KR101929366B1 - Combiner for RF(Radio Frequency) High Power Using Parallel Plate - Google Patents

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최병호
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주식회사 다원메닥스
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Abstract

The present invention provides a combiner for RF high power using a parallel plate. The combiner comprises: a base line; a transmission line disposed to oppose the base line, electrically connected to the base line, and including at least one input terminal, output terminal, and resistance terminal; at least one dielectric maintaining a gap between the base line and the transmission line; and a case including a hole for allowing the input terminal, the output terminal, and the resistor terminal to be exposed and surrounding the base line and the transmission line. The combiner is configured to be Gysel-coupled to output low power high frequency wave inputted through the input terminals through a single output terminal as high power high frequency wave.

Description

평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치{Combiner for RF(Radio Frequency) High Power Using Parallel Plate}[0001] The present invention relates to a coupling device for RF high output using a parallel plate,

평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치에 관한 것이다.To a coupling device for RF high power using a parallel plate.

이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 발명에 대한 배경정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.The contents described in this section merely provide background information on the present invention and do not constitute the prior art.

일반적으로 무선통신 시스템에서 고주파(Radio Frequency, RF) 신호의 전력을 증폭하여 출력하는 고주파 전력 증폭기로는 전력 결합기(Power Combiner)/분배기(Divider) 회로가 이용된다. 이러한 전력 분배기/결합기 회로는 (초)고주파 회로나 시스템의 응용에 있어서 매우 중요한 소자로서, 그 구현방법에 따라 코어를 이용하는 구현하는 방식, 기판 위에 마이크로 스트립 선로(Micro-strip Line)를 인쇄하여 구현하는 방식 및 3dB 혼성 결합기(Hybrid Coupler)를 이용하여 구현하는 방식 등으로 구분된다.Generally, a power combiner / divider circuit is used as a high-frequency power amplifier for amplifying and outputting power of a radio frequency (RF) signal in a wireless communication system. This power divider / combiner circuit is a very important element in the application of high-frequency circuits and systems, and can be implemented by using a core according to the implementation method, by printing a micro-strip line on a substrate And a method of implementing using a 3 dB hybrid coupler.

특히, 전력 분배기/결합기 회로는 다수의 고상 전력 증폭기(Solid State Power Amplifier, SSPA), 칩(chip) 트랜지스터 또는 발진기들의 출력을 결합시키는 형태로 개발되었는데, 다음과 같은 여러 가지 상이한 회로 기하학적 형태에서 발전되어 왔다.In particular, the power divider / combiner circuit has been developed in a manner that combines the outputs of a number of solid state power amplifiers (SSPA), chip transistors or oscillators, which can generate power in a variety of different circuit geometries Has come.

기판 위에 전송선(마이크로 스트립 선로)을 인쇄하여 구현하는 방식은 λ/4(λ:파장) 스트립 선로를 이용하여 임피던스를 변환시키는 형태이다. 이 방식은 2-way방식으로서 이에 따르면 전력 분배기의 입력단 및 출력단은 각각 50 오옴(Ω) 선로로 되어있으며, λ/4 선로는 임피던스 정합을 위한 70.7Ω의 전송선으로 설계된다. 그런데 극초단파(Ultra High Frequency) 대역의 λ/4 선로를 제한된 공간(기판)내에서 구현하기는 결코 용이하지 않다.A method of printing a transmission line (microstrip line) on a substrate and implementing it is a method of converting the impedance using a? / 4 (?: Wavelength) strip line. In this method, the input and output stages of the power divider are respectively 50 ohm (Ω) lines and the λ / 4 line is designed as 70.7 Ω transmission line for impedance matching. However, it is not easy to implement a λ / 4 line in an ultra high frequency band in a limited space (substrate).

왜냐하면 전송선의 길이는 기판의 유전율과 주파수의 함수로서 정해지는데 주파수가 낮고 유전율이 낮을수록 그 길이가 길어지기 때문이다.Because the length of the transmission line is determined as a function of the dielectric constant and frequency of the substrate, the lower the frequency and the lower the dielectric constant, the longer the length.

즉, 극초단파 대역에서 사용하기 위한 전력 증폭기를 λ/4 선로를 인쇄하여 구현하는 경우에는 전력 증폭기의 크기가 커지게 되는 한계가 있다.That is, when a power amplifier for use in a microwave band is implemented by printing a? / 4 line, there is a limitation that the size of the power amplifier becomes large.

한편, RF 반도체 증폭기인 고상 전력 증폭기의 출력은 트랜지스터를 사용하기 때문에 1 kW 이상 얻기가 힘든 관계로 출력을 합성하는 방법으로 고출력을 얻는다. 그런데, 마이크로 스트립 선로를 사용하여 합성하기 때문에 임피던스 정합에 유리하지만, 임피던스가 높아지면마이크로 스트립 선로가 좁아짐에 따라 전계 강도가 높아져 고출력에서는 사용이 불가능한 한계가 있다.On the other hand, since the output of the solid-state power amplifier, which is an RF semiconductor amplifier, uses transistors, it is difficult to obtain more than 1 kW. However, since it is synthesized by using a microstrip line, it is advantageous in impedance matching, but when the impedance is increased, the field strength becomes higher as the microstrip line becomes narrower and there is a limit in that it can not be used at high output.

한편, 종래기술인 고출력 광대역 고주파 결합기(공개특허 제 10-2017-0019160호)는 고주파 입력을 결합하여 고출력을 내는 장치로서, 입력포트와 출력포트 간 넓은 간격이 요구되고, 또한 회로기판이 평판이므로 전송선로와 회로기판이 연결될 때 발생되는 전자기장에 의한 간섭영역이 넓을 수 밖에 없으므로 전송선로 간 넓은 간격이 요구되어 공간활용성이 낮다는 단점이 있다. On the other hand, the conventional high output wideband high frequency coupler (Japanese Patent Laid-Open No. 10-2017-0019160) is a device which outputs a high output by coupling high frequency input. Since a wide gap is required between the input port and the output port, There is a disadvantage in that the wide space between the transmission lines is required and the space utilization is low because the interference area due to the electromagnetic field generated when the transmission line and the circuit board are connected is wide.

따라서, 본 발명에 의해 해결하고자 하는 과제는, 상기 언급한 종래기술의 단점을 보완한, 입력포트와 출력포트 간 넓은 간격이 요구되지 않고, 전자기장 간섭영역을 줄여 전송선로 간 넓은 간격이 요구되지 않아 공간활용성이 높은 4-way방식의 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치를 제공하는 것이다.Therefore, a problem to be solved by the present invention is to solve the disadvantages of the above-mentioned prior art, and it is not required to provide a wide gap between the input port and the output port, and the electromagnetic field interference region is reduced, And a coupling device for RF high output using a 4-way parallel plate having high space utilization.

