KR101933586B1 - Manufacturing apparatus for graphine - Google Patents

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KR101933586B1 KR1020140013828A KR20140013828A KR101933586B1 KR 101933586 B1 KR101933586 B1 KR 101933586B1 KR 1020140013828 A KR1020140013828 A KR 1020140013828A KR 20140013828 A KR20140013828 A KR 20140013828A KR 101933586 B1 KR101933586 B1 KR 101933586B1
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Abstract

본 발명은 그래핀 합성장치를 개시한다. 본 발명은, 타겟기판 상에 형성된 그래핀 박막 상에 캐리어 필름을 부착시키는 제 1 부착롤러와, 상기 제 1 부착롤러부터 이송되는 상기 타겟기판, 상기 그래핀 박막 및 상기 캐리어 필름을 절곡시켜 이송시키는 제 1 이송롤러와, 상기 제 1 이송롤러에 대향하도록 설치되어 상기 캐리어 필름과 접촉하는 제 1 가력롤러와, 상기 제 1 가력롤러에 설치되며, 상기 그래핀 박막으로부터 일정 간격 이격되어 고주파 전압을 인가한 후 가변하는 전류를 측정하는 제 1 센서부를 포함한다. The present invention discloses a graphene synthesizing apparatus. The present invention relates to a method of manufacturing a target substrate, comprising: a first attaching roller for attaching a carrier film on a graphene thin film formed on a target substrate; and a bending device for bending and transferring the target substrate, the graphene thin film, A first transfer roller, a first transfer roller disposed so as to face the first transfer roller and in contact with the carrier film, and a second transfer roller disposed on the first transfer roller, the transfer roller being spaced apart from the graphene film by a predetermined distance to apply a high- And a first sensor unit for measuring a variable current after the first sensor unit.

Figure R1020140013828
Figure R1020140013828

Description

그래핀 합성장치{Manufacturing apparatus for graphine}{Manufacturing apparatus for graphine}

본 발명은 합성장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 그래핀 합성장치에 관한 것이다. The present invention relates to a synthesizing apparatus, and more particularly, to a graphen synthesizing apparatus.

현재 탄소에 기반을 둔 재료로서, 탄소 나노튜브(carbon nanotube), 다이아몬드(diamond), 그라파이트(graphite), 그래핀(graphene) 등이 다양한 분야에서 연구되고 있다. 이 중, 탄소나노튜브가 1990년대 이후부터 각광을 받아 오고 있으나 최근에는 판상 구조의 그래핀(graphene)이 많은 주목을 받고 있다. 그래핀은 탄소원자들이 2차원적으로 배열된 수 nm 두께의 박막 물질로서, 그 내부에서 전하가 제로 유효 질량 입자(zero effective mass particle)로 작용하기 때문에 매우 높은 전기전도도를 가지며, 또한 높은 열전도도, 탄성 등을 가진다.Currently, carbon nanotubes, diamond, graphite, graphene, etc. are being studied in various fields as materials based on carbon. Of these, carbon nanotubes have been attracting attention since the 1990s, but in recent years, graphene has attracted much attention. Graphene is a thin film material with thicknesses of several nanometers, in which carbon atoms are two-dimensionally arranged, has a very high electrical conductivity because the charge acts as a zero effective mass particle, and also has a high thermal conductivity , Elasticity, and the like.

따라서, 그래핀이 연구된 이후로 그래핀에 대한 많은 특성 연구가 진행되고 있으며 다양한 분야에서 활용하기 위한 연구가 진행되고 있다. 이와 같은, 그래핀은 높은 전기 전도도 및 탄성 특성으로 인해 투명하고 플렉서블(flexible)한 소자에 적용하기에 적합하다.Therefore, many studies on graphene have been conducted since the study of graphene, and researches are being conducted to utilize it in various fields. As such, graphene is suitable for applications in transparent and flexible devices due to its high electrical conductivity and elastic properties.

상기와 같은 그래핀을 합성하기 위한 방법으로 화학기상증착법(chemical vapor deposition-CVD)이 사용된다. 화학기상증착법은 구리 또는 백금 등의 촉매금속으로 이루어진 촉매금속박막을 그래핀 합성 챔버의 내부공간에 안치시키고, 메탄 또는 에탄 등의 탄화수소를 그래핀 합성 챔버의 내부공간에 주입한 후, 그래핀 합성 챔버의 내부공간을 고온으로 가열함으로써 촉매금속박막의 표면에 그래핀을 합성하는 방법이다.Chemical vapor deposition (CVD) is used as a method for synthesizing such graphene. In the chemical vapor deposition method, a catalyst metal thin film made of a catalytic metal such as copper or platinum is placed in an inner space of a graphene synthesis chamber, and hydrocarbons such as methane or ethane are injected into an inner space of a graphening chamber, And heating the internal space of the chamber to a high temperature to synthesize graphene on the surface of the catalyst metal thin film.

