하기 위한 것으로, 냉매 수용 케이스(131)와, 분리 부재(135)를 포함한다.The
상기 냉매 수용 케이스(131)는 그 내측 하부에 액체 질소 등의 저온 냉매가 수용되어 있는 것이고, 상기 공급 배관(101)이 관통된다.The
도면 번호 140은 상기 냉매 수용 케이스(131)의 하부로 상기 저온 냉매를 공급해주는 저온 냉매 공급 부재이고, 도면 번호 104는 상기 저온 냉매 공급 부재와 상기 냉매 수용 케이스(131)의 하부를 연결해주는 냉매 충진 배관이다.
상기 분리 부재(135)는 상기 냉매 수용 케이스(131) 내에 설치되고, 상기 공급 배관(101)을 통해 상기 공급 탱크(110)로부터 공급되어 상기 냉매 수용 케이스(131)를 경유한 혼합 가스가 유입되고, 상기 냉매 수용 케이스(131)를 경유한 혼합 가스 중의 액화된 제논과 기체 상태인 크립톤 분리를 위한 충전물(137)이 그 내부에 충전된 것이다.The separating
상기 분리 부재(135)의 하부에 상기 공급 배관(101) 및 상기 제논 유동 배관(103)이 연결되고, 상기 분리 부재(135)의 상부에 상기 크립톤 유동 배관(102)이 연결된다.The
상기 분리 부재(135) 내부에 충전된 상기 충전물(137)은 라시히 링(raschig ring)으로 제시될 수 있다. 상기 라시히 링은 허니컴 구조 등 다양한 구조로 이루어질 수 있고, 세라믹 등 다양한 물질로 이루어질 수 있다.The
상기와 같이, 상기 분리 부재(135) 내부가 상기 충전물(137)로 충전됨으로써, 상기 공급 배관(101)을 통해 상기 냉매 수용 케이스(131)를 경유한 혼합 가스는 상기 저온 냉매의 냉기에 의해 냉각되고, 그에 따라 상기 혼합 가스 중의 제논은 동결되고 크립톤은 기체 상태를 유지한 상태가 되어, 그 상태로 상기 분리 부재(135) 내부로 유입된 다음, 상기 분리 부재(135)를 경유하면서 상기 충전물(137)인 라시히 링에 의해 동결 상태인 제논은 상기 분리 부재(135)의 하부로 낙하되고, 기체 상태의 크립톤은 상승된다.As described above, since the inside of the separating
상기 분리 부재(135)의 하부로 낙하된 제논은 상기 제논 유동 배관(103)을 통해 상기 제논 저장 탱크(155)에 저장되고, 상기 분리 부재(135)의 상부로 유동된 크립톤은 상기 크립톤 유동 배관(102)을 통해 상기 크립톤 저장 탱크(150)에 저장된다.The xenon dropped to the lower portion of the separating
물론, 상기 제논 저장 탱크(155) 및 상기 크립톤 저장 탱크(150) 전단에는 각각 제논과 크립톤을 압축시켜줄 수 있는 압축기(미도시) 등이 더 설치될 수 있다.Of course, a compressor (not shown) or the like capable of compressing xenon and krypton may be further provided at the front ends of the
한편, 상기 제논 및 크립톤 분리 장치(100)는 상기 공급 탱크(110)로부터 상기 분리 부재(135) 쪽으로 공급되는 상기 혼합 가스 중의 불순물인 산소를 제거하기 위한 산소 제거 부재(115)와, 상기 산소 제거 부재(115)를 경유한 상기 혼합 가스 중의 수분을 제거하는 수분 제거 부재(120)를 포함한다.The apparatus for separating xenon and
상기 산소 제거 부재(115)와 상기 수분 제거 부재(120)는 상기 공급 배관(101) 상에 설치된다.The
상기 산소 제거 부재(115)는 상기 공급 배관(101)을 따라 유동되는 혼합 가스에 수소를 첨가해주는 것이고, 상기 수분 흡착 부재는 실리카겔 등 수분을 흡착할 수 있는 물질이 내부에 배치된 것이다.The
상기 수분 제거 부재(120)에서 상기 공급 배관(101)을 따라 유동되는 혼합 가스에 수소를 첨가해 주면, 상기 혼합 가스 중의 산소와 첨가된 수소가 촉매 반응에 의해 수분으로 변화되고, 그 수분이 그 후단의 상기 수분 흡착 부재에서 흡착되면서 제거될 수 있게 된다.When hydrogen is added to the mixed gas flowing along the
상기와 같이 산소 및 수분이 제거된 혼합 가스가 상기 분리 유닛(130)으로 유동된다.As described above, the mixed gas from which oxygen and moisture are removed flows into the
한편, 상기 제논 및 크립톤 분리 장치(100)는 상기 분리 부재(135)에 배치되어, 상기 분리 부재(135)의 수직도를 감지하는 기울어짐 센싱 부재(160)를 포함한다.The xenon and
상세히, 상기 기울어짐 센싱 부재(160)는 상기 분리 부재(135)의 케이스(137)에 설치되고 내부가 빈 형태로 형성되는 기울어짐 센싱 부재 케이스(161)와, 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스(161) 내부의 상단에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링(162)과, 상기 회동 연결 링(162)에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있고 일정 길이로 길게 형성되는 회동체(163)와, 상기 회동체(163)의 말단에 상기 회동체(163)에 대해 회동될 수 있도록 힌지(167)에 의해 연결되되 중력 방향으로 향하도록 일정 길이로 길게 연장되는 회동 연장체(168)와, 상기 회동 연장체(168)의 말단부에 배치되는 회동 마그넷(164)과, 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스(161)의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동 연장체(168)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(164)의 자력 변화를 감지하는 기울어짐 감지 홀 센서(166)를 포함한다.In detail, the tilting