본 발명은, 베이스 선로; 상기 베이스 선로에 대향하도록 배치되며 상기 베이스 선로와 전기적으로 연결되고 하나 이상의 입력단자, 출력단자 및 저항단자를 포함하는 전송 선로; 상기 베이스 선로와 전송 선로의 간격을 유지시키는 하나 이상의 유전체; 상기 입력단자, 출력단자 및 저항단자가 노출되게 하는 홀을 포함하고 상기 베이스 선로 및 상기 전송 선로를 감싸도록 구성되는 케이스를 포함하고, 상기 하나 이상의 입력단자를 통해 입력되는 저출력의 고주파를 하나의 출력단자를 통해 고출력의 고주파로 출력하도록 가이젤(Gysel)결합되어 구성되는 것을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치를 제공한다.The present invention relates to a semiconductor device, comprising: a base line; A transmission line disposed to face the base line and electrically connected to the base line, the transmission line including at least one input terminal, an output terminal, and a resistance terminal; At least one dielectric for maintaining a gap between the base line and the transmission line; And a case including a hole for exposing the input terminal, the output terminal, and the resistor terminal, and a case configured to surround the base line and the transmission line, wherein the low-output high- And outputting a high-frequency RF power through a terminal of the RF power amplifier.

본 발명의 추가적인 해결수단은 아래에서 이어지는 설명에서 일부 설명될 것이고, 그 설명으로부터 부분적으로 용이하게 확인할 수 있게 되거나, 또는 본 발명의 실시에 의해 지득될 수 있다.Additional solutions of the invention will be set forth in part in the description which follows, and in part will be readily apparent from the description, or may be learned by practice of the invention.

전술한 일반적인 설명 및 다음의 상세한 설명 모두는 단지 예시적이고 설명을 위한 것이며 청구범위에 기재된 본 발명을 제한하지 않는다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory only and are not restrictive of the invention, as claimed.

본 발명에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치는 공간활용성이 높다.The coupling device for RF high power using the parallel plate according to the present invention has high space utilization.

도 1은 가이젤(Gysel) 결합방식에 의한 회로 구성방법의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 정면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 후면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송 선로 및 베이스 선로가 결합된 내부구조의 정면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송 선로 및 베이스 선로가 결합된 내부구조의 후면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 입력단자에 연결된 전송 선로 및 인접한 베이스 선로의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 출력단자에 연결된 전송 선로 및 인접한 베이스 선로의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 저항단자에 연결된 전송 선로 및 인접한 베이스 선로의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 유전체의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송선로의 정면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 베이스선로의 정면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송선로와 베이스선로 간 간섭영역(b)과 종래의 pcb인쇄기판의 간섭영역(a)을 비교한 비교도이다.1 is a schematic diagram of a circuit configuration method using a Gisel coupling method.
2 is a front perspective view of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
3 is a rear perspective view of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
4 is a front perspective view of an internal structure of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention, in which a transmission line and a base line are combined.
5 is a rear perspective view of an internal structure of a coupling device for RF high-power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention, in which a transmission line and a base line are combined.
6 is a perspective view of a transmission line and an adjacent base line connected to input terminals of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view of a transmission line and an adjacent base line connected to output terminals of an RF high power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
8 is a perspective view of a transmission line and an adjacent base line connected to a resistance terminal of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
9 is a perspective view of a dielectric of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
10 is a front view of a transmission line of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
11 is a front view of a base line of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.
12 is a diagram showing a comparison between an interference region (b) between a transmission line and a base line of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention and an interference region (a) of a conventional pcb printed board .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태에 대하여 상세하게 서술하도록 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 구체적 일 실시 형태를 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. In the following description, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 가이젤(Gysel) 결합방식에 의한 회로 구성방법의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a circuit configuration method using a Gisel coupling method.

도 1은 가이젤(Gysel, '지셀'이라고도 칭함.)방식에 의한 회로 구성방법을 개략적으로 도시한 것이다. 가이젤 방식의 전력분배는 입력포트와 출력포트의 수가 다른 비대칭 전력분배방식이다. 가이젤 전력분배 방식은 출력단자의 사이에서 고립도 성능을 만족시키기 위해 각각 다른 값을 가지는 두 개의 종단 저항 Ro를 이용할 수 있다. 본 발명에 따른 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치는 이와 같은 종래의 가이젤 전력분배 방식을 이용한 전송 선로를 포함할 수 있다.FIG. 1 schematically shows a method of configuring a circuit by a method of a giselle (also referred to as a 'zipper') method. The easel-type power distribution is an asymmetric power distribution system in which the number of input ports and the number of output ports are different. In the easel power distribution scheme, two termination resistors Ro having different values can be used to satisfy the isolation performance between the output terminals. The coupling device for RF high power using the parallel plate according to the present invention may include a transmission line using the conventional power distribution method.

본 발명에 따른 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치는 하나 이상의 입력단자로부터 입력되는 저출력 고주파를 합하여(combining) 고출력의 고주파로 하나의 출력단자를 통해 출력하도록 구성될 수 있다.The coupling device for RF high power using the parallel plate according to the present invention may be configured to combine the low power high frequency input from one or more input terminals and output through a single output terminal with a high output high frequency.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 정면 사시도이다. 2 is a front perspective view of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 후면 사시도이다.3 is a rear perspective view of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송 선로 및 베이스 선로가 결합된 내부구조의 정면 사시도이다.4 is a front perspective view of an internal structure of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention, in which a transmission line and a base line are combined.

도 2 내지 4를 참조하면, 본 발명에 따른 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치는 케이스(200), 전송 선로(300), 베이스 선로(400) 및 유전체(500)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 4, an RF high power coupling apparatus using a parallel plate according to the present invention may include a case 200, a transmission line 300, a base line 400, and a dielectric 500.