상술한 바와 같이 그래핀은 매우 유용한 성질을 가지고 있지만 그래핀을 합성하기 위해 고온의 환경을 설정하는데 비교적 많은 시간이 걸리므로, 대면적의 그래핀 시트를 경제적인 방식으로 양산하기 어렵다.As described above, graphene has a very useful property, but it takes a relatively long time to set a high-temperature environment to synthesize graphene, so it is difficult to mass-produce a large-area graphene sheet in an economical manner.

이때, 상기와 같이 그래핀 시트를 합성하는 과정에서 그래핀의 면저항을 측정함으로써 그래핀의 특성을 파악하는 것은 상당히 중요한 문제이다. 상기와 같이 그래핀의 면저항을 측정하기 위하여 별도의 탐침침을 그래핀의 표면에 접촉시킴으로써 그래핀의 면저항을 측정할 수 있다. At this time, it is a very important problem to grasp the characteristics of graphene by measuring the sheet resistance of the graphene in the process of synthesizing the graphene sheet as described above. As described above, in order to measure the sheet resistance of the graphene, the sheet resistance of the graphene can be measured by bringing a separate probe needle into contact with the surface of the graphene.

이러한 그래핀 합성장치는 한국공개특허공보 제2012-0088524호(발명의 명칭 : 그래핀 합성장치 및 합성방법, 출원인 : 삼성테크윈 주식회사, 성균관대학교산학협력단)에 구체적으로 개시되어 있다.Such a graphene synthesizing apparatus is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2012-0088524 (entitled "Graphene Synthesizing Apparatus and Synthesis Method, Applicant: Samsung Techwin Co., Ltd., Sungkyunkwan Univ.

한국공개특허공보 제2012-0088524호Korea Patent Publication No. 2012-0088524

본 발명의 실시예들은 그래핀 합성장치를 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention seek to provide a graphene synthesizer.

본 발명의 일 측면은, 타겟기판 상에 형성된 그래핀 박막 상에 캐리어 필름을 부착시키는 제 1 부착롤러와, 상기 제 1 부착롤러부터 이송되는 상기 타겟기판, 상기 그래핀 박막 및 상기 캐리어 필름을 절곡시켜 이송시키는 제 1 이송롤러와, 상기 제 1 이송롤러에 대향하도록 설치되어 상기 캐리어 필름과 접촉하는 제 1 가력롤러와, 상기 제 1 가력롤러에 설치되며, 상기 그래핀 박막으로부터 일정 간격 이격되어 고주파 전압을 인가한 후 가변하는 전류를 측정하는 제 1 센서부를 포함하는 그래핀 합성장치를 제공할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, including: a first attaching roller for attaching a carrier film to a graphene thin film formed on a target substrate; A first transfer roller which is provided so as to face the first transfer roller and contacts the carrier film, and a second transfer roller which is provided on the first transfer roller and which is spaced apart from the graphene film by a predetermined interval, And a first sensor unit for measuring a variable current after the voltage is applied.

또한, 상기 이송롤러와 상기 가력롤러를 통과한 상기 캐리어 필름을 상기 그래핀 박막으로부터 박리시키는 박리롤러를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a peeling roller for peeling the carrier film having passed through the conveying roller and the force roller from the graphene thin film.

또한, 상기 박리롤러로부터 이송되는 상기 그래핀 박막 상에 보호필름을 부착시키는 제 2 부착롤러를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a second attaching roller for attaching a protective film on the graphene thin film conveyed from the peeling roller.

또한, 상기 보호필름이 부착된 상기 그래핀 박막 및 상기 타겟기판을 이송시키 제 2 이송롤러와, 상기 제 2 이송롤러와 대향하도록 설치되어 상기 보호필름과 접촉하는 제 2 가력롤러와, 상기 제 2 가력롤러에 설치되며, 상기 그래핀으로부터 일정 간격 이격되어 고주파 전압을 인가한 후 가변하는 전류를 측정하는 제 2 센서부를 더 포함할 수 있다. A second conveying roller for conveying the target substrate and the graphene thin film to which the protective film is attached; a second pressing roller installed so as to face the second conveying roller and contacting the protective film; And a second sensor unit installed in the force roller and measuring a variable current after a high frequency voltage is applied to the graphen at a predetermined interval.