상기 회동 연장체(168)와 상기 회동 마그넷(164)은 자중에 의해 항상 중력 방향을 향하게 되고, 상기 회동체(163)는 상기 힌지(167)가 후술되는 기울어짐 감지 접촉 센서(165)에 닿기 전까지는 중력 방향으로 향하게 된다.The
감지 효과를 증진하기 위하여, 상기 기울어짐 감지 홀 센서(166)는 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스(161)의 내부의 저면 상의 중앙과 그 양 측으로 일정 간격 이격되도록 세 개 이상으로 설치된다.In order to enhance the sensing effect, the tilt
상기 기울어짐 센싱 부재(160)는 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스(161)에서 상기 힌지(167)에 대응되는 높이에 배치되어, 상기 힌지(167)의 접촉을 감지할 수 있는 기울어짐 감지 접촉 센서(165)를 포함하고, 상기 기울어짐 감지 접촉 센서(165)는 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스(161) 내부에서 돌출된 형태를 이룬다.The tilting
상기 분리 부재(135)가 정상적인 자세인 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 회동체(163), 상기 회동 연장체(168) 및 상기 회동 마그넷(164)은 중력 방향으로 늘어진 상태가 되고, 상기 회동 마그넷(164)은 상기 기울어짐 감지 홀 센서(166) 중 중앙의 것에 의해 감지된 상태를 유지한다.3, the
그러다가, 상기 분리 부재(135)가 임의로 기울어지기 시작하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 분리 부재(135)의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체(163) 및 상기 회동 연장체(168)가 중력 방향으로 회동되면서 상기 회동 마그넷(164)의 위치가 변동됨에 따라 상기 기울어짐 감지 홀 센서(166)에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 분리 부재(135)의 기울어짐이 감지될 수 있게 된다.4, the
그러다가, 상기 분리 부재(135)가 최대값으로 기울어지면, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 힌지(167)가 상기 기울어짐 감지 접촉 센서(165)와 접촉됨과 함께, 상기 힌지(167)가 상기 기울어짐 감지 접촉 센서(165)에 접촉되어 회동 저지됨으로써, 상기 회동체(163)에 비해 상기 회동 연장체(168)가 상대적으로 더 회동되면서, 상기 기울어짐 감지 홀 센서(166)에 의한 상기 회동 마그넷(164)의 자력 변화 감지 범위를 상기 회동 마그넷(164)이 벗어나게 되고, 그에 따라 상기 힌지(167)와 상기 기울어짐 감지 접촉 센서(165)의 접촉 감지 및 상기 기울어짐 감지 홀 센서(166)에 의한 상기 회동 마그넷(164)의 자력 변화 감지 범위 이탈 감지에 의해, 상기 분리 부재(135)의 최대 기울어짐이 감지될 수 있게 된다.5, the
상기와 같은 상기 분리 부재(135)의 기울어짐과 그 기울어지는 정도에 대한 정보는 상기 제어 부재(170)로 전달된다.The inclination of the separating
상기와 같이 구성됨으로써, 상기 분리 부재(135)의 임의적인 기울어짐과 그 기울어지는 정도가 신속하게 감지될 수 있게 된다.With such a configuration, the arbitrary inclination of the separating
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the xenon and
먼저, 상기 공급 배관(101)을 따라 상기 공급 탱크(110) 내의 혼합 가스가 유동된다.First, the mixed gas in the
그러다가, 상기 수분 제거 부재(120)에서 상기 공급 배관(101)을 따라 유동되는 혼합 가스에 수소를 첨가해 주면, 상기 혼합 가스 중의 산소와 첨가된 수소가 촉매 반응에 의해 수분으로 변화되고, 그 수분이 그 후단의 상기 수분 흡착 부재에서 흡착되면서 제거될 수 있게 된다.Then, when hydrogen is added to the mixed gas flowing along the
상기와 같이 산소 및 수분이 제거된 혼합 가스가 상기 분리 유닛(130)으로 유동된다.As described above, the mixed gas from which oxygen and moisture are removed flows into the
상기 분리 유닛(130)으로 유동된 혼합 가스는 상기 냉매 수용 케이스(131)를 경유하면서 상기 저온 냉매의 냉기에 의해 냉각되고, 그에 따라 상기 혼합 가스 중의 제논은 동결되고 크립톤은 기체 상태를 유지한 상태가 되면서 상기 분리 부재(135)로 유입된다.The mixed gas flowing into the
상기 분리 부재(135)로 유입된 혼합 가스는 상기 분리 부재(135)를 경유하면서 상기 충전물(137)인 라시히 링에 의해 동결 상태인 제논은 상기 분리 부재(135)의 하부로 낙하되고, 기체 상태의 크립톤은 상승된다.The mixed gas introduced into the separating
상기 분리 부재(135)의 하부로 낙하된 제논은 상기 제논 유동 배관(103)을 통해 상기 제논 저장 탱크(155)에 저장되고, 상기 분리 부재(135)의 상부로 유동된 크립톤은 상기 크립톤 유동 배관(102)을 통해 상기 크립톤 저장 탱크(150)에 저장된다.The xenon dropped to the lower portion of the separating