도 2 및 도 3을 참조하면 케이스(200)는 후술할 전송 선로(300), 베이스 선로(400) 및 유전체(400)의 결합체를 감싸도록 구성될 수 있다. 케이스(200)는 외부로 전자기파 등이 통하지 않도록 외부 하우징의 역할을 하므로, 케이스(200)는 전기전도도가 낮은 절연체 등으로 이루어질 수 있다. 케이스(200)는 후술할 입력단자(311-341), 출력단자(370) 및 저항단자(315-345)가 외부로 노출되어 외부 장치 등과 연결될 수 있도록 각 단자에 대응되는 위치에 형성되는 홀을 포함할 수 있다. 입력단자(311-341), 출력단자(370) 및 저항단자(315-345)는 케이스(200)에 형성되는 홀을 통해 케이스(200)의 외부로 노출될 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, the case 200 may be configured to surround a combined body of the transmission line 300, the base line 400, and the dielectric 400, which will be described later. Since the case 200 serves as an outer housing so that electromagnetic waves do not pass through the case 200, the case 200 may be made of an insulator having low electric conductivity. The case 200 includes a hole formed at a position corresponding to each terminal so that the input terminal 311-341, the output terminal 370, and the resistance terminals 315-345, which will be described later, . The input terminals 311 to 341, the output terminal 370 and the resistance terminals 315 to 345 may be exposed to the outside of the case 200 through holes formed in the case 200.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송 선로 및 베이스 선로가 결합된 내부구조의 정면 사시도이다.4 is a front perspective view of an internal structure of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention, in which a transmission line and a base line are combined.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송 선로 및 베이스 선로가 결합된 내부구조의 후면 사시도이다.5 is a rear perspective view of an internal structure of a coupling device for RF high-power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention, in which a transmission line and a base line are combined.

도 4 및 도 5를 참조하면, 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)가 결합될 수 있다. 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)는 대향할 수 있고, 전송 선로(300)의 평면과 베이스 선로(400)의 평면이 평행하도록 배치될 수 있다. 즉, 양 평면의 중앙 면을 중심으로 면대칭일 수 있다. 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)는 전기적으로 연결될 수 있다. 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)의 사이에는 50Ω의 저항이 형성될 수 있다. 그러나 반드시 저항의 크기가 이 수치에 한정되는 것은 아니고 출력에 따라 변경될 수 있다. 입력단자(311 내지 341) 및 출력단자(370)는 전송 선로(300)에 각각 연결될 수 있다. 도 5를 참조하면, 저항단자(315 내지 345)는 전송 선로(300)에 각각 연결될 수 있다. 4 and 5, the transmission line 300 and the base line 400 may be combined. The transmission line 300 and the base line 400 may be opposed to each other and the plane of the transmission line 300 and the plane of the base line 400 may be parallel. That is, it can be plane-symmetric about the center plane of both planes. The transmission line 300 and the base line 400 may be electrically connected. A resistance of 50? May be formed between the transmission line 300 and the base line 400. However, the size of the resistor is not limited to this value but may be changed depending on the output. The input terminals 311 to 341 and the output terminal 370 may be connected to the transmission line 300, respectively. Referring to FIG. 5, the resistance terminals 315 to 345 may be connected to the transmission line 300, respectively.

전송 선로(300)와 베이스 선로(400)는 출력이 변경됨에 따라 그 두께가 변경될 수 있다.The thickness of the transmission line 300 and the base line 400 can be changed as the output is changed.

입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)는 전송 선로(300)와 수직으로 연결될 수 있다. 즉, 전송 선로(300)의 평면과 수직으로 배치될 수 있다. 이는, 입력단자(311 내지 341)와 출력단자(370) 간 큰 이격거리를 요구하지 않을 수 있다. 즉, 고주파 출력 결합장치의 두께를 획기적으로 줄일 수 있는 것이다. 즉, 공간활용성이 높아질 수 있다. 전송선로(300)는 입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)와 연결되는 부위에서 전송선로(300)의 평면과 수직인 방향으로 만곡되어 연장될 수 있다.The input terminals 311 to 341, the output terminal 370 and the resistance terminals 315 to 345 may be connected to the transmission line 300 vertically. That is, perpendicular to the plane of the transmission line 300. This may not require a large separation distance between the input terminals 311 to 341 and the output terminal 370. That is, the thickness of the high-frequency output coupling device can be drastically reduced. That is, space utilization can be increased. The transmission line 300 may be bent and extended in a direction perpendicular to the plane of the transmission line 300 at a portion connected to the input terminals 311 to 341, the output terminal 370, and the resistance terminals 315 to 345 .

베이스 선로(400)는 전술한 입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)와 직접적으로 연결되지는 않는다. 베이스 선로(400)는 전술한 바와 같이 전송 선로(300)와 전기적으로 연결될 수는 있으나, 입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)와는 인접할 뿐, 직접 연결되지는 않는다. 다만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 필요에 따라서 베이스 선로(400)가 입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)와 연결될 수도 있다.The base line 400 is not directly connected to the input terminals 311 to 341, the output terminal 370 and the resistance terminals 315 to 345 described above. Although the base line 400 can be electrically connected to the transmission line 300 as described above, the base line 400 is adjacent to the input terminals 311 to 341, the output terminal 370, and the resistance terminals 315 to 345, It is not connected. However, the present invention is not limited thereto, and the base line 400 may be connected to the input terminals 311 to 341, the output terminal 370, and the resistor terminals 315 to 345 as necessary.

도 5를 다시 참조하면, 저항단자(315 내지 345)는 워터로드에 연결될 수 있다. 워터로드(waterload)는 저항단자에서 발생하는 열을 내부에 순환하는 물을 이용하여 냉각하는 역할을 할 수 있다. 연결되는 워터로드는 공지의 것을 사용할 수 있다.5, the resistance terminals 315 to 345 may be connected to the water rod. The water load can serve to cool the heat generated in the resistance terminal by using water circulating inside. A known water rod can be used as the water rod to be connected.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 입력단자에 연결된 전송 선로 및 인접한 베이스 선로의 사시도이다.6 is a perspective view of a transmission line and an adjacent base line connected to input terminals of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 출력단자에 연결된 전송 선로 및 인접한 베이스 선로의 사시도이다.7 is a perspective view of a transmission line and an adjacent base line connected to output terminals of an RF high power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 저항단자에 연결된 전송 선로 및 인접한 베이스 선로의 사시도이다.8 is a perspective view of a transmission line and an adjacent base line connected to a resistance terminal of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

도 6 내지 도 8을 참조하면 입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)와 전송 선로(300) 및 베이스 선로(400)의 연결관계를 파악할 수 있다. 입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)는 전송선로(300)와 연결되고, 베이스 선로(400)와는 연결되지 않을 수 있다. 베이스 선로(400)는 입력단자에 인접하게 위치할 수 있다. 이는, 베이스 선로(400)를 ground 즉, 기준점으로 삼는 경우 베이스 선로(400)가 접지점의 역할을 할 수 있기 때문에 입력단자(311 내지 341), 출력단자(370) 및 저항단자(315 내지 345)와 직접 연결되지 않는 것이다.6 to 8, the connection relationship between the input terminals 311 to 341, the output terminal 370, and the resistor terminals 315 to 345, the transmission line 300, and the base line 400 can be grasped. The input terminals 311 to 341, the output terminal 370 and the resistance terminals 315 to 345 may be connected to the transmission line 300 and may not be connected to the base line 400. The base line 400 may be positioned adjacent to the input terminal. This is because the input terminals 311 to 341, the output terminal 370 and the resistor terminals 315 to 345 are connected to the ground line 400 because the base line 400 can serve as a ground point when the base line 400 is the ground, And is not directly connected to.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 유전체의 사시도이다.9 is a perspective view of a dielectric of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 유전체(500)는 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)를 이격시킴과 동시에 간격을 유지시킬 수 있다. 유전체(500)는 이격지지부(510), 고정부(520) 및 안착 홈(530)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 9, the dielectric 500 separates the transmission line 300 and the base line 400 from each other and maintains a gap therebetween. The dielectric 500 may include a spacing support 510, a securing portion 520, and a seating groove 530.