또한, 상기 제 2 가력롤러를 상기 제 2 이송롤러 측으로 일정한 힘으로 가력하는 제 2 가력부를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a second pressing portion for pressing the second pressing roller toward the second conveying roller with a predetermined force.

또한, 상기 제 1 가력롤러를 상기 제 1 이송롤러 측으로 일정한 힘으로 가력하는 제 1 가력부를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a first pressing unit for pressing the first pressing roller toward the first feeding roller with a predetermined force.

본 발명의 실시예들은 그래핀 박막의 합성 시 비접촉 방식으로 그래핀 박막의 면저항을 측정함으로써 그래핀 박막 표면의 파손을 방지하면서 정확하고 정밀하게 측정이 가능하다. Embodiments of the present invention can accurately and precisely measure the surface resistance of a graphene thin film without damaging the surface of the graphene thin film by measuring the sheet resistance of the graphene thin film in a noncontact manner during synthesis of the graphene thin film.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 합성장치를 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 센서부를 보여주는 개념도이다. 1 is a conceptual diagram showing a graphene synthesizing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a conceptual view showing the sensor unit shown in FIG. 1. FIG.

본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. It is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is noted that the terms "comprises" and / or "comprising" used in the specification are intended to be inclusive in a manner similar to the components, steps, operations, and / Or additions. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 합성장치를 보여주는 개념도이다. 도 2는 도 1에 도시된 센서부를 보여주는 개념도이다.1 is a conceptual diagram showing a graphene synthesizing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a conceptual view showing the sensor unit shown in FIG. 1. FIG.

도 1 및 도 2를 참고하면, 그래핀 합성장치(100)는 롤투롤(Roll-to-Roll) 형태로 형성될 수 있다. 구체적으로 그래핀 합성장치(100)는 촉매금속 상에서 그래핀 박막(2)을 합성한 후 촉매금속을 제거하고 타겟기판(1)에 그래핀 박막(2)을 전사한 후 이송시킬 수 있다. 이때, 그래핀 박막(2)은 다양한 요소를 형성할 수 있다. 예를 들면, 그래핀 박막(2)은 그래핀 박막(2)을 포함하는 투명전극, 활성층, 이를 구비하는 표시소자, 전자소자, 광전소자, 배터리, 태양전지 등에 적용할 수 있다. Referring to FIGS. 1 and 2, the graphene synthesizing apparatus 100 may be formed in a roll-to-roll configuration. Specifically, the graphene synthesizing apparatus 100 can synthesize the graphene thin film 2 on the catalyst metal, remove the catalyst metal, and transfer the graphene thin film 2 after transferring the graphene thin film 2 to the target substrate 1. At this time, the graphene thin film 2 can form various elements. For example, the graphene thin film 2 can be applied to a transparent electrode including the graphene thin film 2, an active layer, a display device having the same, an electronic device, a photoelectric device, a battery, and a solar cell.

그래핀 합성장치(100)는 상기와 같이 타겟기판(1)에 그래핀 박막(2)을 전사한 후 타겟기판(1)과 그래핀 박막(2)은 이송되어 캐리어 필름(3)이 도포된 후 캐리어 필름(3)을 다시 제거한 후 패턴 등을 형성하고, 보호필름(4)을 부착하여 외부로 반출할 수 있다. The graphene thin film 2 is transferred to the target substrate 1 after the graphene thin film 2 is transferred to the target substrate 1 as described above and the carrier film 3 is coated After the carrier film 3 is removed again, a pattern or the like is formed, and the protective film 4 can be attached and taken out to the outside.

이때, 상기와 같은 그래핀 합성장치(100)는 제 1 부착롤러(110), 제 1 이송롤러(120), 제 1 가력롤러(131), 제 1 센서부(140), 박리롤러(160), 제 2 부착롤러(170), 제 2 이송롤러(180), 제 2 가력롤러(132), 제 2 센서부(190), 제 1 가력부(151) 및 제 2 가력부(152)를 포함할 수 있다. The graphener 100 may include a first attaching roller 110, a first conveying roller 120, a first pressing roller 131, a first sensor 140, a peeling roller 160, A second transfer roller 170, a second transfer roller 180, a second transfer roller 132, a second sensor unit 190, a first transfer unit 151, and a second transfer unit 152 can do.