상기와 같이, 상기 제논 및 크립톤 분리 장치(100)가 혼합 가스 중의 액화된 제논과 기체 상태인 크립톤 분리를 위한 충전물(137)이 그 내부에 충전된 분리 부재(135)를 포함하는 분리 유닛(130)을 포함함에 따라, 열교환기, 제논 흡탈착기 등이 별도로 구비될 필요가 없고, 그에 따라 제논과 크립톤이 함유된 혼합 가스에서 제논과 크립톤을 분리 정제하기 위한 분리 부재(135)의 설치에 소요되는 공간 및 비용을 저감시킬 수 있게 된다.As described above, the xenon and
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims And can be changed. However, it is intended that the present invention covers the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.
본 발명의 일 측면에 따른 제논 및 크립톤 분리 장치에 의하면, 제논과 크립톤이 함유된 혼합 가스에서 제논과 크립톤을 분리 정제하기 위한 분리 부재의 설치에 소요되는 공간 및 비용을 저감시킬 수 있고, 제논과 크립톤을 분리 정제하기 위한 분리 부재가 임의로 기울어지는 경우 이를 감지할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to an aspect of the present invention, it is possible to reduce the space and cost required for the separation member for separating and purifying xenon and krypton in a mixed gas containing xenon and krypton, The separating member for separating and purifying krypton can be detected when it is tilted arbitrarily, so that it is highly likely to be used industrially.
100 : 제논 및 크립톤 분리 장치
110 : 공급 탱크
130 : 분리 유닛
131 : 냉매 수용 케이스
135 : 분리 부재100: Xenon and krypton separation apparatus
110: Supply tank
130: Separation unit
131: Refrigerant container case
135: separating member
Claims (5)
냉매 수용 케이스와,
상기 공급 탱크로부터 공급되어 상기 냉매 수용 케이스를 경유한 혼합 가스가 유입되고, 상기 냉매 수용 케이스를 경유한 혼합 가스 중의 액화된 제논과 기체 상태인 크립톤 분리를 위한 충전물이 그 내부에 충전된 분리 부재를 포함하는 분리 유닛; 및
상기 분리 부재에 배치되어, 상기 분리 부재의 수직도를 감지하는 기울어짐 센싱 부재;를 포함하고,
상기 냉매 수용 케이스의 내측 하부에 저온 냉매가 수용되어 있고,
상기 기울어짐 센싱 부재는
상기 분리 부재에 설치되고 내부가 빈 형태로 형성되는 기울어짐 센싱 부재 케이스와,
상기 기울어짐 센싱 부재 케이스 내부의 상단에서 반구형으로 돌출되는 회동 연결 링과,
상기 회동 연결 링에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있는 회동체와,
상기 회동체의 말단에 상기 회동체에 대해 회동될 수 있도록 힌지에 의해 연결되되 중력 방향으로 향하도록 연장되는 회동 연장체와,
상기 회동 연장체의 말단부에 배치되는 회동 마그넷과,
상기 기울어짐 센싱 부재 케이스의 내부의 저면에 배치되어, 상기 회동 연장체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 자력 변화를 감지하는 기울어짐 감지 홀 센서를 포함하고,
상기 분리 부재가 기울어지기 시작하면, 상기 분리 부재의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체 및 상기 회동 연장체가 중력 방향으로 회동되면서 상기 회동 마그넷의 위치가 변동됨에 따라 상기 기울어짐 감지 홀 센서에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 분리 부재의 기울어짐이 감지될 수 있는 것을 특징으로 하는 제논 및 크립톤 분리 장치.A supply tank for supplying a mixed gas containing xenon and krypton;
A refrigerant containing case,
A mixed gas supplied from the supply tank and passing through the refrigerant containing case flows in, and the packing for liquefied xenon in the gaseous mixture passing through the refrigerant containing case and for gaseous krypton separation is filled with a separating member A separating unit comprising; And
And a tilting sensing member disposed on the separating member and sensing a verticality of the separating member,
The low-temperature refrigerant is accommodated in the lower portion of the inside of the refrigerant containing case,
The tilting sensing member
A tilting sensing member case installed in the separating member and having an interior formed in an empty shape,
A tilting sensing member protruding in a hemispherical shape from an upper end of the tilting sensing member case,