이격지지부(510)는 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)의 사이에 배치되어 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)의 간격을 유지시킬 수 있다. 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)간 간격을 변경할 필요가 있는 경우 이격지지부(510)의 폭을 조절할 수 있다.The spacing support portion 510 may be disposed between the transmission line 300 and the base line 400 to maintain a gap between the transmission line 300 and the base line 400. When it is necessary to change the distance between the transmission line 300 and the base line 400, the width of the spacing support portion 510 can be adjusted.

고정부(520)는 한 쌍이 이격지지부(510)를 사이에 두고 각각 이격지지부(510)와 일정간격을 두어 배치될 수 있다. 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)의 외측에 배치되어 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)를 고정시킬 수 있다.The pair of fixing portions 520 may be spaced apart from the spacing support portion 510 by a distance between the pair of spacing support portions 510. The transmission line 300 and the base line 400 can be fixed to the outside of the transmission line 300 and the base line 400.

안착 홈(530)은 전송 선로(300)와 베이스 선로(400)가 안착될 수 있게 이격지지부(510) 및 한 쌍의 고정부(530)의 사이에 움푹 들어가도록 오목하게 형성될 수 있다.The seating groove 530 may be recessed to be recessed between the spacing support portion 510 and the pair of fixing portions 530 so that the transmission line 300 and the base line 400 can be seated.

유전체(500)는 절연고무, 세라믹 섬유 등을 포함한 공지의 어떠한 절연물질로 이루어질 수 있다. The dielectric 500 may be made of any known insulating material, including insulating rubber, ceramic fibers, and the like.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송선로의 정면도이다.10 is a front view of a transmission line of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 전송 선로(300)는 복수의 분할 전송 선로를 포함할 수 있다. 도면에서는 4개의 분할 전송 선로(310 내지 340)가 도시되었으나, 이는 예시적인 것이고 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 분할 전송 선로의 개수에는 제한이 없다.Referring to FIG. 10, the transmission line 300 may include a plurality of divided transmission lines. Although four divided transmission lines 310 to 340 are shown in the drawing, this is for illustrative purposes only, and the number of divided transmission lines is not limited.

편의상 도 10에서 동쪽방향을 제1방향, 서쪽방향을 제2방향, 남쪽방향을 제3방향, 북쪽방향을 제4방향으로 정의한다. 이는 각 분할 전송 선로(310 내지 340)의 꺾임 방향을 용이하게 설명하기 위함이다.For convenience, the east direction is defined as a first direction, the west direction as a second direction, the south direction as a third direction, and the north direction as a fourth direction. This is to facilitate description of the bending direction of each of the split transmission lines 310 to 340.

도 10을 참조하면, 전송 선로(300)는 제1분할 전송선로(310) 내지 제4분할 전송선로(340)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10, the transmission line 300 may include first to third transmission line 310 to fourth transmission line 340.

제1분할 전송선로(310)와 제4분할 전송선로(340), 그리고 제2분할 전송선로(320)와 제3분할 전송선로(330)는 중앙의 제1방향 또는 제2방향의 가상의 직선을 중심으로 대칭으로 형성될 수 있다.The first divided transmission line 310 and the fourth divided transmission line 340 and the second divided transmission line 320 and the third divided transmission line 330 are arranged in a virtual straight line in the first or second direction As shown in FIG.

제1분할 전송선로(310)는 제1-1측(310-1)을 시작점으로 제1방향 및 제3방향의 사이로 연장되고 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제1-2측(310-2)에 배치되는 제1입력단자(311)와 연결되고 계속 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1-3측(310-3)에 배치되는 제1저항단자(315)와 연결되고 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향 및 제4방향의 사이로 연장되어 제1-4측(310-4)에서 다른 제2 내지 제3분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제1-5측(310-5)에서 출력단자(370)와 연결될 수 있다.The first split transmission line 310 extends between the first direction and the third direction starting from the 1-1th side 310-1 and extends in a first direction while being curved and extending in a third direction, Is connected to the first input terminal 311 which is curved and extended in the second direction again and is continuously connected to the first input terminal 311 disposed on the first-second side 310-2 and is bent and extended in the fourth direction, And is connected to a first resistor terminal 315 disposed on the first to third side 310-3 and extended again in a third direction and bent again to extend in a first direction, Extending again in the second direction and curved and extending in the fourth direction, extending again in the first direction and extending between the first direction and the fourth direction to extend from the first to fourth sides 310- 4) connected to the other second to third split transmission lines, and is curved and extended in the second direction to form the first- 5 side 310-5 to the output terminal 370.

제2분할 전송선로(320)는 제2-1측(320-1)을 시작점으로 제2방향 및 제3방향의 사이로 연장되고 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되고 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제2-2측(320-2)에 배치되는 제2입력단자(321)와 연결되고 계속 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되어 제2-3측(320-3)에 배치되는 제2저항단자(325)와 연결되며, 계속 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향 및 제4방향의 사이로 연장되어 제2-4측(320-4)에서 다른 제1 및 제3 내지 제4 분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제2-5측(320-5)에서 출력단자(370)에 연결될 수 있다.The second split transmission line 320 extends between the second direction and the third direction with the second-1 side 320-1 as a starting point, and is curved and extended in the second direction, and is curved and extended in the third direction. Extending in the first direction and curved in the third direction, extending again in the second direction, being curved in the third direction, extending again in the first direction, The second input terminal 321 is connected to a second input terminal 321 disposed on the second input terminal 320-2 and extends continuously and curvedly in a third direction and then curved in a second direction to be bent and extended in a fourth direction, The second resistance terminal 325 disposed on the first side 320-3 and extending continuously and curvedly extending in the first direction, curved and extended in the fourth direction again, and curvedly extending in the second direction, Again extending in the fourth direction and extending in the first direction Extends again in the fourth direction and curvedly extends in the second direction, extends again in the second direction and the fourth direction, and extends in the second and fourth sides (320-4) 3 to the fourth split transmission line and may be connected to the output terminal 370 at the second 2-5 side 320-5 to extend in the second direction.