제 1 부착롤러(110)는 타겟기판(1)에 전사된 그래핀 박막(2) 상에 캐리어 필름(3)을 부착시킬 수 있다. 이때, 제 1 부착롤러(110)는 복수개 구비되어, 복수개의 제 1 부착롤러(110) 중 한쌍의 제 1 부착롤러(110)는 각 대향하도록 배치되어 타겟기판(1)과 캐리어 필름(3)의 외면을 각각 가력할 수 있다. 특히 캐리어 필름(3)은 외부로부터 공급되어 캐리어 필름(3)의 외면과 그래핀 박막(2)의 외면에 접촉할 수 있다. The first attaching roller 110 can attach the carrier film 3 onto the graphene thin film 2 transferred to the target substrate 1. [ At this time, a plurality of first attachment rollers 110 are provided so that a pair of first attachment rollers 110 of the plurality of first attachment rollers 110 are arranged to face each other, and the target substrate 1 and the carrier film 3 Respectively. Particularly, the carrier film 3 is supplied from the outside and can contact the outer surface of the carrier film 3 and the outer surface of the graphene film 2.

제 1 이송롤러(120)는 캐리어 필름(3)이 부착된 타겟기판(1)과 그래핀 박막(2)을 이송시킬 수 있다. 이때, 제 1 이송롤러(120)는 타겟기판(1)의 외면에 접촉하여 타겟기판(1)을 가력함으로써 타겟기판(1), 그래핀 박막(2) 및 캐리어 필름(3)을 이송시킬 수 있다. 또한, 제 1 이송롤러(120)는 타겟기판(1)을 일정 각도로 절곡시킬 수 있다. 구체적으로 제 1 이송롤러(120)는 타겟기판(1)을 절곡시킴으로써 타겟기판(1)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다. 특히 타겟기판(1)이 이송되는 동안 타겟기판(1), 그래핀 박막(2) 및 캐리어 필름(3) 등의 하중으로 인하여 타겟기판(1)이 쳐지는 것을 방지할 수 있다. The first transfer roller 120 can transfer the target substrate 1 to which the carrier film 3 is attached and the graphene film 2. At this time, the first conveying roller 120 contacts the outer surface of the target substrate 1 and applies force to the target substrate 1 to transfer the target substrate 1, the graphene thin film 2, and the carrier film 3 have. Also, the first conveying roller 120 can bend the target substrate 1 at an angle. Specifically, the first conveying roller 120 can maintain the tension of the target substrate 1 constant by bending the target substrate 1. [ It is possible to prevent the target substrate 1 from being stuck due to the load of the target substrate 1, the graphene film 2 and the carrier film 3 while the target substrate 1 is being transported.

제 1 가력롤러(131)는 제 1 이송롤러(120)가 캐리어 필름(3), 그래핀 박막(2) 및 타겟기판(1)을 제 1 이송롤러(120) 측으로 가력할 수 있다. 이때, 제 1 가력롤러(131)는 제 1 이송롤러(120)의 회전 시 캐리어 필름(3), 그래핀 박막(2) 및 타겟기판(1)이 경로를 이탈하는 것을 방지할 수 있다. The first force rollers 131 can move the carrier film 3, the graphene film 2 and the target substrate 1 to the first conveying roller 120 side by the first conveying roller 120. At this time, the first pressing roller 131 can prevent the carrier film 3, the graphene film 2, and the target substrate 1 from deviating from the path when the first conveying roller 120 rotates.

특히 제 1 가력롤러(131)의 후면에는 제 1 가력부(151)가 설치될 수 있다. 예를 들면, 제 1 가력부(151)는 제 1 가력롤러(131)를 제 1 이송롤러(120) 측으로 가력하는 실린더, 압축스프링, 탄성부재 등을 포함할 수 있다. 이때, 제 1 가력부(151)는 상기에 한정되지 않으며, 제 1 가력롤러(131)를 제 1 이송롤러(120) 측으로 일정 힘으로 가력하는 모든 장치 및 구조를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 가력부(151)가 압축스프링을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. In particular, a first pressing portion 151 may be provided on the rear surface of the first pressing roller 131. For example, the first pressing portion 151 may include a cylinder, a compression spring, an elastic member, or the like, which applies the first pressing roller 131 to the first conveying roller 120 side. At this time, the first pressing portion 151 is not limited to the above, and may include all devices and structures for applying the first pressing roller 131 to the first conveying roller 120 with a constant force. Hereinafter, for convenience of explanation, the first pressing portion 151 includes a compression spring will be described in detail.