A pivotal member rotatably coupled to the pivoting connection ring and rotatable in the direction of gravity;
A rotating extension body connected to the end of the rotary body by a hinge so as to be rotatable with respect to the rotary body,
A rotation magnet disposed at a distal end of the rotation extension body,
And a tilting detection hole sensor disposed on a bottom surface of the tilting sensing member case for detecting a change in magnetic force of the tilting magnet,
When the separating member starts to be inclined, the rotating body and the rotating extension body are rotated in the gravity direction by an amount of tilting of the separating member, and the magnetic force sensed by the inclination detecting hall sensor The tilting of the separating member can be detected.
상기 충전물은 라시히 링(raschig ring)인 것을 특징으로 하는 제논 및 크립톤 분리 장치.The method according to claim 1,
Characterized in that the packing is a raschig ring.
상기 제논 및 크립톤 분리 장치는
상기 공급 탱크로부터 상기 분리 부재 쪽으로 공급되는 상기 혼합 가스 중의 불순물인 산소를 제거하기 위한 산소 제거 부재; 및
상기 산소 제거 부재를 경유한 상기 혼합 가스 중의 수분을 제거하는 수분 제거 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 제논 및 크립톤 분리 장치.The method according to claim 1,
The xenon and krypton separation apparatus
An oxygen removing member for removing oxygen which is an impurity in the mixed gas supplied from the supply tank to the separating member; And
And a moisture removing member for removing moisture in the mixed gas passed through the oxygen removing member.
상기 기울어짐 센싱 부재는
상기 기울어짐 센싱 부재 케이스에서 상기 힌지에 대응되는 높이에 배치되어, 상기 힌지의 접촉을 감지할 수 있는 기울어짐 감지 접촉 센서를 포함하고,
상기 기울어짐 감지 접촉 센서는 상기 기울어짐 센싱 부재 케이스 내부에서 돌출된 형태를 이루고,
상기 분리 부재가 최대값으로 기울어지면, 상기 힌지가 상기 기울어짐 감지 접촉 센서와 접촉됨과 함께, 상기 힌지가 상기 기울어짐 감지 접촉 센서에 접촉되어 회동 저지됨으로써, 상기 회동체에 비해 상기 회동 연장체가 상대적으로 더 회동되면서, 상기 기울어짐 감지 홀 센서에 의한 상기 회동 마그넷의 자력 변화 감지 범위를 상기 회동 마그넷이 벗어나게 되고, 그에 따라 상기 힌지와 상기 기울어짐 감지 접촉 센서의 접촉 감지 및 상기 기울어짐 감지 홀 센서에 의한 상기 회동 마그넷의 자력 변화 감지 범위 이탈 감지에 의해, 상기 분리 부재의 최대 기울어짐이 감지될 수 있는 것을 특징으로 하는 제논 및 크립톤 분리 장치.The method according to claim 1,
The tilting sensing member
And a tilt sensing contact sensor disposed at a height corresponding to the hinge in the tilt sensing member case and capable of sensing contact of the hinge,
Wherein the tilt sensing contact sensor is protruded from the inside of the tilt sensing member case,
Wherein when the separating member is tilted to its maximum value, the hinge comes into contact with the inclination detecting contact sensor, and the hinge comes into contact with the inclination detecting contact sensor to be prevented from rotating so that the rotating extension is relatively And the tilt sensing hole sensor detects the magnetic force change range of the tilt magnet and the tilt sensing hole sensor detects the contact of the tilt sensing contact sensor and the tilt sensing hole sensor, Wherein the maximum inclination of the separation member can be detected by detecting the deviation of the magnetic force change detection range of the rotating magnet by the rotation angle detection unit.
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