제3분할 전송선로(330)는 제3-1측(330-1)을 시작점으로 제2방향 및 제4방향의 사이로 연장되고 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되고 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3-2측(330-2)에 배치되는 제3입력단자(331)와 연결되고 계속 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되어 제3-3측(330-3)에 배치되는 제3저항단자(335)와 연결되며, 계속 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향 및 제3방향의 사이로 연장되어 제3-4측(330-4)에서 다른 제1 내지 제2 및 제4 분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제3-5측(330-5)에서 출력단자(370)에 연결될 수 있다.The third split transmission line 330 extends between the second direction and the fourth direction with the third-first side 330-1 as a starting point, and extends in a curved shape in the second direction and is curved in the fourth direction, Extending again in a first direction and then curved in a fourth direction, extending again in a second direction and then curved in a fourth direction, extending again in a first direction, 330-2 extending from the third input terminal 331 to the third input terminal 331, extending continuously in a fourth direction, being curved in a second direction and extending in a third direction, The first resistor 335 is connected to the third resistor 335 disposed on the first side 330-3 and extends continuously and curvedly in the first direction and then curved and extended in the third direction to be bent in the second direction, Again extending in the third direction and extending in the first direction Extending again in the third direction and curved and extending in the second direction, extending again in the second direction and the third direction, and extending from the third to fourth side (330-4) to the other first to fourth sides 2 and the fourth split transmission line, and may be connected to the output terminal 370 at the third-fifth side 330-5 to extend in the second direction.

제4분할 전송선로(340)는 제4-1측(340-1)을 시작점으로 제1방향 및 제4방향의 사이로 연장되고 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4-2측(340-2)에 배치되는 제4입력단자(341)와 연결되고 계속 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4-3측(340-3)에 배치되는 제4저항단자(345)와 연결되고 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향 및 제3방향의 사이로 연장되어 제4-4측(340-4)에서 다른 제1 내지 제3 분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제4-5측(340-5)에서 출력단자(370)에 연결될 수 있다.The fourth split transmission line 340 extends between the first direction and the fourth direction with the fourth-first side 340-1 as a starting point, and extends in a curved shape in the first direction and curvedly extends in the fourth direction, Extends again in the second direction and is connected to the fourth input terminal 341 disposed at the fourth-2 side 340-2, extends continuously and curvedly extends in the third direction, Connected to the fourth resistor terminal 345 disposed on the fourth 4-3 side 340-3 and extended again in the fourth direction and bent again in the first direction, Extends again in a second direction and then curvedly extends in a third direction, and then curvedly extends in a first direction and extends between the first direction and the third direction to form a fourth-fourth side 340- 4) connected to the other first through third divided transmission lines, and is curved and extended in the second direction, -5 < / RTI > side 340-5 to the output terminal 370.

여기서, 제1측(310-1 내지 340-1) 내지 제5측(310-5 내지 340-5)은 각 연결지점을 용이하게 설명하기 위해 정의한 것이고, 순서가 정해진 것은 아니다. 예를 들어, 제1측이 제2측과 제3측의 사이에 위치될 수 있다.Here, the first sides 310-1 to 340-1 to the fifth sides 310-5 to 340-5 are defined to facilitate description of each connection point, and the order is not specified. For example, the first side may be located between the second side and the third side.

여기서, 제1 내지 제4분할 전송 선로는 제1-2측(310-2) 내지 제4-2측(340-2)을 기점으로 각 분할 전송선로의 폭이 증가될 수 있다. 또한, 제1-3측(310-3) 내지 제4-3측(340-3)을 기점으로 각 분할 전송선로의 폭이 감소될 수 있다. 이는 고주파 신호를 전달할 때 저항의 변화에 따라 해당 위치의 저항에 맞게 그 폭에 변화를 주는 것이다.Here, the widths of the respective divided transmission lines may be increased from the 1-2th side 310-2 to the 4-2nd side 340-2 as the starting points of the first through fourth divided transmission lines. In addition, the width of each divided transmission line can be reduced from the first-third side 310-3 to the fourth-third side 340-3. When transmitting a high frequency signal, it changes the width according to the resistance of the corresponding position according to the change of the resistance.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 베이스 선로의 정면도이다.11 is a front view of a base line of a coupling device for RF high power using a parallel plate according to an embodiment of the present invention.

베이스 선로(400)는 복수의 분할 베이스 선로(410 내지 440)를 포함할 수 있다. 도면에서는 4개의 분할 베이스 선로(410 내지 440)가 도시되었으나, 이는 예시적인 것이고 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 분할 베이스 선로의 개수에는 제한이 없다.The base line 400 may include a plurality of divided base lines 410 to 440. Although four divided base lines 410 to 440 are shown in the drawing, this is for illustrative purposes only, and the number of divided base lines is not limited.

편의상 도 10에서와 했던 것처럼 방향을 정의하지만 좌 우 방향만 반대로 도11에서 서쪽방향을 제1방향, 동쪽방향을 제2방향, 남쪽방향을 제3방향, 북쪽방향을 제4방향으로 정의한다. 이는 각 분할 전송 선로(310 내지 340)의 꺾임 방향을 용이하게 설명하기 위함이다.For convenience, the direction is defined as in FIG. 10, but in the opposite direction to the left and right direction, the west direction is defined as the first direction, the east direction as the second direction, the south direction as the third direction, and the north direction as the fourth direction. This is to facilitate description of the bending direction of each of the split transmission lines 310 to 340.

도 11을 참조하면, 베이스 선로(400)는 제1분할 베이스 선로(410) 내지 제4분할 베이스 선로(440)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11, the base line 400 may include first to fourth divided base lines 410 to 440.

제1분할 베이스 선로(410)와 제4분할 베이스 선로(440), 그리고 제2분할 베이스 선로(420)와 제3분할 베이스 선로(430)는 중앙의 제1방향 또는 제2방향의 가상의 직선을 중심으로 대칭으로 형성될 수 있다.The first divided base line 410 and the fourth divided base line 440 and the second divided base line 420 and the third divided base line 430 are connected to imaginary straight lines in the first or second direction As shown in FIG.