또한, 제 1 가력롤러(131)는 제 1 센서부(140)를 그래핀 박막(2)의 표면으로부터 일정 간격 이격시킬 수 있다. 예를 들면, 제 1 가력롤러(131)는 캐리어 필름(3)의 표면에 접촉할 수 있으며, 제 1 센서부(140)의 끝단은 캐리어 필름(3)의 표면으로부터 일정 간격 이격될 수 있다. 이때, 제 1 가력부(151)는 제 1 가력롤러(131)에 일정한 힘을 가력함으로써 제 1 센서부(140)와 캐리어 필름(3)의 외면 사이의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서 제 1 센서부(140)는 그래핀 박막(2)의 표면으로부터 일정한 거리를 유지시킬 수 있다. Also, the first pressing roller 131 can separate the first sensor unit 140 from the surface of the graphene film 2 at a predetermined interval. For example, the first pressing roller 131 may contact the surface of the carrier film 3, and the end of the first sensor part 140 may be spaced apart from the surface of the carrier film 3 by a predetermined distance. At this time, the first pressing part 151 can maintain a constant distance between the first sensor part 140 and the outer surface of the carrier film 3 by applying a constant force to the first pressing roller 131. Accordingly, the first sensor unit 140 can maintain a predetermined distance from the surface of the graphene film 2.

제 1 센서부(140)는 비접촉 방식으로 그래핀 박막(2)의 면저항을 측정할 수 있다. 구체적으로 제 1 센서부(140)는 도전체로 형성되는 제 1 바디부(141)와, 제 1 바디부(141)를 감싸도록 설치되는 제 1 코일부(142)를 포함할 수 있다. 또한, 제 1 센서부(140)는 제 1 코일부(142)의 가변하는 전류를 측정하는 제 1 감지부(143)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 바디부(141)는 제 1 코일부(142)가 감기도록 일부가 돌출되어 형성될 수 있으며, 돌출된 제 1 바디부(141) 부분에 제 1 코일부(142)가 감기도록 설치될 수 있다.The first sensor unit 140 can measure the sheet resistance of the graphene thin film 2 in a non-contact manner. Specifically, the first sensor unit 140 may include a first body part 141 formed of a conductor and a first coil part 142 installed to surround the first body part 141. The first sensor unit 140 may include a first sensing unit 143 for measuring a variable current of the first coil unit 142. The first body part 141 may be partially protruded to wind the first coil part 142 so that the first coil part 142 is wound around the protruded first body part 141. [ Can be installed.

상기와 같이 설치되는 제 1 코일부(142)에 고주파 전압이 인가되면, 시간적으로 변화하는 자기장이 발생하고, 그래핀 박막(2)이 전자기 유도에 의하여 와전류(Eddy current)를 발생시킬 수 있다. 이때, 상기와 같은 와전류는 자속 방향의 수직면에는 멤돌이 형태로 흘러 줄열을 발생시키고 고주파전력의 일부가 그래핀 박막(2) 내부로 흡수될 수 있다. When a high frequency voltage is applied to the first coil part 142 installed as described above, a temporally changing magnetic field is generated, and the graphene thin film 2 can generate an eddy current by electromagnetic induction. At this time, the eddy currents such as the above-mentioned eddy currents flow in a vertical direction on the vertical plane in the direction of the magnetic flux, and a part of the high frequency power can be absorbed into the graphene thin film 2.

상기와 같이 전류가 흐르는 경우 제 1 감지부(143)는 가변하는 전류를 측정하여 그래핀 박막(2)의 면저항을 측정할 수 있다. 이때, 상기와 같이 그래핀 박막(2) 내부로 흡수되는 고주파전력, 전도율(혹은 비저항의 역수), 그래핀 박막(2)의 형상(두께)을 통하여 면저항과 가변하는 고주파 전류 사이의 관계를 산출할 수 있다. 특히 상기와 같은 면저항과 가변하는 고주파 전류 사이의 관계는 면저항의 로그값과 가변하는 고주파 전류의 로그값 사이에는 선형 관계를 형성하고, 면저항의 로그값의 크기가 커질수록 가변하는 고주파 전류의 로그값은 작아질 수 있다. 이때, 가변하는 고주파 전류는 그래핀 박막(2)에 의하여 인가된 고주파 전류가 와전류에 의하여 변화한 전류일 수 있다. 상기와 같이 면저항을 알고 있는 그래핀 박막(2) 시료로 고주파 전류와 면저항의 관계 특성을 구한 후 실제 제 1 감지부(143)에서 측정된 가변하는 고주파 전류의 변화를 통하여 비저항 및 면저항을 측정할 수 있다. When the current flows as described above, the first sensing unit 143 can measure the sheet resistance of the graphene thin film 2 by measuring a variable current. At this time, the relationship between the sheet resistance and the varying high-frequency current is calculated through the high-frequency power absorbed into the graphene film 2, the conductivity (or the inverse of the resistivity) and the shape (thickness) can do. Particularly, the relationship between the sheet resistance and the variable high-frequency current has a linear relationship between the logarithm of the sheet resistance and the logarithmic value of the varying high-frequency current, and the logarithmic value of the high-frequency current which changes as the logarithmic value of the sheet resistance increases Lt; / RTI > At this time, the variable high-frequency current may be the high-frequency current applied by the graphene thin film 2 and the current changed by the eddy current. The relationship between the high-frequency current and the sheet resistance is obtained from the sample of the graphene thin film (2) having the sheet resistance as described above, and then the resistivity and the sheet resistance are measured through the change of the high frequency current measured by the first sensing unit .