제1분할 베이스 선로(410)는 제1-6측(410-6)을 시작점으로 제1방향 및 제3방향의 사이로 연장되고 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제1-7측(410-7)에 배치되는 제1입력단자(311)와 인접하게 배치되고 계속 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1-8측(410-8)에 배치되는 제1저항단자(315)와 인접하게 배치되고 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향 및 제4방향의 사이로 연장되어 제1-9측(410-9)에서 다른 제2 내지 제3분할 베이스 선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제1-10측(410-10)에서 출력단자(370)와 인접하게 배치될 수 있다.The first split base line 410 extends between the first direction and the third direction starting from the first 1-6 side 410-6 and extends in a curved shape in the first direction and curvedly extends in the third direction, Again extending in the second direction and extending adjacent to the first input terminal 311 disposed on the first 1-7 side 410-7 and continuing to extend in a curved manner in the fourth direction, And is bent and extended in the third direction, is bent again to extend in the first direction, and is extended to the first resistor terminal 315, Extending in a second direction and curved and extending in a fourth direction, extending again in the first direction and extending between the first direction and the fourth direction, Side divided line is connected to the other second to third divided base lines at the side 410-9, Extend curved with can be disposed adjacent to the output terminal 370 at a side 1-10 (410-10).

제2분할 베이스 선로(420)는 제2-6측(420-6)을 시작점으로 제2방향 및 제3방향의 사이로 연장되고 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되고 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제2-7측(420-7)에 배치되는 제2입력단자(321)와 인접하게 배치되고 계속 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되어 제2-8측(420-8)에 배치되는 제2저항단자(325)와 인접하게 배치되며, 계속 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향 및 제4방향의 사이로 연장되어 제2-9측(420-9)에서 다른 제1 및 제3 내지 제4 분할 베이스 선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제2-10측(420-10)에서 출력단자(370)에 인접하게 배치될 수 있다.The second split base line 420 extends between the second direction and the third direction starting from the second 2-6 side 420-6 and extends in a curved shape in the second direction and is curved in the third direction, Extending in the first direction and curved in the third direction, extending again in the second direction and curved in the third direction, extending again in the first direction, The second input terminal 321 disposed on the second input terminal 420-7, extending continuously and curvedly extending in the third direction, extending again in the second direction to be curved and extending in the fourth direction, The second resistance terminal 325 disposed on the -8 side 420-8, extending continuously and curvedly extending in the first direction, again extending in the fourth direction to be curved, And again curved in the fourth direction to extend (420-9) extending in the second direction and extending in the fourth direction, and is bent in the first direction, 1040 may be disposed adjacent to the output terminal 370 at the second-10th side 420-10 and connected to other first and third to fourth divided base lines in the second direction.

제3분할 베이스 선로(430)는 제3-6측(430-6)을 시작점으로 제2방향 및 제4방향의 사이로 연장되고 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되고 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3-7측(430-7)에 배치되는 제3입력단자(331)와 인접하게 배치되고 계속 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되어 제3-8측(430-8)에 배치되는 제3저항단자(335)와 인접하게 배치되며, 계속 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향 및 제3방향의 사이로 연장되어 제3-9측(430-9)에서 다른 제1 내지 제2 및 제4 분할 베이스 선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제3-10측(430-10)에서 출력단자(370)에 인접하게 배치될 수 있다.The third divided base line 430 extends between the second direction and the fourth direction with the third-sixth side 430-6 as a starting point, and is curved and extended in the second direction and is curved and extended in the fourth direction, Extending again in the first direction and extending in the fourth direction and then curved in the fourth direction, and then bent in the first direction to extend again in the first direction, 430-7), extending continuously and curvedly extending in the fourth direction, extending again in the second direction and curvedly extending in the third direction to form third A third resistance terminal 335 disposed on the -8 side 430-8, extending continuously and curvedly extending in a first direction, extending again in a third direction, And again curved in the third direction to extend (430-9) extending in a second direction and extending in a third direction, and extending in a second direction and a third direction, Third side base line, and may be arranged adjacent to the output terminal 370 at the third-10th side 430-10 and extended in the second direction.

제4분할 베이스 선로(440)는 제4-6측(440-6)을 시작점으로 제1방향 및 제4방향의 사이로 연장되고 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4-7측(440-7)에 배치되는 제4입력단자(341)와 인접하게 배치되고 계속 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4-8측(440-8)에 배치되는 제4저항단자(345)와 인접하게 배치되고 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향 및 제3방향의 사이로 연장되어 제4-9측(440-9)에서 다른 제1 내지 제3 분할 베이스 선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제4-10측(440-10)에서 출력단자(370)에 연결될 수 있다.The fourth divided base line 440 extends between the first direction and the fourth direction with the fourth 4-6 side 440-6 as a starting point, and is curved and extended in the first direction and is curved and extended in the fourth direction, Again extending in a second direction and extending adjacent to a fourth input terminal 341 disposed on the fourth 4-7 side 440-7, extending continuously and curvedly extending in a third direction, And is bent and extended in the fourth direction, and is bent and extended in the first direction. The fourth resistance terminal 345 extends in the second direction, Extending in three directions and curved and extending again in a second direction, and extending in a third direction, curved and extending in a first direction, and extending between the first direction and the third direction, Side branch line is connected to the other first to third division base lines in the second side 440-9, And may be connected to the output terminal 370 at the 4-10 side 440-10.

여기서, 전송 선로의 제1측(310-1 내지 340-1) 내지 제5측(310-5 내지 340-5)의 번호와 충돌을 피하기 위해 제6측 내지 제10측으로 정의하였다.Here, the sixth to tenth sides are defined to avoid collision with the numbers of the first side 310-1 to 340-1 to the fifth side 310-5 to 340-5 of the transmission line.

제6측(410-6 내지 440-6) 내지 제10측(410-10 내지 440-10)은 각 연결지점을 용이하게 설명하기 위해 정의한 것이고, 순서가 정해진 것은 아니다. 예를 들어, 제6측이 제7측과 제8측의 사이에 위치될 수 있다. The sixth sides 410-6 to 440-6 to the tenth sides 410-10 to 440-10 are defined to facilitate description of each connection point and are not specified in order. For example, the sixth side may be located between the seventh side and the eighth side.

여기서, 제1 내지 제4분할 베이스 선로는 제1-7측(410-7) 내지 제4-7측(440-7)을 기점으로 각 분할 베이스 선로의 폭이 증가될 수 있다. 또한, 제1-8측(410-8) 내지 제4-8측(440-8)을 기점으로 각 분할 베이스 선로의 폭이 감소될 수 있다. 이는 고주파 신호를 전달할 때 저항의 변화에 따라 해당 위치의 저항에 맞게 그 폭이 변화되는 전송 선로(300)에 대칭되게 하기 위함이다.Here, the widths of the divided base lines can be increased from the first-seventh side 410-7 to the fourth 4-7 side 440-7 in the first through fourth divided base lines. Further, the width of each divided base line can be reduced from the first 1-8 side 410-8 to the 4-8 side 440-8. This is to symmetrically transmit the high frequency signal to the transmission line 300 whose width changes according to the resistance of the corresponding position according to the change of the resistance.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치의 전송선로와 베이스선로 간 간섭영역(b)과 종래의 pcb인쇄기판의 간섭영역(a)을 비교한 비교도이다.12 is a diagram showing a comparison between an interference region (b) between a transmission line and a base line of an RF high-power coupling apparatus using a parallel plate according to an embodiment of the present invention and an interference region (a) of a conventional pcb printed board .

도 12를 참조하면, 베이스 선로(400)를 전송 선로(300)와 그 길이와 폭까지 맞추어서 대칭되게 하는 이유는 아래와 같다. Referring to FIG. 12, the reason why the base line 400 is symmetrical with the transmission line 300 up to its length and width is as follows.

전송 선로(300)에 고주파가 흐를 때, 대면한 베이스 선로(400)와의 사이에서 전기장영역이 형성되는데, 이를 간섭영역이라 한다. 간섭영역이 크면 전송 선로(300)간 거리를 멀리 띄어 놓아야 신호장애가 생기지 않는다. 도 12(a)의 종래기술과 같이 베이스 선로가 일반 평면일 경우 전송 선로와의 사이에서 간섭영역이 넓게 생기게 되므로 전송 선로간 거리(A)가 넓어져야 하는 반면에, 도 12(b)의 본 발명과 같이 베이스 선로(400)가 전송 선로(300)와 길이와 폭이 완전히 같게 되면 간섭영역이 현저하게 줄어들기 때문에 전송 선로(300)간 거리(B)를 멀리 띄어 놓지 않아도 되므로 공간활용성이 높아진다. 즉, A>B이므로 본 발명에 따른 결합장치에 의하면 공간활용성이 높아진다.When a high frequency is applied to the transmission line 300, an electric field area is formed between the base line 400 and the base line 400, which is referred to as an interference area. If the interference area is large, the distance between the transmission lines 300 must be kept far away to avoid signal failure. 12 (a), when the base line is a general plane, the interference region is widened with respect to the transmission line, so that the transmission line distance A must be widened. On the other hand, When the base line 400 is completely equal in length and width to the transmission line 300, since the interference area is significantly reduced, the distance B between the transmission lines 300 does not need to be far away, . That is, since A > B, space utilization is improved by the coupling apparatus according to the present invention.

본 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 본 실시예의 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 본 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 따라서 본 실시예에 의하여 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등하거나 균등하다고 인정되는 모든 기술적 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It will be possible. The present invention is not intended to limit the scope of the present invention but to limit the scope of the present invention. The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas considered to be equivalent or equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

100: 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.
200: 케이스
300: 전송 선로
400: 베이스 선로
500: 유전체100: Coupling device for RF high power using parallel plates.
200: Case
300: transmission line
400: base line
500: Dielectric

Claims (8)