상기와 같이 감지된 전류는 그래핀 합성장치(100)의 제어부(미도시)로 전송될 수 있다. 이때, 상기 제어부에서는 상기에서 설명한 바와 같이 가변하는 고주파 전류에 따른 면저항과의 관계가 기 설정된 상태일 수 있다. 특히 상기와 같은 관계는 상기 제어부에 미리 설정된 상태일 수 있으며, 관계식이 프로그램 형태로 상기 제어부에 탑재되는 것도 가능하다. 이때, 가변하는 고주파 전류와 면저항 사이의 관계는 일반적인 관계식이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The sensed current may be transmitted to a control unit (not shown) of the graphene synthesizer 100. At this time, the control unit may have a predetermined relationship with the sheet resistance depending on the varying high-frequency current as described above. Particularly, the above relationship may be preset in the control unit, and the relational expression may be mounted on the control unit in the form of a program. At this time, since the relationship between the variable high frequency current and the sheet resistance is a general relation, a detailed description will be omitted.

상기 제어부는 상기와 같은 그래핀 박막(2)의 면저항을 산출하여 외부로 표시할 수 있다. 이때, 표시하는 방법은 이미지, 글자, 소리 등 다양할 수 있다. The controller may calculate sheet resistance of the graphene thin film 2 as described above and display the sheet resistance to the outside. At this time, the display method may be various such as image, letter, sound, and the like.

한편, 상기와 같이 제 1 센서부(140)에서 그래핀 박막(2)의 면저항을 산출한 후 박리롤러(160)로 이송되어 캐리어 필름(3)을 그래핀 박막(2)으로부터 분리시킬 수 있다. 이때, 박리롤러(160)는 복수개 구비되며, 서로 대향하도록 배치되어 타겟기판(1) 및 그래핀 박막(2)을 이송시키면서 캐리어 필름(3)을 분리시킬 수 있다. 특히 복수개의 박리롤러(160) 중 하나는 열을 가함으로써 캐리어 필름(3)을 그래핀 박막(2)으로부터 박리시킬 수 있다. The sheet resistance of the graphene film 2 is calculated by the first sensor unit 140 and then transferred to the peeling roller 160 to separate the carrier film 3 from the graphene film 2 . At this time, a plurality of peeling rollers 160 are provided, and the carrier film 3 can be separated while the target substrate 1 and the graphene thin film 2 are being transported. In particular, one of the plurality of peeling rollers 160 can peel the carrier film 3 from the graphene film 2 by applying heat.

상기와 같이 캐리어 필름(3)이 분리된 후 그래핀 박막(2) 표면은 평탄화 가공이나 패턴 등을 형성할 수 있으며, 별도의 작업 없이 제 2 부착롤러(170)로 이송될 수 있다.After the carrier film 3 is separated as described above, the surface of the graphene film 2 can be planarized or patterned and can be transferred to the second attaching roller 170 without any additional work.

이때, 제 2 부착롤러(170)는 복수개 구비되며, 복수개의 제 2 부착롤러(170)는 서로 대향하도록 배치되어 보호필름(4)을 그래핀 박막(2) 상에 부착시킬 수 있다. 상기와 같은 경우 보호필름(4)은 외부로부터 공급될 수 있다. At this time, a plurality of second attaching rollers 170 are provided, and the plurality of second attaching rollers 170 are arranged to face each other, so that the protective film 4 can be attached on the graphene film 2. In such a case, the protective film 4 may be supplied from the outside.