베이스 선로;
상기 베이스 선로에 대향하도록 배치되며 상기 베이스 선로와 전기적으로 연결되고 하나 이상의 입력단자, 출력단자 및 저항단자를 포함하는 전송 선로;
상기 베이스 선로와 전송 선로의 간격을 유지시키는 하나 이상의 유전체;
상기 입력단자, 출력단자 및 저항단자가 노출되게 하는 홀을 포함하고 상기 베이스 선로 및 상기 전송 선로를 감싸도록 구성되는 케이스
를 포함하고,
상기 하나 이상의 입력단자를 통해 입력되는 저출력의 고주파를 하나의 출력단자를 통해 고출력의 고주파로 출력하도록 가이젤(Gysel)결합되어 구성되는 것
을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.Base line;
A transmission line disposed to face the base line and electrically connected to the base line, the transmission line including at least one input terminal, an output terminal, and a resistance terminal;
At least one dielectric for maintaining a gap between the base line and the transmission line;
A case including a hole for allowing the input terminal, the output terminal, and the resistor terminal to be exposed and surrounding the base line and the transmission line,
Lt; / RTI >
And a low-power high-frequency input through the one or more input terminals is connected to an output terminal through a single output terminal so as to be coupled to the high-output high-
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate. 제1항에 있어서,
상기 전송 선로는 복수의 분할 전송 선로를 포함하며,
상기 분할 전송 선로는,
제1측은 복수의 분할 전송 선로 간 연결되고, 제2은 상기 입력단자와 연결되며, 제3측은 상기 저항단자와 연결되고, 제4측은 다시 복수의 분할 전송 선로 간 연결되며, 제5측은 상기 출력단자와 연결되고,
상기 베이스 선로는 복수의 분할 베이스 선로를 포함하고,
상기 분할 베이스 선로는,
제6측은 복수의 분할 베이스 선로 간 연결되고, 제7측은 상기 입력단자와 인접하며, 제8측은 저항단자와 인접하고, 제9측은 복수의 분할 베이스 선로 간 연결되며, 제10측은 출력단자와 인접하고,
상기 복수의 분할 베이스 선로는,
상기 복수의 분할 전송 선로와 대향하되 대칭 배치되는 것
을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.The method according to claim 1,
Wherein the transmission line includes a plurality of divided transmission lines,
The split transmission line includes:
The first side is connected between the plurality of divided transmission lines, the second side is connected to the input terminal, the third side is connected to the resistor terminal, the fourth side is again connected between the plurality of divided transmission lines, Terminal,
Wherein the base line includes a plurality of divided base lines,
The divided base line includes:
The sixth side is connected between the plurality of divided base lines, the seventh side is adjacent to the input terminal, the eighth side is adjacent to the resistor terminal, the ninth side is connected between the plurality of divided base lines, and,
The plurality of divided base lines may include:
A plurality of divided transmission lines facing each other and being symmetrically arranged
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate. 제 2항에 있어서,
상기 입력단자, 출력단자의 입력방향 또는 출력방향은
상기 베이스 선로 및 상기 전송 선로의 평면과 수직인 것
을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.3. The method of claim 2,
The input direction or the output direction of the input terminal and the output terminal is
Being perpendicular to the plane of the base line and the transmission line
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate. 제 3항에 있어서,
상기 분할 전송 선로는 제1분할 전송선로 내지 제4분할 전송선로를 포함하고,
상기 분할 베이스 선로는 제1분할 베이스선로 내지 제4분할 베이스선로를 포함하며,
상기 제1분할 전송선로는,
제1-1측을 시작점으로 제1방향 및 제3방향의 사이로 연장되고 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제1-2측에 배치되는 제1입력단자와 연결되고 계속 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1-3측에 배치되는 제1저항단자와 연결되고 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향 및 제4방향의 사이로 연장되어 제1-4측에서 다른 분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 제1-5측에서 상기 출력단자와 연결되며,
상기 제4분할 전송선로는,
제4-1측을 시작점으로 제1방향 및 제4방향의 사이로 연장되고 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4-2측에 배치되는 제4입력단자와 연결되고 계속 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4-3측에 배치되는 제4저항단자와 연결되고 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향 및 제3방향의 사이로 연장되어 제4-4측에서 다른 분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 상기 출력단자에 연결되는 것
을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.The method of claim 3,
Wherein the split transmission line includes a first division transmission line to a fourth division transmission line,
The divided base line includes a first divided base line to a fourth divided base line,
Wherein the first split transmission line includes:
Extending from the first direction toward the first direction and extending in the third direction, being curved in the first direction and extending in a curved shape in the third direction, extending again in the second direction, And is connected to a first resistor terminal which is bent in a first direction and then extends in a first direction and is connected to a first resistor terminal arranged in a first direction, Extending in a first direction and curved in a fourth direction, curved in a second direction, extending in a fourth direction, and curved in a first direction, And extends between the first direction and the fourth direction and is connected to the other divided transmission line at the first to fourth sides, is extended in the second direction and connected to the output terminals at the first to fifth sides,
Wherein the fourth split transmission line includes:
Extending from the fourth direction to the first direction and extending in the fourth direction, being curved in the first direction and extending in a curved shape in the fourth direction, extending again in the second direction, The first resistor terminal is connected to the fourth input terminal disposed on the fourth side, and the second resistor terminal is connected to the fourth resistor terminal extending in the third direction and bent in the first direction, Extending in a first direction and curved and extending in a third direction, curved in a second direction, extending again in a third direction, and curved in a third direction, And is connected to the other divided transmission line at the fourth to fourth side and is connected to the output terminal by extending in the second direction and extending between the first direction and the third direction
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate. 제 4항에 있어서,
상기 제2분할 전송선로는,
제2-1측을 시작점으로 제2방향 및 제3방향의 사이로 연장되고 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되고 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제2-2측에 배치되는 제2입력단자와 연결되고 계속 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되어 제2-3측에 배치되는 저항단자와 연결되며, 계속 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제4방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향 및 제4방향의 사이로 연장되어 제2-4측에서 다른 분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 상기 출력단자에 연결되는 것
상기 제3분할 전송선로는,
제3-1측을 시작점으로 제2방향 및 제4방향의 사이로 연장되고 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되고 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제1방향으로 만곡되어 연장되다가 제3-2측에 배치되는 제3입력단자와 연결되고 계속 연장되다가 제4방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제2방향으로 만곡되어 연장되다가 제3방향으로 만곡되어 연장되어 제3-3측에 배치되는 저항단자와 연결되며, 계속 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제1방향으로 만곡되어 연장되고, 다시 제3방향으로 만곡되어 연장되다가 제2방향으로 만곡되어 연장되며, 다시 제2방향 및 제3방향의 사이로 연장되어 제3-4측에서 다른 분할 전송선로와 연결되고, 제2방향으로 만곡 연장되어 상기 출력단자에 연결되는 것
을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.5. The method of claim 4,
Wherein the second split transmission line includes:
Extending in the second direction and extending in the second direction and curved in the third direction, extending again in the first direction, and extending in the third direction, Extends in a second direction and is curved and extended in a third direction, extends again in a first direction and connected to a second input terminal arranged on the second 2-2 side, And then bent and extended in the second direction to be connected to the resistance terminal extended on the second and third sides by being bent in the fourth direction and continuously extended and curvedly extended in the first direction, Extending in a fourth direction and being curved in a second direction, extending again in a fourth direction and then curved in a first direction, Extends is curved to approach the second direction, and extend back between the second direction and the fourth direction is connected as in the 2 to 4-side to the other division transmission lines, it extends curved in a second direction that is connected to the output terminal
The third split transmission line includes:
Extending in the second direction and extending in the second direction, and extending in the fourth direction in a curved shape, extending again in the first direction and extending in the fourth direction, And then bent and extended in the second direction and then curvedly extended in the fourth direction so as to be bent and extended in the first direction and connected to the third input terminal disposed on the third to second side, 3, and further connected to a resistor terminal disposed on the 3-3 side, extending continuously and curvedly extending in a first direction, extending in a second direction, Extends in a third direction and is curved in a second direction, extends again in a third direction and then curved in a first direction, and curved in a third direction, Extends is curved to approach the second direction, and extend back between the second direction and the third direction is connected to the other side to divide the transmission line from 3-4, it extends curved in a second direction that is connected to the output terminal
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate. 제 5항에 있어서,
상기 제1 내지 제4분할 전송 선로는,
상기 제1-2측 내지 제4-2측을 기점으로 각 분할 전송 선로의 폭이 증가되고,
상기 제1-3측 내지 제4-3측을 기점으로 각 분할 전송 선로의 폭이 감소되는 것
을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.6. The method of claim 5,
The first through fourth divided transmission lines may include:
The width of each divided transmission line is increased from the 1-2th side to the 4-2nd side,
The width of each divided transmission line is decreased from the 1-3th side to the 4-3th side
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate. 제6항에 있어서,
상기 분할 전송 선로 간 연결되는 제1측 및 상기 분할 베이스 선로 간 연결되는 제6측이 x자 형태인 것
을 특징으로 하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.The method according to claim 6,
The first side connected between the divided transmission lines and the sixth side connected between the divided base lines are in an x-shape
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate. 제1항에 있어서,
상기 유전체는,
상기 베이스 선로와 상기 전송 선로의 사이에 배치되어 상기 베이스 선로와 상기 전송 선로의 간격을 유지시키는 이격지지부;
상기 베이스 선로 및 상기 전송 선로의 외측에 배치되어 상기 베이스 선로와 상기 전송 선로를 고정시키는 하나 이상의 고정부; 및
상기 베이스 선로와 상기 전송 선로가 안착될 수 있게 상기 이격지지부 및 상기 고정부의 사이에 형성되는 안착 홈
을 포함하는 평행판을 이용한 RF 고출력용 결합장치.The method according to claim 1,
The dielectric material
A spacing support portion disposed between the base line and the transmission line and maintaining a distance between the base line and the transmission line;
At least one fixing portion disposed outside the base line and the transmission line and fixing the base line and the transmission line; And
And a mounting groove formed between the spacing support portion and the fixing portion so that the base line and the transmission line can be seated,
And a coupling unit for coupling the RF high power using the parallel plate.
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JKIECS 2014

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111063975A (en) * 2019-12-17 2020-04-24 南京理工大学 Ka-band GYSEL power divider based on ridge gap waveguide
CN111063975B (en) * 2019-12-17 2021-08-03 南京理工大学 Ka-band GYSEL power divider based on ridge gap waveguide

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