상기와 같이 보호필름(4)이 공급되면, 제 2 부착롤러(170)는 타겟기판(1) 및 그래핀 박막(2)을 이송시키면서 보호필름(4)을 그래핀 박막(2)에 부착시킬 수 있다. When the protective film 4 is supplied as described above, the second adhering roller 170 adheres the protective film 4 to the graphene film 2 while transferring the target substrate 1 and the graphene film 2 .

상기와 같이 보호필름(4)이 부착된 그래핀 박막(2) 및 타겟기판(1)은 제 2 이송롤러(180)에 의하여 이송될 수 있다. 이때, 제 2 가력롤러(132)는 제 2 이송롤러(180)에 대향하도록 설치되어 보호필름(4), 그래핀 박막(2) 및 타겟기판(1)을 이송시키면서 제 2 센서부(190)를 그래핀 박막(2)의 표면으로부터 일정 간격 이격시킬 수 있다. 제 2 센서부(190)를 이격시키는 방법은 제 1 이송롤러(120)가 제 1 센서부(140)를 이격시키는 방법과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The graphene film 2 and the target substrate 1 to which the protective film 4 is attached can be transported by the second transporting roller 180 as described above. The second force roller 132 is disposed to face the second conveying roller 180 and moves the second sensor unit 190 while conveying the protective film 4, the graphene film 2, Can be spaced apart from the surface of the graphene thin film 2 by a predetermined distance. The method of separating the second sensor unit 190 is the same as or similar to the method of separating the first sensor unit 140 from the first conveyance roller 120, and thus a detailed description thereof will be omitted.

한편, 제 2 센서부(190)는 그래핀 박막(2)의 면저항을 측정할 수 있다. 이때, 제 2 센서부(190)에서 측정되는 방법은 상기 제 1 센서부(140)에서 측정되는 방법과 동일 또는 유사하고, 상기 제어부에서 그래핀 박막(2)의 면저항을 측정하는 방법은 상기에서 설명한 바와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. On the other hand, the second sensor unit 190 can measure the sheet resistance of the graphene thin film 2. The method of measuring the sheet resistance of the graphene thin film 2 in the control unit is the same as or similar to the method of measuring the thickness of the graphene thin film 2 in the first sensor unit 140, The detailed description thereof will be omitted.

상기와 같은 보호필름(4)은 빛이 투과 가능한 형태일 수 있다. 이때, 그래핀 합성장치(100)는 보호필름(4), 그래핀 박막(2) 및 타겟기판(1)을 투과하는 빛의 투과도를 검사하는 투과도검사부(153)를 더 포함할 수 있다. 이때, 투과도검사부(153)는 빛의 투과 정도를 측정할 수 있으며, 빛의 반사 정도를 측정하는 것도 가능하다.The protective film 4 may be a light-transmissible form. The graphene synthesizing apparatus 100 may further include a permeability inspecting unit 153 for inspecting the transmittance of light transmitted through the protective film 4, the graphene thin film 2, and the target substrate 1. At this time, the transmittance inspection unit 153 can measure the degree of transmission of light and measure the degree of reflection of light.

상기와 같이 투과도검사부(153)에서 측정된 값은 상기 제어부로 전송되고, 상기 제어부는 투과도를 근거로 그래핀 박막(2)의 유무를 측정할 수 있다. 이때, 상기 제어부에는 그래핀 박막(2)이 존재하는 경우의 투과도가 테이블 형태 등으로 기 설정된 상태일 수 있다. As described above, the measured value of the permeability inspecting unit 153 is transmitted to the controller, and the controller can measure the presence or absence of the graphene thin film 2 based on the permeability. In this case, the permeability of the graphene film 2 in the control part may be predetermined by a table shape or the like.

따라서 그래핀 합성장치(100)는 그래핀 박막(2)의 면저항을 비접촉식으로 측정함으로써 그래핀 박막(2)의 합성 후 그래핀 박막(2)의 표면의 파손을 방지시킬 수 있다. 뿐만 아니라 그래핀 합성장치(100)는 그래핀 박막(2)을 롤투롤 방식으로 제조하면서 그래핀 박막(2)의 면저항을 정확하고 신속하게 측정 가능함으로써 작업 시간을 단축시킬 수 있다. Therefore, the graphene composite apparatus 100 can prevent the surface of the graphene thin film 2 from being damaged after synthesis of the graphene thin film 2 by measuring the sheet resistance of the graphene thin film 2 in a noncontact manner. In addition, the graphene composite device 100 can accurately and quickly measure the sheet resistance of the graphene film 2 while manufacturing the graphene film 2 in a roll-to-roll manner, thereby shortening the working time.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover all such modifications and variations as fall within the true spirit of the invention.

100: 그래핀 합성장치
110: 제 1 부착롤러
120: 제 1 이송롤러
131: 제 1 가력롤러
132: 제 2 가력롤러
140: 제 1 센서부
141: 제 1 바디부
142: 제 1 코일부
143: 제 1 감지부
151: 제 1 가력부
152: 제 2 가력부
153: 투과도검사부
160: 박리롤러
170: 제 2 부착롤러
180: 제 2 이송롤러
190: 제 2 센서부100: Graphene synthesizer
110: first attachment roller
120: first conveying roller
131: first pressing roller
132: second force roller
140: first sensor unit
141: first body part
142: first coil part
143: first sensing unit
151: first pressing portion
152: second pressing portion
153:
160: peeling roller
170: second attachment roller
180: 2nd conveying roller
190: second sensor unit

Claims (6)

타겟기판 상에 형성된 그래핀 박막 상에 캐리어 필름을 부착시키는 제 1 부착롤러;
상기 제 1 부착롤러부터 이송되는 상기 타겟기판, 상기 그래핀 박막 및 상기 캐리어 필름을 절곡시켜 이송시키는 제 1 이송롤러;
상기 제 1 이송롤러에 대향하도록 설치되어 상기 캐리어 필름과 접촉하는 제 1 가력롤러; 및
상기 제 1 가력롤러에 설치되며, 상기 제 1 가력롤러에 의해 상기 그래핀 박막으로부터 일정 간격 이격되어 고주파 전압을 인가한 후 가변하는 전류를 측정하는 제 1 센서부;를 포함하는 그래핀 합성장치.A first attaching roller for attaching the carrier film to the graphene thin film formed on the target substrate;
A first conveying roller for conveying the target substrate, the graphene film, and the carrier film fed from the first attaching roller by bending the target substrate;
A first pressing roller installed so as to face the first feeding roller and in contact with the carrier film; And
And a first sensor unit installed on the first gravitational roller and measuring a variable current after a high frequency voltage is applied to the graphene thin film by a predetermined distance from the graphene thin film by the first gravitational roller. 제 1 항에 있어서,
상기 이송롤러와 상기 가력롤러를 통과한 상기 캐리어 필름을 상기 그래핀 박막으로부터 박리시키는 박리롤러;를 더 포함하는 그래핀 합성장치.The method according to claim 1,
And a peeling roller for peeling the carrier film having passed through the conveying roller and the force roller from the graphene thin film. 제 2 항에 있어서,
상기 박리롤러로부터 이송되는 상기 그래핀 박막 상에 보호필름을 부착시키는 제 2 부착롤러;를 더 포함하는 그래핀 합성장치.3. The method of claim 2,
And a second attaching roller for attaching a protective film on the graphene thin film conveyed from the peeling roller. 제 3 항에 있어서,
상기 보호필름이 부착된 상기 그래핀 박막 및 상기 타겟기판을 이송시키 제 2 이송롤러;
상기 제 2 이송롤러와 대향하도록 설치되어 상기 보호필름과 접촉하는 제 2 가력롤러; 및
상기 제 2 가력롤러에 설치되며, 상기 그래핀으로부터 일정 간격 이격되어 고주파 전압을 인가한 후 가변하는 전류를 측정하는 제 2 센서부;를 더 포함하는 그래핀 합성장치. The method of claim 3,
A second conveying roller for conveying the graphene thin film to which the protective film is attached and the target substrate;
A second pressing roller installed so as to face the second conveying roller and contacting the protective film; And
And a second sensor unit installed on the second gravitational roller and measuring a varying current after a high frequency voltage is applied to the graphen at a predetermined interval. 제 4 항에 있어서,
상기 제 2 가력롤러를 상기 제 2 이송롤러 측으로 일정한 힘으로 가력하는 제 2 가력부;를 더 포함하는 그래핀 합성장치.5. The method of claim 4,
And a second pressing portion for pressing the second pressing roller toward the second conveying roller with a constant force. 제 1 항에 내지 제 5 항 중 적어도 하나의 항에 있어서,
상기 제 1 가력롤러를 상기 제 1 이송롤러 측으로 일정한 힘으로 가력하는 제 1 가력부;를 더 포함하는 그래핀 합성장치. The method according to any one of claims 1 to 5,
And a first pressing portion for pressing the first pressing roller toward the first conveying roller with a constant force.